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JP4065738B2 - Ozone water generator - Google Patents
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JP4065738B2 - Ozone water generator - Google Patents

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Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば、食品の洗浄・殺菌に用いられるオゾン水を生成するためのオゾン水生成装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来のオゾン水生成装置として、図8に示すように、オゾン供給部48からのオゾンと、給水部49からの水Wとを、ポンプ50内で混合してオゾン水Aを生成するものがある。
【0003】
なお、前記オゾン供給部48は、上流側から順に、酸素ボンベ51と、流量計52と、前記酸素ボンベ51からの酸素をオゾンへと変換するためのオゾナイザー53と、電磁弁54とを備え、また、前記給水部49は、上流側から順に、給水源(図示せず)と、減圧弁55とを備えていた。さらに、前記ポンプ50の下流側には、圧力計56が設けられており、また、前記オゾナイザー53の近傍には、オゾナイザー53を冷却するためのファン57が設けられていた。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、上記のオゾン水生成装置では、オゾンと水とをポンプ50内で混合してオゾン水を生成していたのであるが、ポンプ50により流れるオゾンおよび水の流速が大きすぎ、水に対するオゾンの溶存が不充分であった。そのため、前記水に溶けず、ガスの状態で無駄に流れてしまうオゾンが多く、有害なオゾンガスが多く発生することは、危険性が増大することにもつながるという問題があった。また、生成されたオゾン水におけるオゾンの溶存率が低く、前記オゾン水の洗浄力・殺菌力の向上を図ることが難しいという問題があった。
【0005】
本発明は、かゝる実情に鑑みてなされたものであって、その目的は、オゾンの溶存率を上昇させることができ、ひいては、オゾンガス発生に伴う危険性の低下およびオゾン水の有する洗浄力・殺菌力の向上を容易に図ることができるオゾン水生成装置を提供することである。
【0006】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するために、本発明のオゾン水生成装置は、酸素供給手段およびオゾナイザーを有し、前記酸素供給手段からの酸素の流量が可変であるオゾン供給部と、水を供給するための給水部と、前記オゾン供給部からのオゾンを給水部からの水に溶存させてオゾン水とする混合部とを備えたオゾン水生成装置であって、前記混合部が、上流側から順に、前記オゾン供給部からのオゾンおよび前記給水部からの水が合流する合流部と、合流したオゾンおよび水が導入される溶解タンクとを備え、当該溶解タンクは、内壁面が下に凸のほぼ球面状に形成されたオーバーフロー槽を上下方向に複数有し、前記合流部において合流したオゾンおよび水が最上部のオーバーフロー槽に導入された後、各オーバーフロー槽を順次経て下側に向かい、これに伴いオゾン水が生成され、また、当該オゾン水は最下部のオーバーフロー槽の下側にある取り出し口から溶解タンク外へ取り出されるように構成してあり、この溶解タンクを、前記オゾン水を貯留するための貯留タンクに兼用させてある(請求項1)。
【0007】
また、前記溶解タンク内のオゾンガスを排出するための排出流路が設けられており、この排出流路が、前記オゾンガスを分解・無害化するための植物繊維からなるフィルタ部材を備えているとしてもよい(請求項2)。
【0008】
上記の構成によれば、オゾンの溶存率を上昇させることができ、ひいては、オゾンガス発生に伴う危険性の低下およびオゾン水の有する洗浄力・殺菌力の向上を容易に図ることができるオゾン水生成装置を提供することが可能となる。
【0009】
また、前記酸素供給手段から供給される酸素の流量を可変としてあることから、生成するオゾン水のオゾン濃度を自在に設定することが可能となる。
【0010】
さらに、前記溶解タンクを、前記オゾン水を貯留するための貯留タンクに兼用させてあることから、オゾンを水に溶解させてオゾン水を生成するための手段と、生成したオゾン水を貯留するための貯留手段とを別に設ける場合に比して、構造をコンパクトにすることが可能となる。
【0011】
また、前記オーバーフロー槽の内壁面が、下に凸のほぼ球面状に形成されていることから、例えば、前記オーバーフロー槽の内壁面を断面がコの字形状となるように形成した場合に比して、オーバーフロー槽内に導入されたオゾンおよび水の対流がより理想に近い状態で行われることとなり、オーバーフロー槽内によどみなどが生じにくくなることから、オゾンおよび水の混合がより促進されることとなる。
【0012】
また、前記オゾナイザーが、複数の電極と、これらの電極を収容するケースとを備え、前記ケースの外面に互いに平行となる冷却用フィンを突設するとともに、前記冷却用フィンに対して風を送る送風手段を設けてあるとしてもよい(請求項3)。この場合には、前記電極に電圧をかけて放電を行ったときに、高温となった前記電極を効率よく冷却することが可能となり、ひいては、オゾンの発生率を長時間維持して、オゾン発生率の低下を防止することが可能となる。
【0013】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
図1は、本発明の一実施例に係るオゾン水生成方法(以下、生成方法という)を実施するためのオゾン水生成装置(以下、生成装置という)Dの構成を概略的に示す説明図、図2は、前記生成装置Dの要部の構成を概略的に示す説明図である。
生成装置Dは、オゾン供給部1と、給水部2と、前記オゾン供給部1からのオゾン(O3 )を前記給水部2からの水Wに溶存(溶解)させてオゾン水Aとする混合部3と、この混合部3からのオゾン水Aを取り出す取り出し部4とを備えている。
【0014】
前記オゾン供給部1は、上流側から順に、例えば酸素ボンベからなる酸素供給手段5と、圧力スイッチ6と、電磁弁7と、レギュレーター8と、流量計9と、オゾナイザー10と、ストレーナー11と、電磁弁12と、水逆戻り防止スイッチ13と、逆止弁14とを備えている。
【0015】
前記酸素供給手段5は、レギュレーター5aを有しており、酸素ガスを一定圧(例えば、0.2mpa)で下流側へと供給する。そして、前記酸素供給手段5は、供給する酸素の圧を自在に設定できるように構成されており、これにより、供給する酸素の流量が可変となっている。
【0016】
前記レギュレーター8は、前記酸素供給手段5からの酸素ガスを一定圧(例えば、0.1mpa以下)にして、さらに下流側へと送るように構成されている。
【0017】
前記流量計9は、例えば、風量計であり、前記酸素供給手段5からの酸素ガスは、例えば、前記計量計9の計測値が2L/minとなるように供給されている。
【0018】
前記オゾナイザー10は、図3に示すように、対向する状態で配置された2つの電極15,16と、これら2つの電極15,16に交流電圧を加える印加手段17と、一方の電極16に固定された誘電体18と、これら2つの電極15,16および誘電体17を収容するケース19とを備えている。
【0019】
前記電極15,16は、例えばステンレスからなり、また、前記誘電体18は、例えばガラスからなる。
【0020】
前記ケース19は、例えば、アルミニウムからなり、その上流側にガスを導入するためのガス導入口(図示せず)を、また、その下流側に、内部のガスを導出するためのガス導出口19aをそれぞれ有している。さらに、ケース19の外面(左右両側面)には、互いに平行となる複数の冷却用フィン19b,19b…が突設されている。
【0021】
また、前記ケース19の近傍には、ケース19の前記冷却用フィン19b,19b…に向けて風を送るための送風手段としてのファン20,20が設けられている。
【0022】
すなわち、上記の構成からなるオゾナイザー10では、前記印加手段17のスイッチ17aをONにするとケース19内で放電(無声放電)が行われることになり、この状態で、ケース19内に酸素ガスを導入すると、前記放電によってオゾンが発生することとなる。そして、このとき、前記放電により、オゾナイザー10全体が高温となるが、前記冷却用フィン19b,19bに向けてファン20,20からの風が送られることにより、効率良くケース19が冷却され、ひいてはオゾナイザー10全体が冷却されることとなる。
【0023】
また、前記印加手段17のスイッチ17aをOFFにすると、ケース19内で放電が行われない状態となるため、前記酸素供給手段5からの酸素はオゾンとなることなく、オゾナイザー10を通過することとなる。
【0024】
前記ストレーナー11は、前記オゾナイザー9内で放電を行ったときに生じる金属粉を除去するためのフィルタ11aを有している。
【0025】
前記給水部2は、上流側から順に、給水源(図示せず)と、減圧弁21と、フロースイッチ22と、1次側圧力計23と、逆止弁24とを備えている。
【0026】
そして、前記給水部2は、任意の流量で水Wをその下流側に供給できるように構成されている。
【0027】
前記混合部3は、上流側から順に、前記オゾン供給部1からのオゾンおよび前記給水部2からの水Wが合流する合流部25と、合流したオゾンおよび水Wが導入される溶解タンク26とを備えている。
【0028】
図4(A)は、前記溶解タンク26の構成を概略的に示す縦断面図、図4(B)は、図4(A)のX−X線断面図である。
前記溶解タンク26は、内壁面が下に凸のほぼ球面形状(半球面形状)に形成されたオーバーフロー槽27を上下方向に複数(本実施例では3つ)有するとともに、各オーバーフロー槽27の上方に導入管28を有し、前記合流部25にて合流したオゾンおよび水が、各オーバーフロー槽27および導入管28を交互に順次経るように構成してある。
【0029】
詳しくは、前記溶解タンク26の内部は、隔離壁29によって上下方向に複数(本実施例では3つ)の区画室30,30…に分け隔てられており、各区画室30内のほぼ中央部には、各区画室30(溶解タンク26)の側壁に対して複数(本実施例では3つ)のブリッジ27a,27a…を介して前記オーバーフロー槽27が設けられている。また、各オーバーフロー槽27の周縁には、オーバーフローするオゾンおよび水Wを下方へと流し落とすための溝27bが設けられている。
【0030】
そして、各区画室30内には、下端が前記オーバーフロー槽27に臨むようにして前記導入管28が配置されている。また、前記隔離壁29のほぼ中央部には、貫通孔29aが形成されており、溶解タンク26内の上から2つめ以下の各区画室30内(すなわち、溶解タンク26内の最も上の区画室30を除いた各区画室30内)に設けられた各導入管28は、各区画室30の上壁を形成する前記隔離壁29の貫通孔29aを挿通する状態となっており、その上端部28aが隔離壁29を介して上側にある区画室30の内側に突出した状態となっている。
【0031】
なお、溶解タンク26内の上から2つめ以下の各区画室30内に設けられた前記各導入管28は、その上端部28aが、上側ほど径の大きくなるテーパ状となっており、また、その上端が、挿通した隔離壁29の上面よりも上方に位置している。一方、前記溶解タンク26内の一番上の区画室30内に設けられた前記導入管28は、上記他の導入管28とは異なり、前記合流部25からのオゾンおよび水Wを溶解タンク26内に導入するためのものであることから、前記上端部28aを有していてもよいが、有していなくてもよい。
【0032】
また、溶解タンク26の適宜の箇所(本実施例では、上から2つめの区画室30の側壁)に、溶解タンク26の内部の圧力を測定し、表示するための圧力計31が設けられている。
【0033】
さらに、溶解タンク26の底壁(すなわち、最も下にある区画室30の底壁)には、溶解タンク26内で生成されたオゾン水Aを取り出すための取り出し口32が設けられている。
【0034】
また、溶解タンク26内の上から2つめ以下の各区画室30内に配置された各オーバーフロー槽27の上端から適宜の距離だけ上方に離れた位置には、前記導入管28に挿通される隔壁33が設けられている。なお、前記隔壁33は、設けなくともよい。
【0035】
また、溶解タンク26の上部には溶解タンク26内において前記水に溶存せずにガスの状態となっているオゾンを、分解・無害化した状態で外部に排出するための排出流路34が接続されている。
【0036】
前記排出流路34は、上流側から順に、バッファタンク35と、逆止弁(圧力止弁)36と、オゾン(オゾンガス)を分解・無害化するためのフィルタ部材37aをほぼチューブ状(円筒状)のケース体37bに内蔵させてなるオゾン処理部38とを備えている。
【0037】
前記フィルタ部材37は、例えば、オゾン(オゾンガス)を吸収する手段(吸着剤)となるオガクズなどの植物繊維からなる。なお、前記オガクズとしては、例えば、杉材,ヒノキ材,竹材等のオガクズを用いることができる。
【0038】
一方、溶解タンク26の内部には、溶解タンク26内のオゾンガスを前記排出流路34へと送り出すための送出流路39が設けられている。ここで、前記送出流路39は、各区画室30内の上方を連通させた状態で設けられており、これにより、各区画室30内にて存在するオゾンガスが、前記送出流路39を経て、前記排出流路34へと至ることとなる。
【0039】
また、上記の構成からなる溶解タンク26の上流側、すなわち、溶解タンク26と前記合流部25との間には、逆止弁40を有する流路41が接続されている。
【0040】
上記の構成からなる溶解タンク26に導入された合流部25からのオゾンおよび水Wは、まず、一番上の区画室30内にあるオーバーフロー槽27内に収容され、オーバーフロー槽27内に所定量以上のオゾンおよび水Wが貯留されると、オーバーフローして前記オーバーフロー槽27の周縁に設けられた溝27bから下方にある隔離壁29の上面に向かって流れ落ちることとなる。
【0041】
そして、隔離壁29の上面よりも、溶解タンク26内において一番上の区画室30からその直下にある区画室(上から2つめの区画室)30に続く導入管28の上端部28aの上端のほうが高い位置にあることから、前記オゾンおよび水Wは前記隔離壁29の上方においても所定量だけ貯留され、オーバーフローすることによって、前記導入管28内へと流れ込むこととなる。
【0042】
上記のようにして導入管28内に流れ込んだオゾンおよび水Wは、溶解タンク26内において上から2つめの区画室30内にあるオーバーフロー槽27内に収容され、その後も、上記と同様にして1つずつ下の区画室30に向かい、最終的には、前記取り出し口32から溶解タンク26の下流側へと導出されるのである。
【0043】
そして、溶解タンク26内に導入されたオゾンおよび水Wが溶解タンク26の下側に向かうに伴い、オゾンが水Wに溶解し、前記水W中におけるオゾンの溶存率が上昇し、これにより、供給したオゾンのほとんど全て(この実施例では、98%以上)が水Wに溶解してなるオゾン水Aが生成されるのである。
【0044】
一方、上記各区画室30内において、水Wに溶けずにガスの状態となっているオゾン(オゾンガス)は、各区画室30の上側の空間内に至り、各区画室30の上側に接続されている前記送出流路39から溶解タンク26の上側の空間へと向かう。その後、溶解タンク26の上側の空間と連通する状態の前記排出流路34を経て、外部へと排出されることとなる。
【0045】
そして、前記溶解タンク26は、上述したように、前記オゾンおよび水Wを、前記各オーバーフロー槽27内と、各隔離壁29上とに貯留することができる構造を有していることから、前記溶解タンク26を、前記オゾン水Aを貯留するための貯留タンクとしても用いることができるのである。
【0046】
前記取り出し部4は、上流側から順に、2次側圧力計42と、逆止弁43とを有しており、また、その上流端が、前記混合部3の溶解タンク26の取り出し口32に接続されており、溶解タンク26からのオゾン水Aをその下流端側より供給対象へと送りだすように構成されている。
【0047】
上記の構成からなるオゾン水生成装置Dでは、前記オゾン供給部1からのオゾンおよび前記給水部2からの水Wは、前記混合部3の合流部25で合流した後、溶解タンク26内の上下方向に複数配置されたオーバーフロー槽を順次経ることによって、オゾンが水Wに溶解し、高濃度のオゾン水Aが生成されるのである。
【0048】
そして、上記の構成からなるオゾン水生成装置Dでは、前記混合部3の溶解タンク26にて、オゾンおよび水Wの流速を落とすことにより、確実にオゾンを水Wに溶解させることができるため、オゾンの溶存率(オゾン濃度)を上昇させることができ、オゾン水の有する洗浄力・殺菌力の向上を容易に図ることができる。
【0049】
また、オゾンの溶存率を上昇させることにより、水Wに溶解せずにガス状態となるオゾンの量を減らすことができるため、オゾンガス発生に伴う危険性が低下することとなる。
【0050】
さらに、前記酸素供給手段5から供給される酸素の流量を可変としてあり、これに伴って、前記オゾナイザー10にて発生させるオゾンの量も可変であることから、生成するオゾン水Aのオゾン濃度を自在に設定することが可能となる。また、前記オゾン供給部1からのオゾンの流量だけでなく、前記給水部2からの水Wの流量をも調整することによって、生成するオゾン水Aの流量およびオゾン濃度をより容易にかつ細かく設定することが可能となる。
【0051】
また、上記の構成からなるオゾン水生成装置Dにおいて、前記オゾナイザー10のスイッチ17aをOFFにし、酸素供給手段5からの酸素をそのまま混合部3へと送り、前記混合部3にて、前記酸素を前記給水部2からの水Wに溶存させるようにすれば、高酸素水を生成することも可能となる。
【0052】
また、前記オゾナイザー10の前記ケース19が、外面に冷却用フィン19b,19b…を有することから、前記2つの電極15,16に電圧をかけて放電を行ったときに、高温となった前記オゾナイザー10を前記ファン20によって効率よく冷却することが可能となる。
【0053】
また、前記溶解タンクを、前記オゾン水Aを貯留するための貯留タンクとしても用いることから、オゾンを水に溶解させてオゾン水Aを生成するための手段と、生成したオゾン水Aを貯留するための貯留手段とを別に設ける場合に比して、構造をコンパクトにすることが可能となる。
【0054】
なお、上記実施例では、図4(A)に示すように、前記溶解タンク26の各導入管28はほぼ直線状となっているが、このような構成に限るものではなく、例えば、図5に示すように、前記各導入管28を螺旋状に形成してもよい。このように構成した場合には、前記導入管28内を通過する際のオゾンおよび水Wの移動時間および移動距離をかせぐことができ、水Wに対するオゾンの溶解がより促進されることとなる。
【0055】
また、上記実施例では、図2に示すように、前記排出流路34に、オゾン(オゾンガス)を分解・無害化するためのフィルタ部材37aをほぼチューブ状(円筒状)のケース体37bに内蔵させてなるオゾン処理部38を設けているが、前記フィルタ部材37aに代えて、図6に示す構成を有する袋状体44を、前記ケース体37b内に内蔵させるようにしてもよい。
【0056】
すなわち、前記袋状体44は、オゾン(オゾンガス)を吸収する手段(吸着剤)となるものであり、例えば綿製で通気性を有する袋45内に、植物片・粉(オガクズ)などの植物繊維を収容してなる。
【0057】
なお、前記フィルタ部座37aおよび袋状体44に用いるオガクズとしては、例えば、杉材,ヒノキ材,竹材等のオガクズを用いることができる。
【0058】
そして、内部をオゾンが通過することによってオゾンを吸収した状態の前記袋状体44は、例えば、土壌に返す(具体的には、埋設・散布などする)と、自然分解し、このとき、土壌改良材としての機能を発揮することともなるため、前記オゾンを有効活用できるというメリットが得られる。
【0059】
なお、前記オゾン処理部38は、上記二つの構成からなるものに限られず、例えば、ヒータなどの加熱手段によってオゾンを加熱して、その分解・無害化を図るものであってもよい。
【0060】
また、前記給水部3に、図7に示す純水化手段45を設けてもよい。すなわち、前記純水化手段45は、前記給水部3の給水源からの水Wを純水化するためのものであり、ほぼチューブ状(円筒状)のケース体45a内に、上流側から順に、イオン交換膜46と、RO膜47とを設けてなる。そして、前記給水源からの水Wがイオン交換膜46およびRO膜47を透過した後に、下流側の混合部3へと送られるように構成されている。
【0061】
そして、前記給水源からの水Wは、前記イオン交換膜46を透過することで、水W中に含まれるNa,Mg等が除去されるのであり、前記RO膜47を透過することで、水W中に含まれるFe,SiO2 等が除去されることになる。
【0062】
上記のように純水化された水Wに、前記オゾン供給部1からのオゾンを混合部3にて溶解させて生成したオゾン水Aは、その純度が高いことから、殺菌力が上昇し、また、例えば、半導体ウエハの洗浄に用いることも可能となる。
【0063】
また、上記実施例では、溶解タンク26内に設けるオーバーフロー槽27の数を3つとしているが、このような構成に限るものではない。例えば、前記水Wに溶存させるオゾン(あるいは酸素)の濃度を高濃度(8ppm以上)とする場合には、前記オーバーフロー槽27を5段以上設けるなどすればよい。
【0064】
また、上記実施例では、前記オゾン供給部1に、酸素ガスを供給する酸素供給手段5を設けているが、このような構成に限るものではなく、例えば、前記酸素供給手段5に代えて、空気供給手段(図示せず)を設け、酸素ガスに代えて空気を供給するようにしてもよい。ただし、この場合には、空気を前記オゾナイザー10に通過させるとNOX が生じるため、このNOX を除去する手段等を前記オゾン供給部1中のオゾナイザー10の下流側に別途設けることが望ましい。
【0065】
なお、本実施例の生成方法は、上記の構成からなる生成装置Dを用いて実施できるものであり、前記生成装置Dと同様の効果を得ることができるものである。
【0066】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、オゾンの溶存率を上昇させることができ、ひいては、オゾンガス発生に伴う危険性の低下およびオゾン水の有する洗浄力・殺菌力の向上を容易に図ることができるオゾン水生成装置を提供することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の一実施例に係るオゾン水生成方法を実施するためのオゾン水生成装置の構成を概略的に示す説明図である。
【図2】 上記実施例の要部の構成を概略的に示す説明図である。
【図3】 上記実施例におけるオゾナイザーの構成を概略的に示す説明図である。
【図4】 (A)は、上記実施例における溶解タンクの構成を概略的に示す縦断面図、(B)は、前記溶解タンクの要部を概略的に示す横断面図である。
【図5】 上記実施例における導入管の変形例の構成を概略的に示す説明図である。
【図6】 上記実施例におけるオゾン処理部の変形例の構成を概略的に示す説明図である。
【図7】 上記実施例における純水化手段の構成を概略的に示す説明図である。
【図8】 従来のイオン水生成装置の構成を概略的に示す説明図である。
【符号の説明】
1…オゾン供給部、2…給水部、3…混合部、5…酸素供給手段、10…オゾナイザー、26…溶解タンク、27…オーバーフロー槽、A…オゾン水、D…オゾン水生成装置、W…水。
[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to an ozone water generator for generating ozone water used for, for example, food cleaning and sterilization.
[0002]
[Prior art]
As a conventional ozone water generator, as shown in FIG. 8, there is one that generates ozone water A by mixing ozone from an ozone supply unit 48 and water W from a water supply unit 49 in a pump 50. .
[0003]
The ozone supply unit 48 includes, in order from the upstream side, an oxygen cylinder 51, a flow meter 52, an ozonizer 53 for converting oxygen from the oxygen cylinder 51 into ozone, and a solenoid valve 54. Further, the water supply unit 49 was provided with a water supply source (not shown) and a pressure reducing valve 55 in order from the upstream side. Further, a pressure gauge 56 is provided on the downstream side of the pump 50, and a fan 57 for cooling the ozonizer 53 is provided in the vicinity of the ozonizer 53.
[0004]
[Problems to be solved by the invention]
However, in the above ozone water generator, ozone and water are mixed in the pump 50 to generate ozone water. However, the flow velocity of ozone and water flowing by the pump 50 is too large, Insufficient dissolution. Therefore, there is a problem that a lot of ozone that does not dissolve in the water and flows wastefully in the state of gas, and that a lot of harmful ozone gas is generated leads to an increase in danger. In addition, there is a problem that the ozone dissolution rate in the generated ozone water is low, and it is difficult to improve the cleaning power and sterilizing power of the ozone water.
[0005]
The present invention has been made in view of such circumstances, and the object thereof is to increase the dissolution rate of ozone, and thus to reduce the risk associated with the generation of ozone gas and the cleaning power of ozone water. -It is providing the ozone water production | generation apparatus which can aim at the improvement of sterilization power easily.
[0006]
[Means for Solving the Problems]
In order to achieve the above object, an ozone water generating apparatus of the present invention has an oxygen supply means and an ozonizer, an ozone supply section in which the flow rate of oxygen from the oxygen supply means is variable, and for supplying water An ozone water generator comprising: a water supply unit; and a mixing unit that dissolves ozone from the ozone supply unit into water from the water supply unit to form ozone water, wherein the mixing unit is in order from the upstream side. And a melting tank into which the combined ozone and water are introduced. The melting tank has an approximately spherical surface with an inner wall surface projecting downward. a plurality of overflow reservoir formed at Jo vertically, after the ozone and water merge at the merging portion is introduced into the overflow tank top, toward the lower side in sequence through each overflow tank Is generated ozonized water with this, also, the ozone water is Yes constitutes a so that retrieved into the dissolving tank outside of the outlet on the underside of the bottom of the overflow tank, the dissolution tank, the ozone water Is also used as a storage tank for storing (claim 1).
[0007]
Further, a discharge flow path for discharging ozone gas in the dissolution tank is provided, and the discharge flow path may include a filter member made of plant fibers for decomposing and detoxifying the ozone gas. Good (claim 2).
[0008]
According to said structure, the ozone dissolution rate can be raised, and by extension ozone water generation | occurrence | production which can aim at the reduction of the danger accompanying ozone gas generation | occurrence | production, and the improvement of the cleaning power and disinfection power which ozone water has easily An apparatus can be provided.
[0009]
Further, since the flow rate of oxygen supplied from the oxygen supply means is variable, the ozone concentration of the generated ozone water can be freely set.
[0010]
Furthermore, since the dissolution tank is also used as a storage tank for storing the ozone water, means for dissolving ozone in water and generating ozone water, and for storing the generated ozone water The structure can be made compact as compared with the case where a separate storage means is provided.
[0011]
Further, since the inner wall surface of the overflow tank is formed in a substantially spherical shape projecting downward, for example, compared to the case where the inner wall surface of the overflow tank is formed to have a U-shaped cross section. Therefore, the convection of ozone and water introduced into the overflow tank will be performed in a more ideal state, and stagnation and the like in the overflow tank will be less likely to occur, so that mixing of ozone and water will be further promoted. It becomes.
[0012]
In addition, the ozonizer includes a plurality of electrodes and a case for accommodating these electrodes, and has cooling fins that protrude parallel to each other on the outer surface of the case and sends air to the cooling fins. An air blowing means may be provided (claim 3). In this case, when the voltage is applied to the electrode and the discharge is performed, it becomes possible to efficiently cool the electrode that has reached a high temperature. It is possible to prevent the rate from decreasing.
[0013]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
FIG. 1 is an explanatory diagram schematically showing the configuration of an ozone water generating device (hereinafter referred to as a generating device) D for carrying out an ozone water generating method (hereinafter referred to as a generating method) according to an embodiment of the present invention. FIG. 2 is an explanatory diagram schematically showing a configuration of a main part of the generating device D. As shown in FIG.
The generator D is a mixture of ozone (A 3 ) by dissolving (dissolving) ozone (O 3 ) from the ozone supply unit 1, the water supply unit 2, and the ozone supply unit 1 in the water W from the water supply unit 2. A part 3 and a takeout part 4 for taking out the ozone water A from the mixing part 3 are provided.
[0014]
The ozone supply unit 1 includes, in order from the upstream side, an oxygen supply means 5 made of, for example, an oxygen cylinder, a pressure switch 6, a solenoid valve 7, a regulator 8, a flow meter 9, an ozonizer 10, a strainer 11, An electromagnetic valve 12, a water reverse prevention switch 13 and a check valve 14 are provided.
[0015]
The oxygen supply means 5 has a regulator 5a and supplies oxygen gas to the downstream side at a constant pressure (for example, 0.2 mpa). The oxygen supply means 5 is configured so that the pressure of oxygen to be supplied can be freely set, whereby the flow rate of oxygen to be supplied is variable.
[0016]
The regulator 8 is configured to send the oxygen gas from the oxygen supply means 5 to a constant pressure (for example, 0.1 mpa or less) and further to the downstream side.
[0017]
The flow meter 9 is, for example, an air flow meter, and the oxygen gas from the oxygen supply means 5 is supplied so that, for example, the measurement value of the meter 9 is 2 L / min.
[0018]
As shown in FIG. 3, the ozonizer 10 includes two electrodes 15 and 16 arranged in an opposing state, an application means 17 for applying an alternating voltage to the two electrodes 15 and 16, and a fixed to one electrode 16. And a case 19 for housing these two electrodes 15 and 16 and the dielectric 17.
[0019]
The electrodes 15 and 16 are made of, for example, stainless steel, and the dielectric 18 is made of, for example, glass.
[0020]
The case 19 is made of, for example, aluminum, and has a gas inlet (not shown) for introducing gas upstream thereof, and a gas outlet 19a for leading internal gas downstream thereof. Respectively. Further, a plurality of cooling fins 19b, 19b,... That are parallel to each other are projected from the outer surface (right and left side surfaces) of the case 19.
[0021]
In the vicinity of the case 19, fans 20 and 20 are provided as blowing means for sending air toward the cooling fins 19b, 19b.
[0022]
That is, in the ozonizer 10 having the above configuration, when the switch 17a of the applying means 17 is turned on, discharge (silent discharge) is performed in the case 19, and in this state, oxygen gas is introduced into the case 19 Then, ozone is generated by the discharge. At this time, the discharge causes the entire ozonizer 10 to have a high temperature. However, the wind from the fans 20 and 20 is sent toward the cooling fins 19b and 19b, whereby the case 19 is efficiently cooled. The entire ozonizer 10 is cooled.
[0023]
Further, when the switch 17a of the applying means 17 is turned OFF, no discharge is performed in the case 19, so that oxygen from the oxygen supplying means 5 passes through the ozonizer 10 without becoming ozone. Become.
[0024]
The strainer 11 has a filter 11 a for removing metal powder generated when discharging is performed in the ozonizer 9.
[0025]
The water supply unit 2 includes a water supply source (not shown), a pressure reducing valve 21, a flow switch 22, a primary pressure gauge 23, and a check valve 24 in order from the upstream side.
[0026]
And the said water supply part 2 is comprised so that the water W can be supplied to the downstream by arbitrary flow volume.
[0027]
The mixing unit 3 includes, in order from the upstream side, a merge unit 25 where ozone from the ozone supply unit 1 and the water W from the water supply unit 2 merge, and a dissolution tank 26 into which the merged ozone and water W are introduced. It has.
[0028]
4A is a longitudinal sectional view schematically showing the structure of the dissolution tank 26, and FIG. 4B is a sectional view taken along line XX of FIG. 4A.
The dissolution tank 26 has a plurality of (three in this embodiment) overflow tanks 27 formed in a substantially spherical shape (semispherical shape) with an inner wall surface protruding downward, and above each overflow tank 27. The ozone pipe and the water merged at the merge section 25 pass through the overflow tanks 27 and the introduction pipes 28 alternately and sequentially.
[0029]
Specifically, the inside of the dissolution tank 26 is divided into a plurality (three in the present embodiment) of compartments 30, 30... Are provided with a plurality of (three in this embodiment) bridges 27a, 27a,... On the side wall of each compartment 30 (dissolution tank 26). Further, a groove 27b for allowing the overflowing ozone and water W to flow downward is provided at the periphery of each overflow tank 27.
[0030]
In each compartment 30, the introduction pipe 28 is arranged so that the lower end faces the overflow tank 27. In addition, a through hole 29 a is formed in the substantially central portion of the isolation wall 29, and each of the second and lower compartments 30 from the top of the dissolution tank 26 (that is, the uppermost compartment in the dissolution tank 26). Each introduction pipe 28 provided in each compartment 30 except for 30 is in a state of being inserted through the through hole 29a of the isolation wall 29 forming the upper wall of each compartment 30, and its upper end portion 28a is It is in a state of projecting inside the compartment 30 on the upper side through the isolation wall 29.
[0031]
Each of the introduction pipes 28 provided in the second and lower compartments 30 from the top in the dissolution tank 26 has a tapered shape with an upper end portion 28a having a larger diameter toward the upper side. The upper end is located above the upper surface of the inserted isolation wall 29. On the other hand, the introduction pipe 28 provided in the uppermost compartment 30 in the dissolution tank 26 differs from the other introduction pipes 28 in that the ozone and water W from the junction 25 are dissolved in the dissolution tank 26. The upper end 28a may be included because it is for introduction into the interior, but it does not have to be included.
[0032]
In addition, a pressure gauge 31 for measuring and displaying the pressure inside the dissolution tank 26 is provided at an appropriate location of the dissolution tank 26 (in this embodiment, the side wall of the second compartment 30 from the top). Yes.
[0033]
Furthermore, a takeout port 32 for taking out the ozone water A generated in the dissolution tank 26 is provided in the bottom wall of the dissolution tank 26 (that is, the bottom wall of the lowest compartment 30).
[0034]
In addition, a partition wall 33 inserted through the introduction pipe 28 is disposed at an appropriate distance above the upper end of each overflow tank 27 disposed in each of the second and lower compartments 30 from the top in the dissolution tank 26. Is provided. The partition wall 33 need not be provided.
[0035]
Connected to the upper part of the dissolution tank 26 is a discharge flow path 34 for discharging ozone that is not dissolved in the water in the dissolution tank 26 but is in a gas state to the outside in a decomposed and detoxified state. Has been.
[0036]
In the discharge flow path 34, in order from the upstream side, a buffer tank 35, a check valve (pressure check valve) 36, and a filter member 37a for decomposing and detoxifying ozone (ozone gas) are substantially tubular (cylindrical). ) And an ozone treatment unit 38 built in the case body 37b.
[0037]
The said filter member 37 consists of plant fibers, such as sawdust used as the means (adsorbent) which absorbs ozone (ozone gas), for example. As the sawdust, sawdust such as cedar, cypress and bamboo can be used.
[0038]
On the other hand, inside the dissolution tank 26, a delivery passage 39 for sending out ozone gas in the dissolution tank 26 to the discharge passage 34 is provided. Here, the delivery flow path 39 is provided in a state in which the upper part in each compartment 30 is communicated, so that the ozone gas existing in each compartment 30 passes through the delivery flow path 39, and the This leads to the discharge channel 34.
[0039]
A flow path 41 having a check valve 40 is connected upstream of the dissolution tank 26 having the above-described configuration, that is, between the dissolution tank 26 and the junction 25.
[0040]
The ozone and water W from the merging section 25 introduced into the dissolution tank 26 having the above-described configuration are first accommodated in the overflow tank 27 in the uppermost compartment 30, and a predetermined amount is stored in the overflow tank 27. When the above ozone and water W are stored, it overflows and flows down from the groove 27b provided at the peripheral edge of the overflow tank 27 toward the upper surface of the isolation wall 29 below.
[0041]
Then, the upper end of the upper end portion 28a of the introduction pipe 28 that extends from the uppermost compartment 30 in the dissolution tank 26 to the compartment (the second compartment from the top) 30 immediately below it in the dissolution tank 26 rather than the upper surface of the isolation wall 29. Since the ozone and the water W are stored at a higher position, the ozone and the water W are also stored above the isolation wall 29 by a predetermined amount, and flow into the introduction pipe 28 by overflowing.
[0042]
The ozone and water W that have flowed into the introduction pipe 28 as described above are accommodated in the overflow tank 27 in the second compartment 30 from the top in the dissolution tank 26, and thereafter, in the same manner as described above. One by one goes to the lower compartment 30 and finally led out from the take-out port 32 to the downstream side of the dissolution tank 26.
[0043]
And as the ozone and water W introduced into the dissolution tank 26 go to the lower side of the dissolution tank 26, the ozone dissolves in the water W, and the dissolved rate of ozone in the water W increases. Ozone water A in which almost all of the supplied ozone (98% or more in this embodiment) is dissolved in the water W is generated.
[0044]
On the other hand, in each of the compartments 30, ozone (ozone gas) that is in a gas state without being dissolved in the water W reaches the upper space of each compartment 30 and is connected to the upper side of each compartment 30. It goes from the delivery channel 39 to the space above the dissolution tank 26. After that, it is discharged to the outside through the discharge flow path 34 in a state communicating with the space above the dissolution tank 26.
[0045]
Since the dissolution tank 26 has a structure capable of storing the ozone and water W in the overflow tanks 27 and on the isolation walls 29 as described above, The dissolution tank 26 can also be used as a storage tank for storing the ozone water A.
[0046]
The take-out unit 4 has a secondary pressure gauge 42 and a check valve 43 in order from the upstream side, and its upstream end is connected to the take-out port 32 of the dissolution tank 26 of the mixing unit 3. The ozone water A from the dissolution tank 26 is connected to the supply target from its downstream end side.
[0047]
In the ozone water generator D having the above-described configuration, the ozone from the ozone supply unit 1 and the water W from the water supply unit 2 merge at the merge unit 25 of the mixing unit 3, and then the upper and lower sides in the dissolution tank 26. By sequentially passing through a plurality of overflow tanks arranged in the direction, ozone is dissolved in the water W, and high-concentration ozone water A is generated.
[0048]
And in the ozone water generating apparatus D having the above-described configuration, the ozone can be reliably dissolved in the water W by reducing the flow velocity of the ozone and the water W in the dissolution tank 26 of the mixing unit 3. The ozone dissolution rate (ozone concentration) can be increased, and the cleaning power and sterilization power of ozone water can be easily improved.
[0049]
Moreover, since the quantity of ozone which will be in a gas state without melt | dissolving in the water W can be reduced by raising the dissolution rate of ozone, the danger accompanying ozone gas generation | occurrence | production will fall.
[0050]
Further, since the flow rate of oxygen supplied from the oxygen supply means 5 is variable, and the amount of ozone generated by the ozonizer 10 is variable accordingly, the ozone concentration of the ozone water A to be generated is changed. It can be set freely. Further, by adjusting not only the flow rate of ozone from the ozone supply unit 1 but also the flow rate of water W from the water supply unit 2, the flow rate and ozone concentration of the generated ozone water A can be set more easily and finely. It becomes possible to do.
[0051]
Further, in the ozone water generator D having the above-described configuration, the switch 17a of the ozonizer 10 is turned OFF, oxygen from the oxygen supply means 5 is sent to the mixing unit 3 as it is, and the oxygen is supplied to the mixing unit 3 by the mixing unit 3. If dissolved in the water W from the water supply unit 2, high oxygen water can be generated.
[0052]
In addition, since the case 19 of the ozonizer 10 has cooling fins 19b, 19b,... On the outer surface, the ozonizer that becomes a high temperature when discharging is performed by applying a voltage to the two electrodes 15, 16. 10 can be efficiently cooled by the fan 20.
[0053]
Moreover, since the said dissolution tank is used also as a storage tank for storing the said ozone water A, the means for melt | dissolving ozone in water and producing | generating ozone water A, and the produced | generated ozone water A are stored. Therefore, the structure can be made compact as compared with the case where a separate storage means is provided.
[0054]
In the above embodiment, as shown in FIG. 4 (A), each introduction pipe 28 of the dissolution tank 26 is substantially linear. However, the present invention is not limited to this configuration. For example, FIG. As shown in FIG. 4, the introduction pipes 28 may be formed in a spiral shape. In the case of such a configuration, it is possible to increase the moving time and moving distance of ozone and water W when passing through the introduction pipe 28, and the dissolution of ozone in the water W is further promoted.
[0055]
In the above embodiment, as shown in FIG. 2, a filter member 37a for decomposing and detoxifying ozone (ozone gas) is built in the substantially tubular (cylindrical) case body 37b as shown in FIG. However, instead of the filter member 37a, a bag-like body 44 having the configuration shown in FIG. 6 may be incorporated in the case body 37b.
[0056]
That is, the said bag-like body 44 becomes a means (adsorbent) which absorbs ozone (ozone gas), for example, plant pieces, powder (sawdust), etc. in the bag 45 which is made of cotton and has air permeability. It contains fibers.
[0057]
In addition, as sawdust used for the said filter part seat 37a and the bag-shaped body 44, sawdust, such as a cedar material, a cypress material, a bamboo material, can be used, for example.
[0058]
And the said bag-like body 44 of the state which absorbed ozone by passing ozone through the inside decomposes | disassembles spontaneously, for example, when it returns to soil (specifically, embedding / dispersing etc.), at this time, soil Since the function as an improving material is also demonstrated, the merit that the said ozone can be used effectively is acquired.
[0059]
The ozone treatment unit 38 is not limited to the one having the above two configurations, and may be one that, for example, heats ozone by a heating means such as a heater, thereby decomposing and detoxifying the ozone.
[0060]
Moreover, you may provide the said water supply part 3 with the pure water means 45 shown in FIG. That is, the pure water purifying means 45 is for purifying the water W from the water supply source of the water supply section 3 and is disposed in an approximately tubular (cylindrical) case body 45a in order from the upstream side. An ion exchange membrane 46 and an RO membrane 47 are provided. The water W from the water supply source passes through the ion exchange membrane 46 and the RO membrane 47 and is then sent to the mixing unit 3 on the downstream side.
[0061]
Then, the water W from the water supply source passes through the ion exchange membrane 46, thereby removing Na, Mg, etc. contained in the water W. By passing through the RO membrane 47, the water W Fe, SiO 2 and the like contained in W are removed.
[0062]
The ozone water A produced by dissolving the ozone from the ozone supply unit 1 in the water W purified as described above in the mixing unit 3 has high purity, so the sterilizing power is increased, Further, for example, it can be used for cleaning a semiconductor wafer.
[0063]
Moreover, in the said Example, although the number of the overflow tanks 27 provided in the dissolution tank 26 is set to three, it is not restricted to such a structure. For example, when the concentration of ozone (or oxygen) dissolved in the water W is set to a high concentration (8 ppm or more), the overflow tank 27 may be provided in five or more stages.
[0064]
In the above embodiment, the ozone supply unit 1 is provided with oxygen supply means 5 for supplying oxygen gas. However, the present invention is not limited to such a configuration. For example, instead of the oxygen supply means 5, Air supply means (not shown) may be provided to supply air instead of oxygen gas. However, in this case, NO x is generated when air is passed through the ozonizer 10. Therefore, it is desirable to separately provide a means for removing this NO x on the downstream side of the ozonizer 10 in the ozone supply unit 1.
[0065]
In addition, the production | generation method of a present Example can be implemented using the production | generation apparatus D which consists of said structure, The effect similar to the said production | generation apparatus D can be acquired.
[0066]
【The invention's effect】
As described above, according to the present invention, the dissolved rate of ozone can be increased, and consequently, the risk associated with the generation of ozone gas can be reduced, and the cleaning power and sterilization power of ozone water can be easily improved. It is possible to provide an ozone water generating apparatus capable of performing the above.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is an explanatory diagram schematically showing a configuration of an ozone water generating apparatus for carrying out an ozone water generating method according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is an explanatory diagram schematically showing a configuration of a main part of the embodiment.
FIG. 3 is an explanatory diagram schematically showing a configuration of an ozonizer in the embodiment.
4A is a longitudinal sectional view schematically showing a configuration of a dissolution tank in the above embodiment, and FIG. 4B is a transverse sectional view schematically showing a main part of the dissolution tank.
FIG. 5 is an explanatory view schematically showing a configuration of a modified example of the introduction pipe in the embodiment.
FIG. 6 is an explanatory diagram schematically showing a configuration of a modified example of the ozone treatment unit in the embodiment.
FIG. 7 is an explanatory view schematically showing a configuration of a pure water purification unit in the embodiment.
FIG. 8 is an explanatory view schematically showing a configuration of a conventional ionic water generating apparatus.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Ozone supply part, 2 ... Water supply part, 3 ... Mixing part, 5 ... Oxygen supply means, 10 ... Ozonizer, 26 ... Dissolution tank, 27 ... Overflow tank, A ... Ozone water, D ... Ozone water production | generation apparatus, W ... water.

Claims (3)

酸素供給手段およびオゾナイザーを有し、前記酸素供給手段からの酸素の流量が可変であるオゾン供給部と、水を供給するための給水部と、前記オゾン供給部からのオゾンを給水部からの水に溶存させてオゾン水とする混合部とを備えたオゾン水生成装置であって、前記混合部が、上流側から順に、前記オゾン供給部からのオゾンおよび前記給水部からの水が合流する合流部と、合流したオゾンおよび水が導入される溶解タンクとを備え、当該溶解タンクは、内壁面が下に凸のほぼ球面状に形成されたオーバーフロー槽を上下方向に複数有し、前記合流部において合流したオゾンおよび水が最上部のオーバーフロー槽に導入された後、各オーバーフロー槽を順次経て下側に向かい、これに伴いオゾン水が生成され、また、当該オゾン水は最下部のオーバーフロー槽の下側にある取り出し口から溶解タンク外へ取り出されるように構成してあり、この溶解タンクを、前記オゾン水を貯留するための貯留タンクに兼用させてあることを特徴とするオゾン水生成装置。An ozone supply section having an oxygen supply means and an ozonizer, wherein the flow rate of oxygen from the oxygen supply means is variable; a water supply section for supplying water; and ozone from the ozone supply section for supplying water from the water supply section An ozone water generating device including a mixing unit dissolved in the ozone water, wherein the mixing unit joins ozone from the ozone supply unit and water from the water supply unit in order from the upstream side. comprising a part, and a dissolution tank confluence ozone and water is introduced, the dissolution tank has a plurality of overflow vessel whose inner wall surface formed in a substantially spherical convex downward in the vertical direction, the merging unit after the ozone and water having been mixed is introduced into the overflow tank top in, toward the lower side in sequence through each overflow tank, ozone water Along with this is generated, also, the ozone water bottom Yes it configured to so that retrieved from the outlet to the dissolving tank outside at the bottom of the overflow tank, characterized in that the dissolution tank, are allowed to also used as storage tank for storing the ozone water Ozone water generator. 前記溶解タンク内のオゾンガスを排出するための排出流路が設けられており、この排出流路が、前記オゾンガスを分解・無害化するための植物繊維からなるフィルタ部材を備えている請求項1に記載のオゾン水生成装置。  The discharge flow path for discharging | emitting ozone gas in the said dissolution tank is provided, This discharge flow path is equipped with the filter member which consists of a vegetable fiber for decomposing | disassembling and detoxifying the said ozone gas. The ozone water generator described. 前記オゾナイザーが、複数の電極と、これらの電極を収容するケースとを備え、前記ケースの外面に互いに平行となる冷却用フィンを突設するとともに、前記冷却用フィンに対して風を送る送風手段を設けてある請求項1または2に記載のオゾン水生成装置。  The ozonizer includes a plurality of electrodes and a case that accommodates the electrodes, and has a cooling fin that protrudes parallel to each other on the outer surface of the case and blows air to the cooