JP3638689B2

JP3638689B2 - Inkjet head

Info

Publication number: JP3638689B2
Application number: JP31333095A
Authority: JP
Inventors: 健一佐武; 弘一馬場; 嘉子瓜生; 俊夫西野
Original assignee: Kyocera Mita Corp
Current assignee: Kyocera Document Solutions Inc
Priority date: 1995-11-30
Filing date: 1995-11-30
Publication date: 2005-04-13
Anticipated expiration: 2015-11-30
Also published as: JPH09150513A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、インクジェット記録装置等に用いられるインクジェットヘッドに関し、更に詳しくは、基板の表面に多数のノズルが配列形成され、そのノズルからインク滴が吐出されるようにしたインクジェットヘッドに関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、この種のインクジェットヘッドは、その要部断面図である図９（ａ）及びその一方の表面側の要部平面図である図９（ｂ）に示すように、対向する表面１００ａ、１００ｂを有する樹脂からなる矩形状の基板１００を備えている。この基板１００の一方の表面１００ａ側には、その長手方向に沿ってインク共通流路１０１が形成されている。このインク共通流路１０１は、基板１００に溝１０１ａを形成し、この溝１０１ａを覆うように基板１００に被覆体１０１ｂを配設することにより構成されたものである。このように構成されたインク共通流路１０１の長手方向の一端は閉じられているが、他端は基板１００の側面に通じており、この他端側から外部に配設されたインクタンクのインクが供給されるようになっている。
【０００３】
また、基板１００の一方の表面１００ａ側には、インク共通流路１０１に沿って多数のノズル１０２が一定のピッチで一列に並べられて配設されている。この基板１００の一方の表面１００ａには、ノズル１０２のインク吐出口に撥水性を持たせるため、ノズル１０２に沿って金属板からなるノズルプレート１０２ａが配設されている。
【０００４】
また、基板１００の内部には、インク共通流路１０１と基板１００の他方の表面１００ｂとの間に、インク共通流路１０１とノズル１０２を繋ぐインク通路の一部を構成する多数のインク供給路１０３が形成されている。このインク供給路１０３の一端はインク共通流路１０１に連通し、他端は基板１００の他方の表面１００ｂに開口している。
【０００５】
また、基板１００の他方の表面１００ｂ側には、インク共通流路１０１とノズル１０２を繋ぐインク通路の一部を構成する多数の加圧室１０４がインク共通流路１０１と直交する方向に形成されている。この加圧室１０４は、基板１００に溝１０４ａを形成し、この溝１０４ａを覆うように基板１００に振動板１０５を配設することにより構成されたものである。この振動板１０５は、同時にインク供給路１０３の開口部分をも覆っている。この加圧室１０４の一端はインク供給路１０３の他端に連通され、加圧室１０４の他端はノズル１０２側に連通されている。また、振動板１０５の外面側の溝１０４ａと対応する箇所には圧電素子１０６が配設されている。
【０００６】
このように構成されたインクジェットヘッドは、駆動信号が与えられて圧電素子１０６が駆動すると、振動板１０５が振動することによって加圧室１０４が加圧され、それによりインク共通流路１０１からインク供給路１０３を介して供給された加圧室１０４のインクがノズル１０２側に送出され、ノズル１０２からインク滴が吐出されるようになっている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記のように構成されたインクジェットヘッドにおいては、インク共通流路１０１とノズル１０２との間を繋ぐインク通路の内、基板１００の表面に沿う方向に形成された部分が、インク共通流路１０１と直交する方向に形成されており、しかも、このインク通路はノズルからインク滴を良好に吐出させるために一定の長さを必要とし、その結果、インク共通流路１０１とノズル１０２との基板１００の表面に沿う方向の間隔が不可避的に拡がり、ノズル１０２を複数列に配設する場合、隣接するノズル列の間隔が拡がってインクジェットヘッドの小型化が阻害されるという問題があった。
【０００８】
従って、本発明は、隣接するノズル列の間隔を狭くすることにより小型化を可能としたインクジェットヘッドを提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
このような目的を達成するため、請求項１に係るインクジェットヘッドは、対向する一方の表面及び他方の表面を有する基板と、この基板内部における一方の表面側に形成されたインク共通流路と、インク滴を吐出するものであり、前記基板内部のインク共通流路に沿って形成され、当該基板の一方の表面に開口する複数のノズルと、前記基板内部に形成され、前記インク共通流路と前記ノズルとを繋ぐインク通路とを備えたものであって、前記インク通路は、前記インク共通流路の幅方向中間位置に連通され、前記基板の厚み方向に形成された流路部分及び当該流路部分に連通され、前記基板の他方の表面側において前記インク共通流路に対して斜めに形成された流路部分からなるインク供給路と、このインク供給路に連通する加圧室とからなることを特徴としている。
【００１０】
この請求項１に係るインクジェットヘッドにおいては、インク通路を構成するインク供給路のうち、基板の他方の表面側における流路部分がインク共通流路に対して斜めに形成されていることから、その流路部分においてインクの良好な供給に必要な一定の長さを確保できることで加圧室をインク共通流路に近接して配設できるようになる結果、ノズルがインク共通流路に近接して配設でき、隣接するノズル列の間隔が狭められる。
【００１１】
また、請求項２に係るインクジェットヘッドは、請求項１記載のものにおいて、前記ノズルは、前記インク共通流路の両側であって、その一方側と他方側とで互いに半ピッチずれた位置に形成され、前記インク共通流路に対して斜めに形成された流路部分は、前記インク共通流路の両側に配設され、前記インク共通流路に対してその一方側と他方側とで互いに半ピッチずれた位置で連通されていることを特徴としている。
【００１２】
この請求項２に係るインクジェットヘッドにおいては、ノズルが、インク共通流路の両側であって、その一方側と他方側とで互いに半ピッチずれた位置に形成され、インク共通流路に対して斜めに形成された流路部分が、インク共通流路の両側に配設され、インク共通流路に対してその一方側と他方側とで互いに半ピッチずれた位置で連通されていることから、インク共通流路から給送されたインクが各ノズルに対して均等に供給される。
【００１３】
また、請求項３に係るインクジェットヘッドは、基板に、インク共通流路と、このインク共通流路の両側に沿ってそれぞれ複数形成されたインク滴が吐出されるノズルと、前記インク共通流路と前記ノズルとを繋ぐ複数のインク通路とを備え、前記ノズルは前記インク共通流路の一方側と他方側とで互いに半ピッチずれた位置に形成されると共に、前記インク通路はその一部が前記基板の表面に沿って互いに並行に形成されて構成されたインクジェットヘッドであって、前記インク共通流路は基板の表面に沿う方向に波形に形成され、前記インク通路は前記インク共通流路に対してその波形の頂部位置で連通されていることを特徴としている。
【００１４】
この請求項３に係るインクジェットヘッドにおいては、インク共通流路が波形に形成され、インク通路がインク共通流路に対してその波形の頂部位置で連通されていることから、インク共通流路の両側のノズル列が互いに近接して配設され、隣接するノズル列の間隔が狭められる。
【００１５】
また、請求項４に係るインクジェットヘッドは、請求項３記載のものにおいて、前記インク共通流路の波形は二等辺三角形からなるものであることを特徴としている。
【００１６】
この請求項４に係るインクジェットヘッドにおいては、波形がインク共通流路の長手方向に沿って均一な形状となることから、インク共通流路内におけるインクの流れが良好となる。
【００１７】
また、請求項５に係るインクジェットヘッドは、請求項３又は４記載のものにおいて、前記基板は対向する一方の表面及び他方の表面を有するものであり、前記インク共通流路は、前記基板におけるノズルの開口する面と同一の一方の表面側に形成されたものであり、前記インク通路は、前記インク共通流路に連通され、前記基板の厚み方向に形成された流路部分及び当該流路部分に連通され、前記基板におけるノズルの開口する面とは反対の他方の表面側に形成された流路部分からなるインク供給路と、このインク供給路に連通する加圧室とからなることを特徴としている。
【００１８】
この請求項５に係るインクジェットヘッドにおいては、インク共通流路が、基板におけるノズルの開口する面と同一の一方の表面側に形成されたものであり、インク通路が、インク共通流路に連通され、基板の厚み方向に形成された流路部分及び当該流路部分に連通され、基板におけるノズルの開口する面とは反対の他方の表面側に形成された流路部分からなるインク供給路と、このインク供給路に連通する加圧室とからなる一方、インク共通流路が波形に形成され、インク通路がインク共通流路に対してその波形の頂部位置で連通されていることから、インク共通流路の両側のノズル列が互いに近接して配設され、隣接するノズル列の間隔が狭められる。
【００１９】
また、請求項６に係るインクジェットヘッドは、請求項３又は４記載のものにおいて、前記基板は対向する一方の表面及び他方の表面を有するものであり、前記インク共通流路は、前記基板におけるノズルの開口する一方の表面とは反対の他方の表面側に形成されたものであり、前記インク通路は、前記インク共通流路に連通するもので、前記基板におけるノズルの開口する一方の表面とは反対の他方の表面側に形成された流路部分からなるインク供給路と、このインク供給路に連通する加圧室とからなることを特徴としている。
【００２０】
この請求項６に係るインクジェットヘッドにおいては、インク共通流路が、基板におけるノズルの開口する一方の表面とは反対の他方の表面側に形成されたものであり、インク通路が、インク共通流路に連通するもので、基板におけるノズルの開口する一方の表面とは反対の他方の表面側に形成された流路部分からなるインク供給路と、このインク供給路に連通する加圧室とからなる一方、インク共通流路が波形に形成され、インク通路がインク共通流路に対してその波形の頂部位置で連通されていることから、インク共通流路の両側のノズル列が互いに近接して配設され、隣接するノズル列の間隔が狭められる。
【００２１】
【発明の実施の形態】
図１は本発明の実施形態に係るインクジェットヘッドの平面図であり、図２は図１のＡ−Ａ線に沿う断面図で、上下方向を逆転して示したものである。
【００２２】
これらの図において、インクジェットヘッドは、対向する一方の表面１０ａ及び他方の表面１０ｂを有する樹脂からなる矩形状の基板１０を備えている。この基板１０の内部には、その長手方向に沿い、かつ、一方の表面１０ａ側に複数のインク共通流路１１が一定の間隔をおいて形成されている。このインク共通流路１１は、基板１０に溝１１ａを形成し、この溝１１ａを覆うように基板１０に平板状の被覆体１１ｂを配設することにより構成されている。この被覆体１１ｂは、貼着等の手段で基板１０に取り付けられる。このように構成された各インク共通流路１１の長手方向の一端は閉じられているが、他端は基板１０の側面に通じており、この他端から図略のインクタンクのインクが供給されるようになっている。
【００２３】
また、基板１０の内部には、インク共通流路１１に沿って、インク共通流路１１と後述するノズル１３とを繋ぐインク通路の一部となる多数のインク供給路１２が一定のピッチで形成されている。このインク供給路１２は、インク共通流路１１と基板１０の他方の表面１０ｂとの間に、基板１０の厚み方向（基板１０の対向する表面１０ａ、１０ｂ間方向）に沿って形成されており、一端がインク共通流路１１の幅方向中間位置に連通されると共に、他端が基板１０の他方の表面１０ｂ側に開口している。
【００２４】
また、基板１０の内部には、インク共通流路１１の両側に多数のノズル１３が互いに半ピッチずれた状態でそれぞれ一列に並べられて形成されている。このノズル１３は、一端が基板１０の一方の表面１０ａに開口すると共に、基板１０の厚み方向に沿って形成されている。
【００２５】
また、基板１０の内部には、各インク共通流路１１の両側に、インク共通流路１１とノズル１３とを繋ぐインク通路の一部となる多数の加圧室１４が各ノズル１３に対応して一列に並べられて形成されている。この加圧室１４は、基板１０の他方の表面１０ｂとノズル１３との間に溝１４ａが形成され、この溝１４ａを覆うように基板１０に振動板１５が配設されて構成されている。この振動板１５は、ガラス等の絶縁材料から形成され、貼着等の手段で基板１０の略全域に取り付けられている。上記溝１４ａは、一端が基板１０の他方の表面１０ｂに開口し、他端がノズル１３の他端に連通されており、基板１０の厚み方向と直交する方向である横断面が四角形状に形成されると共に、他端側が先細り形状に形成され、全体として四角錐に近似した形状を有している。
【００２６】
また、基板１０の他方の表面１０ｂには、インク供給路１２と所定の位置の加圧室１４とに連通する溝１６、１７がインク共通流路１１に対して斜めに形成されている。すなわち、溝１６は、インク共通流路１１の一方の側の加圧室１４と、斜め位置において対応する１つおきのインク供給路１２とに連通され、溝１７は、インク共通流路１１の他方の側の加圧室１４と、斜め位置において対応する残る１つおきのインク供給路１２とに連通されている。また、この溝１６、１７は、インク供給路１２に連通される側がインク共通流路１１に供給されるインクの上流側に向くような方向に傾斜するように形成されている。また、この溝１６、１７は、インク供給路１２の開口部と共に上記振動板１５で覆われることにより、インク供給路１２の一部となる接続路１８、１９を構成する。なお、この実施形態においては、接続路１８、１９はそれぞれインクの逆流を阻止する隘路としての機能を有している。
【００２７】
また、上記振動板１５の外面側には、加圧室１４を構成する溝１４ａに対応する位置にチタン酸ジルコン酸鉛等からなる圧電素子２０が配設されている。
【００２８】
上記のように構成されたインクジェットヘッドは、基板１０の一方の表面１０ａに多数のノズル１３が複数列に配設されたものとなり、インクジェット記録装置等に取り付けられて圧電素子２０に駆動信号が与えられると、振動板１５が振動することによって加圧室１４が加圧され、インク共通流路１１からインク供給路１２を介して供給された加圧室１４内部のインクがノズル１３から吐出され、記録用紙等に所定の画像を記録する。
【００２９】
上記のように構成されたインクジェットヘッドは、各接続路１８、１９がインク共通流路１１に対して斜めに形成されているので、接続路１８、１９にインクの良好な供給に必要な一定の長さを確保でき、しかも、加圧室１４をインク共通流路１１に近接して配設できるようになる。その結果、ノズル１３をインク共通流路１１に近接して配設できるのでノズル１３の列間隔が狭められ、インクジェットヘッドの小型化が可能となる。
【００３０】
また、インク共通流路１１が、基板１０のノズル１３が開口する一方の表面１０ａ側に配設されているので、インク共通流路１１をノズル１３よりも径の大きな加圧室１４の存在する他方の表面１０ｂ側に配設する場合に比べて加圧室１４をインク共通流路１１に近接して配設できるようになり、その結果、ノズル１３をインク共通流路１１に近接して配設できるのでノズル１３の列間隔を狭めることができ、インクジェットヘッドの小型化が可能となる。
【００３１】
また、加圧室１４が基板１０の他方の表面１０ｂとノズル１３との間に基板の厚み方向に沿って形成されているので、ノズル１３をインク共通流路１１に近接して配設できるようになり、その結果、ノズル１３の列間隔を狭めることができ、インクジェットヘッドの小型化が可能となる。
【００３２】
また、上記のように構成されたインクジェットヘッドは、インク供給路１２の一部を構成する接続路１８、１９が、基板１０の他方の表面に形成された溝１６、１７と、この溝１６、１７を覆うように配設された振動板１５とで構成されているので、基板１０を樹脂成型する場合、成型金型には接続路１８、１９を形成するための細いピンを必要としない。そのため、金型の取り扱いが容易になって基板１０の製作が容易になると共に、金型費用が低減できてインクジェットヘッドのコストダウンが可能となる。なお、この実施形態では、接続路１８、１９に隘路としての機能を持たせているが、隘路はインク供給路１２とインク共通流路１１との連通部分に形成するようにしてもよい。
【００３３】
なお、上記の実施形態では、インク共通流路１１が基板１０の一方の表面１０ａ側に形成されているが、図３及び図４に示すように、このインク共通流路１１を基板１０の他方の表面１０ｂ側に形成するようにすることもできる。すなわち、図３はインクジェットヘッドの一部を示す平面図であり、図４は図３のＢ−Ｂ線に沿う断面図で、上下方向を逆転させて示したものである。これらの図に基づき、図１及び図２に示す実施形態との相違点のみ説明すると、インク共通流路１１は、基板１０の他方の表面１０ｂに形成した溝１１ａを振動板１５で覆うことによって構成され、斜めに形成された接続路１８、１９はこのインク共通流路１１に直接連通される。すなわち、図１及び図２における符号１２で示すインク供給路はなくなり、インク共通流路１１から加圧室１４にインクを供給するためのインク供給路は接続路１８、１９のみで構成されることになる。
【００３４】
このように構成されたインクジェットヘッドは、インク供給路を構成する接続路１８、１９がインク共通流路１１に対して斜めに形成されているので、加圧室１４をインク共通流路１１に近接して配設でき、その結果、ノズル１３をインク共通流路１１に近接して配設でき、隣接するノズル１３の列間隔を狭めることができてインクジェットヘッドの小型化が可能となる。
【００３５】
また、このように構成されたインクジェットヘッドは、インク供給路が基板１０の他方の表面１０ｂに形成した溝１６、１７を振動板１５で覆うことによって構成されるので、図１及び図２において符号１２で示すインク供給路が不要となり、基板１０を樹脂成型する場合に、成型金型に細いピンを設ける必要がなくなる。その結果、金型の取り扱いが容易になって基板１０の製作が容易になると共に、金型費用が低減できてインクジェットヘッドのコストダウンが可能となる。
【００３６】
なお、上記のいずれの実施形態においても、ノズル１３と加圧室１４はインク共通流路１１の両側に配設されているが、インク共通流路１１の片側にのみ配設することもできる。この場合でも、ノズル１３の列間隔を狭めることができる。
【００３７】
また、上記のいずれの実施形態においても、インク供給路１２の一部である接続路１８、１９が基板１０の表面に沿う方向に形成されているが、加圧室が基板１０の表面に沿う方向に形成されている構造のものであっても、その加圧室がインク共通流路１１に対して斜めに形成されていれば上記実施形態と同様の効果を奏する。要するに、インク共通流路１１とノズル１３を繋ぐインク通路の少なくとも一部が基板１０の表面に沿う方向に形成され、その基板１０の表面に沿う方向に形成された部分がインク共通流路１１に対して斜めに形成されておればよい。
【００３８】
また、上記のいずれの実施形態においても、インク共通流路１１が直線状に形成され、そのインク共通流路１１に対してインク供給路を構成している接続路１８、１９が斜めに形成されたものであるが、図５及び図６に示すように、このインク共通流路１１を基板１０の表面１０ａ、１０ｂに沿う方向において波形に形成するようにしても隣接するノズル列の間隔を狭めることができる。
【００３９】
すなわち、図５はインクジェットヘッドの一部を示す平面図であり、図６は図５のＣ−Ｃ線に沿う拡大断面図で、上下方向を逆にして示したものである。これらの図に基づき、図１及び図２に示す実施形態との相違点のみ説明すると、インク共通流路１１は、基板１０の一方の表面１０ａに溝１１ａをその表面１０ａに沿う方向に二等辺三角形からなる波形に形成し、この溝１１ａを波形の被覆体１１ｂで覆うことによって構成されている。また、インク供給路１２は、インク共通流路１１の波形の頂部位置でインク共通流路１１に連通されており、インク共通流路１１の両側に互いに半ピッチずれた状態で形成されたノズル１３と加圧室１４は、インク共通流路１１の波形の頂部と頂部との間の凹部となる位置に配設されている。インク供給路１２の一部となる接続路１８、１９は互いに並行して配設され、一端がインク共通流路１１の上記頂部位置のインク供給路１２に連通され、他端が加圧室１４に連通されている。
【００４０】
このように構成されたインクジェットヘッドは、インク共通流路１１の両側のノズル１３と加圧室１４がそれぞれインク共通流路１１の波形の凹部となる位置に配設されているので、インク共通流路１１の両側の加圧室１４を互いに近接して配設できるようになり、その結果、インク共通流路１１の両側のノズル１３の列間隔を狭めることができ、インクジェットヘッドの小型化が可能となる。しかも、接続路１８、１９がインク共通流路１１の波形の頂部位置でインク供給路１２に連通されているので、ノズルからのインクの良好な吐出に必要な一定の長さを確保することができる。
【００４１】
なお、図５及び図６に示す実施形態では、インク共通流路１１が基板１０の一方の表面１０ａ側に形成されているが、図７及び図８に示すように、このインク共通流路１１を基板１０の他方の表面１０ｂ側に形成するようにすることもできる。すなわち、図７はインクジェットヘッドの一部を示す平面図であり、図８は図７のＤ−Ｄ線に沿う断面図で、上下方向を逆転させて示したものである。これらの図に基づき、図５及び図６に示す実施形態との相違点のみ説明すると、インク共通流路１１は、基板１０の他方の表面１０ｂに形成した溝１１ａを振動板１５で覆うことによって構成され、接続路１８、１９はこのインク共通流路１１の波形の頂部位置で直接連通される。すなわち、図５及び図６における符号１２で示すインク供給路はなくなり、インク共通流路１１から加圧室１４にインクを供給するためのインク供給路は接続路１８、１９のみで構成されることになる。
【００４２】
このように構成されたインクジェットヘッドは、図５及び図６の場合と同様に、インク共通流路１１の両側の加圧室１４を互いに近接して配設でき、インク共通流路１１の両側のノズル１３の列間隔を狭めることができてインクジェットヘッドの小型化が可能となる。
【００４３】
また、このように構成されたインクジェットヘッドは、インク供給路が基板１０の他方の表面１０ｂに形成した溝１６、１７を振動板１５で覆うことによって構成されるので、図５及び図６において符号１２で示すインク供給路が不要となり、基板１０を樹脂成型する場合に、成型金型に細いピンを設ける必要がなくなる。その結果、金型の取り扱いが容易になって基板１０の製作が容易になると共に、金型費用が低減できてインクジェットヘッドのコストダウンが可能となる。
【００４４】
なお、上記図５及び図６と、図７及び図８に示す実施形態において、インク共通流路１１の波形は、正弦波形のような滑らかな形状としてもよい。また、接続路１８、１９は、上記のようなインク共通流路１１の波形の頂部位置でインク供給路１２又はインク共通流路１１に連通されるのではなく、波形の互いの反対側の頂部位置間で連通されるようにしてもよい。
【００４５】
【発明の効果】
以上のように、請求項１及び２の発明によれば、インク通路を構成するインク供給路のうち、インク共通流路の幅方向中間位置に連通された流路部分に連通された流路部分であって、基板の他方の表面側に形成された流路部分が、インク共通流路に対して斜めに形成されていることから、ノズルをインク共通流路に近接して配設することができ、隣接するノズル列の間隔を狭めることができてインクジェットヘッドの小型化が可能となる。
【００４６】
また、請求項３乃至６の発明によれば、インク共通流路が波形に形成されていることから、インク共通流路の両側のノズル列を互いに近接して配設することができ、隣接するノズル列の間隔を狭めることができてインクジェットヘッドの小型化が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態に係るインクジェットヘッドの一部を切り欠いて示す平面図である。
【図２】図１のインクジェットヘッドのＡ−Ａ線の断面図であり、図１とは上下方向を逆転させて示したものである。
【図３】本発明のインクジェットヘッドの変形例を示す要部平面図である。
【図４】図３のインクジェットヘッドのＢ−Ｂ線の断面図であり、図３とは上下方向を逆転させて示したものである。
【図５】本発明の別の実施形態に係るインクジェットヘッドの要部平面図である。
【図６】図５のインクジェットヘッドのＣ−Ｃ線の断面図であり、図５とは上下方向を逆転させて示したものである。
【図７】図５及び図６のインクジェットヘッドの変形例を示す要部平面図である。
【図８】図７のインクジェットヘッドのＤ−Ｄ線の断面図であり、図７とは上下方向を逆転させて示したものである。
【図９】従来のインクジェットヘッドを示す図であり、（ａ）はその要部断面図、（ｂ）はその要部平面図である。
【符号の説明】
１０基板
１１インク共通流路
１２インク供給路
１３ノズル
１４加圧室
１５振動板
１６、１７接続路を構成する溝
１８、１９接続路
２０圧電素子[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to an inkjet head used in an inkjet recording apparatus or the like, and more particularly to an inkjet head in which a large number of nozzles are arranged on the surface of a substrate and ink droplets are ejected from the nozzles.
[0002]
[Prior art]
Conventionally, as shown in FIG. 9A, which is a cross-sectional view of the main part of this type of inkjet head, and FIG. A rectangular substrate 100 made of a resin having On the one surface 100a side of the substrate 100, an ink common flow channel 101 is formed along the longitudinal direction thereof. The ink common flow path 101 is configured by forming a groove 101a in the substrate 100 and disposing a covering body 101b on the substrate 100 so as to cover the groove 101a. One end of the ink common flow path 101 thus configured is closed in the longitudinal direction, but the other end communicates with the side surface of the substrate 100, and the ink in the ink tank disposed outside from the other end side is provided. Is to be supplied.
[0003]
Further, on the one surface 100 a side of the substrate 100, a large number of nozzles 102 are arranged in a line at a constant pitch along the ink common flow path 101. On one surface 100 a of the substrate 100, a nozzle plate 102 a made of a metal plate is disposed along the nozzle 102 so that the ink discharge port of the nozzle 102 has water repellency.
[0004]
Further, inside the substrate 100, a large number of ink supply paths constituting a part of the ink path connecting the ink common flow path 101 and the nozzle 102 between the ink common flow path 101 and the other surface 100 b of the substrate 100. 103 is formed. One end of the ink supply path 103 communicates with the ink common flow path 101, and the other end opens on the other surface 100 b of the substrate 100.
[0005]
Further, on the other surface 100 b side of the substrate 100, a number of pressurizing chambers 104 constituting a part of the ink passage connecting the ink common flow path 101 and the nozzle 102 are formed in a direction orthogonal to the ink common flow path 101. ing. The pressurizing chamber 104 is configured by forming a groove 104a in the substrate 100 and disposing a diaphragm 105 on the substrate 100 so as to cover the groove 104a. The diaphragm 105 also covers the opening of the ink supply path 103 at the same time. One end of the pressurizing chamber 104 communicates with the other end of the ink supply path 103, and the other end of the pressurizing chamber 104 communicates with the nozzle 102 side. A piezoelectric element 106 is disposed at a location corresponding to the groove 104 a on the outer surface side of the diaphragm 105.
[0006]
In the ink jet head configured as described above, when a driving signal is given and the piezoelectric element 106 is driven, the vibration chamber 105 vibrates to pressurize the pressurizing chamber 104, thereby supplying ink from the ink common channel 101. Ink in the pressurizing chamber 104 supplied via the path 103 is sent to the nozzle 102 side, and ink droplets are ejected from the nozzle 102.
[0007]
[Problems to be solved by the invention]
However, in the ink jet head configured as described above, a portion formed in the direction along the surface of the substrate 100 in the ink passage connecting the ink common passage 101 and the nozzle 102 is the ink common passage. In addition, the ink passage is required to have a certain length in order to discharge ink droplets from the nozzles satisfactorily. As a result, the substrate of the ink common flow path 101 and the nozzles 102 is formed. When the intervals in the direction along the surface of 100 are inevitably widened and the nozzles 102 are arranged in a plurality of rows, there is a problem that the spacing between adjacent nozzle rows is widened and the miniaturization of the inkjet head is hindered.
[0008]
Accordingly, an object of the present invention is to provide an ink jet head that can be miniaturized by narrowing the interval between adjacent nozzle rows.
[0009]
[Means for Solving the Problems]
To achieve the above object, an ink jet head according to claim 1 comprises a substrate having one surface and the other surface opposite the common ink flow path formed in one surface side of the substrate therein, A plurality of nozzles formed along the ink common flow path inside the substrate and opened on one surface of the substrate; and the ink common flow path formed inside the substrate; An ink passage connected to the nozzle, the ink passage communicating with the intermediate position in the width direction of the ink common flow path, and the flow path portion formed in the thickness direction of the substrate and the flow path. An ink supply path comprising a flow path portion that is communicated with the path portion and is formed obliquely with respect to the ink common flow path on the other surface side of the substrate; and a pressure chamber that communicates with the ink supply path; It is characterized in that it comprises.
[0010]
In the inkjet head according to the claim 1, of the ink supply path constituting the ink passage, since the flow path portion in the other surface side of the substrate is formed obliquely with respect to the common ink flow path, the By ensuring a certain length necessary for good ink supply in the flow path portion, it becomes possible to dispose the pressurizing chamber close to the ink common flow path. As a result, the nozzles are close to the ink common flow path. It can arrange | position and the space | interval of an adjacent nozzle row is narrowed.
[0011]
An ink jet head according to a second aspect is the ink jet head according to the first aspect, wherein the nozzles are formed on both sides of the ink common flow path at positions shifted from each other by a half pitch on one side and the other side. The flow path portions formed obliquely with respect to the ink common flow path are disposed on both sides of the ink common flow path, and are half of each other on one side and the other side of the ink common flow path. It is characterized that you have communicated with a position shifted pitch.
[0012]
In the ink jet head according to the second aspect, the nozzles are formed on both sides of the ink common flow path and at positions shifted from each other by a half pitch between the one side and the other side, and oblique to the ink common flow path. Are formed on both sides of the common ink flow path and communicated with each other at positions shifted by a half pitch on the one side and the other side of the common ink flow path. Ink fed from the common channel is evenly supplied to each nozzle .
[0013]
An ink jet head according to a third aspect of the invention includes an ink common flow path on a substrate, nozzles for discharging a plurality of ink droplets respectively formed along both sides of the ink common flow path, and the ink common flow path. A plurality of ink passages connecting the nozzles, the nozzles being formed at positions shifted from each other by a half pitch on one side and the other side of the ink common flow path, and a part of the ink passages An ink jet head configured to be formed in parallel with each other along a surface of a substrate, wherein the ink common flow path is formed in a waveform in a direction along the surface of the substrate, and the ink passage is formed with respect to the ink common flow path. It is characterized in that it is communicated at the top position of the corrugation .
[0014]
In the ink jet head according to the third aspect, the ink common flow path is formed in a waveform, and the ink passage communicates with the ink common flow path at the top portion of the waveform. is arranged nozzle rows are close to each other, the spacing between adjacent nozzle rows narrowed et be.
[0015]
The ink jet head according to claim 4, in what according to claim 3, the waveform of the common ink flow path is characterized der Rukoto made of isosceles triangle.
[0016]
In this ink jet head according to claim 4, since the waveform is uniform shape along the longitudinal direction of the common ink flow path, that Do a good flow of the ink in the ink inside the common flow channel.
[0017]
An ink jet head according to a fifth aspect is the ink jet head according to the third or fourth aspect, wherein the substrate has one surface and the other surface facing each other, and the ink common flow path is a nozzle in the substrate. The ink passage is communicated with the ink common flow path, and is formed in the thickness direction of the substrate, and the flow path portion. communicates with an ink supply path including the other surface side of the formed channel section opposite to the opening surfaces of the nozzles in the substrate, the compression chamber and Tona Turkey communicating with the ink supply path It is characterized by.
[0018]
In the ink jet head according to the fifth aspect, the ink common flow path is formed on one surface side of the substrate that is the same as the surface of the nozzle, and the ink path is communicated with the ink common flow path. An ink supply path comprising a flow path portion formed in the thickness direction of the substrate and a flow path portion that is communicated with the flow path portion and formed on the other surface side opposite to the surface of the substrate where the nozzles are open; The pressure chamber is connected to the ink supply path, while the ink common flow path is formed in a waveform, and the ink path communicates with the ink common flow path at the top position of the waveform. both sides of the nozzle rows of the flow path is disposed in close proximity to one another, Ru narrowed the interval between the adjacent nozzle arrays.
[0019]
An ink jet head according to a sixth aspect of the present invention is the ink jet head according to the third or fourth aspect, wherein the substrate has one surface and the other surface facing each other, and the ink common flow path is a nozzle in the substrate. Is formed on the other surface side opposite to the one surface of the substrate, and the ink passage communicates with the ink common flow path. It is characterized by comprising an ink supply path composed of a flow path portion formed on the opposite other surface side and a pressurizing chamber communicating with the ink supply path.
[0020]
In the ink jet head according to claim 6, the ink common flow path is formed on the other surface side of the substrate opposite to the one surface where the nozzles are opened, and the ink path is the ink common flow path. The ink supply path is formed of a flow path portion formed on the other surface side of the substrate opposite to the one surface where the nozzles are opened, and a pressure chamber is connected to the ink supply path. On the other hand, since the ink common flow path is formed in a waveform and the ink passage communicates with the ink common flow path at the top position of the waveform, the nozzle rows on both sides of the ink common flow path are arranged close to each other. And the interval between adjacent nozzle rows is narrowed.
[0021]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
FIG. 1 is a plan view of an inkjet head according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a cross-sectional view taken along the line AA in FIG.
[0022]
In these drawings, the ink jet head includes a rectangular substrate 10 made of a resin having one surface 10a and the other surface 10b facing each other. Inside the substrate 10, a plurality of ink common flow paths 11 are formed at regular intervals along the longitudinal direction and on one surface 10 a side. The ink common flow path 11 is configured by forming a groove 11a in the substrate 10 and disposing a flat cover 11b on the substrate 10 so as to cover the groove 11a. This covering 11b is attached to the substrate 10 by means such as sticking. One end in the longitudinal direction of each ink common flow path 11 configured in this way is closed, but the other end communicates with the side surface of the substrate 10, and ink from an ink tank (not shown) is supplied from the other end. It has become so.
[0023]
In addition, a large number of ink supply paths 12 that form part of an ink path connecting the ink common flow path 11 and a nozzle 13 described later are formed at a constant pitch along the ink common flow path 11 inside the substrate 10. Has been. The ink supply path 12 is formed between the ink common flow path 11 and the other surface 10b of the substrate 10 along the thickness direction of the substrate 10 (the direction between the opposing surfaces 10a and 10b of the substrate 10). , One end communicates with an intermediate position in the width direction of the ink common flow path 11, and the other end opens to the other surface 10 b side of the substrate 10.
[0024]
In addition, inside the substrate 10, a large number of nozzles 13 are formed on both sides of the common ink flow path 11 so as to be aligned in a row with a half pitch shift. One end of the nozzle 13 opens in one surface 10 a of the substrate 10 and is formed along the thickness direction of the substrate 10.
[0025]
Further, inside the substrate 10, on both sides of each ink common flow path 11, a number of pressurizing chambers 14 serving as part of an ink passage connecting the ink common flow path 11 and the nozzle 13 correspond to each nozzle 13. Are arranged in a row. The pressurizing chamber 14 is configured such that a groove 14a is formed between the other surface 10b of the substrate 10 and the nozzle 13, and a vibration plate 15 is disposed on the substrate 10 so as to cover the groove 14a. The diaphragm 15 is made of an insulating material such as glass, and is attached to substantially the entire area of the substrate 10 by means such as sticking. The groove 14a has one end opened to the other surface 10b of the substrate 10 and the other end communicated with the other end of the nozzle 13. The cross section formed in a direction perpendicular to the thickness direction of the substrate 10 is formed in a square shape. In addition, the other end side is formed in a tapered shape, and has a shape that approximates a quadrangular pyramid as a whole.
[0026]
On the other surface 10 b of the substrate 10, grooves 16 and 17 communicating with the ink supply path 12 and the pressurizing chamber 14 at a predetermined position are formed obliquely with respect to the ink common flow path 11. That is, the groove 16 communicates with the pressurizing chamber 14 on one side of the ink common flow path 11 and every other corresponding ink supply path 12 at an oblique position, and the groove 17 communicates with the ink common flow path 11. The pressure chamber 14 on the other side communicates with the remaining ink supply passages 12 corresponding to each other at an oblique position. Further, the grooves 16 and 17 are formed so as to incline in a direction in which the side communicating with the ink supply path 12 faces the upstream side of the ink supplied to the ink common flow path 11. The grooves 16 and 17 are covered with the diaphragm 15 together with the opening of the ink supply path 12, thereby forming connection paths 18 and 19 that are part of the ink supply path 12. In this embodiment, each of the connection paths 18 and 19 has a function as a bottleneck that prevents backflow of ink.
[0027]
A piezoelectric element 20 made of lead zirconate titanate or the like is disposed on the outer surface side of the diaphragm 15 at a position corresponding to the groove 14 a constituting the pressurizing chamber 14.
[0028]
The ink jet head configured as described above has a plurality of nozzles 13 arranged in a plurality of rows on one surface 10a of the substrate 10, and is attached to an ink jet recording apparatus or the like to give a drive signal to the piezoelectric element 20. Then, the pressure chamber 14 is pressurized by the vibration of the vibration plate 15, and the ink inside the pressure chamber 14 supplied from the ink common flow path 11 through the ink supply path 12 is discharged from the nozzle 13. A predetermined image is recorded on a recording sheet or the like.
[0029]
In the ink jet head configured as described above, since the connection paths 18 and 19 are formed obliquely with respect to the ink common flow path 11, a certain amount required for good supply of ink to the connection paths 18 and 19. The length can be secured, and the pressurizing chamber 14 can be disposed close to the ink common flow path 11. As a result, the nozzles 13 can be arranged close to the ink common flow path 11, so that the row spacing of the nozzles 13 is narrowed, and the ink jet head can be miniaturized.
[0030]
In addition, since the ink common flow path 11 is disposed on the one surface 10 a side where the nozzle 13 of the substrate 10 opens, the pressure chamber 14 having a diameter larger than that of the nozzle 13 exists in the ink common flow path 11. The pressurizing chamber 14 can be disposed closer to the ink common flow path 11 than when disposed on the other surface 10b side. As a result, the nozzle 13 is disposed closer to the ink common flow path 11. Therefore, the interval between the nozzles 13 can be narrowed, and the ink jet head can be downsized.
[0031]
Further, since the pressurizing chamber 14 is formed along the thickness direction of the substrate between the other surface 10 b of the substrate 10 and the nozzle 13, the nozzle 13 can be disposed close to the ink common flow path 11. As a result, the row interval of the nozzles 13 can be narrowed, and the ink jet head can be miniaturized.
[0032]
Further, in the ink jet head configured as described above, the connection paths 18 and 19 constituting a part of the ink supply path 12 have grooves 16 and 17 formed on the other surface of the substrate 10, and the grooves 16, 17 is configured with the diaphragm 15 disposed so as to cover 17, when the substrate 10 is resin-molded, the molding die does not require thin pins for forming the connection paths 18 and 19. As a result, handling of the mold becomes easy and the manufacture of the substrate 10 becomes easy, and the cost of the mold can be reduced and the cost of the inkjet head can be reduced. In this embodiment, the connecting paths 18 and 19 have a function as a bottleneck, but the bottleneck may be formed at a communication portion between the ink supply path 12 and the ink common channel 11.
[0033]
In the above embodiment, the ink common flow path 11 is formed on the one surface 10a side of the substrate 10. However, the ink common flow path 11 is connected to the other side of the substrate 10 as shown in FIGS. It can also be formed on the surface 10b side. That is, FIG. 3 is a plan view showing a part of the ink jet head, and FIG. 4 is a cross-sectional view taken along line BB in FIG. Based on these drawings, only the difference from the embodiment shown in FIGS. 1 and 2 will be described. The ink common flow path 11 is formed by covering the groove 11 a formed on the other surface 10 b of the substrate 10 with the vibration plate 15. The connection paths 18 and 19 that are configured and formed obliquely are in direct communication with the ink common flow path 11. That is, the ink supply path indicated by reference numeral 12 in FIGS. 1 and 2 is eliminated, and the ink supply path for supplying ink from the ink common flow path 11 to the pressurizing chamber 14 is configured by only the connection paths 18 and 19. become.
[0034]
In the ink jet head configured as described above, since the connection paths 18 and 19 constituting the ink supply path are formed obliquely with respect to the ink common flow path 11, the pressurizing chamber 14 is close to the ink common flow path 11. As a result, the nozzles 13 can be disposed close to the ink common flow path 11, and the row interval between the adjacent nozzles 13 can be narrowed, and the ink jet head can be miniaturized.
[0035]
In addition, the ink jet head configured in this manner is configured by covering the grooves 16 and 17 formed in the other surface 10b of the substrate 10 with the vibration plate 15 in the ink supply path. No ink supply path indicated by 12 is required, and it is not necessary to provide a thin pin in the molding die when the substrate 10 is resin-molded. As a result, it is easy to handle the mold, and the substrate 10 can be easily manufactured. The mold cost can be reduced, and the cost of the inkjet head can be reduced.
[0036]
In any of the above embodiments, the nozzle 13 and the pressurizing chamber 14 are disposed on both sides of the ink common flow path 11, but may be disposed only on one side of the ink common flow path 11. Even in this case, the row interval of the nozzles 13 can be reduced.
[0037]
In any of the above embodiments, the connection paths 18 and 19 that are a part of the ink supply path 12 are formed in the direction along the surface of the substrate 10, but the pressurizing chamber is along the surface of the substrate 10. Even if the structure is formed in the direction, if the pressurizing chamber is formed obliquely with respect to the ink common flow path 11, the same effect as in the above embodiment can be obtained. In short, at least a part of the ink passage connecting the ink common flow path 11 and the nozzle 13 is formed in a direction along the surface of the substrate 10, and a portion formed in the direction along the surface of the substrate 10 is the ink common flow path 11. In contrast, it may be formed obliquely.
[0038]
In any of the above embodiments, the ink common flow path 11 is formed in a straight line, and the connection paths 18 and 19 constituting the ink supply path are formed obliquely with respect to the ink common flow path 11. However, as shown in FIGS. 5 and 6, even if the ink common flow path 11 is formed in a waveform in the direction along the surfaces 10 a and 10 b of the substrate 10, the interval between adjacent nozzle rows is reduced. be able to.
[0039]
That is, FIG. 5 is a plan view showing a part of the inkjet head, and FIG. 6 is an enlarged cross-sectional view taken along the line CC in FIG. 5, with the vertical direction reversed. Based on these drawings, only the difference from the embodiment shown in FIGS. 1 and 2 will be described. The ink common flow path 11 has an isosceles shape in which the groove 11a is formed on one surface 10a of the substrate 10 along the surface 10a. It is formed by forming a waveform having a triangular shape and covering this groove 11a with a corrugated covering 11b. The ink supply path 12 communicates with the ink common flow path 11 at the top of the waveform of the ink common flow path 11, and the nozzles 13 are formed on both sides of the ink common flow path 11 so as to be shifted from each other by a half pitch. The pressurizing chamber 14 is disposed at a position that is a recess between the top of the waveform of the common ink flow path 11. The connection paths 18 and 19 that are part of the ink supply path 12 are arranged in parallel to each other, one end communicates with the ink supply path 12 at the top position of the ink common flow path 11, and the other end pressurizes the pressure chamber 14. It is communicated to.
[0040]
In the ink jet head configured as described above, the nozzles 13 and the pressure chambers 14 on both sides of the ink common flow path 11 are disposed at the positions where the concave portions of the waveform of the ink common flow path 11 are formed. The pressurizing chambers 14 on both sides of the path 11 can be disposed close to each other. As a result, the row interval of the nozzles 13 on both sides of the ink common flow path 11 can be reduced, and the ink jet head can be miniaturized. It becomes. In addition, since the connection paths 18 and 19 communicate with the ink supply path 12 at the top of the waveform of the ink common flow path 11, it is possible to secure a certain length necessary for good ink ejection from the nozzles. it can.
[0041]
In the embodiment shown in FIGS. 5 and 6, the ink common flow path 11 is formed on the one surface 10a side of the substrate 10. However, as shown in FIGS. Can be formed on the other surface 10b side of the substrate 10. 7 is a plan view showing a part of the ink jet head, and FIG. 8 is a cross-sectional view taken along the line DD of FIG. 7, showing the up and down direction reversed. Based on these drawings, only the differences from the embodiment shown in FIGS. 5 and 6 will be described. The ink common flow path 11 is formed by covering the groove 11 a formed on the other surface 10 b of the substrate 10 with the vibration plate 15. The connection paths 18 and 19 are directly communicated with each other at the top position of the waveform of the ink common flow path 11. That is, the ink supply path indicated by reference numeral 12 in FIGS. 5 and 6 is eliminated, and the ink supply path for supplying ink from the ink common flow path 11 to the pressurizing chamber 14 is configured by only the connection paths 18 and 19. become.
[0042]
In the ink jet head configured in this manner, the pressure chambers 14 on both sides of the ink common flow path 11 can be disposed close to each other, as in the case of FIGS. The row spacing of the nozzles 13 can be reduced, and the ink jet head can be miniaturized.
[0043]
Further, the ink jet head configured in this manner is configured by covering the grooves 16 and 17 formed in the other surface 10b of the substrate 10 with the vibration plate 15 in the ink supply path. No ink supply path indicated by 12 is required, and it is not necessary to provide a thin pin in the molding die when the substrate 10 is resin-molded. As a result, it is easy to handle the mold, and the substrate 10 can be easily manufactured. The mold cost can be reduced, and the cost of the inkjet head can be reduced.
[0044]
In the embodiments shown in FIGS. 5 and 6 and FIGS. 7 and 8, the waveform of the ink common flow path 11 may be a smooth shape such as a sine waveform. In addition, the connection paths 18 and 19 are not communicated with the ink supply path 12 or the ink common flow path 11 at the top position of the waveform of the ink common flow path 11 as described above, but on the opposite top portions of the waveform. You may make it communicate between positions.
[0045]
【The invention's effect】
As described above, according to the first and second aspects of the present invention, of the ink supply passages constituting the ink passage , the flow passage portion communicated with the flow passage portion communicated with the intermediate position in the width direction of the ink common flow passage. a is the other surface side of the formed channel section of the substrate, since they are formed obliquely with respect to the common ink flow path, it is disposed in close proximity to the nozzle to the common ink flow path In addition, the interval between adjacent nozzle rows can be reduced, and the inkjet head can be miniaturized.
[0046]
According to the third to sixth aspects of the invention, since the ink common flow path is formed in a waveform, the nozzle rows on both sides of the ink common flow path can be arranged close to each other and adjacent to each other. The interval between the nozzle rows can be narrowed, and the ink jet head can be miniaturized.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a plan view showing a part of an inkjet head according to an embodiment of the present invention.
2 is a cross-sectional view taken along the line AA of the ink jet head of FIG. 1, and is shown by reversing the vertical direction from FIG.
FIG. 3 is a plan view of an essential part showing a modification of the ink jet head of the present invention.
4 is a cross-sectional view taken along the line BB of the ink jet head of FIG. 3, which is shown upside down with respect to FIG.
FIG. 5 is a plan view of an essential part of an ink jet head according to another embodiment of the present invention.
6 is a cross-sectional view taken along the line CC of the ink jet head of FIG. 5, which is shown by reversing the vertical direction from FIG.
7 is a plan view of an essential part showing a modification of the ink jet head of FIGS. 5 and 6. FIG.
8 is a cross-sectional view taken along the line DD of the ink jet head of FIG. 7, which is shown upside down with respect to FIG.
9A and 9B are diagrams illustrating a conventional inkjet head, in which FIG. 9A is a cross-sectional view of the main part thereof, and FIG. 9B is a plan view of the main part thereof.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Board | substrate 11 Ink common flow path 12 Ink supply path 13 Nozzle 14 Pressurizing chamber 15 Diaphragm 16, 17 Grooves 18 and 19 constituting connection path 20 Piezoelectric element

Claims

A substrate having one surface and the other surface opposite the common ink flow path formed in one surface side of the substrate inside, which ejects ink droplets, the ink common channel inside the substrate along been formed, a plurality of nozzles which open to one surface of the substrate, formed within the substrate, an ink jet head example Bei the ink passage connecting the said and the common ink flow path nozzle, wherein The ink passage communicates with an intermediate position in the width direction of the ink common flow path, communicates with a flow path portion formed in the thickness direction of the substrate and the flow path portion, and is common to the ink on the other surface side of the substrate. An ink jet head comprising: an ink supply path comprising a flow path portion formed obliquely with respect to the flow path; and a pressure chamber communicating with the ink supply path .

The nozzles are formed on both sides of the ink common flow path and at positions shifted from each other by a half pitch on one side and the other side, and a flow path portion formed obliquely with respect to the ink common flow path the disposed on both sides of the common ink flow path, according to claim 1, characterized in that it communicates at a position shifted by a half pitch from each other at its one side and the other side with respect to the common ink flow path Inkjet head.

The substrate includes an ink common flow path, nozzles for discharging a plurality of ink droplets respectively formed along both sides of the ink common flow path, and a plurality of ink paths connecting the ink common flow path and the nozzle. And the nozzle is formed at a position shifted by a half pitch between one side and the other side of the ink common flow path, and a part of the ink passage is formed in parallel with the surface of the substrate. The ink common flow path is formed in a waveform in a direction along the surface of the substrate, and the ink passage communicates with the ink common flow path at the top position of the waveform. An inkjet head characterized by that.

4. The ink jet head according to claim 3, wherein the waveform of the common ink flow path is an isosceles triangle.

The substrate has one surface and the other surface facing each other, and the ink common flow path is formed on one surface side of the substrate that is the same as the surface of the nozzle, and the ink The passage communicates with the ink common flow channel, and communicates with the flow channel portion formed in the thickness direction of the substrate and the flow channel portion, and on the other surface side opposite to the surface of the substrate where the nozzle opens. 5. The ink jet head according to claim 3, comprising an ink supply path formed of a formed flow path portion and a pressurizing chamber communicating with the ink supply path.

The substrate has one surface and the other surface facing each other, and the ink common flow path is formed on the other surface side opposite to one surface of the substrate where the nozzles are opened. The ink passage communicates with the ink common flow path, and an ink supply path comprising a flow path portion formed on the other surface side of the substrate opposite to the one surface where the nozzles are opened, 5. The ink jet head according to claim 3, further comprising a pressurizing chamber communicating with the ink supply path.