JP3888196B2

JP3888196B2 - Sensor output characteristics adjustment method

Info

Publication number: JP3888196B2
Application number: JP2002070136A
Authority: JP
Inventors: 嘉史村上
Original assignee: Denso Corp
Current assignee: Denso Corp
Priority date: 2002-03-14
Filing date: 2002-03-14
Publication date: 2007-02-28
Anticipated expiration: 2022-03-14
Also published as: JP2003270315A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば物理量（圧力等）を検出するセンサの出力特性調整方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、車両におけるブレーキ装置のブレーキ液圧や燃料噴射装置の燃料圧等の圧力の測定手段として圧力センサが用いられている。この圧力センサの多くは、半導体基板に薄肉のダイヤフラム部を形成し、このダイヤフラム部の中央部および周辺部に圧力検出素子（ゲージ抵抗）を２つずつ形成してホイートストンブリッジ回路を構成している。そして、ダイヤフラム部に圧力が印加されると、ピエゾ抵抗効果によってゲージ抵抗の抵抗値が変化し、この結果として中央部および周辺部のゲージ抵抗における中点電位に電位差が生じる。圧力センサでは、この出力電圧に適当な増幅・調整処理を施して圧力に応じた電気信号を出力するようにしている。
【０００３】
このような圧力センサにおいて、ブリッジ回路が汚染や損傷等によって誤った電位差を発生した場合には、そのまま誤ったセンサ出力を行ってしまうため、そのような異常（故障）を検出する機能を備える必要がある。
【０００４】
特開２００１−２７２２９３号公報には、ゲージ抵抗により構成されたブリッジ回路の中点の電位差を増幅・調整回路で増幅した出力（正規の出力）と、ゲージ抵抗を分割した分割ゲージ抵抗の中間端子のうち、圧力が印加されていない状態で電位が等しい中間端子の組み合わせにおける電位差を増幅・調整回路で増幅した出力（リファレンス出力）とに基づいて、圧力センサの異常を検出するようにしたものが記載されている。
【０００５】
上記した正規の出力とリファレンス出力とに基づいて異常検出を行う場合、ウインドコンパレータを用いた回路構成によって実現することが考えられる。図２にその場合の具体的な圧力センサの回路構成を示す。
【０００６】
圧力センサは、ブリッジ回路１、増幅・調整部２、判定回路３および出力回路４から構成されている。
【０００７】
ブリッジ回路１は、ゲージ抵抗ＲＡ、ＲＢ、ＲＣ、ＲＤがブリッジ接続された構成となっている。ここで、抵抗ＲＡ、ＲＢ、ＲＣ、ＲＤは、それぞれ２つの分割抵抗で構成され、抵抗ＲＡは抵抗ＲＡ１と抵抗ＲＡ２により、抵抗ＲＢは抵抗ＲＢ１と抵抗ＲＢ２により、抵抗ＲＣは抵抗ＲＣ１と抵抗ＲＣ２により、抵抗ＲＤは抵抗ＲＤ１と抵抗ＲＤ２により構成されている。ブリッジ回路１における一端側（電源側）の端子Ａおよび他端側（接地側）の端子Ｄの間には、定電圧Ｖｃが印加される。
【０００８】
増幅・調整部２は、第１の増幅・調整回路２０および第２の増幅・調整回路２１から構成されている。第１の増幅・調整回路２０は、ブリッジ回路における中点Ｂ、Ｃの電位差Ｖ_BCを増幅した電圧（正規出力電圧）Ｖ１を出力する。また、第２の増幅・調整回路２１は、抵抗ＲＢ１とＲＢ２の中間端子Ｂ２と、抵抗ＲＤ１とＲＤ２の中間端子Ｃ２の電位差Ｖ_B2C2を増幅した電圧（リファレンス電圧）Ｖ２を出力する。このリファレンス電圧Ｖ２は、上記した公報に記載された、圧力が印加されていない状態で電位が等しい中間端子の組み合わせにおける電位差を増幅した出力に相当する。なお、２つの中点Ｂ、Ｃの電位差Ｖ_BCと２つの中間端子Ｂ２、Ｃ２の電位差Ｖ_B2C2には、｜Ｖ_BC｜＝２×｜Ｖ_B2C2｜の関係が成り立っている。
【０００９】
判定回路３は、ウィンドコンパレータを構成する第１、第２のコンパレータ３０、３１と、基準電圧を生成するための抵抗３２〜３５から構成されている。第１のコンパレータ３０の反転入力端子と第２のコンパレータ３１の非反転入力端子には、第１の増幅・調整回路２０の正規出力電圧Ｖ１が入力され、第１のコンパレータ３０の非反転入力端子と第２のコンパレータ３１の反転入力端子には、第１、第２の基準電圧Ｖ_in+A、Ｖ_in-Aがそれぞれ入力される。この第１、第２の基準電圧Ｖ_in+A、Ｖ_in-Aは、リファレンス電圧から抵抗３２〜３５の抵抗分割によって生成される。すなわち、直列接続された抵抗３２〜３５に電源電圧Ｖｃが印加され、第２の増幅・調整回路２１の出力が抵抗３３と抵抗３４の接続点に接続された構成となっており、抵抗３２と抵抗３３の接続点から第１の基準電圧Ｖ_in+Aが出力され、抵抗３４と抵抗３５の接続点から第２の基準電圧Ｖ_in-Aが出力される。
【００１０】
ここで、抵抗３２、３３、３４、３５の抵抗値をＲ１、Ｒ２、Ｒ３、Ｒ４とすると、第１の基準電圧Ｖ_in+Aは数式１で表され、第２の基準電圧Ｖ_in-Aは数式２で表される。
【００１１】
【数１】

【００１２】
【数２】

【００１３】
第１の増幅・調整回路２０からの正規出力電圧Ｖ１が第１の基準電圧Ｖ_in+Aと第２の基準電圧Ｖ_in-Aの間、すなわち第１、第２の基準電圧Ｖ_in+A、Ｖ_in-Aによって設定された規格電圧範囲（例えば０．５から４．５Ｖ）内にあるときには、第１、第２のコンパレータ３０の出力がいずれもハイレベルとなるため、判定回路３はハイレベルの正常検出信号を出力する。しかし、正規出力電圧Ｖ１が第１の基準電圧Ｖ_in+Aより高いと、第１のコンパレータ３０の出力はローレベルとなり、また正規出力電圧Ｖ１が第２の基準電圧Ｖ_in-Aより低いと、第２のコンパレータ３１の出力はローレベルとなるため、いずれの場合も判定回路３はローレベルの異常検出信号を出力する。
【００１４】
出力回路４は、第１の増幅・調整回路２０からの正規出力電圧Ｖ１および判定回路３からの信号に基づき、判定回路３から正常検出信号が出力されているときには、正規出力電圧Ｖ１を出力する。しかし、判定回路３から異常検出信号が出力されると、異常を示す信号（規格電圧範囲外の電圧信号）を出力する。
【００１５】
【発明が解決しようとする課題】
上記した構成において、センサの出力特性を調整する場合、例えば、ブリッジ回路１における２つの中点Ｂ、Ｃの電位差Ｖ_BCが０の状態で、正規出力電圧Ｖ１が例えば０．５Ｖとなるように第１の増幅・調整回路２０の動作点の電圧（オフセット）を調整し、Ｖ_BC＝１０ｍＶの状態のときに、正規出力電圧Ｖ１が例えば１Ｖとなるように第１の増幅・調整回路２０の増幅率を調整する。また、第２の増幅・調整回路２１についても、抵抗３３と抵抗３４の接続点の電圧をモニタしてオフセットおよび増幅率を調整する。このようなセンサの出力特性の調整は、出力回路４の出力をモニタしながら行う。
【００１６】
しかしながら、上記した調整において、調整中に、判定回路３から異常検出信号が出力されて出力回路４から規格電圧範囲外の信号が出力される場合がある。このため、出力回路４の出力電圧が規格電圧範囲外の信号にならないように、第１、第２の増幅・調整回路２０、２１の微調整を繰り返し行う必要があり、調整に時間がかかってしまうという問題が生じる。
【００１７】
本発明は上記問題に鑑みたもので、上記したようなセンサにおける出力特性の調整時間を短縮することを目的とする。
【００１８】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、請求項１、２に記載の発明では、センサの正規出力電圧（Ｖ１）を、複数の抵抗（３２〜３５）の抵抗分割によって生成された基準電圧と比較し、正規出力電圧（Ｖ１）が基準電圧によって設定された規格電圧範囲内にあるか否かを判定する判定回路（３）と、
判定回路（３）から正規出力電圧（Ｖ１）が規格電圧範囲内にあることを示す信号が出力されているときに正規出力電圧（Ｖ１）を出力し、判定回路（３）から正規出力電圧（Ｖ１）が規格電圧範囲を外れていることを示す信号が出力されているときに異常を示す信号を出力する出力回路（４）と、を備えたセンサに対し、出力回路（４）の出力をモニタしてセンサの出力特性を調整する方法であって、
調整時に、複数の抵抗（３２〜３５）のうち少なくとも１つの抵抗（３２、３５）に、調整用の抵抗（３６、３７）を並列接続して規格電圧範囲を拡大し、
調整が終了すると調整用の抵抗（３６、３７）を無効にすることを特徴としている。
【００１９】
このことにより、調整時に、出力回路（４）から規格電圧範囲外の信号が出力されないようにすることができるため、センサの出力特性の調整に要する時間を短縮することができる。
【００２０】
なお、上記各手段の括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示すものである。
【００２１】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施形態に係る圧力センサの回路構成を図１に示す。なお、図２に示すものと同一部分には、同一符号を付して説明を省略し、以下異なる部分についてのみ説明する。
【００２２】
この実施形態に係る圧力センサは、図１に示すように、抵抗３２と並列に調整用の抵抗３６が接続され、抵抗３５と並列に調整用の抵抗３７が接続された構成となっている。このような構成とすることにより、第１の基準電圧Ｖ_in+Bは数式３で表され、第２の基準電圧Ｖ_in-Bは数式４で表される。
【００２３】
【数３】

【００２４】
【数４】

【００２５】
数式１〜数式４から、Ｖ_in+B＞Ｖ_in+A、Ｖ_in-B＜Ｖ_in-Aの関係となるため、判定回路３の規格電圧範囲（第１の基準電圧−第２の基準電圧）を、図２に示す構成のものよりも広くすることができる。
【００２６】
従って、センサの出力特性を調整する場合に、判定回路３から異常検出信号が出力されない、すなわち出力回路４の出力電圧が規格電圧範囲外の信号にならないようにすることができ、センサの出力特性の調整に要する時間を短縮することができる。
【００２７】
そして、上記した調整が終わった後、抵抗３６、３７を無効にする。例えば、抵抗３６、３７の接続をトリミングによって開放（オープン）状態にする。
（他の実施形態）
抵抗３６、３７を無効にする方法としては、抵抗３６、３７の抵抗値を抵抗３２、３５に比して非常に大きな値に調整し、抵抗３６、３７が判定回路３の故障検出作動に影響しないようにしてもよい。
【００２８】
調整用の抵抗３６、３７は、可変抵抗でなく固定抵抗であってもよい。
【００２９】
リファレンス電圧は、中間端子Ｂ２、Ｃ２の電位差Ｖ_B2C2を増幅した電圧である必要はなく、他の中間端子間の電位差を増幅した電圧であってもよい。このリファレンス電圧は、正規出力電圧を監視するために用いられるものであるため、正規出力電圧Ｖ１の変化と同様に変化するものであればよい。
【００３０】
また、上記した実施形態では、抵抗３２、３５に調整用の抵抗３６、３７を並列接続するものを示したが、規格電圧範囲を所望の範囲に拡大できるのであればそのいずれか１つの並列接続のみとしてもよい。
【００３１】
また、上記した実施形態では、リファレンス電圧から抵抗３２〜３５の抵抗分割によって基準電圧を生成するものを示したが、リファレンス電圧を用いずに抵抗３２〜３５による抵抗分割によって基準電圧を生成するようにしてもよい。
【００３２】
また、本発明は、ブリッジ回路を備えた構成であれば、圧力センサに限らず、圧力以外の物理量を検出する物理量センサ、例えば加速度センサにも適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態に係る圧力センサの回路構成を示す図である。
【図２】判定回路を用いて故障検出を実現した圧力センサの回路構成を示す図である。
【符号の説明】
１・・・ブリッジ回路、２・・・増幅・調整部、３・・・判定回路、
４・・・出力回路、２０、２１・・・第１、第２の増幅・調整回路、
３０、３１・・・第１、第２のコンパレータ、３２〜３５…抵抗、
３６、３７…調整用の抵抗。[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a method for adjusting output characteristics of a sensor that detects, for example, a physical quantity (pressure or the like).
[0002]
[Prior art]
Conventionally, a pressure sensor has been used as means for measuring pressure such as brake fluid pressure of a brake device and fuel pressure of a fuel injection device in a vehicle. In many of these pressure sensors, a thin diaphragm portion is formed on a semiconductor substrate, and two pressure detection elements (gauge resistors) are formed in the central portion and the peripheral portion of the diaphragm portion to constitute a Wheatstone bridge circuit. . When pressure is applied to the diaphragm portion, the resistance value of the gauge resistance changes due to the piezoresistive effect, and as a result, a potential difference is generated between the midpoint potentials of the central and peripheral gauge resistors. In the pressure sensor, an appropriate amplification / adjustment process is performed on the output voltage to output an electric signal corresponding to the pressure.
[0003]
In such a pressure sensor, if the bridge circuit generates an erroneous potential difference due to contamination or damage, the sensor output is output as it is, so it is necessary to have a function to detect such an abnormality (failure). There is.
[0004]
Japanese Patent Application Laid-Open No. 2001-272293 discloses an output (regular output) obtained by amplifying and adjusting a potential difference at a midpoint of a bridge circuit constituted by a gauge resistor, and an intermediate terminal of a divided gauge resistor obtained by dividing the gauge resistor. Among them, the pressure sensor abnormality is detected based on the output (reference output) obtained by amplifying / adjusting the potential difference in the combination of the intermediate terminals having the same potential when no pressure is applied. Are listed.
[0005]
When detecting an abnormality based on the regular output and the reference output described above, it may be realized by a circuit configuration using a window comparator. FIG. 2 shows a specific circuit configuration of the pressure sensor in that case.
[0006]
The pressure sensor includes a bridge circuit 1, an amplification / adjustment unit 2, a determination circuit 3, and an output circuit 4.
[0007]
The bridge circuit 1 has a configuration in which gauge resistors RA, RB, RC, and RD are bridge-connected. Here, the resistors RA, RB, RC, and RD are each composed of two divided resistors, the resistor RA is formed by the resistors RA1 and RA2, the resistor RB is formed by the resistors RB1 and RB2, and the resistor RC is formed by the resistors RC1 and RC2. Thus, the resistor RD is composed of a resistor RD1 and a resistor RD2. A constant voltage Vc is applied between the terminal A on the one end side (power supply side) and the terminal D on the other end side (ground side) in the bridge circuit 1.
[0008]
The amplifying / adjusting unit 2 includes a first amplifying / adjusting circuit 20 and a second amplifying / adjusting circuit 21. The first amplifying / adjusting circuit 20 outputs a voltage (normal output voltage) V1 obtained by amplifying the potential difference V _BC between the midpoints B and C in the bridge circuit. The second amplifying / adjusting circuit 21 outputs a voltage (reference voltage) V2 _obtained by amplifying the potential difference V _B2C2 between the intermediate terminal B2 of the resistors RB1 and RB2 and the intermediate terminal C2 of the resistors RD1 and RD2. This reference voltage V2 corresponds to an output obtained by amplifying a potential difference in a combination of intermediate terminals having the same potential in a state where no pressure is applied, as described in the above publication. Note that a relationship of | V _BC | = 2 × | V _B2C2 | is established between the potential difference V _BC of the two middle points B and C and the potential difference V _B2C2 of the two intermediate terminals B2 and C2.
[0009]
The determination circuit 3 includes first and

second comparators

30 and 31 constituting a window comparator and resistors 32 to 35 for generating a reference voltage. The normal output voltage V1 of the first amplification / adjustment circuit 20 is input to the inverting input terminal of the first comparator 30 and the non-inverting input terminal of the second comparator 31, and the non-inverting input terminal of the first comparator 30. The first and second reference voltages V _{in + A} and V _in-A are input to the inverting input terminals of the second comparator 31 and the second comparator 31, respectively. The first and second reference voltages V _{in + A} and V _in-A are generated by resistance division of the resistors 32 to 35 from the reference voltage. That is, the power supply voltage Vc is applied to the resistors 32 to 35 connected in series, and the output of the second amplification / adjustment circuit 21 is connected to the connection point of the resistor 33 and the resistor 34. The first reference voltage V _{in + A} is output from the connection point of the resistor 33, and the second reference voltage V _in-A is output from the connection point of the resistor 34 and the resistor 35.
[0010]
Here, when the resistance values of the

resistors

32, 33, 34, and 35 are R1, R2, R3, and R4, the first reference voltage V _{in + A} is expressed by Equation 1, and the second reference voltage V _in-A Is expressed by Equation 2.
[0011]
[Expression 1]

[0012]
[Expression 2]

[0013]
The normal output voltage V1 from the first amplification / adjustment circuit 20 is between the first reference voltage V _{in + A} and the second reference voltage V _in-A , that is, the first and second reference voltages V _{in + A.} , V _{in -A} is within a standard voltage range (for example, 0.5 to 4.5 V), the outputs of the first and second comparators 30 are both at high level, so the determination circuit 3 A high level normal detection signal is output. However, when the normal output voltage V1 is higher than the first reference voltage V _{in + A} , the output of the first comparator 30 becomes low level, and when the normal output voltage V1 is lower than the second reference voltage V _in-A. Since the output of the second comparator 31 is at a low level, the determination circuit 3 outputs a low-level abnormality detection signal in any case.
[0014]
The output circuit 4 outputs the normal output voltage V1 when the normal detection signal is output from the determination circuit 3 based on the normal output voltage V1 from the first amplification / adjustment circuit 20 and the signal from the determination circuit 3. . However, when an abnormality detection signal is output from the determination circuit 3, a signal indicating abnormality (a voltage signal outside the standard voltage range) is output.
[0015]
[Problems to be solved by the invention]
In the configuration described above, when adjusting the output characteristics of the sensor, for example, the normal output voltage V1 is, for example, 0.5 V when the potential difference V _BC between the two middle points B and C in the bridge circuit 1 is zero. The voltage (offset) at the operating point of the first amplifying / adjusting circuit 20 is adjusted, and when the V _BC = 10 mV, the normal amplifying voltage V1 of the first amplifying / adjusting circuit 20 is, for example, 1V. Adjust the amplification factor. The second amplification / adjustment circuit 21 also adjusts the offset and amplification factor by monitoring the voltage at the connection point between the resistor 33 and the resistor 34. Such adjustment of the output characteristics of the sensor is performed while monitoring the output of the output circuit 4.
[0016]
However, in the above-described adjustment, an abnormality detection signal may be output from the determination circuit 3 and a signal outside the standard voltage range may be output from the output circuit 4 during the adjustment. For this reason, it is necessary to repeatedly make fine adjustments of the first and second amplification / adjustment circuits 20 and 21 so that the output voltage of the output circuit 4 does not become a signal outside the standard voltage range. Problem arises.
[0017]
The present invention has been made in view of the above problems, and an object of the present invention is to shorten the adjustment time of output characteristics in the sensor as described above.
[0018]
[Means for Solving the Problems]
In order to achieve the above object, according to the first and second aspects of the present invention, the normal output voltage (V1) of the sensor is compared with a reference voltage generated by resistance division of a plurality of resistors (32 to 35), A determination circuit (3) for determining whether or not the output voltage (V1) is within a standard voltage range set by the reference voltage;
When the signal indicating that the normal output voltage (V1) is within the standard voltage range is output from the determination circuit (3), the normal output voltage (V1) is output, and the normal output voltage ( V1) outputs a signal indicating an abnormality when a signal indicating that it is out of the standard voltage range is output, and outputs the output of the output circuit (4) to a sensor provided with an output circuit (4). A method for monitoring and adjusting the output characteristics of a sensor,
At the time of adjustment, an adjustment resistor (36, 37) is connected in parallel to at least one resistor (32, 35) of the plurality of resistors (32 to 35) to expand the standard voltage range,
When the adjustment is completed, the adjustment resistors (36, 37) are invalidated.
[0019]
As a result, it is possible to prevent a signal outside the standard voltage range from being output from the output circuit (4) during the adjustment, and thus it is possible to shorten the time required for adjusting the output characteristics of the sensor.
[0020]
In addition, the code | symbol in the bracket | parenthesis of each said means shows the correspondence with the specific means as described in embodiment mentioned later.
[0021]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
A circuit configuration of a pressure sensor according to an embodiment of the present invention is shown in FIG. The same parts as those shown in FIG. 2 are denoted by the same reference numerals, and the description thereof is omitted. Only different parts will be described below.
[0022]
As shown in FIG. 1, the pressure sensor according to this embodiment has a configuration in which an adjustment resistor 36 is connected in parallel with the resistor 32, and an adjustment resistor 37 is connected in parallel with the resistor 35. By adopting such a configuration, the first reference voltage V _{in + B} is expressed by Equation 3, and the second reference voltage V _in-B is expressed by Equation 4.
[0023]
[Equation 3]

[0024]
[Expression 4]

[0025]
From Equations 1 to 4, since V _{in + B} > V _{in + A} and V _in-B <V _in-A , the standard voltage range of the determination circuit 3 (first reference voltage−second reference Voltage) can be made wider than that of the configuration shown in FIG.
[0026]
Therefore, when adjusting the output characteristics of the sensor, the abnormality detection signal is not output from the determination circuit 3, that is, the output voltage of the output circuit 4 can be prevented from becoming a signal outside the standard voltage range. The time required for adjustment can be shortened.
[0027]
Then, after the above adjustment is completed, the resistors 36 and 37 are invalidated. For example, the connection between the resistors 36 and 37 is opened by trimming.
(Other embodiments)
As a method of disabling the resistors 36 and 37, the resistance values of the resistors 36 and 37 are adjusted to a very large value compared to the

resistors

32 and 35, and the resistors 36 and 37 affect the failure detection operation of the determination circuit 3. You may make it not.
[0028]
The adjusting resistors 36 and 37 may be fixed resistors instead of variable resistors.
[0029]
The reference voltage need not be a voltage _obtained by amplifying the potential difference V _B2C2 between the intermediate terminals B2 and C2, but may be a voltage obtained by amplifying the potential difference between the other intermediate terminals. Since the reference voltage is used for monitoring the normal output voltage, it may be any voltage that changes in the same manner as the change in the normal output voltage V1.
[0030]
In the above embodiment, the

resistors

32 and 35 are connected in parallel with the adjusting resistors 36 and 37. However, if the standard voltage range can be expanded to a desired range, any one of them is connected in parallel. It is good only as well.
[0031]
In the above-described embodiment, the reference voltage is generated from the reference voltage by resistance division of the resistors 32-35. However, the reference voltage is generated by resistance division by the resistors 32-35 without using the reference voltage. It may be.
[0032]
In addition, the present invention can be applied not only to a pressure sensor but also to a physical quantity sensor that detects a physical quantity other than pressure, such as an acceleration sensor, as long as it has a bridge circuit.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a diagram showing a circuit configuration of a pressure sensor according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a diagram illustrating a circuit configuration of a pressure sensor that realizes failure detection using a determination circuit.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Bridge circuit, 2 ... Amplification / adjustment part, 3 ... Determination circuit,
4... Output circuit, 20, 21... First and second amplification / regulation circuits,
30, 31 ... first and second comparators, 32-35 ... resistors,
36, 37... Adjustment resistors.

Claims

The normal output voltage (V1) of the sensor is compared with a reference voltage generated by resistance division of a plurality of resistors (32 to 35), and the normal output voltage (V1) is within a standard voltage range set by the reference voltage. A determination circuit (3) for determining whether or not
When the signal indicating that the normal output voltage (V1) is within the standard voltage range is output from the determination circuit (3), the normal output voltage (V1) is output, and the determination circuit (3) An output circuit (4) for outputting a signal indicating an abnormality when a signal indicating that the normal output voltage (V1) is out of the standard voltage range is output, A method of adjusting the output characteristics of the sensor by monitoring the output of the output circuit (4),
At the time of the adjustment, an adjustment resistor (36, 37) is connected in parallel to at least one resistor (32, 35) of the plurality of resistors (32 to 35) to expand the standard voltage range,
A sensor output characteristic adjustment method, wherein the adjustment resistors (36, 37) are invalidated when the adjustment is completed.

2. The reference voltage according to claim 1, wherein the reference voltage is generated by resistance division of the plurality of resistors (32 to 35) from a reference voltage that changes in the same manner as the change of the normal output voltage (V1). The output characteristic adjustment method of the described sensor.