JP3619672B2 - Multi-beam scanning device - Google Patents
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Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
この発明はマルチビーム走査装置に関する。この発明は、デジタル複写装置、ファクシミリやレーザプリンタにおける光走査装置に利用できる。
【0002】
【従来の技術】
デジタル複写装置等に関連して広く知られた光走査装置は一般に、光源を第1光学系でカップリングし、第1光学系からのビームを主走査方向(光源から被走査面における光路の屈曲を無視して、被走査面上における主走査方向と対応する方向を言う、副走査方向についても同様である)に長く略線状に集光し、この線状の集光部の近傍に偏向反射面を有する偏向器で偏向させ、偏向器による偏向ビームを第3光学系により被走査面上に集光させて被走査面の走査を行うようになっている。
近来、光走査の高速化を目して、被走査面を複数ビームで同時に走査するマルチビーム走査装置の実用化が意図されている。
マルチビーム走査装置では複数の光源が用いられるが、これら複数の光源からの複数ビームを被走査面上で近接して集光させるために、偏光を利用したビーム合成部品を用いて複数ビームを合成することが提案されている(例えば、特開平8−304722号公報)。
これに対し、偏光を利用した高価なビーム合成部品を用いることなくマルチビーム走査を可能にしたものとして、複数のビームに偏向回転面内(偏向反射面の回転軸に直交する平面)で「開き角(上記複数ビームを偏向回転面に射影したときの各ビームの射影のなす角)」を持たせる方式のマルチビーム走査装置が提案された(特開平9−146024号公報)。
しかし、この場合、「偏向反射面とその回転軸が一定距離離れている偏向器」を用いると、開き角を有する複数のビームで「サグ量(各ビームの線状の集光部と偏向反射面とが、偏向反射面の回転に伴いずれる、ずれ量)」が異なるので、全てのビームについて良好な光学特性(ビームスポット径、等速性等)を得るには、ビームごとにサグ量が異なるという事実に立脚した光学設計が必要になる。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
この発明は、偏光を利用した高価なビーム合成部品を用いずに複数ビームで被走査面を走査でき、なおかつ、全てのビームについて、ビームスポット径、等速性等の光学特性を良好にできる、高速化・高画質化に対応可能なマルチビーム走査装置の実現を課題とする。
【0004】
【課題を解決するための手段】
この発明のマルチビーム走査装置は、複数の光源と、複数の第1光学系と、第2光学系と、偏向器と、第3光学系とを有する。
【0005】
「複数の光源」は、光走査用のビームをそれぞれ独立して放射する。これら光源としては半導体レーザ(LD)が好適である。
「第1光学系」は、これら複数の光源をそれぞれカップリングする。第1光学系は各光源に応じて設けられる。カップリングされたビームは「平行ビーム」となってもよいし「弱い収束ビームもしくは弱い発散ビーム」となってもよい。
「第2光学系」は、各第一光学系からのビームを主走査方向に長く略線状に集光させる光学系であり、シリンダレンズや凹シリンダミラーを好適に利用することができる。この第2光学系は、各光源からのビームごとに、即ち、光源と同数設けても良いが、複数光源に共通して配備してもよい。
「偏向器」は、略線状の集光部の近傍に偏向反射面を有し、第2光学系からの複数ビームを等角速度的に偏向するが、偏向反射面とその回転軸が一定距離離れている。即ち、偏向器は、複数の光源からの各ビームに共通して用いられ、複数の光源からのビームは、共通の偏向反射面により偏向される。かかる偏向器としては、回転多面鏡や回転2面鏡を好適に用いることができるが、偏向反射面とその回転軸の離れた「回転単面鏡」を用いることもできる。
「第3光学系」は、偏向器により偏向された複数の偏向ビームを被走査面に向けて集光させ、被走査面を略等速的に走査する走査結像素子を含む。
第3光学系は、偏向ビームの光路を屈曲させる折り返しミラー等の光学素子を含むことができる。
「走査結像光学系」は1以上のレンズ、あるいは1以上の結像ミラーにより構成することができ、更には1以上のレンズと1以上の結像ミラーの複合系として構成することもできる。
上記第2光学系からの複数のビームは、走査結像素子の外側の主走査方向における同じ側から偏向反射面に向かい、第2光学系からの複数のビームのうち少なくとも2つは偏向回転面内で開き角を有する。「開き角」は、上記2つのビームを「偏向回転面内に射影した状態」において「各ビームが偏向反射面の側から第2光学系の側へ向かって開くようになす角」を言う。
【0006】
上記の如き構成において「偏向器による複数の偏向ビームの主光線が被走査面上の走査ラインと直交するときの該各主光線を基準線とするとき、第3光学系の少なくとも1つの走査光学素子の光軸が上記全ての基準線からみて、主走査方向において、偏向反射面に向かうビーム側にシフトして配備される」ことができる。「基準線」は、偏向器により偏向された任意のビームの主光線をそのまま、走査結像光学系により屈折させることなく被走査面に導いたとすれば、被走査面上で走査ライン(当該ビームにより走査される線)に直交するであろう状態における主光線を、装置空間に固定したものであって、一般には各ビームごとに異なり、偏向回転面内への射影は互いに平行である。
この場合において、第3光学系の、少なくとも1つの走査光学素子を基準線に対して、チルト(偏向回転面内で基準線に対して傾けることを言う)して配備されることができる。即ち、走査結像光学系はシフトとチルトを受けることができる。シフト・チルトはいずれも、走査結像光学系のサグによる性能劣化を回復させる有効な手段である。
請求項1記載のマルチビーム走査装置は、以下の如き特徴を有する。
即ち、上記複数の光源によるビームのうちの1つのビームの、両最周辺像高での副走査方向結像位置(両最周辺像高での副走査方向の像面湾曲量を言う、以下同様)を、S1(+),S1(-)、上記以外の1つの光源によるビームの両最周辺像高での副走査方向結像位置をS2(+),S2(-)とするとき、これらが条件:
(1) (S1(+)-S1(-))×(S2(+)-S2(-))<0
を満足する。
請求項2記載のマルチビーム走査装置は、以下の如き特徴を有する。
即ち、上記複数の光源によるビームのうちの1つのビームの両最周辺像高での主走査方向結像位置(両最周辺像高における主走査方向の像面湾曲量をいう。以下同様)を、M1(+),M1(-)、上記以外の1つの光源によるビームの両最周辺像高での主走査方向結像位置をM2(+),M2(-)とするとき、これらが条件:
(2) (M1(+)-M1(-))×(M2(+)-M2(-))<0
を満足する。
請求項3記載のマルチビーム走査装置は、以下の如き特徴を有する。
即ち、上記複数の光源によるビームのうちの1つのビームの両最周辺像高での主走査方向結像位置をM1(+),M1(-)、副走査方向結像位置をS1(+),S1(-)、上記以外の1つの光源によるビームの両最周辺像高での主走査方向結像位置をM2(+),M2(-)、副走査方向結像位置をS2(+),S2(-)とするとき、これらが条件:
(1) (S1(+)-S1(-))×(S2(+)-S2(-))<0
(2) (M1(+)-M1(-))×(M2(+)-M2(-))<0
を共に満足する。
請求項4記載のマルチビーム走査装置は、上記請求項1ないし3の任意の1に記載のマルチビーム走査装置において、偏向回転面内に射影した場合、少なくとも2つのビームが偏向面以後で交差することを特徴とする。
なお、シフトやチルトを行わない場合でも、走査結像素子の屈折面や反射面を主走査方向および/または副走査方向において、光軸に関して非対称な形状とすることにより、上記の条件(1)および/または(2)を満足させるようにすることができる。
【0007】
【発明の実施の形態】
図1に示す実施の形態において、「複数の光源」であるLD1、LD2から出射された各ビームは、それぞれ「第1光学系」をなすカップリングレンズ3,4によりカップリングされ、「第2光学系」をなすシリンダレンズ5,6により、それぞれが偏向反射面7の近傍で主走査方向に長い略線状に結像する。
2ビームとも、同一の偏向器の共通の偏向反射面7により反射されて等角速度的に偏向され、「第3光学系の走査結像光学系」をなす走査レンズ11、12により被走査面20近傍にビームを結像させ、被走査面20上に形成されるビームスポットにより被走査面20を略等速に走査する。各ビームスポットは被走査面上において副走査方向に所定の間隔をなす。従って、該間隔で離れた2本の走査ラインが同時に走査される。このとき、第2光学系であるシリンダレンズ5,6を出射した2ビームは偏向回転面(図1の図面に平行な面)内で開き角:γを有し、偏向器の偏向反射面7とその回転軸7Aは一定距離離れている。
【0008】
【実施例】
上記実施の形態に関する具体的な実施例を説明する。
【0009】
実施例1
図1に示す構成において、LD1、LD2から出射するビームをそれぞれビーム1、ビーム2とする。ビーム1と基準線L1(ビーム1の主光線が被走査面20上の走査ラインと直交するときの線)のなす角は60度、ビーム2と基準線L2(ビーム1の主光線が被走査面20上の走査ラインと直交するときの線)のなす角は64.3度に設定されている。従って、ビーム1,2の開き角:γは4.3度である。ビーム1、2ともカップリングレンズ3,4により「平行ビーム」とされている。偏向器は偏向反射面を6面有する「回転多面鏡」であり、回転軸7Aから偏向反射面7までの距離は18mmである。
ビーム1が偏向反射面7により反射されて、その主光線が基準線L1に合致するときの「ビーム1の偏向反射面7への入射角」は30度、ビーム2が偏向反射面7により反射されて、その主光線が基準線L2に合致するときの「ビーム2の偏向反射面7への入射角」は32.15度であり、勿論、基準線L1,L2は、偏向回転面(図1に示された面)への射影が互いに平行である。
【0010】
第2光学系のシリンダレンズ5,6は同じもので、下記のデータを有する。
第1面(入射側面)副走査方向の曲率半径:R(シリンダ面):48mm
第2面:平面
中心肉厚:3mm
使用波長での屈折率=1.51118 。
【0011】
第3光学系の走査レンズ11は両面とも「共軸非球面」であり、光軸方向の座標をX、頂点からの距離をr、近軸曲率半径をRN、円錐定数をKN、高次の係数をRNA4、RNA6、RNA8、RNA10、…(Nは、入射側面に就きN=1、射出側面に就きN=2)として、
X=r2/[RN+RN・√{1−(1+KN)r2/RN2}]+RNA4・r4+RNA6・r6+RNA8・r8+RNA10・r10
で表すことができる。走査レンズ11の材質の使用波長での屈折率をN、中心肉厚をDとすると、上記非球面形状および屈折率・中心肉厚のデータは以下の通りである。
R1 −264.0
K1 2.449
R1A4 2.594E−07
R1A6 1.256E−11
R1A8 −2.416E−13
R1A10 4.910E−17
D 23.3
N 1.52441
R2 −61.3
K2 −0.0213
R2A4 5.949E−07
R2A6 1.120E−12
R2A8 2.452E−14
R2A10 −3.969E−17
上の表記において、例えば「E−17」は、10 ̄17を意味し、この数値が、直前の数値にかかるのである。以下、同様である。
【0012】
第3光学系の走査レンズ12は、両面とも主走査方向に「非円弧形状」である。該非円弧形状は、光軸方向の座標をX、主走査方向の座標をY、近軸曲率半径をRmn、円錐定数をKmn、高次の係数をan、bn、cn、dn、…(nは、入射側面につきn=1、射出側面につきn=2)として以下のように表現できる。
X=Y2/[Rmn+Rmn・√{1−(1+Kmn)Y2/Rmn2}]+an・Y4+bn・Y6+cn・Y8+dn・Y10
走査レンズ12の材質の使用波長での屈折率をN、中心肉厚をDとすると、上記非球面形状および屈折率・中心肉厚のデータは以下の通りである。
Rm1 −340.0
Km1 −62.03
a1 −1.047E−08
b1 −9.302E−12
c1 −1.271E−15
d1 1.863E−19
D 3.5
N 1.52441
Rm2 −680.0
Km2 19.12
a2 −1.314E−07
b2 −2.256E−12
c2 1.004E−16
d2 −2.522E−20 。
【0013】
走査レンズ12の、副走査曲率半径(副走査方向に平行な断面内の曲率半径):rns(Y)(nは、入射側面に就きn=1、射出側面につきn=2)は、主走査方向の座標:Yに応じて、
rns(Y)=RnS+en・Y2+fn・Y4+gn・Y6+hn・Y8+in・Y10+jn・Y12
(RnSはY=0での曲率半径)で表すことができ、以下のデータで特定される。
【0014】
R1S=−32.01
e1=1.385E−03,f1=−4.354E−07,g1=2.324E−11,h1=3.250E−15,i1=−2.023E−19, j1=−6.203E−23
R2S=−16.97
e2=f2=g2=・・・=0 。
【0015】
基準線L1の偏向反射面での反射点と走査レンズ11の第1面との距離:44.4mm、走査レンズ11の第2面と走査レンズ12第1面との距離:50.4mm、走査レンズ12の第2面と被走査面との距離:107.1mmである。
また、偏向器による反射ビームの主光線が基準線(L1、L2)と一致するときのビーム1のシリンダレンズから偏向反射面までの距離:91.92mm、ビーム2のシリンダレンズから偏向反射面までの距離:91.66mmである。
ビーム1が基準線L1と一致するときの、偏向反射面上での2ビームの距離は0.62mmであり、偏向回転面に2ビームを射影すると偏向反射面以後においてビーム1,2が交差する。これにより、被走査面上で2ビームが走査できる範囲の重なり部分を大きくでき、偏向反射面が小さくても広い範囲の走査が可能になる(請求項4)。
【0016】
図1に示すように、基準線L1から走査レンズ11の第1面頂点までの距離をΔ1、基準線L2から走査レンズ11の第1面頂点までの距離をΔ2、基準線L1から走査レンズ12の第1面頂点までの距離をΔ1’、基準線L2から走査レンズ12の第1面頂点までの距離をΔ2’(全て、偏向器への入射ビーム側,即ち、図1の上方をプラス方向とする)とすると、Δ1=1.00mm,Δ2=0.45mm,Δ1’=0.90mm,Δ2’=0.35mmとなり、請求項1における「シフトの条件」を満足している。チルト量:α、βは共に0であり、走査レンズ11、12の光軸は互いに平行である。
【0017】
図2に示すように、偏向反射面7とその回転軸7Aが一致していない場合、周辺に向かうビームの反射点は中心に向かうビームの反射点:Cに対して、入射ビーム側(図の上方)にずれる。従って、第3光学系の走査レンズの少なくとも1つは全ての基準線に対して入射ビーム側にシフトしないと光学特性が劣化する。 実施例1の2ビームに関する主・副走査方向の像面湾曲及び等速性(理想像高からのずれ量×100/理想像向(%))を図3に示す。これらは全て良好に補正されている。
実施例1において、S1(+)=0.01,S1(-)=0.11,S2(+)=0.57,S2(-)=-0.37で、
(S1(+)-S1(-))×(S2(+)-S2(-))=-0.094 < 0
となり、条件式(1)を満足する(請求項1)。
また、M1(+)=0.16,M1(-)=0.06,M2(+)=-0.14,M2(-)=0.11で、
(M1(+)-M1(-))×(M2(+)-M2(-))=-0.025 < 0
となり、条件式(2)を満足する(請求項2)。
即ち、実施例1では、条件式(1),(2)ともに満足され、主・副走査方向とも良好な結像性能が得られる(請求項3)。
ビーム1,2が「開き角」を持って偏向器に入射しているため、ビーム1とビーム2とでサグ量が異なり、結像性能が異なる。従って、条件式(1),(2)を満足しないと、一方のビームに対して良好な結像性能を持たせることができても、他方のビームに対しては良好な結像性能を持たせることができない。条件式(1),(2)を満足することにより、バランスのとれた設計が可能となる。
【0018】
比較例1
実施例1に対する比較例として、実施例1に対し下記の変更を行う。
【0019】
Δ1=0.00mm,Δ2=−0.55mm,Δ1’=0.00mm,Δ2’=−0.55mm
このとき、走査レンズ11は基準線L1に対してシフトがないため、請求項1における「第3光学系の少なくとも1つの走査光学素子の光軸が上記全ての基準線からみて、偏向反射面に向かうビーム側にシフトして配備される」との条件を満足しない。このときのビーム1,2に関する像面湾曲および等速性は、図4に示すごとくであり、ビーム1,2とも特に副走査の像面湾曲が劣化している。
また、S1(+)=0.92,S1(−)=−0.73,S2(+)=1.37,S2(−)=−1.21であって、
(S1(+)−S1(−))×(S2(+)−S2(−))=4.257 > 0 、
M1(+)=−0.26,M1(−)=0.21,M2(+)=−0.79,M2(−)=0.19であって、
(M1(+)−M1(−))×(M2(+)−M2(−))=0.461 >0
となり、条件式(1),(2)のいずれも満足されない。
【0020】
実施例2
実施例1に対し下記の変更を行った。
【0021】
Δ1=0.80mm,Δ2=0.25mm,Δ1’=0.80mm,Δ2’=0.25mm。即ち、請求項1に於けるシフトの条件は満たされている。
基準線L1、L2に対する走査レンズ11のチルト量をα、基準線L1、L2に対する走査レンズ12のチルト量をα’(反時計まわりを正)とすると、
α=−0.07度 ,α’=0.40度
即ち、走査レンズ11,12とも基準線L1,L2に対しチルトされている。シフトとともにチルトを与えることにより、設計の自由度が増し、条件式(1),(2)の条件を満たすことができ、良好な光学特性が得られる。
【0022】
実施例2の2ビームの主走査、副走査の像面湾曲及び等速性を図5に示す。何れも良好に補正されている。
また、S1(+)=−0.06,S1(−)=0.26,S2(+)=0.40,S2(−)=−0.22であって、
(S1(+)−S1(−))×(S2(+)−S2(−))=−0.20 < 0
M1(+)=0.12,M1(−)=0.09,M2(+)=−0.20,M2(−)=0.14であって、
(M1(+)−M1(−))×(M2(+)−M2(−))=−0.01 < 0
となり条件式(1),(2)とも満足する。
【0023】
実施例3
実施例1に対し下記の変更を行った。
偏向反射面7による反射ビームの主光線が基準線L1、L2と一致するときのビーム1のシリンダレンズ3から偏向反射面7までの距離:91.92mm、ビーム2のシリンダレンズ4から偏向反射面7までの距離:91.88mm。
ビーム1が基準線L1と一致するとき、偏向反射面7上での2ビームの距離は0.0mmで、偏向回転面に2ビームを射影すると偏向反射面上で交差する。
Δ1=0.80mm,Δ2=0.75mm,Δ1’=0.80mm,Δ2’=0.75mmで、請求項1における「第3光学系の少なくとも1つの走査光学素子の光軸が上記全ての基準線からみて、偏向反射面に向かうビーム側にシフトして配備される」との条件を満足する。
【0024】
チルト量:α=−0.061度,α’=0.35度である。
実施例3の2ビーム1,2に関する主・副走査方向の像面湾曲及び等速性を図6に示す。これらは何れも良好に補正されている。また、
S1(+)=−0.02,S1(−)=0.22,S2(+)=0.56,S2(−)=−0.12であり、
(S1(+)−S1(−))×(S2(+)−S2(−))=−0.16 < 0
M1(+)=0.11,M1(−)=0.10,M2(+)=0.03,M2(−)=0.04であり、
(M1(+)−M1(−))×(M2(+)−M2(−))=−0.001 < 0
となり条件式(1),(2)とも満足する。
上には光源としてLD1,LD2の2つを用い、2ビームによる同時走査の実施の形態を説明したが、3以上の光源を用いることができることは言うまでもない。3以上の光源を用いる場合、各光源からのビームを偏向回転面に射影した状態で、2以上のビームの主光線が互いに重なりあうようにすることができる。
【0025】
【発明の効果】
以上に説明したように、この発明によれば新規なマルチビーム走査装置を実現できる。
【0026】
この発明のマルチビーム走査装置は、偏光ビームスプリッタ等の高価なビーム合成手段を必要とせず、少ない部品点数で安価に実現でき、各光源からのビームに対して、像面湾曲や等速性等の特性を良好にすることができる。
【0027】
請求項1〜3記載の発明によれば、条件(1)および/または(2)を満足させることにより、低コストに少ない部品点数で、複数のビームについて、副走査方向および/または主走査方向の良好な像面湾曲特性(小径で安定した副走査ビームスポット径)が得られる。
また、請求項4記載の発明によれば、光源側からの複数ビームの偏向回転面内への射影で、少なくとも2つのビームが偏向面以後で交差することにより、被走査面上で2ビームが走査できる範囲の重なり部分を大きくでき、偏向反射面が小さくても広い範囲の走査が可能になる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明のマルチビーム走査装置の実施の1形態を説明するための図である。
【図2】第3光学系の走査結像素子のシフトの意義を説明するための図である。
【図3】実施例1のビーム1および2に関する像面湾曲と等速性を示す図である。
【図4】比較例1のビーム1および2に関する像面湾曲と等速性を示す図である。
【図5】実施例2のビーム1および2に関する像面湾曲と等速性を示す図である。
【図6】実施例3のビーム1および2に関する像面湾曲と等速性を示す図である。
【符号の説明】
1,2 光源であるLD(半導体レーザ)
3,4 第1光学系であるカップリングレンズ
5,6 第2光学系であるシリンダレンズ
7 偏向反射面
7A 偏向器の回転軸
11,12 第3光学系の走査結像素子をなす走査レンズ
L1,L2 基準線
Δ1,Δ2,Δ1’,Δ2’ シフト量[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a multi-beam scanning device. The present invention can be used for an optical scanning device in a digital copying apparatus, a facsimile, or a laser printer.
[0002]
[Prior art]
In general, an optical scanning apparatus widely known in connection with a digital copying apparatus or the like generally couples a light source with a first optical system, and transmits a beam from the first optical system in the main scanning direction (bending of the optical path from the light source to the scanned surface). Is ignored, and the direction corresponding to the main scanning direction on the surface to be scanned is the same as the sub-scanning direction). The deflected beam is deflected by a deflector having a reflecting surface, and the deflected beam by the deflector is condensed on the scanned surface by the third optical system to scan the scanned surface.
Recently, with the aim of speeding up optical scanning, a multi-beam scanning apparatus that simultaneously scans a surface to be scanned with a plurality of beams has been intended.
Multiple beam scanning devices use multiple light sources, but in order to condense multiple beams from these multiple light sources close to each other on the scanned surface, multiple beams are combined using a beam combining component that uses polarized light. It has been proposed (for example, JP-A-8-304722).
On the other hand, multi-beam scanning is possible without using expensive beam combining parts using polarized light, and multiple beams are opened in the deflection rotation plane (a plane perpendicular to the rotation axis of the deflection reflection plane). There has been proposed a multi-beam scanning device having an angle (angle formed by projection of each beam when the plurality of beams are projected onto a deflection rotation surface) (Japanese Patent Laid-Open No. 9-146024).
However, in this case, using a “deflector whose deflection reflecting surface and its rotation axis are separated from each other by a certain distance”, a plurality of beams having an opening angle can be used for “sag amount (linear condensing portion of each beam and deflection reflection). The amount of sag is different for each beam in order to obtain good optical characteristics (beam spot diameter, constant velocity, etc.) for all beams. An optical design based on the fact that they are different is necessary.
[0003]
[Problems to be solved by the invention]
The present invention can scan the surface to be scanned with a plurality of beams without using an expensive beam combining component using polarized light, and can improve the optical characteristics such as the beam spot diameter and constant velocity for all the beams. The objective is to realize a multi-beam scanning device that can handle high speed and high image quality.
[0004]
[Means for Solving the Problems]
The multi-beam scanning device of the present invention includes a plurality of light sources, a plurality of first optical systems, a second optical system, a deflector, and a third optical system.
[0005]
The “plurality of light sources” individually emit beams for optical scanning. A semiconductor laser (LD) is suitable as these light sources.
The “first optical system” couples the plurality of light sources. The first optical system is provided according to each light source. The coupled beam may be a “parallel beam” or a “weakly convergent beam or a weakly divergent beam”.
The “second optical system” is an optical system that condenses the beam from each first optical system in a substantially linear shape that is long in the main scanning direction, and a cylinder lens or a concave cylinder mirror can be preferably used. The second optical system may be provided for each beam from each light source, that is, the same number as the light sources, but may be provided in common for a plurality of light sources.
The “deflector” has a deflecting reflection surface in the vicinity of the substantially linear condensing unit, and deflects a plurality of beams from the second optical system at an equiangular velocity, but the deflection reflecting surface and its rotation axis are at a constant distance. is seperated. That is, the deflector is used in common for each beam from a plurality of light sources, and the beams from the plurality of light sources are deflected by a common deflection reflection surface. As such a deflector, a rotary polygon mirror or a rotary dihedral mirror can be suitably used, but a “rotary single mirror” having a deflecting reflection surface and a rotation axis thereof separated from each other can also be used.
The “third optical system” includes a scanning imaging element that collects a plurality of deflected beams deflected by the deflector toward the surface to be scanned and scans the surface to be scanned at substantially constant speed.
The third optical system can include an optical element such as a folding mirror that bends the optical path of the deflected beam.
The “scanning imaging optical system” can be constituted by one or more lenses or one or more imaging mirrors, and can also be constituted as a composite system of one or more lenses and one or more imaging mirrors.
The plurality of beams from the second optical system are directed to the deflection reflection surface from the same side in the main scanning direction outside the scanning imaging element, and at least two of the plurality of beams from the second optical system are deflection rotation surfaces. Has an opening angle inside. The “open angle” refers to an “angle that allows each beam to open from the deflection reflection surface side toward the second optical system side” in the “state in which the two beams are projected into the deflection rotation surface”.
[0006]
In the above-described configuration, “when the principal rays of the plurality of deflected beams by the deflector are orthogonal to the scanning lines on the surface to be scanned, the principal rays are used as reference lines, and at least one scanning optical of the third optical system is used. The optical axis of the element can be arranged so as to be shifted to the beam side toward the deflecting reflection surface in the main scanning direction when viewed from all the reference lines . If the principal ray of an arbitrary beam deflected by the deflector is directly guided to the scanned surface without being refracted by the scanning imaging optical system, the “reference line” is the scanning line (the beam) on the scanned surface. The principal ray in a state that will be orthogonal to the scanning line) is fixed in the device space, and is generally different for each beam, and the projections into the deflection rotation plane are parallel to each other.
In this case , at least one scanning optical element of the third optical system can be provided with being tilted (referred to as being tilted with respect to the reference line in the deflection rotation plane) with respect to the reference line . That is, the scanning imaging optical system can undergo shift and tilt. Both shift and tilt are effective means for recovering the performance degradation due to the sag of the scanning imaging optical system.
The multi-beam scanning device according to
That is, the sub-scanning direction image formation position at both the most peripheral image heights of one of the beams from the plurality of light sources (refers to the amount of field curvature in the sub-scanning direction at both the most peripheral image heights, and so on) ) Is S1 (+), S1 (-), and S2 (+), S2 (-) are the sub-scanning direction imaging positions at the two most peripheral image heights of the beam from one light source other than the above. Is the condition:
(1) (S1 (+)-S1 (-)) x (S2 (+)-S2 (-)) <0
Satisfied.
The multi-beam scanning device according to
That is, the main scanning direction imaging position at both the most peripheral image heights of one of the beams from the plurality of light sources (refers to the amount of field curvature in the main scanning direction at both the most peripheral image heights; the same applies hereinafter). , M1 (+), M1 (-), and M2 (+), M2 (-) as the main scanning direction imaging positions at the two most peripheral image heights of the beam from one light source other than the above. :
(2) (M1 (+)-M1 (-)) x (M2 (+)-M2 (-)) <0
Satisfied.
The multi-beam scanning device according to
That is, M1 (+) and M1 (-) are the main scanning direction imaging positions at both the most peripheral image heights of one of the beams from the plurality of light sources, and S1 (+) is the sub-scanning imaging position. , S1 (-), M2 (+), M2 (-) at the most peripheral image height of the beam from one light source other than the above, M2 (-), and S2 (+) , S2 (-), these are the conditions:
(1) (S1 (+)-S1 (-)) x (S2 (+)-S2 (-)) <0
(2) (M1 (+)-M1 (-)) x (M2 (+)-M2 (-)) <0
Satisfy both.
The multi-beam scanning device according to
Even when the shift and tilt are not performed, the above condition (1) is obtained by making the refracting surface and the reflecting surface of the scanning imaging element asymmetric with respect to the optical axis in the main scanning direction and / or the sub-scanning direction. And / or (2) may be satisfied.
[0007]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
In the embodiment shown in FIG. 1, the beams emitted from the LD1 and LD2 which are “a plurality of light sources” are coupled by the
Both of the two beams are reflected by the common deflecting / reflecting
[0008]
【Example】
Specific examples relating to the above embodiment will be described.
[0009]
Example 1
In the configuration shown in FIG. 1, beams emitted from LD1 and LD2 are referred to as
When the
[0010]
The cylinder lenses 5 and 6 of the second optical system are the same and have the following data.
First surface (incident side) radius of curvature in the sub-scanning direction: R (cylinder surface): 48 mm
2nd surface: Plane center wall thickness: 3mm
Refractive index at working wavelength = 1.511118.
[0011]
The scanning lens 11 of the third optical system is “coaxial aspheric surface” on both sides, the coordinate in the optical axis direction is X, the distance from the apex is r, the paraxial radius of curvature is RN, the conic constant is KN, and the higher order The coefficients are RNA4, RNA6, RNA8, RNA10,... (N is N = 1 on the incident side, N = 2 on the exit side),
X = r 2 / [RN + RN · √ {1- (1 + KN) r 2 / RN 2 }] + RNA4 · r 4 + RNA6 · r 6 + RNA8 · r 8 + RNA10 · r 10
Can be expressed as Assuming that the refractive index at the used wavelength of the material of the scanning lens 11 is N and the center thickness is D, the data of the aspherical shape and the refractive index / center thickness are as follows.
R1 -264.0
K1 2.449
R1A4 2.594E-07
R1A6 1.256E-11
R1A8 -2.416E-13
R1A10 4.910E-17
D 23.3
N 1.52441
R2-61.3
K2 -0.0213
R2A4 5.949E-07
R2A6 1.120E-12
R2A8 2.452E-14
R2A10-3.969E-17
In notation above, for example, "E-17" refers to 10 17, this number is the according to the immediately preceding value. The same applies hereinafter.
[0012]
The scanning lens 12 of the third optical system is “non-arc-shaped” in both main scanning directions. The non-arc shape is such that the coordinate in the optical axis direction is X, the coordinate in the main scanning direction is Y, the paraxial radius of curvature is Rmn, the conic constant is Kmn, the higher order coefficients are an, bn, cn, dn,. , Where n = 1 for the incident side and n = 2 for the exit side.
X = Y 2 / [Rmn + Rmn · √ {1− (1 + Kmn) Y 2 / Rmn 2 }] + an · Y 4 + bn · Y 6 + cn · Y 8 + dn · Y 10
Assuming that the refractive index at the used wavelength of the material of the scanning lens 12 is N and the center thickness is D, the data of the aspherical shape and the refractive index / center thickness are as follows.
Rm1 -340.0
Km1-62.03
a1 -1.047E-08
b1-9.302E-12
c1-1.271E-15
d1 1.863E-19
D 3.5
N 1.52441
Rm2 -680.0
Km2 19.12
a2-1.314E-07
b2-2.256E-12
c2 1.004E-16
d2-2.522E-20.
[0013]
The scanning lens 12 has a sub-scanning radius of curvature (a radius of curvature in a cross section parallel to the sub-scanning direction): rns (Y) (where n is the incident side and n = 1, and the exit side is n = 2). Depending on the coordinate of the direction: Y,
rns (Y) = RnS + en · Y 2 + fn · Y 4 + gn · Y 6 + hn · Y 8 + in · Y 10 + jn · Y 12
(RnS is a radius of curvature at Y = 0), and is specified by the following data.
[0014]
R1S = -32.01
e1 = 1.385E-03, f1 = −4.354E-07, g1 = 2.324E-11, h1 = 3.250E-15, i1 = −2.023E-19, j1 = −6.203E-23
R2S = -16.97
e2 = f2 = g2 = ... = 0.
[0015]
Distance between the reflection point of the reference line L1 on the deflecting reflection surface and the first surface of the scanning lens 11: 44.4 mm, distance between the second surface of the scanning lens 11 and the first surface of the scanning lens 12: 50.4 mm, scanning The distance between the second surface of the lens 12 and the surface to be scanned is 107.1 mm.
Further, the distance from the cylinder lens of the
When the
[0016]
As shown in FIG. 1, the distance from the reference line L1 to the first surface vertex of the scanning lens 11 is Δ1, the distance from the reference line L2 to the first surface vertex of the scanning lens 11 is Δ2, and the reference line L1 to the scanning lens 12 Δ1 ′ and the distance from the reference line L2 to the first surface vertex of the scanning lens 12 is Δ2 ′ (all on the incident beam side to the deflector, that is, upward in FIG. 1 in the plus direction) Assuming that Δ1 = 1.00 mm, Δ2 = 0.45 mm, Δ1 ′ = 0.90 mm, Δ2 ′ = 0.35 mm, the “shift condition” in
[0017]
As shown in FIG. 2, when the
In Example 1, S1 (+) = 0.01, S1 (−) = 0.11, S2 (+) = 0.57, S2 (−) = − 0.37,
(S1 (+)-S1 (-)) x (S2 (+)-S2 (-)) = -0.094 <0
Thus, conditional expression (1) is satisfied ( claim 1 ).
And M1 (+) = 0.16, M1 (-) = 0.06, M2 (+) =-0.14, M2 (-) = 0.11,
(M1 (+)-M1 (-)) x (M2 (+)-M2 (-)) = -0.025 <0
Thus, the conditional expression (2) is satisfied ( claim 2 ).
That is, in Example 1, the conditional expression (1), (2) both are satisfied, both main and sub-scanning direction good imaging performance can be obtained (Claim 3).
Since the
[0018]
Comparative Example 1
As a comparative example for Example 1, the following changes are made to Example 1.
[0019]
Δ1 = 0.00 mm, Δ2 = −0.55 mm, Δ1 ′ = 0.00 mm, Δ2 ′ = − 0.55 mm
At this time, since the scanning lens 11 is not shifted with respect to the reference line L1, “the optical axis of at least one scanning optical element of the third optical system is on the deflecting reflection surface when viewed from all the reference lines”. It does not satisfy the condition of “deployed by shifting to the beam side”. The field curvature and constant velocity with respect to the
Further, S1 (+) = 0.92, S1 (−) = − 0.73, S2 (+) = 1.37, S2 (−) = − 1.21,
(S1 (+) − S1 (−)) × (S2 (+) − S2 (−)) = 4.257> 0,
M1 (+) = − 0.26, M1 (−) = 0.21, M2 (+) = − 0.79, M2 (−) = 0.19,
(M1 (+) − M1 (−)) × (M2 (+) − M2 (−)) = 0.461> 0
Therefore, neither of the conditional expressions (1) and (2) is satisfied.
[0020]
Example 2
The following changes were made to Example 1.
[0021]
Δ1 = 0.80 mm, Δ2 = 0.25 mm, Δ1 ′ = 0.80 mm, Δ2 ′ = 0.25 mm. That is, the shift condition in
When the tilt amount of the scanning lens 11 with respect to the reference lines L1 and L2 is α, and the tilt amount of the scanning lens 12 with respect to the reference lines L1 and L2 is α ′ (counterclockwise is positive),
α = −0.07 degrees, α ′ = 0.40 degrees That is, the scanning lenses 11 and 12 are also tilted with respect to the reference lines L1 and L2. By providing tilt with shifting, the degree of freedom in design increases, the conditions of the conditional expressions (1) and (2) can be satisfied, and good optical characteristics can be obtained.
[0022]
FIG. 5 shows the field curvature and constant velocity of main scanning and sub-scanning of the two beams according to the second embodiment. Both are corrected well.
S1 (+) = − 0.06, S1 (−) = 0.26, S2 (+) = 0.40, S2 (−) = − 0.22,
(S1 (+) − S1 (−)) × (S2 (+) − S2 (−)) = − 0.20 <0
M1 (+) = 0.12, M1 (−) = 0.09, M2 (+) = − 0.20, M2 (−) = 0.14,
(M1 (+) − M1 (−)) × (M2 (+) − M2 (−))) = − 0.01 <0
Therefore, both conditional expressions (1) and (2) are satisfied.
[0023]
Example 3
The following changes were made to Example 1.
The distance from the
When the
Δ1 = 0.80 mm, Δ2 = 0.75 mm, Δ1 ′ = 0.80 mm, Δ2 ′ = 0.75 mm, and “the optical axis of at least one scanning optical element of the third optical system is all the above-mentioned “It is arranged to be shifted to the beam side toward the deflecting reflecting surface as viewed from the reference line”.
[0024]
Tilt amounts: α = −0.061 degrees and α ′ = 0.35 degrees.
FIG. 6 shows the field curvature and constant velocity in the main and sub-scanning directions for the two
S1 (+) = − 0.02, S1 (−) = 0.22, S2 (+) = 0.56, S2 (−) = − 0.12.
(S1 (+) − S1 (−)) × (S2 (+) − S2 (−)) = − 0.16 <0
M1 (+) = 0.11, M1 (−) = 0.10, M2 (+) = 0.03, M2 (−) = 0.04,
(M1 (+) − M1 (−)) × (M2 (+) − M2 (−)) = − 0.001 <0
Therefore, both conditional expressions (1) and (2) are satisfied.
In the above embodiment, two light sources LD1 and LD2 are used, and an embodiment of simultaneous scanning with two beams has been described. Needless to say, three or more light sources can be used. When three or more light sources are used, the principal rays of the two or more beams can overlap each other in a state in which the beam from each light source is projected onto the deflection rotation surface.
[0025]
【The invention's effect】
As described above, according to the present invention, a novel multi-beam scanning device can be realized.
[0026]
The multi-beam scanning device according to the present invention does not require an expensive beam combining means such as a polarizing beam splitter, and can be realized at a low cost with a small number of parts. The characteristics can be improved.
[0027]
According to the first to third aspects of the present invention, by satisfying the conditions (1) and / or (2), the sub-scanning direction and / or the main scanning direction can be performed for a plurality of beams at a low cost and with a small number of parts. Excellent field curvature characteristics (small diameter and stable sub-scanning beam spot diameter) can be obtained.
According to the fourth aspect of the present invention, when a plurality of beams are projected from the light source side into the deflection rotation surface, at least two beams intersect after the deflection surface, so that two beams are formed on the surface to be scanned. The overlapping portion of the scanning range can be increased, and a wide range of scanning can be performed even if the deflection reflection surface is small.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a diagram for explaining one embodiment of a multi-beam scanning apparatus according to the present invention.
FIG. 2 is a diagram for explaining the significance of the shift of the scanning imaging element of the third optical system.
FIG. 3 is a diagram showing field curvature and constant velocity with respect to
4 is a graph showing curvature of field and constant velocity with respect to
FIG. 5 is a diagram showing field curvature and constant velocity with respect to
6 is a diagram showing field curvature and constant velocity with respect to
[Explanation of symbols]
1, 2 LD (semiconductor laser) as light source
3, 4 Coupling lenses 5 and 6 as the first optical
Claims (4)
これら複数の光源をそれぞれカップリングする複数の第1光学系と、A plurality of first optical systems that respectively couple the plurality of light sources;
該第一光学系からのビームを、主走査方向に長く略線状に集光する第2光学系と、A second optical system for condensing the beam from the first optical system in a substantially linear shape long in the main scanning direction;
上記略線状の集光部の近傍に偏向反射面を有し、上記第2光学系からの複数ビームを等角速度的に偏向し、上記偏向反射面とその回転軸が一定距離離れている偏向器と、Deflection having a deflecting reflecting surface in the vicinity of the substantially linear condensing part, deflecting a plurality of beams from the second optical system at an equiangular velocity, and the deflecting reflecting surface and the rotation axis thereof being separated by a certain distance And
上記偏向された複数の偏向ビームを被走査面に向けて集光させ、被走査面を略等速的に走査する走査結像素子を含む第3光学系とを有し、A third optical system including a scanning imaging element that condenses the deflected deflected beams toward the surface to be scanned and scans the surface to be scanned at a substantially constant speed;
上記第2光学系からの複数のビームは、走査結像素子の外側の主走査方向における同じ側から偏向反射面に向かい、The plurality of beams from the second optical system are directed from the same side in the main scanning direction outside the scanning imaging element toward the deflecting reflection surface,
上記第2光学系からの複数のビームのうち少なくとも2つは偏向回転面内で開き角を有し、At least two of the plurality of beams from the second optical system have an opening angle in the deflection rotation plane,
上記複数の光源によるビームのうちの1つのビームの両最周辺像高での副走査方向結像位置をAn imaging position in the sub-scanning direction at both the most peripheral image heights of one of the beams from the plurality of light sources. S1(+)S1 (+) ,, S1(-)S1 (-) 、上記以外の1つの光源によるビームの両最周辺像高での副走査方向結像位置を, The sub-scanning direction imaging position at the most peripheral image height of the beam by one light source other than the above S2(+)S2 (+) ,, S2(-)S2 (-) とするとき、これらが条件:And when these are the conditions:
(1) (1) (S1(+)-S1(-))(S1 (+)-S1 (-)) ×× (S2(+)-S2(-))(S2 (+)-S2 (-)) << 00
を満足することを特徴とするマルチビーム走査装置。A multi-beam scanning device characterized by satisfying
これら複数の光源をそれぞれカップリングする複数の第1光学系と、A plurality of first optical systems that respectively couple the plurality of light sources;
該第一光学系からのビームを、主走査方向に長く略線状に集光する第2光学系と、A second optical system for condensing the beam from the first optical system in a substantially linear shape long in the main scanning direction;
上記略線状の集光部の近傍に偏向反射面を有し、上記第2光学系からの複数ビームを等角速度的に偏向し、上記偏向反射面とその回転軸が一定距離離れている偏向器と、Deflection having a deflecting reflecting surface in the vicinity of the substantially linear condensing part, deflecting a plurality of beams from the second optical system at an equiangular velocity, and the deflecting reflecting surface and the rotation axis thereof being separated by a certain distance And
上記偏向された複数の偏向ビームを被走査面に向けて集光させ、被走査面を略等速的に走査する走査結像素子を含む第3光学系とを有し、A third optical system including a scanning imaging element that condenses the deflected deflected beams toward the surface to be scanned and scans the surface to be scanned at a substantially constant speed;
上記第2光学系からの複数のビームは、走査結像素子の外側の主走査方向における同じ側から偏向反射面に向かい、The plurality of beams from the second optical system are directed from the same side in the main scanning direction outside the scanning imaging element toward the deflecting reflection surface,
上記第2光学系からの複数のビームのうち少なくとも2つは偏向回転面内で開き角を有し、At least two of the plurality of beams from the second optical system have an opening angle in the deflection rotation plane,
上記複数の光源によるビームのうちの1つのビームの両最周辺像高での主走査方向結像位置をThe imaging position in the main scanning direction at the most peripheral image height of one of the beams from the plurality of light sources. M1(+)M1 (+) ,, M1(-)M1 (-) 、上記以外の1つの光源によるビームの両最周辺像高での主走査方向結像位置を, The imaging position in the main scanning direction at the most peripheral image height of the beam by one light source other than the above M2(+)M2 (+) ,, M2(-)M2 (-) とするとき、これらが条件:And when these are the conditions:
(2) (2) (M1(+)-M1(-))(M1 (+)-M1 (-)) ×× (M2(+)-M2(-))(M2 (+)-M2 (-)) << 00
を満足することを特徴とするマルチビーム走査装置。A multi-beam scanning device characterized by satisfying
これら複数の光源をそれぞれカップリングする複数の第1光学系と、A plurality of first optical systems that respectively couple the plurality of light sources;
該第一光学系からのビームを、主走査方向に長く略線状に集光する第2光学系と、A second optical system for condensing the beam from the first optical system in a substantially linear shape long in the main scanning direction;
上記略線状の集光部の近傍に偏向反射面を有し、上記第2光学系からの複数ビームを等角速度的に偏向し、上記偏向反射面と回転軸が一定距離離れている偏向器と、A deflector having a deflecting / reflecting surface in the vicinity of the substantially linear condensing unit, deflecting a plurality of beams from the second optical system at an equiangular velocity, and having a constant distance between the deflecting / reflecting surface and a rotation axis When,
上記偏向された複数の偏向ビームを被走査面に向けて集光させ、被走査面を略等速的に走査する走査結像素子を含む第3光学系とを有し、A third optical system including a scanning imaging element that condenses the deflected deflected beams toward the surface to be scanned and scans the surface to be scanned at a substantially constant speed;
上記第2光学系からの複数のビームは、走査結像素子の外側の主走査方向における同じ側から偏向反射面に向かい、The plurality of beams from the second optical system are directed from the same side in the main scanning direction outside the scanning imaging element toward the deflecting reflection surface,
上記第2光学系からの複数のビームのうち少なくとも2つは偏向回転面内で開き角を有し、At least two of the plurality of beams from the second optical system have an opening angle in the deflection rotation plane,
上記複数の光源によるビームのうちの1つのビームの両最周辺像高での主走査方向結像位置をThe imaging position in the main scanning direction at the most peripheral image height of one of the beams from the plurality of light sources. M1(+)M1 (+) ,, M1(-)M1 (-) 、副走査方向結像位置を, Sub-scanning direction imaging position S1(+)S1 (+) ,, S1(-)S1 (-) 、上記以外の1つの光源によるビームの両最周辺像高での主走査方向結像位置を, The imaging position in the main scanning direction at the most peripheral image height of the beam by one light source other than the above M2(+)M2 (+) ,, M2(-)M2 (-) 、副走査方向結像位置を, Sub-scanning direction imaging position S2S2 (+),S2(-)(+), S2 (-) とするとき、これらが条件:And when these are the conditions:
(1) (1) (S1(+)-S1(-))(S1 (+)-S1 (-)) ×× (S2(+)-S2(-))(S2 (+)-S2 (-)) << 00
(2) (2) (M1(+)-M1(-))(M1 (+)-M1 (-)) ×× (M2(+)-M2(-))(M2 (+)-M2 (-)) << 00
を共に満足することを特徴とするマルチビーム走査装置。A multi-beam scanning device characterized by satisfying both.
偏向回転面内に射影した場合、少なくとも2つのビームが偏向面以後で交差することを特徴とするマルチビーム走査装置。A multi-beam scanning apparatus characterized in that at least two beams intersect after the deflection surface when projected onto the deflection rotation surface.
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