JP3850182B2

JP3850182B2 - 荷電粒子線装置

Info

Publication number: JP3850182B2
Application number: JP25552599A
Authority: JP
Inventors: 澤明吉
Original assignee: Jeol Ltd
Current assignee: Jeol Ltd
Priority date: 1999-09-09
Filing date: 1999-09-09
Publication date: 2006-11-29
Anticipated expiration: 2019-09-09
Also published as: JP2001076661A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、電子プローブマイクロアナライザや走査型電子顕微鏡等の荷電粒子線装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
電子プローブマイクロアナライザ（ＥＰＭＡ）は、試料に電子線を照射し、その照射によって試料から発生した特性Ｘ線を検出し、検出した特性Ｘ線に基づいて試料の定性および定量分析を行う装置である。
【０００３】
このような電子プローブマイクロアナライザで使用される試料ホルダの種類は多く、試料ホルダの形状は、試料がセットされる試料穴の数や試料ホルダの大きさ等によってそれぞれ異なっている。
【０００４】
従来の電子プローブマイクロアナライザは、各試料ホルダの形状データを格納しており、オペレータが、試料ステージに取り付けられる試料ホルダの種類を装置に選択入力すると、表示装置の画面上に搭載試料ホルダの概略図形が表示される。
【０００５】
そして、オペレータが前記表示装置の画面上で、マウス等を用いて試料の観察位置を指定すると、その指定した位置が電子線光軸上に来るように前記試料ステージが移動し、その指定位置を中心とする領域の光学像が表示装置の画面上に表示される。なお、この光学像は、電子プローブマイクロアナライザに備えられたＣＣＤカメラ付光学顕微鏡によって得られる。
【０００６】
このようにして試料の光学像が表示装置の画面上に表示されると、オペレータはその画面上で、マウス等を用いて試料の分析位置を指定する。すると、その分析位置が電子線光軸上に来るように前記試料ステージが移動し、その分析位置に電子線が照射されて試料分析が行われる。
【０００７】
また、従来の電子プローブマイクロアナライザにおいては、各試料ホルダに衝突回避レバーが取り付けられる一方、試料ステージ側に衝突回避スイッチが取り付けられており、たとえば大形の試料ホルダが使用されたときでも、試料ホルダが試料室の側壁に衝突する前に前記レバーによって前記衝突回避スイッチがオンになって、試料ステージの移動が停止される。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来の電子プローブマイクロアナライザにおいては、上述したように、オペレータがマニュアル操作によって試料ホルダの種類を装置に選択入力するため、入力ミスがあると、表示装置の画面上に実際とは異なった試料ホルダの概略図形が表示されてしまう。そのため、その表示画面上で観察位置を指定しても、試料部分のないホルダ部分だけの光学像が表示されることもあり、試料分析をうまく行えなくなる。
【０００９】
また、試料穴を多数備えた多試料ホルダが使用されると、上述した試料観察位置の指定および分析位置の指定にかなりの時間がかかる。
【００１０】
また、従来においては、各試料ホルダに衝突回避レバーを取り付けると共に、試料ステージ側にも衝突回避スイッチを取り付けなければならず、このような取付は装置のコストアップにつながっていた。
【００１１】
本発明はこのような問題を解決することを目的とするものである。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
そのために本発明の荷電粒子線装置は、試料ステージに試料ホルダが取り付けられ、該試料ホルダに載置された試料に荷電粒子線を照射し、該照射により試料から発生した信号を検出し、該検出信号に基づいて試料分析または試料像表示を行うようにした荷電粒子線装置において、前記試料ステージに取り付けられる試料ホルダの種類を判定するホルダ判定手段と、各試料ホルダに対応させて、ホルダ形状データを格納するホルダ形状データ格納手段と、前記ホルダ判定手段により判定された試料ホルダに対応するホルダ形状データを、前記ホルダ形状データ格納手段から読み出し、該読み出した形状データに基づいて表示手段にホルダ形状を表示させる手段を備えたことを特徴とする。
【００１３】
【発明の実施の形態】
以下、図面を用いて本発明の実施の形態について説明する。
【００１４】
図１は、本発明の荷電粒子線装置の一例として示した、電子プローブマイクロアナライザの概略図である。
【００１５】
図１の構成について説明すると、１は鏡筒であり、鏡筒１の中には上から順に、電子銃２、集束レンズ３、偏向器４、対物レンズ５の電子光学手段が配置されている。また、対物レンズ５の近くであって電子線光軸上には、ＣＣＤカメラ付光学顕微鏡６が配置されている。
【００１６】
前記鏡筒１は試料室チャンバー７に取り付けられており、試料室チャンバー７内、すなわち試料室は図示しない排気装置により高真空に排気されている。
【００１７】
試料室のステージ台８上には、Ｙ軸方向に移動可能なＹステージ９が配置されており、Ｙステージ９の上には、Ｘ軸方向に移動可能なＸステージ１０が配置されている。このＸステージ１０上には、試料ホルダ取付台１１と電気接点コネクタ（接続端子）１２が固定されており、電気接点コネクタ１２は、後で詳しく説明する試料ホルダが取付台１１に取り付けられたときに、試料ホルダに固定されたホルダ端子と接続するものである。また、試料室内には、Ｘ線検出器１３と２次電子検出器１４が配置されている。
【００１８】
１５は、前記試料室チャンバー７に取り付けられた予備排気室チャンバーであり、予備排気室チャンバー１５は、試料室チャンバー７の側面に設けられたホルダ通過用扉１６を覆うように試料室チャンバー７に取り付けられている。１７は、予備排気室チャンバー１５に取り付けられた試料搬送手段であり、また、予備排気室チャンバー１５は図示しない排気装置に接続されている。
【００１９】
前記電気接点コネクタ１２はホルダ情報処理手段１８に接続されており、ホルダ情報処理手段１８は、ホルダ判定手段１９、ホルダ形状データ格納手段２０、分析位置データ格納手段２１、移動制限データ格納手段２２および観察位置検出手段２３を備えている。また、このホルダ情報処理手段１８は、表示処理手段２４と、キーボードとマウスを備えた入力指示手段２５と、分析処理手段２６に接続されている。
【００２０】
分析処理手段２６は、自動分析制御手段２７、ステージ制御手段２８、光学顕微鏡制御手段２９、分析制御手段３０およびマニュアル分析制御手段３１を備えている。また、この分析処理手段２６は、表示処理手段３２と、キーボードとマウスを備えた入力指示手段３３と、前記Ｘステージ１０およびＹステージ９を移動させるＸ−Ｙステージ駆動手段３４と、前記電子光学手段と、前記検出器に接続されている。
【００２１】
次に、図１の装置で使用される試料ホルダについて説明する。
【００２２】
図２は、図１の装置で使用される種類Ｂの試料ホルダを示したものである。種類Ｂの試料ホルダ３５には、５個の試料穴３６ａ〜３６ｅが設けられている。これらの試料穴には、試料取付台３７を保持したアダプタ３８がそれぞれセットされており、試料３９ａ〜３９ｅは試料取付台３７にセットされている。
【００２３】
また、試料ホルダ３５の側面には、そのホルダの種類の情報を有するホルダ端子４０が固定されている。種類Ｂのホルダ端子４０においては、電気接点ピン４１がピン固定部▲１▼〜▲４▼の▲１▼と▲３▼に固定されている。
【００２４】
一方、前記Ｘステージ１０に固定された電気接点コネクタ１２には、図３に示すように、ホルダ端子４０のピン固定部▲１▼〜▲４▼に対応する位置にピン穴▲１▼’〜▲４▼’が設けられている。また、ピン穴▲１▼’にはリード線Ｌ₁が、ピン穴▲２▼’にはリード線Ｌ₂が、ピン穴▲３▼’にはリード線Ｌ₃が、ピン穴▲４▼’にはリード線Ｌ₄が取り付けられており、それらのリード線は前記ホルダ情報処理手段１８に電気的に接続されている。
【００２５】
このような試料ホルダと試料ステージの構成により、前記試料ホルダ３５が試料ホルダ取付台１１に取り付けられると、ピン固定部▲１▼のピン４１がピン穴▲１▼’に差し込まれ、ピン固定部▲３▼のピン４１がピン穴▲３▼’に差し込まれる。そして、ピン穴▲１▼’と▲３▼’にピン４１の電気的接触があったことを表す信号、すなわち、種類Ｂの試料ホルダが試料ステージに取り付けられたことを表す信号が前記リード線を介して前記ホルダ情報処理手段１８に送られる。
【００２６】
以上、種類Ｂの試料ホルダについて説明したが、図１の装置で使用される他の試料ホルダも、そのホルダの種類の情報を有するホルダ端子を備えている。例えば、図１の装置で使用される種類Ａ〜Ｉの試料ホルダにおいては、図４に示すように、電気接点ピン４１がピン固定部▲１▼〜▲４▼の所定位置に固定されている。なお、図４において、Ａ〜Ｉは試料ホルダの種類を示しており、▲１▼〜▲４▼は前記ピン固定部を示しており、各試料ホルダには○印が付けられているピン固定部にピン４１が固定されている。
【００２７】
以上、図１の装置構成および、図１の装置で使用される試料ホルダの構成について説明したが、以下に、このような装置の動作について説明する。
【００２８】
まず、オペレータは、試料をセットした試料ホルダ、たとえば図２に示した種類Ｂの試料ホルダ３５を、前記予備排気室チャンバー１５内において試料搬送手段１７の先端に取り付ける。そして、予備排気室チャンバー１５内が図示しない排気装置によって排気されると、オペレータはホルダ通過用扉１６を開け、試料搬送手段１７を用いて試料ホルダ３５を試料ホルダ取付台１１に取り付ける。
【００２９】
このようにして試料ホルダ３５が試料ホルダ取付台１１に取り付けられると、上述したように試料ホルダ３５のホルダ端子４０が電気接点コネクタ１２に接続され、種類Ｂの試料ホルダ３５が試料ステージ（Ｘステージ１０）に取り付けられたことを表す信号が、電気接点コネクタ１２からホルダ情報処理手段１８に送られる。
【００３０】
すると、ホルダ情報処理手段１８のホルダ判定手段１９は、電気接点コネクタ１２からの信号に基づき、試料ステージに取り付けられた試料ホルダの種類がＢであると判定する。
【００３１】
こうして試料ホルダの種類が判定されると、ホルダ情報処理手段１８は、判定された試料ホルダＢに対応するホルダ形状データ（形状データＢ）をホルダ形状データ格納手段２０から読み出す。このホルダ形状データ格納手段２０には、上述した種類Ａ〜Ｉの各試料ホルダの形状データが格納されており、ホルダ情報処理手段１８は、その読み出した形状データ（形状データＢ）に基づいて表示処理手段２４の画面上にホルダＢの形状を表示させる。
【００３２】
図５は、表示処理手段２４の画面を示したものであり、ホルダＢの形状が表示処理手段２４の画面左側に表示されている。また、画面右側上段には、前記ホルダ判定手段１９により種類Ｂと自動判定された結果が表示され、画面右側下段には、以下に述べる分析選択表示が行われている。
【００３３】
さて、ホルダＢの形状が表示処理手段２４の画面に表示されると、オペレータは、自動分析を行うかマニュアル分析を行うかを、入力指示手段２５を用いて表示処理手段２４の画面上で選択する。
【００３４】
例えば、オペレータが自動分析を選択すると、ホルダ情報処理手段１８は、判定された種類Ｂの試料ホルダに対応する分析位置データ（電子線照射位置データ）を分析位置データ格納手段２１から読み出す。この分析位置データ格納手段２１には、上述した種類Ａ〜Ｉの各試料ホルダに対応して分析位置データが格納されており、１つの試料ホルダについて前記試料穴の数だけの分析位置データが格納されている。すなわち、種類Ｂの試料ホルダ３５に関しては５個の分析位置データが記憶されており、試料穴３６ａに対して分析位置データａ（ｘ₁，ｙ₁）が、試料穴３６ｂに対して分析位置データｂ（ｘ₂，ｙ₂）が、試料穴３６ｃに対して分析位置データｃ（ｘ₃，ｙ₃）が、試料穴３６ｄに対して分析位置データｄ（ｘ₄，ｙ₄）が、試料穴３６ｅに対して分析位置データｅ（ｘ₅，ｙ₅）がそれぞれ記憶されている。なお、これらの分析位置データは、各試料穴の中心が電子線光軸Ｏ上に位置するときの、試料ステージの基準位置（０，０）からの移動量を表している。
【００３５】
ホルダ情報処理手段１８は、種類Ｂの試料ホルダに関する上記５個の分析位置データを分析位置データ格納手段２１から読み出すと、それらの分析位置データを分析処理手段２６の自動分析制御手段２７に送る。
【００３６】
自動分析制御手段２７は５個の分析位置データを受け取ると、まず、分析位置データａ（ｘ₁，ｙ₁）をステージ制御手段２８に送る。すると、ステージ制御手段２８は、そのデータに基づき、Ｘステージ１０がｘ₁、Ｙステージ９がｙ₁移動するようにＸ−Ｙステージ駆動手段３４を制御する。この制御により、試料ステージ（９，１０）は座標（ｘ₁，ｙ₁）に位置決めされ、試料穴３６ａの中心が電子線光軸Ｏ上に位置する。その結果、試料穴３６ａにセットされた試料３９ａのほぼ中心が電子線光軸Ｏ上に位置する。
【００３７】
このように試料３９ａが電子線光軸Ｏ上に位置すると、自動分析制御手段２７は、試料３９ａの光学像を得るように光学顕微鏡制御手段２９に制御信号を送る。すると、光学顕微鏡制御手段２９は、光学顕微鏡６による光学像を表示処理手段３２に送るので、表示処理手段３２の画面上には試料３９ａの光学像が表示される。
【００３８】
また、試料３９ａが電子線光軸Ｏ上に位置すると、自動分析制御手段２７は、試料３９ａの分析を行うように分析制御手段３０に指示を行う。この指示を受けた分析制御手段３０は、電子線が試料３９ａを照射するように前記電子光学手段を制御するので、試料３９ａに電子線が照射され、その照射によって試料３９ａから発生した特性Ｘ線はＸ線検出器１３で検出される。そして、Ｘ線検出器１３の出力は分析制御手段３０に送られ、分析制御手段３０は例えば得られたスペクトルデータを表示処理手段３２に送る。この結果、表示処理手段３２の画面上には、上述した試料３９ａの光学像と共にスペクトルが表示される。
【００３９】
このようにして試料３９ａの分析が終了すると、次に、自動分析制御手段２７は分析位置データｂ（ｘ₂，ｙ₂）をステージ制御手段２８に送る。その後、試料３９ａの場合と同じ処理が行われて試料３９ｂの分析が終了する。以後、試料３９ｃ、３９ｄ、３９ｅの分析が同様にして行われる。図６は、表示処理手段３２の画面上に表示される、試料３９ａ〜３９ｅの光学像と各スペクトルを示したものである。
【００４０】
以上、表示処理手段２４の画面上において自動分析が選択されたときの装置動作を説明したが、次に、表示処理手段２４の画面上においてマニュアル分析が選択されたときの装置動作について説明する。
【００４１】
さて、オペレータが表示処理手段２４の画面上においてマニュアル分析を選択すると、マニュアル分析が選択されたことを表す信号が表示処理手段２４からホルダ情報処理手段１８に送られる。そしてオペレータは、入力指示手段２５を用いて、表示処理手段２４の画面上に表示されているホルダ図形上で、前記電子線光軸Ｏ上に位置させたい位置Ｑを指定する。この位置指定が行われると、図７に示すように、ホルダ図形上のその指定位置Ｑにたとえば×印のマーカが表示される。
【００４２】
このような位置指定が行われると、その位置指定の情報はホルダ情報処理手段１８の観察位置検出手段２３に送られる。観察位置検出手段２３はこの情報に基づき、その位置Ｑを電子線光軸Ｏ上に位置させるためのＸステージ移動量ｘ_qとＹステージ移動量ｙ_qを求める。
【００４３】
こうして、位置Ｑを電子線光軸Ｏ上に位置させるための試料ステージ移動量（ｘ_q，ｙ_q）が求められると、ホルダ情報処理手段１８は、種類Ｂの試料ホルダに対応する試料ステージの移動制限データ（Ｘ＝ｘ_B，Ｙ＝ｙ_B）を移動制限データ格納手段２２から読み出す。この移動制限データ格納手段２２には、上述した種類Ａ〜Ｉの各試料ホルダに対応して試料ステージの移動制限データが格納されており、この移動制限データは、それ以上試料ステージをＸＹ方向に移動させると試料ホルダが試料室側壁に衝突してしまう値を表している。
【００４４】
ホルダ情報処理手段１８は、移動制限データ格納手段２２から移動制限データ（Ｘ＝ｘ_B，Ｙ＝ｙ_B）を読み出すと、その値と前記試料ステージ移動量（ｘ_q，ｙ_q）を比較し、ステージ移動量（ｘ_q，ｙ_q）が（Ｘ＝ｘ_B，Ｙ＝ｙ_B）よりも大きい場合には、その旨を表示処理手段２４の画面上に表示させて、ステージ制御の指示を行わない。
【００４５】
一方、ステージ移動量（ｘ_q，ｙ_q）が（Ｘ＝ｘ_B，Ｙ＝ｙ_B）よりも小さい場合には、ステージ制御データ（ｘ_q，ｙ_q）を分析処理手段２６のマニュアル分析制御手段３１に送る。
【００４６】
マニュアル分析制御手段３１はステージ制御データ（ｘ_q，ｙ_q）を受け取ると、そのデータをステージ制御手段２８に送る。すると、ステージ制御手段２８は、そのデータに基づき、Ｘステージ１０がｘ_q、Ｙステージ９がｙ_q移動するようにＸ−Ｙステージ駆動手段３４を制御する。この制御により、試料ステージは座標（ｘ_q，ｙ_q）に位置決めされ、位置Ｑが電子線光軸Ｏ上に位置する。
【００４７】
このように位置Ｑが電子線光軸Ｏ上に位置すると、マニュアル分析制御手段３１は、位置Ｑを中心とする領域の光学像を得るように光学顕微鏡制御手段２９に制御信号を送る。すると、光学顕微鏡制御手段２９は、光学顕微鏡６による光学像を表示処理手段３２に送るので、表示処理手段３２の画面上には、図８に示すように、位置Ｑを中心とする領域の試料の光学像が表示される。なお、図８において、×印は位置Ｑを示している。
【００４８】
オペレータは、このように位置Ｑを中心とする領域の光学像が表示されると、入力指示手段３３を用いて、表示処理手段３２の画面上に表示されている光学像上で、分析したい位置Ｓを指定する。この分析位置指定が行われると、図８に示すように、ホルダ図形上のその指定位置Ｓにたとえば△印のマーカが表示される。なお、・印のマーカは試料穴３６ｄの中心を表している。
【００４９】
このような分析位置指定が行われると、その位置指定の情報は表示処理手段３２から分析処理手段２６の分析制御手段３０に送られる。分析制御手段３０はこの情報に基づき、位置Ｓを電子線光軸Ｏ上に位置させるためのＸステージ移動量ｘ_sとＹステージ移動量ｙ_sを求める。
【００５０】
こうして、分析制御手段３０は、位置Ｓを電子線光軸Ｏ上に位置させるための試料ステージ移動量（ｘ_s，ｙ_s）を求めると、そのステージ制御データ（ｘ_s，ｙ_s）をステージ制御手段２８に送る。すると、ステージ制御手段２８は、そのデータに基づき、Ｘステージ１０がｘ_s、Ｙステージ９がｙ_s移動するようにＸ−Ｙステージ駆動手段３４を制御する。この制御により、試料ステージは座標（ｘ_s，ｙ_s）に位置決めされ、分析位置Ｓが電子線光軸Ｏ上に位置する。
【００５１】
このように分析位置Ｓが電子線光軸Ｏ上に位置すると、分析制御手段３０は、電子線が分析位置Ｓを照射するように前記電子光学手段を制御するので、分析位置Ｓに電子線が照射され、その照射によって試料から発生した特性Ｘ線はＸ線検出器１３で検出される。そして、Ｘ線検出器１３の出力は分析制御手段３０に送られ、分析制御手段３０は得られたスペクトルデータを表示処理手段３２に送る。この結果、表示処理手段３２の画面上には、図８に示すように試料の光学像と共にスペクトルが表示される。
【００５２】
以上、図１の装置動作について説明したが、このような装置においては、試料ステージに取り付けられる試料ホルダの種類が自動的に正確に判定され、表示装置の画面上に実際に取り付けられた試料ホルダの図形が誤りなく表示される。このため、この表示された図形を用いた試料分析が正確かつ迅速に行われる。
【００５３】
また、図１の装置においては、各試料ホルダ毎に分析位置データ、すなわち電子線照射位置データが予め格納されているので、従来のようにいちいち分析位置を指定しなくて済む。
【００５４】
また、図１の装置においては、移動制限データを格納することにより、各試料ホルダに衝突回避レバーを取り付けたり、試料ステージに衝突回避スイッチを取り付けなくても、試料ホルダの試料室壁への衝突を回避することができ、装置コストを下げることができる。
【００５５】
なお、図１の装置に旧式の試料ホルダ、すなわち、前記ホルダ端子を備えないだけでその形状は前記種類Ａ〜Ｉの試料ホルダと全く同じである試料ホルダを装着したときにも対応できるように、図１の装置構成を変形させることは容易である。たとえば、図９に示すように、前記表示処理手段２４の画面上に、入力指示手段２５でそのホルダの種類を選択できるように表示を行い、選択されたホルダの形状データをホルダ形状データ格納手段２０から読み出して表示させるようにすればよい。
【００５６】
また、図１の装置において、分析位置データ格納手段２１に、試料ホルダに対応させて電子線走査データ、すなわち、試料上で電子線を２次元的に走査させるためのデータを格納しておき、さらに、表示処理手段２４の画面上において自動分析が選択されたときに、その電子線走査により試料から発生した信号を２次電子検出器１４で検出して画像処理を行うようにすれば、各試料ホルダ毎に自動的に試料の２次電子像を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一例として示した、電子プローブマイクロアナライザの概略図である。
【図２】図１の装置に使用される試料ホルダを説明するために示した図である。
【図３】図１のＸステージ１０を説明するために示した図である。
【図４】図１の装置に使用される試料ホルダを説明するために示した図である。
【図５】表示処理手段２４の表示形態を示した図である。
【図６】表示処理手段３２の表示形態を示した図である。
【図７】表示処理手段２４の表示形態を示した図である。
【図８】表示処理手段３２の表示形態を示した図である。
【図９】表示処理手段２４の表示形態を示した図である。
【符号の説明】
１…鏡筒、２…電子銃、３…集束レンズ、４…偏向器、５…対物レンズ、６…光学顕微鏡、７…試料室チャンバー、８…ステージ台、９…Ｙステージ、１０…Ｘステージ、１１…試料ホルダ取付台、１２…電気接点コネクタ、１３…Ｘ線検出器、１４…２次電子検出器、１５…予備排気室チャンバー、１６…ホルダ通過用扉、１７…試料搬送手段、１８…ホルダ情報処理手段、１９…ホルダ判定手段、２０…ホルダ形状データ格納手段、２１…分析位置データ格納手段、２２…移動制限データ格納手段、２３…観察位置検出手段、２４…表示処理手段、２５…入力指示手段、２６…分析処理手段、２７…自動分析制御手段、２８…ステージ制御手段、２９…光学顕微鏡制御手段、３０…分析制御手段、３１…マニュアル分析制御手段、３２…表示処理手段、３３…入力指示手段、３４…Ｘ−Ｙステージ駆動手段、３５…試料ホルダ、３６ａ、３６ｂ、３６ｃ、３６ｄ、３６ｅ…試料穴、３７…試料取付台、３８…アダプタ、３９ａ、３９ｂ、３９ｃ、３９ｄ、３９ｅ…試料、４０…ホルダ端子、４１…ピン

Claims

試料ステージに試料ホルダが取り付けられ、該試料ホルダに載置された試料に荷電粒子線を照射し、該照射により試料から発生した信号を検出し、該検出信号に基づいて試料分析または試料像表示を行うようにした荷電粒子線装置において、
前記試料ステージに取り付けられる試料ホルダの種類を判定するホルダ判定手段と、
各試料ホルダに対応させて、ホルダ形状データを格納するホルダ形状データ格納手段と、
前記ホルダ判定手段により判定された試料ホルダに対応するホルダ形状データを、前記ホルダ形状データ格納手段から読み出し、該読み出した形状データに基づいて表示手段にホルダ形状を表示させる手段
を備えたことを特徴とする荷電粒子線装置。
試料ステージに試料ホルダが取り付けられ、該試料ホルダに載置された試料に荷電粒子線を照射し、該照射により試料から発生した信号を検出し、該検出信号に基づいて試料分析または試料像表示を行うようにした荷電粒子線装置において、
前記試料ステージに取り付けられる試料ホルダの種類を判定するホルダ判定手段と、
各試料ホルダに対応させて、荷電粒子線照射位置データを格納する荷電粒子線照射位置データ格納手段と、
前記ホルダ判定手段により判定された試料ホルダに対応する荷電粒子線照射位置データを、前記荷電粒子線照射位置データ格納手段から読み出し、該読み出した荷電粒子線照射位置データに基づいて荷電粒子線を試料に照射する手段
を備えたことを特徴とする荷電粒子線装置。
試料ステージに試料ホルダが取り付けられ、該試料ホルダに載置された試料に荷電粒子線を照射し、該照射により試料から発生した信号を検出し、該検出信号に基づいて試料分析または試料像表示を行うようにした荷電粒子線装置において、
前記試料ステージに取り付けられる試料ホルダの種類を判定するホルダ判定手段と、
各試料ホルダに対応させて、前記試料ステージの移動制限データを格納する移動制限データ格納手段と、
前記試料ステージの移動量を、前記ホルダ判定手段により判定された試料ホルダに対応する前記移動制限データに基づいて制限する手段
を備えたことを特徴とする荷電粒子線装置。
試料ステージに試料ホルダが取り付けられ、該試料ホルダに載置された試料に荷電粒子線を照射し、該照射により試料から発生した信号を検出し、該検出信号に基づいて試料分析または試料像表示を行うようにした荷電粒子線装置において、
前記試料ステージに取り付けられる試料ホルダの種類を判定するホルダ判定手段と、
各試料ホルダの形状データを格納するホルダ形状データ格納手段と、
前記ホルダ判定手段により判定された試料ホルダの形状データを、前記ホルダ形状データ格納手段から読み出し、該読み出した形状データに基づいて表示手段にホルダ形状を表示させる手段と、
各試料ホルダに対応させて、荷電粒子線照射位置データを格納する荷電粒子線照射位置データ格納手段と、
前記ホルダ判定手段により判定された試料ホルダに対応する荷電粒子線照射位置データを、前記荷電粒子線照射位置データ格納手段から読み出し、該読み出した荷電粒子線照射位置データに基づいて荷電粒子線を試料に照射する手段
を備えたことを特徴とする荷電粒子線装置。
前記試料ホルダは、そのホルダの種類の情報を有するホルダ端子を備え、
一方、前記試料ステージは、前記試料ホルダが試料ステージに取り付けられたときに前記ホルダ端子と接続する接続端子を備え、
前記ホルダ判定手段は前記接続端子の出力に基づいて試料ホルダの種類を判定することを特徴とする請求項１から４の何れかに記載の荷電粒子線装置。