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JP3450239B2 - Semiconductor memory device and word line driving method - Google Patents
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JP3450239B2 - Semiconductor memory device and word line driving method - Google Patents

Semiconductor memory device and word line driving method

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JP3450239B2
JP3450239B2 JP33238199A JP33238199A JP3450239B2 JP 3450239 B2 JP3450239 B2 JP 3450239B2 JP 33238199 A JP33238199 A JP 33238199A JP 33238199 A JP33238199 A JP 33238199A JP 3450239 B2 JP3450239 B2 JP 3450239B2
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semiconductor memory
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Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は半導体記憶装置及び
ワード線駆動方法に係り、特に大規模半導体集積回路
(LSI)化された半導体記憶装置及びワード線駆動方法
に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a semiconductor memory device and a word line driving method, and more particularly to a large scale semiconductor integrated circuit.
The present invention relates to an (LSI) semiconductor memory device and a word line driving method.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来より、LSI化された半導体記憶装
置(いわゆるメモリLSI)に限らず、LSIは電源電
圧の低電圧、低消費電力化と高速動作の両立が強く求め
られている。一般に、電源電圧の低電圧化は動作速度の
低下を招くが、特にメモリLSIの場合、ワードドライ
バの電圧振幅低下が、動作速度を著しく低下させる。
2. Description of the Related Art Conventionally, not only a semiconductor memory device formed into an LSI (so-called memory LSI) but also an LSI is strongly required to have a low power supply voltage, low power consumption, and high speed operation. In general, lowering the power supply voltage leads to a decrease in operating speed, but particularly in the case of a memory LSI, a decrease in the voltage amplitude of the word driver significantly reduces the operating speed.

【0003】それは以下の理由による。メモリを構成す
るメモリセルトランジスタは、チップ内で最も小さいた
め、他のトランジスタより閾値Vtは高くなる。すなわ
ち、狭チャネル効果や基板効果によって、あるいは高濃
度のチャネルストッパが近接している影響を受けて閾値
Vtは高くなる。更には、小型の分だけ寸法など製造ば
らつきの影響を受けやすく、閾値Vtのばらつきも大き
くなる。ワードドライバは、この最大の閾値Vt以上の
高い電圧が要求される。言い換えれば、ワードドライバ
の電圧振幅は、動作速度に大きな影響を与え、ワードド
ライバの電圧振幅低下は動作速度を著しく低下させるこ
とになる。
The reason is as follows. Since the memory cell transistor forming the memory is the smallest in the chip, the threshold Vt is higher than that of other transistors. That is, the threshold Vt becomes high due to the narrow channel effect, the substrate effect, or the influence of the high-concentration channel stopper being in proximity. Further, the smaller size is more susceptible to manufacturing variations such as dimensions, and the variation in the threshold value Vt becomes larger. The word driver is required to have a high voltage equal to or higher than the maximum threshold value Vt. In other words, the voltage amplitude of the word driver greatly affects the operating speed, and the decrease in the voltage amplitude of the word driver significantly reduces the operating speed.

【0004】そこで、この問題を解決するため、昇圧回
路を利用することで、ワードドライバの高レベル出力電
圧を電源電圧から昇圧した高い電圧にする方式が提案さ
れている。この方法は、電源電圧が低くても、選択ワー
ド線電位を高く維持することができ、高速化には有効な
方法である。この昇圧回路には2種類の電流が流される。
1つは負荷のpn接合部に流れる微小で、ほぼ一定の逆
バイアスリーク電流である。2つ目はメモリが選択さ
れ、ワードドライバが動作することによって流れる、大
きな過渡電流である。前者は、微小かつほぼ一定値のD
C電流であるので、問題にならないが、後者は電流値が
大きく、かつ、変動するAC電流であるので、昇圧回路
設計時には十分考慮しなくてはならない。
In order to solve this problem, therefore, a method has been proposed in which a high level output voltage of the word driver is boosted from the power supply voltage to a high voltage by utilizing a booster circuit. This method can maintain the selected word line potential high even when the power supply voltage is low, and is an effective method for speeding up. Two kinds of currents are passed through this booster circuit.
One is a minute, almost constant reverse bias leakage current flowing in the pn junction of the load. The second is a large transient current that flows when the memory is selected and the word driver operates. The former is a small and almost constant value of D
Since it is a C current, it is not a problem, but the latter is an AC current with a large current value and fluctuating, so it must be taken into consideration when designing the booster circuit.

【0005】このAC電流は、一定時間内にどれだけ選
択ワード線遷移が起きるかに依存する。例えば、100
回アドレスが変化したうち、選択ワード線遷移の伴う変
化が、50回か100回かで、AC消費電流は大きく異
なる。しかし、アドレスの変化の仕方は予測することが
できないので、連続して異なるワード線が選択される負
荷最大の場合を想定して、それを上回るように昇圧回路
の供給能力を設定せざるを得ない。
This AC current depends on how much the selected word line transition occurs in a certain time. For example, 100
Among the changes in the address, the AC current consumption largely changes depending on whether the change accompanying the selected word line transition is 50 times or 100 times. However, since it is not possible to predict how the address will change, it is unavoidable to set the supply capability of the booster circuit to exceed the maximum load assuming a case where different word lines are continuously selected. Absent.

【0006】もし、電流能力が不足し、ワードドライバ
の高レベル出力電圧が低下すると、選択されたワード線
電位が低下する。その場合、読み出し速度低下だけでは
なく、誤読み出しを起こす可能性もある。以上から、負
荷回路はその負荷の大小によらず、常に大きな電流を消
費することになり、低消費電力化の大きな妨げになって
きた。
If the current capability is insufficient and the high level output voltage of the word driver drops, the potential of the selected word line drops. In that case, not only the reading speed is lowered, but also erroneous reading may occur. From the above, the load circuit always consumes a large amount of current regardless of the size of the load, which has been a major obstacle to reducing power consumption.

【0007】この問題を解決するために、昇圧電圧のレ
ベルをモニタし、昇圧回路の電流出力能力を可変にする
半導体記憶装置が従来より提案されている(R.C.Foss e
t al.,"Application of a High-Voltage Pumped Supply
for Low-Power DRAM" 1992Symposium on VLSI Circui
ts Digest of Technical Papers,pp.106-107)。
In order to solve this problem, a semiconductor memory device which monitors the level of the boosted voltage and makes the current output capability of the booster circuit variable has been conventionally proposed (RC Fosse).
t al., "Application of a High-Voltage Pumped Supply
for Low-Power DRAM "1992 Symposium on VLSI Circui
ts Digest of Technical Papers, pp.106-107).

【0008】図4はこの従来の半導体記憶装置の一例の
回路図を示す。同図に示すように、この従来の半導体記
憶装置は、レベルモニタ1、リングオシレータ2及び昇
圧部3より構成される。VDDは電源電圧、VPPは昇
圧された電源電圧である。この従来装置では、ダイナミ
ック・ランダム・アクセス・メモリ(DRAM)のワー
ド線(図示せず)に印加されるVPPが、レベルモニタ
1で監視され、電圧が低下すると、リングオシレータ2
が動作し、昇圧部3でVPPを昇圧する構成である。
FIG. 4 shows a circuit diagram of an example of this conventional semiconductor memory device. As shown in the figure, this conventional semiconductor memory device comprises a level monitor 1, a ring oscillator 2, and a booster unit 3. VDD is a power supply voltage, and VPP is a boosted power supply voltage. In this conventional device, VPP applied to a word line (not shown) of a dynamic random access memory (DRAM) is monitored by a level monitor 1, and when the voltage drops, the ring oscillator 2
Is operated and the booster 3 boosts VPP.

【0009】次に、この従来装置の動作について詳細に
説明する。イネーブル信号は、図示の回路の動作/非動
作を決める信号であり、そのイネーブル信号が低レベル
から高レベルに変化すると、ノードaは高レベルにな
り、トランジスタQMのゲート電圧はVPPになる。ト
ランジスタQMはメモリセルと同一の形状、寸法で、閾
値Vtのモニタ用トランジスタである。
Next, the operation of this conventional device will be described in detail. The enable signal is a signal that determines the operation / non-operation of the illustrated circuit. When the enable signal changes from low level to high level, the node a goes high and the gate voltage of the transistor QM becomes VPP. The transistor QM has the same shape and size as the memory cell and is a monitoring transistor having a threshold value Vt.

【0010】電源電圧VPPが十分に高く、VPP>
(VDD+Vt)であれば、ソースにVDDが印加され
ているトランジスタQMは導通し、トランジスタQ1、
Q2によるカレントミラー回路が形成される。トランジ
スタQ2の電流駆動能力がトランジスタQ0、Q0‘に
比べて十分に大きく、またノードaの高レベル電圧によ
って、トランジスタQ2に電流が流れ始めるまでのVP
P検出回路が十分に早ければ、トランジスタQ0のドレ
インのノードbの電圧はほぼ高レベルに保持される。従
って、インバータINVの出力電圧OSCENは低レベ
ルに保持され、リングオシレータ2は起動されない。
Power supply voltage VPP is sufficiently high, VPP>
If (VDD + Vt), the transistor QM to which VDD is applied to the source becomes conductive, and the transistor Q1,
A current mirror circuit is formed by Q2. The current driving capability of the transistor Q2 is sufficiently larger than that of the transistors Q0 and Q0 ', and the high level voltage of the node a causes the VP until the current starts to flow in the transistor Q2.
If the P detection circuit is fast enough, the voltage of the node b at the drain of the transistor Q0 is maintained at a high level. Therefore, the output voltage OSCEN of the inverter INV is held at the low level, and the ring oscillator 2 is not activated.

【0011】しかし、電源電圧VPPが、VPP<(V
DD+Vt)まで低下すると、ノードbの電荷はトラン
ジスタQ0、Q0‘を通して放電され、インバータIN
Vの出力電圧OSCENは高レベルになり、リングオシ
レータ2は発振動作を開始する。リングオシレータ2が
発振動作をすると、リングオシレータ2の出力信号OS
Cが低レベルと高レベルとを交互に繰り返すことによ
り、以下の動作が行われる。
However, if the power supply voltage VPP is VPP <(V
DD + Vt), the electric charge of the node b is discharged through the transistors Q0 and Q0 ′, and the inverter IN
The V output voltage OSCEN becomes high level, and the ring oscillator 2 starts oscillating operation. When the ring oscillator 2 oscillates, the output signal OS of the ring oscillator 2
The following operations are carried out by alternately repeating the low level and the high level of C.

【0012】まず、リングオシレータ2の出力信号OS
Cが低レベルである期間では、それまで昇圧部3内のノ
ードc、d、eは共に低レベルであったので、トランジ
スタQ3、Q4はオン状態であり、Q3、Q4の各ドレ
インにおけるノードf、gの電位はそれぞれQ3、Q4
の各ソース電位VDD、VPPであった。しかし、信号
OSCが低レベルとなるので、ノードc、d、eは共に
高レベルとなり、ノードfの電位は0V、ノードgの電
位は(VDD−Vt5)となる(ただし、Vt5はノー
ドgがドレインであるトランジスタQ5の閾値)。
First, the output signal OS of the ring oscillator 2
During the period when C is at the low level, since the nodes c, d, and e in the booster unit 3 have been at the low level until then, the transistors Q3 and Q4 are in the ON state, and the node f at each drain of Q3 and Q4. , G are Q3 and Q4, respectively.
Of the respective source potentials VDD and VPP. However, since the signal OSC becomes low level, the nodes c, d, and e become high level, the potential of the node f becomes 0V, and the potential of the node g becomes (VDD-Vt5) (where Vt5 is The threshold value of the transistor Q5 which is the drain).

【0013】このとき、Q4はオフ状態のため、ノード
fがVDDから0Vに放電すると、この電圧変動によっ
てノードgも低レベルに変動しようとするが、トランジ
スタQ5がオンとなるため、その電圧は(VDD−Vt
5)に保持される。
At this time, since Q4 is in the off state, when the node f is discharged from VDD to 0 V, the voltage g also tends to fluctuate to the low level, but the transistor Q5 is turned on. (VDD-Vt
5).

【0014】つぎに、リングオシレータ2の出力信号O
SCが高レベルである期間では、ノードc、d、eは共
に低レベルとなり、ノードfが再びVDDに充電され
る。なお、ノードfはコンデンサCpを介してノードg
(Q4,Q5の両ドレイン共通接続点)に接続されてい
る。このとき、トランジスタQ4はオン、Q5はオフな
ので、このノードfの電圧VDDへの変化に対応した電
荷がVPPに供給され、VPPの電位が上昇する。この
ように、VPPが低下するとリングオシレータ2が発振
動作を開始し、リングオシレータ2の出力信号OSCが
低レベルと高レベルとを交互に繰り返すことにより、昇
圧部3においてVPPの電位が一定に保つ働きが行われ
る。
Next, the output signal O of the ring oscillator 2
During the period when SC is at the high level, the nodes c, d, and e are all at the low level, and the node f is charged to VDD again. The node f is connected to the node g via the capacitor Cp.
(Q4 and Q5 drain common connection point). At this time, since the transistor Q4 is on and Q5 is off, the charge corresponding to the change of the voltage of the node f to the voltage VDD is supplied to VPP, and the potential of VPP rises. In this way, when the VPP decreases, the ring oscillator 2 starts the oscillation operation, and the output signal OSC of the ring oscillator 2 alternately repeats the low level and the high level, so that the potential of the VPP is kept constant in the booster 3. Work is done.

【0015】[0015]

【発明が解決しようとする課題】しかるに、上記の図4
に示した従来の半導体記憶装置では、昇圧部3の出力電
圧VPPが下がってから動作するため、短時間で反応
し、昇圧電圧VPPを上昇させる能力が要求される高速
動作LSIである半導体記憶装置に適用することは極め
て困難である。
However, the above-mentioned FIG.
In the conventional semiconductor memory device shown in FIG. 1, the semiconductor memory device is a high-speed operation LSI that is required to have the ability to react in a short time and increase the boosted voltage VPP because it operates after the output voltage VPP of the booster unit 3 decreases. Is extremely difficult to apply.

【0016】本発明は以上の点に鑑みなされたもので、
ワード線遷移を検出し昇圧回路を制御することで電圧低
下を前もって抑制することにより、高速動作LSIに容
易に適用し得る半導体記憶装置及びワード線駆動方法を
提供することを目的とする。
The present invention has been made in view of the above points,
An object of the present invention is to provide a semiconductor memory device and a word line driving method which can be easily applied to a high-speed operation LSI by detecting a word line transition and controlling a booster circuit to suppress a voltage drop in advance.

【0017】[0017]

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、本発明の半導体記憶装置は、メモリセルに接続され
たワード線のうち、選択したワード線に、昇圧回路から
の昇圧電圧をワードドライバを介して供給する半導体記
憶装置において、選択されたワード線の電位レベルの
化を検出するワード線遷移検出回路と、ワード線遷移検
出回路の出力検出信号を受けて、出力カウント値を変化
又は維持するカウンタと、出力カウント値の変化を受
け、ワードドライバに供給する電流供給能力を選択され
たワード線の電位レベルの変化の連続性を示す出力カウ
ント値に応じて段階的に可変する昇圧回路とを有する構
成としたものである。この発明では、昇圧回路電圧では
なく、ワード線遷移を検出して負荷の大きさに応じて過
不足のない最適な電流供給能力を昇圧回路に設定でき
る。
In order to achieve the above object, the semiconductor memory device of the present invention uses a boosted voltage from a booster circuit to select a word line selected from word lines connected to a memory cell. In a semiconductor memory device supplied via a driver, a word line transition detection circuit that detects a change in the potential level of a selected word line and an output detection signal of the word line transition detection circuit are output. The counter that changes or maintains the count value and the current supply capacity that is supplied to the word driver in response to the change in the output count value are selected.
The output counter showing the continuity of the change in the potential level of the word line
And a step- up circuit that can be changed stepwise according to the input value . According to the present invention, it is possible to detect the word line transition instead of the booster circuit voltage and set the optimum current supply capability to the booster circuit without excess or deficiency according to the size of the load.

【0018】また、本発明は上記のカウンタを、選択ワ
ード線遷移が連続するときは、クロック信号に同期して
第1の方向に出力カウント値が第1の値に向かって漸次
変化し、同一のワード線選択が連続したときは、クロッ
ク信号に同期して第1の方向とは反対の第2の方向に出
力カウント値が第2の値に向かって漸次変化し、昇圧回
路は、カウント値が第1の方向に変化するときはカウン
ト値に応じて供給電流能力が増大し、カウント値が第2
の方向に変化するときはカウント値に応じて供給電流能
力が低下する構成であることを特徴とする。
Further, according to the present invention, when the selected word line transitions are continuous, the output count value of the counter gradually changes in the first direction toward the first value in synchronization with the clock signal. When the word line selection is continued, the output count value gradually changes toward the second value in the second direction opposite to the first direction in synchronization with the clock signal, and the booster circuit changes the count value. Changes in the first direction, the supply current capacity increases in accordance with the count value, and the count value becomes the second value.
It is characterized in that the supply current capability is reduced in accordance with the count value when changing in the direction of.

【0019】 また、本発明方法は、上記の目的を達成
するため、メモリセルに接続されたワード線のうち、選
択したワード線に、昇圧回路からの昇圧電圧をワードド
ライバを介して供給する半導体記憶装置のワード線駆動
方法において、選択されたワード線の電位レベルの変化
を検出し、その検出結果である変化の連続性に応じてカ
ウンタの出力カウント値を変化又は維持させ、出力カウ
ント値の変化に応じて昇圧回路からワードドライバに
供給する電流供給能力を、少なくとも選択ワード線遷移
が連続するときは出力カウント値の変化に応じて段階的
上昇するように可変することを特徴とする
Further, in order to achieve the above object, the method of the present invention is a semiconductor in which a boosted voltage from a booster circuit is supplied to a selected word line among word lines connected to a memory cell via a word driver. In a word line driving method for a memory device, a change in the potential level of a selected word line is detected, and the output count value of a counter is changed or maintained according to the continuity of the change that is the detection result . In response to the change , the current supply ability to be supplied from the booster circuit to the word driver can be changed stepwise according to the change of the output count value at least when the selected word line transition is continuous.
It is characterized by being variable so as to rise .

【0020】[0020]

【発明の実施の形態】次に、本発明の実施の形態につい
て図面と共に説明する。図1は本発明になる半導体記憶
装置の一実施の形態の回路系統図を示す。同図におい
て、メモリのアドレス入力信号のうち、Xデコードアド
レス信号A0は、クロック信号CLKに同期するアドレ
スラッチ11によりラッチされて信号A0Lとされた
後、2入力排他的論理和回路(EX-OR回路)12の
一方の入力端子に供給される一方、直接にEX-OR回
路12の他方の入力端子に供給される。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Next, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 shows a circuit system diagram of an embodiment of a semiconductor memory device according to the present invention. In the figure, of the address input signals of the memory, the X-decoded address signal A0 is latched by the address latch 11 synchronized with the clock signal CLK to become the signal A0L, and then the 2-input exclusive OR circuit (EX-OR While being supplied to one input terminal of the (Circuit) 12, the other input terminal of the EX-OR circuit 12 is directly supplied.

【0021】図1では図示の便宜上、図示を省略した
が、他のXデコードアドレス信号A1〜AnもXデコー
ドアドレス信号A0と同様に、それぞれが対応するアド
レスラッチによりラッチされて、2入力EX-OR回路
に供給されると共に、直接に2入力EX-OR回路に供
給される。Xデコードアドレス信号A0〜Anをそれぞ
れラッチするアドレスラッチ11を含む全部でn+1個
のアドレスラッチの出力信号は、またXデコーダ16に
も供給される。
Although not shown in FIG. 1 for convenience of illustration, the other X decode address signals A1 to An are also latched by the corresponding address latches in the same manner as the X decode address signal A0. It is supplied to the OR circuit as well as directly to the 2-input EX-OR circuit. The output signals of a total of n + 1 address latches including the address latch 11 that latches the X decode address signals A0 to An are also supplied to the X decoder 16.

【0022】EX-OR回路12を含む全部でn+1個
のEX-OR回路から取り出されたアドレス信号は、O
R回路13を通してカウンタ14に共通に入力される。
このカウンタ14は、クロック信号CLKに同期してカ
ウント動作する同期型カウンタで、リセット直後は0を
出力する。また、カウンタ14は、OR回路13の出力
信号が高レベルであれば、一定値pまではクロック信号
CLKに同期してカウントアップ動作を行い、出力値が
pになった後、OR回路13の出力信号が高レベルであ
ると、出力値pを維持する。
The address signals extracted from a total of n + 1 EX-OR circuits including the EX-OR circuit 12 are O
It is commonly input to the counter 14 through the R circuit 13.
The counter 14 is a synchronous counter that counts in synchronization with the clock signal CLK and outputs 0 immediately after reset. If the output signal of the OR circuit 13 is at a high level, the counter 14 performs a count-up operation up to a constant value p in synchronization with the clock signal CLK. When the output signal is at the high level, the output value p is maintained.

【0023】一方、カウンタ14は、OR回路13の出
力信号が低レベルであれば、クロック信号CLKに同期
してカウントダウン動作を行い、出力値が0になった
後、OR回路13の出力信号が低レベルであると、出力
値0を維持する。
On the other hand, if the output signal of the OR circuit 13 is at a low level, the counter 14 performs a countdown operation in synchronization with the clock signal CLK, and after the output value becomes 0, the output signal of the OR circuit 13 becomes low. At a low level, the output value 0 is maintained.

【0024】昇圧回路15は、供給電流能力可変の昇圧
回路であり、昇圧した電源電圧を、電源線18を経由し
てワードドライバ17に供給する。すなわち、図示しな
いメモリセルに接続されたワード線19が選択されたと
きの電位は、昇圧回路15からワードドライバ17に供
給された電位になる。昇圧回路15は、カウンタ14の
カウンタ出力値を受け、そのカウンタ出力値に対応して
ワードドライバ17に供給する電流能力を可変する機能
を持つ。
The booster circuit 15 is a booster circuit whose supply current capability is variable, and supplies the boosted power supply voltage to the word driver 17 via the power supply line 18. That is, the potential when the word line 19 connected to the memory cell (not shown) is selected becomes the potential supplied from the booster circuit 15 to the word driver 17. The booster circuit 15 has a function of receiving the counter output value of the counter 14 and varying the current capability supplied to the word driver 17 in accordance with the counter output value.

【0025】図2は昇圧回路15の一実施の形態の回路
図を示す。同図に示すように、昇圧回路15は、それぞ
れダイオード接続された2つのNチャネルMOS型電界
効果トランジスタM1及びM2が直列に接続され、トラ
ンジスタM1及びM2の接続点(ノードN)には、コン
デンサCPの一端が接続されている。このコンデンサC
Pは、ポンプアップ容量である。また、トランジスタM
1及びM2の各閾値は、それぞれVtである。
FIG. 2 shows a circuit diagram of an embodiment of the booster circuit 15. As shown in the figure, in the booster circuit 15, two N-channel MOS type field effect transistors M1 and M2, which are diode-connected, are connected in series, and a capacitor is provided at a connection point (node N) of the transistors M1 and M2. One end of CP is connected. This capacitor C
P is the pump-up capacity. Also, the transistor M
The thresholds of 1 and M2 are Vt, respectively.

【0026】コンデンサCPの他端は、分周比可変回路
21の出力端子に接続されている。分周比可変回路21
は、入力クロック信号CLKを分周してコンデンサCP
に印加するが、その分周比は図1に示したカウンタ14
の出力カウント値に応じて可変される。ここでは、例え
ばカウンタ値が最大値pのときには、上記の分周比は最
小で、分周比可変回路21の出力信号周波数が最も高
く、最小カウント値0のときは分周比が最大で、分周比
可変回路21の出力信号周波数が最も低くなる。トラン
ジスタM1に入力される電源電圧VDDは、トランジス
タM2から昇圧されてVPP端子へ出力される。ここで
は、説明を容易にするために、過昇圧防止の電圧リミッ
タ回路は省略している。なお、クロック信号CLKは、
低レベル(GND)と高レベル(VDD)とが交互に繰
り返される方形波である。
The other end of the capacitor CP is connected to the output terminal of the frequency division ratio variable circuit 21. Variable division ratio circuit 21
Is a capacitor CP that divides the input clock signal CLK.
The frequency division ratio is applied to the counter 14 shown in FIG.
It is variable according to the output count value of. Here, for example, when the counter value is the maximum value p, the above frequency division ratio is the minimum, the output signal frequency of the frequency division ratio variable circuit 21 is the highest, and when the minimum count value is 0, the frequency division ratio is the maximum. The output signal frequency of the frequency division ratio variable circuit 21 becomes the lowest. The power supply voltage VDD input to the transistor M1 is boosted by the transistor M2 and output to the VPP terminal. Here, the voltage limiter circuit for preventing excessive boosting is omitted for ease of explanation. The clock signal CLK is
It is a square wave in which a low level (GND) and a high level (VDD) are alternately repeated.

【0027】 次に、図1及び図2に示す本実施の形態
の動作について、図3のタイミングチャートを併せ参照
して説明する。Xデコーアドレス信号の一つ、例えば
Xデコーアドレス信号A0のみが変化した場合を考え
る。図3に示すクロック信号CLKのある一周期Φ0
で、Xデコーアドレス信号A0が低レベル(0)から
高レベル(1)に変化し、次の一周期Φ1で、高レベル
から低レベルへ変化することで、選択ワード線が図3に
示すように、W<0>からW<1>に変化する。このと
き、アドレス信号A0とアドレスラッチ11でラッチし
て得られた信号A0Lとが入力されるEX−OR回路1
2の出力信号はパルスとなる。
Next, the operation of the present embodiment shown in FIGS. 1 and 2 will be described with reference to the timing chart of FIG. One of X decode address signals, for example, when only the X decode address signals A0 is changed. One cycle Φ0 with the clock signal CLK shown in FIG.
In, X decode address signals A0 changes from the low level (0) to a high level (1), in the next one cycle .phi.1, that changes from the high level to the low level, shown in Figure 3 is the selected word line Thus, W <0> changes to W <1>. At this time, the EX-OR circuit 1 to which the address signal A0 and the signal A0L obtained by being latched by the address latch 11 are input
The output signal of 2 becomes a pulse.

【0028】この出力信号は、OR回路13を経て図3
に示すパルス波形としてカウンタ14に入力され、その
高レベルの期間にクロックに同期してカウント値が0か
ら1へとカウントアップする。ここでは、アドレス信号
A0について説明したが、Xデコードアドレス信号のど
れか一つ以上が変化することにより、パルス信号がOR
回路13から取り出され、カウンタ14に入力される。
すなわち、選択されるワード線が変化すると、カウンタ1
4の出力は図3に示すように、カウントアップされるこ
とになる。
This output signal passes through the OR circuit 13 and is shown in FIG.
Is input to the counter 14 as a pulse waveform shown in FIG. 2 and the count value is incremented from 0 to 1 in synchronization with the clock during the high level period. Although the address signal A0 has been described here, the pulse signal is ORed when one or more of the X decode address signals change.
It is taken out from the circuit 13 and inputted to the counter 14.
That is, when the selected word line changes, the counter 1
The output of 4 will be counted up as shown in FIG.

【0029】昇圧回路15は、カウンタ14の出力カウ
ンタ値を受けて、ワードドライバ17に供給する電流能
力を1段階上昇させる。ここで、図2に示した昇圧回路
15の動作について説明するに、分周比可変回路21か
ら出力された分周クロック信号が低レベル(GND)の
ときには、トランジスタM1を通じてVDDからノード
Nに電流が流れ込み、ノードNの電位は(VDD−V
t)まで上昇する。続いて、上記の分周クロック信号が
高レベル(VDD)になると、コンデンサCPの両端で
カップリングが起り(両端の電位差を(VDD−Vt)
に保つ)、ノードNの電位がVDDを上回っているの
で、トランジスタM1の働きで電流はVDD端子には流
れず、VPP端子方向に流れ、VPP端子は最大2(V
DD−Vt)まで上昇する。
The booster circuit 15 receives the output counter value of the counter 14 and increases the current capacity supplied to the word driver 17 by one step. Here, the operation of the booster circuit 15 shown in FIG. 2 will be described. When the divided clock signal output from the variable division ratio circuit 21 is at a low level (GND), a current is supplied from VDD to the node N through the transistor M1. Flows in, and the potential of the node N becomes (VDD-V
rise to t). Then, when the divided clock signal becomes high level (VDD), coupling occurs at both ends of the capacitor CP (potential difference between both ends is (VDD-Vt)).
Since the potential of the node N exceeds VDD, the current does not flow to the VDD terminal by the action of the transistor M1 but flows toward the VPP terminal, and the VPP terminal has a maximum voltage of 2 (V
DD-Vt).

【0030】このように、クロック信号を供給し続ける
ことで、上記の状態が繰り返され、VPP端子は最大2
(VDD−Vt)の昇圧電位に保たれる。また、上記の
状態の繰り返しは、カウント値に応じて変化する。
As described above, by continuously supplying the clock signal, the above-mentioned state is repeated, and the VPP terminal has a maximum of 2.
The boosted potential of (VDD-Vt) is maintained. Further, the repetition of the above state changes depending on the count value.

【0031】選択されたワード線が変化すると、消費す
るAC電流も増加するが、それに合わせて供給電流能力
が過不足なく上昇するように設定しておけば、昇圧回路
15が過剰な電流を消費することもなく、ワードドライ
バ17の高レベル、すなわち選択ワード線電位が一定値
に保持される。
When the selected word line changes, the consumed AC current also increases, but if the supply current capacity is set to increase in proportion to this, the booster circuit 15 consumes an excessive current. Without doing so, the high level of the word driver 17, that is, the selected word line potential is held at a constant value.

【0032】更に、クロックが図3に示すように、Φ1か
らΦ2とワード線遷移が連続して、ワードドライバ17
のAC消費電流が更に増加しても、カウンタ14の出力
カウンタ値の増加に伴い、昇圧回路15の供給電流能力
が図3に示すように上昇するので、最適な消費電流、選択
ワード線電位が保たれる。
Further, as shown in FIG. 3, when the clock is Φ1 to Φ2 and the word line transition is continuous, the word driver 17
, The supply current capacity of the booster circuit 15 increases as the output counter value of the counter 14 increases, so that the optimum consumption current and the selected word line potential are To be kept.

【0033】反対に、図3に示すΦ3、Φ4、Φ5のクロ
ックの連続する3周期では、Xデコーダアドレス信号A
0が高レベルに維持され、同一ワード線選択が連続して
おり、この場合はワードドライバ17のAC消費電流は
小さくなる。この場合、カウンタ14の出力カウンタ値
は、図3に示すように2→1→0とカウントダウンされ、
電流供給能力を下げ、昇圧回路15が過剰な電流を消費
することがないように動作する。
On the contrary, in three consecutive cycles of Φ3, Φ4, and Φ5 clocks shown in FIG. 3, the X decoder address signal A
0 is maintained at a high level and the same word line is continuously selected. In this case, the AC current consumption of the word driver 17 becomes small. In this case, the output counter value of the counter 14 is counted down as 2 → 1 → 0 as shown in FIG.
The current supply capability is lowered, and the booster circuit 15 operates so as not to consume an excessive current.

【0034】以上説明したように、選択ワード線遷移が
連続している場合、カウンタ14はカウントアップ動作
を行うが、無限にカウント出力値を上昇させ、電源供給
能力を上昇させることは物理的に不可能である。そこ
で、一定値以上カウントアップが行われれば、それ以降
はカウント出力値を一定値に保持するように働く構成に
なっている。図3ではΦ2→Φ3がその状態で、カウン
ト値が2以上になれば、すなわち選択ワード線変化が連
続して3回以上起ると、カウンタ14のカウント出力値
は2のままである。
As described above, when the selected word line transition is continuous, the counter 14 performs a count-up operation. However, it is physically possible to increase the count output value infinitely and to increase the power supply capacity. It is impossible. Therefore, if the count-up is performed at a certain value or more, the count output value is kept constant after that. In FIG. 3, in the state of Φ2 → Φ3, if the count value becomes 2 or more, that is, if the change of the selected word line occurs 3 times or more consecutively, the count output value of the counter 14 remains 2.

【0035】この場合、選択ワード線変化が3回以上連
続しても、ワード線AC消費電流が十分に供給できるよ
うに、昇圧回路15のデメンジョンを変える設定を行っ
ておけばよい。具体的には、例えば図2のコンデンサC
Pを複数個用意しておき、通常は容量の小さなものを使
用し、負荷が高くなったときに容量が大きなものを使用
することなどが考えられる。
In this case, the dimension of the booster circuit 15 may be changed so that the AC current consumption of the word line can be sufficiently supplied even if the selected word line changes three or more times in succession. Specifically, for example, the capacitor C in FIG.
It is conceivable to prepare a plurality of Ps, usually use a small capacity one, and use a large capacity one when the load becomes high.

【0036】また、上記の実施の形態では、選択ワード
線遷移が発生しないとき、すなわち同一ワード線選択が
連続した場合も同様である。例えば、カウンタ出力値が
0になれば、それ以後は0を維持し、昇圧回路15の消
費電流最低の状態が続く構成になっている。
Further, in the above-described embodiment, the same is true when the selected word line transition does not occur, that is, when the same word line is selected continuously. For example, when the counter output value becomes 0, it is maintained at 0 thereafter, and the state in which the current consumption of the booster circuit 15 is the lowest continues.

【0037】このように、本実施の形態では、ワード線
遷移を検出し、負荷の大きさに応じて、出力値が変化又
は維持するように動作するカウンタ14の出力カウンタ
値を昇圧回路15に供給してワードドライバ17に供給
する電流能力を過不足のない最適な電流能力を設定する
ようにしているため、余分な電力消費を抑制し、昇圧電
圧を一定に保持することができる。また、昇圧回路電圧
ではなく、ワード線遷移を検出し、昇圧回路15を制御
することで電圧低下を前もって抑制するようにしている
ため、短時間に反応する必要はない。
As described above, in the present embodiment, the output counter value of the counter 14 which operates to detect the word line transition and change or maintain the output value according to the magnitude of the load is supplied to the booster circuit 15. Since the optimum current capacity for supplying and supplying to the word driver 17 is set appropriately, it is possible to suppress excessive power consumption and keep the boosted voltage constant. In addition, the voltage drop is detected in advance by detecting the word line transition instead of the booster circuit voltage and controlling the booster circuit 15. Therefore, it is not necessary to react in a short time.

【0038】なお、カウンタ出力値に応じて、供給する
電流能力が変化する昇圧回路15は、図2の構成以外に
もいくつかの実現方法がある。例えば、昇圧回路15を
構成するトランジスタや抵抗等のデメンジョンを、カウ
ンタ14の出力カウント値に応じて可変にする構成も考
えられる。いずれも実現は容易である。
The booster circuit 15 in which the current capacity to be supplied changes depending on the output value of the counter can be realized by some methods other than the configuration shown in FIG. For example, a configuration is possible in which the dimensions of the transistors, resistors, and the like that form the booster circuit 15 are made variable according to the output count value of the counter 14. Both are easy to implement.

【0039】なお、本発明は以上の実施の形態に限定さ
れるものではなく、例えば、図2に示したトランジスタ
M1及びM2をダイオードとして機能させるために、ダ
イオード接続としたが、機能的に等価であればよく、従
ってダイオードは勿論のこと、ゲートにクロック信号が
入力されたトランジスタを用い、ダイオードで構成した
場合と等価の働きをさせる構成でもよく、すべてのダイ
オード素子を包含するものである。また、トランジスタ
M1、M2はMOSトランジスタ以外の電界効果トラン
ジスタ、あるいはバイポーラトランジスタでもよいこと
は勿論である。
The present invention is not limited to the above-described embodiment, and for example, the transistors M1 and M2 shown in FIG. 2 are diode-connected to function as diodes, but they are functionally equivalent. Therefore, not only a diode but also a transistor having a gate to which a clock signal is input may be used and an equivalent function to that of a diode may be used, and all diode elements are included. Further, it goes without saying that the transistors M1 and M2 may be field effect transistors other than MOS transistors or bipolar transistors.

【0040】[0040]

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
昇圧回路電圧ではなく、ワード線遷移を検出して負荷の
大きさに応じて過不足のない最適な電流供給能力を昇圧
回路に設定したため、従来のように、選択ワード線が連
続する場合、すなわち、負荷最大の場合を想定して能力
を決定せざるを得ないために、実際のワード線消費電流
を超えて昇圧回路が動作して過剰に電流を消費してしま
うという現象を防止でき、昇圧電圧を一定に保持するこ
とができる。
As described above, according to the present invention,
Instead of the booster circuit voltage, the word line transition is detected and the optimum current supply capacity is set in the booster circuit according to the size of the load. Since it is necessary to determine the capacity assuming the maximum load, it is possible to prevent the phenomenon that the booster circuit operates exceeding the actual word line current consumption and consumes excessive current. The voltage can be kept constant.

【0041】また、本発明によれば、ワード線遷移を検
出して昇圧回路を制御することで前もって電圧低下を抑
制するようにしているため、短時間に反応する必要がな
く、よって、高速動作をするメモリLSIへの適用が容
易であり、低電圧、低消費電力と高速動作の両立ができ
る。
Further, according to the present invention, since the voltage drop is suppressed in advance by detecting the word line transition and controlling the booster circuit, it is not necessary to react in a short time, and therefore the high speed operation is possible. It is easy to apply to a memory LSI that operates, and low voltage, low power consumption and high speed operation can both be achieved.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の一実施の形態の回路系統図である。FIG. 1 is a circuit system diagram of an embodiment of the present invention.

【図2】図1中の昇圧回路の一実施の形態の回路図であ
る。
FIG. 2 is a circuit diagram of an embodiment of the booster circuit in FIG.

【図3】図1の動作説明用タイミングチャートである。FIG. 3 is a timing chart for explaining the operation of FIG.

【図4】従来の一例の回路図である。FIG. 4 is a circuit diagram of a conventional example.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

11 アドレスラッチ 12 排他的論理和回路(EX−OR回路) 13 OR回路 14 カウンタ 15 昇圧回路 16 Xデコーダ 17 ワードドライバ 19 ワード線 21 分周比可変回路 M1、M2 NチャネルMOS型電界効果トランジスタ CP コンデンサ(ポンプアップ容量) 11 Address latch 12 Exclusive OR circuit (EX-OR circuit) 13 OR circuit 14 counter 15 Booster circuit 16 X decoder 17 word driver 19 word lines 21 Dividing ratio variable circuit M1, M2 N-channel MOS type field effect transistor CP capacitor (pump up capacity)

Claims (5)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 メモリセルに接続されたワード線のう
ち、選択したワード線に、昇圧回路からの昇圧電圧をワ
ードドライバを介して供給する半導体記憶装置におい
て、 選択されたワード線の電位レベルの変化を検出するワー
ド線遷移検出回路と、 前記ワード線遷移検出回路の出力検出信号を受けて、出
力カウント値を変化又は維持するカウンタと、 前記出力カウント値の変化を受け、前記ワードドライバ
に供給する電流供給能力を前記選択されたワード線の電
位レベルの変化の連続性を示す前記出力カウント値に応
じて段階的に可変する昇圧回路とを有することを特徴と
する半導体記憶装置。
1. A semiconductor memory device for supplying a boosted voltage from a booster circuit to a selected word line among word lines connected to a memory cell via a word driver, the potential level of the selected word line being changed. receiving a word line transition detection circuit for detecting a change, in response to an output detection signal of said word line transition detection circuit, a counter for changing or maintaining the output count value, a change in the output count value, supplied to the word drivers The current supply capacity of the selected word line.
In response to the output count value, which indicates the continuity of changes in
A semiconductor memory device having a step-up circuit that can be changed stepwise .
【請求項2】 前記ワード線遷移検出回路は、複数のX
デコーアドレス信号のそれぞれを別々にクロック信号
に同期してラッチする複数のアドレスラッチと、前記ア
ドレスラッチの出力信号と当該出力信号に対応するXデ
コーアドレス信号とを入力して当該Xデコードアドレ
ス信号の変化を検出する複数の論理回路と、前記複数の
論理回路の出力信号を論理和演算する単一の論理和回路
とからなることを特徴とする請求項1記載の半導体記憶
装置。
2. The word line transition detection circuit comprises a plurality of Xs.
Each decode address signals in synchronization with the separately clock signal inputs and a plurality of address latch for latching, and X de <br/> code address signal corresponding to the output signal and the output signal of said address latch The relevant X decode address
2. The semiconductor memory device according to claim 1, wherein the semiconductor memory device comprises a plurality of logic circuits that detect a change in the output signal and a single OR circuit that performs an OR operation on the output signals of the plurality of logic circuits.
【請求項3】 前記カウンタは、選択ワード線遷移が連
続するときは、クロック信号に同期して第1の方向に出
力カウント値が第1の値に向かって漸次変化し、同一の
ワード線選択が連続したときは、前記クロック信号に同
期して前記第1の方向とは反対の第2の方向に出力カウ
ント値が第2の値に向かって漸次変化し、前記昇圧回路
は、前記カウント値が前記第1の方向に変化するときは
該カウント値に応じて供給電流能力が増大し、前記カウ
ント値が前記第2の方向に変化するときは該カウント値
に応じて供給電流能力が低下する構成であることを特徴
とする請求項1記載の半導体記憶装置。
3. When the selected word line transition continues, the counter gradually changes the output count value toward the first value in the first direction in synchronization with the clock signal, and selects the same word line. , The output count value gradually changes toward the second value in the second direction opposite to the first direction in synchronization with the clock signal, and the booster circuit causes the count value to change. Changes in the first direction, the supply current capacity increases in accordance with the count value, and when the count value changes in the second direction, the supply current capacity decreases in accordance with the count value. The semiconductor memory device according to claim 1, wherein the semiconductor memory device has a configuration.
【請求項4】 前記昇圧回路は、一端が電源電圧に接続
された第1のダイオード素子と、前記第1のダイオード
素子からの前記電源電圧を受けて昇圧された電源電圧を
出力する、前記第1のダイオード素子に直列に接続され
た第2のダイオード素子と、前記第1及び第2のダイオ
ード素子の接続点に一端が接続されたコンデンサと、前
記コンデンサの他端に前記カウンタの出力カウント値に
応じて周波数の変化するクロック信号を供給する供給手
段とよりなることを特徴とする請求項1記載の半導体記
憶装置。
4. The boosting circuit outputs a boosted power supply voltage in response to a first diode element having one end connected to a power supply voltage and the power supply voltage from the first diode element. A second diode element connected in series to one diode element, a capacitor having one end connected to a connection point of the first and second diode elements, and an output count value of the counter at the other end of the capacitor 2. The semiconductor memory device according to claim 1, further comprising a supply unit that supplies a clock signal whose frequency changes in accordance with the above.
【請求項5】 メモリセルに接続されたワード線のう
ち、選択したワード線に、昇圧回路からの昇圧電圧をワ
ードドライバを介して供給する半導体記憶装置のワード
線駆動方法において、 選択されたワード線の電位レベルの変化を検出し、その
検出結果である変化の連続性に応じてカウンタの出力カ
ウント値を変化又は維持させ、前記出力カウント値の変
に応じて前記昇圧回路から前記ワードドライバに供
給する電流供給能力を、少なくとも選択ワード線遷移が
連続するときは前記出力カウント値の変化に応じて段階
的に上昇するように可変することを特徴とするワード線
駆動方法。
5. A word line driving method for a semiconductor memory device, wherein a boosted voltage from a booster circuit is supplied to a selected word line among word lines connected to a memory cell via a word driver, and the selected word is selected. detecting a change in the potential level of the line, the detection result is that depending on the continuity of change is changed or maintain the output count value of the counter, varying the output count value
Depending on the reduction, the current supply capacity supplied to the word driver from the booster circuit, at least when the selected word line transition is continuous in response to changes in the output count value stage
A method for driving a word line, which is characterized in that it is variable so as to rise.
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