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JP3456166B2 - フォトニック結晶を用いた光結合素子および光結合方法 - Google Patents
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JP3456166B2 - フォトニック結晶を用いた光結合素子および光結合方法 - Google Patents

フォトニック結晶を用いた光結合素子および光結合方法

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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、光通信、特に波長
多重通信や超高速光通信等に用いられる光結合素子およ
び光結合方法に関する。
【0002】
【従来の技術】従来の技術として、図3に示した、特開
平8−234062号公報に記載の「光結合デバイスお
よび光結合方法」がある。この従来技術を以下に説明す
る。半導体基板102上に光の伝搬方向に形状がテーパ
状に変化しているコア101を形成し、このコアを取り
囲むように第1のクラッド層103を形成する。第1の
クラッド層の屈折率はコアよりも小さく、かつ半導体基
板102よりも大きい。ここで、第1のクラッド層10
3の厚さt2は、少なくとも、スポットサイズの大きい
光導波路素子との光結合端面近傍において、光結合端面
のスポットサイズが、前記スポットサイズの大きい光導
波路素子のスポットサイズの大きさに合うように設計さ
れる。このような光結合デバイスおよび光結合方法によ
り、スポットサイズを変換し、異なるスポットサイズの
光導波路素子を光結合することが可能となる。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上述の光結合
デバイスおよび光結合方法には、以下のような課題があ
る。すなわち、上述の光結合デバイスおよび光結合方法
では、入射側光線のスポットサイズと出射側光線のスポ
ットサイズを桁違いに変換することは難しい。特に、出
射側光線のスポットサイズを波長程度まで小さくするに
は、上記コア101のテーパを極めて急にする必要があ
り、もはやテーパとは定義できない形状になることが容
易に想像される。この結果、低損失で変換することが難
しくなる。特に、図1に示すようなフォトニック結晶を
用いた導波路を想定した場合には、導波路サイズが1μ
m以下と波長以下となり、このサイズまでスポットサイ
ズ変換することは上記従来技術では不可能と考えられ
る。
【0004】本発明は上記課題を克服するためになされ
たもので、入射側光線のスポットサイズと出射側光線の
スポットサイズを桁違いに変換することを可能とした光
結合素子および光結合方法を提供するものである。特
に、図1に示すようなフォトニック結晶を用いた導波路
への光ファイバからの光結合を目的とする。すなわち、
光ファイバからの出射光のスポットサイズは約10μm
であるのに対して、フォトニック結晶導波路の幅は1μ
m以下であり、スポットサイズを10分の1以下に変換
する必要がある。
【0005】
【課題を解決するための手段】請求項1に記載の発明
は、スポットサイズが異なる光導波路素子どうしを結合
する光結合素子に、前記光導波路素子の利用する光の波
長と同程度の間隔で周期的な屈折率の変調構造を有する
フォトニック結晶を用いることにより、その出射端での
スポットサイズを入射端でのスポットサイズと異なるサ
イズに変換することを特徴とする光結合素子である。
【0006】請求項2に記載の発明は、前記フォトニッ
ク結晶の有する分散面が、光入射方向から見て傾斜して
いるように結晶配置および光入射方向を設定することに
より、フォトニック結晶内伝播光の波数空間での広がり
幅が、入射光の波数空間での広がり幅に対して拡大する
よう設定し、この広がり幅と逆比例の関係にある実空間
でのスポットサイズを相対的に縮小させることを特徴と
する請求項1に記載の光結合素子である。
【0007】請求項3に記載の発明は、前記フォトニッ
ク結晶の有する分散面の曲率を、入射光の有する光錐の
曲率より大きくなるよう設定し、フォトニック結晶内の
実効屈折率を大きくし、波数空間での広がり幅と実空間
でのスポットサイズとの積を小さくし、フォトニック結
晶内伝播光の実空間でのスポットサイズを実効的に小さ
くすることを特徴とする請求項1または2に記載の光結
合素子である。
【0008】請求項4に記載の発明は、前記フォトニッ
ク結晶の有する分散面の曲率を、入射光の有する光錐の
曲率より小さくなるよう設定し、フォトニック結晶内伝
播光の実空間でのスポットサイズを実効的に大きくする
ことを特徴とする請求項3に記載の光結合素子である。
【0009】請求項5に記載の発明は、スポットサイズ
が異なる光導波路素子どうしを結合する光結合素子に、
前記光導波路素子の利用する光の波長と同程度の間隔で
周期的な屈折率の変調構造を有するフォトニック結晶を
用いることにより、その出射端でのスポットサイズを入
射端でのスポットサイズと異なるサイズに変換すること
を特徴とする光結合方法である。
【0010】本発明で用いるフォトニック結晶は、その
分散面(波数空間での等エネルギー面)が光入射方向か
ら見て傾斜しているように結晶配置および光入射方向が
設定されるか、あるいは分散面の曲率が入射光の有する
光錐の曲率より大きくなるように設定される。
【0011】
【発明の実施の形態】まず、本発明の原理を説明する。
前述の課題は,フォトニック結晶(以下PCと呼ぶ)を
用い、以下のような原理を利用することによって解決さ
れる。まず、最も単純なスポットサイズ変換を考えてみ
る。スポットサイズ変換は、原理的には、図4に示すよ
うな一枚のレンズを用いて行える。この場合、レンズの
開口直径をD、レンズから集光スポットまでをSとする
と、集光点での直径W(光強度が1/e2となる距離S
でのビームウエストW)は以下の式で与えられる。 W=4λ/π・S/D (1) ここでλは媒質内での波長である。
【0012】ビームウエストWをλ/2とするには、S
/D(F値)を0.39とする必要があり、通常のレン
ズでは困難である。特にこのときの焦点深度DOFは、 DOF=8λ/π・[S/D]2 (2) より0.39λとなり、1.55μm帯の場合、0.6
μmしかないことが分かる。レンズコスト、アライメン
ト、サイズなどの問題が容易に想像される。
【0013】次に、上述した通常の回折光学の限界を不
確定性関係の形で考え直してみる。式(1)を以下のよ
うに書き直してみる。 W・[2πn/λ0・D/S]=8 (3) ここでλ0は真空中の波長、nは媒質の屈折率である。
左辺のWは実空間上の広がりを、[ ]内は波数空間上
の(横方向の)広がりを表している。これらをΔr、Δ
kと表せば、 Δr・Δk>2π (4) という不確定性関係におけるほぼ極小値となっているこ
とがわかる。つまり、上述の最も単純なスポットサイズ
変換では、Δkを意図的に拡大することによって、代わ
りにΔrを縮小するスクイズド状態を生み出していると
解釈できる。
【0014】ところで、式(4)の屈折率nを右辺に移
し、 Δr・Δk0>2π/n (5) と書き直せば(k0は真空中の波数)、nを大きくする
ほどΔrとΔk0の積を実質的に小さくできることがわ
かる。先のスクイズ効果に対して揺らぎの積自体を全体
的に縮小するので、シュリンク効果と呼べる。
【0015】次に、上記概念を踏まえ、フォトニック結
晶を用いたスポットサイズ変換を考えてみる。以下、上
述のスクイズ効果とシュリンク効果を順に説明する。
【0016】最初に、Δkをできるだけ大きくし、Δr
を抑えるスクイズ法を考える。図5のような波数空間を
考える。横軸は入射面に対して平行な波数成分を、縦軸
は垂直な波数成分を表している。図中の直線は通常屈折
率楕円体と呼ばれる分散関係の一部で、分散面とここで
は呼ぶ。横方向の波数広がりΔkiを持つ入射光はこの
分散面によって媒質内での波数広がりΔkpに変換され
る。この図より分かるように、分散面が入射面より傾い
ているほどΔkp/Δki比は大きく取れ、逆にΔrp
Δriより小さくできる。
【0017】通常の結晶ではこの分散面(屈折率楕円
体)は、図6のように円形をしており、しかもn>1
(吸収のない波長において)のため真空中の分散面より
も必ず大きく、図のようにΔkp/Δki比はあまり大き
く取れないという事情がある。
【0018】フォトニック結晶では、この分散面の形状
を自由に制御することができる。例えば、図7のような
星状の分散面を考えると、図の斜線の領域では分散面が
鋭く傾斜しており、Δkp/Δki比はかなり大きいこと
が分かる。
【0019】次にシュリンク効果を考える。つまり、実
効的なnを極めて大きく取ることにより、同じΔkでも
実効的にΔrを縮小する方法を考える。フォトニック結
晶中では、屈折率は正確には定義できないため、以下の
ように考える。通常の(等方性)結晶では、屈折率に比
例して分散面(屈折率楕円体)の円の半径が大きくな
る。PCではこれが円形ではないため、注目領域の曲率
半径で実効屈折率を定義することにする。つまり、直線
に近いほど実効的にnが大きくなり、ΔrとΔkの積を
小さくすることが可能である。図7の分散面は、斜線部
において、およそこの条件を満たしており、Δkとnの
2つの相乗効果が期待できる。
【0020】幸いなことに、上記のn〜∞の条件は、う
まく条件を合わせれば、回折限界よりはるかに細いコリ
メート光が生成できることになる。通常の結晶を用いた
場合に比べ、焦点深度が(理想的には)無限であり、並
進自由度があるため、アライメントコストが大幅に低減
できる。
【0021】次に、本発明の一実施形態を図面を参照し
て具体的かつ詳細に説明する。本実施形態は、本発明の
請求項1から4に係わる光結合素子の実施形態の一例で
あって、図1は本実施形態の光結合素子の構造を示す模
式図である。
【0022】上記の原理の説明で参照した図7に示す、
星形をした媒質中の分散面72は、実際のPCで得るこ
とができる。図2にそのPCの立体構造を示す。厚さ2
μmのSi(シリコン)21が、上下2枚のSiO2
(酸化シリコン)22および23に挟まれている。Si
21には直径0.6μmの円筒状の穴が0.7μmのピ
ッチで三角格子状に開けられている。
【0023】このPCを図1のようにPC導波路12に
対して配置する。その構造を以下に説明する。図2の構
造を持つPCを、図1の光結合用PC11に示したよう
に斜めに加工し、光ファイバ13とPC導波路12の中
間に配置する。光結合用PC11の傾斜角は、PC導波
路12に対して70°となるようにする。光ファイバ1
3から出る出射光は、光結合用PC11の入射面の法線
