JP3755215B2

JP3755215B2 - Multi-layer laminate positioning device

Info

Publication number: JP3755215B2
Application number: JP31434796A
Authority: JP
Inventors: 宏幸石黒; 順一帆足; 寛基渡辺; 昇阿部
Original assignee: Matsushita Electric Works Ltd
Current assignee: Panasonic Electric Works Co Ltd
Priority date: 1996-11-26
Filing date: 1996-11-26
Publication date: 2006-03-15
Anticipated expiration: 2016-11-26
Also published as: JPH10154881A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、前工程から送られてきた多層積層板を次工程に送る際に多層積層板の位置決めを行う多層積層板位置決め装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
一般に多層積層板２０は図１６に示すように、回路が形成された内層板２１にプリプレグ２３を介して外層板２２を重ね合わせて合成樹脂製の接着剤等により固着して成形されている。多層積層板２０の孔明け用の基準マークＡ，Ｂ，Ｃは内層板２１に回路パターンとして形成されているために肉眼では見にくくなっている。そのため、従来よりＸ線孔明け装置を用い、多層積層板に設けた基準マークをＸ線を使って検出し、検出した基準マークＡ，Ｂ，Ｃに基づいて次工程のための基準孔の孔明けが行われていた。
【０００３】
ところで、内層板２１に形成される基準マークＡ…の寸法は最外径が５〜８ｍｍ程度の非常に小さいものであり、しかも孔明け加工の寸法精度を±５０μｍ以下のばらつきに抑えるためには、Ｘ線孔明け装置が具備するＸ線カメラの視野を一辺が１０ｍｍの正方形（以下、「□１０ｍｍ」と表記する）の狭い視野にする必要がある。このようなＸ線カメラの□１０ｍｍの狭い視野内に多層積層板２０の基準マークＡ…を入れるために、従来では以下の（１）〜（３）に示すようにしてＸ線孔明け装置に対する位置決めが行われていた。
（１）成形された多層積層板２０の周縁部分にできた樹脂流れ部２４を予め荒切断し、多層積層板２０の端面を基準にＸ線孔明け装置に対する位置決めを行う。
（２）Ｘ線カメラを用いた位置決め装置によって基準マークＡ…を検出し、検出した基準マークＡ…に基づいてＸ線孔明け装置に対する位置決めを行う。すなわち、２台のＸ線カメラを対向位置に配設して各Ｘ線カメラの視野を最初に広く（一辺が３０ｍｍの正方形、以下「□３０ｍｍ」と表記）して基準マークＡ…のおおよその位置を検出した後に、視野を狭く（□１０ｍｍ）して基準マークＡ…の重心を２値化画像処理により求めて基準マークＡ…の縦方向の位置を検出し、さらに多層積層板を約９０度回転させて同じ手順によって横方向で基準マークＡ…の検出を行うことで多層積層板の縦横方向の位置を検出し、それら縦横方向の検出結果に基づいて多層積層板の角度を補正してＸ線孔明け装置に対する位置決めを行う。
（３）作業者が肉眼で基準マークＡ…を確認して多層積層板２０の外層板２２に基準マークＡ…の位置に対応した印をつけるとともに、次工程のＸ線孔明け装置に搬送するための搬送テーブルにレーザスポット位置合わせ装置を配設し、上記印にレーザスポットを一致させることでＸ線孔明け装置に対する位置決めを行う。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、上記（１）〜（３）には、それぞれ以下に示すような問題がある。まず上記（１）では、切断後の多層積層板２０の外形寸法と基準マークＡ…が形成されている内層板２１の寸法とが異なっているため、多層積層板２０の端面を基準とした場合には基準マークＡ…の位置がずれてしまい、精度の高い位置決めが困難である。
【０００５】
次に上記（２）の従来位置決め装置にあっては、Ｘ線カメラを用いた画像処理系が２系統必要であるためにコストがかかるという問題がある。さらに、Ｘ線カメラの視野を□１０ｍｍと□３０ｍｍに切り換えるために、Ｘ線カメラと多層積層板２０との距離を変えるような動き、例えばＸ線カメラの上下動が必要となって位置決め処理に時間がかかったり、縦横で多層積層板２０の方向を変えるので角度の補正が必要になる。しかも、Ｘ線の画像はその視野に入る白黒の面積や配置により影響を受け、例えば□３０ｍｍの広い視野であるとＸ線画像を２値化した場合に周辺部分に閾値に起因する不要な影が発生するという不具合もある。
【０００６】
最後に上記（３）では、作業者の熟練の程度によって位置決めの精度が左右されたり、コストが高くなるといった問題がある。
本発明は上記問題点の解決を目的とするものであり、簡単な構成により多層積層板を精度よく位置決めすることができる多層積層板位置決め装置を提供しようとするものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
請求項１の発明は、上記目的を達成するために、前工程から送られてきた多層積層板を次工程に送る際に多層積層板の位置決めを行う多層積層板位置決め装置であって、多層積層板を保持して前工程から次工程に送るとともに少なくとも水平及び垂直方向に移動自在並びに回動自在のアーム部を有するロボットと、多層積層板にＸ線を照射するＸ線発生手段と、多層積層板を撮像してＸ線画像を取り込むＸ線カメラと、多層積層板に形成されている位置決めのための基準マークをＸ線カメラで撮像したＸ線画像を画像処理して多層積層板を保持するロボットの姿勢制御データを求める画像処理手段と、少なくとも画像処理手段で求めた姿勢制御データに基づいてロボットの姿勢制御を行うロボット制御手段とを備え、Ｘ線カメラにおける直交座標系と、ロボットにおける直交座標系と、ロボットに保持された多層積層板における直交座標系とを略一致させる処理を、前工程から送られてきた多層積層板ごと毎回予め実行して成ることを特徴とし、Ｘ線カメラを１台として簡単な構成により多層積層板を精度よく位置決めすることができる。
【０００８】
請求項２の発明は、請求項１の発明において、画像処理手段が、多層積層板の両端部に形成された一対の基準マークをＸ線カメラで撮像したＸ線画像からＸ線カメラにおける直交座標系あるいはロボットにおける直交座標系での各基準マークの重心の座標値を求めるとともに、各基準マークの重心の座標値からロボットの姿勢制御データを求めることを特徴とし、簡単な処理でロボットの姿勢制御データを容易に求めることができる。
【０００９】
請求項３の発明は、請求項１の発明において、画像処理手段が、Ｘ線カメラにおける直交座標系の直交軸上の任意の点に対するロボットにおける直交座標系での座標値を求めるとともに、求めた座標値からＸ線カメラにおける直交座標系の直交軸とロボットにおける直交座標系の直交軸とのなす角度を求め、且つ求めた角度だけロボットにおける直交座標系を回転させてＸ線カメラにおける直交座標系とロボットにおける直交座標系とを略一致させる処理を予め実行して成ることを特徴とし、簡単な処理で各直交座標系を容易に一致させることができる。
【００１０】
請求項４の発明は、請求項１の発明において、画像処理手段が、Ｘ線カメラの撮像範囲内で予め登録された基準マークのテンプレートと一致する部分を探索することで基準マークの重心の座標値を求めることを特徴とし、Ｘ線画像を多値画像として処理することができ、２値画像として処理する場合に比べてノイズの低減が図れ、画像処理の精度を向上させることができる。
【００１１】
請求項５の発明は、請求項１の発明において、次工程として、Ｘ線画像により認識される基準マークに基づいて多層積層板の所定の位置に孔明け加工を行うＸ線孔明け装置を用いることを特徴とし、次工程には多層積層板が位置決めされて送られ、Ｘ線孔明け装置における基準マークの位置合わせ作業が簡素化できる。
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態を図面を参照して詳細に説明する。
図１４は本発明の多層積層板位置決め装置を利用して、粗位置決め装置４０によって多層積層板２０のおおまかな位置決めを行ない（前工程）、Ｘ線孔明け装置５０によって多層積層板２０に孔明けを行う（次工程）ために、Ｘ線孔明け装置５０に対して位置決めを行う多層積層板製造工程を模式的に表した図である。
【００１３】
成形された多層積層板２０は、周縁の樹脂流れ部２４が付いたままの状態で投入リフタ３０に積載され、図示しない投入ホイストによって１枚ずつ粗位置決め装置４０に搬送される。粗位置決め装置４０は、図１５に示すようにパルスモータやサーボモータなどのモータ４２により駆動される複数のジョガ４３…が作業台４１上に設けられており、作業台４１の略中央に載置された多層積層板２０を前後左右からジョガ４３…によって押動して大まかに所定位置に位置決めする。この粗位置決め装置４０による多層積層板２０の大まかな位置決め作業までが前工程である。
【００１４】
次に、粗位置決め装置４０の作業台４１上に載置された多層積層板２０は、ロボット１０によって本発明の多層積層板位置決め装置を構成するＸ線カメラ２のところまで搬送される。
ロボット１０は従来周知の構造を有する市販のものであって、図２に示すように台座１２によって床に固定された円柱状のロボット本体１１と、一端部を軸として水平方向回動自在にロボット本体１１に固定された第１アーム部１３と、一端部を軸として水平方向回動自在に第１アーム部１３の自由端部に固定された第２アーム部１４と、第２アーム部１４の自由端部に上下動及び回動自在に設けられた軸１５と、軸１５の下端に固定された矩形板状のフレーム１６と、フレーム１６の四隅に設けられて多層積層板２０を吸着する吸着パッド１７…と、吸着パッド１７…によって多層積層板２０が吸着されていることを確認するための吸着確認センサ１８とで構成され、後述するロボットコントローラ８によって制御されて、図３に示すように粗位置決め装置４０の作業台４１に載置された多層積層板２０をフレーム１６の吸着パッド１７…により吸着し、第１アーム部１３及び第２アーム部１４を回動させてＸ線発生器１及びＸ線カメラ２が配置されている位置まで多層積層板２０を搬送するのである。
【００１５】
図１は本実施形態における多層積層板位置決め装置の構成を示す概略図である（但し、ロボット１０については図示は省略している）。Ｘ線発生器１とＸ線カメラ２の間には、円形の透孔３ａを有する矩形板状の受け台３が配設される。円形の透孔３ａはＸ線カメラ２の視野に合わせた寸法に形成されており、透孔３ａを通るＸ線のみが多層積層板２０に照射されるようにして画像ノイズを低減させることができる。Ｘ線カメラ２に取り込まれた多層積層板２０の画像信号はカメラコントローラ４に出力される。カメラコントローラ４はＸ線カメラ２の絞りやピント調整、並びにＸ線カメラ２から出力された画像信号の増幅等の処理を行うものである。カメラコントローラ４で増幅された画像信号は積分器５において時間積分されてノイズ成分が除去される。そして、ノイズ成分が除去された画像信号が画像処理器６に入力される。
【００１６】
画像処理器６はＣＰＵやメモリなどを主構成要素とし、Ｘ線カメラ２で撮像したＸ線画像に対して後述するような画像処理を行うとともに、その処理結果に基づいて多層積層板２０の位置決めを行うべく、ロボット１０を制御するロボットコントローラ８に対してロボット１０の姿勢制御データ（後述する）を出力する。なお、７はＴＶモニタであって画像処理器６から出力される画像信号によりＸ線カメラ２で撮像したＸ線画像を映し出すものである。また、ロボットコントローラ８は汎用のインタフェース（例えば、ＲＳ２３２Ｃ等）を具備しており、上記インタフェースを介して、画像処理器６からの画像信号を受け取るとともに、外部のコンピュータ装置などからロボット１０の制御ためのデータ、例えば多層積層板２０の寸法や基準マークの寸法などが適宜与えられる。
【００１７】
次に本発明の要旨である多層積層板位置決め装置の位置決め動作について説明する。
ここで、本実施形態においては、ロボット１０の直交座標系（Ｘ−Ｙ）と、Ｘ線カメラ２の直交座標系（ｘ−ｙ）と、ロボット１０に吸着保持されている多層積層板２０の直交座標系（ｕ−ｖ）とを互いに一致させるようにロボット１０に教示する処理を、実際の位置決め動作を開始する前に行っている。まずロボット１０の直交座標系（以下、ロボット座標系と呼ぶ）Ｘ−Ｙと、Ｘ線カメラ２の直交座標系（以下、カメラ座標系と呼ぶ）ｘ−ｙを一致させるように教示する処理について説明する。
【００１８】
多層積層板２０を吸着保持したロボット１０をロボットコントローラ８により操作して、図４に示すようにカメラ座標系の座標値がｘ＝０となる２点イ，ロの座標値（ロボット座標系の座標値）を求め、これら２点イ，ロを通る直線Ｌ₁（カメラ座標系のｙ軸と一致）の方程式Ｙ＝ａＸ＋ｂを画像処理器６において算出する。ここで、ｂ≒０として直線Ｌ₁の方程式をＹ＝ａＸと近似すれば、ロボット座標系のＹ軸と直線Ｌ₁のなす角θはθ＝ｔａｎ^-1ａとして求めることができる。さらにカメラ座標系の原点（ｘ＝０，ｙ＝０）と一致するロボット座標系の点ハ（Ｘ，Ｙ）をロボット座標系の原点（Ｘ＝０，Ｙ＝０）の回りにθ回転させた点ニ（Ｘ’，Ｙ’）の座標値を下式により求める。
【００１９】
【式１】

【００２０】
そして、カメラ座標系の原点（ｘ，ｙ）をロボット座標系の上記点ニに一致させ、ロボット１０の一般的な機能である原点シフトによってロボット座標系のＹ軸をθ回転させれば、図５に示すようにロボット座標系とカメラ座標系とを一致させることができる。
次にカメラ座標系と多層積層板２０の直交座標系（以下、ワーク座標系と呼ぶ）ｕ−ｖとを一致させる処理について説明する。ロボットコントローラ８によりロボット１０を操作して、図６に示すようにカメラ座標系の座標値がｙ＝０となる位置（カメラ座標系のｘ軸上）に多層積層板２０の基準マークＡを合わせる。それから、ロボット１０のアーム部１３，１４を上記原点シフト後のロボット座標系Ｘ’−Ｙ’のＸ’軸と平行に往復移動させ、このときにＸ線カメラ２で捕らえられる基準マークＡの軌跡がカメラ座標系のｘ軸と一致するように軸１５の回りにフレーム１６を回動させて微調整を行えば、カメラ座標系とワーク座標系とを一致させることができる。このようにして、ロボット１０の直交座標系（以下、ロボット座標系と呼ぶ）Ｘ−Ｙと、Ｘ線カメラ２の直交座標系（以下、カメラ座標系と呼ぶ）ｘ−ｙを一致させるようにロボット１０に教示する処理が完了する。なお、上述の各処理は画像処理器６並びにロボットコントローラ８により行われる。
【００２１】
また、実際に位置決め作業時にＸ線カメラ２の撮像画像から基準マークＡ…の重心の座標値（以下、「重心値」と呼ぶ）を求めるために、本実施形態においては基準マークＡ…の多値画像データ（テンプレート）を画像処理器６に予め登録しておき、Ｘ線カメラ２で撮像された画像の中から登録されているテンプレートと一致する（マッチングする）部分（基準マークＡ…）を探し出し、登録されているテンプレートの重心値を基準マークＡ…の重心値として求めるという所謂テンプレートマッチングを行っている。
【００２２】
そこで、上記テンプレートを画像処理器６に予め登録する処理について説明する。図７に示すようにＸ線カメラ２の視野Ｇ内に基準マークＡ…を置いて撮像し、画像処理器６においてはＸ線カメラ２の視野Ｇの略中心に矩形の登録エリアＴ（例えば、９６×９６画素）を設けておき、登録エリアＴ内に基準マークＡ…が位置しているときの登録エリアＴ内の各画素データ（Ｘ線の強度を示す多値データ）をテンプレートとしてメモリ等に登録する。さらに、画像処理器６は、図８に示すように登録エリアＴ内の画素データの垂直方向投影分布Ｄ_V並びに水平方向投影分布Ｄ_Hから、テンプレートの重心値を登録エリアＴ内の画素位置として求めることができ、その求めた重心値をメモリ等に登録する。なお、本実施形態における基準マークＡ…は図７に示すような複数の同心円から構成されるものであるが、これに限定する主旨ではなく、マッチングの判別が容易であれば種々の形状のものを用いることができる。
【００２３】
さて、上述の前処理を予め完了した後、実際に多層積層板２０を次工程のＸ線孔明け装置５０に対して位置決めする動作が行われるので、以下その位置決め動作について説明する。ここで、Ｘ線孔明け装置５０に対する位置決めは、図９に示すようにロボット座標系（既にカメラ座標系及びワーク座標系と一致済み）に対する多層積層板２０の位置ずれを基準マークＡ，Ｂ，Ｃの座標値から求め、そのずれを補正して正しい位置（同図において一点破線で示す）に多層積層板２０がくるように、ロボット１０の姿勢を制御することで実現される。
【００２４】
まず多層積層板２０を吸着保持したロボット１０をロボットコントローラ８により操作して、図１０（ａ）に示すように基準マークＢがＸ線カメラ２の視野Ｇ内に入るように多層積層板２０を受け台３のところまで搬送する。そして、Ｘ線カメラ２で撮像したＸ線画像に対して画像処理器６にて画像処理を行ない、基準マークＢの重心値を求める。すなわち、画像処理器６は、図１１に示すようにＸ線カメラ２の視野Ｇ内に探索エリアＳ（例えば、５００×４００画素）を設定し、この探索エリアＳ内で予め登録されているテンプレートＫと一致する部分、つまり基準マークＢを探索する。そして、テンプレートＫに一致する部分が見つかれば、画像処理器６では予め登録されているテンプレートＫの重心値をカメラ座標系（＝ロボット座標系）の座標値に換算し、その換算した座標値を基準マークＢの重心Ｂ（ｘ_B，ｙ_B）として記憶する。
【００２５】
次に図１０（ｂ）に示すように、多層積層板２０の長手方向において基準マークＢと反対の位置にある基準マークＡがＸ線カメラ２の視野Ｇ内に入るように、ロボットコントローラ８によってロボット１０のフレーム１６を１８０度回転させ、Ｘ線カメラ２で撮像したＸ線画像に対して、画像処理器６にて上記と同様の画像処理（テンプレートマッチング）を行い、基準マークＡの重心Ａ（ｘ_A，ｙ_A）を求めて記憶する。
【００２６】
さらに図１０（ｃ）に示すように、多層積層板２０の長手方向に直交する方向において基準マークＡと隣合う位置に設けた基準マークＣがＸ線カメラ２の視野Ｇ内に入るように、ロボットコントローラ８によってロボット１０のフレーム１６を平行移動させ、Ｘ線カメラ２で撮像したＸ線画像に対して、画像処理器６にて上記と同様の画像処理（テンプレートマッチング）を行い、基準マークＣの重心Ｃ（ｘ_C，ｙ_C）を求めて記憶する。なお、この基準マークＣは多層積層板２０の表裏を認識するためのものである。
【００２７】
それから、図１２に示すように、画像処理器６はロボット座標系の原点Ｏに対して基準マークＡの重心Ａと点対称な点Ａ’（ｘ_A’，ｙ_A’）を求める。なお、（ｘ_A’，ｙ_A’）＝（−ｘ_A，−ｙ_A）である。さらに求めた点Ａ’と基準マークＢの重心Ｂとの中点Ｐ（Ｐ_x，Ｐ_y）＝（（ｘ_B＋ｘ_A’）／２，（ｙ_B＋ｙ_A’）／２）を求める。さらに線分Ａ’ＢとＹ軸とのなす角θを求め、図１３に示すように中点Ｐを原点Ｏの回りにθ回転した点Ｑ（Ｑ_x，Ｑ_y）の座標を下式により求める。
【００２８】
【式２】

【００２９】
上記の結果と、カメラ座標系とロボット座標系とが予め一致させてあることから、ロボット１０に与える姿勢制御データ（ｘ，ｙ，θ）＝（−Ｑ_x，−Ｑ_y，θ）を求めることができる。
このようにして求められた姿勢制御データ（ｘ，ｙ，θ）が画像処理器６からロボットコントローラ８に送られ、ロボットコントローラ８では多層積層板２０を受け台３の位置からＸ線孔明け装置５０の作業台５１に搬送するための移動データを姿勢制御データ（ｘ，ｙ，θ）に加算し、そのデータをロボット１０に与える。その結果、ロボット１０によって多層積層板２０がＸ線孔明け装置５０の作業台５１上に位置決めされた状態で載置される。図１４に示すように、Ｘ線孔明け装置５０は従来周知の構成を有する市販のものであって、作業台５１に設けた図示しない搬送機構により、作業台５１に載置された多層積層板２０を一定の送り量で孔明け用のＸ線カメラ５２，５２の位置まで搬送し、Ｘ線カメラ５２，５２により多層積層板２０の基準マークＡ…を検出して、基準マークＡ…に基づいて孔明けドリル５３，５３によって正確な位置に孔明け加工を行うものである。
【００３０】
本実施形態によれば、次工程のＸ線孔明け装置５０に対して、市販されている汎用のロボットを利用して正確な位置決めを行うことができ、位置決め工程の無人化並びにコストダウンが図れるという利点がある。
【００３１】
【発明の効果】
請求項１の発明は、前工程から送られてきた多層積層板を次工程に送る際に多層積層板の位置決めを行う多層積層板位置決め装置であって、多層積層板を保持して前工程から次工程に送るとともに少なくとも水平及び垂直方向に移動自在並びに回動自在のアーム部を有するロボットと、多層積層板にＸ線を照射するＸ線発生手段と、多層積層板を撮像してＸ線画像を取り込むＸ線カメラと、多層積層板に形成されている位置決めのための基準マークをＸ線カメラで撮像したＸ線画像を画像処理して多層積層板を保持するロボットの姿勢制御データを求める画像処理手段と、少なくとも画像処理手段で求めた姿勢制御データに基づいてロボットの姿勢制御を行うロボット制御手段とを備え、Ｘ線カメラにおける直交座標系と、ロボットにおける直交座標系と、ロボットに保持された多層積層板における直交座標系とを略一致させる処理を、前工程から送られてきた多層積層板ごと毎回予め実行して成るので、Ｘ線カメラを１台として簡単な構成により多層積層板を精度よく位置決めすることができという効果がある。
【００３２】
請求項２の発明は、画像処理手段が、多層積層板の両端部に形成された一対の基準マークをＸ線カメラで撮像したＸ線画像からＸ線カメラにおける直交座標系あるいはロボットにおける直交座標系での各基準マークの重心の座標値を求めるとともに、各基準マークの重心の座標値からロボットの姿勢制御データを求めるので、簡単な処理でロボットの姿勢制御データを容易に求めることができという効果がある。
【００３３】
請求項３の発明は、画像処理手段が、Ｘ線カメラにおける直交座標系の直交軸上の任意の点に対するロボットにおける直交座標系での座標値を求めるとともに、求めた座標値からＸ線カメラにおける直交座標系の直交軸とロボットにおける直交座標系の直交軸とのなす角度を求め、且つ求めた角度だけロボットにおける直交座標系を回転させてＸ線カメラにおける直交座標系とロボットにおける直交座標系とを略一致させる処理を予め実行して成るので、簡単な処理で各直交座標系を容易に一致させることができという効果がある。
【００３４】
請求項４の発明は、画像処理手段が、Ｘ線カメラの撮像範囲内で予め登録された基準マークのテンプレートと一致する部分を探索することで基準マークの重心の座標値を求めるので、Ｘ線画像を多値画像として処理することができ、２値画像として処理する場合に比べてノイズの低減が図れ、画像処理の精度を向上させることができという効果がある。
【００３５】
請求項５の発明は、次工程として、Ｘ線画像により認識される基準マークに基づいて多層積層板の所定の位置に孔明け加工を行うＸ線孔明け装置を用いるので、次工程には多層積層板が位置決めされて送られ、Ｘ線孔明け装置における基準マークの位置合わせ作業が簡素化できという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施形態を示す一部省略した概略構成図である。
【図２】同上のロボットを示す斜視図である。
【図３】同上を用いた多層積層板の製造工程の一部を示す斜視図である。
【図４】同上における画像処理を説明するための説明図である。
【図５】同上における画像処理を説明するための説明図である。
【図６】同上における画像処理を説明するための説明図である。
【図７】同上における画像処理を説明するための説明図である。
【図８】同上における画像処理を説明するための説明図である。
【図９】同上における画像処理を説明するための説明図である。
【図１０】同上の動作を説明するための説明図である。
【図１１】同上における画像処理を説明するための説明図である。
【図１２】同上における画像処理を説明するための説明図である。
【図１３】同上における画像処理を説明するための説明図である。
【図１４】同上を用いた多層積層板の製造工程を示す平面図である。
【図１５】同上を用いた多層積層板の製造工程における粗位置決め装置を示す斜視図である。
【図１６】（ａ）は多層積層板を示す分解斜視図、（ｂ）は多層積層板の内層板を示す斜視図である。
【符号の説明】
１Ｘ線発生器
２Ｘ線カメラ
３受け台
４カメラコントローラ
５積分器
６画像処理器
７ＴＶモニタ
８ロボットコントローラ[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a multilayer laminate positioning apparatus for positioning a multilayer laminate when the multilayer laminate sent from the previous step is sent to the next step.
[0002]
[Prior art]
In general, as shown in FIG. 16, the multilayer laminated plate 20 is formed by superposing an outer layer plate 22 on an inner layer plate 21 on which a circuit is formed via a prepreg 23 and adhering it with a synthetic resin adhesive or the like. Since the fiducial marks A, B, and C for drilling the multilayer laminated board 20 are formed as circuit patterns on the inner layer board 21, they are difficult to see with the naked eye. Therefore, an X-ray drilling device is conventionally used to detect a reference mark provided on the multilayer laminate plate using X-rays, and a reference hole for the next process is detected based on the detected reference marks A, B, and C. Dawn was taking place.
[0003]
By the way, the dimension of the reference mark A ... formed on the inner layer plate 21 is very small with an outermost diameter of about 5 to 8 mm, and in order to suppress the dimensional accuracy of the drilling process to a variation of ± 50 μm or less. The X-ray camera included in the X-ray drilling device needs to have a narrow field of view of a square having a side of 10 mm (hereinafter referred to as “□ 10 mm”). In order to put the fiducial mark A ... of the multilayer laminate 20 in such a narrow 10 mm square field of view of such an X-ray camera, conventionally, as shown in the following (1) to (3), an X-ray drilling apparatus is used. Positioning was performed.
(1) The resin flow portion 24 formed at the peripheral portion of the formed multilayer laminate 20 is roughly cut in advance, and positioning with respect to the X-ray drilling device is performed with reference to the end face of the multilayer laminate 20.
(2) The reference mark A is detected by a positioning device using an X-ray camera, and the X-ray drilling device is positioned based on the detected reference mark A. That is, two X-ray cameras are arranged at opposite positions so that the field of view of each X-ray camera is first widened (a square with a side of 30 mm, hereinafter referred to as “□ 30 mm”), and the reference mark A. After detecting the position, the field of view is narrowed (□ 10 mm) and the center of gravity of the reference mark A is obtained by binarized image processing to detect the vertical position of the reference mark A ... The position of the multilayer laminate is detected in the horizontal direction by detecting the reference mark A in the horizontal direction by the same procedure, and the angle of the multilayer laminate is corrected based on the detection result in the vertical and horizontal directions. Positioning with respect to the X-ray drilling device.
(3) The operator confirms the fiducial mark A with the naked eye, marks the outer layer plate 22 of the multilayer laminate 20 corresponding to the position of the fiducial mark A, and conveys it to the X-ray drilling device in the next process. A laser spot alignment device is provided on the transfer table for this purpose, and positioning with respect to the X-ray drilling device is performed by aligning the laser spot with the mark.
[0004]
[Problems to be solved by the invention]
However, the above (1) to (3) have the following problems. First, in the above (1), the outer dimension of the multilayer laminate 20 after cutting is different from the dimension of the inner layer plate 21 on which the reference mark A is formed, so that the end face of the multilayer laminate 20 is used as a reference. In this case, the position of the reference mark A is displaced, and it is difficult to position with high accuracy.
[0005]
Next, the conventional positioning apparatus (2) has a problem in that it costs much because two image processing systems using an X-ray camera are required. Furthermore, in order to switch the field of view of the X-ray camera between □ 10 mm and □ 30 mm, a movement that changes the distance between the X-ray camera and the multilayer laminated plate 20, for example, the vertical movement of the X-ray camera is required, which is necessary for the positioning process. Since it takes time or the direction of the multilayer laminate 20 is changed in the vertical and horizontal directions, it is necessary to correct the angle. In addition, the X-ray image is affected by the black and white area and arrangement of the visual field. For example, when the X-ray image is binarized with a wide visual field of □ 30 mm, unnecessary shadows caused by threshold values are generated in the peripheral portion. There is also a problem that occurs.
[0006]
Finally, in the above (3), there are problems that the positioning accuracy depends on the skill level of the operator and the cost becomes high.
The present invention is intended to solve the above problems, and an object of the present invention is to provide a multilayer laminate positioning apparatus capable of accurately positioning a multilayer laminate with a simple configuration.
[0007]
[Means for Solving the Problems]
In order to achieve the above object, the invention of claim 1 is a multilayer laminate positioning apparatus for positioning a multilayer laminate when the multilayer laminate sent from the previous step is sent to the next step. A robot holding a plate and sending it from the previous process to the next process and having at least a horizontally and vertically movable and rotatable arm part, an X-ray generating means for irradiating the multilayer laminated board with X-rays, and a multilayer laminated An X-ray camera that captures an X-ray image by picking up an image of the plate and an X-ray image obtained by capturing an X-ray image of a reference mark for positioning formed on the multilayer laminate plate to hold the multilayer laminate plate An image processing means for obtaining posture control data of the robot, and a robot control means for performing posture control of the robot based on at least the posture control data obtained by the image processing means. And target system, an orthogonal coordinate system in the robot, that made by executing a process to substantially coincide with the orthogonal coordinate system in the multi-layer laminate held by the robot in advance before each multilayer laminate sent from step each time As a feature, it is possible to accurately position the multilayer laminated board with a simple configuration using one X-ray camera.
[0008]
According to a second aspect of the present invention, in the first aspect of the present invention, the image processing means uses orthogonal coordinates in the X-ray camera from an X-ray image obtained by capturing the pair of reference marks formed at both ends of the multilayer laminate plate with the X-ray camera. The robot posture control data is obtained by calculating the robot's posture control data from the coordinate value of the center of gravity of each reference mark in the Cartesian coordinate system or robot's Cartesian coordinate system. Data can be easily obtained.
[0009]
According to a third aspect of the invention, in the first aspect of the invention, the image processing means obtains a coordinate value in the Cartesian coordinate system of the robot for an arbitrary point on the orthogonal axis of the Cartesian coordinate system in the X-ray camera. An angle formed between the orthogonal axis of the orthogonal coordinate system in the X-ray camera and the orthogonal axis of the orthogonal coordinate system in the robot is obtained from the coordinate values, and the orthogonal coordinate system in the X-ray camera is rotated by the calculated angle. And the Cartesian coordinate system in the robot are executed in advance, and the Cartesian coordinate systems can be easily matched by a simple process.
[0010]
According to a fourth aspect of the present invention, in the first aspect of the present invention, the image processing means searches for a portion matching the template of the reference mark registered in advance within the imaging range of the X-ray camera, so that the coordinates of the center of gravity of the reference mark are obtained. The X-ray image can be processed as a multi-valued image, and noise can be reduced and the accuracy of image processing can be improved as compared with the case of processing as a binary image.
[0011]
According to a fifth aspect of the present invention, in the first aspect of the invention, as the next step, an X-ray drilling device that performs drilling at a predetermined position of the multilayer laminated board based on the reference mark recognized by the X-ray image is used. The multi-layer laminate is positioned and sent in the next step, and the reference mark positioning operation in the X-ray drilling apparatus can be simplified.
[0012]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
FIG. 14 shows a general positioning of the multilayer laminate 20 by the coarse positioning device 40 (previous process) using the multilayer laminate positioning apparatus of the present invention, and the multilayer laminate 20 is punched by the X-ray punching device 50. FIG. 6 is a diagram schematically showing a multilayer laminated board manufacturing process in which positioning is performed with respect to the X-ray drilling device 50 in order to perform (next process).
[0013]
The molded multilayer laminate 20 is loaded on the input lifter 30 with the peripheral resin flow portion 24 attached, and is conveyed one by one to the coarse positioning device 40 by an input hoist (not shown). As shown in FIG. 15, the coarse positioning device 40 is provided with a plurality of joggers 43... Driven by a motor 42 such as a pulse motor or a servo motor on a work table 41. The multilayer laminated board 20 is pushed from the front, rear, left and right by joggers 43 to be roughly positioned at a predetermined position. Up to the rough positioning operation of the multilayer laminate 20 by the rough positioning device 40 is a pre-process.
[0014]
Next, the multilayer laminated plate 20 placed on the work table 41 of the coarse positioning device 40 is conveyed by the robot 10 to the X-ray camera 2 constituting the multilayer laminated plate positioning device of the present invention.
The robot 10 is a commercially available one having a conventionally known structure, and as shown in FIG. 2, a cylindrical robot body 11 fixed to the floor by a pedestal 12 and a robot that can rotate horizontally around one end. A first arm portion 13 fixed to the main body 11, a second arm portion 14 fixed to the free end portion of the first arm portion 13 so as to be rotatable in the horizontal direction around one end portion, and a second arm portion 14 A shaft 15 provided at the free end so as to be movable up and down and rotatable, a rectangular plate-like frame 16 fixed to the lower end of the shaft 15, and an adsorption provided at the four corners of the frame 16 for adsorbing the multilayer laminated plate 20. 3 and the suction confirmation sensor 18 for confirming that the multilayer laminated plate 20 is sucked by the suction pads 17... And controlled by the robot controller 8 described later, as shown in FIG. The multilayer laminated plate 20 placed on the work table 41 of the coarse positioning device 40 is sucked by the suction pads 17 of the frame 16, and the first arm portion 13 and the second arm portion 14 are rotated to rotate the X-ray generator 1. And the multilayer laminated board 20 is conveyed to the position where the X-ray camera 2 is arrange | positioned.
[0015]
FIG. 1 is a schematic view showing a configuration of a multilayer laminated board positioning device in the present embodiment (however, illustration of the robot 10 is omitted). Between the X-ray generator 1 and the X-ray camera 2, a rectangular plate-shaped cradle 3 having a circular through hole 3a is disposed. The circular through-hole 3a is formed in a size that matches the field of view of the X-ray camera 2, and image noise can be reduced by irradiating the multilayer laminate 20 only with X-rays passing through the through-hole 3a. . The image signal of the multilayer laminate 20 captured by the X-ray camera 2 is output to the camera controller 4. The camera controller 4 performs processing such as aperture and focus adjustment of the X-ray camera 2 and amplification of an image signal output from the X-ray camera 2. The image signal amplified by the camera controller 4 is time-integrated by the integrator 5 to remove noise components. Then, the image signal from which the noise component has been removed is input to the image processor 6.
[0016]
The image processor 6 includes a CPU, a memory, and the like as main components, performs image processing as will be described later on the X-ray image captured by the X-ray camera 2, and positions the multilayer laminate 20 based on the processing result. In order to perform this, attitude control data (described later) of the robot 10 is output to the robot controller 8 that controls the robot 10. Reference numeral 7 denotes a TV monitor that projects an X-ray image captured by the X-ray camera 2 using an image signal output from the image processor 6. Further, the robot controller 8 has a general-purpose interface (for example, RS232C, etc.), receives an image signal from the image processor 6 via the interface, and controls the robot 10 from an external computer device or the like. Such data, for example, the dimensions of the multilayer laminate 20 and the dimensions of the reference marks are appropriately given.
[0017]
Next, the positioning operation of the multilayer laminated board positioning apparatus which is the gist of the present invention will be described.
Here, in the present embodiment, the Cartesian coordinate system (XY) of the robot 10, the Cartesian coordinate system (xy) of the X-ray camera 2, and the multilayer laminated plate 20 held by the robot 10 are sucked and held. The process of teaching the robot 10 to match the orthogonal coordinate system (uv) with each other is performed before the actual positioning operation is started. First, a process of teaching to make the orthogonal coordinate system (hereinafter referred to as robot coordinate system) XY of the robot 10 and the orthogonal coordinate system (hereinafter referred to as camera coordinate system) xy of the X-ray camera 2 coincide with each other. explain.
[0018]
The robot 10 holding the multilayer laminated board 20 by suction is operated by the robot controller 8, and as shown in FIG. 4, the coordinate values of the two points A and B where the coordinate value of the camera coordinate system becomes x = 0 (the robot coordinate system (Coordinate value) is obtained, and the image processor 6 calculates an equation Y = aX + b of a straight line L ₁ (coincident with the y-axis of the camera coordinate system) passing through these two points A and B. Here, if the equation of the straight line L ₁ is approximated as Y = aX with b≈0, the angle θ formed between the Y axis of the robot coordinate system and the straight line L ₁ can be obtained as θ = tan ⁻¹ a. Furthermore, the robot coordinate system point C (X, Y) that coincides with the camera coordinate system origin (x = 0, y = 0) is rotated by θ around the robot coordinate system origin (X = 0, Y = 0). The coordinate value of the point D (X ′, Y ′) is obtained by the following equation.
[0019]
[Formula 1]

[0020]
Then, if the origin (x, y) of the camera coordinate system coincides with the above point D of the robot coordinate system and the Y axis of the robot coordinate system is rotated by θ by the origin shift, which is a general function of the robot 10, FIG. As shown in FIG. 5, the robot coordinate system and the camera coordinate system can be matched.
Next, processing for matching the camera coordinate system and the orthogonal coordinate system (hereinafter referred to as a work coordinate system) uv of the multilayer laminated plate 20 will be described. The robot 10 is operated by the robot controller 8 so that the reference mark A of the multilayer laminate 20 is aligned with the position where the coordinate value of the camera coordinate system becomes y = 0 (on the x axis of the camera coordinate system) as shown in FIG. . Then, the

arm portions

13 and 14 of the robot 10 are reciprocated in parallel with the X ′ axis of the robot coordinate system X′-Y ′ after the origin shift, and the locus of the reference mark A captured by the X-ray camera 2 at this time. If the fine adjustment is performed by rotating the frame 16 around the axis 15 so as to match the x axis of the camera coordinate system, the camera coordinate system and the work coordinate system can be matched. In this manner, the orthogonal coordinate system (hereinafter referred to as the robot coordinate system) XY of the robot 10 and the orthogonal coordinate system (hereinafter referred to as the camera coordinate system) xy of the X-ray camera 2 are matched. The process of teaching the robot 10 is completed. Each process described above is performed by the image processor 6 and the robot controller 8.
[0021]
Further, in this embodiment, in order to obtain the coordinate value of the center of gravity of the reference mark A (hereinafter referred to as “center of gravity value”) from the captured image of the X-ray camera 2 during the positioning operation, in this embodiment, a large number of reference marks A. Value image data (template) is registered in the image processor 6 in advance, and a portion (reference mark A...) That matches (matches) a registered template from images captured by the X-ray camera 2. So-called template matching is performed in which the centroid value of the template that has been found and registered is obtained as the centroid value of the reference mark A.
[0022]
A process for registering the template in advance in the image processor 6 will be described. As shown in FIG. 7, a reference mark A... Is placed in the field of view G of the X-ray camera 2 and imaged. In the image processor 6, a rectangular registration area T (for example, approximately at the center of the field of view G of the X-ray camera 2) 96 × 96 pixels), each pixel data in the registration area T when the reference mark A... Is located in the registration area T (multi-value data indicating the intensity of the X-rays) as a template, etc. Register with. Further, the image processor 6, the vertical projection distribution D _V and horizontal projection distribution D _H of the pixel data in the registration area T, as shown in FIG. 8, the center of gravity value of the template as the pixel position in the registration area T The center of gravity value obtained can be registered in a memory or the like. The reference mark A ... in this embodiment is composed of a plurality of concentric circles as shown in FIG. 7, but is not limited to this, and has various shapes as long as the matching can be easily determined. Can be used.
[0023]
Now, after the above pre-processing is completed in advance, the operation of actually positioning the multilayer laminated board 20 with respect to the X-ray drilling device 50 in the next process is performed. The positioning operation will be described below. Here, the positioning with respect to the X-ray drilling apparatus 50 is performed by using the reference marks A, B, This is realized by controlling the posture of the robot 10 so that the multilayer laminated plate 20 comes to the correct position (indicated by a one-dot broken line in the figure) after obtaining the coordinate value of C and correcting the deviation.
[0024]
First, the robot 10 holding the multilayer laminate 20 by suction is operated by the robot controller 8, and the multilayer laminate 20 is moved so that the reference mark B is within the field of view G of the X-ray camera 2 as shown in FIG. Transport to the cradle 3. Then, image processing is performed on the X-ray image captured by the X-ray camera 2 by the image processor 6 to obtain the centroid value of the reference mark B. That is, the image processor 6 sets a search area S (for example, 500 × 400 pixels) in the field of view G of the X-ray camera 2 as shown in FIG. 11, and a template registered in advance in the search area S The part that matches K, that is, the reference mark B is searched. If a portion matching the template K is found, the image processor 6 converts the pre-registered centroid value of the template K into the coordinate value of the camera coordinate system (= robot coordinate system), and the converted coordinate value is converted into the coordinate value. Stored as the center of gravity B (x _B , y _B ) of the reference mark B.
[0025]
Next, as shown in FIG. 10 (b), the robot controller 8 causes the reference mark A at the position opposite to the reference mark B in the longitudinal direction of the multilayer laminate 20 to fall within the field of view G of the X-ray camera 2. The frame 16 of the robot 10 is rotated 180 degrees, the image processor 6 performs image processing (template matching) similar to the above on the X-ray image captured by the X-ray camera 2, and the center of gravity A of the reference mark A Find (x _A , y _A ) and store it.
[0026]
Further, as shown in FIG. 10 (c), the reference mark C provided at a position adjacent to the reference mark A in the direction orthogonal to the longitudinal direction of the multilayer laminate 20 is within the field of view G of the X-ray camera 2. The robot controller 8 moves the frame 16 of the robot 10 in parallel, and the image processor 6 performs image processing (template matching) similar to the above on the X-ray image captured by the X-ray camera 2, and the reference mark C The center of gravity C (x _C , y _C ) is obtained and stored. The reference mark C is for recognizing the front and back of the multilayer laminate 20.
[0027]
Then, as shown in FIG. 12, the image processor 6 obtains a point A ′ (x _A ′, y _A ′) that is point-symmetric with the center of gravity A of the reference mark A with respect to the origin O of the robot coordinate system. Note that (x _A ′, y _A ′) = (− x _A , −y _A ). Further, a midpoint P (P _x , P _y ) = ((x _B + x _A ′) / 2, (y _B + y _A ′) / 2) between the obtained point A ′ and the center of gravity B of the reference mark B is obtained. Further, an angle θ formed by the line segment A′B and the Y axis is obtained, and the coordinates of a point Q (Q _x , Q _y ) obtained by rotating the middle point P around the origin O as shown in FIG. Ask.
[0028]
[Formula 2]

[0029]
Since the above result and the camera coordinate system and the robot coordinate system are matched in advance, posture control data (x, y, θ) = (− Q _x , −Q _y , θ) to be given to the robot 10 is obtained. be able to.
The attitude control data (x, y, θ) determined in this way is sent from the image processor 6 to the robot controller 8, and the robot controller 8 starts the X-ray drilling device from the position of the pedestal 3 on the multilayer laminate 20. The movement data to be transferred to the 50 work platforms 51 is added to the attitude control data (x, y, θ), and the data is given to the robot 10. As a result, the multilayer laminate 20 is placed on the work table 51 of the X-ray drilling device 50 by the robot 10 while being positioned. As shown in FIG. 14, the X-ray drilling device 50 is a commercially available product having a conventionally known configuration, and is a multilayer laminated plate placed on the work table 51 by a transport mechanism (not shown) provided on the work table 51. 20 is transported to the position of the

drilling X-ray cameras

52, 52 with a constant feed amount, and the reference marks A of the multilayer laminate 20 are detected by the

X-ray cameras

52, 52, and based on the reference marks A. Then, drilling is performed at an accurate position by the drilling drills 53, 53.
[0030]
According to this embodiment, it is possible to accurately position the X-ray drilling apparatus 50 in the next process using a commercially available general-purpose robot, and the positioning process can be unmanned and the cost can be reduced. There is an advantage.
[0031]
【The invention's effect】
The invention of claim 1 is a multilayer laminate positioning apparatus for positioning a multilayer laminate when the multilayer laminate sent from the previous step is sent to the next step, and holds the multilayer laminate from the previous step. A robot having an arm portion that can be moved and rotated at least in the horizontal and vertical directions and sent to the next process, X-ray generation means for irradiating the multilayer laminate with X-rays, and imaging the multilayer laminate to obtain an X-ray image An X-ray camera that captures image data, and an image for obtaining attitude control data of a robot that holds the multilayer laminate by performing image processing on an X-ray image obtained by imaging the reference mark for positioning formed on the multilayer laminate with the X-ray camera Processing means, and robot control means for controlling the posture of the robot based on at least the posture control data obtained by the image processing means. An orthogonal coordinate system in the X-ray camera, And exchange the coordinate system, a process to substantially coincide with the orthogonal coordinate system in the multi-layer laminate held by the robot, since running advance every each multilayer laminate sent from the previous step, one of the X-ray camera As a result, it is possible to accurately position the multilayer laminated board with a simple configuration.
[0032]
According to a second aspect of the present invention, the image processing means uses an orthogonal coordinate system in an X-ray camera or an orthogonal coordinate system in a robot based on an X-ray image obtained by capturing an image of a pair of reference marks formed on both ends of a multilayer laminate with an X-ray camera. In addition to obtaining the coordinate value of the center of gravity of each fiducial mark at the same time, and obtaining the posture control data of the robot from the coordinate value of the center of gravity of each fiducial mark, it is possible to easily obtain the posture control data of the robot with simple processing There is.
[0033]
According to a third aspect of the present invention, the image processing means obtains a coordinate value in the Cartesian coordinate system in the robot for an arbitrary point on the orthogonal axis of the Cartesian coordinate system in the X-ray camera, and in the X-ray camera from the obtained coordinate value. The angle formed by the orthogonal axis of the orthogonal coordinate system and the orthogonal axis of the orthogonal coordinate system of the robot is obtained, and the orthogonal coordinate system of the robot is rotated by the obtained angle to obtain the orthogonal coordinate system of the X-ray camera and the orthogonal coordinate system of the robot. Since the process of substantially matching the two is executed in advance, there is an effect that the respective orthogonal coordinate systems can be easily matched by a simple process.
[0034]
In the invention of claim 4, the image processing means obtains the coordinate value of the center of gravity of the reference mark by searching for a portion that matches the template of the reference mark registered in advance within the imaging range of the X-ray camera. The image can be processed as a multi-valued image, and noise can be reduced compared to the case of processing as a binary image, and the accuracy of image processing can be improved.
[0035]
Since the invention of claim 5 uses an X-ray drilling apparatus that performs drilling at a predetermined position of the multilayer laminated board based on the reference mark recognized by the X-ray image as the next process, The laminated plate is positioned and sent, and there is an effect that the reference mark positioning operation in the X-ray drilling apparatus can be simplified.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a schematic configuration diagram with a part omitted, showing an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a perspective view showing the robot.
FIG. 3 is a perspective view showing a part of the manufacturing process of the multilayer laminate using the same.
FIG. 4 is an explanatory diagram for explaining image processing in the same as above;
FIG. 5 is an explanatory diagram for explaining image processing in the same as above;
FIG. 6 is an explanatory diagram for explaining image processing in the same as above.
FIG. 7 is an explanatory diagram for explaining image processing in the same as above.
FIG. 8 is an explanatory diagram for explaining image processing in the same as above.
FIG. 9 is an explanatory diagram for explaining image processing in the same as above.
FIG. 10 is an explanatory diagram for explaining the operation of the above.
FIG. 11 is an explanatory diagram for explaining image processing in the same as above.
FIG. 12 is an explanatory diagram for explaining image processing in the same as above.
FIG. 13 is an explanatory diagram for explaining image processing in the same as above.
FIG. 14 is a plan view showing a manufacturing process of the multilayer laminate using the above.
FIG. 15 is a perspective view showing a coarse positioning device in the manufacturing process of the multilayer laminate using the same.
16A is an exploded perspective view showing a multilayer laminated board, and FIG. 16B is a perspective view showing an inner layer board of the multilayer laminated board.
[Explanation of symbols]
1 X-ray generator 2 X-ray camera 3 Receiving base 4 Camera controller 5 Integrator 6 Image processor 7 TV monitor 8 Robot controller

Claims

A multilayer laminate positioning apparatus for positioning a multilayer laminate when sending the multilayer laminate sent from the previous process to the next process, holding the multilayer laminate and sending it from the previous process to the next process and at least horizontally A robot having an arm unit that is movable and rotatable in the vertical direction, X-ray generation means for irradiating the multilayer laminate with X-rays, an X-ray camera that captures an X-ray image by imaging the multilayer laminate, Image processing means for obtaining posture control data of a robot that holds the multilayer laminate by performing image processing of an X-ray image obtained by imaging a reference mark for positioning formed on the multilayer laminate with an X-ray camera; and at least image processing Robot control means for controlling the posture of the robot on the basis of the attitude control data obtained by the means, an orthogonal coordinate system for the X-ray camera, an orthogonal coordinate system for the robot, a robot A process for substantially matching the orthogonal coordinate system in the multi-layer laminate held in bets, prior multilayer laminated plate positioning apparatus characterized by comprising running previously multilayer each laminate each time sent from the process.

The image processing means calculates the center of gravity of each reference mark in an orthogonal coordinate system in the X-ray camera or in an orthogonal coordinate system in the robot from an X-ray image obtained by imaging a pair of reference marks formed on both ends of the multilayer laminated plate with an X-ray camera. The multi-layered laminate positioning apparatus according to claim 1, wherein the coordinate value of the robot is determined and the attitude control data of the robot is determined from the coordinate value of the center of gravity of each reference mark.

The image processing means obtains a coordinate value in the Cartesian coordinate system of the robot for an arbitrary point on the Cartesian axis of the Cartesian coordinate system in the X-ray camera, A process for obtaining an angle formed by an orthogonal axis of an orthogonal coordinate system in the robot and rotating the orthogonal coordinate system in the robot by the calculated angle so that the orthogonal coordinate system in the X-ray camera substantially coincides with the orthogonal coordinate system in the robot. The multilayer laminated board positioning apparatus according to claim 1, wherein the apparatus is executed.

2. The multi-layer according to claim 1, wherein the image processing means obtains the coordinate value of the center of gravity of the reference mark by searching for a portion matching the template of the reference mark registered in advance within the imaging range of the X-ray camera. Laminate positioning device.

2. The multilayer laminate positioning apparatus according to claim 1, wherein as the next step, an X-ray drilling device is used to perform drilling at a predetermined position of the multilayer laminate based on a reference mark recognized by an X-ray image. apparatus.