JP3510401B2 - 顕微鏡対物レンズ - Google Patents
顕微鏡対物レンズInfo
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- Lenses (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は顕微鏡対物レンズ
で、特に倍率が１００倍程度、開口数が０．９５程度
で、像面が平坦なアポクロマート級に顕微鏡対物レンズ
に関するものである。 【０００２】 【従来の技術】本発明の対物レンズに類似する顕微鏡対
物レンズの従来例として特公平３−５８４９５号に記載
されているレンズ系が知られている。この対物レンズ
は、物体側から順に、物体側に凹面を向けた正のメニス
カスレンズ成分と正のメニスカスレンズ成分と、接合レ
ンズ成分とを有し物体からの光束を収斂光束に変換する
正の屈折力の第１レンズ群と、前記の収斂光束中に配置
されていて屈折力の小さい接合レンズを有する第２レン
ズ群と、物体側に凸面を向けたメニスカスレンズ成分と
これに続く負のレンズ成分とを有する負の屈折力の第３
レンズ群とからなる。 【０００３】 【発明が解決しようとする課題】前記従来の顕微鏡対物
レンズは、球面収差や軸上色収差がアポクロマートレベ
ルに補正されていない。これは、この従来例の目的とす
る作動距離を長くするようにするためで、作動距離を長
くすると必然的に収差補正が難しくなるためである。 【０００４】本発明の目的は、倍率が１００倍程度で、
開口数が０．９５程度で、アポクロマート級の顕微鏡対
物レンズを提供することにある。 【０００５】上記の通りの乾燥系の高ＮＡ、高倍アポク
ロマート対物レンズは半導体や磁気ヘッド等を対象とし
た高解像観察、測定にとって特に有用である。 【０００６】 【課題を解決するための手段】本発明の顕微鏡対物レン
ズは、物体側から順に、物体側に凹面を向けた正のメニ
スカスレンズと複数の接合正レンズ成分とを少なくとも
有していて物体からの光束を収斂光束にする正の屈折力
の第１レンズ群と、最も物体側に凸面を有すると共に最
も像側の面が像側に凹形状を有しており負レンズと正レ
ンズと負レンズとを接合した３枚接合レンズ成分からな
る第２レンズ群と、最も物体側が凸面のメニスカスレン
ズ成分と物体側に凹面を向けたメニスカスレンズ成分と
を有する第３レンズ群とを備え下記の条件（１），
（２），（３）を満足することを特徴とする。 【０００７】（１） ０．７＜Ｒ2 ／Ｒ3 ＜１．３ （２） Ｎ1 ＞Ｎ2 ，Ｎ3 ＞Ｎ2 （３） ｆ／ｆ2 ＜−０．１ ただし、Ｒ2 ，Ｒ3 はそれぞれ第２レンズ群の最も像側
の面の曲率半径および第３レンズ群の最も物体側の面の
曲率半径、Ｎ1 ，Ｎ2 ，Ｎ3 はそれぞれ第２レンズ群の
３枚接合レンズの物体側の負レンズ、正レンズ、像側の
負レンズの屈折率、ｆは全系の焦点距離、ｆ2 は第２レ
ンズ群の焦点距離である。 【０００８】一般に、像面の平坦な乾燥系プラン対物レ
ンズは、収差に悪影響を与えないために最も物体側に凹
面を向けた正のメニスカスレンズを配置する。また複数
の接合レンズ成分を配置するのは、色収差を良好に補正
するためである。そしてこれらレンズ成分を有する正の
屈折力を持つ第１レンズ群により物体からの光束を収斂
光束に変換する作用を有している。又、第２レンズ群、
第３レンズ群は、第１レンズ群で補正不足になった収差
を補正するために負の屈折力のレンズを設けている。つ
まり第２レンズ群は負レンズと正レンズと負レンズの３
枚接合レンズを配置した。この３枚接合レンズは、色収
差を補正すると共にこれら３枚のレンズの屈折率を条件
（２）に示すように設定して二つの接合面に負の屈折力
を持たせることにより、補正不足の球面収差や軸上色収
差の曲がりも補正している。又、３枚接合レンズ全体の
形状を、最も物体側の面を物体側に凸の面、最も像側の
面を像側に強い凹面にし、収斂光束中での収差発生を極
力少なくしている。更に第３レンズ群の最も物体側の面
を強い凸面にすることと合わせ第２レンズ群の最も像側
の面の負の屈折力を有効に働かせるようにしている。 【０００９】条件（１）は、第２レンズ群の最も像側の
面と第３レンズ群の最も物体側の面の曲率半径の関係を
規定するものである。 【００１０】上記の二つの面の曲率半径が近い値である
ほど、この二つの面で形成される空気レンズの働きによ
る負の屈折力が収差補正にとって有効になる。つまり収
斂光束中での収差の発生を極力減らし、負の屈折力を有
効に働かせることが出来る。 【００１１】この条件（１）の上限の１．３を越えると
第３レンズ群の最も物体側の面の正の屈折力が強くなり
すぎ、又下限の０．７を越えると第２レンズ群の最も像
側の面の負の屈折力が強くなりすぎて、いずれも収斂光
束中での収差の発生が増加する。 【００１２】又、条件（２）を満足しないと３枚接合レ
ンズの両接合面が正の屈折力になり、負の屈折力が不足
して球面収差や軸上色収差の補正が困難になる。 【００１３】条件（３）は第２レンズ群の焦点距離を規
定するもので、このレンズ群の負の屈折力により収差を
良好に補正するためのものである。この条件（３）を満
足しないと、第２レンズ群の負の屈折力が不足し球面収
差や軸上色収差の曲がりが補正不足になる。 【００１４】又、第３レンズ群は、物体側に凹面を向け
たメニスカスレンズ成分によってコマ収差を中心とした
軸外収差を補正して像面平坦性を良くする役割を有す
る。 【００１５】 【発明の実施の形態】次に本発明の顕微鏡対物レンズの
実施の形態を実施例をもとに説明する。本発明の顕微鏡
対物レンズは、図１に示す通りで、第１レンズ群Ｇ１
は、物体側に凹面を向けたメニスカスレンズと三つの接
合レンズ成分と両凸レンズとよりなり、第２レンズ群Ｇ
２は負レンズと正レンズと負レンズの３枚接合レンズ成
分よりなり、第３レンズ群Ｇ３は物体側に凸面を向けた
接合メニスカスレンズ成分と物体側に凹面を向けた接合
メニスカスレンズ成分からなる。 【００１６】以下、本発明顕微鏡対物レンズの実施例
１，２のデーターを示す。 実施例１ ｆ＝1.8 ，倍率＝100 ×，ＮＡ＝0.95，作動距離＝0.77 ｒ1 ＝-2.2936 ｄ1 ＝1.7700 ｎ1 ＝1.88300 ν1 ＝40.78 ｒ2 ＝-2.1326 ｄ2 ＝0.1416 ｒ3 ＝-10.6925 ｄ3 ＝1.1000 ｎ2 ＝1.61340 ν2 ＝43.84 ｒ4 ＝7.1166 ｄ4 ＝5.5000 ｎ3 ＝1.61800 ν3 ＝63.39 ｒ5 ＝-7.6238 ｄ5 ＝0.2000 ｒ6 ＝-64.2877 ｄ6 ＝1.0000 ｎ4 ＝1.52944 ν4 ＝51.72 ｒ7 ＝10.2264 ｄ7 ＝6.2000 ｎ5 ＝1.43875 ν5 ＝94.97 ｒ8 ＝-9.6473 ｄ8 ＝0.2000 ｒ9 ＝57.3942 ｄ9 ＝1.2000 ｎ6 ＝1.61340 ν6 ＝43.84 ｒ10＝9.2329 ｄ10＝5.2000 ｎ7 ＝1.43875 ν7 ＝94.97 ｒ11＝-18.4308 ｄ11＝0.3000 ｒ12＝15.2753 ｄ12＝2.5000 ｎ8 ＝1.56907 ν8 ＝71.30 ｒ13＝-147.8112 ｄ13＝0.2000 ｒ14＝13.4472 ｄ14＝1.3000 ｎ9 ＝1.52944 ν9 ＝51.72 ｒ15＝5.5507 ｄ15＝5.5000 ｎ10＝1.43875 ν10＝94.97 ｒ16＝-9.4406 ｄ16＝1.0001 ｎ11＝1.51633 ν11＝64.15 ｒ17＝4.6960 ｄ17＝1.0000 ｒ18＝4.5949 ｄ18＝3.2000 ｎ12＝1.49700 ν12＝81.61 ｒ19＝-9.4136 ｄ19＝1.8812 ｎ13＝1.78650 ν13＝50.00 ｒ20＝5.2173 ｄ20＝4.5626 ｒ21＝-5.3868 ｄ21＝1.5744 ｎ14＝1.77250 ν14＝49.60 ｒ22＝9.3410 ｄ22＝1.7000 ｎ15＝1.80518 ν15＝25.43 ｒ23＝-10.1181 Ｒ2 ＝4.696 ，Ｒ3 ＝4.5949，Ｒ2 ／Ｒ3 ＝1.022 Ｎ1 ＝1.52944 ，Ｎ2 ＝1.43875 ，Ｎ3 ＝1.51633 ｆ2 ＝-12.69，ｆ／ｆ2 ＝-0.14 【００１７】実施例２ ｆ＝1.8 ，倍率＝100 ×，ＮＡ＝0.95，作動距離＝0.77 ｒ1 ＝-2.4614 ｄ1 ＝1.7700 ｎ1 ＝1.88300 ν1 ＝40.78 ｒ2 ＝-2.1687 ｄ2 ＝0.1416 ｒ3 ＝-7.7870 ｄ3 ＝1.1000 ｎ2 ＝1.61340 ν2 ＝43.84 ｒ4 ＝7.4898 ｄ4 ＝5.5000 ｎ3 ＝1.61800 ν3 ＝63.39 ｒ5 ＝-7.4334 ｄ5 ＝0.2000 ｒ6 ＝-101.0399 ｄ6 ＝1.0000 ｎ4 ＝1.52944 ν4 ＝51.72 ｒ7 ＝10.6481 ｄ7 ＝6.2000 ｎ5 ＝1.43875 ν5 ＝94.97 ｒ8 ＝-10.1545 ｄ8 ＝0.2000 ｒ9 ＝82.7234 ｄ9 ＝1.2000 ｎ6 ＝1.61340 ν6 ＝43.84 ｒ10＝10.8219 ｄ10＝5.2000 ｎ7 ＝1.43875 ν7 ＝94.97 ｒ11＝-22.0339 ｄ11＝0.3000 ｒ12＝16.1904 ｄ12＝2.5000 ｎ8 ＝1.56907 ν8 ＝71.30 ｒ13＝-61.7442 ｄ13＝0.2000 ｒ14＝14.3636 ｄ14＝1.3000 ｎ9 ＝1.52944 ν9 ＝51.72 ｒ15＝5.0644 ｄ15＝5.5000 ｎ10＝1.43875 ν10＝94.97 ｒ16＝-9.3845 ｄ16＝1.0001 ｎ11＝1.51633 ν11＝64.15 ｒ17＝5.3935 ｄ17＝1.0000 ｒ18＝5.2205 ｄ18＝3.2000 ｎ12＝1.49700 ν12＝81.61 ｒ19＝36.9783 ｄ19＝2.0552 ｎ13＝1.78650 ν13＝50.00 ｒ20＝6.4087 ｄ20＝4.8806 ｒ21＝-4.0037 ｄ21＝1.0824 ｎ14＝1.77250 ν14＝49.60 ｒ22＝7.2400 ｄ22＝1.7000 ｎ15＝1.80518 ν15＝25.43 ｒ23＝-9.6973 Ｒ2 ＝5.3935，Ｒ3 ＝5.2205，Ｒ2 ／Ｒ3 ＝1.033 Ｎ1 ＝1.52944 ，Ｎ2 ＝1.43875 ，Ｎ3 ＝1.51633 ｆ2 ＝-13.75，ｆ／ｆ2 ＝-0.13 ただしｒ1 ，ｒ2 ，・・・ は物体側から順に示した各レン
ズ面の曲率半径、ｄ1 ，ｄ2 ，・・・ は物体側から順に各
レンズ面間の間隔、ｎ1 ，ｎ2 ，・・・ は物体側から順に
示した各レンズの屈折率、ν1 ，ν2 ，・・・ は物体側か
ら順に示した各レンズのアッベ数である。 【００１８】これら実施例１，２はいずれも図１に示す
レンズ構成で、いずれも無限遠設計であって、それ自身
では結像しない。そのため例えば図２に示すような構成
で、下記データーを有する結像レンズを対物レンズの像
側に配置して使用する。 ｒ1'＝68.7541 ｄ1'＝7.7321 ｎ1'＝1.48749 ν1'＝70.20 ｒ2'＝-37.5679 ｄ2'＝3.4742 ｎ2'＝1.80610 ν2'＝40.95 ｒ3'＝-102.8477 ｄ3'＝0.6973 ｒ4'＝84.3099 ｄ4'＝6.0238 ｎ3'＝1.83400 ν3'＝37.16 ｒ5'＝-50.7100 ｄ5'＝3.0298 ｎ4'＝1.64450 ν4'＝40.82 ｒ6'＝40.6619 上記結像レンズのデーターにおいて、ｒ1'，ｒ2'，・・・
は物体側から順に示した各レンズ面の曲率半径、ｄ1'，
ｄ2'，・・・ は物体側から順に各レンズ面間の間隔、
ｎ1'，ｎ2'，・・・ は物体側から順に各レンズのｄ線に対
する屈折率、ν1'，ν2'，・・・ は物体側から順に各レン
ズのアッベ数である。尚実施例１，２および結像レンズ
のデーターの長さの単位はmmである。 【００１９】上記の実施例１，２と上記結像レンズとの
間の間隔は、５０mm〜１７０mmの間のいずれの値でもよ
い。又実施例１，２の収差状況は、夫々図３、図４に示
す通りである。これら収差図は、上記データーを有する
図２に示す結像レンズを配置した時のもので、各実施例
の対物レンズと結像レンズの間の空気間隔は、１１６mm
である。しかし上記間隔が５０mm〜１７０mmの間の値で
あれば、１１６mm以外の値であってもほぼ同様の収差状
況である。 【００２０】 【発明の効果】本発明は、上記のような構成であって、
これにより倍率が１００倍程度、ＮＡが０．９５程度
で、アポクロマート級の顕微鏡対物レンズを実現し得
た。
で、特に倍率が１００倍程度、開口数が０．９５程度
で、像面が平坦なアポクロマート級に顕微鏡対物レンズ
に関するものである。 【０００２】 【従来の技術】本発明の対物レンズに類似する顕微鏡対
物レンズの従来例として特公平３−５８４９５号に記載
されているレンズ系が知られている。この対物レンズ
は、物体側から順に、物体側に凹面を向けた正のメニス
カスレンズ成分と正のメニスカスレンズ成分と、接合レ
ンズ成分とを有し物体からの光束を収斂光束に変換する
正の屈折力の第１レンズ群と、前記の収斂光束中に配置
されていて屈折力の小さい接合レンズを有する第２レン
ズ群と、物体側に凸面を向けたメニスカスレンズ成分と
これに続く負のレンズ成分とを有する負の屈折力の第３
レンズ群とからなる。 【０００３】 【発明が解決しようとする課題】前記従来の顕微鏡対物
レンズは、球面収差や軸上色収差がアポクロマートレベ
ルに補正されていない。これは、この従来例の目的とす
る作動距離を長くするようにするためで、作動距離を長
くすると必然的に収差補正が難しくなるためである。 【０００４】本発明の目的は、倍率が１００倍程度で、
開口数が０．９５程度で、アポクロマート級の顕微鏡対
物レンズを提供することにある。 【０００５】上記の通りの乾燥系の高ＮＡ、高倍アポク
ロマート対物レンズは半導体や磁気ヘッド等を対象とし
た高解像観察、測定にとって特に有用である。 【０００６】 【課題を解決するための手段】本発明の顕微鏡対物レン
ズは、物体側から順に、物体側に凹面を向けた正のメニ
スカスレンズと複数の接合正レンズ成分とを少なくとも
有していて物体からの光束を収斂光束にする正の屈折力
の第１レンズ群と、最も物体側に凸面を有すると共に最
も像側の面が像側に凹形状を有しており負レンズと正レ
ンズと負レンズとを接合した３枚接合レンズ成分からな
る第２レンズ群と、最も物体側が凸面のメニスカスレン
ズ成分と物体側に凹面を向けたメニスカスレンズ成分と
を有する第３レンズ群とを備え下記の条件（１），
（２），（３）を満足することを特徴とする。 【０００７】（１） ０．７＜Ｒ2 ／Ｒ3 ＜１．３ （２） Ｎ1 ＞Ｎ2 ，Ｎ3 ＞Ｎ2 （３） ｆ／ｆ2 ＜−０．１ ただし、Ｒ2 ，Ｒ3 はそれぞれ第２レンズ群の最も像側
の面の曲率半径および第３レンズ群の最も物体側の面の
曲率半径、Ｎ1 ，Ｎ2 ，Ｎ3 はそれぞれ第２レンズ群の
３枚接合レンズの物体側の負レンズ、正レンズ、像側の
負レンズの屈折率、ｆは全系の焦点距離、ｆ2 は第２レ
ンズ群の焦点距離である。 【０００８】一般に、像面の平坦な乾燥系プラン対物レ
ンズは、収差に悪影響を与えないために最も物体側に凹
面を向けた正のメニスカスレンズを配置する。また複数
の接合レンズ成分を配置するのは、色収差を良好に補正
するためである。そしてこれらレンズ成分を有する正の
屈折力を持つ第１レンズ群により物体からの光束を収斂
光束に変換する作用を有している。又、第２レンズ群、
第３レンズ群は、第１レンズ群で補正不足になった収差
を補正するために負の屈折力のレンズを設けている。つ
まり第２レンズ群は負レンズと正レンズと負レンズの３
枚接合レンズを配置した。この３枚接合レンズは、色収
差を補正すると共にこれら３枚のレンズの屈折率を条件
（２）に示すように設定して二つの接合面に負の屈折力
を持たせることにより、補正不足の球面収差や軸上色収
差の曲がりも補正している。又、３枚接合レンズ全体の
形状を、最も物体側の面を物体側に凸の面、最も像側の
面を像側に強い凹面にし、収斂光束中での収差発生を極
力少なくしている。更に第３レンズ群の最も物体側の面
を強い凸面にすることと合わせ第２レンズ群の最も像側
の面の負の屈折力を有効に働かせるようにしている。 【０００９】条件（１）は、第２レンズ群の最も像側の
面と第３レンズ群の最も物体側の面の曲率半径の関係を
規定するものである。 【００１０】上記の二つの面の曲率半径が近い値である
ほど、この二つの面で形成される空気レンズの働きによ
る負の屈折力が収差補正にとって有効になる。つまり収
斂光束中での収差の発生を極力減らし、負の屈折力を有
効に働かせることが出来る。 【００１１】この条件（１）の上限の１．３を越えると
第３レンズ群の最も物体側の面の正の屈折力が強くなり
すぎ、又下限の０．７を越えると第２レンズ群の最も像
側の面の負の屈折力が強くなりすぎて、いずれも収斂光
束中での収差の発生が増加する。 【００１２】又、条件（２）を満足しないと３枚接合レ
ンズの両接合面が正の屈折力になり、負の屈折力が不足
して球面収差や軸上色収差の補正が困難になる。 【００１３】条件（３）は第２レンズ群の焦点距離を規
定するもので、このレンズ群の負の屈折力により収差を
良好に補正するためのものである。この条件（３）を満
足しないと、第２レンズ群の負の屈折力が不足し球面収
差や軸上色収差の曲がりが補正不足になる。 【００１４】又、第３レンズ群は、物体側に凹面を向け
たメニスカスレンズ成分によってコマ収差を中心とした
軸外収差を補正して像面平坦性を良くする役割を有す
る。 【００１５】 【発明の実施の形態】次に本発明の顕微鏡対物レンズの
実施の形態を実施例をもとに説明する。本発明の顕微鏡
対物レンズは、図１に示す通りで、第１レンズ群Ｇ１
は、物体側に凹面を向けたメニスカスレンズと三つの接
合レンズ成分と両凸レンズとよりなり、第２レンズ群Ｇ
２は負レンズと正レンズと負レンズの３枚接合レンズ成
分よりなり、第３レンズ群Ｇ３は物体側に凸面を向けた
接合メニスカスレンズ成分と物体側に凹面を向けた接合
メニスカスレンズ成分からなる。 【００１６】以下、本発明顕微鏡対物レンズの実施例
１，２のデーターを示す。 実施例１ ｆ＝1.8 ，倍率＝100 ×，ＮＡ＝0.95，作動距離＝0.77 ｒ1 ＝-2.2936 ｄ1 ＝1.7700 ｎ1 ＝1.88300 ν1 ＝40.78 ｒ2 ＝-2.1326 ｄ2 ＝0.1416 ｒ3 ＝-10.6925 ｄ3 ＝1.1000 ｎ2 ＝1.61340 ν2 ＝43.84 ｒ4 ＝7.1166 ｄ4 ＝5.5000 ｎ3 ＝1.61800 ν3 ＝63.39 ｒ5 ＝-7.6238 ｄ5 ＝0.2000 ｒ6 ＝-64.2877 ｄ6 ＝1.0000 ｎ4 ＝1.52944 ν4 ＝51.72 ｒ7 ＝10.2264 ｄ7 ＝6.2000 ｎ5 ＝1.43875 ν5 ＝94.97 ｒ8 ＝-9.6473 ｄ8 ＝0.2000 ｒ9 ＝57.3942 ｄ9 ＝1.2000 ｎ6 ＝1.61340 ν6 ＝43.84 ｒ10＝9.2329 ｄ10＝5.2000 ｎ7 ＝1.43875 ν7 ＝94.97 ｒ11＝-18.4308 ｄ11＝0.3000 ｒ12＝15.2753 ｄ12＝2.5000 ｎ8 ＝1.56907 ν8 ＝71.30 ｒ13＝-147.8112 ｄ13＝0.2000 ｒ14＝13.4472 ｄ14＝1.3000 ｎ9 ＝1.52944 ν9 ＝51.72 ｒ15＝5.5507 ｄ15＝5.5000 ｎ10＝1.43875 ν10＝94.97 ｒ16＝-9.4406 ｄ16＝1.0001 ｎ11＝1.51633 ν11＝64.15 ｒ17＝4.6960 ｄ17＝1.0000 ｒ18＝4.5949 ｄ18＝3.2000 ｎ12＝1.49700 ν12＝81.61 ｒ19＝-9.4136 ｄ19＝1.8812 ｎ13＝1.78650 ν13＝50.00 ｒ20＝5.2173 ｄ20＝4.5626 ｒ21＝-5.3868 ｄ21＝1.5744 ｎ14＝1.77250 ν14＝49.60 ｒ22＝9.3410 ｄ22＝1.7000 ｎ15＝1.80518 ν15＝25.43 ｒ23＝-10.1181 Ｒ2 ＝4.696 ，Ｒ3 ＝4.5949，Ｒ2 ／Ｒ3 ＝1.022 Ｎ1 ＝1.52944 ，Ｎ2 ＝1.43875 ，Ｎ3 ＝1.51633 ｆ2 ＝-12.69，ｆ／ｆ2 ＝-0.14 【００１７】実施例２ ｆ＝1.8 ，倍率＝100 ×，ＮＡ＝0.95，作動距離＝0.77 ｒ1 ＝-2.4614 ｄ1 ＝1.7700 ｎ1 ＝1.88300 ν1 ＝40.78 ｒ2 ＝-2.1687 ｄ2 ＝0.1416 ｒ3 ＝-7.7870 ｄ3 ＝1.1000 ｎ2 ＝1.61340 ν2 ＝43.84 ｒ4 ＝7.4898 ｄ4 ＝5.5000 ｎ3 ＝1.61800 ν3 ＝63.39 ｒ5 ＝-7.4334 ｄ5 ＝0.2000 ｒ6 ＝-101.0399 ｄ6 ＝1.0000 ｎ4 ＝1.52944 ν4 ＝51.72 ｒ7 ＝10.6481 ｄ7 ＝6.2000 ｎ5 ＝1.43875 ν5 ＝94.97 ｒ8 ＝-10.1545 ｄ8 ＝0.2000 ｒ9 ＝82.7234 ｄ9 ＝1.2000 ｎ6 ＝1.61340 ν6 ＝43.84 ｒ10＝10.8219 ｄ10＝5.2000 ｎ7 ＝1.43875 ν7 ＝94.97 ｒ11＝-22.0339 ｄ11＝0.3000 ｒ12＝16.1904 ｄ12＝2.5000 ｎ8 ＝1.56907 ν8 ＝71.30 ｒ13＝-61.7442 ｄ13＝0.2000 ｒ14＝14.3636 ｄ14＝1.3000 ｎ9 ＝1.52944 ν9 ＝51.72 ｒ15＝5.0644 ｄ15＝5.5000 ｎ10＝1.43875 ν10＝94.97 ｒ16＝-9.3845 ｄ16＝1.0001 ｎ11＝1.51633 ν11＝64.15 ｒ17＝5.3935 ｄ17＝1.0000 ｒ18＝5.2205 ｄ18＝3.2000 ｎ12＝1.49700 ν12＝81.61 ｒ19＝36.9783 ｄ19＝2.0552 ｎ13＝1.78650 ν13＝50.00 ｒ20＝6.4087 ｄ20＝4.8806 ｒ21＝-4.0037 ｄ21＝1.0824 ｎ14＝1.77250 ν14＝49.60 ｒ22＝7.2400 ｄ22＝1.7000 ｎ15＝1.80518 ν15＝25.43 ｒ23＝-9.6973 Ｒ2 ＝5.3935，Ｒ3 ＝5.2205，Ｒ2 ／Ｒ3 ＝1.033 Ｎ1 ＝1.52944 ，Ｎ2 ＝1.43875 ，Ｎ3 ＝1.51633 ｆ2 ＝-13.75，ｆ／ｆ2 ＝-0.13 ただしｒ1 ，ｒ2 ，・・・ は物体側から順に示した各レン
ズ面の曲率半径、ｄ1 ，ｄ2 ，・・・ は物体側から順に各
レンズ面間の間隔、ｎ1 ，ｎ2 ，・・・ は物体側から順に
示した各レンズの屈折率、ν1 ，ν2 ，・・・ は物体側か
ら順に示した各レンズのアッベ数である。 【００１８】これら実施例１，２はいずれも図１に示す
レンズ構成で、いずれも無限遠設計であって、それ自身
では結像しない。そのため例えば図２に示すような構成
で、下記データーを有する結像レンズを対物レンズの像
側に配置して使用する。 ｒ1'＝68.7541 ｄ1'＝7.7321 ｎ1'＝1.48749 ν1'＝70.20 ｒ2'＝-37.5679 ｄ2'＝3.4742 ｎ2'＝1.80610 ν2'＝40.95 ｒ3'＝-102.8477 ｄ3'＝0.6973 ｒ4'＝84.3099 ｄ4'＝6.0238 ｎ3'＝1.83400 ν3'＝37.16 ｒ5'＝-50.7100 ｄ5'＝3.0298 ｎ4'＝1.64450 ν4'＝40.82 ｒ6'＝40.6619 上記結像レンズのデーターにおいて、ｒ1'，ｒ2'，・・・
は物体側から順に示した各レンズ面の曲率半径、ｄ1'，
ｄ2'，・・・ は物体側から順に各レンズ面間の間隔、
ｎ1'，ｎ2'，・・・ は物体側から順に各レンズのｄ線に対
する屈折率、ν1'，ν2'，・・・ は物体側から順に各レン
ズのアッベ数である。尚実施例１，２および結像レンズ
のデーターの長さの単位はmmである。 【００１９】上記の実施例１，２と上記結像レンズとの
間の間隔は、５０mm〜１７０mmの間のいずれの値でもよ
い。又実施例１，２の収差状況は、夫々図３、図４に示
す通りである。これら収差図は、上記データーを有する
図２に示す結像レンズを配置した時のもので、各実施例
の対物レンズと結像レンズの間の空気間隔は、１１６mm
である。しかし上記間隔が５０mm〜１７０mmの間の値で
あれば、１１６mm以外の値であってもほぼ同様の収差状
況である。 【００２０】 【発明の効果】本発明は、上記のような構成であって、
これにより倍率が１００倍程度、ＮＡが０．９５程度
で、アポクロマート級の顕微鏡対物レンズを実現し得
た。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の顕微鏡対物レンズの構成を示す図
【図２】本発明の顕微鏡対物レンズと共に用いられる結
像レンズの一例を示す図 【図３】本発明の実施例１の収差曲線図 【図４】本発明の実施例２の収差曲線図
像レンズの一例を示す図 【図３】本発明の実施例１の収差曲線図 【図４】本発明の実施例２の収差曲線図
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フロントページの続き
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
G02B 9/00 - 17/08
G02B 21/02 - 21/04
G02B 25/00 - 25/04
Claims (1)
- (57)【特許請求の範囲】 【請求項１】物体側から順に、物体側に凹面を向けた正
のメニスカスレンズと複数の接合正レンズ成分とを少な
くとも有していて物体からの光束を収斂光束にする正の
屈折力の第１レンズ群と、最も物体側に凸面を有すると
共に最も像側の面が像側に凹形状を有しており負レンズ
と正レンズと負レンズとを接合した３枚接合レンズ成分
からなる第２レンズ群と、最も物体側が凸面のメニスカ
スレンズ成分と物体側に凹面を向けたメニスカスレンズ
成分とを有する第３レンズ群とを備え下記の条件
（１），（２），（３）を満足する顕微鏡対物レンズ。 （１） ０．７＜Ｒ2 ／Ｒ3 ＜１．３ （２） Ｎ1 ＞Ｎ2 ，Ｎ3 ＞Ｎ2 （３） ｆ／ｆ2 ＜−０．１ ただし、Ｒ2 ，Ｒ3 はそれぞれ第２レンズ群の最も像側
の面の曲率半径および第３レンズ群の最も物体側の面の
曲率半径、Ｎ1 ，Ｎ2 ，Ｎ3 はそれぞれ第２レンズ群の
３枚接合レンズの物体側の負レンズ、正レンズ、像側の
負レンズの屈折率、ｆは全系の焦点距離、ｆ2 は第２レ
ンズ群の焦点距離である。
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP28236595A JP3510401B2 (ja) | 1995-10-05 | 1995-10-05 | 顕微鏡対物レンズ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28236595A JP3510401B2 (ja) | 1995-10-05 | 1995-10-05 | 顕微鏡対物レンズ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09101462A JPH09101462A (ja) | 1997-04-15 |
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ID=17651466
Family Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP28236595A Expired - Fee Related JP3510401B2 (ja) | 1995-10-05 | 1995-10-05 | 顕微鏡対物レンズ |
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Families Citing this family (3)
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|---|---|---|---|---|
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| WO2024090587A1 (ja) * | 2022-10-27 | 2024-05-02 | 株式会社ニコン | 顕微鏡対物レンズ、顕微鏡光学系、および顕微鏡装置 |
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-
1995
- 1995-10-05 JP JP28236595A patent/JP3510401B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| JPH09101462A (ja) | 1997-04-15 |
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