JP3604465B2

JP3604465B2 - Laser mirror fixing device

Info

Publication number: JP3604465B2
Application number: JP21482795A
Authority: JP
Inventors: 拓興沼賀
Original assignee: Toshiba Machine Co Ltd
Current assignee: Shibaura Machine Co Ltd
Priority date: 1995-08-23
Filing date: 1995-08-23
Publication date: 2004-12-22
Anticipated expiration: 2015-08-23
Also published as: JPH0961698A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば電子ビーム描画装置、マスク検査装置等の移動ステージに、レーザ光による位置測定システムで用いられるレーザミラーを固定するレーザミラーの固定装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
通常、電子ビーム描画装置、又はマスク検査装置等においては、試料（被処理材）を膨脹率の小さいセラミックス等の材料で作られた移動ステージ上に位置決め固定し、移動ステージを移動させながら試料に描画したり、又は検査するようになっている。
【０００３】
また、この種の装置においては、レーザ光による位置測定システムが採用されて、移動ステージの位置精度の向上が図られており、図６に示すように、移動ステージａ上には、ミラー支持部材であるミラー台ｂを介してレーザミラーｃが固定されている。
【０００４】
前記ミラー台ｂは、レーザミラーｃが熱の影響で平面度を害さないように熱膨脹率の小さい材料で製作され、その両端部を固定ネジｄを介して移動ステージａに固定されている。また、レーザミラーｃは、その両端面を前記レーザミラーｃの長さ方向に変形可能でミラー面と直角方向には変形しないようにミラー固定金具ｅ，ｆを介してミラー台ｂに接着固定されている。
一方、近ごろ大型装置の開発、実用化も進められており、これら大型装置に使用されるレーザミラーｃおよびミラー台ｂも大型化しているのが現状である。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
上記のように、従来は、レーザミラー平面度を害することがないように、ミラー支持部材であるミラー台が熱膨脹率の小さい材料で製作されており、これが大型化した場合、加工上の問題や、コストがかさむ、精度も出に難いといった問題がでてきた。また、熱膨脹率の小さい材料で製作されているとはいえ、運送時等において高い外気温度に晒された場合などには、熱膨脹を押さえることができず接着部が剥がれる等の虞れがあった。
【０００６】
また、従来は、レーザミラーの両端部のみを固定しており、レーザミラーが大型化した場合、移動ステージ走行時の振動加速度によるレーザミラーの変形が生じたり、レーザミラーの曲りが生じて、レーザミラーの平面度を害し、精度のよい位置測定が行えなえない等の問題があった。
【０００７】
本発明は、上記事情に基づきなされたもので、第１の目的とするところは、ミラー支持部材の熱変形が大きくても、接着部が剥がれたり、レーザミラーの平面度を害することがなく、ミラー支持部材として、加工が容易で、安価、高精度を出し易い材料の使用が可能となり、製造性、経済性、信頼性の向上を可能としたレーザミラーの固定装置を提供するものである。
【０００８】
また、第２の目的とするところは、大型のレーザミラーであっても、レーザミラーの平面度を維持でき、精度のよい位置測定を可能とした信頼性の高いレーザミラーの固定装置を提供するものである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明は上記課題を解決するための第１の手段として、ＸＹステージ等の移動ステージに、レーザ光による位置測定システムで用いられるレーザミラーを固定するレーザミラーの固定装置であって、前記移動ステージと前記レーザミラーとの間にミラー支持部材を介在させて該ミラー支持部材の両端を移動ステージに固定すると共に前記レーザミラーを前記ミラー支持部材の両端で固定し、かつ、前記ミラー支持部材の両端部で前記移動ステージおよび前記レーザミラーの固定点に近い内側に、前記レーザミラーの長さ方向の変形を吸収する複数の変形吸収部を形成したものである。
【００１０】
また、第２の手段として、ＸＹステージ等の移動ステージに、レーザ光による位置測定システムで用いられるレーザミラーを固定するレーザミラーの固定装置であって、前記移動ステージと前記レーザミラーとの間にミラー支持部材を介在させて該ミラー支持部材の両端を移動ステージに固定すると共に前記レーザミラーを前記ミラー支持部材の両端で固定し、かつ、前記ミラー支持部材の両端部で前記移動ステージおよび前記レーザミラーの固定点に近い内側に、前記レーザミラーの長さ方向の変形を吸収するＵ字状曲成部を有する２か所のヒンジ機構部を形成したものである。
【００１１】
また、第３の手段として、ＸＹステージ等の移動ステージに、レーザ光による位置測定システムで用いられるレーザミラーを固定するレーザミラーの固定装置であって、長さ方向の両端に前記レーザミラーの長さ方向の変形を吸収する複数の変形吸収部を有し、かつ前記移動ステージと前記レーザミラーとの間に介在されると共に前記変形吸収部より外側、および長さ方向の中間部を移動ステージに固定したミラー支持部材と、前記レーザミラーの両端部を前記変形吸収部より外側において前記ミラー支持部材の両端部に固定するミラー固定部材と、前記レーザミラーの長さ方向には変形し易くレーザ光の入反射方向には剛性の大きい構造であって前記ミラー支持部材と前記レーザミラーとの間に介在されて固定される支持部材を有し、前記レーザミラーの長さ方向の中間部をその高さを微調整した状態で支持するミラー支持機構とを具備してなる構成としたものである。
【００１２】
また、第４の手段として、ＸＹステージ等の移動ステージに、レーザ光による位置測定システムで用いられるレーザミラーを固定するレーザミラーの固定装置であって、長さ方向の両端に前記レーザミラーの長さ方向の変形を吸収する複数の変形吸収部を有し、かつ前記移動ステージと前記レーザミラーとの間に介在されると共に前記変形吸収部より外側、および長さ方向の中間部を移動ステージに固定したミラー支持部材と、前記レーザミラーの両端部を前記変形吸収部より外側において前記ミラー支持部材の両端部に固定するミラー固定部材と、前記ミラー支持部材に設けられ前記レーザミラーの曲りを修正した状態で支持するミラー曲り修正手段とを具備してなる構成としたものである。
【００１３】
