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JP3880728B2 - 描画装置 - Google Patents
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JP3880728B2 - 描画装置 - Google Patents

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Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ドラムの外周面に装着された感光材料に描画を行う描画装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
種々の感光材料に光を照射して描画を行うために描画装置が用いられている。ドラム型の描画装置では、主走査方向に回転可能な記録ドラム上に感光材料が装着され、レーザダイオードを備えた露光ヘッドが記録ドラムの回転軸と平行な副走査方向に移動しつつ露光ヘッドから感光材料にレーザ光を照射することにより描画を行う。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記の描画装置では、レーザ光により露光された感光材料の表面から感光材料の成分がガスとして蒸発する。感光材料から発生したガスは露光ヘッド内に侵入して露光ヘッドの内部が汚染される。また、感光材料から発生したガスが露光ヘッドのレーザ光の出射口の対物レンズに付着すると、対物レンズの表面がガスで曇り、感光材料に形成される画像の質が劣化する。
【0004】
本発明の目的は、感光材料の露光時に発生するガスに起因する露光光学系の汚染が防止された描画装置を提供することである。
【0005】
【課題を解決するための手段および発明の効果】
(1)第1の発明
第1の発明に係る描画装置は、感光材料に描画を行う描画装置であって、回転軸を有し、外周面上に感光材料が装着される円筒状のドラムと、ドラムを回転軸の周りで回転させる回転駆動手段と、ドラムの回転に同期して回転軸と平行な方向に移動しつつドラムの外周面に装着された感光材料に描画を行う描画手段とを備え、描画手段は、ドラム上の感光材料に照射する光を発生する光発生手段と、感光材料への光の照射により発生したガスを拡散させるために所定の気体を吹き出すとともに所定の気体により拡散されたガスを吸引するガス拡散吸引ユニットとを備え、ガス拡散吸引ユニットは、光発生手段により発生された光をドラム上の感光材料に照射する対物レンズと、ドラムの回転方向において対物レンズよりも上流側に設けられ、所定の気体を吹き出す第1の吹き出し口と、ドラムの回転方向において対物レンズよりも下流側に設けられ、所定の気体により拡散されたガスを吸引する吸引口と、ドラムの回転方向において対物レンズよりも下流側に設けられた第2の吹き出し口とを有するものである。
【0006】
本発明に係る描画装置においては、外周面上に感光材料が装着されたドラムが回転駆動手段により回転軸の周りで回転駆動される。ドラムの回転に同期して描画手段が回転軸と平行な方向に移動しつつ、回転するドラム上の感光材料に描画手段の光照射手段により光がガス拡散吸引ユニットの対物レンズを通して照射されることにより、感光材料に描画が行われる。
【0007】
このとき、描画手段のガス拡散吸引ユニットにより所定の気体が吹き出され、光の照射により感光材料から発生したガスがその気体により拡散される。拡散されたガスは、ガス拡散吸引ユニットにより吸引される。
【0008】
この場合、ドラムの回転方向において対物レンズよりも上流側に配置された第1の吹き出し口から所定の気体が吹き出され、対物レンズによる光の照射により発生したガスが所定の気体により下流側に拡散される。拡散されたガスはドラムの回転方向において対物レンズよりも下流側に配置された吸引口から吸引される。それにより、対物レンズによる光 の照射により発生したガスが十分に吸引される。
【0009】
また、ドラムの回転方向において対物レンズよりも下流側に配置された第2の吹き出し口から所定の気体が吹き出される。それにより、第1の吹き出し口から吹き出された所定の気体により拡散されたガスが吸引口よりも下流側に吹き飛ばされることが防止される。したがって、所定の気体により拡散されたガスを吸引口から確実に吸引することができる。
【0010】
その結果、感光材料の露光時に発生するガスに起因する露光光学系の汚染が防止され、露光光学系の汚染による画質の劣化が十分に防止される。
【0011】
)第の発明
の発明に係る描画装置は、第1の発明に係る描画装置の構成において、第1の吹き出し口は、対物レンズによるドラム上の感光材料への光のほぼ照射位置に向かって所定の気体を吹き出すように設けられたものである。
【0012】
この場合、対物レンズによるドラム上の感光材料への光の照射位置で発生したガスを十分に拡散させることができる。
【0013】
)第の発明
の発明に係る描画装置は、第1または第2の発明に係る描画装置の構成において、感光材料は刷版であり、刷版は、先端クランプおよび後端クランプによりドラムの外周面に装着されたものである。
【0014】
)第の発明
の発明に係る描画装置は、第1〜第のいずれかの発明に係る描画装置の構成において、第1の吹き出し口からの吹き出し量を制御する吹き出し量制御手段をさらに備えたものである。
【0015】
この場合、ドラムの回転数や感光材料の種類に応じて第1の吹き出しの吹き出し量を最適な流量に調整することができる。それにより、光の照射により発生したガスを十分に拡散させることができる。
【0016】
)第の発明
の発明に係る描画装置は、第1〜第のいずれかの発明に係る描画装置の構成において、吸引口による吸引量を制御する吸引量制御手段をさらに備えたものである。
【0017】
この場合、ドラムの回転数や感光材料の種類に応じて吸引口による吸引量を最適な流量に調整することができる。それにより、拡散されたガスを十分に吸引することができる。
【0018】
【発明の実施の形態】
図1は本発明の一実施例における描画装置の概略側面図であり、図2は図1の描画装置の概略正面図である。
【0019】
図1および図2において、描画装置は、円筒状の記録ドラム1を備える。記録ドラム1は、回転駆動装置4により回転軸1aの周りで矢印Aの方向(主走査方向)に回転駆動される。記録ドラム1の外周面には、感光材料としてアルミニウム製の刷版100が装着される。刷版100の一端は複数の先端クランプ2により記録ドラム1の外周面に固定され、刷版100の他端は複数の後端クランプ3により記録ドラム1の外周面に固定されている。
【0020】
記録ドラム1の前方側には、複数のレーザダイオードを備えた露光ヘッド8が配設されている。露光ヘッド8は、ガイド82に移動可能に取り付けられ、記録ドラム1の回転に同期して矢印Bの方向(副走査方向)へ移動する。
【0021】
露光ヘッド8の複数のレーザダイオードは、レーザダイオード駆動回路部110により駆動される。
【0022】
画像信号発生回路130は画像信号を発生し、その画像信号をレーザダイオード駆動回路部110に与える。レーザダイオード駆動回路部110は、画像信号に応答して露光ヘッド8の複数のレーザダイオードを駆動する。それにより、露光ヘッド8によりレーザ光が刷版100に照射される。
【0023】
図1に示すように、記録ドラム1の後方側には、クランプ駆動装置5が設けられている。クランプ駆動装置5は、記録ドラム1上への後端クランプ3の取り付け、記録ドラム1からの後端クランプ3の取り外し、および記録ドラム1上の先端クランプ2の解除を行うために用いられる。
【0024】
クランプ駆動装置5は、矢印Cの方向に揺動可能な一対のクランプアーム6を備える。一対のクランプアーム6間には、駆動バー60が取り付けられ、駆動バー60に複数の第1駆動装置7が取り付けられている。図1に示すように、第1駆動装置7には、後端クランプ3の固定および解放を行うための駆動ピン75、後端クランプ3を保持する2つの保持ピン76、および刷版100の取り付け時に先端クランプ2を解除する解除ピン78が設けられている。また、クランプ駆動装置5は、刷版100の取り外し時に先端クランプ2を解除する第2駆動装置(図示せず)を備える。
【0025】
また、図1に示すように、記録ドラム1の上方には、搬送ユニット9が矢印Rの方向に揺動可能に配設されている。搬送ユニット9は、刷版搬入用の第1の搬送路91および刷版搬出用の第2の搬送路92を有する。刷版100の搬入時には、搬送ユニット9の第1の搬送路91を通して刷版100を記録ドラム1上に供給する。また、刷版100の搬出時には、記録ドラム1から取り外された刷版100を搬送ユニット9の第2の搬送路92を通して外部に搬出する。
【0026】
搬送ユニット9の先端側には、刷版100に位置決め孔を開けるためのパンチ装置10が配設されている。刷版100は、記録ドラム1上への供給前に、搬送ユニット9の第1の搬送路91を通してパンチ装置10に供給され、刷版100の周縁部に位置決め孔が形成される。刷版100の位置決め孔は、記録ドラム1の外周面に設けられた位置決めピン(図示せず)に係合する。
【0027】
図1の制御部600は、CPU(中央演算処理装置)、入出力インタフェース等からなり、描画装置の各部を制御する。この制御部600には、作業者が各種情報および各種指令を入力するための操作パネル700が接続されている。
【0028】
図3は描画ヘッド8の斜視図であり、図4は図3の描画ヘッド8のズームレンズ系の詳細な斜視図である。
【0029】
ここでは、水平面内の互いの直交する2つの方向をそれぞれX方向およびZ方向とし、鉛直方向をY方向とする。
【0030】
図3において、主ベース801上に、レーザダイオードアレイ802、複数のシリンドリカルレンズ803、スリット板804、放射面鏡805、立体射影レンズ806、レンズ807、折り返しミラー808、ズームレンズ系810およびガス拡散吸引ユニット80が配置されている。
【0031】
主ベース801の側部には、レーザダイオードドライバ等が搭載された基板を収納する収納ケース830が取り付けられている。
【0032】
レーザダイオードアレイ802は複数のレーザダイオードを有し、各レーザダイオードの先端にはコリメートレンズが装着されている。コリメートレンズは、レーザダイオードから出射されたレーザ光をY方向に関して平行にそろえる。
【0033】
複数のシリンドリカルレンズ803はY方向に延び、X方向に並列に配列されている。これらのシリンドリカルレンズ803は、レーザダイオードアレイ802から出射されるレーザ光をX方向に関して平行にそろえる。
【0034】
スリット板804は、シリンドリカルレンズ803を通過したレーザ光のビーム整形を行う。スリット板804を通過したレーザ光は放射面鏡805により反射され、立体射影レンズ806に入射する。放射面鏡805および立体射影レンズ806が第1段目の縮小光学系を構成する。
【0035】
立体射影レンズ806を透過したレーザ光は、さらにレンズ807を透過して折り返しミラー808により反射され、ズームレンズ系810に入射する。ズームレンズ系810は焦点合わせ用のモータおよびズーム用のモータを備える。レンズ807、折り返しミラー808およびズームレンズ系810が第2段目の縮小光学系を構成する。
【0036】
ズームレンズ系810は、ガス拡散吸引ユニット80に設けられた対物レンズを通してレーザ光を記録ドラム1上の刷版100に集光させる。
【0037】
図4において、図3の主ベース801上には大ベース811が固定されている。また、小ベース818は、主ベース801上でX方向に移動可能に設けられている。
【0038】
大ベース811には、フォーカスモータ812が設けられている。フォーカスモータ812の回転軸にはカップリング813を介してねじ軸(図示せず)が接続され、ねじ軸にはナット814が螺合している。ねじ軸は、軸受け815により保持される。フォーカスモータ812が回転すると、ナット814はX方向に移動する。
【0039】
ナット814は小ベース818に連結されている。小ベース818は、焦点合わせ時にフォーカスモータ812によりX方向に移動可能に設けられている。
【0040】
また、フォーカスモータ812の回転軸には、センサ羽根816が取り付けられている。大ベース811には、センサ羽根816の位置を検出することにより小ベース818の原点位置および終端位置を検出する固定センサ817が取り付けられている。この固定センサ817は、パルス制御により小ベース811の位置管理を行うために用いられる。
【0041】
小ベース818上には、第1支持枠821および第2支持枠822によりズームレンズ820が支持されている。また、小ベース818上には、ズームモータ(図示せず)が設けられている。
【0042】
ズームレンズ820には、センサ羽根823が取り付けられている。第2支持枠822には、連結部825を介して固定センサ824が固定されている。固定センサ824は、センサ羽根823の位置を検出することによりズームレンズ820の原点位置および終点位置を検出する。固定センサ824は、パルス制御によりズーム位置管理を行うために用いられる。
【0043】
図5は露光ヘッド8のガス拡散吸引ユニット80の参考例を示し、(a)は斜視図、(b)は正面図、(c)は縦断面図である。
【0044】
図5において、ガス拡散吸引ユニット80は、上部ブロック80aおよび下部ブロック80bにより構成される。上部ブロック80aと下部ブロック80bとの連結部に円形のレンズ孔80cが設けられている。このレンズ孔80cに対物レンズ86が装着される。
【0045】
上部ブロック80aと下部ブロック80bとは容易に分離可能である。そのため、対物レンズ86は簡易に調整・清掃・交換が行える。
【0046】
下部ブロック80bの前面には、複数のエア吹き出し口82が設けられている。エア吹き出し口82は、下部ブロック80bの側面に設けられたエア供給口84に連通している。これらのエア吹き出し口82は、記録ドラム1の回転方向(矢印Aの方向)の上流側に配置され、対物レンズ86による記録ドラム1上のレーザ光のほぼ照射位置を向いている。これにより、レーザ光の照射により発生したガスがエア(空気)により拡散される。
【0047】
上部ブロック80aの前面には、ガス吸引口83が設けられている。このガス吸引口83は、記録ドラム1の回転方向(矢印Aの方向)の下流側に配置され、対物レンズ86による記録ドラム1上のレーザ光のほぼ照射位置を向いている。ガス吸引口83は、上部ブロック80aの上面に設けられたガス排出口85に連通している。これにより、レーザ光の照射により発生したガスがエアとともに吸引される。
【0048】
図6はガス拡散吸引ユニット80の給気系および排気系を示すブロック図である。
【0049】
図6において、ガス拡散吸引ユニット80のエア供給口84は、フィルタ851を介して圧縮機(コンプレッサ)850に接続されている。圧縮機850の下流側には減圧弁852が接続されている。
【0050】
ガス拡散吸引ユニット80のガス排出口85は、フィルタ853を介して送風機(ブロア)854に接続されている。送風機854の上流側には減圧弁855が接続されている。
【0051】
圧縮機850からフィルタ851を介してガス拡散吸引ユニット80のエア供給口84に清浄なエアが供給される。それにより、ガス拡散吸引ユニット80のエア吹き出し口82から記録ドラム1の外周面上にエアが吹き付けられる。露光時に発生したガスは、エアとともにガス拡散吸引ユニット80のガス吸引口83から吸引され、ガス排出口85からフィルタ853を通して送風機854に送られる。
【0052】
減圧弁852,855は、制御部600により制御される。減圧弁852を制御することによりガス拡散吸引ユニット80のエア吹き出し口82から吹き出されるエアの流量を調整することができる。また、減圧弁855を制御することによりガス拡散吸引ユニット80のガス吸引口83から吸引されるガスおよびエアの流量を調整することができる。
【0053】
これにより、記録ドラム1の回転数や刷版100の種類に応じてガス拡散吸引ユニット80のエア吹き出し口82からのエアの吹き出し量およびガス吸引口83からのガスおよびエアの吸引量をそれぞれ最適な流量に調整することができる。
【0054】
具体的には、記録ドラム1の回転速度に比例させてエアの吹き出し量およびガス/エアの吸引量を増減させる。
【0055】
あるいは、描画効率を向上させるためにレーザダイオードアレイ802に塔載された複数のレーザダイオードの個々の光量を増減したり、稼動させるレーザダイオードの数を調整することがある。このような場合にも、刷版100からのガス発生量が変化するので、それに応じてエアの吹き出し量およびガス/エアの吸引量を調整してもよい。
【0056】
あるいは、刷版100に描画される画像に応じて、エアの吹き出し量およびガス/エアの吸引量を調整してもよい。すなわち、刷版100に形成される画像の種類(レーザダイオードからの単位時間あたりの照射光量が多く必要な画像か、そうではない画像か)に応じてガス発生量が変化すると考えられるからである。
【0057】
図7は露光時の記録ドラム1および露光ヘッド8の側面図である。
図7において、記録ドラム1の外周面に刷版100が装着され、刷版100の先端が先端クランプ2により固定され、刷版100の後端が後端クランプ3により固定されている。この状態で、記録ドラム1が矢印Aの方向に回転する。
【0058】
露光ヘッド8は、対物レンズ86を通してレーザ光を回転する記録ドラム1上の刷版100に照射する。刷版100の露光により刷版100からガスが発生する。このとき、ガス拡散吸引ユニット80のエア吹き出し口82から吹き出すエアが、記録ドラム1の回転方向の上流側からレーザ光の照射位置の近くに吹き付けられる。レーザ光の照射により刷版100から発生したガスは、エアにより拡散され、主として記録ドラム1の回転方向の下流側に吹き飛ばされる。エアにより拡散されたガスは、ガス拡散吸引ユニット80のガス吸引口83からエアとともに吸引される。
【0059】
このように、本実施例の描画装置においては、刷版100の露光時に発生したガスがガス拡散吸引ユニット80のエア吹き出し口82から吹き出すエアにより拡散され、拡散されたエアがガス拡散吸引ユニット80のガス吸引口83から吸引されるので、ガスが露光ヘッド8内に侵入して露光ヘッド8の内部を汚染することや、ガスが対物レンズ86に付着して対物レンズ86を曇らせることが防止される。したがって、ガスによる露光光学系の汚染に起因する画質の劣化が防止される。
【0060】
また、ガス拡散吸引ユニット80のエア吹き出し口82から吹き出されるエアによりガスが拡散され、拡散されたガスがガス吸引口83から吸引されるので、対物レンズ86と記録ドラム1上の刷版100との距離Wが大きい場合でも、ガスによる露光光学系の汚染が防止される。
【0061】
図8はガス拡散吸引ユニット80の例を示す断面図である。
図8のガス拡散吸引ユニット80では、記録ドラム1の回転方向においてガス吸引口83のさらに下流側にエア吹き出し口87が設けられている。このエア吹き出し口87は、対物レンズ86による記録ドラム1上のレーザ光の照射位置よりやや下流側を向いている。本例では、エア吹き出し口87が第2の吹き出し口に相当する。図8のガス拡散吸引ユニット80の他の部分の構成は、図5のガス拡散吸引ユニット80の構成と同様である。
【0062】
図8のガス拡散吸引ユニット80によれば、エア吹き出し口82から記録ドラム1に吹き付けられるエアにより拡散されたガスがガス吸引口83よりも下流側に吹き飛ばされることが防止される。それにより、エアにより拡散されたガスがガス吸引口83から確実に吸引される。
【0063】
図9はガス拡散吸引ユニットの他の参考例を示す断面図である。
図9のガス拡散吸引ユニット80では、下部ブロック80bに設けられたエア吹き出し口82aが対物レンズ86の表面とほぼ平行な方向を向いている。本例では、エア吹き出し口82,82aが第1の吹き出し口に相当する。図9のガス拡散吸引ユニット80の他の部分の構成は、図5のガス拡散吸引ユニット80の構成と同様である。
【0064】
図9のガス拡散吸引ユニット80によれば、エア吹き出し口82aから吹き出されるエアが対物レンズ86の表面に沿って流れ、ガス吸引口83から吸引される。それにより、対物レンズ86の表面にエアカーテンが形成される。その結果、レーザ光の照射により発生したガスがエアカーテンで遮られ、対物レンズ86に付着することが確実に防止される。
【0065】
図10はガス拡散吸引ユニット80のさらに他の参考例を示す斜視図である。
図10のガス拡散吸引ユニット80では、レンズ孔80cの周囲に複数のエア吹き出し口88が設けられている。複数のエア吹き出し口88は、対物レンズ86による記録ドラム1上のレーザ光のほぼ照射位置を向いている。本例では、エア吹き出し口88が複数の吹き出し口に相当する。図10のガス拡散吸引ユニット80の他の部分の構成は、図5のガス拡散吸引ユニット80の構成と同様である。
【0066】
図10のガス拡散吸引ユニット80によれば、複数のエア吹き出し口88から記録ドラム1上のレーザ光の照射位置の近くにエアが吹きつけられる。それにより、対物レンズ86の周囲がエアの流れで取り囲まれる。その結果、レーザ光の照射により発生したガスが対物レンズ86に付着することが確実に防止される。
【0067】
なお、ガス拡散吸引ユニット80に設けるエア吹き出し口およびガス吸引口の数および位置は上記実施例に限定されず、露光時に発生するガスによる露光ヘッド8および対物レンズ86の汚染を十分に防止することができるようにエア吹き出し口およびエア吸引口の数および位置を適切に選択する。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の一実施例における描画装置の概略側面図である。
【図2】 図1の描画装置の概略正面図である。
【図3】 図1の描画装置における露光ヘッドの斜視図である。
【図4】 図3の露光ヘッドのズームレンズ系の詳細な斜視図である。
【図5】 図3の露光ヘッドにおけるガス拡散吸引ユニットの参考例を示す斜視図、正面図および縦断面図である。
【図6】 図5のガス拡散吸引ユニットの給気系および排気系を示すブロック図である。
【図7】 露光時の記録ドラムおよび露光ヘッドの側面図である。
【図8】 ガス拡散吸引ユニットの例を示す断面図である。
【図9】 ガス拡散吸引ユニットの他の参考例を示す断面図である。
【図10】 ガス拡散吸引ユニットのさらに他の参考例を示す斜視図である。

Claims (5)

  1. 感光材料に描画を行う描画装置であって、
    回転軸を有し、外周面上に感光材料が装着される円筒状のドラムと、
    前記ドラムを前記回転軸の周りで回転させる回転駆動手段と、
    前記ドラムの回転に同期して前記回転軸と平行な方向に移動しつつ前記ドラムの外周面に装着された感光材料に描画を行う描画手段とを備え、
    前記描画手段は、
    前記ドラム上の感光材料に照射する光を発生する光発生手段と、
    前記感光材料への光の照射により発生したガスを拡散させるために所定の気体を吹き出すとともに前記所定の気体により拡散されたガスを吸引するガス拡散吸引ユニットとを備え、
    前記ガス拡散吸引ユニットは、
    前記光発生手段により発生された光を前記ドラム上の感光材料に照射する対物レンズと、
    前記ドラムの回転方向において前記対物レンズよりも上流側に設けられ、前記所定の気体を吹き出す第1の吹き出し口と、
    前記ドラムの回転方向において前記対物レンズよりも下流側に設けられ、前記所定の気体により拡散されたガスを吸引する吸引口と、
    前記ドラムの回転方向において前記対物レンズよりも下流側に設けられた第2の吹き出し口とを有することを特徴とする描画装置。
  2. 前記第1の吹き出し口は、前記対物レンズによる前記ドラム上の感光材料への光のほぼ照射位置に向かって前記所定の気体を吹き出すように設けられたことを特徴とする請求項記載の描画装置。
  3. 前記感光材料は刷版であり、
    前記刷版は、先端クランプおよび後端クランプにより前記ドラムの外周面に装着されたことを特徴とする請求項1または2記載の描画装置。
  4. 前記第1の吹き出し口からの吹き出し量を制御する吹き出し量制御手段をさらに備えたことを特徴とする請求項1〜のいずれかに記載の描画装置。
  5. 前記吸引口による吸引量を制御する吸引量制御手段をさらに備えたことを特徴とする請求項1〜のいずれかに記載の描画装置。
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JP2007293269A (ja) * 2006-03-28 2007-11-08 Dainippon Screen Mfg Co Ltd 画像記録装置
JP4493719B2 (ja) * 2006-09-13 2010-06-30 大日本スクリーン製造株式会社 画像記録装置
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CN107783283B (zh) * 2016-08-30 2020-01-24 上海微电子装备(集团)股份有限公司 镜片防污染装置及方法
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