JP3884443B2 - Liquid dispensing apparatus, liquid dispensing method, and liquid discharge head - Google Patents
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Description
本発明は、液体分注装置及び液体分注方法並びに液体吐出ヘッドに関する。 The present invention relates to a liquid dispensing apparatus , a liquid dispensing method, and a liquid discharge head .
従来より、圧電素子などの加速度印加要素を使用して発生させた慣性力を利用し、微少量の液体を高精度に吐出する吐出ヘッドを用いた液体分注装置が知られている。
このような液体分注装置として、液体吐出ヘッドと、この液体吐出ヘッドに液体を吸引するためのシリンジピストンポンプとを具備して構成され、液体を分注する際には、まず吸引用のシリンジピストンポンプによって液体吐出ヘッドの内部の流路部材に液体を吸引し、その後圧電素子等からなる駆動手段を駆動して液体を吐出させるものが知られている(例えば、特許文献1参照。)。
この液体吐出ヘッドによれば、パルス電圧を駆動手段に通電すると、圧電素子の駆動によって液体を保持する流路部材が軸方向に往復動作するので、流路部材内の液体に慣性力が作用して所定量の液体を吐出させることができる。
As such a liquid dispensing device, a liquid discharge head and a syringe piston pump for sucking liquid into the liquid discharge head are provided. When dispensing liquid, first, a syringe for suction There is known a technique in which a liquid is sucked into a flow path member inside a liquid discharge head by a piston pump, and then a driving means including a piezoelectric element is driven to discharge the liquid (for example, see Patent Document 1).
According to this liquid ejection head, when a pulse voltage is applied to the driving means, the flow path member that holds the liquid reciprocates in the axial direction by driving the piezoelectric element, so that an inertial force acts on the liquid in the flow path member. Thus, a predetermined amount of liquid can be discharged.
しかしながら、上記従来の液体吐出ヘッドでは、シリンジピストンポンプの吸引力のばらつきなどの理由によって液体の吸引量が変動する場合がある。すなわち、慣性力を用いた従来の液体吐出ヘッドでは、吸引量が変動すると液体に作用する慣性力も変化するので、結果として吐出される流体の吐出量にも変動が生じてしまう問題がある。
本発明は上記事情に鑑みて成されたものであり、駆動手段の駆動電圧波形を制御することによって液体の吐出量を精密に制御できる液体分注装置及び液体分注方法並びに液体吐出ヘッドを提供することを目的とする。
However, in the conventional liquid discharge head, the liquid suction amount may vary due to reasons such as variations in suction force of the syringe piston pump. That is, in the conventional liquid discharge head using inertial force, when the suction amount changes, the inertial force acting on the liquid also changes. As a result, there is a problem that the discharge amount of the discharged fluid also changes.
The present invention has been made in view of the above circumstances, and provides a liquid dispensing apparatus, a liquid dispensing method, and a liquid ejection head capable of precisely controlling a liquid ejection amount by controlling a driving voltage waveform of a driving unit. The purpose is to do.
本発明は、上記課題を解決するため、以下の手段を採用する。
本発明に係る液体分注装置は、内部に流路を有し当該流路に液体を保持するとともに、一端に当該液体を吐出する吐出口を有する液体保持部材と、供給されるパルス電圧に応じて、前記液体の吐出方向に沿って前記液体保持部材を進退移動させる駆動手段と、前記液体保持部材の進退移動にともなう慣性力の作用によって当該液体保持部材内の液体に発生する残留振動が前記パルス電圧の供給停止後において打ち消されるように、前記液体保持部材内に保持された前記液体の固有振動の周期と、当該液体保持部材の進退移動の周期とが略同一となるよう、前記駆動手段に前記パルス電圧の供給及び供給停止を行うパルス電圧供給部と、を有することを特徴とする。
The present invention employs the following means in order to solve the above problems.
The liquid dispensing apparatus according to the present invention includes a liquid holding member having a flow path inside and holding the liquid in the flow path, and having a discharge port for discharging the liquid at one end, and a supplied pulse voltage. Te, drive means for advancing and retracting the liquid holding member along the discharge direction of the liquid, the residual vibration generated by the action of the inertial force due to forward and backward movement of the liquid holding member in the liquid in the liquid holding member The drive so that the period of natural vibration of the liquid held in the liquid holding member and the period of forward / backward movement of the liquid holding member are substantially the same so as to cancel after the supply of the pulse voltage is stopped. And means for supplying and stopping the supply of the pulse voltage.
また、本発明に係る液体分注装置は、前記液体分注装置であって、前記パルス電圧供給部は、前記パルス電圧の供給停止後における前記液体保持部材の振動が前記残留振動に対して半周期ずれるように、前記パルス電圧の供給を停止することを特徴とする。Further, the liquid dispensing apparatus according to the present invention is the liquid dispensing apparatus, wherein the pulse voltage supply unit is configured such that the vibration of the liquid holding member after the supply of the pulse voltage is stopped with respect to the residual vibration. The supply of the pulse voltage is stopped so as to shift the period.
また、本発明に係る液体分注装置は、前記液体分注装置であって、前記パルス電圧の幅は、前記液体保持部材内に保持された前記液体の固有振動の1周期と略同一であることを特徴とする。 The liquid dispensing apparatus according to the present invention is the liquid dispensing apparatus, wherein the width of the pulse voltage is substantially the same as one cycle of the natural vibration of the liquid held in the liquid holding member. It is characterized by that.
本発明に係る液体分注方法は、内部に流路を有し当該流路に液体を保持するとともに、一端に当該液体を吐出する吐出口を有する液体保持部材と、供給されるパルス電圧に応じて、前記液体の吐出方向に沿って前記液体保持部材を進退移動させる駆動手段と、前記駆動手段に前記パルス電圧の供給及び供給停止を行うパルス電圧供給部と、を有する液体分注装置における液体分注方法であって、前記駆動手段にパルス電圧を供給する工程と、前記液体保持部材の進退移動にともなう慣性力の作用によって当該液体保持部材内の液体に発生する残留振動が前記パルス電圧の供給停止後において打ち消されるように、前記液体保持部材内に保持された前記液体の固有振動の周期と、当該液体保持部材の進退移動の周期とが略同一となるよう、前記駆動手段への前記パルス電圧の供給を停止する工程と、を具備することを特徴とする。 The liquid dispensing method according to the present invention includes a liquid holding member having a flow path inside and holding the liquid in the flow path, and having a discharge port for discharging the liquid at one end, and a supplied pulse voltage. The liquid in the liquid dispensing apparatus includes: a driving unit that moves the liquid holding member forward and backward along the liquid discharge direction; and a pulse voltage supply unit that supplies and stops the supply of the pulse voltage to the driving unit. a dispensing method comprising: supplying a pulse voltage to said driving means, said residual vibration is the pulse voltage generated in the liquid in the liquid holding member by the action of the inertial force due to reciprocating movement of the liquid holding member as canceled after stopping the supply, the period of natural vibration of the liquid held in the liquid holding member, so that the period of forward and backward movement of the liquid holding member is substantially the same, the Characterized by comprising the step of stopping the supply of the pulse voltage to the moving means.
本発明に係る液体吐出ヘッドは、内部に流路を有し当該流路に液体を保持するとともに、一端に当該液体を吐出する吐出口を有する液体保持部材と、供給されるパルス電圧に応じて前記液体の吐出方向に沿って前記液体保持部材を進退移動させる駆動手段であって、前記液体保持部材の進退移動にともなう慣性力の作用によって当該液体保持部材内の液体に発生する残留振動が、当該パルス電圧の供給停止後において打ち消されるように、前記液体保持部材内に保持された前記液体の固有振動の周期と、当該液体保持部材の進退移動の周期とが略同一となるよう、当該パルス電圧の供給及び供給停止が行われる駆動手段と、を有することを特徴とする。
The liquid discharge head according to the present invention includes a liquid holding member having a flow path inside and holding the liquid in the flow path, and having a discharge port for discharging the liquid at one end, and a supplied pulse voltage. a driving means for advancing and retracting the liquid holding member along the discharge direction of the liquid, the residual vibration generated by the action of the inertial force due to forward and backward movement of the liquid holding member in the liquid in the liquid holding member The period of the natural vibration of the liquid held in the liquid holding member and the period of forward / backward movement of the liquid holding member are substantially the same so as to cancel after the supply of the pulse voltage is stopped. Drive means for supplying and stopping supply of a pulse voltage.
本発明によれば、液体保持部材からの液体の吐出量の精度を向上させることができる。 According to the present invention, it is possible to improve the accuracy of the liquid discharge amount from the liquid holding member.
本発明に係る第1の実施形態について、図1を参照して説明する。
本実施形態に係る液体分注装置1は、生体試料、試薬や溶融金属等の液体を微少量、高精度に吐出して分注するための装置であり、液体を吐出する液体吐出ヘッド2と、この液体吐出ヘッド2に液体を吸引するシリンジポンプ3とを備えている。
液体吐出ヘッド2は、円筒状に形成された液体保持部材5に配された液体通路6と、この液体通路6を移動させる駆動手段として液体通路6の長手方向に沿って液体通路6の周囲に設けられた圧電素子7とを備えている。
液体通路6は、内部に円筒状の流路6Aを有し、この流路6Aに液体Fを保持するように、下端面には底部6Bが設けられている。また、底部6Bには、流路6Aの一端から液体Fを吐出可能とする吐出口8が穿設されている。
A first embodiment according to the present invention will be described with reference to FIG.
A liquid dispensing apparatus 1 according to the present embodiment is an apparatus for discharging and dispensing a liquid such as a biological sample, a reagent, or a molten metal with a very small amount with high accuracy, and a
The
The
液体通路6は、外周面に固着したネジ部材10を備えており、このネジ部材10を圧電素子7の下端フランジ部7Aと螺合させることにより、圧電素子7が固有振動モードを有して液体通路6の長手方向に伸縮振動する方向と液体保持部材5からの液体の吐出方向とが略同一方向とされて、液体通路6と圧電素子7とが一体化した液体吐出ヘッド2とされる。
圧電素子7は、二分割された電極7a、7bがそれぞれパルス電圧供給部11と電気的に接続されており、液体保持部材5の進退移動の際の振動周波数F1が、液体Fの固有振動数F2と略同一に設定可能とされている。
The
In the piezoelectric element 7, the two divided
次に本実施形態に係る液体吐出ヘッド2及び液体分注装置1の作用、並びに液体分注方法について説明する。
まず、液体保持部材5を進退移動させる際の振動周波数F1と液体Fの固有振動数F2とを、例えば、10kHzと同一値に設定した状態で、シリンジポンプ3にて液体Fを液体吐出ヘッド2の液体通路6に吸引する。そして、パルス電圧供給部11からパルス電圧を圧電素子7に印加すると、圧電素子7が液体通路6の長手方向に伸縮し、これに伴いネジ部材10を介して液体通路6が長手方向に往復移動する。
Next, the operation of the
First, in a state where the vibration frequency F1 when the
このとき、液体Fは液体保持部材5の急速な移動に追従できないため、液体Fに液体保持部材5の移動方向とは逆向きの慣性力が作用して液体Fに吐出圧力を生じるとともに、液体Fが液体通路6内を往復移動する。この際、液体保持部材5の振動周波数F1を液体Fの固有振動数F2と同一としているので、液体Fに発生する振動の周波数は固有振動数F2に限定される。そのため、固有振動数F2で液体Fが往復移動し、この際の吐出圧力に応じた流量の液体Fが吐出口8から吐出される。
なお、吐出圧力は、液体通路6内に保持されている液体Fの量に応じて変動する。
At this time, since the liquid F cannot follow the rapid movement of the
Note that the discharge pressure varies according to the amount of the liquid F held in the
この液体分注装置1及び液体吐出ヘッド2並びに液体分注方法によれば、液体保持部材5内の液体Fに発生する振動を進退移動の振動と略同一の一つの周波数に限定することができ、液体Fの吐出タイミング及び吐出量を振動周波数で制御することができ、必要なときに所望の量の液体Fを吐出口8から吐出させることができる。
According to the liquid dispensing device 1, the
次に、第2の実施形態について図2を参照しながら説明する。
なお、上述した第1の実施形態と同様の構成要素には同一符号を付すとともに説明を省略する。
第2の実施形態と第1の実施形態との異なる点は、本実施形態に係る液体分注装置1において、液体保持部材5を固有振動モードの一周期の振動で進退移動させるとした点である。
この際、パルス電圧供給部11から圧電素子7に、固有振動周期T1と略同一のパルス幅の矩形波Eを印加して液体Fに慣性力を作用させる。
なお、液体吐出ヘッド2の構成は、第1の実施形態と同様の構成とされている。
Next, a second embodiment will be described with reference to FIG.
In addition, the same code | symbol is attached | subjected to the component similar to 1st Embodiment mentioned above, and description is abbreviate | omitted.
The difference between the second embodiment and the first embodiment is that, in the liquid dispensing apparatus 1 according to the present embodiment, the
At this time, the piezoelectric element 7 from the pulse
Note that the configuration of the
この液体分注装置1に係る液体吐出ヘッド2によって液体Fを吐出させる場合について説明する。
パルス電圧を矩形波電圧として圧電素子7に印加して、上記第1の実施形態と同様に液体保持部材を振動させて液体Fを吐出口8から吐出させる。
ここで、圧電素子7の固有振動モードで液体保持部材5を進退移動させた場合、液体保持部材5の移動を止めても慣性力の作用によって通常残留振動が内部の液体Fに発生する。したがって、液体保持部材5が停止していても、液体Fが進退移動するため、発生した固有振動の2周期目、3周期目において液体Fが吐出することがある。
A case where the liquid F is ejected by the
A pulse voltage is applied to the piezoelectric element 7 as a rectangular wave voltage, and the liquid holding member is vibrated to discharge the liquid F from the
Here, when the
しかし、本実施形態においては、矩形波Eの電圧を液体保持部材5の変位の一周期後に供給停止することによって、液体保持部材5の振動周期T2を、矩形波Eの電圧の供給を停止しない場合の流体Fの振動周期T3に対して半波長分ずらすことができる。
したがって、液体Fの振動を液体保持部材5の振動で打ち消すことができ、液体保持部材5の固有振動モードの二周期目以降の振動によって液体保持部材5を進退移動させて液体Fを吐出させてしまうのを抑えることができる。
However, in the present embodiment, by stopping supply after one cycle of the displacement of the liquid holding member 5 a voltage of rectangular wave E, the vibration cycle T2 of the
Therefore, the vibration of the liquid F can be canceled by the vibration of the
次に、第3の実施形態について図3及び図4を参照しながら説明する。
なお、上述した他の実施形態と同様の構成要素には同一符号を付すとともに説明を省略する。
第3の実施形態と第2の実施形態との異なる点は、本実施形態に係る液体分注装置1において、吐出圧力が発生する電圧に対して逆電圧を圧電素子7に一旦印加してから吐出圧力が発生する電圧を印加するとした点である。
Next, a third embodiment will be described with reference to FIGS.
In addition, the same code | symbol is attached | subjected to the component similar to other embodiment mentioned above, and description is abbreviate | omitted.
The difference between the third embodiment and the second embodiment is that, in the liquid dispensing apparatus 1 according to this embodiment, a reverse voltage is once applied to the piezoelectric element 7 with respect to the voltage at which the discharge pressure is generated. This is a point where a voltage generating a discharge pressure is applied.
この液体分注装置1に係る液体吐出ヘッド2によって液体Fを吐出させる場合について説明する。
まず、図4(a)に示す初期状態に対し、図3に示すように、時間t1後に、吐出圧力が発生する電圧とは逆方向の逆電圧V1を一旦印加する。このとき、圧電素子7が、上記実施形態の場合と逆方向に移動するため、液体Fの慣性力が液体Fを吐出させない方向に作用して、図4(b)に示すように、吐出口8に発生したメニスカス15を流路6A内に引き込ませる。
For the case where the ejected liquid dispensing device thus liquid F in the
First, as shown in FIG. 3, with respect to the initial state shown in FIG. 4A, a reverse voltage V1 in a direction opposite to the voltage at which the discharge pressure is generated is once applied after time t1. At this time, since the piezoelectric element 7 moves in the opposite direction to the case of the above embodiment, the inertia force of the liquid F acts in a direction in which the liquid F is not discharged, and as shown in FIG. The
続いて時間t2後に、第2の実施形態と同様の方向の矩形電圧を供給する。このときの電圧をV2とすると、第2の実施形態にて要した電圧よりも小さい電圧であっても、V1からV2までの電位差を第2の実施形態にて要した電圧と同等とすることができ、液体Fに上述と同様の慣性力を作用させて液体Fを吐出させることができる。
したがって、主液滴の後方に発生するサテライトを低減させることができ、液体Fの吐出精度を向上することができる。
Subsequently, a rectangular voltage in the same direction as in the second embodiment is supplied after time t2. If the voltage at this time is V2, even if the voltage is smaller than the voltage required in the second embodiment, the potential difference from V1 to V2 is made equal to the voltage required in the second embodiment. The inertial force similar to the above can be applied to the liquid F, and the liquid F can be discharged.
Therefore, the satellite generated behind the main droplet can be reduced, and the discharge accuracy of the liquid F can be improved.
なお、本発明の技術範囲は上記実施の形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。
例えば、上記実施形態では、流体流路6Aを円形断面としたが、たとえば三角形や正方形のような多角形を採用することも可能であり、円形に限定されることはない。
The technical scope of the present invention is not limited to the above embodiment, and various modifications can be made without departing from the spirit of the present invention.
For example, in the above-described embodiment, the
1 液体分注装置
2 液体吐出ヘッド
5 液体保持部材
6A 流路
7 圧電素子(駆動手段)
8 吐出口
11 パルス電圧供給部
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1
8
Claims (5)
供給されるパルス電圧に応じて、前記液体の吐出方向に沿って前記液体保持部材を進退移動させる駆動手段と、
前記液体保持部材の進退移動にともなう慣性力の作用によって当該液体保持部材内の液体に発生する残留振動が前記パルス電圧の供給停止後において打ち消されるように、前記液体保持部材内に保持された前記液体の固有振動の周期と、当該液体保持部材の進退移動の周期とが略同一となるよう、前記駆動手段に前記パルス電圧の供給及び供給停止を行うパルス電圧供給部と、
を有することを特徴とする液体分注装置。 A liquid holding member having a flow path inside and holding the liquid in the flow path, and having a discharge port for discharging the liquid at one end;
Drive means for moving the liquid holding member forward and backward along the liquid discharge direction in accordance with the supplied pulse voltage;
Wherein as the residual vibration generated in the liquid in the liquid holding member by the action of the inertial force due to reciprocating movement of the liquid holding member is canceled after the supply stop of the pulse voltage, which is held in the liquid holding the member A pulse voltage supply unit for supplying and stopping the supply of the pulse voltage to the drive means, so that the period of natural vibration of the liquid and the period of forward and backward movement of the liquid holding member are substantially the same ;
A liquid dispensing apparatus comprising:
前記駆動手段にパルス電圧を供給する工程と、
前記液体保持部材の進退移動にともなう慣性力の作用によって当該液体保持部材内の液体に発生する残留振動が前記パルス電圧の供給停止後において打ち消されるように、前記液体保持部材内に保持された前記液体の固有振動の周期と、当該液体保持部材の進退移動の周期とが略同一となるよう、前記駆動手段への前記パルス電圧の供給を停止する工程と、
を具備することを特徴とする液体分注方法。 A liquid holding member having a flow path inside and holding a liquid in the flow path, and having a discharge port for discharging the liquid at one end, along the discharge direction of the liquid according to the supplied pulse voltage A liquid dispensing method in a liquid dispensing apparatus, comprising: a driving unit that moves the liquid holding member forward and backward; and a pulse voltage supply unit that supplies and stops the supply of the pulse voltage to the driving unit,
Supplying a pulse voltage to the driving means;
Wherein as the residual vibration generated in the liquid in the liquid holding member by the action of the inertial force due to reciprocating movement of the liquid holding member is canceled after the supply stop of the pulse voltage, which is held in the liquid holding the member Stopping the supply of the pulse voltage to the driving means so that the period of natural vibration of the liquid and the period of forward and backward movement of the liquid holding member are substantially the same ;
A liquid dispensing method comprising:
供給されるパルス電圧に応じて前記液体の吐出方向に沿って前記液体保持部材を進退移動させる駆動手段であって、前記液体保持部材の進退移動にともなう慣性力の作用によって当該液体保持部材内の液体に発生する残留振動が、当該パルス電圧の供給停止後において打ち消されるように、前記液体保持部材内に保持された前記液体の固有振動の周期と、当該液体保持部材の進退移動の周期とが略同一となるよう、当該パルス電圧の供給及び供給停止が行われる駆動手段と、
を有することを特徴とする液体吐出ヘッド。 A liquid holding member having a flow path inside and holding the liquid in the flow path, and having a discharge port for discharging the liquid at one end;
A driving means for advancing and retracting the liquid holding member along the discharge direction of the liquid according to the pulse voltage supplied, the liquid holding member in the action of the inertial force due to forward and backward movement of the liquid holding member A period of natural vibration of the liquid held in the liquid holding member and a period of forward / backward movement of the liquid holding member so that the residual vibration generated in the liquid is canceled after the supply of the pulse voltage is stopped Driving means for supplying and stopping supply of the pulse voltage so that the two are substantially the same ,
A liquid discharge head comprising:
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