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JP3929836B2 - Magnetic recording medium and magnetic recording apparatus - Google Patents
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Magnetic recording medium and magnetic recording apparatus Download PDF

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JP3929836B2 JP2002180041A JP2002180041A JP3929836B2 JP 3929836 B2 JP3929836 B2 JP 3929836B2 JP 2002180041 A JP2002180041 A JP 2002180041A JP 2002180041 A JP2002180041 A JP 2002180041A JP 3929836 B2 JP3929836 B2 JP 3929836B2
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Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、記録密度を向上できる磁気記録媒体およびそれを用いた磁気記録装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
現在、広く用いられている情報記録技術の一つに磁気記録がある。この方式で用いる磁気記録媒体は、基板、磁性層、保護層、潤滑層、その他の機能(例えば層間界面の改質など)を担当する層を有している。
【0003】
その中の保護層には、記録および再生に用いるために媒体直上近傍を飛行しているヘッドとの衝突による摩耗や剥離の防止、雰囲気中の酸素による各層の酸化防止といった機能が求められている。
【0004】
しかしながら、記録密度の向上を目指すには、前記ヘッドと、記録を担当する磁性層間の距離縮小が必要不可欠であり、保護層も十分な性能を保ちながら更に薄くすることが求められている。
【0005】
従来、上記の課題を解決する磁気記録媒体の保護層として、例えば特開2000−207723号公報(公開日:2000年7月28日)には、図12に示すように、窒化炭素層を用いたものが開示されている。この公報に記載の磁気記録媒体は、ガラス基板901の上に磁性層902を堆積させ、その上に窒化炭素からなる保護層903を堆積させた構造を備えている。
【0006】
上記公報には、窒化炭素からなる保護層903は、薄くても硬く、さらに、同じく保護層の材料として用いられている非晶質炭素やDLC(Diamond Like Carbon)といった炭素層よりも潤滑性や機械的耐久性において優れているという結果が示されている。上記結果は、CSS(Contact Start and Stop)試験に基づいている。
【0007】
それに加えて、上記公報においては、窒化炭素からなる保護層903の表面酸素量が炭素層に比べて少なく、内部への酸化の進行も少ないとして、一般的に酸化し易いTbFeCoなどの希土類−遷移金属の酸化を防止する効果も示されている。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、こうした磁気記録媒体に磁気信号を記録する際には磁化容易軸方向に沿って磁界を印加することが必要となるが、図12に示すように、基板901の上に磁性層902の上に配し、その上に作製した保護層903に窒化炭素を用いる従来の構造を備えた記録媒体900では、記録層である磁性層902の単位体積当たりの飽和磁化に対する単位体積当たりの残留磁化の割合を示す角型比が減少してしまう。
【0009】
飽和磁化とは、図13に示すように、磁性体に磁界を印加して一旦飽和させた時の磁化Aであり、残留磁化とは、一旦飽和させてから再び磁界を0に戻した時の磁化Bである。従って、角型比はB/Aで表される。
【0010】
こうした記録媒体を用いて磁気信号を再生する際には、残留磁化量がそのまま出力値を決める要因となるため、単位体積当たりの残留磁化の値が小さいと再生出力も小さくなる。
【0011】
そうすると、記録媒体上の記録単位(ビット)を小さくして記録密度を高めていったときに、単位体積当たりの残留磁化が小さい記録媒体では大きい記録媒体に比べて記録単位当たりの磁化が小さくなるので、より早く磁化の検出下限に達してしまい、記録密度を高める上で不利となる。
【0012】
例えば、2つの記録媒体1と記録媒体2とがあって、記録層としての磁性層に関して単位体積当たりの飽和磁化は両者とも同じ100emu/ccだが、角型比は記録媒体1が1.0で、記録媒体2が0.5だとすると、単位体積当たりの残留磁化は、記録媒体1が100emu/ccで、記録媒体2が50emu/ccとなる。上記のccは、10−6を示し、上記のemuは、電磁単位(electromagnetic unit)を示している。
【0013】
ここで、両者を用いて磁気記録再生を行おうとした場合、或る同じ条件の下で再生時の磁化検出下限が1.0×10−14emuだとすれば、記録媒体1では記録単位を1.0×10−1 6ccまで小さくしても検出できるが、記録媒体2では記録単位が2.0×10−1 6ccより小さくすると検出できなくなってしまう。
【0014】
両者の磁性層の厚さが同じであれば、記録媒体2の記録単位は、記録媒体1の2倍の面積を必要とするので、面積密度は記録媒体1の5割しか達成できなくなり、残留磁化量が少ないことは記録密度を高める上で障害となる。
【0015】
本発明の目的は、角型比の高く維持できて、記録密度を高めることが可能な、保護層を備えた磁気記録媒体およびそれを用いた磁気記録装置を提供することである。
【0016】
【課題を解決するための手段】
本発明の磁気録媒体は、上記課題を解決するために、基板上に、非晶質の磁性層が設けられ、磁性層上に、非自発磁化性の中間層が設けられ、中間層上に、上記中間層と相違する組成を備え、かつ、窒素および炭素の少なくとも一方を含む保護層が設けられていることを特徴としている。
【0017】
上記構成によれば、媒体の摺動からの保護および光照射等による熱からの保護を目的とする最上層である、窒素および炭素の少なくとも一方を含む窒化炭素等の、中間層と相違する組成を備える保護層とその下の磁性層との間に設けた、非自発磁化性の中間層により、保護層の素材が、媒体温度の上昇に伴って磁性層へ拡散するのを防ぐ効果を発揮でき、結果として磁性層の特性変化とそれに伴う角型比の低下を抑制することが可能となる。
【0018】
したがって、上記構成では、中間層により角型比を上げることができ、同じ単位体積当たりの飽和磁化でも単位体積当たりの残留磁化が増加するために検出できる磁化が増え、磁化の検出下限が同じであれば、より記録単位を小さくできることになる。これは即ち記録密度を更に高められることを意味する。
【0019】
このときに中間層として、非自発磁化性を有する物質を用いるのは、磁性層の磁気的な特性が影響を受けることを防ぐのを目的としている。それらの物質は、自発磁化を有さない、非自発磁化性であれば電気伝導率には関係なく、AlやAgに代表される金属であってもよいし、Siに代表される半導体であってもよいし、Alに代表される絶縁体であってもよいが、製造の容易さから、上記中間層が、非自発磁化性の金属、特にAlやAl合金から成ることが好ましい。また、安価であり、融点が高く熱に対して安定した物質であるSiも好ましい。
【0020】
上記磁気記録媒体においては、上記保護層が窒化炭素から成ることが、その潤滑性や耐久性に優れていることにより望ましい。
【0021】
上記磁気記録媒体では、上記非晶質の磁性層が、TbFeCo合金から成っていてもよい。これにより、高い記録密度を実現できる。
【0022】
上記磁気記録媒体においては、上記非晶質の磁性層が、垂直磁気異方性を有することが好ましい。これにより、高い記録密度を実現できる。
【0023】
上記構成によれば、基板と磁性層との間に自発磁化を有さない物質から成る下地層を加えることにより、下地層を持たない媒体に比べ、同じ温度における保磁力が増加し、より安定した記録を実現できる。
【0024】
また、下地層に中間層と同じAlを用いることにより、保磁力を増加させつつ最も高い角型比上昇効果が得られる。角型比が高いと言うことは即ち、同じ単位体積当たりの飽和磁化でも単位体積当たりの残留磁化が増加するために検出できる磁化が増え、磁化の検出下限が同じであれば、より記録単位を小さくできることになる。これは即ち記録密度を更に高められることを意味する。更に、下地層と中間層を同じ物質にすることで、製造方法や製造設備の統一化が図れ、量産化した場合の生産効率を上げられる。
【0025】
また、中間層の厚さを1nm以上10nm以下とすることにより、少なくともこの範囲で角型比上昇効果が実現できる。中間層の厚さは、その効果を発揮するために最低でも1nmは必要であり、厚くするほど効果は高くなるが、厚くしすぎてしまうと記録機能を担う磁性層と媒体表面近傍を走行する信号再生装置(通常は磁気ヘッドと呼ばれる)の間隔も拡がってしまい、検知される磁化が低下するので信号強度も低下してしまう。
【0026】
このことや、保護層の厚さ、信号再生装置の媒体表面からの浮上量からして中間層の厚さは10nm以下とするのが望ましい。
【0027】
本発明の磁気記録装置は、前記の課題を解決するために、上記の何れかに記載の磁気記録媒体に対して、光を照射する光照射手段と、上記磁気記録媒体に対して、磁界を印加する磁界印加手段と、光照射部分に磁界を印加して情報を記録するように、上記磁気記録媒体、光照射手段および磁界照射手段を制御する制御手段とを備えていることを特徴としている。
【0028】
上記構成によれば、光照射で媒体温度を制御することで、熱によって磁性層の温度を制御して、高温にして記録を容易にした状態で記録してから温度を下げて記録を困難にした状態を作ることでより安定した記録が実現できる。
【0029】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の参考形態と実施の形態に係る磁気記録媒体について、図1ないし図11に基づいて説明する。
【0030】
参考形態)
図1に示すように、参考形態の記録媒体100では、基板101上に、非晶質の磁性層102が設けられ、磁性層102上に、非自発磁化性の中間層103が設けられ、中間層103上に、中間層103と相違する組成を備え、かつ、窒素および炭素の少なくとも一方を含む保護層104が設けられている。
【0031】
上記基板101の素材については、特に制限は無いが、現在この種の記録媒体に多く用いられているAl、ガラス、多結晶ガラスなどから用途に応じて選べばよい。
【0032】
上記の非晶質な磁性層102としては、垂直磁気異方性を有する、例えばTbFeCoをDCマグネトロンスパッタリングによりArガス圧力が0.4Pa、投入電力が300Wの条件下で厚さ50nmにて作製されたものが挙げられる。本参考形態ではスパッタリングに際してTbFeCo合金ターゲットを用い、その組成比は原子パーセンテージにしてTb:Fe:Co=23.3:59.4:17.3に設定されている。なお、他の磁性層102としては、GdFeCo、DyFeCo、HoTbFeCoなど、希土類元素+FeCoも用いることができる。
【0033】
更に、磁性層102の上に、非自発磁化性(自発磁化を有さない)を有し、後述する保護層104と組成が相違する中間層103として、アルミニウム(Al)層が、磁性層102と同じ方法によりArガス圧力が0.5Pa、投入電力が300Wの条件下で厚さ10nmにて作製されている。非自発磁化性を有する(自発磁化を有さない)とは、磁場を除くと、それに応じて、その物質のいかなる部分においても磁化が消失する性質である。
【0034】
そして、最後に窒化炭素(CN)からなる保護層104を作製するが、本参考形態では、DCマグネトロンスパッタリングでArガスと窒素ガスの混合ガス、並びに炭素ターゲットを用いた反応性スパッタリングで窒化炭素からなる保護層104を作製している。ここで、ArガスとNガスの合計圧力を0.2Pa、流量比をAr:N=1:9とし、投入電力が300Wの条件下で厚さ10nmを作製して完成となる。
【0035】
以上の方法により作製した記録媒体100と、中間層103を設けた効果を示す、比較のための記録媒体とにおいて、媒体温度を上昇させた状態で、振動試料型磁力計(以下、VSMと記す)を用いて膜面と垂直方向へ磁界を印加した時の磁化の磁界依存性を比較し、主に角型比の変動についてそれぞれ評価した。
【0036】
媒体温度を上昇させるのは、本発明による記録媒体の第一の応用例として光アシスト磁気記録を念頭に置いているからである。光アシスト磁気記録は「特開平4-176034号公報」で開示されているような、フェリ磁性体の補償温度における特性を利用して高密度化を図る記録方式で、光照射により媒体温度を上昇させて記録および再生を行っている。従って、本発明に対する評価も、媒体温度を上昇させた状態で行われる必要がある。
【0037】
参考形態では、光アシスト磁気記録方式において再生時に最もよく使われる温度である75℃付近と、同じく記録時に最もよく使われる温度である200℃付近を、温度評価における基準としてみなし、測定時にそれぞれ75℃と200℃に上昇させてから評価するものと定めた。
【0038】
図2に、記録媒体100において、VSMを用いて媒体温度を75℃に上げた状態で膜面と垂直方向へ磁界を印加した時の磁化の磁界依存性を示す。
【0039】
ここで、第一比較例として、図3に断面図として示されているような、基板101と同一の基板201上に、磁性層102と同一の磁性層202を作製し、その上に、厚さ20nmの窒化炭素からなる保護層203を配した記録媒体200を作製し、上記記録媒体100と同じ方法を用いて媒体温度を75℃に上げた状態で測定した磁化の磁界依存性を比較した。その結果を図4に示した。
【0040】
その結果、記録媒体200の前記磁化の磁界依存性を示す図4と比べると、飽和磁化Aに対する残留磁化Bの割合を表す角型比B/Aは、図4では0.71であったのが、図2に示す本参考形態では0.95へと改善された。
【0041】
