JP3428772B2

JP3428772B2 - 表面検査装置

Info

Publication number: JP3428772B2
Application number: JP09075195A
Authority: JP
Inventors: 孝宏渡邊
Original assignee: Ricoh Co Ltd
Current assignee: Ricoh Co Ltd
Priority date: 1995-04-17
Filing date: 1995-04-17
Publication date: 2003-07-22
Anticipated expiration: 2018-07-22
Also published as: JPH08285558A

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は表面検査装置に関す
る。この発明は光導電性の感光体の表面検査や印刷物の
評価等に利用できる。

【０００２】

【従来の技術】物体の表面に光を照射し、物体表面によ
る反射光の強度を測定することにより物体表面に存在す
る欠陥を検出する表面検査装置は、従来から種々のもの
が提案されている。

【０００３】また、上記反射光に基づき画像処理を行う
ことにより欠陥の大きさ等、不具合の程度を判断するこ
ともできる。

【０００４】しかし従来の表面検査では、検査対象とな
る欠陥の種類が、大きな面積の凹凸欠陥とか、表面の変
形状況といった特定の種類に限られている。

【０００５】被検査体の表面に発生する欠陥の種類が複
数あるような場合には、欠陥の種類により、その不具合
の判断基準も異なるのが普通であり、このような場合に
は、従来のように特定の欠陥のみに就いての検査のみで
は、表面状態の適正な評価を行うことはできない。

【０００６】図１１は、従来から知られた表面検査装置
の１例を示している。被検査体１０１は円筒形状であっ
て、図示の如く軸の回りに回転させられる。

【０００７】被検査体１０１の側方には、（ｂ）に示す
ようにライン照明装置１０３が、被検査体１０１の母線
に平行に、且つ被検査体１０１の法線面（被検査体１０
１の表面の法線を、上記表面の母線方向へ連ねて得られ
る面。図１（ｂ）中に鎖線で示す）に対して角：φだけ
傾くように配備され、（ａ）に示すように、被検査体１
０１の「母線方向に平行な帯状部分」に光を照射するよ
うになっている。

【０００８】照射部からの反射光は、（ｂ）に示すよう
に上記法線面に対して角：θだけ傾けて配備された１次
元ＣＣＤカメラ１０２で強度を検出され、検出信号に変
換されて画像処理装置へ送られる。

【０００９】図１２には、被検査体における代表的な欠
陥を４種示す。図１２において符号３０１で示す被検査
体は「光導電性の感光体」で、表面に光導電層としての
顔料の層が塗布されている。被検査体３０１は、本来は
所定の領域に「顔料が均一に塗布されている」べきもの
である。

【００１０】（ａ）に示すのは、顔料が均一に塗布され
た領域３０２に対し、顔料が抜けた領域３０３が存在す
る場合である。この形態の欠陥を欠陥の種類上「欠陥：
Ａ」と称する。

【００１１】（ｂ）に示すのは、所定の領域３０２Ａは
顔料を均一に塗布されているが、表面に反射率の高い突
起状の異物３０４が付着している場合である。この形態
の欠陥を欠陥の種類上「欠陥：Ｂ」と称する。

【００１２】（ｃ）に示すのは、均一に顔料が塗布され
た領域３０２に対し、顔料が凝集した領域３０５が存在
する場合である。この形態の欠陥を欠陥の種類上「欠
陥：Ｃ」と称する。

【００１３】（ｄ）に示すのは、所定の領域３０２Ａは
顔料が均一に塗布されているが、表面に光吸収性の高い
異物３０６が付着している場合である。この形態の欠陥
を欠陥の種類上「欠陥：Ｄ」と称する。

【００１４】一般に、欠陥：Ａでは欠陥となる「顔料の
抜けた部分３０２」で、反射光強度が大きくなる。また
欠陥：Ｂでは欠陥となる「異物３０４の付着部分」で反
射光強度が大きくなる。

【００１５】また、欠陥：Ｃでは欠陥となる「顔料の凝
集した領域３０５」で反射光強度が小さくなり、欠陥：
Ｄでは欠陥となる「異物３０６の付着部」で反射光強度
が小さくなる。

【００１６】被検査体３０１が上記のように「電子写真
用の光導電性の感光体」で、欠陥：Ａ，Ｂの２種類の欠
陥が存在する場合を想定し、表面のＯＫ(良)／ＮＧ(非
良)を判定する特徴量として「欠陥領域の輝度の分散
値」と「欠陥部分の画素数」の２つを採用すると、欠陥
Ａ，Ｂでは欠陥領域からの反射光の強度が大きくなるの
で上記「特徴量による空間」において、２種の欠陥：Ａ，
Ｂの主たる分布領域は図１３に示すように互いに重なり
合うことが考えられる。

【００１７】被検査体が感光体である場合、欠陥：Ａと
Ｂとでは、欠陥：Ｂの方が悪影響が大きいので、欠陥：
Ｂの「ＯＫ／ＮＧの境界Ｂ（破線）」は、欠陥：Ａに対
する「ＯＫ／ＮＧの境界Ａ（鎖線）」に比して厳しく設
定されている。

【００１８】このような場合、欠陥：Ａに対するＯＫ領
域と欠陥：Ｂに対するＮＧ領域とが重なりあっているた
め、欠陥：Ａと欠陥：Ｂとを共通の判定基準で「ＯＫ／
ＮＧ判定」することは困難である。

【００１９】

【発明が解決しようとする課題】この発明は上述した事
情に鑑みてなされたものであって、複数種類の欠陥の存
在を前提とし、欠陥の種類に応じて、その不具合の程度
を適正に評価できる新規な表面検査装置の提供を目的と
する。

【００２０】

【課題を解決するための手段】この発明の表面検査装置
は「被検査体の検査すべき表面に光照射手段により検査
用の光を照射し、上記表面からの反射光の強度を光検出
手段により検出し、検出信号の解析により上記表面の欠
陥を検出する装置」であって、識別手段と、判定手段と
を有する。

【００２１】「識別手段」は、欠陥の種類を識別する手
段である。例えば、欠陥の種類として前述の欠陥：Ａ〜
Ｄの４種が存在するのであれば、欠陥が存在するとき、
その欠陥が上記４種のうちの何れであるかが識別され
る。欠陥の種類の識別は適当な画像処理、例えば、従来
から知られた「パターンマッチング法」や「ニューラル
ネットを利用した識別法」を利用して行うことができ
る。

【００２２】「判定手段」は、識別手段が識別した欠陥
の種類ごとに、欠陥の不具合の度合いを判定する手段で
ある。

【００２３】請求項１記載の表面検査装置は、「識別手
段により識別された欠陥の種類に応じ、被検査体の表面
に照射する光の波長を変化させる照射波長変更手段」を
有する。請求項２記載の表面検査装置は、「識別手段に
より識別された欠陥の種類に応じ、被検査体の表面によ
る反射光のうちの所定の波長領域の光を検出するべく、
検出光の波長領域を選択する波長選択手段」を有する。

【００２４】光照射手段は「識別手段により識別された
欠陥の種類に応じ、被検査体の表面に照射する光の照射
角を変更する光照射角変更手段」を有することができる
（請求項３）。光検出手段は「識別手段により識別され
た欠陥の種類に応じ、被検査体の表面による反射光の強
度を検出する検出角を変更する光検出角変更手段」を有
することができる（請求項４）。

【００２５】また、光照射手段が「識別手段により識別
された欠陥の種類に応じ、被検査体の表面に照射する光
の波長を変化させる照射波長変更手段」を有し、同時に
光検出手段が「識別手段により識別された欠陥の種類に
応じ、被検査体の表面による反射光のうちの所定の波長
領域の光を検出するべく検出光の波長領域を選択する波
長選択手段」を有することができる（請求項５）。

【００２６】光検出手段はまた「識別手段により識別さ
れた欠陥の種類に応じ、被検査体の表面による反射光の
強度を検出する空間分解能を変更する空間分解能変更手
段」を有することができる。

【００２７】さらに、光検出手段は「被検査体の表面か
らの蛍光の強度を検出する蛍光強度検出手段」を有する
ことができる。

【００２８】

【作用】上記の如く、この発明では、被検査体の表面の
欠陥が複数種類であることを前提とする。欠陥が存在す
ると「どの種類の欠陥」であるかが識別手段により識別
され、識別された欠陥種類において「どの程度の不具合
か」が判定手段により判定される。

【００２９】

【実施例】図１は、この発明の基本的部分を説明するた
めの図である。（ａ）は上記特徴部分のブロック図、
（ｂ）は（ａ）の部分が行う処理のフロー図である。

【００３０】被検査体は、例えば図１１に即して先に説
明した「光導電性の感光体」でドラム状であり、図１１
の場合のように所定方向へ等速回転される。表面に存在
する欠陥としては前述の欠陥：Ａ，Ｂが想定されてい
る。光照射手段による被検査体への光の照射、光検出手
段による反射光の強度の検出は図１１に即して説明した
のと同様である。

【００３１】図１（ａ）にブロック図として示すよう
に、光検出手段からの「検出信号」である画像データは
「識別手段」である欠陥識別装置８０１に入力される
（（ｂ）の「画像入力」）。

【００３２】欠陥識別装置８０１は「欠陥に対応する画
像データ異常」があるとき、パターンマッチングやニュ
ーラルネットによる画像処理方法で、欠陥の種類が欠
陥：Ａであるか欠陥：Ｂであるかを識別する（（ｂ）の
「欠陥種類識別」）。

【００３３】欠陥の種類が識別されると、識別された欠
陥に応じて欠陥：Ａ判定装置８０２もしくは欠陥：Ｂ判
定装置８０３により「欠陥の不具合の程度」が判定さ
れ、ＯＫ／ＮＧの判定がなされる（（ｂ）の欠陥Ａ判
定、欠陥：Ｂ判定）。

【００３４】欠陥：Ａ判定装置８０２および欠陥：Ｂ判
定装置８０３は「判定手段」を構成する。判定手段によ
りＮＧが判定されたときは、被検査体は欠陥品としてリ
ジェクトされる。

【００３５】前述の欠陥：ＡとＢとは、これらが存在す
ると欠陥部分で被検査体表面からの反射光の強度が大き
くなるが、この場合、表面形状そのものに変化のない欠
陥：Ａと、表面形状に変化のある欠陥：Ｂとでは主たる
反射光の方向が異なることが考えられる。

【００３６】従って、識別手段により欠陥の種類が特定
された段階で、欠陥の種類に応じ、反射光の強度がより
大きくなるような方向から光照射を行うことにより不具
合の度合いの判定をより正確に行うことが可能になる。

【００３７】図２は、請求項３記載の発明の特徴の一端
を示している。符号１０１と符号１０２とは、図１１に
おけると同様、被検査体および光検出手段（１次元ＣＣ
Ｄカメラ）を示している。

【００３８】光検出手段１０２は、被検査体１０１の法
線面に対して角：θ傾けて配備されている。光照射手段
は２つのライン照明装置１０３Ａ，１０３Ｂを有し、こ
れらはそれぞれ、被検査体１０１の法線面に対して角：
φ，ψだけ傾けて配備されている。角：φ，ψは「光照
射角」である。

【００３９】角：φは、被検査体１０１の欠陥が欠陥：
Ａ，Ｂの何れであっても、欠陥部からの反射光を光検出
手段１０２で検出できるように設定され、角：ψは、被
検査体１０１の欠陥が欠陥：Ｂである場合に、欠陥部か
らの反射光の強度が、欠陥の程度に応じて光検出手段１
０２の方向でより有効に変化するように設定される。

【００４０】欠陥検査に際しては、先ずライン照明装置
１０３Ａのみを点灯し、光検出手段１０２からの画像信
号を図１（ａ）の欠陥識別装置８０１に入力させて欠陥
の識別を行う。

【００４１】識別の結果が欠陥：Ａであるときはそのま
ま「ＯＫ／ＮＧの判定」を図１の欠陥：Ａ判定装置８０
２で実行する。識別の結果が欠陥：Ｂであるときにはラ
イン照明装置１０３Ａを消灯してライン照明装置１０３
Ｂを点灯し、「ＯＫ／ＮＧの判定」を図１の欠陥：Ｂ判
定装置８０３で実行する。

【００４２】ライン照明装置１０３Ａ，１０３Ｂの点灯
を切り替える点灯切り代え手段（図示されず。装置の制
御部（コンピュータ等）に含まれる）は、「光照射角変
更手段」を構成する。

【００４３】図３は、請求項４記載の発明の特徴の一端
を示している。符号１０１および符号１０３は、図１１
におけると同様、被検査体および光検出手段としてのラ
イン照明装置を示している。

【００４４】光検出手段は２つの１次元ＣＣＤカメラ１
０２Ａ，１０２Ｂを有し、これらは被検査体１０１の法
線面に対して角：θ，η傾けて配備されている。角：
θ，ηは「光検出角」である。光照射手段であるライン
照明装置１０３は、被検査体１０１の法線面に対して、
角：φだけ傾けて配備されている。

【００４５】上記角：θは、被検査体１０１の欠陥が欠
陥：Ａ，Ｂ何れであっても、欠陥部からの反射光の強度
を１次元ＣＣＤカメラ１０２Ａで良好に検出できるよう
に設定され、角：ηは、被検査体１０１の欠陥が欠陥：
Ｂである場合に、欠陥部からの反射光の強度が、欠陥の
程度に応じて１次元ＣＣＤカメラ１０２Ｂの方向でより
有効に変化するように設定される。

【００４６】欠陥検査に際しては、ライン照明装置１０
３を点灯し、１次元ＣＣＤカメラ１０２Ａからの画像信
号を図１（ａ）の欠陥識別装置８０１に入力させて欠陥
の識別を行う。

【００４７】識別の結果が欠陥：Ａであるときはそのま
ま「ＯＫ／ＮＧの判定」を図１の欠陥：Ａ判定装置８０
２で実行する。識別の結果が欠陥：Ｂであるときには、
１次元ＣＣＤカメラ１０２Ｂの出力に基づき「ＯＫ／Ｎ
Ｇの判定」を図１の欠陥：Ｂ判定装置８０３で実行す
る。

【００４８】１次元ＣＣＤカメラ１０２Ａ，１０２Ｂの
出力を切り替える出力切り代え手段（図示されず、装置
の制御部（コンピュータ等）に含まれる）は「光検出角
変更手段」を構成する。

【００４９】図２に示す例と図３に示す例とを組み合わ
せてもよい。即ち、２以上のライン照明装置と２以上の
１次元ＣＣＤカメラとを組み合わせ、欠陥の種類に応じ
て、最適の光照射角および光検出角を組み合わせるよう
にしてもよい。

【００５０】上には、被検査体１０１における欠陥の種
類が、欠陥：Ａ，Ｂの２種である場合の実施例に付き説
明した。

【００５１】被検査体１０１として「光導電性の感光
体」を考えるとき、感光層として塗布される顔料には
「反射の分光特性」があり、顔料が均一に塗布されてい
れば反射光の分光特性は、例えば図４の曲線ａの如きも
のである。図４の縦軸の「Ｉ」は反射光強度、横軸の
「λ」は波長である。

【００５２】この場合において、顔料の塗布が凝集して
いる前記欠陥：Ｃ（図２（ｃ））の場合は、反射光の分
光特性は図４の曲線ｂ（曲線ａに１より小さい定数をか
けた形状）の如くである。

【００５３】欠陥：Ｄの場合は、顔料の塗布は均一で表
面に「光吸収性の高い異物」が付着している（図２
（ｄ））ので、反射光の分光特性は、例えば図４の曲線
ｃの如く曲線ａ，ｂとは形状の異なるものになる。

【００５４】図５は、請求項１記載の発明の１実施例を
説明するための図である。符号１２０１で示す被検査体
は、例えば光導電性の「感光体ベルト」等であり、欠陥
の種類としては欠陥：Ｃおよび欠陥：Ｄ（光吸収性の高
い異物による分光反射特性は予め知られている）の存在
が前提となっている。

【００５５】符号１２０２で示す「光検出手段」はＣＣ
Ｄカメラである。符号１２０３は光照射手段のランプを
示す。ランプ１２０３は「白色光」を被検査体１２０１
の表面に照射し、表面による反射光の強度を光検出手段
１２０２により検出信号としての「画像データ」に変換
し、識別手段に入力させて欠陥の種類の識別を行う。

【００５６】先ず、図５（ａ）に示すようにランプ１２
０３からの白色光を直接被検査体１２０１の表面に照射
し、その反射光を光検出手段１２０２により受光し、検
出信号を識別手段に送る。

【００５７】識別手段では上記反射光の強度を分光分析
し、分光特性が図４の曲線ａ，ｂ，ｃの何れに該当する
かにより、欠陥が無い（曲線ａ）、欠陥：Ｃ（曲線
ｂ）、欠陥：Ｄ（曲線ｃ）の識別を行う。

【００５８】欠陥の種類が欠陥：Ｃであるときには、欠
陥：Ｃ判定装置（図示されず）により欠陥：Ｃの不具合
の度合いを判定する。この不具合は、例えば分光特性曲
線ｂの最大値が小さいほど不具合の程度が著しいので、
上記最大値が所定の閾値を越えて小さくなったら「Ｎ
Ｇ」とする。

【００５９】欠陥の種類が欠陥：Ｄであると識別された
ら、図５（ｂ）に示すようにフィルター１２０４を介し
て被検査体１２０１の光照射を行い、その反射光を光検
出手段１２０２により検出し、欠陥：Ｄ判定装置（図示
されず）により、その不具合の度合いを判定する。

【００６０】図６を参照すると、破線は図４における曲
線ａとｂの差（ａ−ｂ）、鎖線は曲線ａとｃの差（ａ−
ｃ）であり、（ａ−ｂ）と（ａ−ｃ）とは、波長λ_cを
境にして大小関係が反転し、その差も大きくなる。

【００６１】そこで、フィルター１２０４として図６の
曲線ｄの如く「波長λ_c以上の波長の光のみを透過させ
る分光透過率を持ったもの」を用いると、光吸収性の高
い異物の付着による反射光強度の変化のみを選択的に検
出できるので、欠陥：Ｄの不具合の程度を確実に判定で
きる。

【００６２】逆に、波長λ_c以下の波長の光のみを透過
させる分光透過率を持ったフィルターを用いると、顔料
の濃淡による反射光強度の変化により欠陥：Ｃの不具合
の程度を判定できる。

【００６３】フィルター１２０４と、これを照射光の光
路中に出し入れする図示されない移動手段とは「照射波
長変更手段」を構成し、これらとランプ１２０３とが光
照射手段を構成する。

【００６４】図７は、請求項２記載の発明の１実施例を
特徴部分のみ示す図である。混同の虞れは無いと想われ
るので、図５におけると同一のものに就いては図５にお
けると同一の符号を付した。

【００６５】この実施例では、光検出手段が、ＣＣＤカ
メラ１２０２およびフィルター１２０４と、このフィル
ター１２０４を検出光光路中に出し入れする移動手段
（図示されず）とを有し、フィルター１２０４と上記移
動手段とが「波長選択手段」を構成する。

【００６６】表面検査に際しては、フィルター１２０４
を検出光の光路から退避させ、被検査体１２０１からの
反射光を直接にＣＣＤカメラ１２０２に入射させて、そ
の出力に基づき識別手段で欠陥の識別を行う。識別の結
果が欠陥：Ｃであるときはそのまま、欠陥：Ｃの不具合
の程度を判定して、ＯＫ／ＮＧ判定を行う。識別の結果
が欠陥：Ｄであるときは、図のようにフィルター１２０
４を介して反射光の強度の検出を行い、欠陥：Ｄの不具
合の程度を判定しＯＫ／ＮＧ判定を行う。

【００６７】図５，７に示す実施例では、欠陥：Ｃ，Ｄ
に応じて反射光の分光特性が互いに異なる（図４の曲線
ｂ，ｃ）場合であったが、さらに別の欠陥：Ｅ，Ｆ等が
存在する場合は、請求項５記載の発明が有効である。

【００６８】図８は、請求項５記載の発明の１実施例を
要部のみ示している。混同の虞れがないと想われるもの
については図５，７におけると同一の符号を付してい
る。

【００６９】光照射手段はランプ１２０３から被検査体
１２０１に照射される光の波長を変化させるフィルター
１２０５（照射波長変更手段の要部を構成する）を有
し、光検出手段は、ＣＣＤカメラ１２０２に入射する検
出光の波長領域を選択するフィルター１２０６（波長選
択手段の要部を構成する：フィルター１２０５とは分光
透過特性が異なる）を有している。

【００７０】検査に際しては、フィルター１２０５，１
２０６を用いずに識別を行い、例えば欠陥：Ｃ，Ｄが存
在するかを調べ、欠陥：Ｃが存在するときはそのまま判
定を行い、欠陥：Ｄが存在するときは、フィルター１２
０５を用い判定を行う。

【００７１】次にフィルター１２０６を用いて欠陥：
Ｅ，Ｆが存在するか否かを識別し、欠陥：Ｅが存在する
ときはそのまま判定を行い、欠陥：Ｆが存在するときは
フィルター１２０５をフィルター１２０６と共に用いて
判定を行う。

【００７２】このようにして４種の欠陥を識別・判定で
きる。光照射手段側および光検出手段側のフィルターを
更に増やして交換可能にすれば、さらに多様な欠陥の識
別・判定を有効に行うことができる。

【００７３】図９は、表面検査装置の別例を特徴部分の
み略示している。

【００７４】光照射手段１２０３からの光を被検査体１
２０１の表面に照射し、その反射光を光検出手段により
検出する。光検出手段はＣＣＤカメラ１２０２と、これ
を所定方向へ移動可能に支持する支持体１２１０と、Ｃ
ＣＤカメラ１２０２を支持体１２１０に沿って変位させ
る変位手段（図示されず）を有する。この変位手段と支
持体１２１０は「空間分解能変更手段」を構成する。

【００７５】被検査体１２０１が光導電性の感光体であ
る場合、被検査体表面の欠陥が小さいときには複写画像
への影響は少なく、画質への影響も無視できるが、欠陥
がある程度大きくなると画質への影響が顕著になる。従
って光導電性の感光体のような被検査体では「欠陥の大
きさ」を精度良く計測することが重要であり、できるだ
け高分解能の画像が必要となる。しかし、常に高分解能
の画像の処理を実施することは検査時間の制約等から困
難である。

【００７６】そこで、図９において、ＣＣＤカメラ１２
０２の位置を（α）の位置として欠陥の識別が可能であ
る程度の低い空間分解能で撮像を行い、欠陥が識別され
たら、欠陥の種類によっては欠陥部位の特定後、ＣＣＤ
カメラ１２０２を（β）の位置に移動させ、欠陥部位を
高い空間分解能で撮像して欠陥の識別と判定を行うよう
にする。このようにして短時間に精度のよい欠陥識別と
不具合の判定を実現できる。

【００７７】図１０は、表面検査装置の別例を説明する
ための図である。

【００７８】光照射手段１２０３により被検査体１２０
１に光を照射し、その反射光をＣＣＤカメラ１２０２に
より撮像し、その結果に基づき欠陥の識別とその不具合
の程度を判定する。

【００７９】前述した欠陥：Ｄ、即ち「光吸収性の異物
が検査表面に付着している」欠陥の場合、付着物によっ
ては「蛍光」を発する場合がある。例えば「ヒトの指
紋」に代表される有機系の付着物の場合には、異物に含
まれるタンパク質等の成分が蛍光を発するので、この蛍
光の強度を検出する検出することにより、蛍光を発する
ような異物の付着を欠陥として容易且つ確実に検出でき
る。

【００８０】図１０において、符号１２０３Ａで示す
「紫外線ランプ」等の照明手段により被検査体表面を照
明して付着異物を励起し、発生する蛍光をフィルター１
８０６により選択し、ＣＣＤカメラ１８０４で撮像す
る。このようにして、蛍光を発するような異物の付着を
欠陥として識別し、その不具合の程度を判定することが
可能となる。

【００８１】照明手段１２０３Ａとフィルター１８０６
とＣＣＤカメラ１８０４とは「蛍光強度検出手段」を構
成する。

【００８２】以上、各請求項に記載された発明の実施例
を説明した。説明の具体性の観点から、欠陥の主たる種
類として欠陥：Ａ〜Ｄの４種類に就き説明したが、欠陥
の種類はこれに限らず、他の種々の欠陥を考慮できるこ
とは言うまでもない。欠陥の種類が増える場合に応じ
て、上記各実施例を適宜に変形できることは当業者に取
って容易に行えるところである。

【００８３】例えば、図２あるいは図３の実施例に対し
て、図５または図７の実施例を組み合わせることによ
り、欠陥：Ａ〜Ｄを識別・判定することが可能である。

【００８４】また図２の実施例において、光照射手段を
構成するライン照明装置を３以上としたり、あるいは図
３の実施例において光検出手段の１次元ＣＣＤカメラを
３以上とすることにより、反射光の方向に差がある３以
上の欠陥に対処できるし、図５や図７の実施例において
フィルターの数を増やせば、反射光の分光特性に差異の
ある３以上の欠陥に対処できる。

【００８５】光照射手段や光検出手段は、被検査体にお
ける複数の欠陥に応じて、最適な配置を取れば良いこと
は言うまでもない。

【００８６】図８，９，１０に即して説明した各実施例
は、互いに組み合わせて実施できるし、図２，３，５に
即して説明した実施例も互いに組み合わせることが可能
であり、さらに図２，３，５，７，８，９，１０の２以
上の実施例を互いに組み合わせることも可能である。

【００８７】

【発明の効果】以上に説明したように、この発明によれ
ば新規な「表面検査装置」を提供できる（請求項１〜
５）。

【００８８】この発明の表面検査装置は上記のように構
成されているから、複数種類の欠陥が存在する可能性あ
る被検査体の表面の欠陥を、その種類を識別し、識別さ
れた欠陥の種類に応じて不具合の程度を精度良く判定す
ることができる。

【００８９】また、請求項１〜５記載の発明では欠陥の
種類に応じて、適正な照射角（請求項３）、検出角（請
求項４）、照射波長（請求項１、５）、検出波長（請求
項２、５）を使用するので、識別された欠陥の不具合の
程度を精度良く判定できる。また、空間分解能を用いる
ことも可能であり、蛍光を発生する異物の付着を欠陥と
して識別、判定する構成も可能である。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の特徴部分を説明するための図であ
る。

【図２】請求項３記載の発明の、特徴の一端を説明する
図である。

【図３】請求項４記載の発明の、特徴の一端を説明する
図である。

【図４】請求項１記載の発明の実施例を説明するための
図である。

【図５】請求項１記載の発明の１実施例を特徴部分のみ
略示する図である。

【図６】図５の実施例におけるフィルター１２０４の作
用を説明するための図である。

【図７】請求項２記載の発明の１実施例を特徴部分のみ
略示する図である。

【図８】請求項５記載の発明の１実施例を特徴部分のみ
略示する図である。

【図９】表面検査装置の別の例を特徴部分のみ略示する
図である。

【図１０】表面検査装置の他の例を特徴部分のみ略示す
る図である。

【図１１】従来技術を説明するための図である。

【図１２】欠陥の種類を４種、説明するための図であ
る。

【図１３】従来技術の問題点を説明するための図であ
る。

【符号の説明】

８０１欠陥識別装置８０２欠陥：Ａ判定装置８０３欠陥：Ｂ判定装置

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】被検査体の検査すべき表面に光照射手段に
より検査用の光を照射し、上記表面からの反射光の強度
を光検出手段により検出し、検出信号の解析により上記
表面の欠陥を検出する表面検査装置であって、欠陥の種類を識別する識別手段と、この識別手段が識別した欠陥の種類ごとに欠陥の不具合
の度合いを判定する判定手段とを有し、上記光照射手段が、上記識別手段により識別された欠陥
の種類に応じて被検査体の表面に照射する光の波長を変
化させる照射波長変更手段を有することを特徴とする表
面検査装置。
【請求項２】被検査体の検査すべき表面に光照射手段に
より検査用の光を照射し、上記表面からの反射光の強度
を光検出手段により検出し、検出信号の解析により上記
表面の欠陥を検出する表面検査装置であって、欠陥の種類を識別する識別手段と、この識別手段が識別した欠陥の種類ごとに欠陥の不具合
の度合いを判定する判定手段とを有し、上記光検出手段が、上記識別手段により識別された欠陥
の種類に応じて被検査体の表面による反射光のうちの所
定の波長領域の光を検出するべく、検出光の波長領域を
選択する波長選択手段を有することを特徴とする表面検
査装置。
【請求項３】請求項１または２記載の表面検査装置にお
いて、光照射手段が、識別手段により識別された欠陥の種類に
応じて被検査体の表面に照射する光の照射角を変更する
光照射角変更手段を有することを特徴とする表面検査装
置。
【請求項４】請求項１または２記載の表面検査装置にお
いて、光検出手段が、識別手段により識別された欠陥の種類に
応じて被検査体の表面による反射光の強度を検出する検
出角を変更する光検出角変更手段を有することを特徴と
する表面検査装置。
【請求項５】請求項１記載の表面検査装置において、光検出手段が、識別手段により識別された欠陥の種類に
応じて被検査体の表面による反射光のうちの所定の波長
領域の光を検出するべく、検出光の波長領域を選択する
波長選択手段を有することを特徴とする表面検査装置。