JP3840328B2

JP3840328B2 - MOUNTING METHOD AND MOUNTING JIG FOR MODULE IN GAS SUPPLY UNIT

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Publication number: JP3840328B2
Application number: JP03462598A
Authority: JP
Inventors: 達人青山; 和彦小池
Original assignee: CKD Corp
Current assignee: CKD Corp
Priority date: 1997-09-25
Filing date: 1998-02-17
Publication date: 2006-11-01
Anticipated expiration: 2018-02-17
Also published as: JPH11159656A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、半導体製造装置等で使用されるガス供給ユニットのモジュール、即ち、マスフローコントローラを含むガス機器に係り、詳しくは、そのモジュールを交換する際に好適なモジュールの取付方法及びその取付用治具に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、半導体製造工程においては、数種類の腐食性ガスが使用される。そこで、半導体製造装置には、このような数種類の腐食性ガスを供給するためのガス供給ラインが設けらる。図１６は、この種のガス供給ラインの一部を構成するガス供給ユニットを示す。このガス供給ユニットは、それぞれモジュールであるガス機器としての手動弁１０１、レギュレータ１０２、圧力計１０３、入口開閉弁１０４、マスフローコントローラ（以下「ＭＦＣ」という）１０５、出口開閉弁１０６、パージ弁１０７及びフィルタ１０８を備える。これらのモジュール１０１〜１０８が、ガス流路を含む各配管ブロック１１１，１１２，１１３，１１４，１１５，１１６，１１７に固定され、各配管ブロック１１１〜１１７のガス流路が互いに接続される。これにより、数種類の腐食性ガスを供給するためのガス供給ユニットが構成される。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上記従来のガス供給ユニットでは、図１６に示すように、モジュールの一つであるＭＦＣ１０５が複数（通常「４個」）のボルト１７，１８により配管ブロック１１５，１１６に固定されて取り付けられる。ＭＦＣ１０５は、ガス供給ユニットの中でも他のモジュールと比べ交換頻度の高いものである。ここで、ＭＦＣ１０５を配管ブロック１１５，１１６に取り付けたり、取り外したりするには、作業者がＭＦＣ１０５を手で押さえながら、各ボルト１７，１８を締め付けなければならなかった。
【０００４】
図１６では、ガス供給ユニットが水平に置かれたように示されるが、実際には、垂直に配置された配管ブロック１１５，１１６に取り付けられることが少なくない。この場合、ＭＦＣ１０５の取り付け、取り外しを作業者１人で行うには、ボルト１７，１８を締める一方で、ＭＦＣ１０５を手で押さえ続けなければならず、困難で時間のかかる作業となった。特に、複数のＭＦＣ１０５が互いに隣接して集積されたユニットでは、尚更のことである。そのような作業の仕方では、取り付けられたＭＦＣ１０５に位置ずれが生じ易くなり、継手にガス漏れが生じる原因にもなった。
【０００５】
ここで、ＭＦＣ１０５を専用の取付用治具（インストーラ）を使用して、取り付け、取り外しを行うことが考えられる。しかしながら、一般にＭＦＣの形状は、各社、各機種、又は各サイズの違いにより異なるものである。しかも、ＭＦＣと隣接する前後のモジュール（即ち、図１６にでは、配管ブロック１１５，１１６に接続される開閉弁１０６及びパージ弁１０７等の集積弁がこれに該当する。）の形状も複数の種類に及ぶ。このため、一種類のインストーラだけでは、各種のＭＦＣ、各種のモジュールに対応して取り付け、取り外しの作業を行うことはできない。このことは、ＭＦＣ１０５に限らず、その他のモジュールについても同様である。
【０００６】
この発明は上記の事情に鑑みてなされたものであって、その目的は、ガス供給ユニットにおけるモジュールの交換を容易にすると共に、互いに連設されるモジュール相互間の形状の違いに拘わらず汎用的に使用することを可能にしたガス供給ユニットにおけるモジュールの取付方法及びその取付用治具を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するために、請求項１に記載の発明は、中段モジュールと、その両側に連設される前段モジュール及び後段モジュールとを備え、中段モジュールの両側に突設された一対の第１の継手のそれぞれが互いに平行に延びる一対のボルト孔を有し、前段及び後段のモジュールに設けられて各第１の継手に接合される第２の継手のそれぞれが互いに平行に延びる一対のねじ穴を有して構成されるガス供給ユニットにおいて、前段及び後段のモジュールの間に中段モジュールを取り付ける取付方法であって、二つの第２の継手を互いに対向させて並べた状態において、各第２の継手の一方のねじ穴にガイドロッドを装着して合計二本のガイドロッドを互いに平行に配置するロッド装着工程と、平行な二本のガイドロッドのそれぞれに、対応する第１の継手の一方のボルト孔を嵌め合わせ、それら二本のガイドロッドに沿って中段モジュールを移動させることにより、各第１の継手を対応する第２の継手に接合させて一対のねじ穴を対応する一対のボルト孔と同軸上に配置する継手接合工程と、接合状態において、各第１の継手の他方のボルト孔にボルトを挿入して合計二本のボルトを各第２の継手のねじ穴に締め付ける第１の締付工程と、締め付け状態において、二本のガイドロッドをねじ穴及びボルト孔から取り外すロッド取り外し工程と、取り外し状態において、取り外されたボルト孔のそれぞれに別のボルトを挿入して更に合計二本のボルトを各第２の継手のねじ穴に締め付ける第２の締付工程とを備えたことを趣旨とする。
【０００８】
上記の構成によれば、各第２の継手のねじ穴に二本のガイドロッドを装着するだけで、中間モジュールの取付準備が容易に整う。又、第１の継手の一方のボルト孔を各ガイドロッドに嵌め合わせ、中段モジュールをガイドロッドに沿って移動させるだけで、中段モジュールが目的の位置まで確実に案内されて第１及び第２の継手が互いに確実に接合される。更に、各第１の継手の他方のボルト孔に挿入されたボルトを、対応する第２の継手のねじ穴に締め付けることにより、中間モジュールが前段及び後段のモジュールの間に仮付けされる。この過程で、中間モジュールはガイドロッドに支持される。ガイドロッドの取り外しの際には、中間モジュールが仮付けされていることから、脱落の心配がない。
【０００９】
従って、この取付方法では、取り付けの過程で中間モジュールを手で押さえる必要がなく、ボルトの締め付けが容易になる。この取付方法では、ガイドロッドとボルト孔及びねじ穴との対応関係のみで中段モジュールが支持され、その移動が案内される。このため、各モジュールの外形状等の違いにより、この取付方法の使用が制限されることがない。ここで、上記とは逆の手順に従うことにより、中間モジュールが容易に取り外される。従って、本発明の取付方法は、それ自体、中間モジュールの取り外し方法を潜在的に含むものとなる。
【００１０】
上記の目的を達成するために、請求項２に記載の発明は、請求項１の発明の構成において、中段モジュールをマスフローコントローラとしたことを趣旨とする。
【００１１】
従って、上記の構成によれば、ガス供給ユニットの中でも交換頻度の高いマスフローコントローラにつき、請求項１の発明と同様の作用が得られる。
【００１２】
上記の目的を達成するために、請求項３に記載の発明は、請求項１又は請求項２の発明の構成において、ロッド装着工程で装着される二本のガイドロッドを、合計四つのねじ穴を四隅として想定される四角形において互いに対角をなす位置のねじ穴に装着することを趣旨とする。
【００１３】
従って、上記の構成によれば、請求項１又は請求項２の発明の作用に加え、互いに対角をなす位置に配置された二本のガイドロッドにより中間モジュールが支持される。ここで、ガイドロッドと直交する方向において中間モジュールに重力や外力が作用しても、中間モジュールに回転モーメントが加わらず、中間モジュールが安定的に支持される。
【００１４】
上記の目的を達成するために、請求項４に記載の発明は、請求項１乃至請求項３の一つの発明で使用される二本のガイドロッドよりなる取付用治具であって、各ガイドロッドは、その先端が先細りのテーパ形状をなし、その基端にねじ穴に締め付けられる雄ねじを有することを趣旨とする。
【００１５】
従って、上記の構成によれば、ガイドロッド基端の雄ねじを第２の継手のねじ穴に締め付けることにより、ガイドロッドがねじ穴に固定される。継手接合工程においては、第１の継手のボルト孔をガイドロッドに嵌め合わせる際、ガイドロッド先端が先細りのテーパ形状をなすことから、両者の嵌め合わせが容易になる。しかも、治具が、単に二本のガイドロッドによりコンパクトで簡易なものとして構成される。
【００１６】
上記の目的を達成するために、請求項５に記載の発明は、請求項４の発明の構成において、各ガイドロッドは、その先端部が樹脂製のキャップであることを趣旨としている。
【００１７】
従って、上記の構成によれば、請求項４の発明の作用に加え、樹脂製のキャップよりなるガイドロッドの先端部が第１の継手に接触したとしても、その接触は軟らかな当たりとなる。
【００１８】
上記の目的を達成するために、請求項６に記載の発明は、請求項４又は請求項５の発明の構成において、二本のガイドロッドは、互いに長さが異なることを趣旨としている。
【００１９】
上記の構成によれば、請求項４又は請求項５の発明の作用に加え、二本のガイドロッドが対応する第２の継手のねじ穴に固定された状態では、両ガイドロッドの先端は、互いに高さが異なることになる。従って、各ガイドロッドの先端のそれぞれに、対応する第１の継手のボルト孔を嵌め合わせるのに、それを二つ同時に行う必要がない。
【００２０】
上記の目的を達成するために、請求項７に記載の発明は、請求項４乃至請求項６の一つに記載の取付用治具において、各ガイドロッドは、その先端部の表面に滑り止め用のきざみ目を有することを趣旨とする。
【００２１】
上記の構成によれば、請求項４乃至請求項６の一つの発明の作用に加え、各ガイドロッド基端の雄ねじを、対応する第２の継手のねじ穴に締め付けるときには、きざみ目に指を当ててガイドロッドを回すことが可能となり、指を滑らすことがない。
【００２２】
【発明の実施の形態】
［第１の実施の形態］
以下、本発明のガス供給ユニットにおけるモジュールの取付方法及びその取付用治具を具体化した第１の実施の形態を図面を参照して詳細に説明する。
【００２３】
この実施の形態では、半導体製造装置等で使用されるガス供給ユニットにつき、モジュールの取付方法及びその取付用治具が具体化される。ここでは、ガス供給ユニットとして、従来技術で説明した図１６と同様のものが適用される。このガス供給ユニットは、半導体製造工程において数種類の腐食性ガスを供給するためのガス供給ラインの一部を構成するものである。このガス供給ユニットは、ガス機器、即ち本発明のモジュールとしての手動弁１０１、レギュレータ１０２、圧力計１０３、入口開閉弁１０４、ＭＦＣ１０５、出口開閉弁１０６、パージ弁１０７及びフィルタ１０８を備える。これらモジュール１０１〜１０８が、ガス流路を含む各配管ブロック１１１，１１２，１１３，１１４，１１５，１１６，１１７に固定される。各配管ブロック１１１〜１１７のガス流路は互いに接続される。この実施の形態では、ＭＦＣ１０５が、上記ユニットに対して取り付け、取り外しされる本発明の中段モジュールに該当する。更に、パージ弁１０７及び出口弁１０６が、それぞれＭＦＣ１０５の両側に連設される本発明の前段モジュール及び後段モジュールに該当する。
【００２４】
図１はＭＦＣ１０５の側面を示し、図２はその底面を示す。ＭＦＣ１０５は、その両側に突設された一対の第１の継手１，２を有する。各継手１，２はその底面をシール面３とし、そのシール面３の中央にガス流路のポート４を有する。このシール面３には、ガスケットリテナ５が装着される。各継手１，２は、ポート５を挟んで互いに平行に延びる一対のボルト孔６ａ，６ｂ，７ａ，７ｂをそれぞれ有する。各ボルト孔６ａ，６ｂ，７ａ，７ｂは、雌ねじを持たない貫通孔である。
【００２５】
図３はパージ弁１０７及び出口弁１０６を斜め上方から視た図であり、遠近法により示される。パージ弁１０７に対応して設けられた配管ブロック１１５、及び出口弁１０６に対応して設けられた配管ブロック１１６は、それぞれ側方へ突設され、本発明の第２の継手に該当する。これら各配管ブロック１１５，１１６は、ＭＦＣ１０５を取り付けるために、対応する継手１，２と接合されるものである。これら二つの配管ブロック１１５，１１６は、予め所定距離だけ離れて互いに対向して配置されている。各配管ブロック１１５，１１６はその上面をシール面１１とし、対応する継手１，２のシール面３と接合される。各シール面１１の中央にはガス流路のポート１２が設けられる。各配管ブロック１１５，１１６は、ポート１２を挟んで互いに平行に延びる一対のねじ穴１３ａ，１３ｂ，１４ａ，１４ｂを有する。各ねじ穴１３ａ，１３ｂ，１４ａ，１４ｂは雌ねじを有するものである。配管ブロック１１５，１１６のポート１２は、対応する継手１，２のポート３に整合するものである。同様に、配管ブロック１１５，１１６のねじ穴１３ａ，１３ｂ，１４ａ，１４ｂは、対応する継手１，２のボルト孔６ａ，６ｂ，７ａ，７ｂに整合するものである。
【００２６】
図４はこの実施の形態でＭＦＣ１０５の取り付け、取り外しのために使用される取付用治具（「インストーラ」とも称する）１５を示す。この治具１５はステンレス鋼よりなる二本のガイドロッド１６よりなる。各ガイドロッド１６は、その先端１６ａが先細りのテーパ形状をなし、その基端には前記ねじ穴１３ａ，１３ｂ，１４ａ，１４ｂに締め付けられる雄ねじ１６ｂを有する。
【００２７】
次に、上記の取付用治具１５を使用して行われるＭＦＣ１０５の取付方法について、図５〜図１４に従って説明する。ここで、図６，８，１０，１２，１４は前述した図３に準ずるものであり、遠近法により示される。
【００２８】
先ず、図５，６に示すように、ロッド装着工程では、互いに対向して配置された二つの配管ブロック１１５，１１６において、一方のねじ穴１３ａ，１４ｂにガイドロッド１６の雄ねじ１６ｂを締め付けて装着し、合計二本のガイドロッド１６を互いに平行に配置する。この実施の形態では、合計四つのねじ穴１３ａ，１３ｂ，１４ａ，１４ｂを四隅として想定される四角形において、互いに対角をなす位置のねじ穴１３ａ，１４ｂに二本のガイドロッド１６を装着している。
【００２９】
次に、図７，８に示すように、継手接合工程では、平行な二本のガイドロッド１６のそれぞれに、対応する継手１，２の一方のボルト孔６ａ，７ｂを嵌め合わせることにより、ＭＦＣ１０５を両ガイドロッド１６に装着する。そして、それらガイドロッド１６に沿ってＭＦＣ１０５を移動させることにより、各継手１，２を対応する配管ブロック１１５，１１６に接合させる。これにより、一対のねじ穴１３ａ，１３ｂ，１４ａ，１４ｂが、対応する一対のボルト孔６ａ，６ｂ，７ａ，７ｂと同軸上に配置される。
【００３０】
次に、図９，１０に示すように、第１の締付工程では、上記のように継手１，２及び配管ブロック１１５，１１６を互いに接合させた状態において、各継手１，２の他方のボルト孔６ｂ，７ａにボルト１７を挿入して合計二本のボルト１７を各配管ブロック１１５，１１６のねじ穴１３ｂ，１４ａに締め付ける。
【００３１】
次に、図１１，１２に示すように、ロッド取り外し工程では、上記のように二本のボルト１７を締め付けた状態において、二本のガイドロッド１６をねじ穴１３ａ，１４ｂ及びボルト孔６ａ，７ｂから取り外す。
【００３２】
次に、図１３，１４に示すように、第２の締付工程では、上記のようにガイドロッド１６を取り外した状態において、取り外されたボルト孔６ａ，７ｂのそれぞれに別のボルト１８を挿入して更に合計二本のボルト１８を各配管ブロック１１５，１１６の他方のねじ穴１３ａ，１４ｂに締め付ける。
【００３３】
その後、各ボルト１７，１８を規定のトルクで最後に締め付けることにより、両配管ブロック１１５，１１６に対するＭＦＣ１０５の取り付けを完了する。
【００３４】
ここでは、上記のような取り付け状態から、ＭＦＣ１０５を取り外すには、上記各工程を逆の順序で進めればよい。従って、この取付方法は、それ自体、ＭＦＣ１０５の取り外し方法を潜在的に含むものと言える。
【００３５】
以上説明したように、本実施の形態の取付方法によれば、ロッド装着工程において、各配管ブロック１１５，１１６のねじ穴１３ａ，１４ｂに二本のガイドロッド１６を単に装着するだけで、ＭＦＣ１０５の取付準備が容易に整えられる。
【００３６】
その後、継手接合工程では、各継手１，２の一方のボルト孔６ａ，７ｂを各ガイドロッド１６に嵌め合わせるだけで、ＭＦＣ１０５が両ガイドロッド１６に支持される。そして、ＭＦＣ１０５をガイドロッド１６に沿って移動させるだけで、ＭＦＣ１０５が目的の位置まで確実に案内され、同位置において継手１，２及び配管ブロック１１５，１１６が互いに確実に接合される。
【００３７】
そして、第１の締付工程では、各継手１，２の他方のボルト孔６ｂ，７ａに挿入されたボルト１７を、対応する配管ブロック１１５，１１６のねじ穴１３ａ，１４ｂに締め付けるだけで、ＭＦＣ１０５がパージ弁１０７及び出口開閉弁１０６の間で配管ブロック１１５，１１６に仮付けされる。この過程で、ＭＦＣ１０５は二本のガイドロッド１６に支持される。
【００３８】
更に、ロッド取り外し工程では、両ガイドロッド１６が取り外されるが、このとき、ＭＦＣ１０５は仮付けされていることから、脱落の心配はない。
【００３９】
従って、この取付方法では、ＭＦＣ１０５の取り付けの過程で、作業者がＭＦＣ１０５を手で押さえる必要がなく、ボルト１７，１８の締め付けに専念することができ、ボルト１７，１８の締め付けが容易になる。このため、ガス供給ユニットにおけるＭＦＣ１０５の交換作業を容易にすることができる。
【００４０】
この取付方法では、ガイドロッド１６とボルト孔６ａ，６ｂ，７ａ，７ｂ及びねじ穴１３ａ，１３ｂ，１４ａ，１４ｂとの対応関係のみでＭＦＣ１０５が支持され、その移動が案内される。このため、パージ弁１０７、出口開閉弁１０６及びＭＦＣ１０５の外形状等の違いにより、この取付方法の使用が制限されることがない。即ち、ＭＦＣ１０５の形状、或いは、それに隣接する各弁１０７，１０６の形状が、各社、各機種、又は各サイズの違いにより異なっても、一種類の取付用治具１５を使用するだけで、ガス供給ユニットの中でも交換頻度の高い各種のＭＦＣ１０５の取り付け、取り外しを容易にすることができる。換言すると、互いに連設されるモジュール相互の形状等の違いに拘わりなく、この取付方法及び取付用治具１５を汎用的に使用に共することができる。
【００４１】
この実施の形態によれば、互いに対角をなす位置に配置された二本のガイドロッド１６によりＭＦＣ１０５が支持される。ここで、ガイドロッド１６と直交する方向においてＭＦＣ１０５に重力や外力が作用しても、ＭＦＣ１０５に回転モーメントが加わらず、ＭＦＣ１０５が安定的に支持される。この意味でも、ＭＦＣ１０５の取り付け、取り外しを容易なものにすることができる。
【００４２】
この実施の形態によれば、ロッド装着工程において、ガイドロッド１６の基端の雄ねじ１６ｂを配管ブロック１１５，１１６のねじ穴１３ａ，１４ｂに締め付けることにより、ガイドロッド１６がねじ穴１３ａ，１４ｂに固定される。更に、継手接合工程においては、継手１，２のボルト孔６ａ，７ｂをガイドロッド１６に嵌め合わせる際、ガイドロッド１６の先端１６ａが先細りのテーパ形状をなすことから、両者の嵌め合わせが容易になる。この意味でも、ＭＦＣ１０５の取り付け、取り外しを容易なものにすることができる。
【００４３】
この実施の形態によれば、取付用治具１５が単に二本のガイドロッド１６よりなることから、治具１５がコンパクトで簡易なものとして構成される。このため、治具１５を安価に製造することができる。しかも、治具１５のための収容スペースが極めて小さくて済み、その治具１６を工具箱等に簡単に収容することができるようになる。
【００４４】
［第２の実施の形態］
次に、本発明のガス供給ユニットにおけるモジュールの取付方法及びその取付用治具を具体化した第２の実施の形態を図面に従って説明する。この実施の形態では、取付用治具２５の構成のみについて、前記第１の実施の形態の構成と異なる。従って、以下には、両者の違いを中心に説明し、同一の構成要素については同一の符号を付して説明を省略する。
【００４５】
図１５はこの実施の形態でＭＦＣ１０５の取り付け、取り外しのために使用される取付用治具２５を示す。この治具２５は、ステンレス鋼よりなる二本のガイドロッド１６Ｌ，１６Ｓよりなる。各ガイドロッド１６は、その先端１６ａが先細りのテーパ形状をなし、その基端には前記ねじ穴１３ａ，１３ｂ，１４ａ，１４ｂに締め付けられる雄ねじ１６ｂを有する。
【００４６】
この実施の形態において、二本のガイドロッド１６Ｌ，１６Ｓは、互いに長さが異なる。各ガイドロッド１６Ｌ，１６Ｓは、その先端部が樹脂製のキャップ１９をなしている。このキャップ１９は、各ガイドロッド１６Ｌ，１６Ｓの先端においてステンレス鋼で一体成形された突起１６ｃに対し、冠着されたものである。更に、各ガイドロッド１６Ｌ，１６Ｓは、その先端部の表面、即ち、キャップ１９に隣接する表面に、滑り止め用のきざみ目２０をそれぞれ有する。このきざみ目２０は、一般に「ローレット切り」と称する旋盤作業により金属棒の表面に横又は斜めに付けられる滑り止めである。
【００４７】
上記の取付用治具２５は、前記実施の形態と同じようにＭＦＣ１０５の取付方法に使用される。この治具２５を使用した場合、ロッド装着工程等においては、各ガイドロッド１６Ｌ，１６Ｓの雄ねじ１６ｂを、対応する配管ブロック１１５，１１６の各ねじ穴１３ａ，１４ｂに締め付ける。このとき、各ガイドロッド１６Ｌ，１６Ｓの先端部のきざみ目２０に指を当てて各ガイドロッド１６Ｌ，１６Ｓを回すことが可能となり、指を滑らすことがない。この結果、ロッド装着工程の作業を確実なものにすることができ、その作業効率を向上させることができる。
【００４８】
上記の治具２５を使用した場合、ロッド装着工程の後に、異なる長さの二本のガイドロッド１６Ｌ，１６Ｓがそれぞれ配管ブロック１１５，１１６の各ねじ穴１３ａ，１４ｂに固定された状態では、それらの先端は互いに高さの異なる状態で配置されることになる。従って、継手接合工程においては、各ガイドロッド１６Ｌ，１６Ｓの先端のそれぞれに、対応する継手１，２のボルト孔６ａ，７ｂを嵌め合わせるのに、その嵌め合わせを二つ同時に行う必要がない。つまり、長い方のガイドロッド１６Ｌの先端を、最初に一方のボルト孔６ａ，７ｂにある程度嵌め合わせた後、短い方のガイドロッド１６Ｓの先端を他方のボルト孔６ａ，７ｂに嵌め合わせばよい。この意味で、継手接合工程の作業を容易なものにすることができ、その作業効率を向上させることができるようになる。
【００４９】
上記の治具２５を使用した場合、継手装着工程等においては、各ガイドロッド１６Ｌ，１６Ｓの先端部が、万が一、継手１，２のシール面に接触したとしても、その先端部が樹脂製のキャップ１９であることから、その接触は軟らかな当たりとなる。このため、ガイドロッド１６Ｌ，１６Ｓとの接触が原因で各継手１，２のシール面が損傷を受けることを未然に防止することができる。
【００５０】
尚、この発明は前記各実施の形態に限定されるものではなく、発明の趣旨を逸脱しない範囲で以下のように実施することができる。以下に示す別の実施の形態でも、前記実施の形態と同様の作用及び効果を得ることができる。
【００５１】
（１）前記各実施の形態では、取り付け、取り外しされる中間モジュールをＭＦＣ１０５としたが、中間モジュールをＭＦＣ１０５以外のガス機器としてもよい。つまり、前記実施の形態と同様に、前段及び後段のモジュールの間に対して取り付け、取り外しされる中間モジュールであれば、ＭＦＣに限られるものではない。必要に応じて各種モジュールに適用することができる。
【００５２】
（２）前記各実施の形態では、二本のガイドロッド１６を、合計四つのねじ穴１３ａ，１３ｂ，１４ａ，１４ｂを四隅として想定される四角形において互いに対角をなす位置のねじ穴１３ａ，１４ｂに装着するようにした。これに対して、二本のガイドロッド１６を、合計四つのねじ穴１３ａ，１３ｂ，１４ａ，１４ｂを四隅として想定される四角形において互いに隣接する角をなす位置のねじ穴１３ａ，１４ａ、或いはねじ穴１３ｂ，１４ｂに装着するようにしてもよい。
【００５３】
（３）前記各実施の形態では、各ガイドロッド１６の先端を先細りのテーパ状に形成したが、単位通直な先端としてもよい。
【００５４】
（４）前記第２の実施の形態では、二本のガイドロッド１６Ｌ，１６Ｓを互いに異なる長さにすることと、各ガイドロッド１６Ｌ，１６Ｓの先端を樹脂製のキャップ１９にすることと、各ガイドロッド１６Ｌ，１６Ｓの先端に滑り止め用のきざみ目２０を設けることとを互いに組み合わせて採用した。これに対して、これらの構成のうち、少なくとも一つを採用するようにしてもよい。
【００５５】
【発明の効果】
請求項１に記載の発明の構成によれば、前段及び後段のモジュールの第２の継手に平行に配置された二本のガイドロッドに沿って中段モジュールを移動させ、第１及び第２の継手を互いに接合させる。そして、二本のボルトにより第１及び第２の継手を互いに締め付け、二本のガイドロッドを取り外した後に更に別の二本のボルトにより第１及び第２の継手を締め付けるようにしている。
従って、中間モジュールを手で押さえる必要がなく、ボルトの締め付けが容易になる。ガイドロッドのみで中段モジュールが支持され、案内されることから、各モジュール形状の違いによりその取付方法の使用が制限されることはない。このため、ガス供給ユニットにおけるモジュールの交換を容易にすることができ、モジュール相互間の形状の違いに拘わりなくこの取付方法を汎用的に使用することができるという効果を発揮する。
【００５６】
請求項２に記載の発明の構成によれば、請求項１の発明の構成において、中段モジュールをマスフローコントローラとしている。従って、ガス供給ユニットの中でも交換頻度の高いマスフローコントローラにつき、請求項１の発明と同様の作用及び効果を得ることができる。
【００５７】
上記請求項３に記載の発明の構成によれば、請求項１又は請求項２の発明の構成において、二本のガイドロッドを、互いに対角をなす位置のねじ穴に装着するようにしている。
従って、請求項１又は請求項２の発明の作用及び効果に加え、中間モジュールに回転モーメントが加わらず、中間モジュールが安定的に支持される。この意味で、請求項１又は請求項２の発明に比べ、モジュールの交換を更に容易なものにすることができるという効果を発揮する。
【００５８】
請求項４に記載の発明の構成によれば、請求項１乃至請求項３の一つの発明で使用される二本のガイドロッドを取付用治具とし、各ガイドロッドの先端を先細りのテーパ形状とし、その基端をねじ穴に締め付けられる雄ねじとしている。
従って、請求項１乃至請求項３の一つの発明の作用及び効果に加え、ガイドロッドの雄ねじが第２の継手に締め付け固定され、ボルト孔とガイドロッドとの嵌め合わせが先細りの先端によって容易になる。この意味でも、中間モジュールの取り付け、取り外しを容易なものにすることができる。更に、治具が単に二本のガイドロッドによりコンパクトで簡易なものとして構成されることから、治具を安価に製造することができ、工具箱等に簡単に収容させることができるという効果を発揮する。
【００５９】
請求項５に記載の発明の構成によれば、請求項４の発明の構成において、各ガイドロッドの先端部を樹脂製のキャップとしている。従って、請求項４の発明の作用及び効果に加え、ガイドロッドの先端部が第１の継手に接触しても、軟らかな当たりとなり、第１の継手のシール面の損傷を未然に防止することができるという効果を発揮する。
【００６０】
請求項６に記載の発明の構成によれば、請求項４又は請求項５の発明の構成において、二本のガイドロッドの長さを互いに異ならせている。従って、上記各発明の作用及び効果に加え、両ガイドロッドの先端に対応する第１の継手のボルト孔を嵌め合わせる際、その嵌め合わせを二つ同時に行う必要がない。この意味で、継手接合工程の作業を容易なものにすることができ、作業効率を向上させることができるという効果を発揮する。
【００６１】
請求項７に記載の発明は、請求項４乃至請求項６の一つの発明の構成において、各ガイドロッドの先端部の表面に滑り止め用のきざみ目を設けている。従って、上記各発明の作用及び効果に加え、各ガイドロッド基端の雄ねじを第２の継手のねじ穴に締め付ける際、きざみ目に指を当ててガイドロッドを回すことが可能となり、指を滑らすことがない。この結果、ロッド装着工程の作業を確実なものにすることができ、作業効率を向上させることができるという効果を発揮する。
【図面の簡単な説明】
【図１】第１の実施の形態に係り、ＭＦＣを示す側面図である。
【図２】同じく、ＭＦＣの底面側を示す斜視図である。
【図３】同じく、パージ弁及び出口弁を斜め上方から視たところを示す斜視図である。
【図４】同じく、ＭＦＣの取付用治具を示す平面図である。
【図５】同じく、ロッド装着工程でのガス供給ユニットの一部を示す側面図である。
【図６】同じく、ロッド装着工程でのガス供給ユニットの一部を示す斜視図である。
【図７】同じく、継手接合工程でのガス供給ユニットの一部を示す側面図である。
【図８】同じく、継手接合工程でのガス供給ユニットの一部を示す斜視図である。
【図９】同じく、第１の締付工程でのガス供給ユニットの一部を示す側面図である。
【図１０】同じく、第１の締付工程でのガス供給ユニットの一部を示す斜視図である。
【図１１】同じく、ロッド取り外し工程でのガス供給ユニットの一部を示す側面図である。
【図１２】同じく、ロッド取り外し工程でのガス供給ユニットの一部を示す斜視図である。
【図１３】同じく、第２の締付工程でのガス供給ユニットの一部を示す側面図である。
【図１４】同じく、第２の締付工程でのガス供給ユニットの一部を示す斜視図である。
【図１５】第２の実施の形態に係り、ＭＦＣの取付用治具を示す平面図である。
【図１６】従来例及び各実施の形態に係り、ガス供給ユニットを示す側面図である。
【符号の説明】
１第１の継手
２第１の継手
６ａボルト孔
６ｂボルト孔
７ａボルト孔
７ｂボルト孔
１３ａねじ穴
１３ｂねじ穴
１４ａねじ穴
１４ｂねじ穴
１５取付用治具
１６ガイドロッド
１６ａ先端
１６ｂ雄ねじ
１７ボルト
１８ボルト
１９樹脂製のキャップ
２０きざみ目
２５取付用治具
１０５マスフローコントローラ（ＭＦＣ：中段モジュールを構成する）
１０６出口開閉弁（後段モジュールを構成する）
１０７パージ弁（前段モジュールを構成する）
１１５配管ブロック（第２の継手を構成する）
１１６配管ブロック（第２の継手を構成する）[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a gas supply unit module used in a semiconductor manufacturing apparatus or the like, that is, a gas appliance including a mass flow controller, and more specifically, a module mounting method suitable for replacing the module and a mounting method for the module. Concerning ingredients.
[0002]
[Prior art]
Conventionally, several types of corrosive gases are used in the semiconductor manufacturing process. Therefore, the semiconductor manufacturing apparatus is provided with a gas supply line for supplying several kinds of corrosive gases. FIG. 16 shows a gas supply unit constituting a part of this type of gas supply line. The gas supply unit includes a manual valve 101, a regulator 102, a pressure gauge 103, an inlet on / off valve 104, a mass flow controller (hereinafter referred to as “MFC”) 105, an outlet on / off valve 106, a purge valve 107, and a gas device as modules. A filter 108 is provided. These modules 101 to 108 are fixed to the pipe blocks 111, 112, 113, 114, 115, 116, and 117 including the gas flow paths, and the gas flow paths of the pipe blocks 111 to 117 are connected to each other. Thereby, the gas supply unit for supplying several types of corrosive gas is comprised.
[0003]
[Problems to be solved by the invention]
By the way, in the conventional gas supply unit, as shown in FIG. 16, the MFC 105 which is one of the modules is fixed and attached to the piping blocks 115 and 116 by a plurality of (usually “four”) bolts 17 and 18. . The MFC 105 has a higher replacement frequency than other modules in the gas supply unit. Here, in order to attach or detach the MFC 105 to or from the piping blocks 115 and 116, the operator had to tighten the bolts 17 and 18 while holding the MFC 105 by hand.
[0004]
In FIG. 16, the gas supply unit is shown as being placed horizontally, but in practice, it is often attached to the piping blocks 115 and 116 arranged vertically. In this case, in order to attach and remove the MFC 105 by one operator, the bolts 17 and 18 must be tightened while the MFC 105 must be held by hand, which is a difficult and time-consuming operation. This is especially true for units in which a plurality of MFCs 105 are stacked adjacent to each other. In such a way of operation, the attached MFC 105 is likely to be misaligned, which causes a gas leak in the joint.
[0005]
Here, it is conceivable to attach and remove the MFC 105 using a dedicated attachment jig (installer). However, in general, the shape of the MFC differs depending on the difference in each company, each model, or each size. In addition, the shape of the front and rear modules adjacent to the MFC (that is, the integrated valves such as the on-off valve 106 and the purge valve 107 connected to the piping blocks 115 and 116 in FIG. It extends to. For this reason, it is not possible to perform attachment and removal operations corresponding to various MFCs and various modules with only one type of installer. This applies not only to the MFC 105 but also to other modules.
[0006]
The present invention has been made in view of the above circumstances, and its object is to facilitate the replacement of the modules in the gas supply unit, and to general-purpose regardless of the difference in shape between modules connected to each other. Another object of the present invention is to provide a module mounting method and mounting jig for a gas supply unit that can be used in the present invention.
[0007]
[Means for Solving the Problems]
In order to achieve the above object, an invention according to claim 1 includes a middle module, a front module and a rear module connected to both sides thereof, and a pair of first modules protruding from both sides of the middle module. Each of the one joint has a pair of bolt holes extending in parallel with each other, and each of the second joints provided in the front and rear modules and joined to each first joint extends in parallel with each other. In the gas supply unit configured to have a hole, the mounting method is to attach the middle module between the front and rear modules, and in the state where two second joints are arranged facing each other, each second A rod mounting step in which a guide rod is mounted in one screw hole of the joint and a total of two guide rods are arranged in parallel with each other, and each of the two parallel guide rods, By fitting one bolt hole of the corresponding first joint and moving the middle module along these two guide rods, each first joint is joined to the corresponding second joint, and a pair of In the joint joining step in which the screw holes are arranged coaxially with the corresponding pair of bolt holes, and in the joined state, the bolts are inserted into the other bolt holes of the first joints, and a total of two bolts are attached to the second bolt holes. A first tightening step for tightening the screw hole of the joint, a rod removing step for removing the two guide rods from the screw hole and the bolt hole in the tightened state, and a separate bolt hole in the detached state for each of the removed bolt holes. And a second tightening step in which the bolts are further inserted and a total of two bolts are tightened into the screw holes of the respective second joints.
[0008]
According to the above configuration, the intermediate module can be easily prepared for attachment by simply mounting the two guide rods in the screw holes of the second joints. Further, only by fitting one bolt hole of the first joint to each guide rod and moving the middle module along the guide rod, the middle module is reliably guided to the target position, and the first and second The joints are securely joined together. Further, by tightening the bolt inserted into the other bolt hole of each first joint into the screw hole of the corresponding second joint, the intermediate module is temporarily attached between the front and rear modules. In this process, the intermediate module is supported by the guide rod. When removing the guide rod, the intermediate module is temporarily attached, so there is no fear of dropping off.
[0009]
Therefore, in this attachment method, it is not necessary to manually hold the intermediate module during the attachment process, and the bolts can be easily tightened. In this mounting method, the middle module is supported only by the corresponding relationship between the guide rod, the bolt hole, and the screw hole, and the movement thereof is guided. For this reason, use of this attachment method is not restricted by the difference in the external shape etc. of each module. Here, the intermediate module can be easily removed by following the reverse procedure. Thus, the attachment method of the present invention itself potentially includes a method for removing the intermediate module.
[0010]
In order to achieve the above object, the invention described in claim 2 is characterized in that, in the configuration of the invention of claim 1, the middle module is a mass flow controller.
[0011]
Therefore, according to said structure, the effect | action similar to invention of Claim 1 is acquired about the mass flow controller with a high exchange frequency among gas supply units.
[0012]
In order to achieve the above object, a third aspect of the present invention is the configuration of the first or second aspect of the present invention, wherein the two guide rods to be mounted in the rod mounting step are divided into a total of four screw holes. This is intended to be attached to screw holes at positions diagonal to each other in a quadrangle assumed to be four corners.
[0013]
Therefore, according to the above configuration, in addition to the operation of the invention of claim 1 or claim 2, the intermediate module is supported by the two guide rods arranged at diagonal positions. Here, even if gravity or an external force is applied to the intermediate module in a direction orthogonal to the guide rod, no rotation moment is applied to the intermediate module, and the intermediate module is stably supported.
[0014]
In order to achieve the above object, a fourth aspect of the present invention is an attachment jig comprising two guide rods used in one of the first to third aspects of the present invention. The rod has a tapered shape with a tapered tip, and has a male screw fastened to a screw hole at the proximal end.
[0015]
Therefore, according to the above configuration, the guide rod is fixed to the screw hole by tightening the male screw at the proximal end of the guide rod into the screw hole of the second joint. In the joint joining step, when the bolt hole of the first joint is fitted to the guide rod, the tip of the guide rod has a tapered shape so that the fitting of both is facilitated. Moreover, the jig is simply and simply constituted by two guide rods.
[0016]
In order to achieve the above object, the invention according to claim 5 is the configuration of the invention according to claim 4, wherein each guide rod has a resin cap at the tip.
[0017]
Therefore, according to the above configuration, in addition to the effect of the invention of claim 4, even if the tip end portion of the guide rod made of a resin cap comes into contact with the first joint, the contact is a soft contact.
[0018]
In order to achieve the above object, the invention described in claim 6 is the configuration of the invention of claim 4 or claim 5, wherein the two guide rods have different lengths.
[0019]
According to said structure, in addition to the effect | action of invention of Claim 4 or Claim 5, in the state in which the two guide rods were fixed to the screw hole of the corresponding 2nd coupling, the front-end | tip of both guide rods is The height will be different from each other. Therefore, it is not necessary to perform two simultaneous operations to fit the bolt holes of the corresponding first joints to the tips of the respective guide rods.
[0020]
In order to achieve the above object, according to a seventh aspect of the present invention, there is provided the mounting jig according to any one of the fourth to sixth aspects, wherein each guide rod is non-slip on the surface of its tip. The purpose is to have a fine grain.
[0021]
According to said structure, in addition to the effect | action of one invention of Claim 4 thru | or 6, when tightening the male screw of each guide rod base end to the screw hole of a corresponding 2nd joint, a finger | toe is creased. It is possible to turn the guide rod by hitting it, without sliding your finger.
[0022]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
[First Embodiment]
Hereinafter, a first embodiment in which a module mounting method and a mounting jig in a gas supply unit of the present invention are embodied will be described in detail with reference to the drawings.
[0023]
In this embodiment, a module mounting method and its mounting jig are embodied for a gas supply unit used in a semiconductor manufacturing apparatus or the like. Here, the same gas supply unit as that shown in FIG. 16 described in the prior art is applied. This gas supply unit constitutes a part of a gas supply line for supplying several kinds of corrosive gases in the semiconductor manufacturing process. This gas supply unit includes a gas device, that is, a manual valve 101 as a module of the present invention, a regulator 102, a pressure gauge 103, an inlet on-off valve 104, an MFC 105, an outlet on-off valve 106, a purge valve 107, and a filter 108. These modules 101 to 108 are fixed to the respective piping blocks 111, 112, 113, 114, 115, 116, 117 including the gas flow paths. The gas flow paths of the respective piping blocks 111 to 117 are connected to each other. In this embodiment, the MFC 105 corresponds to the middle module of the present invention that is attached to and detached from the unit. Further, the purge valve 107 and the outlet valve 106 correspond to the front-stage module and the rear-stage module of the present invention that are connected to both sides of the MFC 105, respectively.
[0024]
FIG. 1 shows the side of the MFC 105, and FIG. 2 shows the bottom. The MFC 105 has a pair of first joints 1 and 2 projecting from both sides thereof. Each joint 1, 2 has a bottom surface as a sealing surface 3, and has a gas flow path port 4 at the center of the sealing surface 3. A gasket retainer 5 is attached to the seal surface 3. Each joint 1, 2 has a pair of bolt holes 6 a, 6 b, 7 a, 7 b extending in parallel with each other with the port 5 interposed therebetween. Each bolt hole 6a, 6b, 7a, 7b is a through hole having no internal thread.
[0025]
FIG. 3 is a view of the purge valve 107 and the outlet valve 106 as viewed obliquely from above, and is shown by a perspective method. A piping block 115 provided in correspondence with the purge valve 107 and a piping block 116 provided in correspondence with the outlet valve 106 are respectively provided so as to protrude sideways and correspond to the second joint of the present invention. These piping blocks 115 and 116 are joined to the corresponding joints 1 and 2 in order to attach the MFC 105. These two piping blocks 115 and 116 are arranged to face each other at a predetermined distance in advance. Each piping block 115, 116 has the upper surface as the sealing surface 11 and is joined to the sealing surface 3 of the corresponding joint 1, 2. A gas flow path port 12 is provided at the center of each sealing surface 11. Each piping block 115, 116 has a pair of screw holes 13a, 13b, 14a, 14b extending in parallel with each other with the port 12 in between. Each screw hole 13a, 13b, 14a, 14b has a female screw. The ports 12 of the piping blocks 115 and 116 are aligned with the ports 3 of the corresponding joints 1 and 2. Similarly, the screw holes 13a, 13b, 14a, 14b of the piping blocks 115, 116 are aligned with the bolt holes 6a, 6b, 7a, 7b of the corresponding joints 1, 2.
[0026]
FIG. 4 shows an attachment jig (also referred to as “installer”) 15 used for attaching and removing the MFC 105 in this embodiment. The jig 15 is composed of two guide rods 16 made of stainless steel. Each guide rod 16 has a tapered shape with a tapered tip 16a, and has a male screw 16b fastened to the screw holes 13a, 13b, 14a, 14b at the proximal end.
[0027]
Next, a method for mounting the MFC 105 performed using the mounting jig 15 will be described with reference to FIGS. 6, 8, 10, 12, and 14 are similar to FIG. 3 described above, and are shown by perspective.
[0028]
First, as shown in FIGS. 5 and 6, in the rod mounting step, the two screw blocks 115 and 116 arranged opposite to each other are mounted by tightening the male screw 16b of the guide rod 16 into one screw hole 13a or 14b. Then, a total of two guide rods 16 are arranged in parallel to each other. In this embodiment, two guide rods 16 are attached to screw holes 13a and 14b at diagonal positions in a quadrangle assumed to have a total of four screw holes 13a, 13b, 14a, and 14b. Yes.
[0029]
Next, as shown in FIGS. 7 and 8, in the joint joining step, one bolt hole 6a, 7b of the corresponding joint 1, 2 is fitted into each of the two parallel guide rods 16, thereby the MFC 105 Are attached to both guide rods 16. Then, by moving the MFC 105 along the guide rods 16, the joints 1 and 2 are joined to the corresponding piping blocks 115 and 116. Thereby, a pair of screw hole 13a, 13b, 14a, 14b is arrange | positioned coaxially with a corresponding pair of bolt hole 6a, 6b, 7a, 7b.
[0030]
Next, as shown in FIGS. 9 and 10, in the first tightening step, in the state where the joints 1 and 2 and the piping blocks 115 and 116 are joined to each other as described above, Bolts 17 are inserted into the bolt holes 6b and 7a, and a total of two bolts 17 are tightened in the screw holes 13b and 14a of the pipe blocks 115 and 116, respectively.
[0031]
Next, as shown in FIGS. 11 and 12, in the rod removing step, the two guide rods 16 are screwed into the screw holes 13a and 14b and the bolt holes 6a and 7b in the state where the two bolts 17 are tightened as described above. Remove from.
[0032]
Next, as shown in FIGS. 13 and 14, in the second tightening step, another bolt 18 is inserted into each of the removed bolt holes 6a and 7b with the guide rod 16 removed as described above. Further, a total of two bolts 18 are tightened in the other screw holes 13a and 14b of the pipe blocks 115 and 116, respectively.
[0033]
Thereafter, the bolts 17 and 18 are finally tightened with a specified torque, thereby completing the attachment of the MFC 105 to both the piping blocks 115 and 116.
[0034]
Here, in order to remove the MFC 105 from the attached state as described above, the above steps may be performed in the reverse order. Therefore, it can be said that this attachment method itself potentially includes a method for removing the MFC 105.
[0035]
As described above, according to the mounting method of the present embodiment, in the rod mounting step, the MFC 105 can be simply mounted by mounting the two guide rods 16 in the screw holes 13a and 14b of the respective piping blocks 115 and 116. Easy to prepare for installation.
[0036]
Thereafter, in the joint joining step, the MFC 105 is supported by both guide rods 16 only by fitting one bolt hole 6 a, 7 b of each joint 1, 2 to each guide rod 16. Then, just by moving the MFC 105 along the guide rod 16, the MFC 105 is reliably guided to the target position, and the joints 1 and 2 and the piping blocks 115 and 116 are reliably joined to each other at the same position.
[0037]
In the first tightening step, the MFC 105 is simply tightened on the screw holes 13a and 14b of the corresponding piping blocks 115 and 116 with the bolts 17 inserted into the other bolt holes 6b and 7a of the joints 1 and 2, respectively. Is temporarily attached to the piping blocks 115 and 116 between the purge valve 107 and the outlet on-off valve 106. In this process, the MFC 105 is supported by the two guide rods 16.
[0038]
Furthermore, in the rod removing step, both guide rods 16 are removed, but at this time, since the MFC 105 is temporarily attached, there is no fear of dropping off.
[0039]
Therefore, in this attachment method, it is not necessary for the operator to hold the MFC 105 by hand during the attachment process of the MFC 105, and it is possible to concentrate on the tightening of the bolts 17 and 18, and the bolts 17 and 18 can be easily tightened. For this reason, the replacement work of the MFC 105 in the gas supply unit can be facilitated.
[0040]
In this attachment method, the MFC 105 is supported only by the corresponding relationship between the guide rod 16, the bolt holes 6a, 6b, 7a, and 7b and the screw holes 13a, 13b, 14a, and 14b, and the movement thereof is guided. For this reason, use of this attachment method is not restricted by the difference in the outer shape of the purge valve 107, the outlet on-off valve 106, and the MFC 105. That is, even if the shape of the MFC 105 or the shape of each of the valves 107 and 106 adjacent to the MFC 105 is different due to the difference in each company, each model, or each size, the gas can be obtained by using only one type of mounting jig 15. It is possible to easily attach and detach various MFCs 105 that are frequently exchanged among the supply units. In other words, the mounting method and the mounting jig 15 can be used for general purposes regardless of the difference in the shape or the like between modules connected to each other.
[0041]
According to this embodiment, the MFC 105 is supported by the two guide rods 16 that are arranged at diagonal positions. Here, even if gravity or an external force acts on the MFC 105 in a direction orthogonal to the guide rod 16, no rotational moment is applied to the MFC 105, and the MFC 105 is stably supported. In this sense, the MFC 105 can be easily attached and detached.
[0042]
According to this embodiment, in the rod mounting step, the guide rod 16 is fixed to the screw holes 13a and 14b by tightening the male screw 16b at the base end of the guide rod 16 to the screw holes 13a and 14b of the piping blocks 115 and 116. Is done. Further, in the joint joining process, when the bolt holes 6a and 7b of the joints 1 and 2 are fitted to the guide rod 16, the tip 16a of the guide rod 16 has a tapered shape, so that the fitting of both is easy. Become. In this sense, the MFC 105 can be easily attached and detached.
[0043]
According to this embodiment, since the mounting jig 15 is simply composed of the two guide rods 16, the jig 15 is configured to be compact and simple. For this reason, the jig 15 can be manufactured at low cost. Moreover, the storage space for the jig 15 is extremely small, and the jig 16 can be easily stored in a tool box or the like.
[0044]
[Second Embodiment]
Next, a second embodiment in which the module mounting method and the mounting jig in the gas supply unit of the present invention are embodied will be described with reference to the drawings. In this embodiment, only the configuration of the mounting jig 25 is different from the configuration of the first embodiment. Therefore, in the following, the difference between the two will be mainly described, and the same components will be denoted by the same reference numerals and description thereof will be omitted.
[0045]
FIG. 15 shows an attachment jig 25 used for attaching and detaching the MFC 105 in this embodiment. The jig 25 includes two guide rods 16L and 16S made of stainless steel. Each guide rod 16 has a tapered shape with a tapered tip 16a, and has a male screw 16b fastened to the screw holes 13a, 13b, 14a, 14b at the proximal end.
[0046]
In this embodiment, the two guide rods 16L and 16S have different lengths. Each guide rod 16L, 16S has a resin cap 19 at its tip. The cap 19 is attached to a protrusion 16c integrally formed of stainless steel at the tip of each guide rod 16L, 16S. Furthermore, each guide rod 16L, 16S has a notch 20 for preventing slipping on the surface of its tip, that is, the surface adjacent to the cap 19, respectively. This notch 20 is a non-slip which is attached to the surface of a metal bar sideways or diagonally by a lathe operation generally called “knurling”.
[0047]
The mounting jig 25 is used in the mounting method of the MFC 105 as in the above embodiment. When this jig 25 is used, the male screw 16b of each guide rod 16L, 16S is fastened to the corresponding screw hole 13a, 14b of the corresponding piping block 115, 116 in the rod mounting step or the like. At this time, it is possible to turn each guide rod 16L, 16S by applying a finger to the notch 20 at the tip of each guide rod 16L, 16S, and the finger is not slid. As a result, the work of the rod mounting process can be ensured, and the work efficiency can be improved.
[0048]
When the jig 25 is used, in the state where the two guide rods 16L and 16S having different lengths are fixed to the screw holes 13a and 14b of the piping blocks 115 and 116, respectively, after the rod mounting process, These tips are arranged in different heights from each other. Therefore, in the joint joining process, it is not necessary to perform two fittings at the same time in order to fit the bolt holes 6a and 7b of the corresponding joints 1 and 2 to the tips of the guide rods 16L and 16S, respectively. That is, the tip of the longer guide rod 16L is first fitted to one bolt hole 6a, 7b to some extent, and then the tip of the shorter guide rod 16S is fitted to the other bolt hole 6a, 7b. In this sense, the work of the joint joining process can be facilitated, and the work efficiency can be improved.
[0049]
When the jig 25 is used, in the joint mounting process or the like, even if the tip portions of the guide rods 16L and 16S come into contact with the seal surfaces of the joints 1 and 2, the tip portions are made of resin. Because of the cap 19, the contact is a soft hit. For this reason, it is possible to prevent the seal surfaces of the joints 1 and 2 from being damaged due to contact with the guide rods 16L and 16S.
[0050]
The present invention is not limited to the above embodiments, and can be carried out as follows without departing from the spirit of the invention. Also in another embodiment described below, the same operations and effects as those in the above embodiment can be obtained.
[0051]
(1) In each of the above embodiments, the intermediate module to be attached and removed is the MFC 105, but the intermediate module may be a gas device other than the MFC 105. That is, similar to the above-described embodiment, the intermediate module is not limited to the MFC as long as it is an intermediate module that is attached to and removed from the front and rear modules. It can be applied to various modules as required.
[0052]
(2) In each of the above embodiments, the two guide rods 16 are connected to the screw holes 13a, 14b at diagonal positions in a quadrangle assumed to have a total of four screw holes 13a, 13b, 14a, 14b. I tried to put it on. On the other hand, the two guide rods 16 are screw holes 13a, 14a or screw holes at positions that form corners adjacent to each other in a quadrangle assumed to have a total of four screw holes 13a, 13b, 14a, 14b. You may make it mount | wear to 13b, 14b.
[0053]
(3) In each of the above embodiments, the tip of each guide rod 16 is formed in a tapered shape, but it may be a unit straight tip.
[0054]
(4) In the second embodiment, the two guide rods 16L and 16S have different lengths, the tips of the guide rods 16L and 16S are made of resin caps 19, Providing a notch 20 for preventing slipping at the tip of the guide rods 16L and 16S was used in combination with each other. On the other hand, you may make it employ | adopt at least one among these structures.
[0055]
【The invention's effect】
According to the configuration of the first aspect of the invention, the middle module is moved along the two guide rods arranged in parallel to the second joints of the front and rear modules, and the first and second joints are moved. Are joined together. Then, the first and second joints are fastened to each other with two bolts, and after the two guide rods are removed, the first and second joints are fastened with another two bolts.
Therefore, it is not necessary to hold the intermediate module by hand, and the bolt can be easily tightened. Since the middle module is supported and guided only by the guide rod, the use of the mounting method is not limited by the difference in the shape of each module. For this reason, the exchange of the modules in the gas supply unit can be facilitated, and this attachment method can be used universally regardless of the difference in shape between the modules.
[0056]
According to the configuration of the invention described in claim 2, in the configuration of the invention of claim 1, the middle module is a mass flow controller. Therefore, the same operation and effect as the invention of claim 1 can be obtained for the mass flow controller having a high replacement frequency among the gas supply units.
[0057]
According to the configuration of the third aspect of the invention, in the configuration of the first or second aspect of the invention, the two guide rods are attached to the screw holes at positions that are diagonal to each other. .
Therefore, in addition to the operation and effect of the invention of claim 1 or 2, the intermediate module is stably supported without applying a rotational moment to the intermediate module. In this sense, the module can be exchanged more easily than the first or second aspect of the invention.
[0058]
According to the configuration of the invention of claim 4, the two guide rods used in one of the inventions of claims 1 to 3 are used as mounting jigs, and the tips of the guide rods are tapered. The base end of the screw is a male screw that can be tightened into the screw hole.
Therefore, in addition to the operation and effect of one of the first to third aspects of the invention, the male screw of the guide rod is fastened and fixed to the second joint, and the fitting between the bolt hole and the guide rod is facilitated by the tapered tip. Become. In this sense, the intermediate module can be easily attached and detached. Furthermore, since the jig is simply configured with two guide rods as a compact and simple one, the jig can be manufactured at low cost and can be easily accommodated in a tool box or the like. To do.
[0059]
According to the configuration of the invention described in claim 5, in the configuration of the invention of claim 4, the tip portion of each guide rod is a resin cap. Therefore, in addition to the operation and effect of the invention of claim 4, even if the tip end portion of the guide rod contacts the first joint, a soft contact is obtained, and damage to the seal surface of the first joint is prevented in advance. Demonstrate the effect of being able to.
[0060]
According to the configuration of the invention described in claim 6, in the configuration of the invention of claim 4 or 5, the lengths of the two guide rods are different from each other. Therefore, in addition to the operations and effects of the above inventions, when fitting the bolt holes of the first joint corresponding to the tips of both guide rods, it is not necessary to perform two fittings simultaneously. In this sense, the work of the joint joining process can be facilitated, and the effect that the working efficiency can be improved is exhibited.
[0061]
According to a seventh aspect of the present invention, in the configuration of any one of the fourth to sixth aspects of the present invention, an anti-skid notch is provided on the surface of the tip portion of each guide rod. Therefore, in addition to the operations and effects of the above inventions, when the male screw at the base end of each guide rod is tightened into the screw hole of the second joint, it is possible to turn the guide rod by placing a finger on the notch and slide the finger. There is nothing. As a result, the work of the rod mounting process can be ensured, and the working efficiency can be improved.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a side view showing an MFC according to a first embodiment.
FIG. 2 is a perspective view similarly showing the bottom side of the MFC.
FIG. 3 is a perspective view showing the purge valve and the outlet valve as viewed obliquely from above.
FIG. 4 is a plan view showing an MFC mounting jig in the same manner.
FIG. 5 is a side view showing a part of the gas supply unit in the rod mounting step.
FIG. 6 is a perspective view showing a part of the gas supply unit in the rod mounting step.
FIG. 7 is a side view showing a part of the gas supply unit in the joint joining process, similarly.
FIG. 8 is a perspective view showing a part of the gas supply unit in the joint joining process, similarly.
FIG. 9 is a side view showing a part of the gas supply unit in the first tightening step, similarly;
FIG. 10 is a perspective view showing a part of the gas supply unit in the first tightening step.
FIG. 11 is a side view showing a part of the gas supply unit in the rod removing process, similarly.
FIG. 12 is a perspective view showing a part of the gas supply unit in the rod removal step.
FIG. 13 is a side view showing a part of the gas supply unit in the second tightening step, similarly;
FIG. 14 is a perspective view showing a part of the gas supply unit in the second tightening step, similarly;
FIG. 15 is a plan view showing an MFC mounting jig according to the second embodiment;
FIG. 16 is a side view showing a gas supply unit according to a conventional example and each embodiment.
[Explanation of symbols]
1 First joint
2 First joint
6a Bolt hole
6b Bolt hole
7a Bolt hole
7b Bolt hole
13a Screw hole
13b Screw hole
14a Screw hole
14b Screw hole
15 Mounting jig
16 Guide rod
16a tip
16b Male thread
17 volts
18 volts
19 Plastic cap
20 nicks
25 Mounting jig
105 Mass flow controller (MFC: configures middle module)
106 Outlet opening / closing valve
107 Purge valve (composes the former module)
115 Piping block (constituting the second joint)
116 Piping block (constituting the second joint)

Claims

A mass flow controller of a gas supply unit used in a semiconductor manufacturing process, and a pair of front-stage modules and rear-stage modules that are connected to both sides of the mass flow controller and spaced apart from each other , and project from both sides of the mass flow controller. first respective joint has a pair of bolt holes extend parallel to each other, front second joint which is joined to one of the previous SL first joint provided on the front Danmo Joule extend parallel to each other In the gas supply unit having a pair of screw holes and a pair of screw holes provided in the latter module and joined to the other of the first joints, the pair of screw holes extending in parallel with each other . A mounting method for attaching the mass flow controller between the front module and the rear module ,
In a state where the front second joint and the rear second joint are separated from each other and arranged to face each other, a first guide rod is attached to one screw hole of the front second joint, and the rear second joint A rod mounting step of mounting a second guide rod in one screw hole, and arranging the first guide rod and the second guide rod in parallel with each other;
One bolt hole of the corresponding first joint is fitted to the first guide rod , and one bolt hole of the corresponding first joint is fitted to the second guide rod, and the two guide rods are fitted. by moving the mass flow controller along the so joined to the front second joint and the subsequent second joint corresponding to the first joint, and a pair of bolt holes corresponding to said pair of screw holes A joint joining process arranged on the same axis;
A first tightening step in which, in the joined state, a bolt is inserted into the other bolt hole of the first joint, and a total of two bolts are tightened into the screw holes of the front second joint and the rear second joint ; ,
In the tightened state, a rod removing step of removing the two guide rods from the screw hole and the bolt hole;
In the removed state, a second tightening step of inserting another bolt into each of the removed bolt holes and further tightening a total of two bolts into the screw holes of the front second joint and the rear second joint . And a module mounting method in the gas supply unit.

The mounting method according to claim 1 ,
A gas supply unit, wherein the two guide rods mounted in the rod mounting step are mounted in screw holes at positions diagonal to each other in a quadrangle assumed to have the total of four screw holes as four corners. How to install the module.

A mounting jig comprising two guide rods used in the mounting method according to claim 1 or claim 2 ,
Each of the guide rods has a tapered shape with a tapered tip, and has a male screw fastened to the screw hole at the proximal end thereof.

The mounting jig according to claim 3 ,
Each of the guide rods has a resin cap at the tip, and is a module mounting jig in the gas supply unit.

In the mounting jig according to claim 3 or claim 4 ,
The module mounting jig in the gas supply unit, wherein the two guide rods have different lengths.

In claims 3 to mounting jig according to one of claims 5,
Each of the guide rods has a non-slip notch on the surface of the tip portion thereof, and the module mounting jig in the gas supply unit.