JP3555679B2

JP3555679B2 - IC tester

Info

Publication number: JP3555679B2
Application number: JP2001041288A
Authority: JP
Inventors: 茂沼沢; 雅彦松浪
Original assignee: Yokogawa Electric Corp
Current assignee: Yokogawa Electric Corp
Priority date: 2001-02-19
Filing date: 2001-02-19
Publication date: 2004-08-18
Anticipated expiration: 2021-02-19
Also published as: JP2002243811A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、被試験対象、例えば、Ａ／Ｄ変換器、Ｄ／Ａ変換器等のアナログ部とデジタル部が混在するミックスドシグナルＩＣ、ＬＳＩ等を試験するＩＣテスタに関し、テストヘッドに依存しないＩＣテスタに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
アナログ部とデジタル部が混在するミックスドシグナルの被試験対象（以下ＤＵＴと略す）は、ＩＣテスタを用いて試験が行われている。ＩＣテスタは、ＤＵＴに対して、アナログまたはデジタルの試験信号を与え、この試験信号に基づいたＤＵＴが出力するアナログまたはデジタル信号により、良否の判定を行っている。このような装置を、図３を用いて以下に説明する。
【０００３】
図３において、本体１は、制御部１１、信号発生部１２、測定部１３等が設けられる。制御部１１は、装置全体の制御を行う。信号発生部１２はアナログ信号を発生する。測定部１３はアナログ信号の測定を行う。ここで、信号発生部１２は、例えば、一般的なアナログ発生器、ＵＨＦ信号発生器、ＶＨＳ信号発生器等である。また、測定部１３は、例えば、一般的なデジタイザ、ＵＨＦ測定器、ＶＨＳ測定器、タイム・インターバル測定器等である。これらの信号発生部１２、測定部１３は、ＤＵＴの種類により、選択され、本体１に設けられる。
【０００４】
テストヘッド２は、本体１とケーブル３により接続し、複数のピンエレクトロニクスボード（以下ＰＥ）２１、複数のアナログ試験ボード２２が設けられる。そして、ＰＥ２１とアナログ試験ボード２２は、相互干渉を避けるために分離して設けられる。ＰＥ２１は、デジタル信号を出力するドライバ、デジタル信号を入力するコンパレータ等を有し、ケーブル３を介して、制御部１１に接続する。アナログ試験ボード２２は、ケーブル３を介して、信号発生部１２、測定部１３に接続し、アナログ試験の補助を行う。
【０００５】
パフォーマンスボード４は、テストヘッド２と電気的に接続し、ＰＥ２１、アナログ試験ボード２２と電気的に接続する。ＤＵＴボード５は、パフォーマンスボード５に電気的に接続し、ＤＵＴ６が取り付けられ、電気的に接続する。ここで、通常、ＤＵＴ６がパッケージの場合は、ＤＵＴボード５にはソケットが設けられ、ＤＵＴ６がウェハーの場合は、ＤＵＴボード５にはプローブが設けられている。
【０００６】
このような装置の動作を以下に説明する。テストヘッド２は、図示しない搬送装置（ハンドラ、プローバ等）に接続され、搬送装置がＤＵＴ６を搬送して、ＤＵＴボード５に電気的に接続する。
【０００７】
そして、ＤＵＴ６にデジタル信号を出力する場合、制御部１１により、ＰＥ２１はパフォーマンスボード４、ＤＵＴボード５を介して、ＤＵＴ６にデジタル信号を出力する。
【０００８】
ＤＵＴ６にアナログ信号を出力する場合、制御部１１により、信号発生部１２はアナログ信号を出力し、このアナログ信号をアナログ試験ボード２２で加工（例えば、高周波化等）を行い、パフォーマンスボード４、ＤＵＴボード５を介して、ＤＵＴ６にアナログ信号を出力する。
【０００９】
ＤＵＴ６がデジタル信号を出力する場合、入力した信号に基づいて、ＤＵＴ６がデジタル信号を出力し、ＤＵＴボード５、パフォーマンスボード４を介して、ＰＥ２１に入力する。そして、ＰＥ２１は、ＤＵＴ６のデジタル信号と期待値信号とを比較し、良否の判定を行う。
【００１０】
ＤＵＴ６がアナログ信号を出力する場合、入力した信号に基づいて、ＤＵＴ６がアナログ信号を出力し、ＤＵＴボード５、パフォーマンスボード４を介して、アナログ試験ボード２２に入力する。そして、アナログ試験ボード２は、ＤＵＴ６のアナログ信号を中継して、測定部１３に入力する。測定部１３は、ＤＵＴ６のアナログ信号の測定を行い、良否の判定を行う。ここで、アナログ試験ボード２２は、信号の中継を行っているが、ＤＵＴ６からのアナログ信号を減衰等の加工を行い、測定部１３に入力していもよい。
【００１１】
そして、搬送装置が、ＤＵＴ６を切り替えて、ＤＵＴボード５に電気的に接続する。このような動作を繰り返し、ＤＵＴ６の試験を行う。
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】
ミックスドシグナルＩＣ、ＬＳＩ等は、種類が多く、信号発生部１２の種類以上に各種の信号が要求されるが、すべての種類の信号を発生できる信号発生器１２を設けることは不可能で、アナログ試験ボード２２により、信号発生器１２からの信号を加工して、ＤＵＴ６に与えている。また、測定部１３で測定する信号も各種あるため、アナログ試験ボード２２で加工される場合がある。
【００１３】
このため、ＤＵＴ６の種類ごとに、アナログ試験ボード２２を開発して、テストヘッド２に搭載し、ＤＵＴ６の専用機として、ＩＣテスタを扱っている。従って、ＤＵＴ６のアナログ試験内容の変化（高精度化等）やデジタルの高速化等の変化に対応できなくなるたびに、ユーザは新たなＩＣテスタ（テストヘッド２）を導入しなければず、メーカーは新たなＩＣテスタ（テストヘッド２）を開発しなければならなかった。
【００１４】
また、ＩＣ，ＬＳＩ等の高密度化に伴い、ＤＵＴ６のピン数が多くなり、テストヘッド２の大きさは、搬送装置により、通常、ドライバ、コンパレータの組で５１２ピンに制限され、必要な数のＰＥ２１やアナログ試験ボード２の領域を確保できなくなってきた。また、複数のＤＵＴ６の同時試験が要求されているが、アナログ試験ボード２２の搭載により、ＰＥ２１の数が制限され、複数のＤＵＴ６の試験も制限されてしまった。
【００１５】
そして、このような装置では、ＩＣテスタを専用機として設けているが、ユーザ側から見れば、他の種類のＤＵＴの試験からの転用や他のＤＵＴの試験に転用できなかった。また、メーカー側から見れば、専用機を開発しなければならないという問題点があった。
【００１６】
そこで、本発明の目的は、テストヘッドに依存しないＩＣテスタを実現することにある。
【００１７】
【課題を解決するための手段】
本発明は、
被試験対象を試験するＩＣテスタにおいて、
アナログ信号を発生する信号発生部、アナログ信号を測定する測定部の少なくとも一方を設け、試験制御を行う本体と、
この本体とケーブルにより接続し、前記被試験対象のデジタル部の試験を行うテストヘッドと、
このテストヘッドの上に設けられ、テストヘッドと前記被試験対象との信号中継を行うと共に、ケーブルを介して、前記本体の信号発生部または測定部の少なくとも一方と接続し、前記被試験対象と接続し、アナログ試験の補助を行うアナログ試験部を設けたアダプタと
を有し、前記アナログ試験部は、前記本体の信号発生部が発生する信号を加工し、前記被試験対象に出力し、アダプタは、交流アナログ信号を扱う交流アダプタと直流アナログ信号を扱う直流アダプタとに分離したことを特徴とするものである。
また、本発明は、
被試験対象を試験するＩＣテスタにおいて、
アナログ信号を発生する信号発生部、アナログ信号を測定する測定部の少なくとも一方を設け、試験制御を行う本体と、
この本体とケーブルにより接続し、前記被試験対象のデジタル部の試験を行うテストヘッドと、
このテストヘッドの上に設けられ、テストヘッドと前記被試験対象との信号中継を行うと共に、ケーブルを介して、前記本体の信号発生部または測定部の少なくとも一方と接続し、前記被試験対象と接続し、アナログ試験の補助を行うアナログ試験部を設けたアダプタと
を有し、前記アナログ試験部は、前記被試験対象からの信号を加工し、前記測定部に出力し、アダプタは、交流アナログ信号を扱う交流アダプタと直流アナログ信号を扱う直流アダプタとに分離したことを特徴とするものである。
【００１８】
【発明の実施の形態】
以下図面を用いて本発明の実施の形態を説明する。図１は本発明の一実施例を示した構成図である。ここで、図３と同一のものは同一符号を付し説明を省略する。
【００１９】
図１において、テストヘッド７は、複数のＰＥ７１が設けられ、本体１とケーブル３１により接続し、ＤＵＴ６のデジタル部の試験を行う。ＰＥ７１は、デジタル信号を出力するドライバ、デジタル信号を入力するコンパレータ等を有し、ケーブル３１を介して、制御部１１に接続する。
【００２０】
アダプタ８は、テストヘッド７の上部に、例えば、エアークランプ機構で着脱可能に設けられ、テストヘッド７とＤＵＴ６との信号中継を行うと共に、ケーブル３２を介して、本体１の信号発生部１２、測定部１３と接続し、ＤＵＴ６と接続し、アナログ試験の補助を行う。アダプタ８は、筐体に、パフォーマンスボード８１、アナログ試験ボード８２を設けて構成される。パフォーマンスボード８１は、テストヘッド７と電気的に接続し、ＰＥ７１と電気的に接続すると共に、ケーブル３２と電気的に接続する。アナログ試験ボード８２はアナログ試験部で、パフォーマンスボード８１とコネクタを介して電気的に接続すると共に、ＤＵＴボード５と電気的に接続し、アナログ試験の補助を行う。
【００２１】
このような装置の動作を以下に説明する。テストヘッド７は、図示しない搬送装置（ハンドラ、プローバ等）に接続され、搬送装置がＤＵＴ６を搬送して、ＤＵＴボード５に電気的に接続する。
【００２２】
そして、ＤＵＴ６にデジタル信号を出力する場合、制御部１１によりケーブル３１を介して制御され、ＰＥ７１はパフォーマンスボード８１、アナログ試験ボード８２、ＤＵＴボード５を介して、ＤＵＴ６にデジタル信号を出力する。
【００２３】
ＤＵＴ６にアナログ信号を出力する場合、制御部１１により、信号発生部１２はアナログ信号をケーブル３２に出力し、このアナログ信号をパフォーマンスボード８１が入力する。アナログ試験ボード８２は、パフォーマンスボード８１からアナログ信号を入力し、加工を行い、ＤＵＴボード５を介して、ＤＵＴ６にアナログ信号を出力する。
【００２４】
ＤＵＴ６がデジタル信号を出力する場合、入力した信号に基づいて、ＤＵＴ６がデジタル信号を出力し、ＤＵＴボード５、アナログ試験ボード８２、パフォーマンスボード８１を介して、ＰＥ７１に入力する。そして、ＰＥ７１は、ＤＵＴ６のデジタル信号と期待値信号とを比較し、良否の判定を行う。
【００２５】
ＤＵＴ６がアナログ信号を出力する場合、入力した信号に基づいて、ＤＵＴ６がアナログ信号を出力し、ＤＵＴボード５を介して、アナログ試験ボード８２に入力する。そして、アナログ試験ボード８２は、ＤＵＴ６のアナログ信号を中継して、パフォーマンスボード８１、ケーブル３２を介して、測定部１３に出力する。測定部１３は、ＤＵＴ６のアナログ信号の測定を行い、良否の判定を行う。ここで、アナログ試験ボード８２は、ＤＵＴ６からの信号を加工してもよい。
【００２６】
そして、搬送装置が、ＤＵＴ６を切り替えて、ＤＵＴボード５に電気的に接続する。このような動作を繰り返す。
【００２７】
このように、テストヘッド７の上部に、本体１の信号発生部１２、測定部１３とＤＵＴ６とを電気的に接続するアダプタ８を設けたので、テストヘッド７に依存せずに、ＤＵＴ６のアナログ部の試験を行うことができる。これにより、アナログ試験の内容変化に対して、アダプタ８を開発し、アダプタ８を取り替えるだけで対応することができる。従って、メーカーは、アダプタ８の開発だけでよいので、開発期間を短縮することができ、ユーザーは、テストヘッド７を汎用的に使用することができ、ＩＣテスタ全体を変更する必要がない。また、アダプタ８は、テストヘッド７に依存しないため、ＤＵＴ６のデジタル部の高速化に伴い、テストヘッド７が対応できなくなった場合でも、アダプタ８は再利用することができる。そして、テストヘッド７は、通常のデジタル部のみのＤＵＴの試験も行うこともできる。
【００２８】
また、テストヘッド７にアナログ試験ボードを設ける必要がないので、ＰＥ７１をテストヘッド７の大きさの制限だけ設けることができ、ＤＵＴ６の高密度化及びＤＵＴ６の同時試験に対応することができる。
【００２９】
次に、他の実施例を図２に示し、以下に説明する。ここで、図１と同一のものは同一符号を付し説明を省略する。
【００３０】
図２において、本体１は、信号発生部１２の代わりに交流信号発生部１２１、直流信号発生部１２２を設け、測定部１３の代わりに、交流測定部１３１、直流測定部１３２を設ける。交流信号発生部１２１は、交流アナログ信号を発生し、直流信号発生部１２２は、直流アナログ信号を発生する。交流測定部１３１は、交流アナログ信号の測定を行い、直流測定部１３２は、直流アナログ信号の測定を行う。
【００３１】
交流アダプタ９は、テストヘッド７の上部に、直脱自在に設けられ、テストヘッド７からの信号の中継を行うと共に、ケーブル３２１を介して、本体１の交流信号発生部１２１、交流測定部１３１と電気的に接続し、ＤＵＴ６と電気的に接続し、交流アナログ試験の補助を行う。また、交流アダプタ９の内部構成は、ほぼアダプタ８とほぼ同一である。
【００３２】
直流アダプタ１０は、交流アダプタ９の上部に、着脱自在に設けられ、交流アダプタ９とＤＵＴ６との信号中継を行うと共に、ケーブル３２２を介して、本体１の直流信号発生部１２２、直流測定部１３２と電気的に接続し、ＤＵＴ６と電気的に接続し、直流アナログ試験の補助を行う。また、直流アダプタ１０の内部構成は、ほぼアダプタ８と同一である。
【００３３】
このような装置の動作を以下に説明する。テストヘッド７は、図示しない搬送装置に接続され、搬送装置がＤＵＴ６を搬送して、ＤＵＴボード５に電気的に接続する。
【００３４】
そして、ＤＵＴ６にデジタル信号を出力する場合、制御部１１によりケーブル３１を介して制御され、ＰＥ７１は、交流アダプタ９、直流アダプタ１０、ＤＵＴボード５を介して、ＤＵＴ６にデジタル信号を出力する。
【００３５】
ＤＵＴ６に交流アナログ信号を出力する場合、制御部１１により、交流信号発生部１２１は交流アナログ信号をケーブル３２１に出力し、この交流アナログ信号を交流アダプタ９が入力する。交流アダプタ９は、交流アナログ信号を加工し、直流アダプタ１０、ＤＵＴボード５を介して、ＤＵＴ６に交流アナログ信号を出力する。
【００３６】
ＤＵＴ６に直流アナログ信号を出力する場合、制御部１１により、直流信号発生部１２２は直流アナログ信号をケーブル３２２に出力し、この直流アナログ信号を直流アダプタ１０が入力する。直流アダプタ１０は、直流アナログ信号を加工し、ＤＵＴボード５を介して、ＤＵＴ６に直流アナログ信号を出力する。
【００３７】
ＤＵＴ６がデジタル信号を出力する場合、入力した信号に基づいて、ＤＵＴ６がデジタル信号を出力し、ＤＵＴボード５、直流アダプタ１０、交流アダプタ９を介して、ＰＥ７１に入力する。そして、ＰＥ７１は、ＤＵＴ６のデジタル信号と期待値信号とを比較し、良否の判定を行う。
【００３８】
ＤＵＴ６が交流アナログ信号を出力する場合、入力した信号に基づいて、ＤＵＴ６が交流アナログ信号を出力し、ＤＵＴボード５を介して、直流アダプタ１０に入力する。そして、直流アダプタ１０は、ＤＵＴ６の交流アナログ信号を中継して、交流アダプタ９に入力する。交流アダプタ９も、ＤＵＴ６の交流アナログ信号を中継して、ケーブル３２１を介して、交流測定部１３１に出力する。交流測定部１３１は、ＤＵＴ６の交流アナログ信号の測定を行い、良否の判定を行う。ここで、交流アダプタ９は、ＤＵＴ６からの信号を加工してもよい。
【００３９】
ＤＵＴ６が直流アナログ信号を出力する場合、入力した信号に基づいて、ＤＵＴ６が直流アナログ信号を出力し、ＤＵＴボード５を介して、直流アダプタ１０に入力する。そして、直流アダプタ１０は、ＤＵＴ６の直流アナログ信号を中継して、ケーブル３２２を介して、直流測定部１３２に出力する。直流測定部１３２は、ＤＵＴ６の直流アナログ信号の測定を行い、良否の判定を行う。ここで、直流アダプタ１０は、ＤＵＴ６からの信号を加工してもよい。
【００４０】
そして、搬送装置が、ＤＵＴ６を切り替えて、ＤＵＴボード５に電気的に接続する。このような動作を繰り返す。
【００４１】
このように、交流アダプタ９、直流アダプタ１０とに分離したので、交流アナログ信号のノイズが直流アダプタ１０に混入することを防止し、高精度のアナログ試験を可能にすることができる。
【００４２】
なお、ＤＵＴ６のデジタル部の直流特性試験について説明を省略したが、通常のＩＣテスタと同様に、ＰＥ７１を介して測定されることはいうまでもない。
【００４３】
また、交流アダプタ９を下部に、直流アダプタ１０を上部に設けた構成を示したが、交流アダプタ９を上部に、直流アダプタ１０を下部に設ける構成でもよい。
【００４４】
そして、本体１に、信号発生部１２（交流信号発生部１２１、直流信号発生部１２２）、測定部１３（交流測定部１３１、交流測定部１３２）を設ける構成を示したが、ＤＵＴ６が入力ピン、出力ピンに対応して、どちらか一方だけ設ける構成でもよい。
【００４５】
さらに、信号発生部１２からの信号を加工するアナログボード８２を設ける構成を示したが、加工せずに、信号の中継だけ行う構成でもよい。
【００４６】
その上、本体１は、制御部１１、信号発生部１２、測定部１３が一体に筐体に設けられるものだけでなく、別々の筐体に設けられる構成でもよい。
【００４７】
また、アナログ試験を補助するアナログ試験部が、アナログ試験ボード８２の構成を示したが、パフォーマンスボード８１に設けてもよい。そして、ＤＵＴボード５上にアナログ試験部を設け、アナログ試験ボード８２をなくす構成にしてもよい。
【００４８】
【発明の効果】
本発明によれば、テストヘッドの上に、本体の信号発生部、測定部と被試験対象とを電気的に接続するアダプタを設けたので、テストヘッドに依存せずに、被試験対象のアナログ部の試験を行うことができる。これにより、アナログ試験の内容変化に対して、アダプタを開発し、アダプタを取り替えるだけで対応することができる。また、アダプタは、テストヘッドに依存しないため、被試験対象のデジタル部の高速化に伴い、テストヘッドが対応できなくなった場合でも、アダプタは再利用することができる。そして、テストヘッドは、通常のデジタル部のみのＤＵＴの試験も行うこともできる。
【００４９】
また、テストヘッドにアナログ試験部を設ける必要がないので、被試験対象の高密度化及び被試験対象の同時試験に対応することができる。
【００５０】
そして、交流アダプタ、直流アダプタとに分離したので、交流アナログ信号のノイズが直流側に混入することを防止し、高精度のアナログ試験を可能にすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例を示した構成図である。
【図２】本発明の他の実施例を示した構成図である。
【図３】従来のＩＣテスタの構成を示した図である。
【符号の説明】
１本体
１２信号発生部
１３測定部
１２１交流信号発生部
１２２直流信号発生部
１３１交流測定部
１３２直流測定部
３１，３２，３２１，３２２ケーブル
６ＤＵＴ
７テストヘッド
８アダプタ
８２アナログ試験ボード
９交流アダプタ
１０直流アダプタ[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
The present invention relates to an IC tester for testing a device under test, for example, an A / D converter, a mixed signal IC in which an analog portion and a digital portion such as a D / A converter are mixed, an LSI, etc., and does not depend on a test head. It relates to an IC tester.
[0002]
[Prior art]
A test target (hereinafter abbreviated as DUT) of a mixed signal in which an analog section and a digital section coexist is tested using an IC tester. The IC tester supplies an analog or digital test signal to the DUT, and determines acceptability based on the analog or digital signal output from the DUT based on the test signal. Such an apparatus will be described below with reference to FIG.
[0003]
In FIG. 3, the main body 1 includes a control unit 11, a signal generation unit 12, a measurement unit 13, and the like. The control unit 11 controls the entire apparatus. The signal generator 12 generates an analog signal. The measurement unit 13 measures an analog signal. Here, the signal generator 12 is, for example, a general analog generator, a UHF signal generator, a VHS signal generator, or the like. The measuring unit 13 is, for example, a general digitizer, a UHF measuring device, a VHS measuring device, a time interval measuring device, or the like. The signal generation unit 12 and the measurement unit 13 are selected according to the type of the DUT, and are provided in the main body 1.
[0004]
The test head 2 is connected to the main body 1 by a cable 3, and is provided with a plurality of pin electronics boards (hereinafter, PE) 21 and a plurality of analog test boards 22. The PE 21 and the analog test board 22 are separately provided to avoid mutual interference. The PE 21 includes a driver that outputs a digital signal, a comparator that inputs a digital signal, and the like, and is connected to the control unit 11 via the cable 3. The analog test board 22 is connected to the signal generating unit 12 and the measuring unit 13 via the cable 3 and assists the analog test.
[0005]
The performance board 4 is electrically connected to the test head 2, and is electrically connected to the PE 21 and the analog test board 22. The DUT board 5 is electrically connected to the performance board 5, and the DUT 6 is attached and electrically connected. Here, usually, when the DUT 6 is a package, the DUT board 5 is provided with a socket, and when the DUT 6 is a wafer, the DUT board 5 is provided with a probe.
[0006]
The operation of such a device is described below. The test head 2 is connected to a transport device (handler, prober, etc.) not shown, and the transport device transports the DUT 6 and is electrically connected to the DUT board 5.
[0007]
Then, when outputting a digital signal to the DUT 6, the control unit 11 causes the PE 21 to output the digital signal to the DUT 6 via the performance board 4 and the DUT board 5.
[0008]
When outputting an analog signal to the DUT 6, the control unit 11 causes the signal generation unit 12 to output the analog signal, and the analog signal is processed (for example, increased in frequency) by the analog test board 22, and the performance board 4, the DUT An analog signal is output to the DUT 6 via the board 5.
[0009]
When the DUT 6 outputs a digital signal, the DUT 6 outputs a digital signal based on the input signal, and inputs the digital signal to the PE 21 via the DUT board 5 and the performance board 4. Then, the PE 21 compares the digital signal of the DUT 6 with the expected value signal, and determines pass / fail.
[0010]
When the DUT 6 outputs an analog signal, the DUT 6 outputs an analog signal based on the input signal, and inputs the analog signal to the analog test board 22 via the DUT board 5 and the performance board 4. Then, the analog test board 2 relays the analog signal of the DUT 6 and inputs the signal to the measuring unit 13. The measurement unit 13 measures the analog signal of the DUT 6 and determines pass / fail. Here, the analog test board 22 relays the signal. However, the analog test board 22 may process the analog signal from the DUT 6 such as attenuation, and input the processed signal to the measurement unit 13.
[0011]
Then, the transport device switches the DUT 6 and electrically connects to the DUT board 5. By repeating such an operation, the DUT 6 is tested.
[0012]
[Problems to be solved by the invention]
There are many types of mixed signal ICs and LSIs, and various types of signals are required more than the type of the signal generator 12. However, it is impossible to provide a signal generator 12 that can generate all types of signals. The analog test board 22 processes the signal from the signal generator 12 and supplies the processed signal to the DUT 6. Further, since there are various signals to be measured by the measuring unit 13, the signals may be processed by the analog test board 22.
[0013]
Therefore, an analog test board 22 is developed for each type of DUT 6, mounted on the test head 2, and an IC tester is used as a dedicated machine for the DUT 6. Therefore, each time it becomes impossible to cope with a change in the content of the analog test of the DUT 6 (higher precision or the like) or a change in the speed of digital data, the user has to introduce a new IC tester (test head 2). A new IC tester (test head 2) had to be developed.
[0014]
Further, as the density of ICs, LSIs, and the like increases, the number of pins of the DUT 6 increases, and the size of the test head 2 is usually limited to 512 pins by a set of a driver and a comparator by a transport device. The area of the PE 21 and the analog test board 2 cannot be secured. Also, simultaneous testing of a plurality of DUTs 6 is required, but the mounting of the analog test board 22 limits the number of PEs 21 and limits testing of the plurality of DUTs 6.
[0015]
In such a device, the IC tester is provided as a dedicated device, but from the user's point of view, it cannot be diverted from a test of another type of DUT or a test of another DUT. Also, from the viewpoint of the manufacturer, there was a problem that a special-purpose machine had to be developed.
[0016]
Therefore, an object of the present invention is to realize an IC tester that does not depend on a test head.
[0017]
[Means for Solving the Problems]
The present invention
In an IC tester that tests the object under test,
A signal generation unit that generates an analog signal, at least one of a measurement unit that measures an analog signal, and a main body that performs test control;
A test head that is connected to the main body by a cable and tests the digital unit under test;
Provided on this test head, while relaying a signal between the test head and the test object, connected to at least one of the signal generation unit or the measurement unit of the main body via a cable, and An adapter provided with an analog test section for connecting and assisting an analog test, wherein the analog test section processes a signal generated by a signal generation section of the main body, outputs the processed signal to the device under test , and Is characterized by being separated into an AC adapter for handling AC analog signals and a DC adapter for handling DC analog signals .
Also, the present invention
In an IC tester that tests the object under test,
A signal generation unit that generates an analog signal, at least one of a measurement unit that measures an analog signal, and a main body that performs test control;
A test head that is connected to the main body by a cable and tests the digital unit under test;
Provided on this test head, while relaying a signal between the test head and the test object, connected to at least one of the signal generation unit or the measurement unit of the main body via a cable, and connect, and a adapter provided with analog testing unit for performing auxiliary analog testing, the analog test part, the processed signals from the test object, and outputs to the measuring unit, the adapter, AC analog It is characterized in that it is separated into an AC adapter for handling signals and a DC adapter for handling DC analog signals .
[0018]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a configuration diagram showing one embodiment of the present invention. Here, the same components as those in FIG.
[0019]
In FIG. 1, a test head 7 is provided with a plurality of PEs 71, is connected to the main body 1 by a cable 31, and performs a test of a digital unit of the DUT 6. The PE 71 has a driver that outputs a digital signal, a comparator that inputs a digital signal, and the like, and is connected to the control unit 11 via the cable 31.
[0020]
The adapter 8 is provided on the test head 7 so as to be detachable by, for example, an air clamp mechanism. The adapter 8 relays a signal between the test head 7 and the DUT 6, and a signal generator 12 of the main body 1 via a cable 32. Connected to the measurement unit 13 and connected to the DUT 6 to assist the analog test. The adapter 8 is configured by providing a performance board 81 and an analog test board 82 in a housing. The performance board 81 is electrically connected to the test head 7, electrically connected to the PE 71, and electrically connected to the cable 32. The analog test board 82 is an analog test section, which is electrically connected to the performance board 81 via a connector and is also electrically connected to the DUT board 5 to assist the analog test.
[0021]
The operation of such a device is described below. The test head 7 is connected to a transport device (handler, prober, etc.) not shown, and the transport device transports the DUT 6 and is electrically connected to the DUT board 5.
[0022]
When a digital signal is output to the DUT 6, the control unit 11 controls the digital signal via the cable 31, and the PE 71 outputs the digital signal to the DUT 6 via the performance board 81, the analog test board 82, and the DUT board 5.
[0023]
When outputting an analog signal to the DUT 6, the signal generator 12 outputs the analog signal to the cable 32 by the control unit 11, and the performance board 81 inputs the analog signal. The analog test board 82 receives an analog signal from the performance board 81, performs processing, and outputs an analog signal to the DUT 6 via the DUT board 5.
[0024]
When the DUT 6 outputs a digital signal, the DUT 6 outputs a digital signal based on the input signal, and inputs the digital signal to the PE 71 via the DUT board 5, the analog test board 82, and the performance board 81. Then, the PE 71 compares the digital signal of the DUT 6 with the expected value signal, and determines pass / fail.
[0025]
When the DUT 6 outputs an analog signal, the DUT 6 outputs an analog signal based on the input signal, and inputs the analog signal to the analog test board 82 via the DUT board 5. Then, the analog test board 82 relays the analog signal of the DUT 6 and outputs the signal to the measuring unit 13 via the performance board 81 and the cable 32. The measurement unit 13 measures the analog signal of the DUT 6 and determines pass / fail. Here, the analog test board 82 may process a signal from the DUT 6.
[0026]
Then, the transport device switches the DUT 6 and electrically connects to the DUT board 5. Such an operation is repeated.
[0027]
As described above, the adapter 8 for electrically connecting the signal generation unit 12 and the measurement unit 13 of the main body 1 to the DUT 6 is provided above the test head 7, so that the analog of the DUT 6 is independent of the test head 7. Part of the test can be performed. As a result, it is possible to deal with a change in the content of the analog test simply by developing the adapter 8 and replacing the adapter 8. Therefore, since the manufacturer only needs to develop the adapter 8, the development period can be shortened, the user can use the test head 7 for general purpose, and there is no need to change the entire IC tester. Further, since the adapter 8 does not depend on the test head 7, the adapter 8 can be reused even if the test head 7 cannot cope with an increase in the speed of the digital section of the DUT 6. Then, the test head 7 can also perform a test of the DUT of only the normal digital section.
[0028]
In addition, since it is not necessary to provide an analog test board in the test head 7, the PE 71 can be provided only for the size of the test head 7, so that the density of the DUT 6 can be increased and the DUT 6 can be simultaneously tested.
[0029]
Next, another embodiment is shown in FIG. 2 and will be described below. Here, the same components as those in FIG.
[0030]
In FIG. 2, the main body 1 is provided with an AC signal generator 121 and a DC signal generator 122 instead of the signal generator 12, and is provided with an AC measurement unit 131 and a DC measurement unit 132 instead of the measurement unit 13. AC signal generation section 121 generates an AC analog signal, and DC signal generation section 122 generates a DC analog signal. The AC measuring unit 131 measures an AC analog signal, and the DC measuring unit 132 measures a DC analog signal.
[0031]
The AC adapter 9 is provided on the upper part of the test head 7 so as to be freely detachable, relays a signal from the test head 7, and, via a cable 321, an AC signal generator 121 and an AC measuring unit 131 of the main body 1. And electrically connected to the DUT 6 to assist the AC analog test. The internal configuration of the AC adapter 9 is substantially the same as the adapter 8.
[0032]
The DC adapter 10 is detachably provided above the AC adapter 9, relays signals between the AC adapter 9 and the DUT 6, and, via a cable 322, a DC signal generating unit 122 and a DC measuring unit 132 of the main body 1. And electrically connected to the DUT 6 to assist the DC analog test. The internal configuration of the DC adapter 10 is almost the same as that of the adapter 8.
[0033]
The operation of such a device is described below. The test head 7 is connected to a transport device (not shown), and the transport device transports the DUT 6 and is electrically connected to the DUT board 5.
[0034]
When outputting a digital signal to the DUT 6, the control unit 11 controls the digital signal via the cable 31, and the PE 71 outputs the digital signal to the DUT 6 via the AC adapter 9, the DC adapter 10, and the DUT board 5.
[0035]
When an AC analog signal is output to the DUT 6, the AC signal generator 121 outputs the AC analog signal to the cable 321 by the control unit 11, and the AC adapter 9 inputs the AC analog signal. The AC adapter 9 processes the AC analog signal, and outputs the AC analog signal to the DUT 6 via the DC adapter 10 and the DUT board 5.
[0036]
When a DC analog signal is output to the DUT 6, the DC signal generator 122 outputs a DC analog signal to the cable 322 by the control unit 11, and the DC analog signal is input to the DC adapter 10. The DC adapter 10 processes the DC analog signal, and outputs the DC analog signal to the DUT 6 via the DUT board 5.
[0037]
When the DUT 6 outputs a digital signal, the DUT 6 outputs a digital signal based on the input signal, and inputs the digital signal to the PE 71 via the DUT board 5, the DC adapter 10, and the AC adapter 9. Then, the PE 71 compares the digital signal of the DUT 6 with the expected value signal, and determines pass / fail.
[0038]
When the DUT 6 outputs an AC analog signal, the DUT 6 outputs an AC analog signal based on the input signal, and inputs the signal to the DC adapter 10 via the DUT board 5. Then, the DC adapter 10 relays the AC analog signal of the DUT 6 and inputs the signal to the AC adapter 9. The AC adapter 9 also relays the AC analog signal of the DUT 6 and outputs the signal to the AC measuring unit 131 via the cable 321. The AC measuring unit 131 measures the AC analog signal of the DUT 6 and determines pass / fail. Here, the AC adapter 9 may process a signal from the DUT 6.
[0039]
When the DUT 6 outputs a DC analog signal, the DUT 6 outputs a DC analog signal based on the input signal, and inputs the signal to the DC adapter 10 via the DUT board 5. Then, the DC adapter 10 relays the DC analog signal of the DUT 6 and outputs the signal to the DC measurement unit 132 via the cable 322. The DC measurement unit 132 measures the DC analog signal of the DUT 6, and determines pass / fail. Here, the DC adapter 10 may process a signal from the DUT 6.
[0040]
Then, the transport device switches the DUT 6 and electrically connects to the DUT board 5. Such an operation is repeated.
[0041]
As described above, since the AC adapter 9 and the DC adapter 10 are separated from each other, it is possible to prevent noise of the AC analog signal from being mixed into the DC adapter 10 and to enable a highly accurate analog test.
[0042]
Although the description of the DC characteristic test of the digital section of the DUT 6 is omitted, it is needless to say that the measurement is performed via the PE 71 as in a normal IC tester.
[0043]
Further, although the configuration in which the AC adapter 9 is provided in the lower part and the DC adapter 10 is provided in the upper part is shown, a configuration in which the AC adapter 9 is provided in the upper part and the DC adapter 10 is provided in the lower part may be employed.
[0044]
The signal generator 12 (the AC signal generator 121 and the DC signal generator 122) and the measuring unit 13 (the AC measuring unit 131 and the AC measuring unit 132) are provided in the main body 1. However, the DUT 6 is connected to the input pin. And only one of them may be provided corresponding to the output pin.
[0045]
Furthermore, although the configuration in which the analog board 82 for processing the signal from the signal generation unit 12 is provided is shown, a configuration in which only signal relay is performed without processing is also possible.
[0046]
In addition, the main body 1 may have a configuration in which the control unit 11, the signal generation unit 12, and the measurement unit 13 are provided integrally in a housing, or may be provided in separate housings.
[0047]
Further, although the analog test unit for assisting the analog test has been described with reference to the configuration of the analog test board 82, it may be provided on the performance board 81. An analog test unit may be provided on the DUT board 5 to eliminate the analog test board 82.
[0048]
【The invention's effect】
According to the present invention, since the signal generation unit of the main body, the adapter for electrically connecting the measurement unit and the device under test are provided on the test head, the analog of the device under test is independent of the test head. Part of the test can be performed. As a result, it is possible to cope with a change in the content of the analog test simply by developing an adapter and replacing the adapter. In addition, since the adapter does not depend on the test head, the adapter can be reused even if the test head cannot respond with the speeding up of the digital section under test. Then, the test head can also perform the test of the DUT of only the normal digital section.
[0049]
Further, since it is not necessary to provide an analog test section in the test head, it is possible to cope with a high density of the test object and a simultaneous test of the test object.
[0050]
Since the AC adapter and the DC adapter are separated from each other, it is possible to prevent noise of the AC analog signal from being mixed into the DC side, thereby enabling a highly accurate analog test.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a configuration diagram showing one embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a configuration diagram showing another embodiment of the present invention.
FIG. 3 is a diagram showing a configuration of a conventional IC tester.
[Explanation of symbols]
1 Main body 12 Signal generation unit 13 Measurement unit 121 AC signal generation unit 122 DC signal generation unit 131 AC measurement unit 132 DC measurement units 31, 32, 321, 322 Cable 6 DUT
7 Test head 8 Adapter 82 Analog test board 9 AC adapter 10 DC adapter

Claims

In an IC tester that tests the object under test,
A signal generation unit that generates an analog signal, at least one of a measurement unit that measures an analog signal, and a main body that performs test control;
A test head that is connected to the main body by a cable and tests the digital unit under test;
Provided on this test head, while relaying a signal between the test head and the device under test, connected to at least one of the signal generation unit or the measurement unit of the main body via a cable, and An adapter provided with an analog test unit for connecting and assisting an analog test, wherein the analog test unit processes a signal generated by a signal generation unit of the main body, outputs the processed signal to the device under test , and (1) An IC tester characterized in that an AC adapter for handling AC analog signals and a DC adapter for handling DC analog signals are separated .

2. The IC tester according to claim 1, wherein the analog test section processes a signal from the device under test and outputs the processed signal to the measurement section.

In an IC tester that tests the object under test,
A signal generation unit that generates an analog signal, at least one of a measurement unit that measures an analog signal, and a main body that performs test control;
A test head that is connected to the main body by a cable and tests the digital unit under test;
Provided on this test head, while relaying a signal between the test head and the device under test, connected to at least one of the signal generation unit or the measurement unit of the main body via a cable, and connect, and a adapter provided with analog testing unit for performing auxiliary analog testing, the analog test part, the processed signals from the test object, and outputs to the measuring unit, the adapter, AC analog An IC tester characterized by being separated into an AC adapter for handling signals and a DC adapter for handling DC analog signals .

Analog test part, IC tester according to claim 1, characterized in that to relay the signal.

Under test is, IC tester according to any one of claims 1 to 4, characterized in that the analog part and the digital part coexist.