JP4010443B2

JP4010443B2 - Wafer boat

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Publication number: JP4010443B2
Application number: JP2002035330A
Authority: JP
Inventors: 哲也上遠野; 能徳重野; 秀典山岡; 淳前田
Original assignee: Covalent Materials Corp
Current assignee: Coorstek KK
Priority date: 2002-02-13
Filing date: 2002-02-13
Publication date: 2007-11-21
Anticipated expiration: 2022-02-13
Also published as: JP2003243488A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はウエハボートに関し、詳しくは半導体ウエハを多段に支持し、熱処理等に用いられるウエハボートに関する。
【０００２】
【従来の技術】
通常、半導体の製造プロセスにおいて、半導体ウエハの熱処理、その他の処理を多数枚一括して行うため、複数の半導体ウエハを整列、支持するウエハボートが使用されている。
このウエハボートには、半導体ウエハを垂直に整列、支持する横型のウエハボートと、半導体ウエハを水平に整列、支持する縦型のウエハボートとがある。これらウエハボートは、互いに離間された一対の端板に複数本の支持ロッドが架け渡され、各支持ロッドの内側面に、ウエハ挿入溝がロッド軸線方向に沿って一定ピッチで配設された構造を有している。
そして、これらウエハボートには、使用後の洗浄および補修等を考慮して、支持ロッドと端板等の部材が着脱可能な組み立て式になっている。
【０００３】
この従来の組み立て式のウエハボートについて、図７乃至図８に基づいて説明する。なお、図７は従来のウエハボートの概略正面図、図８は図７に示したウエハボートの要部拡大断面図であって、支持ロッドの固定手段を示した図である。
図７に示すように、この従来のウエハボート１００は、多数の半導体ウエハを水平に支持する４本の平行な支持ロッド１０１、１０２、１０３、１０４と、各支持ロッド１０１、１０２、１０３、１０４の両端が着脱自在に保持される略円形の下端板１０５および上端板１０６とを備えている。
また、前記支持ロッド１０１、１０２、１０３、１０４は断面円形の支柱で形成され、支持ロッド１０１、１０２、１０３、１０４の内側面には、一定ピッチのウエハ挿入溝１０１ａ、１０２ａ、１０３ａ、１０４ａが、ロッド軸線方向へ多数形成されている。
【０００４】
次に、図８に基づいて支持ロッド１０１、１０２、１０３、１０４の端板１０５、１０６への固定について説明する。なお、各支持ロッドの固定手段は同一の構成であるため、支持ロッド１０１を下端板１０５に固定する固定手段について説明する。
この固定手段には、図８に示すように、支持ロッド１０１を下端板１０５に固定するために、カムストッパ１０７が用いられる。
このカムストッパ１０７は、カムストッパ１０７ａ本体と、本体１０７ａの外周部に形成されたカム部１０７ｂと、本体１０７ａの下面に形成され、下端板１０５の貫通穴１０５ａを挿通する回転軸１０７ｃと、前記回転軸１０７ｃの端部に形成された、前記貫通穴１０５ａからカムストッパ１０７の脱落を防止する係止部１０７ｄとを備えている。
【０００５】
また、支持ロッド１０１の端部には、縦断面がＬ字状の切欠き部１０１ｂが形成されると共に、その切欠き部１０１ｂの反対側の上方に、縦断面がコ字状の切欠き部１０１ｃが形成されている。
この支持ロッド１０１の端部は、下端板１０５の貫通穴１０５ｂに挿通される。そして、前記切欠き部１０１ｂの水平端面１０１ｄは下端板１０５の上面に接し、垂直端面１０１ｅは前記貫通穴１０５の側壁に接するように構成されている。
また、前記コ字状の切欠き部１０１ｃは、カムストッパ１０７ａのカム部１０７ｂが摺動できるように構成されている。
【０００６】
次に、この従来のウエハボート１００の下端板１０５における支持ロッド１０１の固定方法について説明する。
下端板１０５の貫通穴１０５ｂに、支持ロッド１０１のＬ条切欠き部１０１ｂを外側に、コ字条切欠部１０１ｃをカムストッパ１０７側（内側）に向けて挿入し、Ｌ条切欠き部１０１ｂの水平端面１０１ｄを下端板１０５の上面に当接させる。
その後、カムストッパ１０７を回転させ、支持ロッド１０１を端板１０５の外方へ平行に移動させ、支持ロッド１０５の垂直端面１０１ｅを貫通穴１０５ｂの側壁に当接させ、固定する。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、従来の組み立て式のウエハボートにあっては、前記したようにカムストッパ１０７の押しつけ力により、支持ロッド１０１の軸線に直交する方向への支持ロッドのがたつき、およびこのロッド軸線方向に対してのがたつきを防止している。
しかしながら、端板１０５の貫通穴１０５ｂと支持ロッド１０１端部との間に隙間Ｓがあると、カムストッパ１０７を支持ロッド１０１に押し付ける際、図８の仮想線で示すように支持ロッド１０１が傾く虞がある。
このように、支持ロッド１０１が傾くと、コ字条切欠部１０１ｃ、カムストッパ１０７に無理な力が作用し、コ字条切欠部１０１ｃ、カムストッパ１０７が破損することがあった。また、同様に、水平端面１０１ｄに無理な力が作用し、水平端面１０１ｄが破損することがあった。
【０００８】
この問題を解決する方法として、貫通穴の寸法形状を支持ロッド端部の寸法形状と一致させ、支持ロッドをがたつくことなく貫通穴に保持させることが考えられる。
しかし、支持ロッドを貫通穴に挿通するためには、ある程度の隙間を必要とする。またウエハボートは繰り返し使用され、洗浄がなされる。そのため、貫通穴の寸法形状は大きく、また一方、支持ロッド端部の寸法形状は小さくなり、支持ロッドと貫通穴との間に隙間が生ずる。更には、ウエハボートの組み立て、分解を繰り返すと磨耗によって、支持ロッドと貫通穴との間に隙間が生ずる。
このように、貫通穴の寸法形状を支持ロッド端部の寸法形状と一致させたとしても、使用しているうちに、支持ロッドと貫通穴との間に隙間が生じ、前記した問題を招来する。
【０００９】
また、この問題を解決する別の方法として、支持ロッドの水平端面の面積を大きくすることが考えられる。このように、支持ロッドの水平端面の面積を大きくすれば、端板の上面との接触面積が大きくなり、支持ロッドの傾きを防止することができる。
しかしながら、支持ロッドの水平端面の面積を大きくするには、支持ロッドの寸法形状（直径）を大きくする必要がある。
その結果、ウエハボートは重いものとなり、ハンドリング性が悪いという新たな技術的課題が生じる。また、支持ロッドの重量が増大するため、支持ロッドが一度傾くと、コ字条切欠部、カムストッパに多大な力が作用し、従来の場合に増して、支持ロッドのコ字条切欠部あるいはカムストッパが容易に破損してしまうという技術的課題があった。
【００１０】
本発明は、上記課題を解決するためになされたものであり、支持ロッドの寸法形状を増大させることなく、支持ロッドが傾くことなく、端板に確実に固定することのできるウエハボートを提供することを目的とするものである。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
本発明は上記目的を達成するためになされたものであり、本発明にかかるウエハボートは、半導体ウエハを水平に支持する複数の支持ロッドと、支持ロッドの両端部を着脱自在に保持する一対の端板と、前記支持ロッドを端板に固定するために端板に回動可能に設けられたカムストッパと、前記カムストッパのカム部と係合する係合部が形成されると共に、前記支持ロッドの下部を保持する第一の駒部材とを備え、前記一の端板は、支持ロッドの一端部が挿入される貫通穴と、前記カムストッパが取り付けられる貫通穴とを有し、前記支持ロッドの少なくとも一端部は、一の端板の一面と接する水平端面、および支持ロッドが挿入される前記貫通穴の側壁と接する垂直端面とを有し、前記支持ロッドの下部を保持する第一の駒部材の底面が端板の一面と接した状態で、前記カムストッパを回動し、前記カムストッパのカム部を第一の駒部材の係合部に係合させ、支持ロッドの垂直端面を、前記支持ロッドが挿入された貫通穴の側壁に押し付けることによって、支持ロッドを前記一の端板に固定することを特徴としている。
【００１２】
このように、支持ロッドの下部を保持する第一の駒部材の底面が端板の一面と接した状態で、前記カムストッパを回動させ、支持ロッドの垂直端面を貫通穴の側壁に押し付けることによって、支持ロッドを前記一の端板に固定している。
したがって、支持ロッドの重量を増大させることなく、端板と接触している面積を増大させることができる。言い換えれば、ウエハボードの重量の増加を抑制しつつ、支持ロッドの水平端面の面積を実質的に大きくすることができる。
その結果、支持ロッドの傾きを防止し、支持ロッドを端板に強固に固定することができる。
【００１３】
特に、前記第一の駒部材に、カムストッパのカム部と係合する係合部が形成されているため、支持ロッドからの第一の駒部材の脱落を防止することができる。
また、支持ロッドにカム部と係合する係合部を形成する必要がないため、支持ロッドの機械的強度が増加する。そのため、同一の機械的強度であれば、支持ロッドの断面形状を小さくすることができる。
【００１４】
ここで、前記第一の駒部材の側面に形成された係合部は、水平壁面及び前記傾斜壁面を備えた溝であって、前記溝の傾斜壁面は水平面壁面の奥側からに第一の駒部材の側面に向かって下方に傾斜する面であり、前記カムストッパのカム部は、水平壁面及び傾斜壁面を備えた先端形状を有し、前記第一の駒部材の係合部に接するように形成されていることことが望ましい。
このように、いわゆるフ字状のカム部がいわゆるフ字状溝の係合部を押圧するため、その分力が下方向に働き、第一の駒部材は端板に押え付けられる。その結果、支持ロッドの傾きを抑制することができる。
【００１５】
更に、前記第一の駒部材の一側面にテーパ面が形成され、前記テーパ面に一の内面が接し、かつこれに対向する他の内面が支持ロッドの一面と接する第二の駒部材を設け、前記第二の駒部材によって、第一の駒部材および支持ロッドを保持することが望ましい。
このようにテーパ面によって、第二の駒部材は支持ロッド及び第一の駒部材をより強固に保持し、第一の駒部材が支持ロッドを強固に保持する。その結果、支持ロッド、第一の駒部材、第二の駒部材は一体化する。
【００１６】
本発明は上記目的を達成するためになされたものであり、本発明にかかるウエハボートは、半導体ウエハを水平に支持する複数の支持ロッドと、支持ロッドの両端部を着脱自在に保持する一対の端板と、前記支持ロッドを端板に固定するために端板に回動可能に設けられたカムストッパと、前記支持ロッドの下部を保持すると共にその一側面にテーパ面が形成された第一の駒部材と、前記第一の駒部材の前記テーパ面に一の内面が接すると共にこれに対向する他の内面が支持ロッドの一面と接する第二の駒部材とを備え、前記一の端板は、支持ロッドの一端部が挿入される貫通穴と、前記カムストッパが取り付けられる貫通穴とを有し、前記支持ロッドの少なくとも一端部は、一の端板の一面と接する水平端面、および支持ロッドが挿入される前記貫通穴の側壁と接する垂直端面とを有し、前記第二の駒部材は、カムストッパのカム部と係合する係合部を有し、前記第一、第二の駒部材の底面が端板の一面と接した状態で、前記カムストッパを回動し、前記カムストッパのカム部を第二の駒部材の係合部に係合させ、支持ロッドの垂直端面を、前記支持ロッドが挿入された貫通穴の側壁に押し付けることによって、支持ロッドを前記一の端板に固定することを特徴としている。
【００１７】
このように、第一、第二の駒部材の底面が端板の一面と接した状態で、前記カムストッパを回動させ、支持ロッドの垂直端面を貫通穴の側壁に押し付けることによって、支持ロッドを前記一の端板に固定している。
したがって、支持ロッドの重量を増大させることなく、端板と接触している面積を増大させることができる。言い換えれば、ウエハボードの重量の増加を抑制しつつ、支持ロッドの水平端面の面積を実質的に大きくすることができる。その結果、支持ロッドの傾きを防止し、支持ロッドを端板に強固に固定することができる。
【００１８】
ここで、前記第二の駒部材の側面に形成された係合部は、水平壁面及び前記傾斜壁面を備えた溝であって、前記溝の傾斜壁面は水平面壁面の奥側からに第二の駒部材の側面に向かって下方に傾斜する面であり、前記カムストッパのカム部は、水平壁面及び傾斜壁面を備えた先端形状を有し、前記第二の駒部材の係合部に接するように形成されていることことが望ましい。
前記したように、いわゆるフ字状のカム部がいわゆるフ字状溝の係合部を押圧するため、その分力が下方向に働き、第二の駒部材は端板に押え付けられる。その結果、支持ロッドの傾きを抑制することができる。
【００１９】
また、前記カムストッパは、少なくとも回動軸とカム本体部とを有し、前記回動軸は一点を中心とした円形形状に形成され、カム本体部の外縁部形状は、前記中心点と異なる点を中心とした円形形状に形成されていることが望ましい。
このように、カム本体部の外縁部形状を、回動軸の中心点と異なる点を中心とした円形形状に形成したため、カム本体部を複雑なカム輪郭曲線で形成するまでもなく、容易にカム部を形成することができる。
【００２０】
【発明の実施の形態】
以下、この発明の一実施形態を図１または図２に基づいて説明する。ここでは縦型のウエハボートを例にとって説明する。図１は、支持ロッドの側面図、図２は、支持ロッドが端板に固定されている状態を示す図であって、（ａ）は（ｂ）のＩ−Ｉ方向から見た平面図、（ｂ）は側面図である。
【００２１】
このウエハボートは、図８において示した従来のウエハボートと同様に、多数の半導体ウエハ（図示せず）を水平に支持する４本の平行な支持ロッドと、各支持ロッドの両端が着脱自在に保持される略円形の下側端板および上側端板と、前記支持ロッドを下側端板に固定するカムストッパと、前記支持ロッドを上側端板に固定するカムストッパとを備えている。
ここでは、本発明にかかるウエハボートの特徴が、支持ロッドと上側端板とを固定する、また支持ロッドと下側端板とを固定する固定手段にある。そのため、かかる固定手段について、図１、図２に基づいて詳述し、従来と同じ構成は、その詳細な説明は省略する。なお、下側端板、上側端板における固定手段は同じ構成であるため、以下の説明にあっては、下側端板（以下、端板という）を例にとって説明する。
【００２２】
このウエハボートに用いられる支持ロッド１は、断面矩形の支柱で形成され、支持ロッド１の内側面には、一定ピッチのウエハ挿入溝１ａが、支持ロッド１の軸線方向へ多数形成されている。
