JP4030152B2

JP4030152B2 - Mirror holder

Info

Publication number: JP4030152B2
Application number: JP14347397A
Authority: JP
Inventors: 寛塚田; 弘峰尾; 次夫瀬尾; 利之名越
Original assignee: Jasco Corp
Current assignee: Jasco Corp
Priority date: 1997-05-16
Filing date: 1997-05-16
Publication date: 2008-01-09
Anticipated expiration: 2017-05-16
Also published as: JPH10319288A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はミラーホルダ、特にその光軸調整機構の改良に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、反射光軸を調整するタイプのミラーホルダとして、たとえば図１に記載されたものが知られている。
同図に示すミラーホルダ１０では、張出部１０ａと頚部１０ｂに歪みを与えてミラー１２の反射光軸ｘを調整していた。
すなわち、２本のネジ１４，１６の締め込み具合をそれぞれ調整してミラーホルダ１０の張出部１０ａを延ばし、頚部１０ｂを曲げてミラー１２の図中Ａ方向のあおり角を調整していた。
【０００３】
また、ミラーホルダ１０の底面部には、光学系の所定位置に固定するためのホルダ固定ネジ（図示省略）がはめ込まれる孔部１０ｃ，１０ｄが、やや大径で設けられている。
これら孔部１０ｃ，１０ｄはホルダ固定ネジ（図示省略）の外径に比較し大径であるため、ホルダ固定ネジ（図示省略）に対する孔部１０ｃ，１０ｄの位置をずらしてミラーホルダ１０の横方向（図中Ｂ方向）の角度を調整していた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、前記従来の構成のミラーホルダ１０では、張出部１０ａ，頚部１０ｂに歪みを与えて反射光軸ｘを調整していた。
このため、ミラーホルダ１０の張出部１０ａ，頚部１０ｂには元の状態に復元させようとする力が働き、調整後の状態を持続することができない場合があった。特にネジ１４，１６を深く締め込み、ミラーホルダ１０に大きな歪みを与えた場合、応力により張出部１０ａ、頚部１０ｂにクリープが発生するため、経時安定性の観点から満足のゆくものではなかった。
【０００５】
この場合、たとえば装置の組立後、たとえば反射光軸を再アライメントする必要があり、面倒であった。
また、ネジ１４，１６を締め込むときの不具合によりミラーホルダ１０が図中Ａ方向とは異なる方向に歪み、光軸調整が非常に困難になってしまう場合もあった。
【０００６】
前述のように前記従来の構成のミラーホルダ１０では、経時安定性、操作性などの不具合を有するため、反射光軸の調整を良好に行うことができなかったものの、これを解決することのできる適切な技術が存在しなかった。
本発明は前記従来技術の課題に鑑みなされたものであり、その目的は反射光軸の調整を良好に行うことができるミラーホルダを提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
前記目的を達成するために本発明にかかるミラーホルダは、本体と、あおり可動体と、リング状の回動軸と、一時固定手段とを備え、前記あおり可動体を前記本体に対し別体化して回動させることによりミラーの反射光軸を回動軸線と直交する方向で調整し、
また、前記一時固定手段は、スプリングワッシャを介して前記あおり可動体の回動軸線上に設けられ、前記ミラーの反射光軸を該回動軸線と直交する方向で調整する際、該スプリングワッシャによる該あおり可動体を該本体方向へ付勢する力が作用する範囲内で、該本体に対する該あおり可動体の一時固定を解除することを特徴とする。
【０００８】
前記本体は、光学系の所定位置に一時固定されるものである。
前記あおり可動体は、本体に別体化して回動自在に設けられ、該回動軸線と直交する方向に反射光軸が向くようにミラーを保持するためのミラー保持部を含むものである。
【０００９】
前記一時固定手段は、前記あおり可動体の回動軸線上に設けられ、該あおり可動体を本体方向へ付勢ないしその状態を解除することにより、本体に対しあおり可動体を一時固定可能なものである。
前記リング状の回動軸は、前記回動軸線に中心軸線を一致させた状態で前記本体及び前記あおり可動体にわたって配置され、該回動軸線と一致する中心軸線を中心に該本体に対し該あおり可動体を回動自在に支持する外周部、及び該回動軸線と一致する中心軸線上において前記一時固定手段を挿通する内周部が設けられたものとする。
なお、前記ミラーホルダにおいて、前記あおり可動体の回動方向側の面には調整ピン差込穴が設けられ、該調整ピン差込穴に調整ピンをはめ込み、前記あおり可動体のあおり角を調節することにより、ミラーの反射光軸を調整することが好適である。ここにいう調整ピンとは、たとえば棒状のものなどをいう。
【００１０】
また、前記本体は光学ベースの所定位置に一時固定するためのホルダ固定ピンがはめ込まれる孔部を備え、該孔部は前記ホルダ固定ピンの外径に比較し大径であり、ホルダ固定ピンに対する孔部の位置を調整して本体のほぼ回動軸方向の角度を調整することにより、ミラーの反射光軸をほぼ回動軸方向で調整することが好適である。ここにいうホルダ固定ピンとは、たとえばネジ状のものなどをいう。
【００１１】
【発明の実施形態】
以下、図面に基づき本発明の好適な実施形態を説明する。
図２には本発明の一実施形態にかかるミラーホルダの正面図（一部断面図）が示されいる。図３には同様のミラーホルダの側面図（一部断面図）が示されている。図４には同様のミラーホルダの下方より見た図（一部断面図）が示されている。なお、前記図１と対応する部分には符号１００を加えて示し説明を省略する。
同図に示すミラーホルダ１１０は、本体１１８と、あおり可動体１２０と、あおり固定ネジ１２２（一時固定手段）を備える。
【００１２】
本体１１８は、光学系の所定位置に一時固定されたものである。図２に示すようにこの本体１１８には回動軸穴１１８ａが設けられ、この回動軸穴１１８ａにリング状のスリーブ１２４（回動軸）が設けられている。
あおり可動体１２０は、本体１１８に別体化して回動自在に設けられている。
【００１３】
すなわち、このあおり可動体１２０には回動軸穴が１２０ａ設けられ、この回動軸穴１２０ａにもスリーブ１２４（回動軸）が設けられている。これによりあおり可動体１２０は本体１１８に対し別体化して、スリーブ１２４（回動軸）と直交する方向（図３中Ａ方向）の回動が可能である。
【００１４】
また、このあおり可動体１２０は、スリーブ１２４（回動軸）と直交する方向（図３中Ａ方向）に反射光軸ｘが向くようにミラー１１２を保持するためのミラー保持部１２０ｂを備える。
そして、ミラー１１２（たとえばレーザミラー）の裏面１１２ａがミラー保持部１２０ｂに接着剤などで固定されている。
【００１５】
あおり固定ネジ１２２は、スプリングワッシャ１２３、スリーブ１２４を介して先端部１２２ａが本体１１８に螺合されている。このあおり固定ネジ１２２はたとえば右回転すると、あおり可動体１２０を本体１１８方向へ付勢する。これにより本体１１８に対しあおり可動体１２０を一時固定が可能となる。
【００１６】
また、逆方向に回転（たとえば左回転）すると、スプリングワッシャ１２３の有する復元力も手伝ってその状態を解除することができる。これにより本体１１８に対しあおり可動体１２０をスリーブ１２４（回動軸）と直交する方向（図３中Ａ方向）の回動が可能となる。
【００１７】
また、あおり可動体１２０には調整棒差込穴１２０ｃ（調整ピン差込穴）が設けられ、図５に示すようにミラー１１２の反射光軸ｘをＡ方向で調整する場合、調整棒差込穴１２０ｃに調整棒１２６（調整ピン）をはめ込み、あおり可動体１２０の図中Ａ方向のあおり角を調整することにより、ミラー１１２（たとえばレーザミラー）の反射光軸ｘを図中Ａ方向で調整する。
【００１８】
また、図５に示すように本体１１８には、光学ベース１２５の所定位置に一時固定するためのホルダ固定ネジ１２７が、スプリングワッシャ１２９、平ワッシャ１３１を介して挿入される孔部１１８ｂと、ホルダ固定ネジ１３３が、スプリングワッシャ１２９、平ワッシャ１３１を介して挿入される孔部１１８ｃが設けられている。
【００１９】
この孔部１１８ｂはホルダ固定ネジ１２７とほぼ同一径で設けられている。また、孔部１１８ｃはホルダ固定ネジ１３３に比較し大径で設けられている。
このホルダ固定ネジ１２７は、光学ベース１２５にはめ込まれる部分にネジ山１２７ａが設けられている。しかしながら、孔部１１８ｂと接する部分１２７ｂは、孔部１１８ｂに挿入されたホルダ固定ネジ１２７を回転軸として、ホルダ固定ネジ１３３に対する孔部１１８ｃの位置を調整して本体１１８の横方向（図中Ｂ方向）の角度を調整することができるように表面が滑らかに構成されている。
【００２０】
そして、孔部１１８ｂに挿入されたホルダ固定ネジ１２７を回転軸として、ホルダ固定ネジ１３３に対する孔部１１８ｃの位置を調整することにより、ミラー１１２の反射光軸ｘを図中Ｂ方向で調整することができる。
調整後、孔部１１８ｂ，１１８ｃに挿入されたホルダ固定ネジ１２７、１３３をしっかりと締め込むことにより、本体１１８を光学ベース１２５の所定位置にしっかりと一時固定することができる。
【００２１】
このように本実施形態において特徴的なことは、ミラー保持部１１２ａを含むあおり可動体１１２を本体１１８と別体化して、スリーブ１２４（回動軸）と直交する方向（図中Ａ方向）のみ回動が可能としたことである。また、あおり固定ネジ１２２により本体１１８に対し歪みを与えることなくあおり可動体１１２を一時固定可能としたことである。
【００２２】
本発明の実施形態にかかるミラーホルダ１１０は概略以上のように構成され、以下にその作用について説明する。
図６にはこの実施形態にかかるミラーホルダ１１０の光軸調整手順を示すフローチャートが示されている。
【００２３】
まず、操作者は、光学系の所定位置に本体１１８をホルダ固定ネジ（図示省略）で粗固定する（ｓ１００）。
粗固定後、本体１１８に対するあおり可動体１２０の図中Ａ方向のあおり角を決定する（ｓ１０２）。
すなわち、あおり固定ネジ１２２をスプリングワッシャ１２３の効く範囲でゆるめる。そして、図５に示すように調整棒差込穴１２０ｃに調整棒１２６をはめ込み、調節棒１２６によりあおり可動体１２０の図中Ａ方向のあおり角を調整することによりミラー１１２の反射光軸ｘをたとえば図中Ａ方向で調整して決定する。
【００２４】
ここで、あおり可動体１２０の回動方向をスリーブ１２４（回動軸）により図中Ａ方向のみに規制することができるので、ミラー１１２の反射光軸ｘの調整も図中Ａ方向のみに限定することができる。これにより反射光軸ｘの調整を容易に行うことができる。
決定後、あおり可動体１２０の図中Ａ方向のあおり角を一時固定する（ｓ１０４）
すなわち、あおり固定ネジ１２２を締め込み、本体１１８に対しあおり可動体１２０を一時固定する（ｓ１０４）。
【００２５】
ここで、あおり固定ネジ１２２により、本体１１８に対し歪みを与えることなくあおり可動体１２０を一時固定することができるので、調整後の状態を良好に持続することができる。
一時固定後、本体１１８の横方向（図４中Ｂ方向）の角度を決定する（ｓ１０６）。
【００２６】
すなわち、ホルダ固定ネジ１２７、１３３を平ワッシャ１３１の効く範囲でゆるめ、孔部１１８ｂに挿入されたホルダ固定ネジ１２７を回転軸として、ホルダ固定ネジ１３３に対する孔部１１８ｃの位置を調整することにより、本体１１８の横方向（図４中Ｂ方向）の角度を調整する。これによりミラー１１２の反射光軸を図４中Ｂ方向で調整して決定する。
決定後、本体１１８の横方向（図４中Ｂ方向）の角度を一時固定する。
【００２７】
すなわち、ホルダ固定ネジ１２７、１３３を締め込むことにより、本体１１８の横方向（図４中Ｂ方向）の角度が一時固定される。これによりミラー１１２の反射光軸を２方向（たとえば図５中Ａ方向、図４中Ｂ方向）で調整する全ての操作を終了する。
【００２８】
以上のように本発明の実施形態にかかるミラーホルダ１１０によれば、ミラー保持部１１２ａを含むあおり可動体１１２を本体１１８と別体化して、スリーブ１２４（回動軸）と直交する方向のみ回動を可能とした。また、あおり固定ネジ１２２により本体１１８に対し歪みを与えることなくあおり可動体１１２を一時固定可能としたので、下記に示す種々の効果を奏することができる。
【００２９】
すなわち、あおり可動体１２０の回動方向をスリーブ１２４（回動軸）により図中Ａ方向のみに規制することができるので、ミラー１１２の反射光軸ｘの調整も図中Ａ方向のみに限定することができる。これにより反射光軸ｘの調整を容易に行うことができる。
【００３０】
また、あおり固定ネジ１２２により、本体１１８に対し歪みを与えることなくあおり可動体１２０を一時固定することができるので、調整後の状態を良好に持続することができる。
なお、ミラーホルダ１１０において、あおり可動体１２０の回動方向（図中Ａ方向）側の面に調整棒差込穴１２０ｃを設けた。この調整棒差込穴１２０ｃに調整棒１２６をはめ込み、あおり可動体１２０のあおり角を調節することにより、あおり可動体１２０のあおり角を微妙に調整することができる。これによりミラー１１２の反射光軸ｘを微妙に調整することができる。
ここで、調整棒１２６の長さを長くすることにより、あおり可動体１２０のあおり角をより微妙に調整することもできる。
【００３１】
また、本体１１８は光学ベース１２５の所定位置に一時固定するためのホルダ固定ネジ１２７、１３３がはめ込まれる孔部１１８ｂ、１１８ｃを備えた。この孔部１１８ｃはホルダ固定ネジ１３３の外径に比較し大径であるため、ホルダ固定ネジ１３３に対する孔部１１８ｃの位置を調整して、本体１１８の横方向（図４中Ｂ方向）の角度を調整することにより、ミラー１１２の反射光軸を横方向で調整することができる。これによりミラーの反射光軸ｘを２方向（図５中Ａ，図４中Ｂ方向）で良好に調整することができる。
なお、本発明のミラーホルダとしては前記各構成に限定されるものではなく、発明の要旨の範囲内で種々の変形が可能である。
【００３２】
たとえば、前記各構成ではホルダ固定ネジ１２７は光学系１２５にはめ込まれる部分にネジ山１２７ａが設けられているが、孔部１１８ｂと接する部分１２７ｂは、孔部１１８ｂに挿入されたホルダ固定ネジ１２７を回転軸として、ホルダ固定ネジ１３３に対する孔部１１８ｃの位置を調整することができるように表面が滑らかに構成されている場合について説明した。
しかしながら、本発明はこれに限定されるものではなく、たとえば図７に示す回動軸２３５を用いることができる。なお、前記図５と対応する部分には符号１００を加えて示し説明を省略する。
【００３３】
すなわち、同図において光学ベース２２５には回動軸穴２２５ａが設けられ、この回動軸穴２２５ａに回動軸２３５が設けられている。また、孔部２１８ｂにも回動軸２３５が設けられている。
これにより回動軸２３５を中心として、ホルダ固定ネジ２３３に対する孔部２１８ｃの位置を調整して本体２１８の横方向（図中Ｂ方向）の角度を調整することができる。
【００３４】
また、前記各構成では孔部１１８ｃはほぼ真円状のものを用いた場合について説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、本体１１８の横方向（たとえば図４中Ｂ方向）の角度を調整することができるものであれば任意の形状のもの、たとえば図８に示すほぼ楕円状の孔部３１８ｃを用いることもできる。なお、前記図４と対応する部分には符号２００を加えて示し説明を省略する。
【００３５】
同図において孔部３１８ｃは、ホルダ固定ネジとほぼ同一径で設けられているが、ホルダ固定ネジに対する略楕円状の孔部３１８ｃの位置を調整して、本体３１８の横方向（図中Ｂ方向）の角度を調整することができるように構成されている。
【００３６】
【発明の効果】
以上説明したように本発明にかかるミラーホルダによれば、ミラー保持部を含むあおり可動体を本体と別体化して、回動軸と直交する方向のみ回動が可能とした。また、一時固定手段により本体に対し歪みを与えることなくあおり可動体を一時固定可能としたので、下記に示す種々の効果を奏することができる。
すなわち、あおり可動体の回動方向を回動軸により回動軸と直交する方向のみに規制することができるので、ミラーの反射光軸の調整も回動軸と直交する方向のみに限定することができる。これにより反射光軸の調整を容易に行うことができる。
また、一時固定手段により、本体に対し歪みを与えることなくあおり可動体を一時固定することができるので、調整後の状態を良好に持続することができる。
なお、前記ミラーホルダにおいて、前記あおり可動体の回動方向側の面に調整ピン差込穴を設けた。この調整ピン差込穴に調整ピンをはめ込み、あおり可動体のあおり角を調節することにより、あおり可動体のあおり角を微妙に調整することができる。これによりミラーの反射光軸を微妙に調整することができる。
また、本体は光学ベースの所定位置に一時固定するためのホルダ固定ピンがはめ込まれる孔部を備えた。この孔部はホルダ固定ピンの外径に比較し大径であるため、ホルダ固定ピンに対する孔部の位置を調整して本体のほぼ回動軸方向の角度を調整することにより、ミラーの反射光軸をほぼ回動軸方向で調整することができる。これによりミラーの反射光軸を、ほぼ回動軸方向とその回動軸と直交する方向の２方向で良好に調整することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】従来のミラーホルダの光軸調整機構の説明図である。
【図２】本発明の第１実施形態にかかるミラーホルダの正面図（一部断面図）である。
【図３】図２に示すミラーホルダの側面図（一部断面図）である。
【図４】図２に示すミラーホルダの下方より見た図（一部断面図）である。
【図５】図２に示すミラーホルダの光軸調整機構の説明図である。
【図６】図２に示すミラーホルダの光軸調整手順を示すフローチャートである。
【図７】本発明の第２実施形態にかかるミラーホルダの側面図（一部断面図）である。
【図８】本発明の第３実施形態にかかるミラーホルダの下方より見た図（一部断面図）である。
【符号の説明】
１１０ミラーホルダ
１１８本体
１１２レーザミラー（ミラー）
１２０あおり可動体
１２０ａミラー保持部
１２０ｃ調整棒差込穴（調整ピン差込穴）
１２２あおり固定ネジ（一時固定手段）
１２４スリーブ（回動軸）
１２５光学ベース
１２６調整棒（調整ピン）
１２７、１３３ホルダ固定ネジ（ホルダ固定ピン）[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a mirror holder, and more particularly to an improvement of an optical axis adjustment mechanism thereof.
[0002]
[Prior art]
2. Description of the Related Art Conventionally, for example, a mirror holder of the type that adjusts a reflection optical axis is known as shown in FIG.
In the mirror holder 10 shown in the figure, the reflection optical axis x of the mirror 12 is adjusted by applying distortion to the overhanging portion 10a and the neck portion 10b.
That is, the degree of tightening of the two screws 14 and 16 is adjusted to extend the protruding portion 10a of the mirror holder 10, and the neck portion 10b is bent to adjust the tilt angle of the mirror 12 in the direction A in the figure.
[0003]
Further, holes 10c and 10d into which holder fixing screws (not shown) for fixing at a predetermined position of the optical system are fitted are provided on the bottom surface of the mirror holder 10 with a slightly large diameter.
Since these holes 10c and 10d have a larger diameter than the outer diameter of the holder fixing screw (not shown), the positions of the holes 10c and 10d with respect to the holder fixing screw (not shown) are shifted in the lateral direction of the mirror holder 10. The angle (direction B in the figure) was adjusted.
[0004]
[Problems to be solved by the invention]
However, in the mirror holder 10 having the conventional configuration, the reflection optical axis x is adjusted by applying distortion to the overhanging portion 10a and the neck portion 10b.
For this reason, there is a case where the force to restore the original state acts on the overhanging portion 10a and the neck portion 10b of the mirror holder 10 and the adjusted state cannot be maintained. In particular, when the screws 14 and 16 are tightened deeply and a large strain is given to the mirror holder 10, creep is generated in the overhanging portion 10a and the neck portion 10b due to stress, which is not satisfactory from the viewpoint of stability over time. .
[0005]
In this case, for example, after assembling the apparatus, it is necessary to realign the reflected optical axis, which is troublesome.
In addition, the mirror holder 10 may be distorted in a direction different from the direction A in the drawing due to a problem when the screws 14 and 16 are tightened, and the optical axis adjustment may be very difficult.
[0006]
As described above, the mirror holder 10 having the conventional configuration has problems such as stability over time and operability, and thus the reflection optical axis cannot be adjusted well, but this can be solved. There was no appropriate technology.
The present invention has been made in view of the above-described problems of the prior art, and an object thereof is to provide a mirror holder capable of satisfactorily adjusting the reflection optical axis.
[0007]
[Means for Solving the Problems]
In order to achieve the above object, a mirror holder according to the present invention comprises a main body, a tilt movable body, a ring-shaped rotation shaft, and a temporary fixing means, and the tilt movable body is separated from the main body. the reflection optical axis of the mirror is adjusted in a direction perpendicular to the rotation axis by rotating Te,
The temporary fixing means is provided on a pivot axis of the tilting movable body via a spring washer. When the reflected optical axis of the mirror is adjusted in a direction perpendicular to the pivot axis, the temporary washer is moved by the spring washer. Temporarily fixing the tilt movable body to the main body is released within a range in which a force for urging the tilt movable body toward the main body acts .
[0008]
The main body is temporarily fixed at a predetermined position of the optical system.
The tilt movable body is rotatably provided in another conjugated to the body, it is intended to include the mirror holder for holding the mirror so as to face the reflection optical axis in a direction perpendicular to the pivot shaft line.
[0009]
The temporary fixing means, the provided on the tilt movable body axis of rotation, by releasing the urging to the state the tilting movable member toward the main body, capable of one o'clock fix the tilting movable member relative to the body Is.
The ring-shaped rotation shaft is disposed over the main body and the tilting movable body in a state where the central axis coincides with the rotation axis, and the center of the ring-shaped rotation shaft is centered on the central axis coincident with the rotation axis. It is assumed that an outer peripheral portion that rotatably supports the tilt movable body and an inner peripheral portion through which the temporary fixing means is inserted on a central axis that coincides with the rotational axis.
In the mirror holder, an adjustment pin insertion hole is provided on the surface of the tilt movable body on the rotational direction side, and the adjustment pin is fitted into the adjustment pin insertion hole to adjust the tilt angle of the tilt movable body. By doing so, it is preferable to adjust the reflection optical axis of the mirror. The adjustment pin referred to here is, for example, a rod-shaped one.
[0010]
The main body includes a hole portion into which a holder fixing pin for temporarily fixing at a predetermined position of the optical base is fitted. The hole portion has a larger diameter than the outer diameter of the holder fixing pin, It is preferable to adjust the reflected light axis of the mirror in the direction of the rotation axis by adjusting the position of the hole and adjusting the angle of the main body in the direction of the rotation axis. Here, the holder fixing pin refers to a screw-like one, for example.
[0011]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Preferred embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.
FIG. 2 shows a front view (partially sectional view) of a mirror holder according to an embodiment of the present invention. FIG. 3 shows a side view (partially sectional view) of a similar mirror holder. FIG. 4 shows a view (partial cross-sectional view) as seen from below a similar mirror holder. Note that portions corresponding to those in FIG. 1 are denoted by reference numeral 100 and description thereof is omitted.
The mirror holder 110 shown in the figure includes a main body 118, a tilt movable body 120, and a tilt fixing screw 122 (temporary fixing means).
[0012]
The main body 118 is temporarily fixed at a predetermined position of the optical system. As shown in FIG. 2, the main body 118 is provided with a rotation shaft hole 118a, and a ring-shaped sleeve 124 (rotation shaft) is provided in the rotation shaft hole 118a.
The tilt movable body 120 is provided separately from the main body 118 so as to be rotatable.
[0013]
That is, the tilting movable body 120 is provided with a turning shaft hole 120a, and the turning shaft hole 120a is also provided with a sleeve 124 (turning shaft). As a result, the tilting movable body 120 is separated from the main body 118 and can be rotated in a direction (A direction in FIG. 3) perpendicular to the sleeve 124 (rotation axis).
[0014]
Further, the tilting movable body 120 includes a mirror holding portion 120b for holding the mirror 112 so that the reflected optical axis x faces in a direction (A direction in FIG. 3) orthogonal to the sleeve 124 (rotation axis).
And the back surface 112a of the mirror 112 (for example, laser mirror) is being fixed to the mirror holding | maintenance part 120b with the adhesive agent.
[0015]
The tilt fixing screw 122 has a tip end portion 122 a screwed to the main body 118 via a spring washer 123 and a sleeve 124. For example, when the tilt fixing screw 122 rotates clockwise, the tilt movable body 120 is biased toward the main body 118. Accordingly, the movable body 120 can be temporarily fixed with respect to the main body 118.
[0016]
Further, when rotating in the opposite direction (for example, counterclockwise), the restoring force of the spring washer 123 can be helped to release the state. Accordingly, the movable body 120 can be rotated with respect to the main body 118 in a direction (A direction in FIG. 3) orthogonal to the sleeve 124 (rotation axis).
[0017]
Further, the tilting movable body 120 is provided with an adjustment rod insertion hole 120c (adjustment pin insertion hole), and when adjusting the reflection optical axis x of the mirror 112 in the A direction as shown in FIG. The adjustment rod 126 (adjustment pin) is fitted into the hole 120c and the tilt angle of the tilt movable body 120 in the direction A in the figure is adjusted, thereby adjusting the reflection optical axis x of the mirror 112 (for example, a laser mirror) in the direction A in the figure. To do.
[0018]
Further, as shown in FIG. 5, in the main body 118, a holder fixing screw 127 for temporarily fixing the optical base 125 at a predetermined position is inserted into the hole 118b through the spring washer 129 and the flat washer 131, and the holder. A hole 118c into which the fixing screw 133 is inserted through the spring washer 129 and the flat washer 131 is provided.
[0019]
The hole 118b is provided with substantially the same diameter as the holder fixing screw 127. The hole 118c is provided with a larger diameter than the holder fixing screw 133.
The holder fixing screw 127 is provided with a screw thread 127 a at a portion to be fitted into the optical base 125. However, the portion 127b in contact with the hole 118b is adjusted in the horizontal direction of the main body 118 by adjusting the position of the hole 118c with respect to the holder fixing screw 133 with the holder fixing screw 127 inserted into the hole 118b as a rotation axis (B in the figure). The surface is configured smoothly so that the angle of the direction can be adjusted.
[0020]
Then, the reflected light axis x of the mirror 112 is adjusted in the direction B in the figure by adjusting the position of the hole 118c with respect to the holder fixing screw 133 with the holder fixing screw 127 inserted into the hole 118b as the rotation axis. Can do.
After the adjustment, the main body 118 can be firmly and temporarily fixed at a predetermined position of the optical base 125 by firmly tightening the holder fixing screws 127 and 133 inserted into the holes 118b and 118c.
[0021]
As described above, what is characteristic in the present embodiment is that the tilting movable body 112 including the mirror holding portion 112a is separated from the main body 118, and only in the direction (A direction in the figure) orthogonal to the sleeve 124 (rotation axis). It is possible to rotate. Further, the tilt movable body 112 can be temporarily fixed without giving distortion to the main body 118 by the tilt fixing screw 122.
[0022]
The mirror holder 110 according to the embodiment of the present invention is configured as described above, and the operation thereof will be described below.
FIG. 6 shows a flowchart showing an optical axis adjustment procedure of the mirror holder 110 according to this embodiment.
[0023]
First, the operator roughly fixes the main body 118 to a predetermined position of the optical system with a holder fixing screw (not shown) (s100).
After rough fixing, the tilt angle of the tilt movable body 120 with respect to the main body 118 in the direction A in the figure is determined (s102).
That is, the tilt fixing screw 122 is loosened within a range in which the spring washer 123 works. Then, as shown in FIG. 5, the adjustment rod 126 is fitted into the adjustment rod insertion hole 120 c, and the reflected light axis x of the mirror 112 is adjusted by adjusting the tilt angle in the direction A of the movable movable body 120 with the adjustment rod 126. For example, it is determined by adjusting in the A direction in the figure.
[0024]
Here, since the rotation direction of the tilt movable body 120 can be restricted only in the A direction in the figure by the sleeve 124 (rotation axis), the adjustment of the reflected light axis x of the mirror 112 is also limited to the A direction in the figure. can do. Thereby, the reflected optical axis x can be easily adjusted.
After the determination, the tilt angle of the tilt movable body 120 in the direction A in the figure is temporarily fixed (s104).
That is, the tilt fixing screw 122 is tightened, and the tilt movable body 120 is temporarily fixed to the main body 118 (s104).
[0025]
Here, since the tilt movable body 120 can be temporarily fixed by the tilt fixing screw 122 without distorting the main body 118, the adjusted state can be favorably maintained.
After temporarily fixing, the angle of the main body 118 in the lateral direction (direction B in FIG. 4) is determined (s106).
[0026]
That is, by loosening the holder fixing screws 127 and 133 within the effective range of the flat washer 131 and adjusting the position of the hole 118c with respect to the holder fixing screw 133 with the holder fixing screw 127 inserted into the hole 118b as the rotation axis, The angle of the main body 118 in the horizontal direction (B direction in FIG. 4) is adjusted. Thereby, the reflection optical axis of the mirror 112 is determined by adjusting in the direction B in FIG.
After the determination, the angle of the main body 118 in the horizontal direction (direction B in FIG. 4) is temporarily fixed.
[0027]
That is, by tightening the holder fixing screws 127 and 133, the angle of the main body 118 in the lateral direction (direction B in FIG. 4) is temporarily fixed. Thus, all operations for adjusting the reflected optical axis of the mirror 112 in two directions (for example, the A direction in FIG. 5 and the B direction in FIG. 4) are completed.
[0028]
As described above, according to the mirror holder 110 according to the embodiment of the present invention, the tilt movable body 112 including the mirror holding portion 112a is separated from the main body 118 and rotated only in the direction orthogonal to the sleeve 124 (rotation axis). It was possible to move. Further, since the tilt movable body 112 can be temporarily fixed without distorting the main body 118 by the tilt fixing screw 122, the following various effects can be achieved.
[0029]
That is, the pivoting direction of the tilt movable body 120 can be restricted only in the A direction in the drawing by the sleeve 124 (rotating shaft), and therefore the adjustment of the reflected light axis x of the mirror 112 is limited to only the A direction in the drawing. be able to. Thereby, the reflected optical axis x can be easily adjusted.
[0030]
Moreover, since the tilt movable body 120 can be temporarily fixed without giving distortion with respect to the main body 118 with the tilt fixing screw 122, the state after adjustment can be favorably maintained.
In the mirror holder 110, an adjustment rod insertion hole 120c is provided on the surface of the tilt movable body 120 on the rotating direction (A direction in the drawing) side. By fitting the adjustment rod 126 into the adjustment rod insertion hole 120c and adjusting the tilt angle of the tilt movable body 120, the tilt angle of the tilt movable body 120 can be finely adjusted. Thereby, the reflected optical axis x of the mirror 112 can be finely adjusted.
Here, by increasing the length of the adjusting rod 126, the tilt angle of the tilt movable body 120 can be adjusted more delicately.
[0031]
The main body 118 has holes 118b and 118c into which holder fixing screws 127 and 133 for temporarily fixing the optical base 125 at predetermined positions are fitted. Since the hole 118c has a larger diameter than the outer diameter of the holder fixing screw 133, the position of the hole 118c with respect to the holder fixing screw 133 is adjusted, and the angle of the main body 118 in the lateral direction (B direction in FIG. 4). By adjusting this, the reflected optical axis of the mirror 112 can be adjusted in the lateral direction. As a result, the reflected optical axis x of the mirror can be well adjusted in two directions (A in FIG. 5 and B in FIG. 4).
The mirror holder of the present invention is not limited to the above-described configurations, and various modifications can be made within the scope of the gist of the invention.
[0032]
For example, in each of the above-described configurations, the thread 127a is provided in the portion where the holder fixing screw 127 is fitted into the optical system 125, but the portion 127b that is in contact with the hole 118b is provided with the holder fixing screw 127 inserted into the hole 118b. The case where the surface is configured smoothly so that the position of the hole 118c relative to the holder fixing screw 133 can be adjusted as the rotation axis has been described.
However, the present invention is not limited to this, and for example, a rotating shaft 235 shown in FIG. 7 can be used. The parts corresponding to those in FIG.
[0033]
That is, in the figure, the optical base 225 is provided with a rotation shaft hole 225a, and the rotation shaft 235 is provided with the rotation shaft hole 225a. A rotation shaft 235 is also provided in the hole 218b.
Thus, the position of the hole 218c with respect to the holder fixing screw 233 can be adjusted around the rotation shaft 235 to adjust the angle in the horizontal direction (B direction in the figure) of the main body 218.
[0034]
In each of the above-described configurations, the case where the hole 118c has a substantially circular shape has been described. However, the present invention is not limited to this, and the horizontal direction of the main body 118 (for example, the B direction in FIG. 4). Any shape can be used as long as the angle can be adjusted, for example, a substantially elliptical hole 318c shown in FIG. 8 can be used. Note that the portions corresponding to those in FIG.
[0035]
In the figure, the hole 318c is provided with substantially the same diameter as the holder fixing screw. However, the position of the substantially elliptical hole 318c with respect to the holder fixing screw is adjusted to adjust the lateral direction of the main body 318 (B direction in the figure). ) Can be adjusted.
[0036]
【The invention's effect】
As described above, according to the mirror holder of the present invention, the tilt movable body including the mirror holding portion is separated from the main body, and can be rotated only in the direction orthogonal to the rotation axis. Moreover, since the tilting movable body can be temporarily fixed without giving distortion to the main body by the temporary fixing means, the following various effects can be obtained.
In other words, since the pivoting direction of the tilting movable body can be restricted only to the direction orthogonal to the pivoting axis by the pivoting axis, the adjustment of the reflection optical axis of the mirror is limited to only the direction orthogonal to the pivoting axis. Can do. This makes it easy to adjust the reflected optical axis.
In addition, since the movable body can be temporarily fixed without distorting the main body by the temporary fixing means, the state after adjustment can be favorably maintained.
In the mirror holder, an adjustment pin insertion hole is provided on the surface of the tilt movable body on the rotating direction side. By fitting the adjustment pin into the adjustment pin insertion hole and adjusting the tilt angle of the tilt movable body, the tilt angle of the tilt movable body can be finely adjusted. Thereby, the reflected optical axis of the mirror can be finely adjusted.
The main body also has a hole into which a holder fixing pin for temporarily fixing at a predetermined position of the optical base is fitted. Since this hole has a larger diameter than the outer diameter of the holder fixing pin, the reflected light of the mirror is adjusted by adjusting the position of the hole relative to the holder fixing pin and adjusting the angle of the main body in the rotation axis direction. The shaft can be adjusted substantially in the direction of the pivot axis. As a result, the reflected optical axis of the mirror can be well adjusted in two directions, ie, the direction of the rotation axis and the direction orthogonal to the rotation axis.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is an explanatory diagram of an optical axis adjustment mechanism of a conventional mirror holder.
FIG. 2 is a front view (partially sectional view) of the mirror holder according to the first embodiment of the present invention.
3 is a side view (partial cross-sectional view) of the mirror holder shown in FIG. 2. FIG.
4 is a view (partial cross-sectional view) seen from below the mirror holder shown in FIG. 2; FIG.
5 is an explanatory diagram of an optical axis adjustment mechanism of the mirror holder shown in FIG. 2. FIG.
6 is a flowchart showing an optical axis adjustment procedure of the mirror holder shown in FIG.
FIG. 7 is a side view (partially sectional view) of a mirror holder according to a second embodiment of the present invention.
FIG. 8 is a view (partial sectional view) seen from below a mirror holder according to a third embodiment of the present invention.
[Explanation of symbols]
110 Mirror holder 118 Main body 112 Laser mirror (mirror)
120 tilt movable body 120a mirror holding part 120c adjustment rod insertion hole (adjustment pin insertion hole)
122 tilt fixing screw (temporary fixing means)
124 Sleeve (rotating shaft)
125 Optical base 126 Adjustment rod (Adjustment pin)
127, 133 Holder fixing screw (holder fixing pin)

Claims

A main body temporarily fixed at a predetermined position of the optical system;
It said body rotatably provided in another embodied, and tilt the movable body comprising a mirror holder for holding the mirror so as to face the reflection optical axis in a direction perpendicular to the pivot shaft line,
Wherein provided on the tilt movable body axis of rotation, by releasing the urging to the state the tilting movable member toward the main body, and a temporary fixing means temporary fixable tilt movable member relative to the body,
It is arranged over the main body and the tilting movable body in a state where the central axis coincides with the rotation axis, and the tilting movable body is rotatably supported with respect to the main body about the central axis that coincides with the pivoting axis. A ring-shaped rotation shaft provided with an outer peripheral portion to be inserted and an inner peripheral portion through which the temporary fixing means is inserted on a central axis that coincides with the rotation axis;
The provided, the reflection optical axis of the mirror is adjusted in a direction perpendicular to the rotation axis by rotating with another conjugated to the body of the tilting movable body via the rotating shaft,
The temporary fixing means is provided on a pivot axis of the tilting movable body via a spring washer. When the reflected optical axis of the mirror is adjusted in a direction perpendicular to the pivot axis, the temporary washer is moved by the spring washer. A mirror holder characterized by releasing the temporary fixing of the tilting movable body relative to the main body within a range in which a force for urging the tilting movable body toward the main body acts .

2. The mirror holder according to claim 1, wherein an adjustment pin insertion hole is provided on a surface of the tilt movable body on a rotational direction side, and the adjustment pin is fitted into the adjustment pin insertion hole, and the tilt angle of the tilt movable body is set. A mirror holder, wherein the reflection optical axis of the mirror is adjusted by adjusting.

3. The mirror holder according to claim 1, wherein the main body includes a hole portion into which a holder fixing pin for temporarily fixing at a predetermined position of the optical base is fitted, and the hole portion is compared with an outer diameter of the holder fixing pin. The mirror has a large diameter, and the reflected light axis of the mirror is adjusted in the direction of the rotation axis by adjusting the position of the hole relative to the holder fixing pin and adjusting the angle in the direction of the rotation axis of the main body. Mirror holder.