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JP3501555B2 - Method for manufacturing liquid jet recording head - Google Patents
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JP3501555B2 - Method for manufacturing liquid jet recording head - Google Patents

Method for manufacturing liquid jet recording head

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JP3501555B2
JP3501555B2 JP17489995A JP17489995A JP3501555B2 JP 3501555 B2 JP3501555 B2 JP 3501555B2 JP 17489995 A JP17489995 A JP 17489995A JP 17489995 A JP17489995 A JP 17489995A JP 3501555 B2 JP3501555 B2 JP 3501555B2
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Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、インクジェット方
式に用いる記録液小滴を発生するための液体噴射記録ヘ
ッド、該記録ヘッドを有する液体噴射記録装置、該液体
噴射記録ヘッドを有する液体噴射記録ヘッドキット、さ
らには液体噴射記録ヘッドの製造方法に関するものであ
る。なお、ここで、記録とは、布、糸、紙、シート材等
のインク付与を受けるインク支持体すべてへのインク付
与等(プリント)を含むもので、記録装置は、各種情報
処理装置すべてあるいはその出力器としてのプリンタを
含むものであり、本発明はこれらへの用途が可能なもの
である。
BACKGROUND OF THE INVENTION The present invention relates to a liquid jet recording head for generating a recording liquid droplet for use in an ink jet method, a liquid jet recording equipment with the recording head, a liquid jet recording with the liquid jet recording head head kit, is
Further, it relates to a method for manufacturing a liquid jet recording head . It should be noted that the term "recording" as used herein includes ink application and the like (printing) to all ink supports that receive ink such as cloth, thread, paper, and sheet material. It includes a printer as its output device, and the present invention can be applied to these.

【0002】[0002]

【従来の技術】インクジェット記録方式に適用される液
体噴射記録ヘッドの作製手段としては、従来よりインク
吐出圧力発生素子が形成された第1の基体にインク吐出
口を形成する第2の基体を接合する方法が知られてい
る。特開昭62−264975号公報は、前記第1の基
体上にポリマー障壁層を形成した後、前記第2の基体を
配置し、熱および圧力によって両者を接合する方法を開
示している。ここで、ポリマー障壁層としてはデュポン
社より上市されているリストン(登録商標)、バークレ
ル(登録商標)等のドライフィルムがあげられている。
また、米国特許第4774530号明細書では、インク
吐出圧力発生素子が形成された第1の基体に、第2の基
体として異方性エッチングでインク流路を形成したシリ
コン基板を前記リストン、バークレルあるいはポリイミ
ドフィルムを介して接着し、所要箇所を切断すること
で、液体噴射記録ヘッドを作製する例が示されている。
2. Description of the Related Art As a means for producing a liquid jet recording head applied to an ink jet recording system, a first substrate on which an ink ejection pressure generating element is conventionally formed is joined to a second substrate on which an ink ejection port is formed. It is known how to do it. Japanese Unexamined Patent Publication No. 62-264975 discloses a method of forming a polymer barrier layer on the first substrate, disposing the second substrate, and joining the two by heat and pressure. Here, examples of the polymer barrier layer include dry films such as Liston (registered trademark) and Berklel (registered trademark) marketed by DuPont.
Further, in US Pat. No. 4,774,530, a silicon substrate, in which an ink flow path is formed by anisotropic etching as a second substrate, is formed on the first substrate on which an ink ejection pressure generating element is formed, by using the above liston, barrel or An example is shown in which a liquid jet recording head is manufactured by adhering it through a polyimide film and cutting it at a required position.

【0003】しかしながら、これらの接着層として用い
られている樹脂は、特公昭63−502015号公報中
(P2)に明記されているように、プリンターが厳しい
環境化にさらされると、第1もしくは第2の基体と接着
層の界面で剥離が生じ、プリンターの動作に支障をきた
す。さらに、本件発明者の検討によれば、前記リスト
ン、バークレルあるいはポリイミド等からなる接着層
は、弱アルカリ性のインクを用いる場合、界面の剥離が
著しく促進されることが判明した。
However, when the printer is exposed to a severe environment, as described in Japanese Patent Publication No. 63-502015 (P2), the resin used as the adhesive layer is the first or the first. Peeling occurs at the interface between the second substrate and the adhesive layer, which hinders the operation of the printer. Further, according to the study by the present inventors, it was found that the adhesive layer made of Liston, Burcquerel, polyimide, or the like significantly promotes the peeling of the interface when weakly alkaline ink is used.

【0004】ここで、インクジェット記録方式に適用さ
れるインクには、普通紙印字性、印字物の耐水性、水分
の蒸発に伴うインク吐出口の目詰り防止の機能などの特
性が要求される。これらの特性を満たす一つの方法とし
て、インクを弱アルカリ性にすることがあげられる。す
なわち、弱アルカリ性の水溶液に対して高い溶解性を有
する染料を用いることで、中性の水に対しては高い耐水
性を示す印字物を得ることができるし、また、目詰り防
止の目的で保水能力に優れた尿素等の添加物を用いるこ
とができる。この場合、尿素は経時的に加水分解され、
その水溶液は弱アルカリ性を示す。
Here, the ink applied to the ink jet recording system is required to have properties such as plain paper printability, water resistance of the printed matter, and a function of preventing clogging of the ink ejection port due to evaporation of water. One way to meet these characteristics is to make the ink weakly alkaline. That is, by using a dye having a high solubility in a weakly alkaline aqueous solution, it is possible to obtain a printed matter having high water resistance to neutral water, and for the purpose of preventing clogging. It is possible to use an additive such as urea having an excellent water retention capacity. In this case, urea is hydrolyzed over time,
The aqueous solution exhibits weak alkalinity.

【0005】すなわち、長期間に亘る使用または、アル
カリ性インクの使用を考慮に入れて、より強い接着力を
有し、かつ耐アルカリ性の高い接着剤が求められてい
る。
That is, in consideration of long-term use or use of alkaline ink, an adhesive having stronger adhesive force and high alkali resistance is required.

【0006】また、上記問題を解決する方法として、前
記特公昭63−502015号公報に記載される方法
が、提案されている。この方法では、電鋳加工で形成さ
れたインク吐出口を有する第1の基体に金メッキを施
し、この第1の基体とインク吐出圧力発生素子が形成さ
れた第2の基体とを半田で接合するものである。しかし
ながら、この方法では、インク吐出圧力発生素子が形成
された第2の基体上に半田付け可能な層を別途設ける必
要があり、また、一般的にインク吐出圧力発生素子を形
成する基体としてはシリコンウエハーが最適であるが、
シリコンあるいは酸化シリコンは半田付けできないため
に、工程数が増えてコスト高となり、さらには、半田を
用いているため熱的な安定性に欠けるといった欠点があ
る。
As a method for solving the above problems, the method described in Japanese Patent Publication No. 63-502015 has been proposed. In this method, a first substrate having an ink ejection port formed by electroforming is plated with gold, and the first substrate and a second substrate having an ink ejection pressure generating element are joined by solder. It is a thing. However, in this method, it is necessary to separately provide a solderable layer on the second substrate on which the ink ejection pressure generating element is formed, and in general, a silicon substrate is used as the substrate on which the ink ejection pressure generating element is formed. Wafers are best, but
Since silicon or silicon oxide cannot be soldered, the number of steps increases, resulting in high cost, and further, the use of solder has the drawback of lacking thermal stability.

【0007】また、米国特許第4678529号明細書
には、インク吐出圧力発生素子が形成された基体と、イ
ンク流路を異方性エッチングで形成したシリコン基体を
接着する際の一つの例が示されているが、接着剤として
どのような化合物が最適であるかについては全く言及さ
れていない。
Further, US Pat. No. 4,678,529 shows an example of bonding a substrate on which an ink ejection pressure generating element is formed and a silicon substrate on which an ink flow path is formed by anisotropic etching. However, there is no mention of what kind of compound is most suitable as an adhesive.

【0008】[0008]

【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記の諸点
に鑑みなされたものであって、インク吐出圧力発生素子
が形成された第1の基体とインク吐出口を形成する第2
の基体を接合する接着剤として、長期の使用に際して強
い接着力を維持し、かつアルカリ性インク耐性に優れた
材料を提供するとともに、この耐アルカリインク性の高
い接着剤により第1の基体と第2の基体を一体化するこ
とによって、液体噴射記録ヘッドおよび該記録ヘッドを
有する液体噴射記録装置の信頼性を高めることを主たる
課題とする。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above points, and a second base for forming an ink ejection port and a first substrate on which an ink ejection pressure generating element is formed.
As an adhesive for joining the bases of No. 1 and No. 2, a material that maintains a strong adhesive force during long-term use and has excellent alkaline ink resistance is provided. The main object of the invention is to improve the reliability of the liquid jet recording head and the liquid jet recording apparatus having the recording head by integrating the substrate of (1).

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】上記課題を達成するため
に、本発明は、インク吐出圧力発生素子が形成された第
1の基体と、インク吐出口を形成する第2の基体を接合
する接着層に、エポキシ樹脂のカチオン重合硬化物を用
いることで達成される。
In order to achieve the above object, the present invention is an adhesive for bonding a first substrate on which an ink ejection pressure generating element is formed and a second substrate on which an ink ejection port is formed. It is achieved by using a cationically polymerized cured product of an epoxy resin for the layer.

【0010】[0010]

【0011】[0011]

【0012】[0012]

【0013】[0013]

【0014】[0014]

【0015】[0015]

【0016】[0016]

【0017】[0017]

【0018】[0018]

【0019】[0019]

【0020】 すなわち、本発明は、インク吐出圧力発
生素子が形成された第1の基体と、前記第1の基体と一
体化されてインク吐出口を形成している第2の基体、ま
たはインク吐出口が形成された第2の基体とを、接着剤
層で一体化する液体噴射記録ヘッドの製造方法におい
て、前記第1の基体または第2の基体いずれか一方に、
少なくともエポキシ樹脂とカチオン重合開始剤とを含む
接着剤層を形成する工程、前記接着剤層の光照射により
該接着剤層の光照射部を半硬化させ、前記接着剤層の
ターニングを行う工程、および前記半硬化した接着剤層
を介して接着剤層を形成した基体と接着剤層が形成され
ていない基体とを張り合わせ、加熱して接着剤層を完全
硬化させる工程、を含み、前記第1の基体と第2の基体
とをエポキシ樹脂のカチオン重合硬化物を含む接着層で
一体化することを特徴とする。本発明において、前記接
着剤層は、さらに還元剤を含むことができる。また、
記第2の基体はインク供給口とインク吐出口とが一体に
成形された部材であることができる。
That is, according to the present invention, the first substrate on which the ink ejection pressure generating element is formed, the second substrate on which the first substrate is integrated to form the ink ejection port, or the ink ejection port. In a method of manufacturing a liquid jet recording head, wherein a second substrate having an outlet is integrated with an adhesive layer, in either of the first substrate or the second substrate,
Forming an adhesive layer containing at least an epoxy resin and a cationic polymerization initiator, it is semi-cured light irradiation portion of the adhesive layer by light irradiation of the adhesive layer, path of the adhesive layer
A step of performing turning, and a step of laminating a substrate having an adhesive layer formed thereon with a substrate having no adhesive layer formed thereon via the semi-cured adhesive layer, and heating to completely cure the adhesive layer, It is characterized in that the first substrate and the second substrate are integrated by an adhesive layer containing a cationically polymerized cured product of an epoxy resin. In the present invention, the adhesive layer may further contain a reducing agent. Also before
The second substrate has the ink supply port and the ink ejection port integrally formed.
It can be a molded member.

【0021】[0021]

【発明の実施の形態】前述のごとく、リストン、バーク
レルに代表される接着剤層は長期の使用またはアルカリ
性インクの使用によって基体からの剥離が生じる場合が
ある。これらは、接着層が加水分解を受けるためと考え
られている。そこで本件発明者は、加水分解性の低い接
着剤について鋭意検討したところ、エポキシ樹脂のカチ
オン重合硬化物が最適であることを見出し、本発明に至
った。エポキシ樹脂のカチオン重合による硬化では、そ
の架橋構造がエーテル結合となるため、耐加水分解性に
優れた接着層を形成することができる。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION As described above, the adhesive layer typified by Liston and Berklel may peel from the substrate due to long-term use or use of alkaline ink. It is believed that these are because the adhesive layer undergoes hydrolysis. Therefore, the present inventor has conducted intensive studies on adhesives having low hydrolyzability, and has found that a cationically cured product of an epoxy resin is optimal, and has reached the present invention. When the epoxy resin is cured by cationic polymerization, the cross-linking structure becomes an ether bond, so that an adhesive layer having excellent hydrolysis resistance can be formed.

【0022】エポキシ樹脂のカチオン重合硬化物を得る
には、従来より公知のエポキシ樹脂、カチオン重合開始
剤が好適に用いることができる。エポキシ樹脂として
は、ビスフェノールAとエピクロルヒドリドンの反応物
や、フェノールノボラックあるいはo−クレゾールノボ
ラックとエピクロルヒドリンとの反応物や、特開昭60
−161973号公報、特開昭63−221121号公
報、特開昭64−9216号公報、特開平2−1402
19号公報に記載のオキシシクロヘキサン骨格を有する
エポキシ化合物等があげられる。これらエポキシ樹脂
は、様々な分子量、置換基を導入したものが容易に入手
可能であり、その目的に応じて適宜選択することができ
る。さらに、エポキシ基以外の環状エーテル等のカチオ
ン重合可能なものであれば、本発明に適用することがで
きる。
In order to obtain a cationically cured product of an epoxy resin, conventionally known epoxy resins and cationic polymerization initiators can be preferably used. As the epoxy resin, a reaction product of bisphenol A and epichlorohydridone, a reaction product of phenol novolac or o-cresol novolac and epichlorohydrin, and JP-A-60-
-161973, JP-A-63-221121, JP-A-64-9216, and JP-A-2-1402.
Examples thereof include epoxy compounds having an oxycyclohexane skeleton described in JP-A-19. These epoxy resins having various molecular weights and introduced with a substituent are easily available, and can be appropriately selected according to the purpose. Furthermore, any cationically polymerizable compound such as a cyclic ether other than an epoxy group can be applied to the present invention.

【0023】カチオン重合開始剤としては、芳香族オニ
ウム塩[J.POLYMER SCI:Symposi
um No. 56 383−395(1976)参
照]、チバガイギー社より上市されているイルガキュア
ー261(登録商標)、旭電化工業より上市されてるS
P−150(商品名)、SP−170(商品名)等があ
げられる。これらカチオン重合開始剤は、紫外線の照射
によりカチオン重合を開始するものである。また、旭電
化工業より上市されてるCP−66(商品名)、CP−
77(商品名)あるいは芳香族オニウム塩と還元剤との
併用(特願昭54−102394号公報、J.POLY
MER SCI:Polymer Chemical
Edition Vo1121,97−109(198
3)参照)によって、加熱によりカチオン重合が開始さ
れる。
As the cationic polymerization initiator, aromatic onium salts [J. POLYMER SCI: Symposi
um No. 56 383-395 (1976)], Irgacure 261 (registered trademark) marketed by Ciba Geigy, and S marketed by Asahi Denka Kogyo.
P-150 (trade name), SP-170 (trade name), and the like. These cationic polymerization initiators initiate cationic polymerization by irradiation with ultraviolet rays. In addition, CP-66 (brand name), CP- marketed by Asahi Denka Kogyo
77 (trade name) or a combination of an aromatic onium salt and a reducing agent (Japanese Patent Application No. 54-102394, J. POLY).
MER SCI: Polymer Chemical
Edition Vo 1121, 97-109 (198
According to 3), cationic polymerization is initiated by heating.

【0024】また、これらのエポキシ硬化物組成に対し
ては、必要に応じて添加剤などを適宜添加することが可
能である。例えば、さらなる密着力向上のためにシラン
カップリング剤等を添加することがあげられる。
Further, additives and the like can be appropriately added to these epoxy cured product compositions, if necessary. For example, a silane coupling agent or the like may be added to further improve the adhesion.

【0025】次に、本発明の接着剤の使用形態について
詳細に説明する。まず、カチオン重合開始剤として加熱
によって反応が開始されるタイプについては、インク吐
出圧力発生素子が形成された第1の基体とインク吐出口
を形成する第2の基体の接着部分に適宜接着層を形成
し、接合後、加熱によって接着すればよい。
Next, the usage of the adhesive of the present invention will be described in detail. First, for the type in which the reaction is initiated by heating as the cationic polymerization initiator, an adhesive layer is appropriately formed on the adhesive portion between the first substrate on which the ink ejection pressure generating element is formed and the second substrate forming the ink ejection port. After being formed and bonded, they may be bonded by heating.

【0026】次いで、カチオン重合開始剤が光照射ある
いは光照射+加熱によって反応が開始されるタイプにつ
いて説明する。この場合、光照射によって接着層がパタ
ーニング可能となり、従来より公知のフォトリソグラフ
ィーの技術を用いることで、接着層を第1あるいは第2
の基体の任意の位置、厚さに形成できる利点を有する。
すなわち、接着剤層が所定の厚さを有し、インク流路の
一部として作用する場合や、第1あるいは第2の基体の
接着部分にのみ選択的に接着剤層を形成するのが困難な
場合に、特に有効となる。具体的には、第1あるいは第
2の基体に接着剤層をスピンコート、ロールコーターな
どで均一に形成した後、光照射によりパターニングを行
い(光照射部はカチオン重合反応がおこり、未照射部と
の溶剤に対する溶解性が変化し、パターニング可能とな
る)、接着剤層を所定の位置、厚さに形成した後、接着
剤層を形成していない基体と張り合わせ、加熱によって
接着剤を完全に硬化することにより、接合する。
Next, the type in which the cationic polymerization initiator initiates the reaction by light irradiation or light irradiation + heating will be described. In this case, the adhesive layer can be patterned by light irradiation, and the adhesive layer can be formed into the first or second adhesive layer by using a conventionally known photolithography technique.
It has an advantage that it can be formed at any position and thickness of the substrate.
That is, when the adhesive layer has a predetermined thickness and acts as a part of the ink flow path, or it is difficult to selectively form the adhesive layer only on the bonded portion of the first or second substrate. In particular, it is especially effective. Specifically, after the adhesive layer is uniformly formed on the first or second substrate by spin coating, a roll coater, or the like, patterning is performed by light irradiation (the light irradiation portion undergoes a cationic polymerization reaction, and the non-irradiation portion). (Solubility in solvent changes and patterning becomes possible) .After forming the adhesive layer at a predetermined position and thickness, bond it with the substrate without the adhesive layer, and completely heat the adhesive. By hardening, it joins.

【0027】ここで、カチオン重合開始剤に芳香族オニ
ウム塩を単独で用いた場合は、貼り合わせ後の接着剤の
完全硬化にする際に、高温、長時間の加熱が必要である
場合が多く、後述の還元剤を添加して完全硬化の際の条
件を温和なものにすることが、好ましい。
Here, when an aromatic onium salt is used alone as a cationic polymerization initiator, it is often necessary to heat at high temperature for a long time to completely cure the adhesive after bonding. It is preferable to add a reducing agent to be described later to make the conditions for complete curing mild.

【0028】また、前記の方法については、光照射によ
りパターニング可能な程度に接着剤層を硬化(完全に硬
化させずに半硬化の状態)させ、接着剤層を形成してい
ない第1あるいは第2の基体と貼り合わせた後に、加熱
によって完全に硬化させる必要がある。このような光照
射によって、エポキシ樹脂を半硬化の状態にするには、
エポキシ樹脂、カチオン重合開始剤の種類、添加量、光
照射量を適宜コントロールすることにより、達成でき
る。すなわち、エポキシ樹脂はその構造によってカチオ
ンに対する反応性が異なるし(一般的に、脂環式エポキ
シ樹脂は芳香族エポキシ樹脂よりカチオンに対する反応
性が高い)、カチオン重合開始剤は、光重合の場合、そ
のカウンターアニオンの種類によって、エポキシ樹脂の
架橋密度が異なる。
In the above method, the adhesive layer is cured (semi-cured state without being completely cured) to such an extent that it can be patterned by light irradiation, and the first or first adhesive layer is not formed. After bonding with the second substrate, it is necessary to completely cure it by heating. To make the epoxy resin semi-cured by such light irradiation,
This can be achieved by appropriately controlling the type, addition amount, and light irradiation amount of the epoxy resin and the cationic polymerization initiator. That is, the epoxy resin has different reactivity to cations depending on its structure (generally, the alicyclic epoxy resin has higher reactivity to cations than the aromatic epoxy resin), and the cationic polymerization initiator is The crosslink density of the epoxy resin differs depending on the type of the counter anion.

【0029】特に、このカウンターアニオンの種類によ
る反応性の違いは、本発明に好適に利用される。すなわ
ち、オニウム塩のカウンターアニオンとしてPF6 -を用
いると、Sb6 -を用いた場合に比して、光重合反応にお
いては架橋密度が上がらす、半硬化の状態で反応がスト
ップする。この状態で、適当な溶剤を用いてパターニン
グし、接着剤層を形成していない第1もしくは第2の基
体を貼り合わせ、加熱すると、後述の還元剤の作用によ
り、完全に反応が進み(オニウム塩と還元剤を併用する
熱反応においては、オニウム塩のカウンターアニオンの
種類によらず完全に反応が進行する)、第1および第2
の基体を強力に接着する。
In particular, this difference in reactivity depending on the type of counter anion is preferably utilized in the present invention. That is, when PF 6 was used as the counter anion of the onium salt, the crosslinking density was increased in the photopolymerization reaction, and the reaction was stopped in the semi-cured state, as compared with the case where Sb 6 was used. In this state, patterning is performed using an appropriate solvent to bond the first or second substrate on which the adhesive layer is not formed, and when heated, the reaction proceeds completely due to the action of the reducing agent described later (onium). In a thermal reaction in which a salt and a reducing agent are used in combination, the reaction proceeds completely regardless of the type of counter anion of the onium salt), the first and second
Strongly adheres the substrate.

【0030】前記の反応形態を詳細に説明するために、
具体的な例をあげて以下に説明する。
In order to explain the above reaction mode in detail,
A specific example will be described below.

【0031】エポキシ樹脂として、o−クレゾールノボ
ラックエポキシ(油化シェルエポキシ社製エピコート1
54を)、オニウム塩として4,4′−ジ−t−ブチル
ジフェニルヨードニウムヘキサフルオロフォスフェート
(PF6 -塩)を、還元剤として銅トリフラートを用いた
場合、いくら光反応させても、このエポキシ硬化物のガ
ラス転移温度は約100℃を示すに過ぎない。しかしな
がら、この状態で適当な有機溶剤によってパターニング
することは可能である。ついで、前記硬化物を150℃
に加熱すると、オニウム塩と還元剤が反応して、その硬
化物のガラス転移温度は約210℃まで上昇する。
As the epoxy resin, o-cresol novolac epoxy (Epicote 1 manufactured by Yuka Shell Epoxy Co., Ltd.)
54), onium salts of 4,4'-di -t- butyl diphenyl iodonium hexafluorophosphate (PF 6 - If the salt), using copper triflate as a reducing agent, also be much photoreaction, the epoxy The glass transition temperature of the cured product is only about 100 ° C. However, patterning with an appropriate organic solvent is possible in this state. Then, the cured product is heated to 150 ° C.
On heating, the onium salt reacts with the reducing agent, and the glass transition temperature of the cured product rises to about 210 ° C.

【0032】一方、オニウム塩として、4,4′−ジ−
t−ブチルヘキサフルオロアンチモネート(SbF
6 -塩)を用いた場合、光反応だけで硬化物のガラス転移
温度は約150℃まで上昇し、150℃加熱によって、
ガラス転移温度は約210℃となる。ここで、接着層が
形成されていない第1あるいは第2の基体を接合する際
に、未反応部分がより多く残存している方がより強力に
接着されることが予想され、PF6 -塩がSbF6 -塩に対
して有利であることが、理解される。
On the other hand, as an onium salt, 4,4'-di-
t-Butyl hexafluoroantimonate (SbF
6 - salt), the glass transition temperature of the cured product rises to about 150 ° C. only by photoreaction, and by heating at 150 ° C.,
The glass transition temperature is about 210 ° C. Here, when bonding the first or second substrate adhesive layer is not formed, it is expected that those who unreacted portion is more remaining is more strongly adhesive, PF 6 - salt There SbF 6 - it is advantageous for salt is understood.

【0033】もちろん、SbF6 -塩を用いる場合におい
ても、光照射量の調整、添加量の調整、反応阻害物質の
添加等の手法により、光照射後のガラス転移温度を下げ
て用いることは可能であり、PF6 -塩を用いる利点は、
特別の工夫をすること無く、半硬化の状態を容易に作れ
ることにある。
[0033] Of course, SbF 6 - in the case of using salts, adjusting the amount of light irradiation, the adjustment of the addition amount, the method of addition of the reaction inhibitor, the use to lower the glass transition temperature after light irradiation can in and, PF 6 - benefits of using salt,
It is to be able to easily make a semi-cured state without special measures.

【0034】次いで、本発明の接着剤層に用いる還元剤
について説明する。前記還元剤は、オニウム塩と熱的に
反応してカチオン重合を促進するもので、銅化合物、有
機酸等があげられる。これら化合物のうち、高い反応性
を有し、一定の温度(好ましくは100℃以上)以上で
急激に反応するいわゆるレドックス型のものが好まし
く、具体的には銅トリフラート、アスコルビン酸等があ
げられる。
Next, the reducing agent used in the adhesive layer of the present invention will be described. The reducing agent thermally reacts with an onium salt to promote cationic polymerization, and examples thereof include a copper compound and an organic acid. Of these compounds, so-called redox type compounds having high reactivity and rapidly reacting at a certain temperature (preferably 100 ° C. or higher) are preferable, and specific examples thereof include copper triflate and ascorbic acid.

【0035】[0035]

【実施例】以下に実施例を示し、本発明をさらに詳細に
説明する。
The present invention will be described in more detail with reference to the following examples.

【0036】(実施例1)参考例 本実施例においては、接着剤層にエポキシ樹脂を加熱に
よってカチオン重合させる例を示す。まず、米国特許第
4829324号明細書に記載の方法によって、図1に
示すように、インク吐出圧力発生素子10(通電する電
極は不図示)を形成した基板(第1の基体)1と、イン
ク吐出口21およびインク供給口22を異方性エッチン
グで形成したシリコン基板(第2の基体)2を作製す
る。次いで、接着剤として下記表1に示す組成物をメチ
ルイソブチルケトン(MIBK)に溶解し、スピンコー
トによってPETフィルム上に約3μmの厚さで形成す
る。ついで、このフィルムを前記基板2と圧着すること
で、基板2の接着面23に接着剤層30を転写する(図
2)。最後に、基板1と基板2を位置合わせの後、接合
し(図3)、150℃で1時間加熱することにより接着
剤をカチオン重合させ、両基板を接着する。こうして得
られた記録ヘッドに、表2に示す組成のインクを充填
し、60℃で3ヵ月間保存したが、基板間の剥離は全く
認められなかった。表2に示す組成は弱アルカリ性を示
し(PH約10)、本発明の接着剤層が耐アルカリ性に
優れていることが理解される。
(Example 1) Reference Example In this example, an example in which an epoxy resin is cationically polymerized by heating an adhesive layer will be described. First, as shown in FIG. 1, a substrate (first substrate) 1 on which an ink ejection pressure generating element 10 (electrodes for energizing are not shown) is formed by the method described in US Pat. No. 4,829,324, and ink. A silicon substrate (second substrate) 2 having the ejection port 21 and the ink supply port 22 formed by anisotropic etching is prepared. Next, the composition shown in Table 1 below as an adhesive is dissolved in methyl isobutyl ketone (MIBK), and formed on the PET film by spin coating to a thickness of about 3 μm. Then, this film is pressed onto the substrate 2 to transfer the adhesive layer 30 to the adhesive surface 23 of the substrate 2 (FIG. 2). Finally, after the substrates 1 and 2 are aligned with each other, they are bonded (FIG. 3) and heated at 150 ° C. for 1 hour to cause the adhesive to undergo cationic polymerization to bond the two substrates. The recording head thus obtained was filled with the ink having the composition shown in Table 2 and stored at 60 ° C. for 3 months, but no peeling between the substrates was observed. The composition shown in Table 2 shows weak alkalinity (PH about 10), and it is understood that the adhesive layer of the present invention has excellent alkali resistance.

【0037】[0037]

【表1】 [Table 1]

【0038】[0038]

【表2】 [Table 2]

【0039】(実施例2)本実施例においては、接着剤
層を光照射でパターニングし、加熱によって完全に硬化
させる例を示す。まず、米国特許4774530号明細
書に記載の方法によって、図4に示す基板(第1の基
体)1と基板(第2の基体)2を作製する。次いで、基
板1上に、接着剤として、下記表3に示す組成物をMI
BKに溶解し、スピンコートすることで、20μmの厚
さで形成する。次いで、キャノン製マスクアライナーP
LA600FA(コールドミラーCM250使用)に
て、インク流路の一部を形成する接着剤層30をパター
ニングする。露光時間は10分間、アフターベークは5
0℃で30分間、現像はMIBK/エタノール=2/1
で行った(図5)。接着剤層30はこの時点においては
半硬化の状態にある。次いで、基板1と2を位置合わせ
の後、接合し、150℃で1時間加熱することによりオ
ニウム塩と還元剤を反応させ、接着剤層30を完全に硬
化し、基板1と2が接着される(図6)。
(Embodiment 2) This embodiment shows an example in which the adhesive layer is patterned by light irradiation and is completely cured by heating. First, a substrate (first base) 1 and a substrate (second base) 2 shown in FIG. 4 are manufactured by the method described in US Pat. No. 4,774,530. Then, the composition shown in Table 3 below was prepared as an adhesive on the substrate 1 by MI.
It is dissolved in BK and spin-coated to form a film having a thickness of 20 μm. Next, Canon Mask Aligner P
The LA600FA (using a cold mirror CM250) is used to pattern the adhesive layer 30 forming a part of the ink flow path. Exposure time is 10 minutes, after bake is 5
Development for 30 minutes at 0 ° C., MIBK / ethanol = 2/1
(Fig. 5). The adhesive layer 30 is in a semi-cured state at this point. Next, after the substrates 1 and 2 are aligned, they are joined and heated at 150 ° C. for 1 hour to cause the onium salt and the reducing agent to react, so that the adhesive layer 30 is completely cured and the substrates 1 and 2 are bonded. (Fig. 6).

【0040】こうして得られた記録ヘッドに、実施例1
と同様に、表2に示すインクを充填して、60℃で3カ
月保存したが、基板間の剥離は全く認められなかった。
The recording head thus obtained was applied to Example 1
Similarly, the inks shown in Table 2 were filled and stored at 60 ° C. for 3 months, but no peeling between the substrates was observed.

【0041】[0041]

【表3】 [Table 3]

【0042】(実施例3)本実施例においては、特開昭
62−264957号公報に記載のヘッド形成方法に、
本発明の接着剤を応用した例を示す。図7に示すよう
に、インク吐出圧力発生素子10およびインク供給口2
2を形成した基板(第1の基体)1と、電鋳によってイ
ンク吐出口21を形成した基板(第2の基体)2とを作
製する。次いで、基板1に、表3に示す組成物をMIB
Kに溶解し、PETフィルム上に厚さ30μmになるよ
うに塗布する。こうして得られたドライフィルムを基板
1上にラミネートし、光照射により選択的に接着剤層3
0を基板1上にパターニングした(図8)。
(Embodiment 3) In this embodiment, the head forming method described in JP-A-62-264957 is used.
An example in which the adhesive of the present invention is applied will be shown. As shown in FIG. 7, the ink ejection pressure generating element 10 and the ink supply port 2
A substrate (first substrate) 1 on which the ink discharge port 21 is formed and a substrate (second substrate) 2 on which the ink ejection port 21 is formed are manufactured. Then, the composition shown in Table 3 was applied to the substrate 1 by MIB.
It is dissolved in K and coated on a PET film to a thickness of 30 μm. The dry film thus obtained is laminated on the substrate 1, and the adhesive layer 3 is selectively irradiated with light.
0 was patterned on the substrate 1 (FIG. 8).

【0043】接着剤層30は、さらに光照射を行い半硬
化の状態にする。次いで、基板2を位置合わせの後に接
合し、150℃で1時間加熱することによりオニウム塩
と還元剤を反応させ、接着剤層30を完全に硬化させ、
基板1と2とが接着される(図9)。
The adhesive layer 30 is further irradiated with light to be in a semi-cured state. Next, the substrates 2 are aligned and joined together, and heated at 150 ° C. for 1 hour to cause the onium salt and the reducing agent to react, thereby completely curing the adhesive layer 30,
The substrates 1 and 2 are adhered (FIG. 9).

【0044】こうして得られた記録ヘッドを、実施例1
と同様に、表2に示すインクを充填して、60℃で3カ
月保存したが、基板間の剥離は全く認められなかった。
The recording head thus obtained was used in Example 1
Similarly, the inks shown in Table 2 were filled and stored at 60 ° C. for 3 months, but no peeling between the substrates was observed.

【0045】(実施例4)本実施例では、実施例3に示
した形態の応用例を示す。すなわち、基板(第1の基
体)1上にデュポン社製 ドライフィルム バークレル
(登録商標)によって、インク流路の一部を構成する障
壁24を形成する(図10)。次いで、ロールコート法
により基板1上に表3の組成からなる接着剤層を均一に
形成し、ついで、光照射により障壁24を覆うように接
着剤層30をパターニングする(図11)。接着剤層3
0はこの時点で半硬化の状態にある。以下、実施例3と
同様にして得られた記録ヘッドは、実施例3の記録ヘッ
ドと同様の耐アルカリ性を示した。
(Embodiment 4) In this embodiment, an application example of the form shown in Embodiment 3 is shown. That is, the barrier 24 that forms a part of the ink flow path is formed on the substrate (first base) 1 by using the dry film Berkrel (registered trademark) manufactured by DuPont (FIG. 10). Next, an adhesive layer having the composition shown in Table 3 is uniformly formed on the substrate 1 by a roll coating method, and then the adhesive layer 30 is patterned by light irradiation so as to cover the barrier 24 (FIG. 11). Adhesive layer 3
0 is in a semi-cured state at this point. Hereinafter, the recording head obtained in the same manner as in Example 3 showed the same alkali resistance as the recording head in Example 3.

【0046】本実施例の形態においては、障壁を形成す
る材料の選択の幅を広げることが可能であることを明示
している。例えば、障壁24のパターニング性に優れる
が耐インク性に劣るために、従来使用不能であった材料
であっても、本実施形態の方法によれば、使用すること
ができる。
In the mode of this embodiment, it is clarified that the range of selection of the material forming the barrier can be expanded. For example, according to the method of the present embodiment, even a material that cannot be used conventionally because of excellent patterning property of the barrier 24 but poor ink resistance can be used.

【0047】(実施例5)本実施例では、特開平2−1
87345号公報、特開平2−187346号公報に記
載のヘッドの製造方法に、本発明の接着剤を用いた例を
示す。図12に示すように、インク吐出圧力発生素子1
0を形成した基板(第1の基体)1と、インク供給口部
22とインク吐出口部が一体に成型された後にエキシマ
レーザーによってインク吐出口21が形成された部材
(第2の基体)2を作製する。次いで、基板1上に、下
記表4に示す組成の接着剤をMIBK/エタノール=2
/1に溶解し、スピンコート、転写法によって塗布し、
光照射によって接着剤層30を形成する(図13)。次
いで、前記部材2を位置合わせ後に接合し、150℃で
30分間加熱することにより基板1と部材2は完全に接
着される(図14)。こうして得られた記録ヘッドは、
実施例1〜4の記録ヘッドと同様の耐アルカリ性を示し
た。
(Embodiment 5) In this embodiment, Japanese Patent Laid-Open No. 2-1 is used.
Examples of using the adhesive of the present invention in the head manufacturing methods described in Japanese Patent No. 87345 and Japanese Patent Laid-Open No. 2-187346 are shown. As shown in FIG. 12, the ink ejection pressure generating element 1
A substrate (first substrate) 1 on which 0 is formed, and a member (second substrate) 2 on which the ink ejection port 21 is formed by an excimer laser after the ink supply port 22 and the ink ejection port are integrally molded. To make. Next, an adhesive having the composition shown in Table 4 below was MIBK / ethanol = 2 on the substrate 1.
/ 1, and applied by spin coating, transfer method,
The adhesive layer 30 is formed by light irradiation (FIG. 13). Next, the member 2 is aligned and then joined, and heated at 150 ° C. for 30 minutes to completely bond the substrate 1 and the member 2 (FIG. 14). The recording head thus obtained is
It exhibited alkali resistance similar to that of the recording heads of Examples 1 to 4.

【0048】また、本実施形態の応用例として、Bk,
Y,M,Cの4色インクが吐出可能な一体型カラー記録
ヘッドにおいては、各色間の混色を防止するために、基
板1と部材2が完全に密着している必要があり、本発明
の接着剤は、特に好適に用いることができる。
As an application example of this embodiment, Bk,
In an integrated color recording head capable of ejecting four color inks of Y, M and C, it is necessary that the substrate 1 and the member 2 are completely in contact with each other in order to prevent color mixture between colors. The adhesive can be used particularly preferably.

【0049】[0049]

【表4】 [Table 4]

【0050】(その他1)本発明は、特に液体噴射記録
(インクジェット記録)方式の中でも、バブルジェット
方式の記録ヘッド、記録装置において優れた効果をもた
らすものである。
(Others 1) The present invention provides excellent effects particularly in a liquid jet recording (ink jet recording) system, that is, a bubble jet recording head and a recording apparatus.

【0051】その代表的な構成や原理については、例え
ば、米国特許第4723129号明細書、同第4740
796号明細書に開示されている。基本的な原理を用い
て行うものが好ましい。この方式は所謂オンデマンド
型、コンチィニュアス型の何れにも適用可能であるが、
特にオンデマンド型の場合には、液体噴射記録ヘッド
(インク)が保持されているシートや液路に対応して配
置された電気熱変換素子に、記録情報に対応した少なく
とも一つの駆動信号を印加することによって、電気熱変
換体に核沸騰を越える急激な温度上昇を与える熱エネル
ギーを発生せしめ、記録ヘッドの熱作用面に核沸騰を起
こさせ、結果的にこの駆動信号に一対一に対応した気泡
を液体(インク)内に形成できるので有効である。この
気泡の成長、収縮により吐出孔を介して液体(インク)
を吐出させて、少なくとも一つの滴を形成する。
Regarding the typical structure and principle thereof, see, for example, US Pat. Nos. 4,723,129 and 4740.
No. 796. What is done using the basic principles is preferred. This method can be applied to both so-called on-demand type and continuous type,
Especially in the case of the on-demand type, at least one drive signal corresponding to the recording information is applied to the electrothermal conversion element arranged corresponding to the sheet or liquid path holding the liquid jet recording head (ink). By doing so, heat energy is generated that causes a rapid temperature rise in the electrothermal converter that exceeds nucleate boiling, causing nucleate boiling on the heat-acting surface of the recording head, and as a result, one-to-one correspondence with this drive signal. It is effective because bubbles can be formed in the liquid (ink). Liquid (ink) flows through the discharge holes due to the growth and contraction of these bubbles.
To form at least one drop.

【0052】この駆動信号をパルス形状とすると、即時
適切に気泡の成長収縮が行われるので、特に応答性に優
れた液体(インク)の吐出が達成でき、より好ましい。
このパルス形状の駆動信号としては、米国特許第446
3359号明細書、同第4345262号明細書に記載
されているようなものが適している。なお、上記熱作用
面の温度上昇率に関する発明として米国特許第4313
124号明細書に記載されている条件を採用すると、更
に優れた記録を行うことができる。
When the driving signal has a pulse shape, the growth and contraction of the bubbles are immediately and appropriately performed, so that it is possible to achieve the ejection of the liquid (ink) with excellent responsiveness, which is more preferable.
As the pulse-shaped drive signal, US Pat. No. 446 is used.
Those described in 3359 and 4345262 are suitable. As an invention relating to the rate of temperature rise of the heat acting surface, US Pat.
If the conditions described in the specification No. 124 are adopted, more excellent recording can be performed.

【0053】記録ヘッドの構成としては、上述の各明細
書に開示されているような吐出孔、液流路、電気熱変換
体素子の組合せ構成(直線状液流路または直角状液流
路)の他に熱作用部が屈曲する領域に配置されている構
成を開示する米国特許第4558333号明細書、米国
特許第459600号明細書を用いた構成も本発明に含
まれるものである。加えて、複数の電気熱変換体素子に
対して、共通するスリットを電気熱変換体素子の吐出部
とする構成を開示する特開昭59−123670号公報
や熱エネルギーの圧力波を吸収する開孔を吐出孔に反応
させる構成を開示する特開昭59−138461号公報
に基づいた構成にしても本発明は有効である。
As the constitution of the recording head, a combination constitution of a discharge hole, a liquid flow passage and an electrothermal converter element as disclosed in the above-mentioned respective specifications (straight liquid flow passage or right-angled liquid flow passage) In addition to the above, a configuration using US Pat. No. 4,558,333 and US Pat. No. 459600, which disclose a configuration in which a heat acting portion is arranged in a bending region, is also included in the present invention. In addition, Japanese Unexamined Patent Publication No. 59-123670 discloses a configuration in which a common slit is used as a discharge portion of an electrothermal converter element for a plurality of electrothermal converter elements, and an opening for absorbing a pressure wave of thermal energy. The present invention is effective even if the configuration is based on Japanese Patent Application Laid-Open No. 59-138461, which discloses a configuration in which the holes react with the ejection holes.

【0054】さらに、記録紙の全幅にわたり同時に記録
ができるフルラインタイプの記録ヘッドとしては、上述
した明細書に開示されているような複数記録ヘッドの組
合せによって、その長さを満たす構成や、一体的に形成
された一個の記録ヘッドとしての構成の何れでも良い
が、本発明は、上述した効果を一層有効に発揮すること
ができる。
Further, as a full line type recording head capable of simultaneously recording over the entire width of the recording paper, a combination of a plurality of recording heads as disclosed in the above-mentioned specification can be used to satisfy the length, The present invention can exert the above-mentioned effects more effectively, though it may have any one of the constitutions as a single recording head formed in a specific manner.

【0055】加えて、装置本体に装着されることで、装
置本体との電気的な接続や装置本体からのインクの供給
が可能になる交換自在のチップタイプの記録ヘッド、あ
るいは記録ヘッド自体に一体的に設けられたカートリッ
ジタイプの記録ヘッドにおいても、本発明は有効であ
る。また、記録装置に記録ヘッドに対する回復手段や予
備的な補助手段等を付加することは、本発明により得ら
れる記録ヘッドの効果を一層安定にできるので、好まし
いものである。これらを具体的に挙げれば、記録ヘッド
に対しての、キャッピング手段、クリーニング手段、加
圧あるいは吸引手段、電気熱変換体素子あるいはこれと
は別の加熱素子、あるいはこれらの組合せによる予備加
熱手段、記録とは別の吐出を行う予備吐出モードを行う
手段等を付加することも安定した記録を行うために有効
である。
In addition, by being mounted on the apparatus main body, it can be electrically connected to the apparatus main body and can be supplied with ink from the apparatus main body by a replaceable chip type recording head or the recording head itself. The present invention is also effective for a cartridge type recording head that is provided in a specific manner. Further, it is preferable to add a recovery means for the recording head, a preliminary auxiliary means, etc. to the recording apparatus because the effect of the recording head obtained by the present invention can be further stabilized. Specific examples thereof include capping means, cleaning means, pressure or suction means for the recording head, electrothermal transducer elements or heating elements other than these, or preheating means by a combination thereof, It is also effective to perform stable recording by adding a means for performing a preliminary ejection mode for performing ejection different from recording.

【0056】さらに、記録装置の記録モードとしては黒
色等の主流色のみを記録するモードだけではなく、記録
ヘッドを一体的に構成した装置、または複数個を組合せ
て構成した何れでもよいが、異なる色の複色カラーまた
は、混色によるフルカラーの少なくとも一つを備えた装
置の記録ヘッドにも、本発明は極めて有効である。
Further, the recording mode of the recording apparatus is not limited to the mode in which only the mainstream color such as black is recorded, but may be an apparatus in which the recording head is integrally formed or a combination of a plurality of recording heads. The present invention is also extremely effective for a recording head of an apparatus having at least one of a multicolored color and a full-colored mixed color.

【0057】また、本発明により得られる記録ヘッド
は、インクが液体でなくとも、室温やそれ以下で固化す
るインクであって、室温で軟化もしくは液体となるも
の、あるいは、インクジェットにおいて一般的に行われ
ている温度調整範囲である30℃以上70℃以下で軟化
もしくは液体となるものにも適用できる。すなわち、記
録信号付与時にインクが液状をなすものであれば良い。
加えて、積極的に熱エネルギーによる昇温を、インクの
固体状態から液体状態への態変換のエネルギーとして吸
収させることで防止するか、または、インクの蒸発防止
を目的として放置状態で固化するインクを用いるかし
て、いずれにしても熱エネルギーの記録信号に応じた付
与によってインクが液化してインク状態として吐出する
ものや記録媒体に到達する時点ではすでに固化し始める
もの等のような、熱エネルギーによって初めて液化する
性質のインク使用も本発明に係わる記録ヘッドには適用
可能である。
The recording head obtained by the present invention is an ink which solidifies at room temperature or below even if the ink is not a liquid, and becomes soft or liquid at room temperature, or is generally used in ink jet. It can also be applied to those that become soft or become liquid at a temperature adjustment range of 30 ° C or higher and 70 ° C or lower. That is, the ink may be in a liquid state when the recording signal is applied.
In addition, ink that is positively absorbed by heat energy is prevented by absorbing it as energy for the state conversion of the ink from a solid state to a liquid state, or an ink that solidifies in a standing state for the purpose of preventing evaporation of the ink. In any case, heat such as ink that is liquefied and ejected as an ink state by applying heat energy according to the recording signal or that has already started to solidify when it reaches the recording medium. The use of ink which has the property of being liquefied only by energy is also applicable to the recording head according to the present invention.

【0058】このような場合インクは、特開昭54−5
66847号公報あるいは特開昭60−71260号公
報に記載されるような、多孔質シート凹部または貫通孔
に液状または固形物として保持された状態で、電気熱変
換体素子に対して対向するような形態としても良い。本
発明においては、上述した各インクに対して最も有効な
ものは、上述した膜沸騰方式を実行するものである。
In such a case, the ink is described in JP-A-54-5.
As described in Japanese Patent No. 66847 or Japanese Patent Application Laid-Open No. 60-71260, it is opposed to the electrothermal converter element while being held as a liquid or solid in the recess or through hole of the porous sheet. It may be in the form. In the present invention, the most effective one for each of the above-mentioned inks is to execute the above-mentioned film boiling method.

【0059】図15は、本発明により得られた液体噴射
記録ヘッドをインクジェットカートリッジ(IJC)と
して装着したインクジェット記録装置(IJRA)の一
例を示す外観斜視図である。
FIG. 15 is an external perspective view showing an example of an ink jet recording apparatus (IJRA) in which the liquid jet recording head obtained by the present invention is mounted as an ink jet cartridge (IJC).

【0060】図において、220はプラテン224上に
送紙されてきた記録紙の記録面に対向してインク吐出を
行うノズル群を備えたインクジェットカートリッジ(I
JC)である。16はIJC220を保持するキャリッ
ジHCであり、駆動モーター217の駆動力を伝達する
駆動ベルト218の一部と連結し、互いに平行に配設さ
れた2本のガイドシャフト219Aおよび219Bと摺
動可能とすることによりIJC220の記録紙の全幅に
わたる往復移動が可能となる。
In the figure, reference numeral 220 denotes an ink jet cartridge (I) provided with a group of nozzles for ejecting ink in opposition to the recording surface of the recording paper fed onto the platen 224.
JC). Reference numeral 16 denotes a carriage HC that holds the IJC 220, and is connected to a part of a drive belt 218 that transmits the driving force of the drive motor 217, and is slidable with two guide shafts 219A and 219B arranged in parallel with each other. By doing so, reciprocating movement over the entire width of the recording paper of the IJC 220 becomes possible.

【0061】226はヘッド回復装置であり、IJC2
20の移動経路の一端、例えばホームポジションと対向
する位置に配設される。伝動機構223を介したモータ
ー222の駆動力によって、ヘッド回復装置226を動
作せしめ、IJC220のキャッピングを行う。このヘ
ッド回復装置226のキャップ部226AによるIJC
220へのキャッピングに関連させて、ヘッド回復装置
226内に設けた適宜の吸引手段によるインクの吸引も
しくはIJC220へのインク供給経路に設けた適宜の
加圧手段によるインク圧送を行い、インクを吐出孔より
強制的に排出させることによりノズル内の増粘インクを
除去する等の吐出回復処理を行う。また、記録終了時等
にキャッピングを施すことによりIJC220が保護さ
れる。
Reference numeral 226 denotes a head recovery device, which is IJC2.
It is arranged at one end of the movement path of 20, for example, a position facing the home position. The head recovery device 226 is operated by the driving force of the motor 222 via the transmission mechanism 223, and the IJC 220 is capped. IJC by the cap portion 226A of the head recovery device 226
In association with capping to the 220, ink is sucked by an appropriate suction means provided in the head recovery device 226 or ink is pressure-fed by an appropriate pressurizing means provided in the ink supply path to the IJC 220 to discharge the ink. Ejection recovery processing such as removing the thickened ink in the nozzle by more forcibly discharging is performed. Also, the IJC 220 is protected by capping at the end of recording or the like.

【0062】230は、ヘッド回復装置226の側面に
配設され、シリコンゴムで形成されるワイピング部材と
してのブレードである。ブレード230はブレード保持
部材230Aにカンチレバー形態で保持され、ヘッド回
復装置226と同様、モーター222および伝動機構2
23によって動作し、IJC220の吐出面との係合が
可能となる。これにより、IJC220の記録動作にお
ける適切なタイミングで、あるいはヘッド回復装置22
6を用いた吐出回復処理後に、ブレード230をIJC
220の移動経路中に突出させ、IJC220の移動動
作に伴ってIJC220の吐出面における結露、濡れあ
るいは塵等をふきとるものである。
Reference numeral 230 is a blade as a wiping member which is disposed on the side surface of the head recovery device 226 and is made of silicon rubber. The blade 230 is held by the blade holding member 230A in the form of a cantilever, and like the head recovery device 226, the motor 222 and the transmission mechanism 2 are provided.
23, it becomes possible to engage with the ejection surface of the IJC 220. This allows the IJC 220 to perform the recording operation at an appropriate timing, or the head recovery device 22.
After the ejection recovery process using No. 6, the blade 230 is IJC
The protrusion 220 is projected in the moving path of the IJC 220, and the dew condensation, the wetting, the dust or the like on the ejection surface of the IJC 220 is wiped off as the IJC 220 moves.

【0063】(その他2)また、本発明の液体噴射記録
ヘッドにおいては、該ヘッドを有する液体噴射記録ヘッ
ドキットを構成することができる。図16は、このよう
な液体噴射記録ヘッドキットを示した模式図であり、こ
のキット500は、インクを吐出するインク吐出部51
1を有する本発明の液体噴射記録ヘッド510と、この
ヘッドと不可分もしくは分離可能な液体容器であるイン
ク容器520と、このインク容器にインクを充填するた
めのインクを保持したインク充填手段530とを、キッ
ト容器501内に納めたものである。
(Others 2) Further, in the liquid jet recording head of the present invention, a liquid jet recording head kit having the head can be constructed. FIG. 16 is a schematic diagram showing such a liquid jet recording head kit. The kit 500 includes an ink ejecting section 51 for ejecting ink.
1, a liquid ejection recording head 510 of the present invention, an ink container 520 which is an inseparable or separable liquid container from the head, and an ink filling means 530 holding ink for filling the ink container. It is stored in the kit container 501.

【0064】インクを消費し終わった場合には、インク
容器の大気連通口521や記録ヘッドとの接続部や、も
しくはインク容器の壁に開けた穴などに、インク充填手
段530の挿入部(注射針等)531の一部を挿入し、
この挿入部を介してインク充填手段内のインクをインク
容器内に充填すればよい。
When the ink has been consumed, the insertion portion (injection) of the ink filling means 530 is inserted into the atmosphere communication port 521 of the ink container, the connection portion with the recording head, the hole formed in the wall of the ink container, or the like. (A needle, etc.) 531 is partially inserted,
The ink in the ink filling means may be filled in the ink container via the insertion portion.

【0065】このように、本発明の液体噴射記録ヘッド
510と、インク容器520やインク充填手段530等
を一つのキット容器501内に納めてキット500にす
ることで、インクが消費されてしまっても前述のように
すぐに、また容易にインクをインク容器内に充填するこ
とができ、記録の開始を迅速に行うことができる。
As described above, the liquid jet recording head 510 of the present invention, the ink container 520, the ink filling means 530 and the like are housed in one kit container 501 to form the kit 500, and ink is consumed. As described above, the ink can be filled in the ink container immediately and easily, and the recording can be started quickly.

【0066】なお、本実施例の液体噴射記録ヘッドキッ
ト500では、インク充填手段530が含まれるもので
説明を行ったが、キットとしては、インク充填手段53
0を持たず、インクが充填された分離可能タイプのイン
ク容器520がキット容器501内に納められている形
態のものであってもよい。
Although the liquid jet recording head kit 500 of this embodiment has been described as including the ink filling means 530, the kit is the ink filling means 53.
A separable type ink container 520 filled with ink without 0 may be contained in the kit container 501.

【0067】[0067]

【発明の効果】以上説明したように、本発明の液体噴射
記録ヘッドは、インク吐出圧力発生素子が形成された第
1の基体と、インク吐出口を形成する第2の基体を接合
する接着層に、エポキシ樹脂のカチオン重合硬化物を用
いることを特徴としている。このエポキシ樹脂のカチオ
ン重合効果物は、長期の使用に際して強い接着力を維持
し、かつアルカリ性インク耐性に優れた材料であるの
で、この耐アルカリインク性の高い接着剤により第1の
基体と第2の基体を一体化することによって、液体噴射
記録ヘッドおよび該記録ヘッドを有する液体噴射記録装
置の信頼性を高めることができる。
As described above, in the liquid jet recording head of the present invention, the adhesive layer for joining the first substrate on which the ink ejection pressure generating element is formed and the second substrate on which the ink ejection port is formed. In addition, a cationically cured product of an epoxy resin is used. The cationic polymerization effect product of this epoxy resin is a material that maintains a strong adhesive force during long-term use and is excellent in alkaline ink resistance. By integrating the substrate of (1), the reliability of the liquid jet recording head and the liquid jet recording apparatus having the recording head can be improved.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の接着剤を周知の構造を有する記録ヘッ
ドに応用した本発明の第1の実施例を説明する記録ヘッ
ドの製造工程模式図である。
FIG. 1 is a schematic diagram of a manufacturing process of a recording head for explaining a first embodiment of the present invention in which an adhesive of the present invention is applied to a recording head having a known structure.

【図2】本発明の接着剤を周知の構造を有する記録ヘッ
ドに応用した本発明の第1の実施例を説明する記録ヘッ
ドの製造工程模式図である。
FIG. 2 is a schematic diagram of a manufacturing process of a recording head for explaining the first embodiment of the present invention in which the adhesive of the present invention is applied to a recording head having a known structure.

【図3】本発明の接着剤を周知の構造を有する記録ヘッ
ドに応用した本発明の第1の実施例を説明する記録ヘッ
ドの製造工程模式図である。
FIG. 3 is a schematic diagram of the manufacturing process of the recording head for explaining the first embodiment of the present invention in which the adhesive of the present invention is applied to a recording head having a known structure.

【図4】本発明の接着剤を周知の構造を有する記録ヘッ
ドに応用した本発明の第2の実施例を説明する記録ヘッ
ドの製造工程模式図である。
FIG. 4 is a schematic diagram of a manufacturing process of a recording head for explaining a second embodiment of the present invention in which the adhesive of the present invention is applied to a recording head having a known structure.

【図5】本発明の接着剤を周知の構造を有する記録ヘッ
ドに応用した本発明の第2の実施例を説明する記録ヘッ
ドの製造工程模式図である。
FIG. 5 is a schematic diagram of the manufacturing process of the recording head for explaining the second embodiment of the present invention in which the adhesive of the present invention is applied to the recording head having a known structure.

【図6】本発明の接着剤を周知の構造を有する記録ヘッ
ドに応用した本発明の第2の実施例を説明する記録ヘッ
ドの製造工程模式図である。
FIG. 6 is a schematic diagram of a manufacturing process of a recording head for explaining a second embodiment of the present invention in which the adhesive of the present invention is applied to a recording head having a known structure.

【図7】本発明の接着剤を周知の構造を有する記録ヘッ
ドに応用した本発明の第3の実施例を説明する記録ヘッ
ドの製造工程模式図である。
FIG. 7 is a schematic diagram of a manufacturing process of a recording head for explaining the third embodiment of the present invention in which the adhesive of the present invention is applied to a recording head having a known structure.

【図8】本発明の接着剤を周知の構造を有する記録ヘッ
ドに応用した本発明の第3の実施例を説明する記録ヘッ
ドの製造工程模式図である。
FIG. 8 is a schematic diagram of a manufacturing process of a recording head for explaining the third embodiment of the present invention in which the adhesive of the present invention is applied to a recording head having a known structure.

【図9】本発明の接着剤を周知の構造を有する記録ヘッ
ドに応用した本発明の第3の実施例を説明する記録ヘッ
ドの製造工程模式図である。
FIG. 9 is a schematic diagram of a manufacturing process of a recording head for explaining the third embodiment of the present invention in which the adhesive of the present invention is applied to a recording head having a known structure.

【図10】本発明の接着剤を周知の構造を有する記録ヘ
ッドに応用した本発明の第4の実施例を説明する記録ヘ
ッドの製造工程模式図である。
FIG. 10 is a schematic manufacturing process diagram of a recording head for explaining the fourth embodiment of the present invention in which the adhesive of the present invention is applied to a recording head having a known structure.

【図11】本発明の接着剤を周知の構造を有する記録ヘ
ッドに応用した本発明の第4の実施例を説明する記録ヘ
ッドの製造工程模式図である。
FIG. 11 is a schematic diagram of a manufacturing process of a recording head for explaining the fourth embodiment of the present invention in which the adhesive of the present invention is applied to a recording head having a known structure.

【図12】本発明の接着剤を周知の構造を有する記録ヘ
ッドに応用した本発明の第5の実施例を説明する記録ヘ
ッドの製造工程模式図である。
FIG. 12 is a schematic diagram of a manufacturing process of a recording head for explaining the fifth embodiment of the present invention in which the adhesive of the present invention is applied to a recording head having a known structure.

【図13】本発明の接着剤を周知の構造を有する記録ヘ
ッドに応用した本発明の第5の実施例を説明する記録ヘ
ッドの製造工程模式図である。
FIG. 13 is a schematic view of a recording head manufacturing process for explaining the fifth embodiment of the present invention in which the adhesive of the present invention is applied to a recording head having a known structure.

【図14】本発明の接着剤を周知の構造を有する記録ヘ
ッドに応用した本発明の第5の実施例を説明する記録ヘ
ッドの製造工程模式図である。
FIG. 14 is a schematic diagram of the manufacturing process of the recording head for explaining the fifth embodiment of the present invention in which the adhesive of the present invention is applied to the recording head having a known structure.

【図15】本発明の液体噴射記録ヘッドを装着したイン
クジェット記録装置(液体噴射記録装置)の一例を示す
斜視図である。
FIG. 15 is a perspective view showing an example of an ink jet recording apparatus (liquid ejection recording apparatus) equipped with the liquid ejection recording head of the present invention.

【図16】本発明の液体噴射記録ヘッドを有するヘッド
キットを示した模式図である。
FIG. 16 is a schematic view showing a head kit having the liquid jet recording head of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 インク吐出圧力発生素子10が形成された基体 2 インク吐出口21を形成する基体 10 インク吐出圧力発生素子 21 インク吐出口 22 インク供給口 30 接着剤層 1 Substrate on which ink ejection pressure generating element 10 is formed 2 Base for forming ink ejection port 21 10 Ink ejection pressure generating element 21 ink outlet 22 Ink supply port 30 adhesive layer

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) B41J 2/05 B41J 2/16 B41J 2/175 C09J 163/00 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of front page (58) Fields surveyed (Int.Cl. 7 , DB name) B41J 2/05 B41J 2/16 B41J 2/175 C09J 163/00

Claims (3)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 インク吐出圧力発生素子が形成された第
1の基体と、前記第1の基体と一体化されてインク吐出
口を形成している第2の基体、またはインク吐出口が形
成された第2の基体とを、接着剤層で一体化する液体噴
射記録ヘッドの製造方法において、 前記第1の基体または第2の基体いずれか一方に、少な
くともエポキシ樹脂とカチオン重合開始剤とを含む接着
剤層を形成する工程、 前記接着剤層の光照射により該接着剤層の光照射部を
硬化させ、前記接着剤層のパターニングを行う工程、お
よび 前記半硬化した接着剤層を介して接着剤層を形成した基
体と接着剤層が形成されていない基体とを張り合わせ、
加熱して接着剤層を完全硬化させる工程、を含み、前記
第1の基体と第2の基体とをエポキシ樹脂のカチオン重
合硬化物を含む接着層で一体化することを特徴とする液
体噴射記録ヘッドの製造方法。
1. A first substrate on which an ink ejection pressure generating element is formed, a second substrate integrally formed with the first substrate to form an ink ejection port, or an ink ejection port is formed. In a method for manufacturing a liquid jet recording head, which integrates a second substrate with an adhesive layer, at least one of the first substrate and the second substrate contains at least an epoxy resin and a cationic polymerization initiator. Forming an adhesive layer, semi-curing the light-irradiated portion of the adhesive layer by light irradiation of the adhesive layer, patterning the adhesive layer, and through the semi-cured adhesive layer Laminating the substrate on which the adhesive layer is formed and the substrate on which the adhesive layer is not formed,
A step of heating to completely cure the adhesive layer, wherein the first substrate and the second substrate are integrated with an adhesive layer containing a cationically polymerized cured product of an epoxy resin. Head manufacturing method.
【請求項2】 前記接着剤層がさらに還元剤を含む請求
項1に記載の液体噴射記録ヘッドの製造方法。
2. The method for manufacturing a liquid jet recording head according to claim 1, wherein the adhesive layer further contains a reducing agent.
【請求項3】 前記第2の基体がインク供給口とインク
吐出口とが一体に成形された部材である請求項1に記載
の液体噴射記録ヘッドの製造方法。
3. The second substrate is an ink supply port and ink.
The discharge port is a member integrally molded with the discharge port according to claim 1.
Manufacturing method of liquid jet recording head.
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