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JP3778417B2 - 半導体記憶装置 - Google Patents
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Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は半導体記憶装置に関し、特にメモリ内部で常時セルフリフレッシュ動作をするDRAM型の半導体記憶装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
近年、インターネットとの連携などにより、携帯電話などの小型の移動端末で扱うデータ量が多くなるに伴い、大容量のメモリが必要になりつつある。現在、携帯電話には消費電力の少ないSRAMが使われている。しかし、SRAMは集積度が低く容量を大きくするとコストが大幅に増えてしまうという問題点がある。これに対して、DRAMは低コストで大容量のメモリが作れる。しかし、DRAMとSRAMではコマンド体系が異なるため、単純にSRAMをDRAMに置き換えることができない。この場合、大きな問題の1つがリフレッシュの制御方法である。DRAMでは、定期的にリフレッシュを行わないとメモリセルのデータが消えてしまう。DRAM外部のコントローラからリフレッシュのための命令をDRAMに供給することで定期的なリフレッシュ動作が可能である。しかしならが、この構成はコントローラに相当の負担を与える。
【0003】
従って、DRAM自身が内部で定期的にリフレッシュ(セルフリフレッシュ)を行うことが必要となる。DRAMが非同期型の場合、つまりクロック同期でないDRAMの場合、内部で発生したリフレッシュ要求信号と外部から入力されるアクティブ動作(例えば、データの読出しや書込み動作)の要求とが衝突する可能性がある。
【0004】
図1は、従来のDRAMのコア周辺回路の一部を示すブロック図である。また、図2は図1に示す構成の動作タイミング図である。
【0005】
図1において、DRAMはフィルタ10、コマンド制御回路11、リフレッシュ(REF)制御回路12、リフレッシュ−アクティブ(REF−ACT)比較回路13及びコア制御回路14を有する。REF制御回路12は、リフレッシュ(REF)要求信号refpzをREF−ACT比較回路13及びコア制御回路14に定期的に出力する。外部からの読出し又は書込みコマンドは、フィルタ10を介してコマンド制御回路11に与えられる。読出し又は書込みコマンドは、チップ・イネーブル信号/CE、書込みイネーブル信号/WE及び出力イネーブル信号/OEの制御信号の組み合わせで定義される。フィルタ10は、非同期型(外部クロックに同期していない)のDRAMがノイズ等で誤動作しないように、コマンド信号/CE、/WE、/CEやアドレスをフィルタする。コマンド制御回路11はフィルタ10を介して受け取ったコマンドをデコードして、アクティブ(ACT)要求信号(コアの活性化を要求する信号)actpzをREF−ACT比較回路13及びコア制御回路14に出力する。
【0006】
REF−ACT比較回路13は、ACT要求信号actpzとREF要求信号refpzのうち先に入力された動作を選択し、REF−ACT選択信号refzをコア制御回路14に出力する。リフレッシュ動作が選択された場合には、REF−ACT選択信号refzはH(ハイ)レベルであり(図2(b))、ACT要求信号が選択された場合にはL(ロー)レベルである(図2(a))。コア制御回路14は、ACT要求信号actpzかREF要求信号refpzを受け取ると、図示しないコアを動作させる。コア動作中は、コア制御回路14はビジー信号busyzをREF−ACT比較回路13に出力して、REF−ACT選択信号が切り替わらないようにする。アクティブ動作中(読出し又は書込み動作中)にREF要求信号refpzが入力された場合、及びリフレッシュ動作中にACT要求信号actpzが入力された場合には、後に入力された動作を待たせておき、前の動作が終了したら、つまりビジー信号busyzがLになったら、待たせておいた動作を行う。
【0007】
図3は、REF−ACT比較回路13の構成例を示す回路図である。REF−ACT比較回路13は、インバータ15、16、NANDゲート17、18、トランスファースイッチ19、ラッチ20及びインバータ21を具備する。NANDゲート17と18は、フリップフロップを構成する。ACT要求信号actpzが入力されると、NANDゲート17の出力n1とNANDゲート18の出力n2はいずれもHになる。他方、REF要求信号refpzが入力されると、n1はHでn2はLになる。コア制御回路14からのビジー信号busyzがLの時は、トランスファースイッチ19はON状態なので、n1=n3(スイッチ19の出力)=refzとなる。他方、ビジー信号busyzがHの時は、トランスファースイッチ19はOFF状態なので、インバータ21の出力refzは変化しない。
【0008】
図4は、コア制御回路14の一構成例を示す回路図である。コア制御回路14は、インバータ22、27、28、29、及びNANDゲート23、24、25、26、30、31、32、33、34を有する。インバータ23と24、30と31でそれぞれフリップフロップFF1、FF2が構成されている。NANDゲート34の出力であるコア制御信号outは、図示しないコアを制御する部分に出力される。コア制御信号outがHとなるとコアの制御が開始され、ビジー信号busyzをHにする。NANDゲート26と32は、このビジー信号busyzを受ける。ACT要求信号actpz及びREF要求信号refpzが入力されると、フリップフロップFF2、FF1の出力n2、n1がHになる。また、ビジー信号busyzがLの時は、コア制御信号outはHになる。ビジー信号busyzがHの時は、コア制御信号outはLである。
【0009】
アクティブ動作が開始されると(busyz=H、refz=L)、フリップフロップFF2がリセットされn2=Lとなる。リフレッシュ動作が開始されると(busyz=H,refz=H)、フリップフロップFF1がリセットされn1=Lになる。リフレッシュ動作中にACT要求コマンドactpzが入力されると、n2=Hの状態でリフレッシュ動作が終わるのを待つ。リフレッシュ動作が終わりビジー信号busyzがLになると、ノードn2のHレベルがコア制御信号outとなり、アクティブ動作が開始される。アクティブ動作中にリフレッシュ要求信号refpzが入力された場合も同様である。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】
上記の制御を行った場合のアクセス時間は、REF要求信号refpzが入力した直後にACT要求信号が出力された場合が最も長く、データ出力までに最も時間を要する。この場合のタイミング図を図5に示す。図5に示す場合のアクセス時間は、アクセス命令が入力されてから(/CEがLになってから)、ACT要求信号actpzが出力されるまでの時間、リフレッシュ動作の時間、及びACT要求信号actpzからデータが出力されるまでの時間を足した値になる。
【0011】
非同期型(外部クロックに同期しない)のDRAMでは、前述したように、/CE、/WE、/OEの制御信号やアドレスにノイズが乗っても誤動作しなようにフィルタ10が設けられており、フィルタ10を通った後の信号を使って回路を動かしている。ACT要求信号actpzもフィルタ10を通った後の信号を使って生成される。1nsのノイズをなくすためには、少なくとも1nsは信号を遅延させなければならないため、幅の広いノイズを除去するためにはフィルタ10での遅延が大きくなり、コマンド入力後データが出力されるまでのアクセス時間が長くなってしまうという問題点がある。
【0012】
従って、本発明は上記問題点を解決し、アクセス時間が短い半導体記憶装置を提供することを目的とする。
【0013】
【課題を解決するための手段】
請求項1に記載の発明は、セルフリフレッシュ機能を有する半導体記憶装置において、所定の入力信号(後述する制御信号やアドレス信号)の変化を検出して検出信号を出力する検出回路と、該検出信号と内部で発生したリフレッシュ要求信号とを比較して、リフレッシュ動作を指示する信号を生成する比較回路(後述するREF−ACT比較回路43に相当する)と、前記検出信号が出力されてから、前記所定の入力信号が内部で雑音除去処理されるまでの間は、前記比較回路においてリフレッシュ動作を指示する信号が生成されることを防止するための信号を生成する回路を有することを特徴とする半導体記憶装置である。所定の入力信号の変化を検出することは、外部から回路動作に関する何らかの指示があったことを検出することを意味している。この指示の内容を特定するには、雑音除去処理が必要であり時間を要する。この雑音除去処理を待たずに、所定の入力信号の変化を検出することで検出信号を生成し、検出信号が出力されてから、前記所定の入力信号が内部で雑音除去処理されるまでの間は、リフレッシュ動作を指示する信号が比較回路において生成されることを防止するための信号を生成する。よって、速やかに行なうべき回路動作を選択することができ、アクセス時間が短くなると共に、外部から指示された回路動作を実行中に、内部で発生したリフレッシュ要求信号によりリフレッシュ動作が行われてしまうことを防止する。
【0015】
請求項に記載の発明は、前記検出回路は、半導体記憶装置内部のフィルタで処理される前の前記入力信号の変化を検出して検出信号を出力することを特徴とする請求項1記載の半導体記憶装置である。フィルタで処理される前の入力信号の変化を検出するので、直ちに入力信号の変化を検出することができ、選択すべき回路動作を決定できる。
【0016】
請求項に記載の発明は、前記比較回路が出力する信号は、該比較回路に先に入力した信号で指示される回路動作を選択する信号であることを特徴とする請求項1又は2記載の半導体記憶装置である。比較回路の構成をより具体的に特性したものである。
【0017】
請求項に記載の発明は、前記所定の入力信号は、コマンドを構成する信号(後述する/CE、/WE、/OEなどに相当する)を含むことを特徴とする請求項1〜3のうち、いずれか一項記載の半導体記憶装置である。遷移を検出すべき入力信号の具体例を規定したものである。
【0018】
請求項に記載の発明は、前記所定の入力信号は、アドレスを構成する信号を含むことを特徴とする請求項1〜3のうち、いずれか一項記載の半導体記憶装置である。遷移を検出すべき入力信号の具体例を規定したものである。
【0023】
【発明の実施の形態】
本発明の原理を図6を参照して説明する。図6は、図5に対応する本発明の半導体記憶装置の動作例を示す図である。本発明では新たに、遷移検出信号stdpzを用いている。遷移検出信号stdpzは、図1のフィルタ10に入る信号が遷移したことが検出された場合に生成されるものである。図1を参照して説明したように、フィルタ10には制御信号/CE、/WE及び/OEとアドレス信号が入力される。例えば、遷移検出信号stdpzは、制御信号とアドレス信号のいずれかが変化したことを検出して、入力信号が遷移したことを検出する。図6の例では、チップ・イネーブル信号/CEがHからLに変化した場合である。
【0024】
この遷移検出信号stdpzとREF要求信号repfzとを比較して、いずれか早い方の動作を選択する。図6の例では、REF要求信号refpzのほうが遷移検出信号stdpzよりも僅かに先行している。従って、リフレッシュ動作が選択され、リフレッシュ動作終了後、アクティブ動作が開始される。図5と図6のアクセス時間を比較すると明らかなうに、本発明の半導体記憶装置はアクセス時間が短く高速である。ACT要求信号actpzは、フィルタ10を通ってコマンド制御回路11が出力する信号である。つまり、本発明の半導体記憶装置の方がフィルタ10を通らない分だけデータ出力が速くなっている。
【0025】
前述したように、アクセス時間は、アクセス命令がフィルタ10に与えられてから遷移検出信号stdpzが出力されるまでの時間、リフレッシュ動作の時間及びACT要求信号actpzからデータが出力されるまでの時間を足した値になる。図5と図6を比較すると、遷移検出信号stdpzが出力されてからACT要求信号が出力される時間(フィルタ10による信号の遅延時間)だけ、データ出力が速くなっていることがわかる。
【0026】
図7は、本発明の半導体記憶装置の一実施の形態を示すブロック図である。図7中、図1に示す構成要素と同一のものには同一の参照番号を付けてある。図示する半導体記憶装置は、フィルタ10、コマンド制御回路11、REF制御回路12、遷移検出回路41、パルス幅拡張回路42、REF−ACT比較回路43及びコア制御回路44を有する。本発明で新たに設けたものは、遷移検出回路41とパルス幅拡張回路42である。また、REF−ACT比較回路43及びコア制御回路44は、図1に示すREF−ACT比較回路13及びコア制御回路14と異なる回路構成である。
【0027】
遷移検出回路41は、図6の遷移検出信号stdpzを生成する。検出する対象となる信号は、フィルタ10の入力信号、つまり、チップ・イネーブル信号/CE、書込みイネーブル信号/WE、出力イネーブル信号/OEの制御信号と、アドレス信号である。遷移検出回路41は、制御信号とアドレス信号の所定のビットが遷移したこと(例えば、/CE、/WE、/OEのいずれかの立ち下がり及びアドレス信号の立ち上がりと立ち下がりの両方)を検出すると、遷移検出信号stdpzを出力する。遷移検出信号stdpzは、REF−ACT比較回路44及びパルス幅拡張回路42に出力される。REF−ACT比較回路43は、遷移検出信号stdpzとREF要求信号refpzとを比較して、REF−ACT選択信号refzをコア制御回路44に出力する。遷移検出信号stdpzがREF要求信号refpzよりも早いタイミングの場合には、REF−ACT選択信号refzはHであり、遅いタイミングの場合にはLである。ACT要求信号actpzは、ノイズによる誤動作を防ぐために、図1に示す構成と同様にフィルタ10を通した後の信号から生成される。
【0028】
図8は、図7の動作タイミング図である。図8では、REF要求信号refpzが生成された後にACT要求信号actpzが生成されている場合の例で、遷移検出回路41が生成する遷移検出信号stdpzはREF要求信号refzよりも先行している。従って、REF−ACT比較回路43はREF−ACT選択信号refzをLにしてアクティブ動作を選択し、その後にREF−ACT選択信号refzをHにしてリフレッシュ動作を選択する。図8のような場合、図1に示す構成では先にリフレッシュ動作が行われ、次にアクティブ動作が行われる。
【0029】
REF−ACT比較回路43の入力をACT要求信号actpzから遷移検出信号stdpzに変えただけでは、遷移検出信号stdpzが出力されてからACT要求信号actpzが出力される間にREF要求信号が出力されると、リフレッシュ動作が選択されてしまう。このため、遷移検出信号stdpzが出力されてから、ビジー信号busyzがHになるまでの間、リフレッシュ動作を止めておくことが必要である。この動作を、遷移検出信号stdpzのパルス幅を拡張した信号stdpwzで行う。パルス幅拡張回路42は、遷移検出信号stdpzのパルス幅を拡張した信号stdpwzを生成する。
【0030】
REF−ACT比較回路43は、パルス幅拡張回路42からのパルス幅拡張信号stdpwzを受け取り、この信号がON(H)の期間はREF要求信号refpzを受け付けない(無効にする)ようにする。パルス幅拡張信号stdpwzはコア制御回路44にも出力される。これにより、コア制御回路44がアクティブ動作を終了するまでリフレッシュ動作を行うことができない。
【0031】
図9は、遷移検出回路41の一構成例を示す回路図である。図示する遷移検出回路41は、インバータ50、51、ディレイ素子52、NANDゲート53及びインバータ54で構成される検出回路を有する。この構成の検出回路は、制御信号/CE、/WE及び/OEの各々に設けられている。図9では、図面を簡素化するために、制御信号/CE、/WE及び/OEが共通に与えられるように図示してある。また、遷移検出回路41は、インバータ55、56、ディレイ素子57、及びNANDゲート58で構成される検出回路を有する。同様に、インバータ59、ディレイ素子60、及びNANDゲート61で検出回路が構成されている。この構成の検出回路は、アドレス信号の各ビット毎に設けられている。図9では、1ビット分の構成を示している。
【0032】
例えば、チップ・イネーブル信号/CEがHからLに変化すると、インバータ50の出力はLからHに変化し、これをNANDゲート53が受け取る。また、ディレイ素子52の出力は始めはHであり、インバータ50の出力がHに変化した後ディレイ素子の遅延時間経過後にLになる。このため、NANDゲート53の出力はチップ・イネーブル信号/CEがHからLに変化するとともにHからLに変化し、ディレイ素子52の遅延時間経過後のHに戻る。遷移検出信号stdpzはこれを反転した信号になる。つまり、チップ・イネーブル信号/CEがHからLに変化することで、遷移検出信号stdpzにHレベルのパルス信号が発生する。
【0033】
図10は、REF−ACT比較回路43の一構成例の回路図である。図10中、図3と同一の構成要素と同一のものには同一の参照番号を付けてある。図10に示すREF−ACT比較回路43は、図3に示す回路にNORゲート65を付加したものである。NORゲート65は、ビジー信号busyzとパルス幅拡張信号stdpwzとのNOR論理を演算し、トランスファースイッチ19を制御する。ビジー信号busyzとパルス幅拡張信号stdpwzのいずれか一方がHにある時は、トランスファースイッチ19はOFF状態にある。よって、REF−ACT選択信号refzは保持される。つまり、遷移検出信号stdpzが検出されてからビジー信号busyzがHになるまでの期間及びビジー期間は、リフレッシュ動作の要求を受け付けない。
【0034】
図11は、コア制御回路44の一構成例の回路図である。図11中、図4に示す構成要素と同一のものには同一の参照番号を付けてある。図11に示すコア選択回路44は、図4に示す回路構成にインバータ66を設けると共に、図4に示すNANDゲート25を3入力のNANDゲート67に置き換えたものである。パルス幅拡張信号stdpwzがHの期間はNANDゲート67は閉じている。よって、REF要求信号refpzが入力されても、NANDゲート34の出力outは切り替わらない。つまり、遷移検出信号stdpzが出力されてからアクティブ動作が終了するまでは、リフレッシュ動作は行われない。
【0035】
次に、本発明の半導体記憶装置の第2の実施の形態について説明する。図12は、本発明の半導体記憶装置の第2の実施の形態を示すブロック図である。図12中、図7に示す構成要素と同一のものには同一の参照番号を付けてある。また、図13は、図12に示す半導体記憶装置の動作タイミング図である。
【0036】
本発明の第2の実施の形態は、次の点を考慮したものである。REF制御回路12がREF要求信号refpzを生成するタイミングは、外部からは判断できない。つまり、読出しコマンドや書込みコマンドを半導体記憶装置に与えた場合に、リフレッシュ動作が行われていない時にはそのままアクティブ動作が行われるが、リフレッシュ動作とアクティブ動作がタイミング的に重なった場合には、リフレッシュ動作が先に行われ、その動作が完了した後にアクティブ動作が行われる。よって、アクセス時間は一定ではなく変動し、例えば図5に示すように、リフレッシュ動作とアクティブ動作が重なったときがアクセス時間が最も長い。半導体記憶装置を評価するためには、最長のアクセス時間を知る必要がある。しかしながら、図5に示すようなタイミング条件を外部から知ることはできないので、最長のアクセス時間を知ることができない。第2の実施の形態は、前述した第1の実施の形態にテスト信号を与えて半導体記憶装置をテストモードとし、アクティブ動作の要求を外部から与えると、最初に必ずリフレッシュ動作を実行し、その後にアクティブ動作を実行するように構成したものである。
【0037】
図12及び図13において、テスト信号teszが外部からREF制御回路72及びパルス幅拡張回路74に与えられる。REF制御回路72はテスト信号teszが与えられた状態で、遷移検出回路41が出力する遷移検出信号stdpzがHになると、REF要求信号refpzを出力する。これを受けたREF−ACT比較回路73は、REF−ACT選択信号refzをHにしてコア制御回路44にリフレッシュ動作の選択を指示する。リフレッシュ動作終了後のビジー信号busyzの立ち下がりに応答して、REF−ACT比較回路73はREF−ACT選択信号をLに設定し、コア制御回路44はACT要求信号actpzに応答した動作をコアに指示する。
【0038】
このように、テストモードで遷移検出信号stdpzが検出されると直ちにリフレッシュ動作が実行され、その後にアクティブ動作が実行されるので、図6に示すアクセス時間(/CEが立ち下がってからデータ出力までの時間)を容易に測定することができる。
【0039】
図14は、REF制御回路72の一構成例の回路図である。REF制御回路72は、制御回路76、NANDゲート77、78、79及びインバータ80を具備する。制御回路76は内部リフレッシュ要求信号srtzを生成し、これをNANDゲート78に出力する。図1や図7に示すリフレッシュ要求信号refpzは、内部リフレッシュ要求信号srtzそのものである。テストモードでない時には、テスト信号teszがLレベルにあるので、内部リフレッシュ要求信号srtzがリフレッシュ要求信号refpzになる。テストモードの時は、テスト信号teszがHの状態にあり、遷移検出信号stdpzを受けると直ちにリフレッシュ要求信号refpzがHになる。
【0040】
図15は、パルス幅拡張回路74の一構成例の回路図である。パルス幅拡張回路74は、パルス幅拡張部80、インバータ81、82及びNANDゲート83から構成される。パルス幅拡張部80は、図7に示すパルス幅拡張回路42に相当する。テストモード時はリフレッシュ動作を先に行うため、遷移検出信号stdpzはパルス幅拡張部80に与えられない。テストモードでない場合には、遷移検出信号stdpzはNANDゲート83及びインバータ82を介して、パルス幅拡張部80に与えられる。
【0041】
図16は、REF−ACT比較回路73の一構成例の回路図である。図16中、図10と同一の構成要素には同一の参照番号を付けてある。図16の回路は、図10のインバータ16に代えてNANDゲート84を設けたものである。NANDゲート84には、ビジー信号busyzとREF−ACT要求信号refzが与えられる。図10の構成では、遷移検出信号stdpzでフリップフロップ(NANDゲート17と18で構成される)をリセットしてアクティブ動作時にREF−ACT選択信号refzをLとなるようにしている。テストモード時は、REF要求信号refpzよりも先に遷移検出信号stdpzが出力されるため、リフレッシュ動作後に遷移検出信号stdpzを使ってREF−ACT選択信号refzをLにすることができない。この点を考慮して、図16の回路はリフレッシュ動作に入ったらフリップフロップをセットする構成となっている。
【0042】
図17は、本発明の半導体記憶装置の全体構成例を示すブロック図である。図示する半導体装置は、アドレス端子171、コマンド入力端子172〜174、データ入出力端子175、端子171〜174にそれぞれ接続された入力バッファ176〜179、リフレッシュ動作を制御するリフレッシュ制御回路180、入力バッファ/出力バッファ181、アドレスレジスタ182、制御回路183、データ制御回路184、メモリセルアレイ(コア)185及びライトアンプ/センスバッファ186を有する。リフレッシュ制御回路180は、図7のREF制御回路12及び図12のREF制御回路72に相当する。アドレス端子171及び入力バッファ176を介して外部アドレスを受け取り、ロー系及びコラム系のデコードされたアドレスをメモリセルアレイ185に出力する。信号/CE、/WE、/OEはそれぞれ入力バッファ177、178、179を介して制御回路183に与えられる。データ入出力回路184は、制御回路183の制御のもとでデータの入出力を制御する。
【0043】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、、アクセス時間が短い半導体記憶装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】従来のDRAMのコア周辺回路の一部を示すブロック図である。
【図2】図2は図1に示す構成の動作タイミング図である。
【図3】図1に示すREF−ACT選択回路の回路図である。
【図4】図1に示すREF−ACT比較回路の回路図である。
【図5】最長のアクセス時間を説明するためのタイミング図である。
【図6】本発明の原理を説明するためのタイミング図である。
【図7】本発明の第1の実施の形態を示すブロック図である。
【図8】図7に示す半導体記憶装置の動作を示すタイミング図である。
【図9】図7に示す遷移検出回路の一構成例の回路図である。
【図10】図7に示すREF−ACT比較回路の一構成例の回路図である。
【図11】図7に示すコア制御回路の一構成例の回路図である。
【図12】本発明の第2の実施の形態を示すブロック図である。
【図13】図12に示す半導体記憶装置の動作を示すタイミング図である。
【図14】図12に示すREF制御回路の一構成例の回路図である。
【図15】図12に示すパルス幅拡張回路74の一構成例を示す回路図である。
【図16】図12に示すREF−ACT比較回路73の一構成例を示す回路図である。
【図17】本発明の半導体記憶装置の全体構成を示すブロック図である。
【符号の説明】
10 フィルタ
11 コマンド制御回路
12 REF(リフレッシュ)制御回路
13 REF−ACT(アクティブ)比較回路
14 コア制御回路
42 パルス幅拡張回路
43 REF−ACT比較回路
44 コア制御回路
72 REF制御回路
73 REF−ACT比較回路
74 パルス幅拡張回路

Claims (5)

  1. セルフリフレッシュ機能を有する半導体記憶装置において、
    所定の入力信号の変化を検出して検出信号を出力する検出回路と、
    該検出信号と内部で発生したリフレッシュ要求信号とを比較して、リフレッシュ動作を指示する信号を生成する比較回路と、
    前記検出信号が出力されてから、前記所定の入力信号が内部で雑音除去処理されるまでの間は、前記比較回路においてリフレッシュ動作を指示する信号が生成されることを防止するための信号を生成する回路を有することを特徴とする半導体記憶装置。
  2. 前記検出回路は、半導体記憶装置内部のフィルタで処理される前の前記入力信号の変化を検出して検出信号を出力することを特徴とする請求項1記載の半導体記憶装置。
  3. 前記比較回路が出力する信号は、該比較回路に先に入力した信号で指示される回路動作を選択する信号であることを特徴とする請求項1又は2記載の半導体記憶装置。
  4. 前記所定の入力信号は、コマンドを構成する信号を含むことを特徴とする請求項1〜3のうち、いずれか一項記載の半導体記憶装置。
  5. 前記所定の入力信号は、アドレスを構成する信号を含むことを特徴とする請求項1〜3のうち、いずれか一項記載の半導体記憶装置。
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