JP3587239B2

JP3587239B2 - Thickness measuring device

Info

Publication number: JP3587239B2
Application number: JP09384699A
Authority: JP
Inventors: 典久久保; 佳昭間瀬; 克洋須原; 茂樹小笠原
Original assignee: Toyoda Gosei Co Ltd
Current assignee: Toyoda Gosei Co Ltd
Priority date: 1999-03-31
Filing date: 1999-03-31
Publication date: 2004-11-10
Anticipated expiration: 2019-03-31
Also published as: JP2000283742A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、Ｖ字状の突出部が多数列設された蛇腹状の外周壁を備えた環状の製品を透過した軟Ｘ線量を２次元画像として検出して製品の断面形状における各部の肉厚を測定する肉厚測定装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来の肉厚測定方法は、Ｖ字状の突出部が多数列設された蛇腹状の外周壁ＯＷを備えた環状の製品Ｐを図１２に示されるように４分割し、その断面をノギスにて逐次測定していた。
【０００３】
また従来のベローズ製品の外径測定装置は、図１３に示されるように回転している真円輪郭形状物であるベローズ製品Ｐの外周面Ｏに、外径変位量検出手段としての接触子Ｃを接触させ、前記製品の外周面Ｏの変動に追従させることにより、外径を測定するものであった。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
上記従来の肉厚測定方法は、前記製品Ｐを４分割して、その断面をノギスにて逐次測定するものであるため、測定者によるバラツキがあり、測定に要する時間が長いとともに、測定した製品は使用できないという問題があった。
【０００５】
すなわち、ノギス測定時の押さえ方の違い、測定ポイントのズレ、ワークのカット状態の違い等により、測定結果が人によるバラツキがあり、その差が大きいため登録作業として、特別な訓練をした人または熟練した人でないと測定出来ないという問題があった。
【０００６】
上記従来のベローズ製品の外径測定装置は、ベローズ製品の外周面Ｏに、外径変位量検出手段としての接触子Ｃを接触させることにより、外径を測定するものであるため、非破壊状態においては肉厚を測定することが出来ないという問題があった。
【０００７】
そこで、本発明者は、肉厚測定に利用することが出来るその他の測定技術について検討した。
【０００８】
内外径測定方式は、図１４に示されるように製品Ｐの内径と外径を各センサＩＳ、ＯＳによって同時に計測し、その差より肉厚を測定するものであるが、測定原理がシンプルであり、導入し易く、計測器のコストも安価であるが、ベローズ製品の蛇腹部の斜辺肉厚を測定できないとともに、製品の内部に測定ヘッドを入れるため、測定できる製品形状が限定され、測定ポイントを検索するのに、軸方向に連続して測定する必要があるという問題があった。
【０００９】
超音波方式は、図１５に示されるように測定面Ｍに測定子Ｈによって超音波による振動を与え、裏面での反射波との位相差によって計測するものであるが、測定原理がシンプルで導入し易く、計測器のコストが安価であるが、測定ポイントを検索するのに、軸方向に連続して測定する必要があり、測定子が傾くと誤差になるため、絶えず垂直を保つ必要があるという問題があった。
【００１０】
軟Ｘ線方式は、図１６に示されるようにＸ線光源Ｘから製品Ｐへ照射され、カメラＫによって検出されたＸ線の断面画像を計測し肉厚を測定するものであるが、非接触測定であり、多種類のワークに対応し易いとともに、拡大率が設定できるので分解能ＵＰが容易にできるが、設備コストが高くなる。
【００１１】
そこで本発明者は、Ｖ字状の突出部が多数列設された蛇腹状の外周壁を備えた環状の製品を透過した軟Ｘ線量を２次元画像として検出して製品の断面形状における各部の肉厚を測定する肉厚測定装置において、前記Ｖ字状の突出部の山部、谷部および該山部または谷部を挟む隣り合う斜辺部の厚さを測定するという本発明の技術的思想に着眼し、更に研究開発を重ねた結果、非接触による精確な厚さ測定を可能にし、測定者によるバラツキを無くして、測定に要する時間を短縮するとともに、測定した製品の使用を可能にするという目的を達成する本発明に到達した。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
本発明（請求項１に記載の第１発明）の肉厚測定装置は、
Ｖ字状の突出部が多数列設された蛇腹状の外周壁を備えた環状の製品を透過した軟Ｘ線量を２次元画像として検出して製品の断面形状における各部の肉厚を測定する肉厚測定装置において、
前記Ｖ字状の突出部の山部、谷部および該山部または谷部を挟む隣り合う斜辺部の厚さを測定するものであって、
前記Ｖ字状の突出部の山部または谷部を挟む隣り合う斜辺部を延長した直線に基づいて得られた直線に沿う前記山部および谷部の厚さを測定する
ものである。
【００１３】
本発明（請求項２に記載の第２発明）の肉厚測定装置は、
前記第１発明において、
前記Ｖ字状の突出部の山部または谷部を挟む隣り合う斜辺部を延長した直線の交点における２等分線と前記山部および谷部との交点を頂点として該２等分線に沿う前記山部および谷部の厚さを測定する
ものである。
【００１４】
本発明（請求項３に記載の第３発明）の肉厚測定装置は、
前記第１発明において、
前記山部に近い部分における斜辺部の厚さを複数測定し、測定された複数の厚さデータの中の最小値に基づき厚さを測定する
ものである。
【００１５】
本発明（請求項４に記載の第４発明）の肉厚測定装置は、
前記第１発明において、
前記谷部に近い部分における斜辺部の厚さを複数測定し、測定された複数の厚さデータの中の最大値に基づき厚さを測定する
ものである。
【００１６】
本発明（請求項５に記載の第５発明）の肉厚測定装置は、
前記第１発明において、
前記製品を２次元方向に相対的に移動させることにより前記製品の測定すべき蛇腹状の外周壁を測定するようにした
ものである。
【００１７】
本発明（請求項６に記載の第６発明）の肉厚測定装置は、
前記第５発明において、
前記製品を回転させることにより前記製品の等しい円周角毎の外周壁において、上記測定を行う
ものである。
【００１８】
本発明（請求項７に記載の第７発明）の肉厚測定装置は、
前記第１発明において、
前記製品の上下の端部を位置決めされた上下の治具の円形凹部に介挿することにより、前記製品の位置および姿勢を規制する規制装置を備えている
ものである。
【００１９】
【発明の作用および効果】
上記構成より成る第１発明の肉厚測定装置は、Ｖ字状の突出部が多数列設された蛇腹状の外周壁を備えた環状の製品を透過した軟Ｘ線量を２次元画像として検出して製品の断面形状における各部の肉厚を測定する肉厚測定装置において、前記Ｖ字状の突出部の山部、谷部および該山部または谷部を挟む隣り合う斜辺部の厚さを測定するものであって、前記Ｖ字状の突出部の山部または谷部を挟む隣り合う斜辺部を延長した直線に基づいて得られた直線に沿う前記山部および谷部の厚さを測定するので、非接触による製品の厚さ測定を可能にし、測定者によるバラツキを無くして、測定に要する時間を短縮するとともに、測定した製品の使用を可能にするという効果を奏するとともに、前記山部および谷部の前記頂点の厚さを精確に測定するという効果を奏する。
【００２０】
上記構成より成る第２発明の肉厚測定装置は、前記第１発明において、前記Ｖ字状の突出部の山部または谷部を挟む隣り合う斜辺部を延長した直線の交点における２等分線と前記山部および谷部との交点を頂点として該２等分線に沿う前記山部および谷部の厚さを測定するので、前記山部および谷部の前記頂点の厚さを精確に測定するという効果を奏する。
【００２１】
上記構成より成る第３発明の肉厚測定装置は、前記第１発明において、前記山部に近い部分における斜辺部の厚さを複数測定し、測定された複数の厚さデータの中の最小値に基づき厚さを測定するので、前記山部に近い部分における斜辺部の厚さを精確に測定するという効果を奏する。
【００２２】
上記構成より成る第４発明の肉厚測定装置は、前記第１発明において、前記谷部に近い部分における斜辺部の厚さを複数測定し、測定された複数の厚さデータの中の最大値に基づき厚さを測定するので、前記谷部に近い部分における斜辺部の厚さを精確に測定するという効果を奏する。
【００２３】
上記構成より成る第５発明の肉厚測定装置は、前記第１発明において、前記製品を２次元方向に相対的に移動させることにより前記製品の測定すべき蛇腹状の外周壁を測定するようにしたので、前記製品の測定すべき蛇腹状の外周壁の厚さ測定を可能にするという効果を奏する。
【００２４】
上記構成より成る第６発明の肉厚測定装置は、前記第５発明において、前記製品を回転させることにより前記製品の等しい円周角毎の外周壁において、上記測定を行うので、前記製品の前記円周角毎の外周壁の厚さ測定を可能にするという効果を奏する。
【００２５】
上記構成より成る第７発明の肉厚測定装置は、前記第１発明において、前記規制装置を構成する位置決めされた前記上下の治具の前記円形凹部に、前記製品の上下の端部が介挿されるので、前記製品の位置および姿勢を規制することが出来るため、製品の位置のズレおよび傾きに基因する測定誤差の発生を防止して、精確な厚さ測定を可能にするという効果を奏する。
【００２６】
【発明の実施の形態】
以下本発明の実施の形態につき、図面を用いて説明する。
【００２７】
（実施形態）
本実施形態の肉厚測定装置は、図１に示されるようにＶ字状の突出部が多数列設された蛇腹状の外周壁を備えた環状の製品を透過した軟Ｘ線量を２次元画像として検出して製品の断面形状における各部の肉厚を測定する肉厚測定装置において、前記Ｖ字状の突出部の山部または谷部を挟む隣り合う斜辺部を延長した直線の交点における２等分線と前記山部および谷部との交点を頂点として該２等分線に沿う前記山部および谷部の厚さを測定するとともに、前記山部および前記谷部に近い部分における斜辺部の厚さを複数測定し、測定された複数の厚さデータの中の最小値および最大値に基づき厚さを測定するものである。
【００２８】
本実施形態の肉厚測定装置は、図２に示されるように軟Ｘ線を投射する軟Ｘ線光源１と、該軟Ｘ線光源１に対向して配設されたＸ線専用カメラ２と、前記軟Ｘ線光源１と前記Ｘ線専用カメラ２との間に配設され、測定対象である製品を把持して回転（θ）および２次元的移動（Ｘ、Ｙ）を可能にする３軸サーボより成るワーク搬送ユニット３と、前記軟Ｘ線光源１と前記Ｘ線専用カメラ２とワーク搬送ユニット３とを包囲してＸ線を遮蔽する鉄板製のカバー４と、該カバー４に配設され前記測定対象を出し入れする扉４１と、前記カバー４の下部のスペースに配設され、サーボ駆動装置および電源その他が配設された制御ボックス５と、前記カバー４の前面に配設され、前記測定対象の製品の品番入力や検査スタートを指示する操作ボックス６と、Ｉ／Ｏを介して前記Ｘ線専用カメラ２に画質改善装置を介して接続され計測されたＸ線画像の処理を行うパソコン本体７０と、メンテナンス用のキーボード７１、Ｘ線画像をモニターするＣＲＴモニター７２と、測定結果を出力して記録するプリンタ７３とから成る。
【００２９】
上記構成の本実施形態の肉厚測定装置の肉厚測定の基本的原理について、以下に述べる。
軟Ｘ線画像として、軟Ｘ線の透過性および被写体としての蛇腹状の外周壁を備えた環状の前記製品の軟Ｘ線減衰量の差を利用し、図８（Ａ）および（Ｂ）に示されるように前記カメラ２のＸ照射面上の位置によってＸ線のレベルが変化する樹脂ＣＶＪブーツの断面画像を得る。
【００３０】
前記Ｘ線専用カメラ２で入力検出した画像を、画像改善として、画質改善装置にて積分・濃淡強調することで、図８（Ｃ）に示されるように測定画像のエッジを明確にする。
【００３１】
肉厚測定における基準寸法の設定（キャリブレーション）として、画像から肉厚寸法を測定するための基準となる寸法を、ピクセルレートであらかじめ設定する。すなわち画像を構成する個々の輝点（ピクセル）が占有する寸法を設定し、測定対象物が何個の輝点で構成されているかをカウントし、寸法に変換する。
【００３２】
山谷頂点部の測定は、図１、図９および図１０に示されるように蛇腹の前記山部１０１または前記谷部１０２を挟む隣り合う斜辺部１０３、１０４に接線１１３、１１４を引き、その交点の２等分線１１１と前記製品の山部および谷部との交点部分である頂点１０５を含むウインドウ１１７内において厚さを測定する。
【００３３】
前記山部１０１および谷部１０２を挟む斜辺部１０３、１０４の厚さ測定は、蛇腹の山部または谷部の金型に接触する面より内側に複数の垂線１１５を引き、製品の厚みを測定する。すなわち斜辺に設定したウインドウ１１６内において等分割するように数本の垂線１１５を引き、前記山部１０１を挟む斜辺部１０３、１０４では垂線の一番短いもの、前記谷部を挟む斜辺部では垂線の一番長いものをそれぞれ選択して、その肉厚寸法とする。
【００３４】
蛇腹状の外周壁を備えた環状の前記製品のワークが、図６に示されるようにβの傾きがあると、傾きがない場合に対して図６中斜線で示すような画像のエッジのズレが発生するために測定誤差になる。
【００３５】
また蛇腹状の外周壁を備えた環状の前記製品のワークが、図７に示されるように前記軟Ｘ線光源１と前記Ｘ線専用カメラ２との間の正規の測定位置から位置ズレが生ずると測定画像における拡大率が変化するために測定誤差になる。
【００３６】
ワークの位置ズレによる誤差の例について検討する。Ｌ１は光源からのワークまでの距離であり、Ｌ２は光源からカメラまでの距離、ｘはワークの実寸、Ｘは画像の測定値である。
【００３７】
ワークの実寸は、以下の数２で示されるように以下の数１の関係から画像の測定値を拡大率（Ｌ２／Ｌ１）で割って求められる。
【数１】

【数２】

【００３８】
Ｌ１＝２００ｍｍ，Ｌ２＝６００ｍｍ，Ｘ＝６ｍｍとすると、
ｘはワークの実寸は、上記数２に上記値を代入すると、以下の数３に示されるように２ｍｍとなる。
【数３】

【００３９】
ワークの位置が１ｍｍズレた場合、上記数２にズレた値２０１を代入すると、以下の数４に示されるように０．０１ｍｍの誤差となる。
【数４】

【００４０】
本実施形態においては、上述した測定誤差を少なくするため、ワークの傾きおよび位置ズレを極力小さくする必要があるため、以下のようなワーク固定方法および規制装置としての固定治具を採用している。
【００４１】
小径側および大径側のクランプは、図５に示されるようにインローとし、製品セット時のズレおよび傾きを無くすものである。小径側のクランプと大径側のクランプの軸ズレ量を０．０２ｍｍ以下とする。Ｘ線光源・ワーククランプおよびカメラを同一ベースに配置し、各ユニットのズレが生じないようにするものである。
【００４２】
本実施形態における肉厚測定装置は、前記ワーク搬送ユニット３に前記製品１０をセットするためにセット位置を決めるための専用の治具を用いるものである。装置外で大径側押え治具８４上に前記製品１０を挿入載置する。この時治具の外周の凸部分８４１の内周側に前記製品の下端の外周を入れ込むことで位置が決められる。
【００４３】
次に小径押え治具８２を前記製品１０の上からスピンドル８１にセットする。この時治具８２の外周の凸部分８２１内側に製品外周を入れ込むことで位置を決めるものである。
【００４４】
上記治具と前記製品１０とのクリアランスは０．１ｍｍとし、位置ズレ量を少なくしている。製品をセットした治具本体を測定装置の前記ワーク搬送ユニット３にセットした時のスピンドル８１の傾き量を少なくしている。前記スピンドル８２２の上端にて回転時の軸ズレ量は水平方向で０．０１ｍｍ以下であり、スピンドル８１の下端部のテーパ形状の合わせ加工により上方から乗せるだけで精度が確保できるように構成されている。
【００４５】
製品セット後小径側押え治具８２をセットする際前記製品１０を自由長から約５ｍｍ押えてセットする。前記製品１０に厚肉部または薄肉部があると、その部位での蛇腹変形が変化するため測定時に異常が検出できる。
【００４６】
前記製品の移動は、Ｘ−Ｙ、θ（回転）軸を有する上述した３軸サーボ式移動装置で行う。この移動ポイントは、あらかじめ製品形状に合わせて内部メモリに設定しておく。
【００４７】
１回の画像入力で測定できるポイントは、各山部または谷部の頂点およびその近傍の両側の斜辺部のみで、上記移動と組み合わせて繰り返すことで全ポイントの測定を行うものである。
【００４８】
本実施形態の肉厚測定装置の測定手順について、図３に示される機能ブロックに従い説明する。
【００４９】
品種設定ステップ２０１において、測定する製品に対応する移動ポイント設定および肉厚を設定するために、品種毎に予めメモリに入力して格納してある移動ポイント設定および肉厚規格値を呼び出す。
【００５０】
製品セットステップ２０２において、測定する製品を装置外で上述したワークセット治具にセットし、その治具を装置の前記ワーク搬送ユニット３内の治具受けに乗せる。
【００５１】
治具への前記製品１０のセットは、図面中の小径側押さえ治具８２を上方に抜き、前記製品１０を上方から大径側押さえ治具８４に乗せ、さらに小径側押さえ治具８２を上方から下方に押さえるようにしてセットする。
【００５２】
前記製品１０と前記大径側押さえ治具８４および前記小径側押さえ治具８２とのクリアランスは、０．１ｍｍ以下となるようにしてあり、ワークセット治具を回転した際の軸ブレを極力少なくするようにしてある。
【００５３】
前記ワークセット治具の前記大径側押さえ治具８４と小径側押さえ治具８２の距離は、前記製品１０の全長を５ｍｍ短くした寸法とし、セット時に製品全長のバラツキを吸収し、測定ポイントが常に同位置となるようにされている。
【００５４】
検査ステップ２０３において、検査スタートスイッチが押されると、後述するように全自動で全ての測定ポイントを自動計測する。
【００５５】
製品移動ステップ２０４において、製品の測定ポイントが順次カメラの測定エリアに入るように移動する。移動はＸ、Ｙ，θ（９０°回転）の３軸のサーボ機構によって行われる。
【００５６】
画像入力ステップ２０５において、前記製品１０の測定ポイントの１つの測定ポイントの軟Ｘ線断面映像をカメラで入力検出する。すなわち軟Ｘ線の製品透過光量を利用し、製品の断面映像を得るのである。
【００５７】
画質改善ステップ２０６において、入力した断面映像の測定対象の肉厚を精度よく計測するための画質改善を画像処理装置を使用して行う。画像処理装置は、積分・濃淡強調する等の画像処理により、前記製品１０のエッジを明確にするとともに安定化させる。
【００５８】
肉厚測定ステップ２０７において、製品の測定ポイントの肉厚を上述した肉厚測定の基本的原理の下において、図１に従い計測する。
【００５９】
すなわちステップ３０１において、前記画像処理装置によって、積分・濃淡強調等の画像処理により、前記製品１０のエッジが明確にされ、登録された画像より、山部１０１、谷部１０２をサーチして位置決めする。
【００６０】
ステップ３０２において、前記山部１０１、谷部１０２を挟む上下斜辺部１０３、１０４の外側エッジより基準直線を設定する、すなわち前記上下斜辺部１０３、１０４に接する延長線１０３、１０４を設定する。
【００６１】
ステップ３０３において、前記２個の基準直線の交点において２等分線をひき、該２等分線と前記山部１０１または前記谷部１０２との交点を頂点１０５として、該頂点１０５を通る直線上における前記山部１０１または前記谷部１０２の厚さを測定する。
【００６２】
ステップ３０４において、蛇腹の山部または谷部の金型に接触する面（基準直線）より内側に複数の垂線１１５を引き、製品の厚みを測定する。すなわち前記山部１０１または前記谷部１０２に近い部位の斜辺部１０３、１０４に設定したウインドウ１１６内において等分割するように数本の垂線１１５を引き、前記山部１０１を挟む斜辺部１０３、１０４では垂線の一番短いもの、前記谷部を挟む斜辺部では垂線の一番長いものをそれぞれ選択して、その肉厚寸法とする。
【００６３】
ステップ３０５において、計測された寸法をフィードバックする。
【００６４】
良否判定ステップ２０８において、測定された肉厚寸法と対応する測定ポイントの規格値を比較して、良否を判定し、表示する。全測定ポイントで肉厚寸法が規格値以内であれば、その製品を良品と判定する。
【００６５】
測定結果記録ステップ２０９において、測定した前記製品１０の全測定ポイントの計測値および規格値を前記プリンタ７３にて記録するとともに、メモリに記録する。後にこの記録を利用し工程能力評価に使用するための統計解析用データとする。
測定結果チェックステップ２１０において、測定結果についてチェックを行い、製品取出ステップにおいて、測定が済んだ製品を取り出す。
【００６６】
上記構成より成る本実施形態の肉厚測定装置は、前記製品１０の前記Ｖ字状の突出部の山部、谷部および該山部または谷部を挟む隣り合う斜辺部の厚さを測定するので、非接触による製品の厚さ測定を可能にし、測定者によるバラツキを無くして、測定に要する時間を短縮するとともに、測定した製品の使用を可能にするという効果を奏する。
【００６７】
また本実施形態の肉厚測定装置は、前記Ｖ字状の突出部の山部または谷部を挟む隣り合う斜辺部を延長した直線の交点における２等分線と前記山部および谷部との交点を頂点として該２等分線に沿う前記山部および谷部の厚さを測定するので、前記山部および谷部の前記頂点の厚さを精確に測定するという効果を奏する。
【００６８】
さらに本実施形態の肉厚測定装置は、前記山部および前記谷部に近い部分における斜辺部の厚さを複数測定し、測定された複数の厚さデータの中の最小値および最大値に基づき厚さを測定するので、前記山部および前記谷部に近い部分における斜辺部の厚さを精確に測定するという効果を奏する。
【００６９】
また本実施形態の肉厚測定装置は、前記規制装置を構成する位置決めされた前記上下の治具８２、８４の前記円形凹部８２１、８４１に、前記製品１０の上下の端部が介挿されるので、前記製品１０の位置および姿勢を規制することが出来るため、製品の位置のズレおよび傾きに基因する測定誤差の発生を防止して、精確な厚さ測定を可能にするという効果を奏する。
【００７０】
本実施形態の肉厚測定装置における測定精度は、上述した従来のノギスによる測定の精度以上であり、熟練作業者によって測定結果の検定を行った結果、十分な精度が確保できていることが確認された。
【００７１】
本実施形態は、図１１に示される測定結果に基づき、成形における肉厚制御条件に肉厚ねらい値との差をフィードバックし、条件をねらい値に近付けるよう変更することが可能になる。このように成形にフィードバックすることが出来る肉厚寸法データが得られるのである。
【００７２】
上述の実施形態は、説明のために例示したもので、本発明としてはそれらに限定されるものでは無く、特許請求の範囲、発明の詳細な説明および図面の記載から当業者が認識することができる本発明の技術的思想に反しない限り、変更および付加が可能である。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施形態の肉厚測定装置における製品の各部の厚さ測定の手順を示すチャート図である。
【図２】本実施形態の肉厚測定装置を示す斜視図である。
【図３】本実施形態の肉厚測定装置における測定手順を示す機能ブロック図である。
【図４】本実施形態における測定対象である製品の測定部位を説明する説明図である。
【図５】本実施形態における製品の位置および姿勢を規制する規制装置を示す断面図である。
【図６】本実施形態における製品の傾きによるエッジのズレを説明するための説明図である。
【図７】本実施形態における製品の位置ズレによる拡大率の変化を説明するための説明図である。
【図８】本実施形態におけるＸ線源から製品を介してカメラによって検出されたＸ線レベルおよび改質された画像を説明するための説明図である。
【図９】本実施形態における測定対象である製品の山部の頂点における厚さ測定の原理を説明するための説明図である。
【図１０】本実施形態における測定対象である製品の斜辺部の厚さ測定の原理を説明するための説明図である。
【図１１】本実施形態における製品の各測定部位における厚さ寸法のバラツキを示す線図である。
【図１２】従来における製品を４分割した測定を説明するための説明図である。
【図１３】従来における製品の外径測定の原理を示す断面図である。
【図１４】内・外径測定方式を説明するための説明図である。
【図１５】超音波方式を説明するための説明図である。
【図１６】軟Ｘ線方式を説明するための説明図である。
【符号の説明】
１０製品
１０１山部
１０２谷部
１０３、１０４斜辺部
１０５頂点
１１１２等分線[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
The present invention detects a soft X-ray dose transmitted through an annular product having a bellows-shaped outer peripheral wall in which a number of V-shaped protrusions are arranged in a row, and detects the thickness of each part in the sectional shape of the product by detecting the soft X-ray dose as a two-dimensional image. The present invention relates to a thickness measuring apparatus for measuring the thickness.
[0002]
[Prior art]
A conventional thickness measuring method is to divide an annular product P having an accordion-shaped outer peripheral wall OW in which a number of V-shaped protrusions are arranged in rows into four parts as shown in FIG. Was measured sequentially.
[0003]
Further, the conventional bellows product outer diameter measuring device is arranged such that a contact C as an outer diameter displacement detecting means is provided on an outer peripheral surface O of a rotating bellows product P having a perfect circular contour as shown in FIG. And the outer diameter is measured by following the fluctuation of the outer peripheral surface O of the product.
[0004]
[Problems to be solved by the invention]
The conventional method for measuring the thickness described above involves dividing the product P into four parts and sequentially measuring the cross section of the product P with a vernier caliper. There was a problem that can not be used.
[0005]
In other words, due to differences in holding method when measuring caliper, deviation of measurement points, differences in the cut state of the work, etc., the measurement results vary from person to person, and the difference is large. There was a problem that the measurement could not be performed without a skilled person.
[0006]
The conventional bellows product outer diameter measuring device measures the outer diameter by bringing a contact C as an outer diameter displacement amount detecting means into contact with the outer peripheral surface O of the bellows product. Has a problem that the wall thickness cannot be measured.
[0007]
Therefore, the present inventors have studied other measurement techniques that can be used for measuring the wall thickness.
[0008]
The inner and outer diameter measuring method is to measure the inner and outer diameters of the product P simultaneously by each of the sensors IS and OS as shown in FIG. 14 and to measure the thickness from the difference between them, but the measuring principle is simple. Although it is easy to introduce and the cost of the measuring instrument is low, it is not possible to measure the hypotenuse wall thickness of the bellows part of the bellows product, and since the measuring head is inserted inside the product, the shape of the measurable product is limited, There is a problem that it is necessary to measure continuously in the axial direction for searching.
[0009]
In the ultrasonic method, as shown in FIG. 15, an ultrasonic vibration is applied to a measuring surface M by a tracing stylus H, and measurement is performed based on a phase difference from a reflected wave on the back surface. It is easy to use, and the cost of the measuring instrument is low, but it is necessary to continuously measure in the axial direction to search for the measurement point, and if the probe is tilted, an error will occur, so it is necessary to keep the vertical constantly There was a problem.
[0010]
In the soft X-ray method, as shown in FIG. 16, a product P is irradiated from an X-ray light source X to a product P, and a cross-sectional image of the X-ray detected by a camera K is measured to measure the thickness. This is a measurement, and it is easy to cope with various kinds of works, and the enlargement ratio can be set, so that the resolution UP can be easily made, but the equipment cost increases.
[0011]
Therefore, the present inventor has detected a soft X-ray dose transmitted through an annular product having a bellows-shaped outer peripheral wall in which a large number of V-shaped protrusions are arranged in a row, and as a two-dimensional image, has detected each part in the cross-sectional shape of the product. In the thickness measuring apparatus for measuring the thickness, the technical idea of the present invention is to measure the thickness of the peaks and valleys of the V-shaped protrusion and the adjacent oblique sides sandwiching the peaks or valleys. As a result of repeated research and development, accurate thickness measurement by non-contact is possible, eliminating variation by the operator, shortening the time required for measurement, and enabling the use of the measured product The present invention has been achieved which achieves the above object.
[0012]
[Means for Solving the Problems]
The thickness measuring device of the present invention (the first invention according to claim 1)
A flesh for measuring the thickness of each part in the cross-sectional shape of a product by detecting a soft X-ray dose transmitted through an annular product having a bellows-shaped outer peripheral wall in which a number of V-shaped protrusions are arranged in a row. In the thickness measuring device,
Measuring the thickness of the peaks, valleys and adjacent oblique sides sandwiching the peaks or valleys of the V-shaped protrusion ,
The thickness of the peaks and valleys is measured along a straight line obtained based on a straight line obtained by extending the adjacent oblique sides sandwiching the peaks or valleys of the V-shaped protrusion. is there.
[0013]
The thickness measuring device of the present invention (the second invention according to claim 2)
In the first invention,
A vertex is set at an intersection of a straight line extending from a straight line extending adjacent oblique sides sandwiching a peak or a valley of the V-shaped protrusion, and the intersection between the peak and the valley is along the bisector. The thickness of the peaks and valleys is measured.
[0014]
The thickness measuring device of the present invention (the third invention according to claim 3)
In the first invention,
A plurality of thicknesses of the hypotenuse portion in the portion close to the peak are measured, and the thickness is measured based on a minimum value among the plurality of measured thickness data.
[0015]
The thickness measuring device of the present invention (the fourth invention according to claim 4)
In the first invention,
A plurality of thicknesses of the hypotenuse portion near the valley are measured, and the thickness is measured based on a maximum value among the plurality of measured thickness data.
[0016]
The thickness measuring device of the present invention (the fifth invention according to claim 5)
In the first invention,
The bellows-like outer peripheral wall of the product to be measured is measured by relatively moving the product in a two-dimensional direction.
[0017]
The thickness measuring apparatus of the present invention (the sixth invention according to claim 6)
In the fifth invention,
The above measurement is performed on the outer peripheral wall of the product at every equal circumferential angle by rotating the product.
[0018]
The thickness measuring device of the present invention (the seventh invention according to claim 7)
In the first invention,
A regulating device for regulating the position and posture of the product by inserting upper and lower ends of the product into circular recesses of the positioned upper and lower jigs.
[0019]
Function and Effect of the Invention
The thickness measuring apparatus of the first invention having the above configuration detects a soft X-ray dose transmitted through an annular product having a bellows-shaped outer peripheral wall in which a number of V-shaped protrusions are arranged in a row as a two-dimensional image. A thickness measuring device for measuring the thickness of each part in the cross-sectional shape of the product by measuring the thickness of the peaks and valleys of the V-shaped protrusion and the adjacent oblique sides sandwiching the peaks or valleys. And measuring the thickness of the peaks and valleys along a straight line obtained based on a straight line obtained by extending the adjacent oblique sides sandwiching the peaks or valleys of the V-shaped protrusion. Therefore, it is possible to measure the thickness of the product by non-contact, eliminate the variation by the measurer, reduce the time required for the measurement, and have the effect of enabling the use of the measured product, and at the same time , the above-mentioned peak and When measuring the thickness of the top of the valley accurately Achieve the cormorant effect.
[0020]
The thickness measuring apparatus according to a second aspect of the present invention, according to the first aspect, is a bisector at an intersection of straight lines extending adjacent oblique sides sandwiching a peak or a valley of the V-shaped protrusion. The thickness of the peak and the valley along the bisector is measured with the intersection of the peak and the valley as the vertex, so that the thickness of the vertex of the peak and the valley is accurately measured. It has the effect of doing.
[0021]
The thickness measuring apparatus according to a third aspect of the present invention is the thickness measuring apparatus according to the first aspect, wherein a plurality of thicknesses of a hypotenuse portion in a portion close to the mountain portion are measured, and a minimum value among the plurality of measured thickness data. Since the thickness is measured based on the above, there is an effect that the thickness of the hypotenuse portion in the portion close to the peak portion is accurately measured.
[0022]
The thickness measuring apparatus according to a fourth aspect of the present invention is the thickness measuring apparatus according to the first aspect, wherein a plurality of thicknesses of a hypotenuse portion in a portion near the valley are measured, and a maximum value among the plurality of measured thickness data. Since the thickness is measured based on the above, there is an effect that the thickness of the hypotenuse portion in the portion near the valley portion is accurately measured.
[0023]
The thickness measuring apparatus according to a fifth aspect of the present invention is configured such that, in the first aspect, the bellows-shaped outer peripheral wall of the product to be measured is measured by relatively moving the product in a two-dimensional direction. Therefore, the thickness of the bellows-shaped outer peripheral wall of the product to be measured can be measured.
[0024]
The thickness measuring apparatus according to a sixth aspect of the present invention, which is configured as described above, performs the measurement on the outer peripheral wall of the product at each equal circumferential angle by rotating the product in the fifth aspect. This has the effect that the thickness of the outer peripheral wall can be measured for each circumferential angle.
[0025]
In the thickness measuring apparatus according to a seventh aspect of the present invention, the upper and lower ends of the product are inserted into the circular recesses of the positioned upper and lower jigs constituting the regulating device. Therefore, since the position and orientation of the product can be regulated, it is possible to prevent the occurrence of a measurement error due to the displacement and inclination of the position of the product, thereby providing an effect of enabling accurate thickness measurement.
[0026]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
[0027]
(Embodiment)
As shown in FIG. 1, the thickness measuring apparatus according to the present embodiment measures the soft X-ray dose transmitted through an annular product having a bellows-shaped outer peripheral wall in which a number of V-shaped protrusions are arranged in a two-dimensional image. A thickness measuring device for measuring the thickness of each part in the cross-sectional shape of a product by detecting the V-shaped protrusion at the intersection of straight lines extending adjacent oblique sides sandwiching a peak or a valley of the V-shaped protrusion. While measuring the thickness of the peaks and valleys along the bisector with the intersection of the shunt and the peaks and valleys as vertices, the slope of the hypotenuse in a portion near the peaks and valleys A plurality of thicknesses are measured, and the thickness is measured based on a minimum value and a maximum value among the plurality of measured thickness data.
[0028]
As shown in FIG. 2, the thickness measuring apparatus according to the present embodiment includes a soft X-ray light source 1 that projects soft X-rays, and an X-ray dedicated camera 2 that is disposed to face the soft X-ray light source 1. Disposed between the soft X-ray light source 1 and the X-ray dedicated camera 2 to allow a product to be measured to be rotated (θ) and two-dimensionally moved (X, Y) 3 A work transport unit 3 comprising an axis servo; a cover 4 made of an iron plate for surrounding the soft X-ray light source 1, the X-ray dedicated camera 2 and the work transport unit 3 and shielding X-rays; A door 41 for installing and removing the object to be measured, a control box 5 provided in a space below the cover 4 and provided with a servo drive device, a power supply and the like, and a front surface of the cover 4, An operation box for inputting the part number of the product to be measured and for starting the inspection And a personal computer 70 connected to the X-ray dedicated camera 2 via an image quality improvement device via an I / O for processing the measured X-ray image, a keyboard 71 for maintenance, and monitoring the X-ray image. It comprises a CRT monitor 72 and a printer 73 for outputting and recording measurement results.
[0029]
The basic principle of measuring the thickness of the thickness measuring apparatus of the present embodiment having the above configuration will be described below.
As a soft X-ray image, the difference between the soft X-ray transmittance and the soft X-ray attenuation of the annular product having a bellows-shaped outer peripheral wall as a subject is used, and FIG. 8 (A) and FIG. As shown, a cross-sectional image of the resin CVJ boot whose X-ray level changes depending on the position on the X irradiation surface of the camera 2 is obtained.
[0030]
As an image improvement, the image detected and input by the X-ray dedicated camera 2 is integrated and shade-enhanced by an image quality improvement device to clarify the edge of the measured image as shown in FIG. 8C.
[0031]
As a reference dimension setting (calibration) in the thickness measurement, a dimension serving as a reference for measuring a thickness dimension from an image is set in advance at a pixel rate. That is, the dimensions occupied by the individual luminescent spots (pixels) constituting the image are set, the number of luminescent spots of the object to be measured is counted, and converted into dimensions.
[0032]
The peaks and valleys are measured by drawing

tangent lines

113 and 114 on adjacent

oblique sides

103 and 104 sandwiching the peaks 101 or the valleys 102 of the bellows, as shown in FIGS. The thickness is measured in a window 117 including an apex 105 which is an intersection of the bisector 111 of FIG.
[0033]
The thickness of the

oblique sides

103 and 104 sandwiching the peak 101 and the valley 102 is measured by drawing a plurality of perpendiculars 115 inside the surface of the bellows that is in contact with the mold at the peak or the valley, and measuring the thickness of the product. I do. That is, several perpendicular lines 115 are drawn so as to be equally divided in the window 116 set to the hypotenuse, and the shortest perpendiculars are formed in the

hypotenuses

103 and 104 sandwiching the ridge 101, and the perpendiculars are extended in the hypotenuse sandwiching the valley. Are selected, and their thicknesses are determined.
[0034]
As shown in FIG. 6, when the workpiece of the annular product having the bellows-shaped outer peripheral wall has an inclination of β as shown in FIG. 6, the edge deviation of the image as shown by oblique lines in FIG. Occurs, resulting in a measurement error.
[0035]
In addition, as shown in FIG. 7, the annular workpiece of the product having the bellows-shaped outer peripheral wall is displaced from a regular measurement position between the soft X-ray light source 1 and the X-ray dedicated camera 2. And a magnification error in the measurement image changes, resulting in a measurement error.
[0036]
Consider an example of an error due to a work positional deviation. L1 is the distance from the light source to the work, L2 is the distance from the light source to the camera, x is the actual size of the work, and X is the measured value of the image.
[0037]
The actual size of the work is obtained by dividing the measured value of the image by the enlargement ratio (L2 / L1) according to the following equation 1 as shown in the following equation 2.
(Equation 1)

(Equation 2)

[0038]
If L1 = 200 mm, L2 = 600 mm, X = 6 mm,
x is the actual size of the work, when the above value is substituted into the above equation 2, becomes 2 mm as shown in the following equation 3.
(Equation 3)

[0039]
When the position of the work is shifted by 1 mm, an error of 0.01 mm is obtained by substituting the shifted value 201 into Equation 2 as shown in Equation 4 below.
(Equation 4)

[0040]
In the present embodiment, in order to reduce the above-described measurement error, it is necessary to minimize the inclination and positional deviation of the work. Therefore, the following work fixing method and a fixing jig as a regulating device are employed. .
[0041]
As shown in FIG. 5, the clamps on the small diameter side and the large diameter side are inlays to eliminate displacement and inclination during product setting. The axial displacement between the small diameter clamp and the large diameter clamp is set to 0.02 mm or less. The X-ray light source / work clamp and the camera are arranged on the same base so that each unit does not shift.
[0042]
The thickness measuring apparatus according to the present embodiment uses a dedicated jig for determining a setting position for setting the product 10 on the work transfer unit 3. The product 10 is inserted and mounted on the large-diameter holding jig 84 outside the apparatus. At this time, the position is determined by inserting the outer periphery of the lower end of the product into the inner peripheral side of the convex portion 841 on the outer periphery of the jig.
[0043]
Next, the small-diameter holding jig 82 is set on the spindle 81 from above the product 10. At this time, the position is determined by inserting the outer periphery of the product inside the convex portion 821 on the outer periphery of the jig 82.
[0044]
The clearance between the jig and the product 10 is 0.1 mm to reduce the amount of positional deviation. The amount of inclination of the spindle 81 when the jig body on which the product is set is set in the work transfer unit 3 of the measuring device is reduced. The amount of axial misalignment during rotation at the upper end of the spindle 822 is 0.01 mm or less in the horizontal direction, and the lower end of the spindle 81 is configured to be tapered so that accuracy can be ensured only by mounting from above. I have.
[0045]
When the small-diameter holding jig 82 is set after the product is set, the product 10 is set by pressing the product 10 by about 5 mm from its free length. If the product 10 has a thick portion or a thin portion, the bellows deformation at that portion changes, so that an abnormality can be detected during measurement.
[0046]
The movement of the product is performed by the above-described three-axis servo type moving device having XY, θ (rotation) axes. This moving point is set in the internal memory in advance according to the product shape.
[0047]
The points that can be measured by one image input are only the peaks of the peaks or valleys and the oblique sides on both sides in the vicinity of the peaks or valleys.
[0048]
The measurement procedure of the thickness measuring device of the present embodiment will be described with reference to the functional blocks shown in FIG.
[0049]
In the type setting step 201, in order to set a moving point setting and a thickness corresponding to a product to be measured, a moving point setting and a thickness standard value which are previously input and stored in a memory for each type are called.
[0050]
In a product setting step 202, a product to be measured is set on the above-described work setting jig outside the apparatus, and the jig is placed on a jig receiver in the work transfer unit 3 of the apparatus.
[0051]
To set the product 10 on the jig, pull out the small-diameter holding jig 82 in the drawing upward, put the product 10 on the large-diameter holding jig 84 from above, and further raise the small-diameter holding jig 82 upward. And press down to set.
[0052]
The clearance between the product 10 and the large-diameter-side holding jig 84 and the small-diameter-side holding jig 82 is set to 0.1 mm or less, and the shaft runout when rotating the work set jig is minimized. I have to do it.
[0053]
The distance between the large-diameter holding jig 84 and the small-diameter holding jig 82 of the work set jig is set to a dimension in which the entire length of the product 10 is shortened by 5 mm. It is always in the same position.
[0054]
When the inspection start switch is pressed in the inspection step 203, all the measurement points are automatically measured automatically as described later.
[0055]
In the product moving step 204, the measuring points of the product are sequentially moved so as to enter the measuring area of the camera. The movement is performed by a three-axis servo mechanism of X, Y, and θ (rotated by 90 °).
[0056]
In the image input step 205, a soft X-ray sectional image of one of the measurement points of the product 10 is input and detected by the camera. That is, a cross-sectional image of a product is obtained by using the amount of soft X-ray transmitted through the product.
[0057]
In the image quality improvement step 206, image quality improvement for accurately measuring the thickness of the measurement target of the input cross-sectional image is performed using the image processing apparatus. The image processing device clarifies and stabilizes the edge of the product 10 by performing image processing such as integration and shading emphasis.
[0058]
In the thickness measurement step 207, the thickness of the measurement point of the product is measured according to FIG. 1 under the above-described basic principle of the thickness measurement.
[0059]
That is, in step 301, the edge of the product 10 is clarified by image processing such as integration and shading enhancement by the image processing apparatus, and the crest 101 and the valley 102 are searched and positioned from the registered image. .
[0060]
In step 302, a reference straight line is set from the outer edges of the upper and lower

oblique sides

103 and 104 sandwiching the peak 101 and the valley 102, that is, the

extension lines

103 and 104 that are in contact with the upper and lower

oblique sides

103 and 104 are set.
[0061]
In step 303, a bisector is drawn at the intersection of the two reference straight lines, and the intersection between the bisector and the peak 101 or the valley 102 is defined as a vertex 105 on a straight line passing through the vertex 105. The thickness of the peak portion 101 or the valley portion 102 is measured.
[0062]
In step 304, a plurality of perpendicular lines 115 are drawn inside a surface (reference straight line) of the bellows that is in contact with the mold at the peak or valley, and the thickness of the product is measured. That is, several perpendicular lines 115 are drawn so as to be equally divided in the window 116 set on the

oblique sides

103 and 104 near the peak 101 or the valley 102, and the

oblique sides

103 and 104 sandwiching the peak 101 are drawn. In this case, the shortest perpendicular line is selected, and the longest perpendicular line is selected at the oblique side sandwiching the valley, and the thickness is determined.
[0063]
In step 305, the measured dimensions are fed back.
[0064]
In the pass / fail determination step 208, the measured thickness is compared with the standard value of the corresponding measurement point to determine pass / fail and display. If the thickness dimension is within the specified value at all measurement points, the product is determined to be good.
[0065]
In the measurement result recording step 209, the measured values and the standard values of all the measured points of the product 10 measured are recorded by the printer 73 and also recorded in the memory. This record will be used later as statistical analysis data for use in process capability evaluation.
In the measurement result check step 210, the measurement result is checked, and in the product removal step, the measured product is taken out.
[0066]
The thickness measuring device of the present embodiment having the above-described configuration measures the thickness of the peaks and valleys of the V-shaped protrusion of the product 10 and the adjacent oblique sides sandwiching the peaks or valleys. Therefore, it is possible to measure the thickness of the product by non-contact, eliminate the variation by the measurer, shorten the time required for the measurement, and achieve the effect of enabling the use of the measured product.
[0067]
In addition, the thickness measuring device of the present embodiment is configured such that a bisector at an intersection of straight lines extending adjacent oblique sides sandwiching a peak or a valley of the V-shaped protrusion and the peak and the valley are formed. Since the thickness of the peak and the valley along the bisector is measured with the intersection as the vertex, the thickness of the vertex at the peak and the valley is measured accurately.
[0068]
Furthermore, the thickness measuring device of the present embodiment measures a plurality of thicknesses of the hypotenuse portion in the portion close to the peak portion and the valley portion, and based on the minimum value and the maximum value among the plurality of measured thickness data. Since the thickness is measured, there is an effect that the thickness of the hypotenuse portion in a portion near the peak portion and the valley portion is accurately measured.
[0069]
In the thickness measuring device of the present embodiment, the upper and lower ends of the product 10 are inserted into the circular

concave portions

821 and 841 of the positioned upper and

lower jigs

82 and 84 that constitute the regulating device. Since the position and orientation of the product 10 can be regulated, it is possible to prevent the occurrence of a measurement error due to the displacement and inclination of the position of the product 10, thereby providing an effect of enabling accurate thickness measurement.
[0070]
The measurement accuracy in the thickness measuring apparatus of the present embodiment is equal to or higher than the measurement accuracy of the conventional caliper described above, and as a result of performing a test of the measurement result by a skilled operator, it is confirmed that sufficient accuracy can be secured. Was done.
[0071]
In the present embodiment, based on the measurement results shown in FIG. 11, it is possible to feed back the difference between the wall thickness control condition and the wall thickness target value in molding and to bring the condition closer to the target value. As described above, thickness dimension data that can be fed back to molding can be obtained.
[0072]
The above-described embodiment has been described by way of example, and the present invention is not limited to the embodiment. It will be recognized by those skilled in the art from the claims, the detailed description of the invention, and the drawings. Modifications and additions can be made without departing from the technical idea of the present invention.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a chart showing a procedure for measuring the thickness of each part of a product in a thickness measuring apparatus according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a perspective view showing a thickness measuring apparatus of the present embodiment.
FIG. 3 is a functional block diagram showing a measuring procedure in the thickness measuring device of the embodiment.
FIG. 4 is an explanatory diagram illustrating measurement sites of a product to be measured in the present embodiment.
FIG. 5 is a cross-sectional view illustrating a regulating device that regulates a position and a posture of a product according to the embodiment.
FIG. 6 is an explanatory diagram for explaining a deviation of an edge due to a tilt of a product in the embodiment.
FIG. 7 is an explanatory diagram for explaining a change in an enlargement ratio due to a positional shift of a product in the embodiment.
FIG. 8 is an explanatory diagram for explaining an X-ray level and a modified image detected by a camera from an X-ray source via a product in the embodiment.
FIG. 9 is an explanatory diagram for explaining the principle of thickness measurement at the apex of a crest of a product to be measured in the present embodiment.
FIG. 10 is an explanatory diagram for explaining the principle of measuring the thickness of the oblique side of the product to be measured in the embodiment.
FIG. 11 is a diagram showing a variation in a thickness dimension at each measurement site of the product in the embodiment.
FIG. 12 is an explanatory diagram for explaining a conventional measurement in which a product is divided into four parts.
FIG. 13 is a cross-sectional view showing the principle of measuring the outer diameter of a conventional product.
FIG. 14 is an explanatory diagram for explaining an inner / outer diameter measuring method.
FIG. 15 is an explanatory diagram for describing an ultrasonic method.
FIG. 16 is an explanatory diagram for explaining a soft X-ray system.
[Explanation of symbols]
10 Product 101 Crest 102

Trough

103, 104 Oblique 105 Vertex 111 Bisection line

Claims

A flesh for measuring the thickness of each part in the cross-sectional shape of a product by detecting a soft X-ray dose transmitted through an annular product having a bellows-shaped outer peripheral wall in which a number of V-shaped protrusions are arranged in a row. A thickness measuring device,
Measuring the thickness of the peaks, valleys and adjacent oblique sides sandwiching the peaks or valleys of the V-shaped protrusion ,
Measuring the thickness of the ridges and valleys along a straight line obtained based on a straight line extending an adjacent oblique side sandwiching the ridges or valleys of the V-shaped protrusion. Characteristic thickness measuring device.

In claim 1,
A vertex is set at an intersection of a straight line extending from a straight line extending adjacent oblique sides sandwiching a peak or a valley of the V-shaped protrusion, and the intersection between the peak and the valley is along the bisector. A thickness measuring device for measuring the thickness of the peaks and valleys.

In claim 1,
A thickness measuring apparatus, comprising: measuring a plurality of thicknesses of a hypotenuse portion in a portion close to the peak portion; and measuring the thickness based on a minimum value among the plurality of measured thickness data.

In claim 1,
A thickness measuring apparatus comprising: measuring a plurality of thicknesses of a hypotenuse portion in a portion close to the valley portion; and measuring a thickness based on a maximum value among the plurality of measured thickness data.

In claim 1,
A thickness measuring apparatus characterized in that a bellows-like outer peripheral wall of the product to be measured is measured by relatively moving the product in a two-dimensional direction.

In claim 5,
A thickness measuring device, wherein the measurement is performed on the outer peripheral wall of the product at every equal circumferential angle by rotating the product.

In claim 1,
A thickness measuring device comprising a regulating device for regulating the position and posture of the product by inserting upper and lower ends of the product into circular recesses of the positioned upper and lower jigs.