JP3607950B2

JP3607950B2 - Gas supply equipment

Info

Publication number: JP3607950B2
Application number: JP09971098A
Authority: JP
Inventors: 誉黒岩; 義浩新田
Original assignee: Nippon Sanso Holdings Corp
Current assignee: Nippon Sanso Holdings Corp
Priority date: 1998-04-10
Filing date: 1998-04-10
Publication date: 2005-01-05
Anticipated expiration: 2018-04-10
Also published as: JPH11294697A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ガス供給設備に関し、特に、半導体デバイスの生産工程で使用する特殊材料ガスの供給に適したガス供給設備に関する。
【０００２】
【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】
半導体製造用の特殊材料ガスは、その大半が毒性，可燃性，腐食性といった反応性に富んだ物性を有しているため、このようなガスを充填したガス容器の保管やガスの使用にあたっては、第一に安全に十分考慮する必要がある。
【０００３】
上述のような特殊な材料ガスを供給する設備として、例えば、特許第２５０１９１３号公報に記載されているようなオートシリンダーボックス（シリンダーキャビネット）が知られている。この設備は、安全性を考慮したキャビネット内に２本の材料ガス容器と必要に応じて設置されるパージガス用の容器とを収納し、前記２本の材料ガス容器を交互に使用することにより連続的に材料ガスを供給できるように配管や弁が形成されており、材料ガス容器を交換する際の残ガス放出やパージ等の操作も自動的に行うようにしている。
【０００４】
ところが、従来のシリンダーキャビネットは、そのほとんどが２本の材料ガス容器を収納するように形成されており、また、多くの材料ガス容器を収納可能なものでも、その収納本数が固定されているため、材料ガスの使用量が増加したときには、同様に形成されているシリンダーキャビネットを既存のものと併設する必要があった。
【０００５】
しかし、シリンダーキャビネットを併設した場合、両キャビネットには、残ガス放出やパージ等の操作を自動的に行うための各種配管や弁だけでなく、制御装置も組み込まれているため、シリンダーキャビネットの増設、即ち材料ガス容器の増設には多大なコストを必要としていた。さらに、通常、シリンダーキャビネットの増設は、使用先に材料ガスを供給している既存のガス供給経路に新たなガス供給経路を接続するようにして行われるため、材料ガスの供給を一旦停止しなければならないとともに、増設後には、経路内のパージも行わなければならなかった。
【０００６】
そこで本発明は、ガス容器を１本単位で増減することができ、ガス使用先でのガス使用量の変動に容易にかつ低コストで対応することができるガス供給設備を提供することを目的としている。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、本発明のガス供給設備は、メインキャビネットと、該メインキャビネットに順次接続されるサブキャビネットとからなり、前記メインキャビネットは、ガス容器収納部と、ガス容器内の高圧ガスを、該ガス容器に設けられた容器弁から高圧弁，減圧弁，低圧弁及びガス供給用の分岐経路接続部を介して使用先に送出するガス供給経路と、前記容器弁と高圧弁との間の高圧経路にパージガス導入用の分岐経路接続部及びパージガス導入弁を介してパージガスを導入するパージガス導入経路と、前記減圧弁と低圧弁との間の低圧経路からパージガス導出弁及びパージガス導出用の分岐経路接続部を介してパージガスを導出するパージガス導出経路とを備え、前記サブキャビネットは、ガス容器収納部と、ガス容器内の高圧ガスを、該ガス容器に設けられた容器弁から高圧弁，減圧弁，低圧弁及びガス供給用の分岐経路接続部を介して送出するガス供給経路と、前記容器弁と高圧弁との間の高圧経路にパージガス導入用の分岐経路接続部及びパージガス導入弁を介してパージガスを導入するパージガス導入経路と、前記減圧弁と低圧弁との間の低圧経路からパージガス導出弁及びパージガス導出用の分岐経路接続部を介してパージガスを導出するパージガス導出経路とを備え、メインキャビネットとサブキャビネットとの接続は、メインキャビネットのガス供給用の分岐経路接続部とサブキャビネットのガス供給用の分岐経路接続部とをガス供給用接続経路を介して接続し、メインキャビネットのパージガス導入用の分岐経路接続部とサブキャビネットのパージガス導入用の分岐経路接続部とをパージガス導入用接続経路を介して接続し、メインキャビネットのパージガス導出用の分岐経路接続部とサブキャビネットのパージガス導出用の分岐経路接続部とをパージガス導出用接続経路を介して接続し、サブキャビネットと次段のサブキャビネットとの接続は、サブキャビネットのガス供給用の分岐経路接続部と次段のサブキャビネットのガス供給用の分岐経路接続部とをガス供給用接続経路を介して接続し、サブキャビネットのパージガス導入用の分岐経路接続部と次段のサブキャビネットのパージガス導入用の分岐経路接続部とをパージガス導入用接続経路を介して接続し、サブキャビネットのパージガス導出用の分岐経路接続部と次段のサブキャビネットのパージガス導出用の分岐経路接続部とをパージガス導出用接続経路を介して接続し、末端となるサブキャビネットのガス供給用，パージガス導入用及びパージガス導出用の各分岐経路接続部における次段のサブキャビネットのガス供給用，パージガス導入用及びパージガス導出用の各接続経路との各接続部に閉塞手段をそれぞれ有していることを特徴とし、前記ガス供給用の分岐経路接続部は、三方弁からなる合流弁であり、前記パージガス導入用の分岐経路接続部は、自動三方弁からなるパージガス分岐弁であり、前記パージガス導出用の分岐経路接続部は、チーズからなるガス合流部であることを特徴としている。
【０００８】
【発明の実施の形態】
図１は、本発明のガス供給設備を半導体製造用材料ガスを供給するためのシリンダーキャビネットに適用した一形態例を示す系統図である。このガス供給設備は、メインキャビネットＡと、該メインキャビネットＡに順次接続されるサブキャビネットＢ１，Ｂ２とを有するもので、各キャビネット内には、所定の材料ガスを充填したガス容器Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３が各々１本ずつ収納されている。
【０００９】
メインキャビネットＡには、材料ガスを使用先に送出する材料ガス供給経路１と、パージガス導入用のパージガス導入経路２ａと、このパージガス導入経路２ａに切換弁ブロック３の部分で接続した高圧気密試験用の高圧ガスを導入する高圧ガス導入経路２ｂと、パージガス導出用のパージガス導出経路５と、パージガス導出用の駆動ガスとして使用する駆動ガス導入経路６とが接続されており、各キャビネット間は、分岐経路であるガス供給用接続経路１ａ，１ｂ、パージガス導入用接続経路２ｃ，２ｄ、パージガス導出用接続経路５ａ，５ｂによってそれぞれ接続している。
【００１０】
さらに、メインキャビネットＡ内には、前記切換弁ブロック３の他、材料ガス供給弁ブロック７と、パージガス吸引弁ブロック８とが設けられ、メイン・サブ両キャビネット内には、高圧弁ブロック９，９ａ，９ｂと低圧弁ブロック１０，１０ａ，１０ｂとが設けられ、各弁ブロック内には、空気圧により作動する自動弁等が設けられている。
【００１１】
前記切換弁ブロック３は、パージガス弁３１及び高圧ガス弁３２を有するもので、該切換弁ブロック３より上流側のパージガス導入経路２ａには、高圧ガスが逆流することを防止するための逆止弁３３が設けられており、高圧ガス導入経路２ｂは、この切換弁ブロック３の下流側に設けられた圧力センサー３４の部分でパージガス導入経路２に合流している。さらに、このパージガス導入経路２は、三方弁からなるパージガス分岐弁３５，３５ａ，３５ｂにより、各キャビネット内の高圧弁ブロック９，９ａ，９ｂに向かうパージガス導入経路２ｅ，２ｆ，２ｇと、次段のサブキャビネットＢ１，Ｂ２に向かう前記パージガス導入用接続経路２ｃ，２ｄとに分岐している。
【００１２】
前記パージガス分岐弁３５，３５ａ，３５ｂは、閉塞手段を有する分岐経路接続部として機能するものであって、開状態で３本の経路がそれぞれ連通した状態となり、閉状態では特定の１本の経路のみが閉じられ、他の２本の経路が連通した状態となるものが用いられている。例えば、メインキャビネットＡのパージガス分岐弁３５では、パージガス導入用接続経路２ｃが接続した経路のみが開閉され、サブキャビネットＢ１のパージガス分岐弁３５ａでは、パージガス導入用接続経路２ｄが接続した経路のみが開閉されるように形成されている。したがって、本形態例において末端となるサブキャビネットＢ２のパージガス分岐弁３５ｂは、第３のサブキャビネットを増設する際に設けられる接続経路２ｈを接続するとき以外は閉状態であり、他のパージガス分岐弁３５，３５ａは開状態となっている。
【００１３】
前記材料ガス供給弁ブロック７は、材料ガスの供給を遮断する材料ガス遮断弁７１とフィルター７２とを有しており、パージガス吸引弁ブロック８は、パージガス吸引弁８１と、パージガス吸引用のエジェクター８２と、駆動ガス導入弁８３とを有している。また、パージガス吸引弁ブロック８の上流側の駆動ガス導入経路６には、材料ガス等が駆動ガス導入経路６に逆流することを防止するための逆止弁８４が設けられている。
【００１４】
前記低圧弁ブロック１０，１０ａ，１０ｂは、材料ガスの供給経路を切換えるための低圧弁１１，１１ａ，１１ｂと、パージガス等を導出するためのパージガス導出弁１２，１２ａ，１２ｂとを有するとともに、メインキャビネットＡに複数のサブキャビネットＢ１，Ｂ２を接続したときの各材料ガス経路を１本にまとめるための自動三方弁からなる合流弁１３，１３ａ，１３ｂとを有している。
【００１５】
この合流弁は、前記パージガス分岐弁３５と同様に、閉塞手段を有する分岐経路接続部として機能するものであって、開状態で３本の経路がそれぞれ連通し、閉状態では特定の１本の経路のみが閉じられ、他の２本の経路が連通した状態となるものである。すなわち、メインキャビネットＡの合流弁１３では、ガス供給用接続経路１ａが接続した経路のみが開閉され、サブキャビネットＢ１の合流弁１３ａでは、ガス供給用接続経路１ｂが接続した経路のみが開閉される。したがって、サブキャビネットＢ２の合流弁１３ｂは閉状態、他の合流弁１３，１３ａは開状態であり、合流弁１３ｂは、第３のサブキャビネットを増設する際に設けられる接続経路１ｃ接続したときにのみ開状態となる。
【００１６】
また、各パージガス導出弁１２，１２ａ，１２ｂの二次側には、次段のサブキャビネットからのパージガス経路を１本にまとめるためのチーズからなるガス合流部１４，１４ａ，１４ｂが設けられている。このチーズからなるガス合流部１４，１４ａ，１４ｂも、前記パージガス分岐弁３５や合流弁１３と同様に、閉塞手段を有する分岐経路接続部として機能するものであって、末端となるサブキャビネットＢ２のガス合流部１４ｂに示すように、該サブキャビネットＢ２に第３のサブキャビネットを増設する際に設けられる接続経路５ｃの接続口には、圧力の検出と同時に接続口を閉塞するための圧力センサー５ｄが装着されており、この圧力センサー５ｄは、接続経路５ｃを接続するときにのみ取外される。
【００１７】
前記高圧弁ブロック９，９ａ，９ｂは、ガス容器の容器弁９１，９１ａ，９１ｂに接続する容器弁接続部９２，９２ａ，９２ｂと、高圧材料ガスの供給を制御するための高圧弁９３，９３ａ，９３ｂと、パージガスの導入を制御するためのパージガス導入弁９４，９４ａ，９４ｂと、圧力センサー９５，９５ａ，９５ｂとが設けられており、高圧弁９３，９３ａ，９３ｂの二次側のブロック出口部には、減圧弁９６，９６ａ，９６ｂが接続されている。
【００１８】
また、上記減圧弁９６，９６ａ，９６ｂで減圧された材料ガスが前記低圧弁ブロック１０，１０ａ，１０ｂに向かって流れる低圧経路９７，９７ａ，９７ｂは、様々な大きさの材料ガス容器に対応するため、蛇管等の可撓性を有する配管材料により形成されており、低圧側の圧力センサー１５，１５ａ，１５ｂを介して低圧弁ブロック１０，１０ａ，１０ｂに接続されている。
【００１９】
次に、このように形成したガス供給設備による材料ガスの供給動作を説明する。まず、メインキャビネットＡのガス容器Ｃ１から材料ガスを使用先に供給している場合、ガス容器Ｃ１の容器弁９１，高圧弁９３，低圧弁１１，合流弁１３及び材料ガス遮断弁７１が開状態であり、パージガス導入弁９４及びパージガス導出弁１２が閉状態である。
【００２０】
したがって、ガス容器Ｃ１内の材料ガスは、容器弁９１から容器弁接続部９２を経て高圧弁ブロック９内に流入し、各経路及び高圧弁９３を通り、減圧弁９６で所定圧力に減圧された後、低圧経路９７，圧力センサー１５を経て低圧弁ブロック１０に流入し、低圧弁１１及び合流弁１３を通って材料ガス供給弁ブロック７に入り、材料ガス遮断弁７１とフィルター７２とを通過して材料ガス供給経路１から使用先に供給される。
【００２１】
このとき、サブキャビネットＢ１でガス容器Ｃ２の交換を行う場合、安全性を確保するため、最初に、サブキャビネットＢ１の経路内に残留する材料ガスの除去が行われる。この材料ガスの除去操作は、上述の材料ガス供給状態から、容器弁９１ａ及び低圧弁１１ａを閉じてパージガス導出弁１２ａを開き、パージガス吸引弁ブロック８のパージガス吸引弁８１及び駆動ガス導入弁８３を開状態として行われる。
【００２２】
これにより、駆動ガス導入経路６からパージガス吸引弁８１を介して導入される駆動ガスによりエジェクター８２に吸引力が発生し、この吸引力により、容器弁９１ａから低圧弁１１ａまでの間の経路に存在するガスが、パージガス導出弁１２ａ，ガス合流部１４ａ及びパージガス導出用接続経路５ａを経てメインキャビネットＡ内のガス合流部１４及びパージガス吸引弁８１を介してエジェクター８２に吸引され、パージガス導出経路５から導出される。
【００２３】
この残留ガスの排気状態は、圧力センサー５ｄ，１５ａ，９５ａにより確認することができ、所定の真空度に達した後、高圧弁９３ａあるいはパージガス導出弁１２ａを閉じて所定時間放置することにより、容器弁９１ａからのリークの有無、すなわち、容器弁９１ａが確実に閉じられていることを確認できる。
【００２４】
次に、容器弁９１ａ及び高圧弁９３ａを閉じた状態でパージガス弁３１及びパージガス導入弁９４ａを開き、パージガス導入経路２ａからのパージガス、通常は高純度窒素ガスを容器弁９１ａと高圧弁９３ａとの間の高圧経路に導入する操作と、パージガス導入弁９４ａを閉じて高圧弁９３ａを開き、高圧経路内のガスを前記同様にしてパージガス導出経路５から導出する操作とを適当回数繰り返し、容器弁９１ａ部分の材料ガスを確実に排除してガス容器Ｃ２を安全に取外せる状態にする。
【００２５】
次に、ガス容器交換時に、容器弁接続部９２ａから高圧弁ブロック９ａ内の経路に大気成分が入り込むことを防止するため、パージガス弁３１及びパージガス導入弁９４ａを開いたままとし、パージガスを容器弁接続部９２ａから外部に吹出す状態にしてガス容器Ｃ２を交換する。
【００２６】
ガス容器Ｃ２を交換して容器弁９１ａに高圧弁ブロック９を接続したら、容器弁９１ａから低圧弁１１ａまでの間の経路のガスをエジェクター８２を介してパージガス導出経路５から抜き出して真空状態とした後、パージガス導出弁１２ａ及び高圧弁９３ａを閉じて放置することにより、容器弁９１ａとの接続部等からのリークの有無を確認する低圧気密試験と、容器弁９１ａと高圧弁９３ａとの間の高圧経路を、高圧ガス導入経路２ｂから高圧ガス弁３２，パージガス導入経路２等を経て導入される高圧ガス（高純度窒素ガス）で所定圧力に加圧して放置することによりリークの有無を確認する高圧気密試験とを行い、容器弁９１ａとの接続状態を確認する。
【００２７】
さらに、容器弁９１ａの接続確認を終えたら、ガス容器交換時に経路内に入り込んだ可能性のある大気成分を確実に除去するためのパージ操作を行う。このパージ操作は、容器弁９１ａから低圧弁１１ａまでの間の経路へのパージガスの導入と、導入したパージガスの真空排気とを繰返すことにより行われる。
【００２８】
また、適宜に前記同様の低圧気密試験と高圧気密試験とを行い、容器弁９１ａ，高圧弁９３ａ，パージガス導入弁９４ａ，減圧弁９６ａ，低圧弁１１ａ，パージガス導出弁１２ａや圧力センサー１５ａ，９５ａの取付部，配管接続部等の気密試験を行う。
【００２９】
各部にリークの無いことが確認されたら、パージガス導入弁９４ａを閉じ、容器弁９１ａとパージガス導出弁１２ａとを交互に開閉して容器弁９１ａから低圧弁１１ａまでの間の経路に材料ガスを導入し、最終的にこの経路内を材料ガスに置換した状態とする。
【００３０】
これにより、サブキャビネットＢ１から材料ガスを供給する準備が終了したことになる。材料ガスの供給をメインキャビネットＡからサブキャビネットＢ１に切換えるには、サブキャビネットＢ１の低圧弁１１ａを開くとともに、メインキャビネットＡの低圧弁１１を閉じることにより行われる。
【００３１】
すなわち、サブキャビネットＢ１のガス容器Ｃ２内の材料ガスは、容器弁９１ａから容器弁接続部９２ａを経て高圧弁ブロック９ａ内に流入し、各経路及び高圧弁９３ａを通り、減圧弁９６ａで所定圧力に減圧された後、低圧経路９７ａ，圧力センサー１５ａを経て低圧弁ブロック１０ａに流入し、低圧弁１１ａ，合流弁１３ａからガス供給用接続経路１ａを通り、メインキャビネットＡの合流弁１３，材料ガス遮断弁７１，フィルター７２を通過して材料ガス供給経路１から使用先に供給される。
【００３２】
各キャビネットにおけるガス容器の交換の際には、上述のような手順が繰返されて各キャビネットのガス容器から順次材料ガスが供給され、使用先への材料ガスの供給は、メインキャビネットＡ、両サブキャビネットＢ１，Ｂ２のいずれのガス容器から材料ガスを供給する場合でも、メインキャビネットＡに設けられた材料ガス供給経路１により行われる。また、ガス容器交換時のパージガス導入及びパージガス導出も、メインキャビネットＡに設けられたパージガス導入経路２及びパージガス導出経路５を使用して行われることになる。
【００３３】
したがって、サブキャビネットの接続数にかかわらず、材料ガス供給経路１，パージガス導入経路２ａ，高圧ガス導入経路２ｂ及びパージガス導出経路５は、メインキャビネットＡにのみ設ければよく、各サブキャビネットには、高圧弁ブロックと低圧弁ブロックとを設けるだけでよく、前記各経路１，２，５に設けられている切換弁ブロック３，材料ガス供給弁ブロック７及びパージガス吸引弁ブロック８を省略することができるので、サブキャビネットの簡略化や製造コストの低減が図れる。
【００３４】
次に、サブキャビネットを追加接続する際の操作について説明する。例えば、サブキャビネットＢ１の次段にサブキャビネットＢ２を追加する場合、サブキャビネットＢ１とサブキャビネットＢ２とにおける合流弁１３ａと合流弁１３ｂとをガス供給用接続経路１ｂで接続し、ガス合流部１４ａに取付けられている圧力センサー（５ｄ）を取外した後、ガス合流部１４ａとガス合流部１４ｂとをパージガス導出用接続経路５ｂで接続するとともに、取外した圧力センサー（５ｄ）をガス合流部１４ｂに取付け、さらに、パージガス分岐弁３５ａとパージガス分岐弁３５ｂとをパージガス導入用接続経路２ｄで接続する。
【００３５】
この接続直後の状態は、各経路内に大気が存在している状態であるから、最初に、各経路内の真空排気とパージガスの導入とを繰返して大気成分を排出する操作を行う。このとき、サブキャビネットＢ２内の経路から前段のガス供給用接続経路１ａに大気成分が入り込まないように、サブキャビネットＢ２の合流弁１３ａは閉じた状態のままとし、パージガス分岐弁３５ａを開いてサブキャビネットＢ２内の経路にパージガスを導入できる状態とする。
【００３６】
大気成分排出操作は、低圧弁１１ｂ及び高圧弁９３ｂを開いた状態としたまま、パージガス導入弁９４ｂとパージガス導出弁１２ｂとを交互に開閉し、容器弁９１ｂからサブキャビネットＢ１の合流弁１３ａに至る材料ガス通過経路全体についてパージガスの導入と真空排気とを繰返すことにより行われる。さらに、前記同様の低圧気密試験や高圧気密試験を行った後、容器弁９１ｂとパージガス導出弁１２ｂとを交互に開閉することにより、材料ガス通過経路内を材料ガスで置換する。
【００３７】
最後に合流弁１３ａを開くことにより、サブキャビネットＢ１とサブキャビネットＢ２とが接続された状態となり、３本のガス容器Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３による材料ガスの供給が行える状態となる。このようにサブキャビネットＢ２を追加することにより、材料ガス消費量の増大等に容易に対処することができる。さらに、第３のサブキャビネット以降の増設も同様にして行うことができ、各ガス容器からの材料ガスの供給順序を使用先の状況に応じて設定することにより、各キャビネットにおける材料ガスの供給やガス容器の交換を所定のタイミングで行うことができる。また、サブキャビネットを２個以上接続した場合は、２本以上のガス容器から同時に材料ガスを供給するように設定することもできる。
【００３８】
逆に、サブキャビネットＢ２を取外す場合は、サブキャビネットＢ１の合流弁１３ａを閉じた後、容器弁９１ｂから合流弁１３ａの間の材料ガス通過経路に対しての真空引きとパージガスの導入とを繰返し、該材料ガス通過経路内に残留する材料ガスを排出することにより、各接続経路の取外しを安全に行うことができる。
【００３９】
このように、材料ガスの合流弁１３やパージガスのガス合流部１４及びパージガス分岐弁３５を設け、ガス経路の接続によってサブキャビネットを増減できるように形成したことにより、メインキャビネットに対して任意の数のサブキャビネットを接続することが可能となり、使用先における材料ガスの使用量に応じて任意の本数のガス容器を設置することができる。しかも、サブキャビネットの着脱は、既存のメインキャビネットやサブキャビネットからの材料ガスの供給を継続した状態のままで行うことができるので、従来のシリンダーキャビネットの増設時のように、材料ガスの供給を停止する必要がなく、容易にかつ短時間で増設や取外しを行うことができる。
【００４０】
なお、減圧弁９６には、二次圧力固定型（プリセット減圧弁）、二次圧力可変型のいずれでも使用することができ、合流弁１３やパージガス分岐弁３５は、三方弁に限るものではなく、任意の構造の弁を必要に応じて組合わせた形態としてもよく、ガス合流部１４に適宜な弁を用いてもよい。また、エジェクター８２に代えて真空ポンプを用いることもできる。また、各経路に設ける弁の位置も任意である。
【００４１】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明のガス供給設備によれば、ガス容器を収納したキャビネットを１個単位で増減することができるので、使用先の状況に応じて容易にかつ低コストでガス容器の本数を増減することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のガス供給設備の一形態例を示す系統図である。
【符号の説明】
１…材料ガス供給経路、１ａ，１ｂ…ガス供給用接続経路、２ａ…パージガス導入経路、２ｂ…高圧ガス導入経路、２ｃ，２ｄ…パージガス導入用接続経路、３…切換弁ブロック、５…パージガス導出経路、５ａ，５ｂ…パージガス導出用接続経路、５ｄ…圧力センサー、６…駆動ガス導入経路、７…材料ガス供給弁ブロック、８…パージガス吸引弁ブロック、９，９ａ，９ｂ…高圧弁ブロック、１０，１０ａ，１０ｂ…低圧弁ブロック、１１，１１ａ，１１ｂ…低圧弁、１２，１２ａ，１２ｂ…パージガス導出弁、１３，１３ａ，１３ｂ…合流弁、１４，１４ａ，１４ｂ…ガス合流部、３５，３５ａ，３５ｂ…パージガス分岐弁、８２…エジェクター、９０…弁ブロック、９１，９１ａ，９１ｂ…容器弁、９２，９２ａ，９２ｂ…容器弁接続部、９３，９３ａ，９３ｂ…高圧弁、９４，９４ａ，９４ｂ…パージガス導入弁、９５，９５ａ，９５ｂ…圧力センサー、９６，９６ａ，９６ｂ…減圧弁、９７，９７ａ，９７ｂ…低圧経路、Ａ…メインキャビネット、Ｂ１，Ｂ２…サブキャビネット、Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３…ガス容器[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a gas supply facility, and more particularly to a gas supply facility suitable for supplying a special material gas used in a production process of a semiconductor device.
[0002]
[Prior art and problems to be solved by the invention]
Most of the special material gases for semiconductor manufacturing have highly reactive properties such as toxicity, flammability, and corrosiveness. Therefore, when storing and using gas containers filled with such gases, First of all, it is necessary to fully consider safety.
[0003]
As an equipment for supplying the special material gas as described above, for example, an auto cylinder box (cylinder cabinet) as described in Japanese Patent No. 2501913 is known. This equipment stores two material gas containers and a purge gas container installed as necessary in a cabinet in consideration of safety, and continuously uses the two material gas containers alternately. In addition, pipes and valves are formed so that the material gas can be supplied, and operations such as residual gas discharge and purging are automatically performed when the material gas container is replaced.
[0004]
However, most of the conventional cylinder cabinets are formed to store two material gas containers, and even those that can store many material gas containers are fixed in number. When the amount of material gas used increased, it was necessary to add a cylinder cabinet similarly formed to the existing one.
[0005]
However, when cylinder cabinets are installed, both the cabinets are equipped with control devices as well as various pipes and valves for automatically performing operations such as residual gas discharge and purging. In other words, a great deal of cost was required to increase the material gas container. In addition, cylinder cylinders are usually expanded by connecting a new gas supply path to an existing gas supply path that supplies material gas to the user, so the supply of material gas must be temporarily stopped. In addition, after the expansion, purging in the route had to be performed.
[0006]
Therefore, the present invention has an object to provide a gas supply facility that can increase or decrease the number of gas containers in units of one, and can easily and inexpensively cope with fluctuations in the amount of gas used at the gas user. Yes.
[0007]
[Means for Solving the Problems]
In order to achieve the above object, a gas supply facility of the present invention comprises a main cabinet and a sub-cabinet that is sequentially connected to the main cabinet. The main cabinet includes a gas container storage section and a high-pressure gas in the gas container. A gas supply path for supplying gas to a user through a high pressure valve, a pressure reducing valve, a low pressure valve, and a branch path connecting portion for gas supply from a container valve provided in the gas container, and the container valve and the high pressure valve A purge gas introduction path for introducing purge gas to the high pressure path between them via a branch path connection part for purge gas introduction and a purge gas introduction valve, and a purge gas outlet valve and a purge gas outlet from a low pressure path between the pressure reducing valve and the low pressure valve via the branch path connecting unit and a purge gas outlet path for deriving the purge gas, the sub-cabinet, the gas container housing section, in the gas container height A gas supply path for sending gas from a container valve provided in the gas container via a high pressure valve, a pressure reducing valve, a low pressure valve and a branch path connecting portion for gas supply; and between the container valve and the high pressure valve. A purge gas introduction path for introducing purge gas into the high pressure path via a purge path connection portion and a purge gas introduction valve, and a purge gas outlet valve and a purge gas outlet branch path from the low pressure path between the pressure reducing valve and the low pressure valve A purge gas lead-out path for leading the purge gas through the connection part, and the connection between the main cabinet and the sub-cabinet is a branch path connection part for the gas supply of the main cabinet and a branch path connection part for the gas supply of the sub-cabinet. Is connected via the gas supply connection path, and the purge path connection for introducing the purge gas of the main cabinet and the sub cabinet are purged. The branch path connection part for introducing the purge gas is connected via the purge gas introduction connection path, and the branch path connection part for deriving the purge gas of the main cabinet and the branch path connection part for deriving the purge gas of the sub-cabinet are connected for discharging the purge gas. The sub-cabinet and the next-stage sub-cabinet are connected via a path. The sub-cabinet gas supply branch path connection section and the next-stage sub-cabinet gas supply branch path connection section are supplied with gas. And a branch path connecting portion for introducing purge gas in the sub-cabinet and a branch path connecting portion for introducing purge gas in the next-stage sub-cabinet are connected via the connecting path for introducing purge gas. A branch path connecting part for deriving the purge gas and a branch path connecting part for deriving the purge gas of the next sub-cabinet Connected via the purge gas lead-out connection path, the sub-cabinet gas supply, purge gas introduction, and purge gas for the sub-cabinet in the next stage at each branch path connection for gas supply, purge gas introduction and purge gas lead-out The gas supply branch path connection part is a confluence valve composed of a three-way valve, and has a closing means at each connection part with each connection path for derivation. The branch path connection part is a purge gas branch valve made of an automatic three-way valve, and the branch path connection part for deriving the purge gas is a gas junction part made of cheese .
[0008]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
FIG. 1 is a system diagram showing an embodiment in which the gas supply facility of the present invention is applied to a cylinder cabinet for supplying a semiconductor manufacturing material gas. This gas supply facility has a main cabinet A and sub-cabinets B1 and B2 that are sequentially connected to the main cabinet A, and in each cabinet, gas containers C1, C2, filled with a predetermined material gas. One C3 is stored.
[0009]
The main cabinet A has a material gas supply path 1 for sending the material gas to the user, a purge gas introduction path 2a for introducing a purge gas, and a high pressure airtight test connected to the purge gas introduction path 2a at the switching valve block 3 portion. A high-pressure gas introduction path 2b for introducing a high-pressure gas, a purge gas lead-out path 5 for extracting a purge gas, and a drive gas introduction path 6 used as a drive gas for deriving a purge gas are connected. The gas supply connection paths 1a and 1b, the purge gas introduction connection paths 2c and 2d, and the purge gas lead-out connection paths 5a and 5b, which are paths, are respectively connected.
[0010]
Further, in addition to the switching valve block 3, a material gas supply valve block 7 and a purge gas suction valve block 8 are provided in the main cabinet A, and high pressure valve blocks 9, 9a are provided in the main and sub cabinets. 9b and low-pressure valve blocks 10, 10a, 10b are provided, and an automatic valve or the like that is operated by air pressure is provided in each valve block.
[0011]
The switching valve block 3 includes a purge gas valve 31 and a high-pressure gas valve 32, and a check valve for preventing the high-pressure gas from flowing back into the purge gas introduction path 2a upstream of the switching valve block 3. 33 is provided, and the high pressure gas introduction path 2 b merges with the purge gas introduction path 2 at the portion of the pressure sensor 34 provided on the downstream side of the switching valve block 3. Further, the purge gas introduction path 2 is connected to purge gas introduction paths 2e, 2f, 2g directed to the high pressure valve blocks 9, 9a, 9b in each cabinet by the purge gas branch valves 35, 35a, 35b formed of three-way valves. Branching to the purge gas introduction connection paths 2c and 2d toward the sub cabinets B1 and B2.
[0012]
The purge gas branch valves 35, 35 a, and 35 b function as branch path connecting portions having blocking means, and are in a state where three paths communicate with each other in the open state, and in the closed state, a specific one path Is used, and only the other two routes are in communication with each other. For example, in the purge gas branch valve 35 of the main cabinet A, only the path connected to the purge gas introduction connection path 2c is opened and closed, and in the purge gas branch valve 35a of the sub cabinet B1, only the path connected to the purge gas introduction connection path 2d is opened and closed. It is formed to be. Accordingly, the purge gas branch valve 35b of the sub-cabinet B2, which is the terminal in this embodiment, is closed except when connecting the connection path 2h provided when the third sub-cabinet is added. 35 and 35a are in an open state.
[0013]
The material gas supply valve block 7 has a material gas cutoff valve 71 and a filter 72 for blocking the supply of material gas. The purge gas suction valve block 8 has a purge gas suction valve 81 and an ejector 82 for suctioning purge gas. And a driving gas introduction valve 83. Further, a check valve 84 is provided in the drive gas introduction path 6 upstream of the purge gas suction valve block 8 to prevent a material gas or the like from flowing back into the drive gas introduction path 6.
[0014]
The low-pressure valve blocks 10, 10a, 10b include low-pressure valves 11, 11a, 11b for switching material gas supply paths, and purge gas derivation valves 12, 12a, 12b for deriving purge gas and the like. The cabinet A has merging valves 13, 13 a, 13 b composed of automatic three-way valves for collecting each material gas path into one when a plurality of sub-cabinets B 1, B 2 are connected.
[0015]
Similar to the purge gas branch valve 35, this merging valve functions as a branch path connecting portion having a closing means. The three paths communicate with each other in the open state, and a specific one in the closed state. Only the route is closed, and the other two routes are connected. That is, in the junction valve 13 of the main cabinet A, only the path connected to the gas supply connection path 1a is opened and closed, and in the junction valve 13a of the sub cabinet B1, only the path connected to the gas supply connection path 1b is opened and closed. . Therefore, the junction valve 13b of the sub cabinet B2 is closed, the other junction valves 13 and 13a are opened, and the junction valve 13b is connected to the connection path 1c provided when adding the third sub cabinet. Only open.
[0016]
Further, on the secondary side of each purge gas lead-out valve 12, 12a, 12b, there are provided gas merging portions 14, 14a, 14b made of cheese for integrating the purge gas paths from the sub-cabinet at the next stage into one. . Similarly to the purge gas branch valve 35 and the merge valve 13, the gas merge sections 14, 14 a, and 14 b made of cheese function as a branch path connection section having a closing means, and the sub-cabinet B 2 serving as a terminal As shown in the gas junction 14b, the connection port of the connection path 5c provided when the third sub-cabinet is added to the sub-cabinet B2 has a pressure sensor 5d for closing the connection port simultaneously with the detection of the pressure. This pressure sensor 5d is removed only when connecting the connection path 5c.
[0017]
The high-pressure valve blocks 9, 9a, 9b include container valve connection portions 92, 92a, 92b connected to the container valves 91, 91a, 91b of the gas container, and high-pressure valves 93, 93a for controlling the supply of high-pressure material gas. 93b, purge gas introduction valves 94, 94a, 94b for controlling the introduction of purge gas, and pressure sensors 95, 95a, 95b are provided, and block outlets on the secondary side of the high pressure valves 93, 93a, 93b are provided. Pressure reducing valves 96, 96a, 96b are connected to the section.
[0018]
The low pressure paths 97, 97a, 97b through which the material gas decompressed by the pressure reducing valves 96, 96a, 96b flows toward the low pressure valve blocks 10, 10a, 10b correspond to material gas containers of various sizes. Therefore, it is formed of a flexible piping material such as a serpentine tube and is connected to the low pressure valve blocks 10, 10a, 10b via the low pressure side pressure sensors 15, 15a, 15b.
[0019]
Next, the operation of supplying the material gas by the gas supply equipment formed as described above will be described. First, when the material gas is supplied to the user from the gas container C1 of the main cabinet A, the container valve 91, the high pressure valve 93, the low pressure valve 11, the merging valve 13 and the material gas shutoff valve 71 of the gas container C1 are opened. The purge gas introduction valve 94 and the purge gas outlet valve 12 are closed.
[0020]
Therefore, the material gas in the gas container C1 flows into the high-pressure valve block 9 from the container valve 91 through the container valve connection portion 92, passes through each path and the high-pressure valve 93, and is decompressed to a predetermined pressure by the pressure reducing valve 96. Thereafter, the gas flows into the low pressure valve block 10 through the low pressure path 97 and the pressure sensor 15, enters the material gas supply valve block 7 through the low pressure valve 11 and the junction valve 13, and passes through the material gas cutoff valve 71 and the filter 72. Then, it is supplied from the material gas supply path 1 to the user.
[0021]
At this time, when the gas container C2 is replaced in the sub-cabinet B1, in order to ensure safety, the material gas remaining in the path of the sub-cabinet B1 is first removed. In this material gas removal operation, from the above-described material gas supply state, the container valve 91a and the low pressure valve 11a are closed and the purge gas outlet valve 12a is opened, and the purge gas suction valve 81 and the drive gas introduction valve 83 of the purge gas suction valve block 8 are opened. This is done as an open state.
[0022]
As a result, a suction force is generated in the ejector 82 by the driving gas introduced from the driving gas introduction path 6 through the purge gas suction valve 81, and the suction force exists in the path from the container valve 91a to the low pressure valve 11a. The gas to be discharged is sucked into the ejector 82 via the gas merging portion 14 and the purge gas suction valve 81 in the main cabinet A through the purge gas derivation valve 12a, the gas merging portion 14a, and the purge gas derivation connection path 5a. Derived.
[0023]
The exhaust state of the residual gas can be confirmed by the pressure sensors 5d, 15a, and 95a, and after reaching a predetermined degree of vacuum, the high pressure valve 93a or the purge gas lead-out valve 12a is closed and left for a predetermined period of time. It can be confirmed whether there is leakage from the valve 91a, that is, the container valve 91a is securely closed.
[0024]
Next, the purge gas valve 31 and the purge gas introduction valve 94a are opened with the container valve 91a and the high pressure valve 93a closed, and the purge gas from the purge gas introduction path 2a, usually high-purity nitrogen gas, is supplied to the container valve 91a and the high pressure valve 93a. The operation of introducing the gas into the high-pressure path and the operation of closing the purge gas introduction valve 94a and opening the high-pressure valve 93a and deriving the gas in the high-pressure path from the purge gas deriving path 5 in the same manner as described above are repeated an appropriate number of times. A part of the material gas is surely removed so that the gas container C2 can be safely removed.
[0025]
Next, in order to prevent atmospheric components from entering the path in the high-pressure valve block 9a from the container valve connection portion 92a when replacing the gas container, the purge gas valve 31 and the purge gas introduction valve 94a are kept open, and the purge gas is supplied to the container valve. The gas container C2 is exchanged in a state where it blows out from the connecting portion 92a.
[0026]
After the gas container C2 is replaced and the high pressure valve block 9 is connected to the container valve 91a, the gas in the path from the container valve 91a to the low pressure valve 11a is extracted from the purge gas outlet path 5 via the ejector 82 to be in a vacuum state. Thereafter, the purge gas lead-out valve 12a and the high pressure valve 93a are closed and left to stand, thereby confirming the presence or absence of leakage from the connection portion with the container valve 91a, and between the container valve 91a and the high pressure valve 93a. The presence or absence of leakage is confirmed by leaving the high-pressure path pressurized to a predetermined pressure with high-pressure gas (high-purity nitrogen gas) introduced from the high-pressure gas introduction path 2b through the high-pressure gas valve 32, the purge gas introduction path 2 and the like. A high-pressure airtight test is performed to check the connection state with the container valve 91a.
[0027]
Furthermore, when the connection confirmation of the container valve 91a is completed, a purge operation is performed to reliably remove atmospheric components that may have entered the path when the gas container is replaced. This purge operation is performed by repeatedly introducing purge gas into the path from the container valve 91a to the low pressure valve 11a and evacuating the introduced purge gas.
[0028]
In addition, the low-pressure airtight test and the high-pressure airtight test similar to those described above are performed as appropriate, and the container valve 91a, high-pressure valve 93a, purge gas introduction valve 94a, pressure reducing valve 96a, low pressure valve 11a, purge gas outlet valve 12a, and pressure sensors 15a and 95a Carry out airtightness tests on mounting parts and piping connections.
[0029]
When it is confirmed that there is no leakage in each part, the purge gas introduction valve 94a is closed, and the container valve 91a and the purge gas lead-out valve 12a are alternately opened and closed to introduce the material gas into the path from the container valve 91a to the low pressure valve 11a. Finally, the inside of this path is replaced with the material gas.
[0030]
Thus, the preparation for supplying the material gas from the sub cabinet B1 is completed. In order to switch the supply of the material gas from the main cabinet A to the sub cabinet B1, the low pressure valve 11a of the sub cabinet B1 is opened and the low pressure valve 11 of the main cabinet A is closed.
[0031]
That is, the material gas in the gas container C2 of the sub-cabinet B1 flows into the high-pressure valve block 9a from the container valve 91a through the container valve connection portion 92a, passes through each path and the high-pressure valve 93a, and reaches a predetermined pressure by the pressure reducing valve 96a. After the pressure is reduced, the gas flows into the low-pressure valve block 10a via the low-pressure path 97a and the pressure sensor 15a, passes through the gas supply connection path 1a from the low-pressure valve 11a and the merging valve 13a, and the merging valve 13 and the material gas of the main cabinet A. It passes through the shut-off valve 71 and the filter 72 and is supplied from the material gas supply path 1 to the user.
[0032]
When replacing the gas container in each cabinet, the above-described procedure is repeated, and the material gas is sequentially supplied from the gas container of each cabinet. Even when the material gas is supplied from any of the gas containers of the cabinets B1 and B2, it is performed by the material gas supply path 1 provided in the main cabinet A. In addition, purge gas introduction and purge gas derivation at the time of gas container replacement are also performed using the purge gas introduction path 2 and the purge gas derivation path 5 provided in the main cabinet A.
[0033]
Therefore, the material gas supply path 1, the purge gas introduction path 2a, the high pressure gas introduction path 2b, and the purge gas lead-out path 5 need only be provided in the main cabinet A regardless of the number of connections of the sub cabinets. It is only necessary to provide a high pressure valve block and a low pressure valve block, and the switching valve block 3, the material gas supply valve block 7 and the purge gas suction valve block 8 provided in each of the paths 1, 2, 5 can be omitted. Therefore, the sub-cabinet can be simplified and the manufacturing cost can be reduced.
[0034]
Next, an operation for additionally connecting a sub cabinet will be described. For example, when the sub cabinet B2 is added to the next stage of the sub cabinet B1, the junction valve 13a and the junction valve 13b in the sub cabinet B1 and the sub cabinet B2 are connected by the gas supply connection path 1b, and the gas junction 14a is connected. After removing the attached pressure sensor (5d), the gas confluence part 14a and the gas confluence part 14b are connected by the purge gas outlet connection path 5b, and the removed pressure sensor (5d) is attached to the gas confluence part 14b. Further, the purge gas branch valve 35a and the purge gas branch valve 35b are connected by the purge gas introduction connection path 2d.
[0035]
Since the state immediately after the connection is a state in which the atmosphere exists in each path, first, an operation of exhausting atmospheric components by repeating the vacuum exhaust and introduction of the purge gas in each path is performed. At this time, the junction valve 13a of the sub-cabinet B2 is kept closed so that atmospheric components do not enter the gas supply connection path 1a from the path in the sub-cabinet B2, and the purge gas branch valve 35a is opened to open the sub-cabinet B2. The purge gas can be introduced into the path in the cabinet B2.
[0036]
In the atmospheric component discharge operation, the purge gas introduction valve 94b and the purge gas outlet valve 12b are alternately opened and closed while the low pressure valve 11b and the high pressure valve 93b are kept open, and the container valve 91b reaches the junction valve 13a of the sub cabinet B1. This is performed by repeatedly introducing the purge gas and evacuating the entire material gas passage. Furthermore, after performing the same low-pressure airtight test and high-pressure airtight test as described above, the inside of the material gas passage is replaced with the material gas by alternately opening and closing the container valve 91b and the purge gas outlet valve 12b.
[0037]
Finally, by opening the junction valve 13a, the sub cabinet B1 and the sub cabinet B2 are connected, and the material gas can be supplied by the three gas containers C1, C2, and C3. By adding the sub-cabinet B2 in this way, it is possible to easily cope with an increase in material gas consumption. Further, the expansion after the third sub-cabinet can be performed in the same manner. By setting the supply sequence of the material gas from each gas container according to the situation of the use destination, the supply of the material gas in each cabinet can be performed. The gas container can be replaced at a predetermined timing. When two or more sub-cabinets are connected, the material gas can be set to be supplied simultaneously from two or more gas containers.
[0038]
Conversely, when removing the sub-cabinet B2, the merging valve 13a of the sub-cabinet B1 is closed, and then the evacuation to the material gas passage path between the container valve 91b and the merging valve 13a and the introduction of the purge gas are repeated. By discharging the material gas remaining in the material gas passage path, it is possible to safely remove each connection path.
[0039]
As described above, the material gas confluence valve 13, the purge gas gas confluence portion 14 and the purge gas branch valve 35 are provided so that the number of sub cabinets can be increased / decreased by connecting the gas paths. The sub-cabinet can be connected, and an arbitrary number of gas containers can be installed in accordance with the amount of material gas used at the destination. Moreover, the sub-cabinet can be attached and detached while the supply of material gas from the existing main cabinet or sub-cabinet is continued, so that the supply of material gas can be performed as in the case of expansion of a conventional cylinder cabinet. There is no need to stop, and expansion and removal can be performed easily and in a short time.
[0040]
The pressure reducing valve 96 can be either a secondary pressure fixed type (preset pressure reducing valve) or a secondary pressure variable type, and the merging valve 13 and the purge gas branch valve 35 are not limited to three-way valves. A valve having an arbitrary structure may be combined as necessary, and an appropriate valve may be used for the gas junction 14. Moreover, it can replace with the ejector 82 and a vacuum pump can also be used. Moreover, the position of the valve provided in each path is also arbitrary.
[0041]
【The invention's effect】
As described above, according to the gas supply facility of the present invention, since the cabinet storing the gas container can be increased or decreased by one unit, the gas container can be easily and at low cost according to the situation of the user. The number can be increased or decreased.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a system diagram showing an example of a gas supply facility according to the present invention.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Material gas supply path, 1a, 1b ... Gas supply connection path, 2a ... Purge gas introduction path, 2b ... High pressure gas introduction path, 2c, 2d ... Purge gas introduction connection path, 3 ... Switching valve block, 5 ... Purge gas extraction Path 5a, 5b... Purge gas outlet connection path 5d pressure sensor 6 drive gas introduction path 7 material gas supply valve block 8 purge gas suction valve block 9, 9a 9b high pressure valve block 10 , 10a, 10b ... low pressure valve block, 11, 11a, 11b ... low pressure valve, 12, 12a, 12b ... purge gas outlet valve, 13, 13a, 13b ... merging valve, 14, 14a, 14b ... gas merging section, 35, 35a , 35b ... purge gas branch valve, 82 ... ejector, 90 ... valve block, 91, 91a, 91b ... container valve, 92, 92a, 92b ... container valve contact , 93, 93a, 93b ... high pressure valve, 94, 94a, 94b ... purge gas introduction valve, 95, 95a, 95b ... pressure sensor, 96, 96a, 96b ... pressure reducing valve, 97, 97a, 97b ... low pressure path, A ... Main cabinet, B1, B2 ... Sub cabinet, C1, C2, C3 ... Gas container

Claims

It consists of a main cabinet and sub-cabinets that are sequentially connected to the main cabinet,
The main cabinet uses a gas container storage unit and high-pressure gas in the gas container from a container valve provided in the gas container via a high-pressure valve, a pressure-reducing valve, a low-pressure valve, and a branch path connecting part for gas supply. A gas supply path to be sent out first, a purge gas introduction path for introducing purge gas into a high-pressure path between the container valve and the high-pressure valve via a branch path connecting portion for introducing purge gas and a purge gas introduction valve, and the pressure reducing valve A purge gas deriving path for deriving the purge gas from the low pressure path between the low pressure valve and the purge gas via the purge gas deriving valve and the branch path connecting portion for deriving the purge gas;
The sub-cabinet sends the high-pressure gas in the gas container storage unit and the gas container from the container valve provided in the gas container through the high-pressure valve, the pressure-reducing valve, the low-pressure valve, and the branch path connecting part for gas supply. A gas supply path, a purge gas introduction path for introducing purge gas into the high pressure path between the container valve and the high pressure valve via the branch path connecting portion and the purge gas introduction valve, and the pressure reducing valve and the low pressure valve. A purge gas deriving path for deriving the purge gas from the low pressure path between the purge gas deriving valve and the branch path connecting part for deriving the purge gas,
The main cabinet and sub-cabinet are connected by connecting the main cabinet gas supply branch path connection and the sub-cabinet gas supply branch path connection via the gas supply connection path. The branch path connection for introduction and the branch path connection for purge gas introduction in the sub cabinet are connected via the purge gas introduction connection path, and the branch path connection for leading out the purge gas in the main cabinet and the purge gas in the sub cabinet are derived. Are connected to the branch path connection part via the purge gas connection path,
The sub-cabinet and the next-stage sub-cabinet are connected by connecting the sub-cabinet gas supply branch path connection section and the next-stage sub-cabinet gas supply branch path connection section via the gas supply connection path. The branch path connecting part for introducing the purge gas in the sub cabinet and the branch path connecting part for introducing the purge gas in the sub cabinet of the next stage are connected via the connecting path for introducing the purge gas, and the branch path for extracting the purge gas in the sub cabinet. Connecting the connecting portion and the branch path connecting portion for deriving the purge gas of the sub cabinet of the next stage through the connecting path for deriving the purge gas,
Gas supply connection path and purge gas introduction connection path for the next sub-cabinet in the branch path connection part for gas supply, the branch path connection part for introducing purge gas, and the branch path connection part for deriving purge gas And a gas supply facility characterized by having a closing means at each connection portion with the purge gas outlet connection path .

The gas supply branch path connecting portion is a confluence valve composed of a three-way valve, the purge gas introducing branch path connecting portion is a purge gas branch valve consisting of an automatic three-way valve, and the purge gas outlet branch path connection The gas supply facility according to claim 1, wherein the portion is a gas merging portion made of cheese .