JP3630499B2

JP3630499B2 - Gas laser electrode

Info

Publication number: JP3630499B2
Application number: JP15580796A
Authority: JP
Inventors: 辺郁男渡; 木節雄鈴; 田悦夫野; 部素久阿; 野隆之芝; 林徳康小; 木延忠青; 健司石戸谷
Original assignee: Toshiba Corp; Central Research Institute of Electric Power Industry; Hokkaido Electric Power Co Inc; Japan Nuclear Fuel Co Ltd; Tohoku Electric Power Co Inc; Kansai Electric Power Co Inc; Tokyo Electric Power Co Inc; Kyushu Electric Power Co Inc; Japan Atomic Power Co Ltd; Chugoku Electric Power Co Inc; Chubu Electric Power Co Inc; Hokuriku Electric Power Co; Shikoku Electric Power Co Inc
Current assignee: Toshiba Corp; Central Research Institute of Electric Power Industry; Hokkaido Electric Power Co Inc; Tohoku Electric Power Co Inc; Kansai Electric Power Co Inc; Kyushu Electric Power Co Inc; Japan Atomic Power Co Ltd; Chugoku Electric Power Co Inc; Chubu Electric Power Co Inc; Hokuriku Electric Power Co; Shikoku Electric Power Co Inc; Global Nuclear Fuel Japan Co Ltd; Tokyo Electric Power Co Holdings Inc
Priority date: 1996-06-17
Filing date: 1996-06-17
Publication date: 2005-03-16
Anticipated expiration: 2016-06-17
Also published as: JPH104230A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は気体レーザ用電極に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
気体レーザ用電極が用いられる気体レーザ装置の一般的な構成を図１８に示す。この気体レーザ装置９０は放電容器９１を有しており、この放電容器９１内の両端部に円筒型の気体レーザ用電極９２が対向配置されている。
【０００３】
また、放電容器９１内には軸方向に延びたレーザ管９４が設けられており、このレーザ管９４の外壁は断熱材９５で被覆されている。そして上記気体レーザ用電極９２は高電圧電源９９に接続されているとともに、レーザ用電極９２の先端部分がレーザ管９４内に入り込むような構成となっている。なお、レーザ管９４内にはレーザ媒質となる銅片９６が配設されている。また、放電容器９１の一端の外側には反射ミラー９７が、他端の外側には出力ミラー９８が設けられている。
【０００４】
次に上記気体レーザ装置９０の動作を説明する。まず放電容器９１の給気ポート９３ａを介して、図示しないガスボンベからバッファガスとしてネオンガスが供給され、排気ポート９３ｂから排出されることにより、放電容器９１内は一定の圧力に保たれている。
【０００５】
このような状態で気体レーザ用電極９２に高電圧電源９９からの高電圧が印加されると、電極９２間でネオン放電が生じる。このネオン放電が継続するとレーザ管９４が加熱されて銅片９６が溶け銅蒸気が発生し、更に加熱を続けると、レーザ媒質である銅原子が励起され、光が発生する。この光が反射ミラー９７と出力ミラー９８との間を往復することにより増幅され出力ミラー９８からレーザ光が発振される。
【０００６】
断熱材９５は熱が外部に逃げることを防ぐのに用いられる。また電極９２の先端がレーザ管９４内に入れられているのは、電極９２の先端付近の温度がなるべく下がらないようにしてレーザ発振に有効な温度領域（例えば約１４５０℃以上の温度領域）が長くなるようにするためである。したがって電極９２は高温となるため、電極材として高融点金属、例えばモリブデンが用いられる。
【０００７】
従来、高融点金属で円筒型の気体レーザ用電極９２を製作する場合は、その加工のし易さとコストの面から金属板をまるめて円筒にし、この円筒を電極としている。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
このように従来の円筒型の気体レーザ用電極９２は高融点金属板をまるめて製作するためにまるめて継いだときの継目に放電が集中し易い。継目に放電が集中すると、電極９２の寿命が短くなるばかりか、レーザ出力の低下や、レーザ出力の不安定性を招くという問題が生じる。
【０００９】
本発明は上記事情を考慮してなされたものであって、放電の集中が起こりにくい気体レーザ用電極を提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
本発明による気体レーザ用電極の第１の態様は、筒形の第１の電極と、この第１の電極の内面との間に円周方向に一様に分散される隙間が形成されるように前記第１の電極の内側に設置された筒形の第２の電極と、を備えていることを特徴とする。
【００１１】
また本発明による気体レーザ用電極の第２の態様は、第１の態様の気体レーザ用電極において、前記第１の電極は、長方形状の１枚の金属板の対向する１組の辺に対称的に複数の切り込みを入れることによって前記１組の各辺に複数の係合片を形成し、前記金属板をまるめて前記１組の辺のうち一方の辺の係合片と他方の辺の係合片が互い違いに係合するようにして形成したことを特徴とする。
【００１２】
また本発明による気体レーザ用電極の第３の態様は、第１の態様の気体レーザ用電極において、前記第１の電極はブロック状の金属材料から形成されたことを特徴とする。
【００１３】
また本発明による気体レーザ用電極の第４の態様は、第１乃至第３のいずれかの態様の気体レーザ用電極において、前記第２の電極は、外面に複数の突起が設けられており、この突起によって前記隙間が前記第１の電極の内面と前記第２の電極の外面の間に形成されることを特徴とする。
【００１４】
また本発明による気体レーザ用電極の第５の態様には、第１乃至第４のいずれかの態様の気体レーザ用電極において、前記第２の電極は周方向にほぼ等間隔に配置される複数の孔が開けられていることを特徴とする。
【００１５】
また本発明による気体レーザ用電極の第６の態様は、第１乃至第５のいずれかの態様の気体レーザ用電極において、前記第２の電極は、軸方向に分割されて配置された複数の筒型の副電極を有し、これらの副電極は金属板によって連結されていることを特徴とする。
【００１６】
また本発明による気体レーザ用電極の第７の態様は、第１乃至第５のいずれかの態様の気体レーザ用電極において、前記第２の電極は、周方向に一様に分散され、軸方向に延びた複数枚の金属板を有し、前記隙間は前記金属板と前記第１の電極の内面との間に形成されることを特徴とする。
【００１７】
また本発明による気体レーザ用電極の第８の態様は、筒形の電極の内側に、表面に複数の突起を有する細長い金属板を、前記突起が前記電極の内面に接するようにスパイラル状に設置したことを特徴とする。
【００１８】
また本発明による気体レーザ用電極の第９の態様は、筒形の電極に、周方向に一様に分散する、軸方向の切れ目を入れ、この切れ目に金属板が編み込まれていることを特徴とする。
【００１９】
また本発明による気体レーザ用電極の第１０の態様は、筒形の電極の内側に金属メッシュが接するように設置されていることを特徴とする。
【００２０】
また本発明による気体レーザ用電極の第１１の態様は、金属板から形成された筒形の電極と、この電極の周方向に一様に分散するように形成された複数の切り開き部と、を備え、前記切り開き部の切り開いた部分は前記電極の内側に曲げられていることを特徴とする。
【００２１】
また本発明による気体レーザ用電極の第１２の態様は、ブロック状の金属材料から形成された筒形の電極と、この電極の内側に周方向に形成された複数の溝とを備えていることを特徴とする。
【００２２】
【発明の実施の形態】
本発明による気体レーザ用電極の第１の実施の形態の構成を図１に示す。この実施の形態の気体レーザ用電極１は外筒２と内筒１０とを備えている。外筒２は図２（ａ）の展開図に示すように高融点金属板２の一辺にほぼ同じ長さの複数の切込み３ａ_１，…３ａ_４を入れることにより係合片２ａ_１，…２ａ_５を形成するとともに上記一辺に対向する他辺に、上記切込み３ａ_１，…３ａ_４に対称的にほぼ同じ長さの複数の切込み３ｂ_１，…３ｂ_４を入れることにより係合片２ｂ_１，…２ｂ_５を形成し、続いて上記金属板２をまるめて上記一辺上の係合辺２ａ_１，…２ａ_５と上記他辺上の係合片２ｂ_１，…２ｂ_５が互い違いに係合するようにして円筒を形成したものである。例えば上記一辺の係合片２ａ_１，２ａ_３，２ａ_５が外筒２の外側の位置にあれば、係合片２ａ_２，２ａ_４は外筒２の内側に位置し、このとき上記他辺の係合片２ｂ_１，２ｂ_３，２ｂ_５は内側に、係合片２ｂ_２，２ｂ_４は外側に位置することになる。このときの外筒２の断面を図２（ｂ）に示す。なお図２（ｂ）において符号４は継目である。
【００２３】
一方内筒１０は図３の展開図に示すような形状の高融点金属板１０から形成される。この金属板１０は主要部１１と、継目保護部１２とを備えている。主要部１１には複数の孔１３が設けられているとともに複数の突起１４が設けられている。
【００２４】
そしてこの金属板１０を突起１４が外側を向くように矢印の方向にまるめ、金属板１０の主要部１１の端部と外筒２の端部が一致するようにして外筒２の内側に挿入する。すると、弾性力により金属板１０が外側に広がろうとして動作し、金属板１０の突起１４が外筒２の内周に接触して上記広がろうとする動作が停止し、図１に示す気体レーザ用電極１が形成される。なお、継目保護部１２は外筒２の、内筒１０によって被われていない継目を被覆するように配置される。一般に高電圧電源には外筒２が接続される。
【００２５】
この気体レーザ用電極１においては、上記突起１４によって外筒１２の内周と内筒１０の外周との間に一様な隙間が形成される。このため、電極１の先端の周方向の狭い隙間、および内筒１０の孔１３の周囲と外筒２との間の狭い隙間で電子の発生率が高まり、放電が一箇所、例えば外筒２の継目に集中するのを抑えることができる。
【００２６】
なお、内筒１０は重なりが生じないように金属板１０の周方向の長さを調製することにより、図１に示すように切れ目２１を設けた方が良い。これは内筒１０の重なった部分に放電が集中することを避けるためである。また切れ目２１を設ける代わりに内筒１０を構成する金属板１０を外筒２の内側に一周以上巻くことにより周方向に更に一様に狭い隙間を形成しても良い。
【００２７】
また、内筒１０を構成する金属板１０自体の広がる力だけで金属板１０は外筒２の内側に設置されるが、リベット２２_１，２２_２等を用いることにより、内筒１０を外筒２に固定し、内筒１０の自重あるいは放電による損傷で内筒１０の先端が外筒より離れることを防止するようにしても良い。
【００２８】
また放電が外筒２の継目に集中しないようにするため、外筒２の先端部分に切り欠き８を入れ、継目４が電極１の先端に現われないようにするとともに、リベット２２_３によって継目が離れないようにしても良い。
【００２９】
なお、内筒１０の継目保護部１２は外筒２の、内筒１０によって被われていない継目４に放電が集中するのを防止するために設けたものであり、放電が集中しないようであれば、内筒１０を構成する金属板１０（図３参照）から取り除いても良い。
【００３０】
なお、内筒１０の軸方向の長さは、放電が安定に持続されれば、外筒２の軸方向の長さより短くて良い。この場合熱伝導による熱の損失が少なくなる。
【００３１】
なお外筒２を薄い金属板を用いて形成することにより熱伝導を少なくし、放電による損傷の大きい内筒１０を厚い金属板を用いて形成した方が良い。また内筒１０は外筒２の材料とは異なる、放電による損傷がより少ない金属を用いても良い。
【００３２】
なお、上記実施の形態の気体レーザ用電極１においては、隙間を形成するための突起１４は内筒１０の外側に設けたが、外筒２の内側に設けても良い。また上記隙間は突起１４の高さによって調整することが可能である。突起１４の高さはどれも同じにするのが一般的であるが、部分的に高さを変え、隙間の狭い所と広い所を形成するようにすると、気体レーザ装置９０の放電容器９１内の圧力が高いときは放電が狭い隙間に、圧力が低いときには広い隙間に集中し易いため、広い圧力範囲に適応することが可能となる。
【００３３】
また上記実施の形態の気体レーザ用電極１においては、外筒２と内筒１０の電気的接触は突起１４やリベット２２_１，２２_２，２２_３で保っているが、電気的接触をより確実にするため、突起１４の頭を円筒に合せた面形状にしたり、リベット止めの数を増やしたり、金属のスペーサを入れたりしても良い。
【００３４】
次に本発明による気体レーザ用電極の第２の実施の形態を図４を参照して説明する。この実施の形態の気体レーザ用電極は１枚の金属板から形成され、この電極の展開図を図４に示す。この実施の形態の気体レーザ用電極は、第１の実施の形態の気体レーザ用電極と同様に、外筒２と、内筒１０と、継目保護部１２とを有している（図４参照）。外筒２を構成することになる金属板の部分２には第１の実施の形態と同様に切り込み（図示せず）が入れられている。
【００３５】
また、内筒１０を構成することになる金属板の部分１０には第１の実施の形態の場合と同様に複数の穴１３と、突起１４が設けられている。
【００３６】
このような図４に示す金属板を矢印の方向にまるめることによって図１に示すような外筒２の内側に、この外筒２に沿って内筒１０が設けられている構造の気体レーザ用電極を形成することができる。
【００３７】
この第２の実施の形態の気体レーザ用電極も第１の実施の形態の電極と同様の効果を奏することは云うまでもない。さらに本実施例では、一枚の板金から電極が製作できるため、外筒と内筒の電気的接触が確実となる。
【００３８】
次に本発明による気体レーザ用電極の第３の実施の形態の構成を図５に示す。この実施の形態の気体レーザ用電極１は、外筒２と、内筒１０とを備えている。この外筒２は図１に示す第１の実施の形態の外筒２とは異なり、ブロック状の金属材料から製作したものである。また内筒１０は高融点金属板あるいはブロック状の金属材料から製作され、孔１３と突起１４が設けられている。そしてこの内筒１０は突起１４が外側となるように（金属板から製作される場合はまるめられて）外筒２の内側に挿入される。これにより第１の実施の形態の場合と同様に外筒２と内筒との間には突起１４によって形成される隙間が設けられることになる。
【００３９】
この実施の形態の気体レーザ用電極では第１の実施の形態の場合と同様の理由から放電の集中が起こりにくい。また、外筒２がブロック状の金属材料から成形されることにより継目がなく、第１の実施の形態に比べて放電が集中しにくい。
【００４０】
次に本発明による気体レーザ用電極の第４の実施の形態の構成を図６に示す。この実施の形態の気体レーザ用電極１は、外筒２と分割された複数の内筒１０ａ，１０ｂ，１０ｃとを備えている。外筒２は第１の実施の形態の場合と同様に高融点金属板から製作される。また各内筒１０ａ，１０ｂ，１０ｃは突起を有する高融点金属板をまるめることにより製作され、突起１４を外側にして外筒２の内側に挿入される。
【００４１】
またこれらの内筒１０ａ，１０ｂ，１０ｃは接続板３１によって連続されている。これらの内筒１０ａ，１０ｂ，１０ｃには突起１４のみが設けられているが、必要であれば第１の実施の形態と同様に孔を設けても良い。またこれらの各内筒１０ａ，１０ｂ，１０ｃおよび接続板３１は一枚の金属板から製作しても良い。この場合の展開図を図７に示す。なお、図７において符号１２は継目保護部であり、接続板３１とともに外筒２の継目に放電が集中するのを防止する。なお図６に示す気体レーザ用電極１は各内筒１０ａ，１０ｂ，１０ｃおよび接続板３１が一枚の金属板から製作されているものを示している。
【００４２】
この第４の実施の形態の気体レーザ用電極１においては、分割された内筒１０ａ，１０ｂ，１０ｃと、外筒との間に、突起１４による一様な隙間が周方向に形成されることにより、放電の集中を避けることができる。
【００４３】
なお、この第４の実施の形態においては、第１の実施の形態の場合と同様に外筒２と、各内筒とをリベット等で固定しても良い。また、外筒２をブロック状の金属材料から形成しても良い。
【００４４】
次に本発明による気体レーザ用電極の第５の実施の形態の構成を図８に示す。この実施の形態の気体レーザ用電極１は円筒電極２を有しており、この円筒電極２は図１に示す第１の実施の形態の外筒２と同様にして一枚の高融点金属板から製作される。そしてこの円筒電極２の内側に、軸方向に延びた細長い金属板４１が周方向にほぼ等間隔に複数枚配置された構成となっている。この複数枚の金属板４１は接続円筒４２によって連結されている。なお、複数枚の金属板４１および接続円筒４２は１枚の金属板をまるめることによって製作しても良い。この場合の展開図を図９に示す。
【００４５】
この第５実施の形態の気体レーザ用電極１においては、細長い金属板４１と円筒電極２の間が全体として周方向に一様な狭い隙間となるため、放電が一箇所に集中しにくい構造となっている。細長い金属板４１の幅を太くし、円筒電極２の継目４を被覆するようにすると、更に一様な放電を得ることができる。
【００４６】
なお、細長い金属板４１はリベット等を用いて円筒電極２に固定するようにしても良い。また、細長い金属板４１に孔や突起を設けるようにしても良い。また、円筒電極２はブロック状の金属材料から形成するようにしても良い。
【００４７】
次に本発明による気体レーザ用電極の第６の実施の形態の構成を図１０に示す。この実施の形態の気体レーザ用電極１は円筒電極２を有し、この円筒電極２は図１に示す第１の実施の形態の外筒２と同様にして一枚の高融点金属板から製作される。なお、図１に示す継目４等は図１０においては図示していない。
【００４８】
この円筒電極２は、周方向に切られた切れ目５２を軸方向に２箇所入れたものの組を周方向に一様に複数組配置したものであり、これらの各組の切れ目５２には細長い金属板５３が通されている。
【００４９】
このように構成することにより、円筒電極２の内側と細長い金属板５２との間には隙間が形成され、この隙間が円筒電極２の周方向にほぼ等間隔に配置されるため、放電が一箇所に集中しにくくなる。
【００５０】
次に本発明による気体レーザ用電極の第７の実施の形態の構成を図１１（ａ）に示す。この実施の形態の気体レーザ用電極１は、図１１（ｂ）に示す金属板をまるめることにより形成される。この金属板は円筒電極となる長方形状の主要部２と、この主要部２の一辺から延びた細長い複数枚の板部５とを有している。なお、主要部２には対向する辺に複数個の切り込み３ａ，３ｂが設けられている。
【００５１】
まず金属板をまるめる前に板部５を主要部に折り重なるように折り曲げ、その後に矢印方向に金属板をまるめて、第１の実施の形態の外筒と同様にして円筒形状の電極１を形成する。なお折り曲げた板部５はリベット等によって円筒２に固定しても良い。
【００５２】
この実施の形態の気体レーザ用電極１も、円筒２と板５との間の隙間が電極１の先端部付近の周方向にほぼ等間隔に形成されるため、放電が分散され放電が集中するのを防止することができる。
【００５３】
次に本発明による気体レーザ用電極の第８の実施の形態の構成を図１２に示す。この実施の形態の気体レーザ用電極１は図１に示す実施の形態の外筒２と同様にして製作される円筒電極２を有しており、この円筒電極２の内側に、表面に突起１４を有する細長い金属板６１をスパイラル状に設置したものである。突起１４により円筒電極２と金属板６１との間に狭い隙間が形成されるため、放電が分散され、放電が集中するのを防止することができる。なお、金属板６１の先端６２を円筒電極２の継目（図示せず）に近付けないようにすると、放電を更に効果的に分散させることができる。
【００５４】
なお、金属板６１には孔を設けても良い。また、円筒電極２をブロック形状の金属材料から形成しても良いことは言うまでもない。
【００５５】
次に本発明による気体レーザ用電極の第９の実施の形態の構成を図１３に示す。この実施の形態の気体レーザ用電極１は、図１に示す第１の実施の形態の外筒２と同様にして形成される円筒電極２を有し、この円筒電極２の、軸方向に切られた切れ目７１に金属板７０が編み込まれている。なお、切れ目７１は円筒電極２の先端から入れられている。
【００５６】
この実施の形態の気体レーザ用電極１においては、金属板７０と円筒電極２との間に周方向に一様な狭い隙間７２が形成されるため、放電が一様に分散され、放電の集中を防止することができる。なお、編み込みは２箇所以上作っても良い。
【００５７】
また、図１４に示すように円筒電極２の先端より少し離れた位置から切れ目７１を入れ、この切れ目に金属板７０を編み込むようにしても良い。この場合、円筒電極２の先端が固定されて動かないため、狭い隙間を周方向に一様に作り易く、また放電による変形が少ない。
【００５８】
なお、図１３および図１４に示す気体レーザ用電極１の円筒電極２はブロック形状の金属材料から形成しても良い。
【００５９】
次に本発明による気体レーザ用電極の第１０の実施の形態の構成を図１５に示す。この実施の形態の気体レーザ用電極１は円筒電極２を有し、この円筒電極２の内側の面に沿って格子形状の金属部材（メッシュともいう）８０が設置されている。この円筒電極２に直接接していない金属部材８０の部分が円筒電極２との間に狭い隙間が形成され、これにより電子の発生率が高まり、放電の集中を防止できる。
【００６０】
なお、２枚以上のメッシュを重ねてメッシュの目の開口率を調整することができる。
【００６１】
また、円筒電極２は図２に示す第１の実施の形態の外筒２と同様に１枚の金属板から形成しても良いし、ブロック状の金属材料から形成しても良い。
【００６２】
次に本発明による気体レーザ用電極の第１１の実施の形態の構成を図１６に示す。この実施の形態の気体レーザ用電極１は図１に示す第１の実施の形態と外筒２と同様に１枚の金属板から形成された円筒電極２を有し、この円筒電極２には周上にほぼ等間隔に複数の切り開き部８５が設けられている。そして切り開いた部分を円筒電極２の内側に曲げることにより、円筒電極２との間に狭い隙間を形成したものである。
【００６３】
これにより、放電が分散され、放電の集中を防止することができる。
【００６４】
なお、上記第１０の実施の形態の気体レーザ用電極１においては複数の切り開き部８５を設け、切り開いた部分を曲げることにより狭い隙間を形成したが、円筒電極２に孔を開け、このときにできる「バリ」を曲げて隙間を形成しても良い。
【００６５】
次に本発明による気体レーザ用電極の第１２の実施の形態の構成を図１７に示す。この実施の形態の気体レーザ用電極１はブロック状の金属材から形成される円筒電極２を有し、この円筒電極２の内側には周方向に溝８７が形成されている。
【００６６】
このように周方向に形成された溝により一様な狭い隙間が形成されることにより放電が分散され、放電の集中を防止することができる。
【００６７】
なお、溝８７は円筒電極２の先端部だけにあれば良い。また溝８７はスパイラル状に形成しても良い。
【００６８】
以上説明した実施の形態の気体レーザ用電極を組み合わせ用いても良い。
【００６９】
また、円筒電極（外筒）２の内側に２個以上の内筒１０を重ねるように挿入して気体レーザ用電極を形成しても良い。
【００７０】
なお、上記実施の形態の気体レーザ用電極１は銅蒸気レーザ装置ばかりでなく大部分の金属レーザ装置、更には電極を有する放電装置にも用いても良い。また、カソード側の電極として用いるばかりでなくアノード側の電極として用いても良い。
【００７１】
また、上記各実施の形態においては気体レーザ用電極１の形状は円筒形状のものについて説明したが、断面が多角形の柱状の電極を用いても良い。
【００７２】
【発明の効果】
以上述べたように本発明によれば、放電の集中が起こりにくい気体レーザ用電極が実現する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明による気体レーザ用電極の第１の実施の形態の構成を示す構成図。
【図２】第１の実施の形態の電極の外筒の展開図。
【図３】第１の実施の形態の電極の内筒の展開図。
【図４】第２の実施の形態の気体レーザ用電極の展開図。
【図５】第３の実施の形態の気体レーザ用電極の構成図。
【図６】第４の実施の形態の気体レーザ用電極の構成図。
【図７】第４の実施の形態にかかる内筒の展開図。
【図８】第５の実施の形態の気体レーザ用電極の構成図。
【図９】第５の実施の形態の気体レーザ用電極にかかる内筒の展開図。
【図１０】第６の実施の形態の気体レーザ用電極の構成図。
【図１１】第７の実施の形態の気体レーザ用電極の構成図。
【図１２】第８の実施の形態の気体レーザ用電極の構成図。
【図１３】第９の実施の形態の気体レーザ用電極の構成図。
【図１４】第９の実施の形態の変形例の構成図。
【図１５】第１０の実施の形態の気体レーザ用電極の構成図。
【図１６】第１１の実施の形態の気体レーザ用電極の構成図。
【図１７】第１２の実施の形態の気体レーザ用電極の構成図。
【図１８】気体レーザ装置の構成図。
【符号の説明】
１気体レーザ用電極
２外筒（円筒電極）
２ａ_ｉ（ｉ＝１，…５）係合片
２ｂ_ｉ（ｉ＝１，…５）係合片
３ａ_ｉ（ｉ＝１，…４）切り込み
３ｂ_ｉ（ｉ＝１，…４）切り込み
４継目
８切り欠き
１０内筒
１０ａ，１０ｂ，１０ｃ内筒
１１主要部
１２継目保護部
１３孔
１４突起
２１切れ目
２２_ｉ（ｉ＝１，２，３）リベット
３１接続板
４１金属板
４２接続円筒
５２切れ目
５３金属板
６１金属板
６２金属板の先端部
７０金属板
７１切れ目
７２狭い隙間
８０金属部材（メッシュ）
８５切り開き部
８７溝
９０気体レーザ装置
９１放電容器
９２気体レーザ用電極
９３ａ給気ポート
９３ｂ排気ポート
９４レーザ管
９５断熱材
９６銅片
９７反射ミラー
９８出力ミラー
９９高電圧電源[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a gas laser electrode.
[0002]
[Prior art]
FIG. 18 shows a general configuration of a gas laser device using a gas laser electrode. This gas laser device 90 has a discharge vessel 91, and cylindrical gas laser electrodes 92 are arranged opposite to each other in both ends of the discharge vessel 91.
[0003]
A laser tube 94 extending in the axial direction is provided in the discharge vessel 91, and the outer wall of the laser tube 94 is covered with a heat insulating material 95. The gas laser electrode 92 is connected to a high voltage power source 99 and the tip of the laser electrode 92 is configured to enter the laser tube 94. A copper piece 96 serving as a laser medium is disposed in the laser tube 94. A reflection mirror 97 is provided outside one end of the discharge vessel 91, and an output mirror 98 is provided outside the other end.
[0004]
Next, the operation of the gas laser device 90 will be described. First, neon gas is supplied as a buffer gas from a gas cylinder (not shown) through an air supply port 93a of the discharge vessel 91 and discharged from the exhaust port 93b, whereby the inside of the discharge vessel 91 is maintained at a constant pressure.
[0005]
When a high voltage from the high voltage power supply 99 is applied to the gas laser electrode 92 in such a state, neon discharge occurs between the electrodes 92. When this neon discharge continues, the laser tube 94 is heated and the copper piece 96 is melted to generate copper vapor. When the heating is further continued, the copper atoms as the laser medium are excited and light is generated. This light is amplified by reciprocating between the reflection mirror 97 and the output mirror 98, and laser light is oscillated from the output mirror 98.
[0006]
The heat insulating material 95 is used to prevent heat from escaping to the outside. The tip of the electrode 92 is placed in the laser tube 94 because the temperature near the tip of the electrode 92 is kept as low as possible so that the temperature range effective for laser oscillation (for example, a temperature range of about 1450 ° C. or more) is reached. This is to make it longer. Therefore, since the electrode 92 becomes high temperature, a refractory metal such as molybdenum is used as the electrode material.
[0007]
Conventionally, when manufacturing a cylindrical gas laser electrode 92 of a refractory metal, a metal plate is formed into a cylinder from the viewpoint of ease of processing and cost, and this cylinder is used as an electrode.
[0008]
[Problems to be solved by the invention]
Thus, in the conventional cylindrical gas laser electrode 92, the discharge tends to concentrate at the joint when the refractory metal plate is entirely joined in order to produce it. When the discharge is concentrated at the joint, there is a problem that not only the life of the electrode 92 is shortened but also the laser output is lowered and the laser output is unstable.
[0009]
The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object of the present invention is to provide a gas laser electrode in which concentration of discharge hardly occurs.
[0010]
[Means for Solving the Problems]
According to the first aspect of the gas laser electrode of the present invention, a gap uniformly distributed in the circumferential direction is formed between the cylindrical first electrode and the inner surface of the first electrode. And a cylindrical second electrode disposed inside the first electrode.
[0011]
A gas laser electrode according to a second aspect of the present invention is the gas laser electrode according to the first aspect, wherein the first electrode is symmetrical to a pair of opposing sides of a rectangular metal plate. A plurality of notches are formed to form a plurality of engagement pieces on each side of the set, and the metal plate is wrapped to engage the engagement pieces on one side and the other side of the set of sides. The engaging pieces are formed so as to engage with each other alternately.
[0012]
According to a third aspect of the gas laser electrode of the present invention, in the gas laser electrode according to the first aspect, the first electrode is formed of a block-shaped metal material.
[0013]
Further, a fourth aspect of the gas laser electrode according to the present invention is the gas laser electrode according to any one of the first to third aspects, wherein the second electrode is provided with a plurality of protrusions on the outer surface, The protrusion forms the gap between the inner surface of the first electrode and the outer surface of the second electrode.
[0014]
According to a fifth aspect of the gas laser electrode of the present invention, in the gas laser electrode according to any one of the first to fourth aspects, a plurality of the second electrodes are arranged at substantially equal intervals in the circumferential direction. It is characterized in that a hole is opened.
[0015]
According to a sixth aspect of the gas laser electrode of the present invention, in the gas laser electrode according to any one of the first to fifth aspects, the second electrode includes a plurality of axially divided electrodes. It has a cylindrical sub-electrode, and these sub-electrodes are connected by a metal plate.
[0016]
A seventh aspect of the gas laser electrode according to the present invention is the gas laser electrode according to any one of the first to fifth aspects, wherein the second electrode is uniformly distributed in the circumferential direction, and the axial direction And the gap is formed between the metal plate and the inner surface of the first electrode.
[0017]
According to an eighth aspect of the gas laser electrode of the present invention, an elongated metal plate having a plurality of protrusions on the surface is installed in a spiral shape inside the cylindrical electrode so that the protrusions are in contact with the inner surface of the electrode. It is characterized by that.
[0018]
A ninth aspect of the gas laser electrode according to the present invention is characterized in that axial cuts are uniformly distributed in the circumferential direction in a cylindrical electrode, and a metal plate is knitted into the cuts. And
[0019]
The tenth aspect of the gas laser electrode according to the present invention is characterized in that the metal mesh is disposed in contact with the inside of the cylindrical electrode.
[0020]
An eleventh aspect of the gas laser electrode according to the present invention includes a cylindrical electrode formed of a metal plate and a plurality of slits formed so as to be uniformly distributed in the circumferential direction of the electrode. And the cut portion of the cut portion is bent inside the electrode.
[0021]
The twelfth aspect of the gas laser electrode according to the present invention includes a cylindrical electrode formed of a block-shaped metal material and a plurality of grooves formed in the circumferential direction inside the electrode. It is characterized by.
[0022]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
The configuration of the first embodiment of the gas laser electrode according to the present invention is shown in FIG. The gas laser electrode 1 of this embodiment includes an outer cylinder 2 and an inner cylinder 10. As shown in the developed view of FIG. 2 (a), the outer cylinder 2 has a plurality of cuts 3a ₁ ,... 3a ₄ having substantially the same length on one side of the refractory metal plate 2, thereby engaging pieces 2a ₁ ,. ₅ and a plurality of cuts 3b ₁ ,... 3b ₄ having substantially the same length symmetrical to the cuts 3a ₁ ,... 3a ₄ on the other side opposite to the one side, thereby engaging pieces 2b ₁ , ... form a 2b _5, followed by engagement section _2a 1 on the one side by rounding the metal plate 2, ... 2a ₅ and the engaging piece _2b 1 on the other side, ... 2b ₅ engages alternately In this way, a cylinder is formed. For example, if the engagement pieces 2a ₁ , 2a ₃ , 2a _{5 on} one side are located outside the outer cylinder 2, the engagement pieces 2a ₂ , 2a ₄ are located inside the outer cylinder 2, and at this time, the other side The engaging pieces 2b ₁ , 2b ₃ , 2b ₅ are located inside and the engaging pieces 2b ₂ , 2b ₄ are located outside. A cross section of the outer cylinder 2 at this time is shown in FIG. In FIG. 2B, reference numeral 4 is a joint.
[0023]
On the other hand, the inner cylinder 10 is formed from a refractory metal plate 10 having a shape as shown in the developed view of FIG. The metal plate 10 includes a main part 11 and a seam protection part 12. The main part 11 is provided with a plurality of holes 13 and a plurality of protrusions 14.
[0024]
Then, the metal plate 10 is rounded in the direction of the arrow so that the protrusion 14 faces outward, and the end of the main portion 11 of the metal plate 10 and the end of the outer tube 2 are aligned with each other and inserted into the inner side of the outer tube 2. To do. Then, the metal plate 10 operates to spread outward due to the elastic force, and the projection 14 of the metal plate 10 contacts the inner periphery of the outer cylinder 2 to stop the above-described operation of spreading, and the gas shown in FIG. A laser electrode 1 is formed. In addition, the seam protection part 12 is arrange | positioned so that the seam which is not covered with the inner cylinder 10 of the outer cylinder 2 may be coat | covered. Generally, the outer cylinder 2 is connected to a high voltage power source.
[0025]
In the gas laser electrode 1, a uniform gap is formed between the inner periphery of the outer cylinder 12 and the outer periphery of the inner cylinder 10 by the protrusion 14. For this reason, the generation rate of electrons increases in the narrow gap in the circumferential direction at the tip of the electrode 1 and the narrow gap between the periphery of the hole 13 of the inner cylinder 10 and the outer cylinder 2, and discharge occurs at one place, for example, the outer cylinder 2. Concentrating on the joints can be suppressed.
[0026]
In addition, it is better to provide the cut line 21 as shown in FIG. 1 by adjusting the circumferential length of the metal plate 10 so that the inner cylinder 10 does not overlap. This is to avoid the concentration of discharge in the overlapping portion of the inner cylinder 10. Further, instead of providing the cut line 21, the metal plate 10 constituting the inner cylinder 10 may be wound more than once around the inner side of the outer cylinder 2 to form a narrower gap in the circumferential direction.
[0027]
Further, the metal plate 10 is installed inside the outer cylinder 2 only by the spreading force of the metal plate 10 itself constituting the inner cylinder 10, but by using the rivets 22 ₁ , 22 ₂ etc., the inner cylinder 10 can be The tip of the inner cylinder 10 may be prevented from separating from the outer cylinder due to its own weight or damage due to discharge.
[0028]
Further, since the discharge is prevented from concentrating on the seam of the outer tube 2, put the notch 8 at the tip portion of the outer tube 2, together with the seam 4 so as not appear on the tip of the electrode 1, the seam by a rivet 22 ₃ You may not leave.
[0029]
The seam protection portion 12 of the inner cylinder 10 is provided to prevent the discharge from concentrating on the seam 4 of the outer cylinder 2 that is not covered by the inner cylinder 10, so that the discharge does not concentrate. For example, you may remove from the metal plate 10 (refer FIG. 3) which comprises the inner cylinder 10. FIG.
[0030]
Note that the axial length of the inner cylinder 10 may be shorter than the axial length of the outer cylinder 2 as long as discharge is stably maintained. In this case, heat loss due to heat conduction is reduced.
[0031]
In addition, it is better to form the outer cylinder 2 using a thin metal plate to reduce heat conduction, and to form the inner cylinder 10 that is greatly damaged by discharge using a thick metal plate. The inner cylinder 10 may be made of a metal that is different from the material of the outer cylinder 2 and that is less damaged by discharge.
[0032]
In the gas laser electrode 1 of the above embodiment, the protrusion 14 for forming the gap is provided outside the inner cylinder 10, but may be provided inside the outer cylinder 2. The gap can be adjusted by the height of the protrusion 14. In general, the heights of the protrusions 14 are all the same. However, if the height is partially changed to form a narrow space and a wide space, the inside of the discharge vessel 91 of the gas laser device 90 can be obtained. When the pressure is high, the discharge tends to concentrate in a narrow gap, and when the pressure is low, it tends to concentrate in a wide gap. Therefore, it is possible to adapt to a wide pressure range.
[0033]
In the gas laser electrode 1 of the above embodiment, the electrical contact between the outer cylinder 2 and the inner cylinder 10 is maintained by the protrusion 14 and the rivets 22 ₁ , 22 ₂ , and 22 ₃ , but the electrical contact is more reliable. In order to achieve this, the head of the protrusion 14 may have a surface shape matching the cylinder, the number of rivets may be increased, or a metal spacer may be inserted.
[0034]
Next, a second embodiment of the gas laser electrode according to the present invention will be described with reference to FIG. The gas laser electrode of this embodiment is formed from a single metal plate, and a developed view of this electrode is shown in FIG. The gas laser electrode of this embodiment has an outer cylinder 2, an inner cylinder 10, and a seam protection portion 12 as in the gas laser electrode of the first embodiment (see FIG. 4). ). A notch (not shown) is formed in the metal plate portion 2 constituting the outer cylinder 2 in the same manner as in the first embodiment.
[0035]
Further, the metal plate portion 10 constituting the inner cylinder 10 is provided with a plurality of holes 13 and protrusions 14 as in the case of the first embodiment.
[0036]
4 for a gas laser having a structure in which an inner cylinder 10 is provided along the outer cylinder 2 inside the outer cylinder 2 as shown in FIG. 1 by rounding the metal plate shown in FIG. An electrode can be formed.
[0037]
It goes without saying that the gas laser electrode of the second embodiment also has the same effect as the electrode of the first embodiment. Further, in this embodiment, since the electrode can be manufactured from a single sheet metal, the electrical contact between the outer cylinder and the inner cylinder is ensured.
[0038]
Next, the configuration of the third embodiment of the gas laser electrode according to the present invention is shown in FIG. The gas laser electrode 1 according to this embodiment includes an outer cylinder 2 and an inner cylinder 10. Unlike the outer cylinder 2 of the first embodiment shown in FIG. 1, the outer cylinder 2 is manufactured from a block-shaped metal material. The inner cylinder 10 is made of a refractory metal plate or a block-shaped metal material, and is provided with holes 13 and protrusions 14. And this inner cylinder 10 is inserted in the inner side of the outer cylinder 2 so that the processus | protrusion 14 may become an outer side (it will be rounded when manufactured from a metal plate). As a result, as in the case of the first embodiment, a gap formed by the protrusion 14 is provided between the outer cylinder 2 and the inner cylinder.
[0039]
In the gas laser electrode of this embodiment, the concentration of discharge hardly occurs for the same reason as in the first embodiment. Further, since the outer cylinder 2 is formed from a block-shaped metal material, there is no seam, and the discharge is less likely to concentrate than in the first embodiment.
[0040]
Next, the configuration of the fourth embodiment of the gas laser electrode according to the present invention is shown in FIG. The gas laser electrode 1 of this embodiment includes an outer cylinder 2 and a plurality of divided inner cylinders 10a, 10b, and 10c. The outer cylinder 2 is manufactured from a refractory metal plate as in the case of the first embodiment. Each of the inner cylinders 10a, 10b, and 10c is manufactured by rounding a refractory metal plate having protrusions, and is inserted into the outer cylinder 2 with the protrusions 14 facing outward.
[0041]
Further, these inner cylinders 10 a, 10 b, 10 c are continued by a connection plate 31. These inner cylinders 10a, 10b, and 10c are provided with only the projections 14, but if necessary, holes may be provided as in the first embodiment. Each of the inner cylinders 10a, 10b, 10c and the connection plate 31 may be manufactured from a single metal plate. A developed view in this case is shown in FIG. In FIG. 7, reference numeral 12 denotes a seam protection portion that prevents the discharge from concentrating on the joint of the outer cylinder 2 together with the connection plate 31. The gas laser electrode 1 shown in FIG. 6 shows that each of the inner cylinders 10a, 10b, 10c and the connection plate 31 are made of a single metal plate.
[0042]
In the gas laser electrode 1 of the fourth embodiment, a uniform gap is formed in the circumferential direction by the protrusions 14 between the divided inner cylinders 10a, 10b, and 10c and the outer cylinder. Therefore, concentration of discharge can be avoided.
[0043]
In the fourth embodiment, the outer cylinder 2 and each inner cylinder may be fixed with rivets or the like, as in the first embodiment. Moreover, you may form the outer cylinder 2 from a block-shaped metal material.
[0044]
Next, the configuration of the fifth embodiment of the gas laser electrode according to the present invention is shown in FIG. The gas laser electrode 1 of this embodiment has a cylindrical electrode 2, which is a single refractory metal plate in the same manner as the outer cylinder 2 of the first embodiment shown in FIG. It is made from. A plurality of elongated metal plates 41 extending in the axial direction are arranged inside the cylindrical electrode 2 at substantially equal intervals in the circumferential direction. The plurality of metal plates 41 are connected by a connection cylinder 42. Note that the plurality of metal plates 41 and the connecting cylinder 42 may be manufactured by rounding one metal plate. A developed view in this case is shown in FIG.
[0045]
In the gas laser electrode 1 of the fifth embodiment, since the gap between the elongated metal plate 41 and the cylindrical electrode 2 is a uniform narrow gap in the circumferential direction as a whole, the discharge is less likely to concentrate in one place. It has become. If the width of the elongated metal plate 41 is increased and the joint 4 of the cylindrical electrode 2 is covered, a more uniform discharge can be obtained.
[0046]
The elongated metal plate 41 may be fixed to the cylindrical electrode 2 using a rivet or the like. Further, holes and protrusions may be provided in the elongated metal plate 41. Moreover, you may make it form the cylindrical electrode 2 from a block-shaped metal material.
[0047]
Next, FIG. 10 shows a configuration of a sixth embodiment of the gas laser electrode according to the present invention. The gas laser electrode 1 of this embodiment has a cylindrical electrode 2, and this cylindrical electrode 2 is manufactured from a single refractory metal plate in the same manner as the outer cylinder 2 of the first embodiment shown in FIG. Is done. Note that the joint 4 and the like shown in FIG. 1 are not shown in FIG.
[0048]
The cylindrical electrode 2 is formed by uniformly arranging a plurality of sets in which circumferential cuts 52 are provided at two locations in the axial direction. A plate 53 is passed.
[0049]
With this configuration, a gap is formed between the inside of the cylindrical electrode 2 and the elongated metal plate 52, and the gap is arranged at substantially equal intervals in the circumferential direction of the cylindrical electrode 2, so that the discharge is reduced. It becomes difficult to concentrate on the place.
[0050]
Next, FIG. 11A shows a configuration of a seventh embodiment of the gas laser electrode according to the present invention. The gas laser electrode 1 of this embodiment is formed by rounding a metal plate shown in FIG. This metal plate has a rectangular main portion 2 serving as a cylindrical electrode and a plurality of elongated plate portions 5 extending from one side of the main portion 2. The main portion 2 is provided with a plurality of cuts 3a and 3b on opposite sides.
[0051]
First, before rounding the metal plate, the plate part 5 is bent so as to be folded over the main part, and then the metal plate is rounded in the direction of the arrow to form the cylindrical electrode 1 in the same manner as the outer cylinder of the first embodiment. To do. The bent plate portion 5 may be fixed to the cylinder 2 by rivets or the like.
[0052]
Also in the gas laser electrode 1 of this embodiment, since the gap between the cylinder 2 and the plate 5 is formed at substantially equal intervals in the circumferential direction near the tip of the electrode 1, the discharge is dispersed and the discharge is concentrated. Can be prevented.
[0053]
Next, the configuration of the eighth embodiment of the gas laser electrode according to the present invention is shown in FIG. The gas laser electrode 1 of this embodiment has a cylindrical electrode 2 manufactured in the same manner as the outer cylinder 2 of the embodiment shown in FIG. 1, and a projection 14 on the surface is formed inside the cylindrical electrode 2. A long and narrow metal plate 61 having a spiral shape is installed. Since the projection 14 forms a narrow gap between the cylindrical electrode 2 and the metal plate 61, the discharge can be dispersed and the discharge can be prevented from concentrating. Note that if the tip 62 of the metal plate 61 is kept away from the joint (not shown) of the cylindrical electrode 2, the discharge can be more effectively dispersed.
[0054]
The metal plate 61 may be provided with holes. Needless to say, the cylindrical electrode 2 may be formed of a block-shaped metal material.
[0055]
Next, FIG. 13 shows a configuration of a ninth embodiment of the gas laser electrode according to the present invention. The gas laser electrode 1 of this embodiment has a cylindrical electrode 2 formed in the same manner as the outer cylinder 2 of the first embodiment shown in FIG. 1, and the cylindrical electrode 2 is cut in the axial direction. A metal plate 70 is knitted into the cut 71 formed. The cut 71 is made from the tip of the cylindrical electrode 2.
[0056]
In the gas laser electrode 1 of this embodiment, since the uniform narrow gap 72 is formed in the circumferential direction between the metal plate 70 and the cylindrical electrode 2, the discharge is uniformly dispersed and the concentration of the discharge is reduced. Can be prevented. Two or more braids may be made.
[0057]
Further, as shown in FIG. 14, a cut 71 may be made from a position slightly away from the tip of the cylindrical electrode 2, and the metal plate 70 may be knitted into the cut. In this case, since the tip of the cylindrical electrode 2 is fixed and does not move, it is easy to create a narrow gap uniformly in the circumferential direction, and deformation due to discharge is small.
[0058]
Note that the cylindrical electrode 2 of the gas laser electrode 1 shown in FIGS. 13 and 14 may be formed of a block-shaped metal material.
[0059]
Next, FIG. 15 shows the configuration of a tenth embodiment of a gas laser electrode according to the present invention. The gas laser electrode 1 of this embodiment has a cylindrical electrode 2, and a lattice-shaped metal member (also referred to as a mesh) 80 is installed along the inner surface of the cylindrical electrode 2. A narrow gap is formed between the portion of the metal member 80 that is not in direct contact with the cylindrical electrode 2 and the cylindrical electrode 2, thereby increasing the rate of generation of electrons and preventing concentration of discharge.
[0060]
Two or more meshes can be overlapped to adjust the mesh aperture ratio.
[0061]
Moreover, the cylindrical electrode 2 may be formed from one metal plate similarly to the outer cylinder 2 of 1st Embodiment shown in FIG. 2, and may be formed from a block-shaped metal material.
[0062]
Next, FIG. 16 shows the configuration of an eleventh embodiment of a gas laser electrode according to the present invention. The gas laser electrode 1 of this embodiment has a cylindrical electrode 2 formed of one metal plate in the same manner as the outer cylinder 2 in the first embodiment shown in FIG. A plurality of slits 85 are provided at substantially equal intervals on the circumference. A narrow gap is formed between the cut portion and the cylindrical electrode 2 by bending the cut portion to the inside of the cylindrical electrode 2.
[0063]
Thereby, the discharge is dispersed and the concentration of the discharge can be prevented.
[0064]
In the gas laser electrode 1 according to the tenth embodiment, a plurality of slits 85 are provided, and a narrow gap is formed by bending the slit, but a hole is formed in the cylindrical electrode 2. A possible “burr” may be bent to form a gap.
[0065]
Next, FIG. 17 shows a configuration of a twelfth embodiment of the gas laser electrode according to the present invention. The gas laser electrode 1 of this embodiment has a cylindrical electrode 2 formed of a block-shaped metal material, and a groove 87 is formed in the circumferential direction inside the cylindrical electrode 2.
[0066]
Thus, the uniform narrow gap is formed by the grooves formed in the circumferential direction, so that the discharge is dispersed and the concentration of the discharge can be prevented.
[0067]
The groove 87 may be provided only at the tip of the cylindrical electrode 2. The groove 87 may be formed in a spiral shape.
[0068]
A combination of the gas laser electrodes of the embodiments described above may be used.
[0069]
Further, the gas laser electrode may be formed by inserting two or more inner cylinders 10 so as to overlap inside the cylindrical electrode (outer cylinder) 2.
[0070]
The gas laser electrode 1 of the above embodiment may be used not only for a copper vapor laser device but also for most metal laser devices, and also for a discharge device having an electrode. Further, it may be used not only as an electrode on the cathode side but also as an electrode on the anode side.
[0071]
In each of the above embodiments, the gas laser electrode 1 has been described as having a cylindrical shape, but a columnar electrode having a polygonal cross section may be used.
[0072]
【The invention's effect】
As described above, according to the present invention, a gas laser electrode in which the concentration of discharge hardly occurs is realized.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a configuration diagram showing the configuration of a gas laser electrode according to a first embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a development view of an outer cylinder of an electrode according to the first embodiment.
FIG. 3 is a development view of the inner cylinder of the electrode according to the first embodiment.
FIG. 4 is a development view of a gas laser electrode according to a second embodiment.
FIG. 5 is a configuration diagram of a gas laser electrode according to a third embodiment.
FIG. 6 is a configuration diagram of a gas laser electrode according to a fourth embodiment.
FIG. 7 is a development view of an inner cylinder according to a fourth embodiment.
FIG. 8 is a configuration diagram of a gas laser electrode according to a fifth embodiment.
FIG. 9 is a development view of an inner cylinder according to a gas laser electrode of a fifth embodiment.
FIG. 10 is a configuration diagram of a gas laser electrode according to a sixth embodiment.
FIG. 11 is a configuration diagram of a gas laser electrode according to a seventh embodiment.
FIG. 12 is a configuration diagram of a gas laser electrode according to an eighth embodiment.
FIG. 13 is a configuration diagram of a gas laser electrode according to a ninth embodiment.
FIG. 14 is a configuration diagram of a modified example of the ninth embodiment.
FIG. 15 is a configuration diagram of a gas laser electrode according to a tenth embodiment.
FIG. 16 is a configuration diagram of a gas laser electrode according to an eleventh embodiment.
FIG. 17 is a configuration diagram of a gas laser electrode according to a twelfth embodiment.
FIG. 18 is a configuration diagram of a gas laser device.
[Explanation of symbols]
1 Gas laser electrode 2 Outer cylinder (cylindrical electrode)
2a _i (i = 1,... 5) engagement piece 2b _i (i = 1,... 5) engagement piece 3a _i (i = 1,... 4) cut 3b _i (i = 1,... 4) cut 4 joint 8 Notch 10 Inner cylinder 10a, 10b, 10c Inner cylinder 11 Main part 12 Seam protection part 13 Hole 14 Projection 21 Cut 22 _i (i = 1, 2, 3) Rivet 31 Connection plate 41 Metal plate 42 Connection cylinder 52 Cut 53 Metal plate 61 Metal plate 62 Metal plate tip 70 Metal plate 71 Cut 72 Narrow gap 80 Metal member (mesh)
85 Cut-off portion 87 Groove 90 Gas laser device 91 Discharge vessel 92 Gas laser electrode 93a Air supply port 93b Exhaust port 94 Laser tube 95 Heat insulating material 96 Copper piece 97 Reflection mirror 98 Output mirror 99 High voltage power supply

Claims

A gas laser electrode used for at least one of an anode side electrode and a cathode side electrode of a gas laser device that excites a laser medium by discharge, and a pair of opposed metal plates having a rectangular shape. A plurality of engagement pieces are formed on each side of the set by making a plurality of cuts symmetrically on the side, and the metal plate is wrapped to engage the engagement piece on one side and the other side of the set of sides. A gap that is uniformly distributed in the circumferential direction is formed between the cylindrical first electrode formed so that the engaging pieces on the sides of the first electrode and the second electrode are alternately engaged, and the inner surface of the first electrode. And a cylindrical second electrode made of a metal having the same potential as that of the first electrode, the gas laser electrode being provided inside the first electrode. .

The second electrode is provided with a plurality of protrusions on the outer surface, and the protrusions form the gap between the inner surface of the first electrode and the outer surface of the second electrode. The gas laser electrode according to claim 1.

3. The gas laser electrode according to claim 1, wherein the second electrode is formed with a plurality of holes arranged at substantially equal intervals in the circumferential direction. 4.

The said 2nd electrode has a some cylindrical subelectrode divided | segmented and arrange | positioned at the axial direction, These subelectrodes are connected by the metal plate of Claim 1 thru | or 3 characterized by the above-mentioned. The electrode for gas lasers in any one.

The second electrode has a plurality of metal plates that are uniformly distributed in the circumferential direction and extend in the axial direction, and the gap is formed between the metal plate and the inner surface of the first electrode. The gas laser electrode according to claim 1, wherein the gas laser electrode is provided.

A gas laser electrode used for at least one of an anode side electrode and a cathode side electrode of a gas laser device that excites a laser medium by electric discharge , and a plurality of electrodes are provided on the inner surface of a cylindrical electrode made of metal. A long and narrow metal plate having protrusions was installed in a spiral shape so that the protrusions were in contact with the inner surface of the electrode, and a gap uniformly distributed in the circumferential direction was formed between the electrode and the metal plate. An electrode for a gas laser.

A gas laser electrode used for at least one of an anode side electrode and a cathode side electrode of a gas laser device that excites a laser medium by electric discharge, and is uniformly applied to a cylindrical electrode made of metal in a circumferential direction. put axial cuts dispersing, see write knitting a metal plate to the cut, gas laser, characterized in that the formation of the evenly distributed gaps in the circumferential direction between the metal plate and the electrode electrode.

A gas laser electrode used for at least one of an anode side electrode and a cathode side electrode of a gas laser device that excites a laser medium by discharge, and a metal mesh is rounded inside a cylindrical electrode made of metal. Installed so that a part of the metal mesh is in contact with the electrode, and a gap uniformly distributed in the circumferential direction is formed between the electrode and a part other than the part of the metal mesh. Characteristic gas laser electrode.

A gas laser electrode used for at least one of an anode side electrode and a cathode side electrode of a gas laser device that excites a laser medium by discharge, a cylindrical electrode formed from a metal plate , and the electrode of circumferentially and a plurality of cutting open portion made of formed metal as uniformly dispersed, cut open portion of the cut open portion is uniformly distributed in the circumferential direction by Rukoto bent inwardly of the electrode A gas laser electrode, characterized in that a formed gap is formed .

A gas laser electrode used for at least one of an anode side electrode and a cathode side electrode of a gas laser device that excites a laser medium by discharge, a cylindrical electrode formed from a block-shaped metal material, A gas laser electrode comprising a plurality of grooves formed in the circumferential direction on the inner surface of the electrode.