Deprecated: The each() function is deprecated. This message will be suppressed on further calls in /home/zhenxiangba/zhenxiangba.com/public_html/phproxy-improved-master/index.php on line 456
JP3749352B2 - Nozzle in laser processing machine - Google Patents
[go: Go Back, main page]

JP3749352B2 - Nozzle in laser processing machine - Google Patents

Nozzle in laser processing machine Download PDF

Info

Publication number
JP3749352B2
JP3749352B2 JP14231997A JP14231997A JP3749352B2 JP 3749352 B2 JP3749352 B2 JP 3749352B2 JP 14231997 A JP14231997 A JP 14231997A JP 14231997 A JP14231997 A JP 14231997A JP 3749352 B2 JP3749352 B2 JP 3749352B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
nozzle
workpiece
laser processing
gap
processing machine
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP14231997A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JPH10328879A (en
Inventor
淳 中村
宏 迫
功明 塩地
真 入江
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Amada Co Ltd
Original Assignee
Amada Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Amada Co Ltd filed Critical Amada Co Ltd
Priority to JP14231997A priority Critical patent/JP3749352B2/en
Publication of JPH10328879A publication Critical patent/JPH10328879A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP3749352B2 publication Critical patent/JP3749352B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Laser Beam Processing (AREA)

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
この発明は、特に厚板のワークの切断加工に適するレーザ加工機におけるノズルに関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来の多重ノズルは、レーザビームを照射すると共にレーザガスを噴出させるインナーノズルと、シールドガスまたは冷却用の流体を噴出させるアウターノズルを備えたものが一般的である。
【0003】
また、図9に示されているノズル101ように、インナーノズル103とアウターノズル105を有しており、さらにアウターノズル105の外側にリング状の倣いセンサーチップ107を取付けたものも使用されている。あるいは、図示はしないが多重ノズルのうちの外側のノズルを静電容量式倣いセンサーとするものも使用されている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、先に示したような多重ノズルにあっては、冷却効果については一応の効果があるものの、特に厚板加工についてはその冷却効果や、スパッタやドロスの処理に関して十分満足の得られるものではなかった。また、ピアス加工時において生成されたスパッタやドロスがワークの表面に固着するので、ピアス加工から通常の切断に移行する際に、固着物がノズルの障害となって円滑な移行ができなくなって、甚だしい場合には加工ノズルと干渉または衝突の原因となっているという問題がある。
【0005】
また、倣いセンサーをノズル外部に取付けたものでは、ノズルの交換等の作業においてはそのたびごとにノズルとセンサーチップとの位置関係調整の困難さや外部に取付けるため倣いセンサー部とワークとの干渉を回避するため自ら加工領域を制限しなければならないという問題がある。あるいは、多重ノズルの外側のノズルを静電容量式倣いセンサーとした場合には、冷却水を使用する場合にインナーノズルとアウタノズルの隙間より噴出した冷却水は遠心力によりノズル中心に広がりながらワークに噴出するために、ワークとセンサー部の隙間に冷却水が入り込み、この為、水の比誘電率の影響を受けて、センサーとして機能を十分に果たせないという問題がある。
【0006】
また、厚板の加工におけるピアス加工や通常加工には、有効な多重ノズルが未だ使用されていない状況である。
【0007】
この発明の目的は、以上のような従来の技術に着目してなされたものであり、冷却媒を噴霧すると共に加工時に発生するスパッタやドロス等をワークの表面から容易に剥離させることができ且つ倣いセンサーとして用いることのできるレーザ加工機におけるノズルを提供することにある。
【0008】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するために、本発明は、アウターノズルの内部にミドルノズルを備え、このミドルノズルの内部にインナーノズルを備えた多重構造のノズルの前記インナーノズルとミドルノズルとの間からアシストガスを噴出すると共に前記アウターノズルと前記ミドルノズルの間に設けられた隙間から冷却効果を有する不燃性の防錆剤とエアーを混合して回転しながら噴出させることでその遠心力によりワーク表面に外側へ広がる状態で吹付けることで、ワークの温度を安定させ、さらにピアス加工又は切断中にワーク表面に生成するスパッター及び溶融金属カス等の不純物を切断経路上より除去せしめることを特徴とするものである。
【0012】
また、本発明は、レーザ発振器により発振されたレーザビームをワークに照射してレーザ加工を行うためのレーザ加工機におけるノズルであって、外側に位置するアウターノズルと、このアウターノズルの内側に所定の隙間を有する状態で位置すると共に先端部がラッパ状に拡大したミドルノズルとで構成され、内部に所定の間隔を有する状態で挿入されたインナーノズルを備えてなることを特徴とするものである。
【0013】
従って、アウターノズルとミドルノズルの間に設けられた隙間から吹付けられた冷却媒やエアーはミドルノズルの外形に沿って広がるので、ワーク表面の不純物を外側へ除去する。
【0015】
また、ミドルノズルとインナーノズルの間に設けられている隙間からワークの加工位置へ向けてアシストガス等が噴出される。
【0016】
また、前記レーザ加工機におけるノズルにおいて、ミドルノズル自体が静電容量型倣いセンサーの電極であり、ワークとの隙間をその先端部にて検出制御すること、を特徴とするものである。
【0017】
従って、アウターノズルとミドルノズルの間に設けられた隙間から冷却水を吹付ける場合でも、ミドルノズルの外形により冷却水が外側へ吹付けられるので、ミドルノズル自体を静電容量型倣いセンサーとして使用すれば冷却水による比誘電率の不安定性を排除する。
【0018】
【発明の実施の形態】
以下、この発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。
【0019】
図7および図8にはレーザ加工機1の全体が示されている。このレーザ加工機1はごく一般的なものであるので詳細な説明は省略して概略のみ説明する。このレーザ加工機1は、レーザビームLBを発するレーザ発振器3を近傍に有しており、レーザ発振器3により発せられたレーザビームLBは複数のベンドミラー5を介してレーザ加工機1に送られる。
【0020】
レーザ加工機1は、ベース7と、このベース7の一端部において垂直に固定されているポスト9と、このポスト9によって前記ベース7の上方に水平片持ち梁状に支持されている本体フレーム11から成っている。前記ベース7の上には、加工されるワークWを水平に載置する固定テーブル13が設けられている。この固定テーブル13の前後両側(図8中上下両側)には、Y軸方向(図8中左右方向)へ移動・位置決め自在の可動テーブル15が設けられており、前記固定テーブル13を跨いで前記可動テーブル15を連結し、可動テーブル15と一体でY軸方向へ移動・位置決めされるキャレッジベース17が設けられている。このキャレッジベース17には、ワークWを把持するワーククランパ19を間隔調整自在に有するX軸キャレッジ21が、X軸方向へ移動・位置決め自在に設けられている。
【0021】
一方、前記本体フレーム11の先端(図7中右先端)の下面には、加工ヘッド23が設けられており、この加工ヘッド23の先端には前記レーザ発振器3からのレーザビームLBをワークWに照射するノズル25が装着されている。
【0022】
従って、ワークWを把持したX軸キャレッジ21をX軸方向に移動・位置決めすると共に、キャレッジベース17をY軸方向に移動・位置決めしてノズル25の下方にワークWの加工位置を位置決めし、レーザビームLBをこのワークWに照射してレーザ加工が行われることになる。
【0023】
図1および図2には、前述の加工ヘッド23の先端に装着されているノズル25が示されている。このノズル25は多重ノズルであり、最も外側に円形断面のアウターノズル27を有し、このアウターノズル27の内部空間に円形断面のミドルノズル29を有している。さらに、このミドルノズル29の内部には円形断面のインナーノズル31を有しており、三重構造となっている。
【0024】
前記ミドルノズル29の外周において、二ヶ所に平坦部33が設けられているので、アウターノズル27との間に隙間35が二ヶ所に形成されている。前記インナーノズル31の外周にも平坦部37が設けられているので、ミドルノズル29との間に隙間39が形成されている。また、最も先端に位置するミドルノズル29の先端部41はラッパ状に形成されている。
【0025】
従って、インナーノズル31とミドルノズル29との間、およびミドルノズル29とアウターノズル27の間には、液体やガスを噴出するための通路が形成され、隙間35から噴出されたガス等は外側へ広がる。また、隙間39からはアシストガスが噴出されるものである。
【0026】
次に、図3〜図6に基づいて、レーザ切断加工方法について説明する。
【0027】
まず、図3を参照するに、ノズルギャップHを若干大きめ(例えば2.5mm)にとって、アウターノズル27とミドルノズル29の間に形成されている隙間35から、防錆水とエアーを混合したものを水噴霧としてワークWの表面に所定の強度(例えば3.5Kgf/cm2 )で吹付ける。このとき、防錆水がたとえ蒸発してもワークWの表面に防錆剤は残るので、スパッタやドロスがワークWの表面に直接固着するのを防止することができる。
【0028】
続いて、図4を参照するに、防錆水を止めて、同じ大きめのノズルギャップHでエアーのみを前述と同様にアウターノズル27とミドルノズル29の間に形成されている隙間35から所定の強度(例えばアシストガスを0.4Kgf/cm2 、アウターエアーを1Kgf/cm2 )でワークWの表面に吹付ける。このエアーによりスパッタを外側へ吹飛ばしながらピアス加工を行う。この時点で、前述の図3に示されている工程において噴霧した防錆剤によって、部分的ではあるがワークWの表面からスパッタを吹飛ばすことができる。
【0029】
図5を参照するに、前述の図4に示されているピアス加工の工程においてワークWの表面に付着して除去できなかったスパッタやドロスを、前述の図3に示されている工程を所定の強度(例えばアシストガスを6Kgf/cm2 、防錆水+アウターエアーを3.5Kgf/cm2 )で再度実行することにより完全に除去する。
【0030】
図6を参照するに、スパッタやドロスが完全に除去された後、静電容量式倣いセンサーであるミドルノズル29の先端部41、ノズルギャップHを最適値(例えば1.5mm)に修正し確認した後、所定の強度(例えばアシストガスを0.5Kgf/cm2 、隙間35から防錆水+アウターエアーを3.5Kgf/cm2 )でエアーや防錆水を吹付けながら切断加工を開始する。
【0031】
以上の結果から、ノズル25から噴出する冷却媒に防錆水とエアーを混合してワークWの表面に強く吹付けるので、ワークの温度を安定させて冷却効果を与えると共に、特に厚板のワークW表面のスパッタやドロスを除去すると共に防錆処理を施すことができる。
【0032】
また、多重なノズル25を使用することにより冷却を常時行うことができ、ピアス加工および通常の切断加工においても適正な加工を行うことができる。
【0033】
また、ノズル25の一部として使用するミドルノズル29の先端をラッパ形状としたので、冷却水を使用する場合でも冷却水をミドルノズル29の先端から追い出すことができ、水の比誘電率の影響を受けることなく倣いを行うことができる。
【0034】
なお、この発明は前述の発明の実施の形態に限定されることなく、適宜な変更を行なうことにより、その他の態様で実施し得るものである。すなわち、前述の実施の形態において使用した防錆水の代わりに単なる水や不燃性の油もしくは粉体を用いることもできる。
【0035】
また、前述の発明の実施の形態において示した吐出力の数値は一例であり、これに限るものではなく、状況に応じて適切な値で実施することが望ましい。
【0036】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、アウターノズルとミドルノズルの間に設けられた隙間から冷却効果を有する不燃性の防錆剤とエアーを混合して特に厚板のワーク表面に外側へ広がる状態で吹付けることでワークの温度が安定化される。その後、ミドルノズルとインナーノズルの間に設けられた隙間からアシストガスをピアス又は切断中にワーク表面に生成するスパッター及び溶融金属カス等の不純物を除去せしめることができる。
【0038】
また、本発明によれば、アウターノズルとミドルノズルの間に設けられた隙間から吹付けられた冷却媒やエアーはミドルノズルの外形に沿って広がるので、特に厚板のワーク表面の不純物を確実に外側へ除去することができる。これにより、不純物を巻き込むことがないので、適正な切断加工を行うことができる。
【0039】
また、ミドルノズルとインナーノズルとの間に設けられた隙間からワークの加工位置へ向けてアシストガス等を噴射せしめることができ、適正な切断加工を行うことができる。
【0040】
また、アウターノズルとミドルノズルの間に設けられた隙間から冷却水を吹付ける場合でも、ミドルノズルの外形により冷却水が外側へ吹付けられるので、ミドルノズル先端を倣いセンサーとして使用すれば冷却水による比誘電率の不安定性を排除することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明に係るレーザ加工機におけるノズルを示す断面図である。
【図2】図1中II方向から見た平面図である。
【図3】この発明に係るレーザ加工機による加工方法の工程を示す断面図である。
【図4】この発明に係るレーザ加工機による加工方法の工程を示す断面図である。
【図5】この発明に係るレーザ加工機による加工方法の工程を示す断面図である。
【図6】この発明に係るレーザ加工機による加工方法の工程を示す断面図である。
【図7】この発明に係るレーザ加工機による加工方法を適用するレーザ加工機を示す正面図である。
【図8】図7中VIII方向から見た平面図である。
【図9】従来の多重ノズルを示す断面図である。
【符号の説明】
1 レーザ加工機
3 レーザ発振器
25 ノズル
27 アウターノズル
29 ミドルノズル
35 隙間
39 隙間
41 先端部(倣いセンサ)
W ワーク
LB レーザビーム
[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a nozzle in a laser processing machine particularly suitable for cutting a thick plate workpiece.
[0002]
[Prior art]
A conventional multiple nozzle generally includes an inner nozzle that irradiates a laser beam and ejects a laser gas, and an outer nozzle that ejects a shielding gas or a cooling fluid.
[0003]
Further, like the nozzle 101 shown in FIG. 9, an inner nozzle 103 and an outer nozzle 105 are provided, and a ring-shaped scanning sensor chip 107 attached to the outside of the outer nozzle 105 is also used. . Alternatively, although not shown in the figure, an outside nozzle among the multiple nozzles is used as a capacitive scanning sensor.
[0004]
[Problems to be solved by the invention]
However, with the multiple nozzles as shown above, although there is a temporary effect with respect to the cooling effect, particularly with regard to the processing of thick plates, it is not possible to obtain sufficient satisfaction with respect to the cooling effect and the processing of spatter and dross. There wasn't. In addition, since spatter and dross generated during piercing process adhere to the surface of the workpiece, when shifting from piercing process to normal cutting, the fixed object becomes an obstacle to the nozzle, making it impossible to make a smooth transition, In severe cases, there is a problem of causing interference or collision with the processing nozzle.
[0005]
Also, when the scanning sensor is mounted outside the nozzle, it is difficult to adjust the positional relationship between the nozzle and sensor chip each time the nozzle is replaced, etc. In order to avoid this, there is a problem that the machining area must be restricted by itself. Alternatively, when the capacitive scanning sensor is used for the nozzle outside the multiple nozzles, when cooling water is used, the cooling water sprayed from the gap between the inner nozzle and the outer nozzle spreads to the center of the nozzle by centrifugal force and spreads to the workpiece. In order to eject, cooling water enters the gap between the workpiece and the sensor part, and therefore, there is a problem that the function as a sensor cannot be sufficiently performed due to the influence of the relative dielectric constant of water.
[0006]
In addition, an effective multi-nozzle has not yet been used for piercing and normal machining in the processing of thick plates.
[0007]
The object of the present invention has been made by paying attention to the conventional techniques as described above, and can spray the cooling medium and easily peel off spatter, dross, etc. generated during processing from the surface of the workpiece and The object is to provide a nozzle in a laser processing machine that can be used as a scanning sensor.
[0008]
[Means for Solving the Problems]
In order to achieve the above object, the present invention provides an assist from between the inner nozzle and the middle nozzle of a multiple structure nozzle having a middle nozzle inside the outer nozzle and an inner nozzle inside the middle nozzle. on the workpiece surface by the centrifugal force by jetting while rotating mixing incombustible rust agent and air which has a clearance from the cooling effect provided between the outer nozzle and the middle nozzle with discharges gas By spraying in a state of spreading outward, the temperature of the workpiece is stabilized, and impurities such as spatter and molten metal debris generated on the workpiece surface during piercing or cutting are removed from the cutting path It is.
[0012]
The present invention also relates to a nozzle in a laser processing machine for performing laser processing by irradiating a workpiece with a laser beam oscillated by a laser oscillator, and an outer nozzle located outside and a predetermined inside the outer nozzle. And a middle nozzle whose tip is enlarged in a trumpet shape, and has an inner nozzle inserted therein with a predetermined interval. .
[0013]
Therefore, since the coolant and air blown from the gap provided between the outer nozzle and the middle nozzle spread along the outer shape of the middle nozzle, impurities on the workpiece surface are removed to the outside.
[0015]
In addition , assist gas or the like is jetted from a gap provided between the middle nozzle and the inner nozzle toward the workpiece machining position.
[0016]
Further, in the nozzle in the laser processing machine, the middle nozzle itself is an electrode of a capacitive scanning sensor, and the gap with the workpiece is detected and controlled at the tip portion.
[0017]
Therefore, even when cooling water is blown from the gap provided between the outer nozzle and the middle nozzle, the cooling water is blown outward by the outer shape of the middle nozzle, so the middle nozzle itself is used as a capacitive scanning sensor. This eliminates instability of the dielectric constant due to cooling water.
[0018]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
[0019]
7 and 8 show the entire laser beam machine 1. Since the laser beam machine 1 is very general, a detailed description is omitted and only an outline will be described. This laser processing machine 1 has a laser oscillator 3 that emits a laser beam LB in the vicinity, and the laser beam LB emitted by the laser oscillator 3 is sent to the laser processing machine 1 through a plurality of bend mirrors 5.
[0020]
The laser beam machine 1 includes a base 7, a post 9 fixed vertically at one end of the base 7, and a main body frame 11 supported by the post 9 in a horizontal cantilever shape above the base 7. Consists of. On the base 7, a fixed table 13 is provided for horizontally placing the workpiece W to be processed. On both the front and rear sides (upper and lower sides in FIG. 8) of the fixed table 13 are provided movable tables 15 that can be moved and positioned in the Y-axis direction (left and right direction in FIG. 8). A movable base 15 is connected, and a carriage base 17 that is moved and positioned in the Y-axis direction integrally with the movable table 15 is provided. The carriage base 17 is provided with an X-axis carriage 21 having a workpiece clamper 19 for gripping the workpiece W so that the interval can be adjusted. The X-axis carriage 21 can be moved and positioned in the X-axis direction.
[0021]
On the other hand, a processing head 23 is provided on the lower surface of the front end of the main body frame 11 (the right front end in FIG. 7), and the laser beam LB from the laser oscillator 3 is applied to the work W at the front end of the processing head 23. A nozzle 25 for irradiating is mounted.
[0022]
Accordingly, the X-axis carriage 21 holding the workpiece W is moved and positioned in the X-axis direction, and the carriage base 17 is moved and positioned in the Y-axis direction to position the machining position of the workpiece W below the nozzle 25. Laser processing is performed by irradiating the workpiece W with the laser beam LB.
[0023]
1 and 2 show a nozzle 25 attached to the tip of the processing head 23 described above. The nozzle 25 is a multiple nozzle, and has an outer nozzle 27 having a circular section on the outermost side, and a middle nozzle 29 having a circular section in the inner space of the outer nozzle 27. Further, the middle nozzle 29 has an inner nozzle 31 having a circular cross section, and has a triple structure.
[0024]
Since the flat portion 33 is provided at two locations on the outer periphery of the middle nozzle 29, gaps 35 are formed at two locations between the outer nozzle 27. Since a flat portion 37 is also provided on the outer periphery of the inner nozzle 31, a gap 39 is formed between the inner nozzle 31 and the middle nozzle 29. The tip 41 of the middle nozzle 29 located at the tip is formed in a trumpet shape.
[0025]
Therefore, a passage for ejecting liquid or gas is formed between the inner nozzle 31 and the middle nozzle 29, and between the middle nozzle 29 and the outer nozzle 27, and the gas or the like ejected from the gap 35 outwards. spread. Further, the assist gas is ejected from the gap 39.
[0026]
Next, a laser cutting method will be described with reference to FIGS.
[0027]
First, referring to FIG. 3, the nozzle gap H is made slightly larger (for example, 2.5 mm), and rust preventive water and air are mixed from the gap 35 formed between the outer nozzle 27 and the middle nozzle 29. Is sprayed on the surface of the workpiece W at a predetermined strength (for example, 3.5 kgf / cm 2 ) as water spray. At this time, even if the rust preventive water evaporates, the rust preventive agent remains on the surface of the workpiece W, so that it is possible to prevent spatter and dross from directly adhering to the surface of the workpiece W.
[0028]
Next, referring to FIG. 4, the rust prevention water is stopped, and only air is discharged with the same large nozzle gap H from the gap 35 formed between the outer nozzle 27 and the middle nozzle 29 in the same manner as described above. The surface of the workpiece W is sprayed with strength (for example, assist gas is 0.4 kgf / cm 2 and outer air is 1 kgf / cm 2 ). Piercing is performed while blowing the spatter to the outside by this air. At this time, the spatter can be blown off from the surface of the workpiece W, although partially, by the rust preventive sprayed in the process shown in FIG.
[0029]
Referring to FIG. 5, the process shown in FIG. 3 described above is applied to the spatter and dross that have adhered to the surface of the workpiece W and could not be removed in the piercing process shown in FIG. Is completely removed by performing again at a strength of 6 (for example, assist gas is 6 kgf / cm 2 , rust prevention water + outer air is 3.5 kgf / cm 2 ).
[0030]
Referring to FIG. 6, after spatter and dross are completely removed, the tip 41 of the middle nozzle 29, which is a capacitive scanning sensor, and the nozzle gap H are corrected to an optimum value (for example, 1.5 mm) and confirmed. After that, the cutting process is started while spraying air or rust prevention water at a predetermined strength (for example, assist gas is 0.5 kgf / cm 2 , rust prevention water + outer air is 3.5 kgf / cm 2 from the gap 35). .
[0031]
From the above results, the rust preventive water and air are mixed with the cooling medium ejected from the nozzle 25 and strongly blown onto the surface of the workpiece W, so that the temperature of the workpiece is stabilized and a cooling effect is given. Spatter and dross on the W surface can be removed and rust prevention treatment can be performed.
[0032]
Further, by using multiple nozzles 25, cooling can be performed constantly, and appropriate processing can be performed in piercing processing and normal cutting processing.
[0033]
In addition, since the tip of the middle nozzle 29 used as a part of the nozzle 25 has a trumpet shape, even when cooling water is used, the cooling water can be expelled from the tip of the middle nozzle 29, and the influence of the relative dielectric constant of water. You can copy without receiving.
[0034]
The present invention is not limited to the embodiment of the invention described above, and can be implemented in other modes by making appropriate modifications. That is, mere water, nonflammable oil or powder can be used instead of the rust preventive water used in the above-described embodiment.
[0035]
Moreover, the numerical value of the discharge force shown in the above-described embodiment of the present invention is an example, and the present invention is not limited to this.
[0036]
【The invention's effect】
As described above, according to the present invention, the nonflammable rust preventive agent having a cooling effect and air are mixed from the gap provided between the outer nozzle and the middle nozzle, and particularly on the thick plate work surface. The temperature of the workpiece is stabilized by spraying in a spread state. Thereafter, impurities such as spatter and molten metal debris generated on the workpiece surface during piercing or cutting of the assist gas from the gap provided between the middle nozzle and the inner nozzle can be removed.
[0038]
In addition, according to the present invention, the coolant and air blown from the gap provided between the outer nozzle and the middle nozzle spread along the outer shape of the middle nozzle, so that impurities on the surface of the workpiece, particularly thick plates, can be reliably ensured. Can be removed to the outside. Thereby, since an impurity is not involved, an appropriate cutting process can be performed.
[0039]
Further , it is possible to inject assist gas or the like from the gap provided between the middle nozzle and the inner nozzle toward the workpiece processing position, and appropriate cutting processing can be performed.
[0040]
Further, even when spraying cooling water from the gap formed between the outer nozzle and the middle nozzle, the cooling water by the outer shape of the middle nozzles are blown outwardly, the cooling water if used as a sensor scanning the middle nozzle tip It is possible to eliminate the instability of the dielectric constant due to.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a cross-sectional view showing a nozzle in a laser beam machine according to the present invention.
FIG. 2 is a plan view seen from the direction II in FIG.
FIG. 3 is a cross-sectional view showing a process of a processing method by a laser processing machine according to the present invention.
FIG. 4 is a cross-sectional view showing the steps of a processing method using a laser processing machine according to the present invention.
FIG. 5 is a cross-sectional view showing the steps of a processing method using a laser processing machine according to the present invention.
FIG. 6 is a cross-sectional view showing the steps of a processing method using a laser processing machine according to the present invention.
FIG. 7 is a front view showing a laser processing machine to which the processing method by the laser processing machine according to the present invention is applied.
8 is a plan view seen from the direction VIII in FIG. 7. FIG.
FIG. 9 is a cross-sectional view showing a conventional multiple nozzle.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Laser processing machine 3 Laser oscillator 25 Nozzle 27 Outer nozzle 29 Middle nozzle 35 Gap 39 Gap 41 Tip part (copy sensor)
W Work LB Laser beam

