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JP3398686B2 - 半導体記憶装置 - Google Patents
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JP3398686B2 - 半導体記憶装置 - Google Patents

半導体記憶装置

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JP3398686B2
JP3398686B2 JP16681199A JP16681199A JP3398686B2 JP 3398686 B2 JP3398686 B2 JP 3398686B2 JP 16681199 A JP16681199 A JP 16681199A JP 16681199 A JP16681199 A JP 16681199A JP 3398686 B2 JP3398686 B2 JP 3398686B2
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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体記憶装置に
関し、特にリダンダンシ回路を有する半導体記憶装置に
関する。
【0002】
【従来の技術】リダンダンシ回路は、特にダイナミック
RAMのようなメモリの不良セル置換のために用いられ
ている。
【0003】このような不良セルの置換には一般的にノ
ーマルワードとリダンダンシワードの双方が活性化して
しまうマルチワード状態を防ぐために、リダンダンシワ
ード及びノーマルワードのどちらを活性化するかどうか
が確実に決まるまで、ノーマルワードの活性化を遅らせ
ていたが、近年特にアドレスを取り込んでから該当のメ
モリセルに蓄えられているデータを呼び出すまでの時間
の高速化を要求されている。
【0004】従来技術の一例の回路構成図を図8に、そ
の回路のタイミング波形図を図9に示す。
【0005】まず、ROWアドレスバッファ110に外
部アドレス信号A0〜Ajが与えられる。ROWアドレ
スバッファ110は外部アドレスラッチ信号ECLKの
立ち上がりで外部アドレス信号A0〜Ajを取り込み、
その出力であるROWアドレス信号XA0〜XAjはア
ドレス判定回路130及びアドレスプリデコーダ120
へと入力される。アドレス判定回路130は、ROWア
ドレス信号XA0〜XAjと予めプログラムされたアド
レスとをリダンダンシ用ラッチ信号によって比較し、一
致したならば、リダンダンシ判定信号ACは活性状態を
保持したまま(図9AC実線)、不一致ならば非活性状
態(図9AC破線)を示す。リダンダンシ制御回路15
0は、アドレス判定が終了した後ROWアドレスラッチ
信号RCLKの立ち上がりでリダンダンシ判定信号AC
を読み取り、リダンダンシワードを活性化するかどうか
の判定を行う。また、このときアドレスプリデコーダ1
20は、ROWアドレス信号XA0〜XAjをプリデコ
ードした信号を取り込みアドレスプリデコード信号PX
A0〜PXAkをノーマルワードデコーダ160へと出
力する。そして、リダンダンシ制御回路150の出力信
号であるリダンダンシワードイネーブル信号RDC及び
ノーマルワードイネーブル信号XDCに基づいて、ノー
マルワード及びリダンダンシワードのどちらか一方が活
性化される。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】図8及び図9に示した
従来技術では、マルチワードを防ぐために、ノーマルワ
ードを活性化するのかリダンダンシワードを活性化する
のかを確定する時刻まで、ノーマルワードデコーダ16
0及びリダンダンシワードデコーダ150共に非選択状
態としており、この判定が確定してからROWアドレス
ラッチ信号RCLKを立ち上げてノーマルワードデコー
ダ160及びリダンダンシワードデコーダ150のいず
れか一方を選択している。よって、ノーマルワードの活
性化に要する時間は、この判定結果であるノーマルワー
ドイネーブル信号XDCに依存する。ところが、ノーマ
ルワードはリダンダンシワードよりもその本数が多いた
め、ノーマルワードデコーダ160に含まれる論理回路
の段数は、リダンダンシワードデコーダ150に含まれ
るそれの数に比べて非常に多く、このため、図9に示す
ようにノーマルワードの活性化には時間がかかってしま
う。そのために、従来はメモリセルへの高速なアクセス
が妨げられていた。
【0007】したがって、本発明の主な目的は、リダン
ダンシ回路を有する半導体記憶装置において、アドレス
信号に対応したメモリセルのアクセスを高速に行う手段
を提供することである。
【0008】
【課題を解決するための手段】 本発明の半導体記憶装
置は、ノーマルメモリセルと、ノーマルメモリセルを選
択するためのノーマルワードラインと、ノーマルメモリ
セルにおける欠陥救済用に設けられたリダンダンシメモ
リセルと、リダンダンシメモリセルを選択するためのリ
ダンダンシワードラインと、第1のクロック信号に応答
して外部から入力されたアドレス信号をデコードするプ
リデコーダと、プリデコーダより出力されるプリデコー
ド信号に応じてノーマルワードラインを選択駆動するノ
ーマルワードデコーダと、アドレス信号がノーマルメモ
リセルにおける欠陥アドレスかどうかを判定するアドレ
ス判定手段と、リダンダンシワードラインを選択駆動す
るリダンダンシワードデコーダと、第1のクロック信号
とは異なる第2のクロック信号に応答してノーマルワー
ドデコーダ及びリダンダンシワードデコーダのいずれか
一方をアドレス判定手段の出力結果に基づき活性状態と
し他方を非活性状態とする制御手段とを有する半導体記
憶装置において、制御手段は、初期状態においてアドレ
ス判定手段の判定結果に関わらずノーマルワードデコー
ダを活性化状態とするとともにリダンダンシワードデコ
ーダを非活性化状態とし、且つ、第2のクロック信号に
応答してアドレス判定手段の出力結果に基づきアドレス
信号が欠陥アドレスであった場合にノーマルワードデコ
ーダを非活性状態としリダンダンシワードデコーダを活
性状態とすることを特徴とする。
【0009】
【0010】この場合、第1のクロック信号はアドレス
判定回路の結果が出力されるよりも前に変化し、且つ、
第2のクロック信号はノーマルワードデコーダにプリデ
コード信号が供給されるよりも前に変化する。
【0011】そして、第2のクロック信号は、前記第1
のクロック信号を所定時間遅延することによって生成さ
れる。
【0012】
【0013】
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態について図面
を参照して詳細に説明する。
【0014】本発明の第1の実施の形態の回路構成を図
1に示す。本発明による半導体記憶装置は、ROWアド
レスバッファ10と、アドレスプリデコーダ20と、ア
ドレス判定回路30と、リダンダンシ制御回路40と、
リダンダンシワードデコーダ50と、ノーマルワードデ
コーダ60とを有する。
【0015】ROWアドレスバッファ10は外部から与
えられる外部アドレス信号数分あり、外部アドレスラッ
チ信号ECLKの立ち上がりによって外部アドレス信号
A0〜Ajを取り込み、その出力のROWアドレス信号
XA0〜XAjはアドレス判定回路30とアドレスプリ
デコーダ20に供給される。
【0016】アドレスプリデコーダ20は複数のROW
アドレス信号XA0〜XAjをプリデコードし、かつR
OWアドレスラッチ信号RCLKの立ち上がりでプリデ
コードした信号を取り込み、その出力はアドレスプリデ
コード信号PXA0〜PXAkとしてノーマルワードデ
コーダ60に供給される。
【0017】アドレス判定回路30は任意の数が用意さ
れていて、例えば図2に示されるように、それぞれヒュ
ーズなどを用いて不良のあるノーマルメモリセルのアド
レスがプログラムできるようになっており、ROWアド
レス信号XA0〜XAjの表すアドレスとプログラムさ
れたアドレスとの比較をリダンダンシ用アドレスラッチ
信号PXRによって行い、その結果をリダンダンシ判定
信号AC0〜AC3としてリダンダンシ制御回路40に
供給する。例えば、リダンダンシ判定結果が一致ならハ
イレベル、不一致ならロウレベルとしてリダンダンシ制
御回路に取り込まれる。
【0018】リダンダンシ制御回路40は、リダンダン
シ判定ラッチ信号CCLKの立ち上がりでリダンダンシ
判定信号AC0〜AC3を取り込み、リダンダンシワー
ドを活性化するかどうかの判定処理を行う。その結果、
リダンダンシ判定信号AC0〜AC3にそれぞれ対応し
て出力されるリダンダンシワードイネーブル信号RDC
0、RDC1はリダンダンシワードデコーダ50に供給
され、また、他の出力であるノーマルワードディセーブ
ル信号XDESはノーマルワードデコーダ60に供給さ
れる。ここで、特に限定されないが、Red.Word
0及びRed.Word1が図示しないサブワード構成
となっている場合のリダンダンシ制御回路40の回路構
成を図4に示す。リダンダンシ判定信号AC0〜AC3
は、リダンダンシ判定ラッチ信号の立ち上がりでNOR
回路41に取り込まれ、リダンダンシワードイネーブル
信号RDC0及びRDC1を出力する。そして、リダン
ダンシ判定信号AC0〜AC3に対応してさらに別のワ
ードラインが選択駆動される。
【0019】ノーマルワードデコーダ60は、アドレス
プリデコード信号PXA0〜PXAkとノーマルワード
ディセーブル信号XDESによって制御され、入力され
た外部アドレスに対応するノーマルワードを駆動する。
ノーマルワードデコーダ60は、例えば多入力AND回
路61で構成され、ノーマルワードディセーブル信号X
DESがハイレベルである場合に、アドレスプリデコー
ド信号PXA0〜PXAkが所定の組み合わせとなると
所定のノーマルワードを活性化する。なお、図1では簡
単のため、1本のノーマルワードのみを示している。
【0020】また、リダンダンシワードデコーダ50
は、リダンダンシ制御回路40の出力する制御信号RD
C0、RDC1によって制御され、アドレス判定回路3
0にプログラムされたアドレスに対応するリダンダンシ
ワードRed.Word0、Red.Word1を選択
駆動する。リダンダンシメモリセルを使用する場合は、
ノーマルワードディセーブル信号XDESをロウレベル
としノーマルワードデコーダ60を非活性化する。
【0021】以下に、本実施の形態の動作について図1
の回路構成図及び図4のタイミング波形図を用いて説明
する。
【0022】外部アドレスバッファ10は外部アドレス
ラッチ信号ECLKの立ち上がりで外部アドレス信号A
jを取り込み、ROWアドレス信号XA0〜XAjとし
てアドレス判定回路30とアドレスプリデコーダ20に
出力する。
【0023】アドレスプリデコーダ20は、XA0〜X
Ajを予めプリデコードしておき、その結果をROWア
ドレスラッチ信号RCLKの立ち上がりで取り込み、ア
ドレスプリデコード信号PXA0〜PXAkを出力す
る。ここでは、アドレスラッチ信号RCLKが後述のリ
ダンダンシ判定ラッチ信号CCLKに先立って活性化し
ている点に注目されたい。
【0024】ここで、アドレス判定回路30は例えばヒ
ューズを用いてプログラムされたノーマルメモリセルの
不良アドレスとROWアドレス信号XAjとをリダンダ
ンシ用ラッチ信号PXRによって比較を行い、一致した
ならば、リダンダンシ判定信号ACはハイレベルを保持
したまま(図4AC破線)、不一致ならばリダンダンシ
判定信号ACはロウレベルとなる(図4AC実線)。
【0025】リダンダンシ制御回路40では、該回路の
出力信号の初期値を、例えばリダンダンシワードイネー
ブル信号RDCはロウレベル、ノーマルワードディセー
ブル信号XDESはハイレベルとする。リダンダンシ判
定ラッチ信号CCLKの立ち上がりによってリダンダン
シ判定信号ACの値を読み取り、リダンダンシメモリセ
ルを使用するかどうかの判定が行われる。例えばリダン
ダンシメモリセルを使用する場合は、リダンダンシワー
ドイネーブル信号RDCをハイレベル(図4RDC破
線)にすると共に、ノーマルワードディセーブル信号X
