JP3687600B2 - Manufacturing method of film carrier tape for mounting electronic components - Google Patents
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Description
【0001】
【発明の技術分野】
本発明はCSP(Chip Size Package)、BGA(Ball Grid Array)などの電子部品実装用フィルムキャリアテープを製造する方法であって、幅方向の変形である反り変形および長手方向の変形であるカール状変形のいずれもが均質に低減された電子部品実装用フィルムキャリアテープを効率よく製造する方法に関する。
【0002】
【発明の技術的背景】
CSP、BGAなど電子部品実装用フィルムキャリアテープは、一般に、可撓性を有する絶縁性樹脂からなる絶縁フィルムの少なくとも一方の面に、銅あるいはアルミニウム等の金属からなる導電性金属層を形成し、この導電性金属層を例えば露光して所望のパターンに現像されたフォトレジスト等をマスキング材としてエッチングして導電性金属からなる所望の配線パターンを形成することにより形成されている。そして、こうして形成された配線パターンの端子部分は、半導体チップなどと接続されるために露出させることが必要であるが、その他の配線パターン部分は、ソルダーレジストを塗布して保護することが多い。また、配線パターンを形成する際に絶縁フィルム表面に銅箔あるいはアルミニウム箔などの導電性金属箔を配置してこの導電性金属箔をエッチングすることにより所望の配線パターンを形成するが、このような導電性金属箔は、熱硬化性の接着剤を用いて絶縁フィルムに貼着される。
【0003】
このような電子部品実装用フィルムキャリアテープにおいては、ソルダーレジストおよび熱硬化性接着剤は、硬化に伴って収縮するという性質を有している。したがって、絶縁フィルムの一方の面にこのような熱硬化性接着剤およびソルダーレジストを塗布した電子部品実装用フィルムキャリアテープには、これらが塗布された面(通常は配線パターンが形成された面)を内側にして幅方向に湾曲した反り変形を生ずる。
【0004】
こうした電子部品実装用フィルムキャリアテープの幅方向に生ずる反り変形は、例えば、ソルダーレジストを塗布して硬化させた後、加熱下に幅方向に逆反りをかけながら矯正するなど、種々の方法により是正可能であることが知られている。なお、このような幅方向の反り変形は、電子機器の小型軽量化に伴って絶縁フィルムが薄くなり、また形成される配線パターンのファインピッチ化が進むにしたがってより大きくなる傾向にある。
【0005】
ところで、上記のような電子部品実装用フィルムキャリアテープに半導体チップ(IC)などを実装する際には半導体チップ5個〜10個程度分を一連に切断してフィルムキャリアテープを短冊状にして半導体チップの実装装置に供給することが多い。このように短冊状に切断したフィルムキャリアテープでは、幅方向の反り変形を上述のように逆反りをかけて是正すると、その応力が方向を変えて短冊状に切断されたフィルムキャリアテープの長手方向におけるカール状変形として発現することがある。このように短冊状のフィルムキャリアテープが長手方向にカール状変形すると、搬送時、作業性に悪影響を及ぼすだけでなく、実装時においても半導体チップ等の位置合わせの不具合やダメージ等を引き起こす可能性がある。
【0006】
このようにフィルムキャリアテープの長手方向に生ずるカール状変形を矯正する方法として、本発明者は、フィルムキャリアテープをリールに巻回して加熱下に所定時間保持する方法について既に出願している(特願2001-250660号明細書参照)。この明細書に記載されているように、フィルムキャリアテープを好適にはフラットスペーサーと共にリールに巻回して加熱下に保持することにより、フィルムキャリアテープ全体からみれば、フィルムキャリアテープの長手方向に生ずるカール状変形は低減されるが、そのカール状変形の矯正度合いは、フィルムキャリアテープの位置によって異なることがわかった。即ち、リールの巻き芯側では、フィルムキャリアテープにより大きな矯正力がかかり、カール状変形はよく矯正されるが、巻き外側ではカール状変形の矯正度合いが小さくなる。
【0007】
従って、同一のリールに巻回されているフィルムキャリアテープから短冊状に切り出されたフィルムキャリアに電子部品を実装するに際しても、個々の短冊状のフィルムキャリアについてそのカール状変形が異なり、搬送性、作業性が不安定になりやすい。
【0008】
【発明の目的】
本発明は短冊状に切断されて使用される電子部品実装用フィルムキャリアテープを製造する方法であって、幅方向における反り変形、長手方向におけるカール状変形のいずれもが是正された電子部品実装用フィルムキャリアテープを製造する方法を提供することを目的としている。
【0009】
さらに詳しくは本発明は、リールに巻回されたフィルムキャリアテープを短冊状に切断して使用する電子部品実装用フィルムキャリアテープを製造する方法であって、幅方向における反り変形、長手方向におけるカール状変形のいずれもが是正されていると共に、同一のリールに巻回されたテープのいずれの位置のフィルムキャリアテープであっても、その変形の矯正度合いが均一である電子部品実装用フィルムキャリアテープを製造する方法を提供することを目的としている。
【0010】
【発明の概要】
本発明の電子部品実装用フィルムキャリアテープの製造方法は、ポリイミドからなる絶縁フィルムの少なくとも一方の面に導電性金属からなる配線パターンを形成する工程、および、該配線パターンの端子部分を残してソルダーレジストを塗布・硬化させる工程を有する電子部品実装用フィルムキャリアテープの製造方法において、該ソルダーレジストを塗布・硬化させる工程の後、電子部品実装用フィルムキャリアテープのソルダーレジストから露出した端子部分に電子部品を実装する前に、該フィルムキャリアテープの幅方向に該テープが湾曲して生じた反り変形を是正した後、該フィルムキャリアテープを形成された配線パターンが外側に位置するように配置して第1巻取りリールに巻回して加熱下に保持し、次いで、図5に示すように、該第1巻取りリールに巻回されたフィルムキャリアテープの巻き外側が巻き芯側になり、該フィルムキャリアテープを形成された配線パターンが外側に位置するように配置して第2巻取りリールに巻き替え、該第2巻取りリールに巻回したフィルムキャリアテープを加熱下に保持することにより、長手方向に、配線パターンが形成された側が内側にカールするように湾曲して生ずるカール状変形を是正する工程を有することを特徴としている。
【0011】
上記のようにフィルムキャリアテープの幅方向に生ずる反り変形を解消することにより、その幅方向の反り変形を生じさせていた応力は、フィルムキャリアテープの長手方向における端部が配線パターン形成側にカールするカール状変形を生じさせる。特にCSP、BGAでは、フィルムキャリアテープを短冊状に切断して電子部品を実装することが多く、こうした場合、フィルムキャリアテープの長手方向の端部近傍にカール状変形が生ずると、電子部品を正確に実装することができにくくなる。
【0012】
フィルムキャリアテープの幅方向に生じた反り変形を逆反りを付与することにより除去した後、この長手方向にカール状変形が生じたフィルムキャリアテープを好適にはフラットスペーサーを介して第1巻取りリールに巻回し、この第1巻取りリールと共にフィルムキャリアテープを加熱下に保持することにより第1巻取りリールの巻き芯側のフィルムキャリアテープに生じているカール状変形は矯正されるが、巻き外側のフィルムキャリアテープに生じているカール状変形の矯正度合いは巻き芯側のフィルムキャリアテープよりも小さい。
【0013】
そこで、本発明では上記のように第1巻取りリールに巻回されて加熱下に保持されたフィルムキャリアテープを、第2巻取りリールに巻き替えて、フィルムキャリアテープをこの第2巻取りリールに巻回された状態で加熱下に所定時間保持する。そして、この第2巻取りリールに巻き替える際に、第1巻取りリールにおいて巻き外側のフィルムキャリアテープが第2巻取りリールの巻き芯側に位置するように第2巻取りリールに巻き替えを行い、こうして第2巻取りリールに巻き替えされたフィルムキャリアテープを第2巻取りリールと共に加熱下に所定時間保持することにより、全体が均一なフィルムキャリアテープを製造することができる。
【0014】
【発明の具体的な説明】
次に本発明の電子部品実装用フィルムキャリアテープの製造方法について具体的に説明する。
本発明の電子部品実装用フィルムキャリアテープの製造方法では、可撓性を有する絶縁フィルムの一方の面に配線パターンを形成する。
【0015】
本発明で使用することができる絶縁フィルムは、エッチングする際に酸などと接触することから、こうした薬品に侵されない耐薬品性、および、ボンディングする際の加熱によっても変質しないような耐熱性を有している。この絶縁フィルムとしては、ポリイミドからなるフィルムを用いる。このようなポリイミドは、他の樹脂と比較して、卓越した耐熱性を有するとともに、耐薬品性にも優れており、これらの点に関しては他の樹脂とは比較できないほど優れた特性を有している。
【0016】
このポリイミド樹脂の例としては、ピロメリット酸2無水物と芳香族ジアミンとから合成される全芳香族ポリイミド、ビフェニルテトラカルボン酸2無水物と芳香族ジアミンとから合成されるビフェニル骨格を有する全芳香族ポリイミドを挙げることができる。特に本発明ではビフェニル骨格を有する全芳香族ポリイミド(例;商品名:ユーピレックスS、宇部興産(株)製)が好ましく使用される。ビフェニル骨格を有する全芳香族ポリイミドは、他の全芳香族ポリイミドよりも吸水率が低い。本発明で使用可能な絶縁フィルムの厚さは、通常は25〜125μm、好ましくは25〜75μmの範囲内にある。特に本発明では、絶縁フィルムの厚さが薄くなるに従って幅方向の反り変形が大きくなり、この反り変形を是正するためにフィルムキャリアテープの幅方向に逆反りをかけると、この幅方向に反り変形を形成していた応力が方向を変えて長手方向のカール状の変形となる。こうした傾向は、絶縁フィルムの厚さが薄くなるに従って顕著に現れるようになり、絶縁フィルムの厚さが50μm以下の場合に特に顕著に現れる傾向がある。従って、本発明の方法は25〜50μmのように薄いポリイミドフィルムを絶縁フィルムとして用いた場合に特にその有用性が高い。
【0017】
本発明の方法に従って電子部品実装用フィルムキャリアテープを製造する際には、まず上記のような絶縁フィルムの両縁部に、スプロケットホール(パーフォレーション)を打抜き形成し、これと同時に必要により、スリット、ハンダボール孔、ビアホール、位置決め孔などを打抜き形成することができる。
本発明では上記のようにして必要な打抜き孔が形成された絶縁フィルムの少なくとも一方の面に導電性金属を貼着する。ここで使用する導電性金属の例としては、アルミニウム箔および銅箔を挙げることができる。このような導電性金属箔としては、通常は3〜35μm、好ましくは9〜25μmの範囲内にある金属箔を使用することができる。特に導電性金属箔の厚さが、例えば25μm以下、特に最近では18μm以下の導電性金属箔を使用することが多くなってきており、導電性金属箔の厚さが上記のように薄くなるに従って、反り変形およびカール状変形が大きくなる傾向がある。
【0018】
本発明で使用される導電性金属箔としては銅箔を使用することが好ましく、ここで使用可能な銅箔には、電解銅箔と圧延銅箔とがあるが、エッチング特性、操作性などを考慮すると電解銅箔を使用することが好ましい。
なお、配線パターンを形成する導電性金属箔は、通常は絶縁フィルムの一方の面に積層されるが、この導電性金属箔は接着層を介して絶縁フィルムの表面に積層することもできるし、こうした接着層を介することなく積層することもできる。
【0019】
また、上記は絶縁フィルムの表面に接着剤層が形成されている態様が示されているが、接着剤層は、導電性金属箔の一方の面に形成されていてもよい。
こうして絶縁フィルムの一方の面に導電性金属箔を積層し、次いでこの導電性金属箔表面にフォトレジストを塗布し、このフォトレジストに形成しようとする配線パターンと同一のパターンを露光現像することにより形成し、このフォトレジストにより形成されたパターンをマスキング材として導電性金属箔をエッチングして所望の配線パターンを形成する。
【0020】
こうして配線パターンを形成した後、電子部品と電気的に接続するリード部を残してソルダーレジストを塗布し、加熱することによりこのソルダーレジストを硬化させる。このソルダーレジストは、加熱硬化する際に硬化収縮する傾向がある。
このようにソルダーレジストを塗布し硬化させた後、ソルダーレジストから露出している配線パターンをメッキ処理する。このメッキ処理は、金メッキ、ニッケル金メッキ、スズメッキなどの処理を採用することができるが、BGA、CSPにおいては、電子部品と金線を用いて電気的に接続することが多いことから、金メッキまたはニッケル金メッキをすることが好ましい。このようなメッキの厚さは通常は0.02〜12μm、好ましくは0.02〜3μmである。
【0021】
こうして電子部品実装用フィルムキャリアテープ1にソルダーレジスト16を塗布した後硬化させると、図1に示すように、電子部品実装用フィルムキャリアテープ1は、電子部品を実装する配線パターン14が形成された面が凹状になるように変形する。このように電子部品実装用フィルムキャリアテープ1に生じた幅方向の反り変形は、凹状に変形した面(配線パターン14が形成されソルダーレジスト層16が形成された面)が凸状になるように、即ち、発生した反りとは逆の方向に反り変形が生ずるようにフィルムキャリアテープ1に変形を与えることにより、幅方向に生じた反り変形を是正することができる。なお、図1において、10は絶縁フィルム、12は接着剤層、18はスプロケットホールである。
【0022】
さらにBGA,CSPを例にして具体的に説明すると、このような電子部品実装用フィルムキャリアテープ1には、例えば図2に示すように、ビアホール19などの透孔が形成された絶縁フィルム10の表面に、接着剤層12を介して貼着された導電性金属箔をエッチングすることにより形成された配線パターン14が形成されている。この配線パターン14と電子部品(チップ)35とは、チップ35に形成されたバンプ電極と配線パターン14の端部(リード)とを、金線などの導電体金属線36で接続することにより、電子部品35を実装することができる。リードはソルダーレジスト16の外側に延設された配線パターン14であり、その表面は、導電性金属線36との適切なボンディング性の確保や導電性金属箔表面の保護のためなどの目的でメッキ層37が形成されている。また、ビアホール19内に露出する配線パターン14の表面にもメッキ層37が形成されている。上記のようにして電子部品35を実装する際の電子部品35とリード(配線パターン14の端部)とを導電性金属線36で電気的に接続することにより、電子部品35を実装することができる。このような電子部品を正確に実装する際には、治具への載置性や搬送性が非常に重要になってくる。従って、電子部品実装用フィルムキャリアテープ1の変形は、電子部品の実装前にできるだけ是正する必要がある。
【0023】
このように電子部品実装用フィルムキャリアテープ1の幅方向に生じた反り変形は、例えば、生じた反り変形に対して逆方向にフィルムキャリアテープを反らせて(逆反りを与えて)加熱することにより解消することができる。さらにフィルムキャリアテープ1に、樽状のローラーを用いて逆反りを与えることによっても解消することができる。また、上記のように逆反りをかけずに、上下に配置された複数のローラー間を加熱しながらフィルムキャリアテープを上下に蛇行させながら通過させることによってもフィルムキャリアテープの幅方向に生じた反り変形を解消することができる。またさらに、幅方向に反り変形したフィルムキャリアテープを所定の温度に加熱した直後に、逆反りをかけて室温近傍まで急冷することによっても、このフィルムキャリアテープの幅方向に生ずる反り変形を解消することが可能である。
【0024】
即ち、電子部品実装用フィルムキャリアテープの幅方向に生じた反り変形を解消するには、このフィルムキャリアテープを通常は80〜200℃、好ましくは150〜200℃程度に加熱しながら、比較的短時間(通常は5分以内、好ましくは2分以内の短時間)、フィルムキャリアテープに逆反りをかけるなどの、発生している幅方向の反り変形に抗しうる応力をかける必要がある。このように加熱下に幅方向に反り変形を生じさせた応力に抗する応力をかけることにより、幅方向の反り変形応力が表現化する方向が変化して、幅方向の反り変形はほぼ解消される。このようなフィルムキャリアテープの幅方向に生じた変形の矯正は、主として、反り取りの際にポリイミドなどの絶縁フィルムに電解銅箔を貼着するのに使用されている接着剤およびソルダーレジストを軟化させ、逆反りをかけた状態で固化することによるものであると考えられる。
【0025】
ところが、このように幅方向の反り変形を解消すると、この反り変形を形成していた応力がその方向を変えて、フィルムキャリアテープの長手方向に作用して、図3に示すように、フィルムキャリアテープ1の長手方向の端部近傍がフィルム状キャリア15の配線パターン14の形成された側を内側にしてカールするように変形する。このようなフィルムキャリアテープ1の長手方向の端部近傍に生ずる変形をカール状変形という。このようなカール状変形は絶縁フィルムが薄くなるに従って大きくなる傾向がある。特に、CSP、BGAなどではフィルムキャリアテープを例えば200mm程度(本発明の実施例では190mmに切断した例が示されている)の短冊状に切断して電子部品を実装することがあり、こうした場合に、短冊状に切断したフィルムキャリアテープの長手方向の端部近傍にカール状変形が生ずると、この短冊状のフィルムキャリアテープを電子部品を実装するための治具に載置することが困難になったり、搬送上の不具合を生じ、電子部品の実装に支障をきたす。
【0026】
このようにフィルムキャリアテープの長手方向の端部近傍に発生するカール状変形は、フィルムキャリアテープを短冊状に切断して電子部品を実装するCSP、BGAなどにおける電子部品の実装の際に特に問題になる。
すなわち、上記のように短冊状に切断されたフィルムキャリアテープは、電子部品を実装するために治具に固定し、こうして固定されたフィルムキャリアテープに電子部品を、電子部品に形成されたバンプ電極とフィルムキャリアテープとが所定の位置にくるように配置して両者を電気的に接続するが、(1)フィルムキャリアテープの反りあるいはカール状変形が生じていると、短冊状に切断されたフィルムキャリアテープの搬送に支障をきたす、(2)短冊状に切断されたフィルムキャリアテープが長手方向にカール状に変形すると短冊状のテープの端部で正確な位置合わせをすることができにくくなる、(3)電子部品が実装したテープをボンディング用の治具から取り外した際に、電子部品が実装されたフィルムキャリアテープが反り変形あるいはカール状変形していると電子部品を実装している金属線などが曲がったりダメージを受けることがあるなどの不具合が生ずる。
【0027】
そこで、本発明では、まず、フィルムキャリアテープの幅方向に生じた反り変形を是正することにより、フィルムキャリアテープに生ずる長手方向のカール状変形を、幅方向に生じた反り変形を是正した後、例えば図4に示すようにこのフィルムキャリアテープ1を第1巻取りリール22に巻回して、所定時間加熱し、フィルムキャリアテープ1を第1巻取りリール22に巻き締めることにより解消する。この際、フィルム状キャリア15の配線パターン14が形成されている面が外側に位置するようにフィルムキャリアテープを配置して第1巻取りリール22に巻回する。また、このフィルムキャリアテープ1は、フラットスペーサー20を介して第1巻取りリール22に巻回することが望ましい。このようにフラットスペーサー20を介してフィルムキャリアテープ1を巻回することにより、絶縁フィルム10の表面に形成されたフィルムキャリア15の配線パターン14、より正確にいうとソルダーレジスト16が重ね巻回される次の周回の絶縁フィルム10の裏面と直接接触しないので、加熱収縮による絶縁フィルム10の位置ずれがソルダーレジスト16に直接影響を与えることがなく、また、ソルダーレジスト16中に残存する未硬化樹脂によってソルダーレジスト16と次の周回の絶縁フィルム10とが接着するのを防止することができる。
【0028】
ここで使用されるフラットスペーサー20としては、この長手方向に生じ得るカール状変形を是正するための加熱によって熱変形しない程度の耐熱性を有する素材から形成されていることが好ましく、PET(ポリエチレンテレフタレート)、PEN(ポリエチレンナフタレート)などのポリエステル樹脂、ポリイミド、ポリアミドのようなプラスチック(樹脂)から形成される可撓性フィルムのほか、アルミニウム箔、銅箔などの金属箔を挙げることができる。このようなフラットスペーサー20を用いる場合、このフラットスペーサーの厚さに特に制限はないが、25〜125μm、好ましくは50〜125μmの厚さのフラットスペーサーを使用することにより、安定した作業性が確保される。
【0029】
また、本発明で使用されるフラットスペーサーは、少なくとも配線パターンが形成されている幅だけあればよく、従って、絶縁フィルムと同一の幅にして必要によりスプロケットホールを形成することもできるし、導電性金属箔の幅と略同一の幅として、スプロケットホールを形成しないで使用することもできる。
上記のようにしてカール状変形を是正するためには、上記のように第1巻取りリールに好適にはフラットスペーサーと共に巻回した電子部品実装用フィルムキャリアテープを、通常は160℃以下、好ましくは60〜160℃の温度に加熱し、通常は30分以上、好ましくは1〜20時間、さらに好ましくは1〜10時間保持する。このように第1巻取りリールに好適にはフラットスペーサー20と共に巻回され、加熱下に保持することにより主としてソルダーレジストがある程度軟化し、カール状変形が矯正される。
【0030】
しかしながら、上記のように第1巻取りリール22に好適にはフラットスペーサーと共に巻回して所定温度で加熱下に保持したフィルムキャリアテープについてその長手方向に生ずるカール状変形の矯正度合いを綿密に調べてみると、第1巻取りリール22の巻き芯側では、フィルムキャリアテープのカール状変形の矯正は比較的良好に行われるが、巻き外側では、カール状変形の矯正度合いが小さくなることがわかった。
【0031】
例えば、図6に示すように反り変形が矯正された長さ50メートルのフィルムキャリアテープを第1巻取りリールに巻回して加熱下に所定時間保持すると、このフィルムキャリアテープに生じていたカール状変形は、巻き芯側では殆ど是正されるが、巻き芯側から巻き外側になるにつれてカール状変形の是正度合いは小さくなる。即ち、巻き芯側ではカール状変形はほぼ完全に矯正されるが、巻き芯からの距離に略比例してカール状変形の矯正度が小さくなり(カール状変形が大きくなり)、巻き外側では第1巻取りリールに巻回して加熱下に保持することによるカール状変形の矯正効果が小さくなることがわかった。
【0032】
そこで、本発明では、上記のように第1巻取りリール22に巻回して加熱下に保持したフィルムキャリアテープを、図5に示すように、第2巻取りリール33に巻き替えて加熱下に再度保持する。このとき第2巻取りリール33には、第1巻取りリール22において巻き外側になっていたフィルムキャリアテープ1が第2巻取りリール33の巻き芯側になるように巻回する。この第2巻取りリール33へフィルムキャリアテープ1を巻回する際には、スペーサーを介して巻回することが好ましい。ここで使用するスペーサーは第1巻取りリール22からフィルムキャリアテープ1を第2巻取りリール33に巻き替えた後、カール状変形を是正するための加熱によって熱変形しない程度の耐熱性を有する素材から形成されていることが好ましく、PET(ポリエチレンテレフタレート)、PEN(ポリエチレンナフタレート)などのポリエステル樹脂、ポリイミド、ポリアミドのようなプラスチック(樹脂)から形成される可撓性フィルムのほか、アルミニウム箔、銅箔などの金属箔を挙げることができる。またこのスペーサーは、巻き替えられたフィルムキャリアテープ1を押えることができるものであればよく、特に本発明では表面が平滑なフラットスペーサーを使用することが好ましい。また、第2巻取りリール33で用いられるスペーサー30は、第1巻取りリールで使用されたスペーサー20と同一の素材で形成されたものであっても、異なる素材で形成されたものであってもよい。このような第2巻取りリール33で好適に使用されるフラットスペーサー30の厚さに特に制限はないが、25〜125μm、好ましくは50〜125μmの厚さのフラットスペーサーを使用することにより、安定した作業性が確保される。
【0033】
また、第1巻取りリールから巻き出されたフィルムキャリアテープ1を第2巻取りリール33で巻き取る場合に、第1巻取りリールにおいてフィルムキャリアテープ1と共に巻回されていたスペーサーをそのまま使用して第2巻取りリールにフィルムキャリアテープ1を巻回することもできるが、図5に示すように、第1巻取りリール22から巻き出されたフラットスペーサー20をスペーサー巻取りリール24に巻き取ると共に、第2巻取りリール33には、スペーサー巻き出しリール34から新たなフラットスペーサー30を巻き出し、第1巻取りリール22から巻き出されたフィルムキャリアテープ1と共に第2巻取りリール33に巻回することが好ましい。
【0034】
上記のように第1巻取りリール22から巻き出されたフィルムキャリアテープ1を第2巻取りリール33に好適にはフラットスペーサー30と共に巻回し直すと、第1巻取りリール22では巻き外側にあったフィルムキャリアテープは、第2巻取りリール33ではカール状変形矯正力の大きい巻き芯側に巻回されると共に、第1巻取りリール22においてカール状変形が殆ど矯正された巻き芯側のフィルムキャリアテープは、第2巻取りリール33においては、カール状変形矯正力の小さい巻き外側に位置するように巻回される。
【0035】
こうして第2巻取りリール33に巻き替えたフィルムキャリアテープ1は、通常は160℃以下の温度、好ましくは60〜160℃の範囲内の温度で、通常は30分以上、好ましくは1〜20時間、さらに好ましくは1〜10時間保持する。
このように第2巻取りリール33に巻回したフィルムキャリアテープを加熱下に所定時間保持することによって、半径の小さい巻き芯側におけるフィルムキャリアテープのカール状変形の矯正の度合いが大きくなり、第1巻取りリール22においては巻き外側にあり、カール状変形の是正が必ずしも充分とはいえないフィルムキャリアテープに生じているカール状変形が非常に良好に是正される。一方、第2巻取りリール33の巻き外側には、既に第1巻取りリール22で充分にカール状変形が矯正されたフィルムキャリアテープが位置しているこの第2巻取りリール33の巻き外側においてはフィルムキャリアテープのカール状変形は、多少矯正されるが、それほど大きくは変わらない。従って、第2巻取りリール33に巻回されて上記のように加熱下に保持されたフィルムキャリアテープは、全体としてカール状変形が均一に解消される。
【0036】
なお、上記のようにテープの幅方向に生じた反り変形を解消した後、第1巻取りリール22に巻回して加熱下に所定時間保持し、次いで第2巻取りリール33に巻き替えて加熱下に所定時間保持して得られたフィルムキャリアテープは、全体としてカール状変形が同程度に矯正されると共に、反り変形は、上記のような第1巻取りリール22および第2巻取りリールに巻回して加熱処理したことによっては殆ど変化しない。
【0037】
本発明においては、上記のように第1巻取りリールおよび第2巻取りリール33に巻回したフィルムキャリアを加熱下に所定時間保持することによりカール状変形を是正する際の装置は、巻回されたフィルムキャリアテープを加熱することができる装置であれば特に制限なく使用することができる。
上記のようにして所定温度に加熱しながら所定時間保持した後、フィルムキャリアテープに通常の方法に従って電子部品をボンディングする。例えば、この20cm程度の短冊状に切断して、この短冊状のフィルムキャリアテープをボンディング治具に載置し、ボンディングツールを用いてボンディングすることにより、電子部品を実装することができる。
【0038】
本発明によれば、変形の少ない電子部品実装用フィルムキャリアテープを製造することができ、特に搬送性を向上させると共にテープ変形によるダメージ・位置ずれなどを低減し、電子部品の実装性を改善することができる。
【0039】
【発明の効果】
本発明の電子部品実装用フィルムキャリアテープの製造方法によれば、フィルムキャリアテープの幅方向における反り変形、および、長手方向の端部近傍に発生するカール状変形の両者を解消することができる。特に、本発明によれば、フィルムキャリアテープの長手方向に生ずるカール状変形の大きさが、フィルムキャリアテープの位置によって変動することがなく、全体として均一性の高い電子部品実装用フィルムキャリアテープを製造することができる。従って、例えばCSP、BGAなどのように短冊状に切断して電子部品を実装する場合において、このように短冊状に切断されたフィルムキャリアテープを、問題なく搬送できると共に、電子部品を実装する際に使用する治具に容易に装着することができ、電子部品の実装を良好に行うことができる。
【0040】
【実施例】
次に本発明について実施例を示して本発明をさらに詳細に説明するが、本発明はこれらによって限定されるものではない。
【0041】
【実施例1】
長さ50m、幅48mm、厚さ50μmのポリイミドフィルムの幅方向の両縁部にスプロケットホールなど必要な打ち抜き孔を形成し、このスプロケットホールの間に厚さ25μmの電解銅箔を接着剤を用いて貼着した。
この貼着された電解銅箔上に感光性樹脂を塗布し、この感光性樹脂を露光現像して所定のパターンを形成した。次いで、この感光性樹脂からなるパターンをマスキング材として、電解銅箔をエッチングして電解銅箔からなる配線パターンを形成した。
【0042】
次いで、この配線パターンの表面に、端子部を除いて、ソルダーレジストを塗布し、縁部にエンボス加工が施されたエンボススペーサーと共にリールに巻回して、硬化させた。
こうしてソルダーレジスト層を形成した後、ソルダーレジスト層から露出している配線パターンの表面に厚さ1μmのニッケル金メッキ層を形成した。
【0043】
こうして形成された電子部品実装用フィルムキャリアテープには、テープの幅方向に、配線パターンが形成された面が凹部になるように幅方向に反り湾曲していた。このときの反り量は、約18mm以上であった。なお、この段階で、電子部品実装用フィルムキャリアテープを190mmの長さに切り出してみたが、このようにして切り出された短冊状の電子部品実装用フィルムキャリアテープの端部近傍におけるカール状変形は、ほぼ0mmであり、全体の長さからしてほとんどカール状の変形は発生していない。
【0044】
上記のようにして製造された電子部品実装用フィルムキャリアテープを、190〜200℃に加熱された加熱炉内に配線パターンが形成された面が凸状に湾曲するようにテープの縁部が挿入されるガイドが設けられた長さ3mの加熱炉を用いて、巻きだしリールに巻回された電子部品実装用フィルムキャリアテープを、上記加熱炉に送り込み、加熱下に逆反りをかけながら、この加熱炉を通過させて、反り取りを行い、巻き取りリールに巻き取った。このように反り取りを行うことにより、テープの幅方向の反り量は平均値で6.0mmに低減されていた。
【0045】
こうした幅方向の反り取りを行った後、上記と同様に電子部品実装用フィルムキャリアテープを190mmに切り出してみたところ、この短冊状のフィルムキャリアテープにはその両端部近傍にカール状変形が発生しており、このカール状変形量は平均値で19mmであった。
次いで、この電子部品実装用フィルムキャリアテープを、厚さ75μmのポリイミドからなるフラットスペーサーと共にアルミニウムリール(第1巻取りリール)に巻きなおした。この第1巻取りリールには、電子部品実装用フィルムキャリアテープの配線パターンが形成された面が外側に向くようにしてフラットスペーサーと共に巻回した。
【0046】
この第1巻取りリールに巻き直された電子部品実装用フィルムキャリアテープを、この第1巻取りリールと共に内部温度が90℃に調整されたオーブンに入れ、10時間放置した。
上記と同様にして調製した電子部品実装用フィルムキャリアテープについて、巻き芯側から10m毎に長さ190mmの短冊状のフィルムキャリアテープを切り出して、その反り変形量およびカール状変形量を測定して図7に示す。図7から明らかなように巻き芯側におけるカール状変形は2mm程度まで矯正されているのに対して、巻き外側におけるカール状変形量は約9mm以上であり、巻き芯側に比べて巻き外側のカール状変形が是正されていないことがわかった。なお、フィルムキャリアテープに生ずる反り変形は、この工程においては殆ど変化しなかった。
【0047】
次いで、上記のようにして第1巻取りリールに巻回されて加熱下に保持された電子部品実装用フィルムキャリアテープを第1巻取りリールから巻きだして第2巻取りリールに巻き替えた。
この第2巻取りリールへの巻き替えの際には、第1巻取りリールでフィルムキャリアテープと共に巻回されていたフラットスペーサーはスペーサー巻取りリールに巻取り回収すると共に、第2巻取りリールに厚さ75μmのポリイミドからなる新たなフラットスペーサーをスペーサー巻き出しリールから供給してこの新たなフラットスペーサーと共に第2巻取りリールに巻回した。
【0048】
次いで、この第2巻取りリールに巻き替えられた電子部品実装用フィルムキャリアテープを、この第2巻取りリールと共に内部温度が90℃に調整されたオーブンに入れ、10時間放置した。上記のように10時間加熱した後、第2巻取りリールおよびこれに巻回されたフィルムキャリアテープの温度を室温にもどしてから、この電子部品実装用フィルムキャリアテープを190mmに短冊状に裁断して、巻き芯側から巻き外側まで一定間隔で採取した短冊状フィルムキャリアテープについて、幅方向における反り量およびこの短冊状のフィルムキャリアテープの長手方向の縁部近傍におけるカール状変形量を測定した。結果を図8に示す。図8から明らかなように、第2巻取りリールに巻回されて加熱下に所定時間保持されたフィルムキャリアテープは、巻き芯側から巻き外側までほぼ一定しており、そのカール変化量は平均で2mm程度にまで低減されると共に、均一化されていた。
【0049】
上記結果より明らかなように、幅方向の反り量を低減するために、反り取りを行うと、長手方向の端部近傍におけるカール状変形量が増大するが、本発明の方法に従って、この電子部品実装用フィルムキャリアテープを第1巻取りリールに巻回した状態で加熱下に所定時間保持し、次いで、この第1巻取りリールにおける巻き外側が第2巻取りリールの巻き芯側に位置するように第2巻取りリールに巻き替えて再び加熱下に所定時間保持することにより、この電子部品実装用フィルムキャリアテープに生じていたカール状変化が全体に均一に是正され、均一性の高いフィルムキャリアテープを製造することができる。しかも、このようにカール状変形を是正するように処理することによっても、このフィルムキャリアテープの反り変形など、他の特性が変化することはなかった。
【図面の簡単な説明】
【図1】図1は、本発明の方法で製造される電子部品実装用フィルムキャリアテープの断面の一例を示す断面図である。
【図2】図2は、電子部品実装用フィルムキャリアテープに電子部品を実装する例を模式的に示す断面図である。
【図3】図3は、短冊状に切断され、カール状変形が発生した電子部品実装用フィルムキャリアテープの例を示す図である。
【図4】図4は、カール状変形をとるためにリールに巻回された電子部品実装用フィルムキャリアテープの例を示す図である。
【図5】図5は本発明の方法によりカール状変形を是正する際の電子部品実装用フィルムキャリアテープの巻き替えの状態の例を示す図である。
【図6】図6は、電子部品実装用フィルムキャリアテープをリールに巻回して1回加熱下に処理した際のカール状変形の是正状態の例を示す図である。
【図7】図7は、第1巻取りリールに電子部品実装用フィルムキャリアテープを巻回して加熱処理した際のテープの変形状態の例を示す図である。
【図8】図8は、第1巻取りリールに巻回して加熱下に処理した後、第2巻取りリールに巻回して処理した電子部品実装用フィルムキャリアテープの変形の是正状態の例を示す図である。
【符号の説明】
1・・・電子部品実装用フィルムキャリアテープ
10・・・絶縁フィルム
12・・・接着剤層
14・・・配線パターン
15・・・フィルム状キャリア
16・・・ソルダーレジスト(層)
18・・・スプロケットホール
19・・・ビアホール
20・・・フラットスペーサー
22・・・第1巻取りリール
24・・・スペーサー巻取りリール
30・・・フラットスペーサー
33・・・第2巻取りリール
34・・・スペーサー巻き出しリール
35・・・電子部品
36・・・導電性金属線
37・・・メッキ層[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
The present invention is a method of manufacturing a film carrier tape for mounting electronic components such as CSP (Chip Size Package), BGA (Ball Grid Array), etc., and has a curl shape that is warp deformation that is deformation in the width direction and deformation in the longitudinal direction. The present invention relates to a method for efficiently producing a film carrier tape for mounting electronic components in which all deformations are uniformly reduced.
[0002]
TECHNICAL BACKGROUND OF THE INVENTION
A film carrier tape for mounting electronic components such as CSP and BGA generally forms a conductive metal layer made of a metal such as copper or aluminum on at least one surface of an insulating film made of a flexible insulating resin, The conductive metal layer is formed, for example, by exposing the conductive metal layer to a photoresist or the like developed in a desired pattern as a masking material to form a desired wiring pattern made of a conductive metal. The terminal portion of the wiring pattern thus formed needs to be exposed to be connected to a semiconductor chip or the like, but the other wiring pattern portion is often protected by applying a solder resist. Further, when forming a wiring pattern, a conductive metal foil such as a copper foil or an aluminum foil is disposed on the surface of the insulating film, and this conductive metal foil is etched to form a desired wiring pattern. The conductive metal foil is attached to the insulating film using a thermosetting adhesive.
[0003]
In such a film carrier tape for mounting electronic parts, the solder resist and the thermosetting adhesive have a property of shrinking with curing. Therefore, a film carrier tape for mounting electronic components in which such a thermosetting adhesive and a solder resist are applied to one surface of an insulating film has a surface coated with these (usually a surface on which a wiring pattern is formed). Warping deformation curved in the width direction with the inside facing.
[0004]
The warp deformation that occurs in the width direction of the film carrier tape for mounting electronic components can be corrected by various methods, for example, by applying a solder resist and curing, and then correcting it while applying reverse warp in the width direction under heating. It is known to be possible. Note that such warp deformation in the width direction tends to become larger as the insulating film becomes thinner and the finer pitch of the formed wiring pattern progresses as the electronic equipment becomes smaller and lighter.
[0005]
By the way, when a semiconductor chip (IC) or the like is mounted on the film carrier tape for mounting electronic parts as described above, about 5 to 10 semiconductor chips are cut in series to make the film carrier tape into a strip shape. It is often supplied to a chip mounting apparatus. In the film carrier tape cut into strips in this way, when the warp deformation in the width direction is corrected by applying reverse warp as described above, the stress changes the direction and the longitudinal direction of the film carrier tape cut into strips May develop as a curled deformation. If the strip-shaped film carrier tape is curled in the longitudinal direction in this way, not only will it adversely affect workability during transport, but it may also cause misalignment and damage of the semiconductor chip during mounting. There is.
[0006]
As a method for correcting the curl-like deformation that occurs in the longitudinal direction of the film carrier tape in this way, the present inventor has already filed a method for winding the film carrier tape on a reel and holding it under heating for a predetermined time (special feature). (See application 2001-250660). As described in this specification, the film carrier tape is preferably wound around a reel together with a flat spacer and held under heat to produce the film carrier tape in the longitudinal direction of the film carrier tape as viewed from the whole film carrier tape. Although the curled deformation is reduced, it has been found that the degree of correction of the curled deformation varies depending on the position of the film carrier tape. That is, on the reel core side, a large correction force is applied by the film carrier tape, and the curled deformation is well corrected, but the degree of correction of the curled deformation becomes small on the winding outer side.
[0007]
Therefore, when mounting electronic components on a film carrier cut out in a strip shape from a film carrier tape wound on the same reel, the curled deformation differs for each strip-shaped film carrier, Workability tends to be unstable.
[0008]
OBJECT OF THE INVENTION
The present invention is a method of manufacturing a film carrier tape for mounting electronic components that is used after being cut into strips, and is for mounting electronic components in which both warp deformation in the width direction and curl deformation in the longitudinal direction are corrected. The object is to provide a method for producing a film carrier tape.
[0009]
More specifically, the present invention relates to a method of manufacturing a film carrier tape for mounting electronic components that is used by cutting a film carrier tape wound around a reel into a strip shape, and includes warping deformation in the width direction and curling in the longitudinal direction. Film carrier tape for electronic component mounting, in which any deformation of the shape is corrected and the degree of correction of the deformation is uniform regardless of the position of the film carrier tape on the tape wound around the same reel It aims to provide a method of manufacturing.
[0010]
SUMMARY OF THE INVENTION
The manufacturing method of the film carrier tape for electronic component mounting of the present invention, Made of polyimide Manufacture of a film carrier tape for mounting electronic components, comprising a step of forming a wiring pattern made of a conductive metal on at least one surface of an insulating film, and a step of applying and curing a solder resist leaving a terminal portion of the wiring pattern In the method, after the step of applying and curing the solder resist, before the electronic component is mounted on the terminal portion exposed from the solder resist of the film carrier tape for electronic component mounting, the tape is formed in the width direction of the film carrier tape. After correcting the warping deformation caused by bending, the film carrier tape is placed so that the formed wiring pattern is located outside, wound around the first take-up reel and held under heating, As shown in FIG. The outer side of the film carrier tape wound around the first take-up reel is the winding core side. And arrange so that the wiring pattern on which the film carrier tape is formed is located outside. By rewinding to the second take-up reel and holding the film carrier tape wound around the second take-up reel under heating, The side where the wiring pattern is formed is curled inward in the longitudinal direction. It has a step of correcting a curled deformation caused by bending.
[0011]
By eliminating the warp deformation that occurs in the width direction of the film carrier tape as described above, the stress that caused the warp deformation in the width direction curls the end in the longitudinal direction of the film carrier tape toward the wiring pattern formation side. Causing curled deformation. In particular, in CSP and BGA, the film carrier tape is often cut into strips to mount electronic components. In such a case, if a curled deformation occurs near the end in the longitudinal direction of the film carrier tape, the electronic components are accurately It becomes difficult to be mounted on.
[0012]
After removing the warp deformation generated in the width direction of the film carrier tape by applying the reverse warp, the film carrier tape in which the curl-shaped deformation has occurred in the longitudinal direction is preferably removed through the first take-up reel via a flat spacer. By curling the film carrier tape together with the first take-up reel while heating, the curl-shaped deformation occurring in the film carrier tape on the core side of the first take-up reel is corrected, The degree of correction of curled deformation occurring in the film carrier tape is smaller than that of the film carrier tape on the winding core side.
[0013]
Therefore, in the present invention, the film carrier tape wound around the first take-up reel and held under heating as described above is re-wound to the second take-up reel, and the film carrier tape is transferred to the second take-up reel. And kept under heating for a predetermined time. When rewinding to the second take-up reel, the second take-up reel is re-wound so that the outer film carrier tape is positioned on the winding core side of the second take-up reel. Thus, the film carrier tape that has been wound around the second take-up reel in this way is held together with the second take-up reel under heating for a predetermined time, whereby a film carrier tape that is uniform throughout can be manufactured.
[0014]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Next, the manufacturing method of the film carrier tape for electronic component mounting of this invention is demonstrated concretely.
In the method for manufacturing a film carrier tape for mounting electronic components according to the present invention, a wiring pattern is formed on one surface of a flexible insulating film.
[0015]
Since the insulating film that can be used in the present invention comes into contact with an acid or the like during etching, it has chemical resistance that is not affected by such chemicals and heat resistance that does not change even when heated during bonding. doing. This insulation film As this, a film made of polyimide is used. Such polyimide has excellent heat resistance and chemical resistance compared to other resins, and in these respects, it has superior properties that cannot be compared with other resins. ing.
[0016]
Examples of this polyimide resin include wholly aromatic polyimide synthesized from pyromellitic dianhydride and aromatic diamine, and wholly aromatic having biphenyl skeleton synthesized from biphenyltetracarboxylic dianhydride and aromatic diamine. Group polyimide can be mentioned. In particular, in the present invention, a wholly aromatic polyimide having a biphenyl skeleton (for example, trade name: Upilex S, manufactured by Ube Industries, Ltd.) is preferably used. The wholly aromatic polyimide having a biphenyl skeleton has a lower water absorption rate than other wholly aromatic polyimides. The thickness of the insulating film that can be used in the present invention is usually in the range of 25 to 125 μm, preferably 25 to 75 μm. In particular, in the present invention, the warp deformation in the width direction increases as the thickness of the insulating film decreases, and when the warp deformation is applied in the width direction of the film carrier tape in order to correct the warp deformation, the warp deformation in the width direction occurs. The stress that has formed the shape changes in the direction of curl in the longitudinal direction. Such a tendency becomes more prominent as the thickness of the insulating film becomes thinner, and it tends to be particularly noticeable when the thickness of the insulating film is 50 μm or less. Therefore, the method of the present invention is particularly useful when a thin polyimide film such as 25 to 50 μm is used as the insulating film.
[0017]
When manufacturing a film carrier tape for mounting an electronic component according to the method of the present invention, first, sprocket holes (perforations) are formed by punching on both edges of the insulating film as described above, and at the same time, if necessary, slits, Solder ball holes, via holes, positioning holes and the like can be formed by punching.
In the present invention, a conductive metal is adhered to at least one surface of the insulating film in which the necessary punched holes are formed as described above. Examples of the conductive metal used here include an aluminum foil and a copper foil. As such a conductive metal foil, a metal foil usually in the range of 3 to 35 μm, preferably 9 to 25 μm can be used. In particular, a conductive metal foil having a thickness of, for example, 25 μm or less, particularly recently 18 μm or less has been increasingly used, and as the thickness of the conductive metal foil becomes thinner as described above, for example. , Warpage deformation and curl deformation tend to increase.
[0018]
It is preferable to use a copper foil as the conductive metal foil used in the present invention. The copper foil usable here includes an electrolytic copper foil and a rolled copper foil. Considering it, it is preferable to use an electrolytic copper foil.
In addition, although the conductive metal foil that forms the wiring pattern is usually laminated on one surface of the insulating film, this conductive metal foil can also be laminated on the surface of the insulating film via an adhesive layer, It is also possible to laminate without using such an adhesive layer.
[0019]
Moreover, although the above has shown the aspect by which the adhesive bond layer is formed on the surface of an insulating film, the adhesive bond layer may be formed in one surface of electroconductive metal foil.
By laminating a conductive metal foil on one surface of the insulating film in this way, then applying a photoresist to the surface of the conductive metal foil, and exposing and developing the same pattern as the wiring pattern to be formed on this photoresist Then, the conductive metal foil is etched using the pattern formed by the photoresist as a masking material to form a desired wiring pattern.
[0020]
After the wiring pattern is formed in this way, the solder resist is applied while leaving the lead portion electrically connected to the electronic component, and the solder resist is cured by heating. This solder resist tends to cure and shrink when it is cured by heating.
After the solder resist is applied and cured in this way, the wiring pattern exposed from the solder resist is plated. For this plating process, gold plating, nickel gold plating, tin plating, etc. can be adopted, but in BGA and CSP, electronic components and gold wires are often used for electrical connection, so gold plating or nickel Gold plating is preferable. The thickness of such plating is usually 0.02 to 12 μm, preferably 0.02 to 3 μm.
[0021]
When the solder resist 16 is applied to the electronic component mounting
[0022]
More specifically, BGA and CSP will be described as examples. In such an electronic component mounting
[0023]
The warp deformation generated in the width direction of the electronic component mounting
[0024]
That is, in order to eliminate the warp deformation generated in the width direction of the film carrier tape for mounting electronic components, the film carrier tape is usually heated to about 80 to 200 ° C., preferably about 150 to 200 ° C., while being relatively short. It is necessary to apply stress that resists warping deformation in the width direction, such as time (usually within 5 minutes, preferably within 2 minutes), and reverse warping of the film carrier tape. By applying stress against the stress that caused warping deformation in the width direction under heating in this way, the direction in which the warping deformation stress in the width direction is expressed changes, and the warping deformation in the width direction is almost eliminated. The The correction of the deformation generated in the width direction of the film carrier tape mainly softens the adhesive and solder resist used to adhere the electrolytic copper foil to an insulating film such as polyimide during warping. It is thought that this is due to solidification in the state of reverse warping.
[0025]
However, when the warp deformation in the width direction is eliminated in this way, the stress that has formed the warp deformation changes its direction and acts in the longitudinal direction of the film carrier tape, as shown in FIG. The vicinity of the end in the longitudinal direction of the
[0026]
The curl-like deformation that occurs in the vicinity of the end of the film carrier tape in the longitudinal direction is particularly a problem when mounting electronic components in CSP, BGA, etc., where the film carrier tape is cut into strips to mount electronic components. become.
That is, the film carrier tape cut into strips as described above is fixed to a jig for mounting the electronic component, and the electronic component is mounted on the film carrier tape thus fixed, and the bump electrode formed on the electronic component. And the film carrier tape are placed so that they are in place and are electrically connected to each other. (1) If the film carrier tape is warped or curled, it is cut into strips. (2) When the film carrier tape cut into a strip shape is deformed in a curl shape in the longitudinal direction, it becomes difficult to accurately align the end of the strip tape. (3) When the tape with the electronic components mounted is removed from the bonding jig, the film carrier tape with the electronic components mounted is warped or deformed. When curled shape deformation such as may be subjected to bent or damaged, such as a metal wire that implement electronic component failure occurs.
[0027]
Therefore, in the present invention, first by correcting the warp deformation generated in the width direction of the film carrier tape by correcting the warp deformation generated in the width direction of the film carrier tape, For example, as shown in FIG. 4, the
[0028]
The
[0029]
In addition, the flat spacer used in the present invention only needs to have at least the width in which the wiring pattern is formed. Therefore, it is possible to form the same width as that of the insulating film, and to form a sprocket hole if necessary. It can also be used without forming a sprocket hole with a width substantially the same as the width of the metal foil.
In order to correct the curled deformation as described above, the film carrier tape for mounting an electronic component wound on the first take-up reel, preferably with a flat spacer as described above, is usually 160 ° C. or less, preferably Is heated to a temperature of 60 to 160 ° C., and is usually maintained for 30 minutes or more, preferably 1 to 20 hours, more preferably 1 to 10 hours. As described above, the first take-up reel is preferably wound together with the
[0030]
However, as described above, the film carrier tape, which is preferably wound around the first take-
[0031]
For example, as shown in FIG. 6, when a film carrier tape having a length of 50 meters, which has been warped and deformed, is wound around a first take-up reel and held under heating for a predetermined time, the curl shape that has occurred in the film carrier tape The deformation is almost corrected on the winding core side, but the degree of correction of the curled deformation decreases as the winding core moves from the winding side. That is, the curled deformation is almost completely corrected on the winding core side, but the correction degree of the curled deformation is reduced in proportion to the distance from the winding core (the curled deformation is increased), and the curled deformation is increased on the outer side of the winding core. It has been found that the effect of correcting the curled deformation is reduced by winding it on one take-up reel and holding it under heating.
[0032]
Therefore, in the present invention, the film carrier tape wound on the first take-
[0033]
Further, when the
[0034]
When the
[0035]
The
By holding the film carrier tape wound on the second take-
[0036]
In addition, after eliminating the warp deformation generated in the width direction of the tape as described above, the tape is wound around the first take-
[0037]
In the present invention, the apparatus for correcting the curled deformation by holding the film carrier wound on the first take-up reel and the second take-
After being held for a predetermined time while being heated to a predetermined temperature as described above, an electronic component is bonded to the film carrier tape according to a normal method. For example, an electronic component can be mounted by cutting into a strip shape of about 20 cm, placing the strip-shaped film carrier tape on a bonding jig, and bonding using a bonding tool.
[0038]
According to the present invention, it is possible to manufacture a film carrier tape for mounting electronic components with little deformation, and in particular, it improves transportability and reduces damage and displacement due to tape deformation and improves mountability of electronic components. be able to.
[0039]
【The invention's effect】
According to the method for manufacturing a film carrier tape for mounting an electronic component of the present invention, it is possible to eliminate both warp deformation in the width direction of the film carrier tape and curl deformation that occurs near the end in the longitudinal direction. In particular, according to the present invention, there is provided a film carrier tape for mounting electronic components that has high uniformity as a whole without causing the amount of curled deformation occurring in the longitudinal direction of the film carrier tape to vary depending on the position of the film carrier tape. Can be manufactured. Therefore, for example, when mounting electronic components by cutting into strips such as CSP, BGA, etc., the film carrier tape cut into strips can be transported without problems and when mounting electronic components. It can be easily mounted on a jig used for mounting, and electronic components can be mounted well.
[0040]
【Example】
EXAMPLES Next, although an Example is shown about this invention and this invention is demonstrated still in detail, this invention is not limited by these.
[0041]
[Example 1]
Necessary punching holes such as sprocket holes are formed at both edges in the width direction of a polyimide film having a length of 50 m, a width of 48 mm, and a thickness of 50 μm, and an electrolytic copper foil with a thickness of 25 μm is used between the sprocket holes with an adhesive. Stuck.
A photosensitive resin was applied onto the adhered electrolytic copper foil, and the photosensitive resin was exposed and developed to form a predetermined pattern. Next, using the pattern made of the photosensitive resin as a masking material, the electrolytic copper foil was etched to form a wiring pattern made of the electrolytic copper foil.
[0042]
Next, a solder resist was applied to the surface of the wiring pattern, except for the terminal portion, and it was wound around a reel together with an embossed spacer whose edge was embossed and cured.
After forming the solder resist layer in this way, a nickel gold plating layer having a thickness of 1 μm was formed on the surface of the wiring pattern exposed from the solder resist layer.
[0043]
The thus formed electronic component mounting film carrier tape was warped and curved in the width direction so that the surface on which the wiring pattern was formed became a recess in the width direction of the tape. The amount of warping at this time was about 18 mm or more. At this stage, the electronic component mounting film carrier tape was cut out to a length of 190 mm, but the curled deformation in the vicinity of the end of the strip-shaped electronic component mounting film carrier tape thus cut out was , Almost 0 mm, and almost no curl-like deformation occurs from the whole length.
[0044]
The film carrier tape for mounting electronic components manufactured as described above is inserted into the heating furnace heated to 190 to 200 ° C. so that the surface on which the wiring pattern is formed is curved in a convex shape. The film carrier tape for mounting electronic components wound on the unwinding reel was sent to the heating furnace using a heating furnace having a length of 3 m provided with a guide, and this was performed while applying a reverse warp to the heating furnace. After passing through a heating furnace, warping was performed and the film was wound on a take-up reel. By removing the warp in this way, the amount of warp in the width direction of the tape was reduced to 6.0 mm on average.
[0045]
After removing the warp in the width direction, the film carrier tape for mounting electronic components was cut out to 190 mm in the same manner as described above, and this strip-shaped film carrier tape was curled and deformed near both ends. The amount of curled deformation was 19 mm on average.
Next, this film carrier tape for mounting electronic parts was wound around an aluminum reel (first take-up reel) together with a flat spacer made of polyimide having a thickness of 75 μm. The first take-up reel was wound with a flat spacer so that the surface on which the wiring pattern of the electronic component mounting film carrier tape was formed was directed outward.
[0046]
The film carrier tape for mounting an electronic component wound around the first take-up reel was placed in an oven whose internal temperature was adjusted to 90 ° C. together with the first take-up reel and left for 10 hours.
For a film carrier tape for mounting electronic components prepared in the same manner as described above, a strip-like film carrier tape having a length of 190 mm was cut out every 10 m from the winding core side, and the amount of warp deformation and curl deformation was measured. As shown in FIG. As is apparent from FIG. 7, the curled deformation on the winding core side is corrected to about 2 mm, whereas the curled deformation amount on the winding outer side is about 9 mm or more, which is greater on the winding outer side than on the winding core side. It was found that the curled deformation was not corrected. In addition, the warp deformation generated in the film carrier tape hardly changed in this step.
[0047]
Subsequently, the electronic component mounting film carrier tape wound around the first take-up reel as described above and held under heating was unwound from the first take-up reel and re-wound to the second take-up reel.
At the time of rewinding to the second take-up reel, the flat spacer wound with the film carrier tape on the first take-up reel is taken up and collected on the spacer take-up reel, and also on the second take-up reel. A new flat spacer made of polyimide having a thickness of 75 μm was supplied from the spacer take-up reel and wound around the second take-up reel together with the new flat spacer.
[0048]
Then wind around this second take-up reel Change The obtained film carrier tape for mounting electronic parts was placed in an oven whose internal temperature was adjusted to 90 ° C. together with the second take-up reel and left for 10 hours. After heating for 10 hours as described above, the temperature of the second take-up reel and the film carrier tape wound thereon is returned to room temperature, and then the electronic component mounting film carrier tape is cut into a strip shape of 190 mm. For the strip-shaped film carrier tape collected at regular intervals from the winding core side to the winding outside, the amount of warpage in the width direction and the amount of curl deformation in the vicinity of the edge in the longitudinal direction of the strip-shaped film carrier tape were measured. The results are shown in FIG. As is clear from FIG. 8, the film carrier tape wound on the second take-up reel and held for a predetermined time under heating is substantially constant from the winding core side to the winding outer side, and the amount of curl change is an average. In addition to being reduced to about 2 mm, it was made uniform.
[0049]
As is clear from the above results, when the warp is removed to reduce the amount of warpage in the width direction, the amount of curl deformation in the vicinity of the end in the longitudinal direction increases. The mounting film carrier tape is wound on the first take-up reel and held under heating for a predetermined time, and then the winding outside of the first take-up reel is positioned on the core side of the second take-up reel. By rewinding to the second take-up reel and holding it again under heating for a predetermined time, the curl-like change that has occurred in the electronic component mounting film carrier tape is uniformly corrected as a whole, and a highly uniform film carrier Tapes can be manufactured. In addition, other characteristics such as warp deformation of the film carrier tape were not changed by processing to correct the curled deformation in this way.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a cross-sectional view showing an example of a cross section of a film carrier tape for mounting electronic components manufactured by the method of the present invention.
FIG. 2 is a cross-sectional view schematically showing an example of mounting electronic components on a film carrier tape for mounting electronic components.
FIG. 3 is a diagram showing an example of a film carrier tape for mounting electronic components that has been cut into strips and has undergone curled deformation.
FIG. 4 is a view showing an example of a film carrier tape for mounting electronic components wound around a reel in order to take a curled deformation.
FIG. 5 is a diagram showing an example of a state of rewinding a film carrier tape for mounting electronic components when curling deformation is corrected by the method of the present invention.
FIG. 6 is a diagram showing an example of a correction state of curled deformation when a film carrier tape for mounting electronic components is wound around a reel and processed once under heating.
FIG. 7 is a view showing an example of a deformed state of the tape when the electronic component mounting film carrier tape is wound around the first take-up reel and heat-treated.
FIG. 8 is an example of a corrected state of deformation of a film carrier tape for mounting an electronic component that is wound around a first take-up reel and processed under heat, and then wound around a second take-up reel. FIG.
[Explanation of symbols]
1 ... Film carrier tape for mounting electronic components
10 ... Insulating film
12 ... Adhesive layer
14 ... Wiring pattern
15 ... Film carrier
16 ... Solder resist (layer)
18 ... Sprocket hole
19 ... Beer Hall
20 ... Flat spacer
22 ... First take-up reel
24 ... Spacer take-up reel
30 ... Flat spacer
33 ... 2nd take-up reel
34 ... Spacer reel
35 ... Electronic components
36 ... Conductive metal wire
37 ... Plating layer
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