また、図１に示すように、支持ロッド１の端部には、縦断面がＬ字状の切欠き部１ｂが形成されている。この切欠き部１ｂの水平端面１ｃは端板２の上面２ａに接し、垂直端面１ｄは端板２に形成された貫通穴２ｂの側壁に接するように構成されている。
なお、この支持ロッド１は、従来の場合と異なり、切欠き部１ｂの反対側の上方に、縦断面がコ字状の切欠き部は形成されていない。
【００２３】
また、図２の符号４は、第一の駒部材であって、この駒部材４は断面コ字状に形成され、その内面４ａ、４ｂ、４ｃが支持ロッド１下部の三つの側面を覆い、支持ロッド１の下部を保持するように構成されている。なお、第一の駒部材４の内面４ａ、４ｃは保持する支持ロッド１の側面より短く形成されている。そのため、前記第一の駒部材１の側面から支持ロッド１の一部（側面１ｅ）が突出している。
【００２４】
また、コ字状に形成された第一の駒部材４の開放側面に対向した側面の上部にはテーパ面４ｄが形成されている。このテーパ面４ｄは、第一の駒部材４の上面から下面方向に徐々に拡がる傾斜面に形成されている。
更に、このテーパ面４ｄの下方には、カムストッパ３と係合するフ字状溝の係合部４ｅが形成されている。
なお、このいわゆるフ字状溝を構成する傾斜壁面の水平壁面となす角（開角度）θは、４０〜５０度であることが好ましく、これによって分力をより適切に下方向に働かせることができ、第一の駒部材がより強固に端板に押え付けられる。
この第一の駒部材４は、端板２の上面に載置される。すなわち、第一の駒部材４の底面は端板２の上面２ａと接し、実質的に支持ロッド１の水平端面１ｃの面積を増加させる作用をする。
【００２５】
また、図２の符号５は、第二の駒部材であって、この駒部材５は断面コ字状に形成され、その内面５ａが第一の駒部材４のテーパ面４ｄと接し、内面５ｂが第一の駒部材４の側面４ｆと接し、内面５ｃが支持ロッド１の側面１ｅと接し、支持ロッド１及び第一の駒部材４を保持している。
なお、第二の駒部材５が、第一の駒部材４の上方から下方にテーパ面４ｄ上を移動することにより、第二の駒部材５は支持ロッド１及び第一の駒部材４をより強固に保持し、第一の駒部材４が支持ロッド１を強固に保持する。その結果、支持ロッド１、第一の駒部材４、第二の駒部材５は一体化する。
【００２６】
また、前記第二の駒部材５の内面５ｂに接する第一の駒部材４の側面４ｆの両側には面取り部４ｇ，４ｈが形成されている。一方、前記面取り部４ｇ，４ｈに対向する前記内面５ｂの両角はアール部５ｄ，５ｅが形成されている。
このように、内側に位置する第一駒部材４の側面４ｆの両角に面取り部４ｇ，４ｈを形成し、外側に位置する第二の駒部材４の内面両角をアール部５ｄ，５ｅとしたため、角部が干渉することなく、両者をしっかりと嵌合させることができる。
【００２７】
また、端板２には、支持ロッド１の下側端部が挿通する貫通穴２ｂが形成される共に、前記貫通穴２ｂに隣接して、端板２の内側には、貫通穴２ｃが形成され、該貫通穴２ｃにカムストッパ３の回動軸３ａが収容されている。
【００２８】
このカムストッパ３は、回動軸３ａと、前記回動軸３ａの上面形成された中間部３ｂと、前記中間部３ｂの上面に形成された本体部３ｃと、本体部３ｃの外周部に形成されたカム部３ｄとを備えている。
またカム部３ｄは、水平壁面及び傾斜壁面を備えた先端形状を有した、いわゆるフ字状に形成され、第一の駒部材４のフ字状溝の係合部４ｅに接するように構成されている。このフ字状に形成されたカム部３ｄの先端部の端部角度は、前記した第一の駒部材４のフ字状溝（係合部４ｅ）の開角度θの−０．１〜−１度であることが好ましい。なお、前記回動軸３ａ下端部には、端板２の底面に係止され、カムストッパ３の脱落を防止する係止部３ｅが設けられている。
【００２９】
前記回動軸３ａおよび中間部３ｂは中心Ｏ１を中心とした円形形状に形成され、カム部３ｂの外縁部形状（カムの輪郭曲線）は、中心Ｏ２を中心とした円形形状に形成されている。この中心Ｏ２は、中心Ｏ１からずれた位置に設けられている。
【００３０】
その結果、カムストッパ３を矢印方向に回動させると、カム部３ｂのＰ１点においてフ字状溝の係合部４ｅと接触し、第一の駒部材４を介して、支持ロッド１の端部を貫通穴２ｂの側壁に徐々に押し付けるように作用する。このように、カムストッパ３が回動することにより、支持ロッド１の移動量（変位量）を徐々に増加させることができるため、それに伴い押し付け力を徐々に増加させることができる。
【００３１】
しかも、カムストッパ３が回動しても接触点は変化しない。即ち、カムストッパ３と支持ロッド１の接触点の法線上にカムストッパ３の回転中心が位置するため、カムストッパ３にねじれ等の変形が生じない。また、カムストッパ３と支持ロッド１の接触点の法線上にカムストッパ３の回転中心が位置するため、支持ロッド１からの反力を受けてカムストッパ３が不用意に回動することもない。
【００３２】
また、フ字状のカム部３ｄがフ字状溝の係合部４ｅを押圧するため、その分力が下方向に働き、第一の駒部材４は端板２に押え付けながら、支持ロッド１を端板２の外側に（図２に示した左方向）に移動させることができる。したがって、支持ロッド１の移動の際、支持ロッド１の傾きを抑制することができる。
【００３３】
しかも、第一の駒部材１の底面が端板２の上面２ａと接しているため、端板２の上面２ａとの接触面積を実質的に大きくすることができ、言い換えれば第一の駒部材１の水平端面１ｃの面積を実質的に大きくすることができる。その結果、支持ロッド１は、ロッド１の軸線の方向および該軸線と直交する方向にがたつくことはなく、しかも傾くことなく、確実に端板２に固定される。
【００３４】
次に、このウエハボートの組み立て方を説明する。
まず、端板２の貫通穴２ｂに、支持ロッド１のＬ条切欠き部１ｂを外側（カムストッパの配置側と反対側）に向けて挿入し、Ｌ条切欠き部１ｂの水平端面１ｃを端板２の上面２ａに当接させる。
その後、カムストッパ３側から支持ロッド１に向けて、第一の駒部材４を移動させ、第一の駒部材４の内面４ａ、４ｂ、４ｃで支持ロッド１を保持させる。
【００３５】
第一の駒部材４による支持ロッド１の保持の後、第二の駒部材５を第一の駒部材４の上方から下方に移動させる。このとき、第二の駒部材５の内面５ｂを第一の駒部材４の面４ｆに接しながら移動させる。前記したように、外側に位置する第二の駒部材５の内面５ｂ両角にはアール部５ｄ，５ｅが形成されているため、第一、第二の駒部材４，５の角部（面取り部４ｇ、４ｈ）が干渉することない。
また、第二の駒部材５の内面５ａが、第一の駒部材４のテーパ面４ｄと接し、内面５ｂが第一の駒部材４の側面４ｆと接し、前記内面に対向する内面５ｃが支持ロッド１の側面１ｅと接する。
【００３６】
そして、第二の駒部材５を第一の駒部材４のテーパ面４ｄ上を上方から下方に移動させるにつれて、第二の駒部材５は支持ロッド１及び第一の駒部材４をより強固に保持し、第一の駒部材４が支持ロッド１を強固に保持する。その結果、支持ロッド１、第一の駒部材４、第二の駒部材５は一体化する。
【００３７】
その後、カムストッパ３を端板２に取り付ける。取り付けは、図２に示した状態から９０度時計回りに回動した位置（カム部３ｄが上方におかれる位置）において、係止部３ｅを貫通穴２ｃに挿通させることにより、取り付ける。
そして、カムストッパ３を矢印方向に回転させると、カム部３ｄのＰ１点においてフ字状溝の係合部４ｅと接触し、第一の駒部材４を介して、支持ロッド１の端部を貫通穴２ｂの側壁に徐々に押し付けるように作用する。
このように、フ字状のカム部３ｄがフ字状溝の係合部４ｃを押圧するため、その分力が下方向に働き、第一の駒部材４の端板２からの浮上りを防止できる。
その結果、支持ロッド１の水平端面１ｃの接触面積を実質的に大きくすることができ、支持ロッド１の傾きを防止しつつ、支持ロッド１を端板２の外側に横移動（図２に示した左方向）させることができる。そして、最終的に支持ロッド１の垂直端面１を貫通穴２ｂの側壁に押し付け、固定することができる。
【００３８】
以上説明したように、支持ロッド１に第一の駒部材４を一体化し、この駒部材４に形成されたフ字状溝の係合部４ｅと、カムストッパ３のカム部３ｄを係合させたため、支持ロッド１の傾きが防止され、支持ロッド１の軸線の方向および軸線と直交する方向にがたつくことなく、支持ロッド１を確実に固定することができる。
【００３９】
次に、第一の実施形態の変形例について、図３乃至図６に基づいて説明する。図３は、第一の変形例を示す図であって、（ａ）は（ｂ）のＩ−Ｉ方向から見た平面図、（ｂ）は側面図である。また、図４は第二の変形例を示す図であって、（ａ）は（ｂ）のＩ−Ｉ方向から見た平面図、（ｂ）は側面図である。更に、図５は第三の変形例を示す図であって、（ａ）は（ｂ）のＩ−Ｉ方向から見た平面図、（ｂ）は側面図である。また図６は第四の変形例を示す側面図である。
【００４０】
図３に示した第一の変形例は、第一の実施形態における、断面コ字状の第二の駒部材５を枠状の駒部材７にしたものである。このように、枠状の第二の駒部材７にすることにより、第二の駒部材７が第一の駒部材４から外れ難くなり、支持ロッド１、第一の駒部材４、第二の駒部材７をより強固に一体化することができる。
【００４１】
図４に示した第二の変形例は、第一の駒部材４に形成されたテーパ面４ｄを側面全面に設けると共に、第二の駒部材８にフ字状溝の係合部８ａを形成し、前記係合部８ａにカム部３ｄが係合するように構成されている。
そのため、第二の駒部材８はストッパカム３によって脱落が防止される。また、端板２の上面２ａに第一の駒部材４のみならず第二の駒部材８の底面も接するため、端板２の上面２ａと接する面積を大きくすることができ、支持ロッド１の傾きをより防止することができる。
【００４２】
図５に示した第三の変形例は、図４に示した第二の変形例の第二の駒部材８を枠状の駒部材９にしたものである。このように、枠状の第二の駒部材９にすることにより、第一の変形例と同様に、第二の駒部材９が第一の駒部材４から外れ難くなり、支持ロッド１、第一の駒部材４、第二の駒部材９をより強固に一体化することができる。なお、図中の符号９ａはカム部３ｄが係合するフ字状溝の係合部である。
【００４３】
図６に示した第四の変形例は支持ロッドの変形例であって、この支持ロッド１０の下端部にはコ字状の切欠き部１０ａが形成されている。
この切欠き部１０ａは、端板２の上面と接する水平端面１０ｂと、端板２の貫通穴側壁と接する垂直端面１０ｃと、端板２の下面に接する下側端面１０ｄとを備えている。したがって、水平端面１０ｂと下側端面１０ｄとの間の距離を端板２の厚さに設定すれば、支持ロッド１の傾きをより防止できる。
【００４４】
なお、上記した実施形態においては縦型ウエハボートを例にとって説明したが、本発明は横型ウエハボートにも適用することができる。
また、前記した支持ロッドの固定手段は、上側端面および下側端面との両固定に用いる場合のみならず、上側端板あるいは下側端板のいずれかの固定のみに用いても良い。また、前記した固定手段は、他の固定手段との併用を妨げるものでもない。
【００４５】
【発明の効果】
この発明によれば、支持ロッドの寸法形状を増大させることなく、支持ロッドが傾くことなく、また支持ロッドと端板との接触面積が実質的に大きくなり、端板に確実に固定することのできるウエハボートを得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は、本発明の一実施形態にかかるウエハボードに用いられる支持ロッドの側面図である。
【図２】図２は、本発明の一実施形態において、支持ロッドが端板に固定されている状態を示す図であって、（ａ）は（ｂ）のＩ−Ｉ方向から見た平面図、（ｂ）は側面図である。
【図３】図３は、本発明の実施形態の第一の変形例を示す図であって、（ａ）は（ｂ）のＩ−Ｉ方向から見た平面図、（ｂ）は側面図である。
【図４】図４は、第二の変形例を示す図であって、（ａ）は（ｂ）のＩ−Ｉ方向から見た平面図、（ｂ）は側面図である。
【図５】図５は、第三の変形例を示す図であって、（ａ）は（ｂ）のＩ−Ｉ方向から見た平面図、（ｂ）は側面図である。
【図６】図６は、第四の変形例を示す側面図である。
【図７】図７は従来のウエハボートの概略正面図である。
【図８】図８は図７に示したウエハボートの要部拡大断面図であって、支持ロッドの固定手段を示した図である。
【符号の説明】
１支持ロッド
１ｂ切欠き部
１ｃ水平端面
１ｄ垂直端面
２端板（下側端板）
２ａ上面
２ｂ貫通穴
２ｃ貫通穴
３カムストッパ
３ａ回動軸
３ｄカム部
３ｅ係止部
４第一の駒部材
４ｄテーパ面
４ｅ係合部
５第二の駒部材
６第二の駒部材
７第二の駒部材
８第二の駒部材
９第二の駒部材
１０支持ロッド[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a wafer boat, and more particularly to a wafer boat that supports semiconductor wafers in multiple stages and is used for heat treatment or the like.
[0002]
[Prior art]
In general, in a semiconductor manufacturing process, a wafer boat that aligns and supports a plurality of semiconductor wafers is used in order to perform heat treatment and other processing of semiconductor wafers in a lump.
This wafer boat includes a horizontal wafer boat that vertically aligns and supports semiconductor wafers, and a vertical wafer boat that horizontally aligns and supports semiconductor wafers. These wafer boats have a structure in which a plurality of support rods are bridged between a pair of end plates spaced apart from each other, and wafer insertion grooves are arranged at a constant pitch along the rod axis direction on the inner surface of each support rod. have.
These wafer boats are of an assembly type in which members such as a support rod and an end plate can be attached and detached in consideration of cleaning and repair after use.
[0003]
This conventional assembly-type wafer boat will be described with reference to FIGS. 7 is a schematic front view of a conventional wafer boat, and FIG. 8 is an enlarged cross-sectional view of the main part of the wafer boat shown in FIG. 7, showing a fixing means for the support rod.
As shown in FIG. 7, this conventional wafer boat 100 includes four parallel support rods 101, 102, 103, 104 for horizontally supporting a number of semiconductor wafers, and each support rod 101, 102, 103, 104. Are provided with a substantially circular lower end plate 105 and upper end plate 106 that are detachably held at both ends.
The support rods 101, 102, 103, and 104 are formed of pillars having a circular cross section, and wafer insertion grooves 101a, 102a, 103a, and 104a having a constant pitch are formed on the inner surfaces of the support rods 101, 102, 103, and 104. Many are formed in the rod axis direction.
[0004]
Next, the fixing of the support rods 101, 102, 103, 104 to the end plates 105, 106 will be described with reference to FIG. In addition, since the fixing means of each support rod is the same structure, the fixing means which fixes the support rod 101 to the lower end board 105 is demonstrated.
As shown in FIG. 8, a cam stopper 107 is used for the fixing means in order to fix the support rod 101 to the lower end plate 105.
The cam stopper 107 includes a main body of the cam stopper 107a, a cam portion 107b formed on the outer peripheral portion of the main body 107a, a rotary shaft 107c formed on the lower surface of the main body 107a and passing through the through hole 105a of the lower end plate 105, and the rotary shaft. A locking portion 107d that prevents the cam stopper 107 from falling off from the through hole 105a is provided at the end portion of 107c.
[0005]
Further, an end portion of the support rod 101 is formed with a notch portion 101b having an L-shaped longitudinal section, and a notch portion having a U-shaped longitudinal section above the opposite side of the notch portion 101b. 101c is formed.
The end of the support rod 101 is inserted into the through hole 105 b of the lower end plate 105. The horizontal end surface 101 d of the notch 101 b is in contact with the upper surface of the lower end plate 105, and the vertical end surface 101 e is in contact with the side wall of the through hole 105.
The U-shaped notch 101c is configured such that the cam 107b of the cam stopper 107a can slide.
[0006]
Next, a method for fixing the support rod 101 on the lower end plate 105 of the conventional wafer boat 100 will be described.
Insert the L-shaped notch 101b of the support rod 101 to the outside and the U-shaped notch 101c toward the cam stopper 107 (inside) into the through hole 105b of the lower end plate 105, and the horizontal end surface of the L-shaped notch 101b. 101 d is brought into contact with the upper surface of the lower end plate 105.
Thereafter, the cam stopper 107 is rotated, the support rod 101 is moved in parallel to the outside of the end plate 105, and the vertical end surface 101e of the support rod 105 is brought into contact with the side wall of the through hole 105b and fixed.
[0007]
[Problems to be solved by the invention]
By the way, in the conventional assembly-type wafer boat, as described above, due to the pressing force of the cam stopper 107, the support rod rattles in the direction orthogonal to the axis of the support rod 101, and the rod axis direction Prevents rattling.
However, if there is a gap S between the through hole 105b of the end plate 105 and the end of the support rod 101, the support rod 101 may be tilted as shown by the phantom line in FIG. There is.
As described above, when the support rod 101 is tilted, an excessive force acts on the U-shaped notch 101c and the cam stopper 107, and the U-shaped notch 101c and the cam stopper 107 may be damaged. Similarly, an excessive force acts on the horizontal end surface 101d, and the horizontal end surface 101d may be damaged.
[0008]
As a method for solving this problem, it is conceivable that the dimensional shape of the through hole is matched with the dimensional shape of the end portion of the support rod, and the support rod is held in the through hole without rattling.
However, a certain amount of clearance is required to insert the support rod into the through hole. The wafer boat is repeatedly used and cleaned. Therefore, the dimensional shape of the through hole is large, and on the other hand, the dimensional shape of the end portion of the support rod is small, and a gap is generated between the support rod and the through hole. Further, when assembly and disassembly of the wafer boat are repeated, a gap is generated between the support rod and the through hole due to wear.
As described above, even if the dimension shape of the through hole is matched with the dimension shape of the end portion of the support rod, a gap is generated between the support rod and the through hole during use, causing the above-described problem. .
[0009]
As another method for solving this problem, it is conceivable to increase the area of the horizontal end face of the support rod. Thus, if the area of the horizontal end surface of the support rod is increased, the contact area with the upper surface of the end plate is increased, and the tilt of the support rod can be prevented.
However, in order to increase the area of the horizontal end surface of the support rod, it is necessary to increase the dimensional shape (diameter) of the support rod.
As a result, the wafer boat becomes heavy, and a new technical problem arises that handling is poor. Also, since the weight of the support rod increases, once the support rod is tilted, a large force acts on the U-shaped notch and cam stopper, making the U-shaped notch or cam stopper of the support rod easier than in the conventional case. There was a technical problem that it was damaged.
[0010]
The present invention has been made to solve the above problems, and provides a wafer boat that can be securely fixed to an end plate without increasing the size and shape of the support rod and without tilting the support rod. It is for the purpose.
[0011]
[Means for Solving the Problems]
The present invention has been made to achieve the above object, and a wafer boat according to the present invention includes a semiconductor wafer. Horizontally A plurality of support rods to support, a pair of end plates that detachably hold both ends of the support rods, a cam stopper rotatably provided on the end plates to fix the support rods to the end plates, An engagement portion that engages with the cam portion of the cam stopper is formed, A first piece member that holds a lower portion of the support rod, and the one end plate includes a through hole into which one end of the support rod is inserted, and a through hole into which the cam stopper is attached, At least one end of the support rod is a horizontal end surface in contact with one surface of one end plate, and Support rod is inserted With the vertical end surface in contact with the side wall of the through hole, the cam stopper is rotated with the bottom surface of the first piece member holding the lower portion of the support rod in contact with one surface of the end plate, Engage the cam portion of the cam stopper with the engaging portion of the first piece member, The vertical end face of the support rod The support rod is inserted The support rod is fixed to the one end plate by being pressed against the side wall of the through hole.
[0012]
In this way, by rotating the cam stopper with the bottom surface of the first piece member holding the lower part of the support rod in contact with one surface of the end plate, the vertical end surface of the support rod is pressed against the side wall of the through hole. The support rod is fixed to the one end plate.
Therefore, the area in contact with the end plate can be increased without increasing the weight of the support rod. In other words, the area of the horizontal end face of the support rod can be substantially increased while suppressing an increase in the weight of the wafer board.
As a result, the support rod can be prevented from tilting and the support rod can be firmly fixed to the end plate.
[0013]
In particular, An engaging portion that engages with the cam portion of the cam stopper is formed on the first piece member. For support It is possible to prevent the first piece member from dropping from the rod.
Moreover, since it is not necessary to form the engaging part which engages with a cam part in a support rod, the mechanical strength of a support rod increases. Therefore, the cross-sectional shape of the support rod can be reduced with the same mechanical strength.
[0014]
Here, the engaging portion formed on the side surface of the first piece member is a groove having a horizontal wall surface and the inclined wall surface, and the inclined wall surface of the groove is first from the back side of the horizontal wall surface. The cam portion of the cam stopper has a tip shape having a horizontal wall surface and an inclined wall surface, and is in contact with the engaging portion of the first piece member. Being formed It is desirable.
in this way ,So-called The U-shaped cam part So-called In order to press the engagement portion of the U-shaped groove, the component force acts downward, and the first piece member is pressed against the end plate. As a result, the inclination of the support rod can be suppressed.
[0015]
Further, a taper surface is formed on one side surface of the first piece member, a second piece member is provided in which one inner surface is in contact with the taper surface, and another inner surface opposite to the taper surface is in contact with one surface of the support rod. The first piece member and the support rod are preferably held by the second piece member.
Thus, by the tapered surface, the second piece member holds the support rod and the first piece member more firmly, and the first piece member holds the support rod firmly. As a result, the support rod, the first piece member, and the second piece member are integrated.
[0016]
The present invention has been made to achieve the above object, and a wafer boat according to the present invention includes a semiconductor wafer. Horizontally A plurality of support rods to be supported; a pair of end plates that detachably hold both ends of the support rods; a cam stopper that is pivotally provided on the end plates to fix the support rods to the end plates; A first piece member that holds the lower portion of the support rod and has a tapered surface formed on one side surface thereof, and an inner surface that is in contact with the tapered surface of the first piece member and that is opposed to the inner surface. A second piece member in contact with one surface of the support rod, wherein the one end plate has a through hole into which one end of the support rod is inserted and a through hole into which the cam stopper is attached, and the support rod At least one end of the horizontal end surface in contact with one surface of the one end plate, and Support rod is inserted A vertical end surface in contact with a side wall of the through hole, the second piece member has an engaging portion that engages with a cam portion of a cam stopper, and the bottom surfaces of the first and second piece members are end portions. While in contact with one surface of the plate, rotate the cam stopper, Engage the cam portion of the cam stopper with the engaging portion of the second piece member, The vertical end face of the support rod The support rod is inserted The support rod is fixed to the one end plate by being pressed against the side wall of the through hole.
[0017]
In this way, with the bottom surfaces of the first and second piece members in contact with one surface of the end plate, the cam stopper is rotated and the vertical end surface of the support rod is pressed against the side wall of the through hole, thereby It is fixed to the one end plate.
Therefore, the area in contact with the end plate can be increased without increasing the weight of the support rod. In other words, the area of the horizontal end face of the support rod can be substantially increased while suppressing an increase in the weight of the wafer board. As a result, the support rod can be prevented from tilting and the support rod can be firmly fixed to the end plate.
[0018]
here, The engaging portion formed on the side surface of the second piece member is a groove having a horizontal wall surface and the inclined wall surface, and the inclined wall surface of the groove is formed from the back side of the horizontal wall surface of the second piece member. The cam portion of the cam stopper has a tip shape having a horizontal wall surface and an inclined wall surface, and is in contact with the engaging portion of the second piece member. It is desirable that it is formed.
As mentioned above, So-called The U-shaped cam part So-called In order to press the engaging portion of the U-shaped groove, the component force acts downward, and the second piece member is pressed against the end plate. As a result, the inclination of the support rod can be suppressed.
[0019]
The cam stopper includes at least a rotation shaft and a cam main body, the rotation shaft is formed in a circular shape centered on one point, and an outer edge portion shape of the cam main body is different from the center point. It is desirable that it is formed in a circular shape centering on the.
As described above, since the outer edge portion of the cam body is formed in a circular shape centered on a point different from the center point of the rotation shaft, it is not necessary to form the cam body with a complicated cam contour curve. A cam part can be formed.
[0020]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. 1 or FIG. Here, a vertical wafer boat will be described as an example. FIG. 1 is a side view of a support rod, FIG. 2 is a view showing a state where the support rod is fixed to an end plate, and (a) is a plan view seen from the II direction of (b), (B) is a side view.
[0021]
As in the conventional wafer boat shown in FIG. 8, this wafer boat has four parallel support rods that horizontally support a number of semiconductor wafers (not shown), and both ends of each support rod are detachable. A substantially circular lower end plate and upper end plate to be held, a cam stopper for fixing the support rod to the lower end plate, and a cam stopper for fixing the support rod to the upper end plate are provided.
Here, the feature of the wafer boat according to the present invention resides in a fixing means for fixing the support rod and the upper end plate, and fixing the support rod and the lower end plate. Therefore, the fixing means will be described in detail with reference to FIGS. 1 and 2, and the detailed description of the same configuration as the conventional one will be omitted. In addition, since the fixing means in the lower end plate and the upper end plate has the same configuration, in the following description, the lower end plate (hereinafter referred to as end plate) will be described as an example.
[0022]
The support rod 1 used in this wafer boat is formed by a column having a rectangular cross section, and a large number of wafer insertion grooves 1 a having a constant pitch are formed on the inner surface of the support rod 1 in the axial direction of the support rod 1.
Further, as shown in FIG. 1, a cutout portion 1 b having an L-shaped longitudinal section is formed at the end of the support rod 1. The horizontal end surface 1c of the notch 1b is configured to contact the upper surface 2a of the end plate 2, and the vertical end surface 1d is configured to contact the side wall of the through hole 2b formed in the end plate 2.
Unlike the conventional case, the support rod 1 is not formed with a notch having a U-shaped longitudinal section above the opposite side of the notch 1b.
[0023]
Moreover, the code | symbol 4 of FIG. 2 is a 1st piece member, Comprising: This piece member 4 is formed in cross-sectional U shape, The inner surface 4a, 4b, 4c covers three side surfaces under the support rod 1, It is comprised so that the lower part of the support rod 1 may be hold | maintained. The inner surfaces 4a and 4c of the first piece member 4 are formed shorter than the side surfaces of the supporting rod 1 to be held. Therefore, a part (side surface 1 e) of the support rod 1 protrudes from the side surface of the first piece member 1.
[0024]
In addition, a tapered surface 4d is formed on the upper portion of the side surface facing the open side surface of the first piece member 4 formed in a U-shape. The tapered surface 4d is formed as an inclined surface that gradually expands from the upper surface of the first piece member 4 toward the lower surface.
Further, an engaging portion 4e of a F-shaped groove that engages with the cam stopper 3 is formed below the tapered surface 4d.
In addition, this So-called Inclination that forms a U-shaped groove Wall Horizontal Wall The angle (opening angle) θ is preferably 40 to 50 degrees, whereby the component force can be applied more appropriately downward, and the first piece member is more firmly pressed against the end plate. It is done.
The first piece member 4 is placed on the upper surface of the end plate 2. That is, the bottom surface of the first piece member 4 is in contact with the upper surface 2a of the end plate 2, and substantially acts to increase the area of the horizontal end surface 1c of the support rod 1.
[0025]
Reference numeral 5 in FIG. 2 is a second piece member, which is formed in a U-shaped cross section, and its inner surface 5a is in contact with the tapered surface 4d of the first piece member 4, and the inner surface 5b. Is in contact with the side surface 4 f of the first piece member 4, and the inner surface 5 c is in contact with the side surface 1 e of the support rod 1 to hold the support rod 1 and the first piece member 4.
The second piece member 5 moves on the tapered surface 4d from the upper side to the lower side of the first piece member 4, so that the second piece member 5 moves the support rod 1 and the first piece member 4 more. The first piece member 4 holds the support rod 1 firmly. As a result, the support rod 1, the first piece member 4, and the second piece member 5 are integrated.
[0026]
Further, chamfered portions 4g and 4h are formed on both sides of the side surface 4f of the first piece member 4 in contact with the inner surface 5b of the second piece member 5. On the other hand, rounded portions 5d and 5e are formed at both corners of the inner surface 5b facing the chamfered portions 4g and 4h.
As described above, the chamfered portions 4g and 4h are formed at both corners of the side surface 4f of the first piece member 4 positioned on the inner side, and the inner corners of the second piece member 4 positioned on the outer side are the rounded portions 5d and 5e. Both corners can be fitted firmly without interference.
[0027]
The end plate 2 is formed with a through hole 2b through which the lower end of the support rod 1 is inserted, and a through hole 2c is formed inside the end plate 2 adjacent to the through hole 2b. The rotating shaft 3a of the cam stopper 3 is accommodated in the through hole 2c.
[0028]
The cam stopper 3 is formed on the rotation shaft 3a, the intermediate portion 3b formed on the upper surface of the rotation shaft 3a, the main body portion 3c formed on the upper surface of the intermediate portion 3b, and the outer peripheral portion of the main body portion 3c. And a cam portion 3d.
The cam portion 3d Has a tip shape with a horizontal wall surface and an inclined wall surface, so-called It is formed in a U-shape and is configured to come into contact with the engaging portion 4 e of the U-shaped groove of the first piece member 4. The end portion angle of the distal end portion of the cam portion 3d formed in the F shape is −0.1− of the open angle θ of the F shape groove (engagement portion 4e) of the first piece member 4 described above. It is preferably 1 degree. Note that a locking portion 3e that is locked to the bottom surface of the end plate 2 and prevents the cam stopper 3 from falling off is provided at the lower end of the rotating shaft 3a.
[0029]
The rotating shaft 3a and the intermediate portion 3b are formed in a circular shape centered on the center O1, and the outer edge portion shape (cam contour curve) of the cam portion 3b is formed in a circular shape centered on the center O2. . The center O2 is provided at a position shifted from the center O1.
[0030]
As a result, when the cam stopper 3 is rotated in the arrow direction, the cam stopper 3 comes into contact with the engaging portion 4e of the F-shaped groove at the point P1 of the cam portion 3b, and the end portion of the support rod 1 is interposed via the first piece member 4. Acts to be gradually pressed against the side wall of the through hole 2b. Thus, since the cam stopper 3 rotates, the movement amount (displacement amount) of the support rod 1 can be gradually increased, and accordingly, the pressing force can be gradually increased.
[0031]
Moreover, the contact point does not change even when the cam stopper 3 is rotated. That is, since the rotation center of the cam stopper 3 is located on the normal line of the contact point between the cam stopper 3 and the support rod 1, the cam stopper 3 is not deformed such as torsion. Further, since the rotation center of the cam stopper 3 is positioned on the normal line of the contact point between the cam stopper 3 and the support rod 1, the cam stopper 3 is not rotated unintentionally due to the reaction force from the support rod 1.
[0032]
Further, since the F-shaped cam portion 3d presses the engagement portion 4e of the F-shaped groove, the component force acts downward, and the first piece member 4 is pressed against the end plate 2 while supporting rod. 1 can be moved to the outside of the end plate 2 (left direction shown in FIG. 2). Therefore, the tilt of the support rod 1 can be suppressed when the support rod 1 moves.
[0033]
Moreover, since the bottom surface of the first piece member 1 is in contact with the upper surface 2a of the end plate 2, the contact area with the upper surface 2a of the end plate 2 can be substantially increased, in other words, the first piece member. The area of one horizontal end face 1c can be substantially increased. As a result, the support rod 1 does not rattle in the direction of the axis of the rod 1 and in the direction perpendicular to the axis, and is securely fixed to the end plate 2 without tilting.
[0034]
Next, how to assemble this wafer boat will be described.
First, the L strip notch portion 1b of the support rod 1 is inserted into the through hole 2b of the end plate 2 toward the outside (the side opposite to the cam stopper arrangement side), and the horizontal end face 1c of the L strip notch portion 1b is end-ended. It abuts on the upper surface 2 a of the plate 2.
Thereafter, the first piece member 4 is moved from the cam stopper 3 side toward the support rod 1, and the support rod 1 is held by the inner surfaces 4 a, 4 b, and 4 c of the first piece member 4.
[0035]
After holding the support rod 1 by the first piece member 4, the second piece member 5 is moved downward from above the first piece member 4. At this time, the inner surface 5 b of the second piece member 5 is moved while being in contact with the surface 4 f of the first piece member 4. As described above, since the rounded portions 5d and 5e are formed at both corners of the inner surface 5b of the second piece member 5 located on the outside, the corner portions (chamfered portions) of the first and second piece members 4 and 5 are formed. 4g, 4h) does not interfere.
The inner surface 5a of the second piece member 5 is in contact with the tapered surface 4d of the first piece member 4, the inner surface 5b is in contact with the side surface 4f of the first piece member 4, and the inner surface 5c facing the inner surface is supported. It contacts the side surface 1e of the rod 1.
[0036]
Then, as the second piece member 5 is moved downward from above on the tapered surface 4d of the first piece member 4, the second piece member 5 strengthens the support rod 1 and the first piece member 4 more firmly. The first piece member 4 holds the support rod 1 firmly. As a result, the support rod 1, the first piece member 4, and the second piece member 5 are integrated.
[0037]
Thereafter, the cam stopper 3 is attached to the end plate 2. The attachment is performed by inserting the locking portion 3e into the through hole 2c at a position rotated clockwise by 90 degrees from the state shown in FIG. 2 (position where the cam portion 3d is placed upward).
When the cam stopper 3 is rotated in the direction of the arrow, the cam stopper 3 comes into contact with the engaging portion 4e of the U-shaped groove at the point P1 of the cam portion 3d, and penetrates the end of the support rod 1 through the first piece member 4. It acts to gradually press against the side wall of the hole 2b.
In this way, since the F-shaped cam portion 3d presses the engagement portion 4c of the F-shaped groove, the component force acts downward, and the first piece member 4 is lifted from the end plate 2. Can be prevented.
As a result, the contact area of the horizontal end surface 1c of the support rod 1 can be substantially increased, and the support rod 1 is laterally moved to the outside of the end plate 2 while preventing the support rod 1 from tilting (shown in FIG. 2). Left direction). Finally, the vertical end surface 1 of the support rod 1 can be pressed against the side wall of the through hole 2b and fixed.
[0038]
As described above, the first piece member 4 is integrated with the support rod 1, and the engaging portion 4e of the U-shaped groove formed in the piece member 4 and the cam portion 3d of the cam stopper 3 are engaged. The inclination of the support rod 1 is prevented, and the support rod 1 can be securely fixed without rattling in the direction of the axis of the support rod 1 and the direction perpendicular to the axis.
[0039]
Next, a modification of the first embodiment will be described with reference to FIGS. FIGS. 3A and 3B are diagrams showing a first modification, in which FIG. 3A is a plan view seen from the II direction of FIG. 3B, and FIG. 3B is a side view. 4A and 4B are diagrams showing a second modification, in which FIG. 4A is a plan view seen from the II direction of FIG. 4B, and FIG. 4B is a side view. Further, FIG. 5 is a diagram showing a third modification, in which (a) is a plan view seen from the II direction of (b), and (b) is a side view. FIG. 6 is a side view showing a fourth modification.
[0040]
The first modification shown in FIG. 3 is obtained by replacing the second piece member 5 having a U-shaped cross section with a frame-shaped piece member 7 in the first embodiment. Thus, by making the frame-shaped second piece member 7, the second piece member 7 becomes difficult to come off from the first piece member 4, and the support rod 1, the first piece member 4, and the second piece The piece member 7 can be integrated more firmly.
[0041]
In the second modification shown in FIG. 4, a tapered surface 4 d formed on the first piece member 4 is provided on the entire side surface, and an engagement portion 8 a of a U-shaped groove is formed on the second piece member 8. The cam portion 3d engages with the engaging portion 8a.
Therefore, the second piece member 8 is prevented from falling off by the stopper cam 3. Further, since not only the first piece member 4 but also the bottom surface of the second piece member 8 is in contact with the upper surface 2a of the end plate 2, the area in contact with the upper surface 2a of the end plate 2 can be increased. Tilt can be further prevented.
[0042]
The third modification shown in FIG. 5 is obtained by changing the second piece member 8 of the second modification shown in FIG. 4 into a frame-shaped piece member 9. As described above, by using the frame-shaped second piece member 9, the second piece member 9 is unlikely to be detached from the first piece member 4 in the same manner as in the first modified example. The one piece member 4 and the second piece member 9 can be integrated more firmly. In addition, the code | symbol 9a in a figure is an engaging part of the F-shaped groove | channel which the cam part 3d engages.
[0043]
The fourth modification shown in FIG. 6 is a modification of the support rod, and a U-shaped notch 10 a is formed at the lower end of the support rod 10.
The notch 10 a includes a horizontal end surface 10 b in contact with the upper surface of the end plate 2, a vertical end surface 10 c in contact with the through hole side wall of the end plate 2, and a lower end surface 10 d in contact with the lower surface of the end plate 2. Therefore, if the distance between the horizontal end surface 10b and the lower end surface 10d is set to the thickness of the end plate 2, the tilt of the support rod 1 can be further prevented.
[0044]
In the above-described embodiment, the vertical wafer boat has been described as an example. However, the present invention can also be applied to a horizontal wafer boat.
Further, the fixing means for the support rod described above may be used not only for fixing both the upper end surface and the lower end surface, but also only for fixing either the upper end plate or the lower end plate. Further, the fixing means described above does not prevent the combined use with other fixing means.
[0045]
【The invention's effect】
According to the present invention, without increasing the size and shape of the support rod, the support rod is not inclined, and the contact area between the support rod and the end plate is substantially increased, so that the support rod can be securely fixed to the end plate. A wafer boat that can be obtained can be obtained.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a side view of a support rod used in a wafer board according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a view showing a state in which a support rod is fixed to an end plate in an embodiment of the present invention, wherein (a) is a plane viewed from the II direction of (b). FIG. 4B is a side view.
FIGS. 3A and 3B are views showing a first modification of the embodiment of the present invention, in which FIG. 3A is a plan view seen from the II direction of FIG. 3B, and FIG. It is.
4A and 4B are diagrams showing a second modified example, in which FIG. 4A is a plan view seen from the II direction of FIG. 4B, and FIG. 4B is a side view.
FIGS. 5A and 5B are diagrams showing a third modification, in which FIG. 5A is a plan view seen from the II direction of FIG. 5B, and FIG. 5B is a side view;
FIG. 6 is a side view showing a fourth modification.
FIG. 7 is a schematic front view of a conventional wafer boat.
FIG. 8 is an enlarged cross-sectional view of a main part of the wafer boat shown in FIG. 7, showing a fixing means for the support rod.
[Explanation of symbols]
1 Support rod
1b Notch
1c Horizontal end face
1d vertical end face
2 End plate (lower end plate)
2a Top view
2b Through hole
2c Through hole
3 Cam stopper
3a Rotating shaft
3d cam part
3e Locking part
4 First piece member
4d taper surface
4e engagement part
5 Second piece member
6 Second piece member
7 Second piece member
8 Second piece member
9 Second piece
10 Support rod

Claims

A plurality of support rods that horizontally support the semiconductor wafer, a pair of end plates that detachably hold both ends of the support rods, and a pivotable end plate provided to fix the support rods to the end plates. And a first piece member that holds the lower portion of the support rod , and an engaging portion that engages with the cam portion of the cam stopper is formed .
The one end plate has a through hole into which one end of a support rod is inserted, and a through hole into which the cam stopper is attached,
At least one end of the support rod has a horizontal end surface in contact with one surface of one end plate, and a vertical end surface in contact with a side wall of the through hole into which the support rod is inserted ,
With the bottom surface of the first piece member holding the lower part of the support rod in contact with one surface of the end plate, the cam stopper is rotated, and the cam portion of the cam stopper is engaged with the engaging portion of the first piece member. The wafer boat is characterized in that the support rod is fixed to the one end plate by pressing the vertical end surface of the support rod against the side wall of the through hole in which the support rod is inserted .

The engaging portion formed on the side surface of the first piece member is a groove provided with a horizontal wall surface and the inclined wall surface, and the inclined wall surface of the groove is formed from the back side of the horizontal wall surface of the first piece member. It is a surface inclined downward toward the side surface,
The cam portion of the cam stopper has a tip shape having a horizontal wall surface and an inclined wall surface, and is formed so as to contact the engaging portion of the first piece member. Wafer boat.

A tapered surface is formed on one side surface of the first piece member, a second piece member is provided in which one inner surface is in contact with the tapered surface, and another inner surface opposite to the tapered surface is in contact with one surface of the support rod, 3. The wafer boat according to claim 1, wherein the first piece member and the support rod are held by the second piece member.

A plurality of support rods that horizontally support the semiconductor wafer, a pair of end plates that detachably hold both ends of the support rods, and a pivotable end plate provided to fix the support rods to the end plates. A cam stopper, a first piece member holding a lower portion of the support rod and having a tapered surface formed on one side surface thereof, and an inner surface of the first piece member contacting the tapered surface of the first piece member. A second piece member in contact with the other surface of the support rod,
The one end plate has a through hole into which one end of a support rod is inserted, and a through hole into which the cam stopper is attached,
At least one end of the support rod has a horizontal end surface in contact with one surface of one end plate, and a vertical end surface in contact with a side wall of the through hole into which the support rod is inserted ,
The second piece member has an engaging portion that engages with a cam portion of a cam stopper,
With the bottom surfaces of the first and second piece members in contact with one surface of the end plate, the cam stopper is rotated, and the cam portion of the cam stopper is engaged with the engaging portion of the second piece member to support it. A wafer boat, wherein a support rod is fixed to the one end plate by pressing a vertical end surface of the rod against a side wall of a through hole in which the support rod is inserted .

The engaging portion formed on the side surface of the second piece member is a groove having a horizontal wall surface and the inclined wall surface, and the inclined wall surface of the groove is formed from the back side of the horizontal wall surface of the second piece member. It is a surface inclined downward toward the side surface,
The cam portion of the cam stopper has a tip shape having a horizontal wall surface and an inclined wall surface, and is formed so as to be in contact with the engaging portion of the second piece member. Wafer boat.

The cam stopper has at least a rotation shaft and a cam main body portion, and the rotation shaft is formed in a circular shape centered on one point, and an outer edge shape of the cam main body portion is centered on a point different from the center point. 6. The wafer boat according to claim 1, wherein the wafer boat is formed in a circular shape.