また、第５の手段として、ＸＹステージ等の移動ステージに、レーザ光による位置測定システムで用いられるレーザミラーを固定するレーザミラーの固定装置であって、長さ方向の両端に前記レーザミラーの長さ方向の変形を吸収する複数の変形吸収部を有し、かつ前記移動ステージと前記レーザミラーとの間に介在されると共に前記変形吸収部より外側、および長さ方向の中間部を移動ステージに固定したミラー支持部材と、前記レーザミラーの両端部を前記変形吸収部より外側において前記ミラー支持部材の両端部に固定するミラー固定部材と、前記ミラー支持部材に傾斜角をもって回動可能に取り付けられたアーム、該アームに固定され、前記レーザミラーの長さ方向と直交する被押圧面と対向する押圧部材、および前記アームの捩じ角度を調整して前記押圧部材の前記被押圧面方向の変位量を変えるアーム変位部材を有し、前記レーザミラーの曲りを修正した状態で支持するミラー曲り修正機構とを具備してなる構成としたものである。
【００１４】
上記のように、本発明の上記第１の手段によれば、移動ステージとレーザミラーとの間にミラー支持部材を介在させて該ミラー支持部材の両端を移動ステージに固定すると共に前記レーザミラーを前記ミラー支持部材の両端で固定し、かつ、前記ミラー支持部材の両端部で前記移動ステージおよび前記レーザミラーの固定点に近い内側に、前記レーザミラーの長さ方向の変形を吸収する複数の変形吸収部を形成したから、ミラー支持部材の熱変形が大きくても、接着部が剥がれたり、レーザミラーの平面度を害することがなく、ミラー支持部材として、加工が容易で、安価、高精度を出し易い材料の使用が可能となり、製造性、経済性、信頼性の向上を可能としたレーザミラーの固定装置を提供することができる。
【００１５】
また、上記第２の手段によれば、ミラー支持部材にＵ字状曲成部を有する２か所のヒンジ機構部を形成したから、レーザミラーの長さ方向の変形を吸収することができ、ミラー支持部材の熱変形が大きくても、接着部が剥がれたり、レーザミラーの平面度を害することがなく、ミラー支持部材として、加工が容易で、安価、高精度を出し易い材料の使用が可能となり、製造性、経済性、信頼性の向上を可能としたレーザミラーの固定装置を提供することができる。
【００１６】
また、上記第３の手段によれば、移動ステージとレーザミラーとの間にミラー支持部材を介在させて該ミラー支持部材の両端を移動ステージに固定すると共に前記レーザミラーを前記ミラー支持部材の両端で固定し、かつ、前記ミラー支持部材の両端部で前記移動ステージおよび前記レーザミラーの固定点に近い内側に、前記レーザミラーの長さ方向の変形を吸収する複数の変形吸収部を形成したから、ミラー支持部材の熱変形が大きくても、接着部が剥がれたり、レーザミラーの平面度を害することがなく、ミラー支持部材として、加工が容易で、安価、高精度を出し易い材料の使用が可能となり、製造性、経済性、信頼性の向上を可能としたレーザミラーの固定装置を提供することができる。また、前記レーザミラーの長さ方向には変形し易くレーザ光の入反射方向には剛性の大きい構造であって前記ミラー支持部材と前記レーザミラーとの間に介在されて固定される支持部材を有し、前記レーザミラーの長さ方向の中間部をその高さを微調整した状態で支持するミラー支持機構を設けたから、レーザミラーが大型化した場合であっても、移動ステージ走行時の振動加速度によるレーザミラーの変形が防止でき、レーザミラーの平面度を維持でき、精度のよい位置測定を可能とした信頼性の高いレーザミラーの固定装置を提供することができる。
【００１７】
また、上記第４の手段によれば、移動ステージとレーザミラーとの間にミラー支持部材を介在させて該ミラー支持部材の両端を移動ステージに固定すると共に前記レーザミラーを前記ミラー支持部材の両端で固定し、かつ、前記ミラー支持部材の両端部で前記移動ステージおよび前記レーザミラーの固定点に近い内側に、前記レーザミラーの長さ方向の変形を吸収する複数の変形吸収部を形成したから、ミラー支持部材の熱変形が大きくても、接着部が剥がれたり、レーザミラーの平面度を害することがなく、ミラー支持部材として、加工が容易で、安価、高精度を出し易い材料の使用が可能となり、製造性、経済性、信頼性の向上を可能としたレーザミラーの固定装置を提供することができる。また、前記レーザミラーの曲りを修正した状態で支持するミラー曲り修正手段を設けたから、レーザミラーの曲りを修正してレーザミラーの平面度を維持でき、精度のよい位置測定を可能とした信頼性の高いレーザミラーの固定装置を提供することができる。
【００１８】
また、上記第５の手段によれば、移動ステージとレーザミラーとの間にミラー支持部材を介在させて該ミラー支持部材の両端を移動ステージに固定すると共に前記レーザミラーを前記ミラー支持部材の両端で固定し、かつ、前記ミラー支持部材の両端部で前記移動ステージおよび前記レーザミラーの固定点に近い内側に、前記レーザミラーの長さ方向の変形を吸収する複数の変形吸収部を形成したから、ミラー支持部材の熱変形が大きくても、接着部が剥がれたり、レーザミラーの平面度を害することがなく、ミラー支持部材として、加工が容易で、安価、高精度を出し易い材料の使用が可能となり、製造性、経済性、信頼性の向上を可能としたレーザミラーの固定装置を提供することができる。また、ミラー支持部材に傾斜角をもって回動可能に取り付けられたアーム、該アームに固定され、前記レーザミラーの長さ方向と直交する被押圧面と対向する押圧部材、および前記アームの捩じ角度を調整して前記押圧部材の前記被押圧面方向の変位量を変えるアーム変位部材を有し、前記レーザミラーの曲りを修正した状態で支持するミラー曲り修正機構を設けたから、レーザミラーの曲りを修正してレーザミラーの平面度を維持でき、精度のよい位置測定を可能とした信頼性の高いレーザミラーの固定装置を提供することができると共に、容易に微調整できる構成であり、調整が容易かつ確実に行えるものである。
【００１９】
【発明の実施の形態】
以下、図１を参照して本発明の第１の実施の形態を説明する。
図中１は、ＸＹ方向に移動可能でかつ上面に試料保持部（図示しない）を有する移動ステージであり、この移動ステージ１上には、ミラー支持部材としてのミラー台２を介して位置測定用のレーザミラー３が配設されている。
【００２０】
前記ミラー台２は、長さ方向の両端を固定部材としての２本のミラー台固定ねじ４，４を介して下面側からねじ止めされている。
また、レーザミラー３は、ミラー台２の長さ方向の両端部の上面に接着固定された第１のミラー固定部材としてのＬ字状固定金具５と、変形吸収部となるＵ字状曲成部を有する第２のミラー固定部材としての固定金具６との間に介在され、これら固定金具５，６との相互対向面部が接着材によって接着固定されている。
【００２１】
また、ミラー台２の長さ方向の両端部、すなわち、前記移動ステージ１および前記レーザミラー３の固定点に近い内側に、前記レーザミラー３の長さ方向（矢印Ａ方向）の変形を吸収する変形吸収部としてのＵ字状曲成部７，７を有するヒンジ機構部８，８が形成されている。
【００２２】
そして、ミラー台２が熱膨脹で長さ変化が生じた際、移動ステージ１との固定点Ｂ，Ｃはそのままの位置でヒンジ機構部８，８のＵ字状曲成部７，７が変形することにより長さ変化を吸収できる。
【００２３】
これにより、ミラー支持部材としてのミラー台２の熱変形が大きくても、接着部Ｄ…が剥がれたり、レーザミラー３の平面度を害することがない。
このため、ミラー台２の材料として、加工が容易で、安価、高精度を出し易い材料の使用が可能となり、製造性、経済性、信頼性の向上を可能としたレーザミラーの固定装置を提供することができるものである。
【００２４】
また、特に装置を運送する場合など、温度変化が大きく熱膨脹率の大きい場合でも、ヒンジ機構部８，８のＵ字状曲成部７，７が変形することにより長さ変化を吸収できるため接着部Ｄ…が剥がれることがなく、信頼性の向上が可能なものとなる。
【００２５】
つぎに、図２ないし図３を参照して本発明の第２の実施の形態について説明する。
図中１は、ＸＹ方向に移動可能でかつ上面に試料保持部（図示しない）を有する移動ステージであり、この移動ステージ１上には、ミラー支持部材としてのミラー台２を介して位置測定用のレーザミラー３が配設されている。
【００２６】
前記ミラー台２は、長さ方向の両端、および長さ方向の中間部を固定部材としての３本のミラー台固定ねじ４…を介して下面側からねじ止めされている。
このミラー台２の長さ方向の両端部、すなわち、前記移動ステージ１の固定点に近い内側に、前記レーザミラー３の長さ方向（矢印Ａ方向）の変形を吸収する変形吸収部としてのＵ字状曲成部７，７を有するヒンジ機構部８，８が形成されている。
【００２７】
また、レーザミラー３は、ミラー台２の長さ方向の両端部の上面に接着固定された第１のミラー固定部材としてのＬ字状固定金具５と、変形吸収部となるＵ字状曲成部を有する第２のミラー固定部材としての固定金具６との間に介在され、これら固定金具５，６との相互対向面部が接着材によって接着固定されている。
【００２８】
さらに、前記レーザミラー３の長さ方向の中間部は、後述するミラー支持機構１０によって、その高さを微調整した状態で支持されている。
ミラー支持機構１０は、ミラー台２とレーザミラー３との間に介在されて固定される支持部材としてのサポート金具１１を有した構成となっている。サポート金具１１は、ミラー台２の中間部に形成された切欠凹所１２の底面からなる傾斜支持面１３と接する下端傾斜支持面１１ａと前記レーザミラー３の下面と接する上端水平支持面１１ｂを有する。
【００２９】
サポート金具１１は、傾斜支持面１３の傾斜方向に沿ってスライドさせることにより、上端水平支持面１１ｂの高さ調整が可能となっており、レーザミラー３の下面とサポート金具１１の上端水平支持面１１ｂとが密着する位置に調整した後、接着材を介して接着固定する。
【００３０】
サポート金具１１は、鉄道レ−ルを断面したような断面形状を呈しており、レーザミラー３の長手方向に剛性が弱くミラー面を直角方向には剛性の大きい構造となっており、レーザミラー３とミラー台２の膨脹率の差による熱変形時の伸縮を吸収するようになっている。
【００３１】
また、サポート金具１１を接着固定する際に、レーザミラー３とサポート金具１１、サポート金具１１とミラー台２の隙間をゼロとすることにより接着時の接着材の収縮等による変形も防止できるものである。
【００３２】
この第２の実施の形態によれば、前記第１の実施の形態と同様、ヒンジ機構部８，８を設けたことによる作用効果に加え、ミラー台２の長さ方向の中間部を固定ねじ４を介して固定すると共に、ミラー支持機構１０によって、レーザミラー３の長さ方向の中間部をその高さを微調整した状態で支持するようにしたから、レーザミラー３が大型化した場合であっても、移動ステージ１の走行時の振動加速度によるレーザミラー３の変形が防止でき、レーザミラー３の平面度を維持でき、精度のよい位置測定を可能とした信頼性の高いレーザミラーの固定装置を提供することができるものである。
【００３３】
つぎに、図４ないし図５を参照して本発明の第３の実施の形態について説明する。
この第３の実施の形態は、前述の第１の形態のものに、前述の第２の形態と同様にミラー台２の中間部に、底面が傾斜支持面１３となる切欠凹所１２を形成し、この部分にミラー曲り修正機構２０を設けたものとなっている。
【００３４】
このミラー曲り修正機構２０は、ミラー台２に傾斜角をもって取り付けられたヒンジ部２１ａを回動支点として回動可能なアーム２１を有する調整金具２２と、前記アーム２１に固定され前記レーザミラー３の長さ方向と直交する被押圧面３ａと対向するＬ字状の押圧部材としての押付け板２３と、前記アーム２１の捩じ角度を調整して前記押付け板２３の前記被押圧面３ａ方向の変位量を変えるアーム変位部材としてのクサビ金具２４とを備えた構成となっている。
【００３５】
そして、レーザミラー３の曲りを修正する場合には、クサビ金具２４を押しねじ２５を介して傾斜支持面１３の傾斜上端方向（図４の矢印Ｅ方向）に移動させる。これにより、アーム２１の自由端側が押上げられ、アーム２１はミラー面である被押圧面３ａと直角方向に僅かな傾斜角をなすヒンジ部２１ａを回動支点として図４の矢印Ｆ方向に回動変位する。
【００３６】
これによりアーム２１に取付けられた押付け板２３が図５の矢印Ｇ方向に変位し、押付け板２３がレーザミラー３の被押圧面３ａを押すことで、レーザミラー３の微小な曲りを修正するものである。
【００３７】
なお、押しねじ２５の回転をクサビ金具２４の傾斜、ヒンジ部２１ａの傾斜部とでレーザミラー３への押し付け移動量を縮小すると同時に押し付け力を拡大している。
【００３８】
この第３の実施の形態によれば、前記第１の実施の形態と同様、ヒンジ機構部８，８を設けたことによる作用効果に加え、ミラー曲り修正機構２０を設けたから、レーザミラー３の曲りを修正してレーザミラー３の平面度を維持でき、精度のよい位置測定を可能とした信頼性の高いレーザミラーの固定装置を提供することができると共に、容易に微調整できる構成であり、調整が容易かつ確実に行えるものである。
なお、本発明は、上記実施の形態に限らず、要旨を変えない範囲で種々変形実施可能なことは勿論である。
【００３９】
【発明の効果】
上記したように、本発明によれば、次のような効果を奏する。
上記第１の実施の形態によれば、移動ステージとレーザミラーとの間にミラー支持部材を介在させて該ミラー支持部材の両端を移動ステージに固定すると共に前記レーザミラーを前記ミラー支持部材の両端で固定し、かつ、前記ミラー支持部材の両端部で前記移動ステージおよび前記レーザミラーの固定点に近い内側に、前記レーザミラーの長さ方向の変形を吸収する複数の変形吸収部を形成したから、ミラー支持部材の熱変形が大きくても、接着部が剥がれたり、レーザミラーの平面度を害することがなく、ミラー支持部材として、加工が容易で、安価、高精度を出し易い材料の使用が可能となり、製造性、経済性、信頼性の向上を可能としたレーザミラーの固定装置を提供することができる。
【００４０】
また、上記第２の実施の形態によれば、ミラー支持部材にＵ字状曲成部を有する２か所のヒンジ機構部を形成したから、レーザミラーの長さ方向の変形を吸収することができ、ミラー支持部材の熱変形が大きくても、接着部が剥がれたり、レーザミラーの平面度を害することがなく、ミラー支持部材として、加工が容易で、安価、高精度を出し易い材料の使用が可能となり、製造性、経済性、信頼性の向上を可能としたレーザミラーの固定装置を提供することができる。
【００４１】
また、上記第３の実施の形態によれば、移動ステージとレーザミラーとの間にミラー支持部材を介在させて該ミラー支持部材の両端を移動ステージに固定すると共に前記レーザミラーを前記ミラー支持部材の両端で固定し、かつ、前記ミラー支持部材の両端部で前記移動ステージおよび前記レーザミラーの固定点に近い内側に、前記レーザミラーの長さ方向の変形を吸収する複数の変形吸収部を形成したから、ミラー支持部材の熱変形が大きくても、接着部が剥がれたり、レーザミラーの平面度を害することがなく、ミラー支持部材として、加工が容易で、安価、高精度を出し易い材料の使用が可能となり、製造性、経済性、信頼性の向上を可能としたレーザミラーの固定装置を提供することができる。また、前記レーザミラーの長さ方向には変形し易くレーザ光の入反射方向には剛性の大きい構造であって前記ミラー支持部材と前記レーザミラーとの間に介在されて固定される支持部材を有し、前記レーザミラーの長さ方向の中間部をその高さを微調整した状態で支持するミラー支持機構を設けたから、レーザミラーが大型化した場合であっても、移動ステージ走行時の振動加速度によるレーザミラーの変形が防止でき、レーザミラーの平面度を維持でき、精度のよい位置測定を可能とした信頼性の高いレーザミラーの固定装置を提供することができる。
【００４２】
また、上記第４の実施の形態によれば、移動ステージとレーザミラーとの間にミラー支持部材を介在させて該ミラー支持部材の両端を移動ステージに固定すると共に前記レーザミラーを前記ミラー支持部材の両端で固定し、かつ、前記ミラー支持部材の両端部で前記移動ステージおよび前記レーザミラーの固定点に近い内側に、前記レーザミラーの長さ方向の変形を吸収する複数の変形吸収部を形成したから、ミラー支持部材の熱変形が大きくても、接着部が剥がれたり、レーザミラーの平面度を害することがなく、ミラー支持部材として、加工が容易で、安価、高精度を出し易い材料の使用が可能となり、製造性、経済性、信頼性の向上を可能としたレーザミラーの固定装置を提供することができる。また、前記レーザミラーの曲りを修正した状態で支持するミラー曲り修正手段を設けたから、レーザミラーの曲りを修正してレーザミラーの平面度を維持でき、精度のよい位置測定を可能とした信頼性の高いレーザミラーの固定装置を提供することができる。
【００４３】
また、上記第５の実施の形態によれば、移動ステージとレーザミラーとの間にミラー支持部材を介在させて該ミラー支持部材の両端を移動ステージに固定すると共に前記レーザミラーを前記ミラー支持部材の両端で固定し、かつ、前記ミラー支持部材の両端部で前記移動ステージおよび前記レーザミラーの固定点に近い内側に、前記レーザミラーの長さ方向の変形を吸収する複数の変形吸収部を形成したから、ミラー支持部材の熱変形が大きくても、接着部が剥がれたり、レーザミラーの平面度を害することがなく、ミラー支持部材として、加工が容易で、安価、高精度を出し易い材料の使用が可能となり、製造性、経済性、信頼性の向上を可能としたレーザミラーの固定装置を提供することができる。また、ミラー支持部材に傾斜角をもって回動可能に取り付けられたアーム、該アームに固定され、前記レーザミラーの長さ方向と直交する被押圧面と対向する押圧部材、および前記アームの捩じ角度を調整して前記押圧部材の前記被押圧面方向の変位量を変えるアーム変位部材を有し、前記レーザミラーの曲りを修正した状態で支持するミラー曲り修正機構を設けたから、レーザミラーの曲りを修正してレーザミラーの平面度を維持でき、精度のよい位置測定を可能とした信頼性の高いレーザミラーの固定装置を提供することができると共に、容易に微調整できる構成であり、調整が容易かつ確実に行えるものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施形態を示す断面図。
【図２】本発明の第２の実施形態を示す断面図。
【図３】図２のＲ−Ｒ線に沿う断面図。
【図４】本発明の第３の実施形態を示す正面図。
【図５】図４のＳ−Ｓ線に沿う断面図。
【図６】従来例を示す一部断面正面図。
【符号の説明】
１…移動ステージ、２…ミラー台（ミラー支持部材）、３…レーザミラー、３ａ…被押圧面、４…ミラー台固定ねじ、５…Ｌ字状固定金具（第１のミラー固定部材）、６…固定金具（第２のミラー固定部材）、７…Ｕ字状曲成部（変形吸収部）、８…ヒンジ機構部、Ｂ，Ｃ…固定点、Ｄ…接着部、１０…ミラー支持機構、１１…サポート金具（支持部材）、１１ａ…下端傾斜支持面、１１ｂ…上端水平支持面、１２…切欠凹所、１３…傾斜支持面、２０…ミラー曲り修正機構、２１ａ…ヒンジ部、２１…アーム、２２…調整金具、２３…押付け板（押圧部材）、２４…クサビ金具（アーム変位部材）、２５…押しねじ。[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
The present invention relates to a laser mirror fixing device for fixing a laser mirror used in a position measurement system using laser light to a moving stage such as an electron beam drawing apparatus and a mask inspection apparatus.
[0002]
[Prior art]
Usually, in an electron beam lithography apparatus or a mask inspection apparatus, a sample (material to be processed) is positioned and fixed on a moving stage made of a material such as a ceramic having a small expansion coefficient, and the sample is moved while moving the moving stage. It is designed to draw or inspect.
[0003]
In this type of apparatus, a position measuring system using a laser beam is employed to improve the positional accuracy of the moving stage. As shown in FIG. 6, a mirror supporting member is provided on the moving stage a. A laser mirror c is fixed via a mirror base b.
[0004]
The mirror base b is made of a material having a low coefficient of thermal expansion so that the laser mirror c does not impair the flatness due to the influence of heat, and both ends thereof are fixed to the moving stage a via fixing screws d. The laser mirror c is bonded and fixed to the mirror base b via mirror fixing brackets e and f so that both end surfaces thereof can be deformed in the length direction of the laser mirror c and not deformed in the direction perpendicular to the mirror surface. ing.
On the other hand, recently, large-sized devices have been developed and put into practical use, and at present, the laser mirror c and the mirror base b used in these large-sized devices have also become larger.
[0005]
[Problems to be solved by the invention]
As described above, conventionally, the mirror base, which is the mirror support member, is made of a material having a low coefficient of thermal expansion so as not to impair the flatness of the laser mirror. However, problems such as increased cost and difficulty in obtaining accuracy have arisen. In addition, although it is made of a material having a small coefficient of thermal expansion, when it is exposed to a high outside air temperature during transportation or the like, there is a possibility that the thermal expansion cannot be suppressed and the bonded portion may be peeled off. .
[0006]
Conventionally, only the both ends of the laser mirror are fixed, and when the laser mirror is enlarged, the laser mirror may be deformed due to vibration acceleration during traveling of the moving stage, or the laser mirror may be bent. There is a problem that the flatness of the mirror is impaired and accurate position measurement cannot be performed.
[0007]
The present invention has been made based on the above circumstances, and a first object is that even if the mirror supporting member has a large thermal deformation, the adhesive portion is not peeled off and the flatness of the laser mirror is not impaired. It is an object of the present invention to provide a laser mirror fixing device that can use a material that is easy to process, inexpensive, and easily provides high precision as a mirror support member, and that can improve manufacturability, economy, and reliability.
[0008]
A second object is to provide a highly reliable laser mirror fixing device that can maintain the flatness of the laser mirror even with a large laser mirror and enables accurate position measurement. Things.
[0009]
[Means for Solving the Problems]
According to a first aspect of the present invention, there is provided a laser mirror fixing device for fixing a laser mirror used in a position measurement system using laser light to a moving stage such as an XY stage. A mirror supporting member interposed between the mirror supporting member and the laser mirror, and both ends of the mirror supporting member are fixed to a moving stage, and the laser mirror is fixed at both ends of the mirror supporting member; A plurality of deformation absorbing portions for absorbing deformation in the length direction of the laser mirror are formed on the inside of the portion near the fixed point of the moving stage and the laser mirror.
[0010]
Further, as a second means, a laser mirror fixing device for fixing a laser mirror used in a position measurement system using laser light to a moving stage such as an XY stage, wherein a device is provided between the moving stage and the laser mirror. Both ends of the mirror supporting member are fixed to the moving stage with a mirror supporting member interposed therebetween, and the laser mirror is fixed at both ends of the mirror supporting member, and the moving stage and the laser are fixed at both ends of the mirror supporting member. Two hinge mechanisms having a U-shaped bent portion for absorbing the deformation in the longitudinal direction of the laser mirror are formed inside the mirror near the fixing point.
[0011]
Further, as a third means, a laser mirror fixing device for fixing a laser mirror used in a position measuring system using laser light to a moving stage such as an XY stage, the length of the laser mirror being set at both ends in the length direction. A plurality of deformation absorbing portions that absorb deformation in the vertical direction, and are interposed between the moving stage and the laser mirror, and are outside the deformation absorbing portion, and the intermediate portion in the length direction is a moving stage. A fixed mirror supporting member, a mirror fixing member for fixing both ends of the laser mirror to both ends of the mirror supporting member outside the deformation absorbing portion, and a laser beam which is easily deformed in the length direction of the laser mirror. In the incident reflection direction of the mirror support member having a large rigidity, having a support member interposed and fixed between the mirror support member and the laser mirror, An intermediate portion in the length direction of the Zamira is obtained by a mirror supporting mechanism formed by and a structure for supporting the height fine adjustment state.
[0012]
As a fourth means, there is provided a laser mirror fixing device for fixing a laser mirror used in a position measuring system using laser light to a moving stage such as an XY stage. A plurality of deformation absorbing portions that absorb deformation in the vertical direction, and are interposed between the moving stage and the laser mirror, and are outside the deformation absorbing portion, and the intermediate portion in the length direction is a moving stage. A fixed mirror supporting member, a mirror fixing member for fixing both ends of the laser mirror to both ends of the mirror supporting member outside the deformation absorbing portion, and correcting a bending of the laser mirror provided on the mirror supporting member. And a mirror bending correcting means for supporting the mirror in a bent state.
[0013]
As a fifth means, there is provided a laser mirror fixing device for fixing a laser mirror used in a position measuring system using laser light to a moving stage such as an XY stage. A plurality of deformation absorbing portions that absorb deformation in the vertical direction, and are interposed between the moving stage and the laser mirror, and are outside the deformation absorbing portion, and the intermediate portion in the length direction is a moving stage. A fixed mirror support member, a mirror fixing member for fixing both ends of the laser mirror to both ends of the mirror support member outside the deformation absorbing portion, and a mirror support member rotatably attached to the mirror support member at an inclination angle. Arm, a pressing member fixed to the arm and facing a pressed surface orthogonal to the length direction of the laser mirror, and twisting of the arm A configuration having an arm displacement member for changing the displacement amount of the pressing member in the pressed surface direction by adjusting the degree, and a mirror bending correction mechanism for supporting the laser mirror in a corrected state. It was done.
[0014]
As described above, according to the first aspect of the present invention, a mirror supporting member is interposed between a moving stage and a laser mirror, and both ends of the mirror supporting member are fixed to the moving stage, and the laser mirror is connected to the moving stage. A plurality of deformations fixed at both ends of the mirror support member, and at both ends of the mirror support member, inward of the moving stage and the laser mirror near a fixed point, for absorbing the deformation in the longitudinal direction of the laser mirror. Since the absorption part is formed, even if the mirror support member undergoes a large thermal deformation, the adhesive part does not peel off and the flatness of the laser mirror is not affected, and as a mirror support member, processing is easy, inexpensive, and highly accurate. It is possible to use a material that can be easily provided, and it is possible to provide a laser mirror fixing device capable of improving manufacturability, economy, and reliability.