さらに、第二比較例として、図5に示すように、基板101と同一の基板301上に、磁性層102と同一の磁性層302を作製し、その上に厚さ20nmの非晶質炭素からなる保護層303を配した記録媒体300を作製した。非晶質炭素からなる保護層303はDCマグネトロンスパッタリングによりArガス圧力が1.0Pa、投入電力が300Wの条件下で作製されている。
【0042】
上記記録媒体100と同じ方法を用いて媒体温度を75℃に上げた状態で測定した磁化の磁界依存性を図6に示す。この図6では角型比が1.00であり、図とほぼ同等の角型比だった。
【0043】
しかし、媒体温度をより高い200℃にすると、図2および図6の角型比が低下することがわかった。つまり、図1に示す記録媒体100において、VSMを用いて媒体温度を200℃に上げた状態で膜面と垂直方向へ磁界を印加した時の磁化の磁界依存性を調べた。その結果を図7に示した。上記結果から、本参考形態においては、媒体温度をより高い200℃に設定しても、角型比B/Aは0.89と高い値を保っている。
【0044】
しかしながら、図4に示す記録媒体200において、同様にVSMを用いて媒体温度を200℃に上げた状態で膜面と垂直方向へ磁界を印加した時の磁化の磁界依存性を示す図8と、図5に示す記録媒体300において、同様にVSMを用いて媒体温度を200℃に上げた状態で膜面と垂直方向へ磁界を印加した時の磁化の磁界依存性を示す図9では、角型比B/Aが図8では0.55、図9では0.51と、共に大きく下がっている。
【0045】
こうした結果から、本参考形態では、基板101上に非晶質の磁性物質から成る磁性層(特に垂直磁気異方性を有するTbFeCo合金から成るもの)102を配し、その上に自発磁化を有さない(非自発磁化性の)物質から成る中間層103、更にその上に窒素系或いは炭素系物質から成る保護層104を配した構造を持つことを特徴とする磁気記録媒体を用いることにより、磁性層102の磁化の磁界依存性において飽和磁化に対する残留磁化の割合を表す角型比の減少を抑制でき、検出される残留磁化を大きくできる。
【0046】
これは取りも直さず、記録密度を高める上で有利に働く点と言える。更に、こうして高い角型比を維持したまま、窒化炭素からなる保護層104が本来持つ効果、即ち、潤滑性や耐久性において優れた効果と、高熱下においてもTbFeCoから成る磁性層102の酸化を防止できる高い効果とを併せて持つ磁気記録媒体が実現できたことを示している。
【0047】
また、本参考形態においては、中間層103に自発磁化を有さない金属を用い、更に保護層104に窒化炭素を用いることにより、更に高い角型比上昇の効果が得られる。また、磁性層102と同じ堆積方法(スパッタリング)を用いることができるので中間層103および保護層104の連続製膜が可能となり、層間界面に不純物が少ない高品質の膜が得られる。
【0048】
更に、金属は一般的に堆積速度が非金属よりも速く、窒化炭素の堆積速度も非晶質炭素より速いため、中間層に非金属を用い保護層に非晶質炭素を用いる場合よりも製膜に要する工程時間を短縮でき、量産化した場合の生産効率を上げられる。中間層103に関する具体的な材料としてはAl、Agなどが好ましい。
【0049】
これらは熱伝導率も高く、光アシスト磁気記録方式における記録または再生時に、温度上昇を終えた後に速やかに放熱し、室温に戻る時間が他の金属に比べて短いので、熱による磁性層102への影響もより抑えることができ、本発明に適した材料である。
【0050】
また、上記金属の中でも特にAl或いはAlを含む合金から成るものは、角型比を上昇させる効果が最も高く、参考形態で説明したような効果を発揮した。
【0051】
また、非晶質の磁性層102の素材に温度によって記録の容易さが変わるTbFeCo合金を用いることにより、熱によってTbFeCo合金の温度を制御して、高温にして記録を容易にした状態で記録してから温度を下げて記録を困難にした状態を作ることでより安定した記録が実現できる。
【0052】
また、非晶質の磁性層102に用いた物質が垂直磁気異方性を有することにより、原理的に面内磁気記録方式よりも記録密度限界が高い垂直磁気記録方式を実現できる。
【0053】
(実施の形態)
図10に示すように、本発明の実施の形態に係る磁気記録媒体としての記録媒体700では、基板101と同一の基板701上に、中間層103と同じくAlから成る下地層702を配し、その上に、参考形態と同様な、磁性層703、中間層704、および窒化炭素からなる保護層705が順次形成されている。上記下地層702および中間層704の組成は、保護層705と相違している。
【0054】
下地層702は、中間層704より薄い、例えば厚さ3.7nmのAlから成り、製法は中間層103と同じである。また、磁性層703を作製する時のArガス圧力は0.8Paで、中間層704と保護層705の厚さをそれぞれ5nmに、参考形態より薄くしている。
【0055】
この記録媒体700において、VSMを用いて媒体温度を200℃に上げた状態で膜面と垂直方向へ磁界を印加した時の、縦軸と横軸共に規格化した磁化特性の結果を図11に示す。同じ温度における記録媒体100の磁化特性を示す図7と比べると、角型比B/Aは0.99と更に改善された。
【0056】
この結果は、中間層704に加えて下地層702を用いた媒体を製作した本実施の形態が、参考形態よりも中間層704と窒化炭素からなる保護層705の厚さをそれぞれ半分にしたにもかかわらず、高熱下においてもTbFeCoから成る磁性層703の酸化を防止するのに高い効果を持つ媒体が実現できたことを示している。
【0057】
以上の各形態における角型比をまとめて表1に示す。記録媒体100と記録媒体700が媒体温度を200℃に上げた状態でも高い角型比を保っていることがわかる。ここで、記録媒体700は下地層702を設けたことにより媒体温度を75℃における保磁力が増大し、磁化を飽和させることができなかったので75℃の箇所は空欄としている。
【0058】
【表1】

Figure 0003929836
【0059】
以上の結果から、基板701上に非晶質の磁性物質から成る磁性層(特に垂直磁気異方性を有するTbFeCo合金から成るもの)703を配し、その上に自発磁化を有さない金属から成る中間層(特にAl或いはAlを含む合金から成るもの)704、更にその上に窒素系或いは炭素系物質から成る保護層705を配した構造に、上記基板701と磁性層703との間に自発磁化を有さない物質から成る下地層702を加えることで、より保護層705が薄い条件でも磁性層703の磁化の磁界依存性において飽和磁化に対する残留磁化の割合を表す角型比の減少を抑制でき、検出される残留磁化を大きくできて、高密度記録が可能となることが分かる。
【0060】
また、上記下地層702は中間層704と同じ物質を用いることで製造方法や製造設備の統一化が図れ、量産化した場合の生産効率を上げられる。また、発明者らが実験を行った範囲では、中間層704の厚さが1nm以上10nm以下、下地層702の厚さが2nm以上10nm以下、磁性層703の厚さが10nm以上100nm以下であれば同様の効果を確認できた。
【0061】
さらに、以上に示した実施の形態に基づく記録媒体を用いて、上記記録媒体に光を照射する手段と、上記記録媒体に磁界を印加する手段を備え、光照射部分に磁界を印加して情報を記録することを特徴とする磁気記録装置を実現することもできる。
【0062】
この装置では、記録媒体に対する光照射出力を制御することで、上記光照射により生じる熱によって磁性層の温度を制御して、高温にして記録を容易にした状態で記録してから温度を下げて記録を困難にした状態を作ることでより安定した記録が実現できる。
【0063】
【発明の効果】
本発明の磁気記録媒体は、以上のように、基板上にAlから成る下地層を配し、その上にTbFeCo合金から成る非晶質の磁性層を配し、その上にAlから成る非自発磁化性を有する中間層、更にその上に、窒化炭素から成る保護層を配した構成である。
【0064】
それゆえ、上記構成では、上記Alから成る下地層と中間層を設けたことにより、窒化炭素系の保護層により媒体の摺動からの保護および光照射等による熱からの保護を実現し、下地層と中間層により角型比を改善できるから、高密度記録を実現できるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の参考形態に係る磁気記録媒体の断面図である。
【図2】 上記磁気記録媒体における、VSMを用いて膜面と垂直方向へ磁界を印加した時の磁化の磁界依存性を示すグラフである。
【図3】 比較のための磁気記録媒体の断面図である。
【図4】 上記比較のための磁気記録媒体における、VSMを用いて媒体温度を75℃にして、膜面と垂直方向へ磁界を印加した時の磁化の磁界依存性を示すグラフである。
【図5】 比較のための他の磁気記録媒体の断面図である。
【図6】 上記比較のための他の磁気記録媒体における、VSMを用いて媒体温度を75℃にして、膜面と垂直方向へ磁界を印加した時の磁化の磁界依存性を示すグラフである。
【図7】 上記参考形態に係る磁気記録媒体における、VSMを用いて媒体温度を200℃にして、膜面と垂直方向へ磁界を印加した時の磁化の磁界依存性を示すグラフである。
【図8】 上記比較のための磁気記録媒体における、VSMを用いて媒体温度を200℃にして、膜面と垂直方向へ磁界を印加した時の磁化の磁界依存性を示すグラフである。
【図9】 上記比較のための他の磁気記録媒体における、VSMを用いて媒体温度を200℃にして、膜面と垂直方向へ磁界を印加した時の磁化の磁界依存性を示すグラフである。
【図10】 本発明の実施の形態に係る磁気記録媒体(下地層を設けた)の断面図である。
【図11】 上記磁気記録媒体における、VSMを用いて媒体温度を200℃にして膜面と垂直方向へ磁界を印加した時の磁化の磁界依存性を示すグラフである。
【図12】 従来の磁気記録媒体の断面図である。
【図13】 一般的な磁性体における磁化の磁界依存性を示すグラフである。
【符号の説明】
100、700…記録媒体、101、701…基板、102、703…磁性層、103、704…中間層、104、705…保護層、702…下地層[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a magnetic recording medium capable of improving recording density and a magnetic recording apparatus using the same.
[0002]
[Prior art]
One of information recording techniques widely used at present is magnetic recording. A magnetic recording medium used in this system has a substrate, a magnetic layer, a protective layer, a lubricating layer, and a layer in charge of other functions (for example, modification of an interlayer interface).
[0003]
The protective layer is required to have functions such as wear and separation prevention by collision with a head flying in the vicinity of the medium for use in recording and reproduction, and prevention of oxidation of each layer by oxygen in the atmosphere. .
[0004]
However, in order to improve the recording density, it is indispensable to reduce the distance between the head and the magnetic layer in charge of recording, and the protective layer is also required to be thinner while maintaining sufficient performance.
[0005]
Conventionally, as a protective layer of a magnetic recording medium that solves the above problems, for example, in Japanese Patent Laid-Open No. 2000-207723 (publication date: July 28, 2000), a carbon nitride layer is used as shown in FIG. What has been disclosed. The magnetic recording medium described in this publication has a structure in which a magnetic layer 902 is deposited on a glass substrate 901 and a protective layer 903 made of carbon nitride is deposited thereon.
[0006]
According to the above publication, the protective layer 903 made of carbon nitride is thin and hard, and is more lubricious than a carbon layer such as amorphous carbon or DLC (Diamond Like Carbon), which is also used as a material for the protective layer. The result is excellent in mechanical durability. The above results are based on a CSS (Contact Start and Stop) test.
[0007]
In addition, in the above publication, since the surface oxygen amount of the protective layer 903 made of carbon nitride is smaller than that of the carbon layer and the progress of oxidation to the inside is small, a rare earth-transition such as TbFeCo that is generally easy to oxidize. The effect of preventing metal oxidation is also shown.
[0008]
[Problems to be solved by the invention]
However, when recording a magnetic signal on such a magnetic recording medium, it is necessary to apply a magnetic field along the direction of the easy axis of magnetization, but as shown in FIG. In the recording medium 900 having a conventional structure in which carbon nitride is used for the protective layer 903 formed thereon, the residual magnetization per unit volume with respect to the saturation magnetization per unit volume of the magnetic layer 902 that is the recording layer The squareness ratio indicating the ratio is reduced.
[0009]
As shown in FIG. 13, the saturation magnetization is magnetization A when a magnetic field is applied to a magnetic material and once saturated, and the residual magnetization is obtained when the magnetic field is returned to 0 again after being saturated once. Magnetization B. Therefore, the squareness ratio is represented by B / A.
[0010]
When reproducing a magnetic signal using such a recording medium, the residual magnetization amount directly determines the output value. Therefore, if the value of the residual magnetization per unit volume is small, the reproduction output is also small.
[0011]
Then, when the recording unit (bit) on the recording medium is reduced to increase the recording density, the recording medium with a small residual magnetization per unit volume has a smaller magnetization per recording unit than a large recording medium. Therefore, the lower limit of magnetization detection is reached earlier, which is disadvantageous in increasing the recording density.
[0012]
For example, there are two recording media 1 and 2, and the saturation magnetization per unit volume is 100 emu / cc both for the magnetic layer as the recording layer, but the squareness ratio of the recording medium 1 is 1.0. Assuming that the recording medium 2 is 0.5, the residual magnetization per unit volume is 100 emu / cc for the recording medium 1 and 50 emu / cc for the recording medium 2. The above cc represents 10 −6 m 3 , and the above emu represents an electromagnetic unit.
[0013]
Here, when magnetic recording / reproduction is to be performed using both, if the lower limit of magnetization detection at the time of reproduction is 1.0 × 10 −14 emu under a certain same condition, the recording medium 1 has a recording unit. can be detected even if reduced to 1.0 × 10 -1 6 cc, it becomes impossible to detect the in the recording unit recording medium 2 is smaller than 2.0 × 10 -1 6 cc.
[0014]
If the thicknesses of both magnetic layers are the same, the recording unit of the recording medium 2 requires an area twice that of the recording medium 1, so that the area density can be achieved only 50% of that of the recording medium 1, and the residual A small amount of magnetization is an obstacle to increasing the recording density.
[0015]
An object of the present invention is to provide a magnetic recording medium provided with a protective layer and a magnetic recording apparatus using the same, which can maintain a high squareness ratio and increase the recording density.
[0016]
[Means for Solving the Problems]
In order to solve the above problems, the magnetic recording medium of the present invention is provided with an amorphous magnetic layer on a substrate, a non-spontaneous magnetization intermediate layer is provided on the magnetic layer, and the intermediate layer is provided on the intermediate layer. A protective layer having a composition different from that of the intermediate layer and containing at least one of nitrogen and carbon is provided.
[0017]
According to the above configuration, the composition is different from the intermediate layer, such as carbon nitride containing at least one of nitrogen and carbon, which is the uppermost layer for the purpose of protection from sliding of the medium and protection from heat by light irradiation or the like. By the non-spontaneous magnetizable intermediate layer provided between the protective layer with a magnetic layer and the underlying magnetic layer, the protective layer material is prevented from diffusing into the magnetic layer as the medium temperature rises. As a result, it is possible to suppress the change in the characteristics of the magnetic layer and the accompanying decrease in the squareness ratio.
[0018]
Therefore, in the above configuration, the squareness ratio can be increased by the intermediate layer, and even with the saturation magnetization per unit volume, the residual magnetization per unit volume increases, so that the detectable magnetization increases, and the detection limit of magnetization is the same. If so, the recording unit can be made smaller. This means that the recording density can be further increased.
[0019]
At this time, the use of a substance having non-spontaneous magnetization as the intermediate layer is intended to prevent the magnetic characteristics of the magnetic layer from being affected. These materials may be a metal represented by Al or Ag regardless of electrical conductivity as long as it does not have spontaneous magnetization and is non-spontaneous magnetizable, or a semiconductor represented by Si. Alternatively, an insulator typified by Al 2 O 3 may be used, but the intermediate layer is preferably made of a non-spontaneously magnetizable metal, particularly Al or an Al alloy, for ease of manufacture. . Further, Si, which is inexpensive and has a high melting point and is stable against heat, is also preferable.
[0020]
In the magnetic recording medium, it is desirable that the protective layer is made of carbon nitride because of its excellent lubricity and durability.
[0021]
In the magnetic recording medium, the amorphous magnetic layer may be made of a TbFeCo alloy. Thereby, a high recording density can be realized.
[0022]
In the magnetic recording medium, the amorphous magnetic layer preferably has perpendicular magnetic anisotropy. Thereby, a high recording density can be realized.
[0023]
According to the above configuration, the coercive force at the same temperature is increased and more stable by adding an underlayer made of a material that does not have spontaneous magnetization between the substrate and the magnetic layer, compared to a medium without the underlayer. Recording can be realized.
[0024]
Further, by using the same Al as the intermediate layer for the underlayer, the highest squareness ratio increasing effect can be obtained while increasing the coercive force. A high squareness ratio means that even with the same saturation magnetization per unit volume, the residual magnetization per unit volume increases, so that the amount of magnetization that can be detected increases. You can make it smaller. This means that the recording density can be further increased. Furthermore, by using the same material for the base layer and the intermediate layer, the manufacturing method and manufacturing equipment can be unified, and the production efficiency in mass production can be increased.
[0025]
Further, when the thickness of the intermediate layer is 1 nm or more and 10 nm or less, the squareness ratio increasing effect can be realized at least in this range. The thickness of the intermediate layer is required to be at least 1 nm in order to exert the effect, and the effect increases as the thickness increases. However, if the thickness is too large, the intermediate layer runs near the surface of the magnetic layer that bears the recording function. The interval between the signal reproducing devices (usually called magnetic heads) also increases, and the detected magnetization decreases, so that the signal intensity also decreases.
[0026]
In view of this, the thickness of the protective layer, and the flying height from the medium surface of the signal reproducing device, the thickness of the intermediate layer is preferably 10 nm or less.
[0027]
In order to solve the above problems, the magnetic recording apparatus of the present invention provides a light irradiation means for irradiating light to any of the magnetic recording media described above, and a magnetic field to the magnetic recording medium. It is characterized by comprising a magnetic field applying means for applying, and a control means for controlling the magnetic recording medium, the light irradiating means and the magnetic field irradiating means so as to record information by applying a magnetic field to the light irradiated portion. .
[0028]
According to the above configuration, by controlling the temperature of the medium by light irradiation, the temperature of the magnetic layer is controlled by heat, and recording is performed in a state where recording is facilitated by increasing the temperature, and then recording is difficult by lowering the temperature. A more stable recording can be realized by creating the state.
[0029]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, a magnetic recording medium according to a reference embodiment and an embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS.
[0030]
( Reference form)
As shown in FIG. 1, in the recording medium 100 of the reference embodiment , an amorphous magnetic layer 102 is provided on a substrate 101, and a non-spontaneous magnetization intermediate layer 103 is provided on the magnetic layer 102. A protective layer 104 having a composition different from that of the intermediate layer 103 and containing at least one of nitrogen and carbon is provided over the layer 103.
[0031]
Although there is no restriction | limiting in particular about the raw material of the said board | substrate 101, What is necessary is just to select according to a use from Al, glass, polycrystalline glass, etc. which are often used for this kind of recording medium now.
[0032]
The amorphous magnetic layer 102 has perpendicular magnetic anisotropy, for example, TbFeCo is produced by DC magnetron sputtering at a thickness of 50 nm under conditions of Ar gas pressure of 0.4 Pa and input power of 300 W. Can be mentioned. Using TbFeCo alloy target during sputtering in this preferred embodiment, the composition ratio Tb in the atomic percentages: Fe: Co = 23.3: 59.4 : is set to 17.3. As the other magnetic layer 102, a rare earth element + FeCo such as GdFeCo, DyFeCo, or HoTbFeCo can also be used.
[0033]
Furthermore, an aluminum (Al) layer is formed on the magnetic layer 102 as an intermediate layer 103 having non-spontaneous magnetization (not having spontaneous magnetization) and having a composition different from that of a protective layer 104 described later. And 10 nm in thickness under the conditions of Ar gas pressure of 0.5 Pa and input power of 300 W. Having non-spontaneous magnetization (not having spontaneous magnetization) is a property in which magnetization disappears in any part of the substance in accordance with the removal of the magnetic field.
[0034]
Finally, a protective layer 104 made of carbon nitride (CN) is produced. In this reference embodiment, a mixed gas of Ar gas and nitrogen gas is formed by DC magnetron sputtering, and reactive sputtering using a carbon target is made from carbon nitride. A protective layer 104 is produced. Here, the total pressure of Ar gas and N 2 gas is 0.2 Pa, the flow rate ratio is Ar: N 2 = 1: 9, and a thickness of 10 nm is produced under conditions where the input power is 300 W, and the process is completed.
[0035]
In the recording medium 100 manufactured by the above method and a recording medium for comparison showing the effect of providing the intermediate layer 103, the vibrating sample magnetometer (hereinafter referred to as VSM) is shown with the medium temperature raised. ) Was used to compare the magnetic field dependence of magnetization when a magnetic field was applied in the direction perpendicular to the film surface, and the change in squareness ratio was mainly evaluated.
[0036]
The reason for increasing the medium temperature is that optically assisted magnetic recording is taken into consideration as a first application example of the recording medium according to the present invention. Optically assisted magnetic recording is a recording method that uses the characteristics of the ferrimagnetic material at the compensation temperature, as disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. Hei 4-176034, and increases the medium temperature by light irradiation. Recording and playback. Therefore, the evaluation of the present invention also needs to be performed with the medium temperature raised.
[0037]
In this reference embodiment, the temperature most frequently used at the time of reproduction in the optically assisted magnetic recording method, around 75 ° C., and the temperature most frequently used at the time of recording are also considered as the reference in the temperature evaluation, and each is measured at the time of measurement. It was determined to be evaluated after raising the temperature to 75 ° C and 200 ° C.
[0038]
FIG. 2 shows the magnetic field dependence of magnetization when a magnetic field is applied in the direction perpendicular to the film surface in the recording medium 100 with the medium temperature raised to 75 ° C. using VSM.
[0039]
Here, as a first comparative example, a magnetic layer 202 that is the same as the magnetic layer 102 is formed on a substrate 201 that is the same as the substrate 101 as shown in a cross-sectional view in FIG. A recording medium 200 provided with a protective layer 203 made of carbon nitride having a thickness of 20 nm was manufactured, and the magnetic field dependence of magnetization measured with the medium temperature raised to 75 ° C. using the same method as the recording medium 100 was compared. . The results are shown in FIG.
[0040]
As a result, compared with FIG. 4 showing the magnetic field dependence of the magnetization of the recording medium 200, the squareness ratio B / A representing the ratio of the residual magnetization B to the saturation magnetization A was 0.71 in FIG. However, in this reference embodiment shown in FIG.
[0041]
Further, as a second comparative example, as shown in FIG. 5, a magnetic layer 302 that is the same as the magnetic layer 102 is formed on the same substrate 301 as the substrate 101, and amorphous carbon having a thickness of 20 nm is formed thereon. A recording medium 300 provided with a protective layer 303 was prepared. The protective layer 303 made of amorphous carbon is produced by DC magnetron sputtering under the conditions of Ar gas pressure of 1.0 Pa and input power of 300 W.
[0042]
FIG. 6 shows the magnetic field dependence of magnetization measured using the same method as the recording medium 100 with the medium temperature raised to 75 ° C. The 6 squareness ratio is 1.00, it was almost the same shape factor and FIG.
[0043]
However, it was found that when the medium temperature was increased to 200 ° C., the squareness ratio in FIGS. 2 and 6 was lowered. That is, in the recording medium 100 shown in FIG. 1, the magnetic field dependence of magnetization when a magnetic field was applied in the direction perpendicular to the film surface with the medium temperature raised to 200 ° C. using VSM was examined. The results are shown in FIG. From the above results, in the present reference embodiment, setting medium temperature to a higher 200 ° C., the squareness ratio B / A is kept high as 0.89.
