JP4027042B2 - 部品搭載装置及びその方法 - Google Patents

Description

【０００１】
（技術分野）
本発明は、ＩＣチップ、水晶発振子などの部品を、回路基板、液晶パネル、被搭載部品などの被搭載物に搭載する部品搭載装置及びその方法に関するものである。例えば、ＩＣチップ、水晶発振子などの部品であって特に電気的接続部が上面に配置された部品を、回路基板、液晶パネル、被搭載部品などの被搭載物に、上記部品の電気的接続部が上記対象物の電気的接続部と接続されるように、搭載する部品搭載装置及びその方法に関する。
【０００２】
（背景技術）
従来から搭載前に電子部品の上下反転供給が必要な電子部品搭載装置では、水平移動可能な反転供給ヘッド及び水平移動可能な搭載ヘッドを備え、ヘッド間で部品の受け渡しを行いながら部品の反転供給・搭載を行っている。電子部品の上下反転供給が必要な電子部品搭載装置とは例えば半導体のベアチップの搭載装置である。ベアチップは、ベアチップの回路基板に接触する面の電極が他の物に接触しゴミが付着するのを防ぐ為、もしくは前工程の関係からシート上でダイシングされたウェハの状態で供給される為、回路基板に接触する側の面を上方に向けた状態で設備にセットされる。その為、電子部品搭載装置では回路基板にベアチップを搭載する前にベアチップの上下反転が必要となる。
以下、図面を参照しながら、上述した従来の電子部品搭載装置の一例について説明する。図３３は従来の電子部品搭載装置の斜視図である。
【０００３】
図３３において、１は電子部品であり、回路基板２に既に搭載されている。３は収納マガジンで複数枚のトレイプレート４が収納されている。そして、トレイプレート４には電子部品が複数個収納されたトレイ５がセットされている。このとき、電子部品は回路基板２に接触する側の面を上向きにしてトレイ５に収納されている。６はリフターで収納マガジン３の昇降動作を行う。７は引出し部で収納マガジン３内の一枚のトレイプレート４をクランプして収納マガジン３内からＹ方向の搭載装置奥側に引き出す機能を備えている。
【０００４】
８は反転ヘッドで昇降機能を有し、トレイプレート４上の電子部品を真空吸着によりピックアップすることが可能である。また、反転ヘッド８にはＸ方向に直線的に往復移動する機能及び、Ａ方向に１８０度回転する機能を有している。
【０００５】
９は認識カメラであり、トレイプレート４上の電子部品の位置確認を行う機能を有しており、反転ヘッド８と同時にＸ方向に直線的に往復移動する。
【０００６】
１０はボンディングヘッドでＸ方向に直線的に往復移動する機能及び、昇降する機能を有しており、反転ヘッド８に吸着保持された電子部品を真空吸着によりピックアップした後に回路基板２に搭載することが可能である。
【０００７】
次に、１１はボンディングステージで回路基板２を吸着保持している。そして、上記ボンディングステージ１１はスライドベース１２上に固定されている。上記スライドベース１２はＹ方向に移動可能な機能を有している。
【０００８】
次に、１３は認識カメラであり、視野切り替えにより認識カメラ１３の下方に位置する回路基板２及び認識カメラ１３の上方に位置しかつボンディングヘッド１０で吸着保持された電子部品の位置認識が可能である。また、認識カメラ１３はＸ，Ｙ両方向に往復移動可能な構成になっている。
【０００９】
上記のように構成された電子部品搭載装置について、以下にその動作について図３４を参照しながら説明する。
【００１０】
始めに、ステップＳ１００において、リフター６がトレイプレート４の引出しのため、所定の高さになるよう昇降動作を行い、引き出し部７により収納マガジン３にセットされている一枚のトレイプレート４をクランプして収納マガジン３から引き出す。次に、ステップＳ１０１において、認識カメラ９によりトレイプレート４上のトレイ５に収納された電子部品の位置確認を行う。次に、ステップＳ１０２において、上記位置確認結果に基づき、反転ヘッド８にて上記位置確認された電子部品がピックアップ可能になるように引き出し部７及び反転ヘッド８が移動した後、反転ヘッド８が下降して電子部品のピックアップを行う。
【００１１】
次に、ステップＳ１０３において、反転ヘッド８はＡ方向に１８０度回転して電子部品の上下を反転するとともにボンディングヘッド１０に電子部品を受け渡し可能な位置までＸ方向の搭載装置左側の端部付近まで直線的に移動する。一方、このステップＳ１０３と同時並行的に行われるステップＳ１２０においては、ボンディングヘッド１０は電子部品を受け取り可能な位置までＸ方向の搭載装置右側の端部付近まで直線的に移動する。そして、ステップＳ１４０において、ボンディングヘッド１０は昇降動作を行い、反転ヘッド８に吸着されている電子部品を吸着しピックアップする。
【００１２】
また、以上のステップＳ１２０又はＳ１０３の動作及びＳ１４０の動作よりなる一連の動作を実行している間に、並行して、ステップＳ１１０及びＳ１１１において、認識カメラ１３により回路基板２の位置確認を行う。すなわち、以下、その動作について説明する。まず、ステップＳ１２０又はＳ１０３の動作と並行して、ステップＳ１１０において、認識カメラ１３によりボンディングステージ１１上の回路基板２の位置確認が可能となるよう、スライドベース１２および認識カメラ１３が移動する。ここで、回路基板２には搭載位置確認用の特徴点が予め記してある。次に、ステップＳ１４０の動作と並行して、ステップＳ１１１において、認識カメラ１３の視野が下方側に切り替わり回路基板２の位置確認を行う。この回路基板２の位置確認動作（ステップＳ１１１）は、ステップＳ１４０においてボンディングヘッド１０が反転ヘッド８より電子部品をピックアップした時点では完了している。
【００１３】
以下、ボンディングヘッド１０が電子部品をピックアップした後の動作について説明する。ステップＳ１２１において、ボンディングヘッド１０は吸着した電子部品の位置確認を認識カメラ１３により行うことが可能な位置までＸ方向に直線的に移動する。併せて認識カメラ１３も電子部品の位置確認のために移動する。
【００１４】
次に、ステップＳ１２２において、認識カメラ１３の視野が上方に切り替わり、認識カメラ１３により電子部品の位置確認を行う。そして、電子部品の位置確認結果および回路基板の位置確認結果を基に、ステップＳ１２３において、ボンディングヘッド１０およびスライドベース１２の位置補正を行い、ボンディングヘッド１０の下降動作により電子部品を回路基板２上に搭載する。
【００１５】
上記した一連の概略の動作フローは図７に示されている。図３４において、左側のステップＳ１１０，Ｓ１１１,Ｓ１２０,Ｓ１４０，Ｓ１２１，Ｓ１２２，Ｓ１２３の動作はボンディングヘッド側の設備の動作フローであり、右側のステップＳ１００，Ｓ１０１，Ｓ１０２，Ｓ１０３，Ｓ１４０，Ｓ１０４の動作は反転ヘッド側の設備の動作フローである。そして、それぞれにおいて矢印の順序で動作が順次繰り返し行われる。
【００１６】
ボンディングヘッド側の動作サイクルの中では部品受け渡し動作（ステップＳ１４０）と搭載動作（ステップＳ１２３）が一連の動作として順次行われ、反転ヘッド側の動作サイクルの中ではピックアップ動作（ステップＳ１０２）と受け渡し動作（ステップＳ１４０）が一連の動作として順次行われている。そして、装置としての搭載タクトは、ボンディングヘッド側の所要サイクルタイムと反転ヘッド側の所要サイクルタイムののうちの長い方の所要サイクルタイムとなる。
【００１７】
しかしながら、上記の様な電子部品搭載装置では、受け渡し動作（ステップＳ１４０）と搭載動作（ステップＳ１２３）、ピックアップ動作（ステップＳ１０２）と受け渡し動作（ステップＳ１４０）がそれぞれ順次行われる為、搭載タクト面で制約を受けるという問題が生じていた。
【００１８】
従って、本発明の目的は、上記問題を解決することにあって、各動作を従来以上に並行して行い、搭載タクトを上げることが可能な部品搭載装置及びその方法を提供することにある。
【００１９】
（発明の開示）
上記目的を達成するために、本発明は以下のように構成する。
本発明の１つの態様によれば、部品を部品供給部から供給側部品保持部材にて順次取り出し、上記供給側部品保持部材で取り出して保持した部品を搭載側部品保持部材で順次保持し、上記搭載側部品保持部材で保持した部品を被搭載物の所定の位置に搭載する部品搭載装置において、
上記部品搭載装置は、
間欠回転を行う部品供給用ホルダと、
上記部品供給用ホルダの上記間欠回転する面上に等間隔に配置した複数の反転供給ヘッドと、
上記複数の反転供給ヘッドの夫々に配置し、上記部品供給部からそれぞれ取り出した部品をそれぞれ保持して上下反転する複数の供給側部品保持部材と、
上記部品供給用ホルダの上記間欠回転と同期して間欠回転を行う部品搭載用ホルダと、
上記部品搭載用ホルダの上記間欠回転する面上に等間隔で配置した複数の搭載ヘッドと、
上記複数の搭載ヘッドの夫々に配置し、上記供給側部品保持部材で保持されかつ上下反転された上記部品を保持する搭載側部品保持部材と、で構成し、さらに、
上記各反転供給ヘッドは、上記供給側部品保持部材が連結される上下反転軸と、上記上下反転軸に連結したカムフォロアと、を備え、
上記部品搭載装置は、上記部品供給用ホルダの上記間欠回転に連動して上記カムフォロアが移動するカム溝又はカム面を備え、上記カムフォロアと上記カム溝又はカム面とでカム機構を構成し、
上記部品供給用ホルダの上記間欠回転に連動して上記カムフォロアが上記カム溝又はカム面を移動して上記上下反転軸を回転させて上記複数の供給側部品保持部材を順次上下反転させ、上記複数の供給側部品保持部材にて取り出した部品を順次上下反転する構成としたことを特徴とする部品搭載装置を提供する。
本発明の第２態様によれば、上記カム機構は、上記部品供給用ホルダにおいて上記部品を取出した後でかつ上記搭載側部品保持部材に上記部品を保持させるまでの間に上記反転供給ヘッドの上記供給側部品保持部材を反転させるとき、上記搭載側部品保持部材に上記部品を保持させる位置のある程度前の段階で反転動作を完了するように、上記カムフォロアが上記カム溝又はカム面を移動するように構成した第１の態様に記載の部品搭載装置を提供する。
本発明の第３態様によれば、上記部品供給用ホルダは、円柱又は円筒状の部品供給用ホルダ本体と、該本体に配置され本体の周囲を回転して上記間欠回転する面を形成する円板とを有し、
上記部品供給用ホルダ本体の外周面に連続して上記カム溝又はカム面が形成されるとともに、
上記円板に上記複数の反転供給ヘッドが等間隔に配置されて、上記部品供給用ホルダの上記円板の上記間欠回転に連動して上記複数の反転供給ヘッドの上記カムフォロアがそれぞれ上記カム溝又はカム面を移動する第１又は２の態様に記載の部品搭載装置を提供する。
本発明の第４態様によれば、上記各反転供給ヘッドは、上記上下反転軸と上記カムフォロアに加えて、さらに、
一端に上記カムフォロアが回転自在に配置され他端に支持軸の一端が相対回転可能に取り付けられて、上記カム溝又はカム面での上記カムフォロアの移動に伴い上記カムフォロアとの連結軸から偏心した支持軸中心軸回りに回転するレバーと、
上記レバーの上記支持軸中心軸を挟む両側にそれぞれ配置されてバネの付勢力によりボールの一部が筒部外に突出している複数のボールプランジャーと、
上記支持軸に固定されかつ上記ボールプランジャーの上記ボールに接触可能な対向面をそれぞれ回転軸を挟む両側に有して、上記レバーの上記回転時に上記複数のボールプランジャーのうちのいずれか１つのボールプランジャーと上記対向面とが当接して上記レバーと一体的に上記支持軸中心軸回りに回転する支持軸回転用ブラケットと、
上記円板に固定され、かつ、上記支持軸の他端が回転自在に支持されるとともに、上記支持軸の回転により回転する上記上下反転軸が回転自在に支持される反転供給ヘッド支持用ブラケットと、
上記反転供給ヘッド支持用ブラケットに固定され上記反転供給ヘッドが反転動作時又は反転戻り動作時に当接して位置規制される上側ストッパと下側ストッパとを備える、第３の態様に記載の部品搭載装置を提供する。
本発明の第５態様によれば、上記部品供給用ホルダ及び上記部品搭載用ホルダは同一の駆動源により機構的に同期をとりながら間欠的に回転を行う第１〜４のいずれかの態様に記載の部品搭載装置を提供する。
本発明の第６態様によれば、上記部品搭載用ホルダの外部に配されたリニアモータの駆動により上記搭載ヘッドの上記搭載側部品保持部材が下降し、上記リニアモータにより上記被搭載物への搭載荷重が制御される第１〜４のいずれかの態様に記載の部品搭載装置を提供する。
本発明の第７態様によれば、部品供給用ホルダの間欠回転により、上記部品供給用ホルダの上記間欠回転する面上に等間隔に配置した複数の反転供給ヘッドの夫々に配置された複数の供給側部品保持部材にて、部品供給部から部品を順次取り出し、
上記部品供給用ホルダの上記間欠回転に連動して、上記供給側部品保持部材に連結された上下反転軸に連結したカムフォロアが、上記カムフォロアとでカム機構を構成するカム溝又はカム面を移動して上記上下反転軸を回転させて上記複数の供給側部品保持部材をそれぞれ上下反転して、上記複数の供給側部品保持部材にて順次取り出した部品を順次上下反転し、
上記部品供給用ホルダの上記間欠回転と同期した部品搭載用ホルダの間欠回転により、上記複数の供給側部品保持部材にて順次上下反転した部品を、上記部品搭載用ホルダの上記間欠回転する面上に等間隔で配置した複数の搭載ヘッドの夫々に配置された搭載側部品保持部材にて順次保持し、
上記搭載側部品保持部材で順次保持した部品を被搭載物の所定の位置に順次搭載するようにしたことを特徴とする部品搭載方法を提供する。
本発明の第８態様によれば、上記部品供給用ホルダにおいて上記部品を取出した後でかつ上記搭載側部品保持部材に上記部品を保持させるまでの間に上記反転供給ヘッドの上記供給側部品保持部材を反転させるとき、上記搭載側部品保持部材に上記部品を保持させる位置のある程度前の段階で反転動作を完了するようにした第７の態様に記載の部品搭載方法を提供する。
本発明の第９態様によれば、上記部品供給用ホルダは、円柱又は円筒状の部品供給用ホルダ本体と、該本体に配置され本体の周囲を回転して上記間欠回転する面を形成する円板とを有し、
上記部品供給用ホルダ本体の外周面に連続して上記カム溝又はカム面が形成されるとともに、
上記円板に上記複数の反転供給ヘッドが等間隔に配置されて、上記部品供給用ホルダの上記円板の上記間欠回転に連動して上記複数の反転供給ヘッドの上記カムフォロアがそれぞれ上記カム溝又はカム面を移動する第７又は８の態様に記載の部品搭載方法を提供する。
本発明の第１０態様によれば、上記部品供給用ホルダの上記本体の上記間欠回転に連動して、上記本体の上記カム溝又はカム面を上記カムフォロアが移動し、上記カムフォロアの移動により、上記カムフォロアが回転自在に備えられた一端を有するレバーがその他端の支持軸の中心軸回りに相対的に回転し、上記レバーの上記回転により、上記レバーが、上記レバーの回転軸を挟む両側にそれぞれ配置されてバネの付勢力によりボールの一部が筒部外に突出している複数のボールプランジャーのいずれか１つを介して、上記支持軸に固定されかつ上記ボールプランジャーの上記ボールに接触可能な対向面をそれぞれ上記回転軸を挟む両側に有する支持軸回転用ブラケットの上記対向面を押圧して、上記レバーと共に上記支持軸回転用ブラケットを介して上記支持軸を支持軸中心軸回りに時計方向又は反時計方向に回転させ、上記部品供給用ホルダの上記円板に固定された反転供給ヘッド支持用ブラケットに回転自在に支持された上記支持軸の回転に基づき、上記上下反転軸が回転し、上記反転供給ヘッドが反転動作又は反転戻り動作のために回転して、上記複数の供給側部品保持部材をそれぞれ上下反転して、上記複数の供給側部品保持部材にて順次取り出した部品を順次上下反転するとともに、上記反転供給ヘッド支持用ブラケットに固定された上側ストッパと下側ストッパに上記反転供給ヘッドが反転動作時又は反転戻り動作時に当接して位置規制される、第９の態様に記載の部品搭載方法を提供する。
本発明の第１１態様によれば、上記部品供給用ホルダ及び上記部品搭載用ホルダは同一の駆動源により機構的に同期をとりながら間欠的に回転を行う第７〜１０のいずれかの態様に記載の部品搭載方法を提供する。
本発明の第１２態様によれば、上記部品搭載用ホルダの外部に配されたリニアモータ（３８）の駆動により上記搭載ヘッドの上記搭載側部品保持部材が下降し、上記リニアモータにより上記被搭載物への搭載荷重が制御される第７〜１０のいずれかの態様に記載の部品搭載方法を提供する。
【００２０】
本発明の第１参考態様によれば、部品を部品供給部から順次取り出し被搭載物の所定の位置に搭載する部品搭載装置において、
部品取出位置と供給側部品受渡し位置との間で閉鎖軌道を描くようにそれぞれ間欠回転移動し、かつ、上記部品取出位置にそれぞれ位置したとき上記部品供給部から上記部品を取り出して保持し、上記間欠回転移動中に上記保持された上記部品を反転させ、上記部品取出位置から上記供給側部品受渡し位置にそれぞれ移動する間に上記保持された部品が上記供給側部品受渡し位置にそれぞれ位置したとき上記保持された部品の部品受渡し動作を行う複数の供給側部品保持部材と、
上記供給側部品保持部材の上記間欠回転移動と同期する間欠回転移動により、上記供給側部品受渡し位置と重なり合うか又は近接するように配置された搭載側部品受渡し位置と部品搭載位置との間で上記供給側部品保持部材の閉鎖軌道とは異なる閉鎖軌道を描くように移動し、かつ、上記搭載側部品受渡し位置に位置したとき上記供給側部品受渡し位置に位置する上記供給側部品保持部材に保持された上記部品が受け渡されてこれを保持し、上記部品搭載位置に位置したとき上記保持された部品を上記被搭載物に搭載する搭載側部品保持部材とを備えるとともに、
上記複数の供給側部品保持部材のうちの一方の供給側部品保持部材と上記搭載側部品保持部材とにより上記部品の受渡し動作を行うとき、上記複数の供給側部品保持部材のうちの他方の供給側部品保持部材により上記部品取出位置で上記部品供給部から別の部品を取り出し保持可能であるようにしたことを特徴とする部品搭載装置を提供する。
【００２１】
本発明の第２参考態様によれば、部品を部品供給部から順次取り出し被搭載物の所定の位置に搭載する部品搭載装置において、
部品取出位置と供給側部品受渡し位置との間で閉鎖軌道を描くように間欠回転移動し、かつ、上記部品取出位置に位置したとき上記部品供給部から上記部品を取り出して保持し、上記間欠回転移動中に上記保持された上記部品を反転させ、上記部品取出位置から上記供給側部品受渡し位置に移動する間に上記保持された部品が上記供給側部品受渡し位置に位置したとき上記保持された部品の部品受渡し動作を行う供給側部品保持部材と、
上記供給側部品保持部材の上記間欠回転移動と同期する間欠回転移動により、上記供給側部品受渡し位置と重なり合うか又は近接するように配置された搭載側部品受渡し位置と部品搭載位置との間で上記供給側部品保持部材の閉鎖軌道とは異なる閉鎖軌道を描くようにそれぞれ移動し、かつ、上記搭載側部品受渡し位置にそれぞれ位置したとき上記供給側部品受渡し位置に位置する上記供給側部品保持部材に保持された上記部品が受け渡されてこれを保持し、上記部品搭載位置にそれぞれ位置したとき上記保持された部品を上記被搭載物に搭載する複数の搭載側部品保持部材とを備えるとともに、
上記供給側部品保持部材と上記複数の搭載側部品保持部材のうちの一方の搭載側部品保持部材とにより上記部品の受渡し動作を行うとき、上記複数の搭載側部品保持部材のうちの上記他方の搭載側部品保持部材により上記部品搭載位置で上記他方の搭載側部品保持部材に保持された部品を上記被搭載物に搭載可能であるようにしたことを特徴とする部品搭載装置を提供する。
【００２２】
本発明の第３参考態様によれば、部品を部品供給部から順次取り出し被搭載物の所定の位置に搭載する部品搭載装置において、
部品取出位置と供給側部品受渡し位置との間で閉鎖軌道を描くようにそれぞれ間欠回転移動し、かつ、上記部品取出位置にそれぞれ位置したとき上記部品供給部から上記部品を取り出して保持し、上記部品取出位置から上記供給側部品受渡し位置にそれぞれ移動する間に上記保持された部品が上記供給側部品受渡し位置にそれぞれ位置したとき上記保持された部品の部品受渡し動作を行う複数の供給側部品保持部材と、
上記供給側部品保持部材の上記間欠回転移動と同期する間欠回転移動により、上記供給側部品受渡し位置と重なり合うか又は近接するように配置された搭載側部品受渡し位置と部品搭載位置との間で上記供給側部品保持部材の閉鎖軌道とは異なる閉鎖軌道を描くように移動し、かつ、上記搭載側部品受渡し位置に位置したとき上記供給側部品受渡し位置に位置する上記供給側部品保持部材に保持された上記部品が受け渡されてこれを保持し、上記部品搭載位置に位置したとき上記保持された部品を上記被搭載物に搭載する搭載側部品保持部材と、
間欠回転を行う部品供給用ホルダと、
上記部品供給用ホルダの周縁に反転動作可能にそれぞれ取り付けられ、上記供給側部品保持部材を有して、上記部品供給用ホルダの上記間欠回転により上記供給側部品保持部材が上記閉鎖軌道としての円軌道を描きながら上記部品取出位置と上記供給側部品受渡し位置とにそれぞれ移動させ、かつ、上記部品取出位置に上記供給側部品保持部材がそれぞれ位置したとき上記部品供給部から上記供給側部品保持部材により上記部品を取り出して上記供給側部品保持部材に保持し、上記部品取出位置から上記供給側部品受渡し位置にそれぞれ移動する間に上記供給側部品保持部材に保持された上記部品を反転させ、上記供給側部品受渡し位置にそれぞれ位置したとき上記供給側部品保持部材に保持され反転された上記部品の部品受渡し動作を行う複数の反転供給ヘッドと、
上記部品供給用ホルダの上記間欠回転と同期して間欠回転を行う部品搭載用ホルダと、
上記部品搭載用ホルダの周縁に昇降動作可能に取り付けられ、上記搭載側部品保持部材を有して、上記部品搭載用ホルダの上記間欠回転により上記搭載側部品保持部材が上記円軌道を描きながら上記搭載側部品受渡し位置と上記部品搭載位置とにそれぞれ移動させ、かつ、上記搭載側部品受渡し位置に上記搭載側部品保持部材が位置したとき上記供給側部品受渡し位置に位置する上記反転供給ヘッドの上記供給側部品保持部材に保持された上記部品が上記搭載側部品保持部材に受け渡されて上記搭載側部品保持部材でこれを保持し、上記部品搭載位置に上記搭載側部品保持部材が位置したとき上記搭載側部品保持部材に保持された上記部品を上記搭載側部品保持部材により上記被搭載物に搭載する搭載ヘッドとを備えるとともに、
上記複数の供給側部品保持部材のうちの一方の供給側部品保持部材と上記搭載側部品保持部材とにより上記部品の受渡し動作を行うとき、上記複数の供給側部品保持部材のうちの他方の供給側部品保持部材により上記部品取出位置で上記部品供給部から別の部品を取り出し保持可能であるようにした部品搭載装置を提供する。
【００２３】
本発明の第４参考態様によれば、部品を部品供給部から順次取り出し被搭載物の所定の位置に搭載する部品搭載装置において、
部品取出位置と供給側部品受渡し位置との間で閉鎖軌道を描くように間欠回転移動し、かつ、上記部品取出位置に位置したとき上記部品供給部から上記部品を取り出して保持し、上記部品取出位置から上記供給側部品受渡し位置に移動する間に上記保持された部品が上記供給側部品受渡し位置に位置したとき上記保持された部品の部品受渡し動作を行う供給側部品保持部材と、
上記供給側部品保持部材の上記間欠回転移動と同期する間欠回転移動により、上記供給側部品受渡し位置と重なり合うか又は近接するように配置された搭載側部品受渡し位置と部品搭載位置との間で上記供給側部品保持部材の閉鎖軌道とは異なる閉鎖軌道を描くようにそれぞれ移動し、かつ、上記搭載側部品受渡し位置にそれぞれ位置したとき上記供給側部品受渡し位置に位置する上記供給側部品保持部材に保持された上記部品が受け渡されてこれを保持し、上記部品搭載位置にそれぞれ位置したとき上記保持された部品を上記被搭載物に搭載する複数の搭載側部品保持部材と、
間欠回転を行う部品供給用ホルダと、
上記部品供給用ホルダの周縁に反転動作可能に取り付けられ、上記供給側部品保持部材を有して、上記部品供給用ホルダの上記間欠回転により上記供給側部品保持部材が上記閉鎖軌道としての円軌道を描きながら上記部品取出位置と上記供給側部品受渡し位置とにそれぞれ移動させ、かつ、上記部品取出位置に位置したとき上記部品供給部から上記供給側部品保持部材により上記部品を取り出して上記供給側部品保持部材に保持し、上記部品取出位置から上記供給側部品受渡し位置に移動する間に上記供給側部品保持部材に保持された上記部品を反転させ、上記供給側部品受渡し位置に位置したとき上記供給側部品保持部材に保持され反転された上記部品の部品受渡し動作を行う反転供給ヘッドと、
上記部品供給用ホルダの上記間欠回転と同期して間欠回転を行う部品搭載用ホルダと、
上記部品搭載用ホルダの周縁に昇降動作可能にそれぞれ取り付けられ、上記搭載側部品保持部材を有して、上記部品搭載用ホルダの上記間欠回転により上記搭載側部品保持部材が上記円軌道を描きながら上記搭載側部品受渡し位置と上記部品搭載位置とにそれぞれ移動させ、かつ、上記搭載側部品受渡し位置に上記搭載側部品保持部材がそれぞれ位置したとき上記供給側部品受渡し位置に位置する上記反転供給ヘッドの上記供給側部品保持部材に保持された上記部品が上記搭載側部品保持部材に受け渡されて上記搭載側部品保持部材でこれを保持し、上記部品搭載位置に上記搭載側部品保持部材がそれぞれ位置したとき上記搭載側部品保持部材に保持された上記部品を上記搭載側部品保持部材により上記被搭載物に搭載する複数の搭載ヘッドとを備えるとともに、
上記供給側部品保持部材と上記複数の搭載側部品保持部材のうちの一方の搭載側部品保持部材とにより上記部品の受渡し動作を行うとき、上記複数の搭載側部品保持部材のうちの上記他方の搭載側部品保持部材により上記部品搭載位置で上記他方の搭載側部品保持部材に保持された部品を上記被搭載物に搭載可能であるようにした部品搭載装置を提供する。
【００２４】
本発明の第５参考態様によれば、上記搭載ヘッドも複数個備えて、
上記一方の反転供給ヘッドと上記複数の搭載ヘッドのうちの一方の搭載ヘッドとにより上記部品の受渡し動作を行うとき、上記他方の反転供給ヘッドの上記供給側部品保持部材により上記部品取出位置で上記部品供給部から別の部品を取り出し保持可能である一方、上記複数の搭載ヘッドのうちの他方の搭載ヘッドの上記搭載側部品保持部材により上記部品搭載位置で上記他方の搭載ヘッドの上記搭載側部品保持部材に保持された上記部品を上記被搭載物に搭載可能とする第３参考態様に記載の部品搭載装置を提供する。
【００２５】
本発明の第６参考態様によれば、上記供給側部品受渡し位置に位置する上記反転供給ヘッドの上記供給側部品保持部材が、上記搭載側部品受渡し位置に位置する上記搭載ヘッドの上記搭載側部品保持部材の真下に位置するようにしている第３〜５のいずれかの参考態様に記載の部品搭載装置を提供する。
【００２６】
本発明の第７参考態様によれば、上記部品供給用ホルダにおいて上記部品取出位置から上記供給側部品受渡し位置までの間に上記反転供給ヘッドの上記供給側部品保持部材を反転させるとき、上記供給側部品受渡し位置のある程度前の段階で反転動作を完了しておき、反転動作に伴い上記反転供給ヘッドに生じる振動が減衰された状態で上記反転供給ヘッドの上記供給側部品保持部材が上記供給側部品受渡し位置に位置するようにした第３〜６のいずれかの参考態様に記載の部品搭載装置を提供する。
【００２７】
本発明の第８参考態様によれば、上記反転供給ヘッドの数と上記搭載ヘッドの数が等しく、上記部品の受け渡しが行われる上記反転供給ヘッドと上記搭載ヘッドとの組み合わせが機構的に定められている第５〜７のいずれかの参考態様に記載の部品搭載装置を提供する。
【００２８】
本発明の第９参考態様によれば、上記部品供給用ホルダ及び上記部品搭載用ホルダは同一の駆動源により機構的に同期をとりながら間欠的に回転を行う第３〜８のいずれかの参考態様に記載の部品搭載装置を提供する。
【００２９】
本発明の第１０参考態様によれば、上記部品供給用ホルダと上記部品搭載用ホルダは部品搭載装置操作者が位置する装置正面からみて左右又は右左に配置され、上記部品は上記部品供給部より取り出された後、上記部品供給用ホルダと上記部品搭載用ホルダの装置正面側を通過して上記被搭載物に搭載される第３〜９のいずれかの参考態様に記載の部品搭載装置を提供する。
【００３０】
本発明の第１１参考態様によれば、上記部品搭載用ホルダの外部に配されたリニアモータの駆動により上記搭載ヘッドの上記搭載側部品保持部材が下降し、上記リニアモータにより上記被搭載物への搭載荷重が制御される第３〜１０のいずれかの参考態様に記載の部品搭載装置を提供する。
【００３１】
本発明の第１２参考態様によれば、上記反転供給ヘッドの上記供給側部品保持部材の上下反転動作は、上記部品供給用ホルダの間欠的な回転に連動して移動しかつ上記反転供給ヘッドに連結されるカムフォロアと、上下方向に上記カムフォロアが移動するように形成されたカム溝又はカム面とを備えるカム機構により行われる第３〜１１のいずれかの参考態様に記載の部品搭載装置を提供する。
【００３２】
本発明の第１３参考態様によれば、上記部品供給部として機能する部品供給テーブルを水平回転を可能にする案内装置と駆動装置を搭載し、部品取出し時の上記部品と上記供給側部品保持部材間の供給側部品保持部材軸回りの角度補正は上記部品供給部として機能する部品供給テーブル側の水平回転により行う第３〜１２のいずれかの参考態様に記載の部品搭載装置を提供する。
【００３３】
本発明の第１４参考態様によれば、上記部品供給部として機能する部品供給テーブルに搭載された水平回転を可能にする案内装置と駆動装置は、水平移動を可能にする案内装置と駆動装置の下方に配置され、水平回転の中心軸は上記部品を吸着して部品取出しを行う上記供給側部品保持部材の中心軸と同軸上にある第１３参考態様に記載の部品搭載装置を提供する。
【００３４】
本発明の第１５参考態様によれば、上記部品を搭載すべき上記被搭載物を搭載する部品搭載テーブルに水平回転を可能にする案内装置と駆動装置を搭載し、部品搭載時の上記部品と上記被搭載物間の搭載側部品保持部材軸回りの角度補正は上記部品を搭載すべき上記被搭載物を搭載する部品搭載テーブル側の水平回転により行う第３〜１５のいずれかの参考態様に記載の部品搭載装置を提供する。
【００３５】
本発明の第１６参考態様によれば、上記部品を搭載すべき上記被搭載物を搭載する部品搭載テーブルに搭載された水平回転を可能にする案内装置と駆動装置は、水平移動を可能にする案内装置と駆動装置の下方に配置され、水平回転の中心軸は上記部品を吸着保持しつつ搭載を行う上記供給側部品保持部材の中心軸と同軸上にある第１５参考態様に記載の部品搭載装置を提供する。
【００３６】
本発明の別の参考態様によれば、部品を部品供給部から順次取り出し被搭載物の所定の位置に搭載する部品搭載方法において、
供給側部品保持部材が部品取出位置と供給側部品受渡し位置との間で閉鎖軌道を描くように間欠回転移動し、かつ、上記部品取出位置に位置したとき上記部品供給部から上記部品を取り出して保持し、上記部品取出位置から上記供給側部品受渡し位置に移動する間に上記保持された部品を反転させ、上記供給側部品受渡し位置に位置したとき上記保持され反転された部品の部品受渡し動作を行うとともに、
上記供給側部品保持部材の上記間欠回転移動と同期する間欠回転移動により、搭載側部品保持部材が上記供給側部品受渡し位置と重なり合うか又は近接するように配置された搭載側部品受渡し位置と部品搭載位置との間で上記供給側部品保持部材の閉鎖軌道とは異なる閉鎖軌道を描くように移動し、かつ、上記搭載側部品保持部材が上記搭載側部品受渡し位置に位置したとき上記供給側部品受渡し位置に位置する上記供給側部品保持部材に保持された上記部品が受け渡されてこれを保持し、上記搭載側部品保持部材が上記部品搭載位置に位置したとき上記保持された部品を上記被搭載物に搭載するとともに、
上記供給側部品保持部材と上記搭載側部品保持部材とのうちのいずれか一方の部品保持部材が複数備えられて同一の閉鎖軌道を回転移動して複数の部品保持部材がそれぞれ同様な動作を行う場合、上記供給側部品保持部材と上記搭載側部品保持部材とのうちのいずれか他方の部品保持部材と、上記複数備えられた部品保持部材のうちの第１部品保持部材とにより上記部品の受渡し動作を行うとき、上記複数備えられた部品保持部材のうちの第２部品保持部材により所定の動作を行うものであり、上記所定の動作とは、上記複数備えられた部品保持部材が供給側部品保持部材である場合には上記部品取出位置で上記部品供給部から別の部品を取り出し保持することであり、上記複数備えられた部品保持部材が搭載側部品保持部材である場合には上記部品搭載位置で上記第２部品保持部材に保持された部品を上記被搭載物に搭載することであるようにしたことを特徴とする部品搭載方法を提供する。
【００３７】
本発明の第１７参考態様によれば、部品を部品供給部から順次取り出し被搭載物の所定の位置に搭載する部品搭載方法において、
複数の供給側部品保持部材が部品取出位置と供給側部品受渡し位置との間で閉鎖軌道を描くようにそれぞれ間欠回転移動し、かつ、上記部品取出位置にそれぞれ位置したとき上記部品供給部から上記部品を取り出して保持し、上記部品取出位置から上記供給側部品受渡し位置にそれぞれ移動する間に上記保持された部品を反転させ、上記供給側部品受渡し位置にそれぞれ位置したとき上記保持され反転された部品の部品受渡し動作を行うとともに、
上記供給側部品保持部材の上記間欠回転移動と同期する間欠回転移動により、搭載側部品保持部材が上記供給側部品受渡し位置と重なり合うか又は近接するように配置された搭載側部品受渡し位置と部品搭載位置との間で上記供給側部品保持部材の閉鎖軌道とは異なる閉鎖軌道を描くように移動し、かつ、上記搭載側部品保持部材が上記搭載側部品受渡し位置に位置したとき上記供給側部品受渡し位置に位置する上記供給側部品保持部材に保持された上記部品が受け渡されてこれを保持し、上記搭載側部品保持部材が上記部品搭載位置に位置したとき上記保持された部品を上記被搭載物に搭載するとともに、
上記複数の供給側部品保持部材のうちの一方の供給側部品保持部材と上記搭載側部品保持部材とにより上記部品の受渡し動作を行うとき、上記複数の供給側部品保持部材のうちの他方の供給側部品保持部材により上記部品取出位置で上記部品供給部から別の部品を取り出し保持可能であるようにしたことを特徴とする部品搭載方法を提供する。
【００３８】
本発明の第１８参考態様によれば、部品を部品供給部から順次取り出し被搭載物の所定の位置に搭載する部品搭載方法において、
供給側部品保持部材が部品取出位置と供給側部品受渡し位置との間で閉鎖軌道を描くように間欠回転移動し、かつ、上記供給側部品保持部材が上記部品取出位置に位置したとき上記部品供給部から上記部品を取り出して保持し、上記供給側部品保持部材が上記部品取出位置から上記供給側部品受渡し位置に移動する間に上記保持された部品を反転させ、上記供給側部品保持部材が上記供給側部品受渡し位置に位置したとき上記保持され反転された部品の部品受渡し動作を行うとともに、
上記供給側部品保持部材の上記間欠回転移動と同期する間欠回転移動により、複数の搭載側部品保持部材が上記供給側部品受渡し位置と重なり合うか又は近接するように配置された搭載側部品受渡し位置と部品搭載位置との間で上記供給側部品保持部材の閉鎖軌道とは異なる閉鎖軌道を描くようにそれぞれ移動し、かつ、上記複数の搭載側部品保持部材が上記搭載側部品受渡し位置にそれぞれ位置したとき上記供給側部品受渡し位置に位置する上記供給側部品保持部材に保持された上記部品が受け渡されてこれを保持し、上記複数の搭載側部品保持部材が上記部品搭載位置にそれぞれ位置したとき上記保持された部品を上記被搭載物に搭載するとともに、
上記供給側部品保持部材と上記複数の搭載側部品保持部材のうちの一方の搭載側部品保持部材とにより上記部品の受渡し動作を行うとき、上記複数の搭載側部品保持部材のうちの上記他方の搭載側部品保持部材により上記部品搭載位置で上記他方の搭載側部品保持部材に保持された部品を上記被搭載物に搭載可能であるようにしたことを特徴とする部品搭載方法を提供する。
【００３９】
本発明の第１９参考態様によれば、上記搭載ヘッドも複数個備える場合であって、
上記一方の反転供給ヘッドと上記複数の搭載ヘッドのうちの一方の搭載ヘッドとにより上記部品の受渡し動作を行うとき、上記他方の反転供給ヘッドの上記供給側部品保持部材により上記部品取出位置で上記部品供給部から別の部品を取り出し保持可能である一方、上記複数の搭載ヘッドのうちの他方の搭載ヘッドの上記搭載側部品保持部材により上記部品搭載位置で上記他方の搭載ヘッドの上記搭載側部品保持部材に保持された上記部品を上記被搭載物に搭載可能とする第１７参考態様に記載の部品搭載方法を提供する。
【００４０】
本発明の第２０参考態様によれば、上記供給側部品受渡し位置に位置する上記反転供給ヘッドの上記供給側部品保持部材が、上記搭載側部品受渡し位置に位置する上記搭載ヘッドの上記搭載側部品保持部材の真下に位置するようにしている第１７〜１９のいずれかの参考態様に記載の部品搭載方法を提供する。
【００４１】
本発明の第２１参考態様によれば、上記部品供給用ホルダにおいて上記部品取出位置から上記供給側部品受渡し位置までの間に上記反転供給ヘッドの上記供給側部品保持部材を反転させるとき、上記供給側部品受渡し位置のある程度前の段階で反転動作を完了しておき、反転動作に伴い上記反転供給ヘッドに生じる振動が減衰された状態で上記反転供給ヘッドの上記供給側部品保持部材が上記供給側部品受渡し位置に位置するようにした第１７〜２０のいずれかの参考態様に記載の部品搭載方法を提供する。
【００４２】
本発明の第２２参考態様によれば、上記反転供給ヘッドの数と上記搭載ヘッドの数が等しく、上記部品の受け渡しが行われる上記反転供給ヘッドと上記搭載ヘッドとの組み合わせが機構的に定められている第１９〜２１のいずれかの参考態様に記載の部品搭載方法を提供する。
【００４３】
本発明の第２３参考態様によれば、上記部品供給用ホルダ及び上記部品搭載用ホルダは同一の駆動源により機構的に同期をとりながら間欠的に回転を行う第１７〜２２のいずれかの参考態様に記載の部品搭載方法を提供する。
【００４４】
本発明の第２４参考態様によれば、上記部品供給用ホルダと上記部品搭載用ホルダは部品搭載方法操作者が位置する装置正面からみて左右又は右左に配置され、上記部品は上記部品供給部より取り出された後、上記部品供給用ホルダと上記部品搭載用ホルダの装置正面側を通過して上記被搭載物に搭載される第１７〜２３のいずれかの参考態様に記載の部品搭載方法を提供する。
【００４５】
本発明の第２５参考態様によれば、上記部品搭載用ホルダの外部に配されたリニアモータの駆動により上記搭載ヘッドの上記搭載側部品保持部材が下降し、上記リニアモータにより上記被搭載物への搭載荷重が制御される第１７〜２４のいずれかの参考態様に記載の部品搭載方法を提供する。
【００４６】
本発明の第２６参考態様によれば、上記反転供給ヘッドの上記供給側部品保持部材の上下反転動作は、上記部品供給用ホルダの間欠的な回転に連動して移動しかつ上記反転供給ヘッドに連結されるカムフォロアと、上下方向に上記カムフォロアが移動するように形成されたカム溝又はカム面とを備えるカム機構により行われる第１７〜２５のいずれかの参考態様に記載の部品搭載方法を提供する。
【００４７】
本発明の第２７参考態様によれば、上記部品供給部として機能する部品供給テーブルに水平回転を可能にする案内装置と駆動装置を搭載し、部品取出し時の上記部品と上記供給側部品保持部材間の供給側部品保持部材軸回りの角度補正は上記部品供給部として機能する部品供給テーブル側の水平回転により行う第１７〜２６のいずれかの参考態様に記載の部品搭載方法を提供する。
【００４８】
本発明の第２８参考態様によれば、上記部品供給部として機能する部品供給テーブルに搭載された水平回転を可能にする案内装置と駆動装置は、水平移動を可能にする案内装置と駆動装置の下方に配置され、水平回転の中心軸は上記部品を吸着して部品取出しを行う上記供給側部品保持部材の中心軸と同軸上にある第２７参考態様に記載の部品搭載方法を提供する。
【００４９】
本発明の第２９参考態様によれば、上記部品を搭載すべき上記被搭載物を搭載する部品搭載テーブルに水平回転を可能にする案内装置と駆動装置を搭載し、部品搭載時の上記部品と上記被搭載物間の搭載側部品保持部材軸回りの角度補正は部品を搭載すべき上記被搭載物を搭載する部品搭載テーブル側の水平回転により行う第１７〜２８のいずれかの参考態様に記載の部品搭載方法を提供する。
【００５０】
本発明の第３０参考態様によれば、上記部品を搭載すべき上記被搭載物を搭載する搭載テーブルに搭載された水平回転を可能にする案内装置と駆動装置は、水平移動を可能にする案内装置と駆動装置の下方に配置され、水平回転の中心軸は上記部品を吸着保持しつつ搭載を行う上記供給側部品保持部材の中心軸と同軸上にある第２９参考態様に記載の部品搭載方法を提供する。
【００５１】
本発明の第３１参考態様によれば、上記反転供給ヘッドの上記間欠回転中に、上記部品供給部において次に取り出す部品の位置を認識可能な供給側認識カメラと、
上記搭載ヘッドの上記間欠回転中に、次に部品を搭載する上記被搭載物の搭載位置を認識可能な搭載側認識カメラとをさらに備えて、
上記反転供給ヘッドの上記間欠回転終了後に、上記供給側認識カメラにより認識された次に取り出す部品の位置に基いて、上記部品供給部の次に取り出す部品の位置から部品を取り出すとともに、
上記搭載ヘッドの上記間欠回転終了後に、上記搭載側認識カメラにより認識された次に部品を搭載する上記被搭載物の搭載位置に基いて、上記被搭載物の上記搭載位置に上記次に部品を搭載するようにした第１〜５のいずれか１つの参考態様に記載の部品搭載装置を提供する。
【００５２】
本発明の第３２参考態様によれば、上記反転供給ヘッドの上記間欠回転中に、上記部品供給部において次に取り出す部品の位置を認識するとともに、
上記搭載ヘッドの上記間欠回転中に、次に部品を搭載する上記被搭載物の搭載位置を認識し、
上記反転供給ヘッドの上記間欠回転終了後に、上記認識された次に取り出す部品の位置に基いて、上記部品供給部の次に取り出す部品の位置から部品を取り出すとともに、
上記搭載ヘッドの上記間欠回転終了後に、上記認識された次に部品を搭載する上記被搭載物の搭載位置に基いて、上記被搭載物の上記搭載位置に上記次に部品を搭載するようにした第１７〜１９，２２のいずれか１つの参考態様に記載の部品搭載方法を提供する。
【００５３】
（発明を実施するための最良の形態）
本発明の記述を続ける前に、添付図面において同じ部品については同じ参照符号を付している。
以下に、本発明にかかる実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。
【００５４】
本発明の一実施形態としての電子部品搭載装置は、ＩＣチップ、水晶発振子などの部品を、回路基板、液晶パネル、被搭載部品などの被搭載物に搭載する部品搭載装置の一例をなすものである。この電子部品搭載装置は、ＩＣチップ、水晶発振子などの部品のうちの一例としての電子部品であって特に電気的接続部が上面に配置された電子部品を、回路基板、液晶パネル、被搭載部品などの被搭載物のうちの一例としての回路基板に、上記電子部品の電気的接続部が上記回路基板の電気的接続部の例としての電極と接続されるように搭載するものである。
【００５５】
図１は、上記実施形態の電子部品搭載装置の斜視図である。
【００５６】
図１において、１４は搭載後の電子部品であり、回路基板１５に搭載されている。１６は収納マガジンであり、この収納マガジン１６内には複数枚の治具プレート１７が収納されている。そして、各治具プレート１７には、回路基板１５に搭載されて上記搭載後の電子部品１４となる部品であって、シート１８を介して、多数の電子部品１９、例えば、ウェハが個片にカットされたＩＣチップであって電気的接続部が上面に配置された状態で上記ＩＣチップが多数個セットされている。２０はリフターであり、収納マガジン１６の昇降動作を行う。２１は引出し部であり、上記電子部品搭載装置のＹ方向に往復移動可能かつ治具プレート１７をクランプする機能を備え、治具プレート１７のＹ方向の引き出し動作を行う。
【００５７】
２２は部品供給部の一例としての部品供給テーブルであり、治具プレート１７がその上に搭載可能であり、また、上記電子部品搭載装置のＸＹ方向のそれぞれの往復移動、ＸＹ平面内での水平回転が可能な構成となっている。また、部品供給テーブル２２では、上記電子部品１９の一例である多数のＩＣチップより構成されるウェハの水平回転を可能にするウェハ水平回転案内装置付きウェハ水平回転駆動装置６００を、ＸＹ平面沿いの水平移動を可能にするウェハ水平移動案内装置付きウェハ水平移動駆動装置６０２の下方に配置し、上記水平回転の中心軸はピックアップする供給側吸着ノズル２７の中心軸と同軸上にある構成としている。
【００５８】
上記部品供給テーブル２２を水平回転を可能にするウェハ水平回転案内装置付きウェハ水平回転駆動装置６００は、以下のように構成されている。すなわち、図３５，３７に示すように、θ軸用モータ６００ａの回転軸がカップリング６００ｂによりボールネジ６００ｃと連結されている。よって、θ軸用モータ６００ａの正逆回転駆動により、ボールネジ６００ｃが正逆回転し、該ボールネジ６００ｃに螺合されたナット６００ｄが、直線運動ガイド６００ｇの案内によりＸ軸方向沿いに進退移動する。すると、ナット６００ｄに固定されたカムフォロア６００ｅに係合しかつＹ軸ベース６０２ｒに固定された直動ガイド６０２ｚがＸ軸方向沿いに進退移動することにより、Ｙ軸ベース６０２ｒをクロスローラーガイド６００ｆを介してクロスローラーガイド６００ｆの中心回りにすなわちθ軸回りに正逆回転させる。このようにして、Ｙ軸ベース６０２ｒをθ軸回りに水平回転させることができる。この結果、部品取出し時の上記部品と上記供給側部品保持部材間の供給側部品保持部材軸（θ軸）回りの角度補正は上記部品供給部として機能する部品供給テーブル側の水平回転により行うことができる。
【００５９】
また、部品供給テーブル２２のＸＹ平面沿いの水平移動を可能にするウェハ水平移動案内装置付きウェハ水平移動駆動装置６０２は、図３６，３７に示すように、Ｙ軸ベース６０２ｒ上にＹ軸移動駆動装置６０２ｙが配置され、Ｙ軸移動駆動装置６０２ｙのＸ軸ベース６０２ｆ上にＸ軸移動駆動装置６０２ｘが配置されている。すなわち、Ｙ軸移動駆動装置６０２ｙにおいては、Ｙ軸ベース６０２ｒに固定されたＹ軸移動用モータ６０２ｈの回転軸がカップリング６０２ｐによりボールネジ６０２ｉと連結されている。よって、Ｙ軸移動用モータ６０２ｈの正逆回転駆動により、ボールネジ６０２ｉが正逆回転し、該ボールネジ６０２ｉに螺合されかつＸ軸ベース６０２ｆに固定されたナット６０２ｊが、Ｙ軸方向沿いに進退移動する。このとき、Ｘ軸ベース６０２ｆはその両側に一対ずつの摺動ガイド部材６０２ｋ，…，６０２ｋを備えており、摺動ガイド部材６０２ｋ，…，６０２ｋがＹ軸ベース６０２ｒに固定されたガイドレール６０２ｍ，６０２ｍ上を移動することにより、Ｘ軸ベース６０２ｆがＹ軸ベース６０２ｒに対してＹ軸方向沿いに案内される。一方、Ｘ軸移動駆動装置６０２ｘにおいては、Ｘ軸ベース６０２ｆに固定されたＸ軸移動用モータ６０２ａの回転軸がカップリング６０２ｎによりボールネジ６０２ｂと連結されている。よって、Ｘ軸移動用モータ６０２ａの正逆回転駆動により、ボールネジ６０２ｂが正逆回転し、該ボールネジ６０２ｂに螺合されかつテーブル６０２ｔに固定されたナット６０２ｃが、Ｘ軸方向沿いに進退移動する。このとき、テーブル６０２ｔはその両側に一対ずつの摺動ガイド部材６０２ｄ，…，６０２ｄを備えており、摺動ガイド部材６０２ｄ，…，６０２ｄがＸ軸ベース６０２ｆに固定されたガイドレール６０２ｅ，６０２ｅ上を移動することにより、テーブル６０２ｔがＸ軸ベース６０２ｆに対してＸ軸方向沿いに案内される。よって、テーブル６０２ｔは、Ｙ軸移動駆動装置６０２ｙ及びＸ軸移動駆動装置６０２ｘにより、Ｙ軸ベース６０２ｒに対してＸＹ方向沿いに移動することができる。
【００６０】
このように構成することにより、上記部品供給部として機能する部品供給テーブル２２に搭載された水平回転を可能にする上記案内装置付き駆動装置６０２は、水平移動を可能にする上記案内装置付き駆動装置６００の下方に配置され、水平回転の中心軸は常に上記部品を吸着して部品取出しを行う上記供給側部品保持部材の中心軸と同軸上にあるように構成することができる。
【００６１】
２３は認識カメラであり、電子部品１９の画像情報を、光学系を介して、ＣＣＤカメラなどから構成される認識カメラ本体に入力して治具プレート１７上の電子部品１９の位置確認を行う機能を有している。
【００６２】
以降、図２を併用して説明を行う。
【００６３】
図２は、上記治具プレート１７上の電子部品１９を吸着保持する供給側吸着ノズル２７を有して、該供給側吸着ノズル２７を、部品取出位置の一例としての吸着位置ａ（図３参照）と、吸着保持された電子部品１９を上下反転動作中の反転位置ｂと、反転された電子部品１９を受け渡す供給側部品受渡し位置ｃと、上下反転状態を元に戻す反転戻し位置ｈとに順に移動させて電子部品の吸着、部品反転、部品受け渡し動作、及び反転戻し動作を行う部品供給用ホルダ２４と、電子部品１９を吸着保持する搭載側吸着ノズル４０を有して、該搭載側吸着ノズル４０を、上記供給側部品受渡し位置ｃの真上の位置であって上記部品供給用ホルダ側から渡される電子部品１９を受けて保持する搭載側部品受渡し位置ｄと、保持された電子部品１９の認識を行う部品認識位置ｅと、認識された電子部品１９を基板１５に搭載する部品搭載位置ｆと、不良品廃棄位置ｇとに順に移動させる部品搭載用ホルダ３２とを示す斜視図である。なお、以下の説明において、供給側吸着ノズル２７が、吸着位置ａ（図３参照）と、反転位置ｂと、供給側部品受渡し位置ｃと、反転戻し位置ｈとに順に位置する状態のことを、簡略して、部品供給用ホルダ２４が上記各位置に位置する、と説明することもあるが、両者は同一の状態を指している。同様に、以下の説明において、搭載側吸着ノズル４０が、搭載側部品受渡し位置ｄと、部品認識位置ｅと、部品搭載位置ｆと、不良品廃棄位置ｇとに順に位置する状態のことを、簡略して、部品搭載用ホルダ３２が上記各位置に位置する、と説明することもあるが、両者は同一の状態を指している。上記部品供給用ホルダ２４と上記部品搭載用ホルダ３２は、一例として、部品搭載装置操作者が位置する装置正面からみて左右又は右左に配置され、上記部品１９は上記部品供給テーブル２２より取り出された後、上記部品供給用ホルダ２４と上記部品搭載用ホルダ３２の装置正面側を通過して上記基板１５に搭載されるようにしている。
【００６４】
詳しくは、２４は回転不可に固定された円柱又は円筒状の部品供給用ホルダ本体２４ａと該本体２４ａの下端に配置され本体２４ａの周囲を回転する円板２４ｂとを備える部品供給用ホルダであり、後述する駆動装置１００により部品供給用ホルダ本体２４ａの中心軸であるＢ軸を中心に、部品供給用ホルダ２４の円板２４ｂが本体２４ａの周囲をインデックス回転可能なすなわち間欠割出回転可能な構成となっている。２５は反転供給ヘッドであり、部品供給用ホルダ２４の円板２４ｂに固定された反転供給ヘッド支持用ブラケット２６を介して上記部品供給用ホルダ２４の周縁に等間隔に例えば９０度間隔で計４個配されている。そして、各反転供給ヘッド２５は上記Ｂ軸と直交する横軸Ｃを中心に所定範囲内で揺動可能な構成となっている。２７は各反転供給ヘッド２５の先端に配置された供給側吸着ノズルであり、電子部品１９の上面の吸着可能領域を吸着保持することが可能で、また、反転供給ヘッド２５に軸方向に移動可能に取り付けられた後記する作動軸１７５の上端の押圧部２８に対する押圧動作により、供給側吸着ノズル２７が下降可能な構成となっている。
【００６５】
２９は反転供給ヘッド２５のブラケット２６に転動自在に支持されたローラーより構成されるカムフォロアであり、部品供給用ホルダ２４の本体２４ａの外周面に連続して形成されたカム溝３０内を移動する。このカム溝３０はカムフォロア２９が確実に転動可能ならば溝形状ではなくカム面で構成してもよい。３１はブラケット２６に取り付けられたレバーであり、上記Ｂ軸と直交しかつ上記横軸Ｃとは平行な横軸Ｄを中心に所定範囲内で時計方向及び反時計方向に揺動可能な構成となっており、カム溝３０内を移動するカムフォロア２９の上下方向の位置が横軸Ｄに対して変化すると、横軸Ｄを中心軸として時計方向及び反時計方向に傾き角が変化する。そして、レバー３１の傾きが変化すれば、後記するように、ブラケット２６内に配置され図１８〜図２０に示された２つの歯車１５０，１５１を介して回転力は反転供給ヘッド２５に伝達され、反転ヘッド２５は横軸Ｃを中心として時計方向及び反時計方向に揺動する。
【００６６】
３２は回転不可に固定された円柱又は円筒状の部品搭載用ホルダ本体３２ａと該本体３２ａの下端に配置され本体３２ａの周囲を回転する円板３２ｂとを備える部品搭載用ホルダであり、駆動装置１００により部品搭載用ホルダ本体３２ａの中心軸であるＥ軸を中心に、部品搭載用ホルダ３２の円板３２ｂが本体３２ａの周囲をインデックス回転可能なすなわち間欠割出回転可能な構成となっている。そして、後記するように、上記部品搭載用ホルダ３２のインデックス回転は部品供給用ホルダ２４のインデックス回転と機構的に同期をとって行われるように構成されている。
【００６７】
３３は搭載ヘッドであり、搭載ヘッド３３の昇降の案内を行うスライダー３４を介して、搭載ヘッド３３は、上記部品搭載用ホルダ３２の円板３２ｂに等間隔で例えば９０度間隔で計４個配置されている。そして、各搭載ヘッド３３には転動自在に支持されたローラーより構成されるカムフォロア３５が配置されており、図２２に示すように、上記カムフォロア３５はスプリング３６の力によりカム面３７の端面に常時押さえつけられている。
【００６８】
３８は搭載位置ｆに配置されたリニアモータであり、部品搭載用ホルダ３２の外部の搭載位置ｆの上方に配置されており、リニアモータ３８の駆動軸３９の下方への移動により、搭載位置ｆに位置した搭載ヘッド３３の搭載側吸着ノズル４０を下方に押し込み可能となっている。
【００６９】
４０は各搭載ヘッド３３の下端に配置された搭載側吸着ノズルであり、電子部品１９の下面の吸着可能領域を吸着保持することが可能である。
【００７０】
４１は搭載位置ｆに配置され、上記部品１９を搭載すべき上記基板１５を搭載する部品搭載テーブルであり、回路基板１５をその上に保持可能であり、また、上記ＸＹ方向のそれぞれの往復移動、上記ＸＹ面内での水平回転が可能な構成となっている。また、部品搭載テーブル４１では、上記電子部品１９を搭載すべき基板１５の上記ＸＹ平面沿いの水平回転を可能にする基板水平回転案内装置付き基板水平回転駆動装置６１０を、上記ＸＹ平面沿いの水平移動を可能にする基板水平移動案内装置付き基板水平移動駆動装置６１２の下方に配置し、水平回転の中心軸は搭載する搭載側吸着ノズル４０の中心軸と同軸上にある構成としている。
【００７１】
上記基板が保持される部品搭載テーブル４１を水平回転を可能にする基板水平回転案内装置付き基板水平回転駆動装置６１０は、以下のように構成されている。すなわち、図３８，４０に示すように、θ軸用モータ６１０ａの回転軸がカップリング６１０ｂによりボールネジ６１０ｃと連結されている。よって、θ軸用モータ６１０ａの正逆回転駆動により、ボールネジ６１０ｃが正逆回転し、該ボールネジ６１０ｃに螺合されたナット６１０ｄが、直線運動ガイド６１０ｇの案内によりＸ軸方向沿いに進退移動する。すると、ナット６１０ｄに固定されたカムフォロア６１０ｅに係合しかつＹ軸ベース６１２ｒに固定された直動ガイド６１２ｚがＸ軸方向沿いに進退移動することにより、Ｙ軸ベース６１２ｒをクロスローラーガイド６１０ｆを介してクロスローラーガイド６１０ｆの中心回りにすなわちθ軸回りに正逆回転させる。このようにして、Ｙ軸ベース６１２ｒをθ軸回りに水平回転させることができる。この結果、部品搭載時の上記部品と上記被搭載物間の搭載側部品保持部材軸（θ軸）回りの角度補正は上記部品を搭載すべき上記被搭載物を搭載する部品搭載テーブル側の水平回転により行うことができる。
【００７２】
また、部品搭載テーブル４１のＸＹ平面沿いの水平移動を可能にするウェハ水平移動案内装置付きウェハ水平移動駆動装置６１２は、図３９，４０に示すように、Ｙ軸ベース６１２ｒ上にＹ軸移動駆動装置６１２ｙが配置され、Ｙ軸移動駆動装置６１２ｙのＸ軸ベース６１２ｆ上にＸ軸移動駆動装置６１２ｘが配置されている。すなわち、Ｙ軸移動駆動装置６１２ｙにおいては、Ｙ軸ベース６１２ｒに固定されたＹ軸移動用モータ６１２ｈの回転軸がカップリング６１２ｐによりボールネジ６１２ｉと連結されている。よって、Ｙ軸移動用モータ６１２ｈの正逆回転駆動により、ボールネジ６１２ｉが正逆回転し、該ボールネジ６１２ｉに螺合されかつＸ軸ベース６１２ｆに固定されたナット６１２ｊが、Ｙ軸方向沿いに進退移動する。このとき、Ｘ軸ベース６１２ｆはその両側に一対ずつの摺動ガイド部材６１２ｋ，…，６１２ｋを備えており、摺動ガイド部材６１２ｋ，…，６１２ｋがＹ軸ベース６１２ｒに固定されたガイドレール６１２ｍ，６１２ｍ上を進退移動することにより、Ｘ軸ベース６１２ｆがＹ軸ベース６１２ｒに対してＹ軸方向沿いに案内される。一方、Ｘ軸移動駆動装置６１２ｘにおいては、Ｘ軸ベース６１２ｆに固定されたＸ軸移動用モータ６１２ａの回転軸がカップリング６１２ｎによりボールネジ６１２ｂと連結されている。よって、Ｘ軸移動用モータ６１２ａの正逆回転駆動により、ボールネジ６１２ｂが正逆回転し、該ボールネジ６１２ｂに螺合されかつウェハ保持用テーブル６１２ｔに固定されたナット６１２ｃが、Ｘ軸方向沿いに進退移動する。このとき、基板保持用テーブル６１２ｔはその両側に一対ずつの摺動ガイド部材６１２ｄ，…，６１２ｄを備えており、摺動ガイド部材６１２ｄ，…，６１２ｄがＸ軸ベース６１２ｆに固定されたガイドレール６１２ｅ，６１２ｅ上を進退移動することにより、テーブル６１２ｔがＸ軸ベース６１２ｆに対してＸ軸方向沿いに案内される。よって、テーブル６１２ｔは、Ｙ軸移動駆動装置６１２ｙ及びＸ軸移動駆動装置６１２ｘにより、Ｙ軸ベース６１２ｒに対してＸＹ方向沿いに移動することができる。
【００７３】
このように構成することにより、上記部品を搭載すべき上記被搭載物を搭載する部品搭載テーブル４１に搭載された水平回転を可能にする上記案内装置付き駆動装置６１２は、水平移動を可能にする上記案内装置付き駆動装置６０２の下方に配置され、水平回転の中心軸は常に上記部品を吸着保持しつつ搭載を行う上記供給側部品保持部材の中心軸と同軸上にあるようにすることができる。
【００７４】
４２は認識位置ｅに配置された認識カメラであり、電子部品１９の画像情報を、光学系を介して、ＣＣＤカメラなどから構成される認識カメラ本体に入力して搭載側吸着ノズル４０に吸着保持された電子部品１９の位置確認を行う機能を有している。
【００７５】
４３は搭載位置ｆに配置された認識カメラであり、回路基板１５上の搭載位置確認用の特徴点の位置確認を行う機能を有している。
【００７６】
次に、上記した、上記部品搭載用ホルダ３２のインデックス回転は部品供給用ホルダ２４のインデックス回転と機構的に同期をとって行われる構成について説明する。
【００７７】
図１，図５，図６，図１０に示すように、ＡＣサーボモータなどの駆動装置１００に連結されて回転駆動される入力軸１０１に、歯車円周方向に直線をなす直線部と上記円周方向に対して所定角度傾斜した傾斜部とを有するカム溝１０２を外周面に有する第１駆動歯車１０３が固定するとともに、カム溝１０８を外周面に有する第２駆動歯車１０６が固定されて、入力軸１０１と第１駆動歯車１０３と第２駆動歯車１０６とが一体的に回転されるようにしている。第１駆動歯車１０３のカム溝１０２には第１出力軸１０５の周囲に所定間隔ごとに固定された多数のカムフォロア１０４が次々に係合して、上記カム溝１０２の上記直線部ではカムフォロア１０４はそのままの位置を維持して第１出力軸１０５を回転させずに後記する停留位置を維持し、上記カム溝１０２の上記傾斜部においてはカムフォロア１０４を移動させて強制的に第１出力軸１０５が反時計回りに回転するの回転状態となるとともに、同期して、第２駆動歯車１０６のカム溝１０８には第２出力軸１１０の周囲に所定間隔ごとに固定された多数のカムフォロア１０９が次々に係合して、上記カム溝１０８の上記直線部ではカムフォロア１０９はそのままの位置を維持して第２出力軸１１０を回転させずに後記する停留位置を維持し、上記カム溝１０８の上記傾斜部においてはカムフォロア１０９を移動させて強制的に第２出力軸１１０が反時計回りに回転する回転状態となるようにしている。よって、入力軸１０１は常に回転し続けており、各カム溝の溝形状によって各ホルダを回転状態にさせたり、停留位置に停止させる停留状態にさせたりし、この回転状態を停留状態を交互に繰り返すことにより、インデックス回転すなわち間欠割出し回転を行わせるようにしている。図３１，図３２に示すように、上記第１出力軸１０５は部品供給用ホルダ２４の円板２４ｂに連結されて、上記第１出力軸１０５とともに部品供給用ホルダ２４の円板２４ｂが一体的に回転するとともに、図３２に示すように、上記第２出力軸１１０は部品搭載用ホルダ３２の円板３２ｂに連結されて、上記第２出力軸１１０とともに部品搭載用ホルダ３２の円板３２ｂが一体的に回転する。従って、駆動装置１００が入力軸１０１を回転させると、第１駆動歯車１０３のカム溝１０３に第１出力軸１０５の多数のカムフォロア１０４が次々に係合して、上記した停留状態では停留位置で停止する一方、上記した回転状態においては第１出力軸１０５が反時計回りに回転すると同期して第２駆動歯車１０６のカム溝１０８に第２出力軸１１０の多数のカムフォロア１０９が次々に係合して、上記した停留状態では停留位置で停止する一方、上記した回転状態においては第２出力軸１１０が反時計回りに回転する。このようにして、上記部品搭載用ホルダ３２のインデックス回転は部品供給用ホルダ２４のインデックス回転と機構的に同期をとって行われる。なお、図５, 図６において、１１１及び１１２は軸受、１１３はアッパーフレームである。また、図３１，図３２において、５０は部品供給用ホルダ本体２４ａ内で第１出力軸１０５を回転自在に支持する軸受であり、５１は部品搭載用ホルダ本体３２ａ内で第２出力軸１１０を回転自在に支持する軸受である。
【００７８】
なお、図１，図１０において、１３０は駆動装置１００からの駆動力を適正な出力に調整して上記入力軸１０１に入力する減速機、１３６は手回し調整用ハンドル、１３１は入力軸１０１に固定されたプーリー、１３２はプーリー１３１に掛け回されたベルト、１３４は駆動軸、１３３は駆動軸１３４に固定されて駆動軸１３４と一体的に回転し、かつ、上記ベルト１３２が掛け回されて入力軸１０１の回転に伴い駆動軸１３４を回転駆動するプーリー、１２０は駆動軸１３４に固定されて駆動軸１３４と一体的に回転するカム、１２３はカム１２０に常時接触するカムフォロアを一端に有するレバーであり、一対のカム１２０，１２０と１対のカムフォロアを一端に有するレバー１２３，１２３とにより、駆動軸１３４の回転運動を上下運動に変換して、ピックアップ動作すなわち部品吸着時の上下動作と部品受渡し時の上下動作に変換するカム機構を構成する。１３７は駆動軸１３４に固定されて駆動軸１３４と一体的に回転するカム、１３５はカム１３７に掛け回されたベルトであり、該ベルト１３５により伝達される駆動力を利用して、供給側吸着ノズル１９によりＩＣチップを吸着するとき、治具プレート１７に支持されたウェハから１個のＩＣチップを突き上げることにより、吸着しやすくしている。また、１３８は供給側吸着ノズル２７及び搭載側吸着ノズル４０などの吸引動作やブロー動作を制御するバルブ駆動部、１３９は上記したように間欠割り出し回転を行うインデックスユニット、１４０は入力軸１０１の他端に取り付けられて入力軸１０１の回転量を検出するロータリーエンコーダーである。
【００７９】
上記一対のカム１２０，１２０と１対のカムフォロアを一端に有するレバー１２３，１２３とにより構成されるカム機構の例を図１１に示す。このカム機構は、後述する外部押圧装置の一例である。
【００８０】
図１１において、１２２は各レバー１２３の一端に回転自在に取り付けられたカムフォロア、１２４は各レバー１２３の揺動支点、１２５は各レバー１２３の他端に回転自在に取り付けられたカムフォロア、１２６は各カムフォロア１２５が係合させられた筒状係合部、１２７は筒状係合部１２６が上端に固定された駆動軸、１２８は駆動軸１２７の上下運動を案内する上下ガイド部材である。このような構成によれば、駆動軸１３４の回転に伴いカム１２０が回転すると、カム１２０の外周面に常時接触しているカムフォロア１２２を介してレバー１２３が揺動支点１２４の回りで揺動することにより、カムフォロア１２５及び係合部１２６を介して駆動軸１２７を上下ガイド部材１２８で案内しつつ上下運動させる。この結果、上記構成にかかる機構を部品吸着位置ａの上方に配置した場合には、駆動軸１２７の下端により反転供給ヘッド２５の押圧部２８を下向きに押圧して供給側吸着ノズル２７を下降させることができる。また、上記構成にかかる機構を搭載側部品受渡し位置ｄの上方に配置した場合には、駆動軸１２７の下端により搭載ヘッド３３の押圧部３３ａを下向きに押圧して搭載側吸着ノズル４０を下降させることができる。
【００８１】
このようなカム機構に代わるものとして、ＡＣサーボモータで行うこともできる。例えば、図１４に示すように、Ｌ字状ベース２２２の上端にコ字状のブラケット２２１を固定し、ブラケット２２１の上端にＡＣサーボモータ２２０を固定している。ＡＣサーボモータ２２０の回転軸の下端はカップリング２２３を介してボールネジ２２４の上端に連結され、ボールネジ２２４にはブロック２２５が螺合されている。ブロック２２５はガイド２２７により上下方向の移動が案内されているとともに、駆動軸２２６が固定されて下方に延在している。よって、ＡＣサーボモータ２２０の回転によりボールネジ２２４が回転して、ナット２２５ａを介してボールネジ２２４が回転する力をブロック２２５が上下移動する力に変換し、ブロック２２５がガイド２２７により案内されつつ上下方向に移動し、駆動軸２２６を上下方向に移動させて、図１１の駆動軸１２７と同様な作用を行わせることができる。
【００８２】
次に、図１，図２，図１５〜図２０を参照しながら、上記吸着保持された電子部品１９を上下反転させる機構について説明する。
【００８３】
まず、図１５，図１９，図２０において、部品供給用ホルダ２４の本体２４ａのカム溝３０内を適宜転動しながら移動するローラー状のカムフォロア２９は、ネジ付き支持軸１５２により転動自在に支持され、該支持軸１５２のネジ部分で大略Ｔ字板状のレバー３１の一端突出部にナット６０で止め付けられている。レバー３１の他端中央部には、一対の軸受１５７，１５７を介して、中心軸が上記横軸Ｄである支持軸６６の一端が相対回転可能に取り付けられている。この支持軸６６には、Ｔ字板状のブラケット１７０の中央部分の分割された突出部間に把持されてボルト６１により割締めされてブラケット１７０が固定されて、支持軸６６とブラケット１７０とは一体的に回転するようになっている。
【００８４】
また、図１５においてブラケット１７０の上下両端部の対向面１７０ａ，１７０ａに対向するレバー３１の他端中央部を挟む両側の面には、ボールプランジャー６３をそれぞれ設けている。各ボールプランジャー６３は、図１６，図１７において、筒部６３ｃの外周にネジ溝がありレバー３１に螺合させて埋め込まれている。筒部６３ｃ内においてはボール６３ｂにはバネ６３ａの付勢力が作用しており、バネ６３ａの付勢力により筒部６３ｃ内からボール６３ｂを常に押し出そうとしているが、筒部６３ｃの先端を狭めるなどしてボール６３ｂが筒部６３ｃから完全に外に飛び出さないようにしている。逆に、バネ６３ａの付勢力以上の力がボール６３ｂに筒部６３ｃ内に向けて作用すると、ボール６３ｂが筒部６３ｃ内にへこんで押し込まれるようになっている。このようにして、上記上下一対のボールプランジャー６３，６３は、ブラケット１７０の対向面１７０ａ，１７０ａに対して、ボール６３ｂ，６３ｂを介してバネ６３ａ，６３ａの付勢力により、支持軸６６の軸芯である横軸Ｄ回りに、時計方向及び反時計方向に回動させるように突っ張るようにしている。よって、カムフォロア２９がカム溝３０内を移動することにより、レバー３１が支持軸中心軸（横軸Ｄ）回りに時計方向又は反時計方向に揺動するとき、レバー３１の上記上側又は下側のいずれかのボールプランジャー６３を介してブラケット１７０の対向面１７０ａを押圧してレバー３１とともにブラケット１７０を介して支持軸６６を支持軸中心軸（横軸Ｄ）回りに時計方向又は反時計方向に回転させることができる。そして、このとき、後述するように、支持軸６６の回転に基づき反転供給ヘッド２５が反転動作又は反転戻り動作のため回転することになるが、反転供給ヘッド２５が反転動作又は反転戻り動作を確実に行なわしめるため、必要な回転角度よりも例えば１度だけ余分に回転されるようにして、反転供給ヘッド２５が後述するストッパーにて確実に位置規制されるようにする一方、位置規制されたのちの余分な回転量（オーバーハング量）は、上記ボールプランジャー６３のボール６３ｂがバネ６３ａの付勢力に抗して筒部６３ｃ内にへこむことにより吸収できるようにして、無理な力がレバー３１や支持軸６６などに作用しないようにしている。
【００８５】
また、図２０に示すように、支持軸６６の他端は、溝２６ｇを挟んでブラケット２６に備えられた一対の軸受１５８，１５８により回転自在に支持されている。この一対の軸受１５８，１５８間に位置する支持軸６６の中間部分には、溝２６ｇ内に位置して上記反転動作を行わしめる大歯車１５０が固定されている。よって、大歯車１５０は、溝２６ｇ内で支持軸６６と一体的に回転可能となっている。なお、１６０は大歯車１５１がブラケット２６に接触しないようにするためのスペーサである。
【００８６】
一方、大歯車１５０と歯合する小歯車１５１は、上記ブラケット２６の溝２６ｇ内に回転可能に配置され、ブラケット２６の一対の軸受１５９により回転自在に支持され、かつ、中心軸が上記横軸Ｃである回転軸１６２に固定されている。よって、小歯車１５１が固定された回転軸１６２と大歯車１５０が固定された支持軸６６とは平行に配置されていることになる。また、回転軸１６２はその一端が反転供給ヘッド２５に固定されている。よって、支持軸６６と一体的に大歯車１５０が回転すると、大歯車１５０と歯合する小歯車１５１が支持軸１６２とともに溝２６ｇ内で一体的に回転し、支持軸１６２とともに反転供給ヘッド２５が反転動作のために回転するようになっている。なお、１６１は小歯車１５２が反転供給ヘッド２５に接触しないようにするためのスペーサである。また、上記大歯車１５０と小歯車１５１は、歯数が２：１となるようにそれぞれの歯が形成されており、大歯車１５０の９０度回転に伴い小歯車１５１は１８０度回転することになり、この結果、小歯車１５１に固定されている反転供給ヘッド２５は下向きから上向きに反転する。なお、図２０において、１７４は、後記するように、反転供給ヘッド２５に設けられ作動軸１７５の上下動を案内する上下案内用ガイド部材である。
【００８７】
上記反転供給ヘッド２５の反転前の原点位置及び反転位置は、それぞれストッパーにて位置規制されている。すなわち、図１８，図２０に示すように、ブラケット２６に連結されて固定される補助ブラケット１８９には、下側ストッパ１８８と上側ストッパ１８７とを備え、上記反転供給ヘッド２５が図１８のように吸着位置ａにおいて反転前の原点位置（反転戻し位置）に位置するとき、上記反転供給ヘッド２５の下部の図１８の左側の面に下側ストッパ１８８が当接して上記反転供給ヘッド２５の位置規制が行われる一方、上記反転供給ヘッド２５が供給側部品受渡し位置ｃにおいて反転後の原点位置（反転位置）に位置するとき、上記反転供給ヘッド２５の下部の図１８の右側の面８７に上側ストッパ１８７が当接して上記反転供給ヘッド２５の位置規制が行われる。
【００８８】
このような構成によれば、上記駆動装置１００の駆動により、入力軸１０１及び第１出力軸１０５を介して、部品供給用ホルダ２４の円板２４ｂがＢ軸回りに反時計方向に回転すると、部品供給用ホルダ２４の本体２４ａのカム溝３０内をカムフォロア２９が移動することになり、円板２４ｂに固定されたブラケット２６により支持された支持軸６６はブラケット２６に対しては水平方向沿いには移動できないため、カムフォロア２９の移動に伴いレバー３１が支持軸６６の軸芯（横軸Ｄ）を中心に揺動すなわち時計方向及び反時計方向に回転することになる。
【００８９】
具体的には、図７を参照しながら説明する。図７に示すように、カム溝３０を展開した状態と、反転供給ヘッド２５が上記Ｂ軸回りに９０度回転移動するごとに位置する吸着位置ａ、反転位置ｂ、供給側部品受渡し位置ｃ、反転戻し位置ｈ、吸着位置ａのそれぞれの位置でのレバー３１とカムフォロア２９と反転供給ヘッド２５との位置関係を示す説明図である。なお、以下の例では、カムフォロア２９のカム溝３０内での移動により、レバー３１は、上記Ｂ軸と直交する面言い換えれば横軸Ｄを含む基準面Ｓに対して上下４５度の範囲内（図１９におけるレバー３１のＩの位置からＩＩの位置までの範囲内）でのみレバー３１が揺動回転可能となっており、レバー３１の揺動回転の中心は上記したように支持軸６６の軸芯（横軸Ｄ）である。このようにレバー３１が基準面Ｓに対して上下４５度の範囲内で回転すると、大歯車１５０と小歯車１５１は歯数が２：１となっているため、レバー３１よって大歯車１５０の９０度回転に伴い、小歯車１５１よって反転供給ヘッド２５が１８０度回転して反転動作及び反転戻り動作を以下のように行うことができる。
【００９０】
まず、吸着位置ａでは、上記基準面Ｓに対して４５度下向きに傾斜した位置にレバー３１が位置している。この状態では、反転供給ヘッド２５の供給側吸着ノズル２７は下向きに位置している。
【００９１】
次に、反転位置ｂでは、吸着位置ａからレバー３１が時計方向に回転して、基準面Ｓに沿った位置に位置している。このようにレバー３１が回転する結果、レバー３１に連結された支持軸６６、大歯車１５０、小歯車１５１、回転軸１６２を介して、反転供給ヘッド２５が反転しようとして反時計方向に９０度回転して、供給側吸着ノズル２７は横向き（図７では右向き）に位置して、反転動作途中となっている。
【００９２】
次に、供給側部品受渡し位置ｃでは、反転位置ｂからレバー３１が時計方向にさらに回転して、基準面Ｓに対して４５度上方に傾斜した位置に位置している。このようにレバー３１がさらに回転する結果、レバー３１に連結された支持軸６６、大歯車１５０、小歯車１５１、回転軸１６２を介して、反転供給ヘッド２５が反転しようとして反時計方向に９０度回転して、供給側吸着ノズル２７は上向きに位置して、反転供給ヘッド２５が供給側部品受渡し位置ｃに位置したときには、反転動作が完了しているようにする。この結果、供給側部品受渡し位置ｃでは供給側吸着ノズル２７が上向きに位置しているため、供給側吸着ノズル２７に吸着保持された部品１９を搭載側吸着ノズル４０で吸着保持することが可能となる。
【００９３】
次に、反転戻し位置ｈでは、供給側部品受渡し位置ｃからレバー３１が上記時計方向とは逆の反時計方向に回転して、基準面Ｓに沿った位置に位置している。このようにレバー３１が回転する結果、レバー３１に連結された支持軸６６、大歯車１５０、小歯車１５１、回転軸１６２を介して、反転供給ヘッド２５が反転状態から元の状態に戻ろうとして時計方向に９０度回転して、供給側吸着ノズル２７は横向き（図７では右向き）に位置している。
【００９４】
次に、吸着位置ａでは、反転戻し位置ｈからレバー３１が反時計方向にさらに回転して、基準面Ｓに対して４５度下方に傾斜した位置に位置している。このようにレバー３１がさらに回転する結果、レバー３１に連結された支持軸６６、大歯車１５０、小歯車１５１、回転軸１６２を介して、反転供給ヘッド２５が反転しようとして反時計方向に９０度回転して、供給側吸着ノズル２７は下向きに位置して、反転供給ヘッド２５が吸着位置ａに位置したときには、反転動作が元に完全に戻されているようにする。この結果、吸着位置ａでは供給側吸着ノズル２７が下向きに位置しているため、供給側吸着ノズル２７により部品１９を吸着保持することが可能となる。
【００９５】
このように上記反転供給ヘッド２５の反転戻り動作において、反転供給ヘッド２５が回転して供給側吸着ノズル２７が下向きとなり、上記反転供給ヘッド２５が下側ストッパ１８８に当接して位置規制されたのち、さらにレバー３１が回転するときレバー３１の下側のボールプランジャー６３がブラケット１７０の下側の対向面１７０ａに当接して下側のボールプランジャー６３のボール６３ｂをへこませる。このようにして、ボール６３ｂのへこみ量により、オーバーハング量を逃がすことができる。一方、上記反転供給ヘッド２５の反転動作において、反転供給ヘッド２５が回転して供給側吸着ノズル２７が上向きとなり、上記反転供給ヘッド２５が上側ストッパ１８７に当接して位置規制されたのち、さらにレバー３１が回転するときレバー３１の上側のボールプランジャー６３がブラケット１７０の上側の対向面１７０ａに当接して上側のボールプランジャー６３のボール６３ｂをへこませる。このようにして、ボール６３ｂのへこみ量により、オーバーハング量を逃がすことができる。
【００９６】
また、図２１には、上記吸着位置ａでの供給側吸着ノズル２７の下降を案内するための案内機構を図示している。図２１において、１２７は外部押圧装置の駆動軸、１８１は外部押圧装置による押圧時の逃げ用のバネ、１８０は自重キャンセル用のバネである。１７５は供給側吸着ノズル２７を下端に取り付けた作動軸、１７２は上端に外部押圧装置の駆動軸１２７からの押圧を受ける押圧部２８を有する駆動軸、１７１は駆動軸１７２と作動軸１７５とを連結するための連結部材、１７３は反転供給ヘッド２５に設けられ駆動軸１７２の上下案内用ガイド部材、１７４は反転供給ヘッド２５に設けられ作動軸１７５の上下案内用ガイド部材である。１７６は供給側吸着ノズル２７の吸着動作を行わせるための真空吸引配管である。上記押圧時の逃げ用のバネ１８１は、外部押圧装置の駆動軸１２７により押圧部２８を押圧したとき、ノズル側が下方に移動できないときに収縮して、押圧力を吸収し、ノズル側に過負荷が作用しないようにするためのものである。上記自重キャンセル用のバネ１８０は、ノズル側の総重量、すなわち、供給側吸着ノズル２７、作動軸１７５、連結部材１７１などの総重量をキャンセルできる程度の付勢力でもって、反転供給ヘッド２５に対して、連結部材１７１を直接的には持ち上げるように付勢するものである。この自重キャンセル用のバネ１８０により、供給側吸着ノズル２７は自重を考慮することなく円滑に所定量だけ上下動することができる。
【００９７】
よって、このような構成によれば、外部押圧装置の駆動軸１２７により駆動軸１７２の上端が下向きに押圧されると、上下案内用ガイド部材１７３により案内されつつ駆動軸１７２が下降すると同時に、該駆動軸１７２と連結部材１７１により連結された作動軸１７５が上下案内用ガイド部材１７４により案内されつつ下降し、供給側吸着ノズル２７が下降して、部品吸着動作が可能となる。
【００９８】
一方、図２２に示すように、部品搭載用ホルダ３２の円柱又は円筒状の部品搭載用ホルダ本体３２ａの下部において突出した鍔部の下面にはカム面３７を形成している。部品搭載用ホルダ３２の円板３２ｂに固定される各搭載ヘッド３３の本体部３３ｄは、断面Ｌ字状の屈曲した板体のスライダー３４に上下動可能に支持されている。具体的には、図２３，図２４に示すように、各搭載ヘッド３３の本体部３３ｄがスライダー３４の中央の開口部３４ａ内に上下動自在に貫通するように挿入配置され、本体部３３ｄの両側がスライダー３４の摺動部３４ｂ，３４ｂに上下方向に摺動自在に支持されている。本体部３３ｄの内向きに突出した内側突出部３３ｐの上部には、転動自在に支持されたローラーより構成されて上記カム面３７に当接するカムフォロア３５が配置されるとともに、その下部には、スライダー３４との間にスプリング３６を配置して、スプリング３６の付勢力により、突出部３３ｐを介してカムフォロア３５がカム面３７に常時当接し続けることにより、部品搭載用ホルダ３２の円板３２ｂに固定されたスライダー３４に対して、各搭載ヘッド３３がカム面３７に沿って上下動するようにしている。各搭載ヘッド３３の本体部３３ｄの外向きに突出した外側突出部３３ｔには、下向きに搭載側吸着ノズル４０が配置されている。
【００９９】
各搭載ヘッド３３は、搭載側部品受渡し位置ｄにおいては、先に図１１及び図１４に基づいて説明したカム機構又はＡＣサーボ機構により、駆動軸１２７又は駆動軸２２６により、各搭載ヘッド３３の本体部３３ｄの上端突出部３３ａが押圧されることにより、各搭載ヘッド３３とともに搭載側吸着ノズル４０が下降して、部品受け渡し可能な高さまで下降することができる。
【０１００】
一方、各搭載ヘッド３３は、搭載位置ｆにおいては、図２３，図２４に示すようなリニアモータ３８の駆動軸３９により押圧される。すなわち、図２３，図２４において、４０１はリニアモータ３８の電源をオフしたときに駆動軸３９が落下するのを防止するために植え向きに常時付勢する落下防止用バネであり、４０３は落下防止用バネ４０１により付勢される駆動軸３９がその上端位置で位置規制されるストッパーであり、４０４は駆動軸３９の上端に固定した突片４０７が上端位置に位置したことを検出するフォトマイクロセンサーである。駆動軸３９が上端位置まで上昇して駆動軸３９の上端に固定した突片４０７が上端位置に位置したことをフォトマイクロセンサー４０４で検出すると、駆動軸３９が上端位置に位置したこと、すなわち、上昇駆動軸３９の下端が搭載ヘッド３３の上端突出部３３ａから寸法ｔだけ離れた状態になったことを意味し、このフォトマイクロセンサー４０４の検出信号に基づき制御部１０００搭載ヘッド３３が回転可能になったことを検出している。また、４０６はリニアスケール、４０５はリニアスケール４０６を検出して駆動軸３９の移動量を検出するセンサーである。このセンサー４０５からの信号に基づき、制御部１０００により、リニアモータ３８の駆動が制御される。リニアモータ３８の例としては、駆動軸３９による搭載荷重制御が行いやすいボイスコイルモータなどが使用できる。
【０１０１】
このような構成によれば、上記駆動装置１００の駆動により、入力軸１０１及び第２出力軸１１０を介して、搭載用ホルダ３２の円板３２ｂがＥ軸回りに反時計方向に回転すると、搭載用ホルダ３２の本体３２ａのカム面３７をカムフォロア３５が移動することにより、円板３２ｂに固定された搭載ヘッド３３が、搭載側部品受渡し位置ｄ、認識位置ｅ、搭載位置ｆ、不良品廃棄位置ｇを順に移動することになる。
【０１０２】
具体的には、図８，図９を参照しながら説明する。図８に示すように、カム面３７を展開した状態と、搭載ヘッド３３が上記Ｅ軸回りに９０度回転移動するごとに位置する搭載側部品受渡し位置ｄ、認識位置ｅ、搭載位置ｆ、不良品廃棄位置ｇ、搭載側部品受渡し位置ｄのそれぞれの位置でのカム面３７とカムフォロア３５と搭載ヘッド３３との位置関係を示す説明図である。図示したように、搭載位置ｆの前後の領域では搭載ヘッド３３を予め基板１５側に下降させて最下端位置に位置させておき、搭載時の下降距離が小さくなるようにして搭載タクトの短縮を図るようにしている。一方、その他の領域、すなわち、搭載側部品受渡し位置ｄから認識位置ｅの領域、及び、不良品廃棄位置ｇから搭載側部品受渡し位置ｄの領域では、図９に示すように認識カメラ４２の先端認識光学系４２ａの厚み分Ｌａだけ上昇させた最上端位置に位置するようにしている。この結果、カム面３７にカムフォロア３５が当接して移動することにより、カムフォロア３５に連結された搭載ヘッド３３は、不良品廃棄位置ｇから搭載側部品受渡し位置ｄを経て認識位置ｅまでの領域では上記最上端位置に位置し、認識位置ｅから搭載位置ｆに向かうときに搭載ヘッド３３は徐々に下降を開始し、搭載位置ｆの前後の一定範囲において搭載ヘッド３３は上記最下端位置に位置し、その後、不良品廃棄位置ｇに向かうときに搭載ヘッド３３は徐々に上昇を開始して、不良品廃棄位置ｇにおいて搭載ヘッド３３は上記最上端位置に位置するようにしている。
【０１０３】
以上のように構成された上記電子部品搭載装置について、以下にその動作について説明する。
【０１０４】
始めに、リフター２０が、収納マガジン１６内の引出すべき治具プレート１７の引出しのため、当該治具プレート１７が所定の治具プレート引出し高さに位置するよう昇降動作を行う。
【０１０５】
次に、引出し部２１により収納マガジン１６にセットされている上記治具プレート１７を一枚クランプしたのち引き出して部品供給テーブル２２上に搭載する。
【０１０６】
次に、図３を用いて動作を説明する。図３は各ヘッド２５，３３の配置を示す概略の平面配置図である。部品供給用ホルダ２４と部品搭載用ホルダ３２は同期をとりながら、それぞれ、上記Ｂ軸及びＥ軸回りに図中の矢印Ｆの方向（反時計回り）に９０度の割付角で間欠的に回転すなわちインデックス回転して間欠割出回転を行う（図１２のステップＳ２００）。
【０１０７】
図４は部品供給用ホルダ２４と部品搭載用ホルダ３２とが同期して回転するときのインデックス回転途中（割出中）の状態を表す図であるが、本図の状態においては、吸着位置ａには反転供給ヘッド２５が位置していないため、電子部品１９の吸着位置ａの上方に配置された認識カメラ２３により、反転供給ヘッド２５により邪魔されることなく、部品供給テーブル２２上の治具プレート１７上の電子部品１９、この実施形態ではウェハでのＩＣチップ、の位置確認を行うことができる（図１２のステップＳ２０１）。また、このインデックス回転途中において、搭載位置ｆには搭載ヘッド３３が位置していないため、電子部品１９の搭載位置ｆの上方に配置された認識カメラ４３により、搭載ヘッド３３により邪魔されることなく、部品搭載テーブル４１上の回路基板１５上に記された搭載位置確認用の特徴点の位置確認、すなわち、基板認識動作を行う（図１２のステップＳ２０２）。
【０１０８】
次に、上記位置確認結果に基づき、反転供給ヘッド２５により電子部品１９が搭載ヘッド３３によりピックアップ可能となるよう部品供給テーブル２２が移動する。
【０１０９】
そして、反転供給ヘッド２５は上記インデックス回転が完了した後の停留中に、図３の吸着位置ａに位置する反転供給ヘッド２５の供給側吸着ノズル２７が、図１１のカム機構で例示された外部押圧装置の駆動軸１２７により下降して電子部品１９を吸着する、電子部品１９のピックアップ動作を行う（図１２のステップＳ２１０）。
【０１１０】
ピックアップ終了後、部品供給用ホルダ２４と部品搭載用ホルダ３２とが同期して９０度の割付角でインデックス回転することにより、上記吸着位置ａに位置していた反転供給ヘッド２５が次の停留位置である反転位置ｂに位置することになるが、上記カム溝３０とカムフォロア２９とより構成される上記カム機構により、反転供給ヘッド２７は上記吸着位置ａのときと比較して、図２中のＣ軸を中心に９０度回転した状態となっている。
【０１１１】
さらに、部品供給用ホルダ２４と部品搭載用ホルダ３２とが同期して９０度の割付角でインデックス回転することにより、反転供給ヘッド２７は次の停留位置である供給側部品受渡し位置ｃに位置することになるが、上記カム機によりさらに９０度回転させられて反転供給ヘッド２７はその供給側吸着ノズル２７が上向きの状態になっている。この状態では、供給側吸着ノズル２７により吸着保持された部品１９の電気的接続部が形成されていない面が上に向いた状態となっている。そして、外部駆動装置の駆動軸１２７の駆動により、搭載側部品受渡し位置ｄに位置する搭載ヘッド３３が下降して、反転供給ヘッド２７の供給側吸着ノズル２７に吸着保持された電子部品１９の上向きに向いた面を搭載側吸着ノズル４０にて吸着して受け渡しを行う（図１２のステップＳ２１１）。このとき、供給側吸着ノズル２７では制御部１０００の制御の下で吸引動作からブロー動作に切換えて、吸着保持していた部品１９が供給側吸着ノズル２７先端から確実に搭載側吸着ノズル４０にて吸着できるようにする。
【０１１２】
上記受け渡し動作後、反転供給ヘッド２５の供給側吸着ノズル２７が供給側部品受渡し位置ｃに位置した後に９０度の割付角でインデックス回転により反転戻し位置ｈの位置まで移動したとき、カム溝３０とカムフォロア２９とより構成される上記カム機構により反転供給ヘッド２５は供給側部品受渡し位置ｃの位置のときと比較して図２中のＣ軸を中心に前回とは逆方向に９０度回転している。そして、さらに９０度の割付角でインデックス回転することにより、反転戻し位置ｈから吸着位置ａの位置まで移動したとき、上記カム機構によりさらに９０度回転して反転供給ヘッド２５の供給側吸着ノズル２７は下向きになる。
【０１１３】
上記受け渡し動作後、上記搭載側部品受渡し位置ｄに位置する搭載ヘッド３３は次の停留位置までインデックス回転したとき、認識位置ｅに位置しているが、そのとき認識カメラ４２により、搭載ヘッド３３にて吸着保持された電子部品１９の位置認識を行う（図１２のステップＳ２１３）。この位置認識動作のとき、もし、電子部品１９が不良であると認識された場合には、次の搭載位置ｆにおいて搭載動作を行わずに不良品廃棄位置ｇまで電子部品１９を搭載側吸着ノズル４０で吸着保持し続け、不良品廃棄位置ｇにおいて吸引動作からブロー動作に切りかえることにより、搭載側吸着ノズル４０先端から上記不良品と認識された電子部品１９を落下させて、図示しない不良品廃棄ボックス内などに収納する。
【０１１４】
位置認識動作後、さらに９０度の割付角でインデックス回転する途中（割出中）の図４に示す状態において、搭載位置ｆには搭載ヘッド３３が位置していないため、電子部品１９の搭載位置ｆの上方に配置された認識カメラ４３により、搭載ヘッド３３により邪魔されることなく、部品搭載テーブル４１上の回路基板１５上に記された搭載位置確認用の特徴点の位置確認を行う。
【０１１５】
次に、上記特徴点の位置確認結果に基づき、制御部１０００搭載ヘッド３３により電子部品１９が所定の位置精度で搭載可能になるよう部品搭載テーブル４１が移動する。そして、搭載ヘッド３３はインデックス回転が完了した後（停留中）に、図３の搭載位置ｆに位置する搭載ヘッド３３が外部に配されたリニアモータ３８の駆動軸３９の押し込み動作により下降し、電子部品１９の搭載を行う（図１２のステップＳ２１２）。ここで、搭載ヘッド３３は予め認識位置ｅの位置から搭載位置ｆの位置まで移動する間にカム３７により認識カメラ４２の厚みＧ分下降している。
【０１１６】
そして、搭載側吸着ノズル４０にて電子部品１９を回路基板１５に押さえつけている間、リニアモータ３８の駆動電流を制御部１０００で制御することにより、搭載荷重を所定の荷重に保つ。このとき、搭載側吸着ノズル４０では制御部１０００の制御の下で吸引動作からブロー動作に切換えて、吸着保持していた部品１９が搭載側吸着ノズル４０先端から確実に基板１５側に搭載できるようにする。
【０１１７】
搭載ヘッド３３は搭載位置ｆに位置した後、不良品廃棄位置ｇ、搭載側部品受渡し位置ｄへとインデックス回転により移動する。そして、搭載ヘッド３３は搭載位置ｆから不良品廃棄位置ｇまで移動する間にカム３７により認識カメラ４２の厚みＬａ分上昇する。
【０１１８】
上記した一連の概略の動作フローを図１２に示す。図１２において矢印の順序で動作が繰り返し行われる。すなわち、図１２に示すように、部品供給用ホルダ２４と部品搭載用ホルダ３２のインデックス回転動作（図１２のステップＳ２００）と、ウェハ認識動作（図１２のステップＳ２０１）と、基板認識動作（図１２のステップＳ２０２）とは同時的に並行して実施できる。また、電子部品１９の部品供給テーブル２２からの取出しすなわちピックアップ動作（図１２のステップＳ２００）と、受渡し動作（図１２のステップＳ２１１）と、搭載動作（図１２のステップＳ２１２）と、部品認識動作（図１２のステップＳ２１３）とは同時的に並行して実施できる。さらには、上記ピックアップ動作、受渡し動作、搭載動作と同時的に、反転戻し動作、不良品廃棄動作も並行して実施可能である。
【０１１９】
図２７には、上記した入力軸１０１の回転位相と各駆動部材又は各駆動装置との関係を示すタイムチャートを示す。この例では、入力軸１０１の回転位相が０度から１８０度の手前まではインデックス回転中であり、その後３６０度までが停留中である。その後、３６０度から５４０度（ただし、図示は４５０度までとし、以降は省略している。）の手前まではインデックス回転中である。ここでは、入力軸１０１の１回転により回転位相が０度から３６０度まで進み、これにより、各ホルダの各ヘッド及び各ノズルが停留中の位置から９０度回転した次の位置まで回転して停留することを意味している。入力軸１０１がさらに１回転することにより回転位相が３６０度から５４０度まで進み、これにより、各ホルダの各ヘッド及び各ノズルが前回停留中の位置から９０度回転したさらに次の位置まで回転して停留することを意味している。この各停留中に、上記各位置ａ，ｂ，ｃ，ｈ，ｄ，ｅ，ｆ，ｇでは所定の動作が適宜行われる。すなわち、図２７において、「吸着上下（供給側）」は、上記供給側吸着ノズル２７の上下動が行われるタイミングを示しており、上記停留中でのみ、上端位置から下端位置までの下降、下端位置での停止（この間で部品１９の吸着が行われる。）、下端位置から上端位置までの上昇の各動作が行われ、インデックス回転中では上端位置で停止状態となっている。また、「受渡上下（搭載側）」は、上記搭載側受渡し位置ｄにおける上記搭載側吸着ノズル４０の上下動が行われるタイミングを示しており、上記停留中でのみ、上端位置から下端位置までの下降、下端位置での停止（この間で部品１９の受け渡しが行われる。）、下端位置から上端位置までの上昇の各動作が行われ、インデックス回転中では上端位置で停止状態となっている。また、「搭載上下」は、上記搭載位置ｆにおける上記搭載側吸着ノズル４０の上下動が行われるタイミングを示しており、上記停留中でのみ、上端位置から下端位置までの下降、下端位置での停止（この間で部品１９の基板１５への搭載が行われる。）、下端位置から上端位置までの上昇の各動作が行われ、インデックス回転中では上端位置で停止状態となっている。また、「吸着バルブ（供給側）」は、上記供給側吸着ノズル２７の吸着動作が行われるタイミングを示しており、上記停留後、所定時間後から吸着動作が開始され、次のインデックス回転中も吸着動作が維持され続けることが示されている。また、「受渡しブローバルブ（供給側）」は、供給側受渡し位置ｃに位置した上記供給側吸着ノズル２７のブロー動作が行われるタイミングを示しており、上記停留後、所定時間後からブロー動作が開始され、一定時間後に停止されることが示されている。また、「吸着バルブ（搭載側）」は、上記搭載側吸着ノズル４０の吸着動作が行われるタイミングを示しており、上記停留後、所定時間後から吸着動作が開始され、一定時間後に停止されることが示されている。また、「吸着ブローバルブ（供給側）」は、反転供給ヘッドから搭載ヘッドに部品を受け渡すとき、供給ヘッドの真空を破壊するため、短い時間、少量のブローを行う。
【０１２０】
また、「認識（ウェハ）」は、次に吸着すべき部品１９の位置認識を行うタイミングを示しており、インデックス回転中に、上記吸着位置ａから上記供給側吸着ノズル２７が離れて、上記供給側吸着ノズル２７に邪魔されることなく、認識カメラ光軸の真下に上記ウェハの部品１９が露出したとき、その部品１９の画像を認識カメラ２３に取り込むタイミングを示している。また、「認識（部品）」は、搭載側受渡し位置ｄで上記搭載側吸着ノズル４０に吸着された部品１９が部品認識位置ｅに停留したとき、部品１９の位置（姿勢）認識を行うタイミングを示しており、インデックス回転中ではなく停留中でのみ、吸着された部品１９の位置（姿勢）の画像を認識カメラ４３に取り込むタイミングを示している。また、「認識（基板）」は、次に搭載吸着すべき基板１５の搭載位置認識を行うタイミングを示しており、インデックス回転中に、上記搭載位置ｆから上記搭載側吸着ノズル４０が離れて、上記搭載側吸着ノズル４０に邪魔されることなく、認識カメラ光軸の真下に上記基板１５の搭載位置が露出したとき、その搭載位置の画像を認識カメラ４３に取り込むタイミングを示している。
【０１２１】
また、図２８は図２７とは異なるタイムチャートの図であり、図２７と異なるのは、上記０度から１８０度手前までのインデックス回転中に一瞬停止してそれぞれの画像の取り込みを行うこともできることを示すものである。
【０１２２】
なお、図１３は上記第１実施形態の上記電子部品搭載装置の制御部と各駆動装置との関係を示すブロック図である。メインコントローラである制御部１０００には、マンマシンインターフェース７０１を介して、部品データや基板データなどを含む搭載動作用ＮＣプログラムや認識画像データなど搭載に必要な各種データが予め記憶されかつ適宜書き込まれて各種データを記憶しているデータベース７００が接続されており、これらのデータは各種制御に利用される。また、駆動装置１００、ＡＣサーボモータ２２０、部品供給テーブル用駆動装置６００、６０２、リニアモータ３８などのモータをそれぞれ制御するドライバ７０３はサーボコントローラ７０２により動作制御され、該サーボコントローラ７０２は制御部１０００に接続されて動作制御される。また、認識カメラ２３，４２，４３の動作を制御する認識コントローラ７０４も制御部１０００に接続されて動作制御される。この他、吸着バルブやブロー用バルブなどの各種バルブを駆動制御するバルブ駆動部１３８、吸着ノズルの吸引動作を行わせるための吸引源３５０、ゴミ吸引用の吸引ポンプ３００なども制御部１０００に接続されて動作制御される。なお、リニアモータ３８は、データーベース７００に記憶された搭載動作用ＮＣプログラムに記載されている部品毎の搭載荷重に基づき荷重制御される。
【０１２３】
以上のように本実施形態によれば、上記部品取出位置（上記実施形態では一例としての吸着位置）ａと供給側部品受渡し位置ｃとの間で閉鎖軌道の一例としての円軌道を描くようにそれぞれ間欠割出回転移動し、かつ、上記部品取出位置に位置したとき上記部品供給テーブル２２から上記部品１９を取り出して保持し、上記部品取出位置から上記供給側部品受渡し位置ｃに移動する間に上記保持された部品１９を反転させ、上記供給側部品受渡し位置ｃに位置したとき上記保持され反転された部品１９の部品受渡し動作を行う供給側部品保持部材の一例としての供給側吸着ノズル２７と、上記供給側吸着ノズル２７の上記間欠割出回転移動と同期する間欠割出回転移動により、上記供給側部品受渡し位置ｃと重なり合うか又は近接するように配置された搭載側部品受渡し位置ｄと部品搭載位置ｆとの間で上記供給側吸着ノズル２７の円軌道とは異なる円軌道を描くように移動し、かつ、上記搭載側部品受渡し位置ｄに位置したとき上記供給側部品受渡し位置ｃに位置する上記供給側吸着ノズル２７に保持された上記部品１９が受け渡されてこれを保持し、上記部品搭載位置ｆに位置したとき上記保持された部品１９を上記被搭載物の一例としての基板１５に搭載する搭載側吸着ノズル４０とを備えるとともに、供給側吸着ノズル２７又は搭載側吸着ノズル４０を複数備え、上記供給側吸着ノズル２７と搭載側吸着ノズル４０とにより上記部品１９の受渡し動作を行うとき、当該動作にかかわらない吸着ノズルが上記供給側吸着ノズル２７であるときには、当該上記供給側吸着ノズル２７により上記部品取出位置ａで上記部品供給部から別の部品を取り出し保持可能である一方、上記動作にかかわらない吸着ノズルが上記搭載側吸着ノズル４０であるときには、当該搭載側吸着ノズル４０により上記部品搭載位置ｆで上記搭載側吸着ノズル４０に保持された部品１９を上記基板１５に搭載可能としている。この結果、部品１９の受渡し動作と同時的に並行して部品取出し動作又は部品搭載動作を行うことができ、タクトを上げることができ、生産効率を向上させることができる。
【０１２４】
また、インデックス回転を行う部品供給用ホルダ２４と、上記部品供給用ホルダ２４の周縁に上下反転動作可能に取り付けられかつ上記供給側吸着ノズル２７を有する反転供給ヘッド２５と、インデックス回転を行う部品搭載用ホルダ３２と、上記部品搭載用ホルダ３２の周縁に昇降動作可能に取り付けられかつ上記搭載側吸着ノズル４０を有する搭載ヘッド３３を備え、各ヘッド２５，３３が各停留位置にて並行して同時的に動作可能な構成にすれば、反転供給ヘッド２５と搭載ヘッド３３間での部品受渡し動作を行うと同時的に並行して、電子部品１９のピックアップ、又は、回路基板１５への部品搭載を実施することができ、搭載タクトを上げることができ、生産効率を向上させることができる。
【０１２５】
また、上記供給側吸着ノズル２７を複数備えるとともに上記搭載側吸着ノズル４０を複数備えるようにすれば、部品１９の受渡し動作と、部品取出し動作と、部品搭載動作との３つの動作を同時的に並行して行うことができ、タクトをさらに上げることができ、生産効率をさらに向上させることができる。例えば、従来電子部品１個あたり搭載タクトが２〜３秒であったのが、電子部品１個あたり搭載タクトを１秒以下とすることができる。
【０１２６】
また、反転供給ヘッド２５の数と搭載ヘッド３３の数が等しく、電子部品１９の受け渡しが行われる反転供給ヘッド２５と搭載ヘッド３３との組み合わせが機構的に定められていることにより、電子部品１９を安定して受け渡すための反転供給ヘッド２５と搭載ヘッド３３の中心位置調整作業は１対１で行えばよいこととなり、調整作業は容易になる。
【０１２７】
また、部品供給用ホルダ２４及び部品搭載用ホルダ３２は同一の駆動源例えば駆動装置１００により機構的に同期をとりながらインデックス回転を行うので、両者のインデックス回転動作が時間的にずれる可能性は無く、受け渡し動作の信頼性は高くなる。
【０１２８】
また、部品供給用ホルダ２４と部品搭載用ホルダ３２は部品搭載装置操作者が位置する装置正面からみて左右方向に配置され、部品供給用ホルダと部品搭載用ホルダとの回転方向を同一方向にすることにより、部品供給用ホルダと部品搭載用ホルダの両方のホルダで操作者側においてのみ部品が移動することになり、電子部品１９は部品供給テーブル２２より取り出された後、部品供給用ホルダ２４と部品搭載用ホルダ３２の装置正面側を通過し回路基板１５に搭載されるので、部品搭載装置操作者は装置正面から一連の部品１９の流れを目視確認可能となり、各種調整動作及びメインテナンス動作が容易となる。
【０１２９】
また、電子部品搭載時に部品１９を回路基板１５に押さえつける荷重はリニアモータ３８により作用させるようにすれば、リニアモータ３８の電流制御を行うことにより押さえつける荷重を容易に可変にすることができ、電子部品１９の特性に応じて適切な荷重で搭載することにより電子部品１９の品質を保証することが可能となる。
【０１３０】
また、反転供給ヘッド２５の上下反転動作は部品供給用ホルダ２４のインデックス回転に連動して上記カム溝３０と上記カムフォロア２９とより構成される上記カム機構により行われるので、動作の信頼性が高いものとすることができる。
【０１３１】
また、電子部品ピックアップ時の電子部品１９と供給側吸着ノズル２７間の供給側吸着ノズル中心軸回りの角度補正は電子部品供給テーブル側の水平回転により行われるので、反転供給ヘッド２５には水平回転のための機構が不要となり、反転供給ヘッド２５の小型・軽量化が図れ、インデックス回転の高速化が可能となる。
【０１３２】
また、部品供給テーブル２２の水平回転の中心軸は常にピックアップする供給側吸着ノズル２７の中心軸と同軸上にあるので、部品供給テーブル２２の水平回転の精度が電子部品ピックアップ時の水平方向の補正精度に影響を与えることはなく、高い精度で部品１９のピックアップが可能となる。
【０１３３】
また、電子部品搭載時の電子部品１９と搭載側吸着ノズル４０間の搭載側吸着ノズル中心軸回りの角度補正は電子部品搭載テーブル側の水平回転により行われるので、搭載ヘッド３３には水平回転のための機構が不要となり、搭載ヘッド３３の小型・軽量化が図れ、インデックス回転の高速化が可能となる。例えば、上記入力軸１０１を１秒間に３６０度回転するようにすれば、電子部品１個あたりの搭載タクトを例えば１秒とすることができる。
【０１３４】
また、部品搭載テーブル４１の水平回転の中心軸は常に搭載する搭載側吸着ノズル４０の中心軸と同軸上にあるので、部品搭載テーブル４１の水平回転の精度が電子部品搭載時の水平方向の補正精度に影響を与えることはなく、高い精度で部品１９の搭載が可能となる。従来の図６の装置と比較して、吸着ノズル昇降用の駆動部材を上記搭載ヘッド３３従って部品搭載用ホルダ３２に備える必要が無く、搭載位置ｆの上方に例えばリニアモータ３８のように部品搭載用ホルダ３２の外部に独立して備えることができるため、部品搭載用ホルダ全体としての重量が軽くなり、高速間欠回転が可能となる。
【０１３５】
なお、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、その他種々の態様で実施できる。
【０１３６】
例えば、本発明の他の実施形態として超音波ホーンを搭載ヘッドに備えるようにしてもよい。
【０１３７】
すなわち、図２４〜図２６には、電子部品１９を基板１５に搭載するときに超音波接合する場合に搭載側吸着ノズル４０に超音波を付与することができる実施形態を示す。図２４において、４３３は超音波を発振させる発振子、４３１は発振子４３３の超音波ホーン、４３５はボルト４３０，４３０により搭載ヘッド３３の外側突出部３３ｔの下面に固定されるブラケット、４３４は発振子４３３の把持部をボルト４３２により割締めするブラケット４３５の割締め部分である。よって、搭載側吸着ノズル４０に吸着保持された電子部品１９を基板１５に搭載するとき、発振子４３３の超音波ホーン４３１より超音波を搭載側吸着ノズル４０に付与して超音波接合できるようにしている。
【０１３８】
また、上記超音波ホーンを備えた搭載ヘッドと、超音波ホーンを備えていない搭載ヘッドとを部品搭載用ホルダに混載するようにしてもよい。
【０１３９】
さらに、本発明の別の実施形態として、上記部品供給用ホルダ２４において吸着位置ａから供給側部品受渡し位置ｃまでの間に反転供給ヘッド２５を反転させるとき、供給側部品受渡し位置ｃの直前で反転を完了させるものに限定されることなく、供給側部品受渡し位置ｃのある程度前の段階で反転動作を完了しておき、反転動作に伴い反転供給ヘッド２５に生じる微小残留振動が十分に減衰した状態で反転供給ヘッド２５が供給側部品受渡し位置ｃに位置するようにして、受け渡し動作が精度良くかつ高い信頼性でもって行えるようにしてもよい。例えば、図２９Ａ，図２９Ｂに示すように、カム溝３０を展開した状態と、反転供給ヘッド２５が上記Ｂ軸回りに４５度回転移動するごとに位置する吸着位置ａ（図２９Ａ，図２９Ｂの位置１参照）、吸着反転中間位置２、反転位置ｂ（図２９Ａ，図２９Ｂの位置３参照）、反転受け渡し中間位置４、供給側部品受渡し位置ｃ（図２９Ａ，図２９Ｂの位置５参照）、受け渡し反転戻し中間位置６、反転戻し位置ｈ（図２９Ａ，図２９Ｂの位置７参照）、反転戻し中間位置８、吸着位置ａ（図２９Ａ，図２９Ｂの位置１参照）のそれぞれの位置でのレバー３１とカムフォロア２９と反転供給ヘッド２５との位置関係を示す説明図である。この他の実施形態においては、カムフォロア２９のカム溝３０内での移動により、レバー３１は、上記Ｂ軸と直交する面言い換えれば横軸Ｄを含む基準面Ｓに対して上下最大４５度の範囲内でのみレバー３１が揺動回転可能となっており、レバー３１の揺動回転の中心は上記したように支持軸６６の軸芯（横軸Ｄ）である。この他の実施形態では、反転受け渡し中間位置４において反転供給ヘッド２５の反転が完了しており、カム溝３０を反転受け渡し中間位置４と供給側部品受渡し位置ｃ（図２９Ａ，図２９Ｂの位置５参照）との間で水平に形成することにより、反転供給ヘッド２５の反転状態が、反転受け渡し中間位置４と供給側部品受渡し位置ｃ（図２９Ａ，図２９Ｂの位置５参照）との間で持続されるようになっている。また、反転戻し中間位置８においても反転供給ヘッド２５の反転が完了しており、カム溝３０を反転戻し中間位置８と吸着位置ａ（図２９Ａ，図２９Ｂの位置１参照）との間で水平に形成することにより、反転供給ヘッド２５の反転状態が、反転戻し中間位置８と吸着位置ａ（図２９Ａ，図２９Ｂの位置１参照）との間で持続されるようになっている。よって、これらそれぞれの持続期間中に、反転動作又は反転戻し動作に伴い反転供給ヘッド２５に生じる微小残留振動を十分に減衰させることができ、反転供給ヘッド２５が供給側部品受渡し位置ｃ又は吸着位置ａに位置したときには、上記微小残留振動の影響を受けることなく、精度良くかつ高い信頼性でもって、受け渡し動作又は吸着動作を行うことができるようにしている。
【０１４０】
また、本発明の別の実施形態として、図３０Ａ，図３０Ｂに示すように、ツインロータリーヘッドである部品供給用ホルダ２４と部品搭載用ホルダ３２とがそれぞれ回転動作を行うことにより生じるゴミがウェハ又は基板１５上に落下するのを防止するため、部品供給用ホルダ２４と部品搭載用ホルダ３２とを箱状のカバー３０２で覆い、カバー３０２内の空間に連結されたダクト３０１から吸引ポンプ３００により吸引するようにしてもよい。このような構成によれば、カバー３０２の部品供給用ホルダ用開口３０３から部品供給用ホルダ２４の回転動作により発生するゴミを吸引するとともに、カバー３０２の部品搭載用ホルダ用開口３０４から部品搭載用ホルダ３２の回転動作により発生するゴミを吸引するようにしてもよい。
【０１４１】
また、部品供給用ホルダと部品搭載用ホルダとの間欠割出し回転は、カムとカムフォロアとにより機構的に同期させるようにしたので、間欠動作の精度を高めることができる。しかしながら、これに限るものではなく、例えば、部品供給用ホルダと部品搭載用ホルダとのそれぞれに駆動装置例えばＡＣサーボモータを備えて、両方のＡＣサーボモータを同期させて回転させることにより、上記所望の間欠割出し回転を行わせるようにしてもよい。
【０１４２】
また、例えば、部品供給用ホルダ２４と部品搭載用ホルダ３２とを回転駆動する入力軸１０１と、部品供給用ホルダ２４を回転駆動する第１出力軸１０５との間に歯車を介在させるか、又は、入力軸１０１と、部品搭載用ホルダ３２を回転駆動する第２出力軸１１０との間に歯車を介在させることにより、部品供給用ホルダ２４と部品搭載用ホルダ３２との回転方向を互いに異なる方向にすれば、入力軸１０１に作用する力を互いに相殺することができ、入力軸１０１に対する負荷を低減させることができる。
【０１４３】
また、反転供給ヘッド２５の吸着位置ａにおいて、認識カメラ２３の光軸と供給側吸着ノズル中心軸とを一致させることにより、部品供給用ホルダ２４の回転により供給側吸着ノズル２７が回転移動している間に、供給側吸着ノズル中心軸と一致する上記認識カメラ２３の光軸により、ウェハの認識動作すなわち次に吸着すべき部品１９であるＩＣチップの認識動作を行うことができ、精度の向上及びタクト向上を図ることができる。
【０１４４】
また、上記吸着位置ａにおいて、認識カメラ２３用の光軸と供給側吸着ノズル２７の中心軸とを一致させずに、又は、搭載位置ｆにおいて、認識カメラ４３用の光軸と搭載側吸着ノズル４０の中心軸とを一致させずに、ノズル中心軸とノズル昇降用押圧装置の押圧用駆動軸又は作動軸の中心軸とを一致させるようにして、ノズル昇降用押圧装置の押圧用駆動軸又は作動軸により直接的にノズルを昇降させるようにして、ノズル押圧機構を簡素なものとしてもよい。
【０１４５】
部品供給用ホルダに部品を供給する部品供給部としては、テープ状支持体により部品を供給するようにしてもよい。
【０１４６】
また、部品搭載用ホルダで部品を搭載する被搭載物としては、一枚ごとに独立したものに限らず、テープ状支持体により支持された被搭載物、例えばフィルム状に連続して連結された基板、に対して部品搭載するようにしてもよい。
【０１４７】
また、部品供給用ホルダを複数備えて、複数の部品供給部から部品を供給するようにしてもよい。
【０１４８】
また、反転供給ヘッドと搭載ヘッドの数を異ならせるようにしてもよい。例えば、８個の反転供給ヘッドと、４個の搭載ヘッドとより構成するようにしてもよい。
【０１４９】
また、部品搭載用ホルダにおいて、部品搭載位置を複数箇所備えるようにして、複数の基板に同時的に部品搭載できるようにしてもよい。
【０１５０】
また、搭載側部品受渡し位置ｄは上記供給側部品受渡し位置ｃと重なり合うように配置されているが、これに限られるものではなく、搭載側部品受渡し位置ｄと上記供給側部品受渡し位置ｃとを近接配置して、上記供給側部品受渡し位置ｃに位置する供給側吸着ノズル２７に吸着保持された部品１９が搭載側部品受渡し位置ｄに位置する搭載側吸着ノズル４０に吸着保持されることにより上記部品１９が確実に受渡されるようにしてもよい。
【０１５１】
本発明によれば、部品取出位置と供給側部品受渡し位置との間で閉鎖軌道を描くようにそれぞれ間欠回転移動し、かつ、上記部品取出位置に位置したとき部品供給部から部品を取り出して保持し、(上記第２参考態様では上記部品取出位置から上記供給側部品受渡し位置に移動する間に上記保持された部品を反転させ、)上記供給側部品受渡し位置に位置したとき上記保持され反転された部品の部品受渡し動作を行う供給側部品保持部材と、上記供給側部品保持部材の上記間欠回転移動と同期する間欠回転移動により、上記供給側部品受渡し位置と重なり合うか又は近接するように配置された搭載側部品受渡し位置と部品搭載位置との間で上記供給側部品保持部材の閉鎖軌道とは異なる閉鎖軌道を描くように移動し、かつ、上記搭載側部品受渡し位置に位置したとき上記供給側部品受渡し位置に位置する上記供給側部品保持部材に保持された上記部品が受け渡されてこれを保持し、上記部品搭載位置に位置したとき上記保持された部品を上記被搭載物に搭載する搭載側部品保持部材とを備えるとともに、供給側部品保持部材又は搭載側部品保持部材を複数備え、上記供給側部品保持部材と搭載側部品保持部材とにより上記部品の受渡し動作を行うとき、当該動作にかかわらない部品保持部材が上記供給側部品保持部材であるときには、当該上記供給側部品保持部材により上記部品取出位置で上記部品供給部から別の部品を取り出し保持可能である一方、上記動作にかかわらない部品保持部材が上記搭載側部品保持部材であるときには、当該搭載側部品保持部材により上記部品搭載位置で上記搭載側部品保持部材に保持された部品を上記基板に搭載可能としている。この結果、部品の受渡し動作と同時的に並行して部品取出し動作又は部品搭載動作を行うことができ、タクトを上げることができ、生産効率を向上させることができる。
【０１５２】
本発明によれば、インデックス回転を行う部品供給用ホルダと、上記部品供給用ホルダの周縁に上下反転動作可能に取り付けられかつ上記供給側部品保持部材を有する反転供給ヘッドと、インデックス回転を行う部品搭載用ホルダと、上記部品搭載用ホルダの周縁に昇降動作可能に取り付けられかつ上記搭載側部品保持部材を有する搭載ヘッドを備え、各ヘッドが各停留位置にて並行して同時的に動作可能な構成にすれば、反転供給ヘッドと搭載ヘッド間での部品受渡し動作を行うと同時的に並行して、部品の取出し、又は、回路基板への部品搭載を実施することができ、搭載タクトを上げることができ、生産効率を向上させることができる。
【０１５３】
また、上記供給側部品保持部材を複数備えるとともに上記搭載側部品保持部材を複数備えるようにすれば、部品の受渡し動作と、部品取出し動作と、部品搭載動作との３つの動作を同時的に並行して行うことができ、タクトをさらに上げることができ、生産効率をさらに向上させることができる。例えば、従来部品１個あたり搭載タクトが２〜３秒であったのが、部品１個あたり搭載タクトを１秒以下とすることができる。
【０１５４】
また、反転供給ヘッドの数と搭載ヘッドの数が等しく、部品の受け渡しが行われる反転供給ヘッドと搭載ヘッドとの組み合わせが機構的に定められるようにすれば、部品を安定して受け渡すための反転供給ヘッドと搭載ヘッドの中心位置調整作業は１対１で行えばよいこととなり、調整作業は容易になる。
【０１５５】
また、部品供給用ホルダ及び部品搭載用ホルダは同一の駆動源により機構的に同期をとりながらインデックス回転を行うようにすれば、両者のインデックス回転動作が時間的にずれる可能性は無く、受け渡し動作の信頼性は高くなる。
【０１５６】
また、部品供給用ホルダと部品搭載用ホルダは部品搭載装置操作者が位置する装置正面からみて左右方向に配置され、部品供給用ホルダと部品搭載用ホルダとの回転方向を同一方向にするようにすれば、部品供給用ホルダと部品搭載用ホルダの両方のホルダで操作者側においてのみ部品が移動することになり、部品は部品供給部より取り出された後、部品供給用ホルダと部品搭載用ホルダの装置正面側を通過し被搭載物に搭載されるようにすれば、部品搭載装置操作者は装置正面から一連の部品の流れを目視確認可能となり、各種調整動作及びメインテナンス動作が容易となる。
【０１５７】
また、部品搭載時に部品を被搭載物に押さえつける荷重はリニアモータにより作用させるようにすれば、リニアモータの電流制御を行うことにより押さえつける荷重を容易に可変にすることができ、部品の特性に応じて適切な荷重で搭載することにより部品の品質を保証することが可能となる。
【０１５８】
また、反転供給ヘッドの上下反転動作は部品供給用ホルダのインデックス回転に連動して上記カム溝と上記カムフォロアとより構成される上記カム機構により行われるようにすれば、動作の信頼性が高いものとすることができる。
【０１５９】
また、部品取出し時の部品と供給側部品保持部材間の供給側部品保持部材中心軸回りの角度補正は部品供給部側の水平回転により行われるようにすれば、反転供給ヘッドには水平回転のための機構が不要となり、反転供給ヘッドの小型・軽量化が図れ、インデックス回転の高速化が可能となる。
【０１６０】
また、部品供給部の水平回転の中心軸は常にピックアップする供給側部品保持部材の中心軸と同軸上にあるので、部品供給部の水平回転の精度が部品取出し時の水平方向の補正精度に影響を与えることはなく、高い精度で部品の取出しが可能となる。
【０１６１】
また、部品搭載時の部品と搭載側部品保持部材間の搭載側部品保持部材中心軸回りの角度補正は部品搭載テーブル側の水平回転により行われるようにすれば、搭載ヘッドには水平回転のための機構が不要となり、搭載ヘッドの小型・軽量化が図れ、インデックス回転の高速化が可能となる。
【０１６２】
また、部品搭載テーブルの水平回転の中心軸は常に搭載する搭載側部品保持部材の中心軸と同軸上にあるようにすれば、部品搭載テーブルの水平回転の精度が部品搭載時の水平方向の補正精度に影響を与えることはなく、高い精度で部品の搭載が可能となる。
【０１６３】
また、搭載位置の上方に例えばリニアモータのように部品搭載用ホルダの外部に独立して備えるようにすれば、従来の図６の装置と比較して、部品保持部材昇降用の駆動部材を上記搭載ヘッド従って部品搭載用ホルダに備える必要が無く、部品搭載用ホルダ全体としての重量が軽くなり、高速間欠回転が可能となる。
【０１６４】
本発明は、添付図面を参照しながら好ましい実施形態に関連して充分に記載されているが、この技術の熟練した人々にとっては種々の変形や修正は明白である。そのような変形や修正は、添付した請求の範囲による本発明の範囲から外れない限りにおいて、その中に含まれると理解されるべきである。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明の一実施形態における電子部品搭載装置の全体構成を示す斜視図である。
【図２】 上記実施形態における上記電子部品搭載装置の両ホルダの斜視図である。
【図３】 上記実施形態における上記電子部品搭載装置の各ヘッドが各停留位置に位置した状態での配置を示す概略の平面配置図である。
【図４】 上記実施形態における上記電子部品搭載装置の各ヘッドが各停留位置間で回転途中の状態の配置を示す概略の平面配置図である。
【図５】 上記第１実施形態の電子部品搭載装置の部品供給用ホルダと部品搭載用ホルダとを間欠割出し回転させる駆動機構の一部断面平面図である。
【図６】 図５の上記駆動機構の一部断面側面図である。
【図７】 上記電子部品搭載装置において、上記部品供給用ホルダのカム溝を展開した状態と、吸着位置、反転位置、供給側部品受渡し位置、反転戻し位置、吸着位置のそれぞれの位置でのレバーとカムフォロアと反転供給ヘッドと供給側吸着ノズルの位置関係を示す説明図である。
【図８】 上記電子部品搭載装置において、上記部品搭載用ホルダのカム面を展開した状態と、搭載側部品受渡し位置、部品認識位置、搭載位置、不良品廃棄位置、搭載側部品受渡し位置のそれぞれの位置での搭載ヘッドと搭載側吸着ノズルとの位置関係を示す説明図である。
【図９】 上記第１実施形態の上記電子部品搭載装置の上記搭載ヘッドの上記搭載側吸着ノズルと認識カメラの位置関係を示す説明図である。
【図１０】 上記第１実施形態の上記電子部品搭載装置において、図５の上記駆動機構の概略説明図である。
【図１１】 上記第１実施形態の上記電子部品搭載装置において、部品吸着時の上下動作と部品受渡し時の上下動作に変換するカム機構の例を示す説明図である。
【図１２】 上記実施形態の電子部品搭載装置における一連の概略の動作フローを示す図である。
【図１３】 上記第１実施形態の上記電子部品搭載装置の制御部と各駆動装置との関係を示すブロック図である。
【図１４】 図１１の変形例であって、上記第１実施形態の上記電子部品搭載装置において、部品吸着時の上下動作と部品受渡し時の上下動作の機構を示す説明図である。
【図１５】 上記第１実施形態の上記電子部品搭載装置の部品供給用ホルダの反転機構の一部の斜視図である。
【図１６】 上記第１実施形態の上記電子部品搭載装置の上記反転機構の一部の平面図である。
【図１７】 上記第１実施形態の上記電子部品搭載装置の上記反転機構のボールプランジャーの一部断面図である。
【図１８】 上記第１実施形態の上記電子部品搭載装置の上記反転機構の一部の斜視図である。
【図１９】 上記第１実施形態の上記電子部品搭載装置の上記反転機構の歯車部分の説明図である。
【図２０】 上記第１実施形態の上記電子部品搭載装置の上記反転機構の断面図である。
【図２１】 上記第１実施形態の上記電子部品搭載装置の供給側吸着ノズルの下降を案内するための案内機構を示す説明図である。
【図２２】 上記第１実施形態の上記電子部品搭載装置の搭載側吸着ノズルの上下動を案内するための案内機構を示す説明図である。
【図２３】 上記第１実施形態の上記電子部品搭載装置の上記搭載側吸着ノズルの上下動を駆動するための駆動機構を示す説明図である。
【図２４】 本発明の他の実施形態の電子部品搭載装置において超音波を搭載側吸着ノズルに付与して超音波接合する場合の超音波付与装置を説明する説明図である。
【図２５】 図２４の上記電子部品搭載装置の超音波の作用について説明する説明図である。
【図２６】 図２４の上記電子部品搭載装置の超音波ホーンの搭載側吸着ノズルへの取り付け状態の説明図である。
【図２７】 上記第１実施形態の上記電子部品搭載装置の入力軸の位相と各駆動部材又は各駆動装置との関係を示すタイムチャートの図である。
【図２８】 図２７とは異なるタイムチャートの図である。
【図２９】 （Ａ），（Ｂ）は、それぞれ、本発明の他の実施形態の電子部品搭載装置において、反転供給ヘッドがＢ軸回りに４５度回転移動するごとに位置する吸着位置、吸着反転中間位置、反転位置、反転受け渡し中間位置、受け渡し位置、受け渡し反転戻し中間位置、反転戻し位置、反転戻し吸着位置、吸着位置のそれぞれの位置を示す説明図、及び、カム溝を展開した状態と、反転供給ヘッドがＢ軸回りに４５度回転移動するごとに位置する吸着位置、吸着反転中間位置、反転位置、反転受け渡し中間位置、受け渡し位置、受け渡し反転戻し中間位置、反転戻し位置、反転戻し吸着位置、吸着位置のそれぞれの位置でのレバーとカムフォロアと反転供給ヘッドとの位置関係を示す説明図である。
【図３０】 （Ａ），（Ｂ）は、それぞれ、本発明のさらに他の実施形態の電子部品搭載装置の全体構成を示す斜視図である。
【図３１】 上記第１実施形態の電子部品搭載装置の第１出力軸と部品供給用ホルダとの関係を示す説明図である。
【図３２】 上記第１実施形態の電子部品搭載装置の第２出力軸と部品搭載用ホルダとの関係を示す説明図である。
【図３３】 従来の電子部品搭載装置の全体構成を示す斜視図である。
【図３４】 同従来例における一連の概略の動作フローを示す図である。
【図３５】 上記第１実施形態の上記電子部品搭載装置の部品供給側での上記ウェハ水平回転案内装置付きウェハ水平回転駆動装置の斜視図である。
【図３６】 上記第１実施形態の上記電子部品搭載装置の部品供給側での上記ウェハ水平移動案内装置付きウェハ水平移動駆動装置の一部切欠斜視図である。
【図３７】 上記第１実施形態の上記電子部品搭載装置の部品供給側での上記ウェハ水平回転駆動装置及び上記ウェハ水平移動駆動装置の一部断面側面図である。
【図３８】 上記第１実施形態の上記電子部品搭載装置の部品搭載側での上記基板水平回転案内装置付き基板水平回転駆動装置の斜視図である。
【図３９】 上記第１実施形態の上記電子部品搭載装置の部品搭載側での上記基板水平移動案内装置付き基板水平移動駆動装置の一部切欠斜視図である。
【図４０】 上記第１実施形態の上記電子部品搭載装置の部品搭載側での上記基板水平回転駆動装置及び上記基板水平移動駆動装置の一部断面側面図である。
本発明のこれらと他の目的と特徴は、添付された図面についての好ましい実施形態に関連した上記の記述から明らかになる。

Claims (12)

1. 部品（１９）を部品供給部（２２）から供給側部品保持部材（２７）にて順次取り出し、上記供給側部品保持部材（２７）で取り出して保持した部品（１９）を搭載側部品保持部材（４０）で順次保持し、上記搭載側部品保持部材（４０）で保持した部品（１９）を被搭載物（１５）の所定の位置に搭載する部品搭載装置において、
   上記部品搭載装置は、
   間欠回転を行う部品供給用ホルダ（２４）と、
   上記部品供給用ホルダ（２４）の上記間欠回転する面上に等間隔に配置した複数の反転供給ヘッド（２５）と、
   上記複数の反転供給ヘッド（２５）の夫々に配置し、上記部品供給部からそれぞれ取り出した部品をそれぞれ保持して上下反転する複数の供給側部品保持部材（２７）と、
   上記部品供給用ホルダ（２４）の上記間欠回転と同期して間欠回転を行う部品搭載用ホルダ（３２）と、
   上記部品搭載用ホルダ（３２）の上記間欠回転する面上に等間隔で配置した複数の搭載ヘッド（３３）と、
   上記複数の搭載ヘッド（３３）の夫々に配置し、上記供給側部品保持部材（２７）で保持されかつ上下反転された上記部品を保持する搭載側部品保持部材（４０）と、で構成し、さらに、
   上記各反転供給ヘッド（２５）は、上記供給側部品保持部材（２７）が連結される上下反転軸(１６２)と、上記上下反転軸に連結したカムフォロア（２９）と、を備え、
   上記部品搭載装置は、上記部品供給用ホルダ（２４）の上記間欠回転に連動して上記カムフォロア（２９）が移動するカム溝又はカム面（３０）を備え、上記カムフォロアと上記カム溝又はカム面とでカム機構を構成し、
   上記部品供給用ホルダ（２４）の上記間欠回転に連動して上記カムフォロア（２９）が上記カム溝又はカム面（３０）を移動して上記上下反転軸(１６２)を回転させて上記複数の供給側部品保持部材（２７）を順次上下反転させ、上記複数の供給側部品保持部材（２７）にて取り出した部品を順次上下反転する構成としたことを特徴とする部品搭載装置。
2. 上記カム機構は、上記部品供給用ホルダにおいて上記部品を取出した後でかつ上記搭載側部品保持部材に上記部品を保持させるまでの間に上記反転供給ヘッドの上記供給側部品保持部材を反転させるとき、上記搭載側部品保持部材に上記部品を保持させる位置のある程度前の段階で反転動作を完了するように、上記カムフォロアが上記カム溝又はカム面（３０）を移動するように構成した請求項１に記載の部品搭載装置。
3. 上記部品供給用ホルダ（２４）は、円柱又は円筒状の部品供給用ホルダ本体（２４ａ）と、該本体に配置され本体の周囲を回転して上記間欠回転する面を形成する円板（２４ｂ）とを有し、
   上記部品供給用ホルダ本体（２４ａ）の外周面に連続して上記カム溝又はカム面（３０）が形成されるとともに、
   上記円板（２４ｂ）に上記複数の反転供給ヘッド（２５）が等間隔に配置されて、上記部品供給用ホルダ（２４）の上記円板（２４ｂ）の上記間欠回転に連動して上記複数の反転供給ヘッド（２５）の上記カムフォロア（２９）がそれぞれ上記カム溝又はカム面（３０）を移動する請求項１又は２に記載の部品搭載装置。
4. 上記各反転供給ヘッド（２５）は、上記上下反転軸(１６２)と上記カムフォロア（２９）に加えて、さらに、
   一端に上記カムフォロア（２９）が回転自在に配置され他端に支持軸（６６）の一端が相対回転可能に取り付けられて、上記カム溝又はカム面（３０）での上記カムフォロア（２９）の移動に伴い上記カムフォロア（２９）との連結軸から偏心した支持軸中心軸回りに回転するレバー（３１）と、
   上記レバー（３１）の上記支持軸中心軸を挟む両側にそれぞれ配置されてバネ（６３ａ）の付勢力によりボール（６３ｂ）の一部が筒部（６３ｃ）外に突出している複数のボールプランジャー（６３）と、
   上記支持軸に固定されかつ上記ボールプランジャーの上記ボールに接触可能な対向面をそれぞれ回転軸を挟む両側に有して、上記レバー（３１）の上記回転時に上記複数のボールプランジャーのうちのいずれか１つのボールプランジャーと上記対向面とが当接して上記レバー（３１）と一体的に上記支持軸中心軸回りに回転する支持軸回転用ブラケット（１７０）と、
   上記円板（２４ｂ）に固定され、かつ、上記支持軸の他端が回転自在に支持されるとともに、上記支持軸の回転により回転する上記上下反転軸(１６２)が回転自在に支持される反転供給ヘッド支持用ブラケット（２６）と、
   上記反転供給ヘッド支持用ブラケットに固定され上記反転供給ヘッドが反転動作時又は反転戻り動作時に当接して位置規制される上側ストッパ（１８７）と下側ストッパ（１８８）とを備える、請求項３に記載の部品搭載装置。
5. 上記部品供給用ホルダ及び上記部品搭載用ホルダは同一の駆動源により機構的に同期をとりながら間欠的に回転を行う請求項１〜４のいずれかに記載の部品搭載装置。
6. 上記部品搭載用ホルダの外部に配されたリニアモータ（３８）の駆動により上記搭載ヘッドの上記搭載側部品保持部材が下降し、上記リニアモータにより上記被搭載物への搭載荷重が制御される請求項１〜４のいずれかに記載の部品搭載装置。
7. 部品供給用ホルダ（２４）の間欠回転により、上記部品供給用ホルダ（２４）の上記間欠回転する面上に等間隔に配置した複数の反転供給ヘッド（２５）の夫々に配置された複数の供給側部品保持部材（２７）にて、部品供給部（２２）から部品（１９）を順次取り出し、
   上記部品供給用ホルダ（２４）の上記間欠回転に連動して、上記供給側部品保持部材（２７）に連結された上下反転軸(１６２)に連結したカムフォロア（２９）が、上記カムフォロア（２９）とでカム機構を構成するカム溝又はカム面（３０）を移動して上記上下反転軸を回転させて上記複数の供給側部品保持部材（２７）をそれぞれ上下反転して、上記複数の供給側部品保持部材（２７）にて順次取り出した部品を順次上下反転し、
   上記部品供給用ホルダ（２４）の上記間欠回転と同期した部品搭載用ホルダ（３２）の間欠回転により、上記複数の供給側部品保持部材（２７）にて順次上下反転した部品を、上記部品搭載用ホルダ（３２）の上記間欠回転する面上に等間隔で配置した複数の搭載ヘッド（３３）の夫々に配置された搭載側部品保持部材（４０）にて順次保持し、
   上記搭載側部品保持部材（４０）で順次保持した部品（１９）を被搭載物（１５）の所定の位置に順次搭載するようにしたことを特徴とする部品搭載方法。
8. 上記部品供給用ホルダにおいて上記部品を取出した後でかつ上記搭載側部品保持部材に上記部品を保持させるまでの間に上記反転供給ヘッドの上記供給側部品保持部材を反転させるとき、上記搭載側部品保持部材に上記部品を保持させる位置のある程度前の段階で反転動作を完了するようにした請求項７に記載の部品搭載方法。
9. 上記複数の供給側部品保持部材にて、上記部品供給部から上記部品を順次取り出すとき、上記部品供給用ホルダ（２４）は、円柱又は円筒状の部品供給用ホルダ本体（２４ａ）の周囲を、上記間欠回転する面を形成する円板（２４ｂ）が間欠回転し、上記部品供給用ホルダ（２４）の上記円板（２４ｂ）の上記間欠回転に連動して、上記円板（２４ｂ）に等間隔に配置された上記複数の反転供給ヘッド（２５）が、それぞれの上記カムフォロア（２９）が、上記部品供給用ホルダ本体（２４ａ）の外周面に連続して形成された上記カム溝又はカム面（３０）を移動して、上記複数の反転供給ヘッドの夫々に配置された上記複数の供給側部品保持部材にて、上記部品供給部から上記部品を順次取り出す請求項７又は８に記載の部品搭載方法。
10. 上記部品供給用ホルダの上記本体の上記間欠回転に連動して、上記本体の上記カム溝又はカム面（３０）を上記カムフォロア（２９）が移動し、上記カムフォロアの移動により、上記カムフォロアが回転自在に備えられた一端を有するレバー（３１）がその他端の支持軸（６６）の中心軸回りに相対的に回転し、上記レバーの上記回転により、上記レバーが、上記レバー（３１）の回転軸を挟む両側にそれぞれ配置されてバネ（６３ａ）の付勢力によりボール（６３ｂ）の一部が筒部（６３ｃ）外に突出している複数のボールプランジャー（６３）のいずれか１つを介して、上記支持軸に固定されかつ上記ボールプランジャーの上記ボールに接触可能な対向面をそれぞれ上記回転軸を挟む両側に有する支持軸回転用ブラケット（１７０）の上記対向面を押圧して、上記レバーと共に上記支持軸回転用ブラケットを介して上記支持軸を支持軸中心軸回りに時計方向又は反時計方向に回転させ、上記部品供給用ホルダの上記円板（２４ｂ）に固定された反転供給ヘッド支持用ブラケット（２６）に回転自在に支持された上記支持軸の回転に基づき、上記上下反転軸(１６２)が回転し、上記反転供給ヘッドが反転動作又は反転戻り動作のために回転して、上記複数の供給側部品保持部材をそれぞれ上下反転して、上記複数の供給側部品保持部材にて順次取り出した部品を順次上下反転するとともに、上記反転供給ヘッド支持用ブラケットに固定された上側ストッパ（１８７）と下側ストッパ（１８８）に上記反転供給ヘッドが反転動作時又は反転戻り動作時に当接して位置規制される、請求項９に記載の部品搭載方法。
11. 上記部品供給用ホルダ及び上記部品搭載用ホルダは同一の駆動源により機構的に同期をとりながら間欠的に回転を行う請求項７〜１０のいずれかに記載の部品搭載方法。
12. 上記部品搭載用ホルダの外部に配されたリニアモータ（３８）の駆動により上記搭載ヘッドの上記搭載側部品保持部材が下降し、上記リニアモータにより上記被搭載物への搭載荷重が制御される請求項７〜１０のいずれかに記載の部品搭載方法。

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