JP3493682B2 - 鏡筒支持装置及び露光装置 - Google Patents
鏡筒支持装置及び露光装置Info
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- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/708—Construction of apparatus, e.g. environment aspects, hygiene aspects or materials
- G03F7/70808—Construction details, e.g. housing, load-lock, seals or windows for passing light in or out of apparatus
- G03F7/70833—Mounting of optical systems, e.g. mounting of illumination system, projection system or stage systems on base-plate or ground
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- G—PHYSICS
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- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B7/00—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
- G02B7/02—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for lenses
- G02B7/028—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for lenses with means for compensating for changes in temperature or for controlling the temperature; thermal stabilisation
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- Toxicology (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Lens Barrels (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体素子製造用の露
光装置等に用いられる投影光学系の鏡筒支持装置に関す
る。
光装置等に用いられる投影光学系の鏡筒支持装置に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】従来のこの種の装置を図４に示す。図４
に示す様に、鏡筒４０は不図示の投影光学系を備えてい
る。さらに、鏡筒４０には、投影光学系の光軸４１と略
直交し、かつ鏡筒４０の略中央部から突出したフランジ
部４４が形成されている。鏡筒支持台４２は、鏡筒４０
が緩挿される貫通孔４５を備えている。
に示す様に、鏡筒４０は不図示の投影光学系を備えてい
る。さらに、鏡筒４０には、投影光学系の光軸４１と略
直交し、かつ鏡筒４０の略中央部から突出したフランジ
部４４が形成されている。鏡筒支持台４２は、鏡筒４０
が緩挿される貫通孔４５を備えている。
【０００３】鏡筒４０は、鏡筒４０のフランジ部４４を
鏡筒支持台４２の載置部４２ａに載置し、フランジ部４
４と鏡筒支持台４２とをボルトで締め付ける鏡筒支持台
４２に取り付けられていた。
鏡筒支持台４２の載置部４２ａに載置し、フランジ部４
４と鏡筒支持台４２とをボルトで締め付ける鏡筒支持台
４２に取り付けられていた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上記の如き従来の技術
において、通常、鏡筒は、環境温度が一定温度に制御さ
れているなかで鏡筒支持台に取り付けられる。しかしな
がら、鏡筒と鏡筒支持台とが異なる材質で形成されてい
る為に、環境温度が変化した場合、鏡筒及び鏡筒支持台
がそれぞれの材質の線膨張係数の差だけ異なる伸縮をす
る。
において、通常、鏡筒は、環境温度が一定温度に制御さ
れているなかで鏡筒支持台に取り付けられる。しかしな
がら、鏡筒と鏡筒支持台とが異なる材質で形成されてい
る為に、環境温度が変化した場合、鏡筒及び鏡筒支持台
がそれぞれの材質の線膨張係数の差だけ異なる伸縮をす
る。
【０００５】従って、従来の技術の如く、鏡筒を鏡筒支
持台に直接的にボルトで締め付けて取り付けた場合、環
境温度が変化するとボルトの締め付けにより鏡筒に内部
応力が発生し、この内部応力により、鏡筒内部に備えら
れている投影光学系等の光学部品の光学性能が悪化して
しまうという問題点があった。ここでいう光学性能の悪
化は、上記内部応力により生じる、鏡筒内部の光学部品
の光軸のずれ、又は屈折率の変化等が原因となり悪化す
ることである。
持台に直接的にボルトで締め付けて取り付けた場合、環
境温度が変化するとボルトの締め付けにより鏡筒に内部
応力が発生し、この内部応力により、鏡筒内部に備えら
れている投影光学系等の光学部品の光学性能が悪化して
しまうという問題点があった。ここでいう光学性能の悪
化は、上記内部応力により生じる、鏡筒内部の光学部品
の光軸のずれ、又は屈折率の変化等が原因となり悪化す
ることである。
【０００６】そこで本発明は、この様な従来の問題点に
鑑みてなされたもので、環境温度が変化しても、鏡筒が
備える投影光学系の光学性能に影響を及ぼさず、かつ鏡
筒を安定した状態で支持できる鏡筒支持装置を得ること
を目的とする。
鑑みてなされたもので、環境温度が変化しても、鏡筒が
備える投影光学系の光学性能に影響を及ぼさず、かつ鏡
筒を安定した状態で支持できる鏡筒支持装置を得ること
を目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】請求項１に記載の本発明
では、光軸と略直交する方向に形成されたフランジ部を
有する鏡筒と、前記鏡筒を前記フランジ部を介して支持
する鏡筒支持台と、前記フランジ部と前記鏡筒支持台と
を取り付ける支持手段とを有する鏡筒支持装置におい
て、前記支持手段は、少なくとも３つの棒状の支持部材
を有し、前記支持部材は、一端部が前記フランジ部に固
定されると共に、他端部が前記鏡筒支持台に固定され、
温度変化によって生じる前記鏡筒と前記鏡筒支持台との
変形差を吸収するために前記光軸と略直交する方向に変
位可能であることとした。
では、光軸と略直交する方向に形成されたフランジ部を
有する鏡筒と、前記鏡筒を前記フランジ部を介して支持
する鏡筒支持台と、前記フランジ部と前記鏡筒支持台と
を取り付ける支持手段とを有する鏡筒支持装置におい
て、前記支持手段は、少なくとも３つの棒状の支持部材
を有し、前記支持部材は、一端部が前記フランジ部に固
定されると共に、他端部が前記鏡筒支持台に固定され、
温度変化によって生じる前記鏡筒と前記鏡筒支持台との
変形差を吸収するために前記光軸と略直交する方向に変
位可能であることとした。
【０００８】 請求項４に記載の本発明では、光軸と略
直交する方向に形成されたフランジ部を有する鏡筒と、
前記鏡筒を前記フランジ部を介して支持する鏡筒支持台
と、前記フランジ部と前記鏡筒支持台とを取り付ける支
持手段とを有する鏡筒支持装置において、前記支持手段
は、少なくとも３つの棒状の支持部材を有し、前記支持
部材は、該支持部材の両端部が前記鏡筒支持台に固定さ
れると共に、前記支持部材の中央部が前記フランジ部に
固定され、温度変化によって生じる前記鏡筒と前記鏡筒
支持台との変形差を吸収するために、前記光軸と略直交
する方向に変位可能であることとした。また、請求項８
に記載の本発明では、光軸と略直交する方向に形成され
たフランジ部を有する鏡筒と、前記鏡筒を前記フランジ
部を介して支持する鏡筒支持台と、前記フランジ部と前
記鏡筒支持台とを取り付ける支持手段とを有する鏡筒支
持装置において、前記フランジ部は、前記光軸の方向と
略平行な方向に形成された貫通孔を有し、前記支持手段
は、前記貫通孔の径より小さい径を有し、かつ前記貫通
孔に挿入され、一端が前記鏡筒支持台に固定されるボル
トと、該ボルトの他端を前記フランジ部に固定するブロ
ックとを備え、前記ボルトは、前記光軸と略直交する方
向に変位することによって、温度変化によって生じる前
記鏡筒と前記鏡筒支持台との変形差を吸収することとし
た。
直交する方向に形成されたフランジ部を有する鏡筒と、
前記鏡筒を前記フランジ部を介して支持する鏡筒支持台
と、前記フランジ部と前記鏡筒支持台とを取り付ける支
持手段とを有する鏡筒支持装置において、前記支持手段
は、少なくとも３つの棒状の支持部材を有し、前記支持
部材は、該支持部材の両端部が前記鏡筒支持台に固定さ
れると共に、前記支持部材の中央部が前記フランジ部に
固定され、温度変化によって生じる前記鏡筒と前記鏡筒
支持台との変形差を吸収するために、前記光軸と略直交
する方向に変位可能であることとした。また、請求項８
に記載の本発明では、光軸と略直交する方向に形成され
たフランジ部を有する鏡筒と、前記鏡筒を前記フランジ
部を介して支持する鏡筒支持台と、前記フランジ部と前
記鏡筒支持台とを取り付ける支持手段とを有する鏡筒支
持装置において、前記フランジ部は、前記光軸の方向と
略平行な方向に形成された貫通孔を有し、前記支持手段
は、前記貫通孔の径より小さい径を有し、かつ前記貫通
孔に挿入され、一端が前記鏡筒支持台に固定されるボル
トと、該ボルトの他端を前記フランジ部に固定するブロ
ックとを備え、前記ボルトは、前記光軸と略直交する方
向に変位することによって、温度変化によって生じる前
記鏡筒と前記鏡筒支持台との変形差を吸収することとし
た。
【０００９】
【作用】本発明において、鏡筒は、支持手段を介して鏡
筒支持台に取り付けられるので、環境温度の変化により
生じる鏡筒と鏡筒支持台との変形差は支持手段がたわむ
ことにより吸収される。
筒支持台に取り付けられるので、環境温度の変化により
生じる鏡筒と鏡筒支持台との変形差は支持手段がたわむ
ことにより吸収される。
【００１０】
【実施例】図１（ａ）は本実施例を示す平面図であり、
図１（ｂ）は図１（ａ）のＡＡ矢視断面図である。図１
（ａ）に示す様に、鏡筒１は不図示の投影光学系を備え
ており、さらに、投影光学系の光軸７と略直交し、かつ
鏡筒１の略中央部から突出したフランジ部６が形成され
ている。
図１（ｂ）は図１（ａ）のＡＡ矢視断面図である。図１
（ａ）に示す様に、鏡筒１は不図示の投影光学系を備え
ており、さらに、投影光学系の光軸７と略直交し、かつ
鏡筒１の略中央部から突出したフランジ部６が形成され
ている。
【００１１】鏡筒支持台２は、断面Ｕ字形状のＵ部９が
形成されており、そのＵ部９の径の大きさは鏡筒１のフ
ランジ部６が緩挿する程度である。さらに、鏡筒支持台
２の底面には、鏡筒１が緩挿する貫通孔８が形成されて
いる。本発明における鏡筒１と鏡筒支持台２とは、それ
ぞれ異なる材質により構成されている。
形成されており、そのＵ部９の径の大きさは鏡筒１のフ
ランジ部６が緩挿する程度である。さらに、鏡筒支持台
２の底面には、鏡筒１が緩挿する貫通孔８が形成されて
いる。本発明における鏡筒１と鏡筒支持台２とは、それ
ぞれ異なる材質により構成されている。
【００１２】鏡筒１を鏡筒支持台２に取り付ける為の支
持手段について説明する。支持手段は、スタッドボルト
４と、支持部材５とから構成される。スタッドボルト４
（本実施例では４本使用）は、図１（ｂ）に示す様に、
その一端が鏡筒支持台２の内部底面２ｂに同一円周上で
かつ同間隔に配置され、外部底面２ａからボルト３によ
り取り付けられている。
持手段について説明する。支持手段は、スタッドボルト
４と、支持部材５とから構成される。スタッドボルト４
（本実施例では４本使用）は、図１（ｂ）に示す様に、
その一端が鏡筒支持台２の内部底面２ｂに同一円周上で
かつ同間隔に配置され、外部底面２ａからボルト３によ
り取り付けられている。
【００１３】そして、鏡筒１のフランジ部６に各スタッ
ドボルト４の他端を螺合させることにより、鏡筒１を鏡
筒支持台２に固定している。支持部材５は、図１（ａ）
に示す様に、４本の棒材の組み合わせからなる４角形状
の枠になっており、その棒材のそれぞれの両端部が鏡筒
支持台２に固定されると共に、棒材の中央部が鏡筒１の
フランジ部６に固定されている。図１では、棒材の両端
を他の棒材の端部と重ねて多角形状の枠を形成している
が、重ねずに棒材の長手方向の延長線上で正多角形状が
形成できればよい。
ドボルト４の他端を螺合させることにより、鏡筒１を鏡
筒支持台２に固定している。支持部材５は、図１（ａ）
に示す様に、４本の棒材の組み合わせからなる４角形状
の枠になっており、その棒材のそれぞれの両端部が鏡筒
支持台２に固定されると共に、棒材の中央部が鏡筒１の
フランジ部６に固定されている。図１では、棒材の両端
を他の棒材の端部と重ねて多角形状の枠を形成している
が、重ねずに棒材の長手方向の延長線上で正多角形状が
形成できればよい。
【００１４】この様に構成された第１実施例の支持手段
は、スタッドボルト４及び支持部材５の剛性特性を利用
したものであり、即ち、スタッドボルト４及び支持部材
５の棒材の長手方向に対し、平行方向にかかる荷重に対
する剛性は強く、また、垂直方向にかかる荷重に対する
剛性は弱いという剛性特性を利用している。従って、鏡
筒１は、スタッドボルト４の剛性特性により、Ｚ方向へ
の変位が抑制され、ＸＹ方向への変位は比較的自由にた
わみ、また、支持部材５の剛性特性により、Ｚ方向への
変位及びフランジ部６の半径方向への変位は比較的自由
にたわみ、フランジ部６の周方向への変位が抑制され
る。
は、スタッドボルト４及び支持部材５の剛性特性を利用
したものであり、即ち、スタッドボルト４及び支持部材
５の棒材の長手方向に対し、平行方向にかかる荷重に対
する剛性は強く、また、垂直方向にかかる荷重に対する
剛性は弱いという剛性特性を利用している。従って、鏡
筒１は、スタッドボルト４の剛性特性により、Ｚ方向へ
の変位が抑制され、ＸＹ方向への変位は比較的自由にた
わみ、また、支持部材５の剛性特性により、Ｚ方向への
変位及びフランジ部６の半径方向への変位は比較的自由
にたわみ、フランジ部６の周方向への変位が抑制され
る。
【００１５】このように構成された第１実施例におい
て、鏡筒１及び鏡筒支持台２とに環境温度の変化が生じ
た場合、鏡筒１及び鏡筒支持台２は、それぞれの材質の
線膨張係数に応じた伸縮をする。しかしながら、鏡筒１
は、鏡筒支持台２に支持手段４、５を介して取り付けら
れている為、鏡筒１に内部応力が生じることがない。
て、鏡筒１及び鏡筒支持台２とに環境温度の変化が生じ
た場合、鏡筒１及び鏡筒支持台２は、それぞれの材質の
線膨張係数に応じた伸縮をする。しかしながら、鏡筒１
は、鏡筒支持台２に支持手段４、５を介して取り付けら
れている為、鏡筒１に内部応力が生じることがない。
【００１６】即ち、支持手段４、５は、環境温度の変化
により生じる鏡筒１と鏡筒支持台２との伸縮差を図１
