JP3456166B2 - フォトニック結晶を用いた光結合素子および光結合方法 - Google Patents
フォトニック結晶を用いた光結合素子および光結合方法Info
- Publication number
- JP3456166B2 JP3456166B2 JP17749599A JP17749599A JP3456166B2 JP 3456166 B2 JP3456166 B2 JP 3456166B2 JP 17749599 A JP17749599 A JP 17749599A JP 17749599 A JP17749599 A JP 17749599A JP 3456166 B2 JP3456166 B2 JP 3456166B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- optical coupling
- photonic crystal
- spot size
- coupling element
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims description 58
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 title claims description 49
- 230000008878 coupling Effects 0.000 title claims description 41
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 title claims description 41
- 239000004038 photonic crystal Substances 0.000 title claims description 34
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 claims description 26
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims description 6
- 230000001902 propagating effect Effects 0.000 claims description 6
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 3
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 claims description 3
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 9
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 9
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 7
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 description 7
- 238000005253 cladding Methods 0.000 description 6
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 3
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 2
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 2
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 1
- 230000000644 propagated effect Effects 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000002195 synergetic effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/26—Optical coupling means
- G02B6/30—Optical coupling means for use between fibre and thin-film device
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B82—NANOTECHNOLOGY
- B82Y—SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
- B82Y20/00—Nanooptics, e.g. quantum optics or photonic crystals
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/10—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type
- G02B6/12—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind
- G02B6/122—Basic optical elements, e.g. light-guiding paths
- G02B6/1225—Basic optical elements, e.g. light-guiding paths comprising photonic band-gap structures or photonic lattices
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Nanotechnology (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Biophysics (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Optical Couplings Of Light Guides (AREA)
- Optical Integrated Circuits (AREA)
Description
多重通信や超高速光通信等に用いられる光結合素子およ
び光結合方法に関する。
平8−234062号公報に記載の「光結合デバイスお
よび光結合方法」がある。この従来技術を以下に説明す
る。半導体基板102上に光の伝搬方向に形状がテーパ
状に変化しているコア101を形成し、このコアを取り
囲むように第1のクラッド層103を形成する。第1の
クラッド層の屈折率はコアよりも小さく、かつ半導体基
板102よりも大きい。ここで、第1のクラッド層10
3の厚さt2は、少なくとも、スポットサイズの大きい
光導波路素子との光結合端面近傍において、光結合端面
のスポットサイズが、前記スポットサイズの大きい光導
波路素子のスポットサイズの大きさに合うように設計さ
れる。このような光結合デバイスおよび光結合方法によ
り、スポットサイズを変換し、異なるスポットサイズの
光導波路素子を光結合することが可能となる。
デバイスおよび光結合方法には、以下のような課題があ
る。すなわち、上述の光結合デバイスおよび光結合方法
では、入射側光線のスポットサイズと出射側光線のスポ
ットサイズを桁違いに変換することは難しい。特に、出
射側光線のスポットサイズを波長程度まで小さくするに
は、上記コア101のテーパを極めて急にする必要があ
り、もはやテーパとは定義できない形状になることが容
易に想像される。この結果、低損失で変換することが難
しくなる。特に、図1に示すようなフォトニック結晶を
用いた導波路を想定した場合には、導波路サイズが1μ
m以下と波長以下となり、このサイズまでスポットサイ
ズ変換することは上記従来技術では不可能と考えられ
る。
たもので、入射側光線のスポットサイズと出射側光線の
スポットサイズを桁違いに変換することを可能とした光
結合素子および光結合方法を提供するものである。特
に、図1に示すようなフォトニック結晶を用いた導波路
への光ファイバからの光結合を目的とする。すなわち、
光ファイバからの出射光のスポットサイズは約10μm
であるのに対して、フォトニック結晶導波路の幅は1μ
m以下であり、スポットサイズを10分の1以下に変換
する必要がある。
は、スポットサイズが異なる光導波路素子どうしを結合
する光結合素子に、前記光導波路素子の利用する光の波
長と同程度の間隔で周期的な屈折率の変調構造を有する
フォトニック結晶を用いることにより、その出射端での
スポットサイズを入射端でのスポットサイズと異なるサ
イズに変換することを特徴とする光結合素子である。
ク結晶の有する分散面が、光入射方向から見て傾斜して
いるように結晶配置および光入射方向を設定することに
より、フォトニック結晶内伝播光の波数空間での広がり
幅が、入射光の波数空間での広がり幅に対して拡大する
よう設定し、この広がり幅と逆比例の関係にある実空間
でのスポットサイズを相対的に縮小させることを特徴と
する請求項1に記載の光結合素子である。
ク結晶の有する分散面の曲率を、入射光の有する光錐の
曲率より大きくなるよう設定し、フォトニック結晶内の
実効屈折率を大きくし、波数空間での広がり幅と実空間
でのスポットサイズとの積を小さくし、フォトニック結
晶内伝播光の実空間でのスポットサイズを実効的に小さ
くすることを特徴とする請求項1または2に記載の光結
合素子である。
ク結晶の有する分散面の曲率を、入射光の有する光錐の
曲率より小さくなるよう設定し、フォトニック結晶内伝
播光の実空間でのスポットサイズを実効的に大きくする
ことを特徴とする請求項3に記載の光結合素子である。
が異なる光導波路素子どうしを結合する光結合素子に、
前記光導波路素子の利用する光の波長と同程度の間隔で
周期的な屈折率の変調構造を有するフォトニック結晶を
用いることにより、その出射端でのスポットサイズを入
射端でのスポットサイズと異なるサイズに変換すること
を特徴とする光結合方法である。
分散面(波数空間での等エネルギー面)が光入射方向か
ら見て傾斜しているように結晶配置および光入射方向が
設定されるか、あるいは分散面の曲率が入射光の有する
光錐の曲率より大きくなるように設定される。
前述の課題は,フォトニック結晶(以下PCと呼ぶ)を
用い、以下のような原理を利用することによって解決さ
れる。まず、最も単純なスポットサイズ変換を考えてみ
る。スポットサイズ変換は、原理的には、図4に示すよ
うな一枚のレンズを用いて行える。この場合、レンズの
開口直径をD、レンズから集光スポットまでをSとする
と、集光点での直径W(光強度が1/e2となる距離S
でのビームウエストW)は以下の式で与えられる。 W=4λ/π・S/D (1) ここでλは媒質内での波長である。
/D(F値)を0.39とする必要があり、通常のレン
ズでは困難である。特にこのときの焦点深度DOFは、 DOF=8λ/π・[S/D]2 (2) より0.39λとなり、1.55μm帯の場合、0.6
μmしかないことが分かる。レンズコスト、アライメン
ト、サイズなどの問題が容易に想像される。
確定性関係の形で考え直してみる。式(1)を以下のよ
うに書き直してみる。 W・[2πn/λ0・D/S]=8 (3) ここでλ0は真空中の波長、nは媒質の屈折率である。
左辺のWは実空間上の広がりを、[ ]内は波数空間上
の(横方向の)広がりを表している。これらをΔr、Δ
kと表せば、 Δr・Δk>2π (4) という不確定性関係におけるほぼ極小値となっているこ
とがわかる。つまり、上述の最も単純なスポットサイズ
変換では、Δkを意図的に拡大することによって、代わ
りにΔrを縮小するスクイズド状態を生み出していると
解釈できる。
し、 Δr・Δk0>2π/n (5) と書き直せば(k0は真空中の波数)、nを大きくする
ほどΔrとΔk0の積を実質的に小さくできることがわ
かる。先のスクイズ効果に対して揺らぎの積自体を全体
的に縮小するので、シュリンク効果と呼べる。
晶を用いたスポットサイズ変換を考えてみる。以下、上
述のスクイズ効果とシュリンク効果を順に説明する。
を抑えるスクイズ法を考える。図5のような波数空間を
考える。横軸は入射面に対して平行な波数成分を、縦軸
は垂直な波数成分を表している。図中の直線は通常屈折
率楕円体と呼ばれる分散関係の一部で、分散面とここで
は呼ぶ。横方向の波数広がりΔkiを持つ入射光はこの
分散面によって媒質内での波数広がりΔkpに変換され
る。この図より分かるように、分散面が入射面より傾い
ているほどΔkp/Δki比は大きく取れ、逆にΔrpは
Δriより小さくできる。
体)は、図6のように円形をしており、しかもn>1
(吸収のない波長において)のため真空中の分散面より
も必ず大きく、図のようにΔkp/Δki比はあまり大き
く取れないという事情がある。
を自由に制御することができる。例えば、図7のような
星状の分散面を考えると、図の斜線の領域では分散面が
鋭く傾斜しており、Δkp/Δki比はかなり大きいこと
が分かる。
効的なnを極めて大きく取ることにより、同じΔkでも
実効的にΔrを縮小する方法を考える。フォトニック結
晶中では、屈折率は正確には定義できないため、以下の
ように考える。通常の(等方性)結晶では、屈折率に比
例して分散面(屈折率楕円体)の円の半径が大きくな
る。PCではこれが円形ではないため、注目領域の曲率
半径で実効屈折率を定義することにする。つまり、直線
に近いほど実効的にnが大きくなり、ΔrとΔkの積を
小さくすることが可能である。図7の分散面は、斜線部
において、およそこの条件を満たしており、Δkとnの
2つの相乗効果が期待できる。
まく条件を合わせれば、回折限界よりはるかに細いコリ
メート光が生成できることになる。通常の結晶を用いた
場合に比べ、焦点深度が(理想的には)無限であり、並
進自由度があるため、アライメントコストが大幅に低減
できる。
て具体的かつ詳細に説明する。本実施形態は、本発明の
請求項1から4に係わる光結合素子の実施形態の一例で
あって、図1は本実施形態の光結合素子の構造を示す模
式図である。
星形をした媒質中の分散面72は、実際のPCで得るこ
とができる。図2にそのPCの立体構造を示す。厚さ2
μmのSi(シリコン)21が、上下2枚のSiO2
(酸化シリコン)22および23に挟まれている。Si
21には直径0.6μmの円筒状の穴が0.7μmのピ
ッチで三角格子状に開けられている。
対して配置する。その構造を以下に説明する。図2の構
造を持つPCを、図1の光結合用PC11に示したよう
に斜めに加工し、光ファイバ13とPC導波路12の中
間に配置する。光結合用PC11の傾斜角は、PC導波
路12に対して70°となるようにする。光ファイバ1
3から出る出射光は、光結合用PC11の入射面の法線
方向に対して7°となるようにする。また、光結合用P
C11の入射端面は図2の光入射面24とし、光出射面
25をこれに対して70°の角をなすよう光学研磨す
る。光ファイバからの出射光は波長が1.55μmであ
ると想定する。
の結果を図8及び図9に示す。入射光82のモード幅
(A)約40μmに対し、PC81内の伝播光83のモ
ード幅(B)約4μmが得られており、スポットサイズ
変換率として1/10が得られている。本実験では評価
上の都合により入射光82のモード幅(A)として約4
0μmを用いたが、図1に示したようにコア径10μm
の光ファイバ13からの出射光を先球加工により5μm
程度まで絞って光結合用PC11に入射すれば、光結合
用PC11で1/10に絞ることにより0.5μmのス
ポットサイズが得られ、PC導波路12に効率良く光結
合することができる。
持つ光導波路素子にも効率良く光結合することができ
る。
いた光結合素子の構成を示す模式図である。
いた光結合素子の光結合用フォトニック結晶の構造を示
す模式図である。
である。
ポットサイズ変換効果を説明するための図である。
ポットサイズ変換効果を説明するための図である。
Claims (3)
- 【請求項1】スポットサイズが異なる光導波路素子どう
しを結合する光結合素子に、前記光導波路素子の利用す
る光の波長と同程度の間隔で周期的な屈折率の変調構造
を有するフォトニック結晶を用いることにより、その出
射端でのスポットサイズを入射端でのスポットサイズと
異なるサイズに変換する光結合素子であって、 前記フォトニック結晶の有する分散面が、光入射方向か
ら見て傾斜しているように結晶配置および光入射方向を
設定することにより、フォトニック結晶内伝播光の波数
空間での広がり幅が、入射光の波数空間での広がり幅に
対して拡大するよう設定し、この広がり幅と逆比例の関
係にある実空間でのスポットサイズを相対的に縮小させ
ることを特徴とする光結合素子。 - 【請求項2】前記フォトニック結晶の有する分散面の曲
率を、入射光の有する光錐の曲率より大きくなるよう設
定し、フォトニック結晶内の実効屈折率を大きくし、波
数空間での広がり幅と実空間でのスポットサイズとの積
を小さくし、フォトニック結晶内伝播光の実空間でのス
ポットサイズを実効的に小さくすることを特徴とする請
求項1に記載の光結合素子。 - 【請求項3】前記フォトニック結晶の有する分散面の曲
率を、入射光の有する光錐の曲率より小さくなるよう設
定し、フォトニック結晶内伝播光の実空間でのスポット
サイズを実効的に大きくすることを特徴とする請求項2
に記載の光結合素子。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17749599A JP3456166B2 (ja) | 1999-06-23 | 1999-06-23 | フォトニック結晶を用いた光結合素子および光結合方法 |
| US09/598,316 US6381389B1 (en) | 1999-06-23 | 2000-06-21 | Optical coupling device and optical coupling method using photonic crystal |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17749599A JP3456166B2 (ja) | 1999-06-23 | 1999-06-23 | フォトニック結晶を用いた光結合素子および光結合方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001004869A JP2001004869A (ja) | 2001-01-12 |
| JP3456166B2 true JP3456166B2 (ja) | 2003-10-14 |
Family
ID=16031911
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17749599A Expired - Fee Related JP3456166B2 (ja) | 1999-06-23 | 1999-06-23 | フォトニック結晶を用いた光結合素子および光結合方法 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6381389B1 (ja) |
| JP (1) | JP3456166B2 (ja) |
Families Citing this family (17)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001281480A (ja) * | 2000-03-29 | 2001-10-10 | Nec Corp | フォトニック結晶光導波路と方向性結合器 |
| JP2002071982A (ja) * | 2000-09-01 | 2002-03-12 | Fuji Photo Film Co Ltd | 光素子、光偏向素子、光合波素子及び走査装置 |
| JP3923244B2 (ja) * | 2000-09-01 | 2007-05-30 | 富士フイルム株式会社 | 光素子 |
| DE60127729T2 (de) * | 2000-12-27 | 2007-12-27 | Nippon Telegraph And Telephone Corp. | Photonenkristall-Wellenleiter |
| JP3846228B2 (ja) * | 2001-06-07 | 2006-11-15 | 日本電気株式会社 | 導波路 |
| JP4557119B2 (ja) * | 2001-08-06 | 2010-10-06 | 日本電気株式会社 | 波長分波器 |
| US6782169B2 (en) * | 2001-09-05 | 2004-08-24 | University Of Delaware | System for efficient coupling to photonic crystal waveguides |
| WO2003107051A2 (en) * | 2002-06-18 | 2003-12-24 | Massachusetts Insitute Of Technology | Waveguide coupling into photonic crystal waveguides |
| ES2199693B1 (es) * | 2002-08-14 | 2005-05-01 | Universidad Politecnica De Valencia | Sistema de acoplamiento entre guias opticas dielectricas y guias en cristales fotonicos planares. |
| US20060153500A1 (en) * | 2002-08-14 | 2006-07-13 | Javier Marti Sendra | Coupling system between dielectric optical guides and planar photonic crystal guides |
| AU2003902527A0 (en) * | 2003-05-22 | 2003-06-05 | Macquarie University | Method for fabricating microstructures |
| ES2238906B1 (es) * | 2003-07-10 | 2006-11-16 | Universidad Autonoma De Madrid | Convertidor optico. |
| US6996317B2 (en) * | 2003-10-23 | 2006-02-07 | Fitel U.S.A. Corp. | Optical devices including microstructured fiber sections disposed for transverse signal propagation |
| US7447404B2 (en) * | 2004-05-27 | 2008-11-04 | Energy Conversion Devices, Inc. | Photonic integrated circuit |
| JP4982145B2 (ja) * | 2005-10-11 | 2012-07-25 | パナソニック株式会社 | 光伝送デバイス、および受光モジュール |
| JP2008102357A (ja) * | 2006-10-19 | 2008-05-01 | Nippon Electric Glass Co Ltd | 光出射装置 |
| US8189968B2 (en) * | 2008-08-28 | 2012-05-29 | Board Of Regents, The University Of Texas | Multimode interference coupler for use with slot photonic crystal waveguides |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0678196B1 (en) * | 1993-01-08 | 2002-04-10 | Massachusetts Institute Of Technology | Low-loss optical and optoelectronic integrated circuits |
| JP3006666B2 (ja) | 1995-02-27 | 2000-02-07 | 日本電信電話株式会社 | 光結合デバイスおよび光結合方法 |
| JP3522117B2 (ja) * | 1998-08-05 | 2004-04-26 | 日本電気株式会社 | 自己導波光回路 |
-
1999
- 1999-06-23 JP JP17749599A patent/JP3456166B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2000
- 2000-06-21 US US09/598,316 patent/US6381389B1/en not_active Expired - Lifetime
Non-Patent Citations (2)
| Title |
|---|
| Hideo Kosaka et al.,Self−Collimating Phenomena in photonic crystals,Applied Physics Letters,米国,1999年 3月 1日,Vol.74,No.9,P1212−1214 |
| 小坂 英男 外6名,フォトニック結晶の異方性分散応用,第46回 応用物理学関係連合講演会 講演予稿集,日本,(社)応用物理学会,1999年 3月28日,第3分冊,1968 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2001004869A (ja) | 2001-01-12 |
| US6381389B1 (en) | 2002-04-30 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3456166B2 (ja) | フォトニック結晶を用いた光結合素子および光結合方法 | |
| US6317554B1 (en) | Self-waveguide optical circuit | |
| CN102498425B (zh) | 包含二维光栅的偏振分集光栅耦合器 | |
| KR100578683B1 (ko) | 광학장치와 그 제조 방법 | |
| US7515803B2 (en) | Optical element, manufacturing method thereof, and optical device | |
| JP3253622B2 (ja) | 光集積回路素子 | |
| JP3349950B2 (ja) | 波長分波回路 | |
| Baba et al. | Interfaces of photonic crystals for high efficiency light transmission | |
| US4896933A (en) | Higher harmonic generator | |
| JP2005509918A (ja) | モード変換用フォトニック結晶構造 | |
| CN103999303A (zh) | 集成亚波长光栅系统 | |
| KR20100132513A (ko) | 다면 출력면을 갖는 변환장치 및 이를 통합한 레이저 프로젝션 시스템 | |
| US6621644B2 (en) | Optical wavelength-demultiplexer with an improved optical lens | |
| EP0880048B1 (en) | Acousto-optic planar waveguide modulators | |
| US7515804B2 (en) | Optical waveguide device | |
| CN111090147A (zh) | 一种集成纳米结构周期阵列的集成光波导 | |
| EP1336892A1 (en) | A controllable optical device | |
| JP3555888B2 (ja) | 自己導波光回路 | |
| WO2023026712A1 (ja) | 回折格子結合器 | |
| JPH07281049A (ja) | ファイバ集積型光部品の製造方法 | |
| US20020064343A1 (en) | Optical coupling device with anisotropic light-guiding member | |
| WO2019235183A1 (ja) | 光モジュール | |
| Jiang et al. | Theoretical and experimental study of photonic-crystal-based structures for optical communication applications | |
| Cheng et al. | Near-field flat focusing mirrors using a metallic subwavelength grating on top of a plasmonic waveguide | |
| US7346232B2 (en) | Compact polarizer and associated device for semiconductor devices |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20030325 |
|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20030630 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20070801 Year of fee payment: 4 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080801 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080801 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090801 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090801 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100801 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110801 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110801 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120801 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130801 Year of fee payment: 10 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |