JP3846779B2

JP3846779B2 - Piezoelectric vibrator, piezoelectric component and manufacturing method thereof

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Publication number: JP3846779B2
Application number: JP2001272743A
Authority: JP
Inventors: 克行武井; 利幸鈴木; 輝鈴木; 正良井上
Original assignee: TDK Corp
Current assignee: TDK Corp
Priority date: 2001-09-07
Filing date: 2001-09-07
Publication date: 2006-11-15
Anticipated expiration: 2021-09-07
Also published as: JP2003087084A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、圧電振動子、圧電部品及びその製造方法に関し、更に詳しくは、厚み滑り振動を利用する圧電振動子の改良に係る。
【０００２】
【従来の技術】
この種の圧電振動子では、圧電基板を、厚み方向と直交する長さ方向に分極し、分極方向と直交する圧電基板の厚み方向の両主面に、振動用電極を設けた構造を有する。この種の圧電振動子は、エネルギー閉じ込め型振動子であるので、振動のエネルギーが共振部に有効に閉じ込められることが必要である。エネルギー閉じ込め効率を向上させる手段として、例えば、特開平７ー１４７５２７号公報は、分極方向と一致する長さ方向の両側に、幅方向に沿って延びる溝を設け、分極方向と平行な方向のエネルギー閉じ込め効率を向上させた圧電共振子を開示している。
【０００３】
しかし、この圧電共振子は、振動用電極の幅方向の両側、即ち、分極方向と垂直な方向におけるエネルギー閉じ込め効率を改善することができない。このため、エネルギー閉じ込め効率の向上に限界を生じる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の課題は、分極方向と垂直な方向におけるエネルギー閉じ込め性を向上させ、高いＱ値が得られるようにした圧電振動子、圧電部品及びその製造方法を提供することである。
【０００５】
本発明のもう一つの課題は、圧電基板の両主面側において、ほぼ同一のエネルギー閉じ込め性を確保できるようにした圧電振動子、圧電部品及びその製造方法を提供することである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上述した課題解決のため、本発明に係る圧電振動子は、振動用電極と、圧電基板とを含む。前記圧電基板は、厚み方向と直交する長さ方向に分極されている。前記振動用電極は、前記圧電基板の厚み方向の両主面に設けられている。前記圧電基板は、前記振動用電極の幅方向の側部に沿い、前記分極方向に延びる溝を有する。
【０００７】
上述したように、本発明に係る圧電振動子では、圧電基板は、厚み方向と直交する長さ方向に分極されており、振動用電極は分極方向と直交する圧電基板の厚み方向の両主面に設けられているから、厚み滑り振動モードを利用した圧電振動子が得られる。
【０００８】
上述した厚み滑り振動モードを利用した圧電振動子において、圧電基板は振動用電極の幅方向の側部に沿い、分極方向に延びる溝を有するから、分極方向と垂直な方向において、振動用電極の幅方向の側部に対するエネルギー閉じ込め性を向上させ、高いＱ値を確保することができる。
【０００９】
また、溝によると、振動用電極とは反対側の圧電基体の周辺部に、振動用電極を形成した面と同じ平面を構成する平面が残るので、圧電振動子に封止構造体を組み合わせて圧電部品を得る場合、圧電振動子に対する封止構造体の接合構造を簡素化し、量産性の向上に資することができる。
【００１０】
溝は、好ましくは、振動用電極の両側部に設けられる。このような構造であれば、振動用電極の幅方向の両側におけるエネルギー閉じ込め性を向上させることができる。
【００１１】
溝は、圧電基板の両主面の片面または両面に設けることができる。エネルギー閉じ込め性の向上という観点からは、両面に設けることが特に好ましい。両面側において、対称性のあるエネルギー閉じ込め作用が得られるからである。
【００１２】
溝を圧電基板の両主面に形成する場合、溝は、互いに向き合う位置に設けることが好ましい。このような配置によれば、圧電基板の両主面側において、エネルギー閉じ込め作用の対称性が更に向上し、Ｑ値の向上に資するからである。
【００１３】
溝は、圧電基板の長さ方向の両端面に開口していることが好ましい。このような構造であると、溝を、機械加工により、容易に形成できる。
【００１４】
圧電基体の幅Ｗ１と溝の幅Ｗ２との比（Ｗ２／Ｗ１）、及び、圧電基体３の幅Ｗ１と、振動用電極の中心から、溝の端縁までの距離Ｗ３との比（Ｗ３／Ｗ１）は、エネルギー閉じ込め性に影響を与える。本発明は、更に、上述した圧電振動子と、封止構造体とを含む圧電部品、及び、この圧電部品の製造方法についても開示する。
【００１５】
【発明の実施の形態】
図１は本発明に係る圧電振動子の斜視図、図２は図１に示した圧電振動子の正面図、図３は図２の３−３線における断面図である。図示された圧電振動子は、振動用電極１、２と、圧電基板３とを含む。
【００１６】
振動用電極１、２は、圧電基板３の厚み方向Ｚの両主面３１、３２に設けられている。振動用電極１、２は周知の電極形成技術に従って形成されている。振動用電極１、２にはリード電極１１、２１が備えられている。
【００１７】
圧電基板３は、周知の圧電セラミック材料を用いて構成され、厚み方向Ｚと直交する長さ方向Ｘに分極Ｐｘされている。以下の説明において、長さ方向Ｘを分極方向Ｘと表示することがある。圧電基板３の長さＬ１、幅Ｗ１及び厚みｔ１は適用される周波数に応じて選定される。一例として、Ｌ１＝４．５ｍｍ、Ｗ１＝２．０ｍｍ、厚みｔ１＝０．２０９ｍｍの例がある。
【００１８】
圧電基板３は、振動用電極１、２の幅方向Ｙの側部に沿い、分極方向Ｘに延びる溝４１〜４４を有する。実施例において、溝４１、４２は圧電基板３の主面３１に備えられ、溝４３、４４は、主面３１とは反対側の他の主面３２に設けられている。溝４１、４２は、振動用電極１の幅方向Ｙの両側部に設けられており、溝４３、４４は、振動用電極２の幅方向Ｙの両側部に設けられている。
【００１９】
溝４１〜４４は、溝幅Ｗ２を有し、圧電基板３の中心に対応する振動用電極１、２の中心Ｏ１から間隔Ｗ３を隔てて配置されている。溝幅Ｗ２は、溝４１〜４４のそれぞれにおいて異なっていてもよい。
【００２０】
圧電基体３の幅Ｗ１と、溝４１〜４４の幅Ｗ２との比（Ｗ２／Ｗ１）は、
（Ｗ２／Ｗ１）≧０．１
を満たすことが好ましい。
【００２１】
圧電基体３の幅Ｗ１と、振動用電極１、２の中心Ｏ１から、溝４１〜４４の端縁までの距離Ｗ３との比（Ｗ３／Ｗ１）は、
Ｗ３／Ｗ１）≦０．２５
を満たすことが好ましい。これらの寸法比の選定理由については、後述する。
【００２２】
溝４１、４２と溝４３、４４は、互いに向き合う位置に設けられている。また、溝４１〜４４は、圧電基板３の長さ方向Ｘの両端面に開口している。これとは異なって、溝４１、４２のみを圧電基板３の主面３１に設け、溝４３、４４は省略する構造や、主面３１に溝４１のみを設け、主面３２に溝４４のみを設ける構造を採用することもできる。
【００２３】
更に、溝４１〜４４は、振動用電極１、２とは反対側の圧電基体の周辺部に、振動用電極１、２を形成した面と同じ平面を構成する平面が残るように、圧電基体３の周辺から間隔を隔てて形成してある。振動用電極１、２のリード電極１１、１２は、溝４１〜４４の内壁面に沿って導かれ、更に、溝４１〜４４の外側の平面に延長される。
【００２４】
溝４１〜４４の内壁面の作る形状は、図示の矩形状の他、円弧状、多角形状またはそれらの組み合わせであってもよい。
【００２５】
上述したように、本発明に係る圧電振動子では、圧電基板３は、厚み方向Ｚと直交する長さ方向Ｘに分極されており、振動用電極１、２は分極方向Ｘと直交する圧電基板３の厚み方向Ｚの両主面３１、３２に設けられているから、厚み滑り振動モードを利用した圧電振動子が得られる。
【００２６】
上述した厚み滑り振動モードを利用した圧電振動子において、圧電基板３は振動用電極１、２の幅方向Ｙの側部に沿い、分極方向Ｘに延びる溝４１、４２、４３、４４を有するから、分極方向Ｘと垂直な方向において、振動用電極１、２の幅方向Ｙの側部に対するエネルギー閉じ込め性を向上させ、高いＱ値を確保することができる。
【００２７】
しかも、溝４１〜４４は、振動用電極１、２とは反対側の圧電基体３の周辺部に、振動用電極１、２を形成した面と同じ平面を構成する平面が残るように形成されているので、圧電振動子に封止構造体を組み合わせて圧電部品を得る場合（後述）、圧電振動子に対する封止構造体の接合構造を簡素化し、量産性の向上に資することができる。
【００２８】
図示実施例において、溝４１〜４４は、振動用電極１、２の両側部に設けられている。このような構造であれば、振動用電極１、２の幅方向Ｙの両側におけるエネルギー閉じ込め性を向上させることができる。
【００２９】
また、溝４１〜４４は、圧電基板３の両主面３１、３２に設けられているので、両主面３１、３２において、対称性のあるエネルギー閉じ込め作用が得られ、エネルギー閉じ込め作用が高められる。
【００３０】
更に、溝４１〜４４は互いに向き合う位置に設けられているから、圧電基板３の両主面３１、３２の側において、エネルギー閉じ込め作用の対称性が更に向上し、Ｑ値の向上に資するからである。
【００３１】
溝４１〜４４は、圧電基板３の長さ方向Ｘの両端面に開口しているから、溝４１〜４４は、ダイシングソー等を用いた機械加工により、容易に形成できる。
【００３２】
図４は図１〜図３に図示した圧電振動子を用いた圧電部品の一例を示す分解斜視図、図５は図４に示した圧電部品の断面図、図６は図５の６ー６線に沿った断面図である。図示された圧電部品は、圧電振動子５と、２つの封止構造体６、７とを含む。圧電振動子５は図１〜図３に図示されたものでなる。封止構造体６、７は、圧電振動子５に結合され圧電振動子５の周りに振動空間５４、５５を形成する。図示実施例おいて、封止構造体６、７は、第１の面板部材６と、第２の面板部材７とを含む。
【００３３】
第１の面板部材６及び第２の面板部材７は、圧電振動子５を、その厚み方向の両面側から挟持するように配置され、接着剤層である空洞形成層５２、５３によって、圧電振動子５の圧電基板３の周辺部に接着されている。第１及び第２の面板部材６、７は、絶縁性セラミックス板または絶縁性プラスチック板によって構成される。
【００３４】
空洞形成層５２、５３は、圧電基板３の主面３１、３２の周辺部に枠状に配置されている。より詳しくは、空洞形成層５２、５３は、幅方向Ｙでは、溝４１〜４４よりは外側の平面部に付着される。溝４１〜４４よりは外側の平面部は、振動用電極１、２の付着された面と、同一平面を構成する。従って、振動用電極１、２の上には、空洞形成層５２、５３の層厚に対応する振動空間５４、５５が形成されることになる。
【００３５】
空洞形成層５２、５３は凹部４１〜４４の部分では、その内部に充填される。これにより、凹部４１〜４４は、長さ方向Ｘの両端が、空洞形成層５２、５３によって閉じられる。
【００３６】
圧電振動子５のリード電極１１、２１は、その端部が、空洞形成層５２、５３と圧電基板３との間の界面から外部に露出される。リード電極１１、２１の露出された端部は、第１の面板部材６、圧電基板３及び第２の面板部材７の側面に連続して形成される端子電極８１、８２に電気的、機械的に接続される。
【００３７】
図７は、図４〜図６に示した圧電部品について、比（Ｗ２／Ｗ１）とＱｍａｘとの関係を示すグラフである。圧電振動子５の寸法は、Ｌ１＝４．５ｍｍ、Ｗ１＝２．０ｍｍ、ｔ１＝０．２０９ｍｍ（図１参照）である。溝４１〜４４は深さｔ２＝０．０３ｍｍ（一定）とし、振動用電極１、２の中心Ｏ１からの距離Ｗ３＝０．３２５ｍｍ（一定）とした。
【００３８】
上述した条件のもとで、溝４１〜４４の溝幅Ｗ２を変化させ、そのときのＱｍａｘの値を測定した。Ｑｍａｘは共振周波数と反共振周波数の間におけるＱの最大値を意味する。Ｑは圧電振動子（共振子）のリアクタンス分Ｘの絶対値を、その抵抗分Ｒで除算した値である。即ち、Ｑ＝｜Ｘ｜／Ｒである。
【００３９】
図７を参照すると、圧電基体３の幅Ｗ１と、溝４１〜４４の幅Ｗ２との比（Ｗ２／Ｗ１）が、０．１以上の領域ではＱｍａｘの値が増大する。これは、（Ｗ２／Ｗ１）≧０．１の範囲では、分極方向と垂直方向におけるエネルギー閉じ込め性が向上するためと推測される。
【００４０】
図８は、図４〜図６に示した圧電部品について、比（Ｗ３／Ｗ１）とＱｍａｘとの関係を示すグラフである。圧電振動子５の寸法は、Ｌ１＝４．５ｍｍ、Ｗ１＝２．０ｍｍ、ｔ１＝０．２０９ｍｍ（図１参照）である。溝４１〜４４は深さｔ２＝０．０３ｍｍ（一定）とし、溝幅Ｗ２＝０．１５ｍｍ（一定）とした。
【００４１】
図８に示すように、圧電基体３の幅Ｗ１と、振動用電極１、２の中心Ｏ１から、溝４１〜４４の端縁までの距離Ｗ３との比（Ｗ３／Ｗ１）が、０．２５を超えると、Ｑｍａｘが低下する。これに対して、（Ｗ３／Ｗ１）≦０．２５の範囲では、ほぼ一定したＱｍａｘ値が得られる。これは、（Ｗ３／Ｗ１）≦０．２５の範囲では、分極方向と垂直方向におけるエネルギー閉じ込め性が向上するためと推測される。
【００４２】
図９は図１〜図３に図示した圧電振動子を用いた圧電部品の他の例を示す断面図、図１０は図９の１０−１０線に沿った断面図である。図示された圧電部品は、圧電振動子５と、支持部材７と、キャップ６とを含む。
【００４３】
支持部材７の一面上には、図１〜図３に示した圧電振動子５が搭載されている。支持部材７は、電気絶縁性を有するセラミックス板またはプラスチック板によって構成され、その両側に外部接続用の端子電極８１、８２が設けられ、端子電極８１、８２の間の中間部に接地用の端子電極８３が設けらている。端子電極８１、８２は、圧電振動子５を搭載した面と、側面とに連続するように設けられている。
【００４４】
圧電振動子５は、圧電基板３の両主面に振動用電極１、２が備えられており、振動用電極１、２のリード電極１１、２１が端子電極８１、８２に対向するように配置される。リード電極１１、２１は導電性接着剤５６、５７により、端子電極８１、８２に導通接続される。圧電基板３の分極方向については、既に述べた通りである。
【００４５】
キャップ６は、圧電振動子５を包囲し、支持部材７の一面上に搭載されている。キャップ６は、その内部に密閉された振動空間５４、５５が形成されるように、支持部材７との接合面が接着剤等によって封止される。
【００４６】
図９及び図１０に示した圧電部品も、図４〜図６に図示し、説明した圧電部品と同様の作用効果を奏する。
【００４７】
次に、図１１〜図２５を参照し、本発明に係る圧電部品の製造方法を説明する。図１１〜図２５は、直接には図４〜図６に示した圧電部品を製造する方法を開示するものであるが、図９及び図１０に示した圧電部品の製造にも適用できる。
【００４８】
まず、図１１に示すように多数の圧電部品を含み得る平面積を有する圧電基板３００を用意し、この圧電基板３００を、図１２に示すように、周知の研摩手段によって研摩する。研摩は圧電基板３００の厚み方向の両面において行う。
【００４９】
次に、図１３、図１４に示すように、圧電基板３００に分極処理を施す。分極処理に当っては、圧電基板３００を、板面と平行する方向に分極する。この分極処理は、厚み滑り振動のための分極であり、その分極処理法は周知である。
【００５０】
具体的には、圧電基板３００の一面に、多数の帯状の分極用電極３０１を間隔を隔てて付着させるとともに、圧電基板３００の他面にも、分極用電極３０１と対向する位置に、これと同様の帯状の分極用電極３０２（図１４参照）を設ける。互いに対向関係にある分極電極３０１、３０２は、電気的に導通させる。
【００５１】
そして、直流電源Ｅから供給される電圧供給ラインの一方を、分極用電極３０１に対し１つおきに接続し、電圧供給ラインの他方を、電圧供給ラインの一方が接続されている分極用電極３０１とは対向関係にない分極用電極３０２に対し、１つおきに接続する。これにより、圧電基板３００は長さ方向Ｘに分極Ｐｘされる。
【００５２】
次に、分極用電極３０１、３０２を除去した後、図１５に示すように、圧電基板３００の厚さ方向Ｚの両面に多数の溝４００を形成する。溝４００は、ダイシングソー等を用いた機械加工によって形成することができる。溝４００は圧電基板３００の幅方向Ｙに所定の間隔を隔てて形成する。溝４００は、長さ方向Ｘの両端が、圧電基板３００の両端に開口するように形成することが、作業効率の観点から好ましい。
【００５３】
次に、図１６に示すように、圧電基板３００の一面上に振動用電極１０１及びリード電極１０２を含む導体パターン１００を、圧電基板３００の長さ方向Ｘに、間隔を隔てて多数形成する。各導体パターン１００における振動用電極１０１は、隣接する２つの溝４００−４００の間の平面に位置させる。導体パターン１００はスクリーン印刷、スパッタリング、蒸着、メッキまたはこれらの併用によって形成することができる。
【００５４】
次に、図１７に示すように、圧電基板３００の他面上にも、振動用電極２０１及びリード電極２０２を含む導体パターン２００を、圧電基板３００の長さ方向Ｘに、間隔を隔てて多数形成する。各導体パターン２００における振動用電極２０１は、隣接する２つの溝４００−４００の間に位置させる。導体パターン２００も、導体パターン１００と同様に、スクリーン印刷、スパッタリング、蒸着、メッキまたはこれらの併用によって形成することができる。
【００５５】
次に、図１８に示すように、振動用電極１０１の周りを囲むように、圧電基板３００の一面に、空洞形成層となる接着剤層５２０を付着させる。接着剤層５２０は、圧電基板３００の幅方向Ｙでは、溝４００の外側の平面に乗り、長さ方向Ｘでは溝４００を閉じるように塗布される。接着剤層５２０はスクリーン印刷によって形成できる。
【００５６】
次に、図１９に示すように、振動用電極２０１の周りを囲むように、圧電基板３００の他面に、空洞形成層となる接着剤層５３０を付着させる。接着剤層５３０も、圧電基板３００の幅方向Ｙでは、溝４００の外側の平面に乗り、長さ方向Ｘでは溝４００を閉じるように塗布される。接着剤層５３０はスクリーン印刷または接着シートの適用によって形成できる。
【００５７】
次に、図２０、図２１に図示するように、圧電基板３００の両面側の接着剤層５２０、５３０の上に、第１の封止部材６００及び第２の封止部材７００をそれぞれ接合する。これにより、図２２に図示するような圧電部品集合体が得られる。
【００５８】
図４〜図６に示した圧電部品を得る場合は、第１の封止部材６００及び第２の封止部材７００は、第１の面板部材及び第２の面板部材に相当し、図９、図１０に示した圧電部品を得る場合は、第１の封止部材６００はキャップに相当し、第２の封止部材７００は支持部材に相当する。
【００５９】
次に、図２３に示すように、圧電部品集合体を、Ｙ１−Ｙ１線に沿って切断して、図２４に示すように、スティック状（バー状）の圧電部品集合体を取り出す。図２３はＹ１ーＹ１線で示される切断位置の明確化のため、また、図２４は図２３の図示との整合性を採るため、第１の封止部材６００を省略して示してある。
【００６０】
次に、図２５に示すように、圧電部品集合体を、Ｘ１−Ｘ１線に沿って切断して個々の圧電部品を取り出す。これにより、図４〜図６に図示した圧電部品が得られる。説明は省略するが、図９、図１０に示した圧電部品も、図１１〜図２５に図示した製造方法の適用によって製造できる。
【００６１】
【発明の効果】
以上述べたように、本発明によれば、次のような効果を得ることができる。
（ａ）分極方向と垂直な方向におけるエネルギー閉じ込め性を向上させ、高いＱ値が得られるようにした圧電振動子、圧電部品及びその製造方法を提供することができる。
（ｂ）圧電基板の両主面側において、ほぼ同一のエネルギー閉じ込め性を確保できるようにした圧電振動子、圧電部品及びその製造方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る圧電振動子の斜視図である。
【図２】図１に示した圧電振動子の正面図である。
【図３】図２の３−３線における断面図である。
【図４】図１〜図３に図示した圧電振動子を用いた圧電部品の一例を示す分解斜視図である。
【図５】図４に示した圧電部品の断面図である。
【図６】図５の６−６線に沿った断面図である。
【図７】図４〜図６に示した圧電部品について、比（Ｗ２／Ｗ１）とＱｍａｘとの関係を示すグラフである。
【図８】図４〜図６に示した圧電部品について、比（Ｗ３／Ｗ１）とＱｍａｘとの関係を示すグラフである。
【図９】図１〜図３に図示した圧電振動子を用いた圧電部品の他の例を示す断面図である。
【図１０】図９の１０−１０線に沿った断面図である。
【図１１】本発明に係る圧電部品の製造方法に用いられる圧電基板の平面図である。
【図１２】図１１に示した圧電基板に対する研摩工程を示す図である。
【図１３】研摩後の分極処理を示す平面図である。
【図１４】研摩後の分極処理を示す正面図である。
【図１５】分極処理後の溝加工を示す図である。
【図１６】溝加工後の導体パターン形成工程を示す平面図である。
【図１７】図１６に示した工程の後の導体パターン形成工程を示す図である。
【図１８】導体パターン形成工程の後の接着剤層形成工程を示す図である。
【図１９】図１８に示した接着剤層形成工程の後の接着剤層形成工程を示す図である。
【図２０】積層工程を表面側から見た図である。
【図２１】積層工程を裏面側から見た図である。
【図２２】図２０、図２１の工程を経て得られた圧電部品集合体の正面図である。
【図２３】図２２に示した圧電部品集合体において切断位置の明確化のため、第１の封止部材を省略して示した平面図である。
【図２４】図２３に示した切断工程を経て得られたスティック状（バー状）の圧電部品集合体の平面図である。
【図２５】図２４に示した圧電部品集合体に対する次の切断処理を示す図である。
【符号の説明】
１、２振動用電極
３圧電基板
３１、３２主面
４１〜４４溝[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a piezoelectric vibrator, a piezoelectric component, and a manufacturing method thereof, and more particularly, to improvement of a piezoelectric vibrator using thickness shear vibration.
[0002]
[Prior art]
This type of piezoelectric vibrator has a structure in which a piezoelectric substrate is polarized in a length direction orthogonal to the thickness direction, and vibration electrodes are provided on both principal surfaces of the piezoelectric substrate in the thickness direction orthogonal to the polarization direction. Since this type of piezoelectric vibrator is an energy confinement type vibrator, it is necessary that the energy of vibration be effectively confined in the resonance part. As means for improving the energy confinement efficiency, for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 7-147527 provides grooves extending along the width direction on both sides of the length direction that coincides with the polarization direction, and energy in a direction parallel to the polarization direction. A piezoelectric resonator with improved confinement efficiency is disclosed.
[0003]
However, this piezoelectric resonator cannot improve the energy confinement efficiency on both sides in the width direction of the vibrating electrode, that is, in a direction perpendicular to the polarization direction. For this reason, a limit arises in the improvement of energy confinement efficiency.
[0004]
[Problems to be solved by the invention]
An object of the present invention is to provide a piezoelectric vibrator, a piezoelectric component, and a method for manufacturing the same that improve energy confinement in a direction perpendicular to the polarization direction and obtain a high Q value.
[0005]
Another object of the present invention is to provide a piezoelectric vibrator, a piezoelectric component, and a method for manufacturing the same that can ensure substantially the same energy confinement property on both principal surface sides of the piezoelectric substrate.
[0006]
[Means for Solving the Problems]
In order to solve the above-described problem, the piezoelectric vibrator according to the present invention includes a vibrating electrode and a piezoelectric substrate. The piezoelectric substrate is polarized in the length direction orthogonal to the thickness direction. The vibration electrodes are provided on both main surfaces in the thickness direction of the piezoelectric substrate. The piezoelectric substrate has a groove extending in the polarization direction along a side portion in the width direction of the vibration electrode.
[0007]
As described above, in the piezoelectric vibrator according to the present invention, the piezoelectric substrate is polarized in the length direction orthogonal to the thickness direction, and the vibration electrodes are both main surfaces in the thickness direction of the piezoelectric substrate orthogonal to the polarization direction. Therefore, a piezoelectric vibrator using the thickness shear vibration mode can be obtained.
[0008]
In the piezoelectric vibrator using the thickness-shear vibration mode described above, the piezoelectric substrate has a groove extending in the polarization direction along the side in the width direction of the vibration electrode. It is possible to improve energy confinement with respect to the side portion in the width direction and ensure a high Q value.
[0009]
In addition, according to the groove, a plane constituting the same plane as the surface on which the vibration electrode is formed remains in the periphery of the piezoelectric substrate on the side opposite to the vibration electrode. Therefore, the sealing structure is combined with the piezoelectric vibrator. When obtaining a piezoelectric component, it is possible to simplify the joint structure of the sealing structure to the piezoelectric vibrator and contribute to the improvement of mass productivity.
[0010]
The grooves are preferably provided on both sides of the vibration electrode. With such a structure, the energy confinement property on both sides in the width direction of the vibration electrode can be improved.
[0011]
The grooves can be provided on one side or both sides of both main surfaces of the piezoelectric substrate. From the viewpoint of improving the energy confinement property, it is particularly preferable to provide the both sides. This is because a symmetric energy confinement action is obtained on both sides.
[0012]
When the grooves are formed on both main surfaces of the piezoelectric substrate, the grooves are preferably provided at positions facing each other. This is because according to such an arrangement, the symmetry of the energy confinement action is further improved on both principal surface sides of the piezoelectric substrate, which contributes to the improvement of the Q value.
[0013]
It is preferable that the groove is opened on both end faces in the length direction of the piezoelectric substrate. With such a structure, the groove can be easily formed by machining.
[0014]
The ratio (W2 / W1) of the width W1 of the piezoelectric substrate to the width W2 of the groove, and the ratio (W3 / W1) of the width W1 of the piezoelectric substrate 3 to the distance W3 from the center of the vibration electrode to the edge of the groove. W1) affects energy confinement. The present invention further discloses a piezoelectric component including the above-described piezoelectric vibrator and a sealing structure, and a method for manufacturing the piezoelectric component.
[0015]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
1 is a perspective view of a piezoelectric vibrator according to the present invention, FIG. 2 is a front view of the piezoelectric vibrator shown in FIG. 1, and FIG. 3 is a cross-sectional view taken along line 3-3 of FIG. The illustrated piezoelectric vibrator includes vibration electrodes 1 and 2 and a piezoelectric substrate 3.
[0016]
The vibration electrodes 1 and 2 are provided on both main surfaces 31 and 32 in the thickness direction Z of the piezoelectric substrate 3. The vibrating electrodes 1 and 2 are formed according to a known electrode forming technique. The vibrating electrodes 1 and 2 are provided with lead electrodes 11 and 21, respectively.
[0017]
The piezoelectric substrate 3 is configured using a known piezoelectric ceramic material, and is polarized Px in a length direction X orthogonal to the thickness direction Z. In the following description, the length direction X may be indicated as the polarization direction X. The length L1, width W1, and thickness t1 of the piezoelectric substrate 3 are selected according to the applied frequency. As an example, there is an example of L1 = 4.5 mm, W1 = 2.0 mm, and thickness t1 = 0.209 mm.
[0018]
The piezoelectric substrate 3 has grooves 41 to 44 extending in the polarization direction X along the side portions in the width direction Y of the vibration electrodes 1 and 2. In the embodiment, the grooves 41 and 42 are provided on the main surface 31 of the piezoelectric substrate 3, and the grooves 43 and 44 are provided on the other main surface 32 opposite to the main surface 31. The grooves 41 and 42 are provided on both sides in the width direction Y of the vibration electrode 1, and the grooves 43 and 44 are provided on both sides in the width direction Y of the vibration electrode 2.
[0019]
The grooves 41 to 44 have a groove width W <b> 2 and are arranged at a distance W <b> 3 from the center O <b> 1 of the vibration electrodes 1 and 2 corresponding to the center of the piezoelectric substrate 3. The groove width W2 may be different in each of the grooves 41 to 44.
[0020]
The ratio (W2 / W1) between the width W1 of the piezoelectric substrate 3 and the width W2 of the grooves 41 to 44 is:
(W2 / W1) ≧ 0.1
It is preferable to satisfy.
[0021]
The ratio (W3 / W1) between the width W1 of the piezoelectric substrate 3 and the distance W3 from the center O1 of the vibration electrodes 1 and 2 to the edges of the grooves 41 to 44 is:
W3 / W1) ≦ 0.25
It is preferable to satisfy. The reason for selecting these dimensional ratios will be described later.
[0022]
The grooves 41 and 42 and the grooves 43 and 44 are provided at positions facing each other. Further, the grooves 41 to 44 are opened on both end faces in the length direction X of the piezoelectric substrate 3. Unlike this, only the grooves 41 and 42 are provided on the main surface 31 of the piezoelectric substrate 3 and the grooves 43 and 44 are omitted. Alternatively, only the groove 41 is provided on the main surface 31 and only the groove 44 is provided on the main surface 32. A structure to be provided can also be adopted.
[0023]
Further, the grooves 41 to 44 are formed on the piezoelectric substrate so that a plane constituting the same plane as the surface on which the vibration electrodes 1 and 2 are formed remains in the periphery of the piezoelectric substrate on the side opposite to the vibration electrodes 1 and 2. 3 is spaced from the periphery of 3. The lead electrodes 11 and 12 of the vibration electrodes 1 and 2 are guided along the inner wall surfaces of the grooves 41 to 44 and further extended to a plane outside the grooves 41 to 44.
[0024]
The shape formed by the inner wall surfaces of the grooves 41 to 44 may be an arc shape, a polygonal shape, or a combination thereof, in addition to the illustrated rectangular shape.
[0025]
As described above, in the piezoelectric vibrator according to the present invention, the piezoelectric substrate 3 is polarized in the length direction X orthogonal to the thickness direction Z, and the vibrating electrodes 1 and 2 are piezoelectric substrates orthogonal to the polarization direction X. 3 is provided on both main surfaces 31 and 32 in the thickness direction Z, so that a piezoelectric vibrator using a thickness shear vibration mode can be obtained.
[0026]
In the piezoelectric vibrator using the thickness-shear vibration mode described above, the piezoelectric substrate 3 has grooves 41, 42, 43, 44 extending in the polarization direction X along the sides in the width direction Y of the vibration electrodes 1, 2. In the direction perpendicular to the polarization direction X, the energy confinement with respect to the side portions in the width direction Y of the vibrating electrodes 1 and 2 can be improved, and a high Q value can be secured.
[0027]
In addition, the grooves 41 to 44 are formed so that a plane constituting the same plane as the surface on which the vibrating electrodes 1 and 2 are formed remains in the peripheral portion of the piezoelectric substrate 3 on the side opposite to the vibrating electrodes 1 and 2. Therefore, when a piezoelectric component is obtained by combining a sealing structure with a piezoelectric vibrator (described later), the joining structure of the sealing structure to the piezoelectric vibrator can be simplified to contribute to the improvement of mass productivity.
[0028]
In the illustrated embodiment, the grooves 41 to 44 are provided on both sides of the vibration electrodes 1 and 2. With such a structure, the energy confinement property on both sides in the width direction Y of the vibrating electrodes 1 and 2 can be improved.
[0029]
Further, since the grooves 41 to 44 are provided on both the main surfaces 31 and 32 of the piezoelectric substrate 3, a symmetrical energy confinement effect is obtained on both the main surfaces 31 and 32, and the energy confinement effect is enhanced. .
[0030]
Further, since the grooves 41 to 44 are provided at positions facing each other, the symmetry of the energy confinement action is further improved on both the main surfaces 31 and 32 side of the piezoelectric substrate 3, which contributes to the improvement of the Q value. is there.
[0031]
Since the grooves 41 to 44 are opened at both end faces in the length direction X of the piezoelectric substrate 3, the grooves 41 to 44 can be easily formed by machining using a dicing saw or the like.
[0032]
4 is an exploded perspective view showing an example of a piezoelectric component using the piezoelectric vibrator shown in FIGS. 1 to 3, FIG. 5 is a sectional view of the piezoelectric component shown in FIG. 4, and FIG. 6 is 6-6 in FIG. It is sectional drawing along a line. The illustrated piezoelectric component includes a piezoelectric vibrator 5 and two sealing structures 6 and 7. The piezoelectric vibrator 5 is the same as that shown in FIGS. The sealing structures 6 and 7 are coupled to the piezoelectric vibrator 5 to form vibration spaces 54 and 55 around the piezoelectric vibrator 5. In the illustrated embodiment, the sealing structures 6 and 7 include a first face plate member 6 and a second face plate member 7.
[0033]
The first face plate member 6 and the second face plate member 7 are disposed so as to sandwich the piezoelectric vibrator 5 from both sides in the thickness direction thereof, and piezoelectric vibration is generated by cavity forming layers 52 and 53 that are adhesive layers. It is bonded to the periphery of the piezoelectric substrate 3 of the child 5. The first and second face plate members 6 and 7 are made of an insulating ceramic plate or an insulating plastic plate.
[0034]
The cavity forming layers 52 and 53 are arranged in a frame shape around the main surfaces 31 and 32 of the piezoelectric substrate 3. More specifically, the cavity forming layers 52 and 53 are attached to the planar portion outside the grooves 41 to 44 in the width direction Y. The plane portion outside the grooves 41 to 44 constitutes the same plane as the surface to which the vibration electrodes 1 and 2 are attached. Accordingly, vibration spaces 54 and 55 corresponding to the layer thicknesses of the cavity forming layers 52 and 53 are formed on the vibration electrodes 1 and 2.
[0035]
The cavity forming layers 52 and 53 are filled in the concave portions 41 to 44. Thereby, both ends of the concave portions 41 to 44 in the length direction X are closed by the cavity forming layers 52 and 53.
[0036]
The ends of the lead electrodes 11 and 21 of the piezoelectric vibrator 5 are exposed to the outside from the interface between the cavity forming layers 52 and 53 and the piezoelectric substrate 3. The exposed end portions of the lead electrodes 11 and 21 are electrically and mechanically connected to terminal electrodes 81 and 82 formed continuously on the side surfaces of the first face plate member 6, the piezoelectric substrate 3 and the second face plate member 7. Connected to.
[0037]
FIG. 7 is a graph showing the relationship between the ratio (W2 / W1) and Qmax for the piezoelectric components shown in FIGS. The dimensions of the piezoelectric vibrator 5 are L1 = 4.5 mm, W1 = 2.0 mm, t1 = 0.209 mm (see FIG. 1). The grooves 41 to 44 have a depth t2 = 0.03 mm (constant) and a distance W3 = 0.325 mm (constant) from the center O1 of the vibrating electrodes 1 and 2.
[0038]
Under the conditions described above, the groove width W2 of the grooves 41 to 44 was changed, and the Qmax value at that time was measured. Qmax means the maximum value of Q between the resonance frequency and the anti-resonance frequency. Q is a value obtained by dividing the absolute value of the reactance component X of the piezoelectric vibrator (resonator) by the resistance component R. That is, Q = | X | / R.
[0039]
Referring to FIG. 7, the value of Qmax increases when the ratio (W2 / W1) of the width W1 of the piezoelectric substrate 3 and the width W2 of the grooves 41 to 44 is 0.1 or more. This is presumably because the energy confinement in the direction perpendicular to the polarization direction is improved in the range of (W2 / W1) ≧ 0.1.
[0040]
FIG. 8 is a graph showing the relationship between the ratio (W3 / W1) and Qmax for the piezoelectric components shown in FIGS. The dimensions of the piezoelectric vibrator 5 are L1 = 4.5 mm, W1 = 2.0 mm, t1 = 0.209 mm (see FIG. 1). The grooves 41 to 44 had a depth t2 = 0.03 mm (constant) and a groove width W2 = 0.15 mm (constant).
[0041]
As shown in FIG. 8, the ratio (W3 / W1) between the width W1 of the piezoelectric substrate 3 and the distance W3 from the center O1 of the vibration electrodes 1 and 2 to the edges of the grooves 41 to 44 is 0.25. If it exceeds, Qmax decreases. On the other hand, in the range of (W3 / W1) ≦ 0.25, a substantially constant Qmax value is obtained. This is presumed to be because energy confinement in the direction perpendicular to the polarization direction is improved in the range of (W3 / W1) ≦ 0.25.
[0042]
FIG. 9 is a cross-sectional view showing another example of a piezoelectric component using the piezoelectric vibrator shown in FIGS. 1 to 3, and FIG. 10 is a cross-sectional view taken along line 10-10 of FIG. The illustrated piezoelectric component includes a piezoelectric vibrator 5, a support member 7, and a cap 6.
[0043]
The piezoelectric vibrator 5 shown in FIGS. 1 to 3 is mounted on one surface of the support member 7. The support member 7 is made of an electrically insulating ceramic plate or plastic plate, provided with terminal electrodes 81 and 82 for external connection on both sides thereof, and a grounding terminal at an intermediate portion between the terminal electrodes 81 and 82. An electrode 83 is provided. The terminal electrodes 81 and 82 are provided so as to be continuous with the surface on which the piezoelectric vibrator 5 is mounted and the side surface.
[0044]
The piezoelectric vibrator 5 includes vibration electrodes 1 and 2 on both main surfaces of the piezoelectric substrate 3, and the lead electrodes 11 and 21 of the vibration electrodes 1 and 2 are disposed so as to face the terminal electrodes 81 and 82. Is done. The lead electrodes 11 and 21 are electrically connected to the terminal electrodes 81 and 82 by conductive adhesives 56 and 57. The polarization direction of the piezoelectric substrate 3 is as already described.
[0045]
The cap 6 surrounds the piezoelectric vibrator 5 and is mounted on one surface of the support member 7. The cap 6 is sealed with an adhesive or the like at the joint surface with the support member 7 so that the sealed vibration spaces 54 and 55 are formed therein.
[0046]
The piezoelectric components shown in FIGS. 9 and 10 also have the same effects as the piezoelectric components shown and described in FIGS.
[0047]
Next, a method for manufacturing a piezoelectric component according to the present invention will be described with reference to FIGS. 11 to 25 directly disclose a method of manufacturing the piezoelectric component shown in FIGS. 4 to 6, but can also be applied to the manufacture of the piezoelectric component shown in FIGS. 9 and 10.
[0048]
First, as shown in FIG. 11, a piezoelectric substrate 300 having a plane area that can contain a large number of piezoelectric components is prepared, and this piezoelectric substrate 300 is polished by a known polishing means as shown in FIG. Polishing is performed on both sides of the piezoelectric substrate 300 in the thickness direction.
[0049]
Next, as shown in FIGS. 13 and 14, the piezoelectric substrate 300 is subjected to polarization treatment. In the polarization process, the piezoelectric substrate 300 is polarized in a direction parallel to the plate surface. This polarization treatment is polarization for thickness shear vibration, and the polarization treatment method is well known.
[0050]
Specifically, a large number of strip-shaped polarization electrodes 301 are attached to one surface of the piezoelectric substrate 300 at intervals, and the other surface of the piezoelectric substrate 300 is disposed at a position facing the polarization electrode 301. A similar strip-shaped polarization electrode 302 (see FIG. 14) is provided. The polarization electrodes 301 and 302 that are opposed to each other are electrically connected.
[0051]
Then, one of the voltage supply lines supplied from the DC power source E is connected to every other electrode 301 for polarization, and the other of the voltage supply lines is connected to the polarization electrode 301 to which one of the voltage supply lines is connected. Every other electrode is connected to the polarization electrodes 302 that are not opposite to each other. Thereby, the piezoelectric substrate 300 is polarized Px in the length direction X.
[0052]
Next, after the polarization electrodes 301 and 302 are removed, a large number of grooves 400 are formed on both surfaces in the thickness direction Z of the piezoelectric substrate 300 as shown in FIG. The groove 400 can be formed by machining using a dicing saw or the like. The grooves 400 are formed at a predetermined interval in the width direction Y of the piezoelectric substrate 300. It is preferable from the viewpoint of work efficiency that the groove 400 is formed so that both ends in the length direction X are open at both ends of the piezoelectric substrate 300.
[0053]
Next, as shown in FIG. 16, a large number of conductor patterns 100 including the vibrating electrode 101 and the lead electrode 102 are formed on one surface of the piezoelectric substrate 300 in the length direction X of the piezoelectric substrate 300 at intervals. The vibrating electrode 101 in each conductor pattern 100 is positioned on a plane between two adjacent grooves 400-400. The conductor pattern 100 can be formed by screen printing, sputtering, vapor deposition, plating, or a combination thereof.
[0054]
Next, as shown in FIG. 17, a large number of conductor patterns 200 including vibration electrodes 201 and lead electrodes 202 are also formed on the other surface of the piezoelectric substrate 300 at intervals in the length direction X of the piezoelectric substrate 300. Form. The vibrating electrode 201 in each conductor pattern 200 is positioned between two adjacent grooves 400-400. Similarly to the conductor pattern 100, the conductor pattern 200 can be formed by screen printing, sputtering, vapor deposition, plating, or a combination thereof.
[0055]
Next, as illustrated in FIG. 18, an adhesive layer 520 serving as a cavity forming layer is attached to one surface of the piezoelectric substrate 300 so as to surround the vibration electrode 101. The adhesive layer 520 is applied so as to ride on a plane outside the groove 400 in the width direction Y of the piezoelectric substrate 300 and to close the groove 400 in the length direction X. The adhesive layer 520 can be formed by screen printing.
[0056]
Next, as shown in FIG. 19, an adhesive layer 530 serving as a cavity forming layer is attached to the other surface of the piezoelectric substrate 300 so as to surround the vibration electrode 201. The adhesive layer 530 is also applied so as to ride on a plane outside the groove 400 in the width direction Y of the piezoelectric substrate 300 and to close the groove 400 in the length direction X. The adhesive layer 530 can be formed by screen printing or application of an adhesive sheet.
[0057]
Next, as illustrated in FIGS. 20 and 21, the first sealing member 600 and the second sealing member 700 are bonded onto the adhesive layers 520 and 530 on both sides of the piezoelectric substrate 300, respectively. . Thereby, a piezoelectric component assembly as shown in FIG. 22 is obtained.
[0058]
When obtaining the piezoelectric component shown in FIGS. 4 to 6, the first sealing member 600 and the second sealing member 700 correspond to the first face plate member and the second face plate member, and FIG. When the piezoelectric component shown in FIG. 10 is obtained, the first sealing member 600 corresponds to a cap, and the second sealing member 700 corresponds to a support member.
[0059]
Next, as shown in FIG. 23, the piezoelectric component assembly is cut along the line Y1-Y1, and a stick-shaped (bar-shaped) piezoelectric component assembly is taken out as shown in FIG. FIG. 23 shows the first sealing member 600 omitted for the sake of clarity of the cutting position indicated by the Y1-Y1 line and FIG. 24 shows the consistency with the illustration of FIG.
[0060]
Next, as shown in FIG. 25, the piezoelectric component assembly is cut along the line X1-X1 to take out individual piezoelectric components. Thereby, the piezoelectric component illustrated in FIGS. 4 to 6 is obtained. Although not described, the piezoelectric components shown in FIGS. 9 and 10 can also be manufactured by applying the manufacturing method shown in FIGS.
[0061]
【The invention's effect】
As described above, according to the present invention, the following effects can be obtained.
(A) It is possible to provide a piezoelectric vibrator, a piezoelectric component, and a method for manufacturing the same that improve energy confinement in a direction perpendicular to the polarization direction and obtain a high Q value.
(B) It is possible to provide a piezoelectric vibrator, a piezoelectric component, and a method of manufacturing the same that can ensure substantially the same energy confinement on both principal surface sides of the piezoelectric substrate.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a perspective view of a piezoelectric vibrator according to the present invention.
FIG. 2 is a front view of the piezoelectric vibrator shown in FIG.
3 is a cross-sectional view taken along line 3-3 in FIG.
4 is an exploded perspective view showing an example of a piezoelectric component using the piezoelectric vibrator shown in FIGS. 1 to 3. FIG.
5 is a cross-sectional view of the piezoelectric component shown in FIG.
6 is a cross-sectional view taken along line 6-6 of FIG.
7 is a graph showing the relationship between the ratio (W2 / W1) and Qmax for the piezoelectric component shown in FIGS. 4 to 6. FIG.
FIG. 8 is a graph showing the relationship between the ratio (W3 / W1) and Qmax for the piezoelectric component shown in FIGS.
9 is a cross-sectional view showing another example of a piezoelectric component using the piezoelectric vibrator shown in FIGS.
10 is a cross-sectional view taken along line 10-10 of FIG.
FIG. 11 is a plan view of a piezoelectric substrate used in the method for manufacturing a piezoelectric component according to the present invention.
12 is a diagram showing a polishing process for the piezoelectric substrate shown in FIG. 11. FIG.
FIG. 13 is a plan view showing a polarization process after polishing.
FIG. 14 is a front view showing a polarization process after polishing.
FIG. 15 is a diagram showing groove processing after polarization processing;
FIG. 16 is a plan view showing a conductor pattern forming step after the groove processing.
FIG. 17 is a diagram showing a conductor pattern forming step after the step shown in FIG. 16;
FIG. 18 is a diagram showing an adhesive layer forming step after a conductor pattern forming step.
FIG. 19 is a diagram showing an adhesive layer forming step after the adhesive layer forming step shown in FIG. 18;
FIG. 20 is a view of the stacking process as viewed from the surface side.
FIG. 21 is a view of the stacking process viewed from the back side.
22 is a front view of the piezoelectric component assembly obtained through the steps of FIGS. 20 and 21. FIG.
FIG. 23 is a plan view showing the piezoelectric component assembly shown in FIG. 22 with the first sealing member omitted in order to clarify the cutting position.
24 is a plan view of a stick-shaped (bar-shaped) piezoelectric component assembly obtained through the cutting step illustrated in FIG. 23. FIG.
25 is a diagram showing the next cutting process for the piezoelectric component assembly shown in FIG. 24. FIG.
[Explanation of symbols]
1, 2 Vibration electrodes 3 Piezoelectric substrates 31, 32 Main surfaces 41-44 Grooves

Claims

A piezoelectric vibrator including a vibrating electrode and a piezoelectric substrate,
The piezoelectric substrate is polarized in the length direction orthogonal to the thickness direction,
The vibration electrodes are provided on both main surfaces in the thickness direction of the piezoelectric substrate,
The piezoelectric substrate further includes a groove extending in the polarization direction along a side portion in the width direction of the vibration electrode,
The groove is a piezoelectric vibrator provided on both main surfaces of the piezoelectric substrate .

2. The piezoelectric vibrator according to claim 1, wherein the groove is provided on both sides of the vibration electrode.

2. The piezoelectric vibrator according to claim 1, wherein the groove is opened at both end faces in a length direction of the piezoelectric substrate.

4. The piezoelectric vibrator according to claim 3, wherein the groove is provided at a position facing each other on the two main surfaces. 5.

2. The piezoelectric vibrator according to claim 1, wherein when the width of the piezoelectric substrate is W1 and the width of the groove is W2, the ratio (W2 / W1) is:
(W2 / W1) ≧ 0.1
Piezoelectric vibrator that satisfies the requirements.

2. The piezoelectric vibrator according to claim 1, wherein the width of the piezoelectric substrate is W1, and the distance from the center O1 of the vibrating electrode that coincides with the center of the width W1 to the edge of the groove is W3. The ratio (W3 / W1) is
(W3 / W1) ≦ 0.25
Piezoelectric vibrator that satisfies the requirements.

A piezoelectric component including a piezoelectric vibrator and a sealing structure,
The piezoelectric vibrator is described in any one of claims 1 to 6,
The sealing structure is a piezoelectric component that is coupled to the piezoelectric vibrator and forms vibration spaces on both surfaces in the thickness direction of the piezoelectric vibrator.

The piezoelectric component according to claim 7, wherein the sealing structure includes a first face plate member and a second face plate member, and the first face plate member and the second face plate member are A piezoelectric component that sandwiches the piezoelectric vibrator from both sides.

The piezoelectric component according to claim 7, wherein the sealing structure includes a support member and a cap.
The support member has the piezoelectric vibrator mounted on one surface thereof,
The cap is a piezoelectric component that surrounds the piezoelectric vibrator and is mounted on the one surface of the support member.

A method for manufacturing a piezoelectric component according to claim 7 , wherein:
Polishing a piezoelectric substrate having a planar area that can include a number of piezoelectric components;
Next, the piezoelectric substrate is subjected to a polarization treatment in a direction parallel to the plate surface,
Next, a plurality of grooves are formed on both sides of the piezoelectric substrate in the thickness direction, and the grooves are formed at predetermined intervals in the length direction of the piezoelectric substrate,
Next, a large number of conductor patterns including vibration electrodes and lead electrodes are formed on both surfaces of the piezoelectric substrate at intervals in the width direction of the piezoelectric substrate. At that time, the vibration electrodes in each conductor pattern are Formed in the plane between the grooves,
Next, a cavity forming layer is attached to both sides of the piezoelectric substrate so as to surround the vibration electrode,
Next, a first sealing member and a second sealing member are respectively joined on the cavity forming layers on both sides of the piezoelectric substrate to constitute a piezoelectric component assembly,
Next, a method for manufacturing a piezoelectric component, including a step of cutting the piezoelectric component assembly and taking out the individual piezoelectric components.