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JP3680554B2 - Exposure equipment - Google Patents
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JP3680554B2 - Exposure equipment - Google Patents

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JP3680554B2 JP12746998A JP12746998A JP3680554B2 JP 3680554 B2 JP3680554 B2 JP 3680554B2 JP 12746998 A JP12746998 A JP 12746998A JP 12746998 A JP12746998 A JP 12746998A JP 3680554 B2 JP3680554 B2 JP 3680554B2
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Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は露光装置に係わり、更に詳しくは、光ビームにより記録媒体に露光する露光装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
光ビームを発生する光学ユニットを直進案内させながら記録媒体に露光して画像を形成する露光装置が知られている。そして露光装置に用いる光学ユニットの駆動機構として、ネジを回転させて直進移動させる方式、またワイヤーを移動して直進移動させる方式等が知られている。
【0003】
また、結像レンズを有する光学系による光ビームを発生させる光学ユニットを直進案内し、記録媒体に露光する露光装置が知られている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、光学ユニットの駆動機構としてネジ駆動方式の場合、駆動構造が複雑であり、回転によるネジピッチむらが出やすく、また振動の影響を受けやすいという問題がある。また、光学ユニットは一般にレーザー発生装置、レンズ、反射ミラー等と重量がかさむ。従ってワイヤー駆動方式では重量のある光学ユニットを精度良く移動するために、一般にワイヤーの線径を太くする必要が出てくる。しかしながら、ワイヤーの線径を太くすると、プーリーに巻き付け移動させたとき、プーリに巻き付いた部分で、ワイヤーの断面が楕円状に押しつぶされ、ワイヤーの移動負荷が変動し、押しつぶされ方が変化する。その結果、プーリーの単位回転量に対するワイヤーの移動量の精度が低下することになる。また、パルスモータによりパルス信号で、プーリーを回転させて、光学ユニットを所定量だけ移動させようとすると誤差が生じる。更に、結像レンズを有する光学ユニットに傾き、上下左右のガタツキが出ると、結像レンズの光軸ズレ、ピントズレ等が出やすいという問題がある。
【0005】
本発明は上記の問題に鑑みなされたもので、第1発明の目的は、簡易で、円滑に、静かで、さらに精度よく直進案内できる機構により光ビームを記憶媒体に精度良く露光できる露光装置を提供することにある。また、第2発明の目的は、光学ユニットの傾き、ガタツキ等による光学誤差が生じにくい機構により光ビームを記憶媒体に精度良く露光できる露光装置を提供することにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】
上記の目的は下記のいずれかの手段により達成される。
【0007】
(1)光ビームを発生する光学ユニットと、前記光ビームにより露光される記録媒体を巻き付け固定される円筒ドラムを有し且つ前記円筒ドラムを保持し回転する記録媒体保持手段と、前記光学ユニットを前記円筒ドラムの軸心と平行に案内軸上を摺動して直進案内する直進案内機構と、平型の金属ベルトにより前記直進案内機構を介して前記光学ユニットを駆動する駆動手段とを備え、前記直進案内機構は、前記案内軸上を摺動する滑り部材の移動に基づき前記案内軸の摺動面を清掃するクリーニング部材を有することを特徴とする露光装置。
【0010】
【発明の実施の形態】
(実施の形態1)
本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。実施の形態として、レーザーによる光ビームにより感光性材料に露光することにより印刷製版用カラープルーフを作製する露光装置について説明するがこれに限定されるものではない。
【0011】
図1は実施の形態の露光装置の構成平面図で、図2は図1の露光装置の構成要部正面図で、図3は図1の露光装置の構成側面図である。
【0012】
露光装置は、駆動手段701、直進案内機構70、光学ユニット50、記録媒体保持手段20等より主に構成されている。各構成について順次説明する。
【0013】
先ず、駆動手段701は、図1、図3に示す如く、駆動源の回転によりプーリー72、73を介して駆動される金属製の平ベルトで形成された金属ベルト74より駆動する手段である。装置本体11に固定された駆動源のパルスモータ71が回転すると、回転軸に固定されたプーリー72も回転し、プーリー72とプーリー73にかけられた金属ベルト74が駆動される。金属ベルト74が駆動され接続部75、防振部材81を介して載置台78が直進駆動する。駆動源としてはサーボモータを使用することもできる。
【0014】
この金属ベルト74は金属製の平ベルトであり、材質としては例えば、301ステンレス鋼、302ステンレス鋼、チタン、ベリリウムカッパー等が好ましい。また、金属ベルトの板厚は0.025mmから0.5mm程度が好ましい。また素材の耐力は180kg/mm2(SUS301HYの場合)が好ましい。金属ベルトは軽量であり、薄いので、高精度の位置決め制御が容易に出来る。金属ベルトによる駆動方式はネジ駆動方式に比較して、摺動部分を持たないので長期間に渡り初期寸法を維持でき、また潤滑油を必要とせず、また清潔である。更に金属ベルトは歯車駆動でないので回転ムラを起こさず精度の良い直進案内ができる。
【0015】
また、駆動手段701は、金属ベルト74の往動工程で光ビーム65により記録媒体Fに露光し、復動工程で、例えばパルスモータ71の回転速度を変更することにより容易に前記往動工程より早い移動速度で復帰でき、露光装置の露光の高速化がはかれる。
【0016】
直進案内機構70は図1、図3に示す如く、金属ベルトを用いた駆動手段701による駆動により装置本体11に固定された案内軸76A、76Bの上を摺動する滑り部材791、792により載置台78を直進案内する。前記滑り部材791は滑り部材791A、791Bにより構成されている。
【0017】
案内軸76A、76Bの材質は加工性がよく仕上がり精度のでやすいステンレス鋼を使用する。従って、光学ユニット50を高精度に案内する。また、案内軸76A、76Bは軸固定座77に取り付けられネジ77Mにより微調整されて固定されている。また、直進案内機構70は案内軸76A側にV字溝のある滑り部材791が滑り直進する。また、案内軸76B側に滑り部材792が滑る。金属ベルト74は案内軸76A側に配置され駆動を円滑にしている。なお、前記V字溝のある滑り部材の代わりに、2個のベアリングの外周をV字状にして案内軸に乗せるようにしてもよい。
【0018】
直進案内機構の防振方法について説明すると、図3に示す如く、駆動手段701と光学ユニット50との間に防振部材81が設けられ、防振部材81は接続部75の上接続部材752と下接続部751との間に固定されている。振動が駆動手段701より直進案内機構70を介して光学ユニット50へ伝わり、光ビームによる露光位置精度の低下を防止している。
【0019】
次に、直進案内機構の案内軸のクリーニングについて説明すると、図2に示す如く、滑り部材791に不織布等のクリーニング部材85を取り付け、移動により案内軸76Aの摺動面を清掃する。なお、クリーニング部材85は載置台78に固定されているが滑り部材791に付けても良い。同様にして、図示しないが滑り部材792の移動により案内軸76Bの摺動面を清掃するクリーニング部材を設ける。なお、駆動手段701と直進案内機構70で構成された光学ユニット50の駆動機構を光学ユニット駆動機構ということにする。
【0020】
次に、光学ユニット50は、図1、図2及び図3に示す如く、直進案内機構70により直進駆動され、画像情報の電気信号を光ビーム65に変換し、光ビーム65を記録媒体Fに露光する。また、光学ユニット50は、光学ベース66の上にレーザー611、612、613、さらに結像レンズ64等の光学系60が取り付けられ、画像情報の電気信号をB(ブルー)、G(グリーン)、R(レッド)の各レーザー611、612、613にそれぞれ入力して、全反射ミラー63、ダイロックミラー62により反射して光を合成し、結像レンズ64により結像して光ビーム65に変換して記録媒体Fに露光する。
【0021】
結像レンズ64は光ビームを作り記録媒体Fに照射する。また、結像レンズの合成主点641はレンズの第1主点H1と第2主点H2との合成主点である。図1に示す如く合成主点641は、案内軸76Aの中心線761Aと、滑り部材791A、791Bの摺動方向でほぼ中央位置との交点近傍に設けている。レンズは合成主点を中心に振れがあっても光軸はずれないという光学上の性質がある。従って、載置台78に固定された光学ユニット移動時に結像レンズ64の光軸と中心線761Aの交点を中心に振れがあっても、結像レンズの合成主点と一致しているので光軸ズレを生じさせない。
【0022】
次に、記録媒体保持手段20は、図1に示す如く、円筒ドラム31であり巻き付けられた記録媒体Fを回転させる。さらに詳しくは、装置本体11に固定されたモータ41が回転すると、モータの回転軸に固定されたプーリー42が回転し、プーリー42とプーリー43にかけられたベルト45が駆動し、プーリー43が回転すると、軸受33により軸受けされたプーリー43と一体の円筒軸32が回転し、円筒軸32に固定された円筒ドラム31が回転する。円筒ドラム31の外周には孔47があり、記憶媒体Fを吸引装置46により吸引して記録媒体を円筒ドラム31に密着させている。また、円筒軸32と一体にロータリエンコーダー21が設置されており、円筒ドラム31の回転位置を計測している。
【0023】
(動作説明)
ここで、露光装置の主要動作を図1、2、3を参照して説明をする。
【0024】
先ず、記録媒体Fを円筒ドラム31に巻き付け、吸引装置46により密着させて固定する。ここで円筒ドラム31をモータ41により回転させる。
【0025】
図示しない外部装置よりの画像情報の電気信号を露光装置が受け取り、信号処理して書き込み画像情報信号をレーザー611、612、613にそれぞれ入力する。その後、光学ユニット50により光ビームを発生させ回転している円筒ドラム31の記録媒体Fに露光して主走査する。一方、金属ベルト74を有する直進案内機構により、光学ユニット50を円筒ドラム軸32と平行に移動して光ビーム65により副走査し、光ビームの主走査と副走査により画像情報を記録媒体Fに書き込む。書き込みが完了すると円筒ドラム31の回転を停止させ、さらに記録媒体Fを吸引を解除して、記録媒体Fを取り出し、図示しない従来技術の現像装置により現像処理してカラープルーフを得る。以上により、金属ベルトを使用した直進案内機構により光学ユニットを移動するので、光学ユニットの直進案内が高精度にでき、高精度の露光ができる。
【0026】
(実施の形態2)
次に、実施の形態の他の直進案内機構の防振について説明する。図4は他の防振機構の正面図である。駆動手段701と直進案内機構70との間に空気バネによる防振部材82が設けられている。防振部材82は接続部75の上接続部材752と下接続部751との間に固定されている。さらに載置台78に光学ユニット50が固定されている。以上により駆動手段701より直進案内機構70を介して光学ユニット50へ振動が伝わり、光ビームによる露光位置精度が低下するのを防止する。
【0027】
(実施の形態3)
次に、実施の形態の他の直進案内機構の防振について説明する。図5は他の防振機構の正面図である。駆動手段701と直進案内機構70との間に防振部材83が設けられている。防振部材83は接続部75の上接続部材752と下接続部751との間に固定されている。さらに、載置台78に光学ユニット50が固定されている。防振部材83としては例えば、イソロス、αゲル、ソルボセインのような防振効果の高い防振部材が用いられる。以上により駆動手段701より直進案内機構70を介して光学ユニット50へ振動が伝わり光ビームによる露光位置精度が低下するのを防止する。
【0028】
また、実施の形態では2つのプーリーの間に金属ベルトをかけて一方のプーリーをモータにより回転させて駆動したが、例えば、一方のプーリーに金属ベルトを巻き付け、他方のプーリーに金属ベルトの先端を固定してこのプーリーにより金属ベルトを巻き取るようにして金属ベルトを移動させても良い。
【0029】
また、実施の形態では光学系の光源としてレーザー光を用いたが、例えばLEDアレイを用いても良い。
【0030】
また、実施の形態ではB(ブルー)、G(グリーン)、R(レッド)光を合成した光により光ビームとしたが、例えば単色光の光ビームでも良い。
【0031】
さらに、実施の形態では記録媒体を回転して、回転と直交する方向に光学ユニットを移動させたが、例えば、記録媒体を直線的に移動し、直交する方向に光学ユニットを移動させても良い。
【0032】
【発明の効果】
以上のように構成したので下記の効果を奏する。請求項1に記載の発明によれば、金属ベルトを使用した直進案内機構により光学ユニットを移動するので、直進案内が高精度に移動でき、高画質が得られる。更に、クリーニング部材により案内軸の塵による精度低下を防止できる。
【0036】
請求項に記載の発明によれば、光学ユニットの振動が防止でき、光学ユニットの移動精度が良くなり画質が向上する。
【0037】
請求項に記載の発明によれば、光ビームを利用した精度の高い露光ができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】実施の形態の露光装置の構成平面図である。
【図2】図1の露光装置の構成要部正面図である。
【図3】図1の露光装置の構成側面図である。
【図4】実施の形態の他の防振機構の構成正面図である。
【図5】実施の形態の他の防振機構の構成正面図である。
【符号の説明】
11 装置本体
20 記録媒体保持手段
31 円筒ドラム
32 円筒軸
50 光学ユニット
64 結像レンズ
641 合成主点
65 光ビーム
701 駆動手段
72,73 プーリー
74 金属ベルト
70 直進案内機構
76A,76B 案内軸
761A 中心線
78 載置台
791,791A,791B,792 滑り部材
81,82,83 防振部材
85 クリーニング部材
F 記録媒体
[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to exposure equipment, more particularly, it relates to an exposure equipment for exposing the recording medium by a light beam.
[0002]
[Prior art]
There is known an exposure apparatus that forms an image by exposing a recording medium while linearly guiding an optical unit that generates a light beam. As a drive mechanism for an optical unit used in the exposure apparatus, a method of rotating a screw and moving it straight, a method of moving a wire and moving it straight, and the like are known.
[0003]
There is also known an exposure apparatus that guides an optical unit that generates a light beam by an optical system having an imaging lens, and exposes a recording medium.
[0004]
[Problems to be solved by the invention]
However, in the case of the screw drive system as the drive mechanism of the optical unit, there is a problem that the drive structure is complicated, uneven screw pitch due to rotation is likely to occur, and is susceptible to vibration. In addition, the optical unit is generally heavy with a laser generator, a lens, a reflection mirror, and the like. Therefore, in order to move a heavy optical unit with high accuracy in the wire drive system, it is generally necessary to increase the wire diameter. However, when the wire diameter is increased, when the wire is wound around the pulley and moved, the cross section of the wire is crushed into an ellipse at the portion wound around the pulley, the movement load of the wire fluctuates, and the manner of crushing changes. As a result, the accuracy of the movement amount of the wire with respect to the unit rotation amount of the pulley is lowered. Further, an error occurs when the pulley is rotated by a pulse signal by a pulse motor to move the optical unit by a predetermined amount. Furthermore, when the optical unit having the imaging lens is tilted and the vertical and horizontal rattling occurs, there is a problem that the optical axis shift and the focus shift of the imaging lens are likely to occur.
[0005]
The present invention has been made in view of the above problems, an object of the first invention, simple and smoothly, quiet, exposure equipment further by accurately linear guide mechanism capable can accurately exposing a light beam in a storage medium Is to provide. A second object of the present invention is to provide an exposure apparatus capable of accurately exposing a light beam to a storage medium by a mechanism in which an optical error due to tilting, rattling or the like of an optical unit hardly occurs.
[0006]
[Means for Solving the Problems]
The above object can be achieved by any of the following means.
[0007]
(1) An optical unit that generates a light beam, a recording medium holding unit that has a cylindrical drum around which a recording medium to be exposed by the light beam is wound and fixed, holds and rotates the cylindrical drum, and the optical unit. A rectilinear guide mechanism that slides on the guide shaft parallel to the axis of the cylindrical drum and linearly guides, and a drive unit that drives the optical unit via a rectilinear guide mechanism by a flat metal belt; 2. The exposure apparatus according to claim 1, wherein the linear guide mechanism includes a cleaning member that cleans a sliding surface of the guide shaft based on movement of the slide member that slides on the guide shaft .
[0010]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
(Embodiment 1)
Embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. As an embodiment, an exposure apparatus for producing a color proof for printing plate making by exposing a photosensitive material with a light beam by a laser will be described, but the present invention is not limited thereto.
[0011]
FIG. 1 is a configuration plan view of the exposure apparatus according to the embodiment, FIG. 2 is a front view of the main part of the configuration of the exposure apparatus of FIG. 1, and FIG. 3 is a side view of the configuration of the exposure apparatus of FIG.
[0012]
The exposure apparatus is mainly composed of a drive unit 701, a rectilinear guide mechanism 70, an optical unit 50, a recording medium holding unit 20, and the like. Each configuration will be described sequentially.
[0013]
First, as shown in FIGS. 1 and 3, the driving unit 701 is a unit that is driven by a metal belt 74 formed of a metal flat belt that is driven through pulleys 72 and 73 by rotation of a driving source. When the pulse motor 71 of the drive source fixed to the apparatus main body 11 rotates, the pulley 72 fixed to the rotating shaft also rotates, and the pulley 72 and the metal belt 74 hung on the pulley 73 are driven. The metal belt 74 is driven, and the mounting table 78 is driven straight through the connection portion 75 and the vibration isolation member 81. A servo motor can also be used as a drive source.
[0014]
The metal belt 74 is a flat metal belt, and for example, 301 stainless steel, 302 stainless steel, titanium, beryllium copper, or the like is preferable. The plate thickness of the metal belt is preferably about 0.025 mm to 0.5 mm. Moreover, the yield strength of the material is preferably 180 kg / mm 2 (in the case of SUS301HY). Since the metal belt is lightweight and thin, high-precision positioning control can be easily performed. Compared to the screw drive system, the metal belt drive system does not have a sliding portion, so that the initial dimensions can be maintained for a long period of time, and does not require lubricating oil and is clean. In addition, since the metal belt is not driven by a gear, it can be guided straight with high accuracy without causing uneven rotation.
[0015]
Further, the driving means 701 exposes the recording medium F by the light beam 65 in the forward movement process of the metal belt 74, and easily changes the rotational speed of the pulse motor 71 in the backward movement process from the forward movement process. It can be returned at a high moving speed, and the exposure apparatus can be exposed at high speed.
[0016]
As shown in FIGS. 1 and 3, the linear guide mechanism 70 is mounted by sliding members 791 and 792 that slide on guide shafts 76A and 76B fixed to the apparatus main body 11 by driving by a driving means 701 using a metal belt. Guide the stand 78 straight. The sliding member 791 includes sliding members 791A and 791B.
[0017]
The guide shafts 76A and 76B are made of stainless steel, which has good workability and is easy to finish. Therefore, the optical unit 50 is guided with high accuracy. The guide shafts 76A and 76B are attached to a shaft fixing seat 77 and are finely adjusted by screws 77M and fixed. Further, in the linear guide mechanism 70, a sliding member 791 having a V-shaped groove on the guide shaft 76A side slides straight. Further, the sliding member 792 slides toward the guide shaft 76B side. The metal belt 74 is disposed on the guide shaft 76A side to facilitate driving. Instead of sliding members with the V-shaped grooves, two of the outer periphery of the bearing may be by Unishi Ru carried on the guide shaft in the V-shape.
[0018]
The vibration isolating method of the rectilinear guide mechanism will be described. As shown in FIG. It is fixed between the lower connecting portion 751. The vibration is transmitted from the driving means 701 to the optical unit 50 via the linear guide mechanism 70, thereby preventing the exposure position accuracy from being lowered by the light beam.
[0019]
Next, the cleaning of the guide shaft of the linear guide mechanism will be described. As shown in FIG. 2, a cleaning member 85 such as a nonwoven fabric is attached to the sliding member 791, and the sliding surface of the guide shaft 76A is cleaned by movement. Although the cleaning member 85 is fixed to the mounting table 78, it may be attached to the sliding member 791. Similarly, although not shown, a cleaning member for cleaning the sliding surface of the guide shaft 76B by the movement of the sliding member 792 is provided. The drive mechanism of the optical unit 50 constituted by the drive means 701 and the straight guide mechanism 70 is referred to as an optical unit drive mechanism.
[0020]
Next, as shown in FIGS. 1, 2, and 3, the optical unit 50 is linearly driven by the linear guide mechanism 70, converts an electrical signal of image information into a light beam 65, and the light beam 65 is applied to the recording medium F. Exposure. In the optical unit 50, an optical system 60 such as lasers 611, 612, and 613 and an imaging lens 64 is attached on an optical base 66, and an electrical signal of image information is converted into B (blue), G (green), Input to R (red) lasers 611, 612, and 613, respectively, and the light is reflected by the total reflection mirror 63 and the die lock mirror 62 to synthesize light, and is imaged by the imaging lens 64 to be converted into the light beam 65. Then, the recording medium F is exposed.
[0021]
The imaging lens 64 creates a light beam and irradiates the recording medium F. Further, a composite principal point 641 of the imaging lens is a composite principal point of the first principal point H1 and the second principal point H2 of the lens. As shown in FIG. 1, the composite principal point 641 is provided in the vicinity of the intersection between the center line 761A of the guide shaft 76A and the center position in the sliding direction of the sliding members 791A and 791B. The lens has an optical property that the optical axis does not deviate even if there is a shake around the synthetic principal point. Therefore, even if there is a swing around the intersection of the optical axis of the imaging lens 64 and the center line 761A when the optical unit fixed to the mounting table 78 is moved, it coincides with the composite principal point of the imaging lens. Does not cause misalignment.
[0022]
Next, as shown in FIG. 1, the recording medium holding unit 20 rotates the recording medium F that is a cylindrical drum 31 and is wound. More specifically, when the motor 41 fixed to the apparatus main body 11 rotates, the pulley 42 fixed to the rotation shaft of the motor rotates, and the pulley 45 and the belt 45 placed on the pulley 43 are driven, and the pulley 43 rotates. The cylindrical shaft 32 integrated with the pulley 43 supported by the bearing 33 rotates, and the cylindrical drum 31 fixed to the cylindrical shaft 32 rotates. A hole 47 is provided on the outer periphery of the cylindrical drum 31, and the recording medium F is sucked by the suction device 46 to bring the recording medium into close contact with the cylindrical drum 31. A rotary encoder 21 is installed integrally with the cylindrical shaft 32 and measures the rotational position of the cylindrical drum 31.
[0023]
(Description of operation)
Here, the main operation of the exposure apparatus will be described with reference to FIGS.
[0024]
First, the recording medium F is wound around the cylindrical drum 31 and fixed by being brought into close contact with the suction device 46. Here, the cylindrical drum 31 is rotated by the motor 41.
[0025]
The exposure apparatus receives an electrical signal of image information from an external device (not shown), processes the signal, and inputs a written image information signal to the lasers 611, 612, and 613, respectively. Thereafter, the optical unit 50 generates a light beam and exposes the recording medium F on the rotating cylindrical drum 31 to perform main scanning. On the other hand, the optical unit 50 is moved in parallel with the cylindrical drum shaft 32 by the linear guide mechanism having the metal belt 74 and sub-scanned by the light beam 65, and image information is transferred to the recording medium F by the main scanning and the sub-scanning of the light beam. Write. When the writing is completed, the rotation of the cylindrical drum 31 is stopped, the suction of the recording medium F is released, the recording medium F is taken out, and developed by a conventional developing device (not shown) to obtain a color proof. As described above, since the optical unit is moved by the straight guide mechanism using the metal belt, the straight guide of the optical unit can be made with high accuracy and high-precision exposure can be performed.
[0026]
(Embodiment 2)
Next, the vibration isolation of another linear guide mechanism in the embodiment will be described. FIG. 4 is a front view of another vibration isolation mechanism. An anti-vibration member 82 using an air spring is provided between the driving unit 701 and the linear guide mechanism 70. The vibration isolation member 82 is fixed between the upper connection member 752 and the lower connection portion 751 of the connection portion 75. Further, the optical unit 50 is fixed to the mounting table 78. As a result, vibration is transmitted from the driving means 701 to the optical unit 50 via the linear guide mechanism 70, and the exposure position accuracy due to the light beam is prevented from deteriorating.
[0027]
(Embodiment 3)
Next, the vibration isolation of another linear guide mechanism in the embodiment will be described. FIG. 5 is a front view of another vibration isolating mechanism. An anti-vibration member 83 is provided between the drive unit 701 and the linear guide mechanism 70. The vibration isolation member 83 is fixed between the upper connection member 752 and the lower connection portion 751 of the connection portion 75. Further, the optical unit 50 is fixed to the mounting table 78. As the vibration isolation member 83, for example, a vibration isolation member having a high vibration isolation effect such as Isolos, α-gel, and sorbosein is used. As described above, the vibration is transmitted from the driving unit 701 to the optical unit 50 through the linear guide mechanism 70 to prevent the exposure position accuracy by the light beam from being lowered.
[0028]
In the embodiment, a metal belt is put between two pulleys and one pulley is rotated by a motor and driven. For example, a metal belt is wound around one pulley and the tip of the metal belt is wrapped around the other pulley. The metal belt may be moved so that the metal belt is wound up by the pulley while being fixed.
[0029]
In the embodiment, laser light is used as the light source of the optical system. However, for example, an LED array may be used.
[0030]
In the embodiment, the light beam is formed by combining the B (blue), G (green), and R (red) light, but may be a monochromatic light beam, for example.
[0031]
Furthermore, in the embodiment, the recording medium is rotated and the optical unit is moved in a direction orthogonal to the rotation. For example, the recording medium may be linearly moved and the optical unit may be moved in the orthogonal direction. .
[0032]
【The invention's effect】
Since it comprised as mentioned above, there exist the following effects. According to the first aspect of the present invention, since the optical unit is moved by the rectilinear guide mechanism using the metal belt, the rectilinear guide can be moved with high accuracy and high image quality can be obtained. In addition, the cleaning member can prevent a decrease in accuracy due to dust on the guide shaft.
[0036]
According to the second aspect of the present invention, the vibration of the optical unit can be prevented, the moving accuracy of the optical unit is improved, and the image quality is improved.
[0037]
According to the third aspect of the present invention, highly accurate exposure using a light beam can be performed.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a configuration plan view of an exposure apparatus according to an embodiment.
2 is a front view of a main part of the configuration of the exposure apparatus in FIG. 1. FIG.
3 is a side view of the configuration of the exposure apparatus in FIG. 1. FIG.
FIG. 4 is a configuration front view of another vibration isolating mechanism of the embodiment.
FIG. 5 is a configuration front view of another vibration isolation mechanism of the embodiment.
[Explanation of symbols]
11 apparatus main body 20 recording medium holding means 31 cylindrical drum 32 cylindrical shaft 50 optical unit 64 imaging lens 641 combining principal point 65 light beam 701 driving means 72, 73 pulley 74 metal belt 70 rectilinear guide mechanisms 76A, 76B guide shaft 761A center line 78 Mounting base 791, 791A, 791B, 792 Sliding member 81, 82, 83 Anti-vibration member 85 Cleaning member F Recording medium

Claims (3)

光ビームを発生する光学ユニットと、前記光ビームにより露光される記録媒体を巻き付け固定される円筒ドラムを有し且つ前記円筒ドラムを保持し回転する記録媒体保持手段と、前記光学ユニットを前記円筒ドラムの軸心と平行に案内軸上を摺動して直進案内する直進案内機構と、平型の金属ベルトにより前記直進案内機構を介して前記光学ユニットを駆動する駆動手段とを備え、前記直進案内機構は、前記案内軸上を摺動する滑り部材の移動に基づき前記案内軸の摺動面を清掃するクリーニング部材を有することを特徴とする露光装置。An optical unit for generating a light beam, a recording drum holding means for holding and rotating the cylindrical drum around which a recording medium exposed by the optical beam is wound and fixed; and the optical unit for the cylindrical drum A rectilinear guide mechanism that slides on the guide shaft in parallel with the axis of the guide, and driving means that drives the optical unit via a rectilinear guide mechanism by a flat metal belt, and the rectilinear guide An exposure apparatus , wherein the mechanism includes a cleaning member that cleans a sliding surface of the guide shaft based on movement of a sliding member that slides on the guide shaft . 前記駆動手段と前記直進案内機構との間に前記駆動手段より前記直進案内機構に伝わる振動を防止する防振部材を介在させたことを特徴とする請求項1記載の露光装置。2. The exposure apparatus according to claim 1 , wherein a vibration isolating member for preventing vibration transmitted from the drive means to the linear guide mechanism is interposed between the drive means and the linear guide mechanism. 前記光学ユニットが、画像情報の電気信号を光ビームに変換し、前記光ビームを前記記録媒体に露光することを特徴とする請求項1または2に記載の露光装置。Wherein the optical unit converts the electrical signal of the image information to the light beam, the exposure apparatus according to claim 1 or 2, characterized in that exposing the light beam to the recording medium.
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