JP3483519B2 - Method for forming display pattern of organic EL element - Google Patents
Method for forming display pattern of organic EL elementInfo
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Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、有機エレクトロル
ミネセンス(EL)素子の表示パターン(発光パター
ン)を形成する方法に関する。本発明は、固定パターン
による発光表示を行う有機EL素子等に利用される。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method of forming a display pattern (light emitting pattern) of an organic electroluminescence (EL) element. INDUSTRIAL APPLICABILITY The present invention is used for an organic EL element that performs light emission display with a fixed pattern.
【0002】[0002]
【従来の技術】従来、固定パターンによる発光表示を行
う有機EL素子において表示パターンを形成する方法と
しては、陽極及び陰極のうちの一方の電極及び発光層を
ベタに形成し、他方の電極を表示パターンの形状に形成
することにより、表示パターンに相当する部分の発光層
のみに電圧を印加して発光させる方法が知られている。
また、特開平10−284254号公報には、表示パタ
ーン形状にくり抜かれた貫通孔を有するようにパターン
化された絶縁層を両電極の間に設け、この絶縁層により
発光パターン以外の部分が発光しないようにした有機E
L素子が開示されている。2. Description of the Related Art Conventionally, as a method of forming a display pattern in an organic EL element for performing light emission display with a fixed pattern, one electrode of an anode and a cathode and a light emitting layer are formed solid and the other electrode is displayed. There is known a method in which a voltage is applied only to a light emitting layer in a portion corresponding to a display pattern to cause light emission by forming the light into a pattern shape.
Further, in Japanese Unexamined Patent Publication No. 10-284254, an insulating layer patterned so as to have a through hole hollowed out in a display pattern shape is provided between both electrodes, and the insulating layer emits light other than the light emitting pattern. Organic E not to do
An L element is disclosed.
【0003】[0003]
【発明が解決しようとする課題】上記従来技術はいずれ
も電極又は絶縁層を所定のパターンに形成する工程を必
要とする。この方法としては、蒸着マスクを用いる方
法、フォトリソグラフィによる方法等がある。しかし、
このうち蒸着マスクを用いる方法によると、環状のパタ
ーンの内側に独立して位置する別のパターンを有するパ
ターン(例えば二重丸形状のパターン)等を形成する場
合には、一枚の蒸着マスクで形成することができないた
め、複数枚の蒸着マスクを用いて複数回の蒸着工程を行
わなくてはならない。一方、フォトリソグラフィによる
方法は、適用するパターン形状の自由度は高いが、レジ
ストパターン形成、露光、エッチングなど多くの工数を
必要とし、またレジスト残渣により発光欠陥が生じる恐
れがある。All of the above-mentioned conventional techniques require a step of forming an electrode or an insulating layer in a predetermined pattern. Examples of this method include a method using a vapor deposition mask and a method using photolithography. But,
According to the method using the vapor deposition mask among them, when forming a pattern (for example, a double circular pattern) having another pattern independently located inside the annular pattern, one vapor deposition mask is used. Since it cannot be formed, a plurality of vapor deposition masks must be used to perform a plurality of vapor deposition steps. On the other hand, the photolithography method has a high degree of freedom in the pattern shape to be applied, but requires a lot of man-hours such as resist pattern formation, exposure, and etching, and there is a possibility that a resist residue may cause a light emission defect.
【0004】本発明の目的は、簡単な工程によって様々
な表示パターンを形成することができる有機EL素子の
表示パターン形成方法を提供することにある。An object of the present invention is to provide a method for forming a display pattern of an organic EL element, which can form various display patterns by a simple process.
【0005】[0005]
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明における第1発明の有機EL素子の表示パタ
ーン形成方法は、透明基板上に有機EL膜を形成した
後、該有機EL膜の所定部分に高温マスクを接触させる
ことにより当該部分の発光を失活させることを特徴とす
る。In order to solve the above problems, a display pattern forming method for an organic EL device according to the first invention of the present invention is directed to a method of forming an organic EL film on a transparent substrate and then forming the organic EL film. It is characterized in that the high temperature mask is brought into contact with a predetermined part of the above to deactivate the light emission of the part.