（ａ）の半径方向（ａ方向及びｂ方向）に変位し、言い
換えればたわむことにより、伸縮差を吸収して、鏡筒１
に伸縮差の影響が及ばない様に鏡筒１を支持する構成に
なっている。従って、支持手段４、５、特に枠を構成す
る支持部材５の条件は、環境温度の影響により伸縮する
鏡筒１及び鏡筒支持台２の半径方向の剛性より、支持部
材５の剛性が弱いことが必要である。また、支持部材５
の線膨張係数は、鏡筒支持台２の線膨張係数と略同一で
あればよい。
により生じる鏡筒１と鏡筒支持台２との伸縮差を図１
（ａ）の半径方向（ａ方向及びｂ方向）に変位し、言い
換えればたわむことにより、伸縮差を吸収して、鏡筒１
に伸縮差の影響が及ばない様に鏡筒１を支持する構成に
なっている。従って、支持手段４、５、特に枠を構成す
る支持部材５の条件は、環境温度の影響により伸縮する
鏡筒１及び鏡筒支持台２の半径方向の剛性より、支持部
材５の剛性が弱いことが必要である。また、支持部材５
の線膨張係数は、鏡筒支持台２の線膨張係数と略同一で
あればよい。
【００１７】第１実施例において、環境温度の変化によ
り生じる鏡筒１と鏡筒支持台２との伸縮差は、支持手段
のスタッドボルト４及び支持部材５の剛性特性により生
じるたわみを利用することにより吸収されるので、鏡筒
１、鏡筒支持台２及び支持手段の間には摩擦力の影響を
受けることがない。従って、支持部材５の変位後の弾性
力による鏡筒１のセンタリングにおいても、鏡筒１の光
軸と、不図示の装置本体のレチクルの中心との間に生じ
るばらつきは実質的にない。
り生じる鏡筒１と鏡筒支持台２との伸縮差は、支持手段
のスタッドボルト４及び支持部材５の剛性特性により生
じるたわみを利用することにより吸収されるので、鏡筒
１、鏡筒支持台２及び支持手段の間には摩擦力の影響を
受けることがない。従って、支持部材５の変位後の弾性
力による鏡筒１のセンタリングにおいても、鏡筒１の光
軸と、不図示の装置本体のレチクルの中心との間に生じ
るばらつきは実質的にない。
【００１８】尚、本実施例では、スタッドボルト４を４
本使用しているが、スタッドボルトの本数は多い程、鏡
筒１を支持する荷重は分散するので、それによる鏡筒１
自身のたわみも分散する。図２（ａ）は第２実施例を示
す平面図であり、図２（ｂ）は図２（ａ）のＢＢ矢視断
面図である。図２（ｂ）に示す様に、第２実施例は、第
１実施例の支持手段のスタッドボルトを省略した実施例
である。
本使用しているが、スタッドボルトの本数は多い程、鏡
筒１を支持する荷重は分散するので、それによる鏡筒１
自身のたわみも分散する。図２（ａ）は第２実施例を示
す平面図であり、図２（ｂ）は図２（ａ）のＢＢ矢視断
面図である。図２（ｂ）に示す様に、第２実施例は、第
１実施例の支持手段のスタッドボルトを省略した実施例
である。
【００１９】尚、第２実施例では、第１実施例と同様の
構成部分については同じ符号を使用し、説明を省略す
る。鏡筒支持台１０には、鏡筒１が緩挿する貫通孔１２
と、貫通孔１２と同心でフランジ部６の外径より大きい
載置部１３とが形成されている。この載置部１３の深さ
は、載置部１３にフランジ部６が載置された時、鏡筒支
持台１０の上面と、フランジ部６の高さが略同一になる
程度でよい。
構成部分については同じ符号を使用し、説明を省略す
る。鏡筒支持台１０には、鏡筒１が緩挿する貫通孔１２
と、貫通孔１２と同心でフランジ部６の外径より大きい
載置部１３とが形成されている。この載置部１３の深さ
は、載置部１３にフランジ部６が載置された時、鏡筒支
持台１０の上面と、フランジ部６の高さが略同一になる
程度でよい。
【００２０】この様に構成された鏡筒支持台１０に、鏡
筒１のフランジ部６が鏡筒支持台１０の載置部１３に載
置されるまで鏡筒１を鏡筒支持台１０に挿入する。そし
て、載置部１３にフランジ部６を載置した後、鏡筒１を
支持手段により鏡筒支持台１０に取り付ける。尚、第２
実施例の支持手段は、第１実施例の支持部材５と同様の
構成であり、Ｚ方向への変位及びフランジ部６の半径方
向への変位は比較的自由にたわみ、フランジ部６の周方
向への変位が抑制されるという剛性特性がある。
筒１のフランジ部６が鏡筒支持台１０の載置部１３に載
置されるまで鏡筒１を鏡筒支持台１０に挿入する。そし
て、載置部１３にフランジ部６を載置した後、鏡筒１を
支持手段により鏡筒支持台１０に取り付ける。尚、第２
実施例の支持手段は、第１実施例の支持部材５と同様の
構成であり、Ｚ方向への変位及びフランジ部６の半径方
向への変位は比較的自由にたわみ、フランジ部６の周方
向への変位が抑制されるという剛性特性がある。
【００２１】上記の様な支持部材５により、鏡筒１と鏡
筒支持台１０とを取り付けた場合、環境温度の変化によ
り生じる鏡筒１と鏡筒支持台１０との伸縮差は、図２
（ａ）の半径方向（ａ方向及びｂ方向）にたわむことに
より吸収されることになる。しかしながら、鏡筒１と鏡
筒支持台１０との間には摩擦力の影響があるので、支持
手段が鏡筒１を鏡筒支持台１０に対して移動させる時の
抵抗力となる。
筒支持台１０とを取り付けた場合、環境温度の変化によ
り生じる鏡筒１と鏡筒支持台１０との伸縮差は、図２
（ａ）の半径方向（ａ方向及びｂ方向）にたわむことに
より吸収されることになる。しかしながら、鏡筒１と鏡
筒支持台１０との間には摩擦力の影響があるので、支持
手段が鏡筒１を鏡筒支持台１０に対して移動させる時の
抵抗力となる。
【００２２】その抵抗力は、支持手段が鏡筒１をセンタ
リングする時の影響となる。即ち、鏡筒１の光軸と、不
図示の露光装置本体のレチクルの中心との間にばらつき
が生じる。しかし、そのばらつきは、露光装置仕様の許
容値内であれば問題がない。従って、第２実施例では、
ばらつきが露光装置仕様の許容値内であれば、構造が簡
易化できるという利点がある。
リングする時の影響となる。即ち、鏡筒１の光軸と、不
図示の露光装置本体のレチクルの中心との間にばらつき
が生じる。しかし、そのばらつきは、露光装置仕様の許
容値内であれば問題がない。従って、第２実施例では、
ばらつきが露光装置仕様の許容値内であれば、構造が簡
易化できるという利点がある。
【００２３】第１実施例及び第２実施例では、棒材の両
端を鏡筒支持台に固定し、棒材との中央部をフランジ部
に係合する様にしたが、棒材の一端を鏡筒支持台に固定
し、他方をフランジ部に固定する構成にしてもよい。さ
らに、第１実施例及び第２実施例における支持部材は、
４本の棒材からなる４角形の枠であるが、３本の棒材か
らなる３角形の枠であってもよく、５本以上の棒材から
なる正多角形の枠であってもよい。
端を鏡筒支持台に固定し、棒材との中央部をフランジ部
に係合する様にしたが、棒材の一端を鏡筒支持台に固定
し、他方をフランジ部に固定する構成にしてもよい。さ
らに、第１実施例及び第２実施例における支持部材は、
４本の棒材からなる４角形の枠であるが、３本の棒材か
らなる３角形の枠であってもよく、５本以上の棒材から
なる正多角形の枠であってもよい。
【００２４】図３（ａ）は本実施例を示す平面図であ
り、図３（ｂ）は図３（ａ）のＣＣ矢視断面図である。
図３（ａ）、（ｂ）の鏡筒１５は、第１、第２実施例と
同様に不図示の投影光学系を備えている。また、投影光
学系の光軸１６と略直交し、かつ鏡筒１５の略中央部か
ら突出したフランジ部１７が形成されている。鏡筒１５
に形成されたフランジ部１７は、鏡筒１５の光軸方向と
略平行方向で、略同一円周上に、かつ略同一間隔に形成
された４個の貫通孔２１を備えている。
り、図３（ｂ）は図３（ａ）のＣＣ矢視断面図である。
図３（ａ）、（ｂ）の鏡筒１５は、第１、第２実施例と
同様に不図示の投影光学系を備えている。また、投影光
学系の光軸１６と略直交し、かつ鏡筒１５の略中央部か
ら突出したフランジ部１７が形成されている。鏡筒１５
に形成されたフランジ部１７は、鏡筒１５の光軸方向と
略平行方向で、略同一円周上に、かつ略同一間隔に形成
された４個の貫通孔２１を備えている。
【００２５】さらに、フランジ部１７には、それぞれの
貫通孔２１の近傍に割付きブロック１９がネジ２２によ
り固定されている。割付きブロック１９は、フランジ部
６に固定されるブロック本体１９ａと、ブロック本体１
９ａに対し、可動する可動部１９ｂと、可動部１９ｂの
可動及び締めつけを行う押さえネジ１９ｃとから構成さ
れる。
貫通孔２１の近傍に割付きブロック１９がネジ２２によ
り固定されている。割付きブロック１９は、フランジ部
６に固定されるブロック本体１９ａと、ブロック本体１
９ａに対し、可動する可動部１９ｂと、可動部１９ｂの
可動及び締めつけを行う押さえネジ１９ｃとから構成さ
れる。
【００２６】鏡筒支持台１８には、鏡筒１５が緩挿する
貫通孔２３が形成されている。そして、鏡筒１５は、鏡
筒１５のフランジ部１７が鏡筒支持台１８上に載置され
るまで挿入される。鏡筒１５を鏡筒支持台１８に取り付
ける為の支持手段について説明する。支持手段は、４個
の割付きブロック１９と４本のボルト２０とから構成さ
れる。
貫通孔２３が形成されている。そして、鏡筒１５は、鏡
筒１５のフランジ部１７が鏡筒支持台１８上に載置され
るまで挿入される。鏡筒１５を鏡筒支持台１８に取り付
ける為の支持手段について説明する。支持手段は、４個
の割付きブロック１９と４本のボルト２０とから構成さ
れる。
【００２７】それぞれのボルト２０は、フランジの貫通
孔２１の径の大きさより小さい径を有している。そし
て、ボルト２０は、鏡筒１５のフランジ部１７の貫通孔
２１に嵌入され、そのボルト２０の一端を鏡筒支持台１
８に固定する（本実施例では、鏡筒支持台１８に雌ねじ
が切られており、この雌ねじにボルト２０の雄ねじを螺
合させている。）。従って、貫通孔２１とボルト２０と
の間には、隙間が形成される。
孔２１の径の大きさより小さい径を有している。そし
て、ボルト２０は、鏡筒１５のフランジ部１７の貫通孔
２１に嵌入され、そのボルト２０の一端を鏡筒支持台１
８に固定する（本実施例では、鏡筒支持台１８に雌ねじ
が切られており、この雌ねじにボルト２０の雄ねじを螺
合させている。）。従って、貫通孔２１とボルト２０と
の間には、隙間が形成される。
【００２８】ボルト２０の他端は、割付きブロック１９
のブロック本体１９ａと、可動部１９ｂとの間に配置さ
れるように位置調整され、押さえネジ１９ｃ、２２によ
り締め付けられて、フランジ部１７に固定された割付き
ブロック１９に固定される。この様に構成された第３実
施例の支持手段は、ボルト２０の剛性特性を利用してお
り、その剛性特性は、ボルト２０の長手方向に対し、平
行方向にかかる荷重に対する剛性は強く、垂直方向にか
かる荷重に対する剛性に弱いという特性である。
のブロック本体１９ａと、可動部１９ｂとの間に配置さ
れるように位置調整され、押さえネジ１９ｃ、２２によ
り締め付けられて、フランジ部１７に固定された割付き
ブロック１９に固定される。この様に構成された第３実
施例の支持手段は、ボルト２０の剛性特性を利用してお
り、その剛性特性は、ボルト２０の長手方向に対し、平
行方向にかかる荷重に対する剛性は強く、垂直方向にか
かる荷重に対する剛性に弱いという特性である。
【００２９】従って、鏡筒１５は、ボルト２０の剛性特
性により、Ｚ方向への変位が抑制され、ＸＹ方向（フラ
ンジ部１７の周方向及び半径方向を含む）への変位は比
較的自由になる。この様に構成された第３実施例の鏡筒
支持装置で、鏡筒１５と鏡筒支持台１８とに環境温度の
変化が生じた場合、鏡筒１５及び鏡筒支持台１８は、そ
れぞれの材質の線膨張係数に応じた伸縮をする。
性により、Ｚ方向への変位が抑制され、ＸＹ方向（フラ
ンジ部１７の周方向及び半径方向を含む）への変位は比
較的自由になる。この様に構成された第３実施例の鏡筒
支持装置で、鏡筒１５と鏡筒支持台１８とに環境温度の
変化が生じた場合、鏡筒１５及び鏡筒支持台１８は、そ
れぞれの材質の線膨張係数に応じた伸縮をする。
【００３０】しかしながら、鏡筒１５と鏡筒支持台１８
との間の伸縮差は、ボルト２０により吸収される。即
ち、ボルト２０は、図３（ａ）の半径方向（ａ方向及び
ｂ方向）に平行バネのように変位することにより、鏡筒
１５と鏡筒支持台１８との間の伸縮差を吸収する構成に
なっている。
との間の伸縮差は、ボルト２０により吸収される。即
ち、ボルト２０は、図３（ａ）の半径方向（ａ方向及び
ｂ方向）に平行バネのように変位することにより、鏡筒
１５と鏡筒支持台１８との間の伸縮差を吸収する構成に
なっている。
【００３１】尚、ボルト２０には、鏡筒１５と鏡筒支持
台１８との間に生じる変形差を吸収できる程度の柔らか
さと、鏡筒１５をセンタリングできる程度の弾性力とが
必要になる。第３実施例には、鏡筒１５のフランジ部１
７と鏡筒支持台１８との間に摩擦力があり、この摩擦力
が鏡筒１５のセンタリング時の抵抗となり、鏡筒１５の
光軸と露光装置のレチクルの中心とにばらつきを生じる
ことがある。
台１８との間に生じる変形差を吸収できる程度の柔らか
さと、鏡筒１５をセンタリングできる程度の弾性力とが
必要になる。第３実施例には、鏡筒１５のフランジ部１
７と鏡筒支持台１８との間に摩擦力があり、この摩擦力
が鏡筒１５のセンタリング時の抵抗となり、鏡筒１５の
光軸と露光装置のレチクルの中心とにばらつきを生じる
ことがある。
【００３２】しかしながら、そのばらつきが露光装置仕
様の許容値内であれば問題はない。尚、第３実施例で
は、４本のボルト２０と４個の割付きブロック１９を備
えた構成であるが、３本以上のボルト２０と、そのボル
ト２０と同数の割付きブロック１９であってもよい。本
発明の各実施例では、環境温度の変化があっても鏡筒に
応力が発生することがないので、鏡筒の光学性能を維持
することができる。
様の許容値内であれば問題はない。尚、第３実施例で
は、４本のボルト２０と４個の割付きブロック１９を備
えた構成であるが、３本以上のボルト２０と、そのボル
ト２０と同数の割付きブロック１９であってもよい。本
発明の各実施例では、環境温度の変化があっても鏡筒に
応力が発生することがないので、鏡筒の光学性能を維持
することができる。
【００３３】また、環境温度の変化に対し、寛容である
から、露光装置の製造、輸送、保存、稼働等において使
用温度の選択肢を増やすことができる。
から、露光装置の製造、輸送、保存、稼働等において使
用温度の選択肢を増やすことができる。
【００３４】
【発明の効果】以上の様に本発明によれば、温度の変化
により生じる鏡筒と鏡筒支持台との変形差を支持手段が
吸収するので、鏡筒に応力がかからないように支持で
き、鏡筒の光学性能に影響を及ぼすことがなくなる。
により生じる鏡筒と鏡筒支持台との変形差を支持手段が
吸収するので、鏡筒に応力がかからないように支持で
き、鏡筒の光学性能に影響を及ぼすことがなくなる。
【図１】本発明による第１実施例を示す図である。
【図２】本発明による第２実施例を示す図である。
【図３】本発明による第３実施例を示す図である。
【図４】従来の鏡筒支持装置を示す図である。
１、１５ 鏡筒
２、１０、１８ 鏡筒支持台
４ スタッドボルト
５ 棒部材
１９ 割付きブロック
２０ ボルト
Claims (10)
- 【請求項１】光軸と略直交する方向に形成されたフラン
ジ部を有する鏡筒と、前記鏡筒を前記フランジ部を介し
て支持する鏡筒支持台と、前記フランジ部と前記鏡筒支
持台とを取り付ける支持手段とを有する鏡筒支持装置に
おいて、 前記支持手段は、少なくとも３つの棒状の支持部材を有
し、 前記支持部材は、一端部が前記フランジ部に固定される
と共に、他端部が前記鏡筒支持台に固定され、温度変化
によって生じる前記鏡筒と前記鏡筒支持台との変形差を
吸収するために前記光軸と略直交する方向に変位可能で
あることを特徴とする鏡筒支持装置。 - 【請求項２】前記支持部材は、前記フランジ部の周方向
への変位を抑制することを特徴とする請求項１に記載の
鏡筒支持装置。 - 【請求項３】前記支持部材は、前記光軸方向に変位可能
であることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の
鏡筒支持装置。 - 【請求項４】光軸と略直交する方向に形成されたフラン
ジ部を有する鏡筒と、前記鏡筒を前記フランジ部を介し
て支持する鏡筒支持台と、前記フランジ部と前記鏡筒支
持台とを取り付ける支持手段とを有する鏡筒支持装置に
おいて、 前記支持手段は、少なくとも３つの棒状の支持部材を有
し、 前記支持部材は、該支持部材の両端部が前記鏡筒支持台
に固定されると共に、前記支持部材の中央部が前記フラ
ンジ部に固定され、 温度変化によって生じる前記鏡筒と
前記鏡筒支持台との変形差を吸収するために前記光軸と
略直交する方向に変位可能であることを特徴とする鏡筒
支持装置。 - 【請求項５】前記支持部材は、前記フランジ部の周方向
への変位を抑制することを特徴とする請求項４に記載の
鏡筒支持装置。 - 【請求項６】前記支持部材は、前記光軸方向に変位可能
であることを特徴とする請求項４又は請求項５に記載の
鏡筒支持装置。 - 【請求項７】前記支持部材の線膨張係数は、前記鏡筒支
持台の線膨張係数と略同一であることを特徴とする請求
項１から請求項６のいずれか一項に記載の鏡筒支持装
置。 - 【請求項８】光軸と略直交する方向に形成されたフラン
ジ部を有する鏡筒と、前記鏡筒を前記フランジ部を介し
て支持する鏡筒支持台と、前記フランジ部と前記鏡筒支
持台とを取り付ける支持手段とを有する鏡筒支持装置に
おいて、 前記フランジ部は、前記光軸の方向と略平行な方向に形
成された貫通孔を有し、 前記支持手段は、前記貫通孔の径より小さい径を有し、
かつ前記貫通孔に挿入され、一端が前記鏡筒支持台に固
定されるボルトと、該ボルトの他端を前記フランジ部に
固定するブロックとを備え、前記ボルトは、前記光軸と
略直交する方向に変位することによって、温度変化によ
って生じる前記鏡筒と前記鏡筒支持台との変形差を吸収
することを特徴とする鏡筒支持装置。 - 【請求項９】前記ボルトは、前記光軸方向への変位を抑
制することを特徴とする請求項８に記載の鏡筒支持装
置。 - 【請求項１０】請求項１から請求項９のいずれかに記載
の鏡筒支持装置を備える露光装置。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP08727093A JP3493682B2 (ja) | 1993-04-14 | 1993-04-14 | 鏡筒支持装置及び露光装置 |
| EP94302455A EP0620464A3 (en) | 1993-04-14 | 1994-04-07 | Support for lens tube. |
| US08/225,963 US5576895A (en) | 1993-04-14 | 1994-04-08 | Apparatus for holding a lens barrel for providing accurate lens adjustment regardless of environmental conditions |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP08727093A JP3493682B2 (ja) | 1993-04-14 | 1993-04-14 | 鏡筒支持装置及び露光装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06300955A JPH06300955A (ja) | 1994-10-28 |
| JP3493682B2 true JP3493682B2 (ja) | 2004-02-03 |
Family
ID=13910079
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP08727093A Expired - Fee Related JP3493682B2 (ja) | 1993-04-14 | 1993-04-14 | 鏡筒支持装置及び露光装置 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5576895A (ja) |
| EP (1) | EP0620464A3 (ja) |
| JP (1) | JP3493682B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101860406B1 (ko) * | 2013-12-31 | 2018-05-23 | 상하이 마이크로 일렉트로닉스 이큅먼트(그룹) 컴퍼니 리미티드 | 대물 렌즈 지지 장치 및 포토 에칭 기기 |
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| US6122009A (en) * | 1995-05-31 | 2000-09-19 | Sony Corporation | Image pickup apparatus fabrication method thereof image pickup adaptor apparatus signal processing apparatus signal processing method thereof information processing apparatus and information processing method |
| JPH09102454A (ja) * | 1995-10-03 | 1997-04-15 | Nikon Corp | 投影露光装置 |
| US6011577A (en) * | 1997-06-30 | 2000-01-04 | Polaroid Corporation | Modular optical print head assembly |
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| US6449106B1 (en) | 2000-08-10 | 2002-09-10 | Nikon Corporation | Catadioptric lens barrel structure having a support structure to maintain alignment of a plurality of sub-barrels |
| US6473245B1 (en) | 2000-08-10 | 2002-10-29 | Nikon Corporation | Catadioptric lens barrel structure having a plurality of support platforms and method of making the same |
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| US6600612B2 (en) | 2001-05-15 | 2003-07-29 | 3M Innovative Properties Company | Lens system having resilient members to axially position optics |
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| EP1310829B1 (en) * | 2001-11-07 | 2007-05-02 | ASML Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
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| CN101441303B (zh) * | 2007-11-19 | 2010-12-08 | 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 | 镜头模组组装装置 |
| DE102009024870A1 (de) | 2008-06-10 | 2009-12-31 | Carl Zeiss Smt Ag | Optische Einrichtung mit einstellbarer Kraftwirkung auf ein optisches Modul |
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-
1993
- 1993-04-14 JP JP08727093A patent/JP3493682B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1994
- 1994-04-07 EP EP94302455A patent/EP0620464A3/en not_active Withdrawn
- 1994-04-08 US US08/225,963 patent/US5576895A/en not_active Expired - Lifetime
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP0620464A3 (en) | 1995-02-22 |
| JPH06300955A (ja) | 1994-10-28 |
| EP0620464A2 (en) | 1994-10-19 |
| US5576895A (en) | 1996-11-19 |
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| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |