JP3404627B2

JP3404627B2 - レーザ加工機

Info

Publication number: JP3404627B2
Application number: JP25725599A
Authority: JP
Inventors: 誠谷
Original assignee: Sumitomo Heavy Industries Ltd
Current assignee: Sumitomo Heavy Industries Ltd
Priority date: 1999-09-10
Filing date: 1999-09-10
Publication date: 2003-05-12
Anticipated expiration: 2019-09-10
Also published as: JP2001079679A

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、２つのレーザスポ
ット光を照射可能なツインスポット光学系を備えたレー
ザ加工機の改良に関する。

【０００２】

【従来の技術】レーザビームを小スポットに集光し、金
属等の加工対象物に照射することにより、溶接や切断等
の加工を行なうことができる。例えば、溶接加工につい
て言えば、熱容量や融点等の異なる異種材料の突き合わ
せ溶接においては、それぞれの材料に適したエネルギー
が異なり、高品位の溶接を行なうためには異種材料にそ
れぞれ適合したレーザビームエネルギーを与えることが
望まれる。

【０００３】単一のレーザビームでこのような異種材料
の突き合わせ溶接を実施する場合には、突き合わせ位置
に対してレーザビームの中心位置を偏心させる技術が知
られている。この場合は高精度の照射位置制御が必要と
なり、対処が難しい。また、同一材料の突き合わせ溶接
においても板厚に差がある場合は同様である。

【０００４】これに対し、本出願人は、単一のレーザビ
ームを用いて２つのレーザスポット光を形成することの
できるレーザ加工機を提案（特許第２９０２５５０号）
した。これを、図４を参照して簡単に説明する。図４に
おいて、レーザ発振器で発生されたレーザビームは光フ
ァイバにより伝送され、光ファイバの先端部１０１から
図中下方に出射される。光ファイバの先端部１０１から
発散したレーザ光は、コリメートレンズ１０２によって
コリメートされ、平行光束となる。この平行光束は、直
進して屋根形プリズム１０３に入射する。屋根形プリズ
ム１０３は、図中上側に左右に傾いた対称的入射面を有
する。

【０００５】屋根形プリズム１０３は、図中左半分に入
射したレーザビームは右下方に偏向し、右半分に入射し
たレーザビームは左下方に偏向する。このように、屋根
形プリズム１０３は、入射するレーザビームを２つのビ
ームに分割する役割を果たす。そして、屋根形プリズム
１０３はレーザビームの光軸に直角な方向に可動とされ
ている。その結果、屋根形プリズム１０３の２つの傾斜
面に入射するレーザビームの入射面積比により分割比が
可変となる。分割比が可変であるということは、出力比
率が可変であることを意味する。

【０００６】屋根形プリズム１０３で分割された２本の
レーザビームは、集光レンズ（加工レンズ）１０４によ
って集光され、異なる点にスポット状に集光される。集
光点の位置は、屋根形プリズム１０３の与える偏向（屈
折）角度、屋根形プリズム１０３と集光レンズ１０４と
の間の距離、集光レンズ１０４の焦点距離等によって定
まる。

【０００７】なお、図示していないが、上記の各要素は
筒状のノズルケースに収容されている。特に、屋根形プ
リズム１０３はプリズムセルに保持され、集光レンズ１
０４は集光レンズセルに保持されている。プリズムセル
の下端と集光レンズセルの上端には相係合するねじが切
られており、集光レンズセルをプリズムセルにねじ込む
ことにより、両者は一体化される。更に、回転駆動機構
により、プリズムセルと集光レンズセルとを一体的に回
転させることができるように構成されている。その結
果、屋根形プリズム１０３と集光レンズ１０４とを、入
射レーザビームの光軸を中心として一体的に回転させる
ことにより２つのスポット光の配列角度を任意に設定す
ることができる。ここで言う、２つのスポット光の配列
角度とは、２つのスポット光の中心を結ぶ線分と溶接方
向との間の角度を意味する。溶接の場合、通常、この角
度は９０度である。

【０００８】一方、コリメートレンズ１０２はコリメー
トレンズケースに保持されている。光ファイバの先端部
１０１を保持するファイバケースは、その下端に形成さ
れたねじ部がコリメートレンズケースの上端に形成され
たねじ部にねじ込まれて固定される。

【０００９】上記のような単一のレーザビームから２つ
のスポット光を得るための光学系は、ツインスポット光
学系と呼ばれているが、細部構造は、上述の特許公報に
開示されているので、詳しい説明は省略する。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】ところで、このような
レーザ加工機においては、２つのスポット光の照射域を
観察するための観察光学系が必要となる。このような観
察光学系は通常、ＣＣＤカメラで構成され、集光レンズ
１０４の光軸と同軸になるように、ノズルケースの上部
に設置されるのが好ましい。しかし、その場合、屋根型
プリズム１０３を通して２つのスポット光の照射域を撮
像すると、スポット光を含む照射域の像が２重になって
しまうという問題点がある。

【００１１】そこで、本発明の課題は、２つのスポット
光を照射可能なツインスポット光学系を備えたレーザ加
工機において、２つのスポット光を含む照射域の鮮明な
画像を得ることのできるレーザ加工機を提供することに
ある。

【００１２】

【課題を解決するための手段】本発明によるレーザ加工
機は、２つのレーザスポット光を照射可能なツインスポ
ット光学系を備えており、前記ツインスポット光学系
は、レーザ光を２つに分割するためのプリズムと、分割
されたレーザ光を２つのスポット光として異なる位置に
照射する集光レンズと、ワークに照射された２つのスポ
ット光の照射域を観察するための撮像手段とを含み、前
記プリズムは、前記集光レンズの光軸と同軸となる位置
から外れた位置に配置され、前記撮像手段は、前記集光
レンズの光軸と同軸となるように配置されていることを
特徴とする。

【００１３】本発明によればまた、ツインスポット光学
系が、レーザ発振器からのレーザ光を受光する受入れ部
と、受光したレーザ光を平行光にするための第１のコリ
メートレンズと、該平行光を２つに分割するための屋根
型プリズムと、分割されたレーザ光を２つのスポット光
として異なる位置に照射する集光レンズと、ワークに照
射された２つのスポット光の照射域を観察するための撮
像手段とを含み、前記集光レンズは、筒状のノズルケー
スの下部に収容されており、前記受入れ部、前記第１の
コリメートレンズ、前記屋根型プリズムは前記ノズルケ
ースの側方に連結された第１のガイドケースに収容され
て前記屋根型プリズムにより分割されたビームを前記ノ
ズルケースに収容されたレーザ光全反射ミラーを介して
前記集光レンズに導くようにしており、前記ノズルケー
スの上部には前記集光レンズの光軸と同軸になるように
前記撮像手段が配置され、前記レーザ光全反射ミラーは
可視光を透過するミラーであることにより、前記撮像手
段は、前記レーザ全反射ミラー、前記集光レンズを通し
て前記照射域を撮像することを特徴とするるレーザ加工
機が提供される。

【００１４】前記ノズルケースの側方に更に、前記ワー
クにおける２つのスポット光の照射域を照らすための照
明光導入用の第２のガイドケースを連結し、該第２のガ
イドケースからの照明光を前記ノズルケースに収容され
たハーフミラーを介して前記照射域に照射するようにす
ることが望ましく、この場合、前記撮像手段は、前記ハ
ーフミラー、前記レーザ光全反射ミラー、前記集光レン
ズを通して前記照射域を撮像する。

【００１５】前記屋根型プリズムは、前記第１のガイド
ケースに装着されたプリズムセルによりレーザ光の光軸
を中心に回動可動な状態で保持される。

【００１６】前記第１のガイドケースは前記ノズルケー
スの中心軸に直角な方向に延びており、前記受入れ部は
前記レーザ発振器からのレーザ光を伝送する光ファイバ
の先端部を受入れ可能に構成されており、該受入れ部は
前記光ファイバをその中心軸に直角な方向に位置調整可
能にするための位置調整機構と、前記光ファイバをその
中心軸回りに回転可能にすると共に、中心軸に垂直な面
方向に位置調整可能にするための回転位置調整機構とを
有する。

【００１７】前記第１のガイドケースには前記第１のコ
リメートレンズをレーザ光の光軸方向に位置調整可能に
するためのコリメートレンズ位置調整機構を設けてい
る。

【００１８】前記第２のガイドケースは前記第１のガイ
ドケースよりも上方において前記ノズルケースに連結さ
れて前記ノズルケースの中心軸に直角な方向に延びてお
り、該第２のガイドケース内には第２のコリメートレン
ズを収容している。

【００１９】前記撮像手段がＣＣＤカメラである場合、
前記ノズルケース内には、前記ハーフミラーと前記ＣＣ
Ｄカメラとの間にＣＣＤカメラ用結像レンズが収容さ
れ、前記ノズルケースには前記ＣＣＤカメラ用結像レン
ズをその光軸方向に位置調整可能にするためのピント調
整機構を設けている。

【００２０】

【発明の実施の形態】図１〜図３を参照して、本発明の
実施の形態について説明する。本発明によるレーザ加工
機は、図４で説明したレーザ加工機と原理的に同じであ
り、２つのレーザスポット光を照射可能なツインスポッ
ト光学系を備えている。すなわち、ツインスポット光学
系は、図示しないレーザ発振器からのレーザ光を受光す
る受入れ部１１と、受光したレーザ光を平行光にするた
めのコリメートレンズ１２と、平行光を２つに分割する
ための屋根型プリズム１３と、分割されたレーザ光を２
つのスポット光として異なる位置に照射する集光レンズ
１４とを含む。本形態においては更に、ワークに照射さ
れた２つのスポット光をを含む照射域を撮像して観察す
るための撮像手段としてＣＣＤカメラ１５を備えてい
る。なお、レーザ発振器としては通常、ＹＡＧレーザ発
振器が使用されるが、これに限定されるものではない。

【００２１】本形態によるレーザ加工機の特徴は以下の
点にある。集光レンズ１４は、筒状のノズルケース２０
の下部に設けられている。ノズルケース２０の下端部に
は開口２０ａが設けられ、この開口２０ａには保護ガラ
ス２１が設けられている。受入れ部１１はノズルケース
２０の側方に連結された第１のガイドケース３０の先端
部に構成され、コリメートレンズ１２及び屋根型プリズ
ム１３は、第１のガイドケース３０に収容されている。
第１のガイドケース３０はノズルケース２０の中心軸に
直角な方向に延びており、受入れ部１１はレーザ発振器
からのレーザ光を伝送する光ファイバ３１の先端部を受
入れ可能に構成されている。そして、屋根型プリズム１
３により分割されたレーザ光をノズルケース２０に収容
された全反射ミラー２２を介して９０度角度を変えるこ
とにより集光レンズ１４に導くようにしている。全反射
ミラー２２はレーザ光を全反射させ、可視光を透過する
ミラーである。ノズルケース２０の上部には集光レンズ
１４の光軸と同軸になるようにＣＣＤカメラ１５が配置
されている。

【００２２】第１のガイドケース３０より上方のノズル
ケース２０の側方には更に、ワークにおける２つのスポ
ット光の照射域を照らすための照明光導入用の第２のガ
イドケース４０が連結されている。第２のガイドケース
４０の先端には、図示しない照明用の光源からの光が光
ファイバ４１を通して導入される。第２のガイドケース
４０もノズルケース２０の中心軸に直角な方向に延びて
おり、該第２のガイドケース４０内には第２のコリメー
トレンズ４２を収容している。そして、第２のガイドケ
ース４０からの照明光をノズルケース２０に収容された
ハーフミラー２３を介して照射域に照射するようにして
いる。

【００２３】一方、ノズルケース２０内には、ハーフミ
ラー２３とＣＣＤカメラ１５との間にＣＣＤカメラ用結
像レンズ２４が収容されている。その結果、ＣＣＤカメ
ラ１５は、ＣＣＤカメラ用結像レンズ２４、ハーフミラ
ー２３、全反射ミラー２２、集光レンズ１４を通して照
射域を撮像する。

【００２４】屋根型プリズム１３は、第１のガイドケー
ス３０に装着されたプリズムセル３２によりレーザ光の
光軸を中心に回動可動な状態で保持されている。プリズ
ムセル３２を使用することで、２つのスポット光の配列
角度を調整することができる。すなわち、プリズムセル
３２をレーザ光の光軸回りに回転させることにより、２
つのスポット光の配列角度を希望する向きにあわせるこ
とができる。このようなプリズムセルの構造は周知であ
るので、詳しい説明は省略する。

【００２５】受入れ部１１は、光ファイバ３１をその中
心軸方向に位置調整可能にするためのファイバ位置調整
機構と、光ファイバ３１をその中心軸回りに回転可能に
すると共に、中心軸に垂直な面方向に位置調整可能にす
るためのファイバ回転位置調整機構とを有する。厳密に
言えば、第１のガイドケース３０は、コリメートレンズ
１２、屋根型プリズム１３を収容している筒状体３０−
１と、この筒状体３０−１の先端に組み付けられるスリ
ーブ体３０−２と、このスリーブ体３０−２の外周側に
スライド可能に組み付けられる筒状体３０−３とから成
る。受入れ部１１は、スリーブ体３０−２と筒状体３０
−３とで構成される。

【００２６】受入れ部１１においては、筒状体３０−３
に光ファイバ３１の先端部を挿入してロックするように
している。筒状体３０−３に対する光ファイバ３１のロ
ックは、ファイバロックネジ３３により行われる。ファ
イバ位置調整機構は、筒状体３０−３をスリーブ体３０
−２に対してロックするためのファイバ位置調整用ロッ
クネジ３４を有する。ファイバ位置調整用ロックネジ３
４は、筒状体３０−３に設けられた長穴３０−３ａを通
してスリーブ体３０−２に設けられたネジ穴に螺入され
る。すなわち、第１のコリメートレンズ１２の焦点位置
に光ファイバ３１の先端位置を粗調整した後、ファイバ
位置調整用ロックネジ３４をロックする。このような調
整は通常、製品出荷検査時に行われている。

【００２７】一方、ファイバ回転位置調整機構は、３個
のファイバ回転位置調整用ロックネジ３５を有する。フ
ァイバ回転位置調整用ロックネジ３５は、スリーブ体３
０−２を筒状体３０−１に固定するためのものであり、
筒状体３０−１に設けられたネジ穴に螺入される。すな
わち、スリーブ体３０−２の筒状体３０−１側にはフラ
ンジ部を有し、このフランジ部には周方向に等角度間隔
をおいてファイバ回転位置調整用ロックネジ３５の遊嵌
可能な穴が設けられている。ファイバ回転位置調整用ロ
ックネジ３５は、２つのスポット光のエネル分割バラン
スを微調整する場合に用いられる。本ツインスポット光
学系では、２つのスポット光を形成するために、第１の
コリメートレンズ１２で平行にされたレーザ光を、２分
岐型の屋根型プリズム１３で分割して集光している。２
つのスポット光のエネルギ分割比は、屋根型プリズム１
３に照射される、レーザ光面積比に依存する。従って、
エネルギ分割比を微調整するには、３個のファイバ回転
位置調整用ロックネジ３５を緩め、スリーブ体３０−２
の位置を微調整して光ファイバ３１をレーザ光の光軸回
り方向または光軸に垂直な平面方向に調整すれば良い。

【００２８】第１のガイドケース３０の筒状体３０−１
には、第１のコリメートレンズ１２をレーザ光の光軸方
向に位置調整可能にするためのコリメートレンズ位置調
整機構を設けている。第１のコリメートレンズ１２も筒
状体３０−１に対して軸方向にスライド可能なレンズセ
ルに保持されている。このレンズセルに、筒状体３０−
１に設けられた長穴３０−１ａを通してコリメートレン
ズ位置調整用ネジ３６が螺入されている。コリメートレ
ンズ位置調整用ネジ３６は、２つのスポット光のジャス
トフォーカスを調整するためのロックネジである。第１
のコリメートレンズ１２の位置は、筒状体３０−１に付
された１０等分された目盛り３０−１ｂのほぼ中央に調
整されており、ワークディスタンスを変化させることな
くスポット光をディフォーカスする場合に用いる。な
お、２つのスポット光の間隔も第１のコリメートレンズ
１２の位置を変化させることにより微小量変化する。１
０等分の目盛りに対して、光ファイバ３１側を０とし、
屋根型プリズム１３側を１０とすると、目盛りを０に近
づけた場合、スポット光の間隔は短くなる。

【００２９】ＣＣＤカメラ用結像レンズ２４はノイズ光
除去用のフィルタ２５と共に、ノズルケース２０内を中
心軸方向にスライド可能なレンズセル２６に保持されて
いる。レンズセル２６はＣＣＤカメラピント調整用ロッ
クネジ２７と共にＣＣＤカメラ用結像レンズ２４をその
光軸方向に位置調整可能にするためのピント調整機構を
構成する。すなわち、ＣＣＤカメラピント調整用ロック
ネジ２７は、所定の位置に位置合せされたレンズセル２
６をノズルケース２０に固定するためのものである。Ｃ
ＣＤカメラピント調整用ロックネジ２７は、所定のワー
クディスタンスの地点にワークを置いた時、ＣＣＤカメ
ラ１５のピントが最適になるよう設定した上で締め付け
を行う。このようなピント調整も通常、出荷検査時に行
われている。

【００３０】ＣＣＤカメラ位置調整用ロックネジ２８
は、ＣＣＤカメラ１５に接続されるＴＶモニタ画面の中
央にレーザ加工点が位置するようにＣＣＤカメラ１５の
位置を調整するためのものである。すなわち、４箇所の
ＣＣＤカメラ位置調整用ロックネジ２８を動かし、ＣＣ
Ｄカメラ１５の位置を調整する。また、ワークの天地と
ＴＶモニタ画面の天地を一致させる場合、ＣＣＤカメラ
１５の回転位置を調整することで実現できる。

【００３１】以上のような構成において、光学系の諸元
を以下のようにするものとする。光ファイバ３１のコア
径φＤ（μｍ）、第１のコリメートレンズ１２の焦点距
離ｆ ₁（ｍｍ）、集光レンズ１４の焦点距離ｆ₂（ｍ
ｍ）、屋根型プリズム１３の偏光角度θ（図４参照）、
２つのスポット光の中心の間隔ｄ（ｍｍ）、屋根型プリ
ズム１３の屈折率ｎとすると、スポット光の径φＤ′（μｍ）＝φＤ×ｆ₂／ｆ₁ ２つのスポット光の中心の間隔ｄ＝２・ｆ₂・ｔａｎδ
（但し、δは（ｎ−１）・θにほぼ等しいものとする）により決定される。

【００３２】２つのスポット光の配列角度を調整する場
合、屋根型プリズム１３を保持しているプリズムセル３
２を回転させ、希望する配列角度に合せることができ
る。また、２つのスポット光のエネルギ分割バランスを
微調整する場合、屋根型プリズム１３に照射されるレー
ザ光面積比に依存するため、光ファイバ３１をファイバ
回転位置調整機構により光軸回り方向又は光軸に垂直な
面方向に微少量だけ調整する。

【００３３】同軸照明光学系は、第２のガイドケース４
０における第２のコリメートレンズ４２と、集光レンズ
１４により決まる。

【００３４】ＣＣＤカメラ１５の同軸観察光学系は、集
光レンズ１４、ＣＣＤカメラ用結像レンズ２４、ＣＣＤ
カメラ１５の構成により決定される。この場合、ピント
調整機構によりレーザ加工点の位置に結像点が一致する
ようにＣＣＤカメラ用結像レンズ２４の位置を調整す
る。

【００３５】以上のようにして、光ファイバ３１から出
射されたレーザ光は、第１のコリメートレンズ１２、屋
根型プリズム１３、集光レンズ１４を通過することによ
り、２つのスポット光として同時にワークに照射され
る。ワークには集光レンズ１４を通して同軸照明光が照
射される。また、集光レンズ１４を通してワークを、同
軸上に設置されたＣＣＤカメラ１５による観察光学系で
観察して、位置決めを行う。その際、同軸観察光学系の
光路上に屋根型プリズム１３が存在しない構造であるこ
とから、ＣＣＤカメラ１５への像が２重に結像すること
はない。

【００３６】

【発明の効果】本発明によれば、次のような効果が得ら
れる。

【００３７】（１）２つのスポット光の照射域を、ＣＣ
Ｄカメラにより同時観察でき、２つのスポット光を、Ｔ
Ｖモニタ上のクロスラインにて確認することができる。

【００３８】（２）同軸照明光学系により２つのスポッ
ト光との同軸落射照明を実現することができ、ワーク付
近に照明光学系を配置しなくても良いので、ワーク付近
の空間を有効活用できる。

【００３９】（３）２つのスポット光を、一定間隔で、
等分にエネルギ分割されたツインスポット光として照射
できる。

【００４０】（４）コリメートレンズ位置調整機構を備
えていることにより、ＴＶモニタ画面の焦点を変えるこ
となく、スポット光のディフォーカス調整を行うことが
できる。

【００４１】（５）２つのスポット光を、ＣＣＤカメラ
による同軸観察光学系により、２重にぼけることなくＴ
Ｖモニタ上にて観察しながら、レーザ加工を実現するこ
とができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明によるレーザ加工機の構成を示す縦断面
図である。

【図２】図１に示されたノズルケース内の構造を図１の
左側から見た図である。

【図３】本発明によるレーザ加工機の外観を図１と同じ
方向から見た図である。

【図４】従来のツインスポット光学系の概略構成を示し
た図である。

【符号の説明】

１１受入れ部１２第１のコリメートレンズ１３屋根型プリズム１４集光レンズ１５ＣＣＤカメラ２０ノズルケース２１保護ガラス２２全反射ミラー２３ハーフミラー２４ＣＣＤカメラ用結像レンズ２５フィルタ２６レンズセル２７ＣＣＤカメラピント調整用ロックネジ２８ＣＣＤカメラ位置調整用ロックネジ３０第１のガイドケース３１レーザ光用の光ファイバ３２プリズムセル３３ファイバロックネジ３４ファイバ位置調整用ロックネジ３５ファイバ回転位置調整用ロックネジ３６コリメートレンズ位置調整用ネジ４０第２のガイドケース４１照明光用の光ファイバ４２第２のコリメートレンズ

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】２つのレーザスポット光を照射可能なツ
インスポット光学系を備えたレーザ加工機において、前記ツインスポット光学系は、レーザ光を２つに分割す
るためのプリズムと、分割されたレーザ光を２つのスポ
ット光として異なる位置に照射する集光レンズと、ワー
クに照射された２つのスポット光の照射域を観察するた
めの撮像手段とを含み、前記プリズムは、前記集光レンズの光軸と同軸となる位
置から外れた位置に配置され、前記撮像手段は、前記集光レンズの光軸と同軸となるよ
うに配置されていることを特徴とするレーザ加工機。
【請求項２】２つのレーザスポット光を照射可能なツ
インスポット光学系を備えたレーザ加工機において、前記ツインスポット光学系は、レーザ発振器からのレー
ザ光を受光する受入れ部と、受光したレーザ光を平行光
にするための第１のコリメートレンズと、該平行光を２
つに分割するための屋根型プリズムと、分割されたレー
ザ光を２つのスポット光として異なる位置に照射する集
光レンズと、ワークに照射された２つのスポット光の照
射域を観察するための撮像手段とを含み、前記集光レンズは、筒状のノズルケースの下部に収容さ
れており、前記受入れ部、前記第１のコリメートレンズ、前記屋根
型プリズムは前記ノズルケースの側方に連結された第１
のガイドケースに収容されて前記屋根型プリズムにより
分割されたビームを前記ノズルケースに収容されたレー
ザ光全反射ミラーを介して前記集光レンズに導くように
しており、前記ノズルケースの上部には前記集光レンズの光軸と同
軸になるように前記撮像手段が配置され、前記レーザ光全反射ミラーは可視光を透過するミラーで
あることにより、前記撮像手段は、前記レーザ全反射ミ
ラー、前記集光レンズを通して前記照射域を撮像するこ
とを特徴とするレーザ加工機。
【請求項３】請求項２記載のレーザ加工機において、
前記ノズルケースの側方には更に、前記ワークにおける
２つのスポット光の照射域を照らすための照明光導入用
の第２のガイドケースが連結され、該第２のガイドケー
スからの照明光を前記ノズルケースに収容されたハーフ
ミラーを介して前記照射域に照射するようにし、前記撮
像手段は、前記ハーフミラー、前記レーザ光全反射ミラ
ー、前記集光レンズを通して前記照射域を撮像すること
を特徴とするレーザ加工機。
【請求項４】請求項２あるいは３記載のレーザ加工機
において、前記屋根型プリズムは、前記第１のガイドケ
ースに装着されたプリズムセルによりレーザ光の光軸を
中心に回動可動な状態で保持されていることを特徴とす
るレーザ加工機。
【請求項５】請求項４記載のレーザ加工機において、
前記第１のガイドケースは前記ノズルケースの中心軸に
直角な方向に延びており、前記受入れ部は前記レーザ発
振器からのレーザ光を伝送する光ファイバの先端部を受
け入れ可能に構成されており、該受入れ部は前記光ファ
イバをその中心軸方向に位置調整可能にするための位置
調整機構と、前記光ファイバをその中心軸回りに回転可
能にすると共に、中心軸に垂直な面方向に位置調整可能
にするための回転位置調整機構とを有することを特徴と
するレーザ加工機。
【請求項６】請求項５記載のレーザ加工機において、
前記第１のガイドケースには前記第１のコリメートレン
ズをレーザ光の光軸方向に位置調整可能にするためのコ
リメートレンズ位置調整機構を設けていることを特徴と
するレーザ加工機。
【請求項７】請求項４記載のレーザ加工機において、
前記第２のガイドケースは前記第１のガイドケースより
も上方において前記ノズルケースに連結されて前記ノズ
ルケースの中心軸に直角な方向に延びており、該第２の
ガイドケース内には第２のコリメートレンズを収容して
いることを特徴とするレーザ加工機。
【請求項８】請求項３記載のレーザ加工機において、
前記撮像手段はＣＣＤカメラであり、前記ノズルケース
内には、前記ハーフミラーと前記ＣＣＤカメラとの間に
ＣＣＤカメラ用結像レンズが収容されており、前記ノズ
ルケースには前記ＣＣＤカメラ用結像レンズをその光軸
方向に位置調整可能にするためのピント調整機構を設け
ていることを特徴とするレーザ加工機。