JP3848715B2

JP3848715B2 - Bellows mechanism

Info

Publication number: JP3848715B2
Application number: JP465797A
Authority: JP
Inventors: 宗二郎馬上
Original assignee: Disco Corp
Current assignee: Disco Corp
Priority date: 1997-01-14
Filing date: 1997-01-14
Publication date: 2006-11-22
Anticipated expiration: 2017-01-14
Also published as: TW401337B; JPH10202465A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、加工装置特にダイシング装置のジャバラ機構に関する。
【０００２】
【従来の技術】
保持テーブルに保持された被加工物に切削液を供給しながら切削する加工装置においては、図２のように切削液が装置内部に浸入しないように、被加工物を保持し移動可能な保持テーブル（図略）に防水カバー１を装着すると共に、防水カバー１の両側には保持テーブルの移動に追随する防水性のジャバラ本体２を取り付けて、加工装置本体４の開口部４ａを覆うようにしている（例えば、特開平８−１５５７８４号公報）。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
上記従来のジャバラ本体２は、両端部に取付板３が設けられ、この取付板３を加工装置本体４の廃液トレー５の側壁にボルト等で固定して取り付け、メンテナンスの際には防水カバー１と一体に着脱するようになっている。
しかしながら、ジャバラ本体２の取付箇所が多い（図例では片側５箇所、両方で合計１０箇所）ため着脱が面倒であり、又ボルト等の止め具を落下したり紛失したりする等のトラブルが多く発生する問題があった。
本発明は、このような問題を解決するためになされ、取付箇所を片側１箇所にして着脱が容易にできると共に、ボルト等の止め具の落下や紛失を防止できるようにした加工装置のジャバラ機構を提供することを目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
前記課題を技術的に解決するための手段として、本発明は、被加工物を保持し移動可能な保持テーブルと、この保持テーブルの移動方向に沿ってダイシング装置本体に形成されている開口部を覆うジャバラ本体と、を少なくとも含むダイシング装置において、
前記開口部の両端には固定部が対設され、
前記ジャバラ本体にはジャバラ部とダイシング装置本体に着脱できる着脱部とが設けられており、
前記固定部は、その両側の下端部に略Ｌ形の係合部が対設され、上端部には内側に折曲された水平の締結部が設けられると共に、この中央部にボルト挿通用の孔が形成されていて、
前記着脱部は、前記係合部に落とし込んで係合する被係合部と、前記締結部の下面に当接する被締結部が設けられると共に、その中央部に前記ボルト挿通用の孔に差し込まれたボルトを螺着するねじ孔が形成されているジャバラ機構を要旨とする。
又、上記ジャバラ機構において、前記着脱部は、前記固定部に１本のボルトで締結されることを特徴とする。
【０００５】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を添付図面に基づいて詳説する。
図１において、４は加工装置本体であり、要部に開口部４ａが設けられこの開口部４ａの下方に保持テーブル（図略）の駆動機構６が設けられている。駆動機構６は、移動テーブル６ａと、この移動テーブル６ａをＸ軸方向（開口部の長手方向）に移動させるボールスクリュー６ｂ及びモータ６ｃを備え、移動テーブル６ａの上に保持テーブルが装着され、この保持テーブルを移動テーブル６ａと共にＸ軸方向に移動するようになっている。
【０００６】
前記加工装置本体４の開口部４ａの両端には固定部７が対設され、この固定部７の両側の下端部には略Ｌ形の係合部７ａが対設され、上端部には内側に折曲された水平の締結部７ｂが設けられると共に、その中央部にボルト挿通用の孔７ｃがそれぞれ形成されている。
【０００７】
防水カバー１は、図示を省略した保持テーブルに装着するための嵌合孔１ａが中央部に形成され、両側部にはジャバラ本体２がそれぞれ取り付けられており、このジャバラ本体２にはジャバラ部２ａと、その端部に着脱部８がそれぞれ設けられている。
【０００８】
前記着脱部８は、略門形を呈しその両側の下端部は前記固定部７の係合部７ａに係合する被係合部８ａが形成され、上端部には内側に折曲された水平の被締結部８ｂが設けられると共に、その中央部にボルト螺着用のねじ孔８ｃがそれぞれ形成されている。
【０００９】
このように構成されたジャバラ本体２は、防水カバー１と一体で前記加工装置本体４の開口部４ａを覆うようにして固定部７に取り付けられる。即ち、防水カバー１を保持テーブルに装着すると共に、ジャバラ本体２の着脱部８を固定部７の内側から斜めに挿入しながら被係合部８ａを係合部７ａに落とし込んでそれぞれ係合させ、被締結部８ｂを締結部７ｂの下面に当接させ、且つ締結部７ｂの孔７ｃからボルト９を差し込んで前記ねじ孔８ｃに螺着することによりジャバラ本体２をそれぞれ取り付けることができる。
【００１０】
従って、両側のジャバラ本体２は、それぞれ１本のボルト９で加工装置本体４の固定部７に取り付けることができ、メンテナンスの際にはそのボルト９を外すと共に、着脱部８を固定部７から抜けば容易に外すことができる。つまり、ジャバラ本体２の着脱は非常に簡略化すると共に、止め具であるボルト９の落下や紛失等のトラブルも防止することが可能となる。ジャバラ本体２は、伸縮自在であるから着脱作業がし易い。
【００１１】
加工装置本体４がダイシング装置の場合には、保持テーブル上に被加工物である半導体ウェーハ（図略）を保持し、この保持テーブルをＸ軸方向に移動して図示を省略した回転ブレード等の切削手段により、半導体ウェーハに切削液を供給しながら切削加工が行われる。
【００１２】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、ジャバラ本体の着脱部を１箇所ボルト止めするだけで加工装置本体の固定部に取り付けられるようにしたので、メンテナンスの際の着脱が容易になると共に、止め具の落下や紛失を未然に防止できる等の優れた効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の態様を示す概略斜視図である。
【図２】従来例を示す概略斜視図である。
【符号の説明】
１…防水カバー
１ａ…嵌合孔
２…ジャバラ本体
２ａ…ジャバラ部
３…取付板
４…加工装置本体
４ａ…開口部
５…廃液トレー
６…駆動機構
６ａ…移動テーブル６ｂ…ボールスクリュー６ｃ…モータ
７…固定部
７ａ…係合部７ｂ…締結部７ｃ…孔
８…着脱部
８ａ…被係合部８ｂ…被締結部８ｃ…ねじ孔
９…ボルト[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a bellows mechanism for a processing apparatus, particularly a dicing apparatus.
[0002]
[Prior art]
In a processing apparatus that performs cutting while supplying cutting fluid to a workpiece held on a holding table, a holding table that holds and moves the workpiece so that the cutting fluid does not enter the apparatus as shown in FIG. The waterproof cover 1 is attached to the (not shown), and the waterproof bellows body 2 that follows the movement of the holding table is attached to both sides of the waterproof cover 1 so as to cover the opening 4a of the processing apparatus body 4. (For example, JP-A-8-155784).
[0003]
[Problems to be solved by the invention]
The conventional bellows body 2 is provided with mounting plates 3 at both ends, and the mounting plates 3 are fixedly attached to the side walls of the waste liquid tray 5 of the processing apparatus body 4 with bolts or the like. It is designed to be attached and detached as a unit.
However, because there are many attachment points for the bellows body 2 (5 places on one side, 10 places in total in the example), it is troublesome to attach and detach, and there are many troubles such as dropping or losing fasteners such as bolts. There was a problem that occurred.
The present invention has been made in order to solve such a problem, and has a bellows mechanism for a processing apparatus which can be easily attached / detached at one place on one side and can prevent a stopper such as a bolt from falling or lost. The purpose is to provide.
[0004]
[Means for Solving the Problems]
As means for technically solving the above problems, the present invention includes a holding table that can hold and move a workpiece, and an opening formed in the dicing apparatus main body along the moving direction of the holding table. In a dicing apparatus including at least a bellows body to cover,
Fixed portions are provided at both ends of the opening,
The bellows body is provided with a bellows part and a detachable part that can be attached to and detached from the dicing apparatus body,
The fixing portion is provided with a substantially L-shaped engaging portion at the lower end portions on both sides thereof, a horizontal fastening portion bent inward at the upper end portion, and a bolt insertion portion at the center portion. A hole is formed,
The detachable part is provided with an engaged part that drops into the engaging part and engages, and a fastened part that comes into contact with the lower surface of the fastening part, and is inserted into the bolt insertion hole at the center thereof. The gist of the present invention is a bellows mechanism in which a screw hole into which a bolt is screwed is formed .
In the bellows mechanism, the attaching / detaching portion is fastened to the fixing portion with a single bolt.
[0005]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
In FIG. 1, reference numeral 4 denotes a processing apparatus main body. An opening 4a is provided in a main part, and a drive mechanism 6 for a holding table (not shown) is provided below the opening 4a. The drive mechanism 6 includes a moving table 6a and a ball screw 6b and a motor 6c that move the moving table 6a in the X-axis direction (longitudinal direction of the opening). A holding table is mounted on the moving table 6a. The holding table is moved together with the moving table 6a in the X-axis direction.
[0006]
Fixing portions 7 are provided at both ends of the opening 4a of the processing apparatus main body 4, and substantially L-shaped engaging portions 7a are provided at the lower end portions on both sides of the fixing portion 7, and the inner side is provided at the upper end portion. A horizontal fastening portion 7b that is bent is provided, and a bolt insertion hole 7c is formed at the center portion thereof.
[0007]
The waterproof cover 1 is formed with a fitting hole 1a for mounting on a holding table (not shown) in the center, and a bellows body 2 is attached to both sides, and the bellows 2a is attached to the bellows body 2. And the attachment / detachment part 8 is each provided in the edge part.
[0008]
The attaching / detaching portion 8 has a substantially portal shape, and a lower end portion on each side thereof is formed with an engaged portion 8a that engages with an engaging portion 7a of the fixing portion 7, and the upper end portion is bent horizontally inwardly. The fastening portion 8b is provided, and a screw hole 8c for bolting is formed in the center portion thereof.
[0009]
The bellows main body 2 configured in this manner is attached to the fixing portion 7 so as to cover the opening 4 a of the processing apparatus main body 4 integrally with the waterproof cover 1. That is, the waterproof cover 1 is attached to the holding table, and the engaged portion 8a is dropped into the engaging portion 7a while engaging the attaching / detaching portion 8 of the bellows main body 2 obliquely from the inside of the fixing portion 7, and engaged. The bellows main body 2 can be attached by bringing the fastened portion 8b into contact with the lower surface of the fastening portion 7b and inserting the bolt 9 from the hole 7c of the fastening portion 7b and screwing it into the screw hole 8c.
[0010]
Therefore, the bellows main bodies 2 on both sides can be attached to the fixing portion 7 of the processing apparatus main body 4 with one bolt 9 respectively, and the bolt 9 is removed and the detachable portion 8 is removed from the fixing portion 7 at the time of maintenance. If it comes off, it can be easily removed. That is, the attachment / detachment of the bellows main body 2 can be greatly simplified, and troubles such as dropping or loss of the bolt 9 as a stopper can be prevented. Since the bellows main body 2 is telescopic, it can be easily attached and detached.
[0011]
When the processing apparatus body 4 is a dicing apparatus, a semiconductor wafer (not shown), which is a workpiece, is held on a holding table, and the holding table is moved in the X-axis direction, and a rotary blade or the like not shown Cutting is performed by the cutting means while supplying the cutting fluid to the semiconductor wafer.
[0012]
【The invention's effect】
As described above, according to the present invention, the attachment / detachment portion of the bellows main body can be attached to the fixing portion of the processing apparatus main body only by bolting at one place, so that attachment / detachment at the time of maintenance becomes easy, There are excellent effects such as prevention of falling or loss of the stopper.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a schematic perspective view showing an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a schematic perspective view showing a conventional example.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Waterproof cover 1a ... Fitting hole 2 ... Bellows main body 2a ... Bellows part 3 ... Mounting plate 4 ... Processing apparatus main body 4a ... Opening part 5 ... Waste liquid tray 6 ... Drive mechanism 6a ... Moving table 6b ... Ball screw 6c ... Motor 7 ... fixed part 7a ... engagement part 7b ... fastening part 7c ... hole 8 ... removable part 8a ... engaged part 8b ... fastened part 8c ... screw hole 9 ... bolt

Claims

And the workpiece permits held mobile holding table, at least comprising a dicing apparatus and the bellows body, a covering the opening formed in the dicing apparatus main body along the direction of movement of the holding table,
Fixed portions are provided at both ends of the opening,
The bellows body is provided with a bellows part and a detachable part that can be attached to and detached from the dicing apparatus body,
The fixing portion is provided with a substantially L-shaped engaging portion at the lower end portions on both sides thereof, a horizontal fastening portion bent inward at the upper end portion, and a bolt insertion portion at the center portion. A hole is formed,
The detachable part is provided with an engaged part that drops into the engaging part and engages, and a fastened part that comes into contact with the lower surface of the fastening part, and is inserted into the bolt insertion hole at the center thereof. A bellows mechanism in which a screw hole for screwing a bolt is formed .

The bellows mechanism according to claim 1, wherein the detachable portion is fastened to the fixed portion with a single bolt .