[0044]
However, in the recording medium 200 shown in FIG. 4, similarly, FIG. 8 showing the magnetic field dependence of magnetization when a magnetic field is applied in the direction perpendicular to the film surface with the medium temperature raised to 200 ° C. using VSM. In the recording medium 300 shown in FIG. 5, the magnetic field dependence of magnetization when a magnetic field is applied in the direction perpendicular to the film surface in the state where the medium temperature is similarly raised to 200 ° C. using VSM is shown in FIG. The ratio B / A is greatly reduced to 0.55 in FIG. 8 and 0.51 in FIG.
[0045]
These results, in the present reference embodiment, the magnetic layer made of amorphous magnetic material on the substrate 101 (those made of particularly TbFeCo alloy having perpendicular magnetic anisotropy) 102 placed, have a spontaneous magnetization thereon By using a magnetic recording medium characterized by having a structure in which an intermediate layer 103 made of a non-spontaneous (non-spontaneous magnetizable) material and a protective layer 104 made of a nitrogen-based or carbon-based material are arranged thereon, In the magnetic field dependence of the magnetization of the magnetic layer 102, it is possible to suppress a decrease in the squareness ratio representing the ratio of the residual magnetization to the saturation magnetization, and the detected residual magnetization can be increased.
[0046]
This can be said to be advantageous in increasing the recording density. Further, while maintaining the high squareness ratio, the protective layer 104 made of carbon nitride originally has the effect, that is, the excellent effect in lubricity and durability, and the oxidation of the magnetic layer 102 made of TbFeCo even under high heat. This shows that a magnetic recording medium having a high effect that can be prevented has been realized.
[0047]
Further, in this reference embodiment, a metal having no spontaneous magnetization in the intermediate layer 103, further by using a carbon nitride protective layer 104 is obtained the effect of higher squareness ratio increases. Further, since the same deposition method (sputtering) as that of the magnetic layer 102 can be used, the intermediate layer 103 and the protective layer 104 can be continuously formed, and a high-quality film with few impurities at the interface between layers can be obtained.
[0048]
In addition, metals generally have a higher deposition rate than non-metals, and carbon nitrides have a faster deposition rate than amorphous carbon, making them more difficult to use than non-metals for intermediate layers and amorphous carbon for protective layers. The process time required for the film can be shortened, and the production efficiency in mass production can be increased. Specific materials for the intermediate layer 103 are preferably Al, Ag, or the like.
[0049]
These have high thermal conductivity, and at the time of recording or reproducing in the optically assisted magnetic recording system, the heat is quickly dissipated after the temperature rise is finished, and the time for returning to room temperature is shorter than other metals, so that the magnetic layer 102 is heated. This is a material suitable for the present invention.
[0050]
Further, among the above metals, particularly those made of Al or an alloy containing Al have the highest effect of increasing the squareness ratio, and exhibited the effect described in the reference embodiment.
[0051]
Also, by using a TbFeCo alloy whose ease of recording varies depending on the temperature as the material of the amorphous magnetic layer 102, the temperature of the TbFeCo alloy is controlled by heat, and recording is performed in a state where recording is facilitated by increasing the temperature. More stable recording can be realized by lowering the temperature and making the recording difficult.
[0052]
In addition, since the material used for the amorphous magnetic layer 102 has perpendicular magnetic anisotropy, a perpendicular magnetic recording system that in principle has a higher recording density limit than the in-plane magnetic recording system can be realized.
[0053]
(In the form state of implementation)
As shown in FIG. 10, the recording medium 700 as a magnetic recording medium according to the shape condition of the present invention, on the substrate 101 and the same substrate 701, arranged underlayer 702 made of same Al intermediate layer 103 On top of that, a magnetic layer 703, an intermediate layer 704, and a protective layer 705 made of carbon nitride, which are the same as those in the reference embodiment, are sequentially formed. The composition of the base layer 702 and the intermediate layer 704 is different from that of the protective layer 705.
[0054]
The underlayer 702 is made of Al having a thickness smaller than that of the intermediate layer 704, for example, 3.7 nm, and the manufacturing method is the same as that of the intermediate layer 103. Further, the Ar gas pressure at the time of manufacturing the magnetic layer 703 is 0.8 Pa, and the thicknesses of the intermediate layer 704 and the protective layer 705 are each 5 nm, which is thinner than that of the reference embodiment.
[0055]
In this recording medium 700, when the magnetic field is applied in the direction perpendicular to the film surface with the medium temperature raised to 200 ° C. using VSM, the results of the magnetization characteristics normalized on both the vertical and horizontal axes are shown in FIG. Show. Compared with FIG. 7 showing the magnetization characteristics of the recording medium 100 at the same temperature, the squareness ratio B / A was further improved to 0.99.
[0056]
As a result, the present embodiment forms state of the fabricated intermediate layer medium using a base layer 702 in addition to 704, and the thickness of the protective layer 705 made of the intermediate layer 704 and the carbon nitride than reference embodiment to each half Nevertheless, this shows that a medium having a high effect in preventing the oxidation of the magnetic layer 703 made of TbFeCo can be realized even under high heat.
[0057]
Table 1 summarizes the squareness ratio in each of the above embodiments . It can be seen that record medium 100 and the recording medium 700 is maintaining high squareness ratio in an elevated medium temperature to 200 ° C.. Here, since the recording medium 700 is provided with the base layer 702, the coercive force at a medium temperature of 75 ° C. is increased and the magnetization cannot be saturated, so the portion at 75 ° C. is left blank.
[0058]
[Table 1]
Figure 0003929836
[0059]
From the above results, a magnetic layer (especially, a TbFeCo alloy having perpendicular magnetic anisotropy) 703 made of an amorphous magnetic material is disposed on the substrate 701, and a metal having no spontaneous magnetization is placed thereon. An intermediate layer (particularly made of Al or an alloy containing Al) 704 and a protective layer 705 made of a nitrogen-based or carbon-based material on the intermediate layer 704 are spontaneously disposed between the substrate 701 and the magnetic layer 703. By adding the base layer 702 made of a material having no magnetization, a decrease in the squareness ratio representing the ratio of the residual magnetization to the saturation magnetization is suppressed in the magnetic field dependency of the magnetization of the magnetic layer 703 even under the condition that the protective layer 705 is thinner. It can be seen that the detected residual magnetization can be increased and high density recording is possible.
[0060]
In addition, by using the same material as the intermediate layer 704 for the base layer 702, it is possible to unify the manufacturing method and manufacturing equipment, and increase the production efficiency when mass-produced. Further, within the range in which the inventors conducted experiments, the thickness of the intermediate layer 704 is 1 nm to 10 nm, the thickness of the underlayer 702 is 2 nm to 10 nm, and the thickness of the magnetic layer 703 is 10 nm to 100 nm. The same effect was confirmed.
[0061]
Further, by using the recording medium based on the shape condition of the embodiment shown above, a means for irradiating light to said recording medium, comprising a means for applying a magnetic field to the recording medium, by applying a magnetic field to the light irradiation portion A magnetic recording apparatus characterized by recording information can also be realized.
[0062]
In this apparatus, by controlling the irradiation output to the recording medium, to control the temperature of the magnetic layer by a more occurring heat morphism the light irradiation, the temperature is lowered from a record in a state which facilitates the recording in the high-temperature Therefore, more stable recording can be realized by creating a state that makes recording difficult.
[0063]
【The invention's effect】
The magnetic recording medium of the present invention, as described above, arranged underlayer made of Al on a substrate, arranged amorphous magnetic layer consisting of a TbFeCo alloy thereon, non of Al thereon This is a structure in which a protective layer made of carbon nitride is disposed on an intermediate layer having spontaneous magnetization.
[0064]
Therefore, in the above configuration, by providing the base layer and the intermediate layer made of the Al, provides protection from heat generated by the protection and light irradiation or the like from sliding of the medium by a protective layer of nitrided carbon since it improves the squareness ratio by the underlayer and the intermediate layer, an effect that can realize high-density recording.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a cross-sectional view of a magnetic recording medium according to a reference embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a graph showing the magnetic field dependence of magnetization when a magnetic field is applied in a direction perpendicular to the film surface using VSM in the magnetic recording medium.
FIG. 3 is a sectional view of a magnetic recording medium for comparison.
FIG. 4 is a graph showing the magnetic field dependency of magnetization when a magnetic field is applied in a direction perpendicular to the film surface at a medium temperature of 75 ° C. using VSM in a magnetic recording medium for comparison.
FIG. 5 is a cross-sectional view of another magnetic recording medium for comparison.
FIG. 6 is a graph showing the magnetic field dependence of magnetization when a magnetic field is applied in a direction perpendicular to the film surface at a medium temperature of 75 ° C. using VSM in another magnetic recording medium for comparison. .
FIG. 7 is a graph showing the magnetic field dependence of magnetization when a magnetic field is applied in a direction perpendicular to the film surface at a medium temperature of 200 ° C. using the VSM in the magnetic recording medium according to the reference embodiment.
FIG. 8 is a graph showing the magnetic field dependence of magnetization when a magnetic field is applied in a direction perpendicular to the film surface at a medium temperature of 200 ° C. using VSM in a magnetic recording medium for comparison.
FIG. 9 is a graph showing the magnetic field dependence of magnetization when a magnetic field is applied in a direction perpendicular to the film surface at a medium temperature of 200 ° C. using VSM in another magnetic recording medium for comparison. .
It is a cross-sectional view of a magnetic recording medium according to the shape condition of the embodiment (provided with the undercoat layer) of the present invention; FIG.
FIG. 11 is a graph showing the magnetic field dependency of magnetization when a magnetic field is applied in a direction perpendicular to the film surface at a medium temperature of 200 ° C. using VSM in the magnetic recording medium.
FIG. 12 is a cross-sectional view of a conventional magnetic recording medium.
FIG. 13 is a graph showing the magnetic field dependence of magnetization in a general magnetic material.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 100, 700 ... Recording medium, 101, 701 ... Substrate, 102, 703 ... Magnetic layer, 103, 704 ... Intermediate layer, 104, 705 ... Protective layer, 702 ... Underlayer

Claims (4)

光アシスト磁気記録に用いられる磁気記録媒体であって、
基板上に、Alから成る下地層が設けられ、
下地層上にTbFeCo合金から成る非晶質の磁性層が設けられ、
磁性層上に、Alから成る非自発磁化性の中間層が設けられ、
中間層上に、窒化炭素から成る保護層が設けられていることを特徴とする磁気記録媒体。
A magnetic recording medium used for optically assisted magnetic recording,
An underlayer made of Al is provided on the substrate ,
An amorphous magnetic layer made of a TbFeCo alloy is provided on the underlayer ,
On the magnetic layer, a non-spontaneously magnetizable intermediate layer made of Al is provided,
A magnetic recording medium, wherein a protective layer made of carbon nitride is provided on an intermediate layer.
上記非晶質の磁性層が、垂直磁気異方性を有することを特徴とする請求項1に記載の磁気記録媒体。The magnetic recording medium according to claim 1, wherein the amorphous magnetic layer has perpendicular magnetic anisotropy. 上記中間層の厚さが1nm以上10nm以下であることを特徴とする請求項1または2に記載の磁気記録媒体。The magnetic recording medium according to claim 1 or 2, wherein the thickness of the intermediate layer is 1nm or more 10nm or less. 請求項1から3の何れかに記載の磁気記録媒体に対して、光を照射する光照射手段と、
上記磁気記録媒体に対して、磁界を印加する磁界印加手段と、
光照射部分に磁界を印加して情報を記録するように、上記磁気記録媒体、光照射手段および磁界照射手段を制御する制御手段とを備えていることを特徴とする磁気記録装置。
The magnetic recording medium according to any one of claims 1 to 3, a light irradiating means for irradiating light,
Magnetic field applying means for applying a magnetic field to the magnetic recording medium,
A magnetic recording apparatus comprising: the magnetic recording medium, the light irradiation means, and a control means for controlling the magnetic field irradiation means so as to record information by applying a magnetic field to the light irradiation portion.
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