【0006】第2発明の有機EL素子の表示パターン形
成方法は、第1発明の方法において、上記高温マスクを
接触させることにより、上記有機EL膜を構成する発光
層、正孔輸送層および電子輸送層のうち少なくとも一つ
の層の機能を失わせることを特徴とする。A display pattern forming method for an organic EL element according to a second aspect of the present invention is the method of the first aspect, wherein the high temperature mask is brought into contact with the light emitting layer, hole transporting layer and electron transporting layer constituting the organic EL film. It is characterized in that the function of at least one of the layers is lost.
【0007】第3発明の有機EL素子の表示パターン形
成方法は、有機EL膜を構成する少なくとも一つの有機
層を透明基板上に形成した後、該有機層の所定部分に高
温マスクを接触させて当該部分の上記有機層の機能を失
わせることにより、上記有機EL膜における当該部分の
発光を失活させることを特徴とする。In the method for forming a display pattern of an organic EL element of the third invention, at least one organic layer constituting the organic EL film is formed on a transparent substrate, and then a high temperature mask is brought into contact with a predetermined portion of the organic layer. It is characterized in that the function of the organic layer of the portion is lost to deactivate the light emission of the portion of the organic EL film.
【0008】以下、本発明につき詳細に説明する。上記
「透明基板」としては、有機EL積層体の発光による文
字、図形等の視認が損なわれない程度の透明性を有する
材質からなるものを使用することができる。また、有機
EL素子の表層としての形状を保持し得るだけの強度を
併せ有し、かつ表面が容易に傷付かない程度の硬さを有
するものが好ましい。そのような基板としては、ガラス
の他、ポリエチレンテレフタレート、ポリエーテルスル
ホン、ポリカーボネート等からなるものを使用すること
もできる。この透明基板は無色透明であってもよいし、
適宜の色調に着色された着色透明のものであってもよ
い。The present invention will be described in detail below. As the above-mentioned "transparent substrate", it is possible to use a substrate made of a material having transparency to such an extent that the visibility of characters, figures and the like due to light emission of the organic EL laminate is not impaired. Further, it is preferable that the organic EL element has strength enough to retain the shape of the surface layer of the organic EL element and has hardness such that the surface is not easily scratched. As such a substrate, besides glass, a substrate made of polyethylene terephthalate, polyether sulfone, polycarbonate or the like can be used. This transparent substrate may be colorless and transparent,
It may be a colored and transparent one colored in an appropriate color tone.
【0009】この透明基板上に、陽極、有機EL膜及び
陰極を積層して「有機EL積層膜」が構成される。両極
の間に配置される有機EL膜は、少なくとも発光層を備
え、この発光層に加えて正孔輸送層及び/又は電子輸送
層を有してもよく、更に正孔注入層及び/又は電子注入
層を有してもよい。陽極、陰極及び有機EL膜を構成す
る材料としては、それぞれ種々の公知材料を用いること
ができる。これらの各層を形成する方法は、真空蒸着
法、スピンコート法、キャスト法、スパッタリング法、
LB法等の方法から適宜選択すればよい。なお、本明細
書中において、有機EL膜を構成する発光層、正孔輸送
層、電子輸送層、正孔注入層および電子注入層等の各層
を「有機層」ともいう。An "organic EL laminated film" is formed by laminating an anode, an organic EL film and a cathode on this transparent substrate. The organic EL film arranged between both electrodes includes at least a light emitting layer, and may have a hole transport layer and / or an electron transport layer in addition to this light emitting layer, and further has a hole injection layer and / or an electron transport layer. It may have an injection layer. Various known materials can be used as the materials forming the anode, the cathode, and the organic EL film. The method for forming each of these layers is a vacuum deposition method, a spin coating method, a casting method, a sputtering method,
It may be appropriately selected from the methods such as the LB method. In the present specification, each layer such as a light emitting layer, a hole transporting layer, an electron transporting layer, a hole injecting layer and an electron injecting layer which constitute the organic EL film is also referred to as an “organic layer”.
【0010】本発明の方法では、上記有機EL膜の所定
部分に高温マスクを接触させ、その部分の発光を失活さ
せることにより表示パターンを形成する。この「発光の
失活」は、有機EL膜を構成する各有機層のいずれか
(例えば発光層、正孔輸送層および電子輸送層のうち少
なくとも一つ)が、高温マスクの接触により付与される
熱で変質して、その有機層が本来有する輸送機能や発光
機能等を失うことにより起こる。ここで「変質」とは、
有機層を構成する化合物が熱により構造変化を起こした
り、分解して揮散したりすることを指す。高温マスク
は、有機EL膜の形成終了後であってこの有機EL膜上
に電極を形成する前の段階で有機EL膜に直接接触させ
てもよく、有機EL膜上に電極を形成した後この電極越
しに接触させてもよいが、形成されるパターンの精度の
点からは電極の形成前に高温マスクを有機EL膜に直接
接触させることが好ましい。According to the method of the present invention, a display pattern is formed by bringing a high temperature mask into contact with a predetermined portion of the organic EL film and deactivating the light emission of the portion. This “deactivation of light emission” is imparted by contacting with a high temperature mask to any one of the organic layers forming the organic EL film (for example, at least one of a light emitting layer, a hole transporting layer and an electron transporting layer). It is caused by deterioration due to heat and loss of the original transport function, light emitting function, etc. of the organic layer. Here, "alteration" means
It means that the compound that constitutes the organic layer undergoes a structural change due to heat, or decomposes and volatilizes. The high temperature mask may be brought into direct contact with the organic EL film at the stage after the formation of the organic EL film and before the formation of the electrode on the organic EL film, or after the formation of the electrode on the organic EL film. Although it may be contacted through the electrode, it is preferable to directly contact the high temperature mask with the organic EL film before forming the electrode from the viewpoint of accuracy of the formed pattern.
【0011】また、有機EL膜の発光を左右する有機層
(例えば発光層、正孔輸送層および電子輸送層等のうち
少なくとも一つ)が形成された後であれば、有機EL膜
の形成が終了する前に高温マスクを接触させてもよい。
上記発光を左右する層の機能が所定の形状に失われてい
れば、その上から残りの有機層をベタに形成しても該当
部分の発光が失活した有機EL膜が得られる。有機EL
膜の形成が終了する前に高温マスクを接触させる場合に
は、先に形成された有機層が高温マスクの接触により分
解または炭化されても、その上からさらに有機層が形成
されるので、電極間の短絡を防止できるという利点があ
る。If the organic layer (for example, at least one of the light emitting layer, the hole transport layer, the electron transport layer, etc.) that influences the light emission of the organic EL film is formed, the organic EL film is not formed. The hot mask may be contacted prior to completion.
If the function of the layer that influences the light emission is lost to a predetermined shape, an organic EL film in which the light emission of the corresponding portion is deactivated can be obtained even if the remaining organic layer is solidly formed thereon. Organic EL
When the high temperature mask is contacted before the film formation is completed, even if the previously formed organic layer is decomposed or carbonized by the contact of the high temperature mask, the organic layer is further formed on the electrode, so that the electrode is formed. There is an advantage that a short circuit between them can be prevented.
【0012】上記「高温マスク」とは、高温に加熱して
使用されるマスク部材をいう。その材質は特に限定され
ないが、成形性および耐熱性に優れ、かつマスク全体を
均一に加熱しやすいことから、金属(例えば鉄、アルミ
ニウム、銅およびこれらの合金等)を使用することが好
ましい。高温マスクの裏面または内部等には、この高温
マスクの加熱や温度制御を容易にする等の目的で、ヒー
タ等の発熱手段を設けることができる。この高温マスク
は、その外形(輪郭、貫通孔の有無等)や表面(有機E
L膜等に接触される側の面)に設けられた凹凸等によ
り、有機EL膜または有機層(以下、合わせて「有機E
L膜等」という。)と接触する部分が所定の形状に規定
されている。透明基板上に形成された有機EL膜等の形
状から、この高温マスクの接触部分を除くことにより、
所望の形状の表示パターンが形成される。The above-mentioned "high temperature mask" means a mask member which is heated to a high temperature for use. The material is not particularly limited, but it is preferable to use a metal (for example, iron, aluminum, copper and alloys thereof) because of excellent moldability and heat resistance and easy heating of the entire mask uniformly. On the back surface or inside of the high temperature mask, a heating means such as a heater can be provided for the purpose of facilitating heating and temperature control of the high temperature mask. This high temperature mask has its outer shape (outline, presence of through holes, etc.) and surface (organic E
The organic EL film or the organic layer (hereinafter, collectively referred to as “organic E”) is formed due to unevenness or the like provided on the surface contacting the L film or the like.
L film etc. " ) Is defined in a predetermined shape. By removing the contact portion of the high temperature mask from the shape of the organic EL film or the like formed on the transparent substrate,
A display pattern having a desired shape is formed.
【0013】なお、高温マスクの表面に設けられた凹凸
により有機EL膜等との接触部分を規定する場合には、
接触部と非接触部との高低差が0.1mm以上であるこ
とが好ましく、0.5〜5mmの範囲とすることが好ま
しい。この方法によると、形成しようとする表示パター
ンに対応した形状の凹部が形成された高温マスク等を、
ベタに形成された有機EL膜等に接触させる等の簡単な
方法により、任意の形状の表示パターンを形成すること
ができる。非接触部を貫通孔ではなく凹部とすることに
より、従来の蒸着マスク等とは異なり、二重丸形状のパ
ターン等も単独の高温マスクを用いて作製することがで
きる。高温マスクの接触される有機EL膜等は、ベタに
形成されていてもパターン化されていてもよいが、製造
時の作業性等の点からは少なくともある範囲にわたって
ベタに形成されていることが好ましい。この場合には、
本発明の方法を用いることによる工程簡素化の効果がよ
く発揮される。When the contact portion with the organic EL film or the like is defined by the unevenness provided on the surface of the high temperature mask,
The height difference between the contact portion and the non-contact portion is preferably 0.1 mm or more, and more preferably 0.5 to 5 mm. According to this method, a high temperature mask or the like in which a concave portion having a shape corresponding to the display pattern to be formed is formed,
A display pattern having an arbitrary shape can be formed by a simple method such as contacting with a solid organic EL film or the like. By forming the non-contact portion as a recess instead of a through hole, a double-circular pattern or the like can be produced using a single high temperature mask, unlike conventional vapor deposition masks and the like. The organic EL film or the like with which the high-temperature mask contacts may be solid or patterned, but from the viewpoint of workability during manufacturing, etc., it should be formed solid over at least a certain range. preferable. In this case,
The effect of process simplification by using the method of the present invention is well exhibited.
【0014】有機EL膜等に接触させる際の高温マスク
の温度は、処理しようとする有機層の機能を失わせるこ
とのできる温度であればよく、例えば150〜500
℃、好ましくは180〜480℃、より好ましくは20
0〜450℃の範囲である。処理温度が低すぎると、有
機層の機能を十分に失わせることができなかったり、有
機層の機能を失わせるために要する接触時間が長くなっ
たりして、得られる表示パターンの精度が低下する。一
方、処理温度を不必要に高くするとエネルギー効率が低
下し、また有機EL膜の形成後に高温マスクを接触させ
る場合には有機層が分解や炭化等を起こして電極間がシ
ョートする恐れがある。有機EL膜等と高温マスクとの
接触時間は、処理しようとする有機層の耐熱性(機能を
失う温度)や処理時における高温マスクの温度等により
異なるが、通常は1〜100秒とすることが好ましく、
5〜10秒とすることがより好ましい。接触時間が短す
ぎると、有機層の機能を十分に失わせることができなか
ったり、処理の程度にムラが生じたりしやすい。接触時
間が長すぎると、高温マスクと接触していない部分の有
機層までもが熱伝導により機能を失い、得られる表示パ
ターンの寸法精度が低下する場合がある。The temperature of the high temperature mask at the time of contact with the organic EL film or the like may be any temperature at which the function of the organic layer to be treated can be lost, for example, 150 to 500.
℃, preferably 180 ~ 480 ℃, more preferably 20
It is in the range of 0 to 450 ° C. If the treatment temperature is too low, the function of the organic layer cannot be sufficiently lost, or the contact time required to lose the function of the organic layer becomes long, and the accuracy of the obtained display pattern decreases. . On the other hand, if the processing temperature is unnecessarily raised, the energy efficiency is lowered, and when the high temperature mask is brought into contact after forming the organic EL film, the organic layer may be decomposed or carbonized to cause a short circuit between the electrodes. The contact time between the organic EL film and the high temperature mask varies depending on the heat resistance (temperature at which the function is lost) of the organic layer to be treated, the temperature of the high temperature mask during the treatment, etc., but is usually 1 to 100 seconds. Is preferred,
More preferably, it is 5 to 10 seconds. If the contact time is too short, the function of the organic layer cannot be sufficiently lost, and the degree of treatment tends to be uneven. If the contact time is too long, even the portion of the organic layer that is not in contact with the high temperature mask may lose its function due to heat conduction, and the dimensional accuracy of the obtained display pattern may deteriorate.
【0015】本発明の方法は、発光色の異なる複数の発
光材料を含む有機EL素子にも適用することができる。
例えば、赤色発光層、青色発光層および緑色発光層が積
層されたフルカラー表示用の有機EL素子の表示パター
ンを形成する場合、各層に含まれる発光材料の耐熱性が
赤色>青色>緑色であるとすると、まず赤色発光層を形
成して温度rの高温マスクにより赤色表示パターンを形
成し、次いでその上に青色発光層を形成して温度b(b
<r)の高温マスクにより青色表示パターンを形成し、
さらにその上に緑色発光層を形成して温度g(g<b)
の高温マスクにより緑色表示パターンを形成すればよ
い。The method of the present invention can also be applied to an organic EL device containing a plurality of light emitting materials having different emission colors.
For example, when a display pattern of an organic EL element for full-color display in which a red light emitting layer, a blue light emitting layer, and a green light emitting layer are stacked is formed, the heat resistance of the light emitting material contained in each layer is red>blue> green. Then, first, a red light emitting layer is formed, a red display pattern is formed by a high temperature mask having a temperature r, and then a blue light emitting layer is formed on the red display pattern and a temperature b (b
A blue display pattern is formed by the high temperature mask of <r),
Further, a green light emitting layer is formed thereon and the temperature g (g <b)
The green display pattern may be formed by using the high temperature mask described in 1.
【0016】本発明の方法は、セグメントタイプの有機
EL表示素子における表示パターン形成方法として好適
であり、特に最小パターンサイズ0.5mm以上(より
好ましくは1mm以上)の表示パターンの形成に好まし
く利用される。The method of the present invention is suitable as a method for forming a display pattern in a segment type organic EL display device, and is particularly preferably used for forming a display pattern having a minimum pattern size of 0.5 mm or more (more preferably 1 mm or more). It
【0017】[0017]
【発明の実施の形態】以下、実施例により本発明を更に
具体的に説明する。
(実施例1)この実施例1は、ベタに形成された有機E
L膜に高温マスクを接触させて、円形の表示パターンを
形成した例である。図2に示すように、ソーダ石灰ガラ
スからなる透明基板1上に、ITOからなる陽極2を形
成した。次いで、図3に示すように、陽極2の上から有
機EL膜3を、真空蒸着法によりベタに形成した。この
有機EL膜3は、陽極2側から順に、銅フタロシアニン
錯体からなる正孔注入層、TPTE(トリフェニルアミ
ンの4量体)からなる正孔輸送層、アルミキノリウム錯
体をホストとしキナクリドンをドーピングした発光層、
アルミキノリウム錯体からなる電子輸送層、およびLi
Fからなる電子注入層(いずれも図示せず)を積層して
なる。有機EL膜3の合計厚さは約150nmである。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to Examples. (Example 1) In this example 1, a solid organic E was formed.
In this example, a high temperature mask is brought into contact with the L film to form a circular display pattern. As shown in FIG. 2, an anode 2 made of ITO was formed on a transparent substrate 1 made of soda-lime glass. Then, as shown in FIG. 3, an organic EL film 3 was formed solid on the anode 2 by a vacuum deposition method. This organic EL film 3 is, in order from the anode 2 side, a hole injection layer made of a copper phthalocyanine complex, a hole transport layer made of TPTE (triphenylamine tetramer), and a quinacridone doped with an aluminum quinolium complex as a host. Luminous layer,
An electron transport layer composed of an aluminum quinolium complex, and Li
An electron injection layer made of F (neither is shown) is laminated. The total thickness of the organic EL film 3 is about 150 nm.
【0018】図4に示すように、高温マスク4は厚さ5
mmの鉄板からなり、その中央部には直径3mmの貫通
孔41が設けられている。この高温マスク4をヒータに
より300℃に加熱して、図1に示すように、有機EL
膜3の表面に5秒間接触させた。これにより有機EL膜
3は、高温マスク4が接触した部分であって発光機能を
失った失活部31と、貫通孔41により高温マスク4が
接触しなかった部分であって発光機能が維持された発光
部32とにパタニングされた。なお、この高温マスクに
よる処理は、有機EL膜3の形成に用いた真空チャンバ
内において、真空を解除した後に窒素雰囲気中で行っ
た。その後、有機EL膜3上に従来公知の方法で陰極を
形成し、さらに接着剤により封止部材を取り付けて有機
EL素子を構成した。この有機EL素子に電圧を印加し
て透明基板1側から観察したところ、図5に示すよう
に、直径2.8mmの円形に発光しており、この円内の
各部において発光輝度はほぼ均一であった。As shown in FIG. 4, the high temperature mask 4 has a thickness of 5
It is made of an iron plate having a diameter of 3 mm, and a through hole 41 having a diameter of 3 mm is provided in the center thereof. This high temperature mask 4 is heated to 300 ° C. by a heater, and as shown in FIG.
The surface of the membrane 3 was contacted for 5 seconds. As a result, the organic EL film 3 is maintained in the light emitting function in the deactivated portion 31 where the high temperature mask 4 is in contact with the high temperature mask 4 and in the portion where the high temperature mask 4 is not in contact due to the through hole 41. And the light emitting section 32. The treatment with the high temperature mask was performed in a nitrogen atmosphere after releasing the vacuum in the vacuum chamber used for forming the organic EL film 3. After that, a cathode was formed on the organic EL film 3 by a conventionally known method, and a sealing member was attached with an adhesive to form an organic EL element. When a voltage was applied to this organic EL element and it was observed from the transparent substrate 1 side, as shown in FIG. 5, light was emitted in a circular shape with a diameter of 2.8 mm, and the light emission luminance was substantially uniform in each part within this circle. there were.
【0019】なお、貫通孔41を有する高温マスク4に
代えて、図6に示すように、円形の凹部42を有する高
温マスク4’を用いた場合にも、同様に円形の表示パタ
ーンを形成することができる。A circular display pattern is similarly formed when a high temperature mask 4'having a circular recess 42 is used instead of the high temperature mask 4 having a through hole 41 as shown in FIG. be able to.
【0020】(実施例2)この実施例2は、ベタに形成
された有機EL膜に高温マスクを接触させて、二重丸形
状の表示パターンを形成した例である。図7に示すよう
に、高温マスク5は厚さ5mmの鉄板からなり、その中
央分には深さ1mm、幅1mmの外周溝51および内周
溝52が設けられている。幅方向の中心における半径
は、外周溝51が5mm、内周溝が2mmである。すな
わち、外周溝の内周端と内周溝の外周端との間は2mm
である。この高温マスク5を300℃に加熱し、実施例
1と同様にして有機EL膜3に5秒間接触させた。これ
により有機EL膜3は、失活部31と発光部32とにパ
タニングされた。その後、実施例1と同様に有機EL素
子を構成し、電圧を印加して透明基板1側から観察した
ところ、図8に示すように、外周溝51および内周溝5
2に対応する形状の二重丸形状に発光しており、この発
光部分の各部において発光輝度はほぼ均一であった。(Embodiment 2) This embodiment 2 is an example in which a high temperature mask is brought into contact with a solid organic EL film to form a double circular display pattern. As shown in FIG. 7, the high temperature mask 5 is made of an iron plate having a thickness of 5 mm, and an outer peripheral groove 51 and an inner peripheral groove 52 having a depth of 1 mm and a width of 1 mm are provided in a central portion thereof. The radius at the center in the width direction is 5 mm for the outer peripheral groove 51 and 2 mm for the inner peripheral groove. That is, the distance between the inner peripheral edge of the outer peripheral groove and the outer peripheral edge of the inner peripheral groove is 2 mm.
Is. The high temperature mask 5 was heated to 300 ° C. and brought into contact with the organic EL film 3 for 5 seconds in the same manner as in Example 1. As a result, the organic EL film 3 was patterned into the deactivating portion 31 and the light emitting portion 32. After that, when an organic EL element was formed in the same manner as in Example 1 and a voltage was applied to observe from the transparent substrate 1 side, as shown in FIG. 8, the outer peripheral groove 51 and the inner peripheral groove 5 were formed.
Light was emitted in the shape of a double circle having a shape corresponding to 2, and the light emission luminance was substantially uniform in each part of this light emitting portion.
【0021】なお、上記実施例1および2では有機EL
膜の形成が終了した後に高温マスクを接触させたが、有
機EL膜の形成途中、例えば正孔輸送層まで形成した段
階で高温マスクを接触させてこの正孔輸送層を所定のパ
ターンで変質させてもよく、また発光層まで形成した段
階で高温マスクを接触させてて正孔輸送層および/また
は発光層を所定のパターンで変質させてもよい。その
後、電子輸送層および電子注入層を形成することによ
り、この変質部分の発光が失活した有機EL膜が得られ
る。In the above-mentioned Examples 1 and 2, the organic EL is used.
The high temperature mask was contacted after the film formation was completed. However, during the formation of the organic EL film, for example, when the hole transport layer was formed, the high temperature mask was contacted to change the quality of the hole transport layer in a predetermined pattern. Alternatively, the hole transport layer and / or the light emitting layer may be altered in a predetermined pattern by contacting with a high temperature mask when the light emitting layer is formed. After that, an electron transport layer and an electron injection layer are formed to obtain an organic EL film in which the light emission of the altered portion is deactivated.
【0022】また、上記実施例1および2では有機EL
膜を構成する各有機層の材料として低分子系のものを用
い、その成膜には真空蒸着法を用いたが、本発明の方法
は高分子系の材料からなる有機層のパタニングにも適用
することができる。このように高分子系の材料(ポリフ
ェニレンビニレン、ポリビニルカルバゾール等)を用い
た有機層は、スピンコート法等により大面積の均一な成
膜を容易にかつ迅速に行うことができるので、ベタに形
成した有機EL膜等に高温マスクを接触させてパタニン
グするという本発明の方法には好適である。In the above-mentioned Examples 1 and 2, the organic EL is used.
A low molecular weight material was used as the material of each organic layer forming the film, and the vacuum deposition method was used for the film formation, but the method of the present invention is also applied to the patterning of the organic layer made of the polymer material. can do. As described above, an organic layer using a polymer material (polyphenylene vinylene, polyvinyl carbazole, etc.) can be formed uniformly and easily because a large-area uniform film can be formed easily by a spin coating method or the like. It is suitable for the method of the present invention in which a high temperature mask is brought into contact with the above organic EL film or the like to perform patterning.
【0023】[0023]
【発明の効果】本発明の表示パターン形成方法では、例
えばベタに形成された有機EL膜等の所定部分に高温マ
スクを接触させて発光を失活させることにより表示パタ
ーンを形成する。この方法によると、環状のパターンの
内側に独立して位置する別のパターンを有するパターン
(例えば二重丸形状のパターン)であっても、レジスト
パターンを形成したり複数の蒸着マスク等を使用したり
することなく作成することができる。従って、製造工程
が簡略化されかつ安価にパタニングを行うことができ、
さらにレジスト残渣が発光に悪影響を及ぼすことがな
い。また、蒸着マスクを用いる方法では、マスクの厚み
がカゲとなってパターン端部の有機EL膜がやや薄くな
るなど均一な成膜が困難であったが、本発明の方法では
ベタに成膜した後にパタニングすればよいので均一な成
膜が容易である。更に、発光層のうち表示パターンを構
成する部分と表示パターン以外の部分との間に段差がな
いので、発光層上に陰極等を均一に形成することも容易
である。In the display pattern forming method of the present invention, a display pattern is formed by bringing a high temperature mask into contact with a predetermined portion such as a solid organic EL film to deactivate light emission. According to this method, even if the pattern has another pattern independently located inside the annular pattern (for example, a double circular pattern), it is possible to form a resist pattern or use a plurality of vapor deposition masks. It can be created without Therefore, the manufacturing process can be simplified and the patterning can be performed at low cost,
Further, the resist residue does not adversely affect the light emission. Further, in the method using the vapor deposition mask, it was difficult to form a uniform film because the thickness of the mask became a scar and the organic EL film at the end of the pattern was slightly thin, but the method of the present invention formed a solid film. A uniform film formation is easy because patterning may be performed later. Further, since there is no step between the portion forming the display pattern and the portion other than the display pattern in the light emitting layer, it is easy to uniformly form the cathode or the like on the light emitting layer.
【図1】実施例1において、有機EL膜に高温マスクを
接触させた後の状態を示す斜視図である。FIG. 1 is a perspective view showing a state after a high temperature mask is brought into contact with an organic EL film in Example 1.
【図2】実施例1において、透明基板上に陽極を成膜し
た段階を示す斜視図である。FIG. 2 is a perspective view showing a stage of forming an anode on a transparent substrate in Example 1.
【図3】実施例1において、陽極上に有機EL膜を成膜
した段階を示す斜視図である。FIG. 3 is a perspective view showing a stage in which an organic EL film is formed on an anode in Example 1.
【図4】実施例1に使用した高温マスクを示す斜視図で
ある。4 is a perspective view showing a high temperature mask used in Example 1. FIG.
【図5】実施例1により製造された有機EL素子を発光
時に透明基板側から見た平面図である。FIG. 5 is a plan view of the organic EL element manufactured according to Example 1 as viewed from the transparent substrate side during light emission.
【図6】実施例1に使用可能な他の高温マスクを示す斜
視図である。FIG. 6 is a perspective view showing another high temperature mask usable in the first embodiment.
【図7】実施例2に使用した高温マスクを示す斜視図で
ある。FIG. 7 is a perspective view showing a high temperature mask used in Example 2;
【図8】実施例2により製造された有機EL素子を発光
時に透明基板側から見た平面図である。FIG. 8 is a plan view of the organic EL element manufactured according to Example 2 as viewed from the transparent substrate side during light emission.
1;透明基板、2;陽極、3;有機EL膜、31;失活
部、32;発光部、4;高温マスク、41;貫通孔、
5;高温マスク、51;外周溝、52;内周溝。DESCRIPTION OF SYMBOLS 1; Transparent substrate, 2; Anode, 3; Organic EL film, 31; Deactivating part, 32; Light emitting part, 4; High temperature mask, 41; Through hole,
5; high temperature mask, 51; outer peripheral groove, 52; inner peripheral groove.
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開2001−76870(JP,A) 特開 平8−259938(JP,A) 特開 平9−306669(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) H05B 33/00 - 33/28 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (56) Reference JP 2001-76870 (JP, A) JP 8-259938 (JP, A) JP 9-306669 (JP, A) (58) Fields investigated (Int.Cl. 7 , DB name) H05B 33/00-33/28
Claims (3)
該有機EL膜の所定部分に高温マスクを接触させること
により当該部分の発光を失活させることを特徴とする有
機EL素子の表示パターン形成方法。1. After forming an organic EL film on a transparent substrate,
A method for forming a display pattern of an organic EL element, which comprises deactivating the light emission of a predetermined portion of the organic EL film by bringing it into contact with a high temperature mask.
り、上記有機EL膜を構成する発光層、正孔輸送層およ
び電子輸送層のうち少なくとも一つの層の機能を失わせ
る請求項1記載の有機EL素子の表示パターン形成方
法。2. The organic EL device according to claim 1, wherein the function of at least one layer of the light emitting layer, the hole transporting layer and the electron transporting layer that constitutes the organic EL film is lost by bringing the high temperature mask into contact. Method for forming display pattern of device.
有機層を透明基板上に形成した後、該有機層の所定部分
に高温マスクを接触させて当該部分の上記有機層の機能
を失わせることにより、上記有機EL膜における当該部
分の発光を失活させることを特徴とする有機EL素子の
表示パターン形成方法。3. At least one organic layer forming an organic EL film is formed on a transparent substrate, and then a high temperature mask is brought into contact with a predetermined portion of the organic layer so that the function of the organic layer in the portion is lost. The method for forming a display pattern of an organic EL element is characterized by deactivating the light emission of the part in the organic EL film.
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