JP3604119B2

JP3604119B2 - Pattern matching processing method used when positioning the measuring device

Info

Publication number: JP3604119B2
Application number: JP10669898A
Authority: JP
Inventors: 大野上
Original assignee: Hitachi Kokusai Electric Inc; Kokusai Denki Electric Inc
Current assignee: Kokusai Denki Electric Inc
Priority date: 1998-04-16
Filing date: 1998-04-16
Publication date: 2004-12-22
Anticipated expiration: 2018-04-16
Also published as: JPH11304426A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、パターンマッチングによる画像の測定装置等、例えば液晶線幅測定装置に用いられている寸法測定用画像処理ソフトで位置決め時に使用するパターンマッチングの処理に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
図２（ａ）、（ｂ）は、同一品種、同一工程の被写体画像を示したものである。一例として、従来の液晶線幅測定装置に用いられている寸法測定用画像処理ソフトでの参照画像登録の様子を説明する。まず、図２（ａ）の画像であるマスタ画像１から位置決め位置２の部分を参照画像３として登録する。
【０００３】
自動測定時は、参照画像３とカメラ画像が同じ部分をパターンマッチングにより検出し位置決めを行っている。しかし、この参照画像３で図２（ｂ）に示す（ａ）とはコントラストの相違する画像４のようなサンプルを測定する場合、画像に同じ部分がないため検出エラーとなってしまう。このように、従来の寸法測定用画像処理ソフトでは、測定ポイント１つに付き参照画像を１枚しか持てないため、上記のように被写体の加工状態により同じ工程のサンプルであっても色が異なる（コントラストが異なる）場合、パターンマッチングによる位置認識ができなくなる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
自動測定時は、液晶パターンが図２のマスタ画像１のパターン、コントラスト相違画像４のどちらの画像になるか予測できない。しかも、両方とも検出させる必要がある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
１つの測定プログラムの中で用いる参照画像を複数枚登録できるようにし、現れる頻度にあわせて使用する参照画像の順序を作業者が任意に設定できるようにする。パターン検出時の動作順序としては、まず、最初の参照画像（作業者が最初に設定した画像）でパターンマッチングを行う。この時、検出エラーとなったときには、作業者の設定順序にあわせて次の参照画像を用いてパターンマッチングを行う。検出エラーの時には、この繰り返し動作となる。
【０００６】
【発明の実施の形態】
以下この発明の一実施例を図１（ａ）、（ｂ）により説明する。図１の１及び４は撮影装置に取り付けられたカメラ（図示せず）で捕らえた画像である。両者は、同一品種、同一工程のパターンである。２及び５は、位置決め位置として登録した場所を指している。７，８は、コントラスト相違部で同じ工程のバターンで色（コントラスト）の異なる部分である。３及び６は、参照画像でこの品種及び工程で使用される参照画像である。以下、この動作について説明する。まず、対象物の画像（ａ）をカメラで撮影し、参照画像３を登録する。続いて、（ｂ）の画像をカメラで撮影し、参照画像６を登録する。この他にも、コントラストの異なる画像があれば、同様にして参照画像を登録することになる。次に、自動測定時の動作を説明する。自動測定時は、図１の撮影画像１、撮影画像４どちらのパターンで測定するのか判断することはできない。まず、参照画像３を用いてカメラ画像の中から参照画像と同じ部分をパターンマッチングにて検出する。この時、カメラ画像が撮影画像４である場合、参照画像３と同じ部分がないため従来の方法では、検出エラーとなり処理が終了してしまう。しかしながら、本発明では、参照画像３の画像で検出エラーとなった時には、続けて参照画像６の画像を用いてパターンマッチングを行うことで位置決め位置５の部分を検出することができる。上記の例では、参照画像３からパターンマッチングを行ったが、作業者の設定により参照画像６の画像から行うようにすることも可能である。実施例では、参照画像の設定枚数は、最大で４枚とした。使用する参照画像の順序は、作業者による設定としているが、学習機能を有することで使用した頻度に合わせて順序を自動的に変えることも可能である。
【０００７】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によればパターンマッチングに使用する参照画像と実際に測定するパターンのコントラストが変わってしまった場合にも、コントラストの違うパターンも参照画像として登録することで検出エラーをなくすことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例における動作説明図
【図２】従来技術の動作説明図
【符号の説明】
１：マスタ画像、２：位置決め位置、３：参照画像、４：コントラスト相違画像、５：位置決め位置、６：参照画像。[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
The present invention relates to a pattern matching process used at the time of positioning by image measuring software for a liquid crystal line width measuring device, for example, an image measuring device using a pattern matching.
[0002]
[Prior art]
2A and 2B show subject images of the same type and the same process. As an example, a state of registration of a reference image by image processing software for dimension measurement used in a conventional liquid crystal line width measuring apparatus will be described. First, the position of the positioning position 2 from the master image 1 which is the image of FIG.
[0003]
At the time of automatic measurement, the same position as the reference image 3 and the camera image is detected by pattern matching to perform positioning. However, when measuring a sample such as the image 4 having a different contrast from that shown in FIG. 2A in the reference image 3, a detection error occurs because there is no same portion in the image. As described above, since the conventional image processing software for dimension measurement can have only one reference image for each measurement point, the color of the sample in the same process differs depending on the processing state of the subject as described above. If the contrasts are different, the position cannot be recognized by pattern matching.
[0004]
[Problems to be solved by the invention]
At the time of automatic measurement, it cannot be predicted whether the liquid crystal pattern will be the pattern of the master image 1 in FIG. In addition, both need to be detected.
[0005]
[Means for Solving the Problems]
A plurality of reference images to be used in one measurement program can be registered, and an operator can arbitrarily set the order of the reference images to be used according to the frequency of appearance. As an operation sequence at the time of pattern detection, first, pattern matching is performed on the first reference image (the image set first by the operator). At this time, when a detection error occurs, pattern matching is performed using the next reference image in accordance with the order set by the operator. This operation is repeated when a detection error occurs.
[0006]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
An embodiment of the present invention will be described below with reference to FIGS. 1 (a) and 1 (b). 1 and 4 in FIG. 1 are images captured by a camera (not shown) attached to the photographing apparatus. Both are patterns of the same type and the same process. 2 and 5 indicate locations registered as positioning positions. Reference numerals 7 and 8 denote different contrast (color) parts in the same process pattern. Reference images 3 and 6 are reference images used in this type and process. Hereinafter, this operation will be described. First, the image (a) of the object is photographed by the camera, and the reference image 3 is registered. Subsequently, the image of (b) is photographed by the camera, and the reference image 6 is registered. In addition, if there is an image having a different contrast, a reference image is similarly registered. Next, the operation at the time of automatic measurement will be described. At the time of automatic measurement, it is impossible to determine which of the captured image 1 and the captured image 4 shown in FIG. First, the same part as the reference image is detected from the camera image using the reference image 3 by pattern matching. At this time, if the camera image is the photographed image 4, there is no portion that is the same as the reference image 3, and the conventional method ends the process with a detection error. However, according to the present invention, when a detection error occurs in the image of the reference image 3, the portion of the positioning position 5 can be detected by performing pattern matching using the image of the reference image 6 continuously. In the above example, the pattern matching is performed from the reference image 3, but it is also possible to perform the pattern matching from the image of the reference image 6 according to the setting of the worker. In the embodiment, the set number of reference images is four at maximum. Although the order of the reference images to be used is set by the operator, it is also possible to automatically change the order according to the frequency of use by having a learning function.
[0007]
【The invention's effect】
As described above, according to the present invention, even when the contrast between the reference image used for pattern matching and the pattern to be actually measured has changed, a detection error can be detected by registering a pattern having a different contrast as the reference image. Can be eliminated.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is an explanatory diagram of an operation according to an embodiment of the present invention. FIG. 2 is an explanatory diagram of an operation of a conventional technique.
1: master image, 2: positioning position, 3: reference image, 4: contrast difference image, 5: positioning position, 6: reference image.

Claims

At the time of automatic positioning of a measuring device that determines a measurement position using pattern matching by a captured image and a reference image, a plurality of the reference images for the pattern matching are registered, and pattern matching of the registered plurality of the reference images is performed. Is performed, and pattern matching is performed between one of the plurality of reference images and the captured image in accordance with the set order, and when a detection error occurs, pattern matching is performed with the next reference image in order. A method of processing a pattern matching used at the time of positioning a measuring apparatus, wherein setting of an order of reference images used in the pattern matching is set according to at least one of a learning function or an instruction of an operator. Of pattern matching used when positioning a measuring device characterized by performing Law.