【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、工作機械のワークに於ける微少切込み送り方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
静圧軸受に潤滑油を供給するさい、ダイアフラム弁式自動調整絞り装置が使用されることは既に行われているが、その一例を図４により説明する。
【０００３】
同図に於いて、１は直線案内形の静圧軸受であって、負荷側パッド２と反負荷側パッド３を一定間隔に固定し、これら両者間に負荷体（被案内体）４を紙面に直交する方向へのみ移動可能なように配置した構成としてある。
【０００４】
各パッド２、３の内方面にはリセス２ａ、３ａが形成されており、また各パッド２、３は必要に応じ被案内体４に沿わせて適当数設けられる。
【０００５】
５はダイアフラム弁式自動調整絞り装置であって、遮蔽空間をダイアフラム体６で仕切ってその各側を流体室７、８となし、各流体室７、８内にダイアフラム体６に対向して配置された絞り面部９を設けた構成としてある。
【０００６】
ダイアフラム体６はダイアフラム６ａの中央部に円形パッド６ｂを固定したものとなされ、また絞り面部９は突起状部９ａと絞り面９ｂで形成される。各絞り面９ｂの中央にはポンプＰと接続された流体路１０ａ、１０ｂが開口され、流体室７、８壁面の、絞り面部９から外れた個所には前記リセス２ａ、３ａと接続された別の流体路１１ａ、１１ｂが開口される。
【０００７】
上記ダイアフラム弁式自動調整絞り装置の作動状態では、ポンプＰから流体路１０ａ、１０ｂを通じて適当圧の潤滑油が絞り面９ｂと円形パッド６ｂとの間に供給され、この隙間個所で潤滑油はその流れを絞られるものとなる。
【０００８】
こうして絞られた潤滑油は流体室７、８を充たし、続いて流体路１１ａ、１１ｂを通じて各パッド２、３のリセス２ａ、３ａに供給される。各リセス２ａ、３ａに充満された潤滑油は各パッド２、３と被案内体４の隙間ｈ０１、ｈ０３を経て外方へ流出される。
【０００９】
この状態に於いて、被案内体４に作用する上下方向の外力がゼロであれば円形パッド６ｂと絞り面９ｂの各隙間ｈｄ１、ｈｄ３は特定の一定値となって安定し、また各パッド２、３と被案内体４との隙間ｈ０１、ｈ０３も一定値となって安定する。
【００１０】
この状態の下で、例えば下向きの外力が被案内体４に作用すると、被案内体４が降下されるため、隙間ｈ０１が減少し、ここからの潤滑油の流出が制限され、リセス２ａ内の油圧や流体室７内のそれが上昇するものとなり、一方では隙間ｈ０３が増大するため、リセス３ａ内の油圧や流体室８内のそれが下降する。このため、ダイアフラム６ａは上側へ変形し、円形パッド６ｂは上昇する。
【００１１】
この結果、下側の絞り面９ｂによる絞り効果は減じ、逆に上側の絞り面９ｂによる絞り効果が増すものとなって、流体室７内の油圧やリセス２ａ内のそれは上昇し、流体室８内の油圧やリセス３ａ内のそれは下降する。
【００１２】
かくして、被案内体４は下降の無制限な増大を阻止され、隙間ｈ０１は一定大きさ以上に保持されるものとなる。
【００１３】
また、被案内体４に作用していた前記外力が減少すると、上記と対称的な作動が生じ、隙間ｈ０３は一定値以上に保持されるものとなる。
【００１４】
従って、被案内体４に作用する上下方向の外力が過度に大きくなければ、被案内体４はリセス２ａ、３ａ内の潤滑油の静圧でパッド２、３間の適当高さ位置に浮上した状態に保持され、被案内体４は紙面に直交した方向へ円滑に案内される。
【００１５】
このダイアフラム弁式自動調整絞り装置は、被案内体４に上下方向の外力が作用しないときは、被案内体４が潤滑油によりパッド２、３間の特定高さ（原点位置）に支持され、また被案内体４に同外力が作用したときは、被案内体４の上下変位が阻止されるように、即ち軸受剛性が一定程度以上であるように設計される。
【００１６】
【発明が解決しようとする課題】
上記したダイアフラム弁式自動調整絞り装置の使用例にあっては、被案内体４に上下方向の任意な大きさの外力が作用しても、被案内体４を原点位置近傍に保持することを主眼としているに過ぎない。
【００１７】
本発明は、上記ダイアフラム弁式自動調整絞り装置の使用例をさらに一歩進めて工作機械に於けるワーク加工時の微少切込み送りに適用し、正確且つ迅速な加工が行えるようにすることを目的とする。
【００１８】
【課題を解決するための手段】
本発明は、遮蔽空間をダイアフラム体で仕切ってその各側を流体室となし、各流体室内にダイアフラム体と対向した絞り面部を形成し、少なくとも一方の絞り面部或いは双方の各絞り面部にダイアフラム体と直交した方向の任意位置に変位させるための動力駆動手段を設け、この動力駆動手段は駆動力発生源として電歪素子或いは磁歪素子を備えたダイアフラム弁式自動調整絞り装置を構成する。
【００１９】
而して、各絞り面部とダイアフラム体との間に適当圧の流体を供給し、ここで絞られた流体を工作機械に於ける加工体或いは被加工体に接続させてなる静圧軸受の対向したリセスに供給し、上記動力駆動手段を随時作動させて工作機械のワークに於ける微少切込み送りが行われるようにする。
【００２０】
【発明の実施の形態】
図１は本発明で使用するダイアフラム弁式自動調整絞り装置を示す概要図である。
【００２１】
本発明の実施にさいしては、上記のようなダイアフラム弁式自動調整絞り装置５を使用する。
【００２２】
即ち、各流体室壁７Ａ、８Ａに動力駆動手段２０Ａ、２０Ｂを設ける。
この動力駆動手段２０Ａ、２０Ｂは、各絞り面部９をダイアフラム体６と直交した方向の任意位置に変位させるためのもので、流体室壁７Ａ、８Ａにボルト固定されたカバー体２１、２１とこれに嵌着された駆動部２２、２２からなる。
【００２３】
各駆動部２２は駆動力発生源としての電歪素子或いは磁歪素子からなる伸縮作動部２３と流体路部２４を備え、先端に絞り面部９が形成されたものとなす。
【００２４】
ここに、電歪素子は、電圧を印加してこれに比例した歪みを取り出すことができる素子であり、例えばチタン酸Ｂａなど、ピエゾ効果を有する圧電材料などが用いられる。
【００２５】
また磁歪素子は、磁界を印加してその入力電流に比例した歪みを取り出すことができる素子であり、例えば超磁歪単結晶合金ＴＥＲＦＥＮＯＬ−Ｄ（米国特許３，９４９３５１）などの磁歪合金が用いられる。
【００２６】
そして、各流体路部２４には前記流体路１０ａ又は１０ｂに接続された環状溝２５、半径向き孔２６及び縦向き孔２７を形成する。
【００２７】
その他の部位は従来のものに準じるのである。
【００２８】
このようなものとしたダイアフラム弁式自動調整絞り装置５の各流体室７、８を流体路１１ａ又は１１ｂを通じて静圧軸受１の対向したリセス２ａ、３ａに接続させる。
【００２９】
この後、適当な一定圧力の潤滑油を各絞り面部９とダイアフラム体６との間に供給し、ここで絞られた潤滑油を各流体室７、８を通じて前記リセス２ａ、３ａに供給する。
【００３０】
この潤滑油はやがて各リセス２ａ、３ａに充たされて各リセス２ａ、３ａ内で一定圧力に上昇し、隙間ｈ０１、ｈ０３から比較的小さい流量で流出する。このさい、隙間ｈｄ１、ｈｄ３の大きさが適当であれば、被案内体４は各リセス２ａ、３ａ内の潤滑油の静圧で各側のリセス２ａ、３ａ間の特定位置に浮上して安定する。本発明では該被案内体４が工作機械に於ける被加工体となされるワーク或いは研磨砥石などの加工体に、接続されるものとなされるのである。
【００３１】
このような作動状態の下で、前記動力駆動手段２０Ａ、２０Ｂを図示しない操作制御装置の操作摘みを変位させる等して微少切込み送り動作させるのである。
【００３２】
例えば、隙間ｈｄ３を小さくすると、流体路１０ａからの潤滑油がダイヤフラム体６と絞り面９ｂによりさらに強く絞られるので、リセス３ａ内の圧力は減少する。このため、被加工体となされたワーク或いは研磨砥石などの加工体に接続される静圧軸受が上方に移動し、隙間ｈ０３が小さくなり、逆に隙間ｈ０１が大きくなる。この結果、隙間ｈ０１から逃げる潤滑油の量が多くなるので、リセス２ａの圧力が低下し、この圧力が他方のリセス３ａのそれと平衡したとき、微少切込み送りの移動が停止する。
【００３３】
逆に隙間ｈｄ３を大きくすると、上記と対称的に作用して停止する。
【００３４】
上記は隙間ｈｄ３を中心に説明したが、隙間ｈｄ１を大小に変化させても同様である。
【００３５】
要するに、動力駆動手段２０Ａ、２０Ｂを動作させて隙間ｈｄ１又はｈｄ３を変化させることにより、ワーク或いは研磨砥石の微少送りが安定的に行われるものとなる。
【００３６】
上記の実施例では、双方の流体室７、８に動力駆動装置２０Ａ、２０Ｂを設けたが、これに限定するものではなく、例えば、一方の動力駆動手段２０Ａ又は２０Ｂを設けないで、一方の絞り面部９を特定位置に固定させてもよいし、又は手操作されるネジ棒を介して一方の絞り面部９を位置調整可能としてもよい。
【００３７】
次に本発明の実施例を説明する。
（１）実施例１
図２は本発明を研削盤の砥石台に応用する場合の例を示している。この図に於いて、３０は砥石台で図示しない直線案内軌道により前後方向ｆ１及び左右方向ｆ２の移動自在に支持されている。３１は砥石台３０に固定された砥石回転支持体で、砥石台３０の被案内体４としての回転軸３２、この回転軸３２の長さ途中に形成された鍔部３２ａ、回転軸３２を支持するための筒形軸受体３３、回転軸３２の一端に固定された砥石３４、回転軸３２の他端に固定された回転入力プーリ３５、砥石回転支持体３１に形成されたリセス２ａ、３ａのほか、潤滑油排出溝３６などを備えている。
【００３８】
そして、３７は回転軸３２の周面に対向して形成されたリセス２ａ、３ａに潤滑油を供給するための潤滑油供給部であって、流体路１０ａ、１０ｂ、１１ａ、１１ｂ、本発明に係るダイアフラム弁式自動調整絞り装置５、ポンプ３８、モータ３９、圧力調整弁４０、圧力計４１、潤滑油排出路を備えたものとなされている。
【００３９】
４２は上記潤滑油供給部３７に準じたものとなされた他の潤滑油供給部で、鍔部３２ａの左右に設けたリセス２ａ、３ａに潤滑油を供給するものとしてある。
【００４０】
この応用例に於いて、砥石３４周面の前後方向ｆ１切り込み送りのさいは、先ず砥石台３０を目的位置の近傍に移動させて固定し、その後に潤滑油供給部３７のダイアフラム弁式自動調整絞り装置５の前記動力駆動手段２０Ａ、２０Ｂを動作させて回転軸３２の周面に面した各リセス２ａ、３ｂ内の潤滑油の圧力を変化させ、回転軸３２を前後方向ｆ１へ切り込み送りさせるようにする。
【００４１】
また、砥石３４側面の左右方向ｆ２切り込み送りのさいは、先と同様に砥石台３０を目的位置の近傍に移動させて固定し、その後に潤滑油供給部４２のダイアフラム弁式自動調整絞り装置５の動力駆動手段２０Ａ、２０Ｂを動作させてリセス２ａ、３ａ内の潤滑油の圧力を変化させ、回転軸３２を左右方向ｆ２へ切り込み送りさせるようにする。
なお、上記砥石３４に代えて刃物などを固定してもよい。
【００４２】
（２）実施例２
図３は本発明をテーブルの送りネジ機構に応用する場合の例を示している。この図において、５０は図示しない直線案内軌道により左右方向ｆ２の移動自在に案内されたテーブルである。５１は左右方向ｆ２の送りネジで、ナット体５２が螺合させてある。ナット体５２とテーブル５０は静圧軸受の一種である静圧継手１Ａで結合されている。静圧継手１Ａは、具体的にはナット体５２に突起ｈを設け、この突起ｈをテーブル５０に固定された左パット部材５３と右パット部材５４で挟み、各部材５３、５４の内方面に既述のリセス２ａ、３ａを設けた構成としてある。
【００４３】
この応用例に於いて、テーブル５０を特定位置に位置決めするさいは、前記した潤滑油供給部３７から各リセス２ａ、３ａに潤滑油を供給した状態の下で、送りネジ５１を回転させてナット体５２の移動力を静圧軸受１Ａを介してテーブル５０に伝達させ、目的位置の近傍に移動させる。続いて、ダイアフラム弁式自動調整絞り装置５の動力駆動手段２０Ａ、２０Ｂを動作させ、リセス２ａ、３ａ内の潤滑油の圧力を変化させ、テーブル５０を左右方向ｆ２へ必要寸法だけ微少送りさせるようにする。
【００４４】
【発明の効果】
以上の如く構成した本発明によれば、ダイアフラム弁式自動調整絞りの特性を活かして、静圧軸受の被案内体を正確且つ速やかに、しかも工作機械のワークに対する精密加工のための微少切込み移動（例えば０．５μｍ程度の移動）を振動少なく安定的に可能ならしめることができる。また、ダイアフラムの各側の絞り面部の絞り量を任意に変更できるものでは、ワークや刃物工具の任意位置に於いて、軸受け剛性を大きく保持し得ると共に潤滑油供給のための動力消費の効率化が図られるものとなる。
【００４５】
また、電歪素子或いは磁歪素子が数十μｍ程度の微少区間に於いて理論的にほとんど無制限の分解能を得られるという特性を有することから、静圧軸受の被案内体を簡易な操作により、正確且つ速やかに微少移動させて、その位置を安定的に保持できるものとなる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の様子を示す概要図である。
【図２】本発明を研削盤の砥石台に応用する場合の例を示し、Ａは平面視断面図で、Ｂは側面視断面図である。
【図３】本発明をテーブルの送りネジ機構に応用する場合の例を示す図である。
【図４】従来のダイアフラム弁式自動調整絞り装置の使用例を示す図である。
【符号の説明】
１ 静圧軸受
２ａ、２ｂ リセス
５ ダイアフラム弁式自動調整絞り装置
６ ダイアフラム体
７、８ 流体室
９ 絞り面部
２０Ａ、２０Ｂ 動力駆動手段[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
The present invention relates to a method for feeding a minute cut in a work of a machine tool .
[0002]
[Prior art]
When lubricating oil is supplied to the hydrostatic bearing, the use of a diaphragm valve type automatic adjustment throttle device has already been performed, and an example thereof will be described with reference to FIG.
[0003]
In FIG. 1, reference numeral 1 denotes a linear guide type hydrostatic bearing, in which a load-side pad 2 and a non-load-side pad 3 are fixed at a fixed interval, and a load (guided body) 4 is provided between the two. It is arranged so that it can be moved only in a direction perpendicular to the direction.
[0004]
Recesses 2a, 3a are formed on the inner surfaces of the pads 2, 3, and an appropriate number of the pads 2, 3 are provided along the guided body 4 as necessary.
[0005]
Numeral 5 is a diaphragm valve type automatic adjusting diaphragm device, which divides a shielded space by a diaphragm body 6 to define fluid chambers 7 and 8 on each side, and is disposed in each fluid chamber 7 and 8 so as to face the diaphragm body 6. The configuration is such that a throttle surface portion 9 is provided.
[0006]
The diaphragm body 6 has a circular pad 6b fixed to the center of the diaphragm 6a, and the diaphragm surface 9 is formed by a projection 9a and a diaphragm surface 9b. Fluid passages 10a and 10b connected to the pump P are opened at the center of each of the throttle surfaces 9b. Separate portions connected to the recesses 2a and 3a are provided on the wall surfaces of the fluid chambers 7 and 8 outside the throttle surface portion 9. Fluid paths 11a and 11b are opened.
[0007]
In the operating state of the diaphragm valve type automatic adjustment throttle device, lubricating oil of an appropriate pressure is supplied from the pump P through the fluid passages 10a and 10b between the throttle surface 9b and the circular pad 6b. The flow will be reduced.
[0008]
The squeezed lubricating oil fills the fluid chambers 7 and 8 and is subsequently supplied to the recesses 2a and 3a of the pads 2 and 3 through the fluid paths 11a and 11b. The lubricating oil filled in the recesses 2a, 3a flows out through the gaps h01, h03 between the pads 2, 3 and the guided body 4.
[0009]
In this state, if the vertical external force acting on the guided body 4 is zero, the gaps hd1 and hd3 between the circular pad 6b and the throttle surface 9b become a specific constant value, and are stable. The gaps h01 and h03 between the guide member 3 and the guided member 4 are also constant and stable.
[0010]
In this state, for example, when a downward external force acts on the guided body 4, the guided body 4 is lowered, so that the gap h01 is reduced, the outflow of the lubricating oil therefrom is restricted, and the inside of the recess 2 a is reduced. The hydraulic pressure and that in the fluid chamber 7 rise, while the gap h03 increases, so that the hydraulic pressure in the recess 3a and that in the fluid chamber 8 drop. Therefore, the diaphragm 6a is deformed upward, and the circular pad 6b is raised.
[0011]
As a result, the throttle effect of the lower throttle surface 9b decreases, and conversely, the throttle effect of the upper throttle surface 9b increases, and the oil pressure in the fluid chamber 7 and that in the recess 2a rise, and the fluid chamber 8 increases. The hydraulic pressure in the interior and that in the recess 3a are lowered.
[0012]
In this way, the guided body 4 is prevented from descending indefinitely, and the gap h01 is maintained at a certain size or more.
[0013]
Further, when the external force acting on the guided body 4 decreases, an operation symmetric to the above occurs, and the gap h03 is maintained at a certain value or more.
[0014]
Therefore, if the vertical external force acting on the guided member 4 is not excessively large, the guided member 4 floats at an appropriate height between the pads 2 and 3 by the static pressure of the lubricating oil in the recesses 2a and 3a. In this state, the guided body 4 is smoothly guided in a direction perpendicular to the paper surface.
[0015]
In the diaphragm valve type automatic adjustment throttle device, when no vertical external force acts on the guided member 4, the guided member 4 is supported by the lubricating oil at a specific height (the origin position) between the pads 2 and 3, Further, when the external force acts on the guided body 4, the guide body 4 is designed so that the vertical displacement of the guided body 4 is prevented, that is, the bearing stiffness is not less than a certain level.
[0016]
[Problems to be solved by the invention]
In the above-described example of the use of the diaphragm valve type automatic adjustment throttle device, even if an external force of any magnitude in the vertical direction acts on the guided member 4, the guided member 4 is held near the origin position. It is just a focus.
[0017]
An object of the present invention is to further advance the use example of the diaphragm valve-type automatic adjusting and squeezing device by one step and apply it to a minute cutting feed at the time of machining a workpiece in a machine tool so that accurate and quick machining can be performed. I do.
[0018]
[Means for Solving the Problems]
According to the present invention, the shielded space is partitioned by a diaphragm body, each side of which is formed as a fluid chamber, and a throttle surface portion facing the diaphragm body is formed in each fluid chamber, and the diaphragm body is provided on at least one of the throttle surface portions or both of the throttle surface portions. Power driving means for displacing to an arbitrary position in a direction orthogonal to the above is provided, and this power driving means constitutes a diaphragm valve type automatic adjustment diaphragm device having an electrostrictive element or a magnetostrictive element as a driving force generating source.
[0019]
Thus, a fluid of an appropriate pressure is supplied between each of the constricted surfaces and the diaphragm body, and the fluid constricted here is connected to a workpiece or a workpiece in a machine tool. The power is supplied to the recess, and the power drive unit is operated at any time so that the minute cut feed in the work of the machine tool is performed.
[0020]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
FIG. 1 is a schematic diagram showing a diaphragm valve type automatic adjustment and throttle device used in the present invention .
[0021]
In the embodiment of the present invention, the diaphragm valve type automatic adjusting and restricting device 5 as described above is used.
[0022]
That is, power drive means 20A and 20B are provided on each of the fluid chamber walls 7A and 8A.
The power driving means 20A and 20B are for displacing each throttle surface portion 9 to an arbitrary position in a direction orthogonal to the diaphragm body 6, and the cover bodies 21 and 21 bolted to the fluid chamber walls 7A and 8A and , Which is fitted to the drive unit 22.
[0023]
Each drive unit 22 includes an expansion / contraction operation unit 23 composed of an electrostrictive element or a magnetostrictive element as a driving force generation source, and a fluid path unit 24, and the throttle surface 9 is formed at the tip.
[0024]
Here, the electrostrictive element is an element which can take out a strain proportional to the voltage by applying a voltage. For example, a piezoelectric material having a piezo effect, such as Ba titanate, is used.
[0025]
The magnetostrictive element is an element capable of extracting a strain proportional to an input current by applying a magnetic field, and for example, a magnetostrictive alloy such as a giant magnetostrictive single crystal alloy TERFENOL-D (US Pat. No. 3,949,351) is used.
[0026]
An annular groove 25, a radial hole 26, and a vertical hole 27 connected to the fluid passage 10a or 10b are formed in each fluid passage portion 24.
[0027]
The other parts are in accordance with the conventional one.
[0028]
Each of the fluid chambers 7, 8 of the diaphragm valve type automatic adjustment throttle device 5 having such a configuration is connected to the opposed recesses 2a, 3a of the hydrostatic bearing 1 through the fluid passages 11a or 11b.
[0029]
Thereafter, lubricating oil having an appropriate constant pressure is supplied between each of the throttle surfaces 9 and the diaphragm 6, and the lubricating oil thus squeezed is supplied to the recesses 2a, 3a through the fluid chambers 7, 8.
[0030]
This lubricating oil is eventually filled in the recesses 2a, 3a, rises to a constant pressure in the recesses 2a, 3a, and flows out of the gaps h01, h03 at a relatively small flow rate. At this time, if the sizes of the gaps hd1 and hd3 are appropriate, the guided body 4 floats to a specific position between the recesses 2a and 3a on each side by the static pressure of the lubricating oil in the recesses 2a and 3a and is stable. I do. In the present invention, the guided body 4 is connected to a workpiece, such as a workpiece or a polishing grindstone, which is to be a workpiece in a machine tool .
[0031]
Under such an operating state, the power drive means 20A and 20B are operated by a minute cut feed operation by displacing an operation knob of an operation control device (not shown).
[0032]
For example, when the gap hd3 is reduced, the lubricating oil from the fluid passage 10a is more strongly throttled by the diaphragm 6 and the throttle surface 9b, so that the pressure in the recess 3a decreases. For this reason, the hydrostatic bearing connected to the workpiece, such as a workpiece or a grinding wheel , moves upward, and the gap h03 decreases, and conversely, the gap h01 increases. As a result, the amount of the lubricating oil that escapes from the gap h01 increases, so that the pressure of the recess 2a decreases, and when this pressure is balanced with that of the other recess 3a, the movement of the minute cut feed stops.
[0033]
Increasing the gap hd3 Conversely, stops act above and symmetrically.
[0034]
Although the above description has been made centering on the gap hd3, the same applies to the case where the gap hd1 is changed in size.
[0035]
In short, by operating the power driving means 20A and 20B to change the gap hd1 or hd3, the fine feed of the work or the polishing grindstone can be performed stably .
[0036]
In the above embodiment, the power drive devices 20A and 20B are provided in both the fluid chambers 7 and 8, but the present invention is not limited to this. For example, one power drive means 20A or 20B is not provided and one power drive device 20A or 20B is provided. The diaphragm surface 9 may be fixed at a specific position, or one diaphragm surface 9 may be position-adjustable via a manually operated screw rod.
[0037]
Next, examples of the present invention will be described.
(1) Example 1
FIG. 2 shows an example in which the present invention is applied to a grindstone stand of a grinding machine. In this figure, reference numeral 30 denotes a grindstone table which is movably supported in a front-rear direction f1 and a left-right direction f2 by a linear guide track (not shown). Numeral 31 denotes a grindstone rotating support fixed to the grindstone head 30, which supports a rotating shaft 32 as the guided member 4 of the grindstone head 30, a flange 32 a formed in the middle of the length of the rotating shaft 32, and the rotating shaft 32. A rotary bearing 32 fixed to one end of a rotary shaft 32, a rotary input pulley 35 fixed to the other end of the rotary shaft 32, and recesses 2 a and 3 a formed in the rotary support 31. In addition, a lubricating oil discharge groove 36 and the like are provided.
[0038]
Reference numeral 37 denotes a lubricating oil supply unit for supplying lubricating oil to the recesses 2a, 3a formed opposite to the peripheral surface of the rotating shaft 32, and the fluid passages 10a, 10b, 11a, 11b according to the present invention. The diaphragm valve type automatic adjustment throttle device 5, the pump 38, the motor 39, the pressure adjustment valve 40, the pressure gauge 41, and the lubricating oil discharge path are provided.
[0039]
Reference numeral 42 denotes another lubricating oil supply unit conforming to the lubricating oil supply unit 37, which supplies lubricating oil to the recesses 2a and 3a provided on the left and right sides of the flange 32a.
[0040]
In this application example, in the forward and backward f1 cutting feed of the peripheral surface of the grindstone 34, the grindstone table 30 is first moved and fixed near the target position, and then the diaphragm valve type automatic adjustment of the lubricating oil supply unit 37 is performed. By operating the power drive means 20A, 20B of the expansion device 5, the pressure of the lubricating oil in each of the recesses 2a, 3b facing the peripheral surface of the rotary shaft 32 is changed, and the rotary shaft 32 is cut and fed in the front-back direction f1. To do.
[0041]
Further, in the case of the f2 incision feed on the side surface of the grindstone 34, the grindstone table 30 is moved and fixed in the vicinity of the target position in the same manner as described above, and then the diaphragm valve type automatic adjustment diaphragm device 5 of the lubricating oil supply unit 42 is used. The power drive means 20A, 20B is operated to change the pressure of the lubricating oil in the recesses 2a, 3a so that the rotary shaft 32 is cut and fed in the left-right direction f2.
Note that a knife or the like may be fixed instead of the grinding stone 34.
[0042]
(2) Example 2
FIG. 3 shows an example in which the present invention is applied to a feed screw mechanism of a table. In this figure, reference numeral 50 denotes a table guided movably in a left-right direction f2 by a linear guide track (not shown). Reference numeral 51 denotes a feed screw in the left-right direction f2, to which a nut body 52 is screwed. The nut body 52 and the table 50 are connected by a hydrostatic joint 1A which is a kind of hydrostatic bearing. Specifically, the static pressure joint 1A is provided with a projection h on the nut body 52, and sandwiches the projection h between the left pad member 53 and the right pad member 54 fixed to the table 50, and the inner surface of each member 53, 54 It has a configuration in which the aforementioned recesses 2a and 3a are provided.
[0043]
In this application example, when the table 50 is positioned at a specific position, the feed screw 51 is rotated by rotating the feed screw 51 while lubricating oil is supplied from the lubricating oil supply unit 37 to the respective recesses 2a and 3a. The moving force of the body 52 is transmitted to the table 50 via the static pressure bearing 1A and moved to the vicinity of the target position. Subsequently, the power driving means 20A, 20B of the diaphragm valve type automatic adjusting and squeezing device 5 is operated to change the pressure of the lubricating oil in the recesses 2a, 3a so that the table 50 is slightly fed by a required dimension in the left-right direction f2. To
[0044]
【The invention's effect】
ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention comprised as mentioned above, the guided body of a hydrostatic bearing can be accurately and promptly utilized by utilizing the characteristics of the diaphragm valve type automatic adjustment diaphragm, and furthermore, a minute cutting movement for precision machining of a workpiece of a machine tool. (For example, movement of about 0.5 μm) can be stably performed with less vibration . In addition, if the amount of throttle on the diaphragm surface on each side of the diaphragm can be changed arbitrarily, the rigidity of the bearing can be maintained large and the efficiency of power consumption for lubricating oil supply can be increased at any position of the workpiece or the tool . Is to be achieved.
[0045]
In addition, since the electrostrictive element or magnetostrictive element has the characteristic that theoretically almost unlimited resolution can be obtained in a minute section of about several tens of μm, the guided body of the hydrostatic bearing can be accurately operated by a simple operation. In addition, the position can be stably held by quickly and slightly moving.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a schematic diagram showing an embodiment of the present invention.
FIG. 2 shows an example in which the present invention is applied to a grindstone stand of a grinding machine, wherein A is a sectional view in plan view and B is a sectional view in side view.
FIG. 3 is a diagram showing an example in which the present invention is applied to a feed screw mechanism of a table.
FIG. 4 is a diagram showing an example of use of a conventional diaphragm valve type automatic adjustment throttle device.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Static pressure bearing 2a, 2b Recess 5 Diaphragm valve type automatic adjustment expansion device 6 Diaphragm body 7, 8 Fluid chamber 9 Throttle surface part 20A, 20B Power drive means