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JP3817046B2 - Board inspection equipment - Google Patents
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JP3817046B2
JP3817046B2 JP27423697A JP27423697A JP3817046B2 JP 3817046 B2 JP3817046 B2 JP 3817046B2 JP 27423697 A JP27423697 A JP 27423697A JP 27423697 A JP27423697 A JP 27423697A JP 3817046 B2 JP3817046 B2 JP 3817046B2
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Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、搬入された回路基板表面の画像をカメラで取り込んで画像取り込み後の回路基板を搬出し、取り込んだ画像に基づいて回路基板の検査を行なう基板検査装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
回路基板の検査を行なうには、一般的に回路基板を1枚ずつ順次基板検査装置内に搬入し、搬入された回路基板を、例えば一次元CCDカメラで受光素子の並び方向に対し直角の方向に走査してその回路基板の画像を取り込み、その画像取込み後の回路基板をその基板検査装置から搬出するとともに、その取り込んだ画像を表わす画像データと、あらかじめ用意した基準データとのパターンマッチングを行なうことによりその回路基板上の配線パターンに断線や短絡等の欠陥がないかどうかが検査される。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
近年、画像処理技術も進歩し、画像を取り込んだ後のパターンマッチング等による回路基板の検査はかなり高速化されているが、回路基板を基板検査装置内に搬入し、その搬入された回路基板をCCDカメラで走査して画像を取り込み、画像取込み後の回路基板をその基板検査装置から搬出するという機械的な動作速度が、回路基板1枚あたりの検査時間を短縮化し、多数枚の回路基板の検査効率を上げる上でのネックとなっている。
【0004】
本発明は、上記事情に鑑み、検査時間の短縮化が図られた基板検査装置を提供することを目的とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成する本発明の基板検査装置は、
搬入された回路基板表面の画像をカメラで取り込んで画像取込み後の回路基板を搬出し、取り込んだ画像に基づいて回路基板の検査を行なう基板検査装置において、
(1)所定の第1の方向に並ぶ、搬入された回路基板を受け取る搬入位置と、回路基板表面の画像を取り込む検査位置と、画像取込み後の回路基板を搬出する搬出位置とのうち、上記搬入位置と上記検査位置との間で往復動し、搬入された回路基板を上記搬入位置で受け取っては上記検査位置に搬送する搬入体
(2)上記第1の方向に対して交わる所定の第2の方向に配列された複数の受光素子を有するカメラであって、上記搬入体の、上記第1の方向の動きに同期してこの第1の方向に移動し、上記搬入体により上記検査位置に搬送された回路基板を、この搬入体がこの検査位置から上記搬入位置に戻る際にこの第1の方向に走査して、この回路基板表面の画像を取り込むカメラ
(3)上記搬入体の動きに同期して、上記検査位置と上記搬出位置との間で往復動し、画像取込み後の回路基板を上記検査位置で受け取っては上記搬出位置に搬送する搬出体
(4)上記カメラで取り込んだ画像に基づいて回路基板を検査する基板検査部を備えたことを特徴とする。
【0006】
本発明の基板検査装置は、回路基板が並ぶ第1の方向に対して交わる所定の第2の方向に配列された複数の受光素子を有する、搬入体の動きに同期してこの第1の方向に移動するカメラで、この搬入体が検査位置から搬入位置に戻る際にこの第1の方向に走査して検査位置に搬送された回路基板表面の画像を取り込む。つまり、搬入体を移動させるときにカメラが回路基板を走査する。これにより、搬入体の動きとは独立に、すなわち搬入体が検査位置からはずれるまで待ってカメラで走査する場合と比較して、短時間で回路基板の検査が行われる。
【0007】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態について説明する。
図1は、本発明の基板検査装置の概略の構成を示す側面図、図2は、その上面図である。
この基板検査装置10の外部と、搬入された回路基板を受け取る搬入位置Aとの間には、図2に示すように、回路基板を搬入位置Aに搬送する、x方向に延びる2本の搬入コンベア21が設置されている。回路基板はこの2本の搬入コンベア21に載置され搬入位置Aに搬送される。この基板検査装置10は、後述するようにして、この搬入位置Aで回路基板を受け取り、この搬入位置Aで受け取った回路基板を、回路基板表面の画像を取り込む検査位置Bに搬送し、この検査位置Bに固定されている検査テーブル23に回路基板を載置する。その後この検査テーブル23に載置された回路基板表面の画像を取り込み、取り込んだ画像に基づいて回路基板の検査を行う。また、この基板検査装置10は、画像取り込み後の回路基板を、画像取り込み後の回路基板を搬出する搬出位置Cに搬送する。この搬出位置Cと基板検査装置10の外部との間には、図2に示すように、基板検査装置10から回路基板を搬出する、x方向に延びる2本の搬出コンベア22が設置されており、回路基板が搬出位置Cに搬送されると、この回路基板は2本の搬出コンベア22に載置され基板検査装置10から搬出される。
【0008】
以下に、基板検査装置10に搬入された回路基板が基板検査装置10から搬出されるまでの動作について説明する。
この基板検査装置10は、図1に示すように、搬入パッド11およびこの搬入パッド11を上下方向(図1に示すz方向)に移動させる搬入パッド上下移動用機構部12を備えている。この搬入パッド11および搬入パッド上下移動用機構部12はガイドレール24に沿って移動するものであり(図2参照。尚、図2では、搬入パッド上下移動用機構部12は図示省略している。以下、基板検査装置10の上面図を示す場合は、この搬入パッド上下移動用機構部12は図示省略する。)、この搬入パッド11は、搬入位置Aと検査位置Bとの間で往復動し、基板検査装置10に搬入された回路基板を搬入位置Aで受け取っては検査位置Bに搬送するものである。
【0009】
図3は、図1、図2に示す基板検査装置において、搬入パッドを搬入位置Aから見たときの搬入パッドの上面図、図4は、図3に示す矢印a方向から搬入パッドを見た図である。
搬入パッド11は、この搬入パッド11を3分割するように、x方向に延びる2本の溝32を有している。また搬入パッド11はy方向に延びる4本の溝33を有している。溝32は、図3に示すように2つの搬入コンベア21の真下に位置している。また、溝32,33には、搬入位置Aに搬送された回路基板の位置を調節するピン31が備えられている。このピン31の動作については後述する。
【0010】
図5は、搬入コンベアによって搬入位置Aに回路基板が搬送されたときの搬入パッドの上面図、図6は、図5に示す矢印a方向から搬入パッドを見た図である。
図5に示すように搬入コンベア21によって搬入位置Aに回路基板34が搬送されると、2つの搬入コンベア21の回転が停止し、搬入パッド上下移動用機構部12(図1参照)によって搬入パッド11が上昇し、この搬入パッド11が回路基板34を受け取る。
【0011】
図7は、回路基板を受け取った搬入パッドを示す上面図、図8は、図7に示す矢印a方向から搬入パッドを見た図である。
図3〜図6においては、ピン31は搬入パッド11の表面に対し水平に配置されているが、搬入パッド11の上昇により搬入パッド11が回路基板34を受け取る際に、このピン31は、図7、図8に示すように垂直に起き上がる。これにより、図5に示すように、回路基板34が搬入パッド11の真上から若干ずれた位置に搬送されても、回路基板34が搬入パッド11の真上に移動するように粗位置決めされる。
【0012】
搬入パッド11が、図7に示すように回路基板34を受け取ると、この搬入パッド11は検査位置Bに移動する。
また、基板検査装置10は、図1が示される紙面に対し垂直方向(図1に示すx方向に対し垂直方向)に配列された複数の受光素子を有する、検査位置Bに搬送された回路基板の画像を取り込むCCDカメラ14を備えている。このCCDカメラ14には、図1が示される紙面に対し垂直方向に配列された、回路基板表面の画像取り込み時にこの回路基板を上から照明するLED(図示せず)が取り付けられており、また、このCCDカメラ14の下には、図1が示される紙面に対し垂直方向に配列された、回路基板表面の画像取り込み時にこの回路基板を下から照明するLED15が備えられている。このCCDカメラ14は、図2に示すように2つのガイドレール24に取り付けられ、またLED15も2つのガイドレール24に取り付けられており、CCDカメラ14およびLED15は、搬入パッド11の、x方向の動きに同期してx方向に移動する。搬入パッド11が回路基板を検査位置Bに搬送してから、CCDカメラ14によりこの回路基板表面の画像を取り込むまで動作については後述する。
【0013】
また、基板検査装置10は、搬出パッド16および、この搬出パッド16を上下方向(図1に示すz方向)に移動させる搬出パッド上下移動用機構部17を備えている。この搬出パッド16および搬出パッド上下移動用機構部17は、ガイドレール24に沿って移動するものであり、この搬出パッド16は、搬入パッド11の動きに同期して、検査位置Bと搬出位置Cとの間で往復動し、画像取り込み後の回路基板を検査位置Bで受け取っては搬出位置Cに搬出するものである。この搬出パッド16は、図1に示すように、搬入パッド11が搬入位置Aに位置しているときは、検査位置Bに位置している。
【0014】
図9は、図1、図2に示す基板検査装置において、検査位置Bから搬出パッドをみたときの搬出パッドの上面図である。
搬出パッド16は、この搬出パッド16を3分割するように、x方向に延びる2本の溝41を有しており、この溝41は、図9に示すように検査テーブル23の真下に位置している。またこの搬出パッド16は、図3〜図8を参照しながら説明した、搬入パッド11が回路基板を受け取る動作と同様の動作で(ただし、回路基板の粗位置決めは行わない)、検査位置Bで回路基板を受け取る。
【0015】
図10は、図8に示すように搬入パッドが回路基板を受け取ったときの基板検査装置を示す側面図である。
搬入パッド11が上昇すると、図10に示すように搬入パッド11の溝32内に搬入コンベア21が配置され、搬出パッド16が上昇すると、搬出パッド16の溝41内に検査テーブル23が配置される。このとき搬入パッド11は、図10に示すように回路基板34を受け取る。その後、搬入パッド11は検査位置Bに移動する。
【0016】
図11は、搬入パッドが検査位置Bに移動したときの基板検査装置を示す側面図、図12はその上面図、図13は、図11、図12に示す基板検査装置において、検査位置Bから搬入パッドをみたときの搬入パッドの上面図である。
搬入パッド11が搬入位置Aで回路基板を受け取ると、搬入パッド11は検査位置Bに移動し、図13に示すように搬入パッド11の溝32内に検査テーブル23が配置される。また搬入パッド11が検査位置Bに移動すると搬出パッド16は搬出位置Cに移動し、図12に示すようにこの搬出パッド16の溝41内に搬出コンベア22が配置される。その後、搬入パッド11および搬出パッド16は下降する。
【0017】
図14は、搬入パッドおよび搬出パッドが下降したときの図である。
図14に示すように、搬入パッド11が下降することにより、検査テーブル23に回路基板34が載置される。この回路基板34には、回路基板が検査テーブル23の所定位置からどれだけずれた位置に載置されたのかがわかるようにするためのマーカが設けられており、検査テーブル23に回路基板が載置されると、搬入パッド上下移動用機構部12に取り付けられているLED13で回路基板上のマーカを照明し、2次元カメラ19でこのマーカの画像を取り込む。2次元カメラ19で取り込まれた画像をあらわす画像データは、回路基板を検査する基板検査部20に入力される。この基板検査部20での回路基板の検査方法については後述する。また、搬入パッド11が下降することにより検査テーブル23に回路基板が載置されると、この搬入パッド11は検査位置Bから搬入位置Aに戻る。CCDカメラ14およびLED15は、上述したように、搬入パッド11の動きに同期して移動するため、搬入パッド11が検査位置Bから搬入位置Aに戻る際に、CCDカメラ14は検査位置Bにある回路基板34上を通過し、LED15はこの回路基板34の下を通過する。
【0018】
図15は、搬入パッドが検査位置Bから搬入位置Aに戻る際に、CCDカメラが検査位置Bにある回路基板上を通過し、LED14がこの回路基板の下を通過するときの図である。
図15に示すように、LED15が回路基板の下を通過しているときに、回路基板を下から照明し、また、CCDカメラ14が検査位置Bにある回路基板34上を通過しているときに、このCCDカメラ14に取り付けられているLEDで、回路基板34を上から照明する。このように回路基板34を照明して、CCDカメラ14で回路基板34をx方向に走査して回路基板34の画像を取り込む。CCDカメラ14で取り込まれた画像はモニタ18に表示され、また、この画像をあらわす画像データが基板検査部20に入力される。この基板検査部20には、基板検査装置10に搬入される回路基板表面に形成される配線パターンとの相違が比較される配線パターンの基準データが記憶されており、この基板検査部20に、2次元カメラ19で取り込まれたマーカの画像を表わす画像データと、CCDカメラ14で取り込まれた回路基板表面の画像データとが入力されると、マーカの画像を表わす画像データから、CCDカメラ14で取り込まれた回路基板表面の画像を表わす画像データを、その回路基板が検査テーブル23の所定位置に載置されたときの画像データになるように補正し、この補正された画像データと、予め記憶されている基準データとを比較して、補正された画像データと基準データとの相違を検出し回路基板を検査する。このように、搬入パッド11が検査位置Bから搬入位置Aに戻る際に、CCDカメラ14で回路基板の画像を取り込み、搬入パッド11は搬入位置Aに戻る。
【0019】
図16は、搬入パッドが搬入位置Aに戻った場合の基板検査装置の側面図である。
搬入パッド11が搬入位置Aに戻ると、図16に示すように搬出パッド16は検査位置Bに移動し、また、搬入位置Aに回路基板35が搬送される。その後搬入パッド11および搬出パッド16は、図10、図11、および図14を参照しながら説明したように再び移動し、回路基板34,35を、それぞれ検査テーブル23,搬出コンベア22に搬送する。
【0020】
図17は、回路基板が検査テーブルおよび搬出コンベアに搬送された図である。
搬出コンベア22に載置された回路基板34は基板検査装置10の外部に搬出される。また、搬入パッド11は再び搬入位置Aに戻り、図15〜図17を参照しながら説明した工程が繰り返され、基板検査装置10に搬入される回路基板の検査が行われる。
【0021】
本実施形態の基板検査装置10は、搬入パッド11が検査位置Bに移動して検査テーブル23に回路基板を載置した後、この搬入パッド11が搬入位置Aに搬送される回路基板を受け取りに検査位置Bから搬入位置Aに戻る際に、この搬入パッド11の動きに同期して動くCCDカメラ14で検査位置Bの回路基板の画像を取り込む。つまり、搬入パッド11を移動させるのと同時に、CCDカメラ14が回路基板表面を走査する。従って、基板検査装置10に搬入される回路基板の検査時間の短縮化が図られる。
【0022】
尚、本実施形態の基板検査装置10を構成するCCDカメラ14は、図1に示すx方向に対し垂直方向に配列された複数の受光素子を有している。CCDカメラ14を受光素子がこのように配列される向きに設置すると、受光素子の配列数が定まっている場合分解能等の点から有利であるが、CCDカメラ14を、受光素子がこのx方向に対し例えば45度の角度で交わる方向に配列される向きに設置しても、搬入パッド11のx方向の動きと同期したx方向への走査で画像を取り込むという本発明の趣旨を逸脱するものではない。
【0023】
また、本実施形態の基板検査装置10では、搬入パッド11および搬出パッド16が回路基板を受け取る時には、回路基板は搬入パッド11あるいは搬出パッド16に載置されているが搬入パッド11および搬出パッド16は回路基板を受け取る時に、回路基板を吸着してもよい。
また、本実施形態の基板検査装置10では、搬入パッド11をテーブル状のものとし、それを搬入パッド上下移動用機構部12により上下(Z方向)させると共に、一方向(X方向)に移動させたが、テーブルは不動とし、上下移動機構12に吸着機能を設け、これを一方向に移動させてもよい。さらに、テーブル状の搬出パッド16の代わりに、上下移動機構17に吸着機能を設けて搬出パッドとしてもよい。
【0024】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の基板検査装置によれば、検査時間の短縮化が図られる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の基板検査装置の概略の構成を示す側面図である。
【図2】本発明の基板検査装置の概略の構成を示す上面図である。
【図3】図1、図2に示す基板検査装置において、搬入位置Aから搬入パッドを見たときの搬入パッドの上面図である。
【図4】図3に示す矢印a方向から搬入パッドを見た図である。
【図5】搬入コンベアによって搬入位置Aに回路基板が搬送されたときの搬入パッドの上面図である。
【図6】図5に示す矢印a方向から搬入パッドを見た図である。
【図7】回路基板を受け取ったときの搬入パッドの上面図である。
【図8】図7に示す矢印a方向から搬入パッドを見た図である。
【図9】図1、図2に示す基板検査装置において、検査位置Bから搬出パッドをみたときの搬出パッドの上面図である。
【図10】図8に示すように搬入パッドが回路基板を受け取ったときの基板検査装置を示す側面図である。
【図11】搬入パッドが検査位置Bに移動したときの基板検査装置を示す側面図である。
【図12】搬入パッドが検査位置Bに移動したときの基板検査装置を示す上面図である。
【図13】図11、図12に示す基板検査装置において、検査位置Bから搬入パッドをみたときの搬入パッドの上面図である。
【図14】搬入パッド11および搬出パッドが下降したときの図である。
【図15】搬入パッドが検査位置Bから搬入位置Aに戻る際に、CCDカメラが検査位置Bにある回路基板上を通過し、LED14がこの回路基板の下を通過するときの図である。
【図16】搬入パッドが搬入位置Aに戻った場合の基板検査装置の側面図である。
【図17】搬入パッドおよび搬出パッドが下降したときの基板検査装置の側面図である。
【符号の説明】
10 基板検査装置
11 搬入パッド
12 搬入パッド上下移動用機構部
13,15 LED
14 CCDカメラ
16 搬出パッド
17 搬出パッド上下移動用機構部
18 モニタ
19 2次元カメラ
20 基板検査部
21 搬入コンベア
22 搬出コンベア
23 検査テーブル
31 ピン
32,33,41 溝
34,35 回路基板
[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a circuit board inspection apparatus that takes in an image of a surface of a circuit board that has been carried in with a camera, carries out the circuit board after taking in the image, and inspects the circuit board based on the taken-in image.
[0002]
[Prior art]
In order to inspect a circuit board, in general, circuit boards are sequentially carried into the board inspection apparatus one by one, and the carried circuit boards are arranged in a direction perpendicular to the arrangement direction of the light receiving elements using, for example, a one-dimensional CCD camera. The circuit board is scanned to capture the image of the circuit board, the circuit board after the image capture is taken out from the board inspection apparatus, and pattern matching between image data representing the captured image and reference data prepared in advance is performed. As a result, the wiring pattern on the circuit board is inspected for defects such as disconnection and short circuit.
[0003]
[Problems to be solved by the invention]
In recent years, image processing technology has also advanced, and the inspection of circuit boards by pattern matching after image capture has been considerably accelerated. However, the circuit board is carried into a board inspection apparatus, and the carried circuit board is The mechanical operating speed of scanning with a CCD camera to capture an image, and unloading the circuit board after the image capture from the board inspection apparatus shortens the inspection time per circuit board, and allows a large number of circuit boards to be This is a bottleneck in increasing inspection efficiency.
[0004]
In view of the above circumstances, an object of the present invention is to provide a substrate inspection apparatus in which the inspection time is shortened.
[0005]
[Means for Solving the Problems]
The substrate inspection apparatus of the present invention that achieves the above object is
In a board inspection apparatus that takes in an image of the surface of a circuit board that has been carried in with a camera and carries out the circuit board after the image has been taken in, and inspects the circuit board based on the taken-in image,
(1) Among the carry-in position for receiving the loaded circuit boards, the inspection position for taking in the image of the circuit board surface, and the carry-out position for carrying out the circuit board after taking in the images, arranged in a predetermined first direction, A carry-in body that reciprocates between the carry-in position and the inspection position and receives the carried circuit board at the carry-in position and transports it to the inspection position. (2) A predetermined first crossing with respect to the first direction. A camera having a plurality of light receiving elements arranged in two directions, wherein the inspection body is moved in the first direction in synchronization with the movement of the carrying body in the first direction, and the inspection position is moved by the carrying body. A camera that scans the circuit board conveyed to the first direction when the carry-in body returns from the inspection position to the carry-in position and captures an image of the surface of the circuit board. (3) Movement of the carry-in body Synchronously with the inspection position and the carrying An unloading body that reciprocates between positions and receives the circuit board after image capture at the inspection position and transports it to the unloading position. (4) Board inspection for inspecting the circuit board based on the image captured by the camera. It has the part.
[0006]
The substrate inspection apparatus of the present invention has a plurality of light receiving elements arranged in a predetermined second direction intersecting with a first direction in which circuit boards are arranged, and this first direction is synchronized with the movement of the carry-in body. When the loaded body returns from the inspection position to the loading position, the camera moving to the position scans in the first direction and captures an image of the surface of the circuit board conveyed to the inspection position. That is, the camera scans the circuit board when moving the carry-in body. Thereby, the circuit board is inspected in a short time independently of the movement of the carry-in body, that is, in comparison with the case where the carry-in body waits until the carry-out body moves off the inspection position and scans with the camera.
[0007]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described.
FIG. 1 is a side view showing a schematic configuration of a substrate inspection apparatus according to the present invention, and FIG. 2 is a top view thereof.
Between the outside of the board inspection apparatus 10 and the carry-in position A for receiving the loaded circuit board, as shown in FIG. 2, two carry-in extending in the x direction are carried to the carry-in position A. A conveyor 21 is installed. The circuit board is placed on the two carry-in conveyors 21 and conveyed to the carry-in position A. As will be described later, the board inspection apparatus 10 receives a circuit board at the carry-in position A, conveys the circuit board received at the carry-in position A to an inspection position B for capturing an image of the circuit board surface, and performs this inspection. The circuit board is placed on the inspection table 23 fixed at the position B. Thereafter, an image of the surface of the circuit board placed on the inspection table 23 is captured, and the circuit board is inspected based on the captured image. In addition, the board inspection apparatus 10 conveys the circuit board after the image capture to the carry-out position C where the circuit board after the image capture is carried out. Between the carry-out position C and the outside of the board inspection apparatus 10, two carry-out conveyors 22 extending in the x direction for carrying out circuit boards from the board inspection apparatus 10 are installed as shown in FIG. When the circuit board is conveyed to the unloading position C, the circuit board is placed on the two unloading conveyors 22 and unloaded from the board inspection apparatus 10.
[0008]
Hereinafter, an operation until the circuit board carried into the board inspection apparatus 10 is carried out from the board inspection apparatus 10 will be described.
As shown in FIG. 1, the board inspection apparatus 10 includes a carry-in pad 11 and a carry-in pad vertical movement mechanism 12 that moves the carry-in pad 11 in the vertical direction (z direction shown in FIG. 1). The carry-in pad 11 and the carry-in pad vertical movement mechanism 12 move along the guide rail 24 (see FIG. 2. Note that the carry-in pad vertical movement mechanism 12 is not shown in FIG. 2. In the following, when the top view of the substrate inspection apparatus 10 is shown, the carry-in pad vertical movement mechanism 12 is not shown.) The carry-in pad 11 reciprocates between the carry-in position A and the inspection position B. Then, when the circuit board carried into the board inspection apparatus 10 is received at the carry-in position A, it is transported to the inspection position B.
[0009]
3 is a top view of the carry-in pad when the carry-in pad is viewed from the carry-in position A in the substrate inspection apparatus shown in FIGS. 1 and 2, and FIG. 4 is a view of the carry-in pad from the direction of arrow a shown in FIG. FIG.
The carry-in pad 11 has two grooves 32 extending in the x direction so as to divide the carry-in pad 11 into three. The carry-in pad 11 has four grooves 33 extending in the y direction. The groove 32 is located directly below the two carry-in conveyors 21 as shown in FIG. The grooves 32 and 33 are provided with pins 31 for adjusting the position of the circuit board conveyed to the carry-in position A. The operation of this pin 31 will be described later.
[0010]
FIG. 5 is a top view of the carry-in pad when the circuit board is conveyed to the carry-in position A by the carry-in conveyor, and FIG. 6 is a view of the carry-in pad from the direction of arrow a shown in FIG.
As shown in FIG. 5, when the circuit board 34 is conveyed to the loading position A by the carry-in conveyor 21, the rotation of the two carry-in conveyors 21 is stopped, and the carry-in pad vertical movement mechanism 12 (see FIG. 1) carries the carry-in pad. 11 rises and the carry-in pad 11 receives the circuit board 34.
[0011]
FIG. 7 is a top view showing the carry-in pad that has received the circuit board, and FIG. 8 is a view of the carry-in pad viewed from the direction of arrow a shown in FIG.
3 to 6, the pin 31 is disposed horizontally with respect to the surface of the carry-in pad 11. However, when the carry-in pad 11 receives the circuit board 34 due to the rise of the carry-in pad 11, the pin 31 is 7, get up vertically as shown in FIG. As a result, as shown in FIG. 5, even if the circuit board 34 is transported to a position slightly shifted from directly above the carry-in pad 11, the circuit board 34 is roughly positioned so as to move directly above the carry-in pad 11. .
[0012]
When the carry-in pad 11 receives the circuit board 34 as shown in FIG. 7, the carry-in pad 11 moves to the inspection position B.
Further, the substrate inspection apparatus 10 has a plurality of light receiving elements arranged in a direction perpendicular to the paper surface shown in FIG. 1 (perpendicular to the x direction shown in FIG. 1) and transported to the inspection position B. A CCD camera 14 for capturing the images is provided. The CCD camera 14 is provided with LEDs (not shown) that are arranged in a direction perpendicular to the paper surface shown in FIG. 1 and that illuminate the circuit board from above when capturing an image on the circuit board surface. Below the CCD camera 14, there are provided LEDs 15 which are arranged in a direction perpendicular to the paper surface shown in FIG. 1 and illuminate the circuit board from below when an image on the surface of the circuit board is captured. The CCD camera 14 is attached to two guide rails 24 as shown in FIG. 2, and the LED 15 is also attached to the two guide rails 24. The CCD camera 14 and the LED 15 are connected to the carry-in pad 11 in the x direction. It moves in the x direction in synchronization with the movement. The operation after the carry-in pad 11 transports the circuit board to the inspection position B until the CCD camera 14 captures an image of the surface of the circuit board will be described later.
[0013]
The substrate inspection apparatus 10 also includes a carry-out pad 16 and a carry-out pad vertical movement mechanism unit 17 that moves the carry-out pad 16 in the vertical direction (z direction shown in FIG. 1). The unloading pad 16 and the unloading pad up / down moving mechanism 17 move along the guide rail 24, and the unloading pad 16 is synchronized with the movement of the unloading pad 11 to check the inspection position B and unloading position C. The circuit board after the image capture is received at the inspection position B and is transported to the transport position C. As shown in FIG. 1, the carry-out pad 16 is located at the inspection position B when the carry-in pad 11 is located at the carry-in position A.
[0014]
FIG. 9 is a top view of the carry-out pad when the carry-out pad is viewed from the inspection position B in the board inspection apparatus shown in FIGS. 1 and 2.
The carry-out pad 16 has two grooves 41 extending in the x direction so as to divide the carry-out pad 16 into three, and the grooves 41 are located directly below the inspection table 23 as shown in FIG. ing. Further, the carry-out pad 16 is the same as the operation that the carry-in pad 11 receives the circuit board described with reference to FIGS. 3 to 8 (however, the coarse positioning of the circuit board is not performed). Receive a circuit board.
[0015]
FIG. 10 is a side view showing the board inspection apparatus when the carry-in pad receives the circuit board as shown in FIG.
When the carry-in pad 11 is raised, the carry-in conveyor 21 is arranged in the groove 32 of the carry-in pad 11 as shown in FIG. 10, and when the carry-out pad 16 is raised, the inspection table 23 is arranged in the groove 41 of the carry-out pad 16. . At this time, the carry-in pad 11 receives the circuit board 34 as shown in FIG. Thereafter, the carry-in pad 11 moves to the inspection position B.
[0016]
11 is a side view showing the substrate inspection apparatus when the carry-in pad is moved to the inspection position B, FIG. 12 is a top view thereof, and FIG. 13 is a view from the inspection position B in the substrate inspection apparatus shown in FIGS. It is a top view of a carrying-in pad when seeing a carrying-in pad.
When the carry-in pad 11 receives the circuit board at the carry-in position A, the carry-in pad 11 moves to the inspection position B, and the inspection table 23 is arranged in the groove 32 of the carry-in pad 11 as shown in FIG. When the carry-in pad 11 moves to the inspection position B, the carry-out pad 16 moves to the carry-out position C, and the carry-out conveyor 22 is disposed in the groove 41 of the carry-out pad 16 as shown in FIG. Thereafter, the carry-in pad 11 and the carry-out pad 16 are lowered.
[0017]
FIG. 14 is a view when the carry-in pad and the carry-out pad are lowered.
As shown in FIG. 14, the circuit board 34 is placed on the inspection table 23 when the carry-in pad 11 is lowered. The circuit board 34 is provided with a marker for determining how far the circuit board is placed from a predetermined position of the inspection table 23, and the circuit board is placed on the inspection table 23. When placed, the LED 13 attached to the carry-in pad vertical movement mechanism unit 12 illuminates the marker on the circuit board, and the two-dimensional camera 19 captures an image of this marker. Image data representing an image captured by the two-dimensional camera 19 is input to the board inspection unit 20 that inspects the circuit board. A method for inspecting the circuit board in the board inspection unit 20 will be described later. Further, when the circuit board is placed on the inspection table 23 by lowering the carry-in pad 11, the carry-in pad 11 returns from the inspection position B to the carry-in position A. Since the CCD camera 14 and the LED 15 move in synchronization with the movement of the carry-in pad 11 as described above, the CCD camera 14 is in the test position B when the carry-in pad 11 returns from the test position B to the carry-in position A. The LED 15 passes under the circuit board 34 and passes under the circuit board 34.
[0018]
FIG. 15 is a view when the CCD camera passes over the circuit board at the inspection position B and the LED 14 passes under the circuit board when the carry-in pad returns from the inspection position B to the carry-in position A.
As shown in FIG. 15, when the LED 15 passes under the circuit board, the circuit board is illuminated from below, and when the CCD camera 14 passes over the circuit board 34 at the inspection position B. In addition, the circuit board 34 is illuminated from above with the LEDs attached to the CCD camera 14. The circuit board 34 is illuminated in this way, and the CCD camera 14 scans the circuit board 34 in the x direction to capture an image of the circuit board 34. The image captured by the CCD camera 14 is displayed on the monitor 18, and image data representing this image is input to the substrate inspection unit 20. In this board inspection unit 20, wiring pattern reference data to be compared with the wiring pattern formed on the surface of the circuit board carried into the board inspection apparatus 10 is stored. When the image data representing the marker image captured by the two-dimensional camera 19 and the image data on the circuit board surface captured by the CCD camera 14 are input, the CCD camera 14 uses the image data representing the marker image. Image data representing the captured image of the surface of the circuit board is corrected so as to become image data when the circuit board is placed at a predetermined position of the inspection table 23, and the corrected image data is stored in advance. The circuit board is inspected by comparing the corrected reference data and detecting the difference between the corrected image data and the reference data. Thus, when the carry-in pad 11 returns from the inspection position B to the carry-in position A, the image of the circuit board is captured by the CCD camera 14 and the carry-in pad 11 returns to the carry-in position A.
[0019]
FIG. 16 is a side view of the substrate inspection apparatus when the carry-in pad returns to the carry-in position A.
When the carry-in pad 11 returns to the carry-in position A, as shown in FIG. 16, the carry-out pad 16 moves to the inspection position B, and the circuit board 35 is carried to the carry-in position A. Thereafter, the carry-in pad 11 and the carry-out pad 16 move again as described with reference to FIGS. 10, 11, and 14, and convey the circuit boards 34 and 35 to the inspection table 23 and the carry-out conveyor 22, respectively.
[0020]
FIG. 17 is a diagram in which the circuit board is conveyed to the inspection table and the carry-out conveyor.
The circuit board 34 placed on the carry-out conveyor 22 is carried out of the board inspection apparatus 10. The carry-in pad 11 returns to the carry-in position A again, and the steps described with reference to FIGS. 15 to 17 are repeated, and the circuit board carried into the board inspection apparatus 10 is inspected.
[0021]
The board inspection apparatus 10 according to the present embodiment receives the circuit board transported to the carry-in position A after the carry-in pad 11 moves to the test position B and places the circuit board on the test table 23. When returning from the inspection position B to the loading position A, an image of the circuit board at the inspection position B is captured by the CCD camera 14 that moves in synchronization with the movement of the loading pad 11. That is, simultaneously with moving the carry-in pad 11, the CCD camera 14 scans the circuit board surface. Therefore, the inspection time of the circuit board carried into the board inspection apparatus 10 can be shortened.
[0022]
The CCD camera 14 constituting the substrate inspection apparatus 10 of the present embodiment has a plurality of light receiving elements arranged in a direction perpendicular to the x direction shown in FIG. If the CCD camera 14 is installed in the direction in which the light receiving elements are arranged in this way, it is advantageous in terms of resolution and the like when the number of light receiving elements is arranged, but the CCD camera 14 is arranged in the x direction. On the other hand, even if it is installed in a direction arranged in a direction intersecting at an angle of 45 degrees, for example, it does not depart from the spirit of the present invention to capture an image by scanning in the x direction synchronized with the movement of the carry-in pad 11 in the x direction. Absent.
[0023]
Moreover, in the board | substrate inspection apparatus 10 of this embodiment, when the carrying-in pad 11 and the carrying-out pad 16 receive a circuit board, the circuit board is mounted in the carrying-in pad 11 or the carrying-out pad 16, but the carrying-in pad 11 and the carrying-out pad 16 May pick up the circuit board when receiving the circuit board.
Moreover, in the board | substrate inspection apparatus 10 of this embodiment, the carrying-in pad 11 is made into a table-like thing, and it is made to move to one direction (X direction) while moving up and down (Z direction) by the carrying pad vertical movement mechanism part 12. FIG. However, the table may be stationary, and the vertical movement mechanism 12 may be provided with a suction function and moved in one direction. Further, instead of the table-shaped carry-out pad 16, the vertical movement mechanism 17 may be provided with a suction function to serve as a carry-out pad.
[0024]
【The invention's effect】
As described above, according to the substrate inspection apparatus of the present invention, the inspection time can be shortened.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a side view showing a schematic configuration of a substrate inspection apparatus of the present invention.
FIG. 2 is a top view showing a schematic configuration of a substrate inspection apparatus according to the present invention.
3 is a top view of the carry-in pad when the carry-in pad is viewed from the carry-in position A in the substrate inspection apparatus shown in FIGS. 1 and 2. FIG.
4 is a view of the carry-in pad as viewed from the direction of arrow a shown in FIG.
FIG. 5 is a top view of the carry-in pad when the circuit board is carried to the carry-in position A by the carry-in conveyor.
6 is a view of the carry-in pad as viewed from the direction of arrow a shown in FIG.
FIG. 7 is a top view of a carry-in pad when a circuit board is received.
8 is a view of the carry-in pad as viewed from the direction of arrow a shown in FIG.
9 is a top view of the carry-out pad when the carry-out pad is viewed from the inspection position B in the substrate inspection apparatus shown in FIGS. 1 and 2. FIG.
FIG. 10 is a side view showing the board inspection apparatus when the carry-in pad receives the circuit board as shown in FIG.
11 is a side view showing the substrate inspection apparatus when the carry-in pad is moved to the inspection position B. FIG.
12 is a top view showing the substrate inspection apparatus when the carry-in pad moves to the inspection position B. FIG.
13 is a top view of the carry-in pad when the carry-in pad is viewed from the inspection position B in the substrate inspection apparatus shown in FIGS. 11 and 12. FIG.
FIG. 14 is a view when the carry-in pad 11 and the carry-out pad are lowered.
15 is a view when the CCD camera passes over the circuit board at the inspection position B and the LED 14 passes under the circuit board when the carry-in pad returns from the inspection position B to the carry-in position A. FIG.
16 is a side view of the substrate inspection apparatus when the carry-in pad returns to the carry-in position A. FIG.
FIG. 17 is a side view of the substrate inspection apparatus when the carry-in pad and the carry-out pad are lowered.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Board | substrate inspection apparatus 11 Carry-in pad 12 Carry-in pad vertical movement mechanism part 13, 15 LED
14 CCD camera 16 Unloading pad 17 Unloading pad vertical movement mechanism unit 18 Monitor 19 Two-dimensional camera 20 Board inspection unit 21 Loading conveyor 22 Unloading conveyor 23 Inspection table 31 Pins 32, 33, 41 Grooves 34, 35 Circuit board

Claims (1)

搬入された回路基板表面の画像をカメラで取り込んで画像取込み後の回路基板を搬出し、取り込んだ画像に基づいて回路基板の検査を行なう基板検査装置において、
所定の第1の方向に並ぶ、搬入された回路基板を受け取る搬入位置と、回路基板表面の画像を取り込む検査位置と、画像取込み後の回路基板を搬出する搬出位置とのうち、前記搬入位置と前記検査位置との間で往復動し、搬入された回路基板を前記搬入位置で受け取っては前記検査位置に搬送する搬入体、
前記第1の方向に対して交わる所定の第2の方向に配列された複数の受光素子を有するカメラであって、前記搬入体の、前記第1の方向の動きに同期して該第1の方向に移動し、前記搬入体により前記検査位置に搬送された回路基板を、該搬入体が該検査位置から前記搬入位置に戻る際に該第1の方向に走査して、該回路基板表面の画像を取り込むカメラ、
前記搬入体の動きに同期して、前記検査位置と前記搬出位置との間で往復動し、画像取込み後の回路基板を前記検査位置で受け取っては前記搬出位置に搬送する搬出体、および
前記カメラで取り込んだ画像に基づいて回路基板を検査する基板検査部を備えたことを特徴とする基板検査装置。
In a board inspection apparatus that takes in an image of the surface of a circuit board that has been carried in with a camera and carries out the circuit board after the image has been taken in, and inspects the circuit board based on the taken-in image,
Among the carry-in position for receiving the loaded circuit boards, the inspection position for taking in the image of the circuit board surface, and the carry-out position for carrying out the circuit board after taking the image, arranged in a predetermined first direction, A loading body that reciprocates between the inspection position and receives the circuit board that has been carried in at the loading position, and transports the circuit board to the inspection position;
A camera having a plurality of light receiving elements arranged in a predetermined second direction intersecting with the first direction, wherein the first object is synchronized with the movement of the carry-in body in the first direction. The circuit board moved in the direction and transported to the inspection position by the carry-in body is scanned in the first direction when the carry-in body returns from the inspection position to the carry-in position. Camera to capture images,
A carry-out body that reciprocates between the inspection position and the carry-out position in synchronization with the movement of the carry-in body, receives the circuit board after image capture at the inspection position, and conveys the circuit board to the carry-out position; and A board inspection apparatus comprising a board inspection section for inspecting a circuit board based on an image captured by a camera.
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