DESをロウレベル(図4XDES破線)にする。この
とき、既にアドレスラッチ信号RCLKは活性化されて
いるため、アドレスプリデコーダ20より既にアドレス
プリデコード信号PXA0〜PXAkはノーマルワード
デコーダ60に印加されている。
【0026】ノーマルワードデコーダ60は、初期状態
においてノーマルワードディセーブル信号XDESがハ
イレベル(図4XDES実線)であるため、ノーマルワ
ードディセーブル信号XDESの確定を待たずに、アド
レスプリデコード信号PXA0〜PXAkに基づきノー
マルワードを選択駆動する(図4NormalWord
実線)。リダンダンシワード使用の場合は、ノーマルワ
ードディセーブル信号XDESがロウレベル(図4XD
ES破線)となるためアドレスプリデコード信号PXA
0〜PXAkに関わらず、ノーマルワードは選択駆動さ
れずロウレベルのままである(図4NormalWor
d破線)。
【0027】一方、リダンダンシワードデコーダ50
は、リダンダンシ判定回路40から出力されるリダンダ
ンシワードイネーブル信号RDCに基づき、リダンダン
シワードイネーブル信号RDCがハイレベル(図4RD
C破線)ならリダンダンシワードを選択駆動し(図4R
ed.Word破線)、リダンダンシワードイネーブル
信号RDCがロウレベル(図4RDC実線)ならリダン
ダンシワードを駆動せずロウレベルのままとする(図4
Red.Word実線)。
【0028】ここで、上述したとおり、ノーマルワード
はリダンダンシワードよりもその本数が多いため、ノー
マルワードデコーダ60に含まれる論理回路の段数は、
リダンダンシワードデコーダ50に含まれるそれの数に
比べて非常に多い。そのため、リダンダンシワードイネ
ーブル信号RDCが活性化してからリダンダンシワード
が活性化するまでの時間と、ノーマルワードディセーブ
ル信号XDESが活性状態にあり且つアドレスプリデコ
ード信号PXA0〜PXAkが所定の組み合わせとなっ
てからノーマルワードが活性化するまでの時間との間に
はタイムラグΔt0がある。このタイムラグΔt0をR
OWアドレスラッチ信号RCLKとリダンダンシ判定ラ
ッチ信号CCLKとの時間差Δtと実質的に等しくすれ
ば、ノーマルワードデコーダ60による選択の遅れは解
消される。
【0029】以上のとおり、本実施の形態によれば、ア
ドレスプリデコーダ20とリダンダンシ制御回路40を
独立に制御するため、ROWアドレスラッチ信号RCL
Kはリダンダンシ判定信号ACが確定するか否かに関わ
らず先行して立ち上げ、リダンダンシメモリセルを使用
する場合のみノーマルワードの立ち上げを中止すること
ができ、従来よりもノーマルワードの活性化を早めるこ
とができる。すなわち、ノーマルワードデコーダに含ま
れる多数の論理回路を経由して活性化されるノーマルワ
ードの制御を先行することにより、装置全体の動作の高
速化を図ることができるのである。
【0030】なお、本実施の形態では、当該半導体記憶
装置を分割デコード方式とすることができる。この場合
は、ノーマルワードがアドレスプリデコード信号PXA
0〜PXAkに対応して選択された後、下位アドレス
(例えばXA0、XA1)に対応してそれぞれ選択信号
が選択駆動され、ノーマルワードと選択信号の組み合わ
せによって最終的にメモリセルに接続された所定のサブ
ワードが駆動される。このような分割デコード方式を採
用する場合は、ノーマルワードもしくはリダンダンシワ
ードが活性化してから実際にサブワードが駆動されるま
でにある程度の時間Δt1を要するので、ROWアドレ
スラッチ信号RCLKとリダンダンシ判定ラッチ信号C
CLKとの時間差ΔtをΔt0とΔt1の和と実質的に
等しくすることによって、そのアクセス速度はさらに高
速化される。
【0031】図5は、ノーマルワード制御及びリダンダ
ンシワード制御信号に更に工夫した本発明の第2の実施
の形態を示す回路構成図である。図5においては、図1
の第1の実施の形態と同一の部分には同一の符号を付
し、説明を省略する。
【0032】本発明の第2の実施の形態では、遅延回路
70を用いてROWアドレスラッチ信号RCLKよりΔ
tだけ遅れた信号RCLK′を生成し、リダンダンシ判
定ラッチ信号CCLKの代わりに、RCLK′を用い
る。このことにより不必要に回路を増加させることな
く、且つ、第1の実施の形態と同等の効果を得ることが
可能であることは言うまでもない。
【0033】次に、本発明の第3の実施の形態を表す回
路構成を図6、そのタイミング波形図を図7に示す。本
実施の形態においては、ROWアドレスバッファ10
と、アドレスプリデコーダ20と、アドレス判定回路3
0と、リダンダンシ制御回路40と、リダンダンシワー
ドデコーダ50と、ノーマルワードデコーダ60と、セ
レプレート選択回路80とを有する。
【0034】セルプレート選択回路80は、外部より入
力された外部アドレスAjに対応したセンスアンプ列を
活性化する。例えばアドレスプリデコード信号PXA0
〜PXAk、センスアンプイネーブル信号SE及びディ
セーブル信号XDESの3つの信号を入力とするAND
回路81で構成され、センスアンプ駆動信号SAPNを
ノーマルメモリセルを選択駆動するセンスアンプに供給
する。そして、ノーマルワードより立ち上がりの遅いセ
ンスアンプ駆動信号SAPNを非活性とすることにより
不良メモリセルが活性化されるのを抑える。ここで、ノ
ーマルメモリセルとリダンダンシメモリセルは異なるプ
レートで構成されているため、ノーマルワードラインは
リダンダンシメモリセル使用の判定信号が確定するか否
かに関わらず先行して活性化しておくことができる。つ
まり、リダンダンシメモリセルが使用されない場合は、
先行して活性化したノーマルワードラインに基づきデー
タを読み出すことが可能となるのである。したがって、
本発明の第1の実施の形態では、リダンダンシワード使
用時のノーマルワードの非活性化をノーマルワードデコ
ーダ60において行っているが、これをノーマルワード
立ち上がりよりも更に遅い信号を非活性化することで、
より一層ノーマルワードを活性化する制御を先行してい
るのである。
【0035】さらに、本実施の形態によれば、ディセー
ブル信号XDESのタイミングを後ろにずらしたことに
より他の信号のマージン調整が容易となるだけでなく、
例えばノーマルワードディセーブル信号XDESの活性
化が遅かったとしても、ノーマルワードを活性化させる
のを遅らせる必要はないため、さらなる高速化が期待で
きる。
【0036】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
アドレスに呼応したワードを立ち上げる時間の高速化を
行うことができる。
【0037】その理由は、リダンダンシワードを使用す
るか否かに関わらず、ノーマルワードの制御を先行して
行うため、ノーマルワード又はリダンダンシワードのど
ちらを使用するかの判定が決まるまである特定の信号を
不必要に待たせる必要がなくなるためである。この結
果、従来製品に比べて例えば2ns程度アドレスに呼応
したワードを立ち上げる時間の高速化を行うことができ
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施の形態の回路構成図であ
る。
【図2】本発明の第1の実施の形態のアドレス判定回路
である。
【図3】本発明の第1の実施の形態のリダンダンシ制御
回路である。
【図4】本発明の第1の実施の形態の動作を示すタイミ
ング波形図である。
【図5】本発明の第2の実施の形態の回路構成図であ
る。
【図6】本発明の第3の実施の形態の回路構成図であ
る。
【図7】本発明の第3の実施の形態の動作を示すタイミ
ング波形図である。
【図8】本発明の従来技術の回路構成図である。
【図9】本発明の従来技術の動作を示すタイミング波形
図である。
【符号の説明】
10,110 ROWアドレスバッファ 20,120 アドレスプリデコーダ 30,31,130 アドレス判定回路 32 ヒューズ 40,140 リダンダンシ制御回路 41 NOR回路 42 インバータ 43 AND回路 50,150 リダンダンシワードデコーダ 60,160 ノーマルワードデコーダ 61 AND回路 70 遅延回路 80 セルプレート選択回路 81 AND回路
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平10−172295(JP,A) 特開 平6−150686(JP,A) 特開 平7−220494(JP,A) 特開 平8−227597(JP,A) 特開 平2−21500(JP,A) 特開 平4−143999(JP,A) 特開 平6−325590(JP,A) 特開 昭58−102395(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G11C 29/00

Claims (4)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 ノーマルメモリセルと、前記ノーマルメ
    モリセルを選択するためのノーマルワードラインと、前
    記ノーマルメモリセルにおける欠陥救済用に設けられた
    リダンダンシメモリセルと、前記リダンダンシメモリセ
    ルを選択するためのリダンダンシワードラインと、第1
    のクロック信号に応答して外部から入力されたアドレス
    信号をデコードするプリデコーダと、前記プリデコーダ
    より出力されるプリデコード信号に応じて前記ノーマル
    ワードラインを選択駆動するノーマルワードデコーダ
    と、前記アドレス信号が前記ノーマルメモリセルにおけ
    る欠陥アドレスかどうかを判定するアドレス判定手段
    と、前記リダンダンシワードラインを選択駆動するリダ
    ンダンシワードデコーダと、前記第1のクロック信号と
    は異なる第2のクロック信号に応答して前記ノーマルワ
    ードデコーダ及び前記リダンダンシワードデコーダのい
    ずれか一方を前記アドレス判定手段の出力結果に基づき
    活性状態とし他方を非活性状態とする制御手段とを有す
    る半導体記憶装置において、前記制御手段は、初期状態
    において前記アドレス判定手段の判定結果に関わらず前
    記ノーマルワードデコーダを活性化状態とするとともに
    前記リダンダンシワードデコーダを非活性化状態とし、
    且つ、前記第2のクロック信号に応答して前記アドレス
    判定手段の出力結果に基づき前記アドレス信号が前記欠
    陥アドレスであった場合に前記ノーマルワードデコーダ
    を非活性状態とし前記リダンダンシワードデコーダを活
    性状態とすることを特徴とする半導体記憶装置
  2. 【請求項2】 前記第1のクロック信号は、前記第2の
    クロック信号が活性化する前に活性化することを特徴と
    する請求項1記載の半導体記憶装置。
  3. 【請求項3】 前記第2のクロック信号は、前記第1の
    クロック信号を所定時間遅延することによって生成され
    ることを特徴とする請求項1記載の半導体記憶装置。
  4. 【請求項4】 前記ノーマルメモリセルは、前記アドレ
    ス信号に応じて選択駆動されたノーマルワードライン
    と、前記判定手段の結果が出力された後に前記アドレス
    信号の一部によって更に選択駆動されるワードラインに
    よって選択されることを特徴とする請求項1記載の半導
    体記憶装置。
JP16681199A 1999-06-14 1999-06-14 半導体記憶装置 Expired - Fee Related JP3398686B2 (ja)

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JP16681199A JP3398686B2 (ja) 1999-06-14 1999-06-14 半導体記憶装置
TW089111466A TW509949B (en) 1999-06-14 2000-06-12 Semiconductor memory having a redundancy judgment circuit
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