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JP4036016B2 - Inkjet device - Google Patents
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JP4036016B2 - Inkjet device - Google Patents

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Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、主走査方向及び副走査方向における液滴吐出間隔のデータと、主走査方向における液滴吐出個数のデータに基づいて印刷を行うインクジェット装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
近年、携帯電話、携帯情報端末機器、テレビ、パーソナルコンピュータ、ワープロなど、種々の電子機器に液晶ディスプレイが利用されており、電子機器の小型化にともない、益々その需要が高まってきている。また、最近では、有機EL(Electro Luminescence)ディスプレイが、液晶ディスプレイに変わる次世代のディスプレイとして実用化されつつある。この有機ELディスプレイのEL基板は、例えば、ガラス基板等の表面に、陽極膜(アノード)、正孔輸送層、EL発光層、陰極膜(カソード)を形成したもので、アノード・カソード間に電流を流した場合、アノードから発せられた正孔とカソードから発せられた電子とが発光層で結合し、この時発生したエネルギーが有機材料を励起することで発光が起きる。発光層には発光色に応じた種々の発光性有機化合物が利用される。カラーの有機ELディスプレイのEL基板の発光層では、赤(R),緑(G),青(B)の3色の発光性有機化合物からなる発光画素が規則的なドットパターンとして形成されている。このドットパターンの形成に、インクジェット装置が利用されている。
【0003】
ガラス基板上に形成された陽極膜の上に、正孔輸送層形成用の液滴をインクジェット装置のインクジェットヘッドからガラス基板上に吐出させ、真空中または不活性ガス中で加熱して定着させる。次に、EL発光層形成用のR,G,B各色に対応する3種類の液滴を正孔輸送層の上に3つのインクジェットヘッドからそれぞれ吐出してドットパターンを形成し、さらに、そのドットパターンを真空加熱した後、EL発光層の上に陰極膜を形成する。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、このドットパターンの形成を行う場合、従来のインクジェット装置では発光画素の吐出パターンをビットマップ形式の画像データとして処理していた。以下、図面を参照して説明する。図32,図33は、従来のインクジェット装置で吐出した液滴の吐出位置と所望する吐出位置との比較を示した模式図である。図32に示すように、例えば、インクジェット装置に吐出させる液滴のドットパターンの解像度が2400dpiである場合、液滴の吐出位置の間隔は約10μmとなる。この2400dpiドットパターン900において、図中、マル印で示す部分が液滴吐出可能位置903である。図中、バツ印で示す部分、すなわち所望する吐出位置902の間隔がこのインクジェット装置の液滴吐出可能位置903の間隔の倍数でない場合、例えば、約23μmであった場合、吐出位置にズレが生じる。2400dpiドットパターン900においてはこれ以上細かい間隔での吐出はしないため、このビットマップ形式の画像データは、所望する吐出位置902にもっとも近い液滴吐出位置903a(図中、黒マル印)で液滴を吐出するというデータと、それ以外の液滴非吐出位置903b(図中、白マル印)では液滴を吐出しないというデータとを有することになる。
【0005】
さらに、図33に示すように、例えば、インクジェット装置に吐出させる液滴のドットパターンの解像度を4800dpiとした場合、液滴の吐出位置の間隔は約5μmとなる。この4800dpiドットパターン901では、2400dpiドットパターン900よりもさらに細かな液滴の吐出が可能である。図中、マル印で示す部分が液滴吐出可能位置904である。上記の場合と同様に、このビットマップ形式の画像データは、所望する吐出位置902にもっとも近い液滴吐出位置904a(図中、黒マル印)で液滴を吐出するというデータと、それ以外の液滴非吐出位置904b(図中、白マル印)では液滴を吐出しないというデータとを有することになる。この場合、液滴吐出位置904aはほぼ所望する液滴吐出位置902に液滴を吐出することが可能となるが、ドットパターンの解像度が倍になることで必要とされるビットマップ形式のデータの量は4倍となり、インクジェット装置において、インクジェットヘッドを液滴吐出位置に移動させるためのドットパターンのデータ処理にかかる時間や、その処理に必要とされるメモリの容量が増加し、大きいガラス基板に対する液滴の吐出が現実的であるとはいえない。
【0006】
本発明は、上記課題を解決するためになされたものであり、X軸方向及びY軸方向における液滴吐出位置の間隔のデータと、X軸方向のそれぞれの吐出位置において液滴を吐出するか否かのデータとに基づいてインクジェット装置を駆動させ、液滴の吐出を行わせることで、液滴吐出に必要とするデータの量を減らして処理を高速化し、所望する液滴吐出位置に対して正確な液滴の吐出を行うことができるインクジェット装置を実現することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、請求項1に係る発明のインクジェット装置は、液滴を吐出する複数のノズルが列設されたインクジェットヘッドと、吐出される数種の液滴が混合されないよう仕切るバンクが複数設けられた被記録媒体に対して、前記ノズルから液滴を吐出する液滴吐出手段と、前記インクジェットヘッドと前記被記録媒体との間に主走査方向へ相対移動を発生させる主走査方向移動手段と、入力された、主走査方向における液滴吐出位置の間隔のデータに基づいて、液滴吐出位置の間隔分、主走査方向への相対移動を発生させるように前記主走査方向移動手段を制御する主走査方向移動制御手段と、当該主走査方向移動制御手段の制御に基づいて、前記インクジェットヘッドが前記液滴吐出位置の間隔分、主走査方向へ相対移動された場合に行われる前記液滴吐出手段の液滴吐出が、入力された主走査方向における液滴吐出位置の数の分だけ繰り返し行われるように制御する液滴吐出制御手段と、前記インクジェットヘッドと前記被記録媒体との間に前記主走査方向と直交する副走査方向へ相対移動を発生させる副走査方向移動手段と、前記液滴吐出制御手段による前記被記録媒体上の1ライン分の走査が行われる毎に、入力された、前記インクジェットヘッドの前記ノズルの列設間隔と個数によって決まる液滴吐出幅のデータに基づいて、副走査方向への相対移動を発生させるように前記副走査方向移動手段を制御する副走査方向移動制御手段と、前記インクジェットヘッドの副走査方向に対する回転角であるスラント角に基づいて、前記インクジェットヘッドは回転可能であり、入力された前記スラント角に関連するデータに基づいて、前記インクジェットヘッドが副走査方向に対して回転するように制御するインクジェットヘッドスラント手段と、前記インクジェットヘッドのノズルの列設間隔の誤差によって前記スラント角を補正するスラント角補正手段とを備え、前記インクジェットヘッドスラント手段は、前記補正されたスラント角に基づいて、副走査方向に関して前記個々のノズルの列設間隔と前記被記録媒体上の前記各バンクの間隔とが同じになるように、前記インクジェットヘッドを回転する。
【0008】
この構成のインクジェット装置では、インクジェットヘッドに液滴を吐出する複数のノズルが列設され、液滴吐出手段が、吐出される数種の液滴が混合されないよう仕切るバンクが複数設けられた被記録媒体に対して、ノズルから液滴を吐出し、主走査方向移動手段が、インクジェットヘッドと被記録媒体との間に主走査方向へ相対移動を発生し、主走査方向移動制御手段が、入力された、主走査方向における液滴吐出位置の間隔のデータに基づいて、液滴吐出位置の間隔分、主走査方向への相対移動を発生させるように主走査方向移動手段を制御し、液滴吐出制御手段が、主走査方向移動制御手段の制御に基づいて、インクジェットヘッドが液滴吐出位置の間隔分、主走査方向へ相対移動された場合に行われる液滴吐出手段の液滴吐出が、入力された主走査方向における液滴吐出位置の数の分だけ繰り返し行われるように制御することができる。また、副走査方向移動手段は前記インクジェットヘッドと前記被記録媒体との間に前記主走査方向と直交する副走査方向へ相対移動を発生させる。副走査方向移動制御手段は前記液滴吐出制御手段による前記被記録媒体上の1ライン分の走査が行われる毎に、入力された、前記インクジェットヘッドの前記ノズルの列設間隔と個数によって決まる液滴吐出幅のデータに基づいて、副走査方向への相対移動を発生させるように前記副走査方向移動手段を制御する。さらに、前記インクジェットヘッドの副走査方向に対する回転角であるスラント角に基づいて、前記インクジェットヘッドは回転可能であり、インクジェットヘッドスラント手段は、入力された前記スラント角に関連するデータに基づいて、前記インクジェットヘッドが副走査方向に対して回転するように制御する。さらに、スラント角補正手段は、前記インクジェットヘッドのノズルの列設間隔の誤差によって前記スラント角を補正し、前記インクジェットヘッドスラント手段は、前記補正されたスラント角に基づいて、副走査方向に関して前記個々のノズルの列設間隔と前記被記録媒体上の前記各バンクの間隔とが同じになるように、前記インクジェットヘッドを回転する。
【0009】
また、請求項2に係る発明のインクジェット装置は、請求項1に記載の発明の構成に加え、前記液滴吐出制御手段は、入力された、主走査方向の1走査分の各液滴吐出位置における液滴吐出の有無を示したパターンのデータに基づいて、前記液滴吐出手段が各液滴吐出位置で液滴を吐出するか否かを制御する液滴パターン吐出制御手段を備えている。
【0010】
この構成のインクジェット装置では、請求項1に係る発明の作用に加え、液滴パターン吐出制御手段が、入力された、主走査方向の1走査分の各液滴吐出位置における液滴吐出の有無を示したパターンのデータに基づいて、液滴吐出手段が各液滴吐出位置で液滴を吐出するか否かを制御することができる。
【0011】
また、請求項3に係る発明のインクジェット装置は、請求項1又は2に記載の発明の構成に加え、前記液滴吐出制御手段は、入力された、前記被記録媒体上の同一の液滴吐出位置での液滴吐出の回数に基づいて、前記液滴吐出手段が各液滴吐出位置で液滴を複数回吐出する制御を行う液滴重複吐出制御手段を備えている。
【0012】
この構成のインクジェット装置では、請求項1又は2に係る発明の作用に加え、液滴重複吐出制御手段が、入力された、被記録媒体上の同一の液滴吐出位置での液滴吐出の回数に基づいて、液滴吐出手段が各液滴吐出位置で液滴を複数回吐出する制御を行うことができる。
【0013】
また、請求項4に係る発明のインクジェット装置は、請求項1又は2に記載の発明の構成に加え、前記液滴吐出制御手段は、入力された、前記被記録媒体上の同一の液滴吐出位置での液滴吐出の回数に基づいて、前記インクジェットヘッドが同一走査ライン上で同一パターンの液滴の吐出を複数回繰り返す制御を行う液滴重複走査吐出制御手段を備えている。
【0014】
この構成のインクジェット装置では、請求項1又は2に係る発明の作用に加え、液滴重複走査吐出制御手段が、入力された、被記録媒体上の同一の液滴吐出位置での液滴吐出の回数に基づいて、インクジェットヘッドが同一走査ライン上で同一パターンの液滴の吐出を複数回繰り返す制御を行うことができる。
【0015】
また、請求項5に係る発明のインクジェット装置は、請求項1乃至4の何れかに記載の発明の構成に加え、前記主走査方向移動制御手段は、入力された、前記バンク内での液滴吐出位置の間隔のデータに基づいて、液滴吐出位置の間隔分、主走査方向への相対移動を発生させるように前記主走査方向移動手段を制御する主走査方向バンク内移動制御手段と、入力された、前記バンク間隔のデータに基づいて、前記バンクの間隔分、主走査方向への相対移動を発生させるように前記主走査方向移動手段を制御する主走査方向バンク間移動制御手段とを備え、前記液滴吐出制御手段は、前記主走査方向バンク内移動制御手段の制御に基づく前記インクジェットヘッドの相対移動と、前記液滴吐出手段の液滴吐出とを、入力された主走査方向における前記バンク内での液滴吐出位置の数の分だけ、繰り返し行うように制御するバンク内液滴吐出制御手段と、前記インクジェットヘッドの、前記バンク内液滴吐出制御手段の制御に基づく前記バンク内での液滴吐出と、前記主走査方向バンク間移動制御手段の制御に基づく相対移動とを、入力された主走査方向における前記バンクの数の分だけ、繰り返し行うように制御するバンク液滴吐出制御手段とを備えている。
【0016】
この構成のインクジェット装置では、請求項1乃至4の何れかに係る発明の作用に加え、被記録媒体上には、吐出される数種の液滴が混合されないよう仕切るバンクが複数設けられ、主走査方向バンク内移動制御手段が、入力された、バンク内での液滴吐出位置の間隔のデータに基づいて、液滴吐出位置の間隔分、主走査方向への相対移動を発生させるように主走査方向移動手段を制御し、主走査方向バンク間移動制御手段が、入力された、バンク間隔のデータに基づいて、バンクの間隔分、主走査方向への相対移動を発生させるように主走査方向移動手段を制御し、バンク内液滴吐出制御手段が、主走査方向バンク内移動制御手段の制御に基づくインクジェットヘッドの相対移動と、液滴吐出手段の液滴吐出とを、入力された主走査方向におけるバンク内での液滴吐出位置の数の分だけ、繰り返し行うように制御し、バンク液滴吐出制御手段が、インクジェットヘッドの、バンク内液滴吐出制御手段の制御に基づくバンク内での液滴吐出と、主走査方向バンク間移動制御手段の制御に基づく相対移動とを、入力された主走査方向におけるバンクの数の分だけ、繰り返し行うように制御することができる。
【0017】
また、請求項6に係る発明のインクジェット装置は、請求項1乃至5の何れかに記載の発明の構成に加え、前記被記録媒体上には複数のバンクに仕切らた複数の吐出作業エリアが設けられ、前記主走査方向移動制御手段は、入力された、前記吐出作業エリア間隔のデータに基づいて、前記吐出作業エリアの間隔分、主走査方向への相対移動を発生させるように前記主走査方向移動手段を制御する主走査方向吐出作業エリア間移動制御手段を備え、前記液滴吐出制御手段は、前記インクジェットヘッドの、前記バンク内液滴吐出制御手段の制御に基づく前記バンク内での液滴吐出と、前記主走査方向バンク間移動制御手段の制御に基づく相対移動とを、入力された主走査方向における前記吐出作業エリア内の前記バンクの数の分だけ、繰り返し行うように制御する吐出作業エリア内液滴吐出制御手段と、前記インクジェットヘッドの、前記主走査方向吐出作業エリア間移動制御手段の制御に基づく相対移動と、前記吐出作業エリア内液滴吐出制御手段の制御に基づく前記吐出作業エリア内での液滴吐出とを、入力された主走査方向における前記吐出作業エリアの数の分だけ、繰り返し行うように制御する吐出作業エリア液滴吐出制御手段とを備えている。
【0018】
この構成のインクジェット装置では、請求項1乃至5の何れかに係る発明の作用に加え、被記録媒体上には複数のバンクに仕切らた複数の吐出作業エリアが設けられ、主走査方向吐出作業エリア間移動制御手段が、入力された、吐出作業エリア間隔のデータに基づいて、吐出作業エリアの間隔分、主走査方向への相対移動を発生させるように主走査方向移動手段を制御し、吐出作業エリア内液滴吐出制御手段が、インクジェットヘッドの、バンク内液滴吐出制御手段の制御に基づくバンク内での液滴吐出と、主走査方向バンク間移動制御手段の制御に基づく相対移動とを、入力された主走査方向における吐出作業エリア内のバンクの数の分だけ、繰り返し行うように制御し、吐出作業エリア液滴吐出制御手段が、インクジェットヘッドの、主走査方向吐出作業エリア間移動制御手段の制御に基づく相対移動と、吐出作業エリア内液滴吐出制御手段の制御に基づく吐出作業エリア内での液滴吐出とを、入力された主走査方向における吐出作業エリアの数の分だけ、繰り返し行うように制御することができる。
【0019】
また、請求項7に係る発明のインクジェット装置は、請求項1乃至6の何れかに記載の発明の構成に加え、前記ノズルの列設間隔の誤差を複数の範囲に区分した複数のランクとして管理する管理手段を備え、前記スラント角補正手段は、前記ランク毎の誤差の上限値と下限値とから求まる誤差中心値によって前記スラント角を補正することを特徴とする。
【0020】
この構成のインクジェット装置では、請求項1乃至6の何れかに係る発明の作用に加え、管理手段が前記ノズルの列設間隔の誤差を複数の範囲に区分した複数のランクとして管理し、前記スラント角補正手段は、前記ランク毎の誤差の上限値と下限値とから求まる誤差中心値によって前記スラント角を補正する。
【0021】
また、請求項8に係る発明のインクジェット装置は、請求項1乃至7の何れかに記載の発明の構成に加え、前記副走査方向移動制御手段は、入力された、前記バンク内での副走査方向の液滴吐出位置の間隔のデータに基づいて、液滴吐出位置の間隔分、副走査方向への相対移動を発生させるように前記副走査方向移動手段を制御する副走査方向バンク内移動制御手段と、入力された副走査方向における前記バンク内での液滴吐出位置の数の分だけ、前記副走査方向バンク内移動制御手段の制御に基づく相対移動を繰り返し行うように制御する副走査方向バンク内移動回数制御手段と、入力された、副走査方向の前記バンク間隔のデータに基づいて、前記バンクの間隔分と前記液滴吐出幅の分、副走査方向への相対移動を発生させるように前記副走査方向移動手段を制御する副走査方向バンク間移動制御手段と、入力された副走査方向における前記バンクの数の分だけ、前記副走査方向バンク内移動回数制御手段の制御に基づく相対移動と、前記副走査方向バンク間移動制御手段の制御に基づく相対移動とを繰り返し行うように制御する副走査方向バンク移動制御手段とを備えている。
【0022】
この構成のインクジェット装置では、請求項1乃至7の何れかに係る発明の作用に加え、副走査方向バンク内移動制御手段が、入力された、バンク内での副走査方向の液滴吐出位置の間隔のデータに基づいて、液滴吐出位置の間隔分、副走査方向への相対移動を発生させるように副走査方向移動手段を制御し、副走査方向バンク内移動回数制御手段が、入力された副走査方向におけるバンク内での液滴吐出位置の数の分だけ、副走査方向バンク内移動制御手段の制御に基づく相対移動を繰り返し行うように制御し、副走査方向バンク間移動制御手段が、入力された、副走査方向のバンク間隔のデータに基づいて、バンクの間隔分と液滴吐出幅の分、副走査方向への相対移動を発生させるように副走査方向移動手段を制御し、副走査方向バンク移動制御手段が、入力された副走査方向におけるバンクの数の分だけ、副走査方向バンク内移動回数制御手段の制御に基づく相対移動と、副走査方向バンク間移動制御手段の制御に基づく相対移動とを繰り返し行うように制御することができる。
【0023】
また、請求項9に係る発明のインクジェット装置は、請求項1乃至8の何れかに記載の発明の構成に加え、前記副走査方向移動制御手段は、入力された副走査方向における前記吐出作業エリア内の前記バンクの数の分だけ、前記副走査方向バンク内移動回数制御手段の制御に基づく相対移動と、副走査方向バンク間移動制御手段の制御に基づく相対移動とを繰り返し行うように制御する副走査方向吐出作業エリア内移動制御手段と、入力された、副走査方向の前記吐出作業エリア間隔のデータに基づいて、前記吐出作業エリアの間隔の分、副走査方向への相対移動を発生させるように前記副走査方向移動手段を制御する副走査方向吐出作業エリア間移動制御手段と、入力された副走査方向における前記吐出作業エリアの数の分だけ、前記副走査方向吐出作業エリア内移動制御手段の制御に基づく相対移動と、前記副走査方向吐出作業エリア間移動制御手段に基づく相対移動とを繰り返し行うように制御する副走査方向吐出作業エリア移動制御手段とを備えている。
【0024】
この構成のインクジェット装置では、請求項1乃至8の何れかに係る発明の作用に加え、副走査方向吐出作業エリア内移動制御手段が、入力された副走査方向における吐出作業エリア内のバンクの数の分だけ、副走査方向バンク内移動回数制御手段の制御に基づく相対移動と、副走査方向バンク間移動制御手段の制御に基づく相対移動とを繰り返し行うように制御し、副走査方向吐出作業エリア間移動制御手段が、入力された、副走査方向の吐出作業エリア間隔のデータに基づいて、吐出作業エリアの間隔の分、副走査方向への相対移動を発生させるように副走査方向移動手段を制御し、副走査方向吐出作業エリア移動制御手段が、入力された副走査方向における吐出作業エリアの数の分だけ、副走査方向吐出作業エリア内移動制御手段の制御に基づく相対移動と、副走査方向吐出作業エリア間移動制御手段に基づく相対移動とを繰り返し行うように制御することができる。
【0025】
また、請求項10に係る発明のインクジェット装置は、請求項1乃至9の何れかに記載の発明の構成に加え、前記スラント角が最小のスラント角のとき、前記ノズルの列設間隔が副走査方向のバンク間隔より小さいか、前記スラント角が最大のスラント角のとき、スラントした前記インクジェットヘッドの副走査方向の前記ノズルの列設間隔が前記バンク間隔より大きいかの少なくとも何れか一方の場合、インクジェットヘッドスラント手段は、スラント角を最小に戻すとともに、液滴吐出制御手段は、インターレスを1走査分いれて液滴吐出手段による液滴吐出が行われるように制御することを特徴とする。
【0026】
この構成のインクジェット装置では、請求項1乃至9の何れかに係る発明の作用に加え、前記スラント角が最小のスラント角のとき、前記ノズルの列設間隔が副走査方向のバンク間隔より小さいか、前記スラント角が最大のスラント角のとき、スラントした前記インクジェットヘッドの副走査方向の前記ノズルの列設間隔が前記バンク間隔より大きいかの少なくとも何れか一方の場合、インクジェットヘッドスラント手段は、スラント角を最小に戻すとともに、液滴吐出制御手段は、インターレスを1走査分いれて液滴吐出手段によ る液滴吐出が行われるように制御することができる。
【0027】
また、請求項11に係る発明のインクジェット装置は、請求項1乃至10の何れかに記載の発明の構成に加え、主走査方向における液滴吐出位置の間隔のデータを入力する主走査方向液滴吐出位置間隔データ入力手段と、主走査方向における液滴吐出位置の数を入力する主走査方向液滴吐出位置数データ入力手段とを備えている。
【0028】
この構成のインクジェット装置では、請求項1乃至10の何れかに係る発明の作用に加え、主走査方向液滴吐出位置間隔データ入力手段によって、主走査方向における液滴吐出位置の間隔のデータを入力でき、主走査方向液滴吐出位置数データ入力手段によって、主走査方向における液滴吐出位置の数を入力することができる。
【0029】
また、請求項12に係る発明のインクジェット装置は、請求項2乃至11の何れかに記載の発明の構成に加え、主走査方向の1走査分の、各液滴吐出位置における液滴吐出の有無を記したパターンのデータを入力する液滴吐出パターンデータ入力手段を備えている。
【0030】
この構成のインクジェット装置では、請求項2乃至11の何れかに係る発明の作用に加え、液滴吐出パターンデータ入力手段によって、主走査方向の1走査分の、各液滴吐出位置における液滴吐出の有無を記したパターンのデータを入力することができる。
【0031】
また、請求項13に係る発明のインクジェット装置は、請求項3乃至12の何れかに記載の発明の構成に加え、前記被記録媒体上の同一の液滴吐出位置における液滴吐出の回数を入力する同位置液滴吐出回数データ入力手段を備えている。
【0032】
この構成のインクジェット装置では、請求項3乃至12の何れかに係る発明の作用に加え、同位置液滴吐出回数データ入力手段によって、被記録媒体上の同一の液滴吐出位置における液滴吐出の回数を入力することができる。
【0033】
また、請求項14に係る発明のインクジェット装置は、請求項5乃至13の何れかに記載の発明の構成に加え、前記バンク内での主走査方向の液滴吐出位置の間隔のデータを入力する主走査方向バンク内液滴吐出位置間隔データ入力手段と、主走査方向における前記バンク内での液滴吐出位置の数を入力する主走査方向バンク内液滴吐出位置数データ入力手段と、主走査方向における前記バンク間隔のデータを入力する主走査方向バンク間隔データ入力手段と、主走査方向における前記バンクの数を入力する主走査方向バンク数データ入力手段とを備えている。
【0034】
この構成のインクジェット装置では、請求項5乃至13の何れかに係る発明の作用に加え、主走査方向バンク内液滴吐出位置間隔データ入力手段によって、バンク内での主走査方向の液滴吐出位置の間隔のデータを入力でき、主走査方向バンク内液滴吐出位置数データ入力手段によって、主走査方向におけるバンク内での液滴吐出位置の数を入力でき、主走査方向バンク間隔データ入力手段によって、主走査方向におけるバンク間隔のデータを入力でき、主走査方向バンク数データ入力手段によって、主走査方向におけるバンクの数を入力することができる。
【0035】
また、請求項15に係る発明のインクジェット装置は、請求項6乃至14の何れかに記載の発明の構成に加え、主走査方向における前記吐出作業エリア間隔のデータを入力する主走査方向吐出作業エリア間隔データ入力手段と、主走査方向における前記吐出作業エリア内の前記バンクの数を入力する主走査方向吐出作業エリア内バンク数データ入力手段と、主走査方向における前記吐出作業エリアの数を入力する主走査方向吐出作業エリア数データ入力手段とを備えている。
【0036】
この構成のインクジェット装置では、請求項6乃至14の何れかに係る発明の作用に加え、主走査方向吐出作業エリア間隔データ入力手段によって、主走査方向における吐出作業エリア間隔のデータを入力でき、主走査方向吐出作業エリア内バンク数データ入力手段によって、主走査方向における吐出作業エリア内のバンクの数を入力でき、主走査方向吐出作業エリア数データ入力手段によって、主走査方向における吐出作業エリアの数を入力することができる。
【0037】
また、請求項16に係る発明のインクジェット装置は、請求項7乃至15の何れかに記載の発明の構成に加え、前記インクジェットヘッドの前記ノズルの列設間隔と個数によって決まる液滴吐出幅のデータを入力する液滴吐出幅データ入力手段を備えている。
【0038】
この構成のインクジェット装置では、請求項7乃至15の何れかに係る発明の作用に加え、液滴吐出幅データ入力手段によって、インクジェットヘッドのノズルの列設間隔と個数によって決まる液滴吐出幅のデータを入力することができる。
【0039】
また、請求項17に係る発明のインクジェット装置は、請求項8乃至16の何れかに記載の発明の構成に加え、前記バンク内での副走査方向の液滴吐出位置の間隔のデータを入力する副走査方向液滴吐出位置間隔データ入力手段と、副走査方向における前記バンク内での液滴吐出位置の数を入力する副走査方向バンク内液滴吐出位置数データ入力手段と、副走査方向の前記バンク間隔のデータを入力する副走査方向バンク間隔データ入力手段と、副走査方向における前記バンクの数を入力する副走査方向バンク数データ入力手段とを備えている。
【0040】
この構成のインクジェット装置では、請求項8乃至16の何れかに係る発明の作用に加え、副走査方向液滴吐出位置間隔データ入力手段によって、バンク内での副走査方向の液滴吐出位置の間隔のデータを入力でき、副走査方向バンク内液滴吐出位置数データ入力手段によって、副走査方向におけるバンク内での液滴吐出位置の数を入力でき、副走査方向バンク間隔データ入力手段によって、副走査方向のバンク間隔のデータを入力でき、副走査方向バンク数データ入力手段によって、副走査方向におけるバンクの数を入力することができる。
【0041】
また、請求項18に係る発明のインクジェット装置は、請求項9乃至17の何れかに記載の発明の構成に加え、副走査方向における前記吐出作業エリア内の前記バンクの数を入力する副走査方向吐出作業エリア内バンク数データ入力手段と、副走査方向の前記吐出作業エリア間隔のデータを入力する副走査方向吐出作業エリア間隔データ入力手段と、副走査方向における前記吐出作業エリアの数を入力する副走査方向吐出作業エリア数データ入力手段とを備えている。
【0042】
この構成のインクジェット装置では、請求項9乃至17の何れかに係る発明の作用に加え、副走査方向吐出作業エリア内バンク数データ入力手段によって、副走査方向における吐出作業エリア内のバンクの数を入力でき、副走査方向吐出作業エリア間隔データ入力手段によって、副走査方向の吐出作業エリア間隔のデータを入力でき、副走査方向吐出作業エリア数データ入力手段によって、副走査方向における吐出作業エリアの数を入力することができる。
【0043】
また、請求項19に係る発明のインクジェット装置は、請求項10乃至18の何れかに記載の発明の構成に加え、前記インクジェットヘッドの副走査方向に対する回転角である前記スラント角に関連するデータを入力するスラント角データ入力手段を備えている。
【0044】
この構成のインクジェット装置では、請求項10乃至18の何れかに係る発明の作用に加え、スラント角データ入力手段によって、インクジェットヘッドの副走査方向に対する回転角であるスラント角に関連するデータを入力することができる。
【0045】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を具体化したインクジェット装置の一実施の形態について、図面を参照して説明する。まず、本発明に係るインクジェット装置1の構造について、図1〜図12,図14,図17,図23,図24,図27〜図29を参照して説明する。図1は、本発明の一実施の形態のインクジェット装置1の正面図である。図2は、インクジェット装置1の要部拡大正面図である。図3は、インクジェット装置1の平面図である。図4は、検査調整装置9の要部拡大平面図である。図5は、媒体保持移動装置5、基板受台21及びガラス基板4等の平面図である。図6は、媒体保持移動装置5とインクジェットヘッド8との位置関係を示す図である。図7は、ヘッド保持装置7、回動駆動機構80、及び検出用エンコーダ81の平面図である。図8は、図7における矢視方向Aからみた、ヘッド保持装置7、回動駆動機構80、及び検出用エンコーダ81の背面図である。図9は、図7における矢視方向Bからみた、ヘッド保持装置7、回動駆動機構80、及び検出用エンコーダ81の右側面図である。図10は、図8に示す2点鎖線C−C’における矢視方向から見たヘッド保持装置7の部分断面図である。図11は、ヘッド保持装置7の要部拡大断面図である。図12は、インクジェットヘッド8のノズル55の配列を示す図である。図14は、液滴供給装置12の側面図である。図17は、位置調整駆動機構113とヘッド保持装置7の構成図である。図23は、ヘッドメンテナンス機構123の斜視図である。図24は、ガラス基板4に液滴のパターニングを行う場合の、ガラス基板4とインクジェットヘッド8との相対位置を示す図である。図27は、インクジェット装置1の制御系のブロック図である。図28は、インクジェット装置1の制御系のブロック図である。図29は、信号出力回路186(図27参照)に設けられた、液滴吐出の信号を生成する液滴吐出信号生成回路310を示す図である。
【0046】
図1に示すように、インクジェット装置1は、装置の土台となるベースフレーム2と、装置を外装するケーシング3と、ガラス基板4を保持し主走査方向と副走査方向に独立に移動駆動可能な媒体保持移動装置5と、インクジェットヘッド8を上下方向に昇降するZ軸スライド機構6と、このZ軸スライド機構6に昇降可能に保持されたヘッド保持装置7と、インクジェットヘッド8からの液滴の吐出状態を検査したりインクジェットヘッド8の保守や調整を行うための検査調整装置9(図4参照)と、3色のEL発光層を形成するための吐出溶液10や、インクジェットヘッド8を洗浄するための溶剤のフラッシング液11等を供給する液滴供給装置12と、これらの装置や機器を制御する制御装置13(図27,図28参照)となどで構成されている。尚、図1に示す、インクジェット装置1の正面図において、Z軸方向が上下方向、X軸方向が左右方向、紙面表裏方向(図3に示す、Y軸方向)が前後方向である。また、本発明における、主走査方向が左右方向(X軸方向)、副走査方向が前後方向(Y軸方向)、被記録媒体がガラス基板4である。
【0047】
インクジェット装置1のベースフレーム2の上に直方体状のケーシング3が形成され、このケーシング3の内部空間は、中段位置の水平な仕切板14により、1Fのパターニングルーム15と2Fのメンテナンスルーム16とに仕切られ、仕切板14には、ヘッド保持装置7が通過可能な開口部14a(図4参照)が形成されている。この仕切板14はパターニングルーム15とメンテナンスルーム16とを仕切るものであればよく、必ずしも水平に配設される必要はない。パターニングルーム15内のパターン処理ステージにおいてガラス基板4に多数の3色の微細な画素部からなるドットパターンを形成する吐出記録(パターニング)処理が行われ、メンテナンスルーム16内の検査調整ステージ44においてインクジェットヘッド8に対する検査や調整が行われる。また、ケーシング3の側面には、ガラス基板4上に吐出してEL発光層を形成するための赤,緑,青の3色の吐出溶液10や、ヘッド洗浄用のフラッシング液11を供給するための液滴供給装置12が設けられている。
【0048】
次に、図2に示すように、1Fのパターニングルーム15は、例えば1500×1500×500mmの大きさに形成され、その内部には、ベースフレーム2の上面に大理石のベース台17が設置されており、このベース台17の4隅からそれぞれ支柱18が立ち上がっている。また、ベース台17の上には媒体保持移動装置5が設けられている。尚、パターニングルーム15内の空気を圧縮窒素ガスで置換し、室内の水蒸気濃度及び酸素濃度を所定レベル以下にしてパターニングが行われる。
【0049】
この媒体保持移動装置5は、外部システム(図示外)の搬送ローダHから搬送されてくるガラス基板4を所定の受け渡し位置(待機位置)(図3に2点鎖線で図示)で受け取り、吐出開始位置に移動させ、ガラス基板4を初期設定位置(原点位置)にアライメント調整し、パターニング時にはそのガラス基板4をX軸,Y軸方向へそれぞれ移動駆動し、パターニング終了後にはガラス基板4を待機位置へ移動させて搬送ローダHへ受け渡すものである。
【0050】
また、2Fのメンテナンスルーム16は、例えば1500×1500×700mmのの大きさに形成され、その内部には、インクジェットヘッド8をパターニングルーム15の吐出位置(下降位置)DP(図6参照)や、メンテナンスルーム16の検査調整位置(上昇位置)UPに移動駆動させるZ軸スライド機構6の大部分と、インクジェットヘッド8の取り付け位置を調整する位置調整駆動機構113と、媒体保持移動装置5と連動してガラス基板4の位置調整を行う自動アライメント調整機構36と、インクジェットヘッド8を検査維持するための検査調整装置9となどが配設されている。
【0051】
尚、検査調整装置9は、インクジェットヘッド8のメンテナンスを行うヘッドメンテナンス機構123と、インクジェットヘッド8からの液滴の吐出状態を検査する吐出検査機構121とで構成されている。インクジェットヘッド8はZ軸スライド機構6によりその位置を、仕切板14の開口部14a(図3参照)を通して検査調整位置UPに切り換えられてから、インクジェットヘッド8R,8G,8B(インクジェットヘッド8)の複数のノズル55(図12参照)の吐出状態が吐出検査機構121により検査され、また、ヘッドメンテナンス機構123によりヘッド保持装置7自体のメンテナンスが行われる。
【0052】
次に、媒体保持移動装置5の構成について説明する。図5,図6に示すように、媒体保持移動装置5には、ベース台17上に装備されたY軸スライド機構19と、このY軸スライド機構19の出力部材19aに装備されたX軸スライド機構20と、このX軸スライド機構20の出力部材20aに装備された、ガラス基板4を載置するための基板受台21とが設けられている。これらX,Y軸スライド機構19,20によって、ガラス基板4は、X軸,Y軸方向にそれぞれ独立に移動可能となっている。また、この基板受台21は、アライメント調整のためにピン22を中心として鉛直軸心回りに回転可能となっている。
【0053】
この基板受台21は、合成樹脂製の多孔材、あるいは焼結金属製の多孔材などで構成され、基板受台21上に載せたガラス基板4に多孔材を介して負圧を作用させ、吸着可能となっている。尚、基板受台21は、ガラス基板4よりも左右に幅広に形成され、基板受台21にはフラッシング液11(ヘッド洗浄用溶剤)を受けるための左右一対のトレイ21aが一体的に形成されている。また、ガラス基板4を搬出入する場合、ガラス基板4を基板受台21から所定小距離リフトさせる4本のリフトバー23aと、これらリフトバー23aを昇降させるエアシリンダを含む基板リフト機構23も設けられている。
【0054】
基板受台21とその上に載置したガラス基板4は、X軸スライド機構20により主走査方向(X軸方向)へ移動駆動可能であり、また、Y軸スライド機構19により副走査方向(Y軸方向)へ移動駆動可能である。インクジェット装置1は、ガラス基板4へのパターンを形成する場合、Z軸スライド機構6に支持されたヘッド保持装置7を所定の下降位置に停止させた状態で、X,Y軸スライド機構19,20により、ガラス基板4と、ヘッド組取付台25に装着されたヘッド保持装置7の複数のインクジェットヘッド8との間に、主走査方向と副走査方向とにそれぞれ相対移動を発生させながらパターニングを行う。
【0055】
次に、Z軸スライド機構の構成について説明する。図2に示すように、Z軸スライド機構6は、ヘッド保持装置7を支持して昇降させるためのものであり、このZ軸スライド機構6をベース台17に支持する構造として、2Fのメンテナンスルーム16において仕切板14上の左右両側には、前後方向に延びる一対のボックスフレーム37が支柱18で支持されている。そして、これらボックスフレーム37には支持フレーム38が架設され、この支持フレーム38にZ軸スライド機構6が取り付けられている。このZ軸スライド機構6は、支持フレーム38に固定されたスライドケース39、このスライドケース39に昇降自在に案内された出力部材40(スライド部材)、この出力部材40を昇降する電動シリンダ41、この電動シリンダ41のZ軸エンコーダ42等で構成されている。
【0056】
また、Z軸スライド機構6の出力部材40の下端部には、支持基板47が複数のボルト等で固定され、ヘッド組取付台25の一部を構成している。このヘッド組取付台25にはヘッド保持装置7が着脱可能に取り付けられており、図6に示すように、Z軸スライド機構6は、ヘッド保持装置7のインクジェットヘッド8を、仕切板14よりも下側の基板受台21においてガラス基板4に対してパターン形成を行う吐出位置DPと、検査調整ステージ44においてインクジェットヘッド8に対して検査調整を行う検査調整位置UPと、この位置よりもわずかに上昇させたホーム位置HPにわたって昇降可能となっている。
【0057】
次に、ヘッド保持装置7の構成について説明する。図7〜図10に示すように、ヘッド保持装置7は、フレーム部材46、4節平行リンク機構49、3つのヘッドホルダ51R,51G,51B(ヘッドホルダ51)、一対の回動支点50a,50b、2組の案内機構52a,52b、移動機構53a,53b、回動駆動機構80などを有し、ヘッド保持装置7のフレーム部材46が、ヘッド組取付台25の支持基板47に対して着脱可能に装着されるようになっている。また、支持基板47にはエンコーダ81が設けられており、4節平行リンク機構49によって傾斜されるインクジェットヘッド8の傾斜角度が検出される。
【0058】
図7に示す、フレーム部材46は、左右方向に延びる本体部46aと、この本体部46aの左端部から前方へ延びた左腕部46bと、本体部46aの右端付近から斜めに前方へ延びた右腕部46cとを有し、左腕部46bと右腕部46cとに、4節平行リンク機構49の傾斜回動、すなわちスラントのための一対の回動支点50a,50bが支持されている。
【0059】
図10に示す、4節平行リンク機構49は、一対の第1リンク部材56a,56bを回動可能に連結する一対の第2リンク部材57a,57bと、一対の押さえプレート58a,58bなどとを有する。一対の第1リンク部材56a,56bは、前後に所定間隔開けて主走査方向(X軸方向)と平行に配設され、一対の第2リンク部材57a,57bは、第1リンク部材56a,56bの端部にほぼ対応する位置に副走査方向(Y軸方向)に平行に配設されており、一対の第2リンク部材57a,57bの両端部は一対の第1リンク部材56a,56bの上面に当接する状態に配設されている。尚、後側の第1リンク部材56bには、右側の第2リンク部材57bよりも所定の長さ突出する突出部60が形成されている。また、第1リンク部材56a,56bと第2リンク部材57a,57bとは4つの連結部61によって連結され、鉛直軸心回りに回動可能になっている。
【0060】
図7,図10に示す、ヘッドホルダ51は、副走査方向(Y軸方向)にそれぞれ細長く形成され、初期設定状態において副走査方向と平行に、右側からヘッドホルダ51R,51G,51Bの順に配設されている。3つのヘッドホルダ51は、一対の第1リンク部材56a,56bに一対の抑えプレート58a,58bを介して着脱可能に装着され、各ヘッドホルダ51の両端部は、一対の第1リンク部材56a,56bに鉛直軸心回りに回動可能に支持されている。また、ヘッドホルダ51には、副走査方向に細長いインクジェットヘッド8が取り外し可能に固定されている。インクジェットヘッド8は、EL発光有機物質などの有機物質を溶剤で液化した溶液(吐出液)を吐出するために、例えば、セラミック材料などの対溶剤性材料で形成されている。
【0061】
また、各インクジェットヘッド8には、例えば64個の微小径のノズル55(図12参照)が副走査方向(Y軸方向)に微少ピッチで一列状をなすように形成されている。赤色溶液と緑色溶液と青色溶液とをそれぞれ吐出するインクジェットヘッド8R,8G,8Bは、主走査方向に所定の間隔をあけて平行に設けられたヘッドホルダ51R,51G,51Bにそれぞれ装着される。各インクジェットヘッド8の、例えば64個のノズル55は、最も後端側(支持基板47側)のものから順に、No.1,No.2,・・・No.64とされ、No.1のノズル55が基準ノズルである。
【0062】
図10に示す、一対の回動支点50a,50bは、一対の第2リンク部材57a,57bの途中部であって、基準インクジェットヘッドであるインクジェットヘッド8RのNo.1のノズル55(基準ノズル)に対応する途中部が回動中心となるように、4節平行リンク機構49をスラントさせるための回動支点であり、一対の第1リンク部材56a,56b間の一対の第2リンク部材57a,57bの途中部を、連結部61の軸心と平行な軸回りに回動可能に支持するものである。
【0063】
尚、前記途中部は、第2リンク部材57a,57bの後端から約1/3の長さの位置であり、一対の回動支点50a,50bの軸心を結ぶ面BF上に、インクジェットヘッド8Rの基準ノズル55が位置している。(図17参照)。また、インクジェットヘッド8G,8Bの基準ノズル55は、前記軸心を結ぶ面BF上に配置される場合もあるし、それぞれ必要に応じて副走査方向へ微少距離移動させた位置に配置される場合もある。このインクジェット装置1は、4節平行リンク機構49の一対の第2リンク部材57a,57bを0〜60度の範囲内で副走査方向に対して所望の角度だけスラントさせることにより、パターン形成時の副走査方向の解像度、すなわちドットピッチを変更可能になっている。
【0064】
図11に示す、案内機構52aは、インクジェットヘッド8Bを一対の第1リンク部材56a,56bに対して副走査方向(Y軸方向)に移動可能に案内支持するように設けられており、前端案内機構100と後端案内機構101とを有する。前端案内機構100は、ローラ部材102、凹部103、案内面104、押圧部材105、及び圧縮コイルバネ106等で構成されている。インクジェットヘッド8Bが固定されたヘッドホルダ51Bの下面側には、ローラ部材102が支軸107を介して鉛直軸心回りに回動可能に取り付けられている。また、第1リンク部材56a,56bに形成された凹部103には、ローラ部材102と押圧部材105が収容され、凹部103の右側面には案内面104が形成され、回動可能に支持された押圧部材105を圧縮コイルバネ106で付勢し、押圧部材105でローラ部材102を案内面104に当接させ、ローラ部材102を介してヘッドホルダ51Bの前端部を副走査方向に平行に移動可能にしてある。
【0065】
また、後端案内機構101も、ローラ部材102、凹部103、案内面104、押圧部材105、及び圧縮コイルバネ106等で構成されており、前端案内機構100と同様に、回動可能に支持された押圧部材105を圧縮コイルバネ106で付勢し、押圧部材105でローラ部材102を案内面104に当接させ、ローラ部材102を介してヘッドホルダ51Bの後端部を副走査方向に平行に移動可能にしてある。尚、押圧部材105は、ローラ部材102を後方かつ右方へ押し、後述の移動機構53aとしてのマイクロメータ機構のスピンドル108の先端にローラ部材102を当接させている。
【0066】
さらに、案内機構52bも案内機構52aと同様の構造となっており、ヘッドホルダ51Gに取り付けられたインクジェットヘッド8Gを一対の第1リンク部材56a,56bに対して副走査方向(Y軸方向)に移動可能に案内支持するように設けられている。また、ヘッドホルダ51Rの両端部に設けられた一対のローラ部材102は一対の第1リンク部材56a,56bのガイド穴にそれぞれ係合されており、ヘッドホルダ51Rに装着されるインクジェットヘッド8Rは、副走査方向へ移動不能となる。
【0067】
図11に示す、移動機構53bとしてマイクロメータ機構が後側の第1リンク部材56bの後面に固定されたブラケット112(図8,図9参照)に取り付けられ、このマイクロメータ機構の先端部のスピンドル108が、前記の後端案内機構101の凹部103に部分的に突入し、スピンドル108の先端がローラ部材102に後方から当接している。マイクロメータ機構の後端部には、後述の位置調整駆動機構113からの回転駆動力を入力するための入力部114が形成されており、入力部114の回転角度(φ)に比例する微少距離だけ、回転方向で決まる方向へ、スピンドル108が進退移動するのでヘッドホルダ51Bを副走査方向(Y軸方向)へ位置調整できるようになっている。尚、マイクロメータ機構の制止側部材(図示外)が回転しないように規制する回動規制部115も設けられている。また、移動機構53aも移動機構53bと同様の構造となっており、ヘッドホルダ51Gを副走査方向へ微少距離移動させることができる。
【0068】
図7〜図9に示す、回動駆動機構80は、スラント用サーボモータ(減速機付きサーボモータ)82と、レバー部材83と、回動力入力軸84とからなる。このスラント用サーボモータ82は、右側の回動支点50bとほぼ同軸心となるように、Z軸スライド機構6の出力部材40に固定されたモータ支持板85に立向き姿勢に装着されている。また、スラント用サーボモータ82の出力軸82aがレバー部材83を介して回動力入力軸84に連結され、第2リンク部材57a,57bが回動支点50a,50bを中心に回動されるように構成されている。
【0069】
図7〜図9に示す、傾斜角度検出用のエンコーダ81は、高分解能のロータリエンコーダからなり、このエンコーダ81は、支持基板47の張出し部47aに立向き姿勢に固定され、エンコーダ81の入力軸の軸心は、一対の回動支点50a,50bの軸心を結ぶ面と同一面上に位置している。このエンコーダ81の入力軸81aに固定されたアーム95の前端部には、ピン94にてローラ95aが回動自在に取り付けられ、アーム95は、弾性部材93により図7にて反時計回りに弾性付勢され、ローラ95aが、4節平行リンク機構49の後側の第1リンク部材56bの右端側の突出部60の右側面に弾性的に当接している。尚、支持基板47のストッパ溝96は、ヘッド保持装置7が取り外されているとき、アーム95を適正な位置に保持するためのストッパ溝であって、ヘッド保持装置7を支持基板47に取り付ける際のアーム95の干渉を防止するようになっている。
【0070】
次に、位置調整駆動機構113の構成について説明する。図4,図2,図17に示すように、位置調整駆動機構113は、ヘッド組取付台25に装着されたヘッド保持装置7の移動機構53a,53bに着脱可能に択一的に連結し、移動機構53a,53bを介してインクジェットヘッド8B,8Gを副走査方向に移動させる機構である。この位置調整駆動機構113は、2Fのメンテナンスルーム16に開口部14aよりも後側に配設されている。
【0071】
この位置調整駆動機構113は、エアーシリンダからなるY軸方向駆動機構116、このY軸方向駆動機構116によってY軸方向へ移動駆動可能なエアーシリンダからなるX軸方向駆動機構117、このX軸方向駆動機構117によってX軸方向へ移動駆動可能な位置調整用サーボモータ118、移動機構53a,53bの入力部114にモータ駆動力を伝達するための出力部119などで構成されている。位置調整用サーボモータ118の出力部119は、前方向けに配設されている。Z軸スライド機構6によりヘッド組取付台25に装着されたヘッド保持装置7を検査調整位置UP(図6参照)に切り換えた状態において、この出力部119をインクジェットヘッド8G,8Bのうちの所望のインクジェットヘッドのための移動機構53a,53bの入力部114に対して同心になるように左右方向(X軸方向)に位置調節後、Y軸方向駆動機構116により前方移動させ、出力部119を入力部114に係合させ、位置調整用サーボモータ118によりマイクロメータ機構のスピンドル108を副走査方向に微調整することにより、ローラ部材102を介してインクジェットヘッド8を副走査方向に前方へまたは後方へ所望の微少距離移動させ得るように構成されている。
【0072】
次に、自動アライメント調整機構36の構成について説明する。図5,図6に示す、1Fのパターニングルーム15の媒体保持移動装置5のX軸スライド機構20のX軸方向駆動部26は、X軸エンコーダ27を含むX軸サーボモータ28により、X軸方向案内部材(図示外)に対して出力部材20aを移動駆動するものであり、Y軸スライド機構19のY軸方向駆動部29はY軸エンコーダ30を含むY軸サーボモータ31により、Y軸方向案内部材(図示外)に対して出力部材19aを移動駆動するものである。また、X,Y軸スライド機構20,19には、それぞれの出力部材20a,19aの移動量を精密に検出可能なX軸リニアスケール189,Y軸リニアスケール198(図27参照)がそれぞれ設けられている。
【0073】
また、図24に示すように、ガラス基板4の後端側の左右の隅部には、大小のアライメントマークAM1,AM2,AM3,AM4が印されており、これらのアライメントマークAM1〜AM4を撮像し、後述の制御装置13が、その画像情報を解析し、ガラス基板4の原点位置からのズレ量を求めてガラス基板4を原点位置に設定するようになっている。
【0074】
図4に示すように、前記の左側のアライメントマークAM1,AM3をそれぞれ撮像するため、2Fの検査調整ステージ44において、開口部14aの左側には、仕切板14に設けたガラス窓(図示外)から下方のアライメントマークAM1,AM3をそれぞれ撮像する低倍率のCCDカメラ32aと高倍率のCCDカメラ32cとが設けられている。これらのCCDカメラ32a,32cは、共通の支持板145に取り付けられ、ガラス基板4の厚さが変わった場合にエアシリンダ146により高さ位置調整可能であり、手動操作によりそれぞれフォーカス調整可能となっている。
【0075】
同様に、右側のアライメントマークAM2,AM4をそれぞれ撮像するため、開口部14aの右側には、仕切板14に設けたガラス窓(図示外)から下方のアライメントマークAM2,AM4をそれぞれ撮像する低倍率のCCDカメラ32bと高倍率のCCDカメラ32dとが設けられている。これらのCCDカメラ32b,32dは、共通の支持板147に取り付けられ、ガラス基板4の厚さが変わった場合にエアシリンダ148により高さ位置調整可能であり、手動操作によりそれぞれフォーカス調整可能になっている。さらに、ガラス基板4の搬入位置誤差が大きい場合や、ガラス基板4のサイズが変わった場合に、左右方向や前後方向へ位置が変動する右側のアライメントマークAM2,AM4を検出可能にするために、支持板147と2つのCCDカメラ32b,32dとをX,Y軸方向に独立に精密に移動駆動可能なX軸方向移動駆動機構149とY軸方向移動駆動機構150も設けられている。
【0076】
次に、検査調整装置9の構成について説明する。図4に示すように、検査調整装置9は、インクジェットヘッド8のメンテナンスを行うヘッドメンテナンス機構123と、インクジェットヘッド8からの液滴の吐出状態を検査する吐出検査機構121とで構成されている。ヘッドメンテナンス機構123は、吐出検査機構121によりインクジェットヘッド8の副走査方向に列設された複数のノズル55からの吐出状態を検査する際に、吐出検査機構121と協働するようになっている。
【0077】
ヘッドメンテナンス機構123は、メンテナンスルーム16において仕切板14の開口部14aよりやや前側に設けられている。このヘッドメンテナンス機構123は、電動シリンダ124、吸取り紙送り機構125、紙送り駆動機構126、加圧パージ用のトレイ127、及びワイプ用のゴムパッド128などを有する。ゴムパッド128は3つのゴムパッド128R,128G,128Bからなる。
【0078】
また、図23に示すように、可動テーブル129上には、吸取り紙送り機構125とトレイ127とゴムパッド128とが一体的に支持され、電動シリンダ124により可動テーブル129が前後方向(Y軸方向)に移動駆動される。そして、Z軸スライド機構6により検査調整位置UP(図6参照)にされたヘッド保持装置7のインクジェットヘッド8に対して、吸取り紙送り機構125、トレイ127、ゴムパッド128がそれぞれ下方に位置するように位置切り換え可能となっている。
【0079】
吸取り紙送り機構125は、紙送り駆動機構126からの機動力を伝達可能なワンウェイクラッチ式の駆動ローラ130、駆動ローラ130との間に掛装されたベルト131を含み巻き取り方向の逆向きに一定の張力を付与するためのバックテンション機構132、従動ローラ133,134、支持板135等で構成されている。吸取り紙136は、バックテンション機構132のローラ部分にセットされ、紙送り駆動機構126により駆動される駆動ローラ130に従動ローラ133,134を介して巻き取られるようになっている。
【0080】
紙送り駆動機構126は、摩擦係数の高いゴムが外装固着された出力軸137aを有する吸取り紙巻取用サーボモータ137と、吸取り紙巻取用サーボモータ137がX軸方向に自在にスライド移動できるように支持するX軸方向スライド機構138と、吸取り紙巻取用サーボモータ137の出力軸137aを駆動力伝達位置と非伝達位置とにわたって移動駆動するスライド駆動用エアシリンダ139とを有する。
【0081】
加圧パージ用のトレイ127には3つの凹部127R,127G,127Bが形成され、Z軸スライド機構6により検査調整位置UP(図6参照)にされたヘッド保持装置7のインクジェットヘッド8R,8G,8Bとそれぞれ対抗する位置に、それぞれの凹部127R,127G,127Bが位置するように配設されている。
【0082】
また、図4に示すように、吐出検査機構121は、2Fのメンテナンスルーム16内において、仕切板14の開口部14aの左右両側付近に対向状にかつヘッドメンテナンス機構123の付近に配設されている。吐出検査機構121は、Y軸方向移動駆動機構140a,140b、撮影ポジション切り替え機構141a,141b、液滴の吐出状態を撮像する撮像手段としてのCCDカメラ142と、このCCDカメラ142に投光する投光手段としてのストロボ投光器143などを有する。
【0083】
CCDカメラ142は左側に配置され、このCCDカメラ142を副走査方向(Y軸方向)に移動させるためのY軸方向移動駆動機構140aと、CCDカメラ142を主走査方向に2段階に移動させるための上下2段のエアシリンダ144からなる撮影ポジション切り替え機構141aとが配設されている。また、ストロボ投光器143は右側に配設され、このストロボ投光器143を副走査方向に移動させるためのY軸方向移動駆動機構140bと、前記と同様の上下2段のエアシリンダ144からなる撮影ポジション切り替え機構141bとが配設されている。
【0084】
次に、液滴供給装置12の構成について説明する。図1、図3、図14に示すように、インクジェット装置1のケーシング3の側面には、ヘッドホルダ51R,51G,51Bに赤,緑,青用の吐出溶液10やヘッド洗浄用のフラッシング液11を供給するための液滴供給装置12が設けられている。赤,緑,青用の吐出溶液10をそれぞれ収容した液容器152R,152G,152BがZ軸スライド機構6の昇降動作に連動して昇降するように装備され、廃液回収用容器153、フラッシング液11の容器154、バルブユニット155等も設けられている。
【0085】
また、ヘッドメンテナンス機構123の加圧パージ用のトレイ127の各凹部127R,127G,127Bにはチューブが接続され、バルブユニット155を経由して廃液回収用容器153に接続されている。また、チューブ156は、バルブユニット155を介して図示外のミスト分離用タンクへ接続されている。さらに、チューブ157,158,159,160は、バルブユニット155を介して図示外の圧縮窒素ガスラインへ接続されている。
【0086】
また、液滴供給装置12の支持フレーム161には、可動フレーム162(保持台)が設けられ、この可動フレーム162に金属ベローズ付きの電動シリンダ164のロッドの先端部が連結され、この電動シリンダ164を有する液容器昇降機構163により支持フレーム161は昇降可能に設けられている。また、3つの液容器152R,152G,152Bにおける液消費に追従して液容器152R,152G,152B内の液面の高さを基準高さ位置に維持する3つの液面位置維持機構166が設けられ、各液面位置維持機構166にはロック機構167が付設されている。
【0087】
この液面位置維持機構166は、上下方向向きに配設された円筒状のケーシング168、軸状部材169、弾性部材としての圧縮コイルバネ170、スリーブ171、及び各液容器152R,152G,152Bを保持する各保持体165R,165G,165B等で構成されている。可動フレーム162に、ケーシング168の上端部に形成されたフランジ168aが着脱可能に連結され、ケーシング168内部には、軸状部材169がケーシング168と一体的に固着されている。
【0088】
さらに、ケーシング168内部において、軸状部材169の上端部が保持体165に連結されている。ボールスプラインからなるスリーブ171はケーシング168に打ち込まれている。ケーシング168、軸状部材169、及びスリーブ171で囲われた環状空間に、圧縮コイルバネ170が備えられている。
【0089】
また、ロック機構167は、電動シリンダ164により可動フレーム162が上下動される場合、圧縮コイルバネ170による弾性支持に起因する上下動が生じないようにロックする機構であって、図示外の小型のエアシリンダとそのロッドの先端部に固着されたロック用パッドとを有する。このシリンダ本体は、ケーシング168の上半部の側面に横向きに固着され、ロッドの先端部がケーシング168内部に挿通され、ロック用パッドで軸状部材169を押圧してロック可能になっている。尚、これら液容器152R,152G,152B、廃液回収用容器153、及びフラッシング液11の容器154は、グローブボックス172に収容され、図示外のハッチを介して取り替え可能となっている。
【0090】
次に、制御装置13を含む制御系の構成について説明する。図27,図28に示すように、制御装置13のホスト制御ユニット173は、CPU173aとROM173bとRAM173cとを含むコンピュータを有し、そのROM173bにはインクジェット装置1の種々のモータや撮像機やストロボ発光器やその他の種々の機器を制御するためのCPU173aが実行する制御プログラムが記憶されている。このホスト制御ユニット173には操作パネル174と外部記憶装置175と電源回路176と、CADデータ等の入力を行うためのフロッピー(登録商標)ディスク305aの読み書きを行うフロッピー(登録商標)ディスクドライブ(FDD)305とが接続されている。外部記憶装置175には、ガラス基板4に形成する後述のドットパターンのデータや、インクジェット装置1のシステム定数、生産管理情報などが記憶されている。
【0091】
ホスト制御ユニット173は、入出力ライン177を介して、DSP(Digital Signal Processor)178、多軸送りパルス発生回路179、多軸送りパルス発生回路180、出力レジスタ181、入力レジスタ182、アライメントコントローラ183、吐出検査コントローラ184、及びローダ用インターフェース(I/F)185などに接続されている。DSP178は、信号出力回路186と駆動回路187を介して3つのインクジェットヘッド8R,8G,8Bに接続されている。DSP178は、CPUとROMとRAMを有し、そのROMにはインクジェットヘッド8を駆動してパターニングを行う吐出記録用制御プログラムが記憶されている。
【0092】
信号出力回路186には吐出記録用制御プログラムの処理に従ってDSP178から伝達される信号に基づき、タイミング調整を行って液滴吐出の信号を生成する液滴吐出信号生成回路310を有する。図29に示すように、液滴吐出信号生成回路310には、DSP178を介して伝達されるX軸リニアスケール189からの信号をもとに信号開始点,パネル数,パネル間隔,バンク数,バンクピッチ,複数回打ち回数,複数回打ちピッチの各パラメータについてカウントを行うカウンタ310a,310b,310c,310d,310e,310f,310g、ラッチ回路311及び論理回路等が設けられている。この液滴吐出信号生成回路310は、インクジェットヘッド8の各ノズル55毎に、インクジェットヘッド8の主走査時における+X方向用の回路と−X方向用の回路をそれぞれ有し、さらに、全てのノズル55に対応する数の分、それぞれ設けられている。例えば、インクジェットヘッド8R,8G,8Bがそれぞれ64個のノズル55を備えていれば、信号出力回路186には3×64×2個の液滴吐出信号生成回路310が設けられている。
【0093】
また、駆動回路187は、多数のノズル駆動用圧電素子を駆動する駆動パルスを発生させる発生回路を有する。前記の駆動パルスの波形を、インクジェットヘッド8R,8G,8Bに共通に設定することもあるし、インクジェットヘッド8R,8G,8B別に異ならせて設定する場合もあるが、前記の駆動パルスを表示させるための波形モニタ188が駆動回路187に接続されている。
【0094】
DSP178は、多軸送りパルス発生回路179にも接続され、ガラス基板4のX軸方向への移動に同期させてパターニングを行うためにX軸サーボモータ28で駆動されるX軸スライド機構20の移動量を精密に検出するX軸リニアスケール189の検出信号がアンプAMPを介してDSP178に供給されている。また、DSP178には、吐出記録用データや位相データ(吐出のタイミングを設定するデータ)を記録するデータ記憶装置190が接続され、このデータ記憶装置190はホスト制御ユニット173から供給されたデータを記憶しておき、パターニング時にはそのデータをDSP178に出力する。
【0095】
多軸送りパルス発生回路179には、ガラス基板4をX軸方向に送るX軸スライド機構20のX軸サーボモータ28のための駆動回路(X)191、Y軸スライド機構19のY軸サーボモータ31のための駆動回路(Y)192、スラント用サーボモータ82のための駆動回路(θ)193、スラント角θを検出するエンコーダ81の検出信号を増幅するアンプAMP、ヘッドホルダ51G,51Bの副走査方向位置を調整する位置調整用サーボモータ118のための駆動回路(φ)194、ヘッド保持装置7を昇降させる電動シリンダ41を駆動するZ軸スライドサーボモータ41aのための駆動回路(Z)195、及び液滴供給装置12の可動フレーム162を昇降させる電動シリンダ164のZ1スライドサーボモータ196のための駆動回路(Z1)197などが接続されている。
【0096】
ここで、X軸サーボモータ28のための駆動回路191は、X軸サーボモータ28に内蔵のX軸エンコーダ27の検出信号と、X軸リニアスケール189の検出信号とに基づいてモータ制御を行う。同様に、Y軸スライド機構19のY軸方向移動量を精密に検出するためのY軸リニアスケール198も設けられており、Y軸サーボモータ28のための駆動回路192は、Y軸サーボモータ428に内蔵のY軸エンコーダ30の検出信号と、Y軸リニアスケール198の検出信号とに基づいてモータ制御を行う。従って、X,Y軸スライド機構20,19によって、ガラス基板4をX,Y軸方向に独立に精密に移動駆動して、ガラス基板4のX,Y軸方向の位置を精密に制御できるように構成してある。
【0097】
多軸送りパルス発生回路180には、ガラス基板4を原点位置にアライメント調整するためにガラス基板4を回動させるアライメント調整用サーボモータ199のための駆動回路(α)200、吐出検査用CCDカメラ移動用サーボモータ201のための駆動回路(C)202、吐出検査用ストロボ移動用サーボモータ203のための駆動回路(S)204、ヘッドメンテナンス機構123の電動シリンダ124を駆動させるヘッドメンテナンス機構123用サーボモータ205のための駆動回路(M)206、及びヘッドメンテナンス機構123の吸取り紙巻取用サーボモータ137のための駆動回路(F)207などが接続されている。
【0098】
また、図28に示すように、ホスト制御ユニット173に接続された入出力ライン177には、液滴供給装置12のバルブユニット155の複数のソレノイドバルブ(SOL1,SOL2等)208を駆動するリレー回路209に接続された出力レジスタ181、複数の検出用スイッチ(LS1,LS2等)に接続されたI/F210に接続された入力レジスタ182、ガラス基板4のアライメント調整のための4つのCCDカメラ32a〜32dに接続されたアライメントコントローラ183、吐出検査用のCCDカメラ142とストロボ投光器143を駆動する吐出検査コントローラ184、及び外部のガラス基板4の搬送のためのローダHとの間で信号を授受するローダ用I/F185などが接続されている。尚、前記のアライメントコントローラ183には、モニタ211aやキーボード211bも接続されている。
【0099】
次に、本実施の形態のインクジェット装置1の各部の動作について、図面を参照して説明する。まず、ガラス基板4を原点位置(初期設定位置)に設定するための自動アライメント調整機構36の動作について、図面を参照して説明する。図22は、ガラス基板4と自動アライメント調整機構36の構成を示す図である。
【0100】
図22に示すように、インクジェット装置1では、基板受台21上に載置されたガラス基板4を原点位置にアライメント調整する場合、2Fのメンテナンスルーム16に装備した4つのCCDカメラ32a〜32dによりガラス基板4の4つのアライメントマークAM1〜AM4を撮像してガラス基板4の位置を検出し、その検出位置情報に基づいて、X軸,Y軸スライド機構20,19により基板受台21をX軸,Y軸方向へそれぞれ位置調整するとともに、基板受台21の下面に摩擦係合したカム片33とこのカム片33をX軸方向へ微動可能な電動シリンダ34とを含む回動調整装置35により、基板受台21を、ピン22を中心に角度(α)を調整し、ガラス基板4を原点位置にアライメント調整するようになっている。
【0101】
まず、自動アライメント調整機構36では、左右の低倍率のCCDカメラ32a,32bで大きい方のアライメントマークAM1,AM2を撮像した画像情報が制御装置13に供給される。制御装置13は、その画像情報を所定の制御プログラムで解析処理して、ガラス基板4の原点位置からのX,Y軸方向のズレ量ΔX,ΔYと、ピン22の回りの回動角ズレ量Δαを求める。そして、そのズレ量ΔX,ΔY,Δαが解消するように、制御装置13は、X,Y軸スライド機構20,19と、回動調整装置35を駆動制御してガラス基板4を原点位置に粗位置決めする。
【0102】
次に、左右の高倍率のCCDカメラ32c,32dで小さい方のアライメントマークAM3,AM4を撮像した画像情報が制御装置13に供給される。制御装置13は、前述の場合と同様に、画像情報を解析処理してガラス基板4の原点位置からのズレ量ΔX,ΔY,Δαを求め、そのズレ量ΔX,ΔY,Δαが解消するように、X,Y軸スライド機構20,19と、回動調整装置35を駆動制御して、ガラス基板4を原点位置に精密に位置決めする。従って、自動アライメント調整機構36は、ガラス基板4の厚さやサイズが変化した場合にも、ガラス基板4を原点位置に精密に確実に位置決めすることができる。
【0103】
次に、検査調整装置9の動作について説明する。まず、検査調整装置9のヘッドメンテナンス機構123の各部の動作について説明する。図23に示すように、紙送り駆動機構126は、電動シリンダ124が可動テーブル129を待機位置(吸取り紙巻取り位置)に移動駆動し、スライド駆動用エアシリンダ139が吸取り紙巻取用サーボモータ137の出力軸137aを駆動力伝達位置に切り換え、吸取り紙巻取用サーボモータ137の回転駆動力を駆動ローラ130の入力軸に伝達し、吸取り紙136を矢印Dの方向に紙送りを行う。
【0104】
また、加圧パージ用のトレイ127は、その上方に相対移動された3つのインクジェットヘッド8R,8G,8Bを3つの凹部127R,127G,127Bに対向させ、3つのインクジェットヘッド8R,8G,8Bに液滴供給装置12からフラッシング液11を供給してノズル55から吐出させ、その廃液を吸引することでノズル55を洗浄する。
【0105】
吐出検査が行われる場合には、インクジェットヘッド8R,8G,8Bを凹部127R,127G,127Bの上方に相対移動させたうえで、インクジェットヘッド8R,8G,8Bそれぞれに対して行われる。従って、吐出検査機構121による吐出検査の場合に、インクジェットヘッド8から吐出される液滴は、飛散することなく回収される。3つのインクジェットヘッド8R,8G,8Bはゴムパッド128R,128G,128Bの上方に相対移動され、インクジェット装置1が休止中のときに、3つのインクジェットヘッド8R,8G,8Bは、3つのゴムパッド128R,128G,128Bでそれぞれキャップされ、ノズル55の乾燥が防止されるようになっている。
【0106】
次に、検査調整装置9の吐出検査機構121の動作について、図面を参照して説明する。図19は、吐出検査機構121の構成を示す図である。図20は、吐出検査機構121のCCDカメラ142の撮像領域を示す図である。図21は、観測窓151と、表示される液滴を示す図である。図19に示すように、3つのインクジェットヘッド8R,8G,8Bの吐出状況の検査は各インクジェットヘッド8毎に実行されるが、各インクジェットヘッド8にはそれぞれ64個のノズル55が副走査方向(Y軸方向)に一列に形成されており(図12参照)、No.1〜No.16ノズルを第1群のノズル、No.17〜No.32ノズルを第2群のノズル、No.33〜No.48ノズルを第3群のノズル、No49〜No64ノズルを第4群のノズルとして、16個のノズルを一群とするノズル群別に吐出検査が行われる。この場合、CCDカメラ142とストロボ投光器143が副走査方向の初期位置に設定され、第1群のNo.1〜No.16ノズルの吐出状態が検査され、次にCCDカメラ142とストロボ投光器143が前方へ移動されて、第2群のNo.17〜No.32ノズルの吐出状態が検査され、以下同様に、第3群、第4群のノズルの吐出検査が行われる。
【0107】
Y軸方向移動駆動機構140a,140bは、それぞれCCDカメラ142,ストロボ投光器143を副走査方向(Y軸方向)へノズル16個分の距離ずつ移動駆動するための機構である。また、インクジェットヘッド8R,8G,8Bのノズル55の吐出検査を同一条件で行うために、常にCCDカメラ142とストロボ投光器143間の中間位置に液滴を吐出させて撮像が行われる。そのため、3つのインクジェットヘッド8R,8G,8Bのうち検査対象のインクジェットヘッドに応じて、撮影ポジション切り替え機構141a,141bが、CCDカメラ142、ストロボ投光器143をX軸方向の3段階に位置切り換えることが可能となっている。
【0108】
インクジェットヘッド8Rを検査する場合、左側の撮影ポジション切り替え機構141aでは、2段のエアシリンダ144が最大限伸張され、右側の撮影ポジション切り替え機構141bでは、2段のエアシリンダ144が最も収縮される。また、インクジェットヘッド8Gを検査する場合、左側の撮影ポジション切り替え機構141aでは、2段のエアシリンダのうちの1つのみが収縮され、右側の撮影ポジション切り替え機構141bでは、2段のエアシリンダの内の1つのみが伸張される。さらに、インクジェットヘッド8Bを検査する場合、左側の撮影ポジション切り替え機構141bでは、2段のエアシリンダが最大限伸張される。このように、吐出検査機構121は、撮影ポジション切り替え機構141a,141bにより、検査対象のインクジェットヘッド8に対するCCDカメラ142とストロボ投光器143との相対位置を常に一定に保持した状態で撮像することができるので、吐出検査の信頼性を高めることができる。
【0109】
次に、吐出検査機構121による吐出検査の詳細について説明する。前述のように、ノズル55からの吐出状況を検査する吐出検査はインクジェットヘッド8別に行われ、各インクジェットヘッド8のノズル群別に行われる。さらに、吐出検査機構121は、ヘッド保持装置7をZ軸スライド機構6の出力部材40に装備したままヘッド保持装置7を2Fの検査調整ステージ44、すなわち上昇位置へ上昇させれば吐出検査を行うことができるので、この吐出検査機構121による吐出検査は、ガラス基板4へのパターンを形成する処理の停止時間中に実行されるようになっている。このため、インクジェット装置1の稼働率を格段に高めることができる。
【0110】
ここで、吐出検査時にノズル55の吐出の良否を判定する技術について説明する。図20に示すように、CCDカメラ142の撮像領域PA(約6.5×5mm)に、16個のノズル55に対応する16個の観測窓151が副走査方向(Y軸方向)に一定間隔おきに設定され、図21に示すように、各観測窓151はノズル55の下端から下方向きに約1.5mmの位置に設定され、縦60画素、横10画素の矩形状になっている。
【0111】
ノズル群の16個のノズル55から液滴を、例えば速度約7m/sでそれぞれ吐出させ、観測窓151に撮像される液滴を撮影する。このとき、CCDカメラ142のシャッタースピードは、例えば約0.1ms、ストロボ発光時間は約1μsとする。こうして撮像した画像信号が制御装置13に供給され、所定の画像処理プログラムにより画像処理される。この画像処理において、例えばインクジェットヘッド8からの液滴の画像の大部分が観測窓151に入っていれば正常と判定され、観測窓151から外れていれば異常と判定される。吐出異常の原因としては、吐出速度の異常、不吐出、ノズル表面への異物(主にELポリマーが凝着)堆積等が考えられる。
【0112】
次に、インクジェットヘッド8の傾斜回動、すなわちスラントの動作、及び吐出の動作について、図面を参照して説明する。図13は、ランク付けしたノズル間寸法誤差と中心誤差を示す図表である。図15は、4節平行リンク機構49とインクジェットヘッド8の初期位置における状態の構成図である。図16は、4節平行リンク機構49とインクジェットヘッド8をスラントさせた状態の構成図である。図18は、吐出されるR,G,Bそれぞれの液滴のドット配置例を示す図である。図25は、インクジェットヘッド8を1走査分ずつ移動させてパターンを形成する移動経路を示す図である。図26は、インクジェットヘッド8を1走査分毎にインターレースを行ってパターンを形成する移動経路を示す図である。
【0113】
まず、図7〜図9に示すように、Z軸スライド機構6に支持されたヘッド保持装置7において、4節平行リンク機構49をスラントさせるための回動駆動機構80のスラント用サーボモータ82の出力軸82aが回動すると、レバー部材83を介して回動力入力軸84に回動力が伝達される。すると、第2リンク部材57bが、出力軸82aの回動角と同角度だけスラントし、4節平行リンク機構49の一対の第2リンク部材57a,57bと3つのヘッドホルダ51が連動して前記と同角度だけスラントする。
【0114】
エンコーダ81は、この回動駆動機構80によって回動された4節平行リンク機構49のスラント量を検出する。図15に示すように、4節平行リンク機構49がスラントされていない場合、ヘッドホルダ51R,51G,51Bは、副走査方向(Y軸方向)に平行に支持されている。このとき、すなわち初期状態において、アーム95の中心線は副走査方向に向いている。次に、図16に示すように、4節平行リンク機構49が一対の回動支点50a,50bを中心として時計回り方向へスラントされると、第1リンク部材56bが右方向へ移動するため、エンコーダ81はスラント量を検出することができる。すなわち、4節平行リンク機構49がスラントするとき、アーム95は一対の第2リンク部材57a,57bと平行にスラントするので、エンコーダ81は、4節平行リンク機構49のスラント角θを精密に検出することができる。
【0115】
こうして、第2リンク部材57a,57bと3つのヘッドホルダ51R,51G,51Bがスラントする場合に、副走査方向に対するインクジェットヘッド8の検出したスラント角θをフィードバックしながら所望のスラント角となるようにスラント用サーボモータ82の回動角を制御する。制御装置13は、パターン形成の解像度、すなわち副走査方向における所望のドットピッチに基づいて、回動駆動機構80によるインクジェットヘッド8の回動角を制御する。
【0116】
また、所望される吐出パターンによって、赤,緑,青の各色のそれぞれの吐出位置にズレを必要とする場合、移動機構53a,53bによってインクジェットヘッド8G,8Bの副走査方向の位置を調整することで対応することができる。図4に示す、位置調整駆動機構113のスピンドル108を、図11に示す、凹部103内に突入させれば、後側のローラ部材102はローラ用の付勢手段(圧縮コイルバネ106はその一例)に抗して前方側に移動される。また、スピンドル108を凹部103から退出させれば、後側のローラ部材102はローラ用の付勢手段によりスピンドル先端に追従して後方移動される。このとき、前側のローラ部材102もリンク部材56aの凹部103内を前後方向に移動する。そして、前側後側のローラ部材102は、それぞれ案内面104に沿って前後移動されるため、ヘッドホルダ51Bは4節平行リンク機構49の回動付勢にかかわらず、副走査方向(Y軸方向)へ移動される。また、ヘッドホルダ51Gも同様に、4節平行リンク機構49の回動付勢にかかわらず、副走査方向へ移動される。ヘッドホルダ51Rは副走査方向へ移動不能となっているが、ヘッドホルダ51G,51Bがそれぞれ独立に副走査方向へ移動されることで、ヘッドホルダ51Rは相対的に副走査方向へ移動されたのと同様の効果となる。
【0117】
ヘッド保持装置7に装備した3つのインクジェットヘッド8は、所定の複数色で発光するEL発光層を吐出形成するための前記複数色用の液滴をそれぞれ吐出する。本実施の形態では、3つのインクジェットヘッド8は、フルカラーのEL発光層を吐出形成するためのR(赤),G(緑),B(青)用の液滴をそれぞれ吐出するインクジェットヘッド8R,8G,8Bであり、後述の液滴供給装置12(図14参照)からチューブを介して3種類の液滴が対応するインクジェットヘッド8R,8G,8Bにそれぞれ供給され、複数のノズル55から液滴を吐出可能になっている。
【0118】
例えば、図18(a)〜(f)は、EL発光層における1組の画素を構成するR,G,Bのドットの配置の一例を示すものであり、Rドットに対してGドットまたはBドットのみが副走査方向へシフトする場合があるし、Rドットに対してGドットとBドットの両方が副走査方向にシフトする場合があるので、前記のようにインクジェットヘッド8G,8Bをそれぞれ副走査方向へ位置調整可能にしてある。
【0119】
また、図12,図13に示すように、インクジェットヘッド8における前後両端のノズル間寸法Lの設計理論値に対するノズル間寸法誤差は、ランク1,2,3,4,5の5段階にランク付けされ、1つのインクジェットヘッド8R,8G,8Bをノズル間寸法誤差が同ランクのインクジェットヘッド8で構成している。そして、0〜60度の範囲から何れかの回動角だけ、回動駆動機構80により4節平行リンク機構49をスラントさせる場合には、3つのインクジェットヘッド8R,8G,8Bのノズル間寸法誤差にランクにおける中心誤差に基づいてスラント角θに補正を施すようになっている。
【0120】
4節平行リンク機構49をスラントさせるスラント角を演算する場合、ランク1〜5に中心誤差(+10,+5,0,−5,−10)のうちの対応する1つの中心誤差を用いてスラント角θを補正する補正処理を施す補正処理用プログラムが、制御装置13にあらかじめ記憶されている。ただし、ノズル間寸法誤差の代わりに、隣接するノズル同士の間隔の誤差(つまり、前記の誤差をノズル間間隔数で割った値)を採用してもよい。
【0121】
次に、このインクジェット装置1により種々の記録解像度(吐出解像度)にてガラス基板4にR,G,Bのドットパターンのパターニングを行う制御について説明する。尚、この制御は制御装置13のホスト制御ユニット173により実行される。例えば、各インクジェットヘッド8に一列状のノズル55の副走査方向のノズル間隔が75dpiであるとすると、1インチは約25.4mmであるので、そのノズル間隔Pは、P=(25.4/75)mmである。そして、回動駆動機構80により4節平行リンク機構49の一対の第2リンク部材57a,57bと3つのヘッドホルダ51を、副走査方向に対して角度θだけ、図16に示すようにスラントさせた場合には、副走査方向のノズル間隔PθはP×cosθとなるので、角度θを0〜60度の範囲で変化させることで、ノズル間隔をP×(1.0)〜P×(0.5)の範囲で連続的に小さくすることができる。
【0122】
例えば、副走査方向の所望の解像度、すなわちドットピッチが75〜150dpiの場合(図24,図25参照)、インクジェットヘッド8のスラント角θを0〜60度の範囲内で副走査方向に所望のdpiとなる角度に設定し、1走査分、主走査方向に吐出を行う毎に、ガラス基板4を64×P×cosθだけ後方(副走査方向と反対方向)へステップ送りする。例えば、75dpiのときはθ=0°、150dpiのときはθ=60°となる。
【0123】
また、副走査方向の所望のドットピッチが150〜300dpiの場合(図26参照)、例えばドットピッチが150dpiの場合のパターニングは、ドットピッチを75dpiとしたパターニング後に、1点鎖線で図示するように、ヘッドホルダ51をドットピッチの半分の距離だけ副走査方向にずらし、インターレースでパターニングを行うことで達成できる。従って、インクジェットヘッド8のスラント角θを前記と同様に0〜60度の範囲内で副走査方向へ所望のdpiの半分のdpiとなる角度に設定し、1走査分、主走査方向に吐出記録後、ガラス基板4を0.5×P×cosθだけ後方へ微動送りをして1走査分、吐出記録し、次に63.5×P×cosθだけガラス基板4を後方へステップ送りする。例えば、150dpiのときはθ=0°、300dpiのときはθ=60°となる。
【0124】
また、副走査方向の所望のドットピッチが37.5〜75dpiの場合、インクジェットヘッド8のスラント角θを0〜60度の範囲内で副走査方向へ所望の解像度の2倍の解像度となる角度に設定し、例えば、No.1,3,5・・・の奇数ノズルのみに吐出させ、1走査分、主走査方向に吐出記録後、64×P×cosθだけ後方へステップ送りする。例えば、37.5dpiのときはθ=0°、75dpiのときはθ=60°となる。
【0125】
尚、上記は解像度設定の数例を示すものに過ぎず、インターレースをさらに細かく行うことにより、225〜450dpi、300〜600dpiの解像度、またはその他の解像度で吐出記録することも可能である。このように、回動駆動機構80は、制御装置13の制御に基づいてインクジェットヘッド8の回動角を0〜60度の範囲内で制御することができる。
【0126】
ここで、ノズル間隔の制作誤差をスラント角θにより補正する補正制御について説明する。尚、この制御は制御装置13のホスト制御ユニット173により実行される。隣接するノズル間のノズル間隔をP0、ノズル数をnとすると、前後両端のノズル間寸法L0は次式で表される。
L0=P0・(n−1)
前後両端のノズル間寸法をLとすると、その誤差ΔLは、
ΔL=(L−L0)
となる。製作された複数のインクジェットヘッド8のノズル間寸法Lがそれぞれ測定され、図13に示す、ノズル間寸法誤差のランク1〜5のいずれかに分類される。
【0127】
吐出記録を行う目標の副走査方向における解像度をR、スラント角をθ、ノズル間隔をP1とすると、ノズル間隔は次式で表される。
P1=L/(n−1)=(ΔL+L0)/(n−1)
=[ΔL+P0・(n−1)]/(n−1)=ΔL/(n−1)+P0
スラント角θのときの副走査方向のノズル間隔はP1・cosθであるから、
25.4/R=P1・cosθ=[ΔL/(n−1)+P0]・cosθ
θ=cos−1(25.4/R)/[ΔL/(n−1)+P0]
【0128】
つまり、スラント角θは解像度Rにより理論上は演算決定できるが、実際にはノズル間隔の誤差の存在によりΔθだけ余分に回動されることとなる。スラントに先立って解像度とノズル間隔の誤差を指定すれば、実際のスラント角θ’が演算される。ノズル間隔の誤差の指定方法としては、複数のインクジェットヘッドのノズル間隔の誤差が全て同一であれば、その値を直接指定してもよい。一般的には、複数のインクジェットヘッドが全く同じノズル間隔の誤差になる場合は少なく、かつノズル間隔の誤差を管理する際にはピッチ誤差を複数(例えば、5つ)に範囲分けしてそれぞれをランク分けすれば管理しやすい。このため、ランク毎のノズル間隔の誤差の上限値と下限値とからランク毎に誤差中心値が求まるので、この誤差中心値(中心誤差)をノズル間隔の誤差として指定してもよい。こうすれば、多数のインクジェットヘッドの中から、同じ誤差ランクのインクジェットヘッドを使用し、解像度と中心誤差とから実際の回動角を求めれば、おおむね正確な補正が行えるのである。
【0129】
上式により、0≦θ≦60°、すなわち0.5≦cosθ≦1を満たす範囲内でスラント角θだけスラントさせることにより、ノズル間隔の誤差を解消するように補正することができる。ただし、P1・cosθ=25.4/R=P0のとき、本来θ=0°でよいはずであるが、ノズル間寸法Lが短い場合には、P1≦P0となり、cosθ≧1となって、P1・cosθ=25.4/R=P0が成立しない。また、25.4/R=P0/2のとき、本来θ=60°でよいはずであるが、ノズル間寸法Lが長い場合には、P0≦P1となり、cosθ≦0.5となって、25.4/R=P0/2=P1・cosθが成立しない。この場合には、スラント角θを0°付近に戻し、インターレースを1走査分入れて吐出記録することになる。
【0130】
ところで、図24に示すように、ガラス基板4上には吐出される各色の液滴が混合されないように仕切るための複数のバンク300と、この複数のバンク300が整列され形成されたパネル301が設けられている。本発明において上記解像度は、副走査方向(Y軸方向)におけるそれぞれのバンク300の間の距離(バンクピッチ)に相当する。また、パネル301が、本発明における吐出作業エリアである。
【0131】
次にパターニングを行う場合のインクジェットヘッド8とガラス基板4との相対移動、及び液滴の吐出の動作について、図27,図29を参照して説明する。尚、液滴吐出信号生成回路310は全てのノズル55について、また±X軸方向用にそれぞれ独立に設けられており、各ノズル55のそれぞれの動作は同様であるので、以降の動作はインクジェットヘッド8Rの基準ノズル55の+方向用の液滴吐出信号生成回路310について説明する。
【0132】
図27,図29に示すように、インクジェット装置1でパターニングが行われる場合、まず、後述の図27のS1において入力された各データに基づいて、カウンタ310a〜gに設定値がそれぞれ書き込まれる。そして、前述の自動アライメント調整機構36によるアライメント調整が完了する、すなわち印刷開始の基準位置に基準ノズル55が位置すると、DSP178からリセット信号が伝達され、各カウンタ310a〜gのリセットが行われる。
【0133】
次に、パターニングが開始されると、ホスト制御ユニット173のCPU173aは、駆動回路191,192に信号を伝達し、それぞれX,Y軸サーボモータ28,31を駆動する駆動電圧を発生させる。ROM173bに記憶されたパターニングのためのプログラムに従ってX,Y軸サーボモータ28,31が駆動されることで、ガラス基板4はインクジェットヘッド8に対して主走査方向及び副走査方向へ相対移動される。
【0134】
まず、ガラス基板4は、+X方向に相対移動される。そして、ガラス基板4を吸着した基板受台21のX軸方向の移動を検出するX軸リニアスケール189からのリニアスケール信号に基づいて、印刷開始点カウンタ310aのカウントが開始される。そして、リニアスケール信号のカウント方向が+方向であり、かつカウンタ310aがカウントアップしてカウンタ310aの設定値とカウントしたカウント値が同じとなると、すなわち印刷を主走査方向における一番最初のバンク300(以下、「1のバンク300」とする。)内の一番最初の吐出位置に基準ノズル55が位置すると、カウンタ310aから信号が出力されることで液滴吐出信号生成回路310から最初の液滴吐出信号が出力され、基準ノズル55から最初の吐出位置に液滴が吐出される。同時にカウンタ310aの出力信号はラッチ回路311でラッチされ、ラッチ信号が継続的に出力されるようになる。このラッチ信号とリニアスケール信号とのANDが成立することで、パネル間隔カウンタ310c,バンクピッチカウンタ310e,複数回打ちピッチカウンタ310gにリニアスケール信号が伝達されるようになり、カウンタ310c,310e,310gのカウントが開始される。
【0135】
そして、複数回打ちピッチカウンタ310gがカウントアップする毎、すなわち1のバンク300内における複数の吐出位置に基準ノズル55が移動される毎に、液滴吐出信号生成回路310から液滴吐出信号が出力される。同時に複数回打ち回数カウンタ310fのカウントが開始され、310gのカウントアップ毎にカウンタ値が1インクリメントされ、カウンタ310fがカウントアップするまで、すなわち1つのバンク内における所望の吐出位置の数の分のカウントがなされるまで、カウンタ310gのカウントアップにともなう液滴の吐出が繰り返される。そして、カウンタ310fがカウントアップされると、カウンタ310gのカウントが停止される。尚、カウンタ310gの設定値を0とすれば、310gがカウントアップされないので、1のバンク300内における液滴の吐出は初回の1回のみとなる。
【0136】
また、バンクピッチカウンタ310eがカウントアップする毎に、すなわち1のバンク300内の最初の吐出位置から次のバンク300(以下、「2のバンク300」とする。)の最初の吐出位置に基準ノズル55が移動される毎に、液滴吐出信号生成回路310から液滴吐出信号が出力される。同時にカウンタ310f,310gがリセットされることによって、前記と同様に2のバンク300内における液滴の吐出が行われる。さらに、同時に、バンク数カウンタ310dのカウントが開始され、310eのカウントアップ毎にカウンタ値が1インクリメントされ、カウンタ310dがカウントアップするまで、すなわち1つのパネル301内におけるバンク300の数の分のカウントがなされるまで、カウンタ310dのカウントアップ毎に基準ノズル55が次のバンク300に移動され、それぞれのバンク300内での液滴の吐出が繰り返される。そして、カウンタ310dがカウントアップされると、すなわち1つのパネル301内の全てのバンク300に対する液滴の吐出が完了すると、カウンタ310e,310gのカウントが停止される。
【0137】
さらに、パネル間隔カウンタ310cがカウントアップする毎に、すなわち最初のパネル301内の1のバンク300内の最初の吐出位置から、次のパネル301内の1のバンク300内の最初の吐出位置に基準ノズル55が移動される毎に、液滴吐出信号生成回路310から液滴吐出信号が出力される。同時にカウンタ310d〜310gがリセットされることによって、前記と同様に次のパネル301内の1のバンク300内における液滴の吐出が行われる。さらに、同時に、パネル数カウンタ310bのカウントが開始され、310cのカウントアップ毎にカウンタ値が1インクリメントされ、カウンタ310bがカウントアップするまで、すなわちガラス基板4のパネル301の数の分のカウントがなされるまで、ガラス基板4に対する基準ノズル55からの液滴の吐出が継続される。そして、カウンタ310bがカウントアップされると、すなわちガラス基板4の主走査方向への1走査分の液滴の吐出が完了すると、カウンタ310c,310e,310gのカウントが停止される。
【0138】
そして、往復印刷が行われる場合、すなわち−X方向へのインクジェットヘッド8の移動時の印刷が行われる場合には、−方向用の液滴吐出信号生成回路310によって前記と同様の基準ノズル55からの液滴の吐出が行われる。また、1回の液滴の吐出のタイミングにおいて複数回液滴が吐出される場合には、DSP178のCPUが、液滴吐出信号生成回路310から出力されたそれぞれの信号に対し設定された回数分の液滴が吐出されるように制御を行うようになっている。また、基準ノズル55の1走査において、液滴の吐出を行う位置と行わない位置とがある場合、DSP178のCPUが、後述の図27のS1において入力され、データ記憶装置190に記憶された液滴吐出のパターンのデータに基づいて、液滴吐出信号生成回路310に発生された液滴吐出信号のON,OFFを行うようになっている。
【0139】
このように、各カウンタ310a〜310gのカウントアップが完了すると、カウンタ310aを除くカウンタ310b〜310gにリセット信号が伝達され、基準ノズル55は、DSP178のCPUの制御に従って−Y方向に相対移動される。相対移動距離は、後述の図27のS1において入力される副走査方向(Y軸方向)における各バンク300,各パネル301の数や距離のデータに基づいてDSP178のCPUに制御される。
【0140】
尚、液滴吐出信号生成回路310で発生され、液滴吐出パターンのデータや複数回吐出のためのデータとマージされ、信号出力回路186から出力された液滴吐出信号が、駆動回路187に伝達されると、駆動回路187は、液滴吐出信号が伝達される毎に、データ記憶装置190に記憶されている基準ノズル55の駆動のための駆動波形にあわせ、基準ノズル55の圧電アクチュエータ(図示外)を駆動するための駆動電圧を発生してインクジェットヘッド8Rの基準ノズル55に印加する。基準ノズル55の圧電アクチュエータが駆動波形にあわせて変化される駆動電圧に従って駆動され、基準ノズル55から液滴が吐出される。そして、全てのノズル55に対して同様の処理が行われ、液滴の吐出が行われることで、インクジェット装置1によるガラス基板4へのパターニングが行われる。
【0141】
次に、液滴供給装置12の動作について、図14を参照して説明する。インクジェット装置1では、ガラス基板4への吐出が行われる場合、液容器152R,152G,152Bの吐出溶液10が、バルブユニット155等を経由してインクジェットヘッド8R,8G,8Bへ供給され、各ヘッドホルダ51R,51G,51Bの複数のノズル55から液滴が吐出される。また、インクジェットヘッド8の洗浄が行われる場合には、フラッシング液11の容器154の溶剤もバルブユニット155等を経由してインクジェットヘッド8R,8G,8Bへ供給され、複数のノズル55から加圧パージが行われる。廃液は、これらチューブから負圧によって吸引され、バルブユニット155を経由して廃液回収用容器153に回収される。尚、前記負圧は、図示外の真空ポンプあるいはエジェクタ等により発生され、その排気は工場の有機排気ダクトへ放出される。
【0142】
また、液容器昇降機構163は、Z軸スライド機構6の昇降作動に連動して電動シリンダ164を昇降作動させ、液容器152R,152G,152Bを保持する保持体165R,165G,165Bを液容器152R,152G,152Bの液面がインクジェットヘッド8R,8G,8Bの高さ位置に対して所定の高さ関係となるように昇降させる。
【0143】
さらに、各液面位置維持機構166により、各液容器152R,152G,152Bの液面の高さがノズル位置よりも低くなる基準高さ位置(例えば50mm)に常に補正される。すなわち、圧縮コイルバネ170により吐出溶液10を収容した液容器152と保持体165が弾性支持されて、液面の高さが一定に保持される。液消費に追従して液面レベルが下がると、その分圧縮コイルバネ170により液容器152と保持体165を押し上げられて補正が行われる。
【0144】
次に、本実施の形態のインクジェット装置1でガラス基板4に吐出記録を行い有機ELディスプレイのEL基板の生産を行う場合の印刷動作の詳細について、図30,図31に示すフローチャートに従って説明する。図30,図31は、インクジェット装置1で有機ELディスプレイのEL基板の生産を行う処理のフローチャートである。以下、フローチャートの各ステップを「S」略記する。
【0145】
図30,図31に示すように、インクジェット装置1では、まず、インクジェット装置1を駆動するための「各種データの入力」が行われる(S1)。入力は、図27に示す、操作パネル174から、例えば対話形式によって行われ、入力されたデータは、外部記憶装置175の所定の記憶エリアに記憶される。また、例えばガラス基板4の設計のCADデータ等から必要なデータ等が入力されるようにすることも可能である。この場合、CADデータがフロッピー(登録商標)ディスク305aに保存され、FDD305を介してホスト制御ユニット173のRAM173cの所定の記憶エリアに転送され記憶される。CPU173aが、ROM173bに記憶されたデータ解析プログラムに従ってこのCADデータを解析し、必要なデータを抽出して外部記憶装置175の所定の記憶エリアに記憶させ、以降の処理において利用する。
【0146】
まず、各インクジェットヘッド8について、ガラス基板4のアライメントマークから印刷開始点までの距離のデータである印刷開始点データと、テスト印刷が行われた場合にその結果と前記印刷開始点データとのズレが生じた場合に補正するための印刷開始点補正データと、X軸,Y軸方向において同色の隣り合うドットのピッチを入力するX,Y軸ドットピッチデータと、X軸,Y軸方向において印刷されるドット数を入力するX,Y軸ドット数データとが入力される。
【0147】
また、ガラス基板4のX軸,Y軸方向におけるX,Y軸パネル間ピッチデータが入力される。パネル間ピッチデータとは、ガラス基板4上に吐出される各色の液滴が混合されないように仕切るための複数のバンク300が整列されて形成されたパネル301(図24参照)同士の間の距離のデータである。さらに、X軸,Y軸方向におけるそれぞれのパネルの数のデータ、印刷されないパネルがあればその印刷されないパネルを指定するためのデータが入力される。
【0148】
そして、ヘッドの位置の情報が入力される。すなわち、基準ヘッドであるインクジェットヘッド8Rのノズル55のうち基準ノズルであるNo.1のノズル55と、カメラ32a〜32dのうち基準となる所定のカメラで撮影された画像の中心位置との位置関係の情報である。また、3色の液滴のうち、吐出されないものがあれば、それに対応するインクジェットヘッド8R,8G,8Bを動作させないためのデータも入力される。さらに、ノズル間隔のデータ、インクジェットヘッド8R,8G,8Bのそれぞれの間隔のデータも入力される。これらデータは、それぞれのインクジェットヘッド8R,8G,8Bがもつ個体差を補正して、インクジェットヘッド8が交換された場合でも同じ吐出結果が得られるようにするためのデータである。また、ギャップデータ、すなわちインクジェットヘッド8のノズル55の設けられた側の面とガラス基板4の上面との間の間隔のデータが入力される。さらに、インクジェットヘッド8Rを基準としてヘッドのスラントを行った場合に、図18に示す、R,G,Bのドットの配置パターンに適合させて吐出記録が行われるように、インクジェットヘッド8G,8Bそれぞれを副走査方向(Y軸方向)へずらすためのデータ(位置調整駆動機構113を駆動させるためのデータ)も入力される。
【0149】
また、主走査方向(X軸方向)において、印刷を一方向(+X方向または−X方向)のみについて行うか、往復方向(±X方向)について行うかを指定するデータや、往復印刷時における着弾誤差のデータが入力される。往復印刷が行われる場合、基板受台21の移動速度、インクジェットヘッド8とガラス基板4とのギャップ、ノズル55から吐出される液滴の吐き出しの速度などによって、+X方向と−X方向の印刷時に誤差が生じる。この誤差について、テスト印刷等の結果に基づく着弾誤差のデータが入力される。
【0150】
さらに、印刷が行われる場合の駆動周波数のデータが入力される。このデータは、吐出記録を行う速度を初期値と変更する場合に入力され、駆動周波数が高いほど高速に印刷を行うことができる。しかし、駆動周波数が高くなればノズル55とガラス基板4との間の相対速度も速くなり、ガラス基板4に液滴が着弾する際の衝突速度が大きくなるので、吐出される液滴の量が多いと着弾時に飛散する場合がある。従って、安定した液滴の吐出が行われるために、このデータに基づいて吐出される液滴の量も調整される。
【0151】
また、1つのバンク300内に複数回液滴を吐出させる場合の、その方法や回数を指定するためのデータが入力される。1つのバンク内で1つのノズル55から複数回の液滴の吐出が行われてからノズル55が相対移動されるか、それとも1つのバンク内に複数回の液滴の吐出が行われるため同じ走査線上をその回数分インクジェットヘッド8を走査させるか、また、1つのバンク内においてノズル55を主走査、あるいは副走査方向に微少移動させ、液滴の吐出される位置をずらして吐出記録を行うか、などを指定するためのデータが入力される。さらに、インクジェットヘッド8の1走査時において、液滴の吐出を行う位置と行わない位置とがある場合のための液滴吐出のパターンのデータも入力される。
【0152】
そして、フラッシングに関するデータも入力される。フラッシングとは、インクジェットヘッド8が主走査方向(X軸方向)に印刷を行った場合、基板受台21に設けられたトレイ21aの位置で、ノズル55から液滴を吐出する、いわゆる「捨て打ち」を行って、インクジェットヘッド8のリフレッシュを行う動作である。インクジェットヘッド8からの液滴の吐出は常に全てのノズル55から行われているとは限らず、このフラッシングが行われることによって、しばらく使用されないノズル55の吐出状態が劣化しないように、定期的に全てのノズル55から液滴の吐出を行わせる機会が与えられる。従って、パターニングの処理に先立って行うフラッシング動作において液滴を吐出させる回数、パターニング中にフラッシング動作を行うためのインクジェットヘッド8の走査回数、及びその場合の液滴吐出回数に関するデータが入力される。また、2つのトレイ21aのそれぞれについて使用するか否かに関するデータ、及びフラッシングを行う場合にインクジェットヘッド8と基板受台21との相対位置に関するデータも入力される。
【0153】
その他、後述のノズル55の代替可否の条件に関するデータ、印刷時の温度等の条件によってガラス基板4が伸縮しても同一の印刷結果を得られるようにするためのガラス基板4の伸縮率に関するデータ、前述のギャップを調整するためのガラス基板4の厚みのデータ、及び生産する有機ELディスプレイのEL基板の生産個数のデータなどが入力される。
【0154】
各種データの入力が完了すると、「ヘッド情報の演算」が行われる(S2)。入力されたY軸方向の各色のドットピッチデータに基づいて各ノズル55のノズル間隔の調整を行うため、前述のようにスラント角θの演算が行われる。そして、S1で入力された各種データやS2で演算されたスラント角θのデータは、外部記憶装置175の所定の記憶エリアに記憶される。このS1、S2のステップはガラス基板4のロット変更時などに行われ、ガラス基板4のロットの変更が行われない場合は、以降のS3〜S68の処理が繰り返されて、EL基板の連続的な生産が行われる。
【0155】
次に、インクジェット装置1では、ケーシング3の背面の搬入出ゲート(図示外)より挿入された搬送ローダHによる、「ガラス基板4の装てん」が行われる(S3)。ガラス基板4が、搬送ローダHによって図示外の外部システムから待機位置(図2で示す2点鎖線部分)に搬送され、基板受台21に設けられた基板リフト機構23がリフトバー23aを上昇させ、突出された4つのリフトバー23aの上にガラス基板4が載置される。次に、「搬送ローダHの退避」が行われ(S4)、搬送ローダHがケーシング3から+Y軸方向に退避させられる。そして、搬送ローダHの挿入口である「搬入出ゲートの閉鎖」が行われ、ケーシング3は密閉状態となる(S5)。さらに、基板リフト機構23のエアシリンダが動作され、「リフトバー23aの下降」が行われた後(S6)、基板受台21に密着したガラス基板4に負圧が作用され、「ガラス基板4の吸着」が行われることによって、ガラス基板4は基板受台21に固定される(S7)。
【0156】
次に、低倍率のCCDカメラ32a,32bで大きい方のアライメントマークAM1,AM2を撮像し、その画像情報に基づいてガラス基板4の粗位置調整が行われる「第1自動アライメント調整」が実行され(S8)、その後、高倍率のCCDカメラ32c,32dで小さい方のアライメントマークAM3,AM4を撮像し、その画像情報に基づいてガラス基板4の精密な位置調整が行われる「第2自動アライメント調整」が実行される(S9)。S6,S7の処理によって、前述のようにガラス基板4が原点位置に精密にセットされることになる。
【0157】
次に、インクジェットヘッド8がヘッドメンテナンス機構123のゴムパッド128から離隔されることで「ヘッドのキャップの解放」が行われ、ノズル55が露出される(S20)。また、S22で行われるヘッドのメンテナンスにおいて異常が発生した場合の反復処理の回数がセットされる。すなわち、ホスト制御ユニット173のCPU173aは、「パージ回数nに「3」を設定」して、制御装置13のホスト制御ユニット173のRAM173cの所定の記憶エリアに記憶する(S21)。
【0158】
そして、ヘッドメンテナンス機構123による「ヘッドのメンテナンス」が行われる(S22)。前述のように、検査調整装置9のヘッドメンテナンス機構123によってインクジェットヘッド8のメンテナンスが実行される。そして、吐出検査機構121によって、「吐出は正常か?」の検査が行われる(S23)。吐出検査機構121では、インクジェットヘッド8R,8G,8Bの各ノズル55からの液滴の吐出状況をCCDカメラ142で撮像し、制御装置13のホスト制御ユニット173における画像処理によって吐出が正常に行われているかが判断される。ホスト制御ユニット173で吐出が正常に行われていないノズル55があると判断された場合(S23:NO)、CPU173aはRAM173cの所定の記憶エリアに記憶したパージ回数の減算、すなわち「パージ回数n−1」を行い(S24)、「n=0か?」の判断を行う(S25)。
【0159】
パージ回数nが0でない場合(S25:NO)、CPU173aは、S22の処理に戻り、インクジェットヘッド8のメンテナンスを再度行い、吐出状態の正常化を図る。また、パージ回数nが0である場合(S25:YES)、CPU173aは、インクジェットヘッド8の不吐出ノズル55の吐出状態の回復が不可能であると判断し、この「不吐出ノズル55は代替可能か?」の判断を行う(S26)。尚、S21でパージ回数nに「3」がセットされたので、インクジェットヘッド8の吐出状態が異常と判断された場合には、その正常化のためのメンテナンスは最大3回まで反復継続的に行われることになる。
【0160】
ところで、インクジェット装置1は、例えば、インクジェットヘッド8Rの全64ノズル55のうち、No.3のノズル55が不吐出であった場合、No.3のノズル55を除く正常なノズル55を用いてガラス基板4に通常の吐出記録を行った後、例えばNo.2のノズル55の吐出位置をNo.3のノズル55の吐出位置に置き換えて、No.2のノズル55のみで吐出記録を行うことで、不吐出ノズル55の代替吐出、いわゆるリカバーを行うことができる。しかし、不吐出ノズル55の数が多かったり、あるいは代替不能な位置のノズル55が不吐出となった場合など、不吐出ノズル55の代替吐出を行うことが難しい場合がある。このため、代替可否の条件の判断のためのデータがあらかじめS1において入力されており、CPU173aが不吐出ノズル55をそのデータに照合して、代替不可であれば後述のS60以降の処理を行う(S26:NO)。
【0161】
不吐出ノズル55が代替可能であるとCPU173aが判断した場合(S26:YES)、「不吐出ノズル55の記録」が行われる(S27)。すなわち、CPU173aは、その不吐出ノズル55がどれであるかの情報をRAM173cの所定の記憶エリアに記憶し、S40の処理に進む。
【0162】
S23で、全てのインクジェットヘッド8が正常に吐出を行うことができると判断された場合(S23:YES)、及びS26で不吐出ノズル55が代替可能と判断され印刷が行われる場合、まず、「ヘッドのスラント」が行われる(S40)。RAM173cの所定の記憶エリアにはS2で演算された内容に基づいてインクジェットヘッド8のスラント角θのデータが記憶されており、CPU173aはそのデータに基づいてスラント用サーボモータ82、及びエンコーダ81を制御してインクジェットヘッド8のスラントを行う。さらに、Z軸スライド機構6によって「ヘッドの降下」が行われ(S41)、インクジェットヘッド8が1Fのパターニングルーム15に位置されるように降下される。そして、インクジェットヘッド8RのNo.1のノズル55(基準ノズル)がガラス基板4上の所定の位置(初期位置)と対向する位置にセットされる。
【0163】
そして、「フラッシング」(S42)、及び「パターニング」(S43)が行われる。S1で入力された初期回数分のフラッシング動作に続いてパターニングが開始され、S1で入力された回数分のインクジェットヘッド8の走査が行われる毎に、CPU173aによって「パターニング終了か?」の確認が行われる(S44)。パターニングが継続される場合には(S44:NO)、S42の処理に戻り、S1で入力された回数分のフラッシング動作が行われてパターニングが継続される。
【0164】
CPU173aが、ガラス基板4のパターニングを終了したと判断した場合(S44:YES)、次に、「リカバーが必要か?」を判断する(S45)。インクジェットヘッド8のノズル55の吐出異常が発生していない状態で吐出記録が完了した場合、生産されたEL基板には不吐出ノズル55によるドット抜けは発生していないので、CPU173aはリカバー不要と判断してS60の処理に進み、このガラス基板4に対する吐出記録処理を終了させる準備を行う(S45:NO)。
【0165】
S27で不吐出ノズル55の記録が行われ、CPU173aがリカバーが必要と判断した場合(S45:YES)、S42,S43での処理と同様の処理手順に従って、代替ノズル55でのリカバーが行われる。すなわち、S1で入力された初期回数分の「フラッシング」動作(S46)に続いて「リカバー」が開始され(S47)、S1で入力された回数分のインクジェットヘッド8の走査が行われる毎に、CPU173aによって「リカバー終了か?」の確認が行われる(S48)。リカバーが継続される場合には(S48:NO)、S46の処理に戻り、S1で入力された回数分のフラッシング動作が行われてリカバーが継続される。
【0166】
CPU173aが、ガラス基板4のリカバーを終了したと判断した場合(S48:YES)、及びS26の処理において不吐出ノズル55の代替が不可能と判断された場合(S26:NO)、インクジェット装置1は、印刷終了処理の動作に入る。まず、Z軸スライド機構6による「ヘッドの上昇」が行われ、インクジェットヘッド8が2Fのメンテナンスルーム16内に位置されるように上昇される(S60)。そして、「ヘッドキャップの閉蓋」が行われ、インクジェットヘッド8がヘッドメンテナンス機構123のゴムパッド128に覆われてノズル55の乾燥防止、及び保護がなされる(S61)。
【0167】
次に、ガラス基板4をインクジェット装置1から排出させるために、搬送ローダHの挿入口である「搬入出ゲートの開放」が行われる(S62)。そして、「ガラス基板4の解放」が行われる(S63)。すなわち、基板受台21に密着したガラス基板4への負圧の作用が停止され、基板受台21に吸着されていたガラス基板4は、その固定から解放される。そして、基板リフト機構23のエアシリンダが動作され「リフトバー23aの上昇」が行われた後(S64)、ケーシング3の背面の搬入出ゲートより「搬送ローダHの挿入」が行われ、搬送ローダHが、リフトバー23aに持ち上げられたガラス基板4と、基板受台21との間に挿入される(S65)。さらに、再度「リフトバー23aの下降」が行われることで、ガラス基板4が搬送ローダH上に搭載され(S66)、搬送ローダHの搬送ベルト(図示外)が動作されることで「ガラス基板4の排出」が行われる(S67)。
【0168】
次に、CPU173aによって「生産終了か?」の確認が行われる。EL基板の生産は、同じロットのガラス基板4であれば同条件での吐出記録が可能であるので、S1で入力された生産個数のデータと照合され、生産終了と判断されればインクジェット装置1はEL基板の生産処理を終了する(S68:YES)。また、EL基板の生産を継続する場合には(S68:NO)、S3の処理に戻り、次のガラス基板4の装てんを開始する。尚、S26の処理において、CPU173aが、不吐出ノズル55の代替は不可能と判断した場合、インクジェットヘッド8の取り替えが必要であるため、S68の処理において生産終了として判断されることになる。
【0169】
以上説明したように、本実施の形態のインクジェット装置1では、ガラス基板4に設けられたパネル301を構成するバンク300内の所望の吐出位置に、入力された各種データに基づいた液滴の吐出を行うことができる。パターニングを行うために入力されるデータはビットマップ形式等の画像データではなく、主走査方向、及び副走査方向における、パネル301の数と間隔のデータ、バンク300の数と間隔のデータ、ドットピッチのデータ、吐出回数のデータ、吐出パターンのデータなどであり、少ないデータ量で同様以上の精密なパターニングを行うことができる。また、前記データ量を減らすことができるので、サイズの大きいガラス基板4を利用してEL基板の生産を行うことができる。
【0170】
また、インクジェットヘッド8をスラントさせることにより、副走査方向におけるバンク300の間隔がガラス基板4のロットによって異なる場合でも調整でき、ロット毎に異なるインクジェットヘッド8に取り替えなくてもパターニングを行うことができる。また、同一の液滴吐出位置に複数回液滴の吐出を行うことができるので、吐出される液滴によって形成されるEL層の厚みを調整することができる。また、ガラス基板4とノズル55との間のギャップ、主走査方向への相対速度、及びデータ記憶装置190に記憶させる吐出波形を変更しての吐出速度等の調整ができるので、液滴の性質に合わせた最適なタイミングでの吐出を行うことができ、吐出された液滴の乾燥時のひけによって生ずる印刷濃度の濃さ等のばらつきを低減することができる。
【0171】
尚、本発明は各種の変形が可能なことはいうまでもない。例えば、インクジェット装置1は、有機ELディスプレイのEL基板の生産のためのパターニングを行うだけではなく、カラーLCDのカラーフィルタの生産のためのパターニングを行ってもよい。また、ガラス基板4とインクジェットヘッド8との間の相対移動を発生させる手段は、媒体送り機構24に限定されるものではなく、インクジェットヘッド8とガラス基板4との間にX,Y方向に相対移動を発生させるものであればよい。例えば、インクジェットヘッド8を主走査方向に移動できるように構成し、基板受台21を副走査方向に移動できるように構成してもよい。
【0172】
また、各種データの入力手段として、FDD305以外の装置を利用してもよい。また、信号出力回路186に設けた液滴吐出信号生成回路310の代わりに、DSP178のROMに記憶された制御プログラムに従ってCPUが処理を行うことで液滴の吐出を行ってもよい。また、インクジェット装置1の制御のための各種プログラムは、ホスト制御ユニット173のROM173bやDSP178のROMに記憶されず、外部記憶装置175やデータ記憶装置190に記憶させて、ガラス基板4のロットに合わせて自由に変更できるようにしてもよい。
【0173】
【発明の効果】
以上説明したように、請求項1に係る発明のインクジェット装置では、インクジェットヘッドに液滴を吐出する複数のノズルが列設され、液滴吐出手段が、吐出される数種の液滴が混合されないよう仕切るバンクが複数設けられた被記録媒体に対して、ノズルから液滴を吐出し、主走査方向移動手段が、インクジェットヘッドと被記録媒体との間に主走査方向へ相対移動を発生し、主走査方向移動制御手段が、入力された、主走査方向における液滴吐出位置の間隔のデータに基づいて、液滴吐出位置の間隔分、主走査方向への相対移動を発生させるように主走査方向移動手段を制御し、液滴吐出制御手段が、主走査方向移動制御手段の制御に基づいて、インクジェットヘッドが液滴吐出位置の間隔分、主走査方向へ相対移動された場合に行われる液滴吐出手段の液滴吐出が、入力された主走査方向における液滴吐出位置の数の分だけ繰り返し行われるように制御することができる。また、副走査方向移動手段は前記インクジェットヘッドと前記被記録媒体との間に前記主走査方向と直交する副走査方向へ相対移動を発生させる。副走査方向移動制御手段は前記液滴吐出制御手段による前記被記録媒体上の1ライン分の走査が行われる毎に、入力された、前記インクジェットヘッドの前記ノズルの列設間隔と個数によって決まる液滴吐出幅のデータに基づいて、副走査方向への相対移動を発生させるように前記副走査方向移動手段を制御する。さらに、前記インクジェットヘッドの副走査方向に対する回転角であるスラント角に基づいて、前記インクジェットヘッドは回転可能であり、インクジェットヘッドスラント手段は、入力された前記スラント角に関連するデータに基づいて、前記インクジェットヘッドが副走査方向に対して回転するように制御する。さらに、スラント角補正手段は、前記インクジェットヘッドのノズルの列設間隔の誤差によって前記スラント角を補正し、前記インクジェットヘッドスラント手段は、前記補正されたスラント角に基づいて、副走査方向に関して前記個々のノズルの列設間隔と前記被記録媒体上の前記各バンクの間隔とが同じになるように、前記インクジェットヘッドを回転することができる。従って、主走査方向における液滴吐出位置の間隔、及び液滴吐出位置の数に関するデータのみに基づいた液滴の吐出を行うことができるので、液滴吐出に関するデータの量を減らすことができ、また、所望する液滴吐出位置に正確に液滴を吐出することができる。また、インクジェットヘッドと被記録媒体との間に主走査方向と、その直交する副走査方向とへの相対移動を発生することができるので、被記録媒体の平面上に液滴を吐出することができる。さらに、インクジェットヘッドスラント手段が、入力されたスラント角に関連するデータに基づいて、インクジェットヘッドを副走査方向に対して回転するように制御することができる。従って、個々のノズルの列設間隔と、被記録媒体上の副走査方向の各バンクの間隔とが同じとなるように調整することができるので、被記録媒体によってバンクの大きさが異なる場合にも液滴の吐出を行うことができる。
【0174】
また、請求項2に係る発明のインクジェット装置では、請求項1に係る発明の効果に加え、液滴パターン吐出制御手段が、入力された、主走査方向の1走査分の各液滴吐出位置における液滴吐出の有無を示したパターンのデータに基づいて、液滴吐出手段が各液滴吐出位置で液滴を吐出するか否かを制御することができる。従って、各液滴吐出位置での液滴の吐出または非吐出ができるので、液滴吐出位置が等間隔でない場合においても液滴の吐出を行うことができる。
【0175】
また、請求項3に係る発明のインクジェット装置では、請求項1又は2に係る発明の効果に加え、液滴重複吐出制御手段が、入力された、被記録媒体上の同一の液滴吐出位置での液滴吐出の回数に基づいて、液滴吐出手段が各液滴吐出位置で液滴を複数回吐出する制御を行うことができる。従って、各液滴吐出位置に吐出する液滴の量を増やすことができる。
【0176】
また、請求項4に係る発明のインクジェット装置では、請求項1又は2に係る発明の効果に加え、液滴重複走査吐出制御手段が、入力された、被記録媒体上の同一の液滴吐出位置での液滴吐出の回数に基づいて、インクジェットヘッドが同一走査ライン上で同一パターンの液滴の吐出を複数回繰り返す制御を行うことができる。従って、各液滴吐出位置に吐出する液滴の量を増やすことができる。
【0177】
また、請求項5に係る発明のインクジェット装置では、請求項1乃至4の何れかに係る発明の効果に加え、主走査方向バンク内移動制御手段が、入力された、バンク内での液滴吐出位置の間隔のデータに基づいて、液滴吐出位置の間隔分、主走査方向への相対移動を発生させるように主走査方向移動手段を制御し、主走査方向バンク間移動制御手段が、入力された、バンク間隔のデータに基づいて、バンクの間隔分、主走査方向への相対移動を発生させるように主走査方向移動手段を制御し、バンク内液滴吐出制御手段が、主走査方向バンク内移動制御手段の制御に基づくインクジェットヘッドの相対移動と、液滴吐出手段の液滴吐出とを、入力された主走査方向におけるバンク内での液滴吐出位置の数の分だけ、繰り返し行うように制御し、バンク液滴吐出制御手段が、インクジェットヘッドの、バンク内液滴吐出制御手段の制御に基づくバンク内での液滴吐出と、主走査方向バンク間移動制御手段の制御に基づく相対移動とを、入力された主走査方向におけるバンクの数の分だけ、繰り返し行うように制御することができる。従って、液滴の吐出間隔が異なる場合においてもインクジェットヘッドを相対移動させることができ、被記録媒体に設けられたバンク内の所望する液滴吐出位置に正確に液滴を吐出することができる。
【0178】
また、請求項6に係る発明のインクジェット装置では、請求項1乃至5の何れかに係る発明の効果に加え、被記録媒体上には複数のバンクに仕切らた複数の吐出作業エリアが設けられ、主走査方向吐出作業エリア間移動制御手段が、入力された、吐出作業エリア間隔のデータに基づいて、吐出作業エリアの間隔分、主走査方向への相対移動を発生させるように主走査方向移動手段を制御し、吐出作業エリア内液滴吐出制御手段が、インクジェットヘッドの、バンク内液滴吐出制御手段の制御に基づくバンク内での液滴吐出と、主走査方向バンク間移動制御手段の制御に基づく相対移動とを、入力された主走査方向における吐出作業エリア内のバンクの数の分だけ、繰り返し行うように制御し、吐出作業エリア液滴吐出制御手段が、インクジェットヘッドの、主走査方向吐出作業エリア間移動制御手段の制御に基づく相対移動と、吐出作業エリア内液滴吐出制御手段の制御に基づく吐出作業エリア内での液滴吐出とを、入力された主走査方向における吐出作業エリアの数の分だけ、繰り返し行うように制御することができる。従って、液滴の吐出間隔が異なる場合においてもインクジェットヘッドを相対移動させることができ、被記録媒体に設けられた複数のバンクに仕切らた複数の吐出作業エリア内の所望する液滴吐出位置に正確に液滴を吐出することができる。
【0179】
また、請求項7に係る発明のインクジェット装置では、請求項1乃至6の何れかに係る発明の効果に加え、管理手段が前記ノズルの列設間隔の誤差を複数の範囲に区分した複数のランクとして管理し、前記スラント角補正手段は、前記ランク毎の誤差の上限値と下限値とから求まる誤差中心値によって前記スラント角を補正することができる。
【0180】
また、請求項8に係る発明のインクジェット装置では、請求項1乃至7の何れかに係る発明の効果に加え、副走査方向バンク内移動制御手段が、入力された、バンク内での副走査方向の液滴吐出位置の間隔のデータに基づいて、液滴吐出位置の間隔分、副走査方向への相対移動を発生させるように副走査方向移動手段を制御し、副走査方向バンク内移動回数制御手段が、入力された副走査方向におけるバンク内での液滴吐出位置の数の分だけ、副走査方向バンク内移動制御手段の制御に基づく相対移動を繰り返し行うように制御し、副走査方向バンク間移動制御手段が、入力された、副走査方向のバンク間隔のデータに基づいて、バンクの間隔分と液滴吐出幅の分、副走査方向への相対移動を発生させるように副走査方向移動手段を制御し、副走査方向バンク移動制御手段が、入力された副走査方向におけるバンクの数の分だけ、副走査方向バンク内移動回数制御手段の制御に基づく相対移動と、副走査方向バンク間移動制御手段の制御に基づく相対移動とを繰り返し行うように制御することができる。従って、副走査方向で液滴の吐出間隔が異なる場合においてもインクジェットヘッドを相対移動させることができ、被記録媒体に設けられたバンク内の所望する液滴吐出位置に正確に液滴を吐出することができる。
【0181】
また、請求項9に係る発明のインクジェット装置では、請求項1乃至8の何れかに係る発明の効果に加え、副走査方向吐出作業エリア内移動制御手段が、入力された副走査方向における吐出作業エリア内のバンクの数の分だけ、副走査方向バンク内移動回数制御手段の制御に基づく相対移動と、副走査方向バンク間移動制御手段の制御に基づく相対移動とを繰り返し行うように制御し、副走査方向吐出作業エリア間移動制御手段が、入力された、副走査方向の吐出作業エリア間隔のデータに基づいて、吐出作業エリアの間隔の分、副走査方向への相対移動を発生させるように副走査方向移動手段を制御し、副走査方向吐出作業エリア移動制御手段が、入力された副走査方向における吐出作業エリアの数の分だけ、副走査方向吐出作業エリア内移動制御手段の制御に基づく相対移動と、副走査方向吐出作業エリア間移動制御手段に基づく相対移動とを繰り返し行うように制御することができる。従って、副走査方向で液滴の吐出間隔が異なる場合においてもインクジェットヘッドを相対移動させることができ、被記録媒体に設けられた複数のバンクに仕切らた複数の吐出作業エリア内の所望する液滴吐出位置に正確に液滴を吐出することができる。
【0182】
また、請求項10に係る発明のインクジェット装置では、請求項1乃至9の何れかに係る発明の効果に加え、前記スラント角が最小のスラント角のとき、前記ノズルの列設間隔が副走査方向のバンク間隔より小さいか、前記スラント角が最大のスラント角のとき、スラントした前記インクジェットヘッドの副走査方向の前記ノズルの列設間隔が前記バンク間隔より大きいかの少なくとも何れか一方の場合、インクジェットヘッドスラント手段は、スラント角を最小に戻すとともに、液滴吐出制御手段は、インターレスを1走査分いれて液滴吐出手段による液滴吐出が行われるように制御を行うことができる。
【0183】
また、請求項11に係る発明のインクジェット装置では、請求項1乃至10の何れかに係る発明の効果に加え、主走査方向液滴吐出位置間隔データ入力手段によって、主走査方向における液滴吐出位置の間隔のデータを入力でき、主走査方向液滴吐出位置数データ入力手段によって、主走査方向における液滴吐出位置の数を入力することができる。従って、インクジェット装置に液滴吐出のためのデータを直接入力できる。
【0184】
また、請求項12に係る発明のインクジェット装置では、請求項2乃至11の何れかに係る発明の効果に加え、液滴吐出パターンデータ入力手段によって、主走査方向の1走査分の、各液滴吐出位置における液滴吐出の有無を記したパターンのデータを入力することができる。従って、インクジェット装置に液滴吐出のためのデータを直接入力できる。
【0185】
また、請求項13に係る発明のインクジェット装置では、請求項3乃至12の何れかに係る発明の効果に加え、同位置液滴吐出回数データ入力手段によって、被記録媒体上の同一の液滴吐出位置における液滴吐出の回数を入力することができる。従って、インクジェット装置に液滴吐出のためのデータを直接入力できる。
【0186】
また、請求項14に係る発明のインクジェット装置では、請求項5乃至13の何れかに係る発明の効果に加え、主走査方向バンク内液滴吐出位置間隔データ入力手段によって、バンク内での主走査方向の液滴吐出位置の間隔のデータを入力でき、主走査方向バンク内液滴吐出位置数データ入力手段によって、主走査方向におけるバンク内での液滴吐出位置の数を入力でき、主走査方向バンク間隔データ入力手段によって、主走査方向におけるバンク間隔のデータを入力でき、主走査方向バンク数データ入力手段によって、主走査方向におけるバンクの数を入力することができる。従って、インクジェット装置に液滴吐出のためのデータを直接入力できる。
【0187】
また、請求項15に係る発明のインクジェット装置では、請求項6乃至14の何れかに係る発明の効果に加え、主走査方向吐出作業エリア間隔データ入力手段によって、主走査方向における吐出作業エリア間隔のデータを入力でき、主走査方向吐出作業エリア内バンク数データ入力手段によって、主走査方向における吐出作業エリア内のバンクの数を入力でき、主走査方向吐出作業エリア数データ入力手段によって、主走査方向における吐出作業エリアの数を入力することができる。従って、インクジェット装置に液滴吐出のためのデータを直接入力できる。
【0188】
また、請求項16に係る発明のインクジェット装置では、請求項7乃至15の何れかに係る発明の効果に加え、液滴吐出幅データ入力手段によって、インクジェットヘッドのノズルの列設間隔と個数によって決まる液滴吐出幅のデータを入力することができる。従って、インクジェット装置に液滴吐出のためのデータを直接入力できる。
【0189】
また、請求項17に係る発明のインクジェット装置では、請求項8乃至16の何れかに係る発明の効果に加え、副走査方向液滴吐出位置間隔データ入力手段によって、バンク内での副走査方向の液滴吐出位置の間隔のデータを入力でき、副走査方向バンク内液滴吐出位置数データ入力手段によって、副走査方向におけるバンク内での液滴吐出位置の数を入力でき、副走査方向バンク間隔データ入力手段によって、副走査方向のバンク間隔のデータを入力でき、副走査方向バンク数データ入力手段によって、副走査方向におけるバンクの数を入力することができる。従って、インクジェット装置に液滴吐出のためのデータを直接入力できる。
【0190】
また、請求項18に係る発明のインクジェット装置では、請求項9乃至17の何れかに係る発明の効果に加え、副走査方向吐出作業エリア内バンク数データ入力手段によって、副走査方向における吐出作業エリア内のバンクの数を入力でき、副走査方向吐出作業エリア間隔データ入力手段によって、副走査方向の吐出作業エリア間隔のデータを入力でき、副走査方向吐出作業エリア数データ入力手段によって、副走査方向における吐出作業エリアの数を入力することができる。従って、インクジェット装置に液滴吐出のためのデータを直接入力できる。
【0191】
また、請求項19に係る発明のインクジェット装置では、請求項10乃至18の何れかに係る発明の効果に加え、スラント角データ入力手段によって、インクジェットヘッドの副走査方向に対する回転角であるスラント角に関連するデータを入力することができる。従って、インクジェット装置に液滴吐出のためのデータを直接入力できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】図1は、本発明の一実施の形態のインクジェット装置1の正面図である。
【図2】図2は、インクジェット装置1の要部拡大正面図である。
【図3】図3は、インクジェット装置1の平面図である。
【図4】図4は、検査調整装置9の要部拡大平面図である。
【図5】図5は、媒体保持移動装置5、基板受台21及びガラス基板4等の平面図である。
【図6】図6は、媒体保持移動装置5とインクジェットヘッド8との位置関係を示す図である。
【図7】図7は、ヘッド保持装置7、回動駆動機構80、及び検出用エンコーダ81の平面図である。
【図8】図8は、図7における矢視方向Aからみた、ヘッド保持装置7、回動駆動機構80、及び検出用エンコーダ81の背面図である。
【図9】図9は、図7における矢視方向Bからみた、ヘッド保持装置7、回動駆動機構80、及び検出用エンコーダ81の右側面図である。
【図10】図10は、図8に示す2点鎖線C−C’における矢視方向から見たヘッド保持装置7の部分断面図である。
【図11】図11は、ヘッド保持装置7の要部拡大断面図である。
【図12】図12は、インクジェットヘッド8のノズル55の配列を示す図である。
【図13】図13は、ランク付けしたノズル間寸法誤差と中心誤差を示す図表である。
【図14】図14は、液滴供給装置12の側面図である。
【図15】図15は、4節平行リンク機構49とインクジェットヘッド8の初期位置における状態の構成図である。
【図16】図16は、4節平行リンク機構49とインクジェットヘッド8をスラントさせた状態の構成図である。
【図17】図17は、位置調整駆動機構113とヘッド保持装置7の構成図である。
【図18】図18は、吐出されるR,G,Bそれぞれの液滴のドット配置例を示す図である。
【図19】図19は、吐出検査機構121の構成を示す図である。
【図20】図20は、吐出検査機構121のCCDカメラ142の撮像領域を示す図である。
【図21】図21は、観測窓151と、表示される液滴を示す図である。
【図22】図22は、ガラス基板4と自動アライメント調整機構36の構成を示す図である。
【図23】図23は、ヘッドメンテナンス機構123の斜視図である。
【図24】図24は、ガラス基板4に液滴のパターニングを行う場合の、ガラス基板4とインクジェットヘッド8との相対位置を示す図である。
【図25】図25は、インクジェットヘッド8を1走査分ずつ移動させてパターンを形成する移動経路を示す図である。
【図26】図26は、インクジェットヘッド8を1走査分毎にインターレースを行ってパターンを形成する移動経路を示す図である。
【図27】図27は、インクジェット装置1の制御系のブロック図である。
【図28】図28は、インクジェット装置1の制御系のブロック図である。
【図29】図29は、信号出力回路186(図27参照)に設けられた、液滴吐出の信号を生成する液滴吐出信号生成回路310を示す図である。
【図30】図30は、インクジェット装置1で有機ELディスプレイのEL基板の生産を行う処理のフローチャートである。
【図31】図31は、インクジェット装置1で有機ELディスプレイのEL基板の生産を行う処理のフローチャートである。
【図32】図32は、従来のインクジェット装置で吐出した液滴の吐出位置と所望する吐出位置との比較を示した模式図である。
【図33】図33は、従来のインクジェット装置で吐出した液滴の吐出位置と所望する吐出位置との比較を示した模式図である。
【符号の説明】
1 インクジェット装置
4 ガラス基板
5 媒体保持移動装置
7 ヘッド保持装置
8 インクジェットヘッド
19 Y軸スライド機構
20 X軸スライド機構
21 基板受台
24 媒体送り機構
49 4節平行リンク機構
55 ノズル
80 回動駆動機構
186 信号出力回路
300 バンク
301 パネル
[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
  The present invention relates to an ink jet apparatus that performs printing based on data on droplet discharge intervals in the main scanning direction and sub-scanning direction and data on the number of droplets discharged in the main scanning direction.
[0002]
[Prior art]
  In recent years, liquid crystal displays have been used in various electronic devices such as mobile phones, personal digital assistants, televisions, personal computers, word processors, and the like, and the demand for the electronic devices has been increasing. Recently, organic EL (Electro Luminescence) displays are being put into practical use as next-generation displays that replace liquid crystal displays. The EL substrate of this organic EL display is formed, for example, by forming an anode film (anode), a hole transport layer, an EL light emitting layer, and a cathode film (cathode) on the surface of a glass substrate or the like. , The holes emitted from the anode and the electrons emitted from the cathode are combined in the light emitting layer, and the generated energy excites the organic material to emit light. Various light-emitting organic compounds corresponding to emission colors are used for the light-emitting layer. In the light emitting layer of the EL substrate of the color organic EL display, light emitting pixels made of light emitting organic compounds of three colors of red (R), green (G), and blue (B) are formed as regular dot patterns. . An ink jet apparatus is used to form this dot pattern.
[0003]
  On the anode film formed on the glass substrate, droplets for forming a hole transport layer are ejected from the inkjet head of the inkjet apparatus onto the glass substrate and fixed by heating in a vacuum or an inert gas. Next, three types of droplets corresponding to R, G, and B colors for forming the EL light emitting layer are respectively ejected from the three inkjet heads onto the hole transport layer to form a dot pattern. After the pattern is heated in vacuum, a cathode film is formed on the EL light emitting layer.
[0004]
[Problems to be solved by the invention]
  However, when this dot pattern is formed, the conventional ink jet apparatus processes the discharge pattern of the light emitting pixels as bitmap format image data. Hereinafter, description will be given with reference to the drawings. 32 and 33 are schematic views showing a comparison between a discharge position of a droplet discharged by a conventional ink jet apparatus and a desired discharge position. As shown in FIG. 32, for example, when the resolution of the dot pattern of the droplets ejected to the inkjet apparatus is 2400 dpi, the interval between the droplet ejection positions is about 10 μm. In the 2400 dpi dot pattern 900, a portion indicated by a circle in the figure is a droplet dischargeable position 903. In the drawing, when the portion indicated by the cross, that is, the interval between the desired discharge positions 902 is not a multiple of the interval between the droplet dischargeable positions 903 of the ink jet apparatus, for example, about 23 μm, the discharge position is displaced. . Since the 2400 dpi dot pattern 900 does not discharge at finer intervals than this, the image data in this bitmap format is a droplet at a droplet discharge position 903a (black circle in the figure) closest to the desired discharge position 902. And data indicating that no droplets are ejected at other droplet non-ejection positions 903b (white circles in the figure).
[0005]
  Further, as shown in FIG. 33, for example, when the resolution of the dot pattern of the droplets discharged to the ink jet apparatus is 4800 dpi, the interval between the droplet discharge positions is about 5 μm. With this 4800 dpi dot pattern 901, it is possible to discharge liquid droplets finer than the 2400 dpi dot pattern 900. In the drawing, a portion indicated by a circle is a droplet dischargeable position 904. Similar to the above case, the bitmap format image data includes data indicating that a droplet is discharged at a droplet discharge position 904a (black circle in the figure) closest to the desired discharge position 902, and other data. The droplet non-ejection position 904b (indicated by white circles in the figure) includes data indicating that no droplet is ejected. In this case, the droplet discharge position 904a can discharge a droplet almost to the desired droplet discharge position 902, but the bit map format data required by doubling the resolution of the dot pattern is used. The amount becomes four times, and in the ink jet apparatus, the time required for the dot pattern data processing for moving the ink jet head to the droplet discharge position and the memory capacity required for the processing increase, and the size of the large glass substrate is increased. It cannot be said that droplet ejection is practical.
[0006]
  The present invention has been made in order to solve the above-described problem. Data on the interval between droplet discharge positions in the X-axis direction and the Y-axis direction, and whether droplets are discharged at the respective discharge positions in the X-axis direction. By driving the inkjet device based on the data of whether or not and discharging the droplets, the amount of data required for droplet discharge is reduced, the processing speed is increased, and the desired droplet discharge position is achieved. It is an object of the present invention to realize an ink jet apparatus that can accurately discharge droplets.
[0007]
[Means for Solving the Problems]
  In order to achieve the above object, an ink jet apparatus according to a first aspect of the present invention includes an ink jet head in which a plurality of nozzles for discharging droplets are arranged, andFor a recording medium provided with a plurality of banks for partitioning so that several types of discharged droplets are not mixed,The nozzleLiquidDroplet discharging means for discharging droplets, main scanning direction moving means for generating relative movement in the main scanning direction between the inkjet head and the recording medium, and input droplet discharge position in the main scanning direction A main scanning direction movement control means for controlling the main scanning direction movement means so as to generate a relative movement in the main scanning direction by the interval of the droplet discharge positions based on the interval data, and the main scanning direction movement Based on the control of the control means, the liquid droplet ejection of the liquid droplet ejection means performed when the ink jet head is relatively moved in the main scanning direction by the interval of the liquid droplet ejection position is input in the main scanning direction. Droplet discharge control means for controlling to be repeatedly performed by the number of droplet discharge positions inA sub-scanning direction moving means for generating a relative movement in the sub-scanning direction perpendicular to the main scanning direction between the inkjet head and the recording medium; and 1 on the recording medium by the droplet discharge control means. Each time scanning of a line is performed, relative movement in the sub-scanning direction is generated based on the input data of the droplet discharge width determined by the nozzle arrangement interval and the number of nozzles of the inkjet head. Based on the sub-scanning direction movement control means for controlling the sub-scanning direction movement means and the slant angle that is the rotation angle of the ink-jet head with respect to the sub-scanning direction, the ink-jet head is rotatable, and the input slant angle Based on the data related to the ink jet head, the ink jet head is controlled to rotate with respect to the sub-scanning direction. A slant means, and a slant angle correction means for correcting the slant angle by an error in the arrangement interval of the nozzles of the ink jet head, wherein the ink jet head slant means is arranged in a sub-scanning direction based on the corrected slant angle. The inkjet head is rotated so that the interval between the individual nozzles is the same as the interval between the banks on the recording medium.The
[0008]
  In the ink jet apparatus having this configuration, a plurality of nozzles for ejecting liquid droplets are arranged in a line on the ink jet head, and the liquid droplet ejecting means includesFor a recording medium provided with a plurality of banks for partitioning so that several types of discharged droplets are not mixed,Nozzle orLiquidThe main scanning direction moving means generates a relative movement in the main scanning direction between the inkjet head and the recording medium, and the main scanning direction movement control means inputs the inputted liquid droplet in the main scanning direction. Based on the discharge position interval data, the main scanning direction moving means is controlled to generate a relative movement in the main scanning direction by the interval of the droplet discharge positions, and the droplet discharge control means moves in the main scanning direction. Based on the control of the control unit, the droplet discharge of the droplet discharge unit that is performed when the inkjet head is relatively moved in the main scanning direction by the interval of the droplet discharge position is the droplet in the input main scanning direction. Control can be performed so as to be repeated by the number of ejection positions. Also,The sub-scanning direction moving means generates a relative movement in the sub-scanning direction perpendicular to the main scanning direction between the inkjet head and the recording medium. The sub-scanning direction movement control means is a liquid that is determined by the input interval and number of nozzles of the ink jet head each time scanning of one line on the recording medium is performed by the droplet discharge control means. Based on the droplet discharge width data, the sub-scanning direction moving means is controlled so as to generate a relative movement in the sub-scanning direction. Further, the ink jet head is rotatable based on a slant angle that is a rotation angle of the ink jet head with respect to the sub-scanning direction, and the ink jet head slant means is based on the input data related to the slant angle. Control is performed so that the inkjet head rotates in the sub-scanning direction. Further, the slant angle correcting means corrects the slant angle by an error in the arrangement interval of the nozzles of the ink jet head, and the ink jet head slant means determines the individual in the sub-scanning direction based on the corrected slant angle. The inkjet head is rotated so that the arrangement interval of the nozzles and the interval of the banks on the recording medium are the same.The
[0009]
  According to a second aspect of the present invention, in addition to the configuration of the first aspect of the invention, the droplet discharge control means is configured to input each droplet discharge position for one scan in the main scanning direction. And a droplet pattern ejection control unit for controlling whether or not the droplet ejection unit ejects a droplet at each droplet ejection position based on pattern data indicating whether or not the droplet is ejected.
[0010]
  In the ink jet apparatus having this configuration, in addition to the operation of the invention according to claim 1, the liquid droplet pattern discharge control means determines whether or not liquid droplets are discharged at each liquid discharge position for one scan in the main scanning direction. Based on the pattern data shown, it is possible to control whether or not the droplet discharge means discharges droplets at each droplet discharge position.
[0011]
  According to a third aspect of the present invention, in addition to the configuration of the first or second aspect of the invention, the liquid droplet ejection control means receives the same liquid droplet ejection on the recording medium. Based on the number of droplet discharges at a position, the droplet discharge unit includes a droplet overlap discharge control unit that performs control to discharge a plurality of droplets at each droplet discharge position.
[0012]
  In the ink jet apparatus having this configuration, in addition to the operation of the invention according to claim 1 or 2, the number of times of droplet discharge at the same droplet discharge position on the recording medium is inputted by the droplet overlapping discharge control means. Based on the above, it is possible to control the droplet discharge means to discharge a droplet a plurality of times at each droplet discharge position.
[0013]
  According to a fourth aspect of the present invention, in addition to the configuration of the first or second aspect of the invention, the droplet discharge control means is configured to input the same droplet discharge on the recording medium. Based on the number of droplets ejected at the position, the inkjet head includes droplet overlapping scanning ejection control means for performing control of repeating ejection of droplets of the same pattern a plurality of times on the same scanning line.
[0014]
  In the ink jet apparatus having this configuration, in addition to the operation of the invention according to claim 1 or 2, the liquid droplet overlapping scanning / ejection control means is configured to eject the liquid droplets at the same liquid droplet ejection position on the recording medium. Based on the number of times, it is possible to perform control in which the inkjet head repeatedly discharges droplets of the same pattern on the same scanning line a plurality of times.
[0015]
  Further, an ink jet apparatus according to a fifth aspect of the invention includes the configuration of the invention according to any one of the first to fourth aspects.,in frontThe main scanning direction movement control means generates relative movement in the main scanning direction by the interval of the droplet discharge positions based on the input data of the interval of the droplet discharge positions in the bank. Based on the main-scanning-direction intra-bank movement control means for controlling the main-scanning-direction moving means and the inputted bank interval data, relative movement in the main scanning direction is generated by the bank interval. A main-scanning-direction interbank movement control means for controlling the main-scanning-direction moving means, and the droplet discharge control means includes a relative movement of the inkjet head based on the control of the main-scanning direction intra-bank movement control means, In-bank droplet ejection control means for controlling the droplet ejection of the droplet ejection means to be repeatedly performed by the number of droplet ejection positions in the bank in the input main scanning direction; The main scanning of the ink jet head, the droplet ejection within the bank based on the control of the in-bank droplet ejection control means and the relative movement based on the control of the inter-bank movement control means in the main scanning direction, are input. And bank droplet discharge control means for performing control repeatedly for the number of banks in the direction.
[0016]
  In the ink jet apparatus having this configuration, in addition to the operation of the invention according to any one of claims 1 to 4, a plurality of banks are provided on the recording medium so as to partition several discharged liquid droplets so as not to be mixed. Based on the inputted data on the interval between the droplet discharge positions in the bank, the movement control means in the scanning direction in the bank causes the main movement so as to generate a relative movement in the main scanning direction by the interval between the droplet discharge positions. The main scanning direction is controlled so that the main scanning direction inter-bank movement control unit generates relative movement in the main scanning direction by the bank interval based on the input bank interval data. The liquid droplet ejection control means in the bank controls the movement means, and the main scanning direction intra-bank movement control means controls the relative movement of the ink jet head and the liquid droplet ejection of the liquid droplet ejection means to be inputted main scanning. In the direction The number of droplet discharge positions in the bank is repeatedly controlled so that the bank droplet discharge control means controls the liquid in the bank based on the control of the droplet discharge control means in the bank of the inkjet head. It is possible to perform control so that the droplet ejection and the relative movement based on the control of the inter-bank movement control unit in the main scanning direction are repeatedly performed by the number of banks input in the main scanning direction.
[0017]
  According to a sixth aspect of the present invention, in addition to the configuration of the first aspect of the present invention, a plurality of discharge work areas partitioned into a plurality of banks are provided on the recording medium. The main scanning direction movement control means generates the relative movement in the main scanning direction by the interval of the discharge work area based on the input data of the discharge work area interval. A main scanning direction discharge work area movement control means for controlling the movement means, wherein the droplet discharge control means is a droplet in the bank based on the control of the droplet discharge control means in the bank of the inkjet head. The discharge and the relative movement based on the control of the movement control means between banks in the main scanning direction are repeated for the number of the banks in the discharge work area in the input main scanning direction. And a relative movement of the inkjet head based on the control of the movement control means between the discharge operation areas in the main scanning direction, and the droplet discharge control means in the discharge work area. A discharge work area droplet discharge control means for controlling to repeatedly perform the droplet discharge in the discharge work area based on the control of the number of the discharge work areas in the input main scanning direction. I have.
[0018]
  In the ink jet apparatus having this configuration, in addition to the operation of the invention according to any one of claims 1 to 5, a plurality of discharge work areas partitioned into a plurality of banks are provided on the recording medium, and a discharge operation area in the main scanning direction Based on the input discharge work area interval data, the intermediate movement control means controls the main scanning direction moving means to generate a relative movement in the main scanning direction by the interval of the discharge work area. Intra-area droplet ejection control means, the inkjet head, droplet ejection within the bank based on the control of the droplet ejection control means within the bank, and relative movement based on the control of the movement control means between banks in the main scanning direction, Control is performed so that the number of banks in the discharge work area in the main scanning direction is repeated, and the discharge work area droplet discharge control means controls the main part of the inkjet head. The relative movement based on the control of the movement control means between the inspection direction discharge work areas and the droplet discharge within the discharge work area based on the control of the droplet discharge control means in the discharge work area are discharged in the inputted main scanning direction. It can be controlled to repeat as many times as there are work areas.
[0019]
  In addition to the configuration of the invention according to any one of claims 1 to 6, the ink jet device according to the invention according to claim 7,A management unit that manages an error in the nozzle arrangement interval as a plurality of ranks divided into a plurality of ranges, and the slant angle correction unit includes an error center value obtained from an upper limit value and a lower limit value of the error for each rank. The slant angle is corrected by the following.
[0020]
  In the ink jet device having this configuration, in addition to the operation of the invention according to any one of claims 1 to 6,The managing means manages the error of the nozzle arrangement interval as a plurality of ranks divided into a plurality of ranges, and the slant angle correcting means uses the error center value determined from the upper limit value and the lower limit value of the error for each rank. Correct the slant angleThe
[0021]
  According to an eighth aspect of the present invention, in addition to the configuration of the first aspect of the present invention, the sub-scanning direction movement control means receives the input sub-scan in the bank. In-sub-bank direction movement control for controlling the sub-scanning direction moving means so as to generate a relative movement in the sub-scanning direction by the distance between the droplet discharge positions based on the interval data of the droplet discharge positions in the direction. And a sub-scanning direction in which the relative movement based on the control of the movement control means in the sub-scanning direction is repeatedly performed by the number of droplet discharge positions in the bank in the input sub-scanning direction. Based on the bank movement frequency control means and the input data of the bank interval in the sub-scanning direction, a relative movement in the sub-scanning direction is generated by the bank interval and the droplet discharge width. To the above Relative movement based on the control of the number of movements in the sub-scanning direction bank by the number of the banks in the sub-scanning direction inputted, the movement control means between the sub-scanning direction banks for controlling the scanning direction movement means, Sub-scanning direction bank movement control means for controlling to repeatedly perform relative movement based on the control of the sub-scanning direction interbank movement control means.
[0022]
  In the ink jet device having this configuration, in addition to the operation of the invention according to any one of claims 1 to 7, the sub-scanning direction movement control means in the sub-scan direction of the input droplet discharge position in the sub-scanning direction within the bank is provided. Based on the interval data, the sub-scanning direction moving means is controlled so as to generate a relative movement in the sub-scanning direction by the interval of the droplet discharge position, and the sub-scanning direction movement number control means in the sub-scanning direction is inputted. Control is performed so as to repeatedly perform relative movement based on the control of the movement control means in the sub-scanning direction by the number of droplet discharge positions in the bank in the sub-scanning direction. Based on the input bank interval data in the sub-scanning direction, the sub-scanning direction moving means is controlled so as to generate relative movement in the sub-scanning direction by the bank interval and the droplet discharge width. Scan direction bank The relative movement based on the control of the number-of-banks movement control means in the sub-scanning direction and the relative movement based on the control of the movement control means between banks in the sub-scanning direction by the number of banks in the sub-scanning direction input And can be controlled to be repeated.
[0023]
  According to a ninth aspect of the invention, in addition to the configuration of the first aspect of the invention, the sub-scanning direction movement control means is configured to provide the discharge work area in the input sub-scanning direction. Control is performed so that the relative movement based on the control of the sub-scanning direction intra-bank movement frequency control means and the relative movement based on the control of the sub-scanning direction inter-bank movement control means are repeatedly performed by the number of the banks. Based on the sub-scanning direction discharge work area movement control means and the input data of the discharge work area interval in the sub-scan direction, relative movement in the sub-scan direction is generated by the interval of the discharge work area. The sub-scanning direction discharge work area movement control means for controlling the sub-scan direction moving means and the sub-run as many times as the number of the discharge work areas in the input sub-scan direction. Sub-scanning direction discharge work area movement control means for controlling to repeatedly perform relative movement based on the control of the direction discharge work area movement control means and relative movement based on the sub-scanning direction discharge work area movement control means. I have.
[0024]
  In the ink jet apparatus having this configuration, in addition to the operation of the invention according to any one of claims 1 to 8, the movement control means in the sub-scanning direction discharge work area has the number of banks in the discharge work area in the input sub-scanning direction. The sub-scanning direction discharge work area is controlled so as to repeatedly perform the relative movement based on the control of the sub-scan direction bank movement frequency control means and the relative movement based on the control of the sub-scan direction bank movement control means. Based on the input data of the discharge work area interval in the sub-scanning direction, the intermediate movement control means sets the sub-scan direction movement means to generate a relative movement in the sub-scan direction by the interval of the discharge work area. The sub-scanning direction discharge work area movement control means controls the sub-scan direction discharge work area movement control means by the number of input discharge work areas in the sub-scan direction. A relative movement based on, can be controlled to repeatedly performing relative movement based on movement control means between the sub-scanning direction discharging the working area.
[0025]
  In addition to the configuration of the invention according to any one of claims 1 to 9, the ink jet device according to claim 10 includes:When the slant angle is the minimum slant angle, the nozzle arrangement interval is smaller than the bank interval in the sub-scanning direction, or when the slant angle is the maximum slant angle, the slanted inkjet head in the sub-scanning direction In the case where at least one of the nozzle arrangement intervals is larger than the bank interval, the inkjet head slant means returns the slant angle to the minimum, and the droplet discharge control means removes the interlace by one scan. Control is performed so that droplet discharge is performed by the droplet discharge means.
[0026]
  In the ink jet device having this configuration, in addition to the operation of the invention according to any one of claims 1 to 9,When the slant angle is the minimum slant angle, the nozzle arrangement interval is smaller than the bank interval in the sub-scanning direction, or when the slant angle is the maximum slant angle, the slanted inkjet head in the sub-scanning direction In the case where at least one of the nozzle arrangement intervals is larger than the bank interval, the inkjet head slant means returns the slant angle to the minimum, and the droplet discharge control means removes the interlace by one scan. By droplet discharge means Droplet discharge is performedCan be controlled.
[0027]
  An ink jet apparatus according to an eleventh aspect of the invention includes, in addition to the configuration of the invention according to any one of the first to tenth aspects, a droplet in the main scanning direction that inputs data on the interval between the droplet discharge positions in the main scanning direction. Discharge position interval data input means and main scanning direction droplet discharge position number data input means for inputting the number of droplet discharge positions in the main scanning direction are provided.
[0028]
  In the ink jet apparatus having this configuration, in addition to the operation of the invention according to any one of claims 1 to 10, data on the interval between the droplet ejection positions in the main scanning direction is input by the main scanning direction droplet ejection position interval data input means. In addition, the number of droplet discharge positions in the main scanning direction can be input by the main scanning direction droplet discharge position number data input means.
[0029]
  An ink jet apparatus according to a twelfth aspect of the invention includes, in addition to the configuration of the invention according to any of the second to eleventh aspects, whether or not droplets are ejected at each droplet ejection position for one scan in the main scanning direction. Is provided with droplet discharge pattern data input means for inputting the pattern data with
[0030]
  In the ink jet apparatus having this configuration, in addition to the operation of the invention according to any one of claims 2 to 11, the liquid droplet ejection at each liquid droplet ejection position for one scan in the main scanning direction by the liquid droplet ejection pattern data input means. The data of the pattern which described the presence or absence of can be input.
[0031]
  According to a thirteenth aspect of the invention, in addition to the configuration of the invention according to any one of the third to twelfth aspects, the number of droplet discharges at the same droplet discharge position on the recording medium is input. The same position droplet discharge frequency data input means is provided.
[0032]
  In the ink jet apparatus having this configuration, in addition to the operation of the invention according to any one of claims 3 to 12, the liquid droplet ejection number data input means at the same liquid droplet ejection position on the recording medium can be used. You can enter the number of times.
[0033]
  According to a fourteenth aspect of the present invention, in addition to the configuration of the fifth aspect of the invention, the ink jet apparatus according to the fourteenth aspect inputs data on the interval between droplet discharge positions in the main scanning direction in the bank. Main-scanning-direction in-bank droplet ejection position interval data input means, main-scanning-direction in-bank droplet ejection position number data input means for inputting the number of droplet ejection positions in the bank in the main-scanning direction, and main-scanning Main scanning direction bank interval data input means for inputting the bank interval data in the direction, and main scanning direction bank number data input means for inputting the number of banks in the main scanning direction.
[0034]
  In the ink jet apparatus having this configuration, in addition to the operation of the invention according to any one of claims 5 to 13, the liquid droplet ejection position in the main scanning direction in the bank is provided by the liquid ejection position interval data input means in the main scanning direction bank. The number of droplet discharge positions in the bank in the main scanning direction can be input by the data input means for the number of droplet discharge positions in the main scanning direction, and the number of droplet discharge positions in the main scanning direction can be input by the bank interval data input means. The data of the bank interval in the main scanning direction can be input, and the number of banks in the main scanning direction can be input by the main scanning direction bank number data input means.
[0035]
  According to a fifteenth aspect of the present invention, in addition to the configuration according to any of the sixth to fourteenth aspects, the ink jet apparatus according to the fifteenth aspect has a main scanning direction discharge work area for inputting data of the discharge work area interval in the main scan direction. The interval data input means, the number of banks in the discharge work area in the main scan direction for inputting the number of banks in the discharge work area in the main scan direction, and the number of the discharge work areas in the main scan direction are input. And a main scanning direction discharge work area number data input means.
[0036]
  In the ink jet device having this configuration, in addition to the operation of the invention according to any one of claims 6 to 14, data of the discharge work area interval in the main scanning direction can be input by the main scan direction discharge work area interval data input means. The number of banks in the discharge work area in the main scanning direction can be input by the bank number data input means in the scanning direction discharge work area, and the number of discharge work areas in the main scan direction by the data input means in the main scan direction discharge work area Can be entered.
[0037]
  According to a sixteenth aspect of the present invention, in addition to the configuration of the invention according to any one of the seventh to fifteenth aspects, the droplet discharge width data determined by the arrangement interval and the number of the nozzles of the inkjet head. Is provided with droplet discharge width data input means.
[0038]
  In the ink jet device having this configuration, in addition to the operation of the invention according to any one of claims 7 to 15, data on the liquid discharge width determined by the liquid discharge width data input means depending on the arrangement interval and the number of nozzles of the ink jet head. Can be entered.
[0039]
  According to a seventeenth aspect of the present invention, in addition to the configuration of the eighth aspect of the invention, the ink jet apparatus inputs the data of the intervals between the droplet discharge positions in the sub-scanning direction in the bank. Sub-scanning direction droplet discharge position interval data input means, sub-scan direction in-bank droplet discharge position number data input means for inputting the number of droplet discharge positions in the bank in the sub-scan direction, Sub-scanning direction bank interval data input means for inputting the bank interval data, and sub-scanning direction bank number data input means for inputting the number of banks in the sub-scanning direction are provided.
[0040]
  In the ink jet apparatus having this configuration, in addition to the operation of the invention according to any one of claims 8 to 16, the sub-scanning direction droplet discharge position interval data input means allows the sub-scan direction droplet discharge position interval in the bank. The number of droplet discharge positions in the bank in the sub-scanning direction can be input by the sub-scan direction bank droplet discharge position number data input means, and the sub-scan direction bank interval data input means can input the sub-scan direction bank droplet discharge position number data input means. Data of the bank interval in the scanning direction can be input, and the number of banks in the sub-scanning direction can be input by the sub-scanning direction bank number data input means.
[0041]
  An ink jet apparatus according to an eighteenth aspect of the invention includes, in addition to the configuration of the invention according to any one of the ninth to seventeenth aspects, a sub-scanning direction for inputting the number of the banks in the discharge work area in the sub-scanning direction. Bank number data input means in the discharge work area, sub-scan direction discharge work area interval data input means for inputting the discharge work area interval data in the sub-scan direction, and the number of the discharge work areas in the sub-scan direction are input. Sub-scanning direction discharge work area number data input means.
[0042]
  In the ink jet apparatus having this configuration, in addition to the operation of the invention according to any one of claims 9 to 17, the number of banks in the discharge work area in the sub-scanning direction is set by the bank number data input means in the sub-scanning direction discharge work area. The sub-scanning direction discharge work area interval data input means can input the sub-scan direction discharge work area interval data, and the sub-scan direction discharge work area interval data input means can input the number of discharge work areas in the sub-scan direction. Can be entered.
[0043]
  According to a nineteenth aspect of the present invention, in addition to the configuration of the invention according to any one of the tenth to eighteenth aspects, the data relating to the slant angle, which is the rotation angle of the inkjet head with respect to the sub-scanning direction, is obtained. Slant angle data input means for inputting is provided.
[0044]
  In the ink jet apparatus having this configuration, in addition to the operation of the invention according to any one of claims 10 to 18, the slant angle data input means inputs data related to the slant angle, which is the rotation angle of the ink jet head with respect to the sub-scanning direction. be able to.
[0045]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
  Hereinafter, an embodiment of an ink jet device embodying the present invention will be described with reference to the drawings. First, the structure of the inkjet apparatus 1 according to the present invention will be described with reference to FIGS. 1 to 12, 14, 17, 23, 24, and 27 to 29. FIG. 1 is a front view of an ink jet apparatus 1 according to an embodiment of the present invention. FIG. 2 is an enlarged front view of a main part of the ink jet apparatus 1. FIG. 3 is a plan view of the ink jet apparatus 1. FIG. 4 is an enlarged plan view of a main part of the inspection adjustment device 9. FIG. 5 is a plan view of the medium holding and moving device 5, the substrate receiving base 21, the glass substrate 4, and the like. FIG. 6 is a diagram illustrating a positional relationship between the medium holding and moving device 5 and the ink jet head 8. FIG. 7 is a plan view of the head holding device 7, the rotation drive mechanism 80, and the detection encoder 81. FIG. 8 is a rear view of the head holding device 7, the rotation drive mechanism 80, and the detection encoder 81 as seen from the direction of arrow A in FIG. 7. FIG. 9 is a right side view of the head holding device 7, the rotation drive mechanism 80, and the detection encoder 81 as viewed from the direction of arrow B in FIG. 7. FIG. 10 is a partial cross-sectional view of the head holding device 7 as seen from the direction of the arrows along the two-dot chain line C-C ′ shown in FIG. 8. FIG. 11 is an enlarged cross-sectional view of the main part of the head holding device 7. FIG. 12 is a diagram showing the arrangement of the nozzles 55 of the inkjet head 8. FIG. 14 is a side view of the droplet supply device 12. FIG. 17 is a configuration diagram of the position adjustment drive mechanism 113 and the head holding device 7. FIG. 23 is a perspective view of the head maintenance mechanism 123. FIG. 24 is a diagram showing a relative position between the glass substrate 4 and the inkjet head 8 when droplet patterning is performed on the glass substrate 4. FIG. 27 is a block diagram of a control system of the inkjet apparatus 1. FIG. 28 is a block diagram of a control system of the inkjet apparatus 1. FIG. 29 is a diagram showing a droplet discharge signal generation circuit 310 provided in the signal output circuit 186 (see FIG. 27) for generating a droplet discharge signal.
[0046]
  As shown in FIG. 1, the ink jet apparatus 1 holds a base frame 2 as a base of the apparatus, a casing 3 that covers the apparatus, and a glass substrate 4 and can be driven to move independently in the main scanning direction and the sub-scanning direction. The medium holding / moving device 5, the Z-axis slide mechanism 6 that moves the inkjet head 8 up and down, the head holding device 7 that can be moved up and down by the Z-axis slide mechanism 6, and the droplets from the inkjet head 8 An inspection adjustment device 9 (see FIG. 4) for inspecting the discharge state and performing maintenance and adjustment of the inkjet head 8, and the discharge solution 10 for forming the EL light emitting layer of three colors and the inkjet head 8 are washed. A droplet supply device 12 for supplying a solvent flushing liquid 11 and the like, and a control device 13 (see FIGS. 27 and 28) for controlling these devices and equipment. It is. In the front view of the inkjet apparatus 1 shown in FIG. 1, the Z-axis direction is the up-down direction, the X-axis direction is the left-right direction, and the front / back direction of the paper (Y-axis direction shown in FIG. 3) is the front-rear direction. In the present invention, the main scanning direction is the left-right direction (X-axis direction), the sub-scanning direction is the front-rear direction (Y-axis direction), and the recording medium is the glass substrate 4.
[0047]
  A rectangular parallelepiped casing 3 is formed on the base frame 2 of the ink jet apparatus 1, and the internal space of the casing 3 is divided into a 1F patterning room 15 and a 2F maintenance room 16 by a horizontal partition plate 14 at the middle position. The partition plate 14 is formed with an opening 14a (see FIG. 4) through which the head holding device 7 can pass. The partition plate 14 only needs to partition the patterning room 15 and the maintenance room 16 and does not necessarily have to be disposed horizontally. In the pattern processing stage in the patterning room 15, a discharge recording (patterning) process is performed to form a dot pattern composed of a large number of three-color fine pixel portions on the glass substrate 4, and an ink jet is performed in the inspection adjustment stage 44 in the maintenance room 16. Inspection and adjustment for the head 8 are performed. Also, on the side surface of the casing 3, there are supplied a discharge solution 10 of three colors red, green and blue for forming an EL light emitting layer by discharging onto the glass substrate 4 and a flushing solution 11 for cleaning the head. The droplet supply device 12 is provided.
[0048]
  Next, as shown in FIG. 2, the 1F patterning room 15 is formed in a size of, for example, 1500 × 1500 × 500 mm, and a marble base table 17 is installed on the upper surface of the base frame 2 inside. In addition, the pillars 18 stand up from the four corners of the base base 17, respectively. A medium holding and moving device 5 is provided on the base table 17. The air in the patterning room 15 is replaced with compressed nitrogen gas, and patterning is performed with the water vapor concentration and oxygen concentration in the room being below predetermined levels.
[0049]
  The medium holding and moving device 5 receives the glass substrate 4 transported from a transport loader H of an external system (not shown) at a predetermined delivery position (standby position) (shown by a two-dot chain line in FIG. 3), and starts discharging. The glass substrate 4 is moved to the position, and the glass substrate 4 is aligned and adjusted to the initial setting position (origin position). At the time of patterning, the glass substrate 4 is moved and driven in the X-axis and Y-axis directions. Is transferred to the transport loader H.
[0050]
  Further, the maintenance room 16 of 2F is formed in a size of, for example, 1500 × 1500 × 700 mm, and the inkjet head 8 is disposed inside the discharge position (lowering position) DP (see FIG. 6) of the patterning room 15, Most of the Z-axis slide mechanism 6 that is moved to the inspection adjustment position (upward position) UP of the maintenance room 16, the position adjustment drive mechanism 113 that adjusts the attachment position of the inkjet head 8, and the medium holding and moving device 5 are linked. An automatic alignment adjusting mechanism 36 for adjusting the position of the glass substrate 4 and an inspection adjusting device 9 for inspecting and maintaining the inkjet head 8 are disposed.
[0051]
  The inspection adjustment device 9 includes a head maintenance mechanism 123 that performs maintenance of the ink jet head 8 and a discharge inspection mechanism 121 that inspects the discharge state of liquid droplets from the ink jet head 8. The position of the ink jet head 8 is switched to the inspection adjustment position UP through the opening 14a (see FIG. 3) of the partition plate 14 by the Z-axis slide mechanism 6, and then the ink jet heads 8R, 8G, and 8B (ink jet head 8). The discharge states of the plurality of nozzles 55 (see FIG. 12) are inspected by the discharge inspection mechanism 121, and the head holding device 7 is maintained by the head maintenance mechanism 123.
[0052]
  Next, the configuration of the medium holding and moving device 5 will be described. As shown in FIGS. 5 and 6, the medium holding and moving device 5 includes a Y-axis slide mechanism 19 provided on the base base 17 and an X-axis slide provided on an output member 19 a of the Y-axis slide mechanism 19. A mechanism 20 and a substrate receiving base 21 for placing the glass substrate 4 mounted on the output member 20a of the X-axis slide mechanism 20 are provided. By these X and Y axis slide mechanisms 19 and 20, the glass substrate 4 can move independently in the X axis and Y axis directions. Further, the substrate pedestal 21 is rotatable around the vertical axis about the pin 22 for alignment adjustment.
[0053]
  The substrate pedestal 21 is made of a synthetic resin porous material, a sintered metal porous material, or the like, and applies a negative pressure to the glass substrate 4 placed on the substrate pedestal 21 via the porous material. Adsorption is possible. The substrate base 21 is formed to be wider left and right than the glass substrate 4, and a pair of left and right trays 21 a for receiving the flushing liquid 11 (head cleaning solvent) are integrally formed on the substrate base 21. ing. In addition, when the glass substrate 4 is carried in and out, a substrate lift mechanism 23 including four lift bars 23a for lifting the glass substrate 4 from the substrate receiving base 21 by a predetermined small distance and an air cylinder for raising and lowering the lift bars 23a is also provided. Yes.
[0054]
  The substrate cradle 21 and the glass substrate 4 placed thereon can be driven to move in the main scanning direction (X-axis direction) by the X-axis slide mechanism 20, and can be driven in the sub-scanning direction (Y (Axial direction) can be moved. When forming the pattern on the glass substrate 4, the ink jet device 1 stops the X and Y axis slide mechanisms 19 and 20 with the head holding device 7 supported by the Z axis slide mechanism 6 stopped at a predetermined lowered position. Thus, patterning is performed while causing relative movement in the main scanning direction and the sub-scanning direction between the glass substrate 4 and the plurality of inkjet heads 8 of the head holding device 7 mounted on the head assembly mounting base 25. .
[0055]
  Next, the configuration of the Z-axis slide mechanism will be described. As shown in FIG. 2, the Z-axis slide mechanism 6 is for supporting the head holding device 7 and moving up and down. As a structure for supporting the Z-axis slide mechanism 6 on the base stand 17, a 2F maintenance room is provided. 16, a pair of box frames 37 extending in the front-rear direction are supported by support columns 18 on both the left and right sides of the partition plate 14. A support frame 38 is installed on these box frames 37, and the Z-axis slide mechanism 6 is attached to the support frame 38. The Z-axis slide mechanism 6 includes a slide case 39 fixed to a support frame 38, an output member 40 (slide member) guided to be movable up and down in the slide case 39, an electric cylinder 41 that moves up and down the output member 40, The electric cylinder 41 includes a Z-axis encoder 42 and the like.
[0056]
  A support substrate 47 is fixed to the lower end portion of the output member 40 of the Z-axis slide mechanism 6 with a plurality of bolts or the like, and constitutes a part of the head assembly mounting base 25. A head holding device 7 is detachably attached to the head assembly mounting base 25. As shown in FIG. 6, the Z-axis slide mechanism 6 is configured so that the inkjet head 8 of the head holding device 7 is placed more than the partition plate 14. A discharge position DP for forming a pattern on the glass substrate 4 in the lower substrate cradle 21 and an inspection adjustment position UP for inspecting and adjusting the inkjet head 8 on the inspection adjustment stage 44 are slightly smaller than this position. It can be moved up and down over the raised home position HP.
[0057]
  Next, the configuration of the head holding device 7 will be described. As shown in FIGS. 7 to 10, the head holding device 7 includes a frame member 46, a four-joint parallel link mechanism 49, three head holders 51R, 51G, 51B (head holder 51), and a pair of rotation fulcrums 50a, 50b. It has two sets of guide mechanisms 52a and 52b, moving mechanisms 53a and 53b, a rotation drive mechanism 80, and the like, and the frame member 46 of the head holding device 7 can be attached to and detached from the support substrate 47 of the head set mounting base 25. It comes to be attached to. Further, the support substrate 47 is provided with an encoder 81 for detecting the inclination angle of the inkjet head 8 inclined by the four-bar parallel link mechanism 49.
[0058]
  The frame member 46 shown in FIG. 7 includes a main body 46a extending in the left-right direction, a left arm 46b extending forward from the left end of the main body 46a, and a right arm extending obliquely forward from the right end of the main body 46a. The left arm portion 46b and the right arm portion 46c support a tilting rotation of the four-node parallel link mechanism 49, that is, a pair of rotation fulcrums 50a and 50b for slanting.
[0059]
  10 includes a pair of second link members 57a and 57b that rotatably couple the pair of first link members 56a and 56b, a pair of pressing plates 58a and 58b, and the like. Have. The pair of first link members 56a and 56b are arranged in parallel with the main scanning direction (X-axis direction) with a predetermined interval in the front and rear direction, and the pair of second link members 57a and 57b are the first link members 56a and 56b. Are disposed parallel to the sub-scanning direction (Y-axis direction) at positions substantially corresponding to the end portions of the pair of second link members 57a and 57b. It is arrange | positioned in the state contact | abutted to. The rear first link member 56b is formed with a protrusion 60 that protrudes a predetermined length from the right second link member 57b. Further, the first link members 56a, 56b and the second link members 57a, 57b are connected by four connecting portions 61, and are rotatable around the vertical axis.
[0060]
  The head holder 51 shown in FIGS. 7 and 10 is elongated in the sub-scanning direction (Y-axis direction), and is arranged in the order of the head holders 51R, 51G, and 51B from the right side in parallel with the sub-scanning direction in the initial setting state. It is installed. The three head holders 51 are detachably attached to the pair of first link members 56a and 56b via the pair of holding plates 58a and 58b, and both ends of each head holder 51 are connected to the pair of first link members 56a and 56b. 56b is supported so as to be rotatable around a vertical axis. In addition, an inkjet head 8 that is elongated in the sub-scanning direction is detachably fixed to the head holder 51. The inkjet head 8 is made of, for example, a solvent-resistant material such as a ceramic material in order to discharge a solution (discharge liquid) obtained by liquefying an organic substance such as an EL light-emitting organic substance with a solvent.
[0061]
  In each inkjet head 8, for example, 64 nozzles 55 having a small diameter (see FIG. 12) are formed in a line at a minute pitch in the sub-scanning direction (Y-axis direction). Ink jet heads 8R, 8G, and 8B that respectively discharge a red solution, a green solution, and a blue solution are mounted on head holders 51R, 51G, and 51B that are provided in parallel with a predetermined interval in the main scanning direction. For example, 64 nozzles 55 of each inkjet head 8 are No. 1 in order from the rearmost end side (support substrate 47 side). 1, No. 1 2, ... No. 64. One nozzle 55 is a reference nozzle.
[0062]
  A pair of rotation fulcrums 50a and 50b shown in FIG. 10 is an intermediate part of the pair of second link members 57a and 57b, and the No. of the inkjet head 8R which is a reference inkjet head. This is a rotation fulcrum for slanting the four-node parallel link mechanism 49 so that the middle portion corresponding to one nozzle 55 (reference nozzle) is the rotation center, and between the pair of first link members 56a and 56b. The middle portions of the pair of second link members 57a and 57b are supported so as to be rotatable about an axis parallel to the axis of the connecting portion 61.
[0063]
  The intermediate portion is a position about 1/3 in length from the rear ends of the second link members 57a and 57b, and on the surface BF connecting the axes of the pair of rotation fulcrums 50a and 50b, the inkjet head An 8R reference nozzle 55 is located. (See FIG. 17). In addition, the reference nozzles 55 of the ink jet heads 8G and 8B may be disposed on the surface BF connecting the shaft centers, or may be disposed at positions where they are moved by a minute distance in the sub-scanning direction as necessary. There is also. The inkjet apparatus 1 slants the pair of second link members 57a and 57b of the four-node parallel link mechanism 49 within a range of 0 to 60 degrees by a desired angle with respect to the sub-scanning direction, thereby forming a pattern. The resolution in the sub-scanning direction, that is, the dot pitch can be changed.
[0064]
  A guide mechanism 52a shown in FIG. 11 is provided to guide and support the inkjet head 8B so as to be movable in the sub-scanning direction (Y-axis direction) with respect to the pair of first link members 56a and 56b. A mechanism 100 and a rear end guide mechanism 101 are provided. The front end guide mechanism 100 includes a roller member 102, a recess 103, a guide surface 104, a pressing member 105, a compression coil spring 106, and the like. On the lower surface side of the head holder 51B to which the ink jet head 8B is fixed, a roller member 102 is attached via a support shaft 107 so as to be rotatable around a vertical axis. The recess 103 formed in the first link members 56a and 56b accommodates the roller member 102 and the pressing member 105, and the guide surface 104 is formed on the right side surface of the recess 103 and is supported rotatably. The pressing member 105 is urged by the compression coil spring 106, the roller member 102 is brought into contact with the guide surface 104 by the pressing member 105, and the front end portion of the head holder 51B can be moved in parallel with the sub scanning direction via the roller member 102. It is.
[0065]
  The rear end guide mechanism 101 is also composed of a roller member 102, a concave portion 103, a guide surface 104, a pressing member 105, a compression coil spring 106, and the like, and is supported rotatably like the front end guide mechanism 100. The pressing member 105 is urged by the compression coil spring 106, the roller member 102 is brought into contact with the guide surface 104 by the pressing member 105, and the rear end portion of the head holder 51B can be moved in parallel with the sub scanning direction via the roller member 102. It is. The pressing member 105 pushes the roller member 102 rearward and rightward, and makes the roller member 102 abut on the tip of a spindle 108 of a micrometer mechanism as a moving mechanism 53a described later.
[0066]
  Further, the guide mechanism 52b has the same structure as the guide mechanism 52a, and the inkjet head 8G attached to the head holder 51G is moved in the sub-scanning direction (Y-axis direction) with respect to the pair of first link members 56a and 56b. It is provided so as to be guided and supported so as to be movable. The pair of roller members 102 provided at both ends of the head holder 51R are engaged with the guide holes of the pair of first link members 56a and 56b, respectively, and the inkjet head 8R attached to the head holder 51R is It becomes impossible to move in the sub-scanning direction.
[0067]
  As shown in FIG. 11, a micrometer mechanism as a moving mechanism 53b is attached to a bracket 112 (see FIGS. 8 and 9) fixed to the rear surface of the first link member 56b on the rear side, and a spindle at the tip of this micrometer mechanism. 108 partially enters the recess 103 of the rear end guide mechanism 101, and the tip of the spindle 108 is in contact with the roller member 102 from the rear. An input unit 114 for inputting a rotational driving force from a position adjustment driving mechanism 113 described later is formed at the rear end of the micrometer mechanism, and a minute distance proportional to the rotation angle (φ) of the input unit 114. Thus, since the spindle 108 moves back and forth in the direction determined by the rotation direction, the position of the head holder 51B can be adjusted in the sub-scanning direction (Y-axis direction). A rotation restricting portion 115 is also provided for restricting the stop side member (not shown) of the micrometer mechanism from rotating. Also, the moving mechanism 53a has the same structure as the moving mechanism 53b, and the head holder 51G can be moved by a minute distance in the sub-scanning direction.
[0068]
  7 to 9 includes a slant servomotor (servomotor with a speed reducer) 82, a lever member 83, and a rotational input shaft 84. The slant servomotor 82 is mounted in a standing posture on a motor support plate 85 fixed to the output member 40 of the Z-axis slide mechanism 6 so as to be substantially coaxial with the right pivot point 50b. Further, the output shaft 82a of the slant servomotor 82 is connected to the rotational power input shaft 84 via the lever member 83, and the second link members 57a and 57b are rotated about the rotation fulcrums 50a and 50b. It is configured.
[0069]
  An encoder 81 for detecting an inclination angle shown in FIGS. 7 to 9 is a high-resolution rotary encoder, and this encoder 81 is fixed in an upright posture on an overhanging portion 47 a of a support substrate 47, and is an input shaft of the encoder 81. Is located on the same plane as the plane connecting the axes of the pair of rotation fulcrums 50a and 50b. A roller 95a is rotatably attached by a pin 94 to a front end portion of an arm 95 fixed to the input shaft 81a of the encoder 81. The arm 95 is elastically counterclockwise in FIG. The roller 95a is biased and elastically abuts against the right side surface of the protrusion 60 on the right end side of the first link member 56b on the rear side of the four-joint parallel link mechanism 49. The stopper groove 96 of the support substrate 47 is a stopper groove for holding the arm 95 at an appropriate position when the head holding device 7 is removed, and is used when the head holding device 7 is attached to the support substrate 47. The interference of the arm 95 is prevented.
[0070]
  Next, the configuration of the position adjustment drive mechanism 113 will be described. As shown in FIGS. 4, 2, and 17, the position adjustment drive mechanism 113 is detachably connected to the moving mechanisms 53 a and 53 b of the head holding device 7 mounted on the head assembly mounting base 25. This is a mechanism for moving the inkjet heads 8B and 8G in the sub-scanning direction via the moving mechanisms 53a and 53b. The position adjustment drive mechanism 113 is disposed in the maintenance room 16 on the second floor behind the opening 14a.
[0071]
  The position adjustment drive mechanism 113 includes a Y-axis direction drive mechanism 116 made of an air cylinder, an X-axis direction drive mechanism 117 made of an air cylinder that can be moved in the Y-axis direction by the Y-axis direction drive mechanism 116, and the X-axis direction. The position adjustment servo motor 118 can be moved and driven in the X-axis direction by the drive mechanism 117, and the output section 119 for transmitting the motor drive force to the input section 114 of the movement mechanisms 53a and 53b. The output portion 119 of the position adjusting servo motor 118 is disposed forward. In a state in which the head holding device 7 mounted on the head assembly mounting base 25 is switched to the inspection adjustment position UP (see FIG. 6) by the Z-axis slide mechanism 6, the output unit 119 is used as a desired one of the inkjet heads 8G and 8B. After adjusting the position in the left-right direction (X-axis direction) so as to be concentric with the input unit 114 of the moving mechanisms 53a and 53b for the inkjet head, the output unit 119 is input by moving it forward by the Y-axis direction driving mechanism 116. The inkjet head 8 is moved forward or backward in the sub-scanning direction via the roller member 102 by being engaged with the section 114 and finely adjusting the spindle 108 of the micrometer mechanism in the sub-scanning direction by the position adjusting servo motor 118. A desired minute distance can be moved.
[0072]
  Next, the configuration of the automatic alignment adjustment mechanism 36 will be described. The X-axis direction drive unit 26 of the X-axis slide mechanism 20 of the medium holding and moving device 5 in the 1F patterning room 15 shown in FIGS. 5 and 6 is driven by the X-axis servo motor 28 including the X-axis encoder 27 in the X-axis direction. The output member 20a is driven to move with respect to a guide member (not shown), and the Y-axis direction drive unit 29 of the Y-axis slide mechanism 19 is guided in the Y-axis direction by a Y-axis servo motor 31 including a Y-axis encoder 30. The output member 19a is driven to move with respect to a member (not shown). Further, the X and Y axis slide mechanisms 20 and 19 are respectively provided with an X axis linear scale 189 and a Y axis linear scale 198 (see FIG. 27) that can accurately detect the movement amounts of the output members 20a and 19a. ing.
[0073]
  Further, as shown in FIG. 24, large and small alignment marks AM1, AM2, AM3, AM4 are marked at the left and right corners on the rear end side of the glass substrate 4, and these alignment marks AM1-AM4 are imaged. The control device 13 to be described later analyzes the image information, obtains the amount of deviation from the origin position of the glass substrate 4, and sets the glass substrate 4 to the origin position.
[0074]
  As shown in FIG. 4, in order to image the left alignment marks AM1 and AM3, on the 2F inspection adjustment stage 44, on the left side of the opening 14a, a glass window (not shown) provided on the partition plate 14 is provided. A low-magnification CCD camera 32a and a high-magnification CCD camera 32c for imaging the alignment marks AM1 and AM3 below are provided. These CCD cameras 32a and 32c are attached to a common support plate 145, and the height position can be adjusted by the air cylinder 146 when the thickness of the glass substrate 4 changes, and the focus can be adjusted by manual operation. ing.
[0075]
  Similarly, in order to image the right alignment marks AM2 and AM4, on the right side of the opening 14a, low magnification is used to image the lower alignment marks AM2 and AM4 from a glass window (not shown) provided on the partition plate 14, respectively. CCD camera 32b and a high magnification CCD camera 32d are provided. These CCD cameras 32b and 32d are attached to a common support plate 147, and the height position can be adjusted by the air cylinder 148 when the thickness of the glass substrate 4 changes, and the focus can be adjusted by manual operation. ing. Furthermore, in order to make it possible to detect the right alignment marks AM2 and AM4 whose positions fluctuate in the left-right direction and the front-rear direction when the glass substrate 4 has a large loading position error or when the size of the glass substrate 4 changes, An X-axis direction movement drive mechanism 149 and a Y-axis direction movement drive mechanism 150 are also provided that can accurately and independently drive the support plate 147 and the two CCD cameras 32b and 32d independently in the X and Y axis directions.
[0076]
  Next, the configuration of the inspection adjustment device 9 will be described. As shown in FIG. 4, the inspection adjustment device 9 includes a head maintenance mechanism 123 that performs maintenance of the ink jet head 8 and a discharge inspection mechanism 121 that inspects the discharge state of droplets from the ink jet head 8. The head maintenance mechanism 123 cooperates with the discharge inspection mechanism 121 when the discharge inspection mechanism 121 inspects the discharge state from the plurality of nozzles 55 arranged in the sub-scanning direction of the inkjet head 8. .
[0077]
  The head maintenance mechanism 123 is provided slightly in front of the opening 14 a of the partition plate 14 in the maintenance room 16. The head maintenance mechanism 123 includes an electric cylinder 124, a blotting paper feed mechanism 125, a paper feed drive mechanism 126, a pressure purge tray 127, a wipe rubber pad 128, and the like. The rubber pad 128 includes three rubber pads 128R, 128G, and 128B.
[0078]
  As shown in FIG. 23, a blotting paper feeding mechanism 125, a tray 127, and a rubber pad 128 are integrally supported on the movable table 129, and the movable table 129 is moved in the front-rear direction (Y-axis direction) by the electric cylinder 124. Is driven to move. Then, the blotting paper feeding mechanism 125, the tray 127, and the rubber pad 128 are positioned below the inkjet head 8 of the head holding device 7 that has been in the inspection adjustment position UP (see FIG. 6) by the Z-axis slide mechanism 6. The position can be switched to.
[0079]
  The blotting paper feeding mechanism 125 includes a one-way clutch type driving roller 130 capable of transmitting the motive power from the paper feeding driving mechanism 126, and a belt 131 hung between the driving roller 130 and in a direction opposite to the winding direction. It comprises a back tension mechanism 132 for applying a constant tension, driven rollers 133 and 134, a support plate 135, and the like. The blotting paper 136 is set on the roller portion of the back tension mechanism 132 and is wound up via the driven rollers 133 and 134 driven by the paper feed driving mechanism 126.
[0080]
  The paper feed drive mechanism 126 is configured so that the blotting paper take-up servomotor 137 having an output shaft 137a to which rubber having a high friction coefficient is externally fixed and the blotting paper take-up servomotor 137 can freely slide in the X-axis direction. It has an X-axis direction slide mechanism 138 to be supported, and a slide drive air cylinder 139 for moving and driving the output shaft 137a of the blotting paper take-up servomotor 137 between the drive force transmission position and the non-transmission position.
[0081]
  Three concave portions 127R, 127G, and 127B are formed in the pressure purge tray 127, and the inkjet heads 8R, 8G, and 8G of the head holding device 7 that are brought into the inspection adjustment position UP (see FIG. 6) by the Z-axis slide mechanism 6 are formed. Recesses 127R, 127G, and 127B are disposed so as to be opposed to 8B, respectively.
[0082]
  Further, as shown in FIG. 4, the discharge inspection mechanism 121 is disposed in the maintenance room 16 on the 2nd floor so as to be opposed to both the left and right sides of the opening 14a of the partition plate 14 and in the vicinity of the head maintenance mechanism 123. Yes. The discharge inspection mechanism 121 includes Y-axis direction movement drive mechanisms 140a and 140b, photographing position switching mechanisms 141a and 141b, a CCD camera 142 as an image pickup means for picking up the discharge state of liquid droplets, and a light projecting to the CCD camera 142. It has a strobe projector 143 as a light means.
[0083]
  The CCD camera 142 is disposed on the left side, and a Y-axis direction movement drive mechanism 140a for moving the CCD camera 142 in the sub-scanning direction (Y-axis direction) and a CCD camera 142 for moving the CCD camera 142 in two steps in the main scanning direction. And a photographing position switching mechanism 141a composed of two upper and lower air cylinders 144 are provided. Further, the strobe projector 143 is arranged on the right side, and the photographing position switching is made up of a Y-axis direction moving drive mechanism 140b for moving the strobe projector 143 in the sub-scanning direction and the upper and lower air cylinders 144 similar to the above. A mechanism 141b is provided.
[0084]
  Next, the configuration of the droplet supply device 12 will be described. As shown in FIG. 1, FIG. 3, and FIG. A droplet supply device 12 is provided for supplying the liquid. Liquid containers 152R, 152G, and 152B containing discharge solutions 10 for red, green, and blue are equipped to move up and down in conjunction with the up and down movement of the Z-axis slide mechanism 6, and the waste liquid collection container 153 and the flushing liquid 11 are equipped. A container 154, a valve unit 155, and the like are also provided.
[0085]
  Further, a tube is connected to each of the recesses 127R, 127G, and 127B of the pressure purge tray 127 of the head maintenance mechanism 123, and is connected to a waste liquid collection container 153 via a valve unit 155. The tube 156 is connected to a mist separation tank (not shown) via the valve unit 155. Further, the tubes 157, 158, 159, 160 are connected to a compressed nitrogen gas line (not shown) through a valve unit 155.
[0086]
  Further, the support frame 161 of the droplet supply device 12 is provided with a movable frame 162 (holding base), and the tip of the rod of an electric cylinder 164 with a metal bellows is connected to the movable frame 162, and this electric cylinder 164. The support frame 161 is provided so as to be movable up and down by the liquid container lifting mechanism 163 having the above. Further, following the liquid consumption in the three liquid containers 152R, 152G, and 152B, three liquid level position maintaining mechanisms 166 that maintain the liquid level in the liquid containers 152R, 152G, and 152B at the reference height position are provided. Each liquid level position maintaining mechanism 166 is provided with a lock mechanism 167.
[0087]
  The liquid level position maintaining mechanism 166 holds a cylindrical casing 168 disposed in the vertical direction, a shaft-shaped member 169, a compression coil spring 170 as an elastic member, a sleeve 171, and the liquid containers 152R, 152G, and 152B. Each holding body 165R, 165G, 165B, etc. A flange 168 a formed at the upper end of the casing 168 is detachably connected to the movable frame 162, and a shaft-like member 169 is integrally fixed to the casing 168 inside the casing 168.
[0088]
  Further, the upper end portion of the shaft-like member 169 is connected to the holding body 165 inside the casing 168. A sleeve 171 made of a ball spline is driven into the casing 168. A compression coil spring 170 is provided in an annular space surrounded by the casing 168, the shaft-like member 169, and the sleeve 171.
[0089]
  The lock mechanism 167 is a mechanism for locking the movable frame 162 up and down by the electric cylinder 164 so that the vertical movement caused by the elastic support by the compression coil spring 170 does not occur. A cylinder and a locking pad fixed to the tip of the rod; The cylinder body is fixed to the side surface of the upper half portion of the casing 168 in a lateral direction, the tip of the rod is inserted into the casing 168, and can be locked by pressing the shaft member 169 with a lock pad. The liquid containers 152R, 152G, and 152B, the waste liquid collection container 153, and the container 154 for the flushing liquid 11 are accommodated in a glove box 172 and can be replaced via a hatch (not shown).
[0090]
  Next, the configuration of the control system including the control device 13 will be described. As shown in FIGS. 27 and 28, the host control unit 173 of the control device 13 includes a computer including a CPU 173a, a ROM 173b, and a RAM 173c, and the ROM 173b includes various motors, image pickup devices, and strobe lights of the inkjet device 1. A control program to be executed by the CPU 173a for controlling the device and other various devices is stored. The host control unit 173 includes an operation panel 174, an external storage device 175, a power supply circuit 176, and a floppy disk drive (FDD) that reads and writes a floppy disk 305 a for inputting CAD data and the like. ) 305 is connected. The external storage device 175 stores later-described dot pattern data formed on the glass substrate 4, system constants of the inkjet device 1, production management information, and the like.
[0091]
  The host control unit 173 includes a DSP (Digital Signal Processor) 178, a multi-axis feed pulse generation circuit 179, a multi-axis feed pulse generation circuit 180, an output register 181, an input register 182, an alignment controller 183, via an input / output line 177. It is connected to a discharge inspection controller 184, a loader interface (I / F) 185, and the like. The DSP 178 is connected to the three inkjet heads 8R, 8G, and 8B via the signal output circuit 186 and the drive circuit 187. The DSP 178 includes a CPU, a ROM, and a RAM. The ROM stores a discharge recording control program that drives the inkjet head 8 to perform patterning.
[0092]
  The signal output circuit 186 includes a droplet discharge signal generation circuit 310 that adjusts timing based on a signal transmitted from the DSP 178 according to the process of the discharge recording control program and generates a droplet discharge signal. As shown in FIG. 29, the droplet discharge signal generation circuit 310 has a signal start point, the number of panels, the panel interval, the number of banks, the bank based on the signal from the X-axis linear scale 189 transmitted through the DSP 178. There are provided counters 310a, 310b, 310c, 310d, 310e, 310f, 310g, a latch circuit 311, a logic circuit, and the like for counting each parameter of the pitch, the number of times of multiple strikes, and the pitch of multiple strikes. The droplet discharge signal generation circuit 310 has a circuit for + X direction and a circuit for −X direction at the time of main scanning of the ink-jet head 8 for each nozzle 55 of the ink-jet head 8. The number corresponding to 55 is provided. For example, if each of the inkjet heads 8R, 8G, and 8B includes 64 nozzles 55, the signal output circuit 186 is provided with 3 × 64 × 2 droplet ejection signal generation circuits 310.
[0093]
  The drive circuit 187 has a generation circuit that generates drive pulses for driving a large number of nozzle driving piezoelectric elements. The waveform of the drive pulse may be set in common to the inkjet heads 8R, 8G, and 8B, or may be set differently for each of the inkjet heads 8R, 8G, and 8B, but the drive pulse is displayed. A waveform monitor 188 is connected to the drive circuit 187.
[0094]
  The DSP 178 is also connected to the multi-axis feed pulse generation circuit 179, and the movement of the X-axis slide mechanism 20 driven by the X-axis servo motor 28 to perform patterning in synchronization with the movement of the glass substrate 4 in the X-axis direction. A detection signal of the X-axis linear scale 189 for accurately detecting the amount is supplied to the DSP 178 via the amplifier AMP. The DSP 178 is connected to a data storage device 190 for recording ejection recording data and phase data (data for setting ejection timing), and the data storage device 190 stores data supplied from the host control unit 173. In addition, the data is output to the DSP 178 at the time of patterning.
[0095]
  The multi-axis feed pulse generation circuit 179 includes a drive circuit (X) 191 for the X-axis servo motor 28 of the X-axis slide mechanism 20 that feeds the glass substrate 4 in the X-axis direction, and a Y-axis servo motor of the Y-axis slide mechanism 19. 31, a drive circuit (θ) 193 for the slant servomotor 82, an amplifier AMP that amplifies the detection signal of the encoder 81 that detects the slant angle θ, and a sub-head of the head holders 51 G and 51 B A drive circuit (φ) 194 for a position adjusting servo motor 118 that adjusts the position in the scanning direction, and a drive circuit (Z) 195 for a Z-axis slide servo motor 41a that drives an electric cylinder 41 that moves the head holding device 7 up and down. , And a drive for the Z1 slide servo motor 196 of the electric cylinder 164 for moving up and down the movable frame 162 of the droplet supply device 12. Such as a circuit (Z1) 197 is connected.
[0096]
  Here, the drive circuit 191 for the X-axis servomotor 28 performs motor control based on the detection signal of the X-axis encoder 27 built in the X-axis servomotor 28 and the detection signal of the X-axis linear scale 189. Similarly, a Y-axis linear scale 198 for accurately detecting the amount of movement of the Y-axis slide mechanism 19 in the Y-axis direction is also provided, and a drive circuit 192 for the Y-axis servo motor 28 is provided as a Y-axis servo motor 428. The motor control is performed on the basis of the detection signal of the Y-axis encoder 30 built in and the detection signal of the Y-axis linear scale 198. Therefore, the X and Y axis slide mechanisms 20 and 19 can precisely move and drive the glass substrate 4 independently in the X and Y axis directions so that the position of the glass substrate 4 in the X and Y axis directions can be precisely controlled. It is configured.
[0097]
  The multi-axis feed pulse generation circuit 180 includes a drive circuit (α) 200 for an alignment adjustment servo motor 199 that rotates the glass substrate 4 to adjust the glass substrate 4 to the origin position, and a CCD camera for ejection inspection. Drive circuit (C) 202 for moving servo motor 201, drive circuit (S) 204 for discharge inspection strobe moving servo motor 203, and head maintenance mechanism 123 for driving electric cylinder 124 of head maintenance mechanism 123 A drive circuit (M) 206 for the servo motor 205 and a drive circuit (F) 207 for the blotting paper winding servo motor 137 of the head maintenance mechanism 123 are connected.
[0098]
  As shown in FIG. 28, a relay circuit for driving a plurality of solenoid valves (SOL1, SOL2, etc.) 208 of the valve unit 155 of the droplet supply device 12 is connected to the input / output line 177 connected to the host control unit 173. 209, an output register 181 connected to a plurality of detection switches (LS1, LS2, etc.), an input register 182 connected to the I / F 210, and four CCD cameras 32a to 32a for adjusting the alignment of the glass substrate 4. A loader that exchanges signals with the alignment controller 183 connected to 32d, the discharge inspection controller 184 that drives the CCD camera 142 for discharge inspection and the strobe projector 143, and the loader H for transporting the external glass substrate 4. I / F 185 for use is connected. The alignment controller 183 is also connected with a monitor 211a and a keyboard 211b.
[0099]
  Next, the operation of each part of the inkjet apparatus 1 according to the present embodiment will be described with reference to the drawings. First, the operation of the automatic alignment adjustment mechanism 36 for setting the glass substrate 4 to the origin position (initial setting position) will be described with reference to the drawings. FIG. 22 is a diagram showing the configuration of the glass substrate 4 and the automatic alignment adjustment mechanism 36.
[0100]
  As shown in FIG. 22, in the inkjet apparatus 1, when the glass substrate 4 placed on the substrate cradle 21 is aligned to the origin position, the four CCD cameras 32 a to 32 d equipped in the maintenance room 16 on the 2F are used. The four alignment marks AM1 to AM4 on the glass substrate 4 are imaged to detect the position of the glass substrate 4, and based on the detected position information, the X-axis and Y-axis slide mechanisms 20 and 19 are used to move the substrate base 21 to the X-axis. , By adjusting the position in the Y-axis direction, and by means of a rotation adjusting device 35 including a cam piece 33 frictionally engaged with the lower surface of the substrate cradle 21 and an electric cylinder 34 that can finely move the cam piece 33 in the X-axis direction. The angle (α) of the substrate pedestal 21 is adjusted with the pin 22 as the center, and the alignment of the glass substrate 4 is adjusted to the origin position.
[0101]
  First, in the automatic alignment adjustment mechanism 36, image information obtained by imaging the larger alignment marks AM 1 and AM 2 with the left and right low magnification CCD cameras 32 a and 32 b is supplied to the control device 13. The control device 13 analyzes the image information with a predetermined control program, and shifts ΔX and ΔY in the X and Y axis directions from the origin position of the glass substrate 4 and a rotation angle shift around the pin 22. Find Δα. Then, the control device 13 drives and controls the X and Y axis slide mechanisms 20 and 19 and the rotation adjusting device 35 so that the deviation amounts ΔX, ΔY, and Δα are eliminated, so that the glass substrate 4 is roughly moved to the origin position. Position it.
[0102]
  Next, image information obtained by imaging the smaller alignment marks AM 3 and AM 4 with the left and right high-power CCD cameras 32 c and 32 d is supplied to the control device 13. As in the case described above, the control device 13 analyzes the image information to obtain the deviation amounts ΔX, ΔY, Δα from the origin position of the glass substrate 4 so that the deviation amounts ΔX, ΔY, Δα are eliminated. The X and Y axis slide mechanisms 20 and 19 and the rotation adjusting device 35 are driven and controlled to precisely position the glass substrate 4 at the origin position. Therefore, the automatic alignment adjustment mechanism 36 can accurately and reliably position the glass substrate 4 at the origin position even when the thickness or size of the glass substrate 4 changes.
[0103]
  Next, the operation of the inspection adjustment device 9 will be described. First, the operation of each part of the head maintenance mechanism 123 of the inspection adjustment device 9 will be described. As shown in FIG. 23, in the paper feed drive mechanism 126, the electric cylinder 124 drives the movable table 129 to move to the standby position (absorbing paper winding position), and the slide driving air cylinder 139 moves the blotting paper winding servomotor 137. The output shaft 137a is switched to the driving force transmission position, the rotational driving force of the blotting paper winding servo motor 137 is transmitted to the input shaft of the driving roller 130, and the blotting paper 136 is fed in the direction of arrow D.
[0104]
  In addition, the pressure purge tray 127 has the three inkjet heads 8R, 8G, and 8B that have been relatively moved upwardly opposed to the three concave portions 127R, 127G, and 127B, and the three inkjet heads 8R, 8G, and 8B. The flushing liquid 11 is supplied from the droplet supply device 12 and discharged from the nozzle 55, and the waste liquid is sucked to clean the nozzle 55.
[0105]
  When the ejection inspection is performed, the inkjet heads 8R, 8G, and 8B are relatively moved above the recesses 127R, 127G, and 127B, and then performed on the inkjet heads 8R, 8G, and 8B, respectively. Therefore, in the case of a discharge inspection by the discharge inspection mechanism 121, the liquid droplets discharged from the inkjet head 8 are collected without being scattered. The three inkjet heads 8R, 8G, and 8B are relatively moved above the rubber pads 128R, 128G, and 128B, and the three inkjet heads 8R, 8G, and 8B have three rubber pads 128R, 128G when the inkjet apparatus 1 is at rest. 128B, so that the nozzle 55 is prevented from drying.
[0106]
  Next, the operation of the discharge inspection mechanism 121 of the inspection adjustment device 9 will be described with reference to the drawings. FIG. 19 is a diagram illustrating a configuration of the discharge inspection mechanism 121. FIG. 20 is a diagram illustrating an imaging region of the CCD camera 142 of the ejection inspection mechanism 121. FIG. 21 is a diagram showing the observation window 151 and the displayed droplets. As shown in FIG. 19, the inspection of the discharge status of the three inkjet heads 8R, 8G, and 8B is performed for each inkjet head 8, and each inkjet head 8 has 64 nozzles 55 in the sub-scanning direction ( (In the Y-axis direction) (see FIG. 12). 1-No. No. 16 nozzles are the first group of nozzles. 17-No. No. 32 nozzle is the second group nozzle, 33-No. With 48 nozzles as the third group nozzles and No. 49 to No. 64 nozzles as the fourth group nozzles, the discharge inspection is performed for each nozzle group having 16 nozzles as one group. In this case, the CCD camera 142 and the strobe projector 143 are set to the initial positions in the sub-scanning direction, and the first group No. 1-No. The ejection state of the 16 nozzles is inspected, and then the CCD camera 142 and the strobe projector 143 are moved forward, so that the second group No. 17-No. The discharge state of 32 nozzles is inspected, and similarly, the discharge inspection of the nozzles of the third group and the fourth group is performed in the same manner.
[0107]
  The Y-axis direction movement drive mechanisms 140a and 140b are mechanisms for moving and driving the CCD camera 142 and the strobe projector 143, respectively, by a distance corresponding to 16 nozzles in the sub-scanning direction (Y-axis direction). In addition, in order to perform the discharge inspection of the nozzles 55 of the inkjet heads 8R, 8G, and 8B under the same conditions, imaging is always performed by discharging droplets to an intermediate position between the CCD camera 142 and the strobe projector 143. Therefore, according to the inkjet head to be inspected among the three inkjet heads 8R, 8G, and 8B, the photographing position switching mechanisms 141a and 141b can switch the position of the CCD camera 142 and the strobe projector 143 in three stages in the X-axis direction. It is possible.
[0108]
  When inspecting the inkjet head 8R, the two-stage air cylinder 144 is expanded to the maximum in the left photographing position switching mechanism 141a, and the two-stage air cylinder 144 is contracted the most in the right photographing position switching mechanism 141b. Further, when inspecting the inkjet head 8G, only one of the two-stage air cylinders is contracted in the left photographing position switching mechanism 141a, and the right photographing position switching mechanism 141b is out of the two-stage air cylinders. Only one of these is decompressed. Further, when the inkjet head 8B is inspected, the left-side imaging position switching mechanism 141b extends the two-stage air cylinders to the maximum extent. As described above, the ejection inspection mechanism 121 can capture an image while the relative positions of the CCD camera 142 and the strobe projector 143 with respect to the inspection target inkjet head 8 are always kept constant by the photographing position switching mechanisms 141a and 141b. Therefore, the reliability of the discharge inspection can be improved.
[0109]
  Next, details of the discharge inspection by the discharge inspection mechanism 121 will be described. As described above, the discharge inspection for inspecting the discharge state from the nozzle 55 is performed for each ink jet head 8, and is performed for each nozzle group of each ink jet head 8. Further, the discharge inspection mechanism 121 performs the discharge inspection by raising the head holding device 7 to the 2F inspection adjustment stage 44, that is, the raised position while the head holding device 7 is mounted on the output member 40 of the Z-axis slide mechanism 6. Therefore, the discharge inspection by the discharge inspection mechanism 121 is executed during the stop time of the process for forming the pattern on the glass substrate 4. For this reason, the operation rate of the inkjet apparatus 1 can be raised significantly.
[0110]
  Here, a technique for determining whether or not the nozzle 55 is ejected during ejection inspection will be described. As shown in FIG. 20, in the imaging area PA (about 6.5 × 5 mm) of the CCD camera 142, 16 observation windows 151 corresponding to the 16 nozzles 55 are spaced at regular intervals in the sub-scanning direction (Y-axis direction). As shown in FIG. 21, each observation window 151 is set at a position of about 1.5 mm downward from the lower end of the nozzle 55, and has a rectangular shape of 60 pixels vertically and 10 pixels horizontally.
[0111]
  For example, droplets are ejected from the 16 nozzles 55 of the nozzle group at a speed of about 7 m / s, for example, and the droplets imaged on the observation window 151 are photographed. At this time, the shutter speed of the CCD camera 142 is, for example, about 0.1 ms, and the flash emission time is about 1 μs. The image signal thus captured is supplied to the control device 13 and is subjected to image processing by a predetermined image processing program. In this image processing, for example, if most of the image of the droplet from the inkjet head 8 enters the observation window 151, it is determined to be normal, and if it is outside the observation window 151, it is determined to be abnormal. Possible causes of abnormal discharge include abnormal discharge speed, non-discharge, and accumulation of foreign matter (mainly EL polymer adhered) on the nozzle surface.
[0112]
  Next, the tilt rotation of the inkjet head 8, that is, the slant operation and the discharge operation will be described with reference to the drawings. FIG. 13 is a chart showing the ranked nozzle-to-nozzle dimension error and center error. FIG. 15 is a configuration diagram of a state in which the four-joint parallel link mechanism 49 and the ink jet head 8 are at initial positions. FIG. 16 is a configuration diagram in a state where the four-node parallel link mechanism 49 and the inkjet head 8 are slanted. FIG. 18 is a diagram illustrating a dot arrangement example of each of the discharged R, G, and B droplets. FIG. 25 is a diagram showing a movement path for forming the pattern by moving the inkjet head 8 by one scan at a time. FIG. 26 is a diagram showing a movement path for forming a pattern by interlacing the inkjet head 8 for each scan.
[0113]
  First, as shown in FIGS. 7 to 9, in the head holding device 7 supported by the Z-axis slide mechanism 6, the slant servomotor 82 of the rotation drive mechanism 80 for slanting the four-bar parallel link mechanism 49 is used. When the output shaft 82 a rotates, the rotational power is transmitted to the rotational power input shaft 84 through the lever member 83. Then, the second link member 57b is slanted by the same angle as the rotation angle of the output shaft 82a, and the pair of second link members 57a, 57b of the four-node parallel link mechanism 49 and the three head holders 51 are interlocked with each other. Slant only at the same angle.
[0114]
  The encoder 81 detects the amount of slant of the four-joint parallel link mechanism 49 rotated by the rotation drive mechanism 80. As shown in FIG. 15, when the four-node parallel link mechanism 49 is not slanted, the head holders 51R, 51G, 51B are supported in parallel in the sub-scanning direction (Y-axis direction). At this time, that is, in the initial state, the center line of the arm 95 faces the sub-scanning direction. Next, as shown in FIG. 16, when the four-joint parallel link mechanism 49 is slanted clockwise around the pair of rotation fulcrums 50a and 50b, the first link member 56b moves to the right. The encoder 81 can detect the amount of slant. That is, when the four-node parallel link mechanism 49 slants, the arm 95 slants in parallel with the pair of second link members 57a and 57b, so the encoder 81 accurately detects the slant angle θ of the four-node parallel link mechanism 49. can do.
[0115]
  Thus, when the second link members 57a, 57b and the three head holders 51R, 51G, 51B are slanted, the slant angle θ detected by the inkjet head 8 with respect to the sub-scanning direction is fed back so as to obtain a desired slant angle. The rotation angle of the slant servomotor 82 is controlled. The control device 13 controls the rotation angle of the inkjet head 8 by the rotation drive mechanism 80 based on the resolution of pattern formation, that is, the desired dot pitch in the sub-scanning direction.
[0116]
  In addition, when it is necessary to shift the discharge positions of the respective colors of red, green, and blue depending on the desired discharge pattern, the positions of the inkjet heads 8G and 8B in the sub-scanning direction are adjusted by the moving mechanisms 53a and 53b. Can respond. If the spindle 108 of the position adjustment drive mechanism 113 shown in FIG. 4 is inserted into the recess 103 shown in FIG. 11, the rear roller member 102 is a roller biasing means (the compression coil spring 106 is an example thereof). It moves to the front side against. If the spindle 108 is retracted from the recess 103, the rear roller member 102 is moved backward following the tip of the spindle by the roller biasing means. At this time, the front roller member 102 also moves in the front-rear direction in the recess 103 of the link member 56a. Since the front and rear roller members 102 are moved back and forth along the guide surface 104, the head holder 51B moves in the sub-scanning direction (Y-axis direction) regardless of the rotational bias of the four-bar parallel link mechanism 49. ). Similarly, the head holder 51G is moved in the sub-scanning direction regardless of the turning bias of the four-joint parallel link mechanism 49. Although the head holder 51R cannot move in the sub-scanning direction, the head holder 51G is moved in the sub-scanning direction by moving the head holders 51G and 51B independently in the sub-scanning direction. Has the same effect.
[0117]
  The three inkjet heads 8 equipped in the head holding device 7 respectively discharge the liquid droplets for a plurality of colors for discharging and forming EL light emitting layers that emit light of a predetermined plurality of colors. In the present embodiment, the three inkjet heads 8 are inkjet heads 8R that eject droplets for R (red), G (green), and B (blue), respectively, for ejecting and forming a full-color EL light emitting layer. 8G and 8B, three types of droplets are respectively supplied from the droplet supply device 12 (see FIG. 14) described later to the corresponding inkjet heads 8R, 8G, and 8B via the tubes, and droplets are supplied from the plurality of nozzles 55. Can be discharged.
[0118]
  For example, FIGS. 18A to 18F show an example of the arrangement of R, G, and B dots that make up a set of pixels in the EL light emitting layer. Only the dots may shift in the sub-scanning direction, and both the G dots and the B dots may shift in the sub-scanning direction with respect to the R dots. The position can be adjusted in the scanning direction.
[0119]
  Further, as shown in FIGS. 12 and 13, the inter-nozzle dimension error with respect to the design theoretical value of the inter-nozzle dimension L at the front and rear ends of the inkjet head 8 is ranked in five stages of ranks 1, 2, 3, 4, and 5. In addition, one inkjet head 8R, 8G, 8B is composed of the inkjet heads 8 having the same dimensional error between nozzles. When slanting the four-joint parallel link mechanism 49 by the rotation drive mechanism 80 by any rotation angle from the range of 0 to 60 degrees, the dimensional error between the nozzles of the three inkjet heads 8R, 8G, and 8B. The slant angle θ is corrected based on the center error in the rank.
[0120]
  When calculating the slant angle for slanting the four-bar parallel link mechanism 49, the slant angle is calculated using one of the center errors corresponding to ranks 1 to 5 among the center errors (+10, +5, 0, -5, -10). A correction processing program for performing correction processing for correcting θ is stored in the control device 13 in advance. However, an error in the interval between adjacent nozzles (that is, a value obtained by dividing the error by the number of intervals between nozzles) may be employed instead of the dimensional error between nozzles.
[0121]
  Next, control for patterning R, G, and B dot patterns on the glass substrate 4 at various recording resolutions (ejection resolutions) using the inkjet apparatus 1 will be described. This control is executed by the host control unit 173 of the control device 13. For example, if the nozzle spacing in the sub-scanning direction of the nozzles 55 in a row in each inkjet head 8 is 75 dpi, 1 inch is about 25.4 mm, and therefore the nozzle spacing P is P = (25.4 / 75) mm. Then, the pair of second link members 57a and 57b of the four-node parallel link mechanism 49 and the three head holders 51 are slanted by an angle θ with respect to the sub-scanning direction as shown in FIG. In this case, since the nozzle interval Pθ in the sub-scanning direction is P × cos θ, the nozzle interval is changed from P × (1.0) to P × (0) by changing the angle θ in the range of 0 to 60 degrees. .5) can be continuously reduced.
[0122]
  For example, when the desired resolution in the sub-scanning direction, that is, the dot pitch is 75 to 150 dpi (see FIGS. 24 and 25), the slant angle θ of the inkjet head 8 is desired in the sub-scanning direction within the range of 0 to 60 degrees. The angle is set to dpi, and each time ejection is performed in the main scanning direction for one scan, the glass substrate 4 is stepped forward by 64 × P × cos θ (in the direction opposite to the sub-scanning direction). For example, θ = 0 ° when 75 dpi, and θ = 60 ° when 150 dpi.
[0123]
  Further, when the desired dot pitch in the sub-scanning direction is 150 to 300 dpi (see FIG. 26), for example, the patterning when the dot pitch is 150 dpi is as shown by a one-dot chain line after patterning with a dot pitch of 75 dpi. This can be achieved by shifting the head holder 51 in the sub-scanning direction by a distance half the dot pitch and performing patterning with interlace. Accordingly, the slant angle θ of the inkjet head 8 is set to an angle that is half the desired dpi in the sub-scanning direction within the range of 0 to 60 degrees as described above, and ejection recording is performed in the main scanning direction for one scan. Thereafter, the glass substrate 4 is finely fed backward by 0.5 × P × cos θ to perform ejection recording for one scan, and then the glass substrate 4 is stepped backward by 63.5 × P × cos θ. For example, θ = 0 ° at 150 dpi, and θ = 60 ° at 300 dpi.
[0124]
  Also, when the desired dot pitch in the sub-scanning direction is 37.5 to 75 dpi, the angle at which the slant angle θ of the inkjet head 8 is twice the desired resolution in the sub-scanning direction within the range of 0 to 60 degrees. For example, no. Only the odd numbered nozzles 1, 3, 5,. For example, θ = 0 ° when 37.5 dpi, and θ = 60 ° when 75 dpi.
[0125]
  Note that the above is only a few examples of resolution settings, and it is possible to perform ejection recording at a resolution of 225 to 450 dpi, 300 to 600 dpi, or other resolutions by further finely performing interlacing. Thus, the rotation drive mechanism 80 can control the rotation angle of the inkjet head 8 within the range of 0 to 60 degrees based on the control of the control device 13.
[0126]
  Here, correction control for correcting the production error of the nozzle interval by the slant angle θ will be described. This control is executed by the host control unit 173 of the control device 13. When the nozzle interval between adjacent nozzles is P0 and the number of nozzles is n, the inter-nozzle dimension L0 at the front and rear ends is expressed by the following equation.
L0 = P0 · (n−1)
If the dimension between the nozzles at the front and rear ends is L, the error ΔL is
ΔL = (L−L0)
It becomes. The inter-nozzle dimension L of each of the manufactured inkjet heads 8 is measured, and classified into any of ranks 1 to 5 of inter-nozzle dimension errors shown in FIG.
[0127]
  When the resolution in the sub-scanning direction of the target for performing discharge recording is R, the slant angle is θ, and the nozzle interval is P1, the nozzle interval is expressed by the following equation.
P1 = L / (n−1) = (ΔL + L0) / (n−1)
= [ΔL + P0 · (n−1)] / (n−1) = ΔL / (n−1) + P0
Since the nozzle interval in the sub-scanning direction at the slant angle θ is P1 · cos θ,
25.4 / R = P1 · cos θ = [ΔL / (n−1) + P0] · cos θ
θ = cos-1(25.4 / R) / [ΔL / (n−1) + P0]
[0128]
  In other words, the slant angle θ can be theoretically determined by the resolution R, but actually, the slant angle θ is excessively rotated by Δθ due to the existence of an error in the nozzle interval. If an error between the resolution and the nozzle interval is designated prior to the slant, the actual slant angle θ ′ is calculated. As a method for specifying the error in the nozzle interval, if the error in the nozzle interval of the plurality of inkjet heads is all the same, the value may be directly specified. In general, there are few cases where a plurality of inkjet heads have the same nozzle interval error, and when managing the nozzle interval error, the pitch error is divided into a plurality of ranges (for example, five) and each is divided. It is easy to manage if you rank. For this reason, since the error center value is obtained for each rank from the upper limit value and the lower limit value of the nozzle interval error for each rank, this error center value (center error) may be designated as the nozzle interval error. In this way, if an actual rotational angle is obtained from the resolution and the center error using an inkjet head having the same error rank from among a large number of inkjet heads, roughly correct correction can be performed.
[0129]
  By the above equation, slanting by the slant angle θ within a range satisfying 0 ≦ θ ≦ 60 °, that is, 0.5 ≦ cos θ ≦ 1, can be corrected so as to eliminate the error in the nozzle interval. However, when P1 · cos θ = 25.4 / R = P0, θ = 0 ° should originally be sufficient, but when the inter-nozzle dimension L is short, P1 ≦ P0 and cos θ ≧ 1. P1 · cos θ = 25.4 / R = P0 does not hold. In addition, when 25.4 / R = P0 / 2, θ = 60 ° should be sufficient, but when the inter-nozzle dimension L is long, P0 ≦ P1 and cos θ ≦ 0.5. 25.4 / R = P0 / 2 = P1 · cos θ is not established. In this case, the slant angle θ is returned to around 0 °, and the interlace is inserted for one scan to perform ejection recording.
[0130]
  By the way, as shown in FIG. 24, on the glass substrate 4, there are a plurality of banks 300 for partitioning so that the droplets of each color to be discharged are not mixed, and a panel 301 in which the plurality of banks 300 are aligned and formed. Is provided. In the present invention, the resolution corresponds to the distance (bank pitch) between the banks 300 in the sub-scanning direction (Y-axis direction). The panel 301 is a discharge work area in the present invention.
[0131]
  Next, the relative movement between the inkjet head 8 and the glass substrate 4 in the case of patterning and the operation of discharging droplets will be described with reference to FIGS. The droplet discharge signal generation circuit 310 is provided independently for all the nozzles 55 and for the ± X-axis directions, and the operation of each nozzle 55 is the same. The + direction droplet ejection signal generation circuit 310 of the 8R reference nozzle 55 will be described.
[0132]
  As shown in FIGS. 27 and 29, when patterning is performed in the inkjet apparatus 1, first, setting values are written in the counters 310a to 310g based on each data input in S1 of FIG. 27 described later. When the alignment adjustment by the automatic alignment adjustment mechanism 36 is completed, that is, when the reference nozzle 55 is positioned at the reference position for starting printing, a reset signal is transmitted from the DSP 178, and the counters 310a to 310g are reset.
[0133]
  Next, when patterning is started, the CPU 173a of the host control unit 173 transmits a signal to the drive circuits 191 and 192 to generate drive voltages for driving the X and Y axis servomotors 28 and 31, respectively. The glass substrate 4 is moved relative to the inkjet head 8 in the main scanning direction and the sub-scanning direction by driving the X and Y axis servomotors 28 and 31 according to the patterning program stored in the ROM 173b.
[0134]
  First, the glass substrate 4 is relatively moved in the + X direction. Then, based on the linear scale signal from the X-axis linear scale 189 that detects the movement in the X-axis direction of the substrate cradle 21 that has attracted the glass substrate 4, the printing start point counter 310a starts counting. When the count direction of the linear scale signal is the + direction and the counter 310a counts up and the set value of the counter 310a is equal to the counted value, that is, the first bank 300 in the main scanning direction is printed. (Hereinafter referred to as “1 bank 300”) When the reference nozzle 55 is positioned at the first discharge position in the first position, a signal is output from the counter 310a, whereby the first liquid is output from the droplet discharge signal generation circuit 310. A droplet discharge signal is output, and a droplet is discharged from the reference nozzle 55 to the first discharge position. At the same time, the output signal of the counter 310a is latched by the latch circuit 311, and the latch signal is continuously output. When the AND of the latch signal and the linear scale signal is established, the linear scale signal is transmitted to the panel interval counter 310c, the bank pitch counter 310e, and the multiple strike pitch counter 310g, and the counters 310c, 310e, and 310g. Counting starts.
[0135]
  A droplet discharge signal is output from the droplet discharge signal generation circuit 310 every time the multi-pitching pitch counter 310g counts up, that is, every time the reference nozzle 55 is moved to a plurality of discharge positions in one bank 300. Is done. At the same time, the counting of the multi-shot counter 310f is started, and the count value is incremented by 1 for every count up of 310g, that is, the count corresponding to the number of desired ejection positions in one bank until the counter 310f counts up. Until the counter 310g is counted up, the discharge of droplets is repeated. Then, when the counter 310f is counted up, the count of the counter 310g is stopped. Note that if the setting value of the counter 310g is set to 0, 310g is not counted up, so that the liquid droplets are ejected in one bank 300 only once.
[0136]
  Further, every time the bank pitch counter 310e counts up, that is, from the first discharge position in one bank 300 to the first discharge position in the next bank 300 (hereinafter referred to as “second bank 300”), the reference nozzle is changed. A droplet discharge signal is output from the droplet discharge signal generation circuit 310 each time the 55 is moved. At the same time, the counters 310f and 310g are reset, so that droplets are ejected in the second bank 300 in the same manner as described above. At the same time, the count of the bank number counter 310d is started, the counter value is incremented by 1 every time the count of 310e is incremented, and the count of the number of banks 300 in one panel 301 is counted until the counter 310d is counted up. Until the counter 310d is counted, the reference nozzle 55 is moved to the next bank 300 every time the counter 310d counts up, and the discharge of droplets in each bank 300 is repeated. When the counter 310d is counted up, that is, when the ejection of droplets to all the banks 300 in one panel 301 is completed, the counting of the counters 310e and 310g is stopped.
[0137]
  Further, every time the panel interval counter 310 c counts up, that is, from the first discharge position in one bank 300 in the first panel 301 to the first discharge position in one bank 300 in the next panel 301. Each time the nozzle 55 is moved, a droplet discharge signal is output from the droplet discharge signal generation circuit 310. At the same time, the counters 310d to 310g are reset to discharge droplets in one bank 300 in the next panel 301 as described above. At the same time, the count of the panel number counter 310b is started, the counter value is incremented by 1 every time the count of 310c is incremented, and the count of the number of the panels 301 of the glass substrate 4 is counted until the counter 310b counts up. Until then, the discharge of droplets from the reference nozzle 55 to the glass substrate 4 is continued. When the counter 310b is counted up, that is, when the ejection of droplets for one scanning in the main scanning direction of the glass substrate 4 is completed, the counting of the counters 310c, 310e, and 310g is stopped.
[0138]
  When reciprocal printing is performed, that is, when printing is performed when the inkjet head 8 is moved in the −X direction, the liquid droplet ejection signal generation circuit 310 for −direction causes the same reference nozzle 55 as described above. The droplets are discharged. Further, when droplets are ejected a plurality of times at the timing of ejecting one droplet, the CPU of the DSP 178 corresponds to the number of times set for each signal output from the droplet ejection signal generation circuit 310. Control is performed so that the liquid droplets are discharged. If there is a position at which droplets are ejected and a position at which droplet ejection is not performed in one scan of the reference nozzle 55, the CPU of the DSP 178 inputs the liquid stored in the data storage device 190 in S1 of FIG. Based on the droplet ejection pattern data, the droplet ejection signal generated in the droplet ejection signal generation circuit 310 is turned on and off.
[0139]
  Thus, when the count-up of each counter 310a to 310g is completed, the reset signal is transmitted to the counters 310b to 310g except the counter 310a, and the reference nozzle 55 is relatively moved in the −Y direction according to the control of the CPU of the DSP 178. . The relative movement distance is controlled by the CPU of the DSP 178 based on the number and distance data of each bank 300 and each panel 301 in the sub-scanning direction (Y-axis direction) input in S1 of FIG. 27 described later.
[0140]
  The droplet discharge signal generated by the droplet discharge signal generation circuit 310 and merged with the droplet discharge pattern data and the data for a plurality of discharges and output from the signal output circuit 186 is transmitted to the drive circuit 187. Then, every time a droplet discharge signal is transmitted, the drive circuit 187 matches the drive waveform for driving the reference nozzle 55 stored in the data storage device 190, and the piezoelectric actuator (not shown) of the reference nozzle 55 is shown. A drive voltage for driving the outside is generated and applied to the reference nozzle 55 of the inkjet head 8R. The piezoelectric actuator of the reference nozzle 55 is driven according to a drive voltage that is changed according to the drive waveform, and droplets are ejected from the reference nozzle 55. Then, the same processing is performed on all the nozzles 55, and droplets are ejected, whereby patterning on the glass substrate 4 by the inkjet device 1 is performed.
[0141]
  Next, the operation of the droplet supply device 12 will be described with reference to FIG. In the inkjet apparatus 1, when ejection to the glass substrate 4 is performed, the ejection solution 10 in the liquid containers 152R, 152G, and 152B is supplied to the inkjet heads 8R, 8G, and 8B via the valve unit 155 and the like. Droplets are ejected from the plurality of nozzles 55 of the holders 51R, 51G, 51B. Further, when the inkjet head 8 is cleaned, the solvent in the container 154 of the flushing liquid 11 is also supplied to the inkjet heads 8R, 8G, and 8B via the valve unit 155 and the like, and is pressurized and purged from the plurality of nozzles 55. Is done. Waste liquid is sucked from these tubes by negative pressure, and is collected in the waste liquid collection container 153 via the valve unit 155. The negative pressure is generated by a vacuum pump or an ejector (not shown), and the exhaust is discharged to an organic exhaust duct in the factory.
[0142]
  Further, the liquid container elevating mechanism 163 moves the electric cylinder 164 up and down in conjunction with the elevating operation of the Z-axis slide mechanism 6, and holds the holding bodies 165R, 165G, and 165B holding the liquid containers 152R, 152G, and 152B in the liquid container 152R. , 152G, 152B are moved up and down so as to have a predetermined height relationship with respect to the height positions of the inkjet heads 8R, 8G, 8B.
[0143]
  Furthermore, the liquid level maintaining mechanism 166 always corrects the liquid level of each of the liquid containers 152R, 152G, and 152B to a reference height position (for example, 50 mm) that is lower than the nozzle position. That is, the liquid container 152 containing the discharged solution 10 and the holding body 165 are elastically supported by the compression coil spring 170, and the liquid level is kept constant. When the liquid level is lowered following the liquid consumption, the liquid container 152 and the holding body 165 are pushed up by the compression coil spring 170, and correction is performed.
[0144]
  Next, details of the printing operation when the inkjet apparatus 1 of the present embodiment performs discharge recording on the glass substrate 4 to produce an EL substrate of an organic EL display will be described with reference to the flowcharts shown in FIGS. FIG. 30 and FIG. 31 are flowcharts of processing for producing an EL substrate of an organic EL display by the inkjet apparatus 1. Hereinafter, each step of the flowchart is abbreviated as “S”.
[0145]
  As shown in FIGS. 30 and 31, in the ink jet apparatus 1, first, “various data input” for driving the ink jet apparatus 1 is performed (S1). Input is performed from the operation panel 174 shown in FIG. 27, for example, in an interactive format, and the input data is stored in a predetermined storage area of the external storage device 175. Further, for example, necessary data may be input from CAD data for designing the glass substrate 4. In this case, the CAD data is stored in a floppy (registered trademark) disk 305 a and transferred to and stored in a predetermined storage area of the RAM 173 c of the host control unit 173 via the FDD 305. The CPU 173a analyzes the CAD data according to the data analysis program stored in the ROM 173b, extracts necessary data, stores it in a predetermined storage area of the external storage device 175, and uses it in the subsequent processing.
[0146]
  First, for each inkjet head 8, the print start point data, which is the distance from the alignment mark on the glass substrate 4 to the print start point, and the difference between the result and the print start point data when test printing is performed. Print start point correction data for correcting the occurrence of the error, X and Y axis dot pitch data for inputting the pitch of adjacent dots of the same color in the X axis and Y axis directions, and printing in the X axis and Y axis directions X and Y axis dot number data for inputting the number of dots to be input is input.
[0147]
  Further, pitch data between the X and Y axis panels in the X axis and Y axis directions of the glass substrate 4 is input. The inter-panel pitch data is the distance between the panels 301 (see FIG. 24) formed by arranging a plurality of banks 300 for partitioning so that the droplets of the respective colors discharged onto the glass substrate 4 are not mixed. It is data of. Further, data for the number of panels in the X-axis and Y-axis directions, and data for designating a non-printed panel if there is a non-printed panel are input.
[0148]
  Then, information on the position of the head is input. That is, among the nozzles 55 of the inkjet head 8R that is the reference head, No. This is information on the positional relationship between one nozzle 55 and the center position of an image captured by a predetermined camera serving as a reference among the cameras 32a to 32d. In addition, if there are droplets of three colors that are not ejected, data for not operating the corresponding inkjet heads 8R, 8G, and 8B is also input. Furthermore, nozzle interval data and interval data of the inkjet heads 8R, 8G, and 8B are also input. These data are data for correcting individual differences of the respective ink jet heads 8R, 8G, and 8B so that the same ejection result can be obtained even when the ink jet head 8 is replaced. Further, gap data, that is, data on the distance between the surface of the inkjet head 8 on which the nozzle 55 is provided and the upper surface of the glass substrate 4 is input. Further, when the head is slanted with the ink jet head 8R as a reference, the ink jet heads 8G and 8B are respectively adapted to perform discharge recording in conformity with the arrangement pattern of R, G, and B dots shown in FIG. Is also inputted (data for driving the position adjustment drive mechanism 113) for shifting the position in the sub-scanning direction (Y-axis direction).
[0149]
  Further, in the main scanning direction (X-axis direction), data specifying whether printing is performed only in one direction (+ X direction or -X direction) or reciprocating direction (± X direction), and landing during reciprocating printing Error data is input. When reciprocal printing is performed, depending on the moving speed of the substrate cradle 21, the gap between the inkjet head 8 and the glass substrate 4, the discharge speed of droplets discharged from the nozzles 55, etc., during printing in the + X direction and −X direction An error occurs. For this error, landing error data based on the result of test printing or the like is input.
[0150]
  Further, data of driving frequency when printing is performed is input. This data is input when the ejection recording speed is changed from the initial value, and the higher the driving frequency, the higher the printing speed. However, as the driving frequency increases, the relative speed between the nozzle 55 and the glass substrate 4 increases, and the collision speed when the droplets land on the glass substrate 4 increases. If it is too much, it may scatter when landing. Therefore, in order to perform stable droplet ejection, the amount of droplets ejected is also adjusted based on this data.
[0151]
  Further, data for designating the method and the number of times when droplets are ejected a plurality of times in one bank 300 is input. Since a plurality of droplets are ejected from one nozzle 55 in one bank and then the nozzle 55 is relatively moved, or a plurality of droplets are ejected in one bank, the same scanning is performed. Whether the inkjet head 8 is scanned on the line by the number of times, or the nozzle 55 is slightly moved in the main scanning or sub-scanning direction within one bank, and the discharge recording is performed by shifting the position at which the droplets are discharged. , Etc. are input. In addition, when one scan of the inkjet head 8 is performed, data of a droplet ejection pattern for a case where there are a position where a droplet is ejected and a position where it is not performed is also input.
[0152]
  Then, data relating to flushing is also input. The flushing is a so-called “discarding” in which, when the inkjet head 8 performs printing in the main scanning direction (X-axis direction), droplets are ejected from the nozzle 55 at the position of the tray 21 a provided on the substrate receiving base 21. Is performed to refresh the inkjet head 8. The ejection of droplets from the inkjet head 8 is not always performed from all the nozzles 55, and this flushing is performed periodically so that the ejection state of the nozzles 55 that are not used for a while does not deteriorate. An opportunity is given to cause droplets to be ejected from all the nozzles 55. Accordingly, the number of droplets ejected in the flushing operation performed prior to the patterning process, the number of scans of the inkjet head 8 for performing the flushing operation during patterning, and data regarding the number of droplet ejections in that case are input. Also, data regarding whether or not to use each of the two trays 21a and data regarding the relative position between the inkjet head 8 and the substrate base 21 when flushing are input.
[0153]
  In addition, data relating to conditions for whether or not the nozzle 55 can be replaced, which will be described later, and data relating to the expansion / contraction rate of the glass substrate 4 so that the same print result can be obtained even if the glass substrate 4 expands / contracts depending on conditions such as temperature during printing The data on the thickness of the glass substrate 4 for adjusting the gap and the data on the number of produced EL substrates of the organic EL display to be produced are input.
[0154]
  When the input of various data is completed, “head information calculation” is performed (S2). In order to adjust the nozzle interval of each nozzle 55 based on the input dot pitch data of each color in the Y-axis direction, the slant angle θ is calculated as described above. The various data input in S1 and the data of the slant angle θ calculated in S2 are stored in a predetermined storage area of the external storage device 175. Steps S1 and S2 are performed when the lot of the glass substrate 4 is changed. When the lot of the glass substrate 4 is not changed, the subsequent steps S3 to S68 are repeated, and the EL substrate is continuously processed. Production is carried out.
[0155]
  Next, in the ink jet apparatus 1, “loading of the glass substrate 4” is performed by the transport loader H inserted from the carry-in / out gate (not shown) on the back surface of the casing 3 (S3). The glass substrate 4 is transported from a non-illustrated external system to the standby position (the two-dot chain line portion shown in FIG. 2) by the transport loader H, and the substrate lift mechanism 23 provided on the substrate cradle 21 raises the lift bar 23a. The glass substrate 4 is placed on the four lift bars 23a protruding. Next, “retraction of the transport loader H” is performed (S4), and the transport loader H is retracted from the casing 3 in the + Y-axis direction. Then, “the closing of the carry-in / out gate” which is the insertion port of the transport loader H is performed, and the casing 3 is in a sealed state (S5). Furthermore, after the air cylinder of the substrate lift mechanism 23 is operated and the “lowering of the lift bar 23a” is performed (S6), a negative pressure is applied to the glass substrate 4 that is in close contact with the substrate receiving base 21, and “the glass substrate 4 By performing “adsorption”, the glass substrate 4 is fixed to the substrate holder 21 (S7).
[0156]
  Next, “first automatic alignment adjustment” is performed in which the larger alignment marks AM1 and AM2 are imaged by the low magnification CCD cameras 32a and 32b, and the coarse position adjustment of the glass substrate 4 is performed based on the image information. (S8) Thereafter, the smaller alignment marks AM3 and AM4 are imaged by the high magnification CCD cameras 32c and 32d, and the precise position adjustment of the glass substrate 4 is performed based on the image information. Is executed (S9). By the processes of S6 and S7, the glass substrate 4 is precisely set at the origin position as described above.
[0157]
  Next, the inkjet head 8 is separated from the rubber pad 128 of the head maintenance mechanism 123, so that “head cap release” is performed, and the nozzle 55 is exposed (S20). In addition, the number of iterations when an abnormality occurs in the head maintenance performed in S22 is set. That is, the CPU 173a of the host control unit 173 “sets“ 3 ”to the number of purges n” and stores it in a predetermined storage area of the RAM 173c of the host control unit 173 of the control device 13 (S21).
[0158]
  Then, “head maintenance” is performed by the head maintenance mechanism 123 (S22). As described above, the maintenance of the inkjet head 8 is performed by the head maintenance mechanism 123 of the inspection adjustment apparatus 9. Then, the ejection inspection mechanism 121 inspects “is ejection normal?” (S23). In the discharge inspection mechanism 121, the discharge state of the droplets from the nozzles 55 of the inkjet heads 8R, 8G, and 8B is imaged by the CCD camera 142, and the discharge is normally performed by image processing in the host control unit 173 of the control device 13. Is determined. When the host control unit 173 determines that there is a nozzle 55 that is not normally ejected (S23: NO), the CPU 173a subtracts the number of purges stored in a predetermined storage area of the RAM 173c, that is, “purge number n−”. 1 ”(S24), and“ n = 0? ”Is determined (S25).
[0159]
  When the number of purges n is not 0 (S25: NO), the CPU 173a returns to the process of S22, performs maintenance of the inkjet head 8 again, and normalizes the ejection state. When the number of purges n is 0 (S25: YES), the CPU 173a determines that it is impossible to recover the ejection state of the non-ejection nozzle 55 of the inkjet head 8, and this “non-ejection nozzle 55 can be replaced. Is determined (S26). Since “3” is set to the number of purges n in S21, if it is determined that the ejection state of the inkjet head 8 is abnormal, maintenance for normalization is repeated continuously up to three times. It will be.
[0160]
  By the way, the inkjet apparatus 1 is, for example, No. of all 64 nozzles 55 of the inkjet head 8R. No. 3 nozzle 55 is not ejected. After performing normal discharge recording on the glass substrate 4 using normal nozzles 55 excluding the nozzles 3 of No. 3, No. 2 nozzle 55 is set to No. 3 is replaced with the discharge position of the nozzle 55 of No. 3. By performing ejection recording with only the two nozzles 55, alternative ejection of the non-ejection nozzle 55, so-called recovery, can be performed. However, it may be difficult to perform alternative discharge of the non-discharge nozzle 55, such as when the number of non-discharge nozzles 55 is large, or when the nozzle 55 at a position that cannot be replaced does not discharge. For this reason, data for determining whether or not replacement is possible is input in advance in S1, and the CPU 173a collates the non-ejection nozzle 55 with the data. S26: NO).
[0161]
  When the CPU 173a determines that the non-ejection nozzle 55 can be replaced (S26: YES), “recording of the non-ejection nozzle 55” is performed (S27). That is, the CPU 173a stores information on which non-ejection nozzle 55 is in a predetermined storage area of the RAM 173c, and proceeds to the process of S40.
[0162]
  If it is determined in S23 that all the inkjet heads 8 can normally discharge (S23: YES), and if it is determined in S26 that the non-ejection nozzle 55 can be replaced and printing is performed, first, “ “Slant of the head” is performed (S40). Data on the slant angle θ of the inkjet head 8 is stored in a predetermined storage area of the RAM 173c based on the content calculated in S2, and the CPU 173a controls the servo motor 82 for the slant and the encoder 81 based on the data. Then, slanting of the inkjet head 8 is performed. Further, “head lowering” is performed by the Z-axis slide mechanism 6 (S41), and the ink jet head 8 is lowered so as to be positioned in the patterning room 15 of 1F. And No. of the inkjet head 8R. One nozzle 55 (reference nozzle) is set at a position facing a predetermined position (initial position) on the glass substrate 4.
[0163]
  Then, “flushing” (S42) and “patterning” (S43) are performed. After the initial number of flushing operations input in S1, patterning is started, and every time the inkjet head 8 is scanned for the number of times input in S1, the CPU 173a confirms whether the patterning has been completed? (S44). When the patterning is continued (S44: NO), the process returns to the process of S42, and the flushing operation for the number of times input in S1 is performed and the patterning is continued.
[0164]
  When the CPU 173a determines that the patterning of the glass substrate 4 has been completed (S44: YES), it is next determined whether “recovery is necessary” (S45). When ejection recording is completed in a state where ejection abnormality of the nozzles 55 of the inkjet head 8 has not occurred, no dot omission due to the non-ejection nozzles 55 has occurred in the produced EL substrate, so the CPU 173a determines that recovery is unnecessary. Then, the process proceeds to the process of S60, and preparations for ending the discharge recording process for the glass substrate 4 are made (S45: NO).
[0165]
  When the recording of the non-ejection nozzle 55 is performed in S27 and the CPU 173a determines that the recovery is necessary (S45: YES), the recovery with the alternative nozzle 55 is performed according to the same processing procedure as the processing in S42 and S43. That is, “recover” is started (S47) following the “flushing” operation (S46) for the initial number of times input in S1, and each time the inkjet head 8 is scanned for the number of times input in S1. The CPU 173a confirms “recovery end?” (S48). When the recovery is continued (S48: NO), the process returns to S46, the flushing operation is performed for the number of times input in S1, and the recovery is continued.
[0166]
  When the CPU 173a determines that the recovery of the glass substrate 4 has been completed (S48: YES), and when it is determined that the non-ejection nozzle 55 cannot be replaced in the process of S26 (S26: NO), the inkjet device 1 is Then, the operation of the print end process is started. First, “head rise” is performed by the Z-axis slide mechanism 6, and the inkjet head 8 is raised so as to be positioned in the maintenance room 16 on the second floor (S 60). Then, the “head cap is closed” is performed, and the inkjet head 8 is covered with the rubber pad 128 of the head maintenance mechanism 123 to prevent and protect the nozzle 55 from drying (S61).
[0167]
  Next, in order to discharge the glass substrate 4 from the inkjet apparatus 1, “opening of the carry-in / out gate” which is an insertion port of the transport loader H is performed (S62). Then, “release of the glass substrate 4” is performed (S63). That is, the action of the negative pressure on the glass substrate 4 in close contact with the substrate cradle 21 is stopped, and the glass substrate 4 adsorbed on the substrate cradle 21 is released from its fixation. Then, after the air cylinder of the substrate lift mechanism 23 is operated to “lift the lift bar 23a” (S64), “insertion of the transport loader H” is performed from the carry-in / out gate on the back surface of the casing 3, and the transport loader H Is inserted between the glass substrate 4 lifted by the lift bar 23a and the substrate cradle 21 (S65). Furthermore, the “lowering of the lift bar 23a” is performed again, whereby the glass substrate 4 is mounted on the transport loader H (S66), and the transport belt (not shown) of the transport loader H is operated to operate the “glass substrate 4 Is discharged "(S67).
[0168]
  Next, the CPU 173a confirms “production end?”. Since the production of the EL substrate can be carried out under the same conditions as long as the glass substrate 4 is in the same lot, it is collated with the data of the production number input in S1, and if it is judged that the production is finished, the inkjet apparatus 1 Ends the production process of the EL substrate (S68: YES). Further, when the production of the EL substrate is continued (S68: NO), the process returns to the process of S3 and the loading of the next glass substrate 4 is started. In the process of S26, if the CPU 173a determines that the non-ejection nozzle 55 cannot be replaced, the inkjet head 8 needs to be replaced, so that the production is determined to be finished in the process of S68.
[0169]
  As described above, in the ink jet apparatus 1 according to the present embodiment, droplets are ejected to desired ejection positions in the bank 300 constituting the panel 301 provided on the glass substrate 4 based on various input data. It can be performed. Data input to perform patterning is not image data in a bitmap format or the like, but data on the number and interval of panels 301, data on the number and interval of banks 300, and dot pitch in the main scanning direction and sub-scanning direction. Data, ejection frequency data, ejection pattern data, etc., and the same or more precise patterning can be performed with a small amount of data. Further, since the data amount can be reduced, the EL substrate can be produced using the glass substrate 4 having a large size.
[0170]
  Further, by slanting the inkjet head 8, it is possible to adjust even when the interval between the banks 300 in the sub-scanning direction differs depending on the lot of the glass substrate 4, and patterning can be performed without replacing with a different inkjet head 8 for each lot. . In addition, since the droplet can be discharged a plurality of times at the same droplet discharge position, the thickness of the EL layer formed by the discharged droplet can be adjusted. Further, since the gap between the glass substrate 4 and the nozzle 55, the relative speed in the main scanning direction, and the discharge speed by changing the discharge waveform stored in the data storage device 190 can be adjusted, the properties of the droplets can be adjusted. Therefore, it is possible to perform ejection at an optimal timing according to the above, and it is possible to reduce variations such as the density of the printing density caused by sink marks when the ejected droplets are dried.
[0171]
  Needless to say, the present invention can be variously modified. For example, the inkjet apparatus 1 may perform not only patterning for production of an EL substrate of an organic EL display but also patterning for production of a color filter of a color LCD. Further, the means for generating the relative movement between the glass substrate 4 and the inkjet head 8 is not limited to the medium feeding mechanism 24, but relative to the X and Y directions between the inkjet head 8 and the glass substrate 4. Any device that causes movement may be used. For example, the inkjet head 8 may be configured to be movable in the main scanning direction, and the substrate base 21 may be configured to be movable in the sub scanning direction.
[0172]
  Moreover, you may utilize apparatuses other than FDD305 as an input means of various data. Further, instead of the droplet discharge signal generation circuit 310 provided in the signal output circuit 186, the CPU may perform droplet discharge by performing processing according to a control program stored in the ROM of the DSP 178. Various programs for controlling the inkjet device 1 are not stored in the ROM 173b of the host control unit 173 or the ROM of the DSP 178, but are stored in the external storage device 175 or the data storage device 190 to match the lot of the glass substrate 4. May be changed freely.
[0173]
【The invention's effect】
  As described above, in the ink jet apparatus according to the first aspect of the present invention, a plurality of nozzles for ejecting liquid droplets are arranged in a line on the ink jet head, and the liquid droplet ejecting means isFor a recording medium provided with a plurality of banks for partitioning so that several types of discharged droplets are not mixed,Nozzle orLiquidEject drops, mainThe scanning direction moving means generates a relative movement in the main scanning direction between the inkjet head and the recording medium, and the main scanning direction movement control means inputs the data of the interval between the droplet discharge positions in the main scanning direction. Based on the above, the main scanning direction moving means is controlled so as to generate the relative movement in the main scanning direction by the interval of the droplet discharge positions, and the droplet discharge control means is based on the control of the main scanning direction movement control means. Thus, when the inkjet head is relatively moved in the main scanning direction by the interval of the droplet discharging positions, the droplet discharging of the droplet discharging means is performed by the number of input droplet discharging positions in the main scanning direction. Can be controlled to be repeated only.Further, the sub-scanning direction moving means generates a relative movement in the sub-scanning direction orthogonal to the main scanning direction between the inkjet head and the recording medium. The sub-scanning direction movement control means is a liquid that is determined by the input interval and number of nozzles of the ink jet head each time scanning of one line on the recording medium is performed by the droplet discharge control means. Based on the droplet discharge width data, the sub-scanning direction moving means is controlled so as to generate a relative movement in the sub-scanning direction. Further, the ink jet head is rotatable based on a slant angle that is a rotation angle of the ink jet head with respect to the sub-scanning direction, and the ink jet head slant means is based on the input data related to the slant angle. Control is performed so that the inkjet head rotates in the sub-scanning direction. Further, the slant angle correcting means corrects the slant angle by an error in the arrangement interval of the nozzles of the ink jet head, and the ink jet head slant means determines the individual in the sub-scanning direction based on the corrected slant angle. The inkjet head can be rotated so that the interval between the nozzles arranged on the recording medium is the same as the interval between the banks on the recording medium.Accordingly, since it is possible to perform droplet ejection based only on the data regarding the interval between the droplet ejection positions in the main scanning direction and the number of droplet ejection positions, the amount of data relating to droplet ejection can be reduced. Further, it is possible to accurately eject a droplet to a desired droplet ejection position.In addition, relative movement between the ink jet head and the recording medium in the main scanning direction and the sub-scanning direction perpendicular thereto can occur, so that droplets can be ejected onto the plane of the recording medium. it can. Furthermore, the inkjet head slant means can be controlled to rotate the inkjet head with respect to the sub-scanning direction based on the data related to the input slant angle. Accordingly, since the interval between the individual nozzles can be adjusted to be the same as the interval between the banks in the sub-scanning direction on the recording medium, the bank size varies depending on the recording medium. Also, droplets can be discharged.
[0174]
  In the ink jet apparatus according to the second aspect of the invention, in addition to the effect of the first aspect of the invention, the liquid droplet pattern discharge control means is provided at each of the input liquid drop discharge positions for one scan in the main scanning direction. Based on the pattern data indicating the presence or absence of droplet ejection, it is possible to control whether or not the droplet ejection means ejects droplets at each droplet ejection position. Accordingly, since droplets can be discharged or not discharged at each droplet discharge position, droplets can be discharged even when the droplet discharge positions are not equally spaced.
[0175]
  In the ink jet apparatus according to the third aspect of the invention, in addition to the effect of the first or second aspect of the invention, the liquid droplet overlapping discharge control means is input at the same liquid droplet discharge position on the recording medium. Based on the number of droplet discharges, the droplet discharge means can control to discharge a plurality of droplets at each droplet discharge position. Accordingly, it is possible to increase the amount of droplets ejected to each droplet ejection position.
[0176]
  In the ink jet apparatus according to the fourth aspect of the invention, in addition to the effect of the invention according to the first or second aspect, the same liquid droplet ejection position on the recording medium to which the liquid droplet overlapping scanning ejection control means is inputted. On the basis of the number of droplet ejections in the inkjet head, it is possible to perform control in which the inkjet head repeats ejection of droplets of the same pattern on the same scanning line a plurality of times. Accordingly, it is possible to increase the amount of droplets ejected to each droplet ejection position.
[0177]
  Further, in the ink jet device according to the fifth aspect of the invention, in addition to the effect of the invention according to any one of the first to fourth aspects,, mainBased on the inputted data on the interval between the droplet discharge positions in the bank, the movement control means in the scanning direction in the bank causes the main movement so as to generate a relative movement in the main scanning direction by the interval between the droplet discharge positions. The main scanning direction is controlled so that the main scanning direction inter-bank movement control unit generates relative movement in the main scanning direction by the bank interval based on the input bank interval data. The liquid droplet ejection control means in the bank controls the movement means, and the main scanning direction intra-bank movement control means controls the relative movement of the ink jet head and the liquid droplet ejection of the liquid droplet ejection means to be inputted main scanning. Control is performed repeatedly for the number of droplet discharge positions in the bank in the direction, and the bank droplet discharge control means is in the bank based on the control of the droplet discharge control means in the bank of the inkjet head. And the liquid droplet ejection, and a relative movement under the control of the main scanning direction between banks movement control means, an amount corresponding to the number of banks in the input main scanning direction can be controlled to perform repeatedly. Therefore, even when the droplet discharge intervals are different, the inkjet head can be relatively moved, and the droplet can be accurately discharged to a desired droplet discharge position in the bank provided on the recording medium.
[0178]
  In addition, in the ink jet device of the invention according to claim 6, in addition to the effect of the invention according to any one of claims 1 to 5, a plurality of discharge work areas partitioned into a plurality of banks are provided on the recording medium, A main scanning direction moving means for generating a relative movement in the main scanning direction by an interval of the discharge work area based on the input data of the discharge work area interval. The droplet discharge control means in the discharge operation area controls the droplet discharge in the bank based on the control of the droplet discharge control means in the bank and the control of the movement control means between banks in the main scanning direction. Relative movement based on the number of banks in the discharge work area in the input main scanning direction is repeatedly performed, and the discharge work area droplet discharge control means controls the ink jet. The relative movement of the head based on the control of the movement control means between the discharge operation areas in the main scanning direction and the droplet discharge in the discharge work area based on the control of the droplet discharge control means in the discharge work area are inputted main Control can be performed so as to be repeated by the number of ejection work areas in the scanning direction. Therefore, even when the droplet discharge intervals are different, the inkjet head can be moved relative to each other, and it can be accurately positioned at a desired droplet discharge position in a plurality of discharge work areas partitioned by a plurality of banks provided on the recording medium. It is possible to discharge droplets.
[0179]
  In addition, in the ink jet device of the invention according to claim 7, in addition to the effect of the invention according to any of claims 1 to 6,The managing means manages the error of the nozzle arrangement interval as a plurality of ranks divided into a plurality of ranges, and the slant angle correcting means uses the error center value determined from the upper limit value and the lower limit value of the error for each rank. Correct the slant anglecan do.
[0180]
  Further, in the ink jet apparatus according to the eighth aspect of the invention, in addition to the effect of the invention according to any one of the first to seventh aspects, the sub-scanning direction movement control means in the sub-scanning direction within the bank is inputted. Based on the droplet discharge position interval data, the sub-scan direction moving means is controlled so as to generate a relative movement in the sub-scan direction by the droplet discharge position interval, and the number of movements in the sub-scan direction bank is controlled. The sub-scanning direction bank controls the means to repeatedly perform the relative movement based on the control of the sub-scanning direction intra-bank movement control means by the number of droplet discharge positions in the bank in the sub-scanning direction. Based on the input bank interval data in the sub-scanning direction, the inter-movement control means moves in the sub-scanning direction so as to generate a relative movement in the sub-scanning direction by the bank interval and the droplet discharge width. Control means, The scanning direction bank movement control means controls the relative movement based on the control of the number of movements in the sub-scanning direction bank and the control of the movement control means between banks in the sub-scanning direction by the number of banks input in the sub-scanning direction. It is possible to perform control so that the relative movement based on the repetition is performed. Accordingly, even when the droplet discharge interval differs in the sub-scanning direction, the ink jet head can be relatively moved, and the droplet is accurately discharged to a desired droplet discharge position in the bank provided on the recording medium. be able to.
[0181]
  In the ink jet apparatus according to the ninth aspect of the invention, in addition to the effect of the invention according to any one of the first to eighth aspects, the movement control means in the sub-scanning direction discharge work area has the discharge work in the input sub-scanning direction. Control is performed so as to repeatedly perform relative movement based on the control of the number-of-banks movement control means in the sub-scanning direction and relative movement based on the control of the movement control means between banks in the sub-scanning direction by the number of banks in the area, The sub-scanning direction discharge work area movement control means generates a relative movement in the sub-scan direction by the interval of the discharge work area based on the input data of the discharge work area interval in the sub-scan direction. Sub-scanning direction moving means is controlled, and sub-scanning direction discharge work area movement control means is within the sub-scanning direction discharge work area by the number of input discharge work areas in the sub-scanning direction. A relative movement under the control of the movement control means may be controlled to perform repeated relative movement based on movement control means between the sub-scanning direction discharging the working area. Therefore, even when the discharge intervals of the droplets differ in the sub-scanning direction, the inkjet head can be moved relatively, and desired droplets in a plurality of discharge work areas partitioned into a plurality of banks provided on the recording medium. Liquid droplets can be accurately discharged to the discharge position.
[0182]
  In addition, in the ink jet device of the invention according to claim 10, in addition to the effect of the invention according to claim 1,When the slant angle is the minimum slant angle, the nozzle arrangement interval is smaller than the bank interval in the sub-scanning direction, or when the slant angle is the maximum slant angle, the slanted inkjet head in the sub-scanning direction In the case where at least one of the nozzle arrangement intervals is larger than the bank interval, the inkjet head slant means returns the slant angle to the minimum, and the droplet discharge control means removes the interlace by one scan. Control so that droplets are ejected by droplet ejection meansIt can be performed.
[0183]
  In the ink jet apparatus according to the eleventh aspect, in addition to the effects of the invention according to any one of the first to tenth aspects, the liquid droplet ejection position in the main scanning direction is provided by the main scanning direction liquid droplet ejection position interval data input means. The number of droplet discharge positions in the main scanning direction can be input by the main scanning direction droplet discharge position number data input means. Therefore, it is possible to directly input data for ejecting droplets to the ink jet apparatus.
[0184]
  In the ink jet device according to the twelfth aspect, in addition to the effect of the invention according to any one of the second to eleventh aspects, each droplet for one scan in the main scanning direction is obtained by the droplet discharge pattern data input means. It is possible to input pattern data describing the presence or absence of droplet ejection at the ejection position. Therefore, it is possible to directly input data for ejecting droplets to the ink jet apparatus.
[0185]
  In the ink jet apparatus according to the thirteenth aspect, in addition to the effects of the invention according to any one of the third to twelfth aspects, the same droplet ejection on the recording medium is performed by the same position droplet ejection number data input means. The number of droplet discharges at the position can be input. Therefore, it is possible to directly input data for ejecting droplets to the ink jet apparatus.
[0186]
  In the ink jet apparatus according to the fourteenth aspect, in addition to the effect of the invention according to any one of the fifth to thirteenth aspects, the main scanning in the bank is performed by the liquid droplet ejection position interval data input means in the main scanning direction bank. The data of the interval between the droplet discharge positions in the direction can be input, and the number of droplet discharge positions in the bank in the main scanning direction can be input by the data input means in the main scanning direction. Bank interval data input means can input bank interval data in the main scanning direction, and main scanning direction bank number data input means can input the number of banks in the main scanning direction. Therefore, it is possible to directly input data for ejecting droplets to the ink jet apparatus.
[0187]
  In the ink jet device according to the fifteenth aspect, in addition to the effect of the invention according to any one of the sixth to fourteenth aspects, the discharge work area interval in the main scanning direction is set by the main scan direction discharge work area interval data input means. Data can be input, the number of banks in the discharge work area in the main scanning direction can be input by the bank number data input means in the main scanning direction, and the number of banks in the main scanning direction can be input by the data input means in the main scanning direction. The number of discharge work areas can be entered. Therefore, it is possible to directly input data for ejecting droplets to the ink jet apparatus.
[0188]
  In the ink jet device according to the sixteenth aspect of the invention, in addition to the effect of the invention according to any one of the seventh to fifteenth aspects, the droplet discharge width data input means determines the arrangement interval and the number of nozzles of the ink jet head. Data on the droplet discharge width can be input. Therefore, it is possible to directly input data for ejecting droplets to the ink jet apparatus.
[0189]
  In the ink jet apparatus according to the seventeenth aspect of the invention, in addition to the effect of the invention according to any of the eighth to sixteenth aspects, the sub-scanning direction liquid droplet discharge position interval data input means allows the sub-scanning direction in the bank. Data on the interval between droplet ejection positions can be input, and the number of droplet ejection positions in the bank in the sub-scanning direction can be input by the means for inputting the number of droplet ejection positions in the bank in the sub-scanning direction. Data of the bank interval in the sub-scanning direction can be input by the data input means, and the number of banks in the sub-scanning direction can be input by the number of banks in the sub-scanning direction. Therefore, it is possible to directly input data for ejecting droplets to the ink jet apparatus.
[0190]
  Further, in the ink jet apparatus of the invention according to claim 18, in addition to the effect of the invention according to any of claims 9 to 17, the discharge work area in the sub-scanning direction is provided by the bank number data input means in the sub-scanning direction discharge work area. The number of banks can be input, the discharge work area interval data in the sub-scanning direction can be input by the sub-scanning direction discharge work area interval data input means, and the sub-scan direction discharge work area number data input means can be input. The number of discharge work areas can be entered. Therefore, it is possible to directly input data for ejecting droplets to the ink jet apparatus.
[0191]
  In the ink jet device according to the nineteenth aspect of the invention, in addition to the effect of the invention according to any one of the tenth to eighteenth aspects, the slant angle data input means sets the slant angle that is the rotation angle of the ink jet head with respect to the sub-scanning direction. Relevant data can be entered. Therefore, it is possible to directly input data for ejecting droplets to the ink jet apparatus.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a front view of an inkjet apparatus 1 according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is an enlarged front view of a main part of the inkjet apparatus 1. FIG.
FIG. 3 is a plan view of the inkjet apparatus 1. FIG.
FIG. 4 is an enlarged plan view of a main part of the inspection adjustment device 9;
FIG. 5 is a plan view of the medium holding and moving device 5, the substrate cradle 21 and the glass substrate 4;
6 is a diagram showing a positional relationship between the medium holding and moving device 5 and the ink jet head 8. FIG.
7 is a plan view of the head holding device 7, a rotation drive mechanism 80, and a detection encoder 81. FIG.
8 is a rear view of the head holding device 7, the rotation drive mechanism 80, and the detection encoder 81 as seen from the direction of arrow A in FIG.
9 is a right side view of the head holding device 7, the rotation drive mechanism 80, and the detection encoder 81 as seen from the direction of arrow B in FIG.
FIG. 10 is a partial cross-sectional view of the head holding device 7 as seen from the direction of the arrows along the two-dot chain line C-C ′ shown in FIG. 8;
FIG. 11 is an enlarged cross-sectional view of a main part of the head holding device 7;
FIG. 12 is a diagram illustrating an arrangement of nozzles 55 of the inkjet head 8;
FIG. 13 is a chart showing the ranked nozzle-to-nozzle dimensional error and center error.
FIG. 14 is a side view of the droplet supply device 12;
FIG. 15 is a configuration diagram of the four-node parallel link mechanism 49 and the inkjet head 8 in the initial position.
FIG. 16 is a configuration diagram showing a state in which the four-joint parallel link mechanism 49 and the inkjet head 8 are slanted.
FIG. 17 is a configuration diagram of the position adjustment drive mechanism 113 and the head holding device 7;
FIG. 18 is a diagram illustrating a dot arrangement example of each of R, G, and B droplets to be discharged.
FIG. 19 is a diagram illustrating a configuration of a discharge inspection mechanism 121. FIG.
FIG. 20 is a diagram illustrating an imaging region of the CCD camera 142 of the ejection inspection mechanism 121. FIG.
FIG. 21 is a diagram showing an observation window 151 and displayed droplets.
FIG. 22 is a diagram showing the configuration of the glass substrate 4 and the automatic alignment adjustment mechanism 36. FIG.
FIG. 23 is a perspective view of a head maintenance mechanism 123. FIG.
FIG. 24 is a diagram showing the relative positions of the glass substrate 4 and the inkjet head 8 when droplet patterning is performed on the glass substrate 4;
FIG. 25 is a diagram showing a moving path for forming a pattern by moving the inkjet head 8 by one scan at a time.
FIG. 26 is a diagram showing a movement path for forming a pattern by interlacing the inkjet head 8 every one scan.
FIG. 27 is a block diagram of a control system of the inkjet apparatus 1. FIG.
FIG. 28 is a block diagram of a control system of the inkjet apparatus 1. FIG.
FIG. 29 is a diagram illustrating a droplet discharge signal generation circuit 310 that is provided in the signal output circuit 186 (see FIG. 27) and generates a droplet discharge signal.
FIG. 30 is a flowchart of a process for producing an EL substrate of an organic EL display with the inkjet apparatus 1;
FIG. 31 is a flowchart of a process for producing an EL substrate of an organic EL display with the inkjet apparatus 1;
FIG. 32 is a schematic diagram showing a comparison between a discharge position of a droplet discharged by a conventional ink jet apparatus and a desired discharge position.
FIG. 33 is a schematic diagram showing a comparison between a discharge position of a droplet discharged by a conventional inkjet apparatus and a desired discharge position.
[Explanation of symbols]
    1 Inkjet device
    4 Glass substrate
    5 Medium holding and moving device
    7 Head holding device
    8 Inkjet head
  19 Y-axis slide mechanism
  20 X axis slide mechanism
  21 Substrate cradle
  24 Media feed mechanism
  49 Four-bar parallel link mechanism
  55 nozzles
  80 Rotation drive mechanism
186 signal output circuit
300 banks
301 panels

Claims (19)

液滴を吐出する複数のノズルが列設されたインクジェットヘッドと、
吐出される数種の液滴が混合されないよう仕切るバンクが複数設けられた被記録媒体に対して、前記ノズルから液滴を吐出する液滴吐出手段と、
前記インクジェットヘッドと前記被記録媒体との間に主走査方向へ相対移動を発生させる主走査方向移動手段と、
入力された、主走査方向における液滴吐出位置の間隔のデータに基づいて、液滴吐出位置の間隔分、主走査方向への相対移動を発生させるように前記主走査方向移動手段を制御する主走査方向移動制御手段と、
当該主走査方向移動制御手段の制御に基づいて、前記インクジェットヘッドが前記液滴吐出位置の間隔分、主走査方向へ相対移動された場合に行われる前記液滴吐出手段の液滴吐出が、入力された主走査方向における液滴吐出位置の数の分だけ繰り返し行われるように制御する液滴吐出制御手段と
前記インクジェットヘッドと前記被記録媒体との間に前記主走査方向と直交する副走査方向へ相対移動を発生させる副走査方向移動手段と、
前記液滴吐出制御手段による前記被記録媒体上の1ライン分の走査が行われる毎に、入力された、前記インクジェットヘッドの前記ノズルの列設間隔と個数によって決まる液滴吐出幅のデータに基づいて、副走査方向への相対移動を発生させるように前記副走査方向移動手段を制御する副走査方向移動制御手段と、
前記インクジェットヘッドの副走査方向に対する回転角であるスラント角に基づいて、前記インクジェットヘッドは回転可能であり、入力された前記スラント角に関連するデータに基づいて、前記インクジェットヘッドが副走査方向に対して回転するように制御するインクジェットヘッドスラント手段と、
前記インクジェットヘッドのノズルの列設間隔の誤差によって前記スラント角を補正するスラント角補正手段とを備え、
前記インクジェットヘッドスラント手段は、前記補正されたスラント角に基づいて、副走査方向に関して前記個々のノズルの列設間隔と前記被記録媒体上の前記各バンクの間隔とが同じになるように、前記インクジェットヘッドを回転することを特徴とするインクジェット装置。
An inkjet head in which a plurality of nozzles for discharging droplets are arranged;
A droplet discharge means banks for partitioning to several droplets are not mixed with respect to plurality obtained recording medium, ejecting the nozzle or al droplets ejected,
Main scanning direction moving means for generating relative movement in the main scanning direction between the inkjet head and the recording medium;
Based on the inputted data on the interval between the droplet ejection positions in the main scanning direction, the main scanning direction moving means for controlling the main scanning direction moving means to generate the relative movement in the main scanning direction by the interval between the droplet ejection positions. Scanning direction movement control means;
Based on the control of the main scanning direction movement control means, the liquid droplet ejection of the liquid droplet ejection means performed when the inkjet head is relatively moved in the main scanning direction by the interval of the liquid droplet ejection position is input. Droplet discharge control means for controlling to be repeated as many times as the number of droplet discharge positions in the main scanning direction ,
Sub-scanning direction moving means for generating a relative movement in the sub-scanning direction orthogonal to the main scanning direction between the inkjet head and the recording medium;
Each time the one-line scan on the recording medium is performed by the droplet discharge control means, the input is data on the droplet discharge width that is determined by the arrangement interval and the number of the nozzles of the inkjet head. A sub-scanning direction movement control means for controlling the sub-scanning direction movement means so as to generate a relative movement in the sub-scanning direction;
The inkjet head is rotatable based on a slant angle, which is a rotation angle of the inkjet head with respect to the sub-scanning direction, and the inkjet head is moved with respect to the sub-scanning direction based on input data related to the slant angle. Inkjet head slant means for controlling to rotate
A slant angle correction unit that corrects the slant angle by an error in the arrangement interval of the nozzles of the inkjet head,
The inkjet head slant means is configured so that, based on the corrected slant angle, the interval between the individual nozzles and the interval between the banks on the recording medium are the same in the sub-scanning direction. An inkjet apparatus characterized by rotating an inkjet head .
前記液滴吐出制御手段は、入力された、主走査方向の1走査分の各液滴吐出位置における液滴吐出の有無を示したパターンのデータに基づいて、前記液滴吐出手段が各液滴吐出位置で液滴を吐出するか否かを制御する液滴パターン吐出制御手段を備えたことを特徴とする請求項1に記載のインクジェット装置。  The droplet discharge control unit is configured to input the droplet discharge unit based on the pattern data indicating the presence / absence of droplet discharge at each droplet discharge position for one scan in the main scanning direction. The inkjet apparatus according to claim 1, further comprising a droplet pattern ejection control unit that controls whether or not to eject a droplet at the ejection position. 前記液滴吐出制御手段は、入力された、前記被記録媒体上の同一の液滴吐出位置での液滴吐出の回数に基づいて、前記液滴吐出手段が各液滴吐出位置で液滴を複数回吐出する制御を行う液滴重複吐出制御手段を備えたことを特徴とする請求項1又は2に記載のインクジェット装置。  The droplet discharge control means is configured to allow the droplet discharge means to drop a droplet at each droplet discharge position based on the inputted number of droplet discharges at the same droplet discharge position on the recording medium. The inkjet apparatus according to claim 1, further comprising a droplet overlapping discharge control unit that performs control of discharging a plurality of times. 前記液滴吐出制御手段は、入力された、前記被記録媒体上の同一の液滴吐出位置での液滴吐出の回数に基づいて、前記インクジェットヘッドが同一走査ライン上で同一パターンの液滴の吐出を複数回繰り返す制御を行う液滴重複走査吐出制御手段を備えたことを特徴とする請求項1又は2に記載のインクジェット装置。  The droplet discharge control means is configured to detect the number of droplets of the same pattern on the same scanning line based on the inputted number of droplet discharges at the same droplet discharge position on the recording medium. The inkjet apparatus according to claim 1, further comprising: a droplet overlap scanning ejection control unit that performs control of repeating ejection a plurality of times. 記主走査方向移動制御手段は、入力された、前記バンク内での液滴吐出位置の間隔のデータに基づいて、液滴吐出位置の間隔分、主走査方向への相対移動を発生させるように前記主走査方向移動手段を制御する主走査方向バンク内移動制御手段と、
入力された、前記バンク間隔のデータに基づいて、前記バンクの間隔分、主走査方向への相対移動を発生させるように前記主走査方向移動手段を制御する主走査方向バンク間移動制御手段と
を備え、
前記液滴吐出制御手段は、前記主走査方向バンク内移動制御手段の制御に基づく前記インクジェットヘッドの相対移動と、前記液滴吐出手段の液滴吐出とを、入力された主走査方向における前記バンク内での液滴吐出位置の数の分だけ、繰り返し行うように制御するバンク内液滴吐出制御手段と、
前記インクジェットヘッドの、前記バンク内液滴吐出制御手段の制御に基づく前記バンク内での液滴吐出と、前記主走査方向バンク間移動制御手段の制御に基づく相対移動とを、入力された主走査方向における前記バンクの数の分だけ、繰り返し行うように制御するバンク液滴吐出制御手段と
を備えたことを特徴とする請求項1乃至4の何れかに記載のインクジェット装置。
Before SL main scanning direction movement control means, is inputted, based on the interval of the data of the droplet ejection position in the bank, the interval portion of the droplet ejection position, so as to generate a relative movement in the main scanning direction In the main scanning direction bank movement control means for controlling the main scanning direction moving means,
A main scanning direction inter-bank movement control means for controlling the main scanning direction moving means so as to generate a relative movement in the main scanning direction by an amount corresponding to the bank interval based on the input bank interval data; Prepared,
The droplet discharge control unit is configured to perform relative movement of the inkjet head based on control of the movement control unit in the main scanning direction bank and droplet discharge of the droplet discharge unit in the input bank in the main scanning direction. In-bank droplet discharge control means for controlling to repeat the number of droplet discharge positions in the bank,
The ink jet head is configured to input the main scanning, which is the liquid droplet ejection within the bank based on the control of the intra-bank droplet ejection control means and the relative movement based on the control of the inter-bank movement control means. 5. The inkjet apparatus according to claim 1, further comprising: a bank droplet discharge control unit that performs control so as to be repeatedly performed by the number of the banks in the direction.
前記被記録媒体上には複数のバンクに仕切らた複数の吐出作業エリアが設けられ、
前記主走査方向移動制御手段は、入力された、前記吐出作業エリア間隔のデータに基づいて、前記吐出作業エリアの間隔分、主走査方向への相対移動を発生させるように前記主走査方向移動手段を制御する主走査方向吐出作業エリア間移動制御手段を備え、
前記液滴吐出制御手段は、前記インクジェットヘッドの、前記バンク内液滴吐出制御手段の制御に基づく前記バンク内での液滴吐出と、前記主走査方向バンク間移動制御手段の制御に基づく相対移動とを、入力された主走査方向における前記吐出作業エリア内の前記バンクの数の分だけ、繰り返し行うように制御する吐出作業エリア内液滴吐出制御手段と、
前記インクジェットヘッドの、前記主走査方向吐出作業エリア間移動制御手段の制御に基づく相対移動と、前記吐出作業エリア内液滴吐出制御手段の制御に基づく前記吐出作業エリア内での液滴吐出とを、入力された主走査方向における前記吐出作業エリアの数の分だけ、繰り返し行うように制御する吐出作業エリア液滴吐出制御手段と
を備えたことを特徴とする請求項1乃至5の何れかに記載のインクジェット装置。
A plurality of discharge work areas partitioned into a plurality of banks are provided on the recording medium,
The main scanning direction movement control unit is configured to generate a relative movement in the main scanning direction by an interval of the discharge work area based on the input data of the discharge work area interval. The main scanning direction discharge work area movement control means for controlling,
The liquid droplet ejection control means is configured to cause the ink jet head to perform liquid droplet ejection within the bank based on the control of the liquid droplet ejection control means within the bank and relative movement based on the control of the movement control means between banks in the main scanning direction. And a droplet discharge control means in the discharge work area that controls to be repeated as many times as the number of the banks in the discharge work area in the input main scanning direction,
Relative movement of the inkjet head based on the control of the movement control means between the discharge operation areas in the main scanning direction, and droplet discharge in the discharge work area based on the control of the droplet discharge control means in the discharge work area. 6. A discharge work area droplet discharge control means for controlling to repeatedly perform the discharge by the number of the discharge work areas in the inputted main scanning direction. The inkjet apparatus as described.
前記ノズルの列設間隔の誤差を複数の範囲に区分した複数のランクとして管理する管理手段を備え、A management means for managing the error of the nozzle arrangement interval as a plurality of ranks divided into a plurality of ranges,
前記スラント角補正手段は、前記ランク毎の誤差の上限値と下限値とから求まる誤差中心値によって前記スラント角を補正することを特徴とする請求項1乃至6の何れかに記載のインクジェット装置。The ink jet apparatus according to claim 1, wherein the slant angle correction unit corrects the slant angle based on an error center value obtained from an upper limit value and a lower limit value of errors for each rank.
前記副走査方向移動制御手段は、入力された、前記バンク内での副走査方向の液滴吐出位置の間隔のデータに基づいて、液滴吐出位置の間隔分、副走査方向への相対移動を発生させるように前記副走査方向移動手段を制御する副走査方向バンク内移動制御手段と、
入力された副走査方向における前記バンク内での液滴吐出位置の数の分だけ、前記副走査方向バンク内移動制御手段の制御に基づく相対移動を繰り返し行うように制御する副走査方向バンク内移動回数制御手段と、
入力された、副走査方向の前記バンク間隔のデータに基づいて、前記バンクの間隔分と前記液滴吐出幅の分、副走査方向への相対移動を発生させるように前記副走査方向移動手段を制御する副走査方向バンク間移動制御手段と、
入力された副走査方向における前記バンクの数の分だけ、前記副走査方向バンク内移動回数制御手段の制御に基づく相対移動と、前記副走査方向バンク間移動制御手段の制御に基づく相対移動とを繰り返し行うように制御する副走査方向バンク移動制御手段と
を備えたことを特徴とする請求項1乃至7の何れかに記載のインクジェット装置。
The sub-scanning direction movement control means performs relative movement in the sub-scanning direction by the interval of the droplet discharge positions based on the input data on the interval of the droplet discharge positions in the sub-scan direction in the bank. A sub-scanning direction bank movement control means for controlling the sub-scanning direction movement means to generate,
Sub-bank movement in the sub-scanning direction in which the relative movement based on the control of the movement control means in the sub-scanning direction is repeatedly performed by the number of droplet discharge positions in the bank in the inputted sub-scanning direction. Frequency control means;
Based on the input data of the bank interval in the sub-scanning direction, the sub-scanning direction moving unit is configured to generate relative movement in the sub-scanning direction by the bank interval and the droplet discharge width. Sub-scanning direction movement control means between banks to be controlled;
Relative movement based on the control of the number-of-banks movement control means in the sub-scanning direction and the relative movement based on the control of the movement control means between banks in the sub-scanning direction by the number of the banks in the input sub-scanning direction. The inkjet apparatus according to claim 1, further comprising: a sub-scanning direction bank movement control unit that performs control so as to be repeatedly performed.
前記副走査方向移動制御手段は、入力された副走査方向における前記吐出作業エリア内の前記バンクの数の分だけ、前記副走査方向バンク内移動回数制御手段の制御に基づく相対移動と、副走査方向バンク間移動制御手段の制御に基づく相対移動とを繰り返し行うように制御する副走査方向吐出作業エリア内移動制御手段と、
入力された、副走査方向の前記吐出作業エリア間隔のデータに基づいて、前記吐出作業エリアの間隔の分、副走査方向への相対移動を発生させるように前記副走査方向移動手段を制御する副走査方向吐出作業エリア間移動制御手段と、
入力された副走査方向における前記吐出作業エリアの数の分だけ、前記副走査方向吐出作業エリア内移動制御手段の制御に基づく相対移動と、前記副走査方向吐出作業エリア間移動制御手段に基づく相対移動とを繰り返し行うように制御する副走査方向吐出作業エリア移動制御手段と
を備えたことを特徴とする請求項1乃至8の何れかに記載のインクジェット装置。
The sub-scanning direction movement control means is configured to perform relative movement based on the control of the sub-scanning direction movement number control means in the sub-scanning direction by the number of the banks in the discharge work area in the sub-scanning direction, and sub-scanning. Movement control means in the sub-scanning direction discharge work area for controlling to repeatedly perform relative movement based on the control of the direction bank movement control means;
Based on the input data of the discharge work area interval in the sub-scanning direction, the sub-scanning direction moving unit is controlled to control the sub-scanning direction moving means so as to generate a relative movement in the sub-scanning direction by the interval of the discharge work area. A scanning direction discharge work area movement control means;
Relative movement based on the control of the movement control means in the sub-scanning direction discharge work area and relative movement based on the movement control means between the discharge work areas in the sub-scanning direction by the number of the discharge work areas in the input sub-scanning direction. The inkjet apparatus according to claim 1, further comprising: a sub-scanning direction discharge work area movement control unit that performs control so that the movement is repeatedly performed.
前記スラント角が最小のスラント角のとき、前記ノズルの列設間隔が副走査方向のバンク間隔より小さいか、前記スラント角が最大のスラント角のとき、スラントした前記インクジェットヘッドの副走査方向の前記ノズルの列設間隔が前記バンク間隔より大きいかの少なくとも何れか一方の場合、インクジェットヘッドスラント手段は、スラント角を最小に戻すとともに、液滴吐出制御手段は、インターレスを1走査分いれて液滴吐出手段による液滴吐出が行われるように制御することを特徴とする請求項1乃至9の何れかに記載のインクジェット装置。When the slant angle is the minimum slant angle, the nozzle arrangement interval is smaller than the bank interval in the sub-scanning direction, or when the slant angle is the maximum slant angle, the slanted inkjet head in the sub-scanning direction In the case where at least one of the nozzle arrangement intervals is larger than the bank interval, the inkjet head slant means returns the slant angle to the minimum, and the droplet discharge control means removes the interlace by one scan. The inkjet apparatus according to claim 1, wherein the inkjet apparatus is controlled so that droplets are ejected by the droplet ejection unit. 主走査方向における液滴吐出位置の間隔のデータを入力する主走査方向液滴吐出位置間隔データ入力手段と、
主走査方向における液滴吐出位置の数を入力する主走査方向液滴吐出位置数データ入力手段と
を備えたことを特徴とする請求項1乃至10の何れかに記載のインクジェット装置。
Main scanning direction droplet discharge position interval data input means for inputting data of intervals between droplet discharge positions in the main scanning direction;
11. The ink jet apparatus according to claim 1, further comprising: a main scanning direction droplet ejection position number data input unit configured to input a number of droplet ejection positions in the main scanning direction.
主走査方向の1走査分の、各液滴吐出位置における液滴吐出の有無を記したパターンのデータを入力する液滴吐出パターンデータ入力手段を備えたことを特徴とする請求項2乃至11の何れかに記載のインクジェット装置。  12. A droplet discharge pattern data input unit for inputting pattern data indicating the presence or absence of droplet discharge at each droplet discharge position for one scan in the main scanning direction. An inkjet apparatus according to any one of the above. 前記被記録媒体上の同一の液滴吐出位置における液滴吐出の回数を入力する同位置液滴吐出回数データ入力手段を備えたことを特徴とする請求項3乃至12の何れかに記載のインクジェット装置。  13. The inkjet according to claim 3, further comprising a same-position droplet discharge number data input means for inputting the number of droplet discharges at the same droplet discharge position on the recording medium. apparatus. 前記バンク内での主走査方向の液滴吐出位置の間隔のデータを入力する主走査方向バンク内液滴吐出位置間隔データ入力手段と、
主走査方向における前記バンク内での液滴吐出位置の数を入力する主走査方向バンク内液滴吐出位置数データ入力手段と、
主走査方向における前記バンク間隔のデータを入力する主走査方向バンク間隔データ入力手段と、
主走査方向における前記バンクの数を入力する主走査方向バンク数データ入力手段と
を備えたことを特徴とする請求項5乃至13の何れかに記載のインクジェット装置。
Main-scanning-direction droplet discharge position interval data input means for inputting data of intervals between droplet-discharge positions in the main-scan direction in the bank;
Data input means for inputting the number of droplet discharge positions in the bank in the main scanning direction and inputting the number of droplet discharge positions in the bank in the main scanning direction;
A main scanning direction bank interval data input means for inputting data of the bank interval in the main scanning direction;
The ink jet apparatus according to claim 5, further comprising: a main scanning direction bank number data input unit configured to input a number of the banks in the main scanning direction.
主走査方向における前記吐出作業エリア間隔のデータを入力する主走査方向吐出作業エリア間隔データ入力手段と、
主走査方向における前記吐出作業エリア内の前記バンクの数を入力する主走査方向吐出作業エリア内バンク数データ入力手段と、
主走査方向における前記吐出作業エリアの数を入力する主走査方向吐出作業エリア数データ入力手段と
を備えたことを特徴とする請求項6乃至14の何れかに記載のインクジェット装置。
Main scanning direction discharge work area interval data input means for inputting data of the discharge work area interval in the main scanning direction;
Bank number data input means in the main scanning direction discharge work area for inputting the number of banks in the discharge work area in the main scanning direction;
The inkjet apparatus according to claim 6, further comprising: a main scanning direction discharge work area number data input unit configured to input a number of the discharge work areas in the main scan direction.
前記インクジェットヘッドの前記ノズルの列設間隔と個数によって決まる液滴吐出幅のデータを入力する液滴吐出幅データ入力手段を備えたことを特徴とする請求項7乃至15の何れかに記載のインクジェット装置。  16. The inkjet according to claim 7, further comprising a droplet discharge width data input means for inputting data of a droplet discharge width determined by the arrangement interval and the number of the nozzles of the inkjet head. apparatus. 前記バンク内での副走査方向の液滴吐出位置の間隔のデータを入力する副走査方向液滴吐出位置間隔データ入力手段と、
副走査方向における前記バンク内での液滴吐出位置の数を入力する副走査方向バンク内液滴吐出位置数データ入力手段と、
副走査方向の前記バンク間隔のデータを入力する副走査方向バンク間隔データ入力手段と、
副走査方向における前記バンクの数を入力する副走査方向バンク数データ入力手段と
を備えたことを特徴とする請求項8乃至16の何れかに記載のインクジェット装置。
Sub-scanning direction droplet discharge position interval data input means for inputting data of intervals between droplet discharge positions in the sub-scan direction in the bank;
Sub-scanning direction droplet discharge position number data input means for inputting the number of droplet discharge positions in the bank in the sub-scanning direction;
Sub-scanning direction bank interval data input means for inputting data of the bank interval in the sub-scanning direction;
The inkjet apparatus according to claim 8, further comprising: a sub-scanning direction bank number data input unit configured to input the number of banks in the sub-scanning direction.
副走査方向における前記吐出作業エリア内の前記バンクの数を入力する副走査方向吐出作業エリア内バンク数データ入力手段と、
副走査方向の前記吐出作業エリア間隔のデータを入力する副走査方向吐出作業エリア間隔データ入力手段と、
副走査方向における前記吐出作業エリアの数を入力する副走査方向吐出作業エリア数データ入力手段と
を備えたことを特徴とする請求項9乃至17の何れかに記載のインクジェット装置。
Sub-scanning direction discharge work area bank number data input means for inputting the number of banks in the discharge work area in the sub-scanning direction;
Sub-scanning direction discharge work area interval data input means for inputting data of the discharge work area interval in the sub-scanning direction;
The inkjet apparatus according to claim 9, further comprising: a sub-scanning direction discharge work area number data input unit configured to input a number of the discharge work areas in the sub-scan direction.
前記インクジェットヘッドの副走査方向に対する回転角である前記スラント角に関連するデータを入力するスラント角データ入力手段を備えたことを特徴とする請求項10乃至18の何れかに記載のインクジェット装置。  19. The ink jet apparatus according to claim 10, further comprising slant angle data input means for inputting data related to the slant angle, which is a rotation angle of the ink jet head with respect to a sub-scanning direction.
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