JP3853169B2 - Hydrodynamic bearing device - Google Patents
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Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
この発明は、ターボ分子ポンプやフライホイール等のたて形高速回転機械の高速回転される主軸を回転自在に支持する流体軸受装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
この種の流体軸受装置として、実開昭63−99025号公報に記載されたものが従来から知られている。この流体軸受装置は、図3に示すように、ハウジング20に形成された油室21の潤滑油中に軸受部材22を浸漬し、その軸受部材22の下面外周部を複数のボール23で支持して、軸受部材22の下面中央部と油室21の底面中央部に設けられた突出部24の上面間に微小なダンパ隙間25を形成し、前記軸受部材22の上面中央部上に配置された主軸26の軸端を動圧軸受27によって回転自在に支持している。
【0003】
ここで、動圧軸受27は、軸受部材22の上面に凹形の半球状軸受面27aを形成し、一方、主軸26の軸端に半球状表面27bを設け、その半球状表面27bと軸受面27aの少なくとも一方にスパイラル状の動圧発生溝27cを設けている。
【0004】
上記流体軸受装置においては、主軸26の高速回転時に、動圧発生溝27cのポンピング作用によって軸受面27aと半球状表面27b間の潤滑油の圧力を高め、その潤滑油の圧力により主軸26を支持するようにしている。このため、主軸26は軸受部材22に対して非接触の状態で回転し、主軸26をきわめて高速で回転させることができる。
【0005】
また、軸受部材22の下面と突出部24の上面間に形成されたダンパ隙間25内の潤滑油の剪断抵抗によるダンピング効果によって軸受部材22が主軸26の高速回転に伴って振動するのを防止することができるため、主軸26を安定して高速回転させることができる。
【0006】
ところで、流体軸受装置においては、主軸26の高速回転によって動圧軸受部が発熱して温度上昇する。このとき、動圧軸受部の放熱による冷却が不充分であると、動圧軸受部の温度上昇により、動圧軸受部の潤滑油の粘度が低下し、動圧軸受部の負荷容量が減少する。
【0007】
そのような不都合を解消するため、上記公報に記載された動圧軸受装置においては、軸受部材22の下面と突出部24の上面間に形成されたダンパ隙間25の大きさを30μm乃至200μmの範囲に管理し、動圧軸受部の熱を軸受部材22からダンパ隙間25を満たす潤滑油を介してハウジング20の底面に熱伝導させて放熱し、動圧軸受部の温度上昇を抑制するようにしている。
【0008】
しかしながら、ダンパ隙間25は、軸受部材22の下面中央部と油室21の底面に設けられた突出部24の上面間に設けられているため、面積の大きなダンパ隙間25を確保することができず、軸受部材22から突出部24への熱伝導が不充分であって、動圧軸受部を効果的に冷却することができない。
【0009】
また、ダンパ隙間25の面積が小さいため、軸受部材22の振動抑制に充分なダンピング効果を得ることができない。
【0010】
そのような不都合を解消するため、図4に示す流体軸受装置が提案されている。この流体軸受装置においては、ハウジング30の油室31に収容された潤滑油中に円板状の軸受支持部材32を浸漬し、その軸受支持部材32の上面に設けられた嵌合孔33内に軸受部材34を嵌合して、ねじ35の締付けにより外周部を固定し、前記軸受部材34の上面中央部に設けられた突出部34a上に主軸36を配置して、その軸端部を動圧軸受37により回転自在に支持している。
【0011】
また、軸受支持部材32の下面中央部にリング上のプレート38を設け、そのプレート38を複数のボール39で支持して、軸受支持部材32の下面外周部と油室31の底部材40の上面間にダンパ隙間41を設けている。
【0012】
上記流体軸受装置においては、軸受支持部材32の下面外周部と底部材40の上面間にダンパ隙間41を設ける構成であるため、広い面積のダンパ隙間41を確保することができる。このため、軸受部材34から軸受支持部材32に伝えられる熱を底部材40に良好に熱伝導させることができると共に、ダンパ隙間41の面積が大きいため、ダンピング効果に優れ、軸受部材34の振動をより効果的に抑制することができる。
【0013】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、図4に示す流体軸受装置は、軸受支持部材32からダンパ隙間を経由する放熱特性および軸受部材34の振動を抑制するダンピング特性が優れているものの、軸受部材34の外周は嵌合孔33の内周に対して非接触であって、下面が軸受支持部材32の嵌合孔33の底面と接触するのみであり、その接触部と主軸36の高速回転によって発熱し易い突出部34a間の伝熱経路が長く、また、動圧軸受部が突出した形状であるので伝熱経路の断面積が小さい。そのため、熱伝導による突出部34aの冷却効果が悪く、動圧軸受37の温度上昇を効果的に抑制することができない。
【0014】
その結果、動圧軸受部の潤滑油が主軸の高速回転による温度上昇によって粘度が低下し、その粘度低下によって負荷容量が低減することになる。
【0015】
この発明は、軸受部材と軸受支持部材間の伝熱特性を改善して動圧軸受部の冷却効果を高め、流体軸受装置の負荷容量の低減を防止することを課題としている。
【0016】
【課題を解決するための手段】
上記の課題を解決するために、第1の発明においては、油室を有するハウジングと、前記油室の作動油中に浸漬された軸受支持部材と、その軸受支持部材の下面と油室の底面間に微小なダンパ隙間が形成されるよう軸受支持部材を支持する複数のボールと、前記軸受支持部材の上面中央部に形成された嵌合孔に嵌合された軸受部材とを有し、前記軸受部材の上面中央部に突出部を設け、その突出部上に設けられた主軸の軸端を動圧軸受によって回転自在に支持した流体軸受装置において、前記軸受支持部材の嵌合孔外周に、前記嵌合孔に嵌合された軸受部材の外周部よりも高い突出部を設け、前記軸受部材の突出部の熱を軸受支持部材に伝導する熱伝導率の高い熱伝導体を、前記軸受部材の突出部の外周と前記軸受支持部材の突出部との間に設けた構成を採用している。
【0017】
上記のように、軸受支持部材の嵌合孔外周に、前記嵌合孔に嵌合された軸受部材の外周部よりも高い突出部を設け、前記軸受部材の突出部の熱を軸受支持部材に伝導する熱伝導率の高い熱伝導体を、前記軸受部材の突出部の外周と前記軸受支持部材の突出部との間に設けたことにより、前記軸受部材の突出部と軸受支持部材間の伝熱特性を高めることができ、軸受支持部材への熱伝導によって軸受部材の突出部を効果的に冷却することができる。
【0018】
このため、動圧軸受部の潤滑油の粘度低下を防止し、負荷容量の低減を抑制することができる。
【0019】
ここで、熱伝導体は、銅あるいはアルミニウム等の熱伝導率の高い金属で形成するのが好ましい。その熱伝導体の取付けに際し、熱伝導体をリング状とし、そのリング状熱伝導体を軸受部材の突出部の外周に圧入して下面を軸受支持部材の突出部の上面に当接させる方法を採用することができる。
【0020】
前記リング状熱伝導体をインナーリングとその外側に嵌合したアウターリングとで形成し、インナーリングを軸受部材の突出部の外周に圧入して下面を軸受部材の上面外周部に接触させると共に、アウターリングを軸受支持部材の突出部の上面に接触させることにより、軸受部材と熱伝導体の接触面積を大きくとることができ、軸受部材の熱を熱伝導体に効果的に伝熱させることができ、熱伝導による軸受部材の冷却効果をより高めることができる。
【0021】
【発明の実施の形態】
以下、この発明の実施の形態を図1乃至図2に基づいて説明する。図1に示すように、ハウジング1の底部2上に形成された油室3内には潤滑油が収容されている。
【0022】
油室3の潤滑油中には円盤状の軸受支持部材4が浸漬されている。軸受支持部材4はアルミニウム合金等の軽合金によって形成されている。
【0023】
前記油室3の底面には凹部5が形成され、その凹部5の底面と軸受支持部材4の下面には特殊鋼等の耐摩耗性に優れた金属から成るリング状のプレート6a、6bが対向位置に設けられ、そのプレート6a、6b間に組込まれた複数のボール7により軸受支持部材4が支持されて、軸受支持部材4の下面と油室3の底面間に微小なダンパ隙間8が設けられている。
【0024】
軸受支持部材4の上面中央部には嵌合孔9が形成され、その嵌合孔9内に軸受部材10が嵌合され、ねじ11の締付けによって外周部が軸受支持部材4に固定されている。軸受支持部材4の嵌合孔外周には、嵌合孔9に嵌合された軸受部材10の外周部よりも高い突出部4aが設けられている。
【0025】
軸受部材10は銅合金によって形成されている。この軸受部材10は、上面中央部に突出部10aを有し、その突出部10a上に設けられた主軸12は動圧軸受13によって回転自在に支持されている。動圧軸受13は、突出部10aの上面に凹形の半球状軸受面13aを形成し、一方、主軸12の軸端に半球状表面13bを設け、その半球状表面13bにスパイラル溝から成る動圧発生溝13cを形成している。
【0026】
なお、動圧発生溝13cは軸受面13aにのみ形成してもよく、あるいは軸受面13aと半球状表面13bの両方に形成してもよい。
【0027】
軸受部材10の突出部10aと軸受支持部材4との間には、突出部10aの熱を軸受支持部材4に伝導する熱伝導体14が設けられている。
【0028】
熱伝導体14は銅やアルミニウム等の熱伝導率の高い金属を素材としている。この熱伝導体14はリング状をなし、突出部10aの外周に圧入され、下面の外周部が軸受支持部材4の上面に接触している。
【0029】
上記のように、軸受部材10の突出部10aの外周に圧入した熱伝導体14の下面外周部を軸受支持部材4の突出部4aの上面に接触させることにより、主軸12の高速回転により動圧軸受部が発熱して突出部10aが温度上昇すると、その熱は熱伝導体14から軸受支持部材4に良好に伝導される。その熱伝導による放熱により突出部10aが冷却される。
【0030】
このため、動圧軸受部の軸受面13aと半球状表面13b間の潤滑油の温度上昇による粘度の低下を防止し、動圧軸受部の負荷容量の低減を抑制することができる。
【0031】
ここで、実施形態で示すように、軸受部材10を銅合金で形成すると、主軸12の接触回転時における摺動性を高めることができると共に、動圧軸受部に異物が侵入した際、その異物は軸受面13aに埋没され、異物のかみ込みによる回転特性の低下を抑制することができる。
【0032】
また、銅合金製軸受部材10を支持する軸受支持部材4をアルミニウム合金等の軽合金で形成すると、軸受部材10を含む全体の重量の軽量化を図ることができ、高速回転する主軸12の安定性を高めることができる。
【0033】
図2は、この発明に係る流体軸受装置の第2の実施形態を示し、要部のみを示している。この流体軸受装置は、熱伝導体14をインナーリング14aとアウターリング14bとで形成している点で図1に示す流体軸受装置と相違する。
【0034】
このため、図1に示す流体軸受装置と同一の部品には同一符号を付して説明を省略する。
【0035】
図2に示すように、熱伝導体14をインナーリング14aとその外側に嵌合されたアウターリング14bとで形成し、インナーリング14aを軸受部材10の突出部10aの外周に圧入して、その下面を軸受部材10の上面に接触させると共に、アウターリング14bの下面を軸受支持部材4の突出部4aの上面に接触させることにより、熱伝導体14と軸受部材10の接触面積の拡大を図ることができ、軸受部材10から軸受支持部材4への熱伝導を高め、動圧軸受部の温度上昇をより効果的に抑制することができる。
【0036】
【発明の効果】
以上のように、この発明においては、軸受部材の突出部と軸受支持部材との間に熱伝導体を設けて伝熱特性を高めたことにより、動圧軸受部の冷却効果を高めることができ、潤滑油の温度上昇による粘性の低下を防止し、負荷容量の低下を抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明に係る流体軸受装置の第1の実施形態を示す縦断正面図
【図2】この発明に係る流体軸受装置の第2の実施形態を示す縦断正面図
【図3】従来の流体軸受装置を示す縦断正面図
【図4】従来の流体軸受装置の他の例を示す縦断正面図
【符号の説明】
1 ハウジング
3 油室
4 軸受支持部材
7 ボール
8 ダンパ隙間
9 嵌合孔
10 軸受部材
10a 突出部
12 主軸
13 動圧軸受
14 熱伝導体
14a インナーリング
14b アウターリング[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a hydrodynamic bearing device that rotatably supports a main shaft that is rotated at a high speed in a vertical high-speed rotating machine such as a turbo molecular pump or a flywheel.
[0002]
[Prior art]
As this type of hydrodynamic bearing device, one described in Japanese Utility Model Laid-Open No. 63-99025 has been known. In this hydrodynamic bearing device, as shown in FIG. 3 , a
[0003]
Here, the dynamic pressure bearing 27 is formed with a concave hemispherical bearing surface 27a on the upper surface of the
[0004]
In the hydrodynamic bearing device, when the
[0005]
Further, the
[0006]
By the way, in the hydrodynamic bearing device, the dynamic pressure bearing portion generates heat due to the high speed rotation of the
[0007]
In order to eliminate such inconvenience, in the hydrodynamic bearing device described in the above publication, the size of the
[0008]
However, since the
[0009]
In addition, since the area of the
[0010]
In order to eliminate such inconvenience, a hydrodynamic bearing device shown in FIG. 4 has been proposed. In this hydrodynamic bearing device, a disk-like
[0011]
In addition, a plate 38 on the ring is provided at the center of the lower surface of the
[0012]
In the fluid dynamic bearing device, since the
[0013]
[Problems to be solved by the invention]
Meanwhile, although the hydrodynamic bearing device shown in FIG. 4 has excellent heat dissipation characteristics from the
[0014]
As a result, the viscosity of the lubricating oil in the hydrodynamic bearing portion decreases due to a temperature increase due to high-speed rotation of the main shaft, and the load capacity decreases due to the decrease in viscosity.
[0015]
This invention makes it a subject to improve the heat-transfer characteristic between a bearing member and a bearing support member, to improve the cooling effect of a hydrodynamic bearing part, and to prevent the load capacity of a fluid dynamic bearing device from being reduced.
[0016]
[Means for Solving the Problems]
In order to solve the above problems, in the first invention, a housing having an oil chamber, a bearing support member immersed in the hydraulic oil in the oil chamber, a lower surface of the bearing support member, and a bottom surface of the oil chamber A plurality of balls that support the bearing support member so that a minute damper gap is formed therebetween, and a bearing member that is fitted in a fitting hole formed in a center portion of the upper surface of the bearing support member, In the hydrodynamic bearing device in which a protrusion is provided at the center of the upper surface of the bearing member and the shaft end of the main shaft provided on the protrusion is rotatably supported by a dynamic pressure bearing, on the outer periphery of the fitting hole of the bearing support member , the high have protrusions than the outer peripheral portion of the fitted bearing member into the fitting hole is provided, the thermal conductivity of the high thermal conductor to conduct heat of the protruding portion of the bearing member to the bearing support member, said bearing between the projection of the outer periphery and the bearing support member of the protruding portion of the member It has adopted the only configuration.
[0017]
As described above, the bearing fitting hole periphery of the support member, the provided high have protrusions than the outer peripheral portion of the fitted bearing member into the fitting hole, heat the bearing support member projecting portion of the bearing member By providing a heat conductor having a high thermal conductivity to be conducted between the outer periphery of the protrusion of the bearing member and the protrusion of the bearing support member, between the protrusion of the bearing member and the bearing support member Heat transfer characteristics can be enhanced, and the protrusion of the bearing member can be effectively cooled by heat conduction to the bearing support member.
[0018]
For this reason, it is possible to prevent a decrease in the viscosity of the lubricating oil in the dynamic pressure bearing portion and to suppress a reduction in load capacity.
[0019]
Here, the thermal conductor is preferably formed of a metal having high thermal conductivity such as copper or aluminum. When attaching the heat conductor, a method is adopted in which the heat conductor is formed in a ring shape, the ring-shaped heat conductor is press-fitted into the outer periphery of the protrusion of the bearing member, and the lower surface is brought into contact with the upper surface of the protrusion of the bearing support member. Can be adopted.
[0020]
The ring-shaped heat conductor is formed by an inner ring and an outer ring fitted to the outside thereof, and the inner ring is press-fitted into the outer periphery of the protruding portion of the bearing member to bring the lower surface into contact with the outer peripheral portion of the bearing member, By bringing the outer ring into contact with the upper surface of the protrusion of the bearing support member, the contact area between the bearing member and the heat conductor can be increased, and the heat of the bearing member can be effectively transferred to the heat conductor. It is possible to further enhance the cooling effect of the bearing member due to heat conduction.
[0021]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
It will be described below with reference to the embodiment of the present invention in FIG. 1 to FIG. As shown in FIG. 1, lubricating oil is contained in an
[0022]
A disk-shaped bearing support member 4 is immersed in the lubricating oil in the
[0023]
A
[0024]
A fitting hole 9 is formed at the center of the upper surface of the bearing support member 4, and a bearing
[0025]
The bearing
[0026]
The dynamic
[0027]
Between the
[0028]
The
[0029]
As described above, the lower surface outer peripheral portion of the
[0030]
For this reason, the fall of the viscosity by the temperature rise of the lubricating oil between the
[0031]
Here, as shown in the embodiment, when the bearing
[0032]
Further, if the bearing support member 4 that supports the copper
[0033]
FIG. 2 shows a second embodiment of the hydrodynamic bearing device according to the present invention, and shows only the main part. This hydrodynamic bearing device is different from the hydrodynamic bearing device shown in FIG. 1 in that the
[0034]
For this reason, the same parts as those of the hydrodynamic bearing device shown in FIG.
[0035]
As shown in FIG. 2, the
[0036]
【The invention's effect】
As described above, in the present invention, the cooling effect of the hydrodynamic bearing portion can be enhanced by providing a heat conductor between the protruding portion of the bearing member and the bearing support member to enhance the heat transfer characteristics. Further, it is possible to prevent a decrease in viscosity due to an increase in the temperature of the lubricating oil and to suppress a decrease in load capacity.
[Brief description of the drawings]
[1] The longitudinal sectional front view showing a second embodiment of the fluid bearing apparatus according to a first longitudinal front view showing an embodiment of FIG. 2 the invention of the fluid bearing device according to the invention [3] Conventional Longitudinal front view showing a hydrodynamic bearing device [FIG. 4] Longitudinal front view showing another example of a conventional hydrodynamic bearing device [Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1
Claims (2)
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Applications Claiming Priority (1)
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