JP3496191B2 - 圧電デバイス - Google Patents
圧電デバイスInfo
- Publication number
- JP3496191B2 JP3496191B2 JP32224094A JP32224094A JP3496191B2 JP 3496191 B2 JP3496191 B2 JP 3496191B2 JP 32224094 A JP32224094 A JP 32224094A JP 32224094 A JP32224094 A JP 32224094A JP 3496191 B2 JP3496191 B2 JP 3496191B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- axis
- piezoelectric
- single crystal
- plate
- lithium niobate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Gyroscopes (AREA)
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、圧電振動子を用いた圧
電デバイスに関し、特に圧電振動子板の上下面のいずれ
か一方にのみ電極を有し、電気的信号の取り出しを容易
にした圧電振動子、圧電トランスおよび圧電フィルタ等
の圧電デバイスに関する。
電デバイスに関し、特に圧電振動子板の上下面のいずれ
か一方にのみ電極を有し、電気的信号の取り出しを容易
にした圧電振動子、圧電トランスおよび圧電フィルタ等
の圧電デバイスに関する。
【０００２】
【従来の技術】圧電振動子を応用したデバイスとして圧
電トランス、圧電フィルタ等の圧電デバイスが知られて
おり、現在、かかる圧電デバイスに用いる振動子として
は、セラミックやニオブ酸リチウム単結晶が多く使用さ
れている。このような圧電デバイスの一般的な構造とし
ては、圧電振動子の上下面の一方に電気信号を入力する
入力電極が、また前記入力電極を有する面とは異なる他
方の上下面に電気的にアースできるアース電極が形成さ
れている。また、圧電トランスにおいては、図４及び図
５に示すように、圧電振動子から成る正方形板４１の上
下面の一方の表面にそれぞれ電気信号を入力、出力でき
る入力電極４２、出力電極４３を、また入力電極４２、
出力電極４３を有する面とは異なる他方の上下面の表面
に電気的にアースできるアース電極４４、４５が形成さ
れている。
電トランス、圧電フィルタ等の圧電デバイスが知られて
おり、現在、かかる圧電デバイスに用いる振動子として
は、セラミックやニオブ酸リチウム単結晶が多く使用さ
れている。このような圧電デバイスの一般的な構造とし
ては、圧電振動子の上下面の一方に電気信号を入力する
入力電極が、また前記入力電極を有する面とは異なる他
方の上下面に電気的にアースできるアース電極が形成さ
れている。また、圧電トランスにおいては、図４及び図
５に示すように、圧電振動子から成る正方形板４１の上
下面の一方の表面にそれぞれ電気信号を入力、出力でき
る入力電極４２、出力電極４３を、また入力電極４２、
出力電極４３を有する面とは異なる他方の上下面の表面
に電気的にアースできるアース電極４４、４５が形成さ
れている。
【０００３】また、実際の製造工程は上下面の一方の表
面に電極を形成した後、前記表面と異なる他方の表面の
電極を形成し圧電デバイスを作製する。
面に電極を形成した後、前記表面と異なる他方の表面の
電極を形成し圧電デバイスを作製する。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】一般に圧電デバイス
は、周辺機器の小型化に伴いここ数年非常に小型化が進
んでいる。従来の圧電フィルタ、圧電トランス等の圧電
デバイスは、図４及び図５に示すように、圧電振動子の
少なくとも２つの対向する表面にそれぞれ電気信号を入
力、出力、アースできる入力電極４２、出力電極４３、
アース電極４４、４５を有するために、それぞれの入力
電極４２、出力電極４３、アース電極４４、４５から電
気信号を取り出す際に、それぞれ正方形板４１の上下面
の表面から少なくとも２つのリード線等で電気信号を取
り出すために、圧電振動子の小型化が進んでも圧電デバ
イスとしての従来以上の小型化、低背化は非常に困難で
あった。また電子機器等の小型化を図る上で一般的な技
術であり、デバイスの１つの表面でのみ外部と電気的に
接合する表面実装においても、従来の圧電デバイスにお
いては、正方形板４１の上下面の表面から２つの電気信
号を取り出すリード線を引き出すために表面実装も非常
に困難であった。
は、周辺機器の小型化に伴いここ数年非常に小型化が進
んでいる。従来の圧電フィルタ、圧電トランス等の圧電
デバイスは、図４及び図５に示すように、圧電振動子の
少なくとも２つの対向する表面にそれぞれ電気信号を入
力、出力、アースできる入力電極４２、出力電極４３、
アース電極４４、４５を有するために、それぞれの入力
電極４２、出力電極４３、アース電極４４、４５から電
気信号を取り出す際に、それぞれ正方形板４１の上下面
の表面から少なくとも２つのリード線等で電気信号を取
り出すために、圧電振動子の小型化が進んでも圧電デバ
イスとしての従来以上の小型化、低背化は非常に困難で
あった。また電子機器等の小型化を図る上で一般的な技
術であり、デバイスの１つの表面でのみ外部と電気的に
接合する表面実装においても、従来の圧電デバイスにお
いては、正方形板４１の上下面の表面から２つの電気信
号を取り出すリード線を引き出すために表面実装も非常
に困難であった。
【０００５】更に、実際の製造工程では、一方の表面に
電極を形成した後に前記表面と他方の表面に同一の工程
を用いて再度電極を形成するため、１つの表面の２倍の
工程時間が必要であった。
電極を形成した後に前記表面と他方の表面に同一の工程
を用いて再度電極を形成するため、１つの表面の２倍の
工程時間が必要であった。
【０００６】このように、従来の圧電デバイスでは、圧
電振動子板の少なくとも上下面の２つの表面上の電極か
ら電気信号を取り出すためのリード線等が必要であり、
小型化やそれに伴う表面実装を行う上で致命的な構造上
の問題点があった。
電振動子板の少なくとも上下面の２つの表面上の電極か
ら電気信号を取り出すためのリード線等が必要であり、
小型化やそれに伴う表面実装を行う上で致命的な構造上
の問題点があった。
【０００７】本発明の目的は、圧電振動子板の上下面の
いずれか一方の表面からのみ電気的なすべての信号を取
り出すことを可能とし、小型化や表面実装を十分可能と
し工程時間を十分短縮できる圧電デバイスを提供するこ
とにある。
いずれか一方の表面からのみ電気的なすべての信号を取
り出すことを可能とし、小型化や表面実装を十分可能と
し工程時間を十分短縮できる圧電デバイスを提供するこ
とにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、圧電振
動子板の上下面のいずれか一方にそれぞれ電気的信号を
入力するための入力用電極と電気的にアースできるアー
ス用電極を有し、自発分極軸をＺ軸として有するニオブ
酸リチウム単結晶において、座標軸をＸ軸のまわりに１
２０〜１７０°回転した座標系（Ｘ，Ｙ′，Ｚ′）を、
さらにそのＺ′軸のまわりに−２０〜２０°回転した座
標系（Ｘ′，Ｙ″，Ｚ′）において、前記ニオブ酸リチ
ウム単結晶の板面がＸ′軸Ｚ′軸に平行になるように切
り出した圧電振動子板を用い、前記ニオブ酸リチウム単
結晶から切り出した圧電振動子板は、正方形で、四隅が
振動の節となるラーメモード振動を用いた圧電振動子を
１個または２個以上縦横に複数個並べた形であることを
特徴とする圧電デバイスが得られる。
動子板の上下面のいずれか一方にそれぞれ電気的信号を
入力するための入力用電極と電気的にアースできるアー
ス用電極を有し、自発分極軸をＺ軸として有するニオブ
酸リチウム単結晶において、座標軸をＸ軸のまわりに１
２０〜１７０°回転した座標系（Ｘ，Ｙ′，Ｚ′）を、
さらにそのＺ′軸のまわりに−２０〜２０°回転した座
標系（Ｘ′，Ｙ″，Ｚ′）において、前記ニオブ酸リチ
ウム単結晶の板面がＸ′軸Ｚ′軸に平行になるように切
り出した圧電振動子板を用い、前記ニオブ酸リチウム単
結晶から切り出した圧電振動子板は、正方形で、四隅が
振動の節となるラーメモード振動を用いた圧電振動子を
１個または２個以上縦横に複数個並べた形であることを
特徴とする圧電デバイスが得られる。
【０００９】 また、本発明によれば、圧電振動子板の
上下面のいずれか一方にそれぞれ１つまたは複数の電気
的信号を入力するための入力用電極、電気的信号を出力
するための出力用電極と電気的にアースできるアース用
電極を有し、自発分極軸をＺ軸として有するニオブ酸リ
チウム単結晶において、座標軸をＸ軸のまわりに１２０
〜１７０°回転した座標系（Ｘ，Ｙ′，Ｚ′）を、さら
にそのＺ′軸のまわりに−２０〜２０°回転した座標系
（Ｘ′，Ｙ″，Ｚ′）において、前記ニオブ酸リチウム
単結晶の板面がＸ′軸Ｚ′軸に平行になるように切り出
した圧電振動子板を用い、前記ニオブ酸リチウム単結晶
から切り出した圧電振動子板は、正方形で、四隅が振動
の節となるラーメモード振動を用いた圧電振動子を１個
または２個以上縦横に複数個並べた形であることを特徴
とする圧電デバイスが得られる。
上下面のいずれか一方にそれぞれ１つまたは複数の電気
的信号を入力するための入力用電極、電気的信号を出力
するための出力用電極と電気的にアースできるアース用
電極を有し、自発分極軸をＺ軸として有するニオブ酸リ
チウム単結晶において、座標軸をＸ軸のまわりに１２０
〜１７０°回転した座標系（Ｘ，Ｙ′，Ｚ′）を、さら
にそのＺ′軸のまわりに−２０〜２０°回転した座標系
（Ｘ′，Ｙ″，Ｚ′）において、前記ニオブ酸リチウム
単結晶の板面がＸ′軸Ｚ′軸に平行になるように切り出
した圧電振動子板を用い、前記ニオブ酸リチウム単結晶
から切り出した圧電振動子板は、正方形で、四隅が振動
の節となるラーメモード振動を用いた圧電振動子を１個
または２個以上縦横に複数個並べた形であることを特徴
とする圧電デバイスが得られる。
【００１０】
【００１１】
【００１２】
【００１３】
【００１４】
【作用】本発明においては、圧電デバイスに用いる圧電
振動子板の上下面の一方表面のみ電気信号を取り出すた
めの複数の電極を有するため、電気信号を取り出すリー
ド線等を圧電デバイスの１つの表面にのみ容易に構成す
ることができ、より一層の小型化、低背化が可能とな
る。また、圧電デバイスの１つの表面にのみ電気的な端
子を構成できるため、容易に表面実装が可能である。
振動子板の上下面の一方表面のみ電気信号を取り出すた
めの複数の電極を有するため、電気信号を取り出すリー
ド線等を圧電デバイスの１つの表面にのみ容易に構成す
ることができ、より一層の小型化、低背化が可能とな
る。また、圧電デバイスの１つの表面にのみ電気的な端
子を構成できるため、容易に表面実装が可能である。
【００１５】
【実施例】以下、本発明の一実施例に係る圧電デバイス
として、圧電トランスの実施例について、図面を参照し
て詳細に説明する。
として、圧電トランスの実施例について、図面を参照し
て詳細に説明する。
【００１６】図１は本実施例に係る圧電トランスの構成
の一例を示す斜視図であり、図２は図１のａ−ａ′線に
おける断面図である。図１に示すように、圧電トランス
はニオブ酸リチウム単結晶から切り出した縦横比が１：
１である正方形板１１と、この正方形板１１の上下面の
一方の表面に形成した４分割電極からなる入力電極１２
ａ及び入力アース電極１２ｂと出力電極１２ｃ及び出力
アース電極１２ｄとを備えている。
の一例を示す斜視図であり、図２は図１のａ−ａ′線に
おける断面図である。図１に示すように、圧電トランス
はニオブ酸リチウム単結晶から切り出した縦横比が１：
１である正方形板１１と、この正方形板１１の上下面の
一方の表面に形成した４分割電極からなる入力電極１２
ａ及び入力アース電極１２ｂと出力電極１２ｃ及び出力
アース電極１２ｄとを備えている。
【００１７】図３は本実施例に係る上記図１の圧電トラ
ンスのパッケージの構成を示す斜視図であり、正方形板
１１上の４分割電極からなるそれぞれ入力電極１２ａ、
入力アース電極１２ｂ、出力電極１２ｃ、出力アース電
極１２ｄから電気信号を取り出すリード線３３ａ、３３
ｂ、３３ｃ、３３ｄをパッケージ３４上に形成したそれ
ぞれの外部接続用の電極端子３５ａ、３５ｂ、３５ｃ、
３５ｄに接続して構成し、表面実装にも十分に対応でき
る。
ンスのパッケージの構成を示す斜視図であり、正方形板
１１上の４分割電極からなるそれぞれ入力電極１２ａ、
入力アース電極１２ｂ、出力電極１２ｃ、出力アース電
極１２ｄから電気信号を取り出すリード線３３ａ、３３
ｂ、３３ｃ、３３ｄをパッケージ３４上に形成したそれ
ぞれの外部接続用の電極端子３５ａ、３５ｂ、３５ｃ、
３５ｄに接続して構成し、表面実装にも十分に対応でき
る。
【００１８】以下に、本実施例による圧電トランスの製
造方法の具体例を示す。市販のニオブ酸リチウム単結晶
を用いて、自発分極軸（Ｚ軸）Ｘ軸を中心に１５５°回
転し、更にＸ軸と直交するＺ′軸を中心に５°回転して
縦と横の寸法が２０×２０ｍｍで、厚さが０．５ｍｍの
正方形板１１を切り出した。この正方形板１１の１つの
表面にアルミニウムを蒸着し４分割の電極１２ａ、１２
ｂ、１２ｃ、１２ｄを形成した。次に、これらの電極１
２ａ、１２ｂ、１２ｃ、１２ｄを形成した正方形板１１
をパッケージ３４に固定し、リード線３３ａ、３３ｂ、
３３ｃ、３３ｄを介してそれぞれの外部接続用の電極端
子３５ａ、３５ｂ、３５ｃ、３５ｄを接続して圧電トラ
ンスを形成した。この圧電トランスにおける入力電圧と
出力電圧の測定結果及び昇圧比を表１に示す。この時、
負荷抵抗は１００ＭΩである。
造方法の具体例を示す。市販のニオブ酸リチウム単結晶
を用いて、自発分極軸（Ｚ軸）Ｘ軸を中心に１５５°回
転し、更にＸ軸と直交するＺ′軸を中心に５°回転して
縦と横の寸法が２０×２０ｍｍで、厚さが０．５ｍｍの
正方形板１１を切り出した。この正方形板１１の１つの
表面にアルミニウムを蒸着し４分割の電極１２ａ、１２
ｂ、１２ｃ、１２ｄを形成した。次に、これらの電極１
２ａ、１２ｂ、１２ｃ、１２ｄを形成した正方形板１１
をパッケージ３４に固定し、リード線３３ａ、３３ｂ、
３３ｃ、３３ｄを介してそれぞれの外部接続用の電極端
子３５ａ、３５ｂ、３５ｃ、３５ｄを接続して圧電トラ
ンスを形成した。この圧電トランスにおける入力電圧と
出力電圧の測定結果及び昇圧比を表１に示す。この時、
負荷抵抗は１００ＭΩである。
【００１９】
【表１】
表１に示すように、入力電圧の変化に対しても、昇圧比
は略一定であることを確認することができた。
は略一定であることを確認することができた。
【００２０】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
圧電振動子の上下面のいずれか一方表面にのみ電極を形
成したので、より一層の小型化、低背化が可能となる。
圧電振動子の上下面のいずれか一方表面にのみ電極を形
成したので、より一層の小型化、低背化が可能となる。
【００２１】また、圧電デバイスのひとつの表面にのみ
電気的な端子を構成できるため、容易に表面実装が可能
となり、製造工程を十分簡素化し、特性、信頼性に優れ
た圧電デバイスを提供し得る。
電気的な端子を構成できるため、容易に表面実装が可能
となり、製造工程を十分簡素化し、特性、信頼性に優れ
た圧電デバイスを提供し得る。
【００２２】 即ち、本発明の圧電デバイスによれば、
圧電デバイスのより一層の小型化、低背化が可能とな
り、作業性が向上する。
圧電デバイスのより一層の小型化、低背化が可能とな
り、作業性が向上する。
【００２３】 また、本発明の圧電デバイスによれば、
小型化、低背化、作業性の向上に加え、入出力電極を表
面に形成できるため、圧電トランス等の３端子以上のデ
バイスを構成できる。
小型化、低背化、作業性の向上に加え、入出力電極を表
面に形成できるため、圧電トランス等の３端子以上のデ
バイスを構成できる。
【００２４】 また、本発明の圧電デバイスによれば、
入出力部以外に電極を有するため、帰還用電極等の複雑
な電極構成を一表面上に構成できるので、リード線の引
き出しが非常に容易になる。
入出力部以外に電極を有するため、帰還用電極等の複雑
な電極構成を一表面上に構成できるので、リード線の引
き出しが非常に容易になる。
【００２５】 また、本発明の圧電デバイスによれば、
リード線の引き出しは一表面で可能とし、更なる特性の
向上を図れる。更に、裏面に電極を有することにより、
電界分布が電極に対して垂直方向に立ち、より効率の良
い圧電デバイスを構成できる。
リード線の引き出しは一表面で可能とし、更なる特性の
向上を図れる。更に、裏面に電極を有することにより、
電界分布が電極に対して垂直方向に立ち、より効率の良
い圧電デバイスを構成できる。
【００２６】 また、本発明の圧電デバイスによれば、
圧電振動子にニオブ酸リチウム単結晶を用いることによ
り、高いＱによる特性向上を図れる。更に、大振幅時の
発熱も少なく特性の優れた小型・低背化の圧電デバイス
を構成できる。
圧電振動子にニオブ酸リチウム単結晶を用いることによ
り、高いＱによる特性向上を図れる。更に、大振幅時の
発熱も少なく特性の優れた小型・低背化の圧電デバイス
を構成できる。
【００２７】 更に、本発明の圧電デバイスによれば、
ラーメモード振動であることにより、振動子の四隅を支
持でき、更に一表面にのみリード線の引き出しがあるの
で、表面実装が容易になる。
ラーメモード振動であることにより、振動子の四隅を支
持でき、更に一表面にのみリード線の引き出しがあるの
で、表面実装が容易になる。
【図１】本発明の実施例に係る圧電トランスの構成の一
例を示す斜視図である。
例を示す斜視図である。
【図２】図１に示した圧電トランスのａ−ａ′線におけ
る断面図である。
る断面図である。
【図３】図１に示した圧電トランスのパッケージの構成
を示す斜視図である。
を示す斜視図である。
【図４】従来の圧電トランスの構成例を示す図である。
【図５】図４に示した従来の圧電トランスのｂ−ｂ′線
における断面図である。
における断面図である。
１１ 正方形板
１２ａ 入力電極
１２ｂ 入力アース電極
１２ｃ 出力電極
１２ｄ 出力アース電極
３３ａ、３３ｂ、３３ｃ、３３ｄ リード線
３４ パッケージ
３５ａ、３５ｂ、３５ｃ、３５ｄ 電極端子
４１ 正方形板
４２ 入力電極
４３ 出力電極
４４、４５ アース電極
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(56)参考文献 特開 平５−259528（ＪＰ，Ａ)
特開 平５−335648（ＪＰ，Ａ)
特開 平６−97527（ＪＰ，Ａ)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
H01L 41/107
G01P 9/04
H01L 41/09
H03H 9/02
G01C 19/56
Claims (2)
- 【請求項１】 圧電振動子板の上下面のいずれか一方に
それぞれ電気的信号を入力するための入力用電極と電気
的にアースできるアース用電極を有し、自発分極軸をＺ
軸として有するニオブ酸リチウム単結晶において、座標
軸をＸ軸のまわりに１２０〜１７０°回転した座標系
（Ｘ，Ｙ′，Ｚ′）を、さらにそのＺ′軸のまわりに−
２０〜２０°回転した座標系（Ｘ′，Ｙ″，Ｚ′）にお
いて、前記ニオブ酸リチウム単結晶の板面がＸ′軸Ｚ′
軸に平行になるように切り出した圧電振動子板を用い、
前記ニオブ酸リチウム単結晶から切り出した圧電振動子
板は、正方形で、四隅が振動の節となるラーメモード振
動を用いた圧電振動子を１個または２個以上縦横に複数
個並べた形であることを特徴とする圧電デバイス。 - 【請求項２】 圧電振動子板の上下面のいずれか一方に
それぞれ１つまたは複数の電気的信号を入力するための
入力用電極、電気的信号を出力するための出力用電極と
電気的にアースできるアース用電極を有し、自発分極軸
をＺ軸として有するニオブ酸リチウム単結晶において、
座標軸をＸ軸のまわりに１２０〜１７０°回転した座標
系（Ｘ，Ｙ′，Ｚ′）を、さらにそのＺ′軸のまわりに
−２０〜２０°回転した座標系（Ｘ′，Ｙ″，Ｚ′）に
おいて、前記ニオブ酸リチウム単結晶の板面がＸ′軸
Ｚ′軸に平行になるように切り出した圧電振動子板を用
い、前記ニオブ酸リチウム単結晶から切り出した圧電振
動子板は、正方形で、四隅が振動の節となるラーメモー
ド振動を用いた圧電振動子を１個または２個以上縦横に
複数個並べた形であることを特徴とする圧電デバイス。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32224094A JP3496191B2 (ja) | 1994-12-26 | 1994-12-26 | 圧電デバイス |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32224094A JP3496191B2 (ja) | 1994-12-26 | 1994-12-26 | 圧電デバイス |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08181361A JPH08181361A (ja) | 1996-07-12 |
| JP3496191B2 true JP3496191B2 (ja) | 2004-02-09 |
Family
ID=18141486
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP32224094A Expired - Fee Related JP3496191B2 (ja) | 1994-12-26 | 1994-12-26 | 圧電デバイス |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3496191B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1999034454A1 (en) * | 1997-12-26 | 1999-07-08 | Mitsui Chemicals, Inc. | Piezoelectric transformer |
| FR2814234B1 (fr) * | 2000-09-19 | 2002-12-06 | Sagem | Capteur a circuit d'interconnexion tridimensionnel |
| JP2002111434A (ja) * | 2000-10-04 | 2002-04-12 | River Eletec Kk | ラーメ振動水晶振動子 |
-
1994
- 1994-12-26 JP JP32224094A patent/JP3496191B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH08181361A (ja) | 1996-07-12 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US3614483A (en) | Width flexural resonator and coupled mode filter | |
| DE69421422T2 (de) | Piezoelektrische Vorrichtung und ein Gehäuse | |
| DE69416750T2 (de) | Drehratensensor mit zentral montierter Stimmgabel | |
| JP6768206B2 (ja) | 共振子及び共振装置 | |
| US3739202A (en) | Instrument for responding to mechanical vibration of acceleration andfor converting the same into electric energy | |
| DE102018128130A1 (de) | Mikroelektromechanisches-System(MEMS)-Trägheitssensoren mit Energieerntern und zugehörige Verfahren | |
| JP3496191B2 (ja) | 圧電デバイス | |
| JPWO2019064663A1 (ja) | 共振子及び共振装置 | |
| JPWO2019207829A1 (ja) | 共振子及び共振装置 | |
| JP3486759B2 (ja) | 圧電トランス | |
| JP2002027594A (ja) | 超音波探触子およびその製造方法 | |
| JP6456066B2 (ja) | 圧電センサデバイス | |
| US20240162879A1 (en) | Vibrator Element And Vibrator Device | |
| JPH02261211A (ja) | 多重モード型水晶振動子 | |
| US2303375A (en) | Rochelle salt piezoelectric crystal apparatus | |
| JPS6194408A (ja) | セラミツクフイルタ | |
| JPWO2019058632A1 (ja) | 共振子及び共振装置 | |
| CN221633714U (zh) | Mems谐振器 | |
| JP2539725Y2 (ja) | 弾性表面波装置 | |
| JPS63111713A (ja) | 表面波フイルタ | |
| JPH0323704Y2 (ja) | ||
| JP2563654Y2 (ja) | 圧電フィルタ | |
| WO2022195939A1 (ja) | 電子部品及び電子装置 | |
| JP2559708B2 (ja) | 圧電振動子 | |
| JPH02248086A (ja) | 加速度センサ |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20031105 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091128 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091128 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101128 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101128 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111128 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121128 Year of fee payment: 9 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |