JP3463412B2 - Pigment-dispersed thermosetting resin solution composition, method for producing the same, and color filter - Google Patents
Pigment-dispersed thermosetting resin solution composition, method for producing the same, and color filterInfo
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Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明はポリイミドシロキサン前
駆体溶液を主成分として、これに分散された顔料からな
る顔料分散熱硬化性樹脂溶液組成物に関するものであ
り、さらにその組成物を用い製造された光学素子の遮光
膜、光ファイバーの被覆膜、液晶デイスプレイや撮像素
子などに用いられるカラーフィルターに関するものであ
る。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a pigment-dispersed thermosetting resin solution composition comprising a polyimide siloxane precursor solution as a main component and pigments dispersed therein, and further manufactured by using the composition. The present invention also relates to a light-shielding film for an optical element, a coating film for an optical fiber, a color filter used for a liquid crystal display, an image pickup device, and the like.
【0002】[0002]
【従来の技術】ポリイミド前駆体溶液に顔料を分散させ
た組成物およびその用途に関するものとしては液晶デイ
スプレイや撮像素子などに用いられる耐光性、耐熱性、
耐薬品性等に優れたカラーフィルター用ポリイミド前駆
体と顔料からなる組成物、およびそれを用いて形成され
たカラーフィルターが知られている(特開昭60−18
4202号広報、特開昭60−184203号広報、特
開昭61−180203号広報)等。2. Description of the Related Art A composition prepared by dispersing a pigment in a polyimide precursor solution and its use include light resistance and heat resistance used in liquid crystal displays and image pickup devices.
A composition comprising a polyimide precursor for a color filter having excellent chemical resistance and a pigment, and a color filter formed using the composition are known (Japanese Patent Laid-Open No. 60-18).
No. 4202, No. 60-184203, No. 61-180203).
【0003】ポリイミド前駆体溶液に顔料を分散させた
組成物は特にフォトリソグラフィ法でのカラーフィルタ
ー作製に有用であり、例えば特開昭60−247603
号広報や特開昭61−77804号広報に示されるごと
く、ポジ型フォトレジストを用いるパターン加工技術が
知られており、パターン精度が良く、耐光性、耐熱性、
耐薬品性等に優れたカラーフィルターを得ることができ
る。A composition in which a pigment is dispersed in a polyimide precursor solution is particularly useful for producing a color filter by a photolithography method, and, for example, JP-A-60-247603.
As disclosed in Japanese Patent Publication No. Sho 61-77804 and Japanese Laid-Open Patent Publication No. 61-77804, a pattern processing technique using a positive photoresist is known, and it has good pattern accuracy, light resistance and heat resistance.
It is possible to obtain a color filter having excellent chemical resistance and the like.
【0004】フォトリソグラフィ法、印刷法さらには公
知のその他の方法ともガラス基板上に顔料分散ポリイミ
ド前駆体組成物で着色塗膜を形成するが、この場合ポリ
イミド前駆体溶液に微粉砕した顔料を均一に分散させる
ことが、塗布膜の平坦性、画素のコントラストなどカラ
ーフィルターの性能上とくに重要である。With the photolithography method, the printing method and other known methods, a colored coating film is formed on the glass substrate with the pigment-dispersed polyimide precursor composition. In this case, the finely pulverized pigment is uniformly dispersed in the polyimide precursor solution. It is especially important for the performance of the color filter such as the flatness of the coating film and the pixel contrast.
【0005】従来、知られているN−メチルー2ーピロ
リドン、N,N−ジメチルフォルムアミド、N,N−ジ
メチルアセトアミド等のアミド系極性溶剤使用のポリイ
ミド前駆体溶液組成物は微細顔料の分散性が不十分であ
り、また顔料分散ポリイミド前駆体溶液組成物中の顔料
の凝集が生じやすく、さらにはポリイミド前駆体である
ポリアミック酸の溶液はそれ自体が加水分解やゲル化を
生じ易く、保存安定性が不良であり、冷凍庫保存が必要
である等の問題点を有していた。Conventionally known polyimide precursor solution compositions using an amide-based polar solvent such as N-methyl-2-pyrrolidone, N, N-dimethylformamide and N, N-dimethylacetamide have a dispersibility of fine pigments. Insufficient, aggregation of the pigment in the pigment-dispersed polyimide precursor solution composition is likely to occur, and the solution of the polyamic acid that is the polyimide precursor itself is susceptible to hydrolysis and gelation, and storage stability However, it had a problem that it was poor and needed to be stored in a freezer.
【0006】またポリイミドと顔料からなるカラーフィ
ルターはイミド構造に起因する吸収を有し、担体樹脂の
構造によってはカラーフィルターの青色純度を低下させ
るという問題点を有している。Further, the color filter composed of polyimide and pigment has an absorption due to the imide structure, and there is a problem that the blue purity of the color filter is lowered depending on the structure of the carrier resin.
【0007】[0007]
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、特に
カラーフィルター作製において顔料分散ポリイミド前駆
体溶液のごときパターニング性や、得られるカラーフィ
ルターの耐光性、耐熱性、耐薬品性を有しつつ、かつ顔
料分散性と保存安定性に優れた新規な顔料分散熱硬化性
樹脂組成物を得ることにあり、この組成物からコントラ
スト比と色純度の高いカラーフィルターを提供すること
にある。The object of the present invention is to provide a patterning property such as a pigment-dispersed polyimide precursor solution particularly in the production of a color filter, and a light resistance, heat resistance and chemical resistance of the resulting color filter. Another object is to obtain a novel pigment-dispersed thermosetting resin composition having excellent pigment dispersibility and storage stability, and to provide a color filter having a high contrast ratio and a high color purity from this composition.
【0008】[0008]
【課題を解決するための手段】かかる本発明の目的は、
顔料および加熱硬化によりイミド結合とシロキサン結合
を生じるポリイミドシロキサン前駆体を含有する顔料分
散熱硬化性樹脂溶液組成物により達成される。The object of the present invention is as follows.
Pigment and imide bond and siloxane bond by heat curing
And a pigment-dispersed thermosetting resin solution composition containing a polyimide siloxane precursor.
【0009】本発明者等は耐熱性と透明性を兼ね備えた
被膜を与え、かつ有機アルカリあるいは無機アルカリで
良好な現像性を有するポリイミドシロキサン前駆体に注
目し、種々のポリイミドシロキサン前駆体溶液を調製
し、顔料分散熱硬化性樹脂組成物を作製し、カラーフィ
ルターとしての適用を検討した結果、本発明に到達した
ものである。ここでポリイミドシロキサン前駆体とは加
熱硬化によりイミド結合とシロキサン結合を生じ、ポリ
マーを形成する前駆体を意味している。The present inventors have paid attention to a polyimidesiloxane precursor which gives a coating having both heat resistance and transparency and has good developability with an organic alkali or an inorganic alkali, and prepares various polyimidesiloxane precursor solutions. Then, a pigment-dispersed thermosetting resin composition was prepared, and its application as a color filter was examined. As a result, the present invention has been achieved. Here, the polyimide siloxane precursor means a precursor that forms a polymer by generating an imide bond and a siloxane bond by heat curing.
【0010】本発明において使用されるポリイミドシロ
キサン前駆体としては例えば特開昭63−291922
号公報に開示される製造方法が知られており、このポリ
イミドシロキサン前駆体は分子内に少なくとも1個以上
の1級アミノ基あるいは2級アミノ基と1個以上のアル
コキシ基を有するケイ素化合物とテトラカルボン酸2無
水物を有機溶剤中で反応せしめて得られる化合物あるい
は該化合物の加水分解・縮合体である。The polyimide siloxane precursor used in the present invention is, for example, JP-A-63-291922.
The production method disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2004-242242 is known, and this polyimidesiloxane precursor is a tetrasiloxane containing a silicon compound having at least one or more primary amino group or secondary amino group and one or more alkoxy group in the molecule, and a tetra compound. It is a compound obtained by reacting a carboxylic acid dianhydride in an organic solvent, or a hydrolysis / condensation product of the compound.
【0011】この改良法としては該ポリイミドシロキサ
ン前駆体の加水分解・縮合体の他に下記(1)〜(6)
の手法が考えられる。As the improvement method, in addition to the hydrolysis / condensation product of the polyimidesiloxane precursor, the following (1) to (6)
The method of can be considered.
【0012】(1)下記のA,B成分を反応せしめて得
られる化合物
A:分子内に少なくとも1個以上の1級アミノ基あるい
は2級アミノ基と1個以上のアルコキシ基を有するケイ
素化合物の加水分解・縮合体
B:テトラカルボン酸2無水物
(2)下記のA,B成分を反応せしめて得られる化合物
A:分子内に少なくとも1個以上の1級アミノ基あるい
は2級アミノ基と1個以上のアルコキシ基を有するケイ
素化合物および分子内に少なくとも1個以上のアルコキ
シ基を有しアミノ基を持たないケイ素化合物の加水分解
・共縮合体
B:テトラカルボン酸2無水物
(3)オルガノシルセスキオキサンオリゴマーと下記の
A,B成分を反応せしめて得られる化合物ないし該化合
物の加水分解・縮合体
A:分子内に少なくとも1個以上の1級アミノ基あるい
は2級アミノ基と1個以上のアルコキシ基を有するケイ
素化合物
B:テトラカルボン酸2無水物
(4)オルガノシルセスキオキサンオリゴマーと下記の
A,B成分を反応せしめて得られる化合物
A:分子内に少なくとも1個以上の1級アミノ基あるい
は2級アミノ基と1個以上のアルコキシ基を有するケイ
素化合物の加水分解・縮合体
B:テトラカルボン酸2無水物
(5)オルガノシルセスキオキサンオリゴマーと下記の
A,B成分を反応せしめて得られる化合物
A:分子内に少なくとも1個以上の1級アミノ基あるい
は2級アミノ基と1個以上のアルコキシ基を有するケイ
素化合物および分子内に少なくとも1個以上のアルコキ
シ基を有しアミノ基を持たないケイ素化合物の加水分解
・共縮合体
B:テトラカルボン酸2無水物
(6)下記のA,B,C成分の加水分解物あるいはその
加水分解・縮合体
A:分子内に少なくとも1個以上の1級アミノ基あるい
は2級アミノ基と1個以上のアルコキシ基を有するケイ
素化合物
B:分子内に少なくとも1個以上のアルコキシ基を有し
アミノ基を持たないケイ素化合物
C:分子内に少なくとも1組以上の隣接するカルボキシ
ル基を有する多価カルボン酸あるいはその無水物
上記のいずれの手法も適用は可能であるが、本発明の目
的に即した顔料分散性と安定性が良好なポリイミドシロ
キサン前駆体の一つとしては、特に分子内に少なくとも
1個以上の1級アミノ基あるいは2級アミノ基と1個以
上のアルコキシ基を有するケイ素化合物および必要に応
じて分子内に少なくとも1個以上のアルコキシ基を有
し、アミノ基を持たないケイ素化合物の有機溶剤中での
加水分解・縮合体とテトラカルボン酸2無水物の反応生
成物溶液からなるポリイミドシロキサン前駆体溶液が挙
げられる。あるいはこの溶液に別途、調製したシルセス
キオキサンオリゴマー溶液を添加したポリイミドシロキ
サン前駆体溶液であっても良い。(1) Compound A obtained by reacting the following components A and B: a silicon compound having at least one or more primary amino group or secondary amino group and one or more alkoxy group in the molecule. Hydrolysis / condensation product B: Tetracarboxylic acid dianhydride (2) Compound A obtained by reacting the following components A and B: at least one or more primary amino group or secondary amino group and 1 in the molecule Hydrolysis / cocondensation product of a silicon compound having one or more alkoxy groups and a silicon compound having at least one alkoxy group in the molecule and not having an amino group B: tetracarboxylic acid dianhydride (3) organosyl A compound obtained by reacting a sesquioxane oligomer with the following components A and B or a hydrolysis / condensation product A of the compound: at least one or more primary amino groups in the molecule Alternatively, a silicon compound B having a secondary amino group and one or more alkoxy groups B: tetracarboxylic dianhydride (4) Compound A obtained by reacting an organosilsesquioxane oligomer with the following components A and B: molecule Hydrolyzed / condensed product of a silicon compound having at least one or more primary amino group or secondary amino group and one or more alkoxy group therein: tetracarboxylic acid dianhydride (5) organosilsesquioxane oligomer And a compound A obtained by reacting the following components A and B: a silicon compound having at least one or more primary amino groups or secondary amino groups and one or more alkoxy groups in the molecule, and at least one in the molecule Hydrolysis / cocondensation product of silicon compound having at least one alkoxy group and having no amino group B: tetracarboxylic acid dianhydride (6 Hydrolyzate of the following components A, B, and C or its hydrolysis / condensation product A: Silicon compound B having at least one or more primary amino group or secondary amino group and one or more alkoxy group in the molecule : Silicon compound having at least one alkoxy group in the molecule and having no amino group C: Polyvalent carboxylic acid having at least one set of adjacent carboxyl groups in the molecule or an anhydride thereof. However, as one of the polyimide siloxane precursors having good pigment dispersibility and stability for the purpose of the present invention, at least one or more primary amino group or secondary amino group in the molecule is particularly preferable. A silicon compound having an amino group and at least one alkoxy group, and optionally a silico compound having at least one alkoxy group in the molecule and not having an amino group. A polyimide siloxane precursor solution composed of a reaction product solution of a hydrolysis / condensation product of an elementary compound in an organic solvent and tetracarboxylic dianhydride can be mentioned. Alternatively, it may be a polyimidesiloxane precursor solution in which the prepared silsesquioxane oligomer solution is added separately to this solution.
【0013】さらにはポリイミドシロキサン前駆体が下
記のA,B,C成分の有機溶剤中での加水分解物あるい
はその加水分解・縮合体からなるものも好ましく使用で
きる。Further, a polyimide siloxane precursor composed of a hydrolyzate of the following components A, B and C in an organic solvent or a hydrolyzate / condensate thereof can be preferably used.
【0014】A:分子内に少なくとも1個以上の1級ア
ミノ基あるいは2級アミノ基と1個以上のアルコキシ基
を有するケイ素化合物
B:分子内に少なくとも1個以上のアルコキシ基を有し
アミノ基を持たないケイ素化合物
C:分子内に少なくとも1組以上の隣接するカルボキシ
ル基を有する多価カルボン酸あるいはその無水物
これらのポリイミドシロキサン前駆体溶液の製造に使用
される原料成分として、分子内に少なくとも1個以上の
1級アミノ基あるいは2級アミノ基と1個以上のアルコ
キシ基を有するケイ素化合物としては、下記一般式
(1)で表わされるアミノアルキルアルコキシシラン、
アミノアリールアルコキシシランが好ましく使用され
る。
[R1 n Si(OR2 )]4-n ] (1)
(ただし、R1 は有機基を示し、 n個の少なくとも一つ
の有機基はアミノアルキル基、N−アルキル−アミノア
ルキル基、アミノアリール基あるいはN−アルキル−ア
ミノアリール基であり、その他はアルキル基、アリ−ル
基、アリル基、フルオロアルキル基から選ばれる有機基
である。R2 は同一もしくは異なっていてもよく、それ
ぞれ水素、アルキル基、アリ−ル基、アリル基、フルオ
ロアルキル基である。またn は1〜3の整数である)。A: Silicon compound having at least one primary amino group or secondary amino group and at least one alkoxy group in the molecule B: Amino group having at least one alkoxy group in the molecule No-containing silicon compound C: a polyvalent carboxylic acid having at least one set of adjacent carboxyl groups in the molecule or an anhydride thereof, as a raw material component used in the production of these polyimidesiloxane precursor solutions, at least in the molecule As the silicon compound having one or more primary amino groups or secondary amino groups and one or more alkoxy groups, an aminoalkylalkoxysilane represented by the following general formula (1),
Aminoarylalkoxysilanes are preferably used. [R 1 n Si (OR 2 )] 4-n ] (1) (wherein R 1 represents an organic group, and at least one of n organic groups is an aminoalkyl group, N-alkyl-aminoalkyl group, amino An aryl group or an N-alkyl-aminoaryl group, and the other is an organic group selected from an alkyl group, an aryl group, an allyl group, and a fluoroalkyl group, and R 2 s may be the same or different and each is hydrogen. , An alkyl group, an aryl group, an allyl group, and a fluoroalkyl group, and n is an integer of 1 to 3).
【0015】具体的にはγ−アミノプロピルトリエトキ
シシラン、γ−アミノプロピルメチルジエトキシシラ
ン、N−β(アミノエチル)γ−アミノプロピルメチル
ジメトキシシラン、N−β(アミノエチル)γ−アミノ
プロピルトリメトキシシラン、γ−アミノプロピルトリ
メトキシシラン、γ−アミノプロピルメチルジメトキシ
シラン、2−アミノエチルアミノメチルトリメチルシラ
ン、2−アミノエチルアミノメチルトリメトキシシラ
ン、3−アミノプロピルジメチルエトキシシラン、2−
(2−アミノエチルチオエチル)トリエトキシシラン等
が使用できるが、これらの化合物に限定されるものでは
無い。Specifically, γ-aminopropyltriethoxysilane, γ-aminopropylmethyldiethoxysilane, N-β (aminoethyl) γ-aminopropylmethyldimethoxysilane, N-β (aminoethyl) γ-aminopropyl Trimethoxysilane, γ-aminopropyltrimethoxysilane, γ-aminopropylmethyldimethoxysilane, 2-aminoethylaminomethyltrimethylsilane, 2-aminoethylaminomethyltrimethoxysilane, 3-aminopropyldimethylethoxysilane, 2-
(2-Aminoethylthioethyl) triethoxysilane and the like can be used, but not limited to these compounds.
【0016】分子内に少なくとも1個以上のアルコキシ
基を有しアミノ基を有しないケイ素化合物としては、下
記一般式で示されるオルガノトリアルコキシシランが好
ましく使用され、
[RSi(OR´)3 ] (2)
(ただし、R、R´は同一もしくは異なっていてもよ
く、それぞれ水素、アルキル基、アリ−ル基、アリル基
あるいはフルオロアルキル基である。)
これらのオルガノトリアルコキシシランの具体例として
は、メチルトリメトキシシラン、メチルトリエトキシシ
ラン、ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシ
シラン、フェニルトリメトキシシラン、フェニルトリエ
トキシシラン、フェニルトリメトキシシラン、トリフル
オロメチルメトキシシラン、トリフルオロエチルトリメ
トキシシラン、γ−メタアクリルオキシプロピルトリメ
トキシシラン、γ−メタアクリルオキシプロピルトリエ
トキシシラン等を挙げることができるがこれらに限定さ
れるものでは無く、またテトラメトキシシラン、テトラ
エトキシシラン、ジメチルジエトキシシラン、ジメチル
ジメトキシシラン、ジフェニルジメトキシシランのよう
なテトラアルコキシシランあるいはジアルコキシシラン
を併用することも可能である。As the silicon compound having at least one alkoxy group in the molecule and having no amino group, an organotrialkoxysilane represented by the following general formula is preferably used, and [RSi (OR ') 3 ] ( 2) (However, R and R'may be the same or different and each is hydrogen, an alkyl group, an aryl group, an allyl group or a fluoroalkyl group.) Specific examples of these organotrialkoxysilanes , Methyltrimethoxysilane, methyltriethoxysilane, vinyltrimethoxysilane, vinyltriethoxysilane, phenyltrimethoxysilane, phenyltriethoxysilane, phenyltrimethoxysilane, trifluoromethylmethoxysilane, trifluoroethyltrimethoxysilane, γ -Methacrylic oxyp Examples include, but are not limited to, ropyltrimethoxysilane, γ-methacryloxypropyltriethoxysilane, and tetramethoxysilane, tetraethoxysilane, dimethyldiethoxysilane, dimethyldimethoxysilane, diphenyl. It is also possible to use tetraalkoxysilane or dialkoxysilane such as dimethoxysilane together.
【0017】ここで特にオルガノトリアルコキシシラン
化合物の少なくとも一部として、フェニルトリエトキシ
シラン、フェニルトリメトキシシランのようなフェニル
トリアルコキシシランおよびメチルトリエトキシシラ
ン、メチルトリメトキシシランのようなメチルトリアル
コキシシランを併用することが、本発明の熱硬化性樹脂
溶液組成物において分散性と保存安定性の良好な熱硬化
性樹脂溶液組成物を得るために有用であり、かつ本組成
物から得られる被膜の靭性を向上することができる。Here, especially as at least a part of the organotrialkoxysilane compound, phenyltrialkoxysilane such as phenyltriethoxysilane and phenyltrimethoxysilane and methyltrialkoxysilane such as methyltriethoxysilane and methyltrimethoxysilane. It is useful in combination to obtain a thermosetting resin solution composition having good dispersibility and storage stability in the thermosetting resin solution composition of the present invention, and of the coating film obtained from the composition. The toughness can be improved.
【0018】また本発明において使用されるオルガノシ
ルセスキオキサンオリゴマーとしては上記のオルガノト
リアルコキシシラン化合物を有機溶剤中で加水分解縮合
して得られるものが好ましく使用される。特に生成する
アルコールと水を留去せしめながら80〜150℃の高
温域で加水分解縮合を行わせしめて得られるシルセスキ
オキサンオリゴマー溶液が好ましく使用される。また生
成したシルセスキオキサンオリゴマー溶液にジルコニウ
ムキレート、チタニウムキレート等の金属キレートを添
加することは、本シルセスキオキサンオリゴマー溶液を
原料成分として用いたポリイミドシロキサン前駆体溶液
の顔料分散性と保存安定性を改良するために有効であ
る。As the organosilsesquioxane oligomer used in the present invention, those obtained by hydrolyzing and condensing the above organotrialkoxysilane compound in an organic solvent are preferably used. In particular, a silsesquioxane oligomer solution obtained by hydrolyzing and condensing the produced alcohol and water in a high temperature range of 80 to 150 ° C. is preferably used. In addition, adding metal chelates such as zirconium chelate and titanium chelate to the generated silsesquioxane oligomer solution is effective for pigment dispersibility and storage stability of the polyimidesiloxane precursor solution using this silsesquioxane oligomer solution as a raw material component. It is effective for improving the sex.
【0019】本発明において使用されるテトラカルボン
酸二無水物としては公知の4価カルボン酸の二無水物が
広く使用できるが、具体的にはピロメリット酸二無水
物、3,3´,4,4´−ベンゾフェノンテトラカルボ
ン酸二無水物、3,3´,4,4´−ビフェニルテトラ
カルボン酸二無水物、3,3´,4,4´−ジフェニル
エ−テルテトラカルボン酸二無水物、1,2,3,4−
シクロブタンテトラカルボン酸二無水物、1,2,3,
4−ブタンテトラカルボン酸二無水物、3,3´,4,
4´−ジフェニルスルフォンテトラカルボン酸二無水物
もしくはこれらの混合物等を挙げることができるがこれ
らに限定されるものでは無い。As the tetracarboxylic dianhydride used in the present invention, widely known tetracarboxylic dianhydrides can be widely used. Specifically, pyromellitic dianhydride, 3,3 ', 4 , 4'-Benzophenonetetracarboxylic dianhydride, 3,3 ', 4,4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride, 3,3', 4,4'-Diphenylethertetracarboxylic dianhydride , 1, 2, 3, 4-
Cyclobutanetetracarboxylic dianhydride, 1,2,3
4-butanetetracarboxylic dianhydride, 3,3 ', 4,
Examples thereof include 4′-diphenylsulfone tetracarboxylic acid dianhydride or a mixture thereof, but are not limited thereto.
【0020】分子内に少なくとも1組以上の隣接するカ
ルボキシル基を有する多価カルボン酸あるいはその無水
物としては上記のテトラカルボン酸二無水物あるいはそ
の加水分解物が挙げられ、さらにはトリメリット酸、フ
マール酸、マレイン酸、もしくはこれらの無水物、混合
物等を挙げることができ、特に芳香族テトラカルボン
酸、脂肪族テトラカルボン酸、芳香族トリカルボン酸、
マレイン酸あるいはフマール酸ないしそれらの無水物か
ら選ばれた少なくとも一つであることが望ましい。 本
発明のポリイミドシロキサン前駆体溶液の調製、あるい
は原料成分のシルセスキオキサンオリゴマー溶液の調製
に使用される有機溶剤は特に限定されるものではない
が、γ−ブチロラクトン、N−メチル−2−ピロリド
ン、N,N−ジメチルアセトアミド、N,N−ジメチル
フォルムアミド等の極性溶剤、好ましくはγ−ブチロラ
クトン、N−メチル−2−ピロリドンと分子内に少なく
とも一個の水酸基と少なくとも一個のエーテル結合を含
有する沸点100〜300℃の液体の混合溶剤が好まし
く使用され、特に分子内に少なくとも一個の水酸基と少
なくとも一個のエーテル結合を含有する沸点100〜3
00℃の溶剤の使用は塗布性の良好な組成物を得るため
に好ましいとともに、得られるポリイミドシロキサン前
駆体溶液への顔料分散性を改良するものである。この様
な有機溶剤成分としては、例えば3−メチル−3−メト
キシブタノ−ル、プロピレングリコ−ル−モノ−メチル
エ−テル、ジプロピレングリコ−ル−モノ−メチルエ−
テル、トリプロピレングリコ−ル−モノ−メチルエ−テ
ル、プロピレングリコ−ル−モノ−3級−ブチルエ−テ
ル、エチルセロソルブ、ブチルセロソルブ、メチルカル
ビト−ル、エチルカルビト−ル等が挙げられるがこれら
に限定されるものではない。Examples of the polycarboxylic acid having at least one set of adjacent carboxyl groups in the molecule or its anhydride include the above-mentioned tetracarboxylic dianhydride or its hydrolyzate, and further trimellitic acid, Examples thereof include fumaric acid, maleic acid, anhydrides thereof, and mixtures thereof. Particularly, aromatic tetracarboxylic acid, aliphatic tetracarboxylic acid, aromatic tricarboxylic acid,
It is preferably at least one selected from maleic acid, fumaric acid and their anhydrides. The organic solvent used for preparing the polyimidesiloxane precursor solution of the present invention or for preparing the silsesquioxane oligomer solution as a raw material component is not particularly limited, but γ-butyrolactone, N-methyl-2-pyrrolidone , N, N-dimethylacetamide, N, N-dimethylformamide and other polar solvents, preferably γ-butyrolactone, N-methyl-2-pyrrolidone and at least one hydroxyl group and at least one ether bond in the molecule. A liquid mixed solvent having a boiling point of 100 to 300 ° C. is preferably used, and particularly, a boiling point of 100 to 3 containing at least one hydroxyl group and at least one ether bond in the molecule.
The use of a solvent at 00 ° C. is preferable in order to obtain a composition having good coatability, and improves the dispersibility of the pigment in the resulting polyimidesiloxane precursor solution. Examples of such organic solvent components include 3-methyl-3-methoxybutanol, propylene glycol-mono-methyl ether, dipropylene glycol-mono-methyl ether.
And tripropylene glycol-mono-methyl ether, propylene glycol-mono-tertiary-butyl ether, ethyl cellosolve, butyl cellosolve, methyl carbitol, ethyl carbitol and the like, but are not limited thereto. Not a thing.
【0021】本発明の顔料分散ポリイミドシロキサン前
駆体溶液からなる顔料分散熱硬化性樹脂溶液組成物は、
主としてカラーフィルター用の着色塗膜を形成するため
に用いられるので、本発明に使用される顔料としては、
透明性が高く、耐光性、耐熱性、耐薬品性に優れたもの
が好ましい。代表的な顔料の具体例をカラーインデック
ス(CI)ナンバーで示すと、黄色顔料の例としてはピ
グメントイエロー20、24、83、86、93、9
4、109、110、117、125、137、13
8、139、147、148、153、154、16
6、173等が挙げられるがこれらに限定されない。オ
レンジ色顔料の例としてはピグメントオレンジ13、3
1、36、38、40、42、43、51、55、5
9、61、64、65等が挙げられるがこれらに限定さ
れない。赤色顔料の例としてはピグメントレッド9、9
7、122、123、144、149、166、16
8、177、180、192、215、216、224
等が挙げられるがこれらに限定されない。紫色顔料の例
としてはピグメントバイオレット19、23、29、3
2、33、36、37、38等が挙げられるがこれらに
限定されない。青色顔料の例としてはピグメントブルー
15(15:3、15:4、15:6、など)、21、
22、60、64、等が挙げられるがこれらに限定され
ない。緑色顔料の例としてはピグメントグリーン7、1
0、36、47等が挙げられるがこれらに限定されな
い。黒色顔料の例としてはピグメントブラック7等が挙
げられるがこれらに限定されない。A pigment-dispersed thermosetting resin solution composition comprising the pigment-dispersed polyimidesiloxane precursor solution of the present invention is
Since it is mainly used for forming a colored coating film for a color filter, as the pigment used in the present invention,
Those having high transparency and excellent light resistance, heat resistance, and chemical resistance are preferable. Specific examples of typical pigments are shown by color index (CI) numbers. Examples of yellow pigments are Pigment Yellow 20, 24, 83, 86, 93, 9
4, 109, 110, 117, 125, 137, 13
8, 139, 147, 148, 153, 154, 16
6,173, etc. are mentioned, but it is not limited to these. Pigment Orange 13 and 3 are examples of orange pigments.
1, 36, 38, 40, 42, 43, 51, 55, 5
Examples include, but are not limited to, 9, 61, 64, and 65. Pigment Red 9 and 9 are examples of red pigments.
7, 122, 123, 144, 149, 166, 16
8, 177, 180, 192, 215, 216, 224
However, the present invention is not limited to these. Examples of purple pigments include pigment violet 19, 23, 29, 3
2, 33, 36, 37, 38 and the like, but are not limited to these. Examples of blue pigments include Pigment Blue 15 (15: 3, 15: 4, 15: 6, etc.), 21,
22, 60, 64, and the like, but are not limited to these. Pigment Green 7 and 1 are examples of green pigments.
Examples thereof include, but are not limited to, 0, 36, 47 and the like. Examples of black pigments include, but are not limited to, Pigment Black 7.
【0022】上記顔料は実用的には数色組み合わせて調
色され使用されるものである。The above-mentioned pigments are practically used by being toned by combining several colors.
【0023】これらの原料は必要に応じてロジン処理、
酸性基処理、塩基性基本処理などの表面処理がなされて
いるものである。These raw materials may be treated with rosin, if necessary,
Surface treatment such as acidic group treatment and basic basic treatment is performed.
【0024】顔料分散ポリイミドシロキサン前駆体溶液
を作製するには、顔料とポリイミドシロキサン前駆体溶
液を直接混合分散させても良いが、あらかじめ顔料をγ
−ブチロラクトン、N−メチルピロリドン、3−メチル
−3−メトキシブタノールのごとくポリイミドシロキサ
ン前駆体溶液と相溶する有機溶剤中で分散させておき、
これにポリイミドシロキサン前駆体溶液を混合せしめて
も良い。γ−ブチロラクトン等のラクトン類は特に顔料
の分散性が良好である。また顔料の分散に際してはアル
カリ金属を含まない界面活性剤や高分子系の分散剤が好
ましく使用され、特にポリアミック酸オリゴマー等が有
効に使用できる。これら分散剤の使用は通常、顔料10
0部に対して1〜20重量部の範囲から選ばれるが、こ
れに限定されない。To prepare the pigment-dispersed polyimidesiloxane precursor solution, the pigment and the polyimidesiloxane precursor solution may be directly mixed and dispersed.
-Butyrolactone, N-methylpyrrolidone, 3-methyl-3-methoxybutanol and the like are dispersed in an organic solvent compatible with the polyimidesiloxane precursor solution,
A polyimide siloxane precursor solution may be mixed with this. Lactones such as γ-butyrolactone have particularly good pigment dispersibility. In dispersing the pigment, a surfactant containing no alkali metal or a polymeric dispersant is preferably used, and particularly a polyamic acid oligomer can be effectively used. The use of these dispersants is usually pigment 10
It is selected from the range of 1 to 20 parts by weight with respect to 0 part, but is not limited thereto.
【0025】本発明のポリイミドシロキサン前駆体溶液
の良好な顔料分散性はポリイミドシロキサン前駆体がオ
リゴマーからなり、多くの水酸基等の極性基を分子内に
有することと、化学構造および溶剤選択の幅が大きいこ
とから種々の変性が可能なことに起因しているものであ
る。The good pigment dispersibility of the polyimidesiloxane precursor solution of the present invention is that the polyimidesiloxane precursor is composed of an oligomer and has many polar groups such as hydroxyl groups in the molecule, and has a wide range of chemical structure and solvent selection. This is because it is large and various modifications are possible.
【0026】顔料分散ポリイミドシロキサン前駆体溶液
を主成分とする顔料分散熱硬化性樹脂溶液組成物におけ
る顔料の添加量はポリイミドシロキサン前駆体100重
量部に対して1〜300重量部の範囲が好ましく、さら
には25〜200重量部が好ましく、特に形成する塗布
膜の着色度、物性のバランスの点で特に50〜150重
量部が好ましい。The amount of the pigment added in the pigment-dispersed thermosetting resin solution composition containing the pigment-dispersed polyimide siloxane precursor solution as a main component is preferably in the range of 1 to 300 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the polyimide siloxane precursor. Further, it is preferably 25 to 200 parts by weight, and particularly preferably 50 to 150 parts by weight from the viewpoint of the balance of coloring degree and physical properties of the coating film to be formed.
【0027】本発明の顔料分散ポリイミドシロキサン前
駆体溶液にベンゾイントシレート、トリ(ニトロベンジ
ル)フォスフェート、トリアニソインフォスフェート、
ジアリールヨードニウム塩、トリアリールスルホニウム
塩等の公知の光酸発生剤、ニトロベンジルシクロヘキシ
ルカルバメート、ジ(メトキシベンジル)ヘキサメチレ
ンジカルバメート等の公知の光塩基発生剤、あるいはア
クリルモノマーと公知の光重合開始剤、増感剤等を加え
て感光性の顔料分散ポリイミドシロキサン前駆体溶液を
得ることができる。The pigment-dispersed polyimide siloxane precursor solution of the present invention is added to benzoin tosylate, tri (nitrobenzyl) phosphate, trianisoinfosphate,
Known photoacid generators such as diaryliodonium salts and triarylsulfonium salts, known photobase generators such as nitrobenzylcyclohexylcarbamate and di (methoxybenzyl) hexamethylenedicarbamate, or acrylic monomers and known photopolymerization initiators. A sensitizer and the like can be added to obtain a photosensitive pigment-dispersed polyimide siloxane precursor solution.
【0028】本発明の顔料分散ポリイミドシロキサン前
駆体溶液に金属キレートを添加せしめて、顔料分散溶液
の安定性、保存性を改良したり、さらには生成する顔料
分散ポリイミドシロキサン膜の基板あるいはオーバーコ
ート層、ITO層との接着性を改良することができる。
このような金属キレート成分としてはアルミニウムキレ
−ト化合物、チタンキレ−ト化合物あるいはジルコニウ
ムキレ−ト化合物から選ばれる金属キレ−ト化合物の少
なくとも1種が使用され、特に限定されるものではない
が、アルミニウムトリアルコオキサイド、チタンテトラ
アルコオキサイド、ジルコニウムテトラアルコオキサイ
ドとβ−ジケトン化合物あるいはβ−ケトエステルを反
応せしめて得られる金属キレ−ト化合物が好ましく使用
され、具体的にはアルミニウムトリス(エチルアセトア
セテ−ト)、ジプロポキシチタンビス(エチルアセトア
セテ−ト)、ジブトキシジルコニウムビス(エチルアセ
トアセテ−ト)、ジルコニウムテトラ(エチルアセトア
セテ−ト)、チタンテトラ(エチルアセトアセテ−
ト)、アルミニウムトリス(アセチルルアセトナ−
ト)、ジプロポキシチタンビス(アセチルアセトナ−
ト)、ジブトキシジルコニウムビス(アセチルアセトナ
−ト)、ジルコニウムテトラ(アセチルアセトナ−
ト)、チタンテトラ (アセチルアセトナ−ト)等を挙
げることができる。これらの金属キレ−ト化合物は金属
酸化物濃度1〜30重量%の有機溶剤溶液として使用さ
れることが好ましく、有機溶剤は特に限定されるもので
は無いが、本発明の顔料分散ポリイミドシロキサン前駆
体溶液の溶剤成分と同様の溶剤成分が使用できる。A metal chelate is added to the pigment-dispersed polyimidesiloxane precursor solution of the present invention to improve the stability and storability of the pigment-dispersed solution, and further, the substrate or overcoat layer of the pigment-dispersed polyimidesiloxane film produced. , The adhesion to the ITO layer can be improved.
As such a metal chelate component, at least one metal chelate compound selected from an aluminum chelate compound, a titanium chelate compound or a zirconium chelate compound is used, and it is not particularly limited, but aluminum A metal chelate compound obtained by reacting trialcooxide, titanium tetraalcooxide, zirconium tetraalcooxide with a β-diketone compound or a β-ketoester is preferably used. Specifically, aluminum tris (ethylacetoacetate) is used. ), Dipropoxytitanium bis (ethylacetoacetate), dibutoxyzirconium bis (ethylacetoacetate), zirconium tetra (ethylacetoacetate), titanium tetra (ethylacetoacetate).
G), aluminum tris (acetylacetona-
G), dipropoxytitanium bis (acetylacetona-
G), dibutoxyzirconium bis (acetylacetonate), zirconium tetra (acetylacetonate)
G), titanium tetra (acetylacetonate) and the like. These metal chelate compounds are preferably used as an organic solvent solution having a metal oxide concentration of 1 to 30% by weight. The organic solvent is not particularly limited, but the pigment-dispersed polyimidesiloxane precursor of the present invention is used. A solvent component similar to the solvent component of the solution can be used.
【0029】このような金属キレート成分の使用量は顔
料分散ポリイミドシロキサン前駆体溶液の樹脂成分に対
して、0.01〜10重量%の範囲であることが好まし
い。The amount of such a metal chelate component used is preferably in the range of 0.01 to 10% by weight based on the resin component of the pigment-dispersed polyimidesiloxane precursor solution.
【0030】本発明の顔料分散ポリイミドシロキサン前
駆体溶液を主成分とする顔料分散熱硬化性樹脂溶液組成
物は光学素子の遮光膜、光ファイバーの被覆膜、液晶表
示素子のカラーフィルターなどに用いられる。The pigment-dispersed thermosetting resin solution composition containing the pigment-dispersed polyimidesiloxane precursor solution of the present invention as a main component is used for a light-shielding film of an optical element, a coating film of an optical fiber, a color filter of a liquid crystal display element, and the like. .
【0031】本発明の顔料分散ポリイミドシロキサン前
駆体溶液を主成分とする顔料分散熱硬化性樹脂溶液組成
物の代表的な用途であるカラーフィルターを例に使用方
法の一例を示す。An example of a method of using a color filter, which is a typical application of the pigment-dispersed thermosetting resin solution composition containing the pigment-dispersed polyimidesiloxane precursor solution of the present invention as a main component, will be described.
【0032】透明基板上に顔料分散ポリイミドシロキサ
ン前駆体溶液で例えばG(グリーン)の着色塗膜を形成
する。塗布はスピンナー、スプレー塗布、デイップコー
テイング、ロールコーテイング、ダイコーテイング等の
方法が適用される。乾燥はオーブン、ホットプレートあ
るいは赤外線を使用し50〜180℃の範囲で数時間〜
数秒行なわれ、硬化があまり進行しない範囲が好まし
い。この上にパターン形成用のフォトレジストを塗布
し、フォトレジスト層を形成する。続いて露光装置を用
いてフォトレジスト層被膜上にマスクを置き、化学線を
照射して露光する。ポジ型フォトレジストを使用した場
合には該ポジ型フォトレジストの現像液でフォトレジス
ト層の現像、ポリイミドシロキサン前駆体着色塗膜のエ
ッチングを同時に行う。エッチング後、不要となったフ
ォトレジスト層を通常はアセトン、セロソルブ、あるい
はプロピレングリコールアルキルエーテルアセテート系
の溶剤で剥離除去する。ポリイミドシロキサン前駆体着
色塗膜を熱処理し、G(グリーン)の着色塗膜のパター
ン加工を終える。熱処理温度は最終的に180〜400
℃、好ましくは180〜350℃であり、温度に応じて
5時間〜5分が適用される。A colored coating film of, for example, G (green) is formed on the transparent substrate with the pigment-dispersed polyimide siloxane precursor solution. For the coating, spinner, spray coating, dip coating, roll coating, die coating and the like are applied. Drying is performed using an oven, a hot plate or infrared rays within a range of 50 to 180 ° C for several hours.
It is preferably within a range in which curing is carried out for several seconds and curing does not proceed so much. A photoresist for forming a pattern is applied on this to form a photoresist layer. Subsequently, a mask is placed on the photoresist layer coating using an exposure device, and exposed to actinic rays. When a positive photoresist is used, the photoresist layer is developed with a developer for the positive photoresist and the polyimide siloxane precursor colored coating film is simultaneously etched. After etching, the photoresist layer that is no longer needed is peeled and removed, usually with a solvent of acetone, cellosolve, or propylene glycol alkyl ether acetate. The polyimide siloxane precursor colored coating film is heat-treated to complete the patterning of the G (green) colored coating film. Final heat treatment temperature is 180-400
C, preferably 180-350 C, depending on the temperature 5 hours to 5 minutes are applied.
【0033】以上の工程をR(レッド)、B(ブルー)
の画素および必要に応じてBK(ブラック)(ブラック
マスク)について繰り返すと、カラーフィルターが作製
できる。The above steps are R (red), B (blue)
By repeating the process for the pixels of No. 1 and BK (black) (black mask) as necessary, a color filter can be manufactured.
【0034】[0034]
【実施例】次に、実施例により本発明をさらに詳細に説
明するが、本発明はこれらに限定されない。EXAMPLES Next, the present invention will be described in more detail by way of examples, but the present invention is not limited to these.
【0035】調製例1
メチルトリメトキシシラン40.8g(0.3モル)、
フェニルトリメトキシシラン59.4g(0.3モ
ル)、γ−アミノプロピルメチルジエトキシシラン28
8.0g(1.5モル)を3−メチル−3−メトキシブ
タノ−ル1284gとγ−ブチロラクトン1000gに
溶解し、これを30℃で撹拌しながら86.4gの蒸留
水を加えた後、徐々に加熱、攪拌下に昇温して1時間後
にバス温55℃として,この温度で3時間攪拌下に加水
分解・縮合させた。この溶液に3,3´,4,4´−ベ
ンゾフェノンテトラカルボン酸2無水物241.7g
(0.75モル)を加えて、さらに55℃で3時間加熱
攪拌を行ないポリイミドシロキサン前駆体溶液を得た。
このように得られた溶液の固形分濃度を300℃、30
分加熱の溶剤除去法で測定すると15.3%であり、溶
液粘度は23センチポイズ(25℃)であった。Preparation Example 1 40.8 g (0.3 mol) of methyltrimethoxysilane,
Phenyltrimethoxysilane 59.4 g (0.3 mol), γ-aminopropylmethyldiethoxysilane 28
8.0 g (1.5 mol) was dissolved in 1284 g of 3-methyl-3-methoxybutanol and 1000 g of γ-butyrolactone, and 86.4 g of distilled water was added while stirring at 30 ° C., and then gradually. The temperature was raised under heating and stirring and 1 hour later, the bath temperature was set to 55 ° C., and hydrolysis and condensation were carried out at this temperature for 3 hours with stirring. 241.7 g of 3,3 ', 4,4'-benzophenone tetracarboxylic acid dianhydride was added to this solution.
(0.75 mol) was added, and the mixture was further heated and stirred at 55 ° C. for 3 hours to obtain a polyimidesiloxane precursor solution.
The solid content concentration of the solution thus obtained was adjusted to 300 ° C. and 30
It was 15.3% as measured by the solvent-removal method with partial heating, and the solution viscosity was 23 centipoise (25 ° C.).
【0036】調製例2
メチルトリメトキシシラン272.0g(2.0モ
ル)、フェニルトリメトキシシラン395.0g(2.
0モル)を3−メチル−3−メトキシブタノ−ル78
5.6gに溶解し、30℃で撹拌しながら、216.0
gの蒸留水と0.34gの酢酸を加え、0.5時間加熱
撹拌し、加水分解・縮合を行なった。Preparation Example 2 272.0 g (2.0 mol) of methyltrimethoxysilane and 395.0 g (2.
0 mol) to 3-methyl-3-methoxybutanol 78
It was dissolved in 5.6 g and stirred at 30 ° C. for 216.0
g of distilled water and 0.34 g of acetic acid were added, and the mixture was heated and stirred for 0.5 hours to carry out hydrolysis / condensation.
【0037】この溶液を、徐々に加熱、攪拌下に昇温し
て1時間後にバス温105℃として2時間、加熱攪拌
し、生成したアルコ−ルと水302.4gを留去させ、
次いでバス温130℃として2時間、加熱攪拌し、生成
した水とアルコ−ル146.7gを留去させた。得られ
たシルセスキオキサンオリゴマー溶液を冷却した後、3
−メチル−3−メトキシブタノ−ル85.7gを加えて
稀釈した。This solution was gradually heated and stirred, and the temperature was raised under stirring for 1 hour, then the temperature of the bath was kept at 105 ° C. for 2 hours under heating and stirring to distill off the formed alcohol and 302.4 g of water.
Next, the bath temperature was set to 130 ° C. and the mixture was heated and stirred for 2 hours, and the produced water and 146.7 g of alcohol were distilled off. After cooling the resulting silsesquioxane oligomer solution, 3
-Methyl-3-methoxybutanol 85.7 g was added and diluted.
【0038】このように得られた溶液の固形分濃度を3
00℃、30分加熱の溶剤除去法で測定すると30.2
%であり、溶液粘度は40センチポイズ(25℃)であ
った。The solid content concentration of the solution thus obtained was 3
30.2 when measured by the solvent removal method of heating at 00 ° C for 30 minutes
%, And the solution viscosity was 40 centipoise (25 ° C.).
【0039】調製例3
調製例2で得られた溶液1306.7gにジルコニウム
のアセト酢酸エチルエステル2価キレートの3−メチル
−3−メトキシブタノ−ル溶液(ジルコニア換算濃度:
10重量%)196gと3−メチル−3−メトキシブタ
ノ−ル143.7gを加えて、30℃で1時間、攪拌混
合した。Preparation Example 3 1306.7 g of the solution obtained in Preparation Example 2 was used to prepare a solution of zirconium acetoacetic acid ethyl ester divalent chelate in 3-methyl-3-methoxybutanol (concentration in terms of zirconia:
10% by weight) (196 g) and 3-methyl-3-methoxybutanol (143.7 g) were added, and the mixture was stirred and mixed at 30 ° C. for 1 hour.
【0040】このように得られた溶液の固形分濃度を3
00℃、30分加熱の溶剤除去法で測定すると25.3
%であり、溶液粘度は20センチポイズ(25℃)であ
った。調製例4
γブチロラクトン393.48gと3−メチル−3−メ
トキシブタノ−ル573.48gに3,3´,4,4´
−ベンゾフェノンテトラカルボン酸2無水物180.0
g(0.5586モル)を加えて、20℃で10分間攪
拌した後、γ−アミノプロピルメチルジエトキシシラン
213.72g(1.1172モル)を加え、40℃で
3時間攪拌して、ポリイミドシロキサン前駆体溶液を得
た。このように得られた溶液の固形分濃度を300℃、
30分加熱の溶剤除去法で測定すると20.1%であ
り、溶液粘度は32センチポイズ(25℃)であった。The solid content of the solution thus obtained was adjusted to 3
25.3 when measured by the solvent removal method of heating at 00 ° C for 30 minutes
%, And the solution viscosity was 20 centipoise (25 ° C.). Preparation Example 4 393.48 g of γ-butyrolactone and 573.48 g of 3-methyl-3-methoxybutanol were added to 3,3 ′, 4,4 ′.
-Benzophenone tetracarboxylic acid dianhydride 180.0
g (0.5586 mol) and stirred at 20 ° C. for 10 minutes, then γ-aminopropylmethyldiethoxysilane (213.72 g, 1.1172 mol) was added, and the mixture was stirred at 40 ° C. for 3 hours to prepare polyimide. A siloxane precursor solution was obtained. The solid concentration of the solution thus obtained was 300 ° C.,
It was 20.1% as measured by the solvent removal method by heating for 30 minutes, and the solution viscosity was 32 centipoise (25 ° C.).
【0041】調製例5
メチルトリメトキシシラン27.2g(0.2モル)、
フェニルトリメトキシシラン39.6g(0.2モ
ル)、3,3´,4,4´−ベンゾフェノンテトラカル
ボン酸2無水物32.2g(0.10モル)を3−メチ
ル−3−メトキシブタノ−ル61.7gおよびγ−ブチ
ロラクトン61.7gに加え、30℃で撹拌しながら、
25.2gの蒸留水を加え、1時間撹拌し、加水分解・
縮合を行なった。この溶液を、徐々に加熱、攪拌下に昇
温して1時間後にバス温90℃として1時間、加熱攪拌
し、γ−アミノプロピルメチルジエトキシシラン38.
3g(0.2モル)と3−メチル−3−メトキシブタノ
−ル76.6g、γ−ブチロラクトン76.6gの混合
液を添加して、バス温125℃として同温度で2時間加
熱、攪拌し生成したアルコ−ルと水38.3gを留去さ
せた後、30℃に冷却して3−メチル−3−メトキシブ
タノ−ル35.9g、γ−ブチロラクトン35.9gの
混合液で稀釈してポリイミドシロキサン前駆体溶液を得
た。このように得られた溶液の固形分濃度を300℃、
30分加熱の溶剤除去法で測定すると20.4%であ
り、溶液粘度は122センチポイズ(25℃)であっ
た。Preparation Example 5 27.2 g (0.2 mol) of methyltrimethoxysilane,
39.6 g (0.2 mol) of phenyltrimethoxysilane and 32.2 g (0.10 mol) of 3,3 ′, 4,4′-benzophenonetetracarboxylic acid dianhydride were added to 3-methyl-3-methoxybutanol. 61.7 g and 61.7 g of γ-butyrolactone were added and stirred at 30 ° C.
Add 25.2 g of distilled water, stir for 1 hour, and
Condensation was performed. This solution was gradually heated and heated under stirring for 1 hour, and after heating for 1 hour at a bath temperature of 90 ° C., the solution was heated and stirred for 1 hour to obtain γ-aminopropylmethyldiethoxysilane 38.
A mixed solution of 3 g (0.2 mol), 76.6 g of 3-methyl-3-methoxybutanol, and 76.6 g of γ-butyrolactone was added, and the mixture was heated at the same temperature as a bath temperature of 125 ° C. for 2 hours with stirring to generate. After distilling off the alcohol and 38.3 g of water, the mixture was cooled to 30 ° C. and diluted with a mixed solution of 35.9 g of 3-methyl-3-methoxybutanol and 35.9 g of γ-butyrolactone to dilute the polyimidesiloxane. A precursor solution was obtained. The solid concentration of the solution thus obtained was 300 ° C.,
It was 20.4% as measured by the solvent removal method of heating for 30 minutes, and the solution viscosity was 122 centipoise (25 ° C.).
【0042】調製例6
メチルトリメトキシシラン27.2g(0.2モル)、
フェニルトリメトキシシラン39.6g(0.2モ
ル)、無水マレイン酸19.6g(0.20モル)を3
−メチル−3−メトキシブタノ−ル50.4gおよびγ
−ブチロラクトン50.4gに加え、30℃で撹拌しな
がら、28.8gの蒸留水を加え、1時間撹拌し、加水
分解・縮合を行なった。この溶液を、徐々に加熱、攪拌
下に昇温して1時間後にバス温90℃として1時間、加
熱攪拌し、γ−アミノプロピルメチルジエトキシシラン
76.6g(0.4モル)と3−メチル−3−メトキシ
ブタノ−ル76.6g、γ−ブチロラクトン76.6g
の混合液を添加して、バス温125℃として同温度で2
時間加熱、攪拌し生成したアルコ−ルと水54.2gを
留去させた後、30℃に冷却して3−メチル−3−メト
キシブタノ−ル64.2g、γ−ブチロラクトン64.
2gの混合液で稀釈してポリイミドシロキサン前駆体溶
液を得た。このように得られた溶液の固形分濃度を30
0℃、30分加熱の溶剤除去法で測定すると20.2%
であり、溶液粘度は50センチポイズ(25℃)であっ
た。Preparation Example 6 27.2 g (0.2 mol) of methyltrimethoxysilane,
39.6 g (0.2 mol) of phenyltrimethoxysilane and 19.6 g (0.20 mol) of maleic anhydride were used.
-Methyl-3-methoxybutanol 50.4 g and γ
-In addition to 50.4 g of butyrolactone, 28.8 g of distilled water was added with stirring at 30 ° C, and the mixture was stirred for 1 hour to carry out hydrolysis / condensation. This solution was gradually heated and heated under stirring for 1 hour, and after heating for 1 hour at a bath temperature of 90 ° C., the solution was heated and stirred for 7 hours, and 76.6 g (0.4 mol) of γ-aminopropylmethyldiethoxysilane and 3- Methyl-3-methoxybutanol 76.6 g, γ-butyrolactone 76.6 g
Add the mixed solution of and set the bath temperature to 125 ° C and
After heating and stirring for 5 hours to distill off the alcohol and 54.2 g of water produced, the mixture is cooled to 30 ° C. and 64.2 g of 3-methyl-3-methoxybutanol and γ-butyrolactone 64.
The mixture was diluted with 2 g of a mixed solution to obtain a polyimidesiloxane precursor solution. The solid content of the solution thus obtained was adjusted to 30
20.2% when measured by the solvent removal method of heating at 0 ° C for 30 minutes
And the solution viscosity was 50 centipoise (25 ° C.).
【0043】調製例7
ピグメントレッド177(チバガイギー(株)製クロモ
フタールレッドA3B)6.3g、γ−ブチロラクトン
83.7gをガラスビーズ90gとともにホモジナイザ
ーを用いて、7000rpmで30分間分散後、ガラス
ビーズを濾過・除去して、顔料分散液を得た。Preparation Example 7 6.3 g of Pigment Red 177 (Chromoftal Red A3B manufactured by Ciba-Geigy Co., Ltd.) and 83.7 g of γ-butyrolactone were dispersed together with 90 g of glass beads at 7,000 rpm for 30 minutes, and then the glass beads were dispersed. Was removed by filtration to obtain a pigment dispersion.
【0044】実施例1
調製例1で得られた溶液1000gと調製例3で得られ
た溶液600gを混合して、新たなポリイミドシロキサ
ン前駆体溶液を調製した。Example 1 1000 g of the solution obtained in Preparation Example 1 and 600 g of the solution obtained in Preparation Example 3 were mixed to prepare a new polyimidesiloxane precursor solution.
【0045】このポリイミドシロキサン前駆体溶液6g
を調製例7で得られた顔料分散液14gに添加混合して
本発明の着色顔料分散ポリイミドシロキサン前駆体溶液
を得た。本分散液をガラス基板上に加熱後ポリイミドシ
ロキサンとなった際の膜厚みが1.0μmとなるように
スピンナーで塗布、90℃で10分間乾燥し、冷却後、
この上にポジ型フォトレジスト(東京応化(株)製OF
PR−800)を乾燥後の膜厚みが1.0μmとなるよ
うにスピンナーで塗布、80℃で20分間乾燥した。キ
ャノン(株)製紫外線露光機PLA−501Fを用い
て、クロム製のフォトマスクを介して150mJ/cm
2 (365nmの紫外線強度)露光した。露光後、テト
ラメチルアンモニウムハイドロオキサイドの2.38%
の水溶液からなる現像液に浸漬し、フォトレジストの現
像、ポリイミドシロキサン前駆体着色塗膜のエッチング
を同時に行なった。エッチング後、不要となったフォト
レジスト層をアセトンで剥離した。このようにして得ら
れたパターン状にエッチングされたポリイミドシロキサ
ン前駆体着色塗膜を300℃で30分間熱処理して、ポ
リイミドシロキサンに転換した。6 g of this polyimidesiloxane precursor solution
Was added to and mixed with 14 g of the pigment dispersion liquid obtained in Preparation Example 7 to obtain a colored pigment-dispersed polyimidesiloxane precursor solution of the present invention. This dispersion was applied onto a glass substrate with a spinner so that the film thickness when it became polyimidesiloxane after heating was 1.0 μm, dried at 90 ° C. for 10 minutes, and after cooling,
On top of this, a positive photoresist (OF, manufactured by Tokyo Ohka Co., Ltd.)
PR-800) was applied by a spinner so that the film thickness after drying was 1.0 μm, and dried at 80 ° C. for 20 minutes. Using a UV exposure machine PLA-501F manufactured by Canon Inc., 150 mJ / cm through a photomask made of chromium.
2 (UV intensity of 365 nm). 2.38% of tetramethylammonium hydroxide after exposure
The photoresist was developed and the polyimide siloxane precursor colored coating film was etched at the same time. After etching, the unnecessary photoresist layer was removed with acetone. The pattern-formed polyimide siloxane precursor colored coating film thus obtained was heat-treated at 300 ° C. for 30 minutes to be converted into polyimide siloxane.
【0046】このようにして得られた着色塗膜のコント
ラストは820であり、この塗膜を顕微鏡下1000倍
で観察したところ、顔料の凝集は認められず、一様に分
散していた。The contrast of the colored coating film thus obtained was 820, and when the coating film was observed under a microscope at 1000 times, no pigment agglomeration was observed and the pigment was uniformly dispersed.
【0047】ここでコントラストの測定法としては、バ
ックライト(明拓システム)上で色彩輝度計(トプコン
BM−5A)にて2度視野で試料の平行ニコル状態、す
なわち試料を挟んだ位置にある偏光板の偏光軸が平行配
置にある場合の輝度(I平行)と直交ニコル状態での輝
度(I直交)を測定し、平行ニコル状態での輝度と直交
ニコル状態での輝度との比(I平行/I直交)をコント
ラストとした。Here, as a method for measuring the contrast, a parallel nicols state of the sample is obtained in a field of view twice with a color luminance meter (Topcon BM-5A) on a backlight (Meitaku system), that is, at a position where the sample is sandwiched. The luminance (I parallel ) when the polarization axes of the polarizing plates are parallel to each other and the luminance (I orthogonal ) in the orthogonal Nicol state are measured, and the ratio (I) between the luminance in the parallel Nicol state and the luminance in the orthogonal Nicol state (I Parallel / I orthogonal ) was taken as the contrast.
【0048】以下の実施例でも同様である。The same applies to the following embodiments.
【0049】実施例2
調製例1で得られた溶液1000gと調製例3で得られ
た溶液600gを混合して、ポリイミドシロキサン前駆
体溶液を調製した。Example 2 1000 g of the solution obtained in Preparation Example 1 and 600 g of the solution obtained in Preparation Example 3 were mixed to prepare a polyimidesiloxane precursor solution.
【0050】このポリイミドシロキサン前駆体溶液45
gと3−メチル−3−メトキシブタノ−ル90g、ピグ
メントレッド177を2.9g、ピグメントイエロー8
3の0.7gをガラスビーズ90gとともにホモジナイ
ザーを用いて、7000rpmで30分間分散後、ガラ
スビーズを濾過・除去して、顔料分散液を得た。This polyimide siloxane precursor solution 45
90 g of 3-methyl-3-methoxybutanol, 2.9 g of Pigment Red 177, and Pigment Yellow 8
0.7 g of 3 was dispersed with 90 g of glass beads using a homogenizer at 7,000 rpm for 30 minutes, and then the glass beads were filtered and removed to obtain a pigment dispersion.
【0051】本分散液から実施例1と全く同様にしてポ
リイミドシロキサンの着色塗膜を得た。このようにして
得られた着色塗膜のコントラストは390であり、この
塗膜を顕微鏡下1000倍で観察したところ、顔料の凝
集は認められず、一様に分散していた。A colored coating film of polyimidesiloxane was obtained from this dispersion in exactly the same manner as in Example 1. The contrast of the thus-obtained colored coating film was 390, and when the coating film was observed under a microscope at 1000 times, no pigment aggregation was observed and the pigment was uniformly dispersed.
【0052】本実施例で得られた顔料分散ポリイミドシ
ロキサン前駆体溶液を25℃で1月間放置した後、同様
のポリイミドシロキサンの着色塗膜を得ることができ
た。After the pigment-dispersed polyimidesiloxane precursor solution obtained in this example was allowed to stand at 25 ° C. for 1 month, a similar colored coating film of polyimidesiloxane could be obtained.
【0053】実施例3
調製例4で得られた溶液1000gと調製例2で得られ
た溶液2000gおよび3−メチル−3−メトキシブタ
ノ−ル1000gを混合して、ポリイミドシロキサン前
駆体溶液を調製した。Example 3 1000 g of the solution obtained in Preparation Example 4, 2000 g of the solution obtained in Preparation Example 2 and 1000 g of 3-methyl-3-methoxybutanol were mixed to prepare a polyimidesiloxane precursor solution.
【0054】このポリイミドシロキサン前駆体溶液45
gと3−メチル−3−メトキシブタノ−ル90g、ピグ
メントレッド177(チバガイギー(株)製クロモフタ
ールレッドA3B)3.6gをガラスビーズ90gとと
もにホモジナイザーを用いて、7000rpmで30分
間分散後、ガラスビーズを濾過・除去して、顔料分散液
を得た。This polyimide siloxane precursor solution 45
g, 3-methyl-3-methoxybutanol 90 g, Pigment Red 177 (Ciba Geigy Co., Ltd. Chromophtal Red A3B) 3.6 g were dispersed for 30 minutes at 7,000 rpm using a homogenizer together with 90 g of glass beads, and then glass beads. Was removed by filtration to obtain a pigment dispersion.
【0055】本分散液から実施例1と全く同様にしてポ
リイミドシロキサンの着色塗膜を得た。 このようにし
て得られた着色塗膜のコントラストは430であり、こ
の塗膜を顕微鏡下1000倍で観察したところ、顔料の
凝集は認められず、一様に分散していた。A colored coating film of polyimidesiloxane was obtained from this dispersion in exactly the same manner as in Example 1. The contrast of the colored coating film thus obtained was 430, and when the coating film was observed under a microscope at 1000 times, no aggregation of the pigment was observed and the pigment was uniformly dispersed.
【0056】実施例4
調製例5で得られたポリイミドシロキサン前駆体溶液4
5gと3−メチル−3−メトキシブタノ−ル45g、ピ
グメントグリーン7 3.6gをガラスビーズ90gと
ともにホモジナイザーを用いて、7000rpmで30
分間分散後、ガラスビーズを濾過・除去して、顔料分散
液を得た。Example 4 Polyimide siloxane precursor solution 4 obtained in Preparation Example 5
Using 5 g, 45 g of 3-methyl-3-methoxybutanol, and 3.6 g of Pigment Green 7 together with 90 g of glass beads, using a homogenizer, 30 at 7,000 rpm.
After dispersing for a minute, the glass beads were filtered and removed to obtain a pigment dispersion liquid.
【0057】テトラメチルアンモニウムハイドロオキサ
イドの5.5%の水溶液からなる現像液を使用した他は
実施例1と全く同様にして、本分散液からポリイミドシ
ロキサンの着色塗膜を得た。A colored coating film of polyimidesiloxane was obtained from this dispersion in exactly the same manner as in Example 1 except that a developing solution containing a 5.5% aqueous solution of tetramethylammonium hydroxide was used.
【0058】このようにして得られた着色塗膜のコント
ラストは925であり、この塗膜を顕微鏡下1000倍
で観察したところ、顔料の凝集は認められず、一様に分
散していた。The thus-obtained colored coating film had a contrast of 925, and when the coating film was observed under a microscope at 1000 ×, no pigment aggregation was observed and the pigment was uniformly dispersed.
【0059】実施例5
調製例6で得られたポリイミドシロキサン前駆体溶液4
5gと3−メチル−3−メトキシブタノ−ル45g、ピ
グメントブルー15 3.6gをガラスビーズ90gと
ともにホモジナイザーを用いて、7000rpmで30
分間分散後、ガラスビーズを濾過・除去して、顔料分散
液を得た。Example 5 Polyimide siloxane precursor solution 4 obtained in Preparation Example 6
Using 5 g, 45 g of 3-methyl-3-methoxybutanol, and 3.6 g of Pigment Blue 15 together with 90 g of glass beads, 30 at 7,000 rpm using a homogenizer.
After dispersing for a minute, the glass beads were filtered and removed to obtain a pigment dispersion liquid.
【0060】テトラメチルアンモニウムハイドロオキサ
イドの5.5%の水溶液からなる現像液を使用した他は
実施例1と全く同様にして、本分散液からポリイミドシ
ロキサンの着色塗膜を得た。A colored coating film of polyimidesiloxane was obtained from this dispersion in exactly the same manner as in Example 1 except that a developer containing a 5.5% aqueous solution of tetramethylammonium hydroxide was used.
【0061】このようにして得られた着色塗膜のコント
ラストは980であり、この塗膜を顕微鏡下1000倍
で観察したところ、顔料の凝集は認められず、一様に分
散していた。The thus-obtained colored coating film had a contrast of 980, and when the coating film was observed under a microscope at 1000 ×, no pigment aggregation was observed and the pigment was uniformly dispersed.
【0062】比較例1
3,3´,4,4´−ビフェニルテトラカルボン酸二無
水物147gをN−メチル−2−ピロリドン775gと
ともに仕込み、4,4´−ジアミノジフェニルエーテル
95.1gおよびビス(3−アミノプロピル)テトラメ
チルジシロキサン6.2gを添加し、60℃で3時間反
応させ、粘度730ポイズのポリイミド前駆体溶液(A
1)を得た。Comparative Example 1 147 g of 3,3 ', 4,4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride was charged together with 775 g of N-methyl-2-pyrrolidone, and 95.1 g of 4,4'-diaminodiphenyl ether and bis (3 -Aminopropyl) tetramethyldisiloxane (6.2 g) was added and reacted at 60 ° C. for 3 hours to obtain a polyimide precursor solution (A having a viscosity of 730 poise).
1) was obtained.
【0063】ピグメントレッド177(チバガイギー
(株)製クロモフタールレッドA3B)6.3g、N−
メチル−2−ピロリドン83.7gをガラスビーズ90
gとともにホモジナイザーを用いて、7000rpmで
30分間分散後、ガラスビーズを濾過・除去して、顔料
分散液(B1)を得た。Pigment Red 177 (Chromoftal Red A3B manufactured by Ciba-Geigy Co., Ltd.) 6.3 g, N-
Glass beads 90 containing 83.7 g of methyl-2-pyrrolidone
Using a homogenizer with g, the mixture was dispersed at 7,000 rpm for 30 minutes, and then the glass beads were filtered and removed to obtain a pigment dispersion liquid (B1).
【0064】顔料分散液(B1)47gにポリイミド前
駆体溶液(A1)25gをN−メチル−2−ピロリドン
25gで稀釈した溶液を添加混合し、顔料分散ポリイミ
ド前駆体組成物を得た。A solution obtained by diluting 25 g of the polyimide precursor solution (A1) with 25 g of N-methyl-2-pyrrolidone was added to 47 g of the pigment dispersion (B1) and mixed to obtain a pigment-dispersed polyimide precursor composition.
【0065】実施例1と全く同様にして、本分散液から
ポリイミドシロキサンの着色塗膜を得た。このようにし
て得られた着色塗膜のコントラストは250であり、こ
の塗膜を顕微鏡下1000倍で観察したところ、顔料の
凝集が認められた。A colored coating film of polyimidesiloxane was obtained from this dispersion in exactly the same manner as in Example 1. The contrast of the colored coating film thus obtained was 250, and when this coating film was observed under a microscope at 1000 ×, aggregation of the pigment was recognized.
【0066】またこの顔料分散ポリイミド前駆体組成物
を25℃で1月間放置したところ、組成物の分離が生じ
ていた。When this pigment-dispersed polyimide precursor composition was allowed to stand at 25 ° C. for 1 month, the composition was separated.
【0067】調製例8
ピグメントレッド177 4.3g、ピグメントイエロ
ー83 1.2g、γ−ブチロラクトン70.0g、3
−メチル−3−メトキシブタノール30gおよび調整例
5で得られたポリイミドシロキサン前駆体溶液1gをガ
ラスビーズ90gとともにホモジナイザーを用いて、7
000rpmで30分間分散後、ガラスビーズを濾過・
除去して、赤色(R)顔料分散液を得た。Preparation Example 8 Pigment Red 177 4.3 g, Pigment Yellow 83 1.2 g, γ-butyrolactone 70.0 g, 3
30 g of -methyl-3-methoxybutanol and 1 g of the polyimidesiloxane precursor solution obtained in Preparation Example 5 were used together with 90 g of glass beads using a homogenizer.
After dispersing at 000 rpm for 30 minutes, filter the glass beads.
After removal, a red (R) pigment dispersion was obtained.
【0068】調製例9
調製例8においてピグメントレッド177 4.3g、
ピグメントイエロー83 1.2gの代わりにピグメン
トグリーン7 5.2g、ピグメントイエロー83
0.7gを使用して、同様の操作で緑色(G)顔料分散
液を得た。Preparation Example 9 In Preparation Example 8, 4.3 g of Pigment Red 177,
Pigment Yellow 83 1.2 g instead of Pigment Green 7 5.2 g, Pigment Yellow 83
Using 0.7 g, a green (G) pigment dispersion liquid was obtained by the same operation.
【0069】調製例10
調製例8においてピグメントレッド177 4.3g、
ピグメントイエロー83 1.2gの代わりにピグメン
トブルー15 7.2gを使用して、同様の操作で青色
(B)顔料分散液を得た。Preparation Example 10 In Preparation Example 8, 4.3 g of Pigment Red 177,
Pigment Blue 15 (7.2 g) was used in place of Pigment Yellow 83 (1.2 g), and a blue (B) pigment dispersion liquid was obtained by the same operation.
【0070】調製例11
調製例8においてピグメントレッド177 4.3g、
ピグメントイエロー83 1.2gの代わりにカーボン
ブラック 5.2gを使用して、同様の操作で遮光剤
(BL)分散液を得た。Preparation Example 11 In Preparation Example 8, 4.3 g of Pigment Red 177,
Pigment Yellow 83 (1.2 g) was used in place of carbon black (5.2 g), and a light-shielding agent (BL) dispersion was obtained by the same operation.
【0071】実施例6
図1に示すカラーフィルタ製造プロセス概念図に示され
るごとく、洗浄した1mm厚みのガラス基板上に公知の
技術でクロムメッキ・フォトリソ・エッチングでパター
ニングを行ないブラックマスクとなる0.1μm厚みの
クロムパターンを形成せしめた。このクロムパターン形
成ガラス基板上に、調製例1で得られた溶液6gを調製
例8で得られた顔料分散液14gに添加混合して得られ
た赤色(R)顔料分散ポリイミドシロキサン前駆体溶液
を塗布して、実施例1に示される手法で、図1のRで示
される画素を形成させた。Example 6 As shown in the conceptual diagram of the manufacturing process of the color filter shown in FIG. 1, a cleaned glass substrate having a thickness of 1 mm was patterned by chrome plating, photolithography and etching by a known technique to form a black mask. A chrome pattern having a thickness of 1 μm was formed. A red (R) pigment-dispersed polyimidesiloxane precursor solution obtained by adding 6 g of the solution obtained in Preparation Example 1 to 14 g of the pigment dispersion obtained in Preparation Example 8 and mixing the solution on the chrome-patterned glass substrate was added. By coating, the pixel shown by R in FIG. 1 was formed by the method shown in Example 1.
【0072】同様に調製例1で得られた溶液を調製例9
で得られた顔料分散液に添加混合して得られた緑色
(G)顔料分散ポリイミドシロキサン前駆体溶液をこの
上に塗布して、図1のGで示される画素を形成させた。
さらに調製例1で得られた溶液を調製例10で得られた
顔料分散液に添加混合して得られた青色(B)顔料分散
ポリイミドシロキサン前駆体溶液をこの上に塗布して、
図1のBで示される画素を形成させた。 この上に調整
例6で得られた溶液を塗布・乾燥・硬化せしめて1μm
厚みのオーバーコート層を形成せしめた後、公知の技術
でITO層を形成せしめてカラーフィルタを得た。Similarly, the solution obtained in Preparation Example 1 was prepared as Preparation Example 9
The green (G) pigment-dispersed polyimide siloxane precursor solution obtained by adding and mixing to the pigment dispersion obtained in 1. was applied thereon to form pixels shown by G in FIG.
Further, the solution obtained in Preparation Example 1 was added to and mixed with the pigment dispersion obtained in Preparation Example 10, and a blue (B) pigment-dispersed polyimide siloxane precursor solution obtained was coated thereon,
The pixel indicated by B in FIG. 1 was formed. On top of this, the solution obtained in Preparation Example 6 was applied, dried, and cured to form 1 μm.
After forming an overcoat layer having a thickness, an ITO layer was formed by a known technique to obtain a color filter.
【0073】実施例7
調製例1で得られた溶液6gを調製例11で得られた遮
光剤分散液14gに添加混合して得られた遮光剤(B
L)分散ポリイミドシロキサン前駆体溶液をガラス基板
上に加熱後ポリイミドシロキサンとなった際の膜厚みが
1.0μmとなるようにスピンナーで塗布、90℃で1
0分間乾燥し、冷却後、この上にポジ型フォトレジスト
(東京応化(株)製OFPR−800)を乾燥後の膜厚
みが1.0μmとなるようにスピンナーで塗布、90℃
で20分間乾燥した。キャノン(株)製紫外線露光機P
LA−501Fを用いて、クロム製のフォトマスクを介
して150mJ/cm2 (365nmの紫外線強度)露
光した。露光後、テトラメチルアンモニウムハイドロオ
キサイドの2.38%の水溶液からなる現像液に浸漬
し、フォトレジストの現像、ポリイミドシロキサン前駆
体着色塗膜のエッチングを同時に行なった。エッチング
後、不要となったフォトレジスト層をアセトンで剥離し
た。このようにして図1に示されるクロムパターンに該
当するブラックマスクパターン状にエッチングされたポ
リイミドシロキサン前駆体遮光剤塗膜を300℃で30
分間熱処理して、ポリイミドシロキサンに転換した。こ
のブラックマスクパターンを有するガラス基板上に、実
施例6と同様にRGB画素を形成させてカラーフィルタ
を得た。Example 7 6 g of the solution obtained in Preparation Example 1 was added to and mixed with 14 g of the light-shielding agent dispersion liquid obtained in Preparation Example 11 (B
L) The dispersion polyimide siloxane precursor solution was applied onto a glass substrate by a spinner so that the film thickness when it became polyimide siloxane after heating was 1.0 μm, and it was applied at 90 ° C. for 1 hour.
After drying for 0 minutes and cooling, a positive photoresist (OFPR-800 manufactured by Tokyo Ohka Co., Ltd.) was applied on this with a spinner so that the film thickness after drying was 1.0 μm, and 90 ° C.
And dried for 20 minutes. Canon Inc. UV exposure machine P
Using LA-501F, it was exposed to 150 mJ / cm 2 (ultraviolet intensity of 365 nm) through a photomask made of chromium. After the exposure, it was immersed in a developing solution composed of a 2.38% tetramethylammonium hydroxide aqueous solution, and the photoresist was developed and the polyimide siloxane precursor colored coating film was simultaneously etched. After etching, the unnecessary photoresist layer was removed with acetone. Thus, the polyimide siloxane precursor light-shielding agent coating film etched in a black mask pattern corresponding to the chromium pattern shown in FIG.
It was heat-treated for a minute and converted into polyimide siloxane. RGB pixels were formed on the glass substrate having the black mask pattern in the same manner as in Example 6 to obtain a color filter.
【0074】[0074]
【発明の効果】本発明の顔料分散熱硬化性樹脂溶液組成
物は顔料の分散性と安定性に優れ、この組成物から耐熱
性、耐光性、耐薬品性とコントラスト比の良好なカラー
フィルターを得ることができる。The pigment-dispersed thermosetting resin solution composition of the present invention has excellent pigment dispersibility and stability, and a color filter having excellent heat resistance, light resistance, chemical resistance and contrast ratio can be obtained from this composition. Obtainable.
【図1】カラーフィルタ製造プロセス概念図を表す。FIG. 1 shows a conceptual diagram of a color filter manufacturing process.
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) C08L 79/00 - 79/08 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of front page (58) Fields surveyed (Int.Cl. 7 , DB name) C08L 79/00-79/08
Claims (17)
ロキサン結合を生じるポリイミドシロキサン前駆体を含
有する顔料分散熱硬化性樹脂溶液組成物。1. A pigment and a imide bond formed by heat curing
A pigment-dispersed thermosetting resin solution composition containing a polyimidesiloxane precursor that forms a roxane bond .
B成分を反応せしめて得られる化合物あるいは該化合物
の加水分解・縮合体からなることを特徴とする請求項1
記載の顔料分散熱硬化性樹脂溶液組成物。 A:分子内に少なくとも1個以上の1級アミノ基あるい
は2級アミノ基と1個以上のアルコキシ基を有するケイ
素化合物 B:テトラカルボン酸2無水物2. The polyimide siloxane precursor has the following A,
A compound obtained by reacting the component B or a hydrolysis / condensation product of the compound, which is characterized in that
The pigment-dispersed thermosetting resin solution composition described. A: Silicon compound having at least one or more primary amino group or secondary amino group and one or more alkoxy group in the molecule B: Tetracarboxylic acid dianhydride
B成分を反応せしめて得られる化合物からなることを特
徴とする請求項1記載の顔料分散熱硬化性樹脂溶液組成
物。 A:分子内に少なくとも1個以上の1級アミノ基あるい
は2級アミノ基と1個以上のアルコキシ基を有するケイ
素化合物の加水分解・縮合体 B:テトラカルボン酸2無水物3. A polyimide siloxane precursor having the following A,
The pigment-dispersed thermosetting resin solution composition according to claim 1, comprising a compound obtained by reacting the component B. A: Hydrolysis / condensation product of silicon compound having at least one or more primary amino group or secondary amino group and one or more alkoxy group in the molecule B: tetracarboxylic acid dianhydride
B成分を反応せしめて得られる化合物からなることを特
徴とする請求項1記載の顔料分散熱硬化性樹脂溶液組成
物。 A:分子内に少なくとも1個以上の1級アミノ基あるい
は2級アミノ基と1個以上のアルコキシ基を有するケイ
素化合物および分子内に少なくとも1個以上のアルコキ
シ基を有しアミノ基を持たないケイ素化合物の加水分解
・共縮合体 B:テトラカルボン酸2無水物4. The polyimide siloxane precursor has the following A,
The pigment-dispersed thermosetting resin solution composition according to claim 1, comprising a compound obtained by reacting the component B. A: Silicon compound having at least one or more primary amino group or secondary amino group and at least one alkoxy group in the molecule, and silicon having at least one alkoxy group in the molecule and having no amino group. Hydrolysis / cocondensation compound B: tetracarboxylic acid dianhydride
ルセスキオキサンオリゴマーと下記のA,B成分を反応
せしめて得られる化合物ないし該化合物の加水分解・縮
合体からなることを特徴とする請求項1記載の顔料分散
熱硬化性樹脂溶液組成物。 A:分子内に少なくとも1個以上の1級アミノ基あるい
は2級アミノ基と1個以上のアルコキシ基を有するケイ
素化合物 B:テトラカルボン酸2無水物5. The polyimide siloxane precursor comprises a compound obtained by reacting an organosilsesquioxane oligomer with the following components A and B, or a hydrolyzed / condensed product of the compound. Pigment dispersion thermosetting resin solution composition. A: Silicon compound having at least one or more primary amino group or secondary amino group and one or more alkoxy group in the molecule B: Tetracarboxylic acid dianhydride
ルセスキオキサンオリゴマーと下記のA,B成分を反応
せしめて得られる化合物からなることを特徴とする請求
項1記載の顔料分散熱硬化性樹脂溶液組成物。 A:分子内に少なくとも1個以上の1級アミノ基あるい
は2級アミノ基と1個以上のアルコキシ基を有するケイ
素化合物の加水分解・縮合体 B:テトラカルボン酸2無水物6. A pigment-dispersed thermosetting resin solution composition according to claim 1, wherein the polyimidesiloxane precursor comprises a compound obtained by reacting an organosilsesquioxane oligomer with the following components A and B. object. A: Hydrolysis / condensation product of silicon compound having at least one or more primary amino group or secondary amino group and one or more alkoxy group in the molecule B: tetracarboxylic acid dianhydride
ルセスキオキサンオリゴマーと下記のA,B成分を反応
せしめて得られる化合物からなることを特徴とする請求
項1記載の顔料分散熱硬化性樹脂溶液組成物。 A:分子内に少なくとも1個以上の1級アミノ基あるい
は2級アミノ基と1個以上のアルコキシ基を有するケイ
素化合物および分子内に少なくとも1個以上のアルコキ
シ基を有しアミノ基を持たないケイ素化合物の加水分解
・共縮合体 B:テトラカルボン酸2無水物7. A pigment-dispersed thermosetting resin solution composition according to claim 1, wherein the polyimidesiloxane precursor comprises a compound obtained by reacting an organosilsesquioxane oligomer with the following components A and B. object. A: Silicon compound having at least one or more primary amino group or secondary amino group and at least one alkoxy group in the molecule, and silicon having at least one alkoxy group in the molecule and having no amino group. Hydrolysis / cocondensation compound B: tetracarboxylic acid dianhydride
B,C成分の加水分解物あるいはその加水分解・縮合体
からなることを特徴とする請求項1記載の顔料分散熱硬
化性樹脂溶液組成物。 A:分子内に少なくとも1個以上の1級アミノ基あるい
は2級アミノ基と1個以上のアルコキシ基を有するケイ
素化合物 B:分子内に少なくとも1個以上のアルコキシ基を有し
アミノ基を持たないケイ素化合物 C:分子内に少なくとも1組以上の隣接するカルボキシ
ル基を有する多価カルボン酸あるいはその無水物8. A polyimide siloxane precursor having the following A,
The pigment-dispersed thermosetting resin solution composition according to claim 1, which comprises a hydrolyzate of components B and C or a hydrolyzate / condensate thereof. A: Silicon compound having at least one primary amino group or secondary amino group and one or more alkoxy groups in the molecule B: At least one alkoxy group having no amino group in the molecule Silicon compound C: polyvalent carboxylic acid having at least one set of adjacent carboxyl groups in the molecule or its anhydride
とする請求項1記載の顔料分散熱硬化性樹脂溶液組成
物。9. The pigment-dispersed thermosetting resin solution composition according to claim 1, which contains a metal chelate compound.
溶剤成分が分子内に少なくとも1個以上のエーテル結合
と水酸基を含有する沸点100〜300℃の化合物、N
−メチル−2−ピロリドンおよびγ−ブチロラクトンの
群から選ばれた極性溶剤を含有することを特徴とする請
求項1記載の顔料分散熱硬化性樹脂溶液組成物。10. A compound having a boiling point of 100 to 300 ° C., in which the organic solvent component of the pigment-dispersed thermosetting resin solution composition contains at least one ether bond and a hydroxyl group in the molecule, N
A pigment-dispersed thermosetting resin solution composition according to claim 1, which contains a polar solvent selected from the group of -methyl-2-pyrrolidone and γ-butyrolactone.
することを特徴とする請求項1記載の顔料分散熱硬化性
樹脂溶液組成物。11. The pigment-dispersed thermosetting resin solution composition according to claim 1, which contains a photo-acid generator or a photo-base generator.
たは増感剤を含有することを特徴とする請求項1記載の
顔料分散熱硬化性樹脂溶液組成物。12. The pigment-dispersed thermosetting resin solution composition according to claim 1, which contains an acrylic monomer and a photopolymerization initiator or a sensitizer.
ルー)またはBL(ブラック)に着色された請求項1記
載の顔料分散熱硬化性樹脂溶液組成物。13. The pigment-dispersed thermosetting resin solution composition according to claim 1, which is colored R (red), G (green), B (blue) or BL (black).
料を分散する工程を含むことを特徴とする請求項1記載
の顔料分散熱硬化性樹脂溶液組成物の製造方法。14. The method for producing a pigment-dispersed thermosetting resin solution composition according to claim 1, further comprising a step of dispersing the pigment in the polyimidesiloxane precursor solution.
を主成分とする顔料分散液にポリイミドシロキサン前駆
体溶液を添加する工程を含むことを特徴とする請求項1
記載の顔料分散熱硬化性樹脂溶液組成物の製造方法。15. A step of adding a polyimidesiloxane precursor solution to a pigment dispersion liquid containing a lactone as a main solvent and a dispersed pigment as a main component.
A method for producing the pigment-dispersed thermosetting resin solution composition described.
酸オリゴマーを分散剤として分散された顔料を主成分と
する顔料分散液にポリイミドシロキサン前駆体溶液を添
加する工程を含むことを特徴とする請求項15記載の顔
料分散熱硬化性樹脂溶液組成物の製造方法。16. The method according to claim 15, further comprising the step of adding a polyimidesiloxane precursor solution to a pigment dispersion liquid having a pigment as a main component, which is dispersed by using a lactone as a main solvent and a polyamic acid oligomer as a dispersant. A method for producing the pigment-dispersed thermosetting resin solution composition described.
硬化性樹脂溶液組成物の硬化膜を有するカラーフィルタ
ー。17. A color filter having a cured film of the pigment-dispersed thermosetting resin solution composition according to claim 1 on a transparent substrate.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| JP12191895A JP3463412B2 (en) | 1995-05-19 | 1995-05-19 | Pigment-dispersed thermosetting resin solution composition, method for producing the same, and color filter |
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Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
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| JPH08311337A JPH08311337A (en) | 1996-11-26 |
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