方向に対して7°となるようにする。また、光結合用P
C11の入射端面は図2の光入射面24とし、光出射面
25をこれに対して70°の角をなすよう光学研磨す
る。光ファイバからの出射光は波長が1.55μmであ
ると想定する。
【0024】実際にスポットサイズの変換を試みた実験
の結果を図8及び図9に示す。入射光82のモード幅
(A)約40μmに対し、PC81内の伝播光83のモ
ード幅(B)約4μmが得られており、スポットサイズ
変換率として1/10が得られている。本実験では評価
上の都合により入射光82のモード幅(A)として約4
μmを用いたが、図1に示したようにコア径10μ
の光ファイバ13からの出射光を先球加工により5μ
程度まで絞って光結合用PC11に入射すれば、光結合
用PC11で1/10に絞ることにより0.5μmのス
ポットサイズが得られ、PC導波路12に効率良く光結
合することができる。
【0025】
【発明の効果】本発明によれば、波長程度の導波路幅を
持つ光導波路素子にも効率良く光結合することができ
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の一実施形態のフォトニック結晶を用
いた光結合素子の構成を示す模式図である。
【図2】 本発明の一実施形態のフォトニック結晶を用
いた光結合素子の光結合用フォトニック結晶の構造を示
す模式図である。
【図3】 従来例の光結合デバイスの構成を示す模試図
である。
【図4】 本発明の原理を説明するための図である。
【図5】 本発明の原理を説明するための図である。
【図6】 本発明の原理を説明するための図である。
【図7】 本発明の原理を説明するための図である。
【図8】 本発明の実施形態で使用した光結合素子のス
ポットサイズ変換効果を説明するための図である。
【図9】 本発明の実施形態で使用した光結合素子のス
ポットサイズ変換効果を説明するための図である。
【符号の説明】
11 光結合用フォトニック結晶 12 フォトニック結晶導波路 13 光ファイバ 21 導波層 22 クラッド層 23 クラッド層 24 光入射面 101 コア 102 半導体基板 103 クラッド層 107 出射光 108 入射光 41 入射側スポット 42 レンズ 43 出射側スポット 51 分散面 61 真空中の分散面 62 媒質中の分散面 71 真空中の分散面 72 媒質中の分散面 81 フォトニック結晶 82 入射光 83 伝播光 91 入射光 92 伝播光
フロントページの続き (56)参考文献 特表 平8−505707(JP,A) 小坂 英男 外6名,フォトニック結 晶の異方性分散応用,第46回 応用物理 学関係連合講演会 講演予稿集,日本, (社)応用物理学会,1999年 3月28 日,第3分冊,1968 Hideo Kosaka et a l.,Self−Collimatin g Phenomena in pho tonic crystals,App lied Physics Lette rs,米国,1999年 3月 1日,Vo l.74,No.9,P1212−1214 (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G02B 6/30

Claims (3)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】スポットサイズが異なる光導波路素子どう
    しを結合する光結合素子に、前記光導波路素子の利用す
    る光の波長と同程度の間隔で周期的な屈折率の変調構造
    を有するフォトニック結晶を用いることにより、その出
    射端でのスポットサイズを入射端でのスポットサイズと
    異なるサイズに変換する光結合素子であって、 前記フォトニック結晶の有する分散面が、光入射方向か
    ら見て傾斜しているように結晶配置および光入射方向を
    設定することにより、フォトニック結晶内伝播光の波数
    空間での広がり幅が、入射光の波数空間での広がり幅に
    対して拡大するよう設定し、この広がり幅と逆比例の関
    係にある実空間でのスポットサイズを相対的に縮小させ
    ることを特徴とする光結合素子。
  2. 【請求項2】前記フォトニック結晶の有する分散面の曲
    率を、入射光の有する光錐の曲率より大きくなるよう設
    定し、フォトニック結晶内の実効屈折率を大きくし、波
    数空間での広がり幅と実空間でのスポットサイズとの積
    を小さくし、フォトニック結晶内伝播光の実空間でのス
    ポットサイズを実効的に小さくすることを特徴とする
    求項1に記載の光結合素子。
  3. 【請求項3】前記フォトニック結晶の有する分散面の曲
    率を、入射光の有する光錐の曲率より小さくなるよう設
    定し、フォトニック結晶内伝播光の実空間でのスポット
    サイズを実効的に大きくすることを特徴とする請求項
    に記載の光結合素子。
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Families Citing this family (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001281480A (ja) * 2000-03-29 2001-10-10 Nec Corp フォトニック結晶光導波路と方向性結合器
JP2002071982A (ja) * 2000-09-01 2002-03-12 Fuji Photo Film Co Ltd 光素子、光偏向素子、光合波素子及び走査装置
JP3923244B2 (ja) * 2000-09-01 2007-05-30 富士フイルム株式会社 光素子
DE60127729T2 (de) * 2000-12-27 2007-12-27 Nippon Telegraph And Telephone Corp. Photonenkristall-Wellenleiter
JP3846228B2 (ja) * 2001-06-07 2006-11-15 日本電気株式会社 導波路
JP4557119B2 (ja) * 2001-08-06 2010-10-06 日本電気株式会社 波長分波器
US6782169B2 (en) * 2001-09-05 2004-08-24 University Of Delaware System for efficient coupling to photonic crystal waveguides
WO2003107051A2 (en) * 2002-06-18 2003-12-24 Massachusetts Insitute Of Technology Waveguide coupling into photonic crystal waveguides
ES2199693B1 (es) * 2002-08-14 2005-05-01 Universidad Politecnica De Valencia Sistema de acoplamiento entre guias opticas dielectricas y guias en cristales fotonicos planares.
US20060153500A1 (en) * 2002-08-14 2006-07-13 Javier Marti Sendra Coupling system between dielectric optical guides and planar photonic crystal guides
AU2003902527A0 (en) * 2003-05-22 2003-06-05 Macquarie University Method for fabricating microstructures
ES2238906B1 (es) * 2003-07-10 2006-11-16 Universidad Autonoma De Madrid Convertidor optico.
US6996317B2 (en) * 2003-10-23 2006-02-07 Fitel U.S.A. Corp. Optical devices including microstructured fiber sections disposed for transverse signal propagation
US7447404B2 (en) * 2004-05-27 2008-11-04 Energy Conversion Devices, Inc. Photonic integrated circuit
JP4982145B2 (ja) * 2005-10-11 2012-07-25 パナソニック株式会社 光伝送デバイス、および受光モジュール
JP2008102357A (ja) * 2006-10-19 2008-05-01 Nippon Electric Glass Co Ltd 光出射装置
US8189968B2 (en) * 2008-08-28 2012-05-29 Board Of Regents, The University Of Texas Multimode interference coupler for use with slot photonic crystal waveguides

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0678196B1 (en) * 1993-01-08 2002-04-10 Massachusetts Institute Of Technology Low-loss optical and optoelectronic integrated circuits
JP3006666B2 (ja) 1995-02-27 2000-02-07 日本電信電話株式会社 光結合デバイスおよび光結合方法
JP3522117B2 (ja) * 1998-08-05 2004-04-26 日本電気株式会社 自己導波光回路

Non-Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Hideo Kosaka et al.,Self−Collimating Phenomena in photonic crystals,Applied Physics Letters,米国,1999年 3月 1日,Vol.74,No.9,P1212−1214
小坂 英男 外6名,フォトニック結晶の異方性分散応用,第46回 応用物理学関係連合講演会 講演予稿集,日本,(社)応用物理学会,1999年 3月28日,第3分冊,1968

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