JP3967892B2 - Inspection and classification system for thin plate semiconductor components - Google Patents

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To improve operating efficiency by shortening the time until classifying and storing a solar battery cell 30 for each rank on the basis of the ranking result by an inspection device 21. SOLUTION: An operation of storing the solar battery cell 30 conveyed successively into a storing part 23 and an operation of taking out the solar battery cell from a conveying part 25 can be simultaneously carried out, because the solar battery cell 30 can be temporarily stored into a buffer part 31 of a stock part 24 from a conveying part 25 through an intake means 34. Thereby, the solar battery cell 30 can be taken out from the inspection device 21 in spite of storing the solar battery cell 30 in the storing part 23. Accordingly, the solar battery cell 30 can be stored in the storing part 23 without stopping a first conveying means 22 and the intake means 34, and thus the operation rate of the device can be improved.

Description

【００２２】
また図３２は、表１の電圧と電流との関係を示すグラフであり、図３２（１）は、電圧電流特性を示し、図３２（２）は、電圧電力特性を示す。表１に示す測定点（Ｖｉ−１，Ｉｉ−１），（Ｖｉ，Ｉｉ），（Ｖｉ＋１，Ｉｉ＋１）からラグランジェの２次補間式を用いて計算することで、最大電力Ｐｍを得る。表１の測定点をラグランジェの２次補間式に基づいて計算すると、最大出力電圧Ｖｐｍは、０．４８２１Ｖであり、最大出力電流Ｉｐｍは、４．４６８７Ａである。したがって最大電力Ｐｍは２．１５４５Ｗとなる。
【００２３】
図３３は、擬似太陽光が照射されていない状態での電圧電流特性を示すグラフである。擬似太陽光が照射されていない状態、いわゆる暗測定でも明測定と同レンジの電圧走査を行い、測定結果として測定点を取得する。テスタ１０１が暗測定を行い、複数の測定点を得た後、パソコン１０２が任意の電圧における電流Ｉｄを算出する。
【００２４】
【発明が解決しようとする課題】
このような上述の従来の装置では、収納部６に所定の枚数の太陽電池セル１０が蓄積されたときには、蓄積された太陽電池セル１０を入れ換える作業を手作業で行わなければならない。この作業が行われるとき搬送ロボット５は、収納部６に太陽電池セル１０を搬送することができないため、次に当該収納部６へ収納されるべき太陽電池セル１０は、待機しなければならない。つまり太陽電池セル１０の入れ換え作業が完了するまで、搬送手段４を一旦停止する必要がある。搬送手段４を停止することによって検査分類作業の稼働率が低下するという問題がある。
【００２５】
また収納部６に収められる太陽電池セル１０を、次工程へ搬送するには、通い箱７に手作業で再度複数枚を束状にし、表裏をスポンジ材で梱包して入れ換えなければならない。したがって次工程に移るまでに必要な工程が増え、作業時間が長くなるという問題がある。
【００２６】
したがって本発明の目的は、薄形板状半導体部品を測定結果に基づいて各収納部に収納するまでの時間を短縮するとともに、収納される薄形板状半導体部品の取り出しおよび交換に要する時間を短縮して、稼動率を向上する薄形板状半導体部品の検査分類システムを提供することである。
【００２７】
【課題を解決するための手段】
本発明は、薄形板状半導体部品を検査してランクを判定する検査装置と、検査装置によって判定されたランクに基づいて、薄形板状半導体部品を対応する収納部に分類して収納する分類装置と、前記検査装置と前記分類装置とを統括的に制御する制御装置とを有する薄形板状半導体部品の検査分類システムであって、
前記検査装置は、薄形板状半導体部品を測定する測定手段と、測定結果に基づいてランクを判定する判定手段とを有し、
前記分類装置は、
収納部ごとに設けられ、収納前の薄形板状半導体部品を、複数積層した状態で保持可能な各ストック部と、
測定後の薄形板状半導体部品を、検査装置によって判定されたランクに対応するストック部に一枚ずつ取り入れる取り入れ手段と、
各ストック部に積層保持された複数の薄形板状半導体部品を、複数積層した状態でまとめて対応する収納部にそれぞれ収納する収納手段であって、ストック部が積層保持する薄形板状半導体部品が所定枚数を超えた場合、積層される複数の薄形板状半導体部品を、積層状態でまとめて対応する収納部に収納する１つの収納手段と、
検査後の薄形板状半導体部品を一時的に保持する搬送部と、
検査装置から搬送部に順次搬送する第１の搬送手段とを有し、
前記ストック部は、
収納部毎に設けられ、取り入れ手段によって一枚ずつ取り入れられる収納前の薄形板状半導体部品を、複数積層される状態で保持するバッファ部と、
前記バッファ部と前記収納部との間に設けられ、収納前の薄形板状半導体部品を、複数積層される状態で一時的に収納する一時収納部と、
バッファ部から一時収納部へ、複数の薄形板状半導体部品を、複数積層される状態で所定枚数を超えた枚数まとめて搬送する第２の搬送手段であって、バッファ部と一時収納部との間を移動可能に構成され、薄形板状半導体部品を上下方向に複数積層される状態で乗載可能な乗載部が設けられる乗載台と、バッファ部から一時収納部にわたって進む方向および反対に進む方向に、乗載台を移動させるためのモータとを有する第２の搬送手段とを備え、
前記収納部は、薄形板状半導体部品を、水平方向に複数積層される状態で収納し、
前記収納手段は、一時収納部から収納部へ薄形板状半導体部品を収納し、前記反転手段によって立てられた複数の薄形板状半導体部品を立位状態で保持して収納部へ搬送し、ＸＹＺ方向へ移動可能なロボットハンドを有し、
前記一時収納部は、
予め定められる回転軸線に沿って延びる基部と、基部の両端部から垂直に立ち上がる側部保持部とを有するＵ字状部材であって、回転軸線まわりに角変位可能に形成され、一対の側部保持部の内側部分に、複数積層される状態の薄形板状半導体部品が挿入可能な収納溝が形成され、回転軸線まわりに回転することで、収納溝に挿入される複数の薄形板状半導体部品の姿勢を水平状態と立位状態とに切換え可能なＵ字状部材と、
前記第２の搬送手段によって搬送される上下方向に複数積層された薄形板状半導体部品を、水平方向に複数積層される状態に反転させる反転手段であって、
Ｕ字状部材の回転軸線と同軸に配置されて、Ｕ字状部材に固定される回転ギアと、
回転ギアと噛合する受け棒ギアを一端に有し、受け棒ギアの軸線まわりに回転可能に支持され、変位駆動される乗載台によって受け棒ギアの軸線まわりに角変位駆動される受け棒とを有する反転手段とを有することを特徴とする薄形板状半導体部品の検査分類システムである。
【００２８】
本発明に従えば、測定後の薄形板状半導体部品は、取り入れ手段によって測定手段からストック部に取り入れられ、収納部に収納される前に一時的にストック部に保持される。ストック部に保持された薄形板状半導体部品は、１つの搬送ロボットから成る収納手段によって収納部に収納される。これによって取り入れ手段と収納手段とは、独立かつ同時に動作することができる。
【００２９】
したがって収納手段に収納される薄形板状半導体部品が、所定枚数を超えて、収納部から取り出される時でも、取り入れ手段が検査装置から薄形板状半導体部品を取り出し、ストック部に取り入れることができる。これによって薄形板状半導体部品の搬送を、収納部に収納された薄形板状半導体を入れ換えるときも、取り入れ手段を停止する必要がなく検査分類システムの検査分類速度を向上することができる。
【００３０】
また取り入れ手段は、一枚の薄形板状半導体部品を搬送するので、複数枚同時に搬送する場合に比べて、薄形板状半導体部品を確実に搬送することができ、薄形板状半導体部品の破損を防止してストック部に搬送することができる。
【００３１】
また薄形板状半導体部品は、ランクごとにストック部に保持される。したがって検査装置から取り出される薄形板状半導体部品が各ストック部に分散されて保持されるので、ストック部から収納部に搬送する収納手段の動作速度を取り出し手段に比べて低速にすることができる。収納手段は低速で動作することによって、把持不良をなくし、正確な位置決めが必要とされる収納部への収納を容易に行うことができる。また収納手段が、複数枚同時に薄形板状半導体部品を搬送することによって、稼働率を低下することなく薄形板状半導体部品を収納部に収納することができる。
またストック部は、複数の薄形板状半導体部品を積層した状態で、保持する。収納手段は、ストックに保持される積層状態の複数の薄形板状半導体部品をまとめて搬送して、収納部に収納する。したがって一度の搬送動作によって複数枚の薄形板状半導体部品を収納部に同時に搬送することができ、単位時間あたりの搬送量を増加させることができる。またストック部が保持する薄形板状半導体部品が所定枚数を超えた場合に収納手段が搬送するので、一度に搬送する薄形板状半導体部品の枚数を一定にすることができ、収納部への収納を容易に行うことができる。
【００５５】
また、薄形板状半導体部品を、ストック部のバッファ部および一時収納部に一時的に収納することができ、取り入れ手段および収納手段とは異なり、ストック部毎に設けられる第２の搬送手段によって、バッファ部から一時収納部に積層状態の薄形板状半導体部品を搬送することができる。したがって、収納手段によって、積層状態の複数の薄形板状半導体部品を、一時収納部から収納部にまとめて収納する収納動作と、取り出し手段によって、搬送部から薄形板状半導体部品を一枚ずつ取り出して、バッファ部に収容する取り出し動作とを同時に行うことができる。これによって薄形板状半導体部品を一時収納部から収納部に収納する動作にかかわらず、搬送部から薄形板状半導体部品を取り出してバッファ部に収納することができる。したがって収納手段および取り入れ手段を停止させることなく、薄形板状半導体部品を収納部に収納することができ、装置の稼働率を向上することができる。
【００５６】
また、ストック部が、バッファ部と一時収納部とを有し、バッファ部から一時収納部に第２の搬送手段によって搬送する。したがって取り入れ手段が薄形板状半導体部品をストック部に取り入れるバッファ部の位置と、収納手段が薄形板状半導体部品をストック部から取り出す一時収納部の位置とを異なる位置に設けることができるので、収納手段と取り入れ手段とが接触することを防止することができる。
【００５８】
また、薄形板状半導体部品は、立位状態で収納部に収納されるので、薄形板状半導体部品が、寝た状態で積層して収納される場合に比べて、接触する面積が少なく、部品表面が損傷する可能性を少なくすることができる。また、薄形板状半導体部品を収納部へ搬送するＸＹＺ方向へ移動可能なロボットハンドは、複数の薄形板状半導体部品を同時に搬送するので、収納動作時間を短縮することができる。またロボットハンドは、立位状態に収納される薄形板状半導体部品を、立位状態に保持して搬送するので複雑な動作を必要とせず、容易かつ確実に収納部に搬送することができる。また一時収納部の有する反転手段によって、薄形板状半導体部品を立位状態に保持することができる。したがって収納手段に、薄形板状半導体部品を反転させる機構を設ける必要がない。
また、乗載台に乗載される複数の薄形板状半導体部品をＵ字状部材に収容した状態で、乗載台が反転手段の受け棒を変位駆動することで、Ｕ字状部材が角変位して、Ｕ字状部材が立位状態となる。このような構成によって、乗載台の移動によって反転動作を実現することができる。
【００５９】
また本発明は、前記第２の搬送手段には、薄形板状半導体部品に所定以上の負荷がかかったことを検出する過負荷検出手段が設けられることを特徴とする。
【００６０】
本発明に従えば、バッファ部から一時収納部へ搬送するとき、過負荷検出手段が設けられるので、搬送時に異常な負荷が生じたときに、即座に第２の搬送手段を停止することができる。
【００６５】
また本発明は、前記ハンドは、立位状態にある薄形板状半導体部品に平行に配置される側壁と、この側壁の底部に略垂直に連なる底壁とを有する一対の保持部材を有し、この保持部材を立位状態にある薄形板状半導体部品の両側に配置し、互いに近接させて薄形板状半導体部品の下に底壁を配置させ、ハンドを上昇させることによって、水平方向に複数積層される薄形板状半導体部品を立位状態に保持して搬送することを特徴とする。
【００６６】
本発明に従えば、一対の保持部材に薄形板状半導体部品を立位状態で乗載して、取り出すことが可能であり、薄形板状半導体部品の表面を損傷することなく搬送することができる。また薄形板状半導体部品を乗載して搬送するので、薄形板状半導体部品を挟持して搬送する場合に比べて、搬送時に薄形板状半導体部品に負荷がかからず薄形板状半導体部品の破損を防止することができる。
【００６７】
また本発明は、制御手段によって制御されるハンドは、一時収納部に収納される複数の薄形板状半導体部品を、一対の保持部材のそれぞれの側壁の間で、かつ底壁の上方に、配置した状態で上方に一旦上昇して各薄形板状半導体部品を一対の保持部材の底壁に乗載させ、
一対の保持部材のそれぞれの側壁を互いに近接させた状態で、各薄形板状半導体部品を収納部に向けて搬送することを特徴とする。
【００６８】
本発明に従えば、一対の保持部材のそれぞれの側壁の間を広くすることで、、大きな衝撃を与えることなく、複数の薄形板状半導体部品をハンドに乗載させることができる。また乗載後に一対の保持部材のそれぞれの側壁の間を狭くすることで、整えた状態で取り出して、薄形板状半導体部品が揺動することなく、搬送することができる。
【００７１】
また本発明は、薄形板状半導体部品は太陽電池セルであって、
前記測定手段は太陽電池セルの電圧電流特性を測定し、測定結果として電圧軸Ｖをまたいで、両側に位置する３つ以上であって、かつ電圧軸Ｖの両側の数が均等な複数の測定点を得て、
前記判定手段は、前記３つ以上の測定点に基づいて、電圧電流特性の近似線を求め、前記近似線と電圧軸Ｖとの交点を開放電圧値Ｖｏｃとすることを特徴とする。
【００７２】
本発明に従えば、電圧軸Ｖをまたいで、両側に位置する３つ以上であって、かつ電圧軸Ｖの両側の数が均等な複数の測定点を用いて、開放電圧Ｖｏｃを求めるので、測定結果を補正してより正確な電圧電流特性を得ることができる。また電気的ノイズなどによって異常な測定結果である測定点が得られても、３つ以上の複数の測定点を利用するので、異常な測定点を除いて正確な電圧電流特性を得ることができる。
【００７３】
また本発明は、薄形板状半導体部品は太陽電池セルであって、
前記測定手段は太陽電池セルの電圧電流特性を測定し、測定結果として電流軸Ｉをまたいで、両側に位置する３つ以上であって、かつ電流軸Ｉの両側の数が均等な複数の測定点を得て、
前記判定手段は、前記３つ以上の測定点に基づいて、電圧電流特性の近似線を求め、前記近似線と電流軸Ｉとの交点を短絡電流値Ｉｓｃとすることを特徴とする。
【００７４】
本発明に従えば、電流軸Ｉをまたいで、両側に位置する３つ以上であって、かつ電流軸Ｉの両側の数が均等な複数の測定点を用いて、短絡電流Ｉを求めるので、測定結果を補正してより正確な電圧電流特性を得ることができる。また電気的ノイズなどによって異常な測定結果である測定点が得られても、３つ以上の複数の測定点を利用するので、異常な測定点を除いて正確な電圧電流特性を得ることができる。
【００７８】
【発明の実施の形態】
本発明は、太陽電池セルまたは半導体ウエハなどの薄形板状半導体部品を測定結果に応じてランク別に分類収納を行う薄形板状半導体部品の検査分類システム２０である。ランクはたとえば薄形板状半導体部品の電気的性能である。薄形板状半導体部品は、生産される薄形板状半導体部品の性能に基づいて、複数の段階に判定される。
【００７９】
図１は、本発明の実施の一形態である薄形板状半導体部品の検査分類システム２０を示すブロック図である。本実施の形態での薄形板状半導体部品は、矩形板状の太陽電池セル３０である。検査分類システム２０は、太陽電池セル３０のランクを判定する検査装置２１と、ランク判定結果に基づいて、太陽電池セル３０を分類する分類装置３００と、検査分類システム２０を統括的に制御する図示しない制御装置とを有する。また分類装置３００は、第１の搬送手段２２、搬送部２５、取り入れ手段３４、複数の収納部２３および収納部２３の数に応じた複数のストック部２４とを含んで構成される。
【００８０】
また検査装置２１は、太陽電池セル３０の電圧電流特性を測定する測定手段と、測定手段によって得られる測定結果に応じて、複数のランクを判定する判定手段とを有する。測定手段はたとえばテスタであり、判定手段は、たとえばパソコンである。
【００８１】
検査装置２１は、順次搬送される太陽電池セル３０を検査し、ランク別に判定する。第１の搬送手段２２は、検査装置２１によって判定された太陽電池セル３０を所定の搬送経路に沿って、搬送部２５に順次搬送する。搬送部２５は、太陽電池セル３０を一時的に保持する。搬送部２５に搬送された太陽電池セル３０は、取り入れ手段３４によって、各ランクに応じたストック部２４に取り入れられる。複数のストック部２４は、バッファ部３１、スライド部３２および一時収納部３３をそれぞれ有している。
【００８２】
図２は、検査分類システム２０の搬送動作を示すフローチャートである。ステップｆ０では、ストック部２４が、太陽電池セル３０を積載可能な状態で待機し、取り入れ手段３４によって、太陽電池セル３０が積載されると、ステップｆ１に進む。ステップｆ１では、太陽電池セル３０がストック部２４に積載される。ストック部２４は、カウンタによって、ストック部２４に積載される太陽電池セル３０の総枚数Ｂｘをカウントし、ステップｆ２に進む。
【００８３】
ステップｆ２では、ストック部２４が、ストック部２４に積載される総枚数Ｂｘと所定の一定枚数Ｃｏｎｓｔ１とを比較し、総枚数Ｂｘが所定の第１の一定枚数Ｃｏｎｓｔ１を超えたか否かを判断する。総枚数Ｂｘが所定の第１の一定枚数Ｃｏｎｓｔ１を超えない場合、ステップｆ０に戻り、ストック部２４は再び積載待機状態になる。また総枚数Ｂｘが所定の第１の一定枚数Ｃｏｎｓｔ１を超えた場合、ステップｆ３に進む。
【００８４】
ステップｆ３では、バッファ部３１に保持された複数の太陽電池セル３０が、収納手段３５によって、収納部２３に収納される。また収納部２３は、収納部２３に収納される太陽電池セル３０の総枚数Ｎｘをカウントし、ステップｆ４に進む。ステップｆ４では、収納部２３に収納される総枚数Ｎｘと所定の第２の一定枚数Ｃｏｎｓｔ２とを比較し、総枚数Ｎｘが所定の第２の一定枚数Ｃｏｎｓｔ２を超えたか否かを判断する。総枚数Ｎｘが所定の第２の一定枚数Ｃｏｎｓｔ２を超えない場合、ステップｆ３に戻り、収納部２３は収納待機状態になる。また総枚数Ｎｘが所定の第２の一定枚数Ｃｏｎｓｔ２を超えた場合、収納部２３が太陽電池セル３０で満杯状態となり、ステップｆ５に進む。
【００８５】
ステップｆ５では、収納部２３が検査分類システム２０から払い出される。収納部２３は、同一のランクの太陽電池セル３０を収納する。太陽電池セル３０は、収納部２３ごと次の工程に搬送される。このように収納部２３は、次工程に太陽電池セル３０を搬送するための箱である通い箱となる。
【００８６】
また太陽電池セル３０が収納されていない、別の収納部２３が検査分類システム２０に取り付けられる。収納手段３５は、新しく取り付けられた別の収納部２３に太陽電池セル３０を収納する。これによって再び収納部２３に太陽電池セル３０が収納可能な状態になり、ステップｆ６に進み、検査分類システム２０による太陽電池セル３０の搬送動作が終了する。次に動作は再びステップｆ０に進み、ストック部２４が、太陽電池セル３０を積載可能な状態で待機する。また検査装置２１から太陽電池セル３０をストック部２４に搬送する取り入れ手段３４と、ストック部２４から収納部２３に搬送する収納手段３５とは、独立して動くことができる。
【００８７】
図３は、検査分類システム２０の主要な部分を示す斜視図である。ストック部２４の動作について説明する。太陽電池セル３０は、搬送部２５から取り入れ手段３４によって取り出され、一挙に各ストック部２４にあるバッファ部３１に取り入れられる。バッファ部３１は、収納前の太陽電池セル３０を水平状態で積載して保持する。バッファ部３１に取り入れられた太陽電池セル３０は、所定の枚数になると第２の搬送手段であるスライドユニット３６によってスライド部３２を通過し、一時収納部３３に搬送される。一時収納部３３は、バッファ部３１と収納部２３との間に設けられ、搬送された太陽電池セル３０を反転させて立位状態に保持する。立位状態に保持された複数枚の太陽電池セル３０は、立位状態を保ったまま収納手段３５によって搬送され、立位状態を保ったまま収納部２３に収納される。
【００８８】
収納部２３は、太陽電池セル３０で満杯となると、検査分類システム２０から取り外される。収納部２３に収納される太陽電池セル３０は、収納部２３ごと次の製造工程に搬送される。
【００８９】
図４は、検査分類システムに搬送される太陽電池セル３０の動きを示すフローチャートである。ステップｇ０では、検査分類工程の前工程を終えた太陽電池セル３０が検査分類システム２０に投入され、ステップｇ１に進む。
【００９０】
ステップｇ１では、太陽電池セル３０が検査装置２１に搬送され、太陽電池セル３０のランクが判定される。ランクが判定されると、ステップｇ２に進む。ステップｇ２では、太陽電池セル３０は、取り入れ手段３４によってストック部２４に搬送される。このとき太陽電池セル３０は、検査装置２１によって判定されたランクに基づいて、各ストック部２４に振り分けられる。したがって太陽電池セル３０は、ランクごとに分類されて各ストック部２４に保持される。ストック部２４に収納される太陽電池セル３１の総数Ｂｘが所定枚数Ｃｏｎｓｔ１を超えた場合、ステップｇ３に進む。
【００９１】
ステップｇ３では、収納手段３５によって、順次太陽電池セル３０が収納部２３に収納され、複数枚の太陽電池セル３０が収納部２３に収納される。また収納部２３は、前述したように、次工程に太陽電池セル３０を搬送するための通い箱となる。収納部２３に収納される太陽電池セル３０が所定枚数Ｃｏｎｓｔ２を超えた場合、ステップｇ４に進み、太陽電池セル３０は、次の工程に収納部２３ごと搬送され、検査分類システム２０における太陽電池セル３０の一連の動きが終了する。
【００９２】
図５は、検査装置２１の構成を示すブロック図である。検査装置２１は、順次搬送される太陽電池セル３０を検査し、ランク別に判定する。検査装置２１は、測定手段であるテスタ２７とシュミレータランプ２５とシャッター手段と判定手段であるパソコン２８とを有する。
【００９３】
検査装置２１は、太陽電池セル３０にコンタクトプローブ２６を接触させ、シュミレータランプ２５によって光を照射およびシャッター手段によって光を遮断したときの電圧電流特性をテスタ２７によって測定し、測定された測定結果をパソコン２８によって判定および保存する。またこれらの動作は制御装置であるＣＰＵ２９の命令によって行われる。ＣＰＵ２９は、たとえばシーケンサであって、検査装置２１および分類装置３００を統括的に制御する。
【００９４】
図６は、テスタ２７の測定回路を簡略化して示す回路図である。太陽電池セル３０は、日本工業規格の結晶系太陽電池セルの出力測定方法（ＪＩＳ Ｃ ８９１３）に規定される４端子法で計測される。電流測定用端子および電圧測定用端子の一端部をＸＹレコーダ２００に接続する。また太陽電池セル３０は、バイアス電源２０１から電圧が印加される。バイアス電源２０１は、太陽電池セル３０に加える電圧を走査して印加することができる。太陽電池セル３０に加える電圧を走査して与え、電圧電流特性曲線をＸＹレコーダ２００によって記録する。
【００９５】
図７は、テスタ２７の測定回路を簡略化して示す他の回路図である。太陽電池セル３０は、バイアス電源２０１から電圧が印加される。バイアス電源２０１から太陽電池セル３０に加える電圧を段階的に変化させ、そのときの電圧電流測定値を電流測定器２０２および電圧測定器２０３を用いて測定する。この測定値を基に電圧電流特性曲線を描く。
【００９６】
図８は、太陽電池セル３０のランク判定の流れを示すブロック図である。検査分類システム２０は、検査分類システム全体を制御し、太陽電池セル１０の搬送命令および検査実施命令を行うＣＰＵ２９と、電圧電流特性測定を行うテスタ２７とテスタ２７の測定結果に基づいて、各ランクに判定するパソコン２８とを有する。検査装置２１は、このようなテスタ２７とパソコン２８とを有する。
【００９７】
ＣＰＵ２９は、パソコン２８へ測定実施命令２０４を与える。測定実施命令２０４が与えられたパソコン２８は、太陽電池セル３０の電圧電流測定の測定実施命令２０５をテスタ２７に伝える。測定実施命令２０５を受けたテスタ２７は、太陽電池セル３０の電圧電流測定を実施２０６する。テスタ２７は、測定実施後に測定によって得られた生データ２０７をパソコン２８に与える。パソコン２８は、生データ２０７を基に、測定値を算出２０８し、ランクを判定２０９する。ランクを判定したパソコン２８は、ランク判定結果２１１を直接ＣＰＵ２９に与える。ＣＰＵ２９は、このランク判定結果に基づいて、太陽電池セル３０をランクごとに分類して収納部２３に搬送するように取り入れ手段３４に命令を与える。
【００９８】
またＣＰＵ２９は、装置情報２１２をパソコン２８に与えることができる。したがってパソコン２８は、測定結果とともに検査分類システムの装置情報を記憶および管理することができ、パソコン２８とＣＰＵ２９との間で相互にデータの送受信を簡単に行うことができる。これによって検査分類システムの管理を容易に行うことができる。パソコン２８は、表示手段および記憶手段を有し、表示手段によって、測定結果および装置情報を利用者に確認させることができる。また記憶手段によって、測定結果およびＣＰＵ２９によって管理される膨大な装置情報を記憶し、測定結果および装置情報を収集および管理することができる。ここで装置情報とは、たとえば検査分類システムの起動時刻、停止時刻、運転開始時刻、エラー発生時刻、エラー復帰時刻およびエラー発生内容などの各装置の稼動状況を表すデータである。またさらにシステムの周囲の温度および周囲の光量などの稼働環境をあらわすデータを記憶してもよい。たとえば温度および検査分類システム周囲の光量に基づいて、測定手段から得られる測定値を補正することによって、より正確なランク判定を行うことができる。
【００９９】
またテスタ２７を介さずに、パソコン２８とＣＰＵ２９とが直接接続されるので、膨大なデータ量を有する装置情報をパソコン２８とＣＰＵ２９との間で、送受信することができ、テスタ２７に電気通信による負荷が加わることを防止することができる。
【０１００】
またテスタ２８とＣＰＵ２９とをパソコン２８を介して接続することによって、拡張性を向上させ、簡単に接続することができる。たとえばインターフェイスの異なる別のテスタに取り替えた場合においても、パソコン２８を介してＣＰＵ２９に接続されるので、別のテスタのインターフェイスに応じて、パソコンの接続部分を取り替えることによって、容易に別のテスタを検査分類システムに用いることができる。
【０１０１】
また装置情報および薄形板状半導体部品の測定結果を同時に関連させて記憶管理してもよい。これによって装置情報の変化と製造される薄形板状半導体部品のランク判定との関連性を容易に確認することができる。これによって薄形板状半導体部品の製造において、ランク低下の悪影響となる装置情報を見つけ、改善することによって、より高品質の薄形板状半導体部品を製造することができる。
【０１０２】
図９は、検査装置２１の太陽電池セル３０の検査の流れを示す図である。太陽電池セル３０が検査装置２１に搬送されると太陽電池セル３０のランク判定動作が開始される。ステップａ１では、ＣＰＵ２９が、コンタクトプローブ２６を太陽電池セル３０に接触させるとともに、シャッターを開いて、シュミレータランプ２５の光を太陽電池セル３０に照射させる。
【０１０３】
ステップａ２では、テスタ２７によってシュミレータランプ２５照射時の電圧電流特性を測定する。ステップａ３では、ＣＰＵ２９の命令によってシュミレータランプ２５を塞ぐシャッターが閉鎖するとともに、ステップａ２で得られた測定結果がテスタ２７からパソコン２８に転送され保存される。またシャッターが完全に閉鎖する。
【０１０４】
ステップａ４では、テスタ２７によってシュミレータランプ２５無照射時の電圧電流特性を測定する。ステップａ５では、ＣＰＵ２９によってコンタクトプローブ２６と太陽電池セル３０との接触が解除されるとともに、ステップａ４で得られた測定結果がテスタ２７からパソコン２８に転送される。パソコン２８は、ステップａ２およびステップａ４で得られた２回の測定結果を取得した後に、計算および判定を行って、太陽電池セル３０の電気的特性が計測され、ランク判定が行われる。
【０１０５】
ステップａ６では、ランク判定された太陽電池セル３０が、取り入れ手段３４によって搬送部２５に送られる。したがって測定の異なる２つの条件によるそれぞれの測定について実測とデータ転送が行われ、機械的動作と並列して別の処理を行うことができる。すなわちランプ２５およびプローブ２６の機械的準備動作を行っている間に、電気的な処理たとえばテスタ２７が測定結果をパソコン２８に転送する動作を行うことができる。
【０１０６】
図１０は、テスタ２７によって得られた測定点を基にした、太陽電池セル３０の電圧電流特性を示すグラフである。パソコン２８は、電気的ノイズによってテスタ２７の測定結果が変化した場合、測定結果を補正し、太陽電池セル３０のランクをより正確に判定する。
【０１０７】
テスタ２７は、太陽電池セル３０を測定し、通常２００点以上の測定点を得る。パソコン２８は、テスタ２７からの測定結果から近似曲線を描く。具体的には電流軸Ｉをまたいで、両側に位置する３つ以上、かつ前後均等数の測定点Ａ１，Ａ２，Ｂ１，Ｂ２（図１０では４つ）から最小二乗法に基づく一次近似式を求める。次にこの一次近似式と電流軸Ｉとの交点Ｃを求め、この交点Ｃの電流を短絡電流Ｉｓｃとする。
【０１０８】
また電圧軸Ｖをまたいで、両側に位置する３つ以上、かつ前後均等数の測定点Ｅ１，Ｅ２，Ｆ１，Ｆ２（図１０では４つ）から最小二乗法に基づく一次近似式を求める。次にこの一次近似式と電圧軸Ｖとの交点Ｇを求め、この交点Ｇの電圧を開放電圧Ｖｏｃとする。
【０１０９】
図１１は、パソコン２８が最大出力Ｐｍを算出する手順を示すフローチャートである。テスタ２７が、太陽電池セル３０を測定し、測定結果をパソコン２８に伝達する。パソコン２８は、テスタ２７からの生データが与えられると、最大出力Ｐｍの算出が開始される。
【０１１０】
ステップｈ１では、パソコン２８が、テスタ２７からの生データから、測定結果として複数の測定点を取得し、ステップｈ２に進む。ステップｈ２では、パソコン２８が複数の測定点の中から、電流と電圧との積が最大になる最大測定点Ｄ（Ｖｉ，Ｉｉ）を求め、ステップｈ３に進む。
【０１１１】
ステップｈ３では、パソコン２８が、最大測定点Ｄ（Ｖｉ，Ｉｉ）を含み、最大測定点Ｄ（Ｖｉ，Ｉｉ）の前後の点（Ｖｉ−２，Ｉｉ−２），（Ｖｉ−１，Ｉｉ−１），（Ｖｉ，Ｉｉ），（Ｖｉ＋１，Ｉｉ＋１），（Ｖｉ＋２，Ｉｉ＋２）について、隣り合う測定点の差分値を求める。次に、各測定点間の差分値の平均を計算し、平均電圧差分値ＶＤおよび平均電流差分値ＩＤを求め、ステップｈ４に進む。
【０１１２】
ステップｈ４では、パソコン２８が、平均電圧差分値ＶＤおよび平均電流差分値ＩＤと隣り合う測定点の各差分値とを比較する。パソコン２８は、平均電圧差分値ＶＤおよび平均電流差分値ＩＤと隣り合う測定点の各差分値とが予め定める所定の誤差範囲から外れている測定点を除く。
【０１１３】
本実施の形態では、最大測定点Ｄ（Ｖｉ，Ｉｉ）の直前から任意数前の測定点たとえば２つの測定点（Ｖｉ−２，Ｉｉ−２），（Ｖｉ−１，Ｉｉ−１），（Ｖｉ，Ｉｉ）を用いて、差分平均値ＶＤ，ＩＤを求める。パソコン２８は、最大測定点Ｄ（Ｖｉ，Ｉｉ）の直後の測定点（Ｖｉ＋１，Ｉｉ＋１）と最大測定点Ｄ（Ｖｉ，Ｉｉ）との差分値が、平均差分値ＶＤ，ＩＤの任意の数であるＸパーセント以下か否かを調べ、Ｘパーセントを超える場合は、測定点（Ｖｉ＋１，Ｉｉ＋１）として採用し、Ｘパーセント以下なら、最大測定点Ｄ（Ｖｉ，Ｉｉ）の直後の測定点（Ｖｉ＋１，Ｉｉ＋１）を除去する。同様に、次の測定点（Ｖｉ＋２，Ｉｉ＋２）についても、採用するか除去するかを計算し、ステップｈ５に進む。
【０１１４】
ステップｈ５では、最大測定点Ｄ（Ｖｉ，Ｉｉ）の後の測定点で採用される測定点（Ｖｉ＋ｎ，Ｉｉ＋ｎ）を決定し、決定した場合、ステップｈ６に進む。
【０１１５】
ステップｈ６では、最大測定点Ｄ（Ｖｉ，Ｉｉ）の後に採用される測定点（Ｖｉ＋ｎ，Ｉｉ＋ｎ）と最大測定点Ｄ（Ｖｉ，Ｉｉ）と最大測定点Ｄ（Ｖｉ，Ｉｉ）の直前の測定点（Ｖｉ−１，Ｉｉ−１）とを利用して、最大出力Ｐｍを算出する。
【０１１６】
もし最大測定点Ｄ（Ｖｉ，Ｉｉ）の直後の測定点（Ｖｉ＋１，Ｉｉ＋１）が除去され、その点の後の測定点（Ｖｉ＋２，Ｉｉ＋２）が採用された場合は、最大測定点Ｄ（Ｖｉ，Ｉｉ）の直前の測定点（Ｖｉ−１，Ｉｉ−１）と、最大測定点Ｄ（Ｖｉ，Ｉｉ）と、最大測定点Ｄの２つ後の測定点（Ｖｉ＋２，Ｉｉ＋２）との３点を利用して、電圧を２次変数とするラグランジェの２次補間式を求める。次に、この２次補間式から電流と電圧との積が最大となる電力を最大電力Ｐｍとして算出する。上述の短絡電流Ｉｓｃ、開放電圧Ｖｏｃおよび最大電力Ｐｍは、擬似太陽光が照射された状態、いわゆる明測定で測定された生データから求められる。また本実施例において、最大測定点Ｄ（Ｖｉ，Ｉｉ）よりも前の測定点とは、最大測定点Ｄ（Ｖｉ，Ｉｉ）よりも電流値が高い測定点であり、最大測定点Ｄ（Ｖｉ，Ｉｉ）よりも後の測定点とは、電流値が低い測定点である。
【０１１７】
また前後が逆になってもよい。すなわち最大測定点Ｄ（Ｖｉ，Ｉｉ）よりも前の測定点を、最大測定点Ｄ（Ｖｉ，Ｉｉ）よりも電流値が低い測定点とし、最大測定点Ｄ（Ｖｉ，Ｉｉ）よりも後の測定点を、電流値が高い測定点としてもよい。
【０１１８】
表２は、電気的ノイズが発生している場合の電圧値と電流値との積が最大となる最大測定点Ｄ２（Ｖｉ，Ｉｉ）と、その前後の４つの測定点（Ｖｉ−２，Ｉｉ−２），（Ｖｉ−１，Ｉｉ−１），（Ｖｉ＋１，Ｉｉ＋１），（Ｖｉ＋２，Ｉｉ＋２）と各測定点の差分値とを示す。
【０１１９】
【表２】

【０１２０】
前述に示す表１のように、正常測定時には、測定点の差分値がある程度一定になる。電気的ノイズが発生する場合は、表２に示すように電圧または電流のどちらかの差分値が極端に小さくなるか、または差分の正負が逆転する。
【０１２１】
たとえば、最大測定点Ｄ２（Ｖｉ，Ｉｉ）と最大測定点Ｄ２（Ｖｉ，Ｉｉ）の直後の測定点（Ｖｉ＋１，Ｉｉ＋１）との電圧の差分値が、平均電圧差分値に比べて小さく測定されている。最大測定点Ｄ２（Ｖｉ，Ｉｉ）の直後の測定点（Ｖｉ＋１，Ｉｉ＋１）が、電気的ノイズによって異常な値を示している。本実施の形態の太陽電池セルの検査分類システムは、上述の手順に従って、最大測定点Ｄ２（Ｖｉ，Ｉｉ）の直後の測定点（Ｖｉ＋１，Ｉｉ＋１）を除去し、最大電力Ｐｍを測定することができる。
【０１２２】
図１２は、表２の電圧と電流との関係を示すグラフであり、図１２（１）は、電圧電流特性を示し、図１２（２）は、電圧電力特性を示す。パソコン２８は、電圧電流特性を、表２の電気的ノイズによって異常な値を示した測定点（Ｖｉ＋１，Ｉｉ＋１）を除去して、最大測定点Ｄ２（Ｖｉ，Ｉｉ）の直前の測定点（Ｖｉ−１，Ｉｉ−１）と、最大測定点Ｄ２（Ｖｉ，Ｉｉ）と、最大測定点Ｄの２つ後の測定点（Ｖｉ＋２，Ｉｉ＋２）とを利用して、電圧を２次変数とするラグランジェの２次補間式として求める。
【０１２３】
電気的ノイズが発生していない正常測定時の最大電力は、前述の表１に示すように、２．１５４５Ｗである。また電気的ノイズが発生した場合において、本実施例に示す測定方法で、電気的ノイズによる異常な測定結果を除去した場合の最大電力Ｐｍは、表２および図１２に示すように、２．１５０５Ｗである。
【０１２４】
また正常測定時の最大出力電圧Ｖｐｍは、約０．４８２１Ｖであり、最大出力電流Ｉｐｍは、４．４６８７Ａである。また電気的ノイズが発生した場合において、本実施例に示す測定方法で、電気的ノイズによる異常な測定結果を除去した場合の最大出力電圧Ｖｐｍは、約０．４８２１Ｖであり、最大出力電流Ｉｐｍは、４．４６１１Ａである。このように本実施例に示す算出法を、パソコン２８が行うことによって電気的ノイズが発生した状態でも、正常測定時との誤差を少なくして、測定結果を得ることができる。
【０１２５】
図１３は、擬似太陽光が照射されていない状態での電圧電流特性を示すグラフである。任意の電圧における電流Ｉｄを得る場合は、擬似太陽光を照射する明測定と同レンジの電圧走査を行わず、必要な任意の電圧での測定点を得ることによって任意の電圧における電流Ｉｄを得る。また図１３に示すように必要な任意電圧の前後数点（図１３では２点）の走査を行い、複数の測定点を得て、この複数の測定点から近似曲線を描き、任意の電圧における電流Ｉｄを得てもよい。
【０１２６】
図１４は、ストック部２４を示す正面図である。ストック部２４のバッファ部３１、スライド部３２および一時収納部３３は、水平方向に直線上に並んで配置され、太陽電池セル３０は、バッファ部３１から一時収納部３３にスライドユニット３６によって搬送される。
【０１２７】
具体的には、第１の搬送手段２２によって搬送された太陽電池セル３０は、取り入れ手段３４によって、バッファ部３１に水平状態で積載される。太陽電池セル３０は、バッファ部３１に所定の枚数積載されると、スライドユニット３６によって、スライド部３２を通過し、一時収納部３３に収納される。このように取り入れ手段３４によって、直接一時収納部３３に収納するのでなく、バッファ部とスライドユニット３６を設け、取り入れ手段３４は、第１の搬送手段２２からバッファ部３１に取り出すように構成することによって、スライドユニット３６によって、バッファ部から一時収納部３３に搬送作業を行っている間にも取り入れ手段３４で取り入れ作業を行うことができる。これによって従来作業のように第１の搬送手段２２を一旦停止することが防がれ、稼動率が向上する。
【０１２８】
一時収納部３３は、太陽電池セル３０を水平状態から立位状態に反転する反転手段３７を有し、反転手段３７によって複数の太陽電池セル３０は、立位状態で保持される。
【０１２９】
図１５は、一時収納部３３を示す斜視図である。一時収納部３３は略Ｕ字状に形成され、回転軸５０まわりに９０度回転可能に設けられる。さらに詳しく説明すると、回転軸５０は、スライドユニット３６の延びる方向であるスライド方向に対して垂直に延び、この回転軸５０に平行に一時収納部３３の基部５１が設けられる。また基部５１の両端部から垂直に一対の側部保持部５２が立ち上がる。この一対の側部保持部５２には、内側に収納溝５３がそれぞれ形成される。この一対の収納溝５３は、基部５１から所定の間隔をあけた位置から先端まで延びて形成される。
【０１３０】
収納前には、一時収納部３３は、略Ｕ字状の上部である側部保持部５２の一端をスライド部３２に向けて水平状態に倒れており、この状態でスライドユニット３６によって太陽電池セル３０が挿入され、収納溝５３間に保持される。その後、一時収納部３３が反転することによって、収納溝５３に保持された太陽電池セル３０は立位状態に保持される。このとき、収納溝５３は、基部５１まで形成されていないので太陽電池セル３０は、基部５１から間隔をあけて立位状態に保持される。これによって、収納手段３５による太陽電池セル３０の取り出しがより容易に行える。
【０１３１】
また図１４に示すように一時収納部３３には、一時収納部３３を水平方向に倒す復帰ばね４５が接続される。復帰バネ４５は、引っ張りバネであり、一時収納部３３の側部保持部５２と一時収納部以外の固定した場所に接続される。これによって一時収納部３３が立位状態に保持されるときに、復帰バネ４５の弾性回復力によって一時収納部３３には、水平状態に復帰しようとする力が発生する。
【０１３２】
第２の搬送手段であるスライドユニット３６は、バッファ部３１から一時収納部３３にわたって水平に配置され、横移動ベルト３８を駆動するモータ４２と横移動ベルト３８に固定される乗載台３９とを有し、モータ４２によって乗載台３９は、バッファ部３１から一時収納部３３にわたって進む方向である前方Ａおよび反対に進む方向である後方Ｂに移動可能で、往復移動することができる。
【０１３３】
乗載台３９は、太陽電池セル３０を乗載する乗載部５４、横移動ベルト３８に取り付けられ、乗載部５４を昇降させるシリンダ４０、シリンダ４０に固定され前方Ａ（図１４の左方）に水平に突出する押し棒４１とを有する。
【０１３４】
乗載台３９は、通常はバッファ部３１の下方に待機しており、バッファ部３１に所定枚数の太陽電池セル３０が積載されると、まずシリンダ４０によって乗載部５４を上昇させ、乗載部５４上に太陽電池セル３０を積載する。その後、一時収納部３３に向けて水平移動する。
【０１３５】
乗載台３９が、一時収納部３３に移動することによって、太陽電池セル３０は、一時収納部３３の収納溝５３に挿入される。太陽電池セル３０を挿入した乗載台３９は、一時収納部３３の下方へ下降することによって、複数の太陽電池セル３０を一時収納部３３に配置することができる。
【０１３６】
一時収納部３３の反転手段３７は、一時収納部３３に設けられたギア４４、受け棒４３、および乗載台３９に設けられる押し棒４１を含んで構成される。回転ギア４４は、一時収納部３３の回転軸５０と同軸に固定される。また回転ギア４４に噛合する受け棒ギア６６を一端に有する受け棒４３が、一時収納部３３の下方かつ後方Ｂに突出し、受け棒ギア６６の回転中心まわりに回転可能に支持される。また乗載台３９には、一時収納部３３側に水平に突出して押し棒４１が設けられる。
【０１３７】
乗載台３９は一時収納部３３に太陽電池セル３０を収納したあと、一時収納部３３の下方へ下降する。下降した乗載台３９によって、太陽電池セル３０が前方Ａ（図１４の左方）にさらに移動する。すると押し棒４１が、一時収納部３３の下方に設けられる受け棒４３を押圧し、これによって、受け棒４３は、受け棒ギア６６とともに回転する。受け棒ギア６６は、一時収納部３３の回転ギア４４に噛合しているので、受け棒４３が回転することによって、一時収納部３３は、９０度反転し、立位状態になる。このようにして一時収納部３３に挿入されている太陽電池セル３０は、立位状態となる。
【０１３８】
収納手段である搬送ロボット３５によって一時収納部３３から太陽電池セル３０が取り出されると受け棒４３と押し棒４１が当接した状態の乗載台３９は、さらに下降し、受け棒４３と押し棒４１の当接状態が解除される。当接状態が解除されると、復帰ばね４５によって一時収納部３３は、水平状態に復帰する。また受け棒４３との押圧状態が解除された乗載台３９は、バッファ部３１側に水平に移動し、バッファ部３１下方で待機する。バッファ部３１に積載される太陽電池セル３０が所定の枚数に達したときに、再びバッファ部３１上方へ上昇し、太陽電池セル３０を一時収納部３３に搬送する。
【０１３９】
またスライドユニット３６には、太陽電池セル３０に所定以上の負荷がかかったことを検出する過負荷検出手段４６が設けられる。過負荷検出手段４６は、図１４に示すように過負荷検出部４７、光センサ４８、光発生部５６および過負荷検出ばね４９を有して構成される。
【０１４０】
過負荷検出部４７は、乗載台３９の上部に形成される乗載部５４の後方部に設けられ、乗載部５４を軸として前後に揺動可能に支持されている。過負荷検出ばね４９は、乗載部５４と過負荷検出部４６とを接続している。光発生部５６の光路５７は、太陽電池セル３０を乗載した乗載台３９が水平移動する方向と平行に延び、光センサ４８で受光される。
【０１４１】
また前記過負荷検出部４７には、光路５７が通過する光通過孔５５が形成される。したがって通常は、光が光通過孔５５を通って光センサ４８に到達し、光センサ４８が受光している状態にある。
【０１４２】
スライドユニット３６が移動中に衝突するなどして負荷が作用すると、過負荷検出部４６が傾き、これによって、光通過孔５５が変位し、光路５７が遮蔽される。光路５７が遮蔽されると、光センサ４８が受光せず、スライドユニット３６に過負荷がかかったことを検出することができる。過負荷検出手段４６によってスライドユニット３６に過負荷が加わっていることが検出されると即座に搬送を中止し、太陽電池セル３０の破損を低減することができる。
【０１４３】
前記収納手段である搬送ロボット３５は、反転手段３７によって立てられた複数の薄形板状半導体部品３０を立位状態で保持し、収納部２３へ搬送するハンド５８を有する。本実施の形態では、ハンド５８は、ＸＹＺ方向へ移動可能なロボットハンドである。
【０１４４】
図１６は、ハンド５８を示す正面図である。ハンド５８は、略Ｌ字状に形成される一対の保持部材６１Ａ，６１Ｂを有する。保持部材６１Ａ，６１Ｂは、立位状態にある太陽電池セル３０に平行に配置される側壁５９Ａ，５９Ｂを有し、またこの側壁５９Ａ，５９Ｂの底部に略垂直に連なる底壁６０Ａ，６０Ｂ有する。互いの側壁６０Ａ，６０Ｂは、対向して配置される。
【０１４５】
ハンド５８は、さらにハンド部ばね６３、大シリンダ６４、小シリンダ６５を有して構成される。ハンド部ばね６３は、一対の保持部材６１Ａ，６１Ｂを近接する方向にばね付勢する。一方の保持部材６１Ｂの上部には、大シリンダ６４および小シリンダ６５が設置され、大シリンダ６４によって一方の保持部材６１Ａを大きく、小シリンダ６５によって他方の保持部材６１Ｂを小さく変位動作することができる。この変位動作によって互いの保持部材６１Ａ，６１Ｂを近接および離反させることができる。またハンド部ばね６３によってがたつくことなく保持部材６１Ａ，６１Ｂの変位動作を行うことができる。
【０１４６】
一方の保持部材６１Ａの底壁６０Ａの中央部には、切欠きが形成され、他方の保持部材６１Ｂの底壁６０Ｂは、前記切欠きに挿入可能に形成される。したがって、互いの底壁６０Ａ，６０Ｂが係合して、太陽電池セル３０を乗載するための底面の幅を調整可能に形成する。
【０１４７】
図１７は、収納手段である搬送ロボットのハンド５８の取り入れ動作を示す正面図であり、図１８は、ハンド５８の収納動作を示すフローチャートである。これらの図を参照して、まずハンド５８による取り入れ動作について説明する。
【０１４８】
ステップｂ１では、ハンド５８が、図１７（１）に示すように一時収納部３３に立位状態で保持される太陽電池セル３０の上方に移動する。ステップｂ２では、ハンド５８が、図１７（２）に示すように、保持部材６１Ａ，６１Ｂを大きく離反した状態で下降し、保持部材６１Ａ，６１Ｂの間に太陽電池セル３０を入れる。このとき保持部材６１Ａ，６１Ｂは太陽電池セル３０の両側に配置され、底壁６０は、太陽電池セル３０の下方に配置される。
【０１４９】
ステップｂ３では、図１７（３）に示すようにハンド５８が、水平方向に前方Ａに微動する。複数の太陽電池セル３０は、ハンド５８の側壁５９Ｂに当接し、前後方向のばらつきが整えられ、他方の保持部材６１Ｂの側壁５９Ｂ側に寄せられる。ステップｂ４では、図１７（４）に示すように、大シリンダ６４によって一方の保持部材６１Ａが他方の保持部材６１Ｂに大きく近接し、底部６１Ａ，６１Ｂが係合する。これによって太陽電池セル３０は、互いの保持部材６１Ａ，６１Ｂの側壁５９と底壁６０で囲まれた空間に配置される。このとき一方の保持部材６１Ａと他方の保持部材６１Ｂとの対向する距離は長いので、互いの太陽電池セル３０の間隔は広く保持される。
【０１５０】
ステップｂ５では、図１７（５）に示すようにハンド５８が一旦微上昇する。これによって太陽電池セル３０は、衝撃を受けることなく底壁６０に乗載される。ステップｂ６では、図１７（６）に示すように太陽電池セル３０から持ち上げられた状態で小シリンダ６５によって他方の保持部材６１Ｂが一方の保持部材にさらに微小距離だけ近接する。これによって互いの太陽電池セル３０の間隔が狭くなり、ハンド５８は、太陽電池セル３０が揺動することなく搬送することができる。
【０１５１】
ステップｂ７では、ハンド５８が一時収納部３３から上昇する。次に、ステップｂ８では、ハンド５８が収納部２３の収納位置上方に移動する。
【０１５２】
ハンド５８は、上述のようなハンドリング取り出しを行うことによって、太陽電池セル３０に大きな衝撃を与えることなく、整えた状態で取り出すことができる。これによって太陽電池セル３０を破損することなく確実に収納部２３へ搬送することができる。
【０１５３】
ここで、収納部２３について説明する。
図１９（１）は、収納部２３の形状を示す平面図であり、図１９（２）は、図１２（１）のＸ−Ｘ切断面線で破断した断面図である。
【０１５４】
図１９（２）に示すように収納部２３は、箱状であり、上部に開口７１が形成され、底部両側には弾発性を有する緩衝部材７２が設けられ、底部中央には溝部７３が形成される。また収納部２３の両側壁には、上下方向に延び、太陽電池セル３０を立位状態に保持する複数対の支持部材７２が設けられる。
【０１５５】
図２０は、ハンド５８による収納動作を示す平面図であり、図２１は、図２０の断面図である。再び図１８のフローチャートおよび図２０、図２１を参照して、搬送ロボット３５による太陽電池セル３０の収納動作について説明する。
【０１５６】
ステップｂ９では、図２０（１）、図２１（１）に示すように太陽電池セル３０を乗載したハンド５８が、収納部２３の上方から下降する。これによってハンド５８に保持された太陽電池セル３０が、一対の支持部材７２間に挿入される。このように、支持部材７２は、両側から突出して設けられ、中央には設けられないので、ハンド５８の可動範囲が充分に確保される。
【０１５７】
ステップｂ１０では、図２０（２）に示すように保持部材６１Ａ，６１Ｂの間隔を少し広げて、ハンド５８を緩く解放（小アンチャック）する。これによって、各太陽電池セル３０間の間隔が広がる。ステップｂ１１では、図２１（３）に示すように、ハンド５８がさらに下方へ微動する。これによって、太陽電池セル３０が収納部２３底部の底部の緩衝部材７２上に乗載され、太陽電池セル３０を収納することができる。
【０１５８】
ステップｂ１２では、図２０（４）に示すように、大シリンダ６４によって一方の保持部材６１Ａの間隔を大きく退避させ、ハンド５８を解放（大アンチャック）する。これによって太陽電池セル３０は、確実に収納部２３に収納される。ステップｂ１３では、図２０（５）に示すように、保持部材６１Ｂが太陽電池セル３０に接触しない位置に配置される。ステップｂ１４では、図２１（６）に示すように、ハンド５８は、上昇して収納部２３から離脱する。
【０１５９】
したがって、ハンド５８は、上述のようなハンドリングを行うことによって、太陽電池セル３０に大きな衝撃を与えることなく、整えた状態で確実に収納部２３に収納することができる。また収納部２３および仕切部材７２によって、太陽電池セル３０を保持することができ、かつ充分な隙間が形成されるので、ハンド５８の稼働範囲が充分に確保され、太陽電池セル３０の収納および取り出しが高速で行えるとともに、太陽電池セル３０にハンド５８が接触することによる破損が低減される。
【０１６０】
収納部２３は、次工程に太陽電池セル３０を搬送するための箱として用いられる。本実施の形態では、収納部２３の材質は、発砲ポリプロピレン素材からなっている。また図２１に示すように収納部２３には、上部に取り付けられる蓋７４を有し、蓋７４の内側には、弾発性を有するスポンジ材７５が取り付けられる。これによって、蓋７４を閉めることによって、スポンジ材７４が太陽電池セル３０を軽く押さえて太陽電池セル３０を固定することができる。したがって、前記蓋７４、収納部２３の形状および、収納部２３の材質によって、搬送時の衝撃を吸収して太陽電池セル３０の破損を防止して搬送することができる。
【０１６１】
搬送ロボット３５は、図１６に示すように、アーム部７０に、下降時に負荷がかかったときには、下降動作を即座に停止させる機構を有している。具体的には、過負荷センサ６７、ガイド６８、アーム部ばね６９を有して構成される。過負荷センサ６７は、アーム部７０の上下方向の加速度を検出する。また過負荷センサ６７は、ガイド６８に導かれて上下方向に変位し、より検出感度を高めるためにアーム部ばね６９によってハンド５８と上下方向に接合されている。
【０１６２】
ハンド５８下降時に、たとえば収納部２３の側壁に衝突するなどの負荷がかかったときには、アーム部７０全体が負荷によって上昇するため、アーム部７０に取り付けられた過負荷センサ６７が過負荷を検出して、即座に搬送ロボットを停止させることができる。
【０１６３】
検査装置２１から第１の搬送手段２２へ移し換える装置は、ウォーキング搬送を行う。ウォーキング搬送装置は、検査装置２１側に設けられる前ステージ８１と第１の搬送手段２２側に設けられる後ステージ８２と、太陽電池セル３０を乗載し、前ステージ８１から後ステージへ８２搬送する搬送ステージ８３とを備えている。
【０１６４】
図２２は、搬送ステージ８３のウォーキング搬送動作を示す概略図である。搬送ステージ８３は、図２２（１）、図２２（２）に示すように前ステージ８１の下から上昇することによって前ステージ上８１から搬送ステージ８３上に太陽電池セル３０を移し換え、図２２（３）に示すように、前ステージ８１上から後ステージ８２上へ移動する。
【０１６５】
次に搬送ステージ８３が、図２２（４）に示すように後ステージ８２の上方から下方に、下降することによって、搬送ステージ８３上から後ステージ８２上に太陽電池セル３０を移し換える。
【０１６６】
その後搬送ステージは、図２２（５）に示すように後ステージ８２の下方から前ステージ８１の下方に移動するとき、前ステージ８１側へ移動するにつれて下方に傾斜するように移動する。
【０１６７】
すなわち搬送ステージ８３が後ステージ８２の下方から前ステージ８１の下方に移動するときに、前ステージ８１側に移動するにつれて下方に傾斜するように移動するので、図３５で説明した従来技術のように後ステージ８２の下方に移動して前ステージ８１の下方に移動するときに比べて、搬送ステージ８３の移動する距離が短くなり、動作時間を短縮することができる。このようなウォーキング搬送装置は、上記以外に、例えば前工程から搬送手段によって搬送されてきた太陽電池セル３０を検査装置２１に移し換えるとき、またはバッファ部３１から一時収納部３３に搬送する第２の搬送手段などに適用することができる。
【０１６８】
本実施の形態の検査分類システムに従えば、パソコン２８によって莫大なデータ量を有する装置情報を容易に管理することができる。また装置情報を伝達するときに、テスタを介しないので、装置情報の転送速度を向上させることができる。
【０１６９】
またストック部２４を設けることによって、連続して円滑に、収納部２３に太陽電池セルを搬送することができる。また収納部２３が通い箱となるので、従来のように、収納部２３から通い箱に太陽電池セルを入れ換える作業を省略することができる。これによって入れ換え作業に費やす時間を省略し、単位時間あたりに検査分類することができる太陽電池セルを増加することができる。
【０１７０】
また本実施例に示す測定方法を行うことによって、電気的ノイズが発生した状態でも、正常測定時との誤差を少なくして、信頼性の高い測定結果を得ることができる。
【０１７１】
また本発明の薄形板状半導体部品は、矩形板状の太陽電池セルに限らず、円板上であってもよく、複数の電気特性を持つ薄形板状の半導体部品であればよい。また近似方法も最小二乗法またはラグランジュの２次補間式以外の他の近似式または補間式を用いてもよい。
【０１７２】
また本発明の薄形板状半導体部品は、矩形板状の太陽電池セル３０だけに限らず、円板状の半導体ウエハであってもよい。またこのような上述の各構成は、本発明の例示に過ぎず、発明の範囲内において構成を変更することができる。
【０１７３】
【発明の効果】
以上のように本発明によれば、薄形板状半導体部品を収納部に収納する収納手段にかかわらず、測定手段から薄形板状半導体部品を取り出すことができる。したがって収納手段によって薄形板状半導体部品の収納が行われている場合においても、測定手段から薄形板状半導体部品の取り出しを行うことができる。したがって搬送を一旦停止することなく、薄形板状半導体部品の搬送を連続して、円滑に行うことができる。これによって検査分類システムの単位時間に検査分類することができる薄形板状半導体部品の数を増やし、検査分類速度を向上することができる。
またストック部に保持される複数の薄形板状半導体部品は、複数枚まとめられて収納部に収納される。したがって一度の搬送動作によって複数枚の薄形板状半導体部品を収納部に同時に搬送することができ、単位時間あたりの搬送量を増加させることができる。またストック部が保持する薄形板状半導体部品が所定枚数を超えた場合に収納手段が搬送するので、一度に搬送する薄形板状半導体部品の枚数を一定にすることができ、収納部への収納を容易に行うことができる。
【０１８４】
また本発明によれば、搬送部から取り入れ手段によって薄形板状半導体部品を、ストック部のバッファ部に一時的に収納することができるので、収納手段によって、積層状態の複数の薄形板状半導体部品を一時収納部から収納部にまとめて収納する動作と、取り出し手段によって、搬送部から薄形板状半導体部品を一枚ずつ取り出して、バッファ部に収容する取り出し動作とを同時に行うことができる。これによって薄形板状半導体部品を一次収納部から収納部に収納する動作にかかわらず、搬送部から薄形板状半導体部品を取り出してバッファ部に収納することができる。したがって収納手段および取り入れ手段を停止させることなく、薄形板状半導体部品を収納部に収納することができ、装置の稼働率を向上することができる。
【０１８５】
さらにストック部が、バッファ部と一時収納部とを有し、バッファ部から一時収納部に第２の搬送手段によって搬送する。したがって取り入れ手段が薄形板状半導体部品をストック部に取り入れるバッファ部の位置と、収納手段が薄形板状半導体部品をストック部から取り出す一時収納部の位置とを異なる位置に設けることができるので、収納手段と取り入れ手段とが接触することを防止することができる。
【０１８６】
これによって薄形板状半導体部品の搬送手段による搬送を連続して円滑に行うことができる。
【０１８７】
また本発明によれば、水平方向に複数積層して、収納部に薄形板状半導体部品を収納することで、上下方向に複数積層して収納する場合に比べて、接触する面積が少なく、厚み方向側の面が損傷する可能性を少なくすることができるので、薄形板状半導体部品が損傷することを防止することができる。また、薄形板状半導体部品を収納部へ搬送するハンドは複数同時に搬送するので、収納動作時間を短縮することができ、装置の稼動率を向上することができる。またハンドは、立位状態に収納される薄形板状半導体部品を、立位状態に保持して搬送するので複雑な動作を必要とせず、容易かつ確実に収納部に搬送することができ、短時間かつ容易に収納部に薄形板状半導体部品を立位状態で収納部に納めることができる。また一時収納部の有する反転手段によって、薄形板状半導体部品を立位状態に保持することができる。したがって収納手段に、薄形板状半導体部品を反転させる機構を設ける必要がない。また薄形板状半導体部品を反転する手段と、搬送する手段とが分かれているので、より確実に薄形板状半導体部品を搬送および反転することができる。
また本発明によれば、乗載台に乗載される複数の薄形板状半導体部品をＵ字状部材に収容した状態で、乗載台が反転手段の受け棒を変位駆動することで、Ｕ字状部材が角変位して、Ｕ字状部材が立位状態となる。このような構成によって、乗載台の移動によって反転動作を実現することができる。
【０１８８】
また本発明によれば、バッファ部から一時収納部へ搬送するときに過負荷検出手段が設けられるので、過負荷時には、即座に第２の搬送手段を停止し、搬送時の薄形板状半導体部品の破損を防止することができる。
【０１９１】
また本発明によれば、薄形板状半導体部品を一対の保持部材に立位状態で乗載して、バッファ部から収納部に搬送するので、薄形板状半導体部品の表面を損傷することなく搬送することができる。また多数の薄形板状半導体部品を積載して搬送する場合に比べて一つの薄形板状半導体部品にかかる負荷を少なくして搬送することができる。したがって、薄形板状半導体部品を損傷することなく搬送することができる。
【０１９２】
また本発明によれば、一対の保持部材のそれぞれの側壁の間を広くすることで、大きな衝撃を与えることなく、複数の薄形板状半導体部品をハンドに乗載させることができる。また乗載後に一対の保持部材のそれぞれの側壁の間を狭くすることで、整えた状態で取り出して、薄形板状半導体部品が揺動することなく、搬送することができる。これによって薄形板状半導体部品の一時収納部からの取り出しを容易に行うことができる。また薄形板状半導体部品にハンドが接触することによる破損が低減される。
【０１９４】
また本発明によれば、電圧軸Ｖまたは電流軸Ｉをまたいで、両側に位置する３つ以上であって、かつ前記軸Ｉ，Ｖの両側の数が均等な複数の測定点を用いて、開放電圧Ｖｏｃおよび短絡電流Ｉｓｃを求めるので、測定結果を補正して正確な電圧電流特性を得ることができる。また電気的ノイズなどによって異常な測定結果である測定点が得られても、３つ以上の複数の測定点を利用するので、異常な測定点を除いて正確な電圧電流特性を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の一形態である薄形板状半導体部品の検査分類システム２０を示すブロック図である。
【図２】検査分類システム２０の搬送動作を示すフローチャートである。
【図３】検査分類システム２０の主要な部分を示す斜視図である。
【図４】検査分類システムに搬送される太陽電池セル３０の動きを示すフローチャートである。
【図５】検査装置２１の構成を示すブロック図である。
【図６】テスタ２７の測定回路を簡略化して示す回路図である。
【図７】テスタ２７の測定回路を簡略化して示す他の回路図である。
【図８】太陽電池セル３０のランク判定の流れを示すブロック図である。
【図９】検査装置２１の太陽電池セル３０の検査の流れを示す図である。
【図１０】テスタ２７によって得られた測定点を基にした、太陽電池セル３０の電圧電流特性を示すグラフである。
【図１１】パソコン２８が最大出力Ｐｍを算出する手順を示すフローチャートである。
【図１２】 表２の電圧と電流との関係を示すグラフである。
【図１３】擬似太陽光が照射されていない状態での電圧電流特性を示すグラフである。
【図１４】ストック部２４を示す正面図である。
【図１５】一時収納部３３を示す斜視図である。
【図１６】ハンド５８を示す正面図である。
【図１７】搬送ロボットのハンド５８の取り出し動作を示す正面図である。
【図１８】ハンド５８の収納動作を示すフローチャートである。
【図１９】収納部２３の形状を示す平面図である。
【図２０】ハンド５８による収納動作を示す平面図である。
【図２１】図２０の断面図である。
【図２２】搬送ステージ８３のウォーキング搬送動作を示す概略図である。
【図２３】従来の技術の太陽電池セル１０の検査分類システム１を示す概略図である。
【図２４】収納部６に収納される太陽電池セル１０の動作を示すフローチャートである。
【図２５】太陽電池セル１０の動きを説明する検査分類システム１の斜視図である。
【図２６】従来の検査分類システムにおいて搬送される太陽電池セル１０の動きを示すフローチャートである。
【図２７】従来の通い箱７を示す平面図である。
【図２８】従来のランク判定の流れを示すブロック図である。
【図２９】テスタ１０１からの生データ１０５に基づいて算出した、電圧電流特性を示すグラフである。
【図３０】パソコン１０２が最大出力Ｐｍを算出する手順を示すフローチャートである。
【図３１】テスタ１０１によって得られた太陽電池セルの電圧電流特性を示すグラフである。
【図３２】表１の電圧と電流との関係を示すグラフである。
【図３３】擬似太陽光が照射されていない状態での電圧電流特性を示すグラフである。
【符号の説明】
２０ 薄形板状半導体部品の検査分類システム
２１ 検査装置
２２ 第１の搬送手段
２３ 収納部
２４ ストック部
２５ 搬送部
３１ バッファ部
３２ スライド部
３３ 一時収納部
３４ 取り入れ手段
３５ 収納手段
３６ スライドユニット
３７ 反転手段
３００ 分類装置[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to an inspection classification system for inspecting and classifying thin plate-like semiconductor components such as solar cells or semiconductor wafers.
[0002]
[Prior art]
FIG. 23 is a schematic diagram showing an inspection classification system 1 for solar cells 10 according to the prior art. The thin plate-like semiconductor component is, for example, a solar battery cell 10. The inspection classification system 1 includes an inspection unit 3, a conveyance unit 4, a conveyance robot 5, and a plurality of storage units 6. The solar battery cell 10 is first transported to the inspection means 3 and subjected to characteristic inspection such as voltage-current characteristics. The solar cells 10 that have been inspected are sent to the transport means 4 and sequentially transported along the transport path. Next, the solar battery cell 10 is taken out from the transport means 4 by the transport robot 5 and stored in the storage unit 6. A plurality of storage units 6 are stacked in a state where the solar cells 10 are horizontally stacked.
[0003]
FIG. 24 is a flowchart showing the operation of the solar battery cell 10 stored in the storage unit 6. In step c0, the storage unit 6 stands by in a state where the solar battery cell 10 can be stored. When the solar battery cell 10 is stored in the storage unit 6, the process proceeds to step c1. In step c1, the storage unit 6 counts the total number Nx of the solar cells 10 loaded in the storage unit 6 using a counter, and the process proceeds to step c2.
[0004]
In step c2, the storage unit 6 compares the total number Nx stored and the predetermined number Const to determine whether or not the total number Nx exceeds a predetermined constant number Const. When the total number Nx does not exceed the predetermined number Const, the process returns to step c0, and the storage unit 6 enters a stacking standby state. If the total number Nx exceeds the predetermined constant number Const, the process proceeds to step c3.
[0005]
In step c3, the storage unit 6 sounds a notification buzzer or turns on the lamp to notify the operator that the total number Nx has exceeded a predetermined constant number Const, and proceeds to step c4. In step c4, the operator manually takes out the solar cells 10 loaded in the storage unit 6 and repacks them in a return box. When such removal and packing operations are completed, the storage operation of the solar battery cell 10 in the storage unit 6 is completed. Next, the storage unit 6 proceeds to step c0 and again enters a standby state.
[0006]
FIG. 25 is a perspective view of the inspection classification system 1 for explaining the movement of the solar battery cell 10. The solar cells 10 that move along the transport means 4 in a line are taken out from the transport means 4 by the transport robot 5 and stored in the storage units 6 for each rank according to the measurement result of the inspection means 3. For example, the solar cell 10 determined as the rank A by the inspection unit 3 is stored in the storage unit 6A.
[0007]
In addition, the transfer robot 5 transfers the solar cells 10 one by one to the storage unit 6, and arranges them in the storage unit 6 by stacking them horizontally in order. Thus, the solar cells 10 are classified according to the measurement results of the inspection means 3 and stored in the storage units 6. When a certain number of solar cells 10 are stored in the storage unit 6, an operation of taking out the solar cells 10 stored in the storage unit 6 is performed.
[0008]
Moreover, when the photovoltaic cell 10 accommodated in the accommodating part 6 is conveyed by the next process, it is replaced again by the return box 7 suitable for a product shape. A plurality of solar cells 10 are manually bundled and filled with a sponge material on the front and back. In the next process, the return box 7 is conveyed together.
[0009]
FIG. 26 is a flowchart showing the movement of the solar battery cell 10 conveyed in the conventional inspection classification system 1. In step d0, the solar cell 10 that has completed the previous process of the inspection classification process is put into the inspection classification system 1 and proceeds to step d1.
[0010]
In step d1, the solar battery cell 10 is conveyed to the inspection means 3, and the rank of the solar battery cell 10 is determined. When the rank is determined, the process proceeds to step d2. In step d2, the solar cell 10 is stored in each storage unit 6 based on the rank obtained by the inspection means 3, and the process proceeds to step d3.
[0011]
In step d3, when the number Nx of the solar cells 10 stored in the storage unit 6 exceeds a predetermined number Const, the operator manually removes the solar cells 10 from the storage unit 6 and removes the solar cells 10 from the product. It is stored and packed in a returnable box 7 that matches the shape. Next, it progresses to step d4 and the several photovoltaic cell 10 accommodated in the return box 7 is conveyed with the return box 7 to the next process. In step d4, the conveyance of the solar battery cell 10 in the inspection classification system ends.
[0012]
27 (1) is a plan view showing a conventional returnable box 7, and FIG. 27 (2) is a cross-sectional view taken along the cutting plane line XVI-XVI of FIG. 27 (1). The return box 7 does not have an upper lid and has an opening in the upper part and is formed in a box shape. In addition, a partition plate 8 that divides the inside of the return box 7 is formed so that a plurality of solar cells 10 can be stored in a standing state for each predetermined number of sheets. The height of the partition plate 8 is formed so as to extend from the bottom of the return box 7 to the top of the standing solar cell 10 stored in the return box 7.
[0013]
FIG. 28 is a block diagram showing the flow of conventional rank determination. A conventional inspection classification system 1 includes a CPU 100 (Central Processing Unit), which is a sequencer that controls the entire inspection classification system, and carries instructions for carrying and inspecting solar cells 10, and a tester 101 and a tester that measure voltage-current characteristics. A personal computer 102 (hereinafter referred to as a personal computer) that classifies each rank based on the measurement result 101 is provided.
[0014]
The CPU 100 gives a measurement start command 103 directly to the tester 101. The tester 101 to which the measurement start instruction 103 is given performs measurement 104 of the voltage-current characteristic of the solar battery cell 10. The tester 101 gives the raw data 105 obtained by the measurement to the personal computer 102 for data collection after the measurement is performed. The personal computer 102 calculates 106 the measured value based on the raw data 105 and determines 107 the rank. The personal computer 102 gives the rank determination result to the tester 101.
[0015]
When the tester 101 is given a rank determination result from the personal computer 102, the tester 101 informs the CPU 100 of the given rank determination result. Based on the given rank determination result, the CPU 100 gives a command to the transfer robot so that the solar cells 10 are classified into ranks and transferred to the storage unit 6.
[0016]
FIG. 29 is a graph showing the voltage-current characteristics calculated based on the raw data 105 from the tester 101. The voltage-current characteristics of the solar battery cell 10 are measured based on the 4-terminal method defined in the output measurement method (JIS C 8913) of a crystalline solar battery cell of Japanese Industrial Standard (hereinafter referred to as JIS). 29, the short-circuit current Isc, the open-circuit voltage Voc, and the maximum power Pm indicating the performance of the solar battery cell 10 can be obtained. In the graph of voltage-current characteristics, the vertical axis is the current axis I, and the horizontal axis is the voltage axis V. According to JIS regulations, it is stipulated that 30 or more measurement points are plotted on a graph showing the voltage-current characteristics.
[0017]
The tester 101 measures the solar battery cell 10 so as to follow the above-mentioned rule. The personal computer 102 obtains a linear equation passing through the two measurement points A and B located on both sides of the current axis I from the raw data from the tester 101, and the current at the intersection C between the linear equation and the current axis I is short-circuited. Calculated as Isc. Further, the personal computer 102 obtains a linear equation passing through two measurement points E and F located on both sides of the voltage axis V from the raw data from the tester 101, and releases the voltage at the intersection G of the linear equation and the voltage axis V. Calculated as voltage Voc.
[0018]
FIG. 30 is a flowchart showing a procedure by which the personal computer 102 calculates the maximum output Pm. In step e1, the personal computer 102 acquires a plurality of measurement points from the raw data measured by the tester 101, and proceeds to step e2. In step e2, the personal computer 102 obtains the maximum measurement point D (Vi, Ii) that maximizes the product of the current and the voltage from the plurality of measurement points, and proceeds to step e3.
[0019]
In step e3, the personal computer 102 sets the voltage to the secondary variable for the three points (Vi-1, Ii-1), (Vi, Ii), (Vi + 1, Ii + 1) before and after the maximum measurement point D (Vi, Ii). Lagrange's quadratic interpolation formula is obtained. Next, the power that maximizes the product of the current and the voltage is calculated as the maximum power Pm from this quadratic interpolation formula. Such short-circuit current Isc, open circuit voltage Voc, and maximum power Pm are obtained from raw data measured in a state in which simulated sunlight is irradiated, that is, so-called bright measurement. Even in an actual production line, the method for obtaining the short-circuit current Isc, the open-circuit voltage Voc and the maximum power Pm as described above is performed by the inspection device.
[0020]
FIG. 31 is a graph showing voltage-current characteristics of the solar battery cell 10 obtained by the tester 101. As for the coordinates of the maximum power Pm at which the product of the voltage value and the current value estimated from FIG. 31 is maximum, the maximum output voltage Vpm is about 0.480 V, and the maximum output current Ipm is about 4.43 A. . Therefore, the maximum power Pm that can be read from the graph of FIG. 31 is about 2.12 W. The following Table 1 shows the maximum measurement point D (Vi, Ii) where the product of the voltage value and the current value is the maximum among the measurement points of the graph shown in FIG. 31, and the measurement points before and after (Vi-1, Ii-1), (Vi + 1, Ii + 1).
[0021]
[Table 1]

[0022]
32 is a graph showing the relationship between the voltage and current in Table 1. FIG. 32 (1) shows the voltage-current characteristic, and FIG. 32 (2) shows the voltage-power characteristic. The maximum power Pm is obtained by calculating from the measurement points (Vi-1, Ii-1), (Vi, Ii), (Vi + 1, Ii + 1) shown in Table 1 using a Lagrangian quadratic interpolation formula. When the measurement points in Table 1 are calculated based on Lagrange's quadratic interpolation formula, the maximum output voltage Vpm is 0.4821 V and the maximum output current Ipm is 4.4687A. Therefore, the maximum power Pm is 2.1545W.
[0023]
FIG. 33 is a graph showing voltage-current characteristics in a state where pseudo-sunlight is not irradiated. In the state where the simulated sunlight is not irradiated, so-called dark measurement, voltage scanning in the same range as that of the bright measurement is performed, and a measurement point is obtained as a measurement result. After the tester 101 performs dark measurement and obtains a plurality of measurement points, the personal computer 102 calculates a current Id at an arbitrary voltage.
[0024]
[Problems to be solved by the invention]
In the above-described conventional apparatus, when a predetermined number of solar cells 10 are accumulated in the storage unit 6, the operation of replacing the accumulated solar cells 10 must be performed manually. When this operation is performed, the transfer robot 5 cannot transfer the solar cells 10 to the storage unit 6, and the solar cells 10 to be stored in the storage unit 6 must wait next. That is, it is necessary to stop the conveying means 4 until the replacement work of the solar battery cells 10 is completed. There is a problem that the operation rate of the inspection classification work is lowered by stopping the conveying means 4.
[0025]
Moreover, in order to convey the photovoltaic cell 10 accommodated in the accommodating part 6 to the next process, it is necessary to manually bundle a plurality of sheets again in the return box 7 and pack and replace the front and back with a sponge material. Therefore, there is a problem that the number of processes required until the next process is increased and the working time becomes long.
[0026]
Accordingly, an object of the present invention is to reduce the time required for storing a thin plate-shaped semiconductor component in each storage unit based on the measurement result, and to reduce the time required for taking out and replacing the stored thin plate-shaped semiconductor component. The object is to provide an inspection and classification system for thin plate-like semiconductor components that shortens and improves the operation rate.
[0027]
[Means for Solving the Problems]
  According to the present invention, an inspection apparatus for inspecting a thin plate-like semiconductor component to determine a rank, and classifying and storing the thin plate-like semiconductor component in a corresponding storage unit based on the rank determined by the inspection apparatus. An inspection and classification system for a thin plate-like semiconductor component having a classification device, and a control device that controls the inspection device and the classification device in an integrated manner,
  SaidThe inspection apparatus includes a measuring unit that measures the thin plate-like semiconductor component, and a determination unit that determines the rank based on the measurement result,
  SaidClassification device
    Each stock part that is provided for each storage part and can hold a plurality of thin plate-like semiconductor components before storage in a stacked state;
    Intake means for taking the thin plate-like semiconductor parts after measurement one by one into the stock portion corresponding to the rank determined by the inspection device,
    A thin plate-like semiconductor in which a plurality of thin plate-like semiconductor components stacked and held in each stock portion are stored in a corresponding storage portion in a state where a plurality of thin plate-like semiconductor components are stacked, and the stock portion holds the stack. When the number of parts exceeds a predetermined number, a plurality of stacked thin plate-like semiconductor parts are stored together in a stacked state in a corresponding storage unit.OneStorage means;
    A transport unit for temporarily holding the thin plate-like semiconductor component after inspection;
    First transport means for sequentially transporting from the inspection device to the transport section,
  The stock part is
    A buffer unit that is provided for each storage unit, and holds the thin plate-like semiconductor components before being stored one by one by the intake means in a stacked state; and
    A temporary storage unit that is provided between the buffer unit and the storage unit and temporarily stores a plurality of thin plate-like semiconductor components before storage in a stacked state;
    Second transport means for transporting a plurality of thin plate-shaped semiconductor components from a buffer unit to a temporary storage unit in a state where a plurality of thin plate-shaped semiconductor components are stacked in a state of being stacked, a buffer unit, a temporary storage unit, A mounting table provided with a mounting part that can be mounted in a state where a plurality of thin plate-like semiconductor components are stacked in the vertical direction, and a direction that travels from the buffer part to the temporary storage part, and A second conveying means having a motor for moving the mounting table in the opposite direction,
  The storage unit stores a thin plate-like semiconductor component in a state of being stacked in a horizontal direction,
  The storage means stores the thin plate-like semiconductor components from the temporary storage portion to the storage portion, holds the plurality of thin plate-like semiconductor components raised by the reversing means in an upright state, and transports them to the storage portion. , Have a robot hand that can move in the XYZ direction,
  The temporary storage unit is
    A U-shaped member having a base extending along a predetermined rotation axis and side holding parts that rise vertically from both ends of the base, and is formed so as to be angularly displaceable around the rotation axis. A storage groove into which a plurality of stacked thin plate-like semiconductor components can be inserted is formed in the inner part of the holding portion, and a plurality of thin plate shapes inserted into the storage groove by rotating around the rotation axis A U-shaped member capable of switching the posture of the semiconductor component between a horizontal state and a standing state;
    Reversing means for reversing a plurality of thin plate-like semiconductor components stacked in the vertical direction transported by the second transporting means into a state of being stacked in a plurality of horizontal directions;
      A rotation gear arranged coaxially with the rotation axis of the U-shaped member and fixed to the U-shaped member;
      A receiving rod gear that meshes with the rotating gear at one end, is supported rotatably around the axis of the receiving rod gear, and is angularly driven around the axis of the receiving rod gear by a displacement-driven mount. Reversing means havingAn inspection and classification system for thin plate-like semiconductor components.
[0028]
  According to the present invention, the thin plate-like semiconductor component after measurement is taken into the stock part from the measurement means by the taking means, and temporarily held in the stock part before being housed in the housing part. Thin plate-like semiconductor components held in the stock partConsists of one transfer robotIt is stored in the storage section by the storage means. As a result, the intake means and the storage means can operate independently and simultaneously.
[0029]
Therefore, even when the thin plate-like semiconductor component stored in the storage means exceeds the predetermined number and is taken out from the storage portion, the intake means can take out the thin plate-like semiconductor component from the inspection device and take it into the stock portion. it can. Accordingly, even when the thin plate-like semiconductor component is transported and the thin plate-like semiconductor housed in the housing portion is replaced, it is not necessary to stop the taking-in means, and the inspection classification speed of the inspection classification system can be improved.
[0030]
In addition, since the taking-in means conveys a single thin plate-like semiconductor component, the thin plate-like semiconductor component can be reliably conveyed as compared with the case of carrying a plurality of sheets at the same time. Can be transported to the stock section.
[0031]
  The thin plate-like semiconductor component is held in the stock portion for each rank. Accordingly, since the thin plate-like semiconductor components taken out from the inspection apparatus are dispersed and held in each stock part, the operation speed of the storage means transported from the stock part to the storage part can be made lower than that of the take-out means. . Since the storage means operates at a low speed, it is possible to eliminate a gripping failure and easily store the storage means in a storage unit that requires accurate positioning. In addition, the plurality of thin plate-like semiconductor components are simultaneously transferred by the storage means, so that the thin plate-like semiconductor components can be stored in the storage portion without lowering the operating rate.
  The stock section is held in a state where a plurality of thin plate-like semiconductor components are stacked. The storage means collectively transports the plurality of laminated thin plate-like semiconductor components held in the stock and stores them in the storage section. Therefore, a plurality of thin plate-like semiconductor components can be simultaneously transported to the storage portion by a single transport operation, and the transport amount per unit time can be increased. In addition, since the storage means transports when the number of thin plate-shaped semiconductor components held by the stock section exceeds a predetermined number, the number of thin plate-shaped semiconductor components transported at one time can be made constant, and Can be easily stored.
[0055]
  AlsoThe thin plate-like semiconductor component can be temporarily stored in the buffer part and the temporary storage part of the stock part, and unlike the taking-in means and the storage means, by the second transport means provided for each stock part, A thin plate-shaped semiconductor component in a stacked state can be conveyed from the buffer unit to the temporary storage unit. Accordingly, the storage means stores a plurality of thin plate-like semiconductor components in a stacked state from the temporary storage portion into the storage portion, and the take-out means allows one sheet of the thin plate-like semiconductor components from the transfer portion. It is possible to simultaneously perform the take-out operation of taking out and storing in the buffer unit. As a result, regardless of the operation of storing the thin plate semiconductor component from the temporary storage unit into the storage unit, the thin plate semiconductor component can be taken out from the transport unit and stored in the buffer unit. Therefore, the thin plate-like semiconductor component can be stored in the storage portion without stopping the storage means and the intake means, and the operating rate of the apparatus can be improved.
[0056]
  AlsoThe stock section has a buffer section and a temporary storage section, and is transported from the buffer section to the temporary storage section by the second transport means. Accordingly, the position of the buffer portion where the taking-in means takes the thin plate-shaped semiconductor component into the stock portion and the position of the temporary housing portion where the housing means takes out the thin-plate semiconductor component from the stock portion can be provided at different positions. It is possible to prevent the storage means and the intake means from contacting each other.
[0058]
  AlsoSince the thin plate-like semiconductor component is stored in the storage portion in the standing position, the contact area of the thin plate-like semiconductor component is small compared to the case where the thin plate-like semiconductor component is stacked and stored in the lying state, The possibility of damage to the component surface can be reduced. Also transports thin plate-like semiconductor components to the storage unitRobot that can move in XYZ directionsHand is,MultipleThin plate semiconductor partsSince it is transported simultaneously, the storage operation time can be shortened. AlsorobotSince the hand holds and conveys the thin plate-like semiconductor component housed in the standing position, it can be easily and reliably transported to the housing section without requiring a complicated operation. Further, the thin plate-like semiconductor component can be held in the standing state by the reversing means of the temporary storage unit. Therefore, it is not necessary to provide a mechanism for reversing the thin plate-like semiconductor component in the storage means..
  AlsoIn a state where a plurality of thin plate-like semiconductor components mounted on the mounting table are accommodated in the U-shaped member, the mounting table drives the receiving rod of the reversing means to displace the U-shaped member. Displacement causes the U-shaped member to stand. With such a configuration, the reversing operation can be realized by moving the mounting table.
[0059]
In the invention, it is preferable that the second conveying means is provided with an overload detecting means for detecting that a predetermined load or more is applied to the thin plate-like semiconductor component.
[0060]
According to the present invention, since the overload detection means is provided when transporting from the buffer section to the temporary storage section, the second transport means can be immediately stopped when an abnormal load occurs during transport. .
[0065]
  Further, according to the present invention, the hand includes a pair of holding members each having a side wall disposed in parallel to the thin plate-like semiconductor component in an upright state and a bottom wall that extends substantially perpendicular to the bottom of the side wall. , This holding member is placed on both sides of the thin plate-like semiconductor component in the standing position and close to each otherThinBy placing the bottom wall under the plate-like semiconductor component and raising the hand,Multiple stacked horizontallyThe thin plate-like semiconductor component is conveyed while being held in an upright position.
[0066]
According to the present invention, a thin plate-like semiconductor component can be mounted on a pair of holding members in a standing state and taken out, and transported without damaging the surface of the thin plate-like semiconductor component. Can do. In addition, since the thin plate-shaped semiconductor components are mounted and transported, the thin plate-shaped semiconductor components are not loaded during transport compared to the case of sandwiching and transporting the thin plate-shaped semiconductor components. Damage to the semiconductor component can be prevented.
[0067]
  The present invention also providesThe hand controlled by the control means is upward in a state where a plurality of thin plate-like semiconductor components stored in the temporary storage unit are disposed between the side walls of the pair of holding members and above the bottom wall. And then each thin plate-like semiconductor component is placed on the bottom walls of the pair of holding members,
  Each thin plate-shaped semiconductor component is transported toward the storage portion with the side walls of the pair of holding members being close to each other.It is characterized by that.
[0068]
  According to the present invention,By widening the space between the side walls of the pair of holding members, a plurality of thin plate-like semiconductor components can be mounted on the hand without giving a large impact. Further, by narrowing the space between the respective side walls of the pair of holding members after mounting, the thin plate-shaped semiconductor component can be transported without being shaken by being taken out in an arranged state.
[0071]
  The present invention also providesThe thin plate semiconductor component is a solar cell,
  The measurement means measures the voltage-current characteristics of the solar battery cell, and the measurement result is a plurality of measurements across the voltage axis V, three or more located on both sides, and the number of both sides of the voltage axis V being equal. Get points,
  The determination means obtains an approximate line of the voltage-current characteristic based on the three or more measurement points, and sets an intersection of the approximate line and the voltage axis V as an open circuit voltage value Voc.It is characterized by that.
[0072]
  According to the present inventionThe open circuit voltage Voc is obtained by using a plurality of measurement points that are located on both sides of the voltage axis V and that are three or more and the number of both sides of the voltage axis V is equal, so that the measurement result is corrected. Thus, more accurate voltage-current characteristics can be obtained. Even if a measurement point that is an abnormal measurement result due to electrical noise or the like is obtained, since three or more measurement points are used, accurate voltage-current characteristics can be obtained except for the abnormal measurement point. .
[0073]
  The present invention also providesThe thin plate semiconductor component is a solar cell,
  The measuring means measures the voltage-current characteristics of the solar battery cell, and the measurement result is a plurality of measurements across the current axis I, three or more located on both sides, and the number of both sides of the current axis I being equal. Get points,
  The determination means obtains an approximate line of the voltage-current characteristic based on the three or more measurement points, and sets the intersection of the approximate line and the current axis I as a short circuit current value Isc.It is characterized by that.
[0074]
  According to the present invention, the short-circuit current I is obtained by using a plurality of measurement points that are located on both sides of the current axis I and that are three or more and the number of both sides of the current axis I is equal. A more accurate voltage-current characteristic can be obtained by correcting the measurement result. Even if a measurement point that is an abnormal measurement result due to electrical noise or the like is obtained, since three or more measurement points are used, accurate voltage-current characteristics can be obtained except for the abnormal measurement point. .
[0078]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
The present invention is an inspection and classification system 20 for a thin plate-like semiconductor component that classifies and stores thin plate-like semiconductor components such as solar cells or semiconductor wafers by rank according to measurement results. The rank is, for example, the electrical performance of the thin plate semiconductor component. The thin plate-like semiconductor component is determined in a plurality of stages based on the performance of the thin plate-like semiconductor component to be produced.
[0079]
FIG. 1 is a block diagram showing an inspection classification system 20 for a thin plate-like semiconductor component according to an embodiment of the present invention. The thin plate-like semiconductor component in the present embodiment is a rectangular plate-shaped solar battery cell 30. The inspection classification system 20 performs overall control of the inspection device 21 that determines the rank of the solar battery cell 30, the classification device 300 that classifies the solar battery cell 30 based on the rank determination result, and the inspection classification system 20. Control device. The classification apparatus 300 includes a first transport unit 22, a transport unit 25, an intake unit 34, a plurality of storage units 23, and a plurality of stock units 24 corresponding to the number of storage units 23.
[0080]
In addition, the inspection device 21 includes a measurement unit that measures the voltage-current characteristics of the solar battery cell 30 and a determination unit that determines a plurality of ranks according to the measurement result obtained by the measurement unit. The measurement means is, for example, a tester, and the determination means is, for example, a personal computer.
[0081]
  The inspection device 21 inspects the solar cells 30 that are sequentially transported, and determines each rank. The 1st conveyance means 22 conveys sequentially the photovoltaic cell 30 determined by the test | inspection apparatus 21 to the conveyance part 25 along a predetermined | prescribed conveyance path | route. The conveyance part 25 hold | maintains the photovoltaic cell 30 temporarily. The solar cells 30 transported to the transport unit 25 are taken into the stock unit 24 corresponding to each rank by the taking-in means 34. The plurality of stock units 24 includes a buffer unit 31, a slide unit 32, and a temporary storage unit.PaymentEach has a portion 33.
[0082]
FIG. 2 is a flowchart showing the conveying operation of the inspection classification system 20. In step f0, the stock unit 24 stands by in a state where the solar cells 30 can be stacked, and when the solar cells 30 are stacked by the taking-in means 34, the process proceeds to step f1. In step f <b> 1, the solar cells 30 are loaded on the stock unit 24. The stock unit 24 counts the total number Bx of the solar cells 30 loaded on the stock unit 24 with a counter, and proceeds to step f2.
[0083]
In step f2, the stock unit 24 compares the total number Bx loaded on the stock unit 24 with a predetermined constant number Const1, and determines whether or not the total number Bx exceeds a predetermined first constant number Const1. . When the total number Bx does not exceed the predetermined first constant number Const1, the process returns to step f0, and the stock unit 24 enters the loading standby state again. If the total number Bx exceeds the predetermined first constant number Const1, the process proceeds to step f3.
[0084]
In step f <b> 3, the plurality of solar cells 30 held in the buffer unit 31 are stored in the storage unit 23 by the storage unit 35. In addition, the storage unit 23 counts the total number Nx of the solar cells 30 stored in the storage unit 23, and proceeds to step f4. In step f4, the total number Nx stored in the storage unit 23 is compared with a predetermined second constant number Const2, and it is determined whether or not the total number Nx exceeds the predetermined second constant number Const2. When the total number Nx does not exceed the predetermined second constant number Const2, the process returns to step f3, and the storage unit 23 enters a storage standby state. On the other hand, when the total number Nx exceeds the predetermined second constant number Const2, the storage unit 23 becomes full with the solar cells 30, and the process proceeds to step f5.
[0085]
In step f5, the storage unit 23 is paid out from the inspection classification system 20. The storage unit 23 stores solar cells 30 having the same rank. The solar battery cell 30 is transported to the next step together with the storage unit 23. Thus, the accommodating part 23 becomes a return box which is a box for transporting the photovoltaic cells 30 to the next process.
[0086]
Further, another storage unit 23 in which the solar battery cell 30 is not stored is attached to the inspection classification system 20. The storage means 35 stores the solar battery cell 30 in another newly installed storage section 23. As a result, the solar cell 30 can be stored in the storage unit 23 again, the process proceeds to step f6, and the transport operation of the solar cell 30 by the inspection classification system 20 ends. Next, the operation again proceeds to step f0, and the stock unit 24 stands by in a state where the solar cells 30 can be stacked. Further, the intake means 34 for transporting the solar cells 30 from the inspection device 21 to the stock section 24 and the storage means 35 for transporting the solar cells 30 from the stock section 24 to the storage section 23 can move independently.
[0087]
  FIG. 3 is a perspective view showing main parts of the inspection classification system 20. The operation of the stock unit 24 will be described. The solar cells 30 are taken out from the transport unit 25 by the taking-in means 34 and taken into the buffer units 31 in each stock unit 24 at once. The buffer unit 31 loads and holds the solar cells 30 before storage in a horizontal state. The solar cells 30 taken into the buffer unit 31 pass through the slide unit 32 by the slide unit 36 as the second transport means when the predetermined number of cells are reached, and are temporarily collected.PaymentIt is conveyed to the unit 33. Temporary incomePaymentThe unit 33 is separated from the buffer unit 31.PaymentIt is provided between the unit 23, and the conveyed solar battery cell 30 is inverted and held in a standing state. The plurality of solar cells 30 held in the standing state are transported by the storage means 35 while maintaining the standing state, and are stored in the storage unit 23 while maintaining the standing state.
[0088]
The storage unit 23 is removed from the inspection classification system 20 when the solar cell 30 is full. The photovoltaic cells 30 stored in the storage unit 23 are transported to the next manufacturing process together with the storage unit 23.
[0089]
FIG. 4 is a flowchart showing the movement of the solar battery cell 30 conveyed to the inspection classification system. In step g0, the solar cells 30 that have finished the previous process of the inspection classification process are put into the inspection classification system 20, and the process proceeds to step g1.
[0090]
In step g1, the solar battery cell 30 is conveyed to the inspection device 21, and the rank of the solar battery cell 30 is determined. When the rank is determined, the process proceeds to step g2. In step g <b> 2, the solar battery cell 30 is transported to the stock unit 24 by the intake means 34. At this time, the solar cells 30 are distributed to the respective stock units 24 based on the rank determined by the inspection device 21. Therefore, the solar battery cells 30 are classified by rank and held in each stock unit 24. When the total number Bx of the photovoltaic cells 31 stored in the stock unit 24 exceeds the predetermined number Const1, the process proceeds to step g3.
[0091]
  In step g3, the solar cells 30 are sequentially stored by the storage means 35.PaymentThe plurality of solar cells 30 are stored in the storage unit 23. Further, as described above, the storage unit 23 serves as a return box for transporting the solar cells 30 to the next process. When the number of the solar cells 30 stored in the storage unit 23 exceeds the predetermined number Const2, the process proceeds to step g4, and the solar cells 30 are transported together with the storage unit 23 in the next step, and the solar cells in the inspection classification system 20 A series of 30 movements is completed.
[0092]
FIG. 5 is a block diagram showing a configuration of the inspection apparatus 21. The inspection device 21 inspects the solar cells 30 that are sequentially transported, and determines each rank. The inspection device 21 includes a tester 27 that is a measurement unit, a simulator lamp 25, a shutter unit, and a personal computer 28 that is a determination unit.
[0093]
The inspection device 21 causes the contact probe 26 to contact the solar battery cell 30, measures the voltage / current characteristics when the light is irradiated by the simulator lamp 25 and the light is blocked by the shutter means, and the measured result is measured by the tester 27. Determination and storage by the personal computer 28. These operations are performed according to instructions from the CPU 29 as a control device. The CPU 29 is, for example, a sequencer and comprehensively controls the inspection device 21 and the classification device 300.
[0094]
FIG. 6 is a circuit diagram showing the measurement circuit of the tester 27 in a simplified manner. The solar battery cell 30 is measured by a four-terminal method defined in Japanese Industrial Standard crystal solar battery output measurement method (JIS C 8913). One end portions of the current measurement terminal and the voltage measurement terminal are connected to the XY recorder 200. Further, a voltage is applied to the solar battery cell 30 from the bias power source 201. The bias power supply 201 can scan and apply a voltage applied to the solar battery cell 30. A voltage applied to the solar battery cell 30 is scanned and applied, and a voltage-current characteristic curve is recorded by the XY recorder 200.
[0095]
FIG. 7 is another circuit diagram showing the measurement circuit of the tester 27 in a simplified manner. A voltage is applied to the solar battery cell 30 from the bias power source 201. The voltage applied to the solar battery cell 30 from the bias power source 201 is changed in a stepwise manner, and the voltage / current measurement value at that time is measured using the current measuring device 202 and the voltage measuring device 203. A voltage-current characteristic curve is drawn based on this measured value.
[0096]
FIG. 8 is a block diagram showing a flow of rank determination of the solar battery cell 30. The inspection classification system 20 controls the entire inspection classification system, and each rank is determined on the basis of the CPU 29 that performs the transportation instruction and inspection execution instruction of the solar battery cell 10, the tester 27 that performs voltage-current characteristic measurement, and the measurement results of the tester 27. And a personal computer 28 to be determined. The inspection device 21 includes such a tester 27 and a personal computer 28.
[0097]
The CPU 29 gives a measurement execution command 204 to the personal computer 28. The personal computer 28 to which the measurement execution command 204 is given transmits a measurement execution command 205 for measuring the voltage / current of the solar battery cell 30 to the tester 27. The tester 27 that has received the measurement execution instruction 205 performs 206 the voltage / current measurement of the solar battery cell 30. The tester 27 gives the raw data 207 obtained by the measurement to the personal computer 28 after the measurement. The personal computer 28 calculates 208 the measured value based on the raw data 207 and determines 209 the rank. The personal computer 28 that has determined the rank directly gives the rank determination result 211 to the CPU 29. Based on the rank determination result, the CPU 29 gives an instruction to the taking-in means 34 so as to classify the photovoltaic cells 30 by rank and transport them to the storage unit 23.
[0098]
Further, the CPU 29 can give the device information 212 to the personal computer 28. Therefore, the personal computer 28 can store and manage the apparatus information of the inspection classification system together with the measurement result, and can easily transmit and receive data between the personal computer 28 and the CPU 29. As a result, the inspection classification system can be easily managed. The personal computer 28 has display means and storage means, and the display means can make the user confirm the measurement result and device information. The storage means can store the measurement results and a large amount of device information managed by the CPU 29, and can collect and manage the measurement results and device information. Here, the device information is data representing the operation status of each device such as the start time, stop time, operation start time, error occurrence time, error return time, and error occurrence content of the inspection classification system. Furthermore, data representing the operating environment such as the ambient temperature of the system and the ambient light amount may be stored. For example, more accurate rank determination can be performed by correcting the measurement value obtained from the measurement means based on the temperature and the amount of light around the inspection classification system.
[0099]
Further, since the personal computer 28 and the CPU 29 are directly connected without using the tester 27, device information having an enormous amount of data can be transmitted and received between the personal computer 28 and the CPU 29, and the tester 27 can be electrically communicated. It is possible to prevent a load from being applied.
[0100]
Further, by connecting the tester 28 and the CPU 29 via the personal computer 28, the expandability can be improved and the connection can be made easily. For example, even if the tester is replaced with another tester having a different interface, it is connected to the CPU 29 via the personal computer 28. Therefore, by changing the connection part of the personal computer according to the interface of another tester, another tester can be easily installed. It can be used for inspection classification systems.
[0101]
The device information and the measurement result of the thin plate semiconductor component may be stored and managed in association with each other at the same time. Thereby, it is possible to easily confirm the relevance between the change of the device information and the rank determination of the thin plate semiconductor component to be manufactured. As a result, in manufacturing a thin plate semiconductor component, it is possible to manufacture a thin plate semiconductor component of higher quality by finding and improving device information that adversely affects rank reduction.
[0102]
FIG. 9 is a diagram illustrating a flow of inspection of the solar battery cell 30 of the inspection device 21. When the solar battery cell 30 is transported to the inspection device 21, the rank determination operation of the solar battery cell 30 is started. In step a <b> 1, the CPU 29 brings the contact probe 26 into contact with the solar battery cell 30, opens the shutter, and irradiates the solar battery cell 30 with the light from the simulator lamp 25.
[0103]
In step a2, the voltage / current characteristic when the simulator lamp 25 is irradiated is measured by the tester 27. In step a3, the shutter that closes the simulator lamp 25 is closed by a command from the CPU 29, and the measurement result obtained in step a2 is transferred from the tester 27 to the personal computer 28 and stored. The shutter is completely closed.
[0104]
In step a4, the voltage / current characteristics when the simulator lamp 25 is not irradiated are measured by the tester 27. In step a5, the contact between the contact probe 26 and the solar battery cell 30 is released by the CPU 29, and the measurement result obtained in step a4 is transferred from the tester 27 to the personal computer 28. The personal computer 28 obtains the two measurement results obtained in step a2 and step a4, then performs calculation and determination, measures the electrical characteristics of the solar battery cell 30, and performs rank determination.
[0105]
In step a <b> 6, the rank-determined solar battery cell 30 is sent to the transport unit 25 by the intake means 34. Therefore, actual measurement and data transfer are performed for each measurement under two different measurement conditions, and another process can be performed in parallel with the mechanical operation. That is, during the mechanical preparatory operation of the lamp 25 and the probe 26, an electrical process, for example, an operation in which the tester 27 transfers the measurement result to the personal computer 28 can be performed.
[0106]
FIG. 10 is a graph showing the voltage-current characteristics of the solar battery cell 30 based on the measurement points obtained by the tester 27. When the measurement result of the tester 27 changes due to electrical noise, the personal computer 28 corrects the measurement result and determines the rank of the solar battery cell 30 more accurately.
[0107]
The tester 27 measures the solar battery cell 30 and usually obtains 200 or more measurement points. The personal computer 28 draws an approximate curve from the measurement result from the tester 27. More specifically, a linear approximation formula based on the least square method is obtained from three or more measurement points A1, A2, B1, and B2 (four in FIG. 10) located on both sides and across the current axis I. Ask. Next, an intersection C between the linear approximation formula and the current axis I is obtained, and a current at the intersection C is defined as a short-circuit current Isc.
[0108]
Further, a linear approximation formula based on the least square method is obtained from three or more and equal number of measurement points E1, E2, F1, and F2 (four in FIG. 10) located on both sides across the voltage axis V. Next, an intersection point G between the linear approximation formula and the voltage axis V is obtained, and a voltage at the intersection point G is set as an open circuit voltage Voc.
[0109]
FIG. 11 is a flowchart showing a procedure by which the personal computer 28 calculates the maximum output Pm. The tester 27 measures the solar battery cell 30 and transmits the measurement result to the personal computer 28. When the personal data is given from the tester 27, the personal computer 28 starts calculating the maximum output Pm.
[0110]
In step h1, the personal computer 28 acquires a plurality of measurement points as measurement results from the raw data from the tester 27, and proceeds to step h2. In step h2, the personal computer 28 obtains the maximum measurement point D (Vi, Ii) that maximizes the product of the current and the voltage from the plurality of measurement points, and proceeds to step h3.
[0111]
In step h3, the personal computer 28 includes the maximum measurement point D (Vi, Ii), and points (Vi-2, Ii-2), (Vi-1, Ii−) before and after the maximum measurement point D (Vi, Ii). For 1), (Vi, Ii), (Vi + 1, Ii + 1), (Vi + 2, Ii + 2), a difference value between adjacent measurement points is obtained. Next, the average of the difference values between the respective measurement points is calculated, the average voltage difference value VD and the average current difference value ID are obtained, and the process proceeds to step h4.
[0112]
In step h4, the personal computer 28 compares the average voltage difference value VD and the average current difference value ID with each difference value of adjacent measurement points. The personal computer 28 excludes measurement points where the average voltage difference value VD and the average current difference value ID and each difference value of the adjacent measurement points are out of a predetermined error range.
[0113]
In the present embodiment, an arbitrary number of measurement points immediately before the maximum measurement point D (Vi, Ii), for example, two measurement points (Vi-2, Ii-2), (Vi-1, Ii-1), ( The average difference value VD, ID is obtained using Vi, Ii). In the personal computer 28, the difference value between the measurement point (Vi + 1, Ii + 1) immediately after the maximum measurement point D (Vi, Ii) and the maximum measurement point D (Vi, Ii) is an arbitrary number of average difference values VD, ID. It is checked whether or not it is less than a certain X percent, and if it exceeds X percent, it is adopted as a measurement point (Vi + 1, Ii + 1). If it is less than X percent, the measurement point (Vi + 1, Ii) immediately after the maximum measurement point D (Vi, Ii) is adopted. Ii + 1) is removed. Similarly, whether the next measurement point (Vi + 2, Ii + 2) is adopted or removed is calculated, and the process proceeds to step h5.
[0114]
In step h5, the measurement point (Vi + n, Ii + n) employed at the measurement point after the maximum measurement point D (Vi, Ii) is determined. If determined, the process proceeds to step h6.
[0115]
In step h6, the measurement point (Vi + n, Ii + n), the maximum measurement point D (Vi, Ii), and the measurement point immediately before the maximum measurement point D (Vi, Ii) adopted after the maximum measurement point D (Vi, Ii). The maximum output Pm is calculated using (Vi-1, Ii-1).
[0116]
If the measurement point (Vi + 1, Ii + 1) immediately after the maximum measurement point D (Vi, Ii) is removed and the measurement point (Vi + 2, Ii + 2) after that point is adopted, the maximum measurement point D (Vi, Three measurement points (Vi-1, Ii-1) immediately before Ii), a maximum measurement point D (Vi, Ii), and a measurement point (Vi + 2, Ii + 2) two times after the maximum measurement point D Utilizing this, a Lagrange's quadratic interpolation formula using the voltage as a secondary variable is obtained. Next, the power that maximizes the product of the current and the voltage is calculated as the maximum power Pm from this quadratic interpolation formula. The short-circuit current Isc, the open circuit voltage Voc, and the maximum power Pm described above are obtained from the raw data measured by the so-called bright measurement in a state where the artificial sunlight is irradiated. In the present embodiment, the measurement point before the maximum measurement point D (Vi, Ii) is a measurement point having a higher current value than the maximum measurement point D (Vi, Ii), and the maximum measurement point D (Vi , Ii) is a measurement point having a low current value.
[0117]
Also, the front and back may be reversed. That is, the measurement point before the maximum measurement point D (Vi, Ii) is set as a measurement point having a current value lower than that of the maximum measurement point D (Vi, Ii), and the measurement point after the maximum measurement point D (Vi, Ii). The measurement point may be a measurement point with a high current value.
[0118]
  table2Is the maximum measurement point D2 (Vi, Ii) at which the product of the voltage value and the current value when electrical noise is generated, and the four measurement points (Vi-2, Ii-2) before and after that. ), (Vi-1, Ii-1), (Vi + 1, Ii + 1), (Vi + 2, Ii + 2) and the difference values of the respective measurement points.
[0119]
[Table 2]

[0120]
  As shown in Table 1 above, the difference value at the measurement point is constant to some extent during normal measurement. If electrical noise occurs,2As shown in FIG. 4, the difference value of either voltage or current is extremely small, or the difference is reversed.
[0121]
For example, the voltage difference value between the maximum measurement point D2 (Vi, Ii) and the measurement point (Vi + 1, Ii + 1) immediately after the maximum measurement point D2 (Vi, Ii) is measured smaller than the average voltage difference value. Yes. The measurement point (Vi + 1, Ii + 1) immediately after the maximum measurement point D2 (Vi, Ii) shows an abnormal value due to electrical noise. The solar cell inspection and classification system according to the present embodiment can measure the maximum power Pm by removing the measurement point (Vi + 1, Ii + 1) immediately after the maximum measurement point D2 (Vi, Ii) according to the above-described procedure. it can.
[0122]
  Figure 12 shows the table212 is a graph showing the relationship between the voltage and the current, FIG. 12A shows the voltage-current characteristics, and FIG. 12B shows the voltage-power characteristics. The personal computer 28 displays the voltage-current characteristics.2The measurement point (Vi + 1, Ii + 1) showing an abnormal value due to the electrical noise is removed, the measurement point (Vi-1, Ii-1) immediately before the maximum measurement point D2 (Vi, Ii), and the maximum measurement Using a point D2 (Vi, Ii) and a measurement point (Vi + 2, Ii + 2) two times after the maximum measurement point D, a Lagrange's quadratic interpolation formula using a voltage as a secondary variable is obtained.
[0123]
  As shown in Table 1 above, the maximum power during normal measurement where no electrical noise is generated is 2.1545 W. Further, when electrical noise is generated, the maximum power Pm when the abnormal measurement result due to electrical noise is removed by the measurement method shown in the present embodiment is expressed as follows.2And as shown in FIG. 12, it is 2.1505W.
[0124]
The maximum output voltage Vpm during normal measurement is approximately 0.4821 V, and the maximum output current Ipm is 4.4687A. When electrical noise is generated, the maximum output voltage Vpm when the abnormal measurement result due to electrical noise is removed by the measurement method shown in this embodiment is about 0.4821 V, and the maximum output current Ipm is 4.4611A. As described above, the calculation method shown in this embodiment is performed by the personal computer 28, and even when electrical noise is generated, the measurement result can be obtained with less error from the normal measurement.
[0125]
FIG. 13 is a graph showing voltage-current characteristics in a state where the simulated sunlight is not irradiated. When obtaining the current Id at an arbitrary voltage, the current Id at an arbitrary voltage is obtained by obtaining a measurement point at the required arbitrary voltage without performing voltage scanning in the same range as the bright measurement in which the artificial sunlight is irradiated. . Further, as shown in FIG. 13, scanning is performed at several points before and after the required arbitrary voltage (two points in FIG. 13), a plurality of measurement points are obtained, an approximated curve is drawn from the plurality of measurement points, and an arbitrary voltage is obtained. The current Id may be obtained.
[0126]
  FIG. 14 is a front view showing the stock unit 24. The buffer unit 31, the slide unit 32 and the temporary storage of the stock unit 24PaymentThe units 33 are arranged in a straight line in the horizontal direction, and the solar cells 30 are conveyed from the buffer unit 31 to the temporary storage unit 33 by the slide unit 36.
[0127]
Specifically, the solar cells 30 transported by the first transport unit 22 are stacked in a horizontal state on the buffer unit 31 by the intake unit 34. When a predetermined number of solar cells 30 are stacked on the buffer unit 31, the solar cell 30 passes through the slide unit 32 and is stored in the temporary storage unit 33 by the slide unit 36. Thus, instead of directly storing in the temporary storage section 33 by the intake means 34, a buffer unit and a slide unit 36 are provided, and the intake means 34 is configured to be taken out from the first transport means 22 to the buffer section 31. Thus, the taking-in operation can be performed by the taking-in means 34 while the conveying operation from the buffer unit to the temporary storage unit 33 is being performed by the slide unit 36. As a result, it is possible to prevent the first conveying means 22 from being temporarily stopped as in the conventional work, and the operating rate is improved.
[0128]
The temporary storage unit 33 includes a reversing unit 37 that reverses the solar cells 30 from the horizontal state to the standing state, and the plurality of solar cells 30 are held in the standing state by the reversing unit 37.
[0129]
  Figure 15 shows temporary collectionPaymentIt is a perspective view which shows the part 33. FIG. The temporary storage portion 33 is formed in a substantially U shape, and is provided so as to be rotatable about the rotation shaft 50 by 90 degrees. More specifically, the rotating shaft 50 extends perpendicularly to the sliding direction, which is the direction in which the slide unit 36 extends, and the base 51 of the temporary storage portion 33 is provided in parallel to the rotating shaft 50. In addition, a pair of side portion holding portions 52 rises vertically from both end portions of the base portion 51. The pair of side portion holding portions 52 are respectively formed with storage grooves 53 inside. The pair of storage grooves 53 are formed to extend from a position spaced apart from the base portion 51 to the tip.
[0130]
Prior to the storage, the temporary storage portion 33 is tilted in a horizontal state with one end of the side portion holding portion 52, which is a substantially U-shaped upper portion, facing the slide portion 32. 30 is inserted and held between the storage grooves 53. Thereafter, the temporary storage portion 33 is inverted, so that the solar cells 30 held in the storage grooves 53 are held in a standing state. At this time, since the storage groove 53 is not formed up to the base 51, the solar battery cell 30 is held in a standing state with a space from the base 51. Thus, the solar battery cell 30 can be easily taken out by the storage means 35.
[0131]
As shown in FIG. 14, the temporary storage portion 33 is connected to a return spring 45 that tilts the temporary storage portion 33 in the horizontal direction. The return spring 45 is a tension spring and is connected to a fixed place other than the side holding portion 52 and the temporary storage portion of the temporary storage portion 33. As a result, when the temporary storage portion 33 is held in the standing position, a force for returning to the horizontal state is generated in the temporary storage portion 33 by the elastic recovery force of the return spring 45.
[0132]
The slide unit 36 as the second transport means is disposed horizontally from the buffer unit 31 to the temporary storage unit 33, and includes a motor 42 that drives the lateral movement belt 38 and a mounting table 39 that is fixed to the lateral movement belt 38. The mounting table 39 can be moved back and forth by the motor 42 from the buffer section 31 to the temporary storage section 33 in the forward direction A and in the reverse direction B.
[0133]
  The mounting table 39 is used for mounting the solar battery cell 30.Part54, mounted on the laterally moving belt 38 and mountedPartAnd a push rod 41 that is fixed to the cylinder 40 and protrudes horizontally forward A (leftward in FIG. 14).
[0134]
  The mounting table 39 normally stands by below the buffer unit 31. When a predetermined number of solar cells 30 are loaded on the buffer unit 31, the mounting table 39 is first mounted by the cylinder 40.Part54 is raised and mountedPartThe solar battery cell 30 is loaded on 54. Then, it moves horizontally toward the temporary storage unit 33.
[0135]
The solar cell 30 is inserted into the storage groove 53 of the temporary storage unit 33 by the mounting table 39 moving to the temporary storage unit 33. The mounting table 39 into which the solar battery cell 30 is inserted can be arranged in the temporary storage part 33 by descending below the temporary storage part 33.
[0136]
The reversing means 37 of the temporary storage unit 33 includes a gear 44 provided in the temporary storage unit 33, a receiving bar 43, and a push bar 41 provided on the mounting table 39. The rotating gear 44 is fixed coaxially with the rotating shaft 50 of the temporary storage unit 33. A receiving bar 43 having a receiving bar gear 66 that meshes with the rotating gear 44 at one end protrudes downward and rearward B of the temporary storage portion 33, and is supported rotatably around the rotation center of the receiving bar gear 66. The mounting table 39 is provided with a push bar 41 that protrudes horizontally toward the temporary storage portion 33 side.
[0137]
After the solar cell 30 is stored in the temporary storage unit 33, the mounting table 39 descends below the temporary storage unit 33. The solar battery cell 30 is further moved forward A (leftward in FIG. 14) by the lowered mount 39. Then, the push bar 41 presses the receiving bar 43 provided below the temporary storage portion 33, and thereby the receiving bar 43 rotates together with the receiving bar gear 66. Since the receiving rod gear 66 meshes with the rotation gear 44 of the temporary storage portion 33, the temporary storage portion 33 is inverted 90 degrees and is in a standing position when the receiving rod 43 rotates. Thus, the solar cell 30 inserted in the temporary storage part 33 will be in an upright state.
[0138]
When the photovoltaic cell 30 is taken out from the temporary storage unit 33 by the transport robot 35 as storage means, the mounting table 39 in a state where the receiving rod 43 and the push rod 41 are in contact with each other further descends, and the receiving rod 43 and the push rod are lowered. The contact state of 41 is released. When the contact state is released, the temporary storage portion 33 returns to the horizontal state by the return spring 45. The mounting table 39 released from the pressing state with respect to the receiving rod 43 moves horizontally to the buffer unit 31 side and stands by below the buffer unit 31. When the number of solar cells 30 loaded on the buffer unit 31 reaches a predetermined number, it rises again above the buffer unit 31 and transports the solar cells 30 to the temporary storage unit 33.
[0139]
In addition, the slide unit 36 is provided with an overload detection means 46 that detects that a predetermined load or more is applied to the solar battery cell 30. As shown in FIG. 14, the overload detection unit 46 includes an overload detection unit 47, an optical sensor 48, a light generation unit 56, and an overload detection spring 49.
[0140]
  The overload detection unit 47 is mounted on the mounting table 39.Part54 on the backPart54 is supported so as to be able to swing back and forth about the axis. The overload detection spring 49 is mountedPart54 and the overload detection unit 46 are connected. An optical path 57 of the light generation unit 56 extends in parallel with the horizontal movement direction of the mounting table 39 on which the solar battery cell 30 is mounted, and is received by the optical sensor 48.
[0141]
The overload detector 47 has a light passage hole 55 through which the optical path 57 passes. Therefore, normally, light reaches the optical sensor 48 through the optical passage hole 55, and the optical sensor 48 is receiving light.
[0142]
When a load is applied, for example, when the slide unit 36 collides during movement, the overload detector 46 tilts, whereby the light passage hole 55 is displaced and the optical path 57 is shielded. When the optical path 57 is blocked, the optical sensor 48 does not receive light, and it can be detected that the slide unit 36 is overloaded. When it is detected by the overload detection means 46 that an overload is applied to the slide unit 36, the conveyance can be stopped immediately, and damage to the solar cells 30 can be reduced.
[0143]
The transfer robot 35 serving as the storage means has a hand 58 that holds the plurality of thin plate-like semiconductor components 30 erected by the reversing means 37 in a standing state and transfers them to the storage unit 23. In the present embodiment, the hand 58 is a robot hand that can move in the XYZ directions.
[0144]
FIG. 16 is a front view showing the hand 58. The hand 58 has a pair of holding members 61A and 61B formed in a substantially L shape. The holding members 61A and 61B have side walls 59A and 59B arranged in parallel to the solar cells 30 in the standing state, and have bottom walls 60A and 60B that are substantially perpendicular to the bottoms of the side walls 59A and 59B. The side walls 60A and 60B are arranged to face each other.
[0145]
The hand 58 further includes a hand portion spring 63, a large cylinder 64, and a small cylinder 65. The hand portion spring 63 biases the pair of holding members 61A and 61B in the direction of approaching each other. A large cylinder 64 and a small cylinder 65 are installed on the upper portion of one holding member 61B, and one large holding member 61A can be displaced by the large cylinder 64, and the other holding member 61B can be displaced small by the small cylinder 65. . By this displacement operation, the holding members 61A and 61B can be brought close to and away from each other. The holding members 61A and 61B can be displaced without being shaken by the hand spring 63.
[0146]
A cutout is formed at the center of the bottom wall 60A of one holding member 61A, and the bottom wall 60B of the other holding member 61B is formed so as to be insertable into the cutout. Accordingly, the bottom walls 60 </ b> A and 60 </ b> B are engaged with each other so that the width of the bottom surface for mounting the solar battery cell 30 can be adjusted.
[0147]
FIG. 17 is a front view showing the taking-in operation of the hand 58 of the transfer robot as the storing means, and FIG. 18 is a flowchart showing the storing operation of the hand 58. With reference to these drawings, the taking operation by the hand 58 will be described first.
[0148]
In step b1, the hand 58 moves above the solar cells 30 held in the temporary storage portion 33 in a standing position as shown in FIG. In step b2, as shown in FIG. 17 (2), the hand 58 descends with the holding members 61A and 61B greatly separated from each other, and the solar battery cell 30 is inserted between the holding members 61A and 61B. At this time, the holding members 61 </ b> A and 61 </ b> B are disposed on both sides of the solar battery cell 30, and the bottom wall 60 is disposed below the solar battery cell 30.
[0149]
In step b3, as shown in FIG. 17 (3), the hand 58 slightly moves forward A in the horizontal direction. The plurality of solar cells 30 are in contact with the side wall 59B of the hand 58, the variation in the front-rear direction is adjusted, and are brought closer to the side wall 59B side of the other holding member 61B. In step b4, as shown in FIG. 17 (4), one holding member 61A is brought close to the other holding member 61B by the large cylinder 64, and the bottom portions 61A and 61B are engaged. Thus, the solar battery cell 30 is disposed in a space surrounded by the side wall 59 and the bottom wall 60 of the holding members 61A and 61B. At this time, since the distance between the one holding member 61A and the other holding member 61B is long, the distance between the solar cells 30 is held wide.
[0150]
In step b5, as shown in FIG. 17 (5), the hand 58 is once slightly raised. Thereby, the solar battery cell 30 is mounted on the bottom wall 60 without receiving an impact. In step b6, as shown in FIG. 17 (6), the other holding member 61B is brought closer to one holding member by a small distance by the small cylinder 65 while being lifted from the solar battery cell 30. Thereby, the space | interval of the mutual photovoltaic cell 30 becomes narrow, and the hand 58 can be conveyed, without the photovoltaic cell 30 rock | fluctuating.
[0151]
In step b <b> 7, the hand 58 rises from the temporary storage unit 33. Next, in step b <b> 8, the hand 58 moves above the storage position of the storage unit 23.
[0152]
The hand 58 can be taken out in an arranged state without giving a large impact to the solar battery cell 30 by taking out the handling as described above. Thus, the solar battery cell 30 can be reliably conveyed to the storage unit 23 without being damaged.
[0153]
Here, the storage unit 23 will be described.
19 (1) is a plan view showing the shape of the storage portion 23, and FIG. 19 (2) is a cross-sectional view taken along the line XX in FIG. 12 (1).
[0154]
As shown in FIG. 19 (2), the storage portion 23 has a box shape, an opening 71 is formed at the top, elastic cushioning members 72 are provided on both sides of the bottom, and a groove 73 is formed at the center of the bottom. It is formed. Further, a plurality of pairs of support members 72 that extend in the vertical direction and hold the solar cells 30 in an upright state are provided on both side walls of the storage portion 23.
[0155]
20 is a plan view showing the storing operation by the hand 58, and FIG. 21 is a sectional view of FIG. With reference to the flowchart of FIG. 18 and FIGS. 20 and 21 again, the storing operation of the solar battery cell 30 by the transfer robot 35 will be described.
[0156]
In step b <b> 9, as shown in FIGS. 20 (1) and 21 (1), the hand 58 on which the solar battery cell 30 is mounted descends from above the storage unit 23. Thus, the solar battery cell 30 held by the hand 58 is inserted between the pair of support members 72. As described above, the support member 72 is provided so as to protrude from both sides and is not provided in the center, so that the movable range of the hand 58 is sufficiently secured.
[0157]
In step b10, as shown in FIG. 20 (2), the interval between the holding members 61A and 61B is slightly widened, and the hand 58 is loosely released (small unchuck). Thereby, the space | interval between each photovoltaic cell 30 spreads. In step b11, as shown in FIG. 21 (3), the hand 58 slightly moves downward. Thus, the solar battery cell 30 is mounted on the buffer member 72 at the bottom of the storage part 23 and the solar battery cell 30 can be stored.
[0158]
In step b12, as shown in FIG. 20 (4), the large cylinder 64 retracts the interval of the one holding member 61A greatly, and the hand 58 is released (large unchuck). Thus, the solar battery cell 30 is securely stored in the storage unit 23. In step b13, as shown in FIG. 20 (5), the holding member 61B is arranged at a position where it does not contact the solar battery cell 30. In step b14, as shown in FIG. 21 (6), the hand 58 is lifted and detached from the storage unit 23.
[0159]
Therefore, the hand 58 can be securely stored in the storage portion 23 in a prepared state without giving a large impact to the solar battery cell 30 by performing the handling as described above. Further, since the storage unit 23 and the partition member 72 can hold the solar battery cell 30 and a sufficient gap is formed, the operating range of the hand 58 is sufficiently secured, and the solar battery cell 30 is stored and taken out. Can be performed at a high speed, and damage caused by the hand 58 coming into contact with the solar battery cell 30 is reduced.
[0160]
The storage unit 23 is used as a box for carrying the solar cells 30 in the next process. In the present embodiment, the material of the storage unit 23 is made of a foamed polypropylene material. Further, as shown in FIG. 21, the storage portion 23 has a lid 74 attached to the upper portion, and a sponge material 75 having elasticity is attached to the inside of the lid 74. Thus, by closing the lid 74, the sponge material 74 can lightly hold the solar battery cell 30 and fix the solar battery cell 30. Therefore, the lid 74, the shape of the storage section 23, and the material of the storage section 23 can absorb the impact during transport and prevent the solar battery cell 30 from being damaged.
[0161]
As shown in FIG. 16, the transfer robot 35 has a mechanism for causing the arm unit 70 to immediately stop the lowering operation when a load is applied during the lowering. Specifically, an overload sensor 67, a guide 68, and an arm spring 69 are included. The overload sensor 67 detects the vertical acceleration of the arm unit 70. The overload sensor 67 is guided by the guide 68 and displaced in the vertical direction, and is joined to the hand 58 in the vertical direction by an arm spring 69 in order to further increase the detection sensitivity.
[0162]
When a load such as a collision with the side wall of the storage unit 23 is applied when the hand 58 is lowered, the entire arm unit 70 rises due to the load, so the overload sensor 67 attached to the arm unit 70 detects the overload. Thus, the transfer robot can be stopped immediately.
[0163]
The apparatus that transfers from the inspection apparatus 21 to the first conveying means 22 performs walking conveyance. The walking transport device carries the front stage 81 provided on the inspection device 21 side, the rear stage 82 provided on the first transport means 22 side, and the solar battery cell 30, and transports 82 from the front stage 81 to the rear stage. And a transfer stage 83.
[0164]
FIG. 22 is a schematic diagram illustrating the walking conveyance operation of the conveyance stage 83. As shown in FIGS. 22 (1) and 22 (2), the transfer stage 83 is moved up from below the front stage 81 to transfer the solar cells 30 from the front stage 81 to the transfer stage 83, as shown in FIG. As shown in (3), it moves from the front stage 81 to the rear stage 82.
[0165]
Next, as shown in FIG. 22 (4), the transfer stage 83 moves downward from above the rear stage 82, thereby transferring the solar cells 30 from the transfer stage 83 to the rear stage 82.
[0166]
Thereafter, when the transfer stage moves from below the rear stage 82 to below the front stage 81 as shown in FIG. 22 (5), it moves so as to incline downward as it moves toward the front stage 81.
[0167]
That is, when the transfer stage 83 moves from below the rear stage 82 to below the front stage 81, it moves so as to incline downward as it moves toward the front stage 81, so that the conventional technique described in FIG. Compared with the case of moving below the rear stage 82 and moving below the front stage 81, the moving distance of the transfer stage 83 is shortened, and the operation time can be shortened. In addition to the above, such a walking transport device is, for example, a second device that transports the solar cells 30 transported by the transport means from the previous process to the inspection device 21 or transports them from the buffer unit 31 to the temporary storage unit 33. The present invention can be applied to a conveying means.
[0168]
According to the inspection classification system of the present embodiment, apparatus information having an enormous amount of data can be easily managed by the personal computer 28. Further, since the device information is not transmitted through the tester, the transfer speed of the device information can be improved.
[0169]
Moreover, by providing the stock part 24, the solar cells can be transported to the storage part 23 continuously and smoothly. Moreover, since the storage part 23 becomes a returnable box, the operation | work which replaces a photovoltaic cell from the storage part 23 to a returnable box like the past can be abbreviate | omitted. As a result, the time spent for the replacement work can be omitted, and the number of solar cells that can be inspected and classified per unit time can be increased.
[0170]
Also, by performing the measurement method shown in this embodiment, even when electrical noise is generated, it is possible to reduce the error from the normal measurement and obtain a highly reliable measurement result.
[0171]
The thin plate-like semiconductor component of the present invention is not limited to a rectangular plate-like solar cell, and may be on a circular plate, as long as it is a thin plate-like semiconductor component having a plurality of electrical characteristics. As an approximation method, an approximation formula or an interpolation formula other than the least square method or the Lagrangian quadratic interpolation formula may be used.
[0172]
Further, the thin plate-like semiconductor component of the present invention is not limited to the rectangular plate-like solar battery cell 30 but may be a disc-like semiconductor wafer. Each of the above-described configurations is merely an example of the present invention, and the configuration can be changed within the scope of the invention.
[0173]
【The invention's effect】
  As described above, according to the present invention, the thin plate-like semiconductor component can be taken out from the measuring means regardless of the storage means that stores the thin plate-like semiconductor component in the storage portion. Therefore, even when the thin plate semiconductor component is stored by the storage device, the thin plate semiconductor component can be taken out from the measuring device. Therefore, the thin plate-like semiconductor component can be continuously and smoothly transported without temporarily stopping the transport. As a result, the number of thin plate-like semiconductor components that can be subjected to inspection classification in the unit time of the inspection classification system can be increased, and the inspection classification speed can be improved.
  A plurality of thin plate-like semiconductor components held in the stock portion are collected and stored in the storage portion. Therefore, a plurality of thin plate-like semiconductor components can be simultaneously transported to the storage portion by a single transport operation, and the transport amount per unit time can be increased. In addition, since the storage means transports when the number of thin plate-shaped semiconductor components held by the stock section exceeds a predetermined number, the number of thin plate-shaped semiconductor components transported at one time can be made constant, and Can be easily stored.
[0184]
  Further, according to the present invention, the thin plate-like semiconductor component is taken in by the taking-in means from the transport unit.,Since it can be temporarily stored in the buffer part of the stock part,By the storage means, a plurality of stacked statesThin plate semiconductor partsFrom temporary storageIn the storagecollectWith storage action, By taking out meansThin plate-like semiconductor parts from the transport sectionOne by oneTake outAnd take out in the buffer partThe operation can be performed simultaneously. As a result, thin plate-like semiconductor componentsFrom primary storageRegardless of the operation of storing in the storage unit,Remove thin plate-like semiconductor components from the transport sectionAnd store it in the bufferbe able to. Therefore, the thin plate-like semiconductor component can be stored in the storage portion without stopping the storage means and the intake means, and the operating rate of the apparatus can be improved.
[0185]
  Furthermore, the stock section is temporarily collected with the buffer section.PaymentFrom the buffer section.PaymentIt is conveyed to the part by the second conveying means. Therefore, the taking-in means takes the thin plate-like semiconductor component into the stock part.Buffer positionAnd the storage means takes out the thin plate-like semiconductor component from the stock part.Temporary storage locationCan be provided at different positions, so that the storage means and the intake means can be prevented from contacting each other.
[0186]
Accordingly, the thin plate-like semiconductor component can be continuously and smoothly conveyed by the conveying means.
[0187]
  Also according to the invention,Stack several in the horizontal direction,Thin plate semiconductor partsMultiple layers in the vertical direction by storingIn comparison with the case of storing, the contact area is small, and the possibility that the surface in the thickness direction is damaged can be reduced. Therefore, the thin plate-like semiconductor component can be prevented from being damaged.Further, since a plurality of hands for transporting the thin plate-like semiconductor component to the storage unit are transported simultaneously, the storage operation time can be shortened and the operating rate of the apparatus can be improved. In addition, since the hand holds the thin plate-shaped semiconductor component stored in the standing state while holding it in the standing state, it does not require a complicated operation and can be easily and reliably transported to the storage unit. A thin plate-like semiconductor component can be stored in the storage portion in a standing state in a short time and easily. Further, the thin plate-like semiconductor component can be held in the standing state by the reversing means of the temporary storage unit. Therefore, it is not necessary to provide a mechanism for reversing the thin plate-like semiconductor component in the storage means. Further, since the means for reversing the thin plate semiconductor component and the means for conveying are separated, the thin plate semiconductor component can be conveyed and reversed more reliably.
  Further, according to the present invention, in a state where a plurality of thin plate-like semiconductor components mounted on the mounting table are accommodated in the U-shaped member, the mounting table displaces and drives the receiving rod of the reversing means. The U-shaped member is angularly displaced, and the U-shaped member is in a standing state. With such a configuration, the reversing operation can be realized by moving the mounting table.
[0188]
Further, according to the present invention, the overload detection means is provided when transporting from the buffer section to the temporary storage section. Therefore, in the event of an overload, the second transport means is immediately stopped, and the thin plate-like semiconductor during transport Damage to the parts can be prevented.
[0191]
  Further, according to the present invention, the thin plate-like semiconductor component is placed on the pair of holding members.PlaceSince it mounts in a state and is conveyed from a buffer part to a storage part, it can convey, without damaging the surface of a thin plate-shaped semiconductor component. Further, the load applied to one thin plate-like semiconductor component can be reduced as compared with the case where a large number of thin plate-like semiconductor components are loaded and transferred. Therefore, the thin plate-like semiconductor component can be transported without being damaged.
[0192]
  Also according to the invention,By widening the space between the side walls of the pair of holding members, a plurality of thin plate-like semiconductor components can be mounted on the hand without giving a large impact. Further, by narrowing the space between the respective side walls of the pair of holding members after mounting, the thin plate-shaped semiconductor component can be transported without being shaken by being taken out in an arranged state. As a result, the thin plate-like semiconductor component can be easily taken out from the temporary storage portion. Further, the damage caused by the hand coming into contact with the thin plate-like semiconductor component is reduced.
[0194]
  Also according to the invention,The open voltage Voc and the short-circuit current Isc are measured using a plurality of measurement points that are located on both sides of the voltage axis V or the current axis I and that are equal in number to the both sides of the axes I and V. Therefore, it is possible to obtain an accurate voltage-current characteristic by correcting the measurement result. Even if a measurement point that is an abnormal measurement result due to electrical noise or the like is obtained, since three or more measurement points are used, accurate voltage-current characteristics can be obtained except for the abnormal measurement point. .
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a block diagram showing a thin plate-like semiconductor component inspection and classification system 20 according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a flowchart showing a conveying operation of the inspection classification system 20;
FIG. 3 is a perspective view showing a main part of the inspection classification system 20;
FIG. 4 is a flowchart showing the movement of the solar battery cell 30 conveyed to the inspection classification system.
5 is a block diagram showing a configuration of an inspection apparatus 21. FIG.
FIG. 6 is a circuit diagram showing a measurement circuit of the tester 27 in a simplified manner.
7 is another circuit diagram showing the measurement circuit of the tester 27 in a simplified manner. FIG.
FIG. 8 is a block diagram showing a flow of rank determination for solar battery cells 30.
FIG. 9 is a diagram showing a flow of inspection of the solar battery cell 30 of the inspection device 21.
10 is a graph showing the voltage-current characteristics of the solar battery cell 30 based on the measurement points obtained by the tester 27. FIG.
FIG. 11 is a flowchart showing a procedure by which the personal computer calculates a maximum output Pm.
FIG. 12 Table2It is a graph which shows the relationship between the voltage and electric current.
FIG. 13 is a graph showing voltage-current characteristics in a state where pseudo-sunlight is not irradiated.
14 is a front view showing a stock section 24. FIG.
15 is a perspective view showing a temporary storage unit 33. FIG.
FIG. 16 is a front view showing a hand 58;
FIG. 17 is a front view showing an operation of taking out the hand 58 of the transfer robot.
FIG. 18 is a flowchart showing the storing operation of the hand 58;
FIG. 19 is a plan view showing the shape of the storage unit 23;
20 is a plan view showing a storing operation by the hand 58. FIG.
21 is a cross-sectional view of FIG.
FIG. 22 is a schematic view showing a walking conveyance operation of the conveyance stage 83. FIG.
FIG. 23 is a schematic diagram showing an inspection classification system 1 for a solar battery cell 10 according to the prior art.
24 is a flowchart showing the operation of the solar battery cell 10 stored in the storage unit 6. FIG.
25 is a perspective view of the inspection classification system 1 for explaining the movement of the solar battery cell 10. FIG.
FIG. 26 is a flowchart showing the movement of the solar battery cell 10 conveyed in the conventional inspection classification system.
FIG. 27 is a plan view showing a conventional returnable box 7;
FIG. 28 is a block diagram showing a flow of conventional rank determination.
29 is a graph showing voltage-current characteristics calculated based on raw data 105 from the tester 101. FIG.
FIG. 30 is a flowchart showing a procedure by which the personal computer calculates a maximum output Pm.
FIG. 31 is a graph showing voltage-current characteristics of a solar battery cell obtained by a tester 101.
32 is a graph showing the relationship between voltage and current in Table 1. FIG.
FIG. 33 is a graph showing voltage-current characteristics in a state in which simulated sunlight is not irradiated.
[Explanation of symbols]
20 Inspection and classification system for thin plate semiconductor parts
21 Inspection equipment
22 First conveying means
23 storage
24 Stock Department
25 Transport section
31 Buffer section
32 Slide part
33 Temporary storage
34 Intake means
35 Storage means
36 Slide unit
37 Inversion means
300 sorter

Claims (6)

An inspection apparatus for inspecting a thin plate semiconductor component to determine a rank, and a classification device for classifying and storing the thin plate semiconductor component in a corresponding storage section based on the rank determined by the inspection device; A thin plate-like semiconductor component inspection and classification system having a control device that controls the inspection device and the classification device in an integrated manner,
The inspection apparatus includes a measurement unit that measures a thin plate-like semiconductor component, and a determination unit that determines a rank based on a measurement result,
The classification device includes:
Each stock part that is provided for each storage part and can hold a plurality of thin plate-like semiconductor components before storage in a stacked state;
Intake means for taking the thin plate-like semiconductor parts after measurement one by one into the stock portion corresponding to the rank determined by the inspection device,
A thin plate-like semiconductor in which a plurality of thin plate-like semiconductor components stacked and held in each stock portion are stored together in a corresponding storage portion in a stacked state, and the stock portion holds the stack When the number of parts exceeds a predetermined number, a storage unit including a single transfer robot that stores a plurality of stacked thin plate-like semiconductor parts in a stacked state in a corresponding storage unit; and
A transport unit for temporarily holding the thin plate-like semiconductor component after inspection;
First transport means for sequentially transporting from the inspection device to the transport section,
The stock part is
A buffer unit that is provided for each storage unit, and holds the thin plate-like semiconductor components before being stored one by one by the intake means in a stacked state; and
A temporary storage unit that is provided between the buffer unit and the storage unit and temporarily stores a plurality of thin plate-like semiconductor components before storage in a stacked state;
Second transport means for transporting a plurality of thin plate-shaped semiconductor components from a buffer unit to a temporary storage unit in a state where a plurality of thin plate-shaped semiconductor components are stacked in a state of being stacked, a buffer unit, a temporary storage unit, A mounting table provided with a mounting part that can be mounted in a state where a plurality of thin plate-like semiconductor components are stacked in the vertical direction, and a direction that travels from the buffer part to the temporary storage part, and A second conveying means having a motor for moving the mounting table in the opposite direction,
The storage unit stores a thin plate-like semiconductor component in a state of being stacked in a horizontal direction,
The storage means stores the thin plate-like semiconductor components from the temporary storage portion to the storage portion, holds the plurality of thin plate-like semiconductor components raised by the reversing means in an upright state, and transports them to the storage portion. , Have a robot hand that can move in the XYZ direction,
The temporary storage unit is
A U-shaped member having a base extending along a predetermined rotation axis and side holding parts that rise vertically from both ends of the base, and is formed so as to be angularly displaceable around the rotation axis. A storage groove into which a plurality of stacked thin plate-like semiconductor components can be inserted is formed in the inner part of the holding portion, and a plurality of thin plate shapes inserted into the storage groove by rotating around the rotation axis A U-shaped member capable of switching the posture of the semiconductor component between a horizontal state and a standing state;
Reversing means for reversing a plurality of thin plate-like semiconductor components stacked in the vertical direction transported by the second transporting means into a state of being stacked in a plurality of horizontal directions;
A rotation gear arranged coaxially with the rotation axis of the U-shaped member and fixed to the U-shaped member;
A receiving rod gear having a receiving shaft gear meshing with the rotating gear at one end, supported rotatably around the axis of the receiving rod gear, and angularly driven around the axis of the receiving rod gear by a displacement driven platform. inspection classification system thin plate-like semiconductor part, characterized in Rukoto that having a inverting means having. 2. The thin plate semiconductor according to claim 1, wherein the second transport means is provided with overload detection means for detecting that a load greater than a predetermined load is applied to the thin plate semiconductor component. Parts inspection and classification system. The hand has a pair of holding members each having a side wall disposed in parallel to the thin plate-like semiconductor component in a standing position and a bottom wall that extends substantially perpendicular to the bottom of the side wall. Placed on both sides of a thin plate-like semiconductor component in a standing position, placed a bottom wall under the thin plate-like semiconductor component in close proximity to each other, and stacked in the horizontal direction by raising the hand 3. The inspection and classification system for thin plate semiconductor components according to claim 2 , wherein the thin plate semiconductor components are transported while being held in a standing state . The hand controlled by the control means is upward in a state where a plurality of thin plate-like semiconductor components stored in the temporary storage unit are disposed between the side walls of the pair of holding members and above the bottom wall. And then each thin plate-like semiconductor component is placed on the bottom walls of the pair of holding members,
4. The inspection of a thin plate-like semiconductor component according to claim 3 , wherein each of the thin plate-like semiconductor components is transported toward the storage portion in a state where the side walls of the pair of holding members are close to each other. Classification system. The thin plate semiconductor component is a solar cell,
The measurement means measures the voltage-current characteristics of the solar battery cell, and the measurement result is a plurality of measurements across the voltage axis V, three or more located on both sides, and the number of both sides of the voltage axis V being equal. Get points,
The determining means, the claims on the basis of the three or more measurement points, obtains the approximate line of the voltage-current characteristic, and wherein to Rukoto and the open-circuit voltage value Voc the intersection between the approximate line and the voltage axis V The inspection and classification system for thin plate-like semiconductor components according to any one of 1 to 4. The thin plate semiconductor component is a solar cell,
The measuring means measures the voltage-current characteristics of the solar battery cell, and the measurement result is a plurality of measurements across the current axis I, three or more located on both sides, and the number of both sides of the current axis I being equal. Get points,
Said determining means, on the basis of the three or more measurement points, claim determined an approximate line of the voltage-current characteristic, characterized in that the intersection of the short-circuit current value Isc between the approximate line and the current axis I 1 5. The inspection and classification system for thin plate-like semiconductor components according to any one of 5 to 5.

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