[0015]
Further, according to the second means, since two hinge mechanisms having a U-shaped bent portion are formed on the mirror support member, it is possible to absorb the deformation in the longitudinal direction of the laser mirror, Even if thermal deformation of the mirror support member is large, the adhesive part does not peel off or the flatness of the laser mirror is not impaired, and the mirror support member can be made of a material that is easy to process, inexpensive, and easily provides high accuracy. Thus, it is possible to provide a laser mirror fixing device capable of improving manufacturability, economy, and reliability.
[0016]
According to the third means, both ends of the mirror supporting member are fixed to the moving stage by interposing a mirror supporting member between the moving stage and the laser mirror, and the laser mirror is connected to both ends of the mirror supporting member. And a plurality of deformation absorbing portions for absorbing deformation in the length direction of the laser mirror are formed on both ends of the mirror support member near the fixed points of the moving stage and the laser mirror. Even if the mirror support member undergoes a large thermal deformation, the mirror support member should be made of a material that is easy to process, inexpensive, and easy to produce with high precision, without peeling off the adhesive portion or impairing the flatness of the laser mirror. This makes it possible to provide a laser mirror fixing device capable of improving manufacturability, economy, and reliability. Further, a supporting member which is easily deformed in the length direction of the laser mirror and has a high rigidity in the direction of entering and reflecting the laser beam, and is interposed and fixed between the mirror supporting member and the laser mirror. And a mirror support mechanism for supporting the intermediate portion in the length direction of the laser mirror in a state in which the height is finely adjusted. Therefore, even when the laser mirror is enlarged, the vibration during traveling of the moving stage is provided. It is possible to provide a highly reliable laser mirror fixing device that can prevent deformation of the laser mirror due to acceleration, maintain the flatness of the laser mirror, and enable accurate position measurement.
[0017]
According to the fourth means, both ends of the mirror supporting member are fixed to the moving stage by interposing a mirror supporting member between the moving stage and the laser mirror, and the laser mirror is connected to both ends of the mirror supporting member. And a plurality of deformation absorbing portions for absorbing deformation in the length direction of the laser mirror are formed on both ends of the mirror support member near the fixed points of the moving stage and the laser mirror. Even if the mirror support member undergoes a large thermal deformation, the mirror support member should be made of a material that is easy to process, inexpensive, and easy to produce with high precision, without peeling off the adhesive portion or impairing the flatness of the laser mirror. This makes it possible to provide a laser mirror fixing device capable of improving manufacturability, economy, and reliability. In addition, since the mirror bending correction means for supporting the laser mirror in a corrected state is provided, the laser mirror can be corrected to maintain the flatness of the laser mirror, and the reliability can be measured accurately. And a laser mirror fixing device having a high height can be provided.
[0018]
According to the fifth means, both ends of the mirror supporting member are fixed to the moving stage by interposing a mirror supporting member between the moving stage and the laser mirror, and the laser mirror is connected to both ends of the mirror supporting member. And a plurality of deformation absorbing portions for absorbing deformation in the length direction of the laser mirror are formed on both ends of the mirror support member near the fixed points of the moving stage and the laser mirror. Even if the mirror support member undergoes a large thermal deformation, the mirror support member should be made of a material that is easy to process, inexpensive, and easy to produce with high precision, without peeling off the adhesive portion or impairing the flatness of the laser mirror. This makes it possible to provide a laser mirror fixing device capable of improving manufacturability, economy, and reliability. An arm rotatably attached to the mirror support member at an angle of inclination, a pressing member fixed to the arm and facing a pressed surface orthogonal to the length direction of the laser mirror, and a twist angle of the arm; Has an arm displacement member that changes the amount of displacement of the pressing member in the direction of the pressed surface by adjusting the pressure, and a mirror bending correction mechanism that supports the laser mirror in a corrected state is provided. It is possible to maintain the flatness of the laser mirror by correction, and to provide a highly reliable laser mirror fixing device that enables accurate position measurement. It can be performed reliably.
[0019]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
Hereinafter, a first embodiment of the present invention will be described with reference to FIG.
In the drawing, reference numeral 1 denotes a moving stage which is movable in the X and Y directions and has a sample holding portion (not shown) on the upper surface, and is provided on the moving stage 1 via a mirror base 2 as a mirror supporting member for position measurement. Is provided.
[0020]
The mirror base 2 is screwed from the lower surface side via two mirror base fixing screws 4 as fixing members at both ends in the length direction.
The laser mirror 3 has an L-shaped fixing bracket 5 as a first mirror fixing member adhered and fixed to the upper surfaces of both ends in the length direction of the mirror base 2, and a U-shaped curved member serving as a deformation absorbing section. A fixing member 6 serving as a second mirror fixing member having a portion is interposed between the fixing members 6 and the fixing metal members 5 and 6, and their facing surfaces are bonded and fixed with an adhesive.
[0021]
Further, the deformation in the longitudinal direction (the direction of the arrow A) of the laser mirror 3 is absorbed at both ends in the longitudinal direction of the mirror base 2, that is, at the inner side near the fixed point of the moving stage 1 and the laser mirror 3. Hinge mechanism parts 8, 8 having U-shaped bent parts 7, 7 as deformation absorbing parts are formed.
[0022]
Then, when the length of the mirror base 2 changes due to thermal expansion, the U-shaped bent parts 7, 7 of the hinge mechanism parts 8, 8 are deformed while the fixed points B, C with the moving stage 1 remain unchanged. Thus, the length change can be absorbed.
[0023]
Thereby, even if the thermal deformation of the mirror base 2 as the mirror supporting member is large, the adhesive portions D are not peeled off and the flatness of the laser mirror 3 is not impaired.
For this reason, it is possible to use a material that is easy to process, inexpensive, and easy to obtain high precision as a material of the mirror base 2, and provides a laser mirror fixing device that can improve manufacturability, economy, and reliability. Is what you can do.
[0024]
In addition, even when the temperature is large and the coefficient of thermal expansion is large such as when the apparatus is transported, the U-shaped bent portions 7, 7 of the hinge mechanisms 8, 8 can be deformed to absorb the change in length. The portions D are not peeled off, and the reliability can be improved.
[0025]
Next, a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS.
In the drawing, reference numeral 1 denotes a moving stage which is movable in the X and Y directions and has a sample holding portion (not shown) on the upper surface, and is provided on the moving stage 1 via a mirror base 2 as a mirror supporting member for position measurement. Is provided.
[0026]
The mirror base 2 is screwed from the lower surface side through three mirror base fixing screws 4 serving as fixing members at both ends in the length direction and an intermediate portion in the length direction.
At both ends in the length direction of the mirror base 2, that is, inside the vicinity of the fixed point of the moving stage 1, U as a deformation absorbing portion for absorbing deformation in the length direction of the laser mirror 3 (direction of arrow A). Hinge mechanism parts 8, 8 having character-shaped bent parts 7, 7 are formed.
[0027]
The laser mirror 3 has an L-shaped fixing bracket 5 as a first mirror fixing member adhered and fixed to the upper surfaces of both ends in the length direction of the mirror base 2, and a U-shaped curved member serving as a deformation absorbing section. A fixing member 6 serving as a second mirror fixing member having a portion is interposed between the fixing members 6 and the fixing metal members 5 and 6, and their facing surfaces are bonded and fixed with an adhesive.
[0028]
Further, an intermediate portion in the length direction of the laser mirror 3 is supported by a mirror support mechanism 10 described later with its height finely adjusted.
The mirror support mechanism 10 includes a support metal 11 as a support member interposed and fixed between the mirror base 2 and the laser mirror 3. The support fitting 11 has a lower end inclined support surface 11a in contact with an inclined support surface 13 formed of a bottom surface of a notch recess 12 formed in an intermediate portion of the mirror base 2, and an upper end horizontal support surface 11b in contact with a lower surface of the laser mirror 3. .
[0029]
The height of the upper horizontal support surface 11b can be adjusted by sliding the support metal 11 along the tilt direction of the tilt support surface 13, and the lower surface of the laser mirror 3 and the upper horizontal support surface of the support metal 11 can be adjusted. After being adjusted to a position where it comes into close contact with 11b, it is bonded and fixed via an adhesive.
[0030]
The support fitting 11 has a cross-sectional shape similar to a cross section of a railroad rail, and has a structure in which rigidity is weak in the longitudinal direction of the laser mirror 3 and large in the perpendicular direction to the mirror surface. The expansion and contraction at the time of thermal deformation due to the difference between the expansion rates of the mirror base 2 and the mirror base 2 are absorbed.
[0031]
Further, when the support bracket 11 is bonded and fixed, the gap between the laser mirror 3 and the support bracket 11 and the gap between the support bracket 11 and the mirror base 2 are made zero so that deformation due to shrinkage of the adhesive during bonding can be prevented. is there.
[0032]
According to the second embodiment, similarly to the first embodiment, in addition to the operation and effect provided by providing the hinge mechanisms 8, 8, the intermediate portion in the length direction of the mirror base 2 is fixed with a fixing screw. 4 and the mirror support mechanism 10 supports the intermediate portion of the laser mirror 3 in the length direction in a state where the height is finely adjusted. Even if there is, the deformation of the laser mirror 3 due to the vibration acceleration during the movement of the moving stage 1 can be prevented, the flatness of the laser mirror 3 can be maintained, and the highly reliable fixing of the laser mirror that enables accurate position measurement. An apparatus can be provided.
[0033]
Next, a third embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS.
In the third embodiment, a notch recess 12 having a bottom surface serving as an inclined support surface 13 is formed in the middle portion of the mirror base 2 in the same manner as the second embodiment in the first embodiment. The mirror bending correcting mechanism 20 is provided in this portion.
[0034]
The mirror bending correction mechanism 20 includes an adjustment bracket 22 having an arm 21 that can be rotated about a hinge 21 a attached to the mirror base 2 at an inclined angle and a rotation fulcrum. A pressing plate 23 as an L-shaped pressing member facing the pressed surface 3a orthogonal to the length direction, and a displacement of the pressing plate 23 in the pressed surface 3a direction by adjusting a twist angle of the arm 21. A wedge fitting 24 as an arm displacement member for changing the amount is provided.
[0035]
When correcting the bending of the laser mirror 3, the wedge fitting 24 is moved via the push screw 25 in the direction of the upper end of the inclined support surface 13 (in the direction of the arrow E in FIG. 4). Thereby, the free end side of the arm 21 is pushed up, and the arm 21 is turned in the direction of the arrow F in FIG. 4 with the hinge portion 21a having a slight inclination angle in the direction perpendicular to the pressed surface 3a, which is the mirror surface, as the fulcrum. Dynamically displaces.
[0036]
As a result, the pressing plate 23 attached to the arm 21 is displaced in the direction of arrow G in FIG. 5, and the pressing plate 23 presses the pressed surface 3a of the laser mirror 3 to correct a minute bending of the laser mirror 3. It is.
[0037]
In addition, the rotation of the push screw 25 is reduced by the inclination of the wedge fitting 24 and the inclination of the hinge part 21a to reduce the amount of pressing movement to the laser mirror 3 and at the same time increase the pressing force.
[0038]
According to the third embodiment, similarly to the first embodiment, the mirror bending correction mechanism 20 is provided in addition to the function and effect provided by the hinge mechanisms 8, 8, so that the laser mirror 3 It is possible to provide a highly reliable laser mirror fixing device that can correct the bending and maintain the flatness of the laser mirror 3 and perform accurate position measurement, and can easily finely adjust the position. Adjustment can be performed easily and reliably.
Note that the present invention is not limited to the above-described embodiment, and it goes without saying that various modifications can be made without departing from the scope of the invention.
[0039]
【The invention's effect】
As described above, the present invention has the following effects.
According to the first embodiment, both ends of the mirror supporting member are fixed to the moving stage with the mirror supporting member interposed between the moving stage and the laser mirror, and the laser mirror is connected to both ends of the mirror supporting member. And a plurality of deformation absorbing portions for absorbing deformation in the length direction of the laser mirror are formed on both ends of the mirror support member near the fixed points of the moving stage and the laser mirror. Even if the mirror support member undergoes a large thermal deformation, the mirror support member should be made of a material that is easy to process, inexpensive, and easy to produce with high precision, without peeling off the adhesive portion or impairing the flatness of the laser mirror. This makes it possible to provide a laser mirror fixing device capable of improving manufacturability, economy, and reliability.
[0040]
Further, according to the second embodiment, since the mirror support member is formed with the two hinge mechanisms having the U-shaped bent portion, it is possible to absorb the deformation in the length direction of the laser mirror. It is possible to use a material that is easy to process, inexpensive, and easy to provide high precision as the mirror support member without peeling off the adhesive part or impairing the flatness of the laser mirror even if the mirror support member undergoes large thermal deformation. Thus, it is possible to provide a laser mirror fixing device capable of improving manufacturability, economy, and reliability.
[0041]
Further, according to the third embodiment, both ends of the mirror supporting member are fixed to the moving stage with the mirror supporting member interposed between the moving stage and the laser mirror, and the laser mirror is connected to the mirror supporting member. A plurality of deformation absorbing portions fixed at both ends of the mirror support member and at both ends of the mirror support member, near the fixed points of the moving stage and the laser mirror, for absorbing deformation in a longitudinal direction of the laser mirror. Therefore, even if the thermal deformation of the mirror support member is large, the adhesive portion is not peeled off or the flatness of the laser mirror is not degraded. It is possible to provide a laser mirror fixing device which can be used and which can improve manufacturability, economy and reliability. Further, a supporting member which is easily deformed in the length direction of the laser mirror and has a high rigidity in the direction of entering and reflecting the laser beam, and is interposed and fixed between the mirror supporting member and the laser mirror. And a mirror support mechanism for supporting the intermediate portion in the length direction of the laser mirror in a state in which the height is finely adjusted. Therefore, even when the laser mirror is enlarged, the vibration during traveling of the moving stage is provided. It is possible to provide a highly reliable laser mirror fixing device that can prevent deformation of the laser mirror due to acceleration, maintain the flatness of the laser mirror, and enable accurate position measurement.
[0042]
According to the fourth embodiment, both ends of the mirror supporting member are fixed to the moving stage by interposing the mirror supporting member between the moving stage and the laser mirror, and the laser mirror is connected to the mirror supporting member. A plurality of deformation absorbing portions fixed at both ends of the mirror support member and at both ends of the mirror support member, near the fixed points of the moving stage and the laser mirror, for absorbing deformation in a longitudinal direction of the laser mirror. Therefore, even if the thermal deformation of the mirror support member is large, the adhesive portion is not peeled off or the flatness of the laser mirror is not degraded. It is possible to provide a laser mirror fixing device which can be used and which can improve manufacturability, economy and reliability. In addition, since the mirror bending correction means for supporting the laser mirror in a corrected state is provided, the laser mirror can be corrected to maintain the flatness of the laser mirror, and the reliability can be measured accurately. And a laser mirror fixing device having a high height can be provided.
[0043]
According to the fifth embodiment, the mirror supporting member is interposed between the moving stage and the laser mirror to fix both ends of the mirror supporting member to the moving stage, and the laser mirror is connected to the mirror supporting member. A plurality of deformation absorbing portions fixed at both ends of the mirror support member and at both ends of the mirror support member, near the fixed points of the moving stage and the laser mirror, for absorbing deformation in a longitudinal direction of the laser mirror. Therefore, even if the thermal deformation of the mirror support member is large, the adhesive portion is not peeled off or the flatness of the laser mirror is not degraded. It is possible to provide a laser mirror fixing device which can be used and which can improve manufacturability, economy and reliability. An arm rotatably attached to the mirror support member at an angle of inclination, a pressing member fixed to the arm and facing a pressed surface orthogonal to the length direction of the laser mirror, and a twist angle of the arm; Has an arm displacement member that changes the amount of displacement of the pressing member in the direction of the pressed surface by adjusting the pressure, and a mirror bending correction mechanism that supports the laser mirror in a corrected state is provided. It is possible to maintain the flatness of the laser mirror by correction, and to provide a highly reliable laser mirror fixing device that enables accurate position measurement. It can be performed reliably.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a sectional view showing a first embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a sectional view showing a second embodiment of the present invention.
FIG. 3 is a sectional view taken along the line RR in FIG. 2;
FIG. 4 is a front view showing a third embodiment of the present invention.
FIG. 5 is a sectional view taken along line SS in FIG. 4;
FIG. 6 is a partial cross-sectional front view showing a conventional example.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Moving stage, 2 ... Mirror stand (mirror support member), 3 ... Laser mirror, 3a ... Pressed surface, 4 ... Mirror stand fixing screw, 5 ... L-shaped fixing bracket (first mirror fixing member), 6 ... Fixing bracket (second mirror fixing member), 7: U-shaped bent portion (deformation absorbing portion), 8: hinge mechanism portion, B, C: fixing point, D: adhesive portion, 10: mirror support mechanism, DESCRIPTION OF SYMBOLS 11 ... Support metal fitting (support member), 11a ... Lower inclined support surface, 11b ... Top horizontal support surface, 12 ... Notch recess, 13 ... Incline support surface, 20 ... Mirror bending correction mechanism, 21a ... Hinge part, 21 ... Arm , 22 ... Adjustment fitting, 23 ... Pressing plate (pressing member), 24 ... Wedge fitting (arm displacement member), 25 ... Push screw.

Claims

A laser mirror fixing device for fixing a laser mirror used in a position measurement system using laser light to a moving stage such as an XY stage,
At both ends in the length direction, the laser mirror has a plurality of deformation absorbing portions for absorbing deformation in the longitudinal direction, and is interposed between the moving stage and the laser mirror and outside the deformation absorbing portion, And a mirror support member having a lengthwise intermediate portion fixed to the moving stage,
A mirror fixing member for fixing both ends of the laser mirror to both ends of the mirror support member outside the deformation absorbing portion,
The laser mirror has a structure that is easily deformed in the longitudinal direction and has high rigidity in the direction of entering and reflecting laser light, and is fixed by being interposed between the mirror support member and the laser mirror. A mirror support mechanism for supporting the intermediate portion in the length direction of the laser mirror with its height finely adjusted,
A fixing device for a laser mirror, comprising:

A laser mirror fixing device for fixing a laser mirror used in a position measurement system using laser light to a moving stage such as an XY stage,
At both ends in the length direction, the laser mirror has a plurality of deformation absorbing portions for absorbing deformation in the longitudinal direction, and is interposed between the moving stage and the laser mirror and outside the deformation absorbing portion, And a mirror support member having a lengthwise intermediate portion fixed to the moving stage,
A mirror fixing member for fixing both ends of the laser mirror to both ends of the mirror support member outside the deformation absorbing portion,
Mirror bending correcting means provided on the mirror support member and supporting the laser mirror in a corrected state,
A fixing device for a laser mirror, comprising:

A laser mirror fixing device for fixing a laser mirror used in a position measurement system using laser light to a moving stage such as an XY stage,
At both ends in the length direction, the laser mirror has a plurality of deformation absorbing portions for absorbing deformation in the longitudinal direction, and is interposed between the moving stage and the laser mirror and outside the deformation absorbing portion, And a mirror support member having a lengthwise intermediate portion fixed to the moving stage,
A mirror fixing member for fixing both ends of the laser mirror to both ends of the mirror support member outside the deformation absorbing portion,
An arm rotatably attached to the mirror support member at an inclined angle, a pressing member fixed to the arm and facing a pressed surface orthogonal to a longitudinal direction of the laser mirror, and a twist angle of the arm. A mirror bending correction mechanism that has an arm displacement member that changes the amount of displacement of the pressing member in the pressed surface direction by adjusting, and supports the laser mirror in a corrected state;
A fixing device for a laser mirror, comprising: