JP3793564B2

JP3793564B2 - Optical fiber array and manufacturing method thereof

Info

Publication number: JP3793564B2
Application number: JP2001358404A
Authority: JP
Inventors: 善宏小林
Original assignee: Kyocera Corp
Current assignee: Kyocera Corp
Priority date: 2001-11-22
Filing date: 2001-11-22
Publication date: 2006-07-05
Anticipated expiration: 2021-11-22
Also published as: JP2003161854A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、光通信等に使用される光コネクタや光モジュール等に用いられる光ファイバや光半導体素子等を保持するための複数本の光ファイバを整列させるための光ファイバアレイおよびその製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、光ファイバアレイとして、図４に示す分解斜視図のように複数本のＶ溝３１ａを有するガイド基板３１に複数本の光ファイバ３３を整列し、その上方より押さえ板３２で押さえ、光ファイバ３３を挟んで固定していた。このような光ファイバアレイは、光ファイバ３３の被覆を除去した芯線の先端側にガラス部３３ａ、芯線根元側に表面を金属メッキしてなるメタライズ部３３ｃとし、その後方を被覆部３３ｂとし、上記光ファイバ３３のメタライズ部３３ｃを半田３６によって保持していた。また、光ファイバ３３の被覆部３３ｂは、ガイド基板３１の後方に段差を設けてなる平坦部３１ｃに一体的に接着剤によって保持されるようになっていた（特開平７−２３４３２１号公報参照）。
【０００３】
しかし、図４に示すような光ファイバアレイは、光ファイバ３３のガラス部３３ａが固定されていないために、温度環境の変化によって光ファイバ３３の端面位置がガイド基板３１のＶ溝３１ａからズレやすく、パッケージとして用いた際、他の光ファイバの端面や受発光素子との結合性が低下しやすいという欠点を有していた。
【０００４】
これはガイド基板３１、押さえ板３２、光ファイバ３３及び半田３６との間で熱膨張係数が異なるために、温度環境の変化が繰り返されるうちに固定されていない光ファイバ３３のガラス部３３ａに位置ズレが発生するためである。
【０００５】
近年、複数の光ファイバ３３の端面の中心位置が位置精度１μｍ以下で整列することが要求されているが、初期段階ではこの寸法精度が達成できるものの、長期間の使用によってズレが生じるという欠点を有していた。
【０００６】
そこで、上述の欠点を解消するために、図５に示すように、光ファイバ４３の芯線先端側にメタライズを施してなるメタライズ部４３ｃとし、Ｖ溝４１ａ及び平坦部４１ｃを有するガイド基板４１と、押さえ板４２との間に光ファイバ４３を保持し、光ファイバ４３のメタライズ部４３ｃを半田４６によって固定し、さらにその後方の光ファイバ４３のガラス部４３ａを接着剤によって固定してなる光ファイバアレイが提案されている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、図５に示すような光ファイバアレイは、光ファイバ４３の先端にメタライズを施したメタライズ部４３ｃが形成され、該メタライズ部４３ｃを半田４６によって固定するため、光ファイバ４３の端面に半田４６が付着しやすく、図５に示すようにガイド基板４１と光ファイバ４３の隙間に半田４６が介在してしまうため、光ファイバ４３の位置精度が低下し、光ファイバアレイとしてパッケージ等に用いる際、他の光ファイバの端面や受発光素子との結合性が低下しやすいという欠点を有していた。
【０００８】
また、光ファイバ４３のメタライズ部４３ｃを形成する際、その厚みにばらつきが生じやすく、ガイド基板４１のV溝４１ａに配列した場合、各光ファイバ４３の芯線の位置にばらつきが生じやすいという欠点を有していた。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明の光ファイバアレイは、光ファイバと、該光ファイバを保持する溝を有するガイド基板と、上記光ファイバを上方より固定する押さえ板と、を備える光ファイバアレイであって、上記光ファイバは、該光ファイバの被覆を除去した芯線先端側のガラス部を接着剤によって保持され、且つ上記光ファイバの芯線根元側に形成されたメタライズ部が半田により保持されるとともに、上記押さえ板は、上記ガラス部と上記メタライズ部の境界部から上記光ファイバの芯線先端側に臨む位置に接着剤充填用の窓部を有することを特徴とする。
【００１０】
また、本発明の光ファイバアレイは、上記ガイド基板及び押さえ板に、光ファイバのメタライズ部及び被覆部の各厚みに対応する段差を設けたことを特徴とするものである。
【００１１】
さらに、本発明の光ファイバアレイの製造方法は、上記ガイド基板のＶ溝に上記ガイド基板のＶ溝に光ファイバのガラス部及びメタライズ部を配列する工程と、上記光ファイバのメタライズ部に対応する位置に予め半田を塗布した押さえ板によって光ファイバを挟み、半田を再度溶融させて固定する工程と、押さえ板の窓部より接着剤を流し込んで上記光ファイバのガラス部、ガイド基板及び押さえ板とを接着固定する工程とからなることを特徴とするものである。
【００１２】
本発明の光ファイバアレイによれば、上記押さえ板に接着剤充填用の窓部を設けるとともに、上記光ファイバの被覆を除去した芯線先端側のガラス部を接着剤によって保持し、且つ上記芯線根元側にメタライズ部を形成して半田により保持することから、位置精度の優れたものであり、その先端に接続される光ファイバや受発光素子等との結合性を高いものとできるため、高精度な光ファイバアレイを得ることができるとともに、光ファイバのメタライズ部に半田付けすることから、パッケージに実装した際にこの半田によってパッケージと光ファイバアレイを気密封止することができる。
【００１３】
また、本発明の光ファイバアレイによれば、上記ガイド基板及び押さえ板に、光ファイバのメタライズ部及び被覆部の各厚みに対応する段差を設けたことから、光ファイバのメタライズ部及び被覆部の厚みに応じて、高精度に整列させることができ、光ファイバに傷等が生じるのを防止することができる。
【００１４】
さらに、本発明の光ファイバアレイの製造方法によれば、上記ガイド基板のＶ溝に光ファイバのガラス部及びメタライズ部を配列する工程と、上記光ファイバのメタライズ部に対応する位置に予め半田を塗布した押さえ板によって光ファイバを挟み、半田を再度溶融させて固定する工程と、押さえ板の窓部より接着剤を流し込んで上記光ファイバのガラス部、ガイド基板及び押さえ板とを接着固定する工程とからなることから、光ファイバのガラス部をＶ溝上に高い位置精度で強固に固定でき、メタライズ部を半田付けしているため気密封止できることから、温度変化に対しても位置ズレが発生することはなく、高精度な光ファイバアレイを得ることができる。
【００１５】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態について図面を用いて説明する。
【００１６】
図１（ａ）は本発明の光ファイバアレイの一実施形態を示す斜視図であり、（ｂ）は同図（ａ）の分解斜視図である。
【００１７】
本発明の光ファイバアレイは、光ファイバ３を整列するＶ溝１ａ、１ｂを有するガイド基板１と、上記Ｖ溝１ａ、１ｂに保持された光ファイバ３をその上方より固定する押さえ板２とからなる。
【００１８】
上記ガイド基板1は、その一方の主面の先端側に複数本の第１Ｖ溝１ａが設けられており、該第１Ｖ溝１ａは光ファイバ３の芯線先端側のガラス部３ａを配列し、第１Ｖ溝１ａに連続して第２Ｖ溝１ｂが形成されており、光ファイバ３の芯線根元側のメタライズ部３ｃを配列する。そして、第２Ｖ溝１ｂの後方には平坦部１ｃが形成されており、光ファイバ３の被覆部３ｂを保持する作用をなす。
【００１９】
上記ガイド基板１は、シリコン材料に第１Ｖ溝１ａ及び第２Ｖ溝１ｂをエッチング加工することによって、もしくはセラミックス、ガラス、石英等を第１Ｖ溝１ａ及び第２Ｖ溝１ｂを切削、研削加工、プレス等によって作製され、少なくとも光ファイバ３のガラス部３ａが接触する面、即ち第１Ｖ溝１ａの表面は、鏡面に仕上げておく必要がある。これは、表面粗さが粗いと光ファイバ３のガラス部３ａに傷をつけてしまい、光ファイバ３を固定する際に用いられる接着剤５によって覆われていても、長期間使用中に傷が進行して光ファイバ３の破断につながる恐れがあるためである。
【００２０】
また、ガイド基板１の少なくとも光ファイバ３のメタライズ部３ｃが接触する面、即ち第２Ｖ溝１ｂの表面は、メタライズ処理されている必要がある。このメタライズ処理は、先ず下地として蒸着、スパッタリング等の薄膜処理をした後、Ｎｉメッキを施しその上にＡｕメッキで金属メッキ仕上げしておくことが望ましい。金属メッキ表面がＡｕであることにより、高温高湿条件でも劣化しない安定した表面が得られる。
【００２１】
さらに、上記ガイド基板１の上方には押さえ板２が接合されており、光ファイバ３をガイド基板１とともに挟み込んで固定する作用を成す。
【００２２】
上記押さえ板２は、ガイド基板１と同様シリコン、セラミックス、ガラス、石英、金属、プラスチックス等の材料から成り、ガイド基板１の第１Ｖ溝１ａ、第２Ｖ溝１ｂ及び平坦部１ｃの長さに一致するように二段の段差が形成されており、先端側より第１平坦部２ａ、第２平坦部２ｂ及び第３平坦部２ｃを備えている。上記第２平坦部２ｂは、光ファイバ３のメタライズ部３ｃの厚み以上とする必要があり、第３平坦部２ｃは、光ファイバ３の被覆部３ｂの厚み以上に形成する。
【００２３】
上記押さえ板２は、上記ガイド基板１と同様、少なくとも光ファイバ３のガラス部３ａが接触する面、即ち第１平坦部２ａの表面は、鏡面に仕上げておく必要がある。これは、表面粗さが粗いと光ファイバ３のガラス部３ａに傷をつけてしまい、光ファイバ３を固定する際に用いられる接着剤５によってその周囲を覆われていても、長期間の使用によって傷が進行して光ファイバ３の破断につながる恐れがあるためである。
【００２４】
また、押さえ板２の少なくとも光ファイバ３のメタライズ部３ｃが接触する面、即ち第２平坦部２ｂの表面は、メタライズ処理されている必要がある。先ず、下地として蒸着、スパッタリング等の薄膜処理をした後、Ｎｉメッキを施しその上にＡｕメッキで金属メッキ仕上げしておくことが望ましい。金属メッキ表面がＡｕであることにより、高温高湿条件でも劣化しない安定した表面が得られる。
【００２５】
上記押さえ板２には接着剤充填用の窓部４が備えられていることが重要である。
【００２６】
上記ガイド基板1及び押さえ板２の間に挟み込まれて固定される光ファイバ３は、先端側に被覆を除去した芯線と、その後方に被覆部３ｂを備えており、上記芯線先端側をガラス部３ａとし、芯線根元側はメタライズを施したメタライズ部３ｃとしている。
【００２７】
上記光ファイバ３は、ガイド基板１の第１Ｖ溝１ａ及び押さえ板２の第１平坦部２ａに対応する部分に光ファイバ３のガラス部３ａが保持され、第２Ｖ溝１ｂ及び押さえ板２の第２平坦部２ｂに対応する部分には、メタライズ部３ｃが保持され、さらにその後端側はガイド基板１の平坦部１ｃ及び押さえ板２の第３平坦部２ｃによって被覆部３ｂが保持される。
【００２８】
これら光ファイバ３を保持するには、光ファイバ３のガラス部３ａ及び被覆部３ｂを接着剤５で、メタライズ部３ｃを半田６によって接着固定するものであり、ガラス部３ａを接着剤５で固定することによって、光ファイバ３の端面に半田６が付着することはなく、光ファイバ３のガラス部３ａがガイド基板１の第1Ｖ溝１ａに直接整列できるため、光ファイバ３の先端における芯線の位置精度を１μｍ以内として光ファイバアレイとしてパッケージに搭載した際、温度変化等の環境変化のもとにおいても長期間に渡って、光ファイバ３の先端に接続される他の光ファイバや受発光素子等と精度良く結合することが可能となり、接続損失を小さなものとできる。
【００２９】
また、上記光ファイバ３のガラス部３ａを接着剤５によって固定するには、押さえ板２に形成された窓部４より接着剤５を充填することができるため、光ファイバ３のガラス部３ａを容易に、且つ高い位置精度で保持することができる。
【００３０】
上記押さえ板２に形成された窓部４は、光ファイバ３のガラス部３ａ及びメタライズ部３ｃの境界部に設けることが好ましく、ガラス部３ａの周囲を接着剤５が覆うようにすることが好ましい。
【００３１】
上記光ファイバ３のガラス部３ａ及び被覆部３ｂを保持する接着剤５としては、様々な接着剤を用いることができるが、樹脂系接着剤を用いることが好ましく、長期間に渡って劣化することがなく、安定した固定強度を保持できるためであり、これら樹脂系接着剤として光硬化型接着剤もしくはエポキシ接着剤を用いることが好ましい。さらに、低融点ガラスを用いることがより好ましく、光ファイバアレイをパッケージに搭載して用いた際、上記樹脂系接着剤を用いた場合には長期間の使用にともなって硬化が進行することにより、微量なガスを発生する恐れがあるため、光ファイバアレイをパッケージに気密固定したとしてもＬＤ等の受発光素子にガスが付着しやすく、レーザ発振性能を悪化させる恐れがある。そのため、ガス発生の可能性がなくその接合自体で気密がとれるとともに、強固な接合が可能な低融点ガラスを用いることがより好ましい。
【００３２】
また、光ファイバ３のメタライズ部３ｃは、芯線の根元側に下地として蒸着、スパッタリング等の薄膜処理をした後、Ｎｉメッキを施し、さらにその上面にＡｕメッキで金属メッキ仕上げしておくこと等によって形成される。金属メッキの表面がＡｕであることにより、高温高湿条件でも劣化しない安定した表面が得られる。なお、上記ガイド基板１及び押さえ板２に塗布されたメタライズと同様のものとすることが好ましい。
【００３３】
上記光ファイバ３のメタライズ部３ｃを接着固定する半田６は、Ａｕ８０％−Ｓｎ２０％半田が広く使用され、Ｐｂ−Ｓｎ系半田、Ａｕ−Ｓｎ系半田、Ａｇ−Ｓｎ系半田等様々な半田を用いることができる。
【００３４】
さらに、ガイド基板１と押さえ板２には、それぞれ光ファイバ３のガラス部３ａ、メタライズ部３ｃ、被覆部３ｂの厚みに応じて段差部を設けることによって、ガイド基板１に第1Ｖ溝1ａ、第２Ｖ溝１ｂ、平坦部１ｃを、押さえ板２に第１平坦部２ａ、第２平坦部２ｂ、第３平坦部２ｃを設けているため、光ファイバ３を強固に保持することができる。
【００３５】
またさらに、光ファイバ３の被覆部３ｂは、ガイド基板１の平坦部１ｃ及び押さえ板２の第３平坦部２ｃによって保持され、接着剤５を塗布し、真空吸引して強固に固定される。
【００３６】
なお、本発明に用いる光ファイバ３は、シングルモードファイバ、マルチモードファイバ、偏波依存ファイバ、零分散ファイバ、プラスチックファイバ等光ファイバのあらゆる種類のものも使用することができる。
【００３７】
ここで、上述のガイド基板１、押さえ板２及びこれらに保持される光ファイバ３からなる光ファイバアレイの製造方法を説明する。
【００３８】
先ず、第１Ｖ溝１ａ、第２Ｖ溝１ｂ及び平坦部１ｃを有するガイド基板１、
第１平坦部２ａ、第２平坦部２ｂ及び第３平坦部２ｃを有する押さえ板２を準備する。
【００３９】
次いで、上記ガイド基板１の第２Ｖ溝１ｂの表面及びそれと対向する押さえ板２の第２平坦部２ｂ表面にメタライズを施すとともに、光ファイバ３の被覆を除去した芯線の根元側にメタライズを施してメタライズ部３ｃを形成する。
【００４０】
その後、ガイド基板１の第２Ｖ溝１ｂ、押さえ板２の第２平坦部２ｂに予め半田を塗布しておき、上記ガイド基板１の第１Ｖ溝１ａ、第２Ｖ溝１ｂに複数本の光ファイバ３を載置する。
【００４１】
そして、光ファイバ３の上方より押さえ板２を押し当て、再度半田を溶かしてガイド基板１、光ファイバ３及び押さえ板２を固定一体化する。
【００４２】
次に、押さえ板２の窓部４より接着剤５を流し込んで、光ファイバ３のガラス部３ａとガイド基板１、押さえ板２とを接着剤５により固定する。
【００４３】
その後、ガイド基板１の平坦部１ｃ、押さえ板２の第３平坦部２ｃ、光ファイバ３の被覆部３ｂ間に接着剤５を塗布して真空吸引し、強固に固定することによって作製される。
【００４４】
上記構成によれば、ガイド基板１の第１Ｖ溝１ａ、押さえ板２の第１平坦部２ａによって光ファイバ３のガラス部３ａを接着剤５によって保持するため、芯線の位置精度を１μｍ以下の高精度で整列することができる。
【００４５】
また、ガイド基板１の第２Ｖ溝１ｂ、押さえ板２の第２平坦部２ｂによって光ファイバ３のメタライズ部３ｃを半田６によって強固に気密固定し、さらに、その後方をガイド基板１の平坦部１ｃ、押さえ板２の第３平坦部２ｃによって光ファイバ３の被覆部３ｂを固定するため光ファイバ３に断線を生じることなく強固に固定することができる。
【００４６】
以上説明したとおり、この発明の光ファイバアレイによれば、光ファイバ３の配列精度が１μｍ以内となり、光ファイバ３の引き抜き強度は１ｋｇｆ以上有する光ファイバアレイを得ることができる。
【００４７】
そして、上述のように得られた光ファイバアレイは、他の光ファイバアレイに備えられた光ファイバの端面を、光ファイバ３の端面に当接させて光コネクタとして用いたり、あるいは、光ファイバ３の端面に光導波路を接続したり、受発光素子を接続して光モジュールとして好適に用いることができる。
【００４８】
本発明の光ファイバアレイは、上述の実施形態に限定されるものではなく、
本発明の要旨を逸脱しない範囲であれば種々の変更は可能であり、上述の実施形態ではガイド基板１及び押さえ板２には、それぞれ光ファイバ３のガラス部３ａ、メタライズ部３ｃ及び被覆部３ｂを保持するための第１Ｖ溝1ａ、第２Ｖ溝１ｂ、及び第１平坦部２ａ、第２平坦部２ｂ、第３平坦部２ｃを形成しているが、図２に示す分解斜視図のようにガイド基板１１に複数本のＶ溝１１ａ及び平坦部１１ｃを設け、Ｖ溝１１ａによって光ファイバ３のガラス部１３ａとメタライズ部１３ｃを配列して保持し、平坦部１１ｃによって光ファイバ１３の被覆部１３ｂを保持するものでもよい。一方、これと対向する押さえ板１２には、長手方向に二段の段差を形成して第１平坦部１２ａ、第２平坦部１２ｂが形成されており、第１平坦部１２ａは光ファイバ１３のガラス部１３ａ及びメラタイズ部１３ｃを保持し、第２平坦部１２ｂは光ファイバ１３の被覆部１３ｂを保持する。
【００４９】
そして押さえ板１には接着剤充填用の窓部１４が形成されており、上述の実施形態と同様に光ファイバ１３の先端を高精度に保持することができる。
【００５０】
また、図３に示す分解斜視図のように、押さえ板２２に形成された窓部２４を中空穴ではなく切り欠きとして形成してもよく、この場合、半田２６によって光ファイバ２３を固定した後、光ファイバ２３のガラス部２３ａに接着剤２５を流し込み、窓部２４を固定部材２７によって押さえ込んで接着剤２５を硬化させることによって、高精度な整列が可能となる。
【００５１】
【実施例】
ここで、本発明の実施例を説明する。
【００５２】
先ず、図１に示すような光ファイバアレイを作製する。ガイド基板をシリコンから形成し、８本の第１Ｖ溝、第２Ｖ溝を形成するとともに、第２Ｖ溝の表面にはＮｉ―Ａｕ金属を蒸着メタライズした。
【００５３】
押さえ板をパイレックスガラスにて形成し、第１、第２、第３の平坦部を設け、第２平坦部にＮｉ―Ａｕ金属を蒸着メタライズした。
【００５４】
また、保持する光ファイバのメタライズ部にはＮｉ−Ａｕ金属を蒸着メタライズ処理することによってメタライズ部を形成した。
【００５５】
そして、８心の第１Ｖ溝に光ファイバのガラス部を配置し、光ファイバの端面が光ファイバアレイの端面から少し突出するように設置し、ガイド基板の第２Ｖ溝には光ファイバのＮｉ−Ａｕ金属メタライズ部を位置合わせし、押さえ板の第２平坦部に形成されたＮｉ―Ａｕ金属を蒸着メタライズ面とを合わせて、Ａｕ−Ｓｎ半田にて気密固定し、押さえ板の窓部より紫外線硬化型の接着剤を流し込んで、光ファイバの芯線部、ガイド基板及び押さえ板を固定する。
【００５６】
その後、ガイド基板の平坦部、押さえ板の第３平坦部及び光ファイバの被覆部を接着剤によって固定して本発明試料を作製した。
【００５７】
これに対し、比較例として従来の図５に示すような光ファイバアレイ試料を作製した。
【００５８】
先ず、上述と同様にガイド基板、押さえ板を準備し、それぞれ光ファイバを保持するＶ溝及び平坦部を形成し、光ファイバの芯線の先端側のメタライズ部を保持する部分にはＮｉ―Ａｕ金属を蒸着メタライズし、光ファイバの芯線の先端側にもＮｉ―Ａｕ金属をメタライズしてメタライズ部を形成した。
【００５９】
そして、ガイド基板に整列した光ファイバと押さえ板とを光ファイバのメタライズ部をＡｕ−Ｓｎ半田にて固定し、その後方の被覆部を接着剤にて保持し、比較例試料を作製した。
【００６０】
各試料は、ともに光ファイバ先端面の中心位置の芯間距離を初期段階で０．２４９８〜０．２５０２ｍｍとなるように８芯を配列調整しておき、下記の条件で熱衝撃試験を行い、試験前後の各光ファイバ先端面の中心位置における芯線間距離を測定した。
【００６１】
熱衝撃試験の試験条件は
温度 −４０℃〜＋８５℃
時間７０分／サイクル
（上限温度、下限温度３０分、遷移時間５分）
サイクル数２００サイクル
その結果を表１に示す。
【００６２】
なお、表１中には各試料の試験前後の芯線間距離の変動値を示しており、各試料の芯間の値７つを測定した距離のうち最大値を表示した。
【００６３】
【表１】

【００６４】
表１の結果より、従来例である光ファイバアレイ試料は、芯線間の変動値の平均値が０．００３１２ｍｍ、ばらつき０．００２７１５ｍｍで１０個中７個において０．００１ｍｍ以上の位置ずれが生じている。
【００６５】
これに対し、図１に示すような本発明の光ファイバアレイ試料は、変動値の平均値が０．０００１４ｍｍ、ばらつき０．００００９７ｍｍであり、０．００１ｍｍ以上のズレは生じておらず、温度変化においても位置ズレが生じないことが判った。
【００６６】
【発明の効果】
本発明の光ファイバアレイによれば、上記押さえ板に接着剤充填用の窓部を設けるとともに、上記光ファイバの被覆を除去した芯線先端側のガラス部を接着剤によって保持し、且つ上記芯線根元側にメタライズ部を形成して半田により保持することから、位置精度の優れたものであり、その先端に接続される光ファイバや受発光素子等との結合性を高いものとできるため、高精度な光ファイバアレイを得ることができるとともに、光ファイバのメタライズ部を半田付けすることから、パッケージに実装した際にこの半田付け部によってパッケージと光ファイバアレイを気密封止することができる。
【００６７】
また、本発明の光ファイバアレイによれば、上記ガイド基板及び押さえ板に、光ファイバのメタライズ部及び被覆部の各厚みに対応する段差を設けたことから、光ファイバのメタライズ部及び被覆部の厚みに応じて、高精度に整列させることができ、光ファイバに傷等が生じるのを防止することができる。
【００６８】
さらに、本発明の光ファイバアレイの製造方法によれば、上記ガイド基板のＶ溝に光ファイバのガラス部及びメタライズ部を配列する工程と、上記光ファイバのメタライズ部に対応する位置に予め半田を塗布した押さえ板によって光ファイバを挟み、半田を再度溶融させて固定する工程と、押さえ板の窓部より接着剤を流し込んで上記光ファイバのガラス部、ガイド基板及び押さえ板とを接着固定する工程とからなることから、光ファイバのガラス部をＶ溝上に高い位置精度で強固に固定でき、メタライズ部を半田付けしているため気密封止できることから、温度変化に対しても位置ズレが発生することはなく、高精度な光ファイバアレイを得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】（ａ）は本発明の光ファイバアレイの一実施形態を示す斜視図であり、（ｂ）は同図（ａ）の分解斜視図である。
【図２】本発明の光ファイバアレイの他の実施形態を示す分解斜視図である。
【図３】本発明の光ファイバアレイの他の実施形態を示す分解斜視図である。
【図４】従来の光ファイバアレイを示す分解斜視図である。
【図５】従来の光ファイバアレイを示す分解斜視図である。
【符号の説明】
１：ガイド基板
１ａ：第１Ｖ溝
１ｂ：第２Ｖ溝
１ｃ：平坦部
２：押さえ板
２ａ：第１平坦部
２ｂ：第２平坦部
２ｃ：第３平坦部
３：光ファイバ
３ａ：ガラス部
３ｂ：被覆部
３ｃ：メタライズ部
４：窓部
５：接着剤
６：半田[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to an optical fiber array for aligning a plurality of optical fibers for holding optical fibers and optical semiconductor elements used for optical connectors and optical modules used for optical communications and the like, and a method for manufacturing the same. Is.
[0002]
[Prior art]
Conventionally, as an optical fiber array, a plurality of optical fibers 33 are aligned on a guide substrate 31 having a plurality of V grooves 31a as shown in an exploded perspective view shown in FIG. The fiber 33 was sandwiched and fixed. Such an optical fiber array has a glass portion 33a on the front end side of the core wire from which the coating of the optical fiber 33 has been removed, a metallized portion 33c formed by metal plating the surface on the core wire base side, and a rear portion thereof as a coating portion 33b. The metallized portion 33 c of the optical fiber 33 was held by the solder 36. Further, the covering portion 33b of the optical fiber 33 is integrally held by an adhesive on a flat portion 31c formed with a step on the rear side of the guide substrate 31 (see JP-A-7-234321). .
[0003]
However, since the glass portion 33a of the optical fiber 33 is not fixed in the optical fiber array as shown in FIG. 4, the position of the end face of the optical fiber 33 is easily displaced from the V groove 31a of the guide substrate 31 due to a change in temperature environment. When used as a package, there is a drawback that the connectivity with the end faces of other optical fibers and light receiving and emitting elements tends to be lowered.
[0004]
This is because the coefficient of thermal expansion is different among the guide substrate 31, the holding plate 32, the optical fiber 33, and the solder 36, so that it is positioned on the glass portion 33a of the optical fiber 33 that is not fixed while the temperature environment changes repeatedly. This is because a deviation occurs.
[0005]
In recent years, it has been required that the center positions of the end faces of a plurality of optical fibers 33 be aligned with a positional accuracy of 1 μm or less, but this dimensional accuracy can be achieved in the initial stage, but there is a disadvantage that a shift occurs due to long-term use. Had.
[0006]
Therefore, in order to eliminate the above-described drawbacks, as shown in FIG. 5, a guide substrate 41 having a V-groove 41a and a flat portion 41c, which is a metallized portion 43c formed by metallizing the tip end side of the optical fiber 43, An optical fiber array in which the optical fiber 43 is held between the holding plate 42, the metallized portion 43c of the optical fiber 43 is fixed with solder 46, and the glass portion 43a of the optical fiber 43 behind the optical fiber 43 is fixed with an adhesive. Has been proposed.
[0007]
[Problems to be solved by the invention]
However, in the optical fiber array as shown in FIG. 5, a metallized portion 43 c is formed by metallizing the tip of the optical fiber 43, and the metalized portion 43 c is fixed by the solder 46. As shown in FIG. 5, since the solder 46 is interposed in the gap between the guide substrate 41 and the optical fiber 43, the positional accuracy of the optical fiber 43 is lowered, and when used for a package or the like as an optical fiber array, There has been a drawback that the connectivity with the end faces of other optical fibers and light receiving and emitting elements tends to be lowered.
[0008]
Further, when forming the metallized portion 43 c of the optical fiber 43, the thickness thereof is likely to vary, and when arranged in the V groove 41 a of the guide substrate 41, the position of the core wire of each optical fiber 43 is likely to vary. Had.
[0009]
[Means for Solving the Problems]
Optical fiber array of the present invention, an optical fiber, and a guide board having a groove for holding the optical fiber, an optical fiber array and a retainer plate for fixing from above the optical fiber, the optical fiber The glass portion on the front end side of the core wire from which the coating of the optical fiber has been removed is held by an adhesive, and the metallized portion formed on the core wire root side of the optical fiber is held by solder. An adhesive filling window is provided at a position facing the front end side of the core of the optical fiber from the boundary between the glass part and the metallized part .
[0010]
The optical fiber array of the present invention is characterized in that the guide substrate and the holding plate are provided with steps corresponding to the thicknesses of the metallized portion and the covering portion of the optical fiber.
[0011]
Furthermore, the manufacturing method of the optical fiber array of the present invention corresponds to the step of arranging the glass part and the metallized part of the optical fiber in the V groove of the guide substrate in the V groove of the guide substrate, and the metallized part of the optical fiber. A step of sandwiching the optical fiber by a press plate pre-applied with solder at a position, and melting and fixing the solder again; and pouring an adhesive from the window portion of the press plate; and the glass portion of the optical fiber, the guide substrate, and the press plate It is characterized by comprising the step of bonding and fixing.
[0012]
According to the optical fiber array of the present invention, the holding plate is provided with a window portion for filling the adhesive, the glass portion on the distal end side of the core wire from which the coating of the optical fiber has been removed is held by the adhesive, and the core wire root is provided. Since the metallized part is formed on the side and held by solder, it has excellent positional accuracy, and it can be highly coupled with the optical fiber or light emitting / receiving element connected to its tip. In addition to being able to obtain an optical fiber array, the package and the optical fiber array can be hermetically sealed by this solder when mounted on the package.
[0013]
Further, according to the optical fiber array of the present invention, since the guide substrate and the holding plate are provided with steps corresponding to the thicknesses of the metallized portion and the covering portion of the optical fiber, the metallized portion and the covering portion of the optical fiber are provided. According to thickness, it can align with high precision and it can prevent that a damage | wound etc. arise in an optical fiber.
[0014]
Furthermore, according to the method for manufacturing an optical fiber array of the present invention, the step of arranging the glass part and the metallized part of the optical fiber in the V groove of the guide substrate, and soldering in advance to the position corresponding to the metallized part of the optical fiber. A step of sandwiching the optical fiber by the applied pressing plate and melting and fixing the solder again, and a step of pouring an adhesive from the window portion of the pressing plate and bonding and fixing the glass portion of the optical fiber, the guide substrate and the pressing plate. Therefore, the glass portion of the optical fiber can be firmly fixed on the V-groove with high positional accuracy, and since the metallized portion is soldered, it can be hermetically sealed. In other words, a highly accurate optical fiber array can be obtained.
[0015]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
[0016]
FIG. 1A is a perspective view showing an embodiment of the optical fiber array of the present invention, and FIG. 1B is an exploded perspective view of FIG.
[0017]
The optical fiber array of the present invention includes a guide substrate 1 having V grooves 1a and 1b for aligning the optical fibers 3, and a pressing plate 2 for fixing the optical fibers 3 held in the V grooves 1a and 1b from above. Become.
[0018]
The guide substrate 1 is provided with a plurality of first V-grooves 1a on the distal end side of one main surface thereof, and the first V-grooves 1a are arranged with glass portions 3a on the distal end side of the core of the optical fiber 3, A second V groove 1b is formed continuously with the 1V groove 1a, and the metallized portion 3c on the core line base side of the optical fiber 3 is arranged. A flat portion 1c is formed behind the second V-groove 1b, and functions to hold the covering portion 3b of the optical fiber 3.
[0019]
The guide substrate 1 is formed by etching the first V-groove 1a and the second V-groove 1b in a silicon material, or cutting, grinding, pressing, etc. the first V-groove 1a and the second V-groove 1b of ceramic, glass, quartz or the like. It is necessary to finish at least the surface with which the glass portion 3a of the optical fiber 3 is in contact, that is, the surface of the first V-groove 1a. This is because if the surface roughness is rough, the glass portion 3a of the optical fiber 3 is scratched, and even if it is covered with the adhesive 5 used to fix the optical fiber 3, the scratch is not observed during long-term use. This is because there is a possibility that the optical fiber 3 may break down.
[0020]
Further, at least the surface of the guide substrate 1 with which the metallized portion 3c of the optical fiber 3 contacts, that is, the surface of the second V-groove 1b needs to be metallized. In this metallization process, it is desirable to first perform a thin film process such as vapor deposition or sputtering as a base, and then perform Ni plating and finish metal plating with Au plating thereon. Since the metal plating surface is Au, a stable surface that does not deteriorate even under high temperature and high humidity conditions can be obtained.
[0021]
Further, a pressing plate 2 is joined above the guide substrate 1 and functions to sandwich and fix the optical fiber 3 together with the guide substrate 1.
[0022]
The holding plate 2 is made of a material such as silicon, ceramics, glass, quartz, metal, plastics and the like, similar to the guide substrate 1, and has the length of the first V groove 1a, the second V groove 1b, and the flat portion 1c of the guide substrate 1. Two steps are formed so as to coincide with each other, and a first flat portion 2a, a second flat portion 2b, and a third flat portion 2c are provided from the front end side. The second flat portion 2 b needs to be equal to or greater than the thickness of the metallized portion 3 c of the optical fiber 3, and the third flat portion 2 c is formed to be equal to or greater than the thickness of the covering portion 3 b of the optical fiber 3.
[0023]
As in the case of the guide substrate 1, the pressing plate 2 is required to have at least the surface with which the glass portion 3a of the optical fiber 3 contacts, that is, the surface of the first flat portion 2a having a mirror finish. If the surface roughness is rough, the glass portion 3a of the optical fiber 3 will be damaged, and even if the periphery is covered with the adhesive 5 used when fixing the optical fiber 3, it will be used for a long time. This is because the damage may progress and lead to breakage of the optical fiber 3.
[0024]
Further, at least the surface of the pressing plate 2 with which the metallized portion 3c of the optical fiber 3 comes into contact, that is, the surface of the second flat portion 2b needs to be metallized. First, after performing thin film processing such as vapor deposition and sputtering as a base, it is desirable to perform Ni plating and finish metal plating with Au plating thereon. Since the metal plating surface is Au, a stable surface that does not deteriorate even under high temperature and high humidity conditions can be obtained.
[0025]
It is important that the pressing plate 2 is provided with a window portion 4 for filling an adhesive.
[0026]
The optical fiber 3 sandwiched and fixed between the guide substrate 1 and the holding plate 2 includes a core wire from which the coating is removed on the tip side and a coating portion 3b behind the core wire, and the tip side of the core wire is disposed on the glass portion. 3a, and the core wire base side is a metallized portion 3c subjected to metallization.
[0027]
In the optical fiber 3, the glass portion 3 a of the optical fiber 3 is held in a portion corresponding to the first V groove 1 a of the guide substrate 1 and the first flat portion 2 a of the holding plate 2, and the second V groove 1 b and the holding plate 2 The metallized portion 3c is held at the portion corresponding to the 2 flat portion 2b, and the covering portion 3b is held at the rear end side by the flat portion 1c of the guide substrate 1 and the third flat portion 2c of the pressing plate 2.
[0028]
In order to hold these optical fibers 3, the glass part 3 a and the covering part 3 b of the optical fiber 3 are bonded and fixed with the adhesive 5, and the metallized part 3 c is bonded and fixed with the solder 6, and the glass part 3 a is fixed with the adhesive 5. By doing so, the solder 6 does not adhere to the end face of the optical fiber 3, and the glass portion 3a of the optical fiber 3 can be directly aligned with the first V groove 1a of the guide substrate 1, so that the position of the core wire at the tip of the optical fiber 3 When mounted on a package as an optical fiber array with an accuracy of 1 μm or less, other optical fibers or light emitting / receiving elements connected to the tip of the optical fiber 3 over a long period of time even under environmental changes such as temperature changes Can be combined with high accuracy and the connection loss can be reduced.
[0029]
Further, in order to fix the glass part 3 a of the optical fiber 3 with the adhesive 5, the adhesive 5 can be filled from the window part 4 formed on the holding plate 2, so that the glass part 3 a of the optical fiber 3 is attached. It can be easily held with high positional accuracy.
[0030]
The window portion 4 formed on the holding plate 2 is preferably provided at the boundary between the glass portion 3a and the metallized portion 3c of the optical fiber 3, and preferably the adhesive 5 covers the periphery of the glass portion 3a. .
[0031]
Various adhesives can be used as the adhesive 5 for holding the glass part 3a and the covering part 3b of the optical fiber 3, but it is preferable to use a resin adhesive, which deteriorates over a long period of time. This is because a stable fixing strength can be maintained, and it is preferable to use a photo-curing adhesive or an epoxy adhesive as the resin adhesive. Furthermore, it is more preferable to use a low-melting glass, when the optical fiber array is mounted on a package, when the resin adhesive is used, the curing proceeds with long-term use, Since a very small amount of gas may be generated, even if the optical fiber array is hermetically fixed to the package, the gas tends to adhere to a light emitting / receiving element such as an LD, which may deteriorate the laser oscillation performance. Therefore, it is more preferable to use a low-melting-point glass that does not generate gas and that can be hermetically sealed and can be firmly bonded.
[0032]
Further, the metallized portion 3c of the optical fiber 3 is formed by performing a thin film process such as vapor deposition and sputtering on the base side of the core wire, then performing Ni plating, and further plating the upper surface with Au plating. It is formed. Since the surface of the metal plating is Au, a stable surface that does not deteriorate even under high temperature and high humidity conditions can be obtained. The metallization applied to the guide substrate 1 and the holding plate 2 is preferably the same.
[0033]
As the solder 6 for bonding and fixing the metallized portion 3c of the optical fiber 3, Au80% -Sn20% solder is widely used, and various solders such as Pb-Sn solder, Au-Sn solder, Ag-Sn solder are used. be able to.
[0034]
Further, the guide substrate 1 and the holding plate 2 are provided with step portions according to the thicknesses of the glass portion 3a, the metallized portion 3c, and the covering portion 3b of the optical fiber 3, respectively. Since the 2V groove 1b and the flat portion 1c are provided on the holding plate 2 and the first flat portion 2a, the second flat portion 2b, and the third flat portion 2c are provided, the optical fiber 3 can be firmly held.
[0035]
Furthermore, the covering portion 3b of the optical fiber 3 is held by the flat portion 1c of the guide substrate 1 and the third flat portion 2c of the pressing plate 2, and is applied with the adhesive 5 and firmly fixed by vacuum suction.
[0036]
Note that the optical fiber 3 used in the present invention may be any type of optical fiber such as a single mode fiber, a multimode fiber, a polarization-dependent fiber, a zero dispersion fiber, and a plastic fiber.
[0037]
Here, the manufacturing method of the optical fiber array which consists of the above-mentioned guide board | substrate 1, the press board 2, and the optical fiber 3 hold | maintained at these is demonstrated.
[0038]
First, a guide substrate 1 having a first V groove 1a, a second V groove 1b, and a flat portion 1c,
A holding plate 2 having a first flat portion 2a, a second flat portion 2b, and a third flat portion 2c is prepared.
[0039]
Next, metallization is applied to the surface of the second V groove 1b of the guide substrate 1 and the surface of the second flat portion 2b of the pressing plate 2 opposed thereto, and metallization is applied to the base side of the core wire from which the coating of the optical fiber 3 has been removed. A metallized portion 3c is formed.
[0040]
Thereafter, solder is applied in advance to the second V groove 1b of the guide substrate 1 and the second flat portion 2b of the holding plate 2, and a plurality of optical fibers 3 are formed in the first V groove 1a and the second V groove 1b of the guide substrate 1. Is placed.
[0041]
Then, the pressing plate 2 is pressed from above the optical fiber 3, the solder is melted again, and the guide substrate 1, the optical fiber 3, and the pressing plate 2 are fixed and integrated.
[0042]
Next, an adhesive 5 is poured from the window portion 4 of the pressing plate 2, and the glass portion 3 a of the optical fiber 3, the guide substrate 1, and the pressing plate 2 are fixed by the adhesive 5.
[0043]
Thereafter, the adhesive 5 is applied between the flat portion 1c of the guide substrate 1, the third flat portion 2c of the holding plate 2, and the covering portion 3b of the optical fiber 3, and is vacuum-sucked to be firmly fixed.
[0044]
According to the above configuration, since the glass part 3a of the optical fiber 3 is held by the adhesive 5 by the first V groove 1a of the guide substrate 1 and the first flat part 2a of the presser plate 2, the position accuracy of the core wire is as high as 1 μm or less. Align with accuracy.
[0045]
Further, the metallized portion 3c of the optical fiber 3 is firmly and hermetically fixed by the solder 6 by the second V groove 1b of the guide substrate 1 and the second flat portion 2b of the holding plate 2, and further, the rear portion of the metalized portion 3c of the guide substrate 1 is flat. Since the covering portion 3b of the optical fiber 3 is fixed by the third flat portion 2c of the pressing plate 2, the optical fiber 3 can be firmly fixed without causing disconnection.
[0046]
As described above, according to the optical fiber array of the present invention, it is possible to obtain an optical fiber array in which the alignment accuracy of the optical fibers 3 is within 1 μm and the drawing strength of the optical fibers 3 is 1 kgf or more.
[0047]
The optical fiber array obtained as described above can be used as an optical connector by bringing the end face of an optical fiber provided in another optical fiber array into contact with the end face of the optical fiber 3, or the optical fiber 3 It can be suitably used as an optical module by connecting an optical waveguide to the end face of the light source or connecting a light emitting / receiving element.
[0048]
The optical fiber array of the present invention is not limited to the above-described embodiment,
Various modifications are possible as long as they do not depart from the gist of the present invention. In the above-described embodiment, the guide substrate 1 and the holding plate 2 have the glass portion 3a, the metallized portion 3c, and the covering portion 3b of the optical fiber 3, respectively. The first V-groove 1a, the second V-groove 1b, the first flat portion 2a, the second flat portion 2b, and the third flat portion 2c are formed, as shown in the exploded perspective view of FIG. The guide substrate 11 is provided with a plurality of V-grooves 11a and flat portions 11c, the glass portions 13a and the metallized portions 13c of the optical fiber 3 are arranged and held by the V-grooves 11a, and the covering portions 13b of the optical fiber 13 are held by the flat portions 11c. May be used. On the other hand, the holding plate 12 facing this is formed with a first flat portion 12a and a second flat portion 12b by forming two steps in the longitudinal direction, and the first flat portion 12a is formed of the optical fiber 13. The glass part 13a and the melatinizing part 13c are held, and the second flat part 12b holds the covering part 13b of the optical fiber 13.
[0049]
A window 14 for filling the adhesive is formed on the pressing plate 1, and the tip of the optical fiber 13 can be held with high accuracy as in the above-described embodiment.
[0050]
Further, as shown in the exploded perspective view of FIG. 3, the window portion 24 formed on the holding plate 22 may be formed as a notch instead of a hollow hole. In this case, after fixing the optical fiber 23 with the solder 26. The adhesive 25 is poured into the glass portion 23 a of the optical fiber 23, and the window portion 24 is pressed by the fixing member 27 to cure the adhesive 25, thereby enabling high-precision alignment.
[0051]
【Example】
An embodiment of the present invention will now be described.
[0052]
First, an optical fiber array as shown in FIG. 1 is produced. The guide substrate was formed from silicon, eight first V grooves and second V grooves were formed, and Ni—Au metal was vapor deposited and metallized on the surface of the second V grooves.
[0053]
The holding plate was formed of Pyrex glass, provided with first, second, and third flat portions, and Ni—Au metal was vapor deposited and metallized on the second flat portions.
[0054]
Moreover, the metallized part was formed in the metallized part of the optical fiber to hold | maintain by carrying out vapor deposition metallization process of Ni-Au metal.
[0055]
And the glass part of an optical fiber is arrange | positioned in the 1st V groove | channel of 8 cores, it installs so that the end surface of an optical fiber may protrude a little from the end surface of an optical fiber array, and the Ni-- of optical fiber is set in the 2nd V groove of a guide board | substrate. Align the Au metal metallized part, align the Ni-Au metal formed on the second flat part of the pressing plate with the vapor-deposited metallized surface, airtightly fix it with Au-Sn solder, and UV light from the window part of the pressing plate A curable adhesive is poured to fix the core portion of the optical fiber, the guide substrate, and the holding plate.
[0056]
Thereafter, the flat portion of the guide substrate, the third flat portion of the pressing plate, and the coating portion of the optical fiber were fixed with an adhesive to produce a sample of the present invention.
[0057]
In contrast, a conventional optical fiber array sample as shown in FIG. 5 was prepared as a comparative example.
[0058]
First, a guide substrate and a holding plate are prepared in the same manner as described above, and a V-groove and a flat portion for holding an optical fiber are formed, and a Ni-Au metal is provided in a portion for holding a metallized portion on the tip side of the core of the optical fiber. The metallized portion was formed by metallizing Ni—Au metal on the tip side of the core of the optical fiber.
[0059]
Then, the optical fiber aligned with the guide substrate and the pressing plate were fixed to the metallized portion of the optical fiber with Au—Sn solder, and the covering portion behind the optical fiber was held with an adhesive to produce a comparative sample.
[0060]
In each sample, eight cores were arranged and adjusted so that the center-to-core distance at the center position of the optical fiber tip surface was 0.2498 to 0.2502 mm in the initial stage, and a thermal shock test was performed under the following conditions. The distance between the core wires at the center position of each optical fiber tip surface before and after the test was measured.
[0061]
The test conditions for the thermal shock test are temperatures from -40 ° C to + 85 ° C.
Time 70 minutes / cycle (upper limit temperature, lower limit temperature 30 minutes, transition time 5 minutes)
The number of cycles 200 results are shown in Table 1.
[0062]
In addition, in Table 1, the fluctuation value of the distance between the cores before and after the test of each sample is shown, and the maximum value among the distances obtained by measuring the seven values between the cores of each sample is displayed.
[0063]
[Table 1]

[0064]
From the results shown in Table 1, the optical fiber array sample of the conventional example has an average value of the fluctuation value between the core wires of 0.00312 mm, the variation is 0.002715 mm, and the positional deviation of 0.001 mm or more occurs in 7 out of 10 pieces. Yes.
[0065]
On the other hand, the optical fiber array sample of the present invention as shown in FIG. 1 has an average fluctuation value of 0.00014 mm and a variation of 0.000097 mm, and no deviation of 0.001 mm or more has occurred. It was found that there was no misalignment.
[0066]
【The invention's effect】
According to the optical fiber array of the present invention, the holding plate is provided with a window portion for filling the adhesive, the glass portion on the distal end side of the core wire from which the coating of the optical fiber has been removed is held by the adhesive, and the core wire root is provided. Since the metallized part is formed on the side and held by solder, it has excellent positional accuracy, and can be highly coupled with the optical fiber or light emitting / receiving element connected to the tip of the metallized part. Thus, the metallized portion of the optical fiber is soldered, so that the package and the optical fiber array can be hermetically sealed by the soldered portion when mounted on the package.
[0067]
Further, according to the optical fiber array of the present invention, since the guide substrate and the holding plate are provided with steps corresponding to the thicknesses of the metallized portion and the covering portion of the optical fiber, the metallized portion and the covering portion of the optical fiber are provided. According to thickness, it can align with high precision and it can prevent that a damage | wound etc. arise in an optical fiber.
[0068]
Furthermore, according to the method for manufacturing an optical fiber array of the present invention, the step of arranging the glass part and the metallized part of the optical fiber in the V groove of the guide substrate, and soldering in advance to the position corresponding to the metallized part of the optical fiber. A step of sandwiching the optical fiber by the applied pressing plate and melting and fixing the solder again, and a step of pouring an adhesive from the window portion of the pressing plate and bonding and fixing the glass portion of the optical fiber, the guide substrate and the pressing plate. Therefore, the glass portion of the optical fiber can be firmly fixed on the V-groove with high positional accuracy, and since the metallized portion is soldered, it can be hermetically sealed. In other words, a highly accurate optical fiber array can be obtained.
[Brief description of the drawings]
1A is a perspective view showing an embodiment of an optical fiber array of the present invention, and FIG. 1B is an exploded perspective view of FIG.
FIG. 2 is an exploded perspective view showing another embodiment of the optical fiber array of the present invention.
FIG. 3 is an exploded perspective view showing another embodiment of the optical fiber array of the present invention.
FIG. 4 is an exploded perspective view showing a conventional optical fiber array.
FIG. 5 is an exploded perspective view showing a conventional optical fiber array.
[Explanation of symbols]
1: Guide substrate 1a: 1st V groove 1b: 2nd V groove 1c: Flat part 2: Holding plate 2a: 1st flat part 2b: 2nd flat part 2c: 3rd flat part 3: Optical fiber 3a: Glass part 3b: Cover part 3c: Metallized part 4: Window part 5: Adhesive 6: Solder

Claims

An optical fiber, and a guide board having a groove for holding the optical fiber, an optical fiber array and a retainer plate for fixing from above the optical fiber,
The optical fiber, the glass portion on the front end side of the core wire from which the coating of the optical fiber is removed is held by an adhesive, and the metallized portion formed on the core base side of the optical fiber is held by solder,
The optical fiber array , wherein the pressing plate has a window portion for filling an adhesive at a position facing a front end side of the core of the optical fiber from a boundary portion between the glass portion and the metallized portion .

The optical fiber array according to claim 1, wherein the guide substrate and the holding plate are provided with steps corresponding to the thicknesses of the metallized portion and the covering portion of the optical fiber.

The step of arranging the glass part and the metallized part of the optical fiber in the groove of the guide substrate, the optical fiber is sandwiched by a pressing plate previously coated with solder at a position corresponding to the metallized part of the optical fiber, and the solder is melted again. The method includes: a fixing step; and a step of pouring an adhesive from a window portion of the pressing plate to bond and fix the glass portion of the optical fiber, the guide substrate, and the pressing plate. Manufacturing method of optical fiber array.