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JP3768153B2 - Method for forming bus electrode for plasma display panel - Google Patents
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JP3768153B2 - Method for forming bus electrode for plasma display panel - Google Patents

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JP3768153B2 JP2001381041A JP2001381041A JP3768153B2 JP 3768153 B2 JP3768153 B2 JP 3768153B2 JP 2001381041 A JP2001381041 A JP 2001381041A JP 2001381041 A JP2001381041 A JP 2001381041A JP 3768153 B2 JP3768153 B2 JP 3768153B2
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Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、プラズマディスプレイパネル(以下、PDPと称す)用電極の形成方法に関し、特にPDPの前面板に配設されるバス電極の形成方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
PDPは、ガラス基板上に透明電極、バス電極、電体層、保護層などが形成された前面板とガラス基板上にアドレス電極、隔壁、蛍光体などが形成された背面板とを対向させ、間に形成された空間内にガスを封入し、プラズマ放電を起こすことによりガスから発生した紫外線を、蛍光体に照射することにより表示する装置である。
【0003】
PDPの前面板に形成されるバス電極は、走査・維持パルスを伝達する以外に表示画面のコントラストを向上させることが重要な要素の一つとなっている。この目的のために、通常、前面板上に黒色電極、導電性電極の順に積層した構造のバス電極が採用されている。このように積層構造にすることによって、ディスプレイ表示面から見たときに電極が黒色となり、外光反射率を低減させることによって表示画面のコントラストを向上させることが可能である。バス電極パターンの線幅は通常50〜100μm程度である。これは次のような理由のためである。線幅を太くすると、外光反射を更に低減できるため表示コントラストが更に向上するが、セルからの発光が電極によって遮られるため輝度が劣化してしまう。また細くすると抵抗値が上昇するため、PDPを駆動するのが困難になってくる。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
このような積層構造のバス電極は、感光性の黒色電極ペーストを印刷・乾燥し、更に感光性の導電性電極ペーストを印刷・乾燥し、露光、現像、焼成を行うことにより形成可能である。
【0005】
しかし、この焼成プロセスにおいて電極層の中の樹脂成分が熱分解したり、ガラスフリットが還元されるなどしてガスが発生する。この分解ガスは次のような現象が発生すると大気中へ排出されずに、電極層内に閉じ込められてしまい、電極の膨れを起こし、その膨れが破裂することによって断線を引き起こす。
(1)導電性電極層に含まれる樹脂が十分焼失する前に、黒色電極層に含まれる樹脂やガラスフリットの分解ガスが発生した場合、導電性電極層の樹脂がそのガスの透過を妨げてしまう。
(2)導電性電極層の金属粒子やガラスフリットが細かくなると、粒子間の空間が狭くなるため、ガスの透過を妨げてしまう。
(3)導電性電極層が焼結した場合、ガスの抜け道が無くなり、ガスの透過を妨げてしまう。
(4)上記の(1)、(2)、(3)の現象がそれぞれ重なった場合。
【0006】
このようにして溜まった分解ガスの圧力が原因で、電極が膨張し、電極の欠けや断線に至る。このような電極膨れの大きさや破裂する条件は電極材料の種類、ガラスフリットの種類、樹脂の種類、焼成温度、焼成後の状態などにより異なる。
【0007】
電極焼成工程の後工程において、焼成工程があると(例えば誘電体の焼成など)、焼成によって先の焼成工程で電極層内に閉じ込まれたガスが更に膨張したり、ガラスフリットや分解しきれていない樹脂から更にガスが発生するため、新たに電極膨れを生じ、電極の欠けや断線の発生を増大させる。このため、ガスを大気中へ逃がす対策が必要となる。
【0008】
そこで、例えば特開2001−084912号公報には、導電性電極ペーストに含まれる樹脂よりも高い熱分解温度の樹脂を、黒色電極ペーストに含ませる方法が開示されている。この技術は上記の(1)に対する対策であり、導電性電極層内の樹脂を先に焼失させ、樹脂により塞がれていた空間を、黒色電極層内の樹脂分解ガスが透過することにより、電極の膨れや歪みの発生を抑制する方法である。しかしながら、この方法では、上記の(2)や(3)の場合の解決方法にはならず十分ではない。
【0009】
従って、本発明の主な目的は、PDP用電極(バス電極)を焼成して形成する際、黒色電極層の樹脂分解ガスが電極層内で溜まることなく、効率良く大気中へ放出できるPDP用電極(バス電極)の形成方法を提供することにある。
【0011】
課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、請求項記載の発明は、プラズマディスプレイパネル用バス電極の形成方法に係り、透明基板の一主面上に、該主面上に設けられた透明電極を覆う態様で、金属酸化物を含有する感光性の第1の樹脂層と金属粒子を含有する感光性の第2の樹脂層とを順次形成する工程と、前記第1の樹脂層及び前記第2の樹脂層を露光及び現像して、前記第1の樹脂層及び前記第2の樹脂層からなる多層膜パターンであって、前記第2の樹脂層を貫通し、かつ、長さ方向に対して一様な形状かつ一様な大きさかつ一様な間隔となるように分布する複数のガス放出穴を有するバス電極パターンを前記透明電極上に形成する工程と、前記多層膜パターンを焼成して、前記金属酸化物を含有する第1の電極層と前記金属粒子を含有する第2の電極層との多層電極層からなる線状のバス電極を形成する工程とを含み、前記多層膜パターンを焼成する際、前記第1の樹脂層で発生したガスを前記第2の樹脂層を貫通する前記ガス放出穴から逃がすことを特徴とする。
【0012】
【課題を解決するための手段】
また、請求項記載の発明は、プラズマディスプレイパネル用バス電極の形成方法に係り、透明基板の一主面上に設けられた透明電極上にスクリーン印刷により、金属酸化物を含有する紫外線硬化型又は熱硬化型の第1の樹脂層パターンと金属粒子を含有する紫外線硬化型又は熱硬化型の第2の樹脂層パターンとを順次重ねて多層膜パターンを形成する工程と、該多層膜パターンを焼成して、前記金属酸化物を含有する第1の電極層と前記金属粒子を含有する第2の電極層との多層電極層からなる線状のバス電極とを形成する工程とを含み、前記多層膜パターンを形成する工程では、前記第2の樹脂層パターンを貫通し、長さ方向に対して一様な形状かつ一様な大きさかつ一様な間隔となるように分布する複数のガス放出穴を同時に形成すると共に、前記多層膜パターンを焼成する際、前記第1の樹脂層パターンで発生したガスを前記第2の樹脂層を貫通する前記ガス放出穴から逃がすことを特徴とする。
【0013】
また、請求項記載の発明は、プラズマディスプレイパネル用バス電極の形成方法に係り、一主面上に透明電極が設けられた透明基板上に前記透明電極を覆うように金属酸化物を含有する感光性の第1の樹脂層と金属粒子含有する感光性の第2の樹脂層との多層膜からなる感光性フィルムを被覆する工程と、前記感光性フィルムを露光及び現像して、前記第1の樹脂層及び前記第2の樹脂層からなる多層膜パターンであって、前記第2の樹脂層を貫通し、長さ方向に対して一様な形状かつ一様な大きさかつ一様な間隔となるように分布する複数のガス放出穴を有するバス電極パターンを前記透明電極上に形成する工程と、前記多層膜パターンを焼成して、前記金属酸化物を含有する第1の電極層と前記金属粒子を含有する第2の電極層の多層電極層を形成する工程とを含み、前記多層膜パターンを焼成する際、前記第1の樹脂層で発生したガスを前記第2の樹脂層を貫通する前記ガス放出穴から逃がすことを特徴とする。
【0014】
【発明の実施の形態】
次に本発明の実施の形態について図面を参照して詳細に説明する。図1は本発明の実施の形態のPDP用電極構造を示す斜視図であり、図2は図1のA―A’線に沿った断面図である。図1および図2を参照すると、本実施の形態のPDP用電極(バス電極10)は、ガラス等の透明基板1表面の透明電極2上に形成され、黒色電極層3と導電性電極層4の二層積層膜から構成される。バス電極10には透明電極2の表面に達する矩形状の穴5が形成されている。この穴5によってバス電極形成の焼成工程で電極材料から発生するガスの放出パスとして機能し、バス電極の膨れ、欠け等の欠陥発生を防止することができる。なお、導電性電極層4は多層膜から構成されてもよい。
【0015】
次に、本発明のバス電極の第1の形成方法について説明する。本方法では、感光性ペーストを用いてバス電極が形成され、(1)電極ペースト塗布工程、(2)電極パターン焼成工程の2工程より構成されている。各工程について図3を参照して以下に説明する。
(1)電極ペースト塗布工程
まず、(図3(a))のように、ガラス等の透明基板1上に酸化インジウムスズ(ITO)、酸化スズ(SnO2)等の材料を用いて透明電極2をパターニングする。この上にRu,Co,Cu,Mn,Crなどの金属酸化物が少なくとも1種類が添加された感光性樹脂(感光性黒色電極ペースト)を所望の厚みとなるように200〜400メッシュのスクリーンを用いて、スクリーン印刷機により塗布し、黒色電極層3を形成する(図3(b))。その後、IR(赤外線)式乾燥炉または熱風式乾燥炉を用いて100℃以下の温度でペーストの乾燥を行う。
【0016】
次に、Ag,Au,Pd,Pt,Cu,Alなどの導電性粒子が少なくとも1種類添加された感光性樹脂(感光性金属電極ペースト)を所望の厚みとなるように200〜400メッシュのスクリーンを用いて、スクリーン印刷機により黒色電極層3上に塗布し、導電性金属層4を形成する。その後、IR式乾燥炉または熱風式乾燥炉を用いて100℃以下の温度で再度乾燥を行う(図3(c))。このようにして積層した電極構造の厚みは10〜20μmとなった。
(2)電極パターン露光工程
積層した電極を、線幅100μmのストライプパターン内に矩形形状が描かれた梯子状の露光マスク6を介して、超高圧水銀灯により紫外線を照射する(図3(d))。これにより、露光された電極パターン領域内には、露光マスクに描かれた矩形形状に該当する未露光領域7が存在する(図3(e))。ガス放出パスとなる矩形形状の穴5の電極方向と垂直方向の長さ(以下横幅と呼ぶ)と電極方向の間隔は自由に決定できるが、電極パターンの幅が100μmの場合の横幅の好ましい値は40〜60μmであり、また、その間隔の好ましい値は20〜40μmである。このような穴5の形状および配置により電極層の電気抵抗を所定の値に維持するとともに、電極膨れや破裂による断線発生を防止できる。ここで、露光マスクにおける矩形形状は電極の焼き縮み量も考慮して設計される。
(3)電極パターン現像工程
感光性の電極ペーストの樹脂にはアルカリ可溶性の有機系樹脂が使用されているため、アルカリ水溶液で現像することができる。アルカリ水溶液ならば如何なるものでもよいが、一般的には炭酸ナトリウム水溶液を用いて現像を行うことで、バス電極10パターン及びガス放出パス用の穴5の形成を行うことができる(図3(f))。炭酸ナトリウム水溶液の濃度は0.1〜1.0重量%程度が現像を行うのが好ましい。0.1重量%以下では濃度が薄すぎるため、パターンが形成しにくくなり、残渣が残りやすくなる。1.0重量%以上では濃度が濃すぎるために、過現像になり露光領域の剥がれなどが発生しやすくなる。
(4)電極パターン焼成工程
現像後、大気雰囲気下で、500〜600℃のピーク温度で焼成を行う。500℃以下であると、ペースト中の樹脂(バインダー)の揮発が十分されないため電極の導電性が低下してしまう。バス電極にはガス放出パス5が形成されているため、黒色電極層3内の樹脂分解ガスがガス放出パス(穴5)の側面を通過し、大気中へ放出される。従って、電極層内で分解ガスが溜まることながなくなり、電極膨れから断線に至る不具合が抑制される。
【0017】
本発明の上記のバス電極の形成方法では、ガス放出パスの形成を電極パターン形成と同時に行っているため、従来と同じ工程数で容易にガス排出パスを形成することができる。
【0018】
次に、本発明のバス電極の第2の形成方法について説明する。
【0019】
上記の本発明のバス電極の第1の形成方法では、感光性ペーストを用いて電極を形成したが、パターンが描かれたスクリーン版を用いて紫外線硬化型または熱硬化型の電極ペーストを印刷する方法(パターン印刷)によっても形成できる。電極ペーストを印刷する方法を用いたバス電極形成工程は、(1)電極ペースト塗布工程、(2)電極パターン焼成工程の2工程より構成されている。各工程について図4を参照して以下に説明する。
(1)電極ペースト塗布工程
印刷で用いるスクリーン版の例として、ペーストが吐出する開口パターン内(電極パターン内)に矩形形状の閉口部を設けたパターンのものが挙げられる。矩形形状のサイズ等は、上記の本発明のバス電極の第1の形成方法と同様に決定される。
【0020】
酸化インジウムスズ(ITO)、酸化スズ(SnO2)等の透明電極2が形成(図4(a))されたガラス等の透明基板1上にRu,Co,Cu,Mn,Crなどの金属酸化物が添加された黒色電極ペーストを所望の厚みとなるように200〜400メッシュのスクリーンを用いて、スクリーン印刷機により塗布する。その後、IR式乾燥炉または熱風式乾燥炉を用いて100℃以下の温度でペーストの乾燥を行い、黒色電極層3のパターンを形成する(図4(b))。
【0021】
次に、Ag,Au,Pd,Pt,Cu,Alなどの導電性粒子が添加された金属電極ペーストを所望の厚みとなるように200〜400メッシュのスクリーンを用いて、スクリーン印刷機により塗布する。
【0022】
その後、IR式乾燥炉または熱風式乾燥炉を用いて100℃以下の温度で再度乾燥を行い、導電性電極層4を形成する(図4(c))。このようにして積層したバス電極10の厚みは10〜20μmとなった。なお、黒色電極ペーストや金属電極ペーストが紫外線硬化型の場合には乾燥は紫外線硬化炉が用いられる。
(2)電極パターン焼成工程
印刷後、大気雰囲気下で、500〜600℃のピーク温度で焼成を行う。500℃以下であると、ペースト中の樹脂(バインダー)の揮発が十分されないため電極の導電性が低下してしまう。バス電極10にはガス放出パス用の穴5が形成されているため、黒色電極層内の樹脂分解ガスが穴5の側面を通過し、大気中へ放出される。従って、上記の本発明のバス電極の第1の形成方法とプロセスは異なるが、電極層内で分解ガスが溜まることがなくなり、電極膨れから断線に至る不具合が抑制される。
【0023】
次に、本発明のバス電極の第3の形成方法について説明する。
【0024】
上記の本発明のバス電極の第1および第2の形成方法では、感光性ペーストやパターン印刷法を用いて電極を形成したが、感光性のシートフィルムを用いて形成することができる。感光性フィルムを用いたバス電極形成工程は(1)電極シートフィルム被覆工程、(2)電極パターン露光工程、(3)電極パターン現像工程および(4)電極パターン焼成工程の4工程より構成されている。各工程について図5を参照して以下に説明する。
(1)電極シートフィルム被覆工程
透明電極2が形成(図5(a))されたガラス等の透明基板1上に、ラミネータ装置を用いて、Ru,Co,Cu,Mn,Crなどの金属酸化物が添加された感光性黒色電極層3とAg,Au,Pd,Pt,Cu,Alなどの導電性粒子が添加された感光性金属電極層4が積層された感光性フィルム20を被覆する(図5(b))。
(2)電極パターン露光工程
積層した電極を、上記の本発明のバス電極の第1の形成方法と同様の露光マスク6を介して、超高圧水銀灯により紫外線を照射する(図5(c))。これにより、露光された電極パターン領域内には、露光マスクに描かれた矩形形状に該当する未露光領域7が存在する(図5(d))。
(3)電極パターン現像工程
感光性フィルム20においても、感光性ペーストと同様にアルカリ可溶性の有機樹脂が使用されており、アルカリ水溶液を用いることで現像することができる。感光性フィルム20は、例えば0.5重量%の炭酸ナトリウム水溶液を用いて現像を行い、バス電極10パターン及びガス放出パス用の穴5の形成を行う。(図5(e))。
(4)電極パターン焼成工程
現像後、大気雰囲気下で、500〜600℃のピーク温度で焼成を行う。バス電極にはガス放出パス用の穴5が形成されているため、黒色電極層内の樹脂分解ガスが穴5の側面を通過し、大気中へ放出される。従って、電極層内で分解ガスが溜まることがなくなり、電極膨れから断線に至る不具合が抑制される。
【0025】
上記の本発明のバス電極の説明では、穴5の形状は水平断面形状が矩形形状であったが、穴5の形状は円形、楕円形やその他の角形形状であってもよい。図6は、穴の断面形状が円形の場合のバス電極要部の斜視図である。図7および図8は円形穴を複数列や千鳥状に設けた例を示す斜視図である。円形や楕円形の穴の間隔も40μm以下に設定することが好ましい。
【0026】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明では、PDPのバス電極にガス放出パス用の穴を設けることによって、バス電極形成の焼成工程において電極層内から発生するガスを効率よく外部に逃がすことができるので、バス電極の膨れや欠け等の発生を防止でき、PDP品質向上と製造コストの低減の効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態のPDP用電極構造を示す斜視図である。
【図2】図1のA―A’線に沿った断面図である。
【図3】本発明のバス電極の第1の形成工程を説明するための断面図である。
【図4】本発明のバス電極の第2の形成工程を説明するための断面図である。
【図5】本発明のバス電極の第3の形成工程を説明するための断面図である。
【図6】本発明のバス電極に設けられるガス放出パス用の穴の形状の他の例を示す斜視図である。
【図7】本発明のバス電極に設けられるガス放出パス用の穴の形状の他の例を示す斜視図である。
【図8】本発明のバス電極に設けられるガス放出パス用の穴の形状の他の例を示す斜視図である。
【符号の説明】
1 基板
2 透明電極
3 黒色電極層
4 導電性電極層
5 穴
6 露光マスク
7 未露光領域
10 バス電極
20 感光性フィルム
[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a method for forming an electrode for a plasma display panel (hereinafter referred to as PDP), and more particularly to a method for forming a bus electrode disposed on a front plate of a PDP.
[0002]
[Prior art]
In the PDP, a front plate in which a transparent electrode, a bus electrode, a dielectric layer, a protective layer, and the like are formed on a glass substrate is opposed to a back plate in which an address electrode, a partition, a phosphor, and the like are formed on the glass substrate. It is a device that displays by irradiating phosphors with ultraviolet rays generated from gas by enclosing gas in a space formed between them and causing plasma discharge.
[0003]
The bus electrode formed on the front plate of the PDP is one of the important factors to improve the contrast of the display screen in addition to transmitting the scan / sustain pulse. For this purpose, a bus electrode having a structure in which a black electrode and a conductive electrode are sequentially laminated on a front plate is usually employed. With such a stacked structure, the electrode becomes black when viewed from the display surface, and the contrast of the display screen can be improved by reducing the external light reflectance. The line width of the bus electrode pattern is usually about 50 to 100 μm. This is for the following reason. If the line width is increased, the reflection of external light can be further reduced and the display contrast is further improved. However, since the light emission from the cell is blocked by the electrodes, the luminance is deteriorated. Further, if the thickness is reduced, the resistance value increases, and it becomes difficult to drive the PDP.
[0004]
[Problems to be solved by the invention]
A bus electrode having such a laminated structure can be formed by printing and drying a photosensitive black electrode paste, further printing and drying a photosensitive conductive electrode paste, and performing exposure, development, and baking.
[0005]
However, in this firing process, gas is generated due to thermal decomposition of the resin component in the electrode layer or reduction of the glass frit. When the following phenomenon occurs, this cracked gas is not discharged into the atmosphere but is confined in the electrode layer, causing the electrode to swell, and the swell to rupture, thereby causing disconnection.
(1) If the resin contained in the black electrode layer or the decomposition gas of the glass frit is generated before the resin contained in the conductive electrode layer is sufficiently burned out, the resin in the conductive electrode layer prevents the gas from permeating. End up.
(2) When the metal particles and glass frit of the conductive electrode layer become fine, the space between the particles becomes narrow, and thus gas permeation is hindered.
(3) When the conductive electrode layer is sintered, there is no gas escape route, which hinders gas permeation.
(4) When the above phenomena (1), (2), and (3) overlap.
[0006]
Due to the pressure of the decomposition gas accumulated in this way, the electrode expands, leading to chipping or disconnection of the electrode. The size of the electrode bulge and the rupture conditions vary depending on the type of electrode material, the type of glass frit, the type of resin, the firing temperature, the state after firing, and the like.
[0007]
If there is a firing step in the subsequent step of the electrode firing step (for example, firing of a dielectric), the gas confined in the electrode layer in the previous firing step due to firing further expands, or the glass frit or decomposition can be completed. Further gas is generated from the unresined resin, resulting in new electrode swelling, increasing the occurrence of electrode chipping and disconnection. For this reason, it is necessary to take measures to release the gas into the atmosphere.
[0008]
Thus, for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 2001-084912 discloses a method in which a black electrode paste contains a resin having a higher thermal decomposition temperature than the resin contained in the conductive electrode paste. This technique is a measure against the above (1), the resin in the conductive electrode layer is burned out first, and the resin decomposition gas in the black electrode layer permeates through the space blocked by the resin, This is a method of suppressing the occurrence of electrode swelling and distortion. However, this method is not sufficient as it is not a solution for the cases (2) and (3) described above.
[0009]
Therefore, the main object of the present invention is for a PDP that can be efficiently released into the atmosphere without the resin decomposition gas of the black electrode layer accumulating in the electrode layer when the PDP electrode (bus electrode) is formed by firing . The object is to provide a method of forming an electrode (bus electrode) .
[0011]
[ Means for Solving the Problems]
In order to solve the above-mentioned problems, the invention according to claim 1 relates to a method of forming a bus electrode for a plasma display panel, in a mode of covering a transparent electrode provided on the main surface on one main surface of a transparent substrate. A step of sequentially forming a photosensitive first resin layer containing a metal oxide and a photosensitive second resin layer containing metal particles, the first resin layer and the second resin layer Is a multilayer film pattern composed of the first resin layer and the second resin layer, and penetrates the second resin layer and is uniform in the length direction. Forming a bus electrode pattern having a plurality of gas discharge holes distributed in a shape, uniform size, and uniform spacing on the transparent electrode; firing the multilayer film pattern; A first electrode layer containing an oxide and a first electrode layer containing the metal particles; Forming a linear bus electrode composed of a multi-layer electrode layer and a multi-layer electrode layer, and when firing the multi-layer film pattern, the gas generated in the first resin layer is allowed to flow through the second resin layer. It escapes from the gas discharge hole which penetrates.
[0012]
[Means for Solving the Problems]
The invention according to claim 2 relates to a method of forming a bus electrode for a plasma display panel. The ultraviolet curable type containing a metal oxide by screen printing on a transparent electrode provided on one main surface of a transparent substrate. Alternatively, a step of forming a multilayer film pattern by sequentially stacking a thermosetting first resin layer pattern and an ultraviolet curable or thermosetting second resin layer pattern containing metal particles, Calcining to form a linear bus electrode comprising a multilayer electrode layer of a first electrode layer containing the metal oxide and a second electrode layer containing the metal particles, In the step of forming the multilayer film pattern, a plurality of gases that penetrate the second resin layer pattern and are distributed so as to have a uniform shape, a uniform size, and a uniform interval in the length direction Form discharge holes at the same time Both the time of firing the multilayer film pattern, characterized in that escape the first resin layer pattern generated gas from the gas discharge hole through the second resin layer.
[0013]
The invention described in claim 3 relates to a method of forming a bus electrode for a plasma display panel, and contains a metal oxide so as to cover the transparent electrode on a transparent substrate provided with a transparent electrode on one main surface. A step of coating a photosensitive film comprising a multilayer film of a photosensitive first resin layer and a photosensitive second resin layer containing metal particles; and exposing and developing the photosensitive film, A multilayer film pattern consisting of the second resin layer and the second resin layer, which penetrates the second resin layer and has a uniform shape, a uniform size and a uniform spacing in the length direction. Forming a bus electrode pattern having a plurality of gas discharge holes distributed so as to be on the transparent electrode, firing the multilayer film pattern, and forming the first electrode layer containing the metal oxide, Multilayer of second electrode layer containing metal particles Forming a polar layer, and when firing the multilayer film pattern, the gas generated in the first resin layer is released from the gas discharge hole penetrating the second resin layer. .
[0014]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Next, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. FIG. 1 is a perspective view showing an electrode structure for a PDP according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a cross-sectional view taken along the line AA ′ of FIG. 1 and 2, the electrode for PDP (bus electrode 10) of the present embodiment is formed on the transparent electrode 2 on the surface of the transparent substrate 1 such as glass, and the black electrode layer 3 and the conductive electrode layer 4 are formed. It is comprised from the two-layer laminated film. A rectangular hole 5 reaching the surface of the transparent electrode 2 is formed in the bus electrode 10. This hole 5 functions as a discharge path for gas generated from the electrode material in the baking process for forming the bus electrode, and can prevent defects such as swelling and chipping of the bus electrode. The conductive electrode layer 4 may be composed of a multilayer film.
[0015]
Next, a first method for forming a bus electrode according to the present invention will be described. In this method, a bus electrode is formed using a photosensitive paste, and is composed of two steps: (1) an electrode paste application step and (2) an electrode pattern firing step. Each process will be described below with reference to FIG.
(1) Electrode paste application process First, as shown in FIG. 3A, the transparent electrode 2 is formed on a transparent substrate 1 such as glass using a material such as indium tin oxide (ITO) or tin oxide (SnO2). Pattern. A photosensitive resin (photosensitive black electrode paste) to which at least one kind of metal oxide such as Ru, Co, Cu, Mn, and Cr is added is coated with a 200-400 mesh screen so as to have a desired thickness. The black electrode layer 3 is formed by coating with a screen printing machine (FIG. 3B). Thereafter, the paste is dried at a temperature of 100 ° C. or lower using an IR (infrared) drying oven or a hot air drying oven.
[0016]
Next, a 200 to 400 mesh screen of photosensitive resin (photosensitive metal electrode paste) to which at least one kind of conductive particles such as Ag, Au, Pd, Pt, Cu, and Al is added so as to have a desired thickness. Is applied onto the black electrode layer 3 by a screen printer to form the conductive metal layer 4. Thereafter, drying is performed again at a temperature of 100 ° C. or less using an IR drying furnace or a hot air drying furnace (FIG. 3C). Thus, the thickness of the laminated electrode structure became 10-20 micrometers.
(2) Electrode pattern exposure process The stacked electrodes are irradiated with ultraviolet rays from an ultrahigh pressure mercury lamp through a ladder-shaped exposure mask 6 in which a rectangular shape is drawn in a stripe pattern having a line width of 100 μm (FIG. 3D). ). As a result, an unexposed area 7 corresponding to the rectangular shape drawn on the exposure mask exists in the exposed electrode pattern area (FIG. 3E). The length of the rectangular hole 5 serving as a gas discharge path in the direction perpendicular to the electrode direction (hereinafter referred to as the horizontal width) and the distance in the electrode direction can be freely determined, but the preferred value of the horizontal width when the electrode pattern width is 100 μm. Is 40 to 60 μm, and a preferable value of the interval is 20 to 40 μm. Such a shape and arrangement of the holes 5 can maintain the electric resistance of the electrode layer at a predetermined value, and can prevent occurrence of disconnection due to electrode swelling or rupture. Here, the rectangular shape of the exposure mask is designed in consideration of the amount of shrinkage of the electrodes.
(3) Electrode pattern development process Since an alkali-soluble organic resin is used for the resin of the photosensitive electrode paste, development can be performed with an alkaline aqueous solution. Any alkaline aqueous solution may be used, but in general, development using a sodium carbonate aqueous solution can form the bus electrode 10 pattern and the gas discharge path hole 5 (FIG. 3F). )). The concentration of the aqueous sodium carbonate solution is preferably about 0.1 to 1.0% by weight. If the concentration is 0.1% by weight or less, the concentration is too thin, so that it is difficult to form a pattern, and a residue tends to remain. If the concentration is 1.0% by weight or more, the density is too high, so that over-development occurs and the exposed area is easily peeled off.
(4) Electrode pattern firing step After development, firing is performed at a peak temperature of 500 to 600 ° C in an air atmosphere. When the temperature is 500 ° C. or lower, the resin (binder) in the paste is not sufficiently volatilized, so that the conductivity of the electrode is lowered. Since the gas discharge path 5 is formed in the bus electrode, the resin decomposition gas in the black electrode layer 3 passes through the side surface of the gas discharge path (hole 5) and is released into the atmosphere. Therefore, the decomposition gas does not accumulate in the electrode layer, and a problem from electrode swelling to disconnection is suppressed.
[0017]
In the above bus electrode forming method of the present invention, the gas discharge path is formed simultaneously with the electrode pattern formation. Therefore, the gas discharge path can be easily formed with the same number of steps as in the prior art.
[0018]
Next, a second method for forming a bus electrode according to the present invention will be described.
[0019]
In the first method for forming a bus electrode according to the present invention, an electrode is formed using a photosensitive paste, but an ultraviolet curable or thermosetting electrode paste is printed using a screen plate on which a pattern is drawn. It can also be formed by a method (pattern printing). The bus electrode forming step using the method of printing the electrode paste is composed of two steps: (1) an electrode paste applying step and (2) an electrode pattern firing step. Each process will be described below with reference to FIG.
(1) Electrode paste coating process Examples of screen plates used in printing include a pattern in which a rectangular closed portion is provided in an opening pattern (in an electrode pattern) discharged from a paste. The size of the rectangular shape and the like are determined in the same manner as in the first bus electrode forming method of the present invention.
[0020]
Metal oxide such as Ru, Co, Cu, Mn, and Cr on a transparent substrate 1 such as glass on which a transparent electrode 2 such as indium tin oxide (ITO) and tin oxide (SnO2) is formed (FIG. 4A). The black electrode paste to which is added is applied with a screen printer using a 200-400 mesh screen so as to have a desired thickness. Thereafter, the paste is dried at a temperature of 100 ° C. or lower using an IR drying furnace or a hot air drying furnace to form a pattern of the black electrode layer 3 (FIG. 4B).
[0021]
Next, a metal electrode paste to which conductive particles such as Ag, Au, Pd, Pt, Cu, and Al are added is applied with a screen printer using a 200-400 mesh screen so as to have a desired thickness. .
[0022]
Thereafter, drying is performed again at a temperature of 100 ° C. or lower using an IR drying furnace or a hot air drying furnace to form the conductive electrode layer 4 (FIG. 4C). Thus, the thickness of the bus electrode 10 laminated | stacked became 10-20 micrometers. In addition, when a black electrode paste or a metal electrode paste is an ultraviolet curing type, an ultraviolet curing furnace is used for drying.
(2) Electrode pattern firing step After printing, firing is performed at a peak temperature of 500 to 600 ° C. in an air atmosphere. When the temperature is 500 ° C. or lower, the resin (binder) in the paste is not sufficiently volatilized, so that the conductivity of the electrode is lowered. Since the gas discharge path hole 5 is formed in the bus electrode 10, the resin decomposition gas in the black electrode layer passes through the side surface of the hole 5 and is released into the atmosphere. Therefore, although the first method for forming the bus electrode of the present invention is different from the process described above, the decomposition gas does not accumulate in the electrode layer, and the problem from the electrode swelling to the disconnection is suppressed.
[0023]
Next, a third method for forming a bus electrode according to the present invention will be described.
[0024]
In the first and second methods for forming a bus electrode according to the present invention, the electrodes are formed using a photosensitive paste or a pattern printing method. However, the electrodes can be formed using a photosensitive sheet film. The bus electrode forming process using the photosensitive film is composed of four processes: (1) an electrode sheet film coating process, (2) an electrode pattern exposure process, (3) an electrode pattern developing process, and (4) an electrode pattern firing process. Yes. Each process will be described below with reference to FIG.
(1) Electrode sheet film coating step On a transparent substrate 1 such as glass on which the transparent electrode 2 is formed (FIG. 5 (a)), a metal oxide such as Ru, Co, Cu, Mn, or Cr is used using a laminator device. The photosensitive black electrode layer 3 to which an object is added and the photosensitive metal electrode layer 4 to which conductive particles such as Ag, Au, Pd, Pt, Cu, and Al are added are coated (see FIG. FIG. 5B).
(2) Electrode pattern exposure step The laminated electrodes are irradiated with ultraviolet rays from an ultrahigh pressure mercury lamp through the same exposure mask 6 as in the first method of forming a bus electrode of the present invention (FIG. 5C). . Thereby, an unexposed area 7 corresponding to the rectangular shape drawn on the exposure mask exists in the exposed electrode pattern area (FIG. 5D).
(3) Electrode pattern development process Also in the photosensitive film 20, the alkali-soluble organic resin is used like the photosensitive paste, and it can develop by using aqueous alkali solution. The photosensitive film 20 is developed using, for example, a 0.5 wt% sodium carbonate aqueous solution to form the bus electrode 10 pattern and the gas discharge path hole 5. (FIG. 5 (e)).
(4) Electrode pattern firing step After development, firing is performed at a peak temperature of 500 to 600 ° C in an air atmosphere. Since the gas discharge path hole 5 is formed in the bus electrode, the resin decomposition gas in the black electrode layer passes through the side surface of the hole 5 and is released into the atmosphere. Therefore, the decomposition gas does not accumulate in the electrode layer, and problems from electrode swelling to disconnection are suppressed.
[0025]
In the above description of the bus electrode of the present invention, the shape of the hole 5 is a rectangular shape in horizontal cross section, but the shape of the hole 5 may be a circle, an ellipse, or other square shapes. FIG. 6 is a perspective view of the main part of the bus electrode when the hole has a circular cross-sectional shape. 7 and 8 are perspective views showing examples in which circular holes are provided in a plurality of rows or staggered shapes. It is preferable to set the interval between the circular or elliptical holes to 40 μm or less.
[0026]
【The invention's effect】
As described above, in the present invention, by providing the gas discharge path hole in the bus electrode of the PDP, the gas generated from the electrode layer in the firing process of forming the bus electrode can be efficiently released to the outside. Further, the occurrence of swelling or chipping of the bus electrode can be prevented, and the effects of improving the quality of the PDP and reducing the manufacturing cost can be obtained.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a perspective view showing an electrode structure for a PDP according to an embodiment of the present invention.
2 is a cross-sectional view taken along line AA ′ of FIG.
FIG. 3 is a cross-sectional view for explaining a first formation step of a bus electrode according to the present invention.
FIG. 4 is a cross-sectional view for explaining a second step of forming a bus electrode according to the present invention.
FIG. 5 is a cross-sectional view for explaining a third step of forming a bus electrode according to the present invention.
FIG. 6 is a perspective view showing another example of the shape of a hole for a gas discharge path provided in the bus electrode of the present invention.
FIG. 7 is a perspective view showing another example of the shape of a hole for a gas discharge path provided in the bus electrode of the present invention.
FIG. 8 is a perspective view showing another example of the shape of a hole for a gas discharge path provided in the bus electrode of the present invention.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Substrate 2 Transparent electrode 3 Black electrode layer 4 Conductive electrode layer 5 Hole 6 Exposure mask 7 Unexposed area 10 Bus electrode 20 Photosensitive film

Claims (3)

透明基板の一主面上に、該主面上に設けられた透明電極を覆う態様で、金属酸化物を含有する感光性の第1の樹脂層と金属粒子を含有する感光性の第2の樹脂層とを順次形成する工程と、前記第1の樹脂層及び前記第2の樹脂層を露光及び現像して、前記第1の樹脂層及び前記第2の樹脂層からなる多層膜パターンであって、前記第2の樹脂層を貫通し、かつ、長さ方向に対して一様な形状かつ一様な大きさかつ一様な間隔となるように分布する複数のガス放出穴を有するバス電極パターンを前記透明電極上に形成する工程と、前記多層膜パターンを焼成して、前記金属酸化物を含有する第1の電極層と前記金属粒子を含有する第2の電極層との多層電極層からなる線状のバス電極を形成する工程とを含み、
前記多層膜パターンを焼成する際、前記第1の樹脂層で発生したガスを前記第2の樹脂層を貫通する前記ガス放出穴から逃がすことを特徴とするプラズマディスプレイパネル用バス電極の形成方法。
A photosensitive first resin layer containing a metal oxide and a photosensitive second resin containing metal particles on a main surface of the transparent substrate so as to cover the transparent electrode provided on the main surface. Forming a resin layer in sequence, and exposing and developing the first resin layer and the second resin layer to form a multilayer film pattern including the first resin layer and the second resin layer. And a bus electrode having a plurality of gas discharge holes that are distributed so as to penetrate the second resin layer and have a uniform shape, a uniform size, and a uniform interval with respect to the length direction. A step of forming a pattern on the transparent electrode, and a multilayer electrode layer comprising a first electrode layer containing the metal oxide and a second electrode layer containing the metal particles by firing the multilayer film pattern Forming a linear bus electrode comprising:
A method of forming a bus electrode for a plasma display panel, wherein when the multilayer film pattern is baked, a gas generated in the first resin layer is released from the gas discharge hole penetrating the second resin layer.
透明基板の一主面上に設けられた透明電極上にスクリーン印刷により、金属酸化物を含有する紫外線硬化型又は熱硬化型の第1の樹脂層パターンと金属粒子を含有する紫外線硬化型又は熱硬化型の第2の樹脂層パターンとを順次重ねて多層膜パターンを形成する工程と、
該多層膜パターンを焼成して、前記金属酸化物を含有する第1の電極層と前記金属粒子を含有する第2の電極層との多層電極層からなる線状のバス電極とを形成する工程とを含み、
前記多層膜パターンを形成する工程では、前記第2の樹脂層パターンを貫通し、長さ方向に対して一様な形状かつ一様な大きさかつ一様な間隔となるように分布する複数のガス放出穴を同時に形成すると共に、
前記多層膜パターンを焼成する際、前記第1の樹脂層パターンで発生したガスを前記第2の樹脂層を貫通する前記ガス放出穴から逃がすことを特徴とするプラズマディスプレイパネル用バス電極の形成方法。
An ultraviolet curable or heat-containing first resin layer pattern containing a metal oxide and a heat-curable first resin layer pattern and metal particles by screen printing on a transparent electrode provided on one main surface of the transparent substrate. A step of sequentially stacking a curable second resin layer pattern to form a multilayer film pattern;
A step of firing the multilayer film pattern to form a linear bus electrode comprising a multilayer electrode layer of a first electrode layer containing the metal oxide and a second electrode layer containing the metal particles. Including
In the step of forming the multilayer film pattern, a plurality of distributions are made so as to penetrate the second resin layer pattern and have a uniform shape, a uniform size, and a uniform interval with respect to the length direction. While simultaneously forming the gas discharge hole,
A method of forming a bus electrode for a plasma display panel, wherein the gas generated in the first resin layer pattern is released from the gas discharge hole penetrating the second resin layer when firing the multilayer film pattern .
一主面上に透明電極が設けられた透明基板上に前記透明電極を覆うように金属酸化物を含有する感光性の第1の樹脂層と金属粒子含有する感光性の第2の樹脂層との多層膜からなる感光性フィルムを被覆する工程と、
前記感光性フィルムを露光及び現像して、前記第1の樹脂層及び前記第2の樹脂層からなる多層膜パターンであって、前記第2の樹脂層を貫通し、長さ方向に対して一様な形状かつ一様な大きさかつ一様な間隔となるように分布する複数のガス放出穴を有するバス電極パターンを前記透明電極上に形成する工程と、
前記多層膜パターンを焼成して、前記金属酸化物を含有する第1の電極層と前記金属粒子を含有する第2の電極層の多層電極層を形成する工程とを含み、
前記多層膜パターンを焼成する際、前記第1の樹脂層で発生したガスを前記第2の樹脂層を貫通する前記ガス放出穴から逃がすことを特徴とするプラズマディスプレイパネル用バス電極の形成方法。
A photosensitive first resin layer containing a metal oxide and a photosensitive second resin layer containing metal particles so as to cover the transparent electrode on a transparent substrate provided with a transparent electrode on one main surface; A step of coating a photosensitive film comprising a multilayer film of
Said photosensitive film is exposed and developed, a multi-layered film pattern composed of the first resin layer and the second resin layer, passes through the second resin layer, one with respect to the longitudinal Forming a bus electrode pattern having a plurality of gas discharge holes distributed on the transparent electrode so as to have a uniform shape, a uniform size, and a uniform interval ;
Firing the multilayer film pattern to form a multilayer electrode layer of the first electrode layer containing the metal oxide and the second electrode layer containing the metal particles,
A method of forming a bus electrode for a plasma display panel, wherein when the multilayer film pattern is baked, a gas generated in the first resin layer is released from the gas discharge hole penetrating the second resin layer.
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