JP3463966B2 - Manufacturing method of electrode for electrolysis - Google Patents
Manufacturing method of electrode for electrolysisInfo
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Description
【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術】本発明は電解用電極の製造方法に
関し、さらに詳しくは、高電流密度下での電解及び卑な
電位環境下での耐久性に優れ、特に陽極に酸素発生を伴
う金属の表面処理、金属箔製造、回収等の電解における
陽極として有用な電解用電極の製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術及び課題】従来、チタン又はチタン合金よ
りなる基体上に、白金族金属又は白金族金属酸化物及び
バルブ金属酸化物を被覆した電極が多くの電解工業の分
野において使用されている。しかし、高電流密度下で運
転される金属の高速めっきや金属箔製造の分野では、使
用中に基体表面層に導電性の無い酸化物層が形成され、
電極触媒物質の量が十分に残存していても電極としての
機能がなくなってしまうという不都合がある。このよう
な導電性の無い酸化物の形成は、触媒層で発生する酸素
や電解液の浸透により、基体表面が化学的腐食を起こす
ためであると考えられている。
【0003】この問題点を解決するため、電極基体と触
媒層との間に新たな層(以下、中間層という)を設け、
電極基体を保護する方法が採用されている。この中間層
に対しては、
十分な耐食性を有すること; 十分な電気伝導性が
あること; 電極基体との密着結合性が良好であるこ
と; 触媒層との密着結合性が良好であること; ク
ラックの無い層であること; 電気化学的な活性が少
ないこと; 製造コストが安いこと等の特性を有して
いることが要求される。このような条件を満たすものと
して、従来、互に原子価の異なる2種以上のバルブ金属
の酸化物からなる中間層を形成する方法、バルブ金属酸
化物と白金族金属又は電気伝導性のある白金族金属酸化
物からなる中間層を形成する方法、バルブ金属又はその
合金を溶射法やイオンプレーテイング等によって形成す
る方法等が提案されている。
【0004】その具体例として、特開昭59−3839
4号公報には、基体上に4価の原子価を有するチタン及
びスズから選ばれる少なくとも1種の金属の酸化物と5
価の原子価を有するタンタル及びニオブから選ばれる少
なくとも1種の金属の酸化物との混合酸化物からなる中
間層を設け、その上に電極活性物質を被覆した電極が提
案されている。しかし、この中間層は酸素発生活性能は
無いものの電気伝導性が十分ではないという問題があ
る。
【0005】また、特開昭57−192281号公報に
は、チタン又はチタン合金を基材とし、且つ金属酸化物
よりなる電極被覆を有する電極において、その中間層と
してタンタル及びニオブの導電性酸化物層を設けた酸素
発生を伴う電解用の電極が提案されているが、該中間層
は耐食性が良好であるものの電気伝導性が十分ではな
い。
【0006】特開平1−301876号公報には、導電
性基体上に、イリジウム40〜90モル%、白金0.1
〜30モル%及びタンタル50〜10モル%を含有す
る、酸化イリジウム、白金金属及び酸化タンタルからな
る下地層を介して、酸化イリジウム層又は多くとも50
モル%のタンタルを含有する酸化イリジウム−酸化タン
タル層を上地層として設けた酸素発生用電極が提案され
ているが、この電極の下地層は電気伝導性が良好である
ものの、耐食性に劣り、また酸素発生活性能を有するた
めに、やがては基体の不働態化が起こるという問題があ
る。
【0007】さらに、特開平5−287572号公報に
は、導電性基体上に、金属換算でイリジウム8.4〜1
4モル%及びタンタル86〜91.6モル%を含有する
酸化イリジウムと酸化タンタルとの下地層を介して、金
属換算でイリジウム80〜99.9モル%及びタンタル
0.1〜20モル%を含有する酸化イリジウムと酸化タ
ンタルとからなる上地層を設けた酸素発生用電極が提案
されている。この電極の下地層は或る程度の耐食性と電
気伝導性を有しているものの、基体への電解液及び触媒
層からの酸素の浸透は避けられず、やがては基体の不働
態化が起こるという問題を有しており、前記の課題の根
本的な解決には至っていない。
【0008】一方、特開平5−171483号公報に
は、チタン又はその合金よりなる導電性基体上に、金属
タンタル及び/又はその合金の粉末を減圧下の非酸化性
雰囲気中でプラズマ溶射をすることにより、金属タンタ
ル及び/又はその合金を主成分とする中間層を設け、該
中間層上にタンタル化合物及びイリジウム化合物を含む
溶液を塗布し、酸化性雰囲気中で360〜550℃に加
熱することにより、酸化イリジウムを20重量%以上含
み残部が酸化タンタルよりなる電極活性層を形成するこ
とからなる酸素発生陽極の製法が開示されている。上記
の中間層は、プラズマ溶射で形成されるため凸凹のある
多孔質層となり、電極活性層との密着結合性が優れてい
るものの、特公平5−57159号公報に記載されてい
るように、該多孔質層には通常3〜25%程度の気孔が
存在するため、導電性基体への電解液の浸透を完全に制
御することは難しく、また、タンタル及びその合金も触
媒層で発生する酸素や電解液との接触により化学的腐食
を起こし、やがては該中間層も不働態化が起こるという
問題があり、依然として前記の課題を根本的に解決する
には至っていない。
【0009】さらに、特開平2−282491号公報に
は、バルブ金属又はその合金よりなる導電性金属基体上
に電極活性物質を被覆した電極において、該基体と電極
活性物質層との間に、金属タンタル及びその合金を主成
分とする薄膜中間層を設けた酸素発生陽極が開示されて
いる。この薄膜中間層は、有機タンタル化合物又はタン
タル塩化物を含む溶液を塗布し非酸化性雰囲気中で加熱
することにより形成されるものであるが、この中間被覆
層の場合も導電性基体への電解液の浸透が起こり、導電
性基体の不働態化が起こる。
【0010】また、真空蒸着法、スパッタリング法、イ
オンプレーテイング法、イオン注入法又は気相メッキ法
により中間層を形成する方法も提案されているが、これ
らの方法により形成される薄膜中間層は、導電性基体へ
の電解液の浸透を抑制する効果があるものの、電極活性
物質被覆層との密着性が十分ではなく、しかも設備が大
型化し且つ生産性も悪く工業的利用において難点があ
る。
【0011】さらに、金属の高速めっきでは、鋼鈑への
両面めっきや片面めっきが行われ、片面めっき等の操業
をすると、通電していない陽極は分極し卑な電位環境下
にさらされることとなり、触媒の消耗が大きくなるとい
う問題がある。
【0012】本発明の主たる目的は、従来の電解用電極
がもつ上記の如き問題を解決し、高電流密度下で運転さ
れる金属の高速めっきや金属箔製造用の陽極として用い
ても、充分に耐久性のある電解用電極の製造方法を提供
することである。
【0013】
【課題を解決するための手段】本発明者らは、耐久性の
ある電解用電極、殊に、陽極に酸素発生を伴う電解にお
いて、陽極として長期間にわたって使用可能な電極を開
発すべく種々検討を重ねた結果、今回、チタン、タンタ
ル、ニオブ、ジルコニウム及びタングステンから選ばれ
るバルブ金属とイリジウム、ルテニウム及び錫から選ば
れる金属との合金を電極材として用いて、チタン基体上
を放電走査することにより、該チタン基体表面に合金層
を形成し、次いで該合金層上に酸化イリジウムと酸化タ
ンタルとからなるコーティング層を設けることにより、
耐久性に極めて優れ、しかも卑な電位環境下でも安定な
電解用電極が得られることを見出し、本発明を完成する
に至った。
【0014】かくして本発明は、チタン、タンタル、ニ
オブ、ジルコニウム及びタングステンから選ばれる少な
くとも1種の金属50〜96重量%とイリジウム、ルテ
ニウム及び錫から選ばれる少なくとも1種の金属50〜
4重量%とからなる合金を電極材として用いて、チタン
基体表面を放電走査することにより、該チタン基体表面
に合金層を形成し、次いで該表面層上に、イリジウム化
合物とタンタル化合物を含有する溶液を塗布した後、酸
化性雰囲気中で熱処理することにより酸化イリジウムと
酸化タンタルからなるコーティング層を形成することを
特徴とする電解用電極の製造方法を提供するものであ
る。
【0015】以下、本発明の電解用電極及の製造方法に
ついてさらに詳細に説明する。
【0016】本発明においては、電極基体材料としてチ
タンが使用される。使用するチタン基体は、通常行われ
ているように、予め前処理することが望ましい。そのよ
うな前処理の好適具体例としては、例えば以下に述べる
方法が挙げられる。
【0017】先ず、チタン基体の表面を常法に従い、例
えば、アルコール等による洗浄及び/又はアルカリ溶液
中での電解により脱脂した後、弗化水素濃度が1〜20
重量%の弗化水素酸又は弗化水素酸と硝酸、硫酸等の他
の酸との混酸で処理することにより、チタン基体表面の
酸化膜を除去するとともにチタン結晶粒界単位の粗面化
を行う。該酸処理は、チタン基体の表面状態に応じて常
温ないし約40℃の温度において数分間ないし十数分間
行うことができる。このように酸処理されたチタン基体
表面を水洗し、乾燥する。
【0018】本発明の1つの特徴は、チタン基体の表面
を改質処理して、チタン基体にチタン、タンタル、ニオ
ブ、ジルコニウム及びタングステンから選ばれる1種以
上のバルブ金属と、イリジウム、ルテニウム及び錫から
選ばれる1種以上の金属との合金からなる耐食性に優れ
た表面層を形成する点にある。
【0019】チタン、タンタル、ニオブ、ジルコニウム
及びタングステンから選ばれる1種以上の金属(以下、
バルブ金属という)50〜96重量%と、残部がイリジ
ウム、ルテニウム及び錫から選ばれる1種以上の金属
(以下、第二金属という)からなる合金は、それ自体既
知の方法、例えば、高周波溶解、プラズマアーク溶解、
粉末焼結法等により製造ことができるが、特に粉末焼結
法が好適である。その後、研磨、加工切削等を行い合金
電極棒を得ることができる。
【0020】バルブ金属と第二金属との合金からなる表
面層の形成は、例えば、チタン基体を陰極とし、且つバ
ルブ金属と第二金属からなる合金を電極棒として、チタ
ン基体表面を走査して放電加工することにより行うこと
ができる。
【0021】ここで、バルブ金属と第二金属とからなる
合金において、バルブ金属の含有量が50重量%未満及
び96重量%を越えた場合には、耐久性に優れかつ安定
な電極を形成することが困難である。合金中のバルブ金
属含有量は好ましくは60〜90重量%である。
【0022】該放電加工は一般に非酸化性雰囲気、例え
ばアルゴン雰囲気中で実施することが望ましい。
【0023】放電加工に使用する電極棒の直径は、通
常、2〜12mmの範囲内で選択することができるが、
作業効率等の観点から一般に直径が4mm以上のものが
好適である。また、放電条件は使用する電極棒の径及び
電極の材質等によって変えることができるが、一般に
は、電極放電パルスが100〜600Hz、コンデンサ
ー容量が100〜400μFとなるように選択すること
ができる。そして、該放電用電極合金の融点がチタンの
融点より高い場合には、チタン基体のチタンと、バルブ
金属及び第二金属の3者の合金層が形成され、一方、放
電加工がチタンの融点未満の温度で行われる場合には、
バルブ金属と第二金属の2者の合金の被覆層が形成され
る傾向が見られる。
【0024】このようにして1dm2あたり5〜30分
間の放電加工を行い、チタン基体表面に、チタン基体の
チタンとバルブ金属と第二金属との合金層又はバルブ金
属と第二金属との合金被覆層を形成する。
【0025】このようにして形成される該合金層又は合
金被覆層の表面は一般に粗面化されており、表面あらさ
計[(株)小坂研究所製 表面粗さ・輪郭形状測定機SE
F−30D]で測定した場合のあらさ値は、通常、50
〜200μmの範囲内にある。
【0026】以上の如くして形成されるチタン基体のチ
タンとバルブ金属と第二金属との合金層又はバルブ金属
と第二金属との合金被覆層は少なくても10μm、好ま
しくは30μm以上の厚みを有することができる。該合
金層又は合金被覆層の厚みが10μm未満では一般にチ
タン基体に充分な耐食性を付与することができない。該
合金層又は合金被覆層の厚みの上限には特に制限はない
が、必要以上に厚くしても、それに伴うだけの効果は得
られず、却って経済的に不利になるので、通常、150
μm以下、好ましくは100μm以下が適当である。
【0027】以上の如くして形成されるチタン基体のチ
タンとバルブ金属と第二金属との合金層又はバルブ金属
と第二金属との合金被覆層からなる表面上には、次いで
酸化イリジウムと酸化タンタルからなるコーティイング
層が形成される。
【0028】酸化イリジウムと酸化タンタルからなるコ
ーティング層の形成に際しては、チタン表面に形成した
上記の合金層又は合金被覆層の耐食性を保護するため、
一般には、酸化イリジウムと酸化タンタルからなるコー
ティング層の形成を2段階以上に分けて行ない、例え
ば、酸化イリジウム含有量の低い酸化イリジウムと酸化
タンタルからなる中間層を予め形成した後、酸化イリジ
ウム含有量の高い酸化イリジウムと酸化タンタルからな
る外層を被覆することが好ましい。ここで、酸化イリジ
ウムは実質的に結晶性を有するIrO2よりなることが
でき、また、酸化タンタルは実質的に非結晶性のTa2
O5であることができ、後述する酸化の条件等に応じて
コーティング物の結合性を強化するものである。
【0029】中間層は5〜30 mol%、好ましくは8〜
25mol%の酸化イリジウムと70〜95mol%、好まし
くは75〜92mol%の酸化タンタルからなることがで
き、チタン基体上の前記合金層又は合金被覆層からなる
表面層の粗面化された凹凸部を被覆し、基体の耐食性の
向上に寄与する。
【0030】該中間層の被覆量は、一般に、0.5〜1
0.0g/m2、好ましくは1.0〜5.0g/m2の範
囲内とすることができる。
【0031】以下、中間層の形成について具体的に説明
する。
【0032】チタン基体の合金層又は合金被覆層からな
る表面層上に、イリジウム化合物とタンタル化合物を含
む溶媒溶液、好ましくは低級アルコール溶液を塗布した
後乾燥することにより、イリジウム化合物とタンタル化
合物を付着せしめる。ここで使用しうるイリジウム化合
物及びタンタル化合物としては、後述する焼成条件下で
熱分解してそれぞれ酸化イリジウム及び酸化タンタルに
転化しうる低級アルコール溶媒に可溶性の化合物が包含
される。そのようなイリジウム化合物としては、塩化イ
リジウム酸、塩化イリジウム、塩化イリジウムカリ等が
例示され、また、タンタル化合物としては、例えば、塩
化タンタル、タンタルエトキシド等が挙げられる。
【0033】一方、これらのイリジウム化合物及びタン
タル化合物を溶解しうる低級アルコールとしては、例え
ば、メタノール、エタノール、プロパノール、イソプロ
パノール、ブタノール又はこれらの混合物が挙げられ
る。
【0034】上記溶液中におけるイリジウム化合物とタ
ンタル化合物の割合は、Ir/Taの金属換算モル比で
5/95〜30/70、好ましくは8/92〜25/7
5の範囲内とすることができる。
【0035】該溶液のチタン基体の合金層上への塗布
は、例えば、吹き付け法、ハケ塗り法、浸漬法等により
行うことができ、このようにしてイリジウム化合物及び
タンタル化合物の低級アルコール溶液を適用したチタン
基体は、約20〜約150℃の範囲内の比較的低温で乾
燥させた後、酸化性雰囲気中、通常大気中で焼成する。
【0036】以上に述べた処理は被覆量が前記の範囲内
に達するまで繰り返して行うことができる。該焼成は例
えば、電気炉、ガス炉、赤外線炉などの適当な加熱炉中
で一般に約400〜約700℃、好ましくは約450〜
約600℃の範囲内の温度に加熱することによって行う
ことができる。その際の加熱時間は、焼成すべき基体の
大きさに応じて大体5分〜2時間程度とすることができ
る。この焼成により、イリジウム化合物及びタンタル化
合物はそれぞれ酸化イリジウム及び酸化タンタルに変わ
り、中間層を形成する。
【0037】以上のようにして水素過電圧が低く、耐食
性のある前記合金層又は合金被覆層からなるチタン基体
改質層上に耐食性と電気伝導性を有する中間層を形成す
ることにより、画期的な高耐久性を有する電極を得るこ
とができる。
【0038】以上述べた如くして形成される酸化イリジ
ウム及び酸化タンタルから構成される中間層の上に、さ
らに、60〜98mol%、好ましくは70〜95mol%の
酸化イリジウムと2〜40mol%、好ましくは5〜30m
ol%の酸化タンタルからなる外層を設ける。この外層に
おいて、酸化イリジウムの含有量が60mol%未満で
は、高電流密度で使用した場合、酸素発生活性能が不足
し、電極寿命が短くなる傾向があり、一方、98mol%
を越えると、電極触媒(外層)の消耗が増える傾向が見
られる。
【0039】この外層の形成もまた、塗布する溶液中の
イリジウム化合物とタンタル化合物のIr/Taの金属
換算モル比が60/40 〜 98/2、好ましくは70
/30 〜 95/5の範囲内となるように変更する以外
は、中間層の形成と同様にして行うことができる。
【0040】外層の被覆量は一般に10〜60g/
m2、好ましくは30〜50g/m2の範囲内となるよう
にするのが適当である。
【0041】以上述べた如くして製造される本発明の電
極は、高電流密度下で長時間使用してもチタン界面の不
働態化が起こりにくく、長寿命であり、また、チタン基
体の改質層は、水素過電圧が低く片面めっきにおいても
触媒の消耗が抑制されるため、高電流密度下で運転され
る金属の高速めっきや金属箔製造用陽極として好適に使
用することができる。
【0042】
【実施例】次に実施例により本発明をさらに具体的に説
明するが、本発明の範囲はこれらの実施例によって何ら
限定されるものではない。
【0043】実施例1〜9及び比較例1〜7
JIS2種相当のチタン板素材を(t3.0×w100×
l100mm)をアルコールで洗浄後、20℃の8重量
%弗化水素酸水溶液中で2分間処理した後、水洗し乾燥
した。
【0044】次いで市販のチタン粉末とルテニウム粉末
をそれぞれ70:30(重量比)となるように計量した
粉末250gをV型混合機で1時間混合した。直径10
mmの穴を10個有するカーボン型ダイスのおのおのの
穴に混合粉末24gを挿入し、両端をカーボン製パンチ
にて固定し、住友石炭鉱業 製 放電プラズマ焼結機
(DR.SINTER)内の所定の位置に設置した。そ
の後、該焼結機内をアルゴン雰囲気とし、加圧力約35
0kgf/cm2、パルス印加電圧4V、パルス印加電
流3500A、焼結温度800℃、焼結時間5分の条件
にて焼結した。その後表面研磨を行い約φ10mmで長
さ約50mmの70wt%Ti−Ru放電被覆用電極を
得た。
【0045】次いで、酸化被膜を除去したチタン板を陰
極とし、70wt%Ti−Ru電極を使用してアルゴン
置換したグローブボックス中で放電加工を10分間行っ
た。その後放電加工を行ったチタン板をファインカッタ
ーにてt3.0×w10×l10mmに断した。EPMA
(エレクトロンプローブマイクロアナライザー)にて、
放電加工を行ったチタン板の断面の元素分析を行ったと
ころ、チタンとルテニウムの合金層が確認された。ま
た、放電加工表面を蛍光X線分析計を使用し、放電電極
との比較測定による成分分析を行ったところ、チタン成
分が増加していることが確認された。また、この合金層
の厚さは30〜50μmであった。
【0046】塩化イリジウム酸のブタノール溶液と塩化
タンタルのエタノール溶液を混合し、Ir5.9g/l
及びTa50.0g/l(モル配合比:10Ir-90Ta)を
含有する塗布液を調製し、マイクロピペットで1cm2
当たり3.0μl秤量し、それを上記のようにして作製
したチタンとパラジウムの合金層を形成したチタン基体
の改質層上に塗布した後、室温で30分間真空乾燥さ
せ、更に500℃の大気中で10分間焼成した。この工
程を3回繰返した。
【0047】次に外層を得るため、塩化イリジウム酸の
ブタノール溶液と塩化タンタルのエタノール溶液を混合
し、Ir50.0g/l及びTa11.8g/l(モル
配合比:80Ir-20Ta)を含有する塗布液を調製した後、
この塗布液を用いて前記と同様の工程を8回繰返して実
施例電極−1を作製した。
【0048】さらに、放電電極の成分組成を後記表−1
に示すようにかえて、それぞれ焼結する条件で放電電極
を作製し、上記実施例電極−1と同様の方法で放電加工
を行い、更にコーティング層の組成を表−1に示すよう
にかえた実施例電極−2〜9及び比較例電極−1〜7を
作製した。
【0049】比較例8
JIS2種相当チタン板素材(t3.0×w100×l1
00mm)をトリクロルエチレンで脱脂洗浄した後、2
0℃の8重量%弗化水素酸溶液中で2分間処理し、次い
で120℃の60重量%硫酸溶液中で3分間処理した。
【0050】チタン基体を硫酸溶液中から取り出し、窒
素雰囲気中で冷水を噴霧し急冷した。さらに、20℃の
0.3重量%弗化水素酸溶液中に2分間浸清した後水洗
した。水洗後ジニトロジアミノ白金を硫酸溶液に溶解し
てPt含有量5g/l、pH約2、50℃に調整した状
態の白金めっき浴中で30mA/cm2で約9分間のメ
ッキを行なってPtを析出させた。この白金めっき層上
に、表−1に示す組成の中間層と外層を実施例電極−1
と同様の方法で形成して比較例電極−8を作製した。
【0051】比較例9
JIS2種相当のチタン板素材(t3.0×w100×l
100mm)をアルコールで洗浄後、20℃の8重量%
弗化水素酸水溶液中で2分間処理した後、水洗し乾燥し
たチタン基体に、表−1に示す組成の中間層と外層を実
施例電極−1と同様の方法で形成して比較例電極−9を
作製した。
【0052】以上の如くして得られた各電極を次の条件
下で電解したときの電極寿命を表−1に示す。
【0053】<電解条件>
電解液 :1M H2SO4−1M Na2SO4
電流密度:4A/cm2
対極 :Pt
極間距離:10mm
また、触媒消耗は各電極を次の条件下で電解したときの
消耗量が
15%以下 を○
16〜30%以下を△
31%以上 を×
として表−1に示す。
【0054】<電解条件>
電解液 :1M H2SO4−1M Na2SO4
電流密度
正電解:2.0A/cm2、80秒
逆電解:0.1A/cm2、20秒
のパルス電解
対極 :Pt
極間距離:10mm
電解時間:500時間
表−1に示す結果から明らかなように、実施例電極は電
極寿命が長く、パルス電解においても触媒の消耗が少な
いことがわかる。
【0055】
【表1】
【0056】
【発明効果】以上説明したように、本発明によれば、チ
タン基体の表面を、チタン、タンタル、ニオブ、ジルコ
ニウム及びタングステンから選ばれる1種以上の金属5
0〜96重量%と残部がイリジウム、ルテニウム及び錫
から選ばれる1種以上の金属とからなる水素過電圧の高
い電極棒を使用して放電加工を行い、チタン基体上にチ
タンより耐食性を有する粗面化された合金層を形成、そ
してその上に酸化イリジウム及び酸化タンタルからなる
コーティング層を形成することにより、コーティング層
との密着性が優れ、卑な電位環境下に対する耐久性を有
し、長時間使用することができる電解用電極が提供する
ことができる。Description: BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for producing an electrode for electrolysis, and more particularly, to excellent electrolysis under a high current density and excellent durability under a low potential environment. More particularly, the present invention relates to a method for producing an electrode for electrolysis useful as an anode in electrolysis such as surface treatment of a metal accompanied by oxygen generation on the anode, production of metal foil, and recovery. 2. Description of the Related Art Conventionally, an electrode in which a platinum group metal or a platinum group metal oxide and a valve metal oxide are coated on a substrate made of titanium or a titanium alloy has been used in many fields of the electrolytic industry. ing. However, in the field of high-speed metal plating and metal foil production operated under a high current density, an oxide layer having no conductivity is formed on a substrate surface layer during use,
Even if the amount of the electrode catalyst material remains sufficiently, there is a disadvantage that the function as an electrode is lost. It is considered that the formation of such an oxide having no conductivity is due to chemical corrosion of the substrate surface due to permeation of oxygen or an electrolytic solution generated in the catalyst layer. In order to solve this problem, a new layer (hereinafter referred to as an intermediate layer) is provided between the electrode substrate and the catalyst layer,
A method of protecting the electrode substrate has been adopted. The intermediate layer has sufficient corrosion resistance; has sufficient electric conductivity; has good adhesion to the electrode substrate; has good adhesion to the catalyst layer; It is required that the layer has characteristics such as a layer having no cracks; a low electrochemical activity; and a low manufacturing cost. Conventionally, a method for forming an intermediate layer composed of two or more types of valve metal oxides having different valences, a valve metal oxide and a platinum group metal or a conductive platinum There have been proposed a method of forming an intermediate layer made of a group III metal oxide, a method of forming a valve metal or an alloy thereof by thermal spraying, ion plating, or the like. As a specific example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 59-3839 is disclosed.
Japanese Patent Application Publication No. 4 (1999) -1995 discloses that on a substrate, an oxide of at least one metal selected from titanium and tin having tetravalent valence and 5
An electrode has been proposed in which an intermediate layer made of a mixed oxide with an oxide of at least one metal selected from tantalum and niobium having a valence of two is provided, and an electrode active material is coated thereon. However, although this intermediate layer has no oxygen generation activity, there is a problem that the electric conductivity is not sufficient. Japanese Patent Application Laid-Open No. 57-192281 discloses a conductive oxide of tantalum and niobium as an intermediate layer in an electrode having a titanium or titanium alloy base material and an electrode coating made of a metal oxide. Although an electrode for electrolysis accompanied by oxygen generation provided with a layer has been proposed, the intermediate layer has good corrosion resistance but insufficient electric conductivity. Japanese Patent Application Laid-Open No. Hei 1-301876 discloses that 40 to 90 mol% of iridium and 0.1
Through an underlayer of iridium oxide, platinum metal and tantalum oxide containing up to 30 mol% and 50 to 10 mol% of tantalum, the iridium oxide layer or at most 50
An electrode for oxygen generation has been proposed in which an iridium oxide-tantalum oxide layer containing mol% tantalum is provided as an upper layer, but the underlayer of this electrode has good electrical conductivity but is inferior in corrosion resistance. Due to the ability to activate oxygen, there is a problem that the substrate is eventually passivated. [0007] Further, Japanese Patent Application Laid-Open No. Hei 5-287572 discloses that a conductive substrate is coated with iridium 8.4 to 1 in terms of metal.
Via an underlayer of iridium oxide and tantalum oxide containing 4 mol% and 86 to 91.6 mol% of tantalum, containing 80 to 99.9 mol% of iridium and 0.1 to 20 mol% of tantalum in terms of metal There has been proposed an oxygen generation electrode provided with an upper layer made of iridium oxide and tantalum oxide. Although the underlying layer of this electrode has a certain degree of corrosion resistance and electrical conductivity, penetration of oxygen from the electrolyte and the catalyst layer into the substrate is unavoidable, and eventually the substrate becomes passivated. It has a problem and has not yet reached a fundamental solution to the above problem. On the other hand, Japanese Patent Application Laid-Open No. Hei 5-171483 discloses that a metal tantalum and / or an alloy thereof is plasma-sprayed on a conductive substrate made of titanium or its alloy in a non-oxidizing atmosphere under reduced pressure. By providing an intermediate layer containing metal tantalum and / or an alloy thereof as a main component, a solution containing a tantalum compound and an iridium compound is applied on the intermediate layer, and heated to 360 to 550 ° C. in an oxidizing atmosphere. Discloses a method for producing an oxygen-generating anode comprising forming an electrode active layer containing at least 20% by weight of iridium oxide and a balance of tantalum oxide. The above-mentioned intermediate layer is formed by plasma spraying to be a porous layer having irregularities, and has excellent adhesion to the electrode active layer, but as described in Japanese Patent Publication No. 5-57159, Since the porous layer usually has about 3 to 25% of pores, it is difficult to completely control the permeation of the electrolytic solution into the conductive substrate. In addition, tantalum and its alloy also contain oxygen generated in the catalyst layer. In addition, there is a problem that chemical corrosion is caused by contact with the electrolyte and the electrolyte and eventually the passivation of the intermediate layer occurs, and the above problem has not yet been fundamentally solved. Further, Japanese Patent Application Laid-Open No. 2-282149 discloses an electrode in which an electrode active material is coated on a conductive metal substrate made of a valve metal or an alloy thereof, and a metal is provided between the substrate and the electrode active material layer. An oxygen generating anode provided with a thin film intermediate layer mainly containing tantalum and its alloy is disclosed. The thin film intermediate layer is formed by applying a solution containing an organic tantalum compound or a tantalum chloride and heating the solution in a non-oxidizing atmosphere. The permeation of the liquid occurs and the passivation of the conductive substrate occurs. [0010] Further, methods of forming an intermediate layer by a vacuum deposition method, a sputtering method, an ion plating method, an ion implantation method or a vapor phase plating method have been proposed. Although it has the effect of suppressing the penetration of the electrolytic solution into the conductive substrate, the adhesion to the electrode active substance coating layer is not sufficient, and the equipment is large and the productivity is poor, so that there is a problem in industrial use. Further, in high-speed plating of metal, double-sided plating or single-sided plating is performed on a steel plate. When operations such as single-sided plating are performed, a non-energized anode is polarized and exposed to a base potential environment. However, there is a problem that the consumption of the catalyst is increased. The main object of the present invention is to solve the above-mentioned problems of the conventional electrode for electrolysis and to sufficiently use it as an anode for high-speed plating of metal operated at a high current density or for production of metal foil. It is another object of the present invention to provide a method for manufacturing a durable electrolytic electrode. The present inventors have developed a durable electrode for electrolysis, particularly an electrode that can be used as an anode for a long time in electrolysis in which oxygen is generated at the anode. As a result of various studies, this time, discharge scanning was performed on a titanium substrate using an alloy of a valve metal selected from titanium, tantalum, niobium, zirconium and tungsten and a metal selected from iridium, ruthenium and tin as an electrode material. Thereby forming an alloy layer on the surface of the titanium substrate, and then providing a coating layer composed of iridium oxide and tantalum oxide on the alloy layer,
The present inventors have found that an electrode for electrolysis which is extremely excellent in durability and stable even under a low potential environment can be obtained, and the present invention has been completed. Thus, the present invention relates to a method for producing at least one metal selected from the group consisting of titanium, tantalum, niobium, zirconium and tungsten in an amount of 50 to 96% by weight and at least one metal selected from iridium, ruthenium and tin in an amount of 50 to 96% by weight.
By using the alloy consisting of 4% by weight as an electrode material and performing discharge scanning on the surface of the titanium substrate, an alloy layer is formed on the surface of the titanium substrate, and then the iridium compound and the tantalum compound are contained on the surface layer. An object of the present invention is to provide a method for producing an electrode for electrolysis, comprising forming a coating layer composed of iridium oxide and tantalum oxide by applying a solution and then performing a heat treatment in an oxidizing atmosphere. Hereinafter, the method for manufacturing the electrode for electrolysis and the method of the present invention will be described in more detail. In the present invention, titanium is used as an electrode base material. It is desirable that the titanium substrate to be used is pre-treated in advance, as is usually done. Preferable specific examples of such pretreatment include, for example, a method described below. First, the surface of the titanium substrate is degreased by a conventional method, for example, washing with alcohol or the like and / or electrolysis in an alkaline solution, and then the concentration of hydrogen fluoride is 1 to 20.
By treating with a hydrofluoric acid or a mixed acid of hydrofluoric acid and other acids such as nitric acid and sulfuric acid, the oxide film on the surface of the titanium substrate is removed and the surface of the titanium grain boundary unit is roughened. Do. The acid treatment can be performed at room temperature to about 40 ° C. for several minutes to several tens of minutes depending on the surface condition of the titanium substrate. The surface of the titanium substrate thus treated with acid is washed with water and dried. One feature of the present invention is that a surface of a titanium substrate is subjected to a modification treatment so that the titanium substrate is provided with one or more valve metals selected from titanium, tantalum, niobium, zirconium and tungsten, and iridium, ruthenium and tin. In forming a surface layer having excellent corrosion resistance made of an alloy with one or more metals selected from the group consisting of: One or more metals selected from titanium, tantalum, niobium, zirconium and tungsten (hereinafter referred to as “metals”).
An alloy composed of 50 to 96% by weight of a valve metal) and one or more metals selected from iridium, ruthenium and tin (hereinafter, referred to as a second metal) is obtained by a method known per se, for example, Plasma arc melting,
Although it can be manufactured by a powder sintering method or the like, the powder sintering method is particularly preferable. Thereafter, polishing, machining and cutting are performed to obtain an alloy electrode rod. The surface layer made of an alloy of a valve metal and a second metal is formed by, for example, scanning the surface of a titanium base using a titanium base as a cathode and an alloy of a valve metal and a second metal as an electrode rod. It can be performed by electrical discharge machining. Here, in the alloy composed of the valve metal and the second metal, when the content of the valve metal is less than 50% by weight and exceeds 96% by weight, an electrode having excellent durability and stability is formed. It is difficult. The valve metal content in the alloy is preferably between 60 and 90% by weight. The electric discharge machining is generally desirably performed in a non-oxidizing atmosphere, for example, an argon atmosphere. The diameter of the electrode rod used for electric discharge machining can be usually selected within a range of 2 to 12 mm.
Generally, those having a diameter of 4 mm or more are preferable from the viewpoint of work efficiency and the like. The discharge conditions can be changed depending on the diameter of the electrode rod used, the material of the electrodes, and the like. In general, the discharge conditions can be selected so that the electrode discharge pulse is 100 to 600 Hz and the capacitor capacity is 100 to 400 μF. When the melting point of the electrode alloy for discharge is higher than the melting point of titanium, the three alloy layers of titanium of the titanium base, the valve metal and the second metal are formed. If done at a temperature of
There is a tendency to form a coating layer of the alloy of the valve metal and the second metal. In this manner, electric discharge machining is performed for 5 to 30 minutes per 1 dm 2, and an alloy layer of titanium, a valve metal and a second metal or an alloy of a valve metal and a second metal on the titanium substrate surface is formed. Form a coating layer. The surface of the alloy layer or the alloy coating layer formed in this manner is generally roughened, and a surface roughness meter [Surface Roughness / Contour Measuring Instrument SE, manufactured by Kosaka Laboratory Co., Ltd.]
F-30D] is usually 50.
200 μm. The titanium base and the alloy layer of the valve metal and the second metal or the alloy coating layer of the valve metal and the second metal of the titanium substrate formed as described above have a thickness of at least 10 μm, preferably 30 μm or more. Can be provided. When the thickness of the alloy layer or the alloy coating layer is less than 10 μm, generally, sufficient corrosion resistance cannot be imparted to the titanium substrate. The upper limit of the thickness of the alloy layer or the alloy coating layer is not particularly limited. However, even if the alloy layer or the alloy coating layer is thicker than necessary, the effect associated therewith cannot be obtained, and it is economically disadvantageous.
μm or less, preferably 100 μm or less is appropriate. On the surface of the titanium substrate formed as described above comprising the alloy layer of titanium, valve metal and second metal or the alloy coating layer of valve metal and second metal, iridium oxide and oxide A tantalum coating layer is formed. In forming the coating layer composed of iridium oxide and tantalum oxide, in order to protect the corrosion resistance of the alloy layer or the alloy coating layer formed on the titanium surface,
Generally, the formation of a coating layer composed of iridium oxide and tantalum oxide is performed in two or more steps. For example, after forming an intermediate layer composed of iridium oxide and tantalum oxide having a low iridium oxide content in advance, the iridium oxide content is reduced. It is preferable to coat an outer layer composed of iridium oxide and tantalum oxide having a high content. Here, iridium oxide may be made of substantially crystalline IrO 2 , and tantalum oxide may be made of substantially amorphous Ta 2
O 5 can be used to enhance the bonding property of the coating according to the oxidation conditions described below. The intermediate layer is 5 to 30 mol%, preferably 8 to 30 mol%.
It can be composed of 25 mol% of iridium oxide and 70 to 95 mol%, preferably 75 to 92 mol% of tantalum oxide. Coating contributes to improving the corrosion resistance of the substrate. The coating amount of the intermediate layer is generally from 0.5 to 1
0.0 g / m 2, preferably be in the range of 1.0 to 5.0 g / m 2. Hereinafter, the formation of the intermediate layer will be specifically described. The iridium compound and the tantalum compound are adhered by applying a solvent solution containing an iridium compound and a tantalum compound, preferably a lower alcohol solution, on the surface layer composed of the alloy layer or the alloy coating layer of the titanium base, and then drying. Let me know. The iridium compound and the tantalum compound that can be used herein include compounds soluble in a lower alcohol solvent that can be thermally decomposed and converted to iridium oxide and tantalum oxide, respectively, under the calcination conditions described below. Examples of such an iridium compound include iridium chloride, iridium chloride, and potassium iridium chloride. Examples of the tantalum compound include tantalum chloride and tantalum ethoxide. On the other hand, examples of the lower alcohol that can dissolve these iridium compounds and tantalum compounds include methanol, ethanol, propanol, isopropanol, butanol and mixtures thereof. The ratio of the iridium compound to the tantalum compound in the above solution is 5/95 to 30/70, preferably 8/92 to 25/7, in terms of a metal ratio of Ir / Ta in terms of metal.
5 can be set. The application of the solution onto the alloy layer of the titanium substrate can be performed by, for example, a spraying method, a brush coating method, an immersion method, and the like. Thus, a lower alcohol solution of an iridium compound and a tantalum compound is applied. The dried titanium substrate is dried at a relatively low temperature in the range of about 20 to about 150 ° C., and then fired in an oxidizing atmosphere, usually in the atmosphere. The above-described treatment can be repeatedly performed until the coating amount reaches the above range. The calcination is generally carried out in a suitable heating furnace such as an electric furnace, a gas furnace, an infrared furnace, etc., generally at about 400 to about 700 ° C, preferably at about 450 to
This can be done by heating to a temperature in the range of about 600 ° C. The heating time at that time can be about 5 minutes to 2 hours depending on the size of the substrate to be fired. By this firing, the iridium compound and the tantalum compound are changed to iridium oxide and tantalum oxide, respectively, to form an intermediate layer. As described above, by forming an intermediate layer having corrosion resistance and electric conductivity on a titanium substrate modified layer comprising the above-mentioned alloy layer or alloy coating layer having low hydrogen overvoltage and corrosion resistance, an epoch-making process is achieved. Thus, an electrode having high durability can be obtained. On the intermediate layer composed of iridium oxide and tantalum oxide formed as described above, 60-98 mol%, preferably 70-95 mol%, of iridium oxide and 2-40 mol%, preferably Is 5-30m
An outer layer of ol% tantalum oxide is provided. In this outer layer, when the content of iridium oxide is less than 60 mol%, when used at a high current density, the oxygen generating activity becomes insufficient and the electrode life tends to be shortened. On the other hand, 98 mol%
When the value exceeds, the consumption of the electrode catalyst (outer layer) tends to increase. The formation of the outer layer also depends on the metal-to-metal molar ratio of Ir / Ta of the iridium compound and the tantalum compound in the solution to be applied being 60/40 to 98/2, preferably 70/40.
The formation can be carried out in the same manner as the formation of the intermediate layer, except that it is changed so as to fall within the range of / 30 to 95/5. The coating amount of the outer layer is generally 10 to 60 g /
m 2 , preferably within the range of 30 to 50 g / m 2 . The electrode of the present invention manufactured as described above has a long life, hardly causes passivation of the titanium interface even when used for a long time at a high current density, and has a long life. Since the hydrogen layer has a low hydrogen overvoltage and suppresses the consumption of the catalyst even in one-sided plating, it can be suitably used as a high-speed plating of a metal operated under a high current density or as an anode for producing a metal foil. Next, the present invention will be described in more detail with reference to examples, but the scope of the present invention is not limited by these examples. Examples 1 to 9 and Comparative Examples 1 to 7 A titanium plate material equivalent to JIS type 2 was used ( t 3.0 × w 100 ×
( 100 mm) was washed with alcohol, treated in an aqueous solution of 8% by weight of hydrofluoric acid at 20 ° C. for 2 minutes, washed with water and dried. Next, 250 g of powder obtained by weighing a commercially available titanium powder and a ruthenium powder so as to have a weight ratio of 70:30, respectively, were mixed for 1 hour using a V-type mixer. Diameter 10
24 g of the mixed powder was inserted into each hole of a carbon die having 10 mm holes, and both ends were fixed with carbon punches, and a predetermined amount in a discharge plasma sintering machine (DR. SINTER) manufactured by Sumitomo Coal Mining Co. Installed in position. Thereafter, the inside of the sintering machine was set to an argon atmosphere, and a pressure of about 35 was applied.
Sintering was performed under the conditions of 0 kgf / cm 2 , a pulse application voltage of 4 V, a pulse application current of 3500 A, a sintering temperature of 800 ° C., and a sintering time of 5 minutes. Thereafter, the surface was polished to obtain a 70 wt% Ti-Ru discharge coating electrode having a diameter of about 10 mm and a length of about 50 mm. Next, using the titanium plate from which the oxide film was removed as a cathode, electric discharge machining was performed for 10 minutes in a glove box purged with argon using a 70 wt% Ti-Ru electrode. Thereafter, the titanium plate subjected to the electric discharge machining was cut into t 3.0 × w 10 × l 10 mm with a fine cutter. EPMA
(Electron probe microanalyzer)
Elemental analysis of the cross section of the titanium plate subjected to electrical discharge machining revealed an alloy layer of titanium and ruthenium. In addition, when the surface of the electric discharge machined surface was subjected to component analysis by comparative measurement with a discharge electrode using a fluorescent X-ray analyzer, it was confirmed that the titanium component was increased. The thickness of this alloy layer was 30 to 50 μm. A butanol solution of iridium chloride and an ethanol solution of tantalum chloride were mixed, and Ir 5.9 g / l
And a coating solution containing 50.0 g / l of Ta (molar compounding ratio: 10Ir-90Ta) and 1 cm 2 with a micropipette.
3.0 μl of the titanium-palladium alloy layer was applied to the titanium-palladium alloy layer formed as described above, and then vacuum-dried at room temperature for 30 minutes. Baked in the oven for 10 minutes. This step was repeated three times. Next, in order to obtain an outer layer, a butanol solution of iridium chloride and an ethanol solution of tantalum chloride are mixed, and a coating containing Ir 50.0 g / l and Ta 11.8 g / l (molar compounding ratio: 80 Ir-20 Ta) is used. After preparing the liquid,
Using this coating solution, the same process as described above was repeated eight times to produce Example electrode-1. Further, the component composition of the discharge electrode is shown in Table 1 below.
The discharge electrodes were prepared under the conditions for sintering, and the discharge machining was performed in the same manner as in Example electrode-1, and the composition of the coating layer was changed as shown in Table 1. Example electrodes-2 to 9 and comparative example electrodes-1 to 7 were produced. Comparative Example 8 A titanium plate material equivalent to JIS Class 2 ( t 3.0 × w 100 × l 1
00 mm) was degreased and washed with trichloroethylene,
Treated in an 8% by weight hydrofluoric acid solution at 0 ° C. for 2 minutes and then in a 60% by weight sulfuric acid solution at 120 ° C. for 3 minutes. The titanium substrate was taken out of the sulfuric acid solution and cooled rapidly by spraying cold water in a nitrogen atmosphere. Further, the resultant was immersed in a 0.3% by weight hydrofluoric acid solution at 20 ° C. for 2 minutes and then washed with water. After washing with water, dinitrodiaminoplatinum was dissolved in a sulfuric acid solution, and Pt content was adjusted to 5 g / l, pH was adjusted to about 2, and the temperature was adjusted to 50 ° C., and plating was performed at 30 mA / cm 2 for about 9 minutes to form Pt. Was deposited. On this platinum plating layer, an intermediate layer and an outer layer having the composition shown in Table 1 were provided.
Comparative Example Electrode-8 was formed in the same manner as in the above. Comparative Example 9 A titanium plate material equivalent to JIS Class 2 ( t 3.0 × w 100 × l
100mm) after washing with alcohol, 8% by weight at 20 ° C
After a treatment in a hydrofluoric acid aqueous solution for 2 minutes, an intermediate layer and an outer layer having the compositions shown in Table 1 were formed on a titanium substrate washed with water and dried in the same manner as in Example electrode-1. 9 was produced. Table 1 shows the electrode life when each electrode obtained as described above was electrolyzed under the following conditions. <Electrolysis conditions> Electrolyte solution: 1 MH 2 SO 4 -1 M Na 2 SO 4 Current density: 4 A / cm 2 Counter electrode: Pt Distance between electrodes: 10 mm Table 1 shows that the amount of consumption at the time of performing is 15% or less as ○ 16 to 30% or less and Δ 31% or more as x. <Electrolysis conditions> Electrolyte: 1 MH 2 SO 4 -1 M Na 2 SO 4 Current density Positive electrolysis: 2.0 A / cm 2 , 80 seconds Reverse electrolysis: 0.1 A / cm 2 , 20 seconds pulse electrolysis Counter electrode: Pt Distance between the electrodes: 10 mm Electrolysis time: 500 hours As is clear from the results shown in Table 1, the electrode of the example has a long electrode life and consumes little catalyst even in pulse electrolysis. [Table 1] As described above, according to the present invention, the surface of the titanium substrate is coated with at least one metal selected from the group consisting of titanium, tantalum, niobium, zirconium and tungsten.
The electric discharge machining is performed by using an electrode rod having a high hydrogen overvoltage composed of 0 to 96% by weight and a balance of at least one metal selected from iridium, ruthenium and tin, and a rough surface having corrosion resistance more than titanium on the titanium substrate. Formed alloy layer, and formed thereon a coating layer composed of iridium oxide and tantalum oxide, it has excellent adhesion to the coating layer, has durability against a low potential environment, and has a long An electrode for electrolysis that can be used can be provided.
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI C25C 7/02 307 C25C 7/02 307 C25D 17/12 C25D 17/12 B (72)発明者 土屋 茂樹 埼玉県草加市青柳2丁目12番30号 石福 金属興業株式会社草加第一工場内 (56)参考文献 特開 平6−200391(JP,A) 特開 平5−33178(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) C25D 17/10 101 C22C 14/00 C23C 26/00 C25B 11/06 C25B 11/10 C25C 7/02 307 C25D 17/12 ──────────────────────────────────────────────────の Continued on the front page (51) Int.Cl. 7 Identification symbol FI C25C 7/02 307 C25C 7/02 307 C25D 17/12 C25D 17/12 B (72) Inventor Shigeki Tsuchiya 2 Aoyagi, Soka City, Saitama Prefecture No. 12-30, Ishifuku Metal Industries Co., Ltd. Soka No. 1 Plant (56) References JP-A-6-200391 (JP, A) JP-A 5-33178 (JP, A) (58) Fields surveyed ( Int.Cl. 7 , DB name) C25D 17/10 101 C22C 14/00 C23C 26/00 C25B 11/06 C25B 11/10 C25C 7/02 307 C25D 17/12
Claims (1)
ム及びタングステンから選ばれる少なくとも1種の金属
50〜96重量%とイリジウム、ルテニウム及び錫から
選ばれる少なくとも1種の金属50〜4重量%とからな
る合金を電極材として用いて、チタン基体表面を放電走
査することにより、該チタン基体表面に合金層を形成
し、次いで該表面層上に、イリジウム化合物とタンタル
化合物を含有する溶液を塗布した後、酸化性雰囲気中で
熱処理することにより酸化イリジウムと酸化タンタルか
らなるコーティング層を形成することを特徴とする電解
用電極の製造方法。(57) Claims 1. 50 to 96% by weight of at least one metal selected from titanium, tantalum, niobium, zirconium and tungsten and at least one metal selected from iridium, ruthenium and tin By using an alloy consisting of 50 to 4% by weight as an electrode material and performing discharge scanning on the surface of the titanium substrate, an alloy layer is formed on the surface of the titanium substrate, and then an iridium compound and a tantalum compound are formed on the surface layer. A method for producing an electrode for electrolysis, comprising forming a coating layer composed of iridium oxide and tantalum oxide by applying a solution to be contained and then performing a heat treatment in an oxidizing atmosphere.
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