JP3447183B2 - 軟磁性と誘電性とを有する高周波用複合材料 - Google Patents
軟磁性と誘電性とを有する高周波用複合材料Info
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば液晶テレビ
用アンテナ、磁気ヘッドのコア、パルスモータの磁心、
チョークコイルの磁性コア、トランス等の磁気応用分野
に好適に用いることができる軟磁性と誘電性とを有する
高周波用複合材料およびその製造方法に関する。
用アンテナ、磁気ヘッドのコア、パルスモータの磁心、
チョークコイルの磁性コア、トランス等の磁気応用分野
に好適に用いることができる軟磁性と誘電性とを有する
高周波用複合材料およびその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、電子機器に対する小型軽量化なら
びに高性能化の要求はさらに高まっており、このような
要求を満足するために、電源トランス等のインダクター
の駆動周波数はさらに高周波化されつつある。これらの
対応として、従来の軟磁気特性に加えて、より高い固有
抵抗を有する磁性材料が必要とされていた。
びに高性能化の要求はさらに高まっており、このような
要求を満足するために、電源トランス等のインダクター
の駆動周波数はさらに高周波化されつつある。これらの
対応として、従来の軟磁気特性に加えて、より高い固有
抵抗を有する磁性材料が必要とされていた。
【０００３】そこで、本発明者等は、Ｆｅ基結晶と、Ｈ
ｆ若しくはＴａの非晶質が混在するＦｅ-Ｈｆ-Ｏ系合金
もしくはＦｅ-Ｔａ-Ｏ系合金、特願平５−３３８３３３
号の組成式がＦｅaＭbＯc（Ｍは希土類元素のうち少な
くとも一種の元素、または、それらの混合物を表す。）
で示される合金が高い固有抵抗を有し、優れた磁気特性
を有するものであることを見い出した。ところが、これ
らの軟磁性合金はスパッタリング法により得られるもの
で、製造した時は薄膜状のものであるがために、それを
液晶テレビのアンテナなどのロッド状のものや、磁気ヘ
ッドのコアやパルスモータの磁心として利用することが
難しいという問題があった。
ｆ若しくはＴａの非晶質が混在するＦｅ-Ｈｆ-Ｏ系合金
もしくはＦｅ-Ｔａ-Ｏ系合金、特願平５−３３８３３３
号の組成式がＦｅaＭbＯc（Ｍは希土類元素のうち少な
くとも一種の元素、または、それらの混合物を表す。）
で示される合金が高い固有抵抗を有し、優れた磁気特性
を有するものであることを見い出した。ところが、これ
らの軟磁性合金はスパッタリング法により得られるもの
で、製造した時は薄膜状のものであるがために、それを
液晶テレビのアンテナなどのロッド状のものや、磁気ヘ
ッドのコアやパルスモータの磁心として利用することが
難しいという問題があった。
【０００４】また、従来の磁性材料で最も高周波数まで
使用されていたＮｉフェライトにあっては、周波数が１
５０ＭＨｚを超えると急激にＱ（コア材の損失特性を示
す。）が低下してしまい、磁心損失が大きくなってしま
う。また、高周波用磁性材料として開発されたマグネッ
トプランバイト型のフェライトにおいても、１ＧＨｚで
Ｑ＝１となってしまい、数百ＭＨｚの高周波領域の損失
において不満を有していた。前記Ｑは、損失係数（ｔａ
ｎδ）の逆数であり、この値が大きいほど、高周波材料
として優れていることを示す。さらに、数百ＭＨｚ以上
の周波数帯で使用する場合には、誘電性をも兼ね備えた
磁性材料が必要とされていた。
使用されていたＮｉフェライトにあっては、周波数が１
５０ＭＨｚを超えると急激にＱ（コア材の損失特性を示
す。）が低下してしまい、磁心損失が大きくなってしま
う。また、高周波用磁性材料として開発されたマグネッ
トプランバイト型のフェライトにおいても、１ＧＨｚで
Ｑ＝１となってしまい、数百ＭＨｚの高周波領域の損失
において不満を有していた。前記Ｑは、損失係数（ｔａ
ｎδ）の逆数であり、この値が大きいほど、高周波材料
として優れていることを示す。さらに、数百ＭＨｚ以上
の周波数帯で使用する場合には、誘電性をも兼ね備えた
磁性材料が必要とされていた。
【０００５】そこで本発明者らは、前記磁気特性に優れ
た軟磁性合金について、液晶テレビのアンテナや、磁気
ヘッドのコアあるいはパルスモータの磁心などへの適用
を考慮し、軟磁気特性に優れた合金粉末を誘電損失が小
さい合成樹脂に分散、混練してから成形することを発案
し、所望の形状に成形する試みを行い、本発明に到達し
たのである。
た軟磁性合金について、液晶テレビのアンテナや、磁気
ヘッドのコアあるいはパルスモータの磁心などへの適用
を考慮し、軟磁気特性に優れた合金粉末を誘電損失が小
さい合成樹脂に分散、混練してから成形することを発案
し、所望の形状に成形する試みを行い、本発明に到達し
たのである。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】本発明は前記事情に鑑
みてなされたものであり、所望形状に容易に成形でき、
高周波において、優れた軟磁気特性と低誘電損失とを兼
ね備えた軟磁性と誘電性とを有する高周波用複合材料お
よびその製造方法を提供することを目的とする。
みてなされたものであり、所望形状に容易に成形でき、
高周波において、優れた軟磁気特性と低誘電損失とを兼
ね備えた軟磁性と誘電性とを有する高周波用複合材料お
よびその製造方法を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明に係る軟磁性と誘
電性を有する高周波用複合材料は、組成式が、ＡａＭｂ
Ｏｃ（前記組成式中、ＡはＦｅ，Ｃｏ，Ｎｉの群から選
ばれた少なくとも一種の元素またはそれらの混合物を表
し、ＭはＺｒとＷから選ばれた少なくとも一種の元素ま
たはそれらの混合物を表す。）で示され、前記Ａの組成
範囲ａを原子％で４５≦ａ≦６５、前記Ｏの組成範囲ｃ
を原子％で３０≦ｃ≦４５とした軟磁性合金粉末からな
る軟磁性合金粉末と、合成樹脂からなることを特徴とす
るものである。
電性を有する高周波用複合材料は、組成式が、ＡａＭｂ
Ｏｃ（前記組成式中、ＡはＦｅ，Ｃｏ，Ｎｉの群から選
ばれた少なくとも一種の元素またはそれらの混合物を表
し、ＭはＺｒとＷから選ばれた少なくとも一種の元素ま
たはそれらの混合物を表す。）で示され、前記Ａの組成
範囲ａを原子％で４５≦ａ≦６５、前記Ｏの組成範囲ｃ
を原子％で３０≦ｃ≦４５とした軟磁性合金粉末からな
る軟磁性合金粉末と、合成樹脂からなることを特徴とす
るものである。
【０００８】本発明の組成式においてＡが、ＦｅとＣｏ
からなり、組成式が、（Ｆｅ１００−ｘＣｏｘ）ａＭｂ
Ｏ ｃで表され、xが０＜x≦９０の範囲であっても良い。
本発明の前記の構造において、前記軟磁性合金粉末の表
面に絶縁層が形成されていても良い。
からなり、組成式が、（Ｆｅ１００−ｘＣｏｘ）ａＭｂ
Ｏ ｃで表され、xが０＜x≦９０の範囲であっても良い。
本発明の前記の構造において、前記軟磁性合金粉末の表
面に絶縁層が形成されていても良い。
【０００９】
【００１０】
【００１１】
【００１２】本発明に係る高周波用複合材料の製造方法
は、前記の高周波用複合材料の製造方法において、Ａの
粉末とＭの粉末に代えて液体急冷法により得られたＡ-
Ｍ合金薄帯の粉砕物粉末を用いることを特徴とする方法
である。
は、前記の高周波用複合材料の製造方法において、Ａの
粉末とＭの粉末に代えて液体急冷法により得られたＡ-
Ｍ合金薄帯の粉砕物粉末を用いることを特徴とする方法
である。
【００１３】
【００１４】
【００１５】
【発明の実施の形態】本発明の軟磁性と誘電性とを有す
る高周波用複合材料の製造方法の第一の例を以下に示
す。まず、本発明での組成式がＡaＭbＤcで示される軟
磁性合金粉末の組成になるように各原料を秤量する。こ
こでの原料は、Ａの粉末、Ｍの粉末が用いられる。Ａの
粉末としては、Ｆｅ，Ｃｏ，Ｎｉの群から選ばれた少な
くとも一種の元素の単体，酸化物，炭化物，炭酸塩，窒
素化物，ホウ化物のうちから選ばれた粉末が用いられ
る。Ｍの粉末としては、Ｈｆ，Ｚｒ，Ｗ，Ｔｉ，Ｖ，Ｎ
ｂ，Ｍｏ，Ｃｒ，Ｍｇ，Ｍｎ，Ａｌ，Ｓｉ，Ｃａ，Ｓ
ｒ，Ｂａ，Ｃｕ，Ｇａ，Ｇｅ，Ａｓ，Ｓｅ，Ｚｎ，Ｃ
ｄ，Ｉｎ，Ｓｎ，Ｓｂ，Ｔｅ，Ｐｂ，Ｂｉ，希土類元素
の群から選ばれた少なくとも一種の元素の単体，酸化
物，炭化物，炭酸塩，窒素化物，ホウ化物のうちから選
ばれた粉末が用いられる。前記希土類元素としては、周
期表の３Ａ族に属するＳｃ，Ｙ，あるいは、Ｌａ，Ｃ
ｅ，Ｐｒ，Ｎｄ，Ｐｍ，Ｓｍ，Ｅｕ，Ｇｄ，Ｔｄ，Ｄ
ｙ，Ｈｏ，Ｅｒ，Ｔｍ，Ｙｂ，Ｌｕなどのランタノイド
の群から選ばれる少なくとも一種の元素またはそれらの
混合物が挙げられる。この際、Ａの粉末は粒径が１００
μm以下、Ｍの粉末は粒径が２μm以下のものが望まし
い。
る高周波用複合材料の製造方法の第一の例を以下に示
す。まず、本発明での組成式がＡaＭbＤcで示される軟
磁性合金粉末の組成になるように各原料を秤量する。こ
こでの原料は、Ａの粉末、Ｍの粉末が用いられる。Ａの
粉末としては、Ｆｅ，Ｃｏ，Ｎｉの群から選ばれた少な
くとも一種の元素の単体，酸化物，炭化物，炭酸塩，窒
素化物，ホウ化物のうちから選ばれた粉末が用いられ
る。Ｍの粉末としては、Ｈｆ，Ｚｒ，Ｗ，Ｔｉ，Ｖ，Ｎ
ｂ，Ｍｏ，Ｃｒ，Ｍｇ，Ｍｎ，Ａｌ，Ｓｉ，Ｃａ，Ｓ
ｒ，Ｂａ，Ｃｕ，Ｇａ，Ｇｅ，Ａｓ，Ｓｅ，Ｚｎ，Ｃ
ｄ，Ｉｎ，Ｓｎ，Ｓｂ，Ｔｅ，Ｐｂ，Ｂｉ，希土類元素
の群から選ばれた少なくとも一種の元素の単体，酸化
物，炭化物，炭酸塩，窒素化物，ホウ化物のうちから選
ばれた粉末が用いられる。前記希土類元素としては、周
期表の３Ａ族に属するＳｃ，Ｙ，あるいは、Ｌａ，Ｃ
ｅ，Ｐｒ，Ｎｄ，Ｐｍ，Ｓｍ，Ｅｕ，Ｇｄ，Ｔｄ，Ｄ
ｙ，Ｈｏ，Ｅｒ，Ｔｍ，Ｙｂ，Ｌｕなどのランタノイド
の群から選ばれる少なくとも一種の元素またはそれらの
混合物が挙げられる。この際、Ａの粉末は粒径が１００
μm以下、Ｍの粉末は粒径が２μm以下のものが望まし
い。
【００１６】次いで、Ｄのうち、Ｏ，Ｃ，Ｎを添加する
場合は、前述のＡの粉末とＭの粉末とをステンレス鋼製
ポット中に、ポットと同材質のステンレス球と共に封入
し、Ｏ，Ｃ，Ｎの群から選ばれた少なくとも一種の元素
の単体ガス，酸化物ガス，炭化物ガスのうちから選ばれ
たＤのガスを充満させる。そして、高エネルギ型遊星式
ボールミルを用いて所定時間、粉砕、攪拌するメカニカ
ルアロイングにより、組成式がＡaＭbＤc（前記組成式R
>中、ＡはＦｅ，Ｃｏ，Ｎｉの群から選ばれた少なくと
も一種の元素またはそれらの混合物を表し、ＭはＨｆ，
Ｚｒ，Ｗ，Ｔｉ，Ｖ，Ｎｂ，Ｍｏ，Ｃｒ，Ｍｇ，Ｍｎ，
Ａｌ，Ｓｉ，Ｃａ，Ｓｒ，Ｂａ，Ｃｕ，Ｇａ，Ｇｅ，Ａ
ｓ，Ｓｅ，Ｚｎ，Ｃｄ，Ｉｎ，Ｓｎ，Ｓｂ，Ｔｅ，Ｐ
ｂ，Ｂｉ，希土類元素の群から選ばれた少なくとも一種
の元素またはそれらの混合物を表し、ＤはＯ，Ｃ，Ｎ，
Ｂの群から選ばれた少なくとも一種の元素またはそれら
の混合物を表す。また、組成式中、ａ，ｂ，ｃは、原子
％で、４０≦ａ＜８７、０＜ｂ≦２０、０＜ｃ≦５０な
る関係を満足するものである。）で示される軟磁性合金
粉末が得られる。なお、前記の組成式において、Ａとし
てＦｅとＣｏを用い、その際の組成式を（Ｆｅ100-xＣ
ｏx）aＭbＤcで表され、組成比を示すxが０＜x≦９０の
範囲であるように各成分を混合することもできる。この
ような組成とすることで、特に、後述する如くＱεの値
を高くすることができ、Ｑμの周波数特性も優れたもの
にすることができる。メカニカルアロイングの時間は、
２時間以上とするのが好ましく、より好ましくは８〜６
０時間程度とされる。２時間未満であると、ｂｃｃ構造
もしくはｆｃｃ構造、または、これらが混在したＡの結
晶の微細化が十分に進んでいないため好ましくない。
場合は、前述のＡの粉末とＭの粉末とをステンレス鋼製
ポット中に、ポットと同材質のステンレス球と共に封入
し、Ｏ，Ｃ，Ｎの群から選ばれた少なくとも一種の元素
の単体ガス，酸化物ガス，炭化物ガスのうちから選ばれ
たＤのガスを充満させる。そして、高エネルギ型遊星式
ボールミルを用いて所定時間、粉砕、攪拌するメカニカ
ルアロイングにより、組成式がＡaＭbＤc（前記組成式R
>中、ＡはＦｅ，Ｃｏ，Ｎｉの群から選ばれた少なくと
も一種の元素またはそれらの混合物を表し、ＭはＨｆ，
Ｚｒ，Ｗ，Ｔｉ，Ｖ，Ｎｂ，Ｍｏ，Ｃｒ，Ｍｇ，Ｍｎ，
Ａｌ，Ｓｉ，Ｃａ，Ｓｒ，Ｂａ，Ｃｕ，Ｇａ，Ｇｅ，Ａ
ｓ，Ｓｅ，Ｚｎ，Ｃｄ，Ｉｎ，Ｓｎ，Ｓｂ，Ｔｅ，Ｐ
ｂ，Ｂｉ，希土類元素の群から選ばれた少なくとも一種
の元素またはそれらの混合物を表し、ＤはＯ，Ｃ，Ｎ，
Ｂの群から選ばれた少なくとも一種の元素またはそれら
の混合物を表す。また、組成式中、ａ，ｂ，ｃは、原子
％で、４０≦ａ＜８７、０＜ｂ≦２０、０＜ｃ≦５０な
る関係を満足するものである。）で示される軟磁性合金
粉末が得られる。なお、前記の組成式において、Ａとし
てＦｅとＣｏを用い、その際の組成式を（Ｆｅ100-xＣ
ｏx）aＭbＤcで表され、組成比を示すxが０＜x≦９０の
範囲であるように各成分を混合することもできる。この
ような組成とすることで、特に、後述する如くＱεの値
を高くすることができ、Ｑμの周波数特性も優れたもの
にすることができる。メカニカルアロイングの時間は、
２時間以上とするのが好ましく、より好ましくは８〜６
０時間程度とされる。２時間未満であると、ｂｃｃ構造
もしくはｆｃｃ構造、または、これらが混在したＡの結
晶の微細化が十分に進んでいないため好ましくない。
【００１７】この例では、粉砕、攪拌をＤのガス雰囲気
下で行なっているが、前記ＤのガスとＡｒガス等の不活
性ガスとの混合ガス雰囲気下で行なうことにより、材料
中の酸素，炭素，窒素量を調整することができる。尚、
粉砕には遊星型ボールミルの他、ロータースピードミル
などの粉砕機械を用いても良い。
下で行なっているが、前記ＤのガスとＡｒガス等の不活
性ガスとの混合ガス雰囲気下で行なうことにより、材料
中の酸素，炭素，窒素量を調整することができる。尚、
粉砕には遊星型ボールミルの他、ロータースピードミル
などの粉砕機械を用いても良い。
【００１８】ここで得られた軟磁性合金粉末は、平均結
晶粒径が数ｎｍ〜数１０ｎｍオーダーのｂｃｃ構造のＡ
の微結晶相が、Ｍ，Ｄを多量に含む非晶質相で取り囲ま
れたような構造を有する平均粒径が１〜２μｍ程度の凝
集粒子となる。この軟磁性合金粉末は、凝集粒子を構成
するｂｃｃ構造もしくはｆｃｃ構造、または、これらが
混在したＡの微結晶の平均粒径が微細であるため、優れ
た軟磁気特性を示し、また、ｂｃｃ構造もしくはｆｃｃ
構造、またはこれらが混在したＡの微結晶が、高抵抗の
非晶質相によって取り囲まれているため、渦電流損失を
小さく押えることができるという特徴がある。
晶粒径が数ｎｍ〜数１０ｎｍオーダーのｂｃｃ構造のＡ
の微結晶相が、Ｍ，Ｄを多量に含む非晶質相で取り囲ま
れたような構造を有する平均粒径が１〜２μｍ程度の凝
集粒子となる。この軟磁性合金粉末は、凝集粒子を構成
するｂｃｃ構造もしくはｆｃｃ構造、または、これらが
混在したＡの微結晶の平均粒径が微細であるため、優れ
た軟磁気特性を示し、また、ｂｃｃ構造もしくはｆｃｃ
構造、またはこれらが混在したＡの微結晶が、高抵抗の
非晶質相によって取り囲まれているため、渦電流損失を
小さく押えることができるという特徴がある。
【００１９】次に、得られた軟磁性合金粉末を有機溶剤
を溶媒とする合成樹脂液に分散してスラリーを得た後、
このスラリーを３本ロールに繰り返し通して該スラリー
が粉末状になるまで混練し混練物を得る。ここで用いら
れる合成樹脂としては、誘電損失が小さい材料（即ちＱ
の大きい材料でＱが４００以上のもの）が用いられ、例
えば、ポリプロピレン、ポリエチレン、ポリスチレン、
パラフィン、ポリテトラフルオロエチレン、ポリカーボ
ネート、シリコーン樹脂等が挙げられる。この合成樹脂
を溶解させる有機溶剤としては、キシレン、トルエン、
ベンゼン等が挙げられる。
を溶媒とする合成樹脂液に分散してスラリーを得た後、
このスラリーを３本ロールに繰り返し通して該スラリー
が粉末状になるまで混練し混練物を得る。ここで用いら
れる合成樹脂としては、誘電損失が小さい材料（即ちＱ
の大きい材料でＱが４００以上のもの）が用いられ、例
えば、ポリプロピレン、ポリエチレン、ポリスチレン、
パラフィン、ポリテトラフルオロエチレン、ポリカーボ
ネート、シリコーン樹脂等が挙げられる。この合成樹脂
を溶解させる有機溶剤としては、キシレン、トルエン、
ベンゼン等が挙げられる。
【００２０】合成樹脂への軟磁性合金粉末の添加割合
は、目的とする複合材料の磁性特性と誘電性によって適
宜変更可能であるが、スラリー中の体積割合で５０〜８
０vol％程度となるように添加するのが好ましい。軟磁
性合金粉末の体積割合が５０ｖｏｌ％未満であると、透
磁率が低くなるという不都合が生じる恐れがあり、一
方、８０ｖｏｌ％を超えると射出成形等により成形する
のが困難になるという不都合が生じる恐れがある。
は、目的とする複合材料の磁性特性と誘電性によって適
宜変更可能であるが、スラリー中の体積割合で５０〜８
０vol％程度となるように添加するのが好ましい。軟磁
性合金粉末の体積割合が５０ｖｏｌ％未満であると、透
磁率が低くなるという不都合が生じる恐れがあり、一
方、８０ｖｏｌ％を超えると射出成形等により成形する
のが困難になるという不都合が生じる恐れがある。
【００２１】前記軟磁性合金粉末は合成樹脂液に分散、
混練する前に、空気，酸素，窒素，水蒸気のうちから選
択される雰囲気中またはこれらの混合雰囲気中で熱処理
を行うことが望ましい。ここでの加熱温度は、２５℃〜
３００℃程度、加熱時間は０.５時間〜４８時間程度が
好ましい。このようにすると、前記軟磁性合金粉末の表
面に酸化物からなる絶縁層が形成されるので、軟磁性合
金粉末の固有抵抗が上がり、高周波での誘電率をより低
くすることができる。なお、ここでの絶縁層は、酸化膜
に限らず、他の絶縁膜を用いて形成してもよい。
混練する前に、空気，酸素，窒素，水蒸気のうちから選
択される雰囲気中またはこれらの混合雰囲気中で熱処理
を行うことが望ましい。ここでの加熱温度は、２５℃〜
３００℃程度、加熱時間は０.５時間〜４８時間程度が
好ましい。このようにすると、前記軟磁性合金粉末の表
面に酸化物からなる絶縁層が形成されるので、軟磁性合
金粉末の固有抵抗が上がり、高周波での誘電率をより低
くすることができる。なお、ここでの絶縁層は、酸化膜
に限らず、他の絶縁膜を用いて形成してもよい。
【００２２】ついで、上記混練物を乾燥器等に入れて加
熱することにより有機溶剤を蒸発させたのち、プレス成
形機、射出成形機、押出装置等を用いて所望の形状に成
形して成形体を作製する。この後、この成形体を１５０
〜４００℃程度、１時間程度加熱することにより、目的
とする軟磁性と誘電性とを有する高周波用複合材料の成
形体が得られる。なお、成形方法としては、圧縮成形法
以外に、射出成形法、押出成形法を用いることができ
る。
熱することにより有機溶剤を蒸発させたのち、プレス成
形機、射出成形機、押出装置等を用いて所望の形状に成
形して成形体を作製する。この後、この成形体を１５０
〜４００℃程度、１時間程度加熱することにより、目的
とする軟磁性と誘電性とを有する高周波用複合材料の成
形体が得られる。なお、成形方法としては、圧縮成形法
以外に、射出成形法、押出成形法を用いることができ
る。
【００２３】次に、本発明の軟磁性と誘電性とを有する
高周波用複合材料の製造方法の第二の例について説明す
る。この第二の例の高周波用複合材料の製造方法が第一
の例の高周波用複合材料の製造方法と異るところは、Ａ
の粉末とＭの粉末とを混合後、Ｄのガス雰囲気中で粉
砕、攪拌するのに代えて、Ａの粉末と、Ｍの粉末と、Ｄ
の粉末とを混合後、不活性ガス雰囲気中、あるいはＯ，
Ｃ，Ｎの群から選ばれた少なくとも一種の元素の単体ガ
ス，酸化物ガス，炭化物ガスのうちから選ばれたＤのガ
ス雰囲気中で粉砕、攪拌する点である。前記Ｄの粉末と
しては、カーボンとＢのうちから選ばれた少なくとも一
種または混合物が用いられる。また、この例では、前記
Ａの粉末とＭの粉末とＤの粉末の粉砕、攪拌をＤのガス
雰囲気下、またはＡｒガス等の不活性ガス雰囲気下、あ
るいは前記ＤのガスとＡｒガス等の不活性ガスとの混合
ガス雰囲気下で行なわれ、前記混合ガス雰囲気下で行う
場合には材料中の酸素，炭素，窒素量を調整することが
できる。この第二の例の製造方法によっても、軟磁性と
誘電性とを有する高周波用複合材料が得られる。
高周波用複合材料の製造方法の第二の例について説明す
る。この第二の例の高周波用複合材料の製造方法が第一
の例の高周波用複合材料の製造方法と異るところは、Ａ
の粉末とＭの粉末とを混合後、Ｄのガス雰囲気中で粉
砕、攪拌するのに代えて、Ａの粉末と、Ｍの粉末と、Ｄ
の粉末とを混合後、不活性ガス雰囲気中、あるいはＯ，
Ｃ，Ｎの群から選ばれた少なくとも一種の元素の単体ガ
ス，酸化物ガス，炭化物ガスのうちから選ばれたＤのガ
ス雰囲気中で粉砕、攪拌する点である。前記Ｄの粉末と
しては、カーボンとＢのうちから選ばれた少なくとも一
種または混合物が用いられる。また、この例では、前記
Ａの粉末とＭの粉末とＤの粉末の粉砕、攪拌をＤのガス
雰囲気下、またはＡｒガス等の不活性ガス雰囲気下、あ
るいは前記ＤのガスとＡｒガス等の不活性ガスとの混合
ガス雰囲気下で行なわれ、前記混合ガス雰囲気下で行う
場合には材料中の酸素，炭素，窒素量を調整することが
できる。この第二の例の製造方法によっても、軟磁性と
誘電性とを有する高周波用複合材料が得られる。
【００２４】次に、本発明の軟磁性と誘電性とを有する
高周波用複合材料の製造方法の第三の例について説明す
る。この第三の例の高周波用複合材料の製造方法が第一
の例または第二の例の高周波用複合材料の製造方法と異
るところは、Ａの粉末とＭの粉末に代えて液体急冷法に
より得られたＡ-Ｍ合金薄帯の粉砕物粉末を用いる点で
ある。
高周波用複合材料の製造方法の第三の例について説明す
る。この第三の例の高周波用複合材料の製造方法が第一
の例または第二の例の高周波用複合材料の製造方法と異
るところは、Ａの粉末とＭの粉末に代えて液体急冷法に
より得られたＡ-Ｍ合金薄帯の粉砕物粉末を用いる点で
ある。
【００２５】液体急冷法によりＡ-Ｍ合金薄帯を作製す
るには、例えば、高速で回転する冷却された１個のロー
ルの表面にノズルを介してＡ-Ｍ合金溶湯を吹き付ける
単ロール法、２個の接触しながら回転する冷却ロール間
にＡ-Ｍ合金溶湯を噴出する双ロール法などにより製造
することができる。単ロール法では、Ａ-Ｍ合金溶湯が
冷却ロールの表面に接触し冷却されてロール接触面（ロ
ール面）と非接触面（自由面）とで表面粗さが異る、厚
みが８〜３５μｍ程度で、幅広、長尺のものが得られ
る。双ロール法では、薄帯の両面がロールに接触し、加
圧冷却されるので、単ロール法よりも厚手のものが得ら
れやすく、表面粗さおよび板厚精度も良好であるが、幅
広、長尺のものが得られにくい。このようにして作製さ
れたＡ-Ｍ合金薄帯は、粉砕されて粉末化された後、高
エネルギ型遊星式ボールミルに投入される。この第三の
例の製造方法によっても、軟磁性と誘電性とを有する高
周波用複合材料が得られる。
るには、例えば、高速で回転する冷却された１個のロー
ルの表面にノズルを介してＡ-Ｍ合金溶湯を吹き付ける
単ロール法、２個の接触しながら回転する冷却ロール間
にＡ-Ｍ合金溶湯を噴出する双ロール法などにより製造
することができる。単ロール法では、Ａ-Ｍ合金溶湯が
冷却ロールの表面に接触し冷却されてロール接触面（ロ
ール面）と非接触面（自由面）とで表面粗さが異る、厚
みが８〜３５μｍ程度で、幅広、長尺のものが得られ
る。双ロール法では、薄帯の両面がロールに接触し、加
圧冷却されるので、単ロール法よりも厚手のものが得ら
れやすく、表面粗さおよび板厚精度も良好であるが、幅
広、長尺のものが得られにくい。このようにして作製さ
れたＡ-Ｍ合金薄帯は、粉砕されて粉末化された後、高
エネルギ型遊星式ボールミルに投入される。この第三の
例の製造方法によっても、軟磁性と誘電性とを有する高
周波用複合材料が得られる。
【００２６】次に、本発明の軟磁性と誘電性とを有する
高周波用複合材料の製造方法の第四の例について説明す
る。この第四の例の高周波用複合材料の製造方法が第一
の例または第二の例の高周波用複合材料の製造方法と異
るところは、Ａの粉末とＭの粉末と、Ｄの粉末および／
またはＤのガスに加えて液体急冷法により得られたＡ-
Ｍ合金薄帯の粉砕物粉末も用いる点である。この第四の
例の製造方法によっても、軟磁性と誘電性とを有する高
周波用複合材料が得られる。
高周波用複合材料の製造方法の第四の例について説明す
る。この第四の例の高周波用複合材料の製造方法が第一
の例または第二の例の高周波用複合材料の製造方法と異
るところは、Ａの粉末とＭの粉末と、Ｄの粉末および／
またはＤのガスに加えて液体急冷法により得られたＡ-
Ｍ合金薄帯の粉砕物粉末も用いる点である。この第四の
例の製造方法によっても、軟磁性と誘電性とを有する高
周波用複合材料が得られる。
【００２７】前述のようにして製造された高周波用複合
材料にあっては、誘電損失が小さい合成樹脂と、組成式
がＡaＭbＤcで示される軟磁性合金粉末とを複合したこ
とにより、得られる複合材料の固有抵抗が１０8Ω・ｃ
ｍ以上となるうえ、合成樹脂が有する絶縁体（誘電体）
としての誘電特性と、軟磁性合金粉末が有する軟磁気特
性とを合わせ持つことができ、特に、数百ＭＨｚ以上の
高周波帯では、磁気特性のみならず、Ｑが高く、例え
ば、１ＧＨｚにおいてＱ＝３０以上となり、従来の磁性
材料が達成できなかった数百ＭＨｚ〜ＧＨｚ帯での使用
が可能となる。また、この高周波用複合材料は、軟磁性
合金粉末が合成樹脂に分散されたものであるので、軟磁
性合金粉末のみから構成する場合と比べて、成形が容易
となる。
材料にあっては、誘電損失が小さい合成樹脂と、組成式
がＡaＭbＤcで示される軟磁性合金粉末とを複合したこ
とにより、得られる複合材料の固有抵抗が１０8Ω・ｃ
ｍ以上となるうえ、合成樹脂が有する絶縁体（誘電体）
としての誘電特性と、軟磁性合金粉末が有する軟磁気特
性とを合わせ持つことができ、特に、数百ＭＨｚ以上の
高周波帯では、磁気特性のみならず、Ｑが高く、例え
ば、１ＧＨｚにおいてＱ＝３０以上となり、従来の磁性
材料が達成できなかった数百ＭＨｚ〜ＧＨｚ帯での使用
が可能となる。また、この高周波用複合材料は、軟磁性
合金粉末が合成樹脂に分散されたものであるので、軟磁
性合金粉末のみから構成する場合と比べて、成形が容易
となる。
【００２８】従って、本発明の高周波用複合材料にあっ
ては、従来材の薄膜状のものと比べて、ロッド状などの
所望形状に成形し易いので、液晶テレビのアンテナとし
て、あるいは磁気ヘッドのコアや、トランスのコアとし
て、更には、パルスモータの磁針等のような磁気部品と
して広く適用することができる。また、従来材と比べ
て、高周波において磁気特性が優れ、かつ誘電損失の低
い磁気部品を得ることができ、さらにこれら磁気部品の
小型化を図ることができ、例えば、本発明の高周波用複
合材料を用いて液晶テレビのアンテナを作製すること
で、送受信レベルを向上し、もってアンテナの小型化を
図ることができる。
ては、従来材の薄膜状のものと比べて、ロッド状などの
所望形状に成形し易いので、液晶テレビのアンテナとし
て、あるいは磁気ヘッドのコアや、トランスのコアとし
て、更には、パルスモータの磁針等のような磁気部品と
して広く適用することができる。また、従来材と比べ
て、高周波において磁気特性が優れ、かつ誘電損失の低
い磁気部品を得ることができ、さらにこれら磁気部品の
小型化を図ることができ、例えば、本発明の高周波用複
合材料を用いて液晶テレビのアンテナを作製すること
で、送受信レベルを向上し、もってアンテナの小型化を
図ることができる。
【００２９】
【実施例】以下、本発明を、実施例および比較例によ
り、具体的に説明するが、本発明はこれらの実施例のみ
に限定されるものではない。 （実施例１）電解鉄（東方亜鉛株式会社製、２００メッ
シュパス）１１.４９ｇと、酸化ジルコニウム（第１希
元素製、４５μｍパス）４.６１ｇとを計量し、これら
をステンレス鋼製（ＳＵＳ３０４）ポット（内容量１７
０ｍｌ）に入れた後、Ｏ2ガスを０.９０ｇ封入し、メニ
カルアロイングを行った。メニカルアロイングは、高エ
ネルギー型遊星ボールミル（栗本鉄工所製）を用い、ポ
ット中には該ポットと同材料のステンレス球（直径４ｍ
ｍ）を２３８ｇ入れ、遠心加速度１００Ｇ、自転速度／
公転速度＝４４８ｒｐｍ／５８８ｒｐｍで、８時間、混
合、粉砕、攪拌を行い、ＦｅaＺｒbＯc合金粉末を得た
（ここでのａ＝５５、ｂ＝１０、ｃ＝３５）。図１にこ
のＦｅaＺｒbＯc合金粉末の粒子構造を示した電子顕微
鏡写真を示す。
り、具体的に説明するが、本発明はこれらの実施例のみ
に限定されるものではない。 （実施例１）電解鉄（東方亜鉛株式会社製、２００メッ
シュパス）１１.４９ｇと、酸化ジルコニウム（第１希
元素製、４５μｍパス）４.６１ｇとを計量し、これら
をステンレス鋼製（ＳＵＳ３０４）ポット（内容量１７
０ｍｌ）に入れた後、Ｏ2ガスを０.９０ｇ封入し、メニ
カルアロイングを行った。メニカルアロイングは、高エ
ネルギー型遊星ボールミル（栗本鉄工所製）を用い、ポ
ット中には該ポットと同材料のステンレス球（直径４ｍ
ｍ）を２３８ｇ入れ、遠心加速度１００Ｇ、自転速度／
公転速度＝４４８ｒｐｍ／５８８ｒｐｍで、８時間、混
合、粉砕、攪拌を行い、ＦｅaＺｒbＯc合金粉末を得た
（ここでのａ＝５５、ｂ＝１０、ｃ＝３５）。図１にこ
のＦｅaＺｒbＯc合金粉末の粒子構造を示した電子顕微
鏡写真を示す。
【００３０】そして、メニカルアロイングにより得られ
たＦｅaＺｒbＯc合金粉末を、空気中で１００℃、２時
間加熱し、表面を酸化させて酸化物からなる絶縁層を形
成した後、ポリスチレン樹脂（キシレンを溶媒として）
を、ＦｅaＺｒbＯc合金粉末が体積比で５０ｖｏｌ％と
なる量まで加えてスラリーを得た。ついで、このスラリ
ーを三本ロールに繰り返して通し、該スラリーが粉末状
となったところで、混練を終了し、ＦｅaＺｒbＯc合金
粉末とポリスチレン樹脂からなる複合粉末を得た。 こ
の後、得られた複合粉末を雰囲気温度８０℃の乾燥器中
に１２時間入れて乾燥させ、キシレンを蒸発させた。つ
いで、この乾燥させた複合粉末をプレス成形機を用いて
円板状の成形体を作製し、この成形体を１５０℃で１時
間加熱することにより、外径１５ｍｍ、厚さ３ｍｍのＦ
ｅ-Ｚｒ-Ｏポリスチレン樹脂複合材料を得た。図２にこ
のＦｅ-Ｚｒ-Ｏポリスチレン樹脂複合材料の表面の粒子
構造を示した電子顕微鏡写真を示す。
たＦｅaＺｒbＯc合金粉末を、空気中で１００℃、２時
間加熱し、表面を酸化させて酸化物からなる絶縁層を形
成した後、ポリスチレン樹脂（キシレンを溶媒として）
を、ＦｅaＺｒbＯc合金粉末が体積比で５０ｖｏｌ％と
なる量まで加えてスラリーを得た。ついで、このスラリ
ーを三本ロールに繰り返して通し、該スラリーが粉末状
となったところで、混練を終了し、ＦｅaＺｒbＯc合金
粉末とポリスチレン樹脂からなる複合粉末を得た。 こ
の後、得られた複合粉末を雰囲気温度８０℃の乾燥器中
に１２時間入れて乾燥させ、キシレンを蒸発させた。つ
いで、この乾燥させた複合粉末をプレス成形機を用いて
円板状の成形体を作製し、この成形体を１５０℃で１時
間加熱することにより、外径１５ｍｍ、厚さ３ｍｍのＦ
ｅ-Ｚｒ-Ｏポリスチレン樹脂複合材料を得た。図２にこ
のＦｅ-Ｚｒ-Ｏポリスチレン樹脂複合材料の表面の粒子
構造を示した電子顕微鏡写真を示す。
【００３１】（実施例２）メニカルアロイングにより得
られたＦｅaＺｒbＯc合金粉末を、空気中で１２０℃で
４時間加熱し、表面を酸化させて酸化物からなる絶縁層
を形成した以外は前記実施例１と同様にしてＦｅ-Ｚｒ-
Ｏポリスチレン樹脂複合材料を得た。
られたＦｅaＺｒbＯc合金粉末を、空気中で１２０℃で
４時間加熱し、表面を酸化させて酸化物からなる絶縁層
を形成した以外は前記実施例１と同様にしてＦｅ-Ｚｒ-
Ｏポリスチレン樹脂複合材料を得た。
【００３２】（比較例）従来、最も高周波帯域で使用さ
れている磁性材料として、ページャ用のアンテナ材料に
用いられているＮｉフェライトがある。そこで、モトロ
ーラ社製のページャ（共鳴周波数１７２ＭＨｚ）に使用
されているＮｉフェライト（組成：Ｆｅ2Ｏ3＝４８ｍｏ
ｌ％，ＮｉＯ＝４７ｍｏｌ％，ＳｉＯ2＝２ｍｏｌ％，
ＰｂＯ2＝３ｍｏｌ％）から、φ８.０-φ４.０-ｔ１.５
ｍｍのリング状の試料およびφ１５.０-ｔ２.０ｍｍの
円板試料を切り出し、比較用の磁性材料を得た。
れている磁性材料として、ページャ用のアンテナ材料に
用いられているＮｉフェライトがある。そこで、モトロ
ーラ社製のページャ（共鳴周波数１７２ＭＨｚ）に使用
されているＮｉフェライト（組成：Ｆｅ2Ｏ3＝４８ｍｏ
ｌ％，ＮｉＯ＝４７ｍｏｌ％，ＳｉＯ2＝２ｍｏｌ％，
ＰｂＯ2＝３ｍｏｌ％）から、φ８.０-φ４.０-ｔ１.５
ｍｍのリング状の試料およびφ１５.０-ｔ２.０ｍｍの
円板試料を切り出し、比較用の磁性材料を得た。
【００３３】（試験１）前記の実施例１〜２で得られた
複合材料、比較例で得られた磁性材料の固有抵抗、透磁
率、磁性体としてのＱを調べた。ここでの固有抵抗は、
円板試料の両面にカーボン両面テープ（日新ＥＭ株式会
社製）を貼り付け、スーパーメガオームメータ（東亜電
波工業株式会社製、Ｍｏｄｅｌ ＳＭ−９Ｅ）を用いて
測定した。透磁率および磁性体としてのＱは、円板試料
からそれぞれ、φ８.０-φ４.０-ｔ１.５ｍｍのリング
状の試料、およびφ１５.０-ｔ２.０ｍｍの円板試料を
切り出し、マテリアルアナライザー（ヒューレット・パ
ッカード社製、４２９１Ａ）を用いて周波数１ＭＨｚ〜
１.８ＧＨｚまで測定した。それらの結果を図３〜図６
に示す。
複合材料、比較例で得られた磁性材料の固有抵抗、透磁
率、磁性体としてのＱを調べた。ここでの固有抵抗は、
円板試料の両面にカーボン両面テープ（日新ＥＭ株式会
社製）を貼り付け、スーパーメガオームメータ（東亜電
波工業株式会社製、Ｍｏｄｅｌ ＳＭ−９Ｅ）を用いて
測定した。透磁率および磁性体としてのＱは、円板試料
からそれぞれ、φ８.０-φ４.０-ｔ１.５ｍｍのリング
状の試料、およびφ１５.０-ｔ２.０ｍｍの円板試料を
切り出し、マテリアルアナライザー（ヒューレット・パ
ッカード社製、４２９１Ａ）を用いて周波数１ＭＨｚ〜
１.８ＧＨｚまで測定した。それらの結果を図３〜図６
に示す。
【００３４】図３は、誘電率（ε）と周波数との関係を
示したグラフである。図４は、誘電体としてのＱ（Ｑ
ε）と周波数との関係を示したグラフである。図５は、
透磁率（μ）と周波数との関係を示したグラフである。
図６は、磁性体としてのＱ（Ｑμ）と周波数との関係を
示したグラフである。
示したグラフである。図４は、誘電体としてのＱ（Ｑ
ε）と周波数との関係を示したグラフである。図５は、
透磁率（μ）と周波数との関係を示したグラフである。
図６は、磁性体としてのＱ（Ｑμ）と周波数との関係を
示したグラフである。
【００３５】図３に示した結果から明かなように、実施
例１で得られた複合材料は比較例の磁性材料と同様の誘
電性を有し、また、合金粉末の加熱温度を高く、かつ加
熱時間を長くした実施例２の複合材料は、実施例１なら
びに比較例のものと比べて、誘電率が小さいものである
ことが分った。また、図４に示した結果から明かなよう
に、実施例１〜２の複合材料は、約８００ＭＨｚ以上の
高周波数において、比較例の磁性材料よりもＱεが大き
く、優れた損失特性を示すことが分った。
例１で得られた複合材料は比較例の磁性材料と同様の誘
電性を有し、また、合金粉末の加熱温度を高く、かつ加
熱時間を長くした実施例２の複合材料は、実施例１なら
びに比較例のものと比べて、誘電率が小さいものである
ことが分った。また、図４に示した結果から明かなよう
に、実施例１〜２の複合材料は、約８００ＭＨｚ以上の
高周波数において、比較例の磁性材料よりもＱεが大き
く、優れた損失特性を示すことが分った。
【００３６】また、図５に示した結果から明かなよう
に、実施例１〜２の複合材料は、約８００ＭＨｚ以上の
高周波数において、安定した透磁率を示し、これに対し
て比較例の磁性材料は、周波数が大きくなるにつれて、
透磁率が低下している。また、特に、実施例１の複合材
料は、約１５００ＭＨｚ以上の高周波数において比較例
の磁性材料と比べて、透磁率が大きいことが分った。ま
た、図６に示した結果から明かなように、実施例１〜２
の複合材料は、約４００ＭＨｚ以上の高周波数におい
て、比較例の磁性材料に比べてＱμが大きいことが分っ
た。
に、実施例１〜２の複合材料は、約８００ＭＨｚ以上の
高周波数において、安定した透磁率を示し、これに対し
て比較例の磁性材料は、周波数が大きくなるにつれて、
透磁率が低下している。また、特に、実施例１の複合材
料は、約１５００ＭＨｚ以上の高周波数において比較例
の磁性材料と比べて、透磁率が大きいことが分った。ま
た、図６に示した結果から明かなように、実施例１〜２
の複合材料は、約４００ＭＨｚ以上の高周波数におい
て、比較例の磁性材料に比べてＱμが大きいことが分っ
た。
【００３７】（試験２）ＦｅaＺｒbＯcで示される合金
粉末をシリコーン樹脂に前記実施例１と同様にして分
散、混練後、成形して得られるＦｅ-Ｚｒ-Ｏシリコーン
樹脂複合材料において、Ｆｅの原子％を４５以上１００
以下、Ｚｒの原子％を５以上２０以下、Ｏの原子％を１
５以上４５以下の範囲で変化させて試験片とした（サン
プルＮｏ.１〜１５）。そして、各試験片において、含
有するＦｅaＺｒbＯcで示される合金粉末の組成比と、
室温で１００ＭＨｚ、５００Ｈｚにおけるμ′と、室温
で１００ＭＨｚ、５００Ｈｚ、１ＧＨｚにおけるＱμを
調べた。その測定結果を表１ならびに図７〜図１１に示
す。
粉末をシリコーン樹脂に前記実施例１と同様にして分
散、混練後、成形して得られるＦｅ-Ｚｒ-Ｏシリコーン
樹脂複合材料において、Ｆｅの原子％を４５以上１００
以下、Ｚｒの原子％を５以上２０以下、Ｏの原子％を１
５以上４５以下の範囲で変化させて試験片とした（サン
プルＮｏ.１〜１５）。そして、各試験片において、含
有するＦｅaＺｒbＯcで示される合金粉末の組成比と、
室温で１００ＭＨｚ、５００Ｈｚにおけるμ′と、室温
で１００ＭＨｚ、５００Ｈｚ、１ＧＨｚにおけるＱμを
調べた。その測定結果を表１ならびに図７〜図１１に示
す。
【００３８】
【表１】
【００３９】図７は、各Ｆｅ-Ｚｒ-Ｏシリコーン樹脂複
合材料ならびにＦｅシリコーン樹脂複合材料において、
含有するＦｅaＺｒbＯcで示される合金粉末の組成比
と、室温で１００ＭＨｚおけるμ′を示す三角組成図で
あり、図７において、組成比を示す各ポイント（・）の
上部に付してある値がμ′である。図８は、各Ｆｅ-Ｚ
ｒ-Ｏシリコーン樹脂複合材料ならびにＦｅシリコーン
樹脂複合材料において、含有するＦｅaＺｒbＯcで示さ
れる合金粉末の組成比と、室温で１００ＭＨｚおけるＱ
μを示す三角組成図であり、図８において、組成比を示
す各ポイント（・）の上部に付してある値がＱμであ
る。
合材料ならびにＦｅシリコーン樹脂複合材料において、
含有するＦｅaＺｒbＯcで示される合金粉末の組成比
と、室温で１００ＭＨｚおけるμ′を示す三角組成図で
あり、図７において、組成比を示す各ポイント（・）の
上部に付してある値がμ′である。図８は、各Ｆｅ-Ｚ
ｒ-Ｏシリコーン樹脂複合材料ならびにＦｅシリコーン
樹脂複合材料において、含有するＦｅaＺｒbＯcで示さ
れる合金粉末の組成比と、室温で１００ＭＨｚおけるＱ
μを示す三角組成図であり、図８において、組成比を示
す各ポイント（・）の上部に付してある値がＱμであ
る。
【００４０】図９は、各Ｆｅ-Ｚｒ-Ｏシリコーン樹脂複
合材料ならびにＦｅシリコーン樹脂複合材料において、
含有するＦｅaＺｒbＯcで示される合金粉末の組成比
と、室温で５００ＭＨｚおけるμ′を示す三角組成図で
あり、図９において、組成比を示す各ポイント（・）の
上部に付してある値がμ′である。図１０は、各Ｆｅ-
Ｚｒ-Ｏシリコーン樹脂複合材料ならびにＦｅシリコー
ン樹脂複合材料において、含有するＦｅaＺｒbＯcで示
される合金粉末の組成比と、室温で５００ＭＨｚおける
Ｑμを示す三角組成図であり、図１０において、組成比
を示す各ポイント（・）の上部に付してある値がＱμで
ある。図１１は、各Ｆｅ-Ｚｒ-Ｏシリコーン樹脂複合材
料ならびにＦｅシリコーン樹脂複合材料において、含有
するＦｅaＺｒbＯcで示される合金粉末の組成比と、室
温で１ＧＨｚおけるＱμを示す三角組成図であり、図１
１において、組成比を示す各ポイント（・）の上部に付
してある値がＱμである。
合材料ならびにＦｅシリコーン樹脂複合材料において、
含有するＦｅaＺｒbＯcで示される合金粉末の組成比
と、室温で５００ＭＨｚおけるμ′を示す三角組成図で
あり、図９において、組成比を示す各ポイント（・）の
上部に付してある値がμ′である。図１０は、各Ｆｅ-
Ｚｒ-Ｏシリコーン樹脂複合材料ならびにＦｅシリコー
ン樹脂複合材料において、含有するＦｅaＺｒbＯcで示
される合金粉末の組成比と、室温で５００ＭＨｚおける
Ｑμを示す三角組成図であり、図１０において、組成比
を示す各ポイント（・）の上部に付してある値がＱμで
ある。図１１は、各Ｆｅ-Ｚｒ-Ｏシリコーン樹脂複合材
料ならびにＦｅシリコーン樹脂複合材料において、含有
するＦｅaＺｒbＯcで示される合金粉末の組成比と、室
温で１ＧＨｚおけるＱμを示す三角組成図であり、図１
１において、組成比を示す各ポイント（・）の上部に付
してある値がＱμである。
【００４１】表１ならびに図７〜図１１から明かなよう
に、本発明の実施例品であるサンプルＮｏ.１〜１３の
Ｆｅ-Ｚｒ-Ｏシリコーン樹脂複合材料は、比較例品のサ
ンプルＮｏ.１４〜１５のＦｅシリコーン樹脂複合材料
と比べて、１００ＭＨｚ、５００ＭＨｚ、１ＧＨｚにお
いて、Ｑμが大きいことが分った。次に、図８と図１０
に示す結果から鑑みると、１００ＭＨｚの周波数でＱμ
≧１００とするためには、Ａの組成範囲ａを原子％で４
９≦ａ≦８７の範囲とすることが好ましく、５００ＭＨ
ｚの周波数でＱμ≧４０とするためには、原子％で４５
≦ａ≦６５の範囲とすることがさらに好ましい。また、
１００ＭＨｚの周波数でＱμ≧１２０とするためには、
Ｍの組成範囲ｂを原子％で３≦ｂ≦１２の範囲とするの
が好ましい。更に、１００ＭＨｚの周波数でＱμ≧１０
０とするためには、Ｏの組成範囲ｃを原子％で１０≦ｃ
≦５０の範囲とすることが好ましく、５００ＭＨｚの周
波数にて、Ｑμ≧４０とするためには、原子％で３０≦
ｃ≦４５の範囲とすることが好ましい。
に、本発明の実施例品であるサンプルＮｏ.１〜１３の
Ｆｅ-Ｚｒ-Ｏシリコーン樹脂複合材料は、比較例品のサ
ンプルＮｏ.１４〜１５のＦｅシリコーン樹脂複合材料
と比べて、１００ＭＨｚ、５００ＭＨｚ、１ＧＨｚにお
いて、Ｑμが大きいことが分った。次に、図８と図１０
に示す結果から鑑みると、１００ＭＨｚの周波数でＱμ
≧１００とするためには、Ａの組成範囲ａを原子％で４
９≦ａ≦８７の範囲とすることが好ましく、５００ＭＨ
ｚの周波数でＱμ≧４０とするためには、原子％で４５
≦ａ≦６５の範囲とすることがさらに好ましい。また、
１００ＭＨｚの周波数でＱμ≧１２０とするためには、
Ｍの組成範囲ｂを原子％で３≦ｂ≦１２の範囲とするの
が好ましい。更に、１００ＭＨｚの周波数でＱμ≧１０
０とするためには、Ｏの組成範囲ｃを原子％で１０≦ｃ
≦５０の範囲とすることが好ましく、５００ＭＨｚの周
波数にて、Ｑμ≧４０とするためには、原子％で３０≦
ｃ≦４５の範囲とすることが好ましい。
【００４２】（試験３）ＦｅaＷbＯcで示される合金粉
末をシリコーン樹脂に前記実施例１と同様にして分散、
混練後、成形して得られるＦｅ-Ｗ-Ｏシリコーン樹脂複
合材料において、Ｆｅの原子％を５５以上７５以下、Ｗ
の原子％を５以上２０以下、Ｏの原子％を１５以上３５
以下の範囲でそれぞれ変化させて試験片とした（サンプ
ルＮｏ.１６〜２５）。そして、各試験片において、含
有するＦｅaＷbＯcで示される合金粉末の組成比と、室
温で１ＧＨｚにおけるＱμを調べた。その測定結果を表
２ならびに図１２に示す。
末をシリコーン樹脂に前記実施例１と同様にして分散、
混練後、成形して得られるＦｅ-Ｗ-Ｏシリコーン樹脂複
合材料において、Ｆｅの原子％を５５以上７５以下、Ｗ
の原子％を５以上２０以下、Ｏの原子％を１５以上３５
以下の範囲でそれぞれ変化させて試験片とした（サンプ
ルＮｏ.１６〜２５）。そして、各試験片において、含
有するＦｅaＷbＯcで示される合金粉末の組成比と、室
温で１ＧＨｚにおけるＱμを調べた。その測定結果を表
２ならびに図１２に示す。
【００４３】
【表２】
【００４４】図１２は、各Ｆｅ-Ｗ-Ｏシリコーン樹脂複
合材料において、含有するＦｅaＷbＯcで示される合金
粉末の組成比と、室温で１ＧＨｚおけるＱμを示す三角
組成図であり、図１２において、組成比を示す各ポイン
ト（・）の上部に付してある値がＱμである。
合材料において、含有するＦｅaＷbＯcで示される合金
粉末の組成比と、室温で１ＧＨｚおけるＱμを示す三角
組成図であり、図１２において、組成比を示す各ポイン
ト（・）の上部に付してある値がＱμである。
【００４５】表１〜２ならびに図１２から明かなよう
に、本発明の実施例品であるサンプルＮｏ.１６〜２５
のＦｅ-Ｗ-Ｏシリコーン樹脂複合材料は、比較例品のサ
ンプルＮｏ.１４〜１５のＦｅシリコーン樹脂複合材料
と比べて、１ＧＨｚにおいて、Ｑμが大きいことが分っ
た。
に、本発明の実施例品であるサンプルＮｏ.１６〜２５
のＦｅ-Ｗ-Ｏシリコーン樹脂複合材料は、比較例品のサ
ンプルＮｏ.１４〜１５のＦｅシリコーン樹脂複合材料
と比べて、１ＧＨｚにおいて、Ｑμが大きいことが分っ
た。
【００４６】（実例３）
電解鉄（東方亜鉛株式会社製、２００メッシュパス）
９.８６０ｇと、酸化ジルコニウム（第１希元素製、４
５μｍパス）４.９４４ｇと、ジルコニウム２.１９６ｇ
を計量し、これらをステンレス鋼製（ＳＵＳ３０４）ポ
ット（内容量１７０ｍｌ）に入れた後、不活性ガスを封
入し、メニカルアロイングを行った。メニカルアロイン
グは、高エネルギー型遊星ボールミル（栗本鉄工所製）
を用い、ポット中には該ポットと同材料のステンレス球
（直径４ｍｍ）を２３８ｇ入れ、遠心加速度１００Ｇ、
自転速度／公転速度＝４４８ｒｐｍ／５８８ｒｐｍに
て、８時間、混合、粉砕、撹拌を行い、Ｆｅ５５Ｚｒ
２０Ｏ２５合金粉末を得た。図１３に、実例３で得られ
たＦｅ５５Ｚｒ２０Ｏ２５合金粉末のＸ線回折試験の結
果を示す。
９.８６０ｇと、酸化ジルコニウム（第１希元素製、４
５μｍパス）４.９４４ｇと、ジルコニウム２.１９６ｇ
を計量し、これらをステンレス鋼製（ＳＵＳ３０４）ポ
ット（内容量１７０ｍｌ）に入れた後、不活性ガスを封
入し、メニカルアロイングを行った。メニカルアロイン
グは、高エネルギー型遊星ボールミル（栗本鉄工所製）
を用い、ポット中には該ポットと同材料のステンレス球
（直径４ｍｍ）を２３８ｇ入れ、遠心加速度１００Ｇ、
自転速度／公転速度＝４４８ｒｐｍ／５８８ｒｐｍに
て、８時間、混合、粉砕、撹拌を行い、Ｆｅ５５Ｚｒ
２０Ｏ２５合金粉末を得た。図１３に、実例３で得られ
たＦｅ５５Ｚｒ２０Ｏ２５合金粉末のＸ線回折試験の結
果を示す。
【００４７】（実例４）
電解鉄（東方亜鉛株式会社製、２００メッシュパス）１
３.０４４ｇと、酸化ジルコニウム（第１希元素製、４
５μｍパス）２.３９８ｇとを計量し、これらをステン
レス鋼製（ＳＵＳ３０４）ポット（内容量１７０ｍｌ）
に入れた後、Ｏ２ガスを１.５７７ｇを封入し、メニカ
ルアロイングを行った。メニカルアロイングは、高エネ
ルギー型遊星ボールミル（栗本鉄工所製）を用い、ポッ
ト中には該ポットと同材料のステンレス球（直径４ｍ
ｍ）を２３８ｇ入れ、遠心加速度１００Ｇ、自転速度／
公転速度＝４４８ｒｐｍ／５８８ｒｐｍで、８時間、混
合、粉砕、撹拌を行い、Ｆｅ６０Ｚｒ５Ｏ３５合金粉末
を得た。実例４で得られたＦｅ６０Ｚｒ５Ｏ３５合金粉
末のＸ線回折試験の結果を図１３に合わせて示す。
３.０４４ｇと、酸化ジルコニウム（第１希元素製、４
５μｍパス）２.３９８ｇとを計量し、これらをステン
レス鋼製（ＳＵＳ３０４）ポット（内容量１７０ｍｌ）
に入れた後、Ｏ２ガスを１.５７７ｇを封入し、メニカ
ルアロイングを行った。メニカルアロイングは、高エネ
ルギー型遊星ボールミル（栗本鉄工所製）を用い、ポッ
ト中には該ポットと同材料のステンレス球（直径４ｍ
ｍ）を２３８ｇ入れ、遠心加速度１００Ｇ、自転速度／
公転速度＝４４８ｒｐｍ／５８８ｒｐｍで、８時間、混
合、粉砕、撹拌を行い、Ｆｅ６０Ｚｒ５Ｏ３５合金粉末
を得た。実例４で得られたＦｅ６０Ｚｒ５Ｏ３５合金粉
末のＸ線回折試験の結果を図１３に合わせて示す。
【００４８】図１３に示したＸ線回折試験の結果から明
かなように、実例３のＦｅ５５Ｚｒ２０Ｏ２５合金粉末
と、実例４のＦｅ６０Ｚｒ５Ｏ３５合金粉末とは、異る
原料を用いてメカニカルアロイングにより得られたもの
であるが、類似したＸ線回析パターンを示すことが分
る。
かなように、実例３のＦｅ５５Ｚｒ２０Ｏ２５合金粉末
と、実例４のＦｅ６０Ｚｒ５Ｏ３５合金粉末とは、異る
原料を用いてメカニカルアロイングにより得られたもの
であるが、類似したＸ線回析パターンを示すことが分
る。
【００４９】（実例５〜９）
電解鉄（東方亜鉛株式会社製、２００メッシュパス）
７.９３５ｇと、酸化ハフニウム（株式会社高純度化学
研究所製、２μｍ）９.０６５ｇを計量し、これらをス
テンレス鋼製（ＳＵＳ３０４）ポット（内容量１７０ｍ
ｌ）に入れた後、不活性ガスを封入し、メカニルアロイ
ングの時間を０.５時間、２時間、８時間、１６時間、
６０時間を変更して、混合、粉砕、撹拌を行い、Ｆｅａ
ＨｆｂＯｃ合金粉末（ここでのａ＝５４.９、ｂ＝１
１、ｃ＝３４.１であった。）を得た。
７.９３５ｇと、酸化ハフニウム（株式会社高純度化学
研究所製、２μｍ）９.０６５ｇを計量し、これらをス
テンレス鋼製（ＳＵＳ３０４）ポット（内容量１７０ｍ
ｌ）に入れた後、不活性ガスを封入し、メカニルアロイ
ングの時間を０.５時間、２時間、８時間、１６時間、
６０時間を変更して、混合、粉砕、撹拌を行い、Ｆｅａ
ＨｆｂＯｃ合金粉末（ここでのａ＝５４.９、ｂ＝１
１、ｃ＝３４.１であった。）を得た。
【００５０】ここでのメニカルアロイングは、高エネル
ギー型遊星ボールミル（栗本鉄工所製）を用い、ポット
中には該ポットと同材料のステンレス球（直径４ｍｍ）
を２３８ｇ入れ、遠心加速度１００Ｇ、自転速度／公転
速度＝４４８ｒｐｍ／５８８ｒｐｍとした。メカニカル
アロイングの時間を０.５時間としたときに得られたも
のを実例５のＦｅａＨｆｂＯｃ合金粉末、メカニカルア
ロング時間を２時間としたときに得られたものを実例６
のＦｅａＨｆｂＯｃ合金粉末、メカニカルアロングの時
間を８時間としたときに得られたものを実例７のＦｅａ
ＨｆｂＯｃ合金粉末、メカニカルアロングの時間を１６
時間としたときに得られたものを実例８のＦｅａＨｆｂ
Ｏｃ合金粉末、メカニカルアロングの時間を６０時間と
したときに得られたものを実例９のＦｅａＨｆｂＯｃ合
金粉末とした。実例５〜９で得られたＦｅ-Ｈｆ-Ｏ合金
粉末のＸ線回折試験の結果を図１４に示す。
ギー型遊星ボールミル（栗本鉄工所製）を用い、ポット
中には該ポットと同材料のステンレス球（直径４ｍｍ）
を２３８ｇ入れ、遠心加速度１００Ｇ、自転速度／公転
速度＝４４８ｒｐｍ／５８８ｒｐｍとした。メカニカル
アロイングの時間を０.５時間としたときに得られたも
のを実例５のＦｅａＨｆｂＯｃ合金粉末、メカニカルア
ロング時間を２時間としたときに得られたものを実例６
のＦｅａＨｆｂＯｃ合金粉末、メカニカルアロングの時
間を８時間としたときに得られたものを実例７のＦｅａ
ＨｆｂＯｃ合金粉末、メカニカルアロングの時間を１６
時間としたときに得られたものを実例８のＦｅａＨｆｂ
Ｏｃ合金粉末、メカニカルアロングの時間を６０時間と
したときに得られたものを実例９のＦｅａＨｆｂＯｃ合
金粉末とした。実例５〜９で得られたＦｅ-Ｈｆ-Ｏ合金
粉末のＸ線回折試験の結果を図１４に示す。
【００５１】図１４に示した結果から明かなように、メ
カニカルアロイングの時間が異る以外は同一条件でＦｅ
aＨｆbＯc合金粉末を作製した場合、メカニカルアロイ
ングの時間が長くなる程、Ｈｆ，ＯがＦｅ中に取り込ま
れ、２θ＝５５゜付近、並びに２θ＝１００゜のピーク
が小さくなり、より合金化が進んでいることが分る。
カニカルアロイングの時間が異る以外は同一条件でＦｅ
aＨｆbＯc合金粉末を作製した場合、メカニカルアロイ
ングの時間が長くなる程、Ｈｆ，ＯがＦｅ中に取り込ま
れ、２θ＝５５゜付近、並びに２θ＝１００゜のピーク
が小さくなり、より合金化が進んでいることが分る。
【００５２】（実施例１０）Ｃｏ粉末とＦｅ粉末をアー
ク溶解して原料とするとともに、石英ノズルを備えたる
つぼとその下方に設置されたＣｕロールを真空雰囲気中
に設置した構成の液体急冷装置を用いた液体急冷法によ
り、真空度３×１０-5Torr、Ａｒ分圧５０ｃｍＨｇ、石
英ノズルからの射出圧力０.４ｋｇｆ／ｃｍ2、Ｃｕロー
ル回転数３０００ｒｐｍの条件でＦｅ-Ｃｏ系の種々の
組成の合金薄帯を製造し、これらを粉砕してＦｅ-Ｃｏ
合金粉末を得、このＦｅ-Ｃｏ合金粉末にＨｆ粉末、Ｈ
ｆＯ2粉末、ＣｏＯ粉末等を混合してメカニカルアロイ
ングを行った。メカニカルアロイングに用いた装置と混
練条件は実施例１と同等とした。
ク溶解して原料とするとともに、石英ノズルを備えたる
つぼとその下方に設置されたＣｕロールを真空雰囲気中
に設置した構成の液体急冷装置を用いた液体急冷法によ
り、真空度３×１０-5Torr、Ａｒ分圧５０ｃｍＨｇ、石
英ノズルからの射出圧力０.４ｋｇｆ／ｃｍ2、Ｃｕロー
ル回転数３０００ｒｐｍの条件でＦｅ-Ｃｏ系の種々の
組成の合金薄帯を製造し、これらを粉砕してＦｅ-Ｃｏ
合金粉末を得、このＦｅ-Ｃｏ合金粉末にＨｆ粉末、Ｈ
ｆＯ2粉末、ＣｏＯ粉末等を混合してメカニカルアロイ
ングを行った。メカニカルアロイングに用いた装置と混
練条件は実施例１と同等とした。
【００５３】図１５は、前述の製造方法で得られたＣｏ
-Ｆｅ-Ｈｆ-Ｏ系の各組成のメカニカルアロイ処理粉末
試料（以後、Ｃｏ-Ｆｅ-Ｈｆ-Ｏ系ＭＡ粉末試料と略称
する。）のＸ線回折パターンを示し、図１６は、Ｃｏ粉
末とＦｅ粉末を混合したものをアーク溶解後液体急冷し
て得られた薄帯を粉砕して得たＣｏ-Ｆｅ粉末試料のＸ
線回折パターンを示し、図１７は、図１６に示すＸ線回
折パターンを示すＣｏ-Ｆｅ粉末試料を用いて得られた
メカニカルアロイ処理粉末試料（以後、Ｃｏ-Ｆｅ-Ｈｆ
-Ｏ（Ｃｏ-ＦｅＲＱ）ＭＡ粉末試料と略称する。）のＸ
線回折パターンを示す。 図１５に示すメカニカルアロ
イ粉末試料（Ｃｏ-Ｆｅ-Ｈｆ-Ｏ系ＭＡ粉末試料）の構
造は、Ｃｏ-Ｆｅ-Ｈｆ-Ｏ系の場合、Ｆｅ（ｂｃｃ）、
Ｆｅ（ｂｃｃ）＋ＨｆＯ2、Ｃｏ（ｆｃｃ）＋ＨｆＯ2、
Ｃｏ（ｆｃｃ）＋ＨｆＯ2＋ＣｏＨｆの４つの回折パタ
ーンに分類できる。また、ｂｃｃ構造もしくはｆｃｃ構
造、または、これらが混在していることも考えられるこ
れらの図から傾向を見ると、原料にＨｆＯ2を用いない
場合は、Ｆｅ（ｂｃｃ）の回折パターンを示し、原料に
Ｆｅ粉末を用いない場合には、Ｃｏ（ｆｃｃ）＋ＨｆＯ
2、Ｃｏ（ｆｃｃ）＋ＨｆＯ2＋ＣｏＨｆの回折パターン
を示している。図１７に示すメカニカルアロイ処理粉末
試料（Ｃｏ-Ｆｅ-Ｈｆ-Ｏ（Ｃｏ-ＦｅＲＱ）ＭＡ粉末試
料）の場合においても同様の傾向があり、Ｆｅ（ｂｃ
ｃ）、Ｆｅ（ｂｃｃ）＋ＨｆＯ2の回折パターンが得ら
れた。
-Ｆｅ-Ｈｆ-Ｏ系の各組成のメカニカルアロイ処理粉末
試料（以後、Ｃｏ-Ｆｅ-Ｈｆ-Ｏ系ＭＡ粉末試料と略称
する。）のＸ線回折パターンを示し、図１６は、Ｃｏ粉
末とＦｅ粉末を混合したものをアーク溶解後液体急冷し
て得られた薄帯を粉砕して得たＣｏ-Ｆｅ粉末試料のＸ
線回折パターンを示し、図１７は、図１６に示すＸ線回
折パターンを示すＣｏ-Ｆｅ粉末試料を用いて得られた
メカニカルアロイ処理粉末試料（以後、Ｃｏ-Ｆｅ-Ｈｆ
-Ｏ（Ｃｏ-ＦｅＲＱ）ＭＡ粉末試料と略称する。）のＸ
線回折パターンを示す。 図１５に示すメカニカルアロ
イ粉末試料（Ｃｏ-Ｆｅ-Ｈｆ-Ｏ系ＭＡ粉末試料）の構
造は、Ｃｏ-Ｆｅ-Ｈｆ-Ｏ系の場合、Ｆｅ（ｂｃｃ）、
Ｆｅ（ｂｃｃ）＋ＨｆＯ2、Ｃｏ（ｆｃｃ）＋ＨｆＯ2、
Ｃｏ（ｆｃｃ）＋ＨｆＯ2＋ＣｏＨｆの４つの回折パタ
ーンに分類できる。また、ｂｃｃ構造もしくはｆｃｃ構
造、または、これらが混在していることも考えられるこ
れらの図から傾向を見ると、原料にＨｆＯ2を用いない
場合は、Ｆｅ（ｂｃｃ）の回折パターンを示し、原料に
Ｆｅ粉末を用いない場合には、Ｃｏ（ｆｃｃ）＋ＨｆＯ
2、Ｃｏ（ｆｃｃ）＋ＨｆＯ2＋ＣｏＨｆの回折パターン
を示している。図１７に示すメカニカルアロイ処理粉末
試料（Ｃｏ-Ｆｅ-Ｈｆ-Ｏ（Ｃｏ-ＦｅＲＱ）ＭＡ粉末試
料）の場合においても同様の傾向があり、Ｆｅ（ｂｃ
ｃ）、Ｆｅ（ｂｃｃ）＋ＨｆＯ2の回折パターンが得ら
れた。
【００５４】なお、図１６に示す液体急冷粉砕Ｃｏ-Ｆ
ｅ粉末試料の結晶構造を見ると、Ｆｅに対するＣｏの比
率が７５％〜８５％の場合、ＦｅとＣｏの両方の回折線
が得られ、８５％以上の場合はＣｏのみの回折パターン
を示している。これ以外の組成ではＦｅのみの回折パタ
ーンを示した。しかしながら、これらの粉末を用いてメ
カニカルアロイを行った図１７に示すＣｏ-Ｆｅ-Ｈｆ-
Ｏ（Ｃｏ-ＦｅＲＱ）ＭＡ粉末試料では、Ｆｅ（ｂｃ
ｃ）、Ｆｅ（ｂｃｃ）＋ＨｆＯ2の回折パターンを示し
ている。この結果は、Ｃｏの比率が高い組成のＣｏ-Ｆ
ｅ粉末の構造がメカニカルアロイ処理の間に変化したこ
とを示しており、メカニカルアロイ処理中に、ポット、
ボールからのＦｅの侵入、Ｃｏのポット、ボールへの付
着が生じて影響を受けたものと考えられる。
ｅ粉末試料の結晶構造を見ると、Ｆｅに対するＣｏの比
率が７５％〜８５％の場合、ＦｅとＣｏの両方の回折線
が得られ、８５％以上の場合はＣｏのみの回折パターン
を示している。これ以外の組成ではＦｅのみの回折パタ
ーンを示した。しかしながら、これらの粉末を用いてメ
カニカルアロイを行った図１７に示すＣｏ-Ｆｅ-Ｈｆ-
Ｏ（Ｃｏ-ＦｅＲＱ）ＭＡ粉末試料では、Ｆｅ（ｂｃ
ｃ）、Ｆｅ（ｂｃｃ）＋ＨｆＯ2の回折パターンを示し
ている。この結果は、Ｃｏの比率が高い組成のＣｏ-Ｆ
ｅ粉末の構造がメカニカルアロイ処理の間に変化したこ
とを示しており、メカニカルアロイ処理中に、ポット、
ボールからのＦｅの侵入、Ｃｏのポット、ボールへの付
着が生じて影響を受けたものと考えられる。
【００５５】図１８〜図２５は、Ｃｏ-Ｆｅ-Ｈｆ-Ｏ系
ＭＡ粉末試料とＣｏ-Ｆｅ-Ｈｆ-Ｏ（Ｃｏ-ＦｅＲＱ）Ｍ
Ａ粉末試料を用いて樹脂複合体試料を形成し、それらの
試料の磁気特性を測定した結果を示す。ここで樹脂複合
体試料を作製するには、前記のＣｏ-Ｆｅ-Ｈｆ-Ｏ系Ｍ
Ａ粉末試料とＣｏ-Ｆｅ-Ｈｆ-Ｏ（Ｃｏ-ＦｅＲＱ）ＭＡ
粉末試料をそれぞれシリコン樹脂に５０vol％になるよ
うに添加し、それぞれの樹脂複合体試料を作製した。
ＭＡ粉末試料とＣｏ-Ｆｅ-Ｈｆ-Ｏ（Ｃｏ-ＦｅＲＱ）Ｍ
Ａ粉末試料を用いて樹脂複合体試料を形成し、それらの
試料の磁気特性を測定した結果を示す。ここで樹脂複合
体試料を作製するには、前記のＣｏ-Ｆｅ-Ｈｆ-Ｏ系Ｍ
Ａ粉末試料とＣｏ-Ｆｅ-Ｈｆ-Ｏ（Ｃｏ-ＦｅＲＱ）ＭＡ
粉末試料をそれぞれシリコン樹脂に５０vol％になるよ
うに添加し、それぞれの樹脂複合体試料を作製した。
【００５６】図１８は、周波数５０ＭＨｚにおける、各
組成のＣｏ-Ｆｅ-Ｈｆ-Ｏ系ＭＡ粉末樹脂複合体試料の
透磁率の実数部（μ'）の値を示し、図２０は、周波数
５０ＭＨｚにおける、各組成のＣｏ-Ｆｅ-Ｈｆ-Ｏ（Ｃ
ｏ-ＦｅＲＱ）ＭＡ粉末樹脂複合体試料の透磁率の実数
部（μ'）の値を示す。Ｃｏ-Ｆｅ-Ｈｆ-Ｏ系ＭＡ粉末樹
脂複合体試料のμ'は、酸素量の低下に伴い増加し、Ｆ
ｅの組成が１０原子％の時に高くなる傾向を示した。こ
れに対し、Ｃｏ-Ｆｅ-Ｈｆ-Ｏ（Ｃｏ-ＦｅＲＱ）ＭＡ粉
末樹脂複合体試料のＣｏの組成が５０〜６０原子％付近
でピークの３.８を示した。
組成のＣｏ-Ｆｅ-Ｈｆ-Ｏ系ＭＡ粉末樹脂複合体試料の
透磁率の実数部（μ'）の値を示し、図２０は、周波数
５０ＭＨｚにおける、各組成のＣｏ-Ｆｅ-Ｈｆ-Ｏ（Ｃ
ｏ-ＦｅＲＱ）ＭＡ粉末樹脂複合体試料の透磁率の実数
部（μ'）の値を示す。Ｃｏ-Ｆｅ-Ｈｆ-Ｏ系ＭＡ粉末樹
脂複合体試料のμ'は、酸素量の低下に伴い増加し、Ｆ
ｅの組成が１０原子％の時に高くなる傾向を示した。こ
れに対し、Ｃｏ-Ｆｅ-Ｈｆ-Ｏ（Ｃｏ-ＦｅＲＱ）ＭＡ粉
末樹脂複合体試料のＣｏの組成が５０〜６０原子％付近
でピークの３.８を示した。
【００５７】図１９は、Ｃｏ-Ｆｅ-Ｈｆ-Ｏ系ＭＡ粉末
樹脂複合体試料のｆ（Ｑμ＝１００）の結果を示し、図
２１は、Ｃｏ-Ｆｅ-Ｈｆ-Ｏ（Ｃｏ-ＦｅＲＱ）ＭＡ粉末
樹脂複合体試料のｆ（Ｑμ＝１００）の結果を示す。ｆ
（Ｑμ＝１００）の値は、Ｃｏ-Ｆｅ-Ｈｆ-Ｏ系ＭＡ粉
末樹脂複合体試料においてはＣｏ６０Ｈｆ１０Ｏ３０の
組成で４９６ＭＨｚであるのに対し、Ｃｏ-Ｆｅ-Ｈｆ-
Ｏ（Ｃｏ-ＦｅＲＱ）ＭＡ粉末樹脂複合体試料において
は、Ｃｏ５０Ｆｅ１０Ｈｆ１０Ｏ３０の組成で６５０Ｍ
Ｈｚとなり、Ｆｅ-Ｈｆ-Ｏ系ＭＡ粉末樹脂複合体試料の
値である約２６０ＭＨｚに比べ飛躍的に向上した。これ
ら２つの系に共通して言えることは、酸素の組成が高
く、Ｆｅの組成が低い領域で良い結果を示している点で
ある。
樹脂複合体試料のｆ（Ｑμ＝１００）の結果を示し、図
２１は、Ｃｏ-Ｆｅ-Ｈｆ-Ｏ（Ｃｏ-ＦｅＲＱ）ＭＡ粉末
樹脂複合体試料のｆ（Ｑμ＝１００）の結果を示す。ｆ
（Ｑμ＝１００）の値は、Ｃｏ-Ｆｅ-Ｈｆ-Ｏ系ＭＡ粉
末樹脂複合体試料においてはＣｏ６０Ｈｆ１０Ｏ３０の
組成で４９６ＭＨｚであるのに対し、Ｃｏ-Ｆｅ-Ｈｆ-
Ｏ（Ｃｏ-ＦｅＲＱ）ＭＡ粉末樹脂複合体試料において
は、Ｃｏ５０Ｆｅ１０Ｈｆ１０Ｏ３０の組成で６５０Ｍ
Ｈｚとなり、Ｆｅ-Ｈｆ-Ｏ系ＭＡ粉末樹脂複合体試料の
値である約２６０ＭＨｚに比べ飛躍的に向上した。これ
ら２つの系に共通して言えることは、酸素の組成が高
く、Ｆｅの組成が低い領域で良い結果を示している点で
ある。
【００５８】図２２は、周波数ｆが５０ＭＨｚにおけ
る、各組成のＣｏ-Ｆｅ-Ｈｆ-Ｏ系ＭＡ粉末樹脂複合体
試料の透磁率のε'の値を示し、図２４は、周波数ｆが
５０ＭＨｚにおける、各組成のＣｏ-Ｆｅ-Ｈｆ-Ｏ（Ｃ
ｏ-ＦｅＲＱ）ＭＡ粉末樹脂複合体試料のε'の値を示
す。また、図２３は、周波数ｆが５０ＭＨｚにおける、
各組成のＣｏ-Ｆｅ-Ｈｆ-Ｏ系ＭＡ粉末樹脂複合体試料
の透磁率のＱεの値を示し、図２５は、周波数ｆが５０
ＭＨｚにおける、各組成のＣｏ-Ｆｅ-Ｈｆ-Ｏ（Ｃｏ-Ｆ
ｅＲＱ）ＭＡ粉末樹脂複合体試料のＱεの値を示す。Ｃ
ｏ-Ｆｅ-Ｈｆ-Ｏ系ＭＡ粉末樹脂複合体試料のε'は酸素
の割合が低くなると値が小さくなる傾向を示した。Ｑε
はＣｏ60Ｆｅ10Ｈｆ10Ｏ20の組成で５６.２の最大値を
示した。
る、各組成のＣｏ-Ｆｅ-Ｈｆ-Ｏ系ＭＡ粉末樹脂複合体
試料の透磁率のε'の値を示し、図２４は、周波数ｆが
５０ＭＨｚにおける、各組成のＣｏ-Ｆｅ-Ｈｆ-Ｏ（Ｃ
ｏ-ＦｅＲＱ）ＭＡ粉末樹脂複合体試料のε'の値を示
す。また、図２３は、周波数ｆが５０ＭＨｚにおける、
各組成のＣｏ-Ｆｅ-Ｈｆ-Ｏ系ＭＡ粉末樹脂複合体試料
の透磁率のＱεの値を示し、図２５は、周波数ｆが５０
ＭＨｚにおける、各組成のＣｏ-Ｆｅ-Ｈｆ-Ｏ（Ｃｏ-Ｆ
ｅＲＱ）ＭＡ粉末樹脂複合体試料のＱεの値を示す。Ｃ
ｏ-Ｆｅ-Ｈｆ-Ｏ系ＭＡ粉末樹脂複合体試料のε'は酸素
の割合が低くなると値が小さくなる傾向を示した。Ｑε
はＣｏ60Ｆｅ10Ｈｆ10Ｏ20の組成で５６.２の最大値を
示した。
【００５９】
【発明の効果】以上説明したように本発明の軟磁性と誘
電性とを有する高周波用複合材料は、誘電損失が小さい
合成樹脂と、組成式がＡａＭｂ Ｏ ｃで示され、ＭをＺｒ
またはＷとし、前記Ａの組成範囲ａを原子％で４５≦ａ
≦６５、前記Ｏの組成範囲ｃを原子％で３０≦ｃ≦４５
とした軟磁性合金粉末とを複合したものであるので、得
られる複合材料の固有抵抗が１０８Ω・ｃｍ程度以上と
なるうえ、合成樹脂が有する絶縁体（誘電体）としての
誘電特性と、軟磁性合金粉末が有する軟磁気特性とを合
わせ持つことができ、特に、数百ＭＨｚ以上の高周波帯
では、磁気特性のみならず、Ｑが高く、例えば、１ＧＨ
ｚにおいてＱ＝３０以上となり、従来の磁性材料が達成
できなかった数百ＭＨｚ〜ＧＨｚ帯での使用が可能とな
る。また、この高周波用複合材料は、軟磁性合金粉末が
合成樹脂に分散されたものであるので、軟磁性合金粉末
のみから構成する場合と比べて、成形が容易となる。
電性とを有する高周波用複合材料は、誘電損失が小さい
合成樹脂と、組成式がＡａＭｂ Ｏ ｃで示され、ＭをＺｒ
またはＷとし、前記Ａの組成範囲ａを原子％で４５≦ａ
≦６５、前記Ｏの組成範囲ｃを原子％で３０≦ｃ≦４５
とした軟磁性合金粉末とを複合したものであるので、得
られる複合材料の固有抵抗が１０８Ω・ｃｍ程度以上と
なるうえ、合成樹脂が有する絶縁体（誘電体）としての
誘電特性と、軟磁性合金粉末が有する軟磁気特性とを合
わせ持つことができ、特に、数百ＭＨｚ以上の高周波帯
では、磁気特性のみならず、Ｑが高く、例えば、１ＧＨ
ｚにおいてＱ＝３０以上となり、従来の磁性材料が達成
できなかった数百ＭＨｚ〜ＧＨｚ帯での使用が可能とな
る。また、この高周波用複合材料は、軟磁性合金粉末が
合成樹脂に分散されたものであるので、軟磁性合金粉末
のみから構成する場合と比べて、成形が容易となる。
【００６０】従って、本発明の高周波用複合材料にあっ
ては、従来材の薄膜状のもと比べ、ロッド状などの所望
形状に成形し易いので、液晶テレビのアンテナとして、
あるいは磁気ヘッドのコアや、トランスのコアとして、
更には、パルスモータの磁針等のような磁気部品として
広く適用することができる。また、従来材と比べて、高
周波において磁気特性が優れ、かつ、誘電損失の低い磁
気部品を得ることができ、さらにこれら磁気部品の小型
化を図ることができ、例えば、本発明の高周波用複合材
料を用いて液晶テレビのアンテナを作製することで、送
受信レベルを向上し、もってアンテナの小型化を図るこ
とができる。また、本発明の製造方法にあっては、前述
のような誘電損失が小さい合成樹脂と、組成式が前述の
ＡａＭｂＯｃで示される軟磁性合金粉末とを複合した、
軟磁性と誘電性とを有する高周波用複合材料の製造に好
適に用いることができる。
ては、従来材の薄膜状のもと比べ、ロッド状などの所望
形状に成形し易いので、液晶テレビのアンテナとして、
あるいは磁気ヘッドのコアや、トランスのコアとして、
更には、パルスモータの磁針等のような磁気部品として
広く適用することができる。また、従来材と比べて、高
周波において磁気特性が優れ、かつ、誘電損失の低い磁
気部品を得ることができ、さらにこれら磁気部品の小型
化を図ることができ、例えば、本発明の高周波用複合材
料を用いて液晶テレビのアンテナを作製することで、送
受信レベルを向上し、もってアンテナの小型化を図るこ
とができる。また、本発明の製造方法にあっては、前述
のような誘電損失が小さい合成樹脂と、組成式が前述の
ＡａＭｂＯｃで示される軟磁性合金粉末とを複合した、
軟磁性と誘電性とを有する高周波用複合材料の製造に好
適に用いることができる。
【００６１】次に、前記の組成式において、ＡとしてＦ
ｅとＣｏを用い、その際の組成式を（Ｆｅ１００−ｘＣ
ｏｘ）ａＭｂＯｃ（ＭはＺｒまたはＷ）で表され、組成
比を示すxが０＜x≦９０の範囲であるように各成分を混
合することもできる。このような組成とすることで、特
に、Ｑεの値を向上させ、Ｑμの周波数特性をより良く
することができる。
ｅとＣｏを用い、その際の組成式を（Ｆｅ１００−ｘＣ
ｏｘ）ａＭｂＯｃ（ＭはＺｒまたはＷ）で表され、組成
比を示すxが０＜x≦９０の範囲であるように各成分を混
合することもできる。このような組成とすることで、特
に、Ｑεの値を向上させ、Ｑμの周波数特性をより良く
することができる。
【図１】 実施例１で得られたＦｅａＺｒｂＯｃ合金粉
末の粒子構造を示した電子顕微鏡写真である。
末の粒子構造を示した電子顕微鏡写真である。
【図２】 実施例１で得られたＦｅ-Ｚｒ-Ｏポリスチレ
ン樹脂複合材料の表面の粒子構造を示した電子顕微鏡写
真である。
ン樹脂複合材料の表面の粒子構造を示した電子顕微鏡写
真である。
【図３】 誘電率（ε）と周波数との関係を示したグラ
フである。
フである。
【図４】 誘電体としてのＱ（Ｑε）と周波数との関係
を示したグラフである。
を示したグラフである。
【図５】 透磁率（μ）と周波数との関係を示したグラ
フである。
フである。
【図６】 磁性体としてのＱ（Ｑμ）と周波数との関係
を示したグラフである。
を示したグラフである。
【図７】 各Ｆｅ-Ｚｒ-Ｏシリコーン樹脂複合材料なら
びにＦｅシリコーン樹脂複合材料において、含有するＦ
ｅａＺｒｂＯｃで示される合金粉末の組成比と、室温で
１００ＭＨｚおけるμ′を示す三角組成図である。
びにＦｅシリコーン樹脂複合材料において、含有するＦ
ｅａＺｒｂＯｃで示される合金粉末の組成比と、室温で
１００ＭＨｚおけるμ′を示す三角組成図である。
【図８】 各Ｆｅ-Ｚｒ-Ｏシリコーン樹脂複合材料なら
びにＦｅシリコーン樹脂複合材料において、含有するＦ
ｅａＺｒｂＯｃで示される合金粉末の組成比と、室温で
１００ＭＨｚおけるＱμを示す三角組成図である。
びにＦｅシリコーン樹脂複合材料において、含有するＦ
ｅａＺｒｂＯｃで示される合金粉末の組成比と、室温で
１００ＭＨｚおけるＱμを示す三角組成図である。
【図９】 各Ｆｅ-Ｚｒ-Ｏシリコーン樹脂複合材料なら
びにＦｅシリコーン樹脂複合材料において、含有するＦ
ｅａＺｒｂＯｃで示される合金粉末の組成比と、室温で
５００ＭＨｚおけるμ′を示す三角組成図である。
びにＦｅシリコーン樹脂複合材料において、含有するＦ
ｅａＺｒｂＯｃで示される合金粉末の組成比と、室温で
５００ＭＨｚおけるμ′を示す三角組成図である。
【図１０】 各Ｆｅ-Ｚｒ-Ｏシリコーン樹脂複合材料、
ならびにＦｅシリコーン樹脂複合材料において、含有す
るＦｅａＺｒｂＯｃで示される合金粉末の組成比と、室
温で５００ＭＨｚおけるＱμを示す三角組成図である。
ならびにＦｅシリコーン樹脂複合材料において、含有す
るＦｅａＺｒｂＯｃで示される合金粉末の組成比と、室
温で５００ＭＨｚおけるＱμを示す三角組成図である。
【図１１】 各Ｆｅ-Ｚｒ-Ｏシリコーン樹脂複合材料、
ならびにＦｅシリコーン樹脂複合材料において、含有す
るＦｅａＺｒｂＯｃで示される合金粉末の組成比と、室
温で１ＧＨｚおけるＱμを示す三角組成図である。
ならびにＦｅシリコーン樹脂複合材料において、含有す
るＦｅａＺｒｂＯｃで示される合金粉末の組成比と、室
温で１ＧＨｚおけるＱμを示す三角組成図である。
【図１２】 各Ｆｅ-Ｗ-Ｏシリコーン樹脂複合材料にお
いて、含有するＦｅａＷｂＯｃで示される合金粉末の組
成比と、室温で１ＧＨｚおけるＱμを示す三角組成図で
ある。
いて、含有するＦｅａＷｂＯｃで示される合金粉末の組
成比と、室温で１ＧＨｚおけるＱμを示す三角組成図で
ある。
【図１３】 実施例３のＦｅ５５Ｚｒ２０Ｏ２５合金粉
末と、実施例４のＦｅ６０Ｚｒ５Ｏ３５合金粉末のＸ線
回折試験の結果を示す図である。
末と、実施例４のＦｅ６０Ｚｒ５Ｏ３５合金粉末のＸ線
回折試験の結果を示す図である。
【図１４】 実施例５〜９で得られたＦｅ-Ｈｆ-Ｏ合金
粉末のＸ線回折試験の結果を示す図である。
粉末のＸ線回折試験の結果を示す図である。
【図１５】 図１５は、Ｃｏ-Ｆｅ-Ｈｆ-Ｏ系ＭＡ粉末
試料のＸ線回折パターンを示す図である。
試料のＸ線回折パターンを示す図である。
【図１６】 Ｃｏ粉末とＦｅ粉末を液体急冷して得られ
た薄帯を粉砕して得たＣｏ-Ｆｅ粉末試料のＸ線回折パ
ターンを示す図である。
た薄帯を粉砕して得たＣｏ-Ｆｅ粉末試料のＸ線回折パ
ターンを示す図である。
【図１７】 図１６に示すＸ線回折パターンを示すＣｏ
-Ｆｅ粉末試料を用いて得られたＣｏ-Ｆｅ-Ｈｆ-Ｏ（Ｃ
ｏ-ＦｅＲＱ）ＭＡ粉末試料のＸ線回折パターンを示す
図である。
-Ｆｅ粉末試料を用いて得られたＣｏ-Ｆｅ-Ｈｆ-Ｏ（Ｃ
ｏ-ＦｅＲＱ）ＭＡ粉末試料のＸ線回折パターンを示す
図である。
【図１８】 周波数５０ＭＨｚにおける、各組成のＣｏ
-Ｆｅ-Ｈｆ-Ｏ系ＭＡ粉末樹脂複合体試料の透磁率の実
数部の値を示す図である。
-Ｆｅ-Ｈｆ-Ｏ系ＭＡ粉末樹脂複合体試料の透磁率の実
数部の値を示す図である。
【図１９】 Ｃｏ-Ｆｅ-Ｈｆ-Ｏ系ＭＡ粉末樹脂複合体
試料のｆ（Ｑμ＝１００）の結果を示す図である。
試料のｆ（Ｑμ＝１００）の結果を示す図である。
【図２０】 周波数５０ＭＨｚにおける、各組成のＣｏ
-Ｆｅ-Ｈｆ-Ｏ（Ｃｏ-ＦｅＲＱ）ＭＡ粉末樹脂複合体試
料の透磁率の実数部の値を示す図である。
-Ｆｅ-Ｈｆ-Ｏ（Ｃｏ-ＦｅＲＱ）ＭＡ粉末樹脂複合体試
料の透磁率の実数部の値を示す図である。
【図２１】 Ｃｏ-Ｆｅ-Ｈｆ-Ｏ（Ｃｏ-ＦｅＲＱ）ＭＡ
粉末樹脂複合体試料のｆ（Ｑμ＝１００）の結果を示す
図である。
粉末樹脂複合体試料のｆ（Ｑμ＝１００）の結果を示す
図である。
【図２２】 周波数ｆが５０ＭＨｚにおける、各組成の
Ｃｏ-Ｆｅ-Ｈｆ-Ｏ系ＭＡ粉末樹脂複合体試料の透磁率
のε'の値を示す図である。
Ｃｏ-Ｆｅ-Ｈｆ-Ｏ系ＭＡ粉末樹脂複合体試料の透磁率
のε'の値を示す図である。
【図２３】 周波数ｆが５０ＭＨｚにおける、各組成の
Ｃｏ-Ｆｅ-Ｈｆ-Ｏ系ＭＡ粉末樹脂複合体試料の透磁率
のＱεの値を示す図である。
Ｃｏ-Ｆｅ-Ｈｆ-Ｏ系ＭＡ粉末樹脂複合体試料の透磁率
のＱεの値を示す図である。
【図２４】 周波数ｆが５０ＭＨｚにおける、各組成の
Ｃｏ-Ｆｅ-Ｈｆ-Ｏ（Ｃｏ-ＦｅＲＱ）ＭＡ粉末樹脂複合
体試料のε'の値を示す図である。
Ｃｏ-Ｆｅ-Ｈｆ-Ｏ（Ｃｏ-ＦｅＲＱ）ＭＡ粉末樹脂複合
体試料のε'の値を示す図である。
【図２５】 周波数ｆが５０ＭＨｚにおける、各組成の
Ｃｏ-Ｆｅ-Ｈｆ-Ｏ（Ｃｏ-ＦｅＲＱ）ＭＡ粉末樹脂複合
体試料のＱεの値を示す図である。
Ｃｏ-Ｆｅ-Ｈｆ-Ｏ（Ｃｏ-ＦｅＲＱ）ＭＡ粉末樹脂複合
体試料のＱεの値を示す図である。
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(72)発明者 牧野 彰宏
東京都大田区雪谷大塚町１番７号 アル
プス電気株式会社内
(72)発明者 久保川 輝芳
東京都大田区雪谷大塚町１番７号 アル
プス電気株式会社内
(56)参考文献 特開 昭64−28301（ＪＰ，Ａ)
特開 平６−316748（ＪＰ，Ａ)
特開 平３−10001（ＪＰ，Ａ)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
H01F 1/12 - 1/38
Claims (3)
- 【請求項１】 組成式がＡａＭｂＯｃ （前記組成式中、ＡはＦｅ，Ｃｏ，Ｎｉの群から選ばれ
た少なくとも一種の元素またはそれらの混合物を表し、
ＭはＺｒとＷから選ばれた少なくとも一種の元素または
それらの混合物を表す。）で示され、前記Ａの組成範囲
ａを原子％で４５≦ａ≦６５、前記Ｏの組成範囲ｃを原
子％で３０≦ｃ≦４５とした軟磁性合金粉末と、合成樹
脂とからなることを特徴とする軟磁性と誘電性とを有す
る高周波用複合材料。 - 【請求項２】 前記Ａが、ＦｅとＣｏからなり、組成式
が、 （Ｆｅ１００−ｘＣｏｘ）ａＭｂＯｃ で表され、xが０＜x≦９０であることを特徴とする請求
項１記載の軟磁性と誘電性とを有する高周波用複合材
料。 - 【請求項３】 前記軟磁性合金粉末の表面に絶縁層が形
成されていることを特徴とする請求項１または２に記載
の軟磁性と誘電性とを有する高周波用複合材料。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25203796A JP3447183B2 (ja) | 1995-09-25 | 1996-09-24 | 軟磁性と誘電性とを有する高周波用複合材料 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24651695 | 1995-09-25 | ||
| JP7-246516 | 1995-09-25 | ||
| JP25203796A JP3447183B2 (ja) | 1995-09-25 | 1996-09-24 | 軟磁性と誘電性とを有する高周波用複合材料 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09153405A JPH09153405A (ja) | 1997-06-10 |
| JP3447183B2 true JP3447183B2 (ja) | 2003-09-16 |
Family
ID=26537768
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25203796A Expired - Fee Related JP3447183B2 (ja) | 1995-09-25 | 1996-09-24 | 軟磁性と誘電性とを有する高周波用複合材料 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3447183B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109983550A (zh) * | 2016-11-24 | 2019-07-05 | 山阳特殊制钢株式会社 | 高频下使用的磁性粉末和含有其的磁性树脂组合物 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20090103951A (ko) * | 2007-01-23 | 2009-10-01 | 고쿠리츠 다이가쿠 호진 도호쿠 다이가쿠 | 복합 자성체, 그 제조 방법, 그것을 사용한 회로 기판, 및 그것을 사용한 전자 기기 |
| JP7762109B2 (ja) * | 2022-04-21 | 2025-10-29 | Tdk株式会社 | 金属磁性粉末、複合磁性体、および電子部品 |
| CN120356752B (zh) * | 2025-06-24 | 2025-09-09 | 中国电力科学研究院有限公司 | 一种非晶软磁合金材料、非晶软磁合金铁芯及制备方法 |
| CN120987261A (zh) * | 2025-08-25 | 2025-11-21 | 威刚(北京)汽车有限公司 | 基于电磁感应加热的甲醇水蒸气重整制氢方法 |
-
1996
- 1996-09-24 JP JP25203796A patent/JP3447183B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109983550A (zh) * | 2016-11-24 | 2019-07-05 | 山阳特殊制钢株式会社 | 高频下使用的磁性粉末和含有其的磁性树脂组合物 |
| US11276516B2 (en) | 2016-11-24 | 2022-03-15 | Sanyo Special Steel Co., Ltd. | Magnetic powder for high-frequency applications and magnetic resin composition containing same |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
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| JPH09153405A (ja) | 1997-06-10 |
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