JP3397231B2 - 感光性エレメント - Google Patents
感光性エレメントInfo
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、感光性エレメント
に関する。
に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、精密加工業界例えばプリント配線
板の製造等において、めっき、エッチング等のレジスト
形成や、無電解めっきマスク、ソルダマスク等の永久マ
スク形成に、保護フィルムと感光性樹脂層と支持体フィ
ルムの３層から成る感光性エレメントを用いることが知
られている。感光性エレメントを用いた写真法によるパ
ターン形成法では、スクリーン印刷法に比べ、厚さが均
一で細線を高精度に形成できる利点があるため、ＩＣチ
ップ搭載用リードフレームの形成、カラーテレビ用、Ｖ
ＴＲ用、オーディオ用部品の形成等、各種産業用電子機
器の部品の形成及び民生用電子機器の部品の形成に広く
その適用の検討が進められている。これに伴い、従来感
光性エレメントの感光性樹脂層の厚さは２５〜５０μｍ
が主体であったが、１００〜２５０μｍの厚膜が必要と
なって来ている。
板の製造等において、めっき、エッチング等のレジスト
形成や、無電解めっきマスク、ソルダマスク等の永久マ
スク形成に、保護フィルムと感光性樹脂層と支持体フィ
ルムの３層から成る感光性エレメントを用いることが知
られている。感光性エレメントを用いた写真法によるパ
ターン形成法では、スクリーン印刷法に比べ、厚さが均
一で細線を高精度に形成できる利点があるため、ＩＣチ
ップ搭載用リードフレームの形成、カラーテレビ用、Ｖ
ＴＲ用、オーディオ用部品の形成等、各種産業用電子機
器の部品の形成及び民生用電子機器の部品の形成に広く
その適用の検討が進められている。これに伴い、従来感
光性エレメントの感光性樹脂層の厚さは２５〜５０μｍ
が主体であったが、１００〜２５０μｍの厚膜が必要と
なって来ている。
【０００３】感光性エレメントは、支持体フィルム上に
感光性樹脂組成物の溶液を均一に塗布し、乾燥により溶
剤を揮散させて感光性樹脂層を形成し、次いで、感光性
樹脂層の上に保護フィルムを貼り合わせ、ロール状に巻
取って製造される。また、感光性エレメントを使用する
時には、保護フィルムを剥がしながら感光性樹脂層を基
板面に加熱圧着し貼り合わせる。次いで、支持体フィル
ム上にネガマスクを載置し、露光した後現像することに
より、基板上に感光性樹脂パターンを形成することがで
きる。
感光性樹脂組成物の溶液を均一に塗布し、乾燥により溶
剤を揮散させて感光性樹脂層を形成し、次いで、感光性
樹脂層の上に保護フィルムを貼り合わせ、ロール状に巻
取って製造される。また、感光性エレメントを使用する
時には、保護フィルムを剥がしながら感光性樹脂層を基
板面に加熱圧着し貼り合わせる。次いで、支持体フィル
ム上にネガマスクを載置し、露光した後現像することに
より、基板上に感光性樹脂パターンを形成することがで
きる。
【０００４】これらのことから、感光性エレメントに用
いる支持体フィルムは、感光性樹脂層形成時の感光性樹
脂組成物の溶液の塗布乾燥時の熱に充分耐えるように、
耐熱性の優れたものを、また、露光時に光分散が少く、
紫外線透過性の良いプラスチックフィルムを選択して、
用いられている。一方、保護フィルムは、感光性樹脂層
の外部からの損傷、異物付着を防止する目的で使用され
ており、感光性エレメントを使用する際に、保護フィル
ムを剥がしながら基板に貼り合わせていくが、保護フィ
ルムを剥がす時に、支持体フィルムから感光性樹脂層も
一緒に剥がれると困るので、保護フィルムと感光性樹脂
層との接着力Ａが支持体フィルムと感光性樹脂層との接
着力Ｂ未満のプラチックフィルムを選択している。これ
らのことから、一般的には支持体フィルムにポリエチレ
ンテレフタレートフィルムが、保護フィルムにポリエチ
レンフィルムが使用されている。しかし、感光性樹脂層
の厚さが大きくなる程、経日により感光性エレメントに
シワ、折れ、はがれ、折れ傷等の不具合が発生する問
題、また、感光性樹脂が感光性巻ロールの端部からにじ
み出してくるエッジフュージョンの発生が著しい等の問
題がある。
いる支持体フィルムは、感光性樹脂層形成時の感光性樹
脂組成物の溶液の塗布乾燥時の熱に充分耐えるように、
耐熱性の優れたものを、また、露光時に光分散が少く、
紫外線透過性の良いプラスチックフィルムを選択して、
用いられている。一方、保護フィルムは、感光性樹脂層
の外部からの損傷、異物付着を防止する目的で使用され
ており、感光性エレメントを使用する際に、保護フィル
ムを剥がしながら基板に貼り合わせていくが、保護フィ
ルムを剥がす時に、支持体フィルムから感光性樹脂層も
一緒に剥がれると困るので、保護フィルムと感光性樹脂
層との接着力Ａが支持体フィルムと感光性樹脂層との接
着力Ｂ未満のプラチックフィルムを選択している。これ
らのことから、一般的には支持体フィルムにポリエチレ
ンテレフタレートフィルムが、保護フィルムにポリエチ
レンフィルムが使用されている。しかし、感光性樹脂層
の厚さが大きくなる程、経日により感光性エレメントに
シワ、折れ、はがれ、折れ傷等の不具合が発生する問
題、また、感光性樹脂が感光性巻ロールの端部からにじ
み出してくるエッジフュージョンの発生が著しい等の問
題がある。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、保存中にシ
ワ、折れ、はがれ、エッジフュージョン等の不具合が発
生しない、保存安定性に優れた感光性エレメントを提供
するものである。また、本発明は、上記効果を奏し、表
面の凹凸の大きい被着体、厚膜パターンの要求される分
野に好適に使用できる感光性エレメントを提供するもの
である。
ワ、折れ、はがれ、エッジフュージョン等の不具合が発
生しない、保存安定性に優れた感光性エレメントを提供
するものである。また、本発明は、上記効果を奏し、表
面の凹凸の大きい被着体、厚膜パターンの要求される分
野に好適に使用できる感光性エレメントを提供するもの
である。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は、基板上に感光
性樹脂パターンを形成するための、プラスチックフィル
ムＡと感光性樹脂層とプラスチックフィルムＢをこの順
で有する感光性エレメントにおいて、前記プラスチック
フィルムＡが、弾性係数５０ｋｇ／ｍｍ2以上でかつ融
点１３０℃以上であり、前記プラスチックフィルムＡは
基板貼り合わせ時に除去されるフィルムであり、前記プ
ラスチックフィルムＢはポリエチレンテレフタレートフ
ィルム又はポリプロピレンフィルムであり、前記感光性
樹脂層の厚さが１６０〜３００μｍである感光性エレメ
ントに関する。また、本発明は、基板上に感光性樹脂パ
ターンを形成するための、プラスチックフィルムＡと感
光性樹脂層とプラスチックフィルムＢをこの順で有する
感光性エレメントにおいて、前記プラスチックフィルム
Ａが、弾性係数５０ｋｇ／ｍｍ2以上でかつ融点１３０
℃以上であり、前記プラスチックフィルムＡは基板貼り
合わせ時に除去されるフィルムであり、前記感光性樹脂
層の厚さが１６０〜３００μｍである感光性エレメント
に関する。更に、本発明は、前記感光性エレメントのプ
ラスチックフィルムＡを剥がしながら感光性樹脂層を基
板上に貼り合わせることを特徴とする感光性エレメント
の貼り合わせ方法に関する。また、本発明は、保護フィ
ルムと感光性樹脂層と支持体フィルムをこの順で有する
感光性エレメントにおいて、保護フィルムが、弾性係数
５０ｋｇ／ｍｍ2以上でかつ融点１３０℃以上であるプ
ラスチックフィルムであり、前記感光性樹脂層の厚さが
１６０〜３００μｍである感光性エレメントに関する。
更に、本発明は、前記感光性エレメントの保護フィルム
を剥がしながら感光性樹脂層を基板上に貼り合わせるこ
とを特徴とする感光性エレメントの貼り合わせ方法に関
する。
性樹脂パターンを形成するための、プラスチックフィル
ムＡと感光性樹脂層とプラスチックフィルムＢをこの順
で有する感光性エレメントにおいて、前記プラスチック
フィルムＡが、弾性係数５０ｋｇ／ｍｍ2以上でかつ融
点１３０℃以上であり、前記プラスチックフィルムＡは
基板貼り合わせ時に除去されるフィルムであり、前記プ
ラスチックフィルムＢはポリエチレンテレフタレートフ
ィルム又はポリプロピレンフィルムであり、前記感光性
樹脂層の厚さが１６０〜３００μｍである感光性エレメ
ントに関する。また、本発明は、基板上に感光性樹脂パ
ターンを形成するための、プラスチックフィルムＡと感
光性樹脂層とプラスチックフィルムＢをこの順で有する
感光性エレメントにおいて、前記プラスチックフィルム
Ａが、弾性係数５０ｋｇ／ｍｍ2以上でかつ融点１３０
℃以上であり、前記プラスチックフィルムＡは基板貼り
合わせ時に除去されるフィルムであり、前記感光性樹脂
層の厚さが１６０〜３００μｍである感光性エレメント
に関する。更に、本発明は、前記感光性エレメントのプ
ラスチックフィルムＡを剥がしながら感光性樹脂層を基
板上に貼り合わせることを特徴とする感光性エレメント
の貼り合わせ方法に関する。また、本発明は、保護フィ
ルムと感光性樹脂層と支持体フィルムをこの順で有する
感光性エレメントにおいて、保護フィルムが、弾性係数
５０ｋｇ／ｍｍ2以上でかつ融点１３０℃以上であるプ
ラスチックフィルムであり、前記感光性樹脂層の厚さが
１６０〜３００μｍである感光性エレメントに関する。
更に、本発明は、前記感光性エレメントの保護フィルム
を剥がしながら感光性樹脂層を基板上に貼り合わせるこ
とを特徴とする感光性エレメントの貼り合わせ方法に関
する。
【０００７】
【発明の実施の形態】本発明に用いられるプラスチック
フィルムＡ（以下、場合により「保護フィルム」とい
う）は、弾性係数が５０ｋｇ／ｍｍ2以上でかつ融点が
１３０℃以上のプラスチックフィルムである。弾性係数
は７０〜１０００ｋｇ／ｍｍ2であることが好ましく、
１１０〜８００ｋｇ／ｍｍ2であることがより好まし
い。融点は、１４０〜４００℃であることが好ましく、
１６０〜３５０℃であることがより好ましい。弾性係数
が５０ｋｇ／ｍｍ2未満又は融点が１３０℃未満のフィ
ルムを保護フィルムとして用いると感光性エレメントの
保存中にシワや折れ、剥がれ、エッジフュージョン等の
不具合が発生する。なお、弾性係数は、ＡＳＴＭ−Ｄ８
８２に準じて測定することができ、融点は、示差走査熱
量計（ＤＳＣ）により測定することができる。弾性係
数、融点が前記本発明の範囲内のプラスチックフィルム
は、例えば、市販のポリプロピレンフィルム、ポリエチ
レンテレフタレートフィルムなどから選択し使用でき
る。
フィルムＡ（以下、場合により「保護フィルム」とい
う）は、弾性係数が５０ｋｇ／ｍｍ2以上でかつ融点が
１３０℃以上のプラスチックフィルムである。弾性係数
は７０〜１０００ｋｇ／ｍｍ2であることが好ましく、
１１０〜８００ｋｇ／ｍｍ2であることがより好まし
い。融点は、１４０〜４００℃であることが好ましく、
１６０〜３５０℃であることがより好ましい。弾性係数
が５０ｋｇ／ｍｍ2未満又は融点が１３０℃未満のフィ
ルムを保護フィルムとして用いると感光性エレメントの
保存中にシワや折れ、剥がれ、エッジフュージョン等の
不具合が発生する。なお、弾性係数は、ＡＳＴＭ−Ｄ８
８２に準じて測定することができ、融点は、示差走査熱
量計（ＤＳＣ）により測定することができる。弾性係
数、融点が前記本発明の範囲内のプラスチックフィルム
は、例えば、市販のポリプロピレンフィルム、ポリエチ
レンテレフタレートフィルムなどから選択し使用でき
る。
【０００８】本発明における感光性樹脂層は、光照射さ
れることによりその性質（溶媒等に対する溶解性、粘着
性、粘度、流動性、弾性率、伸び、強度等の粘弾性、表
面張力など）が変化するものであり、このようなものと
しては、特に制限なく公知のものを使用でき、例えば、
ネガ型感光性樹脂組成物、ポジ型感光性樹脂組成物等を
使用して形成することができる。ポジ型感光性樹脂組成
物としては、特に制限なく公知のものを使用でき、例え
ば、１，２−ナフトキノンジアジド系化合物、ｏ−ニト
ロベンジル系化合物等を用いた可溶性基光生成型の組成
物、オニウム塩等を用いた光酸発生・酸分解型の組成物
などが挙げられる。ネガ型感光性樹脂組成物は、特に制
限はなく公知のものを使用でき、例えば、（ａ）エチレ
ン性不飽和化合物、（ｂ）フィルム形成性付与ポリマ及
び（ｃ）光重合開始剤を必須成分として含み、（ｄ）染
料又は顔料、（ｅ）その他添加物、（ｆ）有機溶剤等を
任意成分として含んでいてもよい。
れることによりその性質（溶媒等に対する溶解性、粘着
性、粘度、流動性、弾性率、伸び、強度等の粘弾性、表
面張力など）が変化するものであり、このようなものと
しては、特に制限なく公知のものを使用でき、例えば、
ネガ型感光性樹脂組成物、ポジ型感光性樹脂組成物等を
使用して形成することができる。ポジ型感光性樹脂組成
物としては、特に制限なく公知のものを使用でき、例え
ば、１，２−ナフトキノンジアジド系化合物、ｏ−ニト
ロベンジル系化合物等を用いた可溶性基光生成型の組成
物、オニウム塩等を用いた光酸発生・酸分解型の組成物
などが挙げられる。ネガ型感光性樹脂組成物は、特に制
限はなく公知のものを使用でき、例えば、（ａ）エチレ
ン性不飽和化合物、（ｂ）フィルム形成性付与ポリマ及
び（ｃ）光重合開始剤を必須成分として含み、（ｄ）染
料又は顔料、（ｅ）その他添加物、（ｆ）有機溶剤等を
任意成分として含んでいてもよい。
【０００９】前記（ａ）エチレン性不飽和化合物として
は、例えば、ブチルアクリレート、テトラエチレングリ
コールジアクリレート、γ−クロロ−β−ヒドロキシプ
ロピル−β′−メタクリロイルオキシエチル−ｏ−フタ
レート、テトラプロピレングリコールジアクリレート、
２，２−ビス〔（４−メタクリロキシペンタエトキシ）
フェニル〕プロパン、トリメチロールプロパントリアク
リレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペ
ンタエリスリトールテトラアクリレート等のアクリレー
ト、これらに対応するメタクリレートが挙げられる。
は、例えば、ブチルアクリレート、テトラエチレングリ
コールジアクリレート、γ−クロロ−β−ヒドロキシプ
ロピル−β′−メタクリロイルオキシエチル−ｏ−フタ
レート、テトラプロピレングリコールジアクリレート、
２，２−ビス〔（４−メタクリロキシペンタエトキシ）
フェニル〕プロパン、トリメチロールプロパントリアク
リレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペ
ンタエリスリトールテトラアクリレート等のアクリレー
ト、これらに対応するメタクリレートが挙げられる。
【００１０】（ｂ）フィルム形成性付与ポリマとして
は、例えば、アクリル酸、メタクリル酸、アクリル酸の
炭素数１〜２２のアルキルエステル、メタクリル酸の炭
素数１〜２２のアルキルエステル、２−ヒドロキシエチ
ルアクリレート、２−ヒドロキシエチルメタクリレー
ト、２−ヒドロキシプロピルアクリレート、２−ヒドロ
キシプロピルメタクリレート、メタクリル酸グリシジ
ル、ジエチルアミノエチルメタクリレート、ジメチルア
ミノプロピルメタクリレート、アクリロニトリル、Ｎ―
メチロールアクリルアミド、Ｎ―メチロールメタアクリ
ルアミド、スチレン、ビニルトルエン等のビニル単量体
とこれらのビニル単量体と共重合可能な単量体とを共重
合してなるビニル共重合体、ポリエステル、ポリアミド
酸等が挙げられる。環境性に優れたアルカリ現像液で現
像可能となる点から、（ｂ）フィルム形成性付与ポリマ
がカルボキシル基を有するポリマであることが好まし
い。
は、例えば、アクリル酸、メタクリル酸、アクリル酸の
炭素数１〜２２のアルキルエステル、メタクリル酸の炭
素数１〜２２のアルキルエステル、２−ヒドロキシエチ
ルアクリレート、２−ヒドロキシエチルメタクリレー
ト、２−ヒドロキシプロピルアクリレート、２−ヒドロ
キシプロピルメタクリレート、メタクリル酸グリシジ
ル、ジエチルアミノエチルメタクリレート、ジメチルア
ミノプロピルメタクリレート、アクリロニトリル、Ｎ―
メチロールアクリルアミド、Ｎ―メチロールメタアクリ
ルアミド、スチレン、ビニルトルエン等のビニル単量体
とこれらのビニル単量体と共重合可能な単量体とを共重
合してなるビニル共重合体、ポリエステル、ポリアミド
酸等が挙げられる。環境性に優れたアルカリ現像液で現
像可能となる点から、（ｂ）フィルム形成性付与ポリマ
がカルボキシル基を有するポリマであることが好まし
い。
【００１１】（ｃ）光重合開始剤としては、例えば、ベ
ンゾフェノン、４、４′−ジエチルアミノベンゾフェノ
ン、２−エチルチオキサントン、１，７−ビス（９−ア
クリジニル）ヘプタン、ベンゾインメチルエーテル、ベ
ンジルジメチルケタール等が挙げられる。 （ｄ）染料又は顔料としては、例えば、マラカイトグリ
ーン、フタロシアニングリーン等が挙げられる。 （ｅ）その他添加物としては、例えば、ジエチレングリ
コール等の可塑剤、ベンゾトリアゾール、テトラゾール
等の密着性向上剤、レベリング効果や消泡効果のあるシ
リコン系界面活性剤、ロイコクリスタルバイオレット、
トリブロモメチルフェニルスルフォン等の発色剤などが
挙げられる。 （ｆ）有機溶剤としては、例えば、アセトン、メチルエ
チルケトン、トルエン、酢酸エチル、酢酸ブチル、２−
ブトキシエタノール、２−エトキシエタノール、２−エ
トキシエチルアセテート、メタノール、Ｎ−メチルー２
―ピロリドン等が挙げられる。
ンゾフェノン、４、４′−ジエチルアミノベンゾフェノ
ン、２−エチルチオキサントン、１，７−ビス（９−ア
クリジニル）ヘプタン、ベンゾインメチルエーテル、ベ
ンジルジメチルケタール等が挙げられる。 （ｄ）染料又は顔料としては、例えば、マラカイトグリ
ーン、フタロシアニングリーン等が挙げられる。 （ｅ）その他添加物としては、例えば、ジエチレングリ
コール等の可塑剤、ベンゾトリアゾール、テトラゾール
等の密着性向上剤、レベリング効果や消泡効果のあるシ
リコン系界面活性剤、ロイコクリスタルバイオレット、
トリブロモメチルフェニルスルフォン等の発色剤などが
挙げられる。 （ｆ）有機溶剤としては、例えば、アセトン、メチルエ
チルケトン、トルエン、酢酸エチル、酢酸ブチル、２−
ブトキシエタノール、２−エトキシエタノール、２−エ
トキシエチルアセテート、メタノール、Ｎ−メチルー２
―ピロリドン等が挙げられる。
【００１２】ここで、（ａ）成分の配合量は、フィルム
形成性、低エッジフュージョン性、光感度等の点から、
（ａ）成分及び（ｂ）成分の総量１００重量部に対して
２０〜８０重量部とすることが好ましい。また、（ｂ）
成分の配合量は、光感度、低エッジフュージョン性、フ
ィルム形成性等の点から、（ａ）成分及び（ｂ）成分の
総量１００重量部に対して２０〜８０重量部とすること
が好ましい。また、（ｃ）成分の配合量は、光感度等の
点から、（ａ）成分及び（ｂ）成分の総量１００重量部
に対して１〜１０重量部とすることが好ましい。また、
（ｄ）成分の配合量は、作業性等の点から、（ａ）成分
及び（ｂ）成分の総量１００重量部に対して０．１〜１
０重量部とすることが好ましい。また、（ｅ）成分の配
合量は、その効果を充分発揮する点から、（ａ）成分及
び（ｂ）成分の総量１００重量部に対して０．１〜２０
重量部とすることが好ましい。また、（ｆ）成分の配合
量は、塗工性、生産性等の点から、（ａ）成分及び
（ｂ）成分の総量１００重量部に対して５０〜３００重
量部とすることが好ましい。
形成性、低エッジフュージョン性、光感度等の点から、
（ａ）成分及び（ｂ）成分の総量１００重量部に対して
２０〜８０重量部とすることが好ましい。また、（ｂ）
成分の配合量は、光感度、低エッジフュージョン性、フ
ィルム形成性等の点から、（ａ）成分及び（ｂ）成分の
総量１００重量部に対して２０〜８０重量部とすること
が好ましい。また、（ｃ）成分の配合量は、光感度等の
点から、（ａ）成分及び（ｂ）成分の総量１００重量部
に対して１〜１０重量部とすることが好ましい。また、
（ｄ）成分の配合量は、作業性等の点から、（ａ）成分
及び（ｂ）成分の総量１００重量部に対して０．１〜１
０重量部とすることが好ましい。また、（ｅ）成分の配
合量は、その効果を充分発揮する点から、（ａ）成分及
び（ｂ）成分の総量１００重量部に対して０．１〜２０
重量部とすることが好ましい。また、（ｆ）成分の配合
量は、塗工性、生産性等の点から、（ａ）成分及び
（ｂ）成分の総量１００重量部に対して５０〜３００重
量部とすることが好ましい。
【００１３】感光性樹脂層に含まれる溶剤の量（残存溶
剤量）は、品質のバラつき抑制の点から、２重量％以下
であることが好ましい。この残存溶剤量は、感光性エレ
メントの製造にあたって、０．１重量％まで低減可能で
ある。
剤量）は、品質のバラつき抑制の点から、２重量％以下
であることが好ましい。この残存溶剤量は、感光性エレ
メントの製造にあたって、０．１重量％まで低減可能で
ある。
【００１４】感光性樹脂層の流動性は、基板等の被着体
への追従性、低変形性、低エッジフュージョン性等の点
から１００〜３００μｍであることが好ましく、１００
〜２５０μｍであることがより好ましい。流動性を前記
の範囲とすることは、（ａ）〜（ｆ）成分の種類と配合
量を調整することにより行なうことができる。ここにい
う流動性は、直径２０ｍｍ、厚さ２ｍｍの感光性樹脂層
をサンプルとし、このサンプルを平面の基板上に置い
て、その上に直径５０ｍｍの円筒形の５ｋｇの静荷重を
加え、変形していく感光性樹脂層の１０秒後の厚みＴ 1
（μｍ）と９００秒後の厚みＴ 2 （μｍ）を測定した時
のＴ1−Ｔ2（μｍ）である。
への追従性、低変形性、低エッジフュージョン性等の点
から１００〜３００μｍであることが好ましく、１００
〜２５０μｍであることがより好ましい。流動性を前記
の範囲とすることは、（ａ）〜（ｆ）成分の種類と配合
量を調整することにより行なうことができる。ここにい
う流動性は、直径２０ｍｍ、厚さ２ｍｍの感光性樹脂層
をサンプルとし、このサンプルを平面の基板上に置い
て、その上に直径５０ｍｍの円筒形の５ｋｇの静荷重を
加え、変形していく感光性樹脂層の１０秒後の厚みＴ 1
（μｍ）と９００秒後の厚みＴ 2 （μｍ）を測定した時
のＴ1−Ｔ2（μｍ）である。
【００１５】感光性樹脂層の厚さは、１６０μｍ以上の
場合には本発明の効果がよく発現し、またそのような感
光性樹脂層を有する感光性エレメントは、表面の凹凸の
大きい被着体、厚膜パターンの要求される分野等に好適
に使用できる。この厚さの上限は、通常、３００μｍで
ある。
場合には本発明の効果がよく発現し、またそのような感
光性樹脂層を有する感光性エレメントは、表面の凹凸の
大きい被着体、厚膜パターンの要求される分野等に好適
に使用できる。この厚さの上限は、通常、３００μｍで
ある。
【００１６】本発明に用いられるプラスチックフィルム
Ｂ（以下、場合により「支持体フィルム」という）は、
次述する感光性エレメントの製造の際、溶媒、熱による
ダメージに耐性があり、最終的に感光性樹脂層を支持で
きるものであれば特に制限なく公知のものを使用しうる
が、このようなものとしてはポリエチレンテレフタレー
トフィルムが好適である。支持体フィルムの厚さは、解
像度、強度、取り扱い性の点から３〜１００μｍである
ことが好ましい。
Ｂ（以下、場合により「支持体フィルム」という）は、
次述する感光性エレメントの製造の際、溶媒、熱による
ダメージに耐性があり、最終的に感光性樹脂層を支持で
きるものであれば特に制限なく公知のものを使用しうる
が、このようなものとしてはポリエチレンテレフタレー
トフィルムが好適である。支持体フィルムの厚さは、解
像度、強度、取り扱い性の点から３〜１００μｍである
ことが好ましい。
【００１７】本発明の感光性エレメントは、例えば、支
持体フィルム上に感光性樹脂組成物の溶液（有機溶剤等
の溶媒を含む）を塗布し、加熱乾燥することにより溶媒
を揮散除去して、感光性樹脂層を形成し、次いで、感光
性樹脂層の上に保護フィルムを貼り合わせて得ることが
でき、この感光性エレメントを巻き取ってロール状物と
することができる。ロール状物とするときは、支持体フ
ィルムが外側になるように巻きとることが、その後の取
扱性の点で好ましい。
持体フィルム上に感光性樹脂組成物の溶液（有機溶剤等
の溶媒を含む）を塗布し、加熱乾燥することにより溶媒
を揮散除去して、感光性樹脂層を形成し、次いで、感光
性樹脂層の上に保護フィルムを貼り合わせて得ることが
でき、この感光性エレメントを巻き取ってロール状物と
することができる。ロール状物とするときは、支持体フ
ィルムが外側になるように巻きとることが、その後の取
扱性の点で好ましい。
【００１８】また、感光性樹脂層の厚さが、１６０μｍ
以上の場合には、感光性樹脂層の厚さが大きくなればな
る程感光性樹脂層の曲げ剛性が大きくなるので、保護フ
ィルムと感光性樹脂層との接着力Ａが支持体フィルムと
感光性樹脂層との接着力Ｂと等しいかより大きくても、
保護フィルムをはがす時に感光性樹脂層と支持体フィル
ムの間で剥がれるという不都合を生じない。また感光性
樹脂層の変形をおさえる点からは、保護フィルムと感光
性樹脂層との接着力Ａはできるだけ大きい方が効果的で
ある。
以上の場合には、感光性樹脂層の厚さが大きくなればな
る程感光性樹脂層の曲げ剛性が大きくなるので、保護フ
ィルムと感光性樹脂層との接着力Ａが支持体フィルムと
感光性樹脂層との接着力Ｂと等しいかより大きくても、
保護フィルムをはがす時に感光性樹脂層と支持体フィル
ムの間で剥がれるという不都合を生じない。また感光性
樹脂層の変形をおさえる点からは、保護フィルムと感光
性樹脂層との接着力Ａはできるだけ大きい方が効果的で
ある。
【００１９】接着力Ａと接着力Ｂとが等しくてもよいの
で、保護フィルムと支持体フィルムの両方に、成分が同
じかあるいは主成分が同じ組成（材質）のプラスチック
フィルムを使用できる。
で、保護フィルムと支持体フィルムの両方に、成分が同
じかあるいは主成分が同じ組成（材質）のプラスチック
フィルムを使用できる。
【００２０】本発明において、保護フィルムと支持体フ
ィルムの両方にポリエチレンテレフタレートフィルムを
用いた感光性エレメントは、熱変形、感光性樹脂層の変
形等の影響をほとんど受けないため、経日安定性に優れ
た。特に、ポリエチレンテレフタレートフィルムは厚さ
が均一であること、フィルム同士の滑り性が悪いので低
テンションでロール状に巻き取れることから、エッジフ
ュージョン発生が少なく、非常に好ましい。
ィルムの両方にポリエチレンテレフタレートフィルムを
用いた感光性エレメントは、熱変形、感光性樹脂層の変
形等の影響をほとんど受けないため、経日安定性に優れ
た。特に、ポリエチレンテレフタレートフィルムは厚さ
が均一であること、フィルム同士の滑り性が悪いので低
テンションでロール状に巻き取れることから、エッジフ
ュージョン発生が少なく、非常に好ましい。
【００２１】また、支持体フィルムは、保護フィルムよ
り厚さの小さいフィルムを使用した方が、支持体フィル
ムと感光性樹脂層との接着をより保持でき、支持体フィ
ルムと感光性樹脂層の好ましくない剥離を防ぐことがで
きる。
り厚さの小さいフィルムを使用した方が、支持体フィル
ムと感光性樹脂層との接着をより保持でき、支持体フィ
ルムと感光性樹脂層の好ましくない剥離を防ぐことがで
きる。
【００２２】本発明の感光性エレメントは、プリント配
線板の製造，ＩＣチップ搭載用リードフレームの形成、
カラーテレビ用、ＶＴＲ用、オーディオ用部品の形成
等、各種産業用及び民生用電子機器の部品形成等の精密
加工を行う際、エッチングやめっきレジストパターン形
成他各種樹脂パターン形成に好適である。
線板の製造，ＩＣチップ搭載用リードフレームの形成、
カラーテレビ用、ＶＴＲ用、オーディオ用部品の形成
等、各種産業用及び民生用電子機器の部品形成等の精密
加工を行う際、エッチングやめっきレジストパターン形
成他各種樹脂パターン形成に好適である。
【００２３】
【作用】感光性エレメントの製造時、保護フィルムは、
シワを伸ばしある程度のテンションをかけた状態で、感
光性樹脂組成物の溶液を支持体フィルム上に塗布、加熱
乾燥した直後に貼り合わされるので、感光性樹脂層の温
度が３０〜６０℃の状態で貼り合わされることになり歪
をもってロール状に巻き取られるため、巻取った後、経
日により歪が戻り、保護フィルムにシワ、浮き、折れ、
はがれ等の不具合が発生すると考えられる。また、感光
性樹脂層は柔軟なため、外圧や熱の影響を受け易く、ま
た、アルカリ現像タイプの場合は、特に吸湿の影響を受
け易いことから、感光性樹脂層の厚さが大きくなる程、
経日により変形しやすくこの感光性樹脂層の変形も保護
フィルムに影響を及ぼし、シワ、浮き、折れ、はがれ等
の不具合を誘起し、また感光性樹脂層が感光性エレメン
トの端部からしみ出す（エッジフュージョン）不都合も
起こりやすい。本発明では、保護フィルムに一定の特性
を有するものを使用することで、保護フィルムの歪を緩
和し、あわせて感光性樹脂層の変形も防いでいる。
シワを伸ばしある程度のテンションをかけた状態で、感
光性樹脂組成物の溶液を支持体フィルム上に塗布、加熱
乾燥した直後に貼り合わされるので、感光性樹脂層の温
度が３０〜６０℃の状態で貼り合わされることになり歪
をもってロール状に巻き取られるため、巻取った後、経
日により歪が戻り、保護フィルムにシワ、浮き、折れ、
はがれ等の不具合が発生すると考えられる。また、感光
性樹脂層は柔軟なため、外圧や熱の影響を受け易く、ま
た、アルカリ現像タイプの場合は、特に吸湿の影響を受
け易いことから、感光性樹脂層の厚さが大きくなる程、
経日により変形しやすくこの感光性樹脂層の変形も保護
フィルムに影響を及ぼし、シワ、浮き、折れ、はがれ等
の不具合を誘起し、また感光性樹脂層が感光性エレメン
トの端部からしみ出す（エッジフュージョン）不都合も
起こりやすい。本発明では、保護フィルムに一定の特性
を有するものを使用することで、保護フィルムの歪を緩
和し、あわせて感光性樹脂層の変形も防いでいる。
【００２４】
【実施例】次に、本発明を実施例により説明する。
実施例１〜５及び比較例１〜３
メタクリル酸メチル／アクリル酸エチル／メタクリル酸
共重合体（５３／３０／１７(重量比)、重量平均分子量
１０万）の４１重量％メチルセロソルブ／トルエン（８
／２(重量比)）溶液１３７ｇ（固形分５５ｇ）、２，
２′−ビス〔（４−メタクリロキシペンタエトキシ）フ
ェニル〕プロパン３４ｇ、γ−クロロ−β−ヒドロキシ
プロピル−β′−メタクリロイルオキシエチル−ｏ−フ
タレート１１ｇ、２，２′−メチレンビス（４−エチル
−６−ｔ−ブチルフェノール）０．１ｇ、トリブロモメ
チルフェニルスルフォン１．２ｇ、１，７−ビス（９−
アクリジニル）ヘプタン０．２ｇ、ベンジルジメチルケ
タール３ｇ、ロイコクリスタルバイオレット１．０ｇ，
マラカイトグリーン０．０５ｇ、トルエン７ｇ、メチル
エチルケトン１３ｇ、メタノール３ｇを配合し、アルカ
リ現像タイプの感光性樹脂組成物の溶液を得た。
共重合体（５３／３０／１７(重量比)、重量平均分子量
１０万）の４１重量％メチルセロソルブ／トルエン（８
／２(重量比)）溶液１３７ｇ（固形分５５ｇ）、２，
２′−ビス〔（４−メタクリロキシペンタエトキシ）フ
ェニル〕プロパン３４ｇ、γ−クロロ−β−ヒドロキシ
プロピル−β′−メタクリロイルオキシエチル−ｏ−フ
タレート１１ｇ、２，２′−メチレンビス（４−エチル
−６−ｔ−ブチルフェノール）０．１ｇ、トリブロモメ
チルフェニルスルフォン１．２ｇ、１，７−ビス（９−
アクリジニル）ヘプタン０．２ｇ、ベンジルジメチルケ
タール３ｇ、ロイコクリスタルバイオレット１．０ｇ，
マラカイトグリーン０．０５ｇ、トルエン７ｇ、メチル
エチルケトン１３ｇ、メタノール３ｇを配合し、アルカ
リ現像タイプの感光性樹脂組成物の溶液を得た。
【００２５】この感光性樹脂組成物の溶液を支持体フィ
ルムとしての２０μｍ厚のポリエチレンテレフタレート
フィルム（ＰＥＴ）上に均一に塗布し、１１０℃の熱風
対流式乾燥機で１０分間乾燥して感光性樹脂層を形成し
た。塗布厚を変えて、３種類の厚さの異なる感光性樹脂
層を形成した。感光性樹脂層の乾燥後の膜厚はそれぞれ
５０μｍ、１６０μｍ、２００μｍであった。なお、実
施例５のみは、支持体フィルムとして３０μｍのポリプ
ロピレンフィルム（ＯＰＰ）を用い、８０℃の熱風対流
式乾燥機で２０分間乾燥して１５０μｍ厚の感光性樹脂
層を形成した。
ルムとしての２０μｍ厚のポリエチレンテレフタレート
フィルム（ＰＥＴ）上に均一に塗布し、１１０℃の熱風
対流式乾燥機で１０分間乾燥して感光性樹脂層を形成し
た。塗布厚を変えて、３種類の厚さの異なる感光性樹脂
層を形成した。感光性樹脂層の乾燥後の膜厚はそれぞれ
５０μｍ、１６０μｍ、２００μｍであった。なお、実
施例５のみは、支持体フィルムとして３０μｍのポリプ
ロピレンフィルム（ＯＰＰ）を用い、８０℃の熱風対流
式乾燥機で２０分間乾燥して１５０μｍ厚の感光性樹脂
層を形成した。
【００２６】次いで、表１に示す各種厚さの感光性樹脂
層の上に保護フィルムとして、実施例１、２及び５では
ポリエチレンテレフタレートフィルム（ＰＥＴ）を、実
施例３、４ではポリプロピレンフィルム（ＯＰＰ）を、
比較例１〜３ではポリエチレンフィルム（ＰＥ）を貼り
合わせ感光性エレメントとした。得られた感光性エレメ
ントを４００mm幅に切断し、長さ６０ｍを内径７５mmの
巻芯に支持体フィルムが外側となるようにロール状に巻
き取り、これらのロール状感光性エレメントについて基
板との貼り合わせ時の保護フィルムの剥離性、３０℃−
９０％ＲＨ中に５日間保管した時の感光性エレメントの
シワ、折れ、エッジフュージョン等の発生の有無につい
て調べた。これらの結果を表１及び表２に示す。
層の上に保護フィルムとして、実施例１、２及び５では
ポリエチレンテレフタレートフィルム（ＰＥＴ）を、実
施例３、４ではポリプロピレンフィルム（ＯＰＰ）を、
比較例１〜３ではポリエチレンフィルム（ＰＥ）を貼り
合わせ感光性エレメントとした。得られた感光性エレメ
ントを４００mm幅に切断し、長さ６０ｍを内径７５mmの
巻芯に支持体フィルムが外側となるようにロール状に巻
き取り、これらのロール状感光性エレメントについて基
板との貼り合わせ時の保護フィルムの剥離性、３０℃−
９０％ＲＨ中に５日間保管した時の感光性エレメントの
シワ、折れ、エッジフュージョン等の発生の有無につい
て調べた。これらの結果を表１及び表２に示す。
【００２７】
【表１】
【００２８】
【表２】
【００２９】各フィルムの弾性係数は、ＡＳＴＭ−Ｄ８
８２に準拠して行った。具体的にはＰＥＴ、ＯＰＰの場
合、試験片サイズを１５mm（幅）×７０mm（長さ）と
し、チャック間距離を５０mm、引っ張り速度を１０mm／
分として２３℃で測定し、得られたＳＳカーブの伸び１
％までの傾きにより求めた。ＰＥの場合は、引っ張り速
度を５０mm／分とした以外は上記と同様にして求めた。
なお、各フィルムの試験片のサンプリングにあたって
は、各フィルム（ロール形態）の巻取りの方向と試験片
の長さ方向が平行となるようにサンプリングした。ま
た、各フィルムの融点は、ＤＳＣでサンプル量２０mg、
（ＰＥＴ、ＯＰＰ）、１０mg（ＰＥ）、昇温速度２０℃
／分（ＰＥＴ、ＯＰＰ）、１０℃／分（ＰＥ）で測定し
て求めた。表１、表２から明らかなように、保護フィル
ムに弾性係数１１０kg/mm2以上でかつ、融点１６０℃以
上のプラスチックフィルムを用いた感光性エレメント
は、保存安定性が著しく向上していることが分かった。
８２に準拠して行った。具体的にはＰＥＴ、ＯＰＰの場
合、試験片サイズを１５mm（幅）×７０mm（長さ）と
し、チャック間距離を５０mm、引っ張り速度を１０mm／
分として２３℃で測定し、得られたＳＳカーブの伸び１
％までの傾きにより求めた。ＰＥの場合は、引っ張り速
度を５０mm／分とした以外は上記と同様にして求めた。
なお、各フィルムの試験片のサンプリングにあたって
は、各フィルム（ロール形態）の巻取りの方向と試験片
の長さ方向が平行となるようにサンプリングした。ま
た、各フィルムの融点は、ＤＳＣでサンプル量２０mg、
（ＰＥＴ、ＯＰＰ）、１０mg（ＰＥ）、昇温速度２０℃
／分（ＰＥＴ、ＯＰＰ）、１０℃／分（ＰＥ）で測定し
て求めた。表１、表２から明らかなように、保護フィル
ムに弾性係数１１０kg/mm2以上でかつ、融点１６０℃以
上のプラスチックフィルムを用いた感光性エレメント
は、保存安定性が著しく向上していることが分かった。
【００３０】
【発明の効果】本発明の感光性エレメントは、保存中に
シワ、折れ、はがれ、エッジフュージョン等の不具合が
発生しない、保存安定性に優れたものである。また、本
発明の感光性エレメントは、上記効果を奏し、表面の凹
凸の大きい被着体、厚膜パターンの要求される分野に好
適に使用できるものである。
シワ、折れ、はがれ、エッジフュージョン等の不具合が
発生しない、保存安定性に優れたものである。また、本
発明の感光性エレメントは、上記効果を奏し、表面の凹
凸の大きい被着体、厚膜パターンの要求される分野に好
適に使用できるものである。
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(72)発明者 丹野 清吉
茨城県日立市東町四丁目13番１号 日立
化成工業株式会社 半導体・液晶材料事
業部 開発センタ内
(72)発明者 小林 和夫
茨城県日立市東町四丁目13番１号 日立
化成工業株式会社 生産技術本部内
(72)発明者 角丸 肇
茨城県日立市東町四丁目13番１号 日立
化成工業株式会社 山崎工場内
(56)参考文献 特開 平９−5992（ＪＰ，Ａ)
特開 平９−127686（ＪＰ，Ａ)
特開 平９−90616（ＪＰ，Ａ)
特開 平９−76637（ＪＰ，Ａ)
特開 平５−142777（ＪＰ，Ａ)
特開 平７−134400（ＪＰ，Ａ)
特開 平９−304926（ＪＰ，Ａ)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
G03F 7/11
G03F 7/004
B32B 7/02
H05K 3/06
Claims (5)
- 【請求項１】 基板上に感光性樹脂パターンを形成する
ための、プラスチックフィルムＡと感光性樹脂層とプラ
スチックフィルムＢをこの順で有する感光性エレメント
において、前記プラスチックフィルムＡが、弾性係数５
０ｋｇ／ｍｍ2以上でかつ融点１３０℃以上であり、前
記プラスチックフィルムＡは基板貼り合わせ時に除去さ
れるフィルムであり、前記プラスチックフィルムＢはポ
リエチレンテレフタレートフィルム又はポリプロピレン
フィルムであり、前記感光性樹脂層の厚さが１６０〜３
００μｍである感光性エレメント。 - 【請求項２】 基板上に感光性樹脂パターンを形成する
ための、プラスチックフィルムＡと感光性樹脂層とプラ
スチックフィルムＢをこの順で有する感光性エレメント
において、前記プラスチックフィルムＡが、弾性係数５
０ｋｇ／ｍｍ2以上でかつ融点１３０℃以上であり、前
記プラスチックフィルムＡは基板貼り合わせ時に除去さ
れるフィルムであり、前記感光性樹脂層の厚さが１６０
〜３００μｍである感光性エレメント。 - 【請求項３】 請求項１又は２記載の感光性エレメント
のプラスチックフィルムＡを剥がしながら感光性樹脂層
を基板上に貼り合わせることを特徴とする感光性エレメ
ントの貼り合わせ方法。 - 【請求項４】 保護フィルムと感光性樹脂層と支持体フ
ィルムをこの順で有する感光性エレメントにおいて、保
護フィルムが、弾性係数５０ｋｇ／ｍｍ2以上でかつ融
点１３０℃以上であるプラスチックフィルムであり、前
記感光性樹脂層の厚さが１６０〜３００μｍである感光
性エレメント。 - 【請求項５】 請求項４記載の感光性エレメントの保護
フィルムを剥がしながら感光性樹脂層を基板上に貼り合
わせることを特徴とする感光性エレメントの貼り合わせ
方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19154997A JP3397231B2 (ja) | 1997-07-16 | 1997-07-16 | 感光性エレメント |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19154997A JP3397231B2 (ja) | 1997-07-16 | 1997-07-16 | 感光性エレメント |
Related Child Applications (3)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002158140A Division JP2002278059A (ja) | 2002-05-30 | 2002-05-30 | 感光性エレメント |
| JP2002158115A Division JP2002278058A (ja) | 2002-05-30 | 2002-05-30 | 感光性エレメント |
| JP2002158142A Division JP2002372781A (ja) | 2002-05-30 | 2002-05-30 | 感光性エレメント |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1138631A JPH1138631A (ja) | 1999-02-12 |
| JP3397231B2 true JP3397231B2 (ja) | 2003-04-14 |
Family
ID=16276533
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19154997A Expired - Fee Related JP3397231B2 (ja) | 1997-07-16 | 1997-07-16 | 感光性エレメント |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3397231B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| JP5570275B2 (ja) * | 2010-03-31 | 2014-08-13 | 旭化成イーマテリアルズ株式会社 | ドライフィルムレジストロール |
| JP2017122818A (ja) * | 2016-01-06 | 2017-07-13 | 旭化成株式会社 | 感光性樹脂積層体 |
| WO2019088268A1 (ja) * | 2017-11-06 | 2019-05-09 | 旭化成株式会社 | 感光性樹脂積層体及びレジストパターンの製造方法 |
| TW202518173A (zh) * | 2023-07-20 | 2025-05-01 | 日商旭化成股份有限公司 | 感光性元件、感光性元件捲、光阻圖案之形成方法、及導體圖案之形成方法 |
| WO2026084060A1 (ja) * | 2024-10-18 | 2026-04-23 | 旭化成株式会社 | 感光性樹脂積層体 |
-
1997
- 1997-07-16 JP JP19154997A patent/JP3397231B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH1138631A (ja) | 1999-02-12 |
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