JP4025322B2

JP4025322B2 - 半導体装置の製造方法

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Publication number: JP4025322B2
Application number: JP2004238471A
Authority: JP
Inventors: 誠樹作山; 正行落合; 一郎山口; 城次藤森
Original assignee: Fujitsu Ltd
Current assignee: Fujitsu Ltd
Priority date: 2001-11-15
Filing date: 2004-08-18
Publication date: 2007-12-19
Anticipated expiration: 2022-08-27
Also published as: JP2004320064A

Description

本発明は、バンプ電極を有する半導体チップなどの半導体装置の製造方法に関する。

近年、プリント配線板やセラミック基板への電子部品の実装に関しては、高密度化の要求が高まっている。半導体チップについては、かかる要求を満たす方式としてベアチップ実装が注目されている。ベアチップ実装においては、半導体チップと基板配線の電気的接続がワイヤボンディングにより達成される従来のフェイスアップ実装に代わり、バンプ電極を設けた半導体チップを、当該バンプ電極と配線基板の電極とを接続しつつ配線基板に搭載するフェイスダウン実装ないしフリップチップ実装が採用される傾向にある。

図１１〜図１３は、バンプ電極を有する半導体チップないし半導体装置の従来の製造方法の一例を表す。当該方法においては、まず、図１１（ａ）に示すような半導体基板６０に対して、図１１（ｂ）に示すように、電気めっき用の導電膜６３が形成される。半導体基板６０には、所定のピッチで配設された複数の電極部６１と、基板表面を保護するための保護膜６２とが予め設けられている。電極部６１は、半導体基板６０の表面にパターン形成されたＡｌ配線またはＣｕ配線の一部に相当する。保護膜６２は、電極部６１に対応する箇所に開口部６２ａを有する。導電膜６３は、Ｔｉ，ＮｉまたはＣｕなどのスパッタリングや蒸着により、電極部６１および保護膜６２の表面を被覆するように形成される。次に、図１１（ｃ）に示すように、半導体基板６０に対して樹脂膜６４を積層形成する。具体的には、感光性を有する液状の樹脂組成物を、半導体基板６０に対してスピンコーティングする。

次に、図１２（ａ）に示すように、樹脂膜６４における、各電極部６１に対応する箇所に対して、所定のマスク（図示略）を使用した露光処理およびその後の現像処理を施すことにより、開口部６４ａを形成する。次に、図１２（ｂ）に示すように、開口部６２ａおよび開口部６４ａにて、電気めっき法によりバリアメタル層６５を形成する。バリアメタル層６５は、電極部６１から後述のハンダバンプへの配線材料の拡散、および、当該ハンダバンプから電極部６１へのハンダ成分の拡散を防止するために設けられるものである。例えば下記の特許文献１に開示されているように、バリアメタル層の形成手法としては、電気めっき法に代えて無電解めっき法が採用される場合もある。次に、図１２（ｃ）に示すように、各開口部６４ａに、電気めっき法により、バンプ形成材料としてのハンダめっき６６を堆積させる。

次に、図１３（ａ）に示すように、所定の剥離液を使用して保護膜６４を除去する。次に、図１３（ｂ）に示すように、導電膜６３の露出箇所をエッチング除去する。次に、図１３（ｃ）に示すように、加熱処理により、ハンダめっき６６を一旦溶融してハンダバンプ６６’を形成する。

特開平６−１４０４０９号公報

上述のような従来の方法においては、バンプ形成材料であるハンダめっき６６は、樹脂膜６４の開口部６４ａに対して電気めっき法により供給される。電気めっき法により堆積されるハンダめっき６６は、図１２（ｃ）に示すように、その一部が樹脂膜６４に乗り上がったオーバーハングの形態をとる。すなわち、ハンダめっき６６は、樹脂膜６４に乗り上がったオーバーハング部６６ａを有する。そのため、図１３（ａ）を参照して上述した工程においては、オーバーハング部６６ａが障害となり、樹脂膜６４を良好に剥離することができない場合がある。具体的には、半導体チップ６０の表面に形成されている導電膜６３とオーバーハング部６６ａとの間に樹脂膜６４の一部が挟まれて、樹脂膜６４を充分に除去できない場合が生じやすいのである。樹脂膜６４が残存すると、図１３（ｂ）を参照して上述した導電膜６３のエッチング除去、および、図１３（ｃ）を参照して上述したハンダバンプ６６’の形成が、阻害される。ハンダバンプ６６’の形成が阻害されると、ハンダバンプ６６’の高さ精度が低下する傾向にある。

ハンダバンプ６６’の形成においては、開口部６４ａを有する樹脂膜６４をマスクとして使用する上述の電気めっき法に代えて、メタルマスク印刷法が採用される場合がある。メタルマスク印刷法においては、まず、複数の開口部が予め設けられたメタルマスクを用意する。各開口部は、半導体チップの電極部に対応した位置に設けられている。各電極部には、フォトリソグラフィなどにより予めバリアメタル層が形成されている。次に、メタルマスクの開口部と半導体チップの電極部とを位置合わせして、メタルマスクを半導体チップ表面に載置する。次に、印刷法により、ハンダ粉末を含むハンダペーストをメタルマスクの開口部に供給する。次に、メタルマスクを半導体チップ表面から除去した後、加熱処理を行うことによってハンダペースト中のハンダ粉末を一旦溶融する。これにより半導体チップの電極部上に略球形のハンダバンプが形成される。このような技術は、例えば下記の特許文献２に開示されている。

特開平１１−３４０２７０号公報

しかしながら、メタルマスク印刷法では、メタルマスクを半導体チップ上に載置する際に、開口部と電極とを位置合わせする必要があり、電極の配設ピッチが小さくなる程、適切に位置合わせすることが困難となる。特に、電極の配設ピッチが２００μｍ以下である場合には、メタルマスクを載置する際に生ずる位置ずれの程度は相対的に極めて大きくなる。メタルマスクの位置ずれは、バンプの形成位置に影響を与え、配線基板に対する半導体チップのフリップチップ接合において、導通不良を招来する場合がある。

加えて、メタルマスク印刷法では、ハンダペーストに対して加熱処理を施す前に半導体チップからメタルマスクを除去する必要があり、除去されるメタルマスクとともにハンダペーストの一部も除去されてしまう場合が多い。特に、電極径が小さくなり、それに伴ってメタルマスクの開口部径が小さくなるほど、開口部に充填されたハンダペースト全体に占める除去ペーストの割合は大きくなる傾向にある。このようにハンダペーストの一部が欠損すると、配線の微細化を図るべく電極径を小さくするほど、適切なサイズのハンダバンプを形成するのが困難となってしまう。

更に、メタルマスク印刷法では、半導体チップからメタルマスクを除去した後にハンダペーストに対して加熱処理を施すため、電極上のハンダペーストは、当該加熱処理中に粘性が低下して流動し、隣接する電極上のハンダペーストと一体化してしまう場合がある。この場合、隣接して形成されるハンダバンプ間がショートすることとなる。このような現象は、電極の配設ピッチが微細となるほど生じやすい。

このように、メタルマスク印刷法によると、微細なピッチで設けられた電極を有する半導体チップに対してバンプを高精度に形成するのは困難である。

また、前出の特許文献２には、ハンダペーストが供給される開口部を規定するために、メタルマスクに代えてポリイミドマスクを利用する技術が開示されている。しかしながら、特許文献２によると、当該ポリイミドマスクは半導体チップから除去されない。半導体チップ上においてハンダバンプの周囲にポリイミドマスクが残存していると、フリップチップ接合した後に半導体チップと配線基板との間にアンダーフィル剤を適切に充填することができない。ポリイミドマスクは、半導体チップおよび配線基板の間へのアンダーフィル剤の進入の障害となる。その結果、半導体チップおよび配線基板の間において充分な接続信頼性を得るのが困難となる。

本発明は、このような事情のもとで考え出されたものであって、微細なピッチの電極部に対してバンプを高精度に形成することができ、且つ、接続対象物との間で良好な接続信頼性を達成することが可能な半導体装置を得るための、半導体装置の製造方法に関する。

本発明により提供される半導体装置の製造方法は、電極部を有する半導体基板に対して、電極部を覆うように樹脂膜を形成する樹脂膜形成工程と、樹脂膜に対して、電極部に対応する位置に開口部を形成する開口部形成工程と、電気めっき法により、バンプ形成用めっきを、その一部が樹脂膜上にオーバーハングするように開口部に供給する供給工程と、開口部が形成された樹脂膜を半導体基板に残したままの状態で加熱処理を行うことにより、開口部においてバンプ形成用めっきからバンプを形成するバンプ形成工程と、樹脂膜を除去する除去工程と、バンプが溶融するように再度加熱処理を行う工程とを含む。

このような構成の半導体装置の製造方法によると、微細なピッチの電極部に対して、バンプを高精度に形成することができる。本発明において、バンプ形成材料が供給される開口部は、樹脂膜に対して、例えばフォトリソグラフィやＵＶ−ＹＡＧレーザにより形成される。半導体基板の表面に設けられている電極部の配設ピッチが例えば２００μｍ以下と微細であっても、フォトリソグラフィやＵＶ−ＹＡＧレーザによると、樹脂膜に対して、電極に対応する微細なピッチで開口部を位置精度よく形成することができる。そのため、バンプ形成材料は、各電極部上に対して、微細なピッチであっても位置精度よく供給されることとなる。したがって、本発明によると、半導体基板表面の電極部に対してバンプを位置精度よく形成することが可能である。また、樹脂膜は、バンプ形成後において、適当な溶剤により溶解または膨潤して除去可能である。そのため、バンプ形成前にメタルマスクを取り外す必要のあるメタルマスク印刷法において生じ得るバンプ形成材料ないしハンダペーストの一部欠損という問題は生じない。加えて、加熱処理を伴うバンプ形成工程においては、バンプ形成材料を隔てる樹脂膜を半導体基板上に残したままバンプが形成されるので、隣接するバンプ間はショートしない。このように、本発明によると、適量のバンプ形成材料を位置精度よく供給可能であって且つ隣接バンプ間のショートが起こらないため、微細なピッチの電極部に対してバンプを高精度に形成することが可能なのである。

また、本発明によると、接続対象物との間で良好な接続信頼性を達成することが可能な半導体装置が得られる。本発明においては、バンプ形成用のマスクとして設けられた樹脂膜は除去される。樹脂膜は、その開口部に供給されたバンプ形成材料が加熱処理を経てバンプを形成した後に除去される。供給工程を終了した後に、バンプ形成材料がオーバーハングの形態をとる場合であっても、当該バンプ形成材料から加熱処理を経てバンプが形成されるときに、表面張力の作用によって、オーバーハング部は消失する傾向にある。したがって、本発明によると、バンプ形成用に設けられた樹脂膜を良好に除去することが可能である。バンプ形成用の樹脂膜が残存しないので、配線基板などの接続対象物に対して半導体チップを接合した後に、半導体チップと接続対象物との間に封止樹脂ないしアンダーフィル剤を適切に充填することができる。接合部が封止樹脂ないしアンダーフィル剤により保護されると、半導体チップと接続対象物との間において良好な接続信頼性が達成される。

このように、本発明によると、微細なピッチの電極部に対してバンプを高精度に形成することができ、且つ、接続対象物との間で良好な接続信頼性を達成することが可能な半導体装置を得ることができる。

図１〜図３は、後述する本発明の実施形態を理解するうえで参考となり得る第１の参考形態としての半導体装置の製造方法を表す。第１の参考形態においては、まず、図１（ａ）に示すような半導体基板１０を用意する。半導体基板１０は、半導体チップや半導体ウエハに相当するものである。半導体基板１０には、複数の電極部１１と保護膜１２とが予め設けられている。複数の電極部１１は、基板表面にパターン形成された配線（図示略）の一部であり、所定のピッチで相互に離隔している。配線ないし電極部１１は、ＡｌやＣｕなどよりなる。保護膜１２は、基板表面の配線などを保護するためのものであり、電極部１１に対応する位置に開口部１２ａを有する。保護膜１２は、例えば、ポリイミド、ＳｉＯ₂、Ｓｉ₃Ｎ₄などにより形成されている。

本参考形態においては、このような半導体基板１０の各電極部１１の上に、バリアメタル層２０を形成する。バリアメタル層２０の形成においては、まず、図１（ｂ）に示すように、電極部１１の上に触媒層２１を形成する。触媒層２１は、亜鉛（Ｚｎ）やパラジウム（Ｐｄ）などの触媒金属が溶解している処理液に半導体基板１０を浸漬することにより形成することができる。

次に、図１（ｃ）に示すように、無電解めっき法により、触媒層２１の上にニッケル層２２を形成する。ニッケル層２２は、ニッケル（Ｎｉ）とともにリン（Ｐ）やホウ素（Ｂ）が溶解している無電解めっき液に半導体基板１０を浸漬することによって形成することができる。ニッケル層２２の厚さは、ハンダ成分に対する充分な拡散防止機能を確保するという観点より、２μｍ以上であるのが好ましい。本参考形態では、ニッケル層２２は、その一部が保護膜１２に乗り上げているオーバーハングの形態をとる。本参考技術においては、このような形態に限らず、浸漬時間を調節することにより、ニッケル層２２が保護膜１２に乗り上げていない形態としてもよい。また、本参考形態では、触媒層２１は、ニッケル層２２の形成の後にも残存する厚さに形成されるが、本参考技術においては、これに限らず、ニッケル層２２の形成によって、触媒層２１が有意に薄膜化ひいては消滅するような構成としてもよい。例えば、触媒層２１の構成材料としてＺｎを採用する場合、ニッケル層２２の堆積成長における初期反応は、堆積材料と当該Ｚｎとの置換反応であるため、Ｚｎによる触媒層２１の厚みによっては、ニッケル層２２の形成により触媒層２１は事実上消滅する場合がある。

次に、図１（ｄ）に示すように、無電解めっき法により、ニッケル層２２の上に保護層２３を形成する。保護層２３は、金（Ａｕ）またはパラジウム（Ｐｄ）が溶解している無電解めっき液に半導体基板１０を浸漬することによって、金めっき層またはパラジウムめっき層として形成することができる。保護層２３は、ニッケル層２２を保護するとともに、バリアメタル層２０に対するハンダ成分の濡れ性を向上させるという機能を有する。このようにして、触媒層２１と、ニッケル層２２と、保護層２３とからなるバリアメタル層２０が形成される。

次に、図２（ａ）に示すように、バリアメタル層２０が形成された各電極部１１を覆うように樹脂膜３０を形成する。樹脂膜３０は、ドライフィルム状に成形された感光性および絶縁性を有する樹脂材料を半導体基板１０に圧着することにより形成することができる。次に、フォトリソグラフィにより、図２（ｂ）に示すように、樹脂膜３０に対して開口部３０ａを形成する。具体的には、樹脂膜３０における、各電極部１１に対応する箇所に対して、露光処理およびその後の現像処理を施すことにより、開口部３０ａを形成する。

次に、図２（ｃ）に示すように、開口部３０ａにハンダペースト４０を充填する。ハンダペースト４０の充填に際しては、樹脂膜３０の上面に余分なハンダペーストが多量に残存しないようにすることが望ましい。そのためには、例えば、スキージ（図示略）を用いて樹脂膜３０の上面に塗着している余分なハンダペーストを掻き取る作業を行うのが効果的である。スキージとしては、樹脂膜３０に対するダメージを軽減するため、比較的柔らかいウレタンゴムスキージなどを使用するのがよい。このようなスキージングは、所定量のハンダペースト４０を開口部３０ａに対して確実に充填するため、２回以上行うのが好ましい。

ハンダペースト４０としては、ロジン、溶剤、活性剤などからなるフラックス成分に対して、ハンダ粉末を添加して混合したものを用いる。ハンダ粉末を構成するハンダとしては、Ｓｎ，Ｐｂ，Ｃｕ，Ａｇ，Ｉｎ，Ｚｎ，Ｂｉ，Ｓｂ，Ａｕなどから選択される単体金属、または、これらから選択される複数種の金属からなる合金が用いられる。ハンダペースト４０が微少な開口部３０ａに充填されることを考慮すると、ハンダペースト４０中のハンダ粉末は微粉末であるのがよい。好ましくは、ハンダ粉末の平均粒径は２０μｍ以下である。しかしながら、平均粒径が小さ過ぎると、ハンダペーストの単位体積当たりのハンダの表面積が増大し、表面積増大に起因して、後述する活性剤の必要量が増大してしまう。ハンダペースト中の活性剤を許容量以下に抑えるためには、ハンダ粉末の平均粒径は５μｍ以上であるのが好ましい。

ロジンとしては、例えば、重合ロジン、水素添加ロジン、エステル化ロジンなどを用いることができる。

溶剤としては、例えば、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、エチレングリコールモノフェニルエーテル、２−メチル−２,４−ペンタンジオール、２−メチル−１,３−ヘキサンジオールなどを用いることができる。

活性剤としては、カルボン酸および／または有機アミンを用いることができる。カルボン酸は、分子構造中にカルボキシル基を有することに起因して、ハンダペースト中においてハンダ粉末表面および電極部表面の酸化膜除去能力を発揮し得る。有機アミンは、分子構造の骨格にアミノ基を有することに起因して、ハンダペースト中においてハンダ粉末表面および電極部表面の酸化膜除去能力を発揮し得る。例えば、セバシン酸、コハク酸、アジピン酸、グルタル酸、トリエタノールアミン、モノエタノールアミン、トリブチルアミンなどから選択される１または２以上のカルボン酸および／または有機アミンを使用することができる。活性剤の作用を最大限に享受するためには、ハンダの融点付近で分解あるいは気化する活性剤を使用する。また、活性剤は、酸化除去能力を最大限に発揮すべくペースト中に均一に分散する必要があることから、溶剤あるいはロジンとの相溶性を有する活性剤を用いる。

本参考技術におけるハンダペースト４０に形態保持性を付与すべく、フラックスには更にチクソ剤を混合してもよい。チクソ剤としては、例えば、硬化ヒマシ油、ヒドロキシステアリン酸アミドなどを用いることができる。

本参考形態の半導体装置の製造方法においては、開口部３０ａにハンダペースト４０を充填した後、加熱処理により、当該ハンダペースト４０に含まれるハンダ粉末を溶融させる。これにより、ハンダペースト４０に含まれているハンダ成分以外の溶剤などの成分が揮発消失するとともに、図２（ｄ）に示すように、ハンダ成分が、その表面張力によって略球形に寄り集まり、その後の冷却過程において固化する。このようにして、バリアメタル層２０を介して電極部１１に固着したハンダバンプ４１が形成される。

ハンダバンプ４１を形成した後、図３（ａ）に示すように、樹脂膜３０を半導体基板１０の表面から除去する。このようにして、外部接続用端子としての複数のハンダバンプ４１を有する半導体装置Ｘが製造される。樹脂膜３０を除去するには、アルカリ溶液などの剥離液を使用する。アルカリ溶液としては、例えば、モノエタノールアミンやトリエタノールアミンなどを含んだ水溶液を用いることができる。

アルカリ溶液よりなる剥離液を使用する場合、剥離液としては、ハンダバンプ４１の腐食を防止するための防食剤を添加したものを用いるのが好ましい。防食剤としては、例えば、キシリトールなどの糖アルコール、バナジン酸ナトリウム、モリブデン酸ナトリウムなどを用いることができる。防食剤が添加されていないアルカリ剥離液を使用する場合、当該剥離液によってバンプ表面が侵食されやすい。例えばＳｎ−Ｐｂ共晶ハンダを用いてハンダバンプ４１を形成する場合、樹脂膜の除去に際して、防食剤が添加されていないアルカリ剥離液を使用すると、ハンダバンプ４１を構成するＳｎが選択的にエッチングされる。その結果、バンプ表面には、高融点のＰｂの層が生ずる。バンプ表面にＰｂ層が生ずると、ハンダバンプ４１の全体を再溶融させるためには、Ｐｂの融点以上の高温にまで加熱する必要がある。

また、剥離液としては、電極部１１およびバリアメタル層２０の腐食を抑制するための防食剤を添加したものを用いるのが好ましい。図１（ｂ）を参照して上述した無電解めっき法の触媒処理においては、触媒層２１は、電極部１１の上にのみ形成され、保護膜１２の表面には形成されない。無電解めっき法において、めっき金属は、触媒層２１が形成された箇所にて堆積成長するので、ニッケル層２２および保護層２３は、触媒層２１が形成された電極部１１に対して付着形成され、保護膜１２の表面に対しては付着形成されない。そのため、バリアメタル層２０と保護膜１２との間には、微小な隙間が生じやすい。このような隙間が存在すると、樹脂膜除去用のアルカリ剥離液は、当該隙間に進入して電極部１１に達してしまう場合がある。そのため、防食剤が添加されていないアルカリ剥離液を使用すると、当該剥離液によって電極部１１が侵食されてしまう場合があるのである。また、バリアメタル層２０がアルカリ剥離液に侵食されると、バリアメタル層２０と保護膜１２との間の隙間は拡大する傾向にあり、電極部１１の侵食の程度は大きくなってしまう。このようなバリアメタル層２０および電極部１１の腐食を防止ないし抑制するため、アルカリ剥離液には、そのような作用を示し得る防食剤を添加するのが好ましいのである。そのような防食剤としては、ハンダバンプ４１に対する防食剤として上掲したのと同一のものを用いることができる。

次に、半導体装置Ｘについては、ハンダバンプ４１の形状を整えるのが好ましい。ハンダバンプ４１の形状を整えるためには、まず、図３（ｂ）に示すように、ハンダバンプ４１の表面を被覆するように、フラックス５０を塗布する。フラックス５０は、ハンダペースト４０に含まれるフラックスに関して上掲したロジン、溶剤、活性剤などを含み、酸化膜を除去する機能を呈するものを使用する。また、本発明では、フラックス５０に代えて、ロジンなどの固形分を含まないカルボン酸、例えばギ酸の水溶液をバンプ表面に噴霧してもよい。このような手法によると、当該水溶液が固形分を含まないため、加熱後の残渣を極力少なくすることができる。

次に、図３（ｃ）に示すように、加熱処理を行うことによって、ハンダバンプ４１を再溶融させる。このように一旦溶融させることによって、ハンダバンプ４１の形を整えて良好なバンプ形状とすることができる。

図４（ａ）は、図３（ｃ）の部分拡大図である。図４（ａ）によく表れているように、本発明によると、ハンダバンプ４１は、バリアメタル層２０を介して、半導体基板１０の電極部１１上に設けられている。バリアメタル層２０は、触媒層２１、ニッケル層２２、および保護層２３による積層構造を有する。本参考形態においては、無電解めっき法により形成されるバリアメタル層２０の上表面の一部は、図４（ｂ）に示すように、退避していてもよい。

本参考形態に係る半導体装置の製造方法においては、樹脂膜３０における開口部３０ａは、フォトリソグラフィにより形成される。半導体基板１０の電極部１１の配設ピッチが例えば２００μｍ以下と微細であっても、フォトリソグラフィによると、電極部１１に対応する微細なピッチで開口部３０ａを樹脂膜３０に対して位置精度よく形成することができる。そのため、バンプ形成材料であるハンダペースト４０は、各電極部１１に対して、微細なピッチであっても位置精度よく供給されることとなる。したがって、本参考形態によると、半導体基板１０の電極部１１に対してハンダバンプ４１を位置精度よく形成することが可能である。また、樹脂膜３０は、ハンダバンプ４１の形成の後において、適当な溶剤により溶解して除去される。そのため、バンプ形成前にメタルマスクを取り外す必要のあるメタルマスク印刷法において生じ得るバンプ形成材料ないしハンダペーストの一部欠損という問題は生じない。加えて、加熱処理を伴うバンプ形成工程においては、ハンダペースト４０を隔てる樹脂膜３０を半導体基板１０上に残したままハンダバンプ４１が形成されるので、隣接するハンダバンプ４１間はショートしない。このように、本参考形態においては、適量のハンダペースト４０を位置精度よく供給可能であって且つ隣接バンプ４１間のショートが起こらないため、微細なピッチの電極部１１に対してハンダバンプ４１を高精度に形成することが可能なのである。

本参考形態に係る半導体装置の製造方法においては、バンプ形成用のマスクとして半導体基板１０に形成された樹脂膜３０は、その開口部３０ａに供給されたハンダペースト４０が加熱処理を経てハンダバンプ４１を一旦形成した後に除去される。ハンダバンプ４１の直径は、開口部３０ａの開口径未満である。したがって、ハンダバンプ４１に阻害されることなく、樹脂膜３０を適切に除去することができる。樹脂膜３０を適切に除去することができるので、半導体装置Ｘと、配線基板などの接続対象物との間において、良好な接続信頼性を達成することが可能となる。

図５は、半導体装置Ｘを配線基板７０に対してフリップチップ接合した状態を表す。配線基板７０には、予め複数の電極部７１が設けられている。複数の電極部７１は、半導体装置Ｘのハンダバンプ４１に対応するピッチで設けられている。ハンダバンプ４１は電極部７１に対して溶融接合されている。半導体装置Ｘと配線基板７０の間には、アンダーフィル剤７２が充填されている。アンダーフィル剤７２によって、電極部１１上のバリアメタル層２０と、ハンダバンプ４１と、電極部７１とからなる電気的接続部、並びに、半導体装置Ｘおよび配線基板７０の接合部表面が保護される。その結果、半導体装置Ｘと配線基板７０の間において、良好な接続信頼性が得られる。

図６および図７は、第２の参考形態に係る半導体装置の製造方法を表す。第２の参考形態においては、まず、図６（ａ）に示すような半導体基板１０を用意する。半導体基板１０には、複数の電極部１１と保護膜１２とが予め設けられている。半導体基板１０のその他の構成、並びに、電極部１１および保護膜１２については、第１の参考形態に関して上述したのと同様である。

本参考形態においては、このような半導体基板１０における保護膜１２の上に、図６（ｂ）に示すように、樹脂膜３０を形成する。樹脂膜３０は、ドライフィルム状に成形された感光性および絶縁性を有する樹脂材料を半導体基板１０に圧着することにより形成することができる。次に、フォトリソグラフィにより、図６（ｃ）に示すように、樹脂膜３０に対して開口部３０ａを形成する。具体的には、樹脂膜３０における、各電極部１１に対応する箇所に対して、露光処理およびその後の現像処理を施すことにより、開口部３０ａを形成する。

次に、図６（ｄ）に示すように、電極部１１の上に、触媒層２１と、ニッケル層２２と、保護層２３とからなるバリアメタル層２０を形成する。形成手法については、第１の参考形態に関して図１（ｂ）〜図１（ｄ）を参照して上述したのと同様である。

次に、図７（ａ）に示すように、開口部３０ａにハンダペースト４０を充填する。ハンダペースト４０の構成および充填手法については、第１の参考形態に関して上述したのと同様である。

次に、加熱処理により、ハンダペースト４０に含まれるハンダ粉末を溶融させる。これにより、ハンダペースト４０に含まれているハンダ成分以外の溶剤などの成分が揮発消失するとともに、図７（ｂ）に示すように、ハンダ成分が、その表面張力によって略球形に寄り集まり、その後の冷却過程において固化する。このようにして、バリアメタル層２０を介して電極部１１に固着したハンダバンプ４１が形成される。

次に、図７（ｃ）に示すように、樹脂膜３０を半導体基板１０の表面から除去する。樹脂膜３０を除去するには、アルカリ溶液などの剥離液を使用する。剥離液については、第１の参考形態に関して上述したのと同様である。このようにして、外部接続用端子としての複数のハンダバンプ４１を有する半導体装置Ｘを製造することができる。半導体装置Ｘについては、第１の参考形態に関して図３（ｂ）および図３（ｃ）を参照して上述した工程を経ることによって、ハンダバンプ４１の形を整えてもよい。

本参考形態に係る半導体装置の製造方法においては、樹脂膜３０における開口部３０ａは、フォトリソグラフィにより位置精度よく形成される。そのため、バンプ形成材料であるハンダペースト４０は、各電極部１１に対して、微細なピッチであっても位置精度よく供給されることとなる。また、樹脂膜３０は、ハンダバンプ４１の形成の後において、適当な溶剤により溶解して除去される。そのため、バンプ形成前にメタルマスクを取り外す必要のあるメタルマスク印刷法において生じ得るバンプ形成材料ないしハンダペーストの一部欠損という問題は生じない。加えて、加熱処理を伴うバンプ形成工程においては、ハンダペースト４０を隔てる樹脂膜３０を半導体基板１０上に残したままハンダバンプ４１が形成されるので、隣接するハンダバンプ４１間はショートしない。このように、本参考形態においては、適量のハンダペースト４０を位置精度よく供給可能であって且つ隣接バンプ４１間のショートが起こらないため、微細なピッチの電極部１１に対してハンダバンプ４１を高精度に形成することが可能なのである。

本参考形態に係る半導体装置の製造方法においては、バンプ形成用のマスクとして半導体基板１０に形成された樹脂膜３０は、その開口部３０ａに供給されたハンダペースト４０が加熱処理を経てハンダバンプ４１を一旦形成した後に除去される。ハンダバンプ４１の直径は、開口部３０ａの開口径未満である。したがって、ハンダバンプ４１に阻害されることなく、樹脂膜３０を適切に除去することができる。樹脂膜３０を適切に除去することができるので、図５に示すように、配線基板７０に対して半導体装置Ｘをフリップチップ接合した状態において、半導体装置Ｘと配線基板７０との間にアンダーフィル剤７２を充填することができる。その結果、半導体装置Ｘと配線基板７０との間において良好な接続信頼性を達成することができる。

加えて、本参考形態においては、電極部１１およびバリアメタル層２０の界面、並びに、バリアメタル層２０およびハンダバンプ４１の界面において、良好な電気的接続を達成することができる。本参考形態においては、樹脂膜３０は、図６（ｂ）を参照して上述したように、ドライフィルム状に成形された樹脂材料を保護膜１２に対して貼り合わせることによって、形成される。このとき、樹脂膜３０は電極部１１に接触しない。そのため、電極部１１の露出面は、樹脂膜３０により汚染されない。また、バリアメタル層２０は、樹脂膜３０と接触することなく電極部１１の上に形成されて、そのようなバリアメタル層２０の上にハンダバンプ４１が積層形成される。そのため、バリアメタル層２０は、例えば樹脂膜３０と接触して汚染されることはない。このように、本参考形態によると、電極部１１およびバリアメタル層２０の界面、並びに、バリアメタル層２０およびハンダバンプ４１の界面において、有機物である樹脂膜３０が残存することはない。したがって、本参考形態によると、電極部１１と、バリアメタル層２０と、ハンダバンプ４１との電気的接続が良好となるのである。

図８〜図１０は、本発明に係る半導体装置の製造方法を表す。本実施形態においては、まず、図８（ａ）に示すような半導体基板１０を用意する。半導体基板１０には、複数の電極部１１と保護膜１２とが予め設けられている。半導体基板１０のその他の構成、並びに、電極部１１および保護膜１２については、第１の参考形態に関して上述したのと同様である。

本実施形態においては、このような半導体基板１０における保護膜１２の上に、図８（ｂ）に示すように、導電膜２４を形成する。導電膜２４は、Ｔｉ，ＮｉまたはＣｕなどのスパッタリングや蒸着により、電極部１１および保護膜１２の表面を被覆するように形成される。次に、図８（ｃ）に示すように、半導体基板１０に対して樹脂膜３０を積層形成する。樹脂膜３０は、ドライフィルム状に成形された感光性および絶縁性を有する樹脂材料を半導体基板１０に圧着することにより形成することができる。

次に、フォトリソグラフィにより、図９（ａ）に示すように、樹脂膜３０に対して開口部３０ａを形成する。具体的には、樹脂膜３０における、各電極部１１に対応する箇所に対して、露光処理およびその後の現像処理を施すことにより、開口部３０ａを形成する。

次に、図９（ｂ）に示すように、電気めっき法により、電極部１１の上にバリアメタル層２０を形成する。バリアメタル層２０の形成においては、例えば、まず、ニッケル（Ｎｉ）が溶解している電解液に半導体基板１０を浸漬して、導電膜２４に所定の電位を付与することによって、開口部１２ａおよび開口部３０ａにてニッケル層２２を形成する。電解液としては、例えば、硫酸ニッケルや塩化ニッケルなどを主成分とするワット浴などを使用することができる。ニッケル層２２の厚さは、ハンダ成分に対する充分な拡散防止機能を確保するという観点より、２μｍ以上であるのが好ましい。本実施形態では、ニッケル層２２は、その一部が保護膜１２に乗り上げているオーバーハングの形態をとる。本発明では、このような形態に限らず、電解時間を調節することにより、ニッケル層２２が保護膜１２に乗り上げていない形態としてもよい。次に、本実施形態においては、当該ニッケル層２２のハンダ濡れ性を向上すべく、金（Ａｕ）またはパラジウム（Ｐｄ）が溶解している電気めっき液に半導体基板１０を浸漬することによって、金めっき層またはパラジウムめっき層として、ニッケル層２２の上に保護層２３を形成する。本発明においては、電気めっき法により形成されたニッケル層２２が充分なハンダ濡れ性を示す場合には、保護層２３は形成しなくともよい。

次に、図９（ｃ）に示すように、開口部３０ａに対して、電気めっき法により、バンプ形成材料としてのハンダめっき４２を供給する。具体的には、ハンダ材料が溶解する電解液に半導体基板１０を浸漬して、導電膜２４に所定の電位を付与することにより、バリアメタル層２０の上にハンダめっき４２を堆積させる。このとき、充分量のめっき材料を堆積させると、ハンダめっき４２の一部が樹脂膜３０に乗り上げて、オーバーハング部４２ａが形成される。

次に、図１０（ａ）に示すように、加熱処理により、ハンダめっき４２を一旦溶融させて、ハンダバンプ４３を形成する。このとき、表面張力の作用により、オーバーハング部４２ａは消失する。このようにして、バリアメタル層２０を介して電極部１１に固着したハンダバンプ４３が形成される。

次に、図１０（ｂ）に示すように、樹脂膜３０を半導体基板１０の表面から除去する。樹脂膜３０を除去するには、アルカリ溶液などの剥離液を使用する。剥離液については、第１の参考形態に関して上述したのと同様である。次に、図１０（ｃ）に示すように、所定のエッチング液を使用して、露出している導電膜２４をエッチング除去する。このようにして、外部接続用端子としての複数のハンダバンプ４３を有する半導体装置Ｘが製造される。半導体装置Ｘについては、第１の参考形態に関して図３（ｂ）および図３（ｃ）を参照して上述した工程を経ることによって、図１０（ｄ）に示すように、ハンダバンプ４３の形を整えてもよい。

本実施形態に係る半導体装置の製造方法においては、樹脂膜３０における開口部３０ａは、フォトリソグラフィにより位置精度よく形成される。そのため、バンプ形成材料であるハンダめっき４２は、各電極部１１に対して、微細なピッチであっても位置精度よく供給されることとなる。このように、本実施形態においては、適量のハンダめっき４２を位置精度よく供給可能であるので、微細なピッチの電極部１１に対してハンダバンプ４３を高精度に形成することが可能なのである。

本実施形態に係る半導体装置の製造方法においては、バンプ形成用のマスクとして半導体基板１０に形成された樹脂膜３０は、その開口部３０ａに供給されたハンダめっき４２が加熱処理を経てハンダバンプ４３を一旦形成した後に除去される。すなわち、オーバーハング部４２ａが消失した後に、樹脂膜３０は除去される。したがって、オーバーハング部４２ａに阻害されることなく、樹脂膜３０を適切に除去することができる。樹脂膜３０を適切に除去することができるので、図５に示すように、配線基板７０に対して半導体装置Ｘをフリップチップ接合した状態において、半導体装置Ｘと配線基板７０との間にアンダーフィル剤７２を充填することができる。その結果、半導体装置Ｘと配線基板７０との間において良好な接続信頼性を達成することができる。

次に、実施例について記載する。実施例１〜６は上述の第１の参考形態に対応する。また、実施例７〜１２は第２の参考形態に対応し、実施例１３〜１６は本発明の実施形態に対応する。

〔実施例１〕
３０００個のＡｌ電極（電極径：７０μｍ、電極ピッチ：１５０μｍ）を有する半導体素子が１２０個造り込まれているウエハを、ジンケート処理液（商品名：アルモンＥＮ、メルテックス製）に対して、３０℃および５分間の条件で浸漬した。これによって、各Ａｌ電極表面に、触媒層としての厚さ０．１μｍのＺｎ膜が形成された。次に、当該ウエハを、無電解Ｎｉ−Ｐめっき液（商品名：ニムデンＮＰＲ−４、上村工業製）に対して、８０℃および３０分間の条件で浸漬した。これによって、Ａｌ電極上に、Ｚｎ膜を介して、ニッケル層としての厚さ６μｍのＮｉ−Ｐ層が形成された。次に、当該ウエハを、無電解Ａｕめっき液（商品名：プレシャスファブＩＧ７９０３、日本エレクトロプレイティング・エンジニアーズ製）に対して、６０℃および５分間の条件で浸漬した。これによって、ニッケル層に対して、厚さ０．１μｍのＡｕ膜が形成された。このようにして、各Ａｌ電極上にバリアメタル層を形成した。

次に、樹脂膜としての厚さ５０μｍのフィルム状のアクリレート樹脂（商品名：ＮＩＴ−２５０、ニチゴーモートン製）を、ウエハにおけるバリアメタル層形成側に対して、１０５℃および荷重３．５ｋｇｆ／ｃｍ²の条件で熱圧着した。次に、ガラスマスクを用いて、電極に対応する箇所以外のアクリレート樹脂を露光した後、２．３％のテトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド水溶液を作用させることによって、アクリレート樹脂における電極対応箇所に径１２５μｍの開口部を形成した。

次に、６３％Ｓｎ−Ｐｂ共晶ハンダからなる粒径２５μｍ以下のハンダ粉末を含むハンダペーストを、２回のスキージングによって、アクリレート樹脂の開口部に充填した。次に、ハンダペーストを２２０℃で一旦加熱溶融させ、各Ａｌ電極上にハンダバンプを形成した。次に、アルカリ成分としてのモノエタノールアミン５％、および、防食剤としてのバナジン酸ナトリウム１％を含む水溶液を作用させることによって、ウエハ上のアクリレート樹脂を除去した。

次に、ハンダバンプに対してフラックス（商品名：Ｒ５００３、アルファメタルズ社製）を塗布した。次に、ハンダバンプを２２０℃で一旦加熱溶融させて、各Ａｌ電極上のハンダバンプの形状を調整した。その結果、高さ７５μｍでバラツキ１．５μｍの高精度なバンプを形成することができた。ここでバラツキとは、統計学上の標準偏差σに基づく値をいうものとする。

〔実施例２〕
３０００個のＡｌ電極（電極径：７０μｍ、電極ピッチ：１５０μｍ）を有する半導体素子が１２０個造り込まれているウエハを、Ｐｄ処理液（商品名：エンプレートアクチベータ４４０、メルテックス製）に対して、３０℃および７分間の条件で浸漬した。これによって、各Ａｌ電極表面に、触媒層としての厚さ０．１μｍのＰｄ膜が形成された。次に、実施例１と同様にして、Ａｌ電極上に、Ｐｄ膜を介して、Ｎｉ−Ｐ層およびこれに続いてＡｕ膜を形成した。このようにして、各Ａｌ電極上にバリアメタル層を形成した。

バリアメタル層を形成した後の工程については、実施例１と同様にして、アクリレート樹脂の熱圧着、この樹脂膜における開口部の形成、この開口部へのハンダペーストの充填、ハンダバンプの形成、アクリレート樹脂の除去、ハンダバンプに対するフラックスの塗布、および、ハンダバンプの形状調整を行った。その結果、高さが７４．５μｍでバラツキ１．５μｍの高精度なバンプを形成することができた。

〔実施例３〕
３０００個のＡｌ電極（電極径：７０μｍ、電極ピッチ：１５０μｍ）を有する半導体素子が１２０個造り込まれているウエハを、ジンケート処理液（商品名：アルモンＥＮ、メルテックス製）に対して、３０℃および５分間の条件で浸漬した。これによって、各Ａｌ電極表面に、触媒層としての厚さ０．１μｍのＺｎ膜が形成された。次に、当該ウエハを、無電解Ｎｉ−Ｂめっき液（商品名：ニボロン、ワールドメタル製）に対して、８０℃および４０分間の条件で浸漬した。これによって、Ａｌ電極上に、Ｚｎ膜を介して、ニッケル層としての厚さ６μｍのＮｉ−Ｂ膜が形成された。次に、実施例１と同様にして、Ｎｉ−Ｂ層上にＡｕ膜を形成した。このようにして、各Ａｌ電極上にバリアメタル層を形成した。

バリアメタル層を形成した後の工程については、実施例１と同様にして、アクリレート樹脂の熱圧着、この樹脂膜における開口部の形成、この開口部へのハンダペーストの充填、ハンダバンプの形成、アクリレート樹脂の除去、ハンダバンプに対するフラックスの塗布、および、ハンダバンプの形状調整を行った。その結果、高さ７５μｍでバラツキ１．４μｍの高精度なバンプを形成することができた。

〔実施例４〕
アクリレート樹脂の開口部に充填するハンダペーストに含まれるハンダ粉末について、６３％Ｓｎ−Ｐｂ共晶ハンダに代えて、Ｓｎ−３．５％Ａｇ共晶ハンダを採用し、且つ、バンプ形成時およびバンプ形状調整時における加熱温度を２２０℃に代えて２６０℃とした以外は、実施例１と同様にしてバンプを形成した。その結果、高さ７５μｍでバラツキ１．３μｍの高精度なバンプを形成することができた。

〔実施例５〕
バンプ形状調整時において、ハンダバンプに対してフラックスを塗布した後にハンダバンプを２２０℃で一旦加熱溶融させる手法に代えて、ハンダバンプに対して減圧下（１００torr）で７０％のギ酸水溶液を塗布するとともにハンダバンプを２２０℃で一旦加熱溶融する手法を採用した以外は、実施例１と同様にしてバンプを形成した。その結果、高さ７５．５μｍでバラツキ１．５μｍの高精度なバンプを形成することができた。

〔実施例６〕
３０００個のＡｌ電極（電極径：７０μｍ、電極ピッチ：１５０μｍ）を有する半導体素子が１２０個造り込まれているウエハに代えて、３０００個のＣｕ電極（電極径：７０μｍ、電極ピッチ：１５０μｍ）を有する半導体素子が１２０個造り込まれているウエハを使用した以外は、実施例１と同様にして、バンプを形成した。その結果、高さ７４μｍでバラツキ１．５μｍの高精度なバンプを形成することができた。

〔実施例７〕
３０００個のＡｌ電極（電極径：７０μｍ、電極ピッチ：１５０μｍ）を有する半導体素子が１２０個造り込まれているウエハの電極形成側に対して、樹脂膜としての厚さ５０μｍのフィルム状のアクリレート樹脂（商品名：ＮＩＴ−２５０、ニチゴーモートン製）を、１０５℃および荷重３．５ｋｇｆ／ｃｍ²の条件で熱圧着した。次に、ガラスマスクを用いて、電極に対応する箇所以外のアクリレート樹脂を露光し、２．３％のテトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド水溶液を作用させることによって、アクリレート樹脂における電極対応箇所に径１２５μｍの開口部を形成した。次に、当該ウエハをジンケート処理液（商品名：アルモンＥＮ、メルテックス製）に対して、３０℃および５分間の条件で浸漬した。これによって、各Ａｌ電極表面に、触媒層としての厚さ０．１μｍのＺｎ膜が形成された。次に、当該ウエハを、無電解Ｎｉ−Ｐめっき液（商品名：ニムデンＮＰＲ−４、上村工業製）に対して、８０℃および３０分間の条件で浸漬した。これによって、Ａｌ電極上に、Ｚｎ膜を介して、ニッケル層としての厚さ６μｍのＮｉ−Ｐ層が形成された。次に、当該ウエハを、無電解Ａｕめっき液（商品名：プレシャスファブＩＧ７９０３、日本エレクトロプレイティング・エンジニアーズ製）に対して、６０℃および５分間の条件で浸漬した。これによって、ニッケル層に対して、厚さ０．１μｍのＡｕ膜が形成された。このようにして、各Ａｌ電極上にバリアメタル層を形成した。

次に、６３％Ｓｎ−Ｐｂ共晶ハンダからなる粒径２５μｍ以下のハンダ粉末を含むハンダペーストを、２回のスキージングによって、アクリレート樹脂の開口部に充填した。次に、ハンダペーストを２２０℃で一旦加熱溶融させ、上述のようにバリアメタル層が形成された各Ａｌ電極上にハンダバンプを形成した。次に、アルカリ成分としてのモノエタノールアミン５％、および、防食剤としてのバナジン酸ナトリウム１％を含む水溶液を作用させることによって、ウエハ上のアクリレート樹脂を除去した。次に、ハンダバンプに対してフラックス（商品名：Ｒ５００３、アルファメタルズ社製）を塗布した。次に、ハンダバンプを２２０℃で一旦加熱溶融させ、各Ａｌ電極上のハンダバンプの形を整えた。その結果、高さが７０μｍでバラツキ１．５μｍの高精度なバンプを形成することができた。

〔実施例８〕
３０００個のＡｌ電極（電極径：７０μｍ、電極ピッチ：１５０μｍ）を有する半導体素子が１２０個造り込まれているウエハの電極形成側に対して、樹脂膜としての厚さ５０μｍのフィルム状のアクリレート樹脂（商品名：ＮＩＴ−２５０、ニチゴーモートン製）を、１０５℃および荷重３．５ｋｇｆ／ｃｍ²の条件で熱圧着した。次に、ガラスマスクを用いて、電極に対応する箇所以外のアクリレート樹脂を露光し、２．３％のテトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド水溶液を作用させることによって、アクリレート樹脂における電極対応箇所に径１２５μｍの開口部を形成した。次に、当該ウエハをＰｄ処理液（商品名：塩プレートアクチベータ４４０、メルテックス製）に対して、３０℃および７分間の条件で浸漬した。これによって、各Ａｌ電極表面に、触媒層としての厚さ０．１μｍのＰｄ膜が形成された。次に、実施例７と同様にして、Ａｌ電極上に、Ｐｄ膜を介して、Ｎｉ−Ｐ層およびこれに続いてＡｕ膜を形成した。このようにして、各Ａｌ電極上にバリアメタル層を形成した。

バリアメタル層を形成した後の工程については、実施例７と同様にして、アクリレート樹脂の開口部へのハンダペーストの充填、ハンダバンプの形成、アクリレート樹脂の除去、ハンダバンプに対するフラックスの塗布、および、ハンダバンプの形状調整を行った。その結果、高さが６９μｍでバラツキ１．３μｍの高精度なバンプを形成することができた。

〔実施例９〕
３０００個のＡｌ電極（電極径：７０μｍ、電極ピッチ：１５０μｍ）を有する半導体素子が１２０個造り込まれているウエハの電極形成側に対して、樹脂膜としての厚さ５０μｍのフィルム状のアクリレート樹脂（商品名：ＮＩＴ−２５０、ニチゴーモートン製）を、１０５℃および荷重３．５ｋｇｆ／ｃｍ²の条件で熱圧着した。次に、ガラスマスクを用いて、電極に対応する箇所以外のアクリレート樹脂を露光し、２．３％のテトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド水溶液を作用させることによって、アクリレート樹脂における電極対応箇所に径１２５μｍの開口部を形成した。次に、当該ウエハをジンケート処理液（商品名：アルモンＥＮ、メルテックス製）に対して、３０℃および５分間の条件で浸漬した。これによって、各Ａｌ電極表面に、触媒層としての厚さ０．１μｍのＺｎ膜が形成された。次に、当該ウエハを、無電解Ｎｉ−Ｂめっき液（商品名：ニボロン、ワールドメタル製）に対して、８０℃および４０分間の条件で浸漬した。これによって、Ａｌ電極上に、Ｚｎ膜を介して、ニッケル層としての厚さ６μｍのＮｉ−Ｂ層が形成された。次に、実施例７と同様にして、Ｎｉ−Ｂ層上にＡｕ膜を形成した。このようにして、各Ａｌ電極上にバリアメタル層を形成した。

バリアメタル層を形成した後の工程については、実施例７と同様にして、アクリレート樹脂の開口部へのハンダペーストの充填、ハンダバンプの形成、アクリレート樹脂の除去、ハンダバンプに対するフラックスの塗布、および、ハンダバンプの形状調整を行った。その結果、高さが７０μｍでバラツキ１．５μｍの高精度なバンプを形成することができた。

〔実施例１０〕
アクリレート樹脂の開口部に充填するハンダペーストに含まれるハンダ粉末について、６３％Ｓｎ−Ｐｂ共晶ハンダに代えて、Ｓｎ−３．５％Ａｇ共晶ハンダを採用し、且つ、バンプ形成時およびバンプ形状調整時における加熱温度を２２０℃に代えて２６０℃とした以外は、実施例７と同様にしてバンプを形成した。その結果、高さが７０μｍでバラツキ１．２μｍの高精度なバンプを形成することができた。