Claims (3)

アウターノズルの内部にミドルノズルを備え、このミドルノズルの内部にインナーノズルを備えた多重構造のノズルの前記インナーノズルとミドルノズルとの間からアシストガスを噴出すると共に前記アウターノズルと前記ミドルノズルの間に設けられた隙間から冷却効果を有する不燃性の防錆剤とエアーを混合して回転しながら噴出させることでその遠心力によりワーク表面に外側へ広がる状態で吹付けることで、ワークの温度を安定させ、さらにピアス加工又は切断中にワーク表面に生成するスパッター及び溶融金属カス等の不純物を切断経路上より除去せしめること、を特徴とするレーザ加工機による加工方法。 Comprises a middle nozzle inside the outer nozzle, the middle nozzle and the outer nozzle while ejecting an assist gas from between the inner nozzle and the middle nozzles of the nozzle of the multi-layered structure comprising an inner nozzle to the inside of the middle nozzle Mixing non-flammable rust preventive agent with cooling effect and air from the gap provided between them and blowing them while rotating, and spraying them in a state of spreading outward on the workpiece surface by the centrifugal force, the temperature of the workpiece And further removing impurities such as spatter and molten metal debris generated on the workpiece surface during piercing or cutting from the cutting path. レーザ発振器により発振されたレーザビームをワークに照射してレーザ加工を行うためのレーザ加工機におけるノズルであって、外側に位置するアウターノズルと、このアウターノズルの内側に所定の隙間を有する状態で位置すると共に先端部がラッパ状に拡大したミドルノズルとで構成され、前記ミドルノズルは内部に所定の間隔を有する状態で挿入されたインナーノズルを備えてなることを特徴とするレーザ加工機におけるノズル。  A nozzle in a laser processing machine for performing laser processing by irradiating a workpiece with a laser beam oscillated by a laser oscillator, and having an outer nozzle positioned outside and a predetermined gap inside the outer nozzle A nozzle in a laser processing machine, comprising a middle nozzle that is positioned and has a tip that is enlarged in a trumpet shape, and the middle nozzle includes an inner nozzle that is inserted at a predetermined interval inside. . 前記ミドルノズル自体が静電容量型倣いセンサーの電極であり、ワークとの隙間をその先端部にて検出制御すること、を特徴とする請求項2記載のレーザ加工機におけるノズル。  3. The nozzle in a laser beam machine according to claim 2, wherein the middle nozzle itself is an electrode of a capacitive scanning sensor, and the gap between the middle nozzle and the workpiece is detected and controlled.
JP14231997A 1997-05-30 1997-05-30 Nozzle in laser processing machine Expired - Fee Related JP3749352B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP14231997A JP3749352B2 (en) 1997-05-30 1997-05-30 Nozzle in laser processing machine

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP14231997A JP3749352B2 (en) 1997-05-30 1997-05-30 Nozzle in laser processing machine

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH10328879A JPH10328879A (en) 1998-12-15
JP3749352B2 true JP3749352B2 (en) 2006-02-22

Family

ID=15312598

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP14231997A Expired - Fee Related JP3749352B2 (en) 1997-05-30 1997-05-30 Nozzle in laser processing machine

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3749352B2 (en)

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE112015005926B4 (en) * 2015-03-19 2021-02-04 Mitsubishi Electric Corporation Processing nozzle and laser beam processing device
CN110087820B (en) 2016-12-22 2021-12-24 三菱电机株式会社 Laser processing apparatus, laser processing method, and method for manufacturing semiconductor device
JP6943703B2 (en) 2017-09-19 2021-10-06 技術研究組合次世代3D積層造形技術総合開発機構 Nozzles, processing equipment, and laminated modeling equipment
JP6793214B2 (en) * 2019-02-15 2020-12-02 株式会社アマダ Laser processing nozzle and laser processing equipment
CN116117307A (en) * 2022-12-26 2023-05-16 深圳锦帛方激光科技有限公司 Top cover welding blowing device for laser flexible connection

Also Published As

Publication number Publication date
JPH10328879A (en) 1998-12-15

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3056723B1 (en) Laser processing equipment
JP6647829B2 (en) Laser processing equipment
US6531682B1 (en) Processing head for a laser engraving or cutting device
JP3532223B2 (en) Laser processing machine head
JP2000084686A (en) Laser piercing method, laser machining nozzle and laser cutting device
KR20000011883A (en) Laser beam machining method and laser beam machine
JP3183568B2 (en) Laser processing torch
JPH08141764A (en) Laser cutting method
JP3749352B2 (en) Nozzle in laser processing machine
JPH0631502A (en) Cutting tool
JPH05208285A (en) Laser beam welding method and jig used for the method
JP2017177155A (en) Laser processing head
JP3916306B2 (en) Fire extinguishing method and apparatus for laser beam machine
JP2965820B2 (en) Machining method
JP7467746B1 (en) Processing machine and processing method
JPH0751980A (en) Lathe device
JP2667769B2 (en) Laser processing equipment
JP2846297B2 (en) Laser cutting method
JPH07185874A (en) Machining head of laser beam machine
JP4243364B2 (en) Cutting method
JP4194897B2 (en) Laser processing method and laser processing apparatus
JP4374611B2 (en) Laser processing equipment
JPH0550284A (en) Shield gas nozzle for laser welding
JP3115060B2 (en) Laser processing method
JPH10277766A (en) High speed piercing method and laser beam machining head used in the method

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20040430

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20050421

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20050510

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20050704

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20051129

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20051201

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081209

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091209

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091209

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101209

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111209

Year of fee payment: 6

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121209

Year of fee payment: 7

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131209

Year of fee payment: 8

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees