JP3733733B2 - イオン交換樹脂の減容処理方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、廃棄物として生じるイオン交換樹脂の減容処理装置に係わり、特に酸素含有雰囲気中の放電により生じる活性酸素を用いて灰化し減容処理する方法及びその装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
図5は、従来のイオン交換樹脂の減容処理装置の構成例を示す断面図で、すでに特願平9−37478号に提示されている構成である。図に見られるように、本減容処理装置は、被処理用のイオン交換樹脂3を搭載したセラミックス製の処理皿4を内蔵する反応容器2、反応容器2の上部に連通して配された円筒状の放電容器1、放電容器1の上端に備えられたガス導入口5、放電容器1の外側に巻装された高周波誘導コイル8、反応容器2と放電容器1の内部を排気する減圧ポンプ6を組み込んだ排気配管7より構成されている。このうち、放電容器1は、高周波を通し活性酸素に耐性のある電気絶縁性材料である石英を用いて形成されており、反応容器2は、高周波を遮蔽し活性酸素に耐性のある金属材料であるアルミニウムにより形成されている。
【0003】
本構成において、ガス導入口5より酸素を含むガスを導入し、減圧ポンプ6で排気して反応容器2と放電容器1の内部を減圧酸素含有雰囲気とし、高周波発生器9を用いて高周波誘導コイル8に高周波電流を通電すると、放電容器1の内部に高周波磁界が発生し、電磁誘導の作用で放電が形成、維持され、活性酸素やイオンを生成する。この時、放電と高周波誘導コイル8の高周波とは誘導的に結合し、放電内部に発生する旋回方向に交番する誘導電界が電子を加速するので、放電内部に高周波電力が供給される。したがって効果的に電子の加熱が行われ、高密度の活性酸素やイオンが生成される。生成されたこれらの活性酸素やイオンは、反応容器2の内部へと吹き出し、処理皿4に搭載された被処理用のイオン交換樹脂3に接触反応してこれを直接酸化し、最終的に、吸着された金属イオンを含む灰分だけを残して減容する。このように減容処理する方法を用いれば、すすの発生がなくまた処理炉材の損傷もないのでメンテナンスが簡単となり、かつ排出ガス量を少量に抑えることが可能となる。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
上記のごときイオン交換樹脂の減容処理装置における活性酸素による灰化処理速度は、減圧雰囲気において生成される酸素の活性状態と被処理物に到達する活性種の数とに依存するため、放電プラズマの形成に必要な高周波電力と処理圧力条件を適正に選定することにより、適正な活性種が十分に得られ、所要の処理速度で処理できることとなる。
【0005】
しかしながら、例えば1kgのイオン交換樹脂を1時間で処理する場合を想定すると、毎時数立方米の酸素ガスを供給する必要があり、これに伴って灰化処理によって発生する排ガス量も多量となり、この多量の排ガスを排気し、かつ反応室の内部を所定の減圧雰囲気に保持する能力を所持する減圧排気設備の設置が要求されることとなるので、処理速度を上げることが困難であるという難点があった。また、反応室の内部を減圧して用いると、圧力の低下とともに粒子密度も低下するので、イオン交換樹脂の炭素や水素等の成分の酸化が不完全となり、有害なCOやH2 として排出される。したがって、これらのCOやH2 をより安定で安全なCO2 やH2Oに変換するための処理設備が必要となり、排ガス処理設備が複雑になるという問題点があった。
【0006】
本発明は、これらの従来技術の問題点を考慮してなされたもので、処理効率が高く、早い処理速度で減容処理でき、また、排ガスに含まれるCOやH2 の濃度が低くなり、排ガス処理装置が簡素化できるイオン交換樹脂の減容処理方法及びその装置を提供することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するために、本発明においては、
1)放電容器の内部を減圧酸素含有雰囲気に保持し、放電容器に巻装した高周波誘導コイルに高周波電流を通電して、放電容器の内部に放電を生成、維持し、得られた活性酸素を、放電容器と連通して減圧酸素含有雰囲気に保持された反応容器の内部に備えられたイオン交換樹脂に接触作用させて、これを灰化減容処理するイオン交換樹脂の減容処理方法において、
(a)反応容器の内部を80 Pa 以下の圧力に保持して灰化減容処理することとする。
【0008】
(b)減圧酸素含有雰囲気に保持するために導入されるガスの反応容器内部での滞在時間を 0.3秒以上に保持して灰化減容処理することとする。
2)また、被処理用のイオン交換樹脂を内蔵する反応容器、反応容器と連通し、高周波誘導コイルを巻装した電気絶縁材よりなる放電容器、反応容器と放電容器の内部を排気して減圧状態に保持する減圧手段、および反応容器と放電容器の内部に酸素または酸素を含む複数のガスを導入するためのガス導入手段を備えてなるイオン交換樹脂の減容処理装置において、前記の減圧手段としてメカニカルドライポンプを備えることとする。
【0009】
酸素ガスに高周波電界をかけて電子エネルギーを与えると、式(1)〜(4)のごとく原子状酸素に代表される化学的活性度の高い活性酸素が生成され、この活性酸素の働きにより、イオン交換樹脂は、COやCO2 、H2 やH2Oとしてガス化され、灰化減容処理される。
【0010】
【数1】
ここで、電子の電荷、質量、平均速度を、それぞれq,me ,ve で表示すると、電位差Vによって加速される電子のエネルギーは、式(5)で表される。
【0011】
【数2】
(1/2)me ve 2 = qV (5)
ここでさらに、電界強度E、圧力P、および0℃、1.33×102 Paにおける電子の平均自由行程λ0 を用いて、電位差Vを置き換えれば、式(5)は次式(6)で表現される。
【0012】
【数3】
(1/2)me ve 2 = qλ0 (E/P) (6)
この式から、電子エネルギーに圧力が大きな影響を及ぼすことがわかる。すなわち、電界強度Eの制御因子である高周波電力を調整する方法のみならず、放電プラズマの形成空間の圧力を低下させる方法を採ることによっても、電子エネルギーが増大し、活性酸素の生成が促されることとなる。
【0013】
したがって、反応容器の内部の圧力を従来より低く設定し、上記1)の(a)のごとく、80 Pa 以下の圧力に保持して灰化減容処理することとすれば、後述の実施例に示すように、電子エネルギーを一段と効果的に増大できるので、活性酸素量が増大し、減容処理の効率が高くなる。
また、導入されるガスの反応容器内部での滞在時間を長くすれば、粒子密度の低い減圧雰囲気においても、形成されたCOやH2 の活性酸素との接触の機会が増大し、CO2 やH2 Oへの酸化反応が進行するので、COやH2 の濃度が減少する。特に上記の1)の(b)のごとく、反応容器内部での滞在時間を 0.3秒以上に保持して灰化減容処理することとすることとすれば、後述の実施例に示すように、排ガス中のCOやH2 の濃度を効果的に減少させることができる。
【0014】
また、上記の2)のごとく、メカニカルドライポンプを減圧手段として備えてイオン交換樹脂の減容処理装置を構成することとすれば、導入されるガスの流量が多量となっても、反応容器の内部を、大気圧から10 Pa に至る広範囲の減圧条件に設定することが可能となるので、上記の1)(a)のごとく、80 Pa 以下の圧力に保持して灰化減容処理することができる。また、同様に、上記の1)の(b)のごとく、導入されるガスの反応容器内部での滞在時間を 0.3秒以上に保持して灰化減容処理することも可能となる。
【0015】
【発明の実施の形態】
<実施例1>
図1は、本発明の第1の実施例に用いたイオン交換樹脂の減容処理装置の基本構成を示す断面図である。本減容処理装置の本体の構成は、すでに図5に示した従来例の装置と基本的に同一であるので、構成部品に関する重複する説明は省略する。本減容処理装置の特徴は、反応容器2に接続された排気配管7にメカニカルドライポンプ14を設置したことにある。
【0016】
本実施例に用いた減容処理装置においても、反応容器2と放電容器1の内部を減圧酸素含有雰囲気とし、高周波誘導コイル8に高周波電流を通電して放電を形成し、生成された活性酸素やイオンを、反応容器2の内部へと吹き出させ、処理皿4に搭載された被処理用のイオン交換樹脂3に接触反応させてこれを直接酸化し、減容処理する方法が採られるが、本減容処理装置には、排気配管7にメカニカルドライポンプ14が備えられているので、導入されるガスの流量が多量となっても、反応容器2と放電容器1の内部を、大気圧から約10 Pa に至る広範囲の減圧条件に設定することが可能である。
【0017】
図2は、図1に示した減容処理装置を用いてイオン交換樹脂の灰化減容処理を行ったときの処理速度の圧力依存性を示す特性図で、横軸は、メカニカルドライポンプで調整した反応容器の圧力、縦軸は、排気ガス中のCOおよびCO2 から求めた炭素の排気速度、すなわちイオン交換樹脂の処理速度の相対値である。図には高周波電力をそれぞれ 600W、 800W、1000W投入したときの特性が示されており、高周波電力の増大とともに処理速度が上昇している。また、いずれの値の高周波電力においても、反応容器の圧力の低下とともに処理速度が上昇しており、特に圧力が80 Pa 以下になるととりわけ急激に上昇している。したがって、このように反応容器の圧力を80 Pa 以下に保持して減容処理を行えば、高周波電力を増大させなくとも早い処理速度で、効率的にイオン交換樹脂の灰化減容処理できることとなる。
【0018】
図3は、図1に示した減容処理装置において、導入ガスの反応容器内部での滞在時間(Tr)を変化させてイオン交換樹脂の灰化減容処理を行ったときの排気ガス中のCO濃度とCO2 濃度との比率を示した特性図である。
導入ガスの反応容器内部での滞在時間(Tr)は、圧力をP、ガス流量をQ、メカニカルドライポンプの排気速度をVとすれば、次式(7)で与えられ、排気速度Vは、インバ─タによりドライポンプの回転数を制御する方法、あるいはドライポンプに付設のしぼり機構によりコンダクタンスを制御する方法により調整される。
【0019】
【数4】
Tr = PV/Q (7)
図3に示した特性は、後者のしぼり機構によりコンダクタンスを制御する方法を用いて排気速度Vを調整し、滞在時間(Tr)を設定して測定したものである。図の横軸は高周波電力の投入量であり、縦軸は排気ガス中のCO濃度とCO2 濃度との比率である。図に見られるように、導入ガスの滞在時間(Tr)が約 0.1sec の場合には、高周波電力が低いときもCO濃度が高く、高周波電力の増大とともにCO濃度は上昇し、高周波電力が1000Wを超えるとCO濃度がCO2 濃度より高くなっており、酸化が不十分であることがわかる。これに対して、滞在時間が 0.3 sec以上の場合には、高周波電力の大小によらず常にCO濃度はCO2 濃度より十分低い濃度に維持されており、滞在時間を長くすることによって、効果的に酸化が進行していることがわかる。したがって、排気手段としてメカニカルドライポンプを組み込み、排気速度を調整して導入ガスの反応容器内部での滞在時間を 0.3 sec以上に保持させれば、反応容器内部での酸化反応が効果的に進行し、排気ガス中のCO等の未酸化の成分が低減できるので、簡素な排ガス処理装置で処理できることとなる。
【0020】
<実施例2>
図4は、本発明のイオン交換樹脂の減容処理装置の第2の実施例の基本構成を示す断面図である。本減容処理装置の本体の構成は、既に特願平9−37478号に提示されている構成と同一の構成で、イオン交換樹脂3を搭載した処理皿4を内蔵したアルミニウム製の反応容器2A、反応容器2Aと連通した内部空間をもつド─ム状の石英製の放電容器1A、反応容器2Aの上端に備えられたガス導入口5A、ならびに放電容器1Aの外側に巻装された高周波誘導コイル8Aにより本体が構成されており、さらに、イオン交換樹脂3を搭載した処理皿4を反応容器2に搬入あるいは搬出するための搬入室12と搬出室13が備えられている。本実施例の減容処理装置の特徴は、反応容器2Aの内部を減圧酸素含有雰囲気とするための減圧手段として、排気配管7にメカニカルドライポンプ14が備えられていることにある。
【0021】
したがって、本実施例の減容処理装置では、第1の実施例の減容処理装置の場合と同様に、導入ガス量が多量であっても、反応容器2Aの圧力を大気圧から約10 Pa に至る広範囲の減圧条件に設定することが可能である。したがって、反応容器2Aの圧力を80 Pa 以下に保持して処理を行えば、高い処理効率でイオン交換樹脂が減容処理され、また、導入ガスの反応容器2A内の滞在時間が 0.3sec 以上となるよう調整すれば、酸化反応が効果的に進行し、排ガス中のCO等の未酸化の成分が低減し、簡素な排ガス処理装置で処理できることとなる。
【0022】
なお、上記の第1の実施例および第2の実施例の減容処理装置では、反応容器の減圧手段として、排気配管7にメカニカルドライポンプ14を備えているが、メカニカルドライポンプ14の上流側に、さらにメカニカルドライブースターポンプを設置すれば、排気容量が増大し、有効真空度をさらに上げることが可能となる。
【0023】
【発明の効果】
上記したように、本発明によれば、反応容器の内部を80Pa以下の圧力に保持するので、活性酸素量が増大し、減容処理の効率が高くなって、早い処理速度で減容処理ができるようになった。また、減圧酸素含有雰囲気に保持するために導入されるガスの反応容器内部での滞在時間を0.3秒以上に保持するので、反応容器内での酸化が効果的に進行し、排ガスに含まれるCOやH2の濃度が低くなるので、排ガスを簡素化された排ガス処理装置で処理できることとなる。また、減圧をメカニカルドライポンプを用いて行うと、反応容器内の圧力を大気圧から約10Paに至る広範囲の減圧条件に設定することが可能となり、早い処理速度で減容処理できるとともに、排ガス処理装置が簡素化されたイオン交換樹脂の減容処理装置が得られる。
【0024】
(2)また、請求項2に記載の方法によってイオン交換樹脂を灰化減容処理することとすれば、反応容器内での酸化が効果的に進行し、排ガスに含まれるCOやH2 の濃度が低くなるので、排ガスを簡素化された排ガス処理装置で処理できることとなる。
(3)また、請求項3に記載のごとくイオン交換樹脂の減容処理装置を構成することとしたので、反応容器内の圧力を大気圧から約10 Pa に至る広範囲の減圧条件に設定することが可能となり、上記の(1)のごとく早い処理速度で減容処理できるとともに、上記の(2)のごとく排ガス処理装置が簡素化されるイオン交換樹脂の減容処理装置が得られることとなった。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施例に用いたイオン交換樹脂の減容処理装置の基本構成を示す断面図
【図2】図1のイオン交換樹脂の減容処理装置を用いて減容処理を行ったときの処理速度の圧力依存性を示す特性図
【図3】図1のイオン交換樹脂の減容処理装置を用いて減容処理を行ったときの排気ガス中のCO濃度とCO2 濃度との比率とガスの滞在時間との関係を示す特性図
【図4】本発明のイオン交換樹脂の減容処理装置の第2の実施例の基本構成を示す断面図
【図5】従来のイオン交換樹脂の減容処理装置の構成例を示す断面図
【符号の説明】
1,1A 放電容器
2,2A 反応容器
3 イオン交換樹脂
4 処理皿
5,5A ガス導入口
7 排気配管
8,8A 高周波誘導コイル
9 高周波発生器
11 排気口
14 メカニカルドライポンプ
Claims (2)
- 放電容器の内部を減圧酸素含有雰囲気に保持し、放電容器に巻装した高周波誘導コイルに高周波電流を通電して、放電容器の内部に放電を生成、維持し、得られた活性酸素を、放電容器と連通して減圧酸素含有雰囲気に保持された反応容器の内部に備えられたイオン交換樹脂に接触作用させて、これを灰化減容処理するイオン交換樹脂の減容処理方法において、
反応容器の内部を80Pa以下の圧力に保持し、かつ減圧酸素含有雰囲気に保持するために導入されるガスの反応容器内部での滞在時間を0.3秒以上に保持して、灰化減容処理することを特徴とするイオン交換樹脂の減容処理方法。 - 放電容器内部と反応容器内部の減圧を、メカニカルドライポンプにより行うことを特徴とする請求項1記載のイオン交換樹脂の減容処理方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP05259598A JP3733733B2 (ja) | 1998-03-05 | 1998-03-05 | イオン交換樹脂の減容処理方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP05259598A JP3733733B2 (ja) | 1998-03-05 | 1998-03-05 | イオン交換樹脂の減容処理方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11244816A JPH11244816A (ja) | 1999-09-14 |
| JP3733733B2 true JP3733733B2 (ja) | 2006-01-11 |
Family
ID=12919149
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP05259598A Expired - Fee Related JP3733733B2 (ja) | 1998-03-05 | 1998-03-05 | イオン交換樹脂の減容処理方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3733733B2 (ja) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| KR101183619B1 (ko) * | 2010-01-22 | 2012-09-17 | 씨앤지하이테크 주식회사 | 유기 폐기물 활성 분해 장치 |
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1998
- 1998-03-05 JP JP05259598A patent/JP3733733B2/ja not_active Expired - Fee Related
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|---|---|
| JPH11244816A (ja) | 1999-09-14 |
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| Date | Code | Title | Description |
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