JP3785256B2 - 半導体装置の内部電圧変換回路 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は半導体装置に係り、特に半導体装置の内部電圧変換回路に関する。
【0002】
【従来の技術】
半導体装置において、内部電圧変換方式は消費電力の減少、トランジスターのような回路素子の耐圧増加等のため外部電源電圧を降下させるものである。特に、半導体メモリ装置においては高集積化が進行されることによりチップの縮小化と共に素子の微細化が伴うのでトランジスターの耐圧が低下されるが、製造者が自在に外部電源を下げられないので内部電源電圧を使用することが必須である。図1及び図2は従来の技術による半導体装置の内部電圧変換回路を示したものであって、これに基づき従来の内部電圧変換回路を説明する。
【0003】
まず、図1において比較器110は所定の基準電圧VREFとフィードバック電圧を比較してこれをプルアップトランジスター120のゲートに印加する。プルアップトランジスター120のドレイン端が内部電源端子として内部電源電圧VINTを出力する。内部電源端子のレベルは抵抗R1、R2により分配され比較器110の入力端子にフィードバックされる。ここで、比較器110に印加されるフィードバック電圧の大きさは次の式1のように示される。
【0004】
【数1】
【0005】
図2に示された内部電圧変換回路において、比較器130は基準電圧VREFとフィードバック電圧を比較し、プルアップトランジスター140は比較器130の出力によりスイッチングされる。従って、比較器130はプルアップトランジスター140のドレインに示される電圧をV1と称すれば、次の式2のように示されるフィードバック電圧と基準電圧VREFを比較することになる。プルアップトランジスター140のドレインに示される電圧V1は比較器150とプルアップトランジスター160とで構成される駆動部により駆動され内部電源電圧VINTとして出力される。
【0006】
【数2】
【0007】
しかし、従来の技術による半導体装置の内部電圧変換回路は常に一定したレベルの電源電圧を内部的に供給することになり、特にプラスチックパッケージを使用する組立工程が行われた後には内部供給電源のレベルの調整が不可能であった。よって、半導体製品の各種不良に対して単純に機能テストのみを行うので、不良品のスクリーンに限界があった。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
従って、本発明の目的はパッケージ組立工程後にも外部的に内部電源の電圧レベルを調整しうる半導体装置の内部電圧変換回路を提供することにある。
本発明の他の目的は半導体装置のテスト段階で内部電源レベルを多様に調整してテストを行うことにより不良品に対したスクリーン機能を向上させうる半導体装置の内部電圧変換回路を提供することにある。
【0009】
【課題を解決するための手段】
前記目的を達成するため、本発明による、パッケージ組立後に外部から内部供給電源のレベルが調整しうる半導体装置の内部電圧変換回路は、内部電源電圧が出力される内部電源端子と、フィードバックラインと、前記半導体装置の内部から発生された所定の基準電圧と前記フィードバックラインを経て印加される電圧を比較する比較器と、一端子が前記半導体装置の外部から印加される電源電圧に連結されており、その制御端子が前記比較器の出力に連結されており、その他端子が前記内部電源端子に連結されているプルアップトランジスターと、前記半導体装置の外部から印加される第1制御信号の組合でテストモード信号を発生するテストモード信号発生部と、前記テストモード信号がアクティブの場合に半導体装置の外部から印加される第2制御信号により第1及び第2スイッチング信号を発生させ、前記テストモード信号がインアクティブの場合には前に発生された第1及び第2スイッチング信号を保ちながら出力するスイッチング信号発生部と、前記内部電源端子と接地電圧間に直列に連結されており、各々第1及び第2スイッチング信号によりスイッチングされその抵抗値が変換される第1及び第2スイッチング抵抗部を具備し、前記第1及び第2スイッチング抵抗部の連結点が前記フィードバックラインに連結されている。
【0010】
第1及び第2スイッチング抵抗部は各々多数のスイッチングトランジスターを直列及び並列に連結され構成されるものであって、少なくとも何れか1つの電流経路が常に導通状態であり、スイッチング信号により抵抗値が変換される。そしてフィードバックされる電圧の大きさがスイッチング信号の論理状態により変わり、それにより内部電源端子に出力される内部電源電圧のレベルも変わる。
【0011】
スイッチング信号発生部は入力部、伝送ゲート部、ラッチ部及びデコーディング部で構成される。スイッチング信号発生部の中、入力部は入力制御信号PSVA0により外部から印加される第2制御信号を入力し、この際、使用される入力制御信号PSVA0を発生する入力制御信号発生部は外部信号入力端子と接地電圧との間に2つのPMOSトランジスター及び1つのNMOSトランジスターが直列に連結されているものであって、2つのPMOSトランジスターは負荷であり、NMOSトランジスターのゲートは内部的に発生された電源に連結されて常に“オン”状態を保つ。そして、外部信号入力端子A0に高電圧レベルの信号が印加される場合にNMOSトランジスターのドレイン端子に入力制御信号PSVA0が出力される。
【0012】
【発明の実施の形態】
以下、添付した図面に基づき本発明の実施例を詳しく説明する。
図3は本発明の一実施例による半導体装置の内部電圧変換回路を示したブロック回路図である。図3において、内部電圧変換回路は比較器110、プルアップトランジスター120、スイッチング抵抗部310、320、スイッチング信号発生部330、テストモード信号発生部340を含んで構成されている。比較器110に印加される基準電圧VREFは半導体装置の内部的に発生される電圧であり、プルアップトランジスター120は一端子が半導体装置の外部から印加される外部電源電圧VDDに連結されており、制御端子に比較器110の出力が印加され、他端子が内部電源端子に連結されている。テストモード信号発生部340は半導体装置の外部から印加される第1制御信号ΦBに基づきテストモード信号PFTEを発生する。
【0013】
スイッチング信号発生部330はテストモード信号PFTEがアクティブの場合に半導体装置の外部から印加される第2制御信号ΦAによりスイッチング信号を発生させ、テストモード信号PFTEがインアクティブの場合には前に発生されたスイッチング信号を保つ。
【0014】
スイッチング抵抗部310、320はスイッチング信号発生部から出力されるスイッチング信号によりスイッチングされその抵抗値が変換される。
【0015】
このような内部電圧変換回路においてスイッチング抵抗部310、320の抵抗を各々RX、RYとすれば比較器110にフィードバックされて印加される電圧の大きさは次の式3のようである。
【0016】
【数3】
【0017】
このようなフィードバック電圧が基準電圧VREFより小さくなると比較器110の出力は“ロー”レベルとなり、それによりプルアップトランジスター120が“オン”され内部電源端子の電圧レベルが上昇することになる。逆に、フィードバック電圧が基準電圧VREFより大きな場合には比較器110の出力が“ハイ”レベルとなってプルアップトランジスター120は“オフ”され、これにより内部電源端子の電圧レベルが上昇することになる。よって、内部電源端子のレベルは次の式4のようなレベルを有するように調整される。
【0018】
【数4】
【0019】
式4のようにスイッチング抵抗部310、320の各抵抗値RX、RYを調整することにより内部電源電圧VINTのレベルを調整しうる。
【0020】
図4に示された本発明の他の実施例による半導体装置の内部電圧変換回路は比較器130、プルアップトランジスター140、スイッチング抵抗部410、420、スイッチング信号発生部330、テストモード信号発生部340、比較器150及びプルアップトランジスター160を含んで構成されている。比較器130はフィードバックラインに印加されるフィードバック電圧と半導体装置の内部から発生された所定の基準電圧VREFを比べ、フィードバック電圧が基準電圧より大きな場合には“ハイ”レベルを、小さい場合には“ロー”レベルを出力する。テストモード信号発生部340及びスイッチング信号発生部330は図3の説明と同一であり、スイッチング抵抗部410、420は各々スイッチング抵抗部310、320と同一に構成しうる。比較器150は内部電源電圧VINTとプルアップトランジスター140のドレイン端子に電圧を比べ、プルアップトランジスター160のゲートには比較器150の出力が印加される。
【0021】
このような構成を有する内部電圧変換回路においてスイッチング抵抗部410、420の抵抗を各々RV、RWとすれば内部電源電圧の大きさは次の式5のように示しうる。
【0022】
【数5】
【0023】
図5は本発明のさらに他の実施例による半導体装置の内部電圧変換回路を示したブロック回路図であつて、特に半導体メモリ装置において周辺回路のための内部電源とメモリセルアレーのための内部電源のレベルを変えて使おうとする場合を示したものである。
【0024】
図5において、内部電圧変換回路は比較器110、130、プルアップトランジスター120、140、スイッチング抵抗部310、320、410、420、スイッチング信号発生部330及びテストモード信号発生部340を含んで構成されている。プルアップトランジスター140のドレインは半導体メモリ装置の周辺回路を駆動するための内部電源電圧VINT Pが出力される周辺回路電源出力端子に連結されており、プルアップトランジスター120のドレインは半導体メモリ装置のセルアレーを駆動するための内部電源電圧VINT Aを出力するアレー電源出力端子に連結されている。
【0025】
このような構成を有する内部電圧変換回路において、スイッチング抵抗部310、320、410、420の抵抗を各々RX、RY、RV、RWとすれば、周辺回路電源出力端子の電圧レベルは前記式5のようであり、アレー電源出力端子の電圧レベルは前記式4のようである。
【0026】
図6は図3乃至図5に示されたスイッチング抵抗部等の具体的な回路図であって、ブロック510はスイッチング抵抗部310または410、ブロック520はスイッチング抵抗部320または420の具体的な回路図である。
【0027】
図6を参照すれば、PMOSトランジスター511のドレイン及びゲートを共通連結してダイオードを構成している。PMOSトランジスター512のソースはPMOSトランジスター511のドレインに連結されており、そのゲートは接地されている。PMOSトランジスター513のソースはPMOSトランジスター511のドレインに連結されており、ゲートにはスイッチング信号PIVCC0が印加される。PMOSトランジスター514のソースはPMOSトランジスター512、513のドレインに各々共通連結され、ゲートが接地されており、そのドレインはフィードバックラインに連結されている。PMOSトランジスター515のソースはPMOSトランジスター512のドレイン及びPMOSトランジスター513のドレインに共通連結されており、そのゲートにはスイッチング信号PIVCC1が印加され、そのドレインはフィードバックラインに連結されている。このような構成を有するブロック510の抵抗はスイッチング信号PIVCC0、PIVCC1により変化されるが、これを具体的に説明すれば次のようである。PMOSトランジスター511の各端子等が図面のように連結された場合の抵抗をRPL、PMOSトランジスターが“オン”された場合の抵抗をRPON、PMOSトランジスターが“オフ”される場合の抵抗をRPOFFとすれば、ブロック510の抵抗値R510はスイッチング信号PIVCC0、PIVCC1により次の式6乃至9のような値を示す。
【0028】
【数6】
【0029】
一般的に、PMOSトランジスターの“オフ”抵抗は“オン”抵抗より大きい。よって、スイッチング信号PIVCC0,PIVCC1を変えてブロック510の抵抗値が変えられる。
【0030】
図6において、ブロック520は図3乃至図5における抵抗部320またはスイッチング抵抗部420の実施例を示したものであって、4つのPMOSトランジスター521、522、523、524よりなる。PMOSトランジスター521、523のゲートは接地電圧に連結されているため常に“オン”されることに反し、PMOSトランジスター522、524はそのゲートにスイッチング信号PIVCC2,PIVCC3が印加される。従って、ブロック520の抵抗値R520はスイッチング信号PIVCC2,PIVCC3により変えられ、これを次の式10乃至式13に示した。
【0031】
【数7】
【0032】
図6において、スイッチング抵抗部をPMOS等を使用して具現したものであるが、スイッチング特性があり、それにより抵抗値が変換されれば他の素子等を用いてスイッチング抵抗部等を具現することができる。
【0033】
図7は図3乃至図5に示されたテストモード信号発生部の具体的な回路図であって、特に半導体メモリ装置においてチップ外部から印加される信号に因して発生される第1制御信号ΦBによりテストモード信号信号PFTEを発生させる。図7において、PR、PC、PW、PROR及びPCBR信号は半導体ダイナミックランダムアクセスメモリ装置におけるチップ外部から印加される信号に基づきチップ内部から発生される信号であって、図10のタイミング図に基づき説明する。通常のメモリ動作である読出及び書込動作はローアドレスストローブRAS信号が先にアクティブされ、それと同時にアドレスピンに印加される信号がローアドレスに入力され、引続きカラムアドレスストローブCAS信号アクティブされると共にアドレスピンに印加される信号がカラムアドレスに入力される。しかし、正常的なメモリの読出、書込動作とは異なり、製造工程後のテスト段階において各メモリセルの不良有無に対したテストを行うためには、書込イネーブル信号WEBを先にアクティブさせ、次いでカラムアドレスストローブ信号CASB及びローアドレスストローブ信号RASBを順次的にアクティブさせ半導体メモリ装置をテストモード(WCBRモード)に設定させる。
【0034】
図10において、テストモード設定期間T1を参照すれば、書込イネーブル信号WEB、カラムアドレスストローブ信号CASB、ローアドレスストローブ信号RASBが順次的にアクティブされた後、所定時間遅延されてPWC BR信号及びテストモード信号PFTEが順次的にアクティブされテストモードが設定される。テストモード信号PFTEがアクティブされてからスイッチング信号PIVCC0,PIVCC1、PIVCC2,PIVCC3が発生され、これと共に発生されたスイッチング信号PIVCC0,PIVCC1,PIVCC2,PIVCC3はテストモード時間T2の間−定に保たれる。
【0035】
再び図7を参照すれば、PR信号はローアドレスストローブ信号RASBに基づき発生される信号であって、ローアドレスストローブ信号RASBがアクティブされた後、所定期間経過して“ハイ”レベルにアクティブされる。PC信号はカラムアドレスストローブ信号CASBに基づき発生される信号であって、カラムアドレスストローブ信号CASBがアクティブされた後、所定期間遅延され“ハイ”レベルとなる。PW信号は書込イネーブル信号WEBがアクティブされた後、所定期間遅延されアクティブされる信号である。PROR信号はROR(RASB ONLY REFRESH)リフレッシュモード時にイネーブルされる信号であり、PCBR信号はCBR(CASB BEFORE RASB)リフレッシュモード時にイネーブルされる信号である。即ち、PROR信号はローアドレスストローブ信号のみがリフレッシュされる際アクティブされる信号であり、PCBR信号はカラムアドレスストローブ信号CASBがアクティブされた後ローアドレスストローブ信号RASBがアクティブされる際発生される信号である。NANDゲート341、342で構成されたフリップフロップはPR信号が“ロー”レベルならその出力が“ハイ”レベルにセットされ、PC信号が“ロー”レベルならその出力が“ロー”レベルにリセットされる。NANDゲート343及びインバータ344によりPR信号及びPW信号が論理積される。NANDゲート345はフリップフロップ355の出力とインバータ344の出力を論理積反転する。NANDゲート346、347よりなるフリップフロップ356はNANDゲート345の出力が“ロー”レベルの場合にセットされ、PR信号が“ロー”レベルの場合にリセットされる。インバータ348はフリップフロップ356の出力を反転してPWCBR信号を出力する。そして、PWCBR信号は書込イネーブル信号WEB、カラムアドレスストローブ信号CASB、ローアドレスストローブ信号RASBが順次的にアクティブされる場合に“ハイ”レベルにアクティブされる(図10参照)。インバータ349はPWCBR信号を反転し、NORゲート350はPROR信号とPCBR信号とを論理和、反転して出力する。NANDゲート351、352よりなるフリップフロップ357はPWCBR信号が“ハイ”レベルの場合セットされ“ハイ”レベルとなり。PROR信号とPCBR信号の中何れかが“ハイ”レベルの場合リセットされ“ロー”レベルとなる。そして、書込イネーブル信号WEBとは関係なくカラムアドレスストローブ信号CASBアクティブされた後ローアドレスストローブ信号RASBがアクティブされると、図10のT3期間からわかるように、テストモード信号PFTEがインアクティブ状態に転換される。再び図7において、インバータ353、354はフリップフロップ357の出力を遅延してテストモード信号PFTEを出力する。このようなテストモード信号発生部340の実施例によれば、図3乃至図5においてテストモード信号発生部340に印加される第1制御信号ΦBには書込イネーブル信号WEB、カラムアドレスストローブ信号CASB、ローアドレスストローブ信号RASBが含まれ、図7においてはPR信号、PC信号、PW信号、PROR信号及びPCBR信号の発生に関した回路等は略したが前記説明に基づき当業者が容易に具現しうる。
【0036】
図8は図3乃至図5に示されたスイッチング信号発生部の実施例を示す回路図であって、入力部360、伝送ゲート部370、ラッチ部380及びデコーディング部390で構成されている。入力部360はNANDゲート36L362で構成され入力制御信号PSVA0が“ハイ”レベルの場合にチップ外部からアドレスピンを通して印加される信号であるA1とA2とを反転して出力する。伝送ゲート部370はインバータ372及び2つの伝送ゲート371、373で構成されテストモード信号PFTEが“ロー”レベルの場合に入力部360の出力を伝送させる。伝送ゲート部370の出力はインバータ381、382、383、384で構成されたラッチ部380によりラッチされる。そしてラッチ部380の出力はテストモード信号PFTEが“ハイ”レベルの期間の間−定に保たれる。インバータ391、392及びNANDゲート393、394、395、396よりなるデコーディング部はテストモード信号PFTEが“ハイ”レベルの場合にはラッチ部の出力をデコーディングしてスイッチング信号PIVCC0,PIVCC1、PIVCC2,PIVCC3を出力し、テストモード信号PFTEが“ロー”レベルの場合には全て“ハイ”レベルのスイッチング信号PIVCC0、PIVCC1、PIVCC2、PIVCC3を出力する。従って、テストモードの場合には外部から印加される信号A0、A1に応じるスイッチング信号PIVCC0、PIVCC1、PIVCC2、PIVCC3が発生されるに反し、テストモードでない場合にはスイッチング信号PIVCC0、PIVCC1、PIVCC2、PIVCC3が全て“ハイ”レベルとなって図3乃至図5に示された各スイッチング抵抗部に含まれたPMOSトランジスター513、515、522、524は全て遮断状態である。従って、テストモード時間でない場合に、内部電圧変換回路は図6のNMOS512、514、521、523のみにより形成される抵抗値の分配により決められる一定した電圧レベルの電源電圧を半導体装置の内部回路に供給することになる。
【0037】
図9は図8に示されたスイッチング信号発生部において使用される入力制御信号PSVA0を発生する入力制御信号発生部の具体的な回路図であって、2つのPMOSトランジスター401、402と1つのNMOSトランジスター403で構成されている。NMOSトランジスター403のゲートには内部電源が連結されているため常に導通状態を保つことになる。PMOSトランジスター401のゲートは接地されており、そのソースにはテストモードのおいて外部から印加される高電圧レベルの信号が印加される。
【0038】
図8及び図9に示されたスイッチング信号発生部330の実施例によれば、図3乃至図5に示されたスイッチング信号発生部330に印加される第2制御信号Φ2は各々アドレス入力ピン0、1、2に印加される信号A0、A1、A2を含む。
【0039】
図10は本発明による半導体装置の内部電圧変換回路動作を説明するためのタイミング図である。A1及びA2信号は各スイッチング抵抗部のスイッチングを制御する信号を発生するための信号であり、A0はA1及びA2信号を入力するかを制御するための信号であり、RASB、CASB、WEB信号はテストモードの設定及び解除のための信号であって、半導体チップの外部から印加される信号である。PWCBR、PFTE、PIVCC0−3信号は半導体チップの外部から印加される信号により内部電圧変換回路を制御するためチップ内部から発生される信号である。T1期間はテストモードが設定され、T2期間はテストが行われる期間であり、T3期間はテストモードが解除される期間である。
【0040】
図11は本発明による半導体装置の内部電圧変換回路の出力特性を示すグラフであって、図6に示されたようにスイッチング抵抗部を構成する場合における出力特性を示す。図11において、1はスイッチング信号PIVCC2、PIVCC3が“ロー”レベルであり、スイッチング信号PIVCC0またはPIVCC1が“ハイ”レベルの場合を示し、2はスイッチング信号PIVCC0、PIVCC1、PIVCC2、PIVCC3が全て“ハイ”レベルの場合を示し、3はスイッチング信号PIVCC2またはPIVCC3が“ハイ”レベルであり、スイッチング信号PIVCC0、PIVCC1が“ロー”レベルの場合を示したものである。
【0041】
【発明の効果】
前記したような半導体装置の内部電圧変換回路は内部電源の電圧レベルをチップの外部から印加される信号により調整できるのでテスト段階で内部電源の電圧レベルを多様に印加してテストが行える。よって、テスト段階における不良品に対するスクリーン機能が向上でき製品に対した信頼度を増加させうる。本発明は前記実施例に限定されなく、多くの変形が本発明の思想内で当分野の通常の知識を有する者により可能であることは明白である。
【図面の簡単な説明】
【図1】 従来の技術による半導体装置の内部電圧変換回路の一例を示した図面である。
【図2】 従来の技術による半導体装置の内部電圧変換回路の他の例を示した図面である。
【図3】 本発明の一実施例による半導体装置の内部電圧変換回路を示したブロック回路図である。
【図4】 本発明の他の実施例による半導体装置の内部電圧変換回路を示したブロック回路図である。
【図5】 本発明のさらに他の実施例による半導体装置の内部電圧変換回路を示したブロック回路図である。
【図6】 図3乃至図5に示されたスイッチング抵抗部の具体的な回路図である。
【図7】 図3乃至図5に示されたテストモード信号発生部の具体的な回路図である。
【図8】 図3乃至図5に示されたスイッチング信号発生部の具体的な回路図である。
【図9】 図8に示されたスイッチング信号発生部で使用される入力制御信号PSVA0を発生する入力制御信号発生部の具体的な回路図である。
【図10】 本発明による半導体装置の内部電圧変換回路の動作を説明するための動作タイミング図である。
【図11】 本発明による半導体装置の内部電圧変換回路の出力特性を示すグラフである。
【符号の説明】
110 比較器、120 プルアップトランジスター、310,320 スイッチング抵抗部、330 スイッチング信号発生部、340 テストモード信号発生部
Claims (10)
- パッケージ組立後に外部から内部供給電源のレベルが調整しうる半導体装置の内部電圧変換回路であって、
内部電源電圧が出力される内部電源端子と、
フィードバックラインと、
前記半導体装置の内部から発生された所定の基準電圧と前記フィードバックラインを経て印加される電圧を比較する比較器と、
一端子が前記半導体装置の外部から印加される電源電圧に連結されており、その制御端子が前記比較器の出力に連結されており、その他端子が前記内部電源端子に連結されているプルアップトランジスターと、
前記半導体装置の外部から印加される第1制御信号の組合でテストモード信号を発生するテストモード信号発生部と、
前記テストモード信号がアクティブの場合に半導体装置の外部から印加される第2制御信号により第1及び第2スイッチング信号を発生させ、前記テストモード信号がインアクティブの場合には前に発生された第1及び第2スイッチング信号を保ちながら出力するスイッチング信号発生部と、
前記内部電源端子と接地電圧間に直列に連結されており、各々第1及び第2スイッチング信号によりスイッチングされその抵抗値が変換される第1及び第2スイッチング抵抗部を具備し、
前記第1及び第2スイッチング抵抗部の連結点が前記フィードバックラインに連結されていることを特徴とする半導体装置の内部電圧変換回路。 - 前記プルアップトランジスターはPMOSトランジスターであることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置の内部電圧変換回路。
- 前記第1スイッチング抵抗部は前記内部電源端子と前記フィードバックライン間に直列連結されている少なくとも1つ以上の結合トランジスター等を具備するものであって、各結合トランジスターは、
第1端子、第2端子及び制御端子を有し、常に導通状態にある第1トランジスターと、
第1端子、第2端子及び制御端子を有し、その制御端子には前記第1スイッチング信号の何れかが印加され、第1端子は前記第1トランジスターの第1端子に連結されており、第2端子は前記第1トランジスターの第2端子に連結されている第2トランジスターで構成されていることを特徴とする請求項1記載の半導体装置の内部電圧変換回路。 - 前記第1トランジスターはそのケートが接地されているPMOSトランジスターで構成され、前記第2トランジスターはそのゲートに前記第1スイッチング信号の中の何れかが印加されるPMOSトランジスターで構成されることを特徴とする請求項3に記載の半導体装置の内部電圧変換回路。
- 前記第2スイッチング抵抗部は前記フィードバックラインと接地電圧との間に直列連結されている少なくとも1つ以上の結合トランジスター等を具備するものであって、各結合トランジスターは、
第1端子、第2端子及び制御端子を有し、常に導通状態にある第1トランジスターと、
第1端子、第2端子及び制御端子を有し、そのゲートには前記第2スイッチング信号等の何れかが印加され、第1端子は前記第1トランジスターの第1端子に連結されており、第2端子は前記第1トランジスターの第2端子に連結されている第2トランジスターで構成されていることを特徴とする請求項1記載の半導体装置の内部電圧変換回路。 - 前記第1トランジスターはそのゲートが接地されているPMOSトランジスターで構成され、前記第2トランジスターはそのゲートに前記第2スイッチング信号の中の何れかが印加されるPMOSトランジスターで構成されることを特徴とする請求項4に記載の半導体装置の内部電圧変換回路。
- 前記スイッチング信号発生部は、
前記第2制御信号を所定の入力制御信号に同期して入力する入力部と、
前記テストモード信号がアクティブの場合に前記入力部の出力を伝送させる伝送ゲート部と、
前記伝送ゲート部の出力をラッチするラッチ部と、
前記ラッチ部の出力をデコーディングして前記第1及び第2スイッチング信号を出力するデコーディング部を具備することを特徴とする請求項1に記載の半導体装置の内部電圧変換回路。 - 前記入力制御信号を出力する人力制御信号出力端子と、
テストモードで外部から印加される高電圧レベルの信号がソース端子に印加され、そのゲートに接地電圧が印加される第1PMOSトランジスターと、
前記第1PMOSトランジスターのドレインにそのソースが連結されており、そのゲート及びドレインが前記入力制御信号出力端子に共通連結されている第2PMOSトランジスターと、
そのドレインが前記入力制御信号出力端子に連結されており、そのゲートが電源電圧に連結されており、そのソースが接地電圧に連結されているNMOSトランジスターで構成される入力制御信号発生部をさらに具備することを特徴とする請求項7に記載の半導体装置の内部電圧変換回路。 - パッケージ組立後に外部から内部供給電源のレベルが調整しうる半導体装置の内部電圧変換回路であって、
内部電源電圧が出力される内部電源端子と、
フィードバックラインと、
前記半導体装置の内部から発生された所定の基準電圧と前記フィードバックラインを経て印加される電圧を比較する第1比較器と、
一端子が前記半導体装置の外部から印加される電源電圧に連結されており、その制御端子が前記比較器の出力に連結されている第1プルアップトランジスターと、
前記半導体装置の外部から印加される第1制御信号の組合でテストモード信号を発生するテストモード信号発生部と、
前記テストモード信号がアクティブの場合に半導体装置の外部から印加される第2制御信号により第1及び第2スイッチング信号を発生させ、前記テストモード信号がインアクティブの場合には前に発生された第1及び第2スイッチング信号を保ちながら出力するスイッチング信号発生部と、
前記第1プルアップトランジスターのソースと前記フィードバックラインとの間に連結されており、前記第1スイッチング信号によりスイッチングされその抵値が変換される第1スイッチング抵抗部と、
フィードバックラインと接地電圧との間に連結されており、前記第2スイッチング信号によりスイッチングされその抵抗値が変換される第2スイッチング抵抗部と、
前記第1プルアップトランジスターの他端子に示される電圧と前記内部電源端子の電圧を比べる第2比較器と、
一端子が電源電圧に連結されており、制御端子に前記第2比較器の出力が印加され、他端子が前記内部電源端子に連結されている第2プルアップトランジスターとを具備することを特徴とする半導体装置の内部電圧変換回路。 - パッケージ組立後に外部から内部供給電源のレベルが調整しうる半導体装置の内部電圧変換回路であって、
半導体メモリ装置の内部回路中周辺回路を駆動するための電源電圧が出力される周辺回路電源出力端子と、
半導体メモリ装置のメモリセルアレーを駆動するための電源電圧が出力されるアレー電源出力端子と、
第1及び第2フィードバックラインと、
各々前記半導体装置の内部から発生された所定の基準電圧と前記第1及び第2フィードバックラインに印加される電圧を比較する第1及び第2比較器と、一端子が前記半導体装置の外部から印加される電源電圧に連結されており、その制御端子に前記第1比較器の出力が印加される第1プルアップトランジスターと、
一端子が前記半導体装置の外部から印加される電源電圧に連結されており、制御端子に前記第2比較器の出力が印加され、他端子が前記アレー電源出力端子に連結されている第2プルアップトランジスターと、
前記半導体装置の外部から印加される第1制御信号の組合でテストモード信号を発生するテストモード信号発生部と、
前記テストモード信号がアクティブの場合に半導体装置の外部から印加される第2制御信号により第1、第2、第3及び第4スイッチング信号を発生させ、前記テストモード信号がインアクティブの場合には前に発生された第1、第2、第3及び第4スイッチング信号を保ちながら出力するスイッチング信号発生部と、
前記第1プルアップトランジスターの他端子と前記第1フィードバックラインとの間に連結されており、前記第1スイッチング信号によりスイッチングされその抵抗値が変換される第1スイッチング抵抗部と、
前記第1フィードバックラインと接地電圧との間に連結されており、前記第2スイッチング信号によりスイッチングされその抵抗値が変換される第2スイッチング抵抗部と、
前記アレー電源出力端子と前記第2フィードバックラインとの間に連結されており、前記第3スイッチング信号によりスイッチングされその抵抗値が変換される第3スイッチング抵抗部と、
前記第2フィードバックラインと接地電圧との間に連結されており、前記第4スイッチング信号によりスイッチングされその抵抗値が変換される第4スイッチング抵抗部と、
前記第1プルアップトランジスターの他端子に示される電圧と前記周辺回路電源端子の電圧を比べる第2比較器と、
一端子が電源電圧に連結されており、制御端子に前記第2比較器の出力が印加され他端子が前記内部電源端子に連結されている第3プルアップトランジスターを具備することを特徴とする半導体装置の内部電圧変換回路。
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