〔実施例１１〕
バンプ形状調整時において、ハンダバンプに対してフラックスを塗布した後にハンダバンプを２２０℃で一旦加熱溶融させる手法に代えて、ハンダバンプに対して減圧下（１００torr）で７０％のギ酸水溶液を塗布するとともにハンダバンプを２２０℃で一旦加熱溶融する手法を採用した以外は、実施例７と同様にしてバンプを形成した。その結果、高さが７１μｍでバラツキ１．５μｍの高精度なバンプを形成することができた。

〔実施例１２〕
３０００個のＡｌ電極（電極径：７０μｍ、電極ピッチ：１５０μｍ）を有する半導体素子が１２０個造り込まれているウエハに代えて、３０００個のＣｕ電極（電極径：７０μｍ、電極ピッチ：１５０μｍ）を有する半導体素子が１２０個造り込まれているウエハを使用した以外は、実施例７と同様にしてバンプを形成した。その結果、高さ７０μｍでバラツキ１．５μｍの高精度なバンプを形成することができた。

〔実施例１３〕
３０００個のＡｌ電極（電極径：７０μｍ、電極ピッチ：１５０μｍ）を有する半導体素子が１２０個造り込まれているウエハの電極形成側に対して、電気めっき用のシード層として、スパッタ法により、Ｔｉ層（厚さ０．１μｍ）およびこの上にＮｉ層（厚さ０．１μｍ）を形成した。次に、当該ウエハのシード層上に、樹脂膜としての厚さ２５μｍのフィルム状のアクリレート樹脂（商品名：ＮＩＴ−２２５、ニチゴーモートン製）を、１０５℃および荷重３．５ｋｇｆ／ｃｍ²の条件で熱圧着した。次に、ガラスマスクを用いて、電極に対応する箇所以外のアクリレート樹脂を露光し、２．３％のテトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド水溶液を作用させることによって、アクリレート樹脂における電極対応箇所に径１２５μｍの開口部を形成した。次に、当該ウエハを、電解Ｎｉめっき液（商品名：ミクロファブＮｉ１００、ＥＩＡＪ製）に浸漬し、電流密度０．３Ａ／ｄｍ²の条件でめっき処理を施すことによって、厚さ６μｍのニッケル層が形成した。次に、当該ウエハを、電解６３％Ｓｎ−Ｐｂ共晶ハンダめっき液（商品名：ＭＸＭ０３０６９−５７４Ａ１、石原薬品製）に浸漬し、電流密度０．３Ａ／ｄｍ²の条件でめっき処理を施すことによって、ニッケル層上に厚さ３０μｍのハンダ層を形成した。次に、ハンダめっきを２２０℃で一旦加熱溶融させることによって、各Ａｌ電極上にハンダバンプを形成した。

次に、アルカリ成分としてのモノエタノールアミン５％、および、防食剤としてのバナジン酸ナトリウム１％を含む水溶液を作用させることによって、ウエハ上のアクリレート樹脂を除去した。次に、ハンダバンプに対してフラックス（商品名：Ｒ５００３、アルファメタルズ社製）を塗布した。次に、ハンダバンプを２２０℃で一旦加熱溶融させ、各Ａｌ電極上のハンダバンプの形を整えた。その結果、高さが７４μｍでバラツキ１．５μｍの高精度なバンプを形成することができた。

〔実施例１４〕
ハンダ層の形成において、電解６３％Ｓｎ−Ｐｂ共晶ハンダめっき液（商品名：ＭＸＭ０３０６９−５７４Ａ１、石原薬品製）に代えて、電解Ｓｎ−３．５％Ａｇ共晶ハンダめっき液（商品名：ＴＳ‐１４０ＢＡＳＥ、石原薬品製）を使用し、且つ、バンプ形成時およびバンプ形状調整時における加熱温度を２２０℃に代えて２６０℃とした以外は、実施例１３と同様にしてバンプを形成した。その結果、高さが７５μｍでバラツキ１．５μｍの高精度なバンプを形成することができた。

〔実施例１５〕
３０００個のＡｌ電極（電極径：７０μｍ、電極ピッチ：１５０μｍ）を有する半導体素子が１２０個造り込まれているウエハに代えて、３０００個のＣｕ電極（電極径：７０μｍ、電極ピッチ：１５０μｍ）を有する半導体素子が１２０個造り込まれているウエハを使用した以外は、実施例１３と同様にしてバンプを形成した。その結果、高さが７４μｍでバラツキ１．５μｍの高精度なバンプを形成することができた。

〔実施例１６〕
バンプ形状調整時において、ハンダバンプに対してフラックスを塗布した後にハンダバンプを２２０℃で一旦加熱溶融させる手法に代えて、ハンダバンプに対して減圧下（１００torr）で７０％のギ酸水溶液を塗布するとともにハンダバンプを２２０℃で一旦加熱溶融する手法を採用した以外は、実施例１３と同様にしてバンプを形成した。その結果、高さが７４μｍでバラツキ１．５μｍの高精度なバンプを形成することができた。

第１の参考形態に係る半導体装置の製造方法における一部の工程を表す。図１に続く工程を表す。図２に続く工程を表す。第１の参考形態に係る半導体装置の製造方法により得られる半導体装置の部分拡大図である。第１の参考形態に係る半導体装置の製造方法により得られる半導体装置の配線基板に対するフリップチップ実装を表す。第２の参考形態に係る半導体装置の製造方法における一部の工程を表す。図６に続く工程を表す。本発明に係る半導体装置の製造方法における一部の工程を表す。図８に続く工程を表す。図９に続く工程を表す。バンプ電極を有する半導体装置の従来の製造方法の一例を表す。図１１に続く工程を表す。図１２に続く工程を表す。

符号の説明

Ｘ半導体装置
１０基板
１１電極部
２０バリアメタル層
２１触媒層
２２ニッケル層
２３保護層
２４導電膜
３０樹脂膜
３０ａ開口部
４０ハンダペースト
４１，４３ハンダバンプ
４２ハンダめっき
５０フラックス

Claims

電極部を有する半導体基板に対して、前記電極部を覆うように樹脂膜を形成する樹脂膜形成工程と、
前記樹脂膜に対して、前記電極部に対応する位置に開口部を形成する開口部形成工程と、
電気めっき法により前記開口部にバンプ形成用めっきを供給する供給工程と、
前記開口部が形成された樹脂膜を前記半導体基板に残したままの状態で前記バンプ形成用めっきを加熱溶融させ、表面張力の作用によりバンプ形成用めっきのオーバーハング部を消失させる加熱工程と、
前記樹脂膜を除去する除去工程とを含む、半導体装置の製造方法。
電極部を有する半導体基板に対して、前記電極部を覆うように樹脂膜を形成する樹脂膜形成工程と、
前記樹脂膜に対して、前記電極部に対応する位置に開口部を形成する開口部形成工程と、
電気めっき法により前記開口部にバンプ形成用めっきを供給する供給工程と、
前記開口部が形成された樹脂膜を前記半導体基板に残したままの状態で前記バンプ形成用めっきを加熱溶融させ、表面張力の作用によりバンプ形成用めっきのオーバーハング部を消失させる加熱工程と、
前記樹脂膜を除去する除去工程と、
前記バンプ形成用めっきが溶融するように再度加熱処理を行うバンプ形成工程とを含む、半導体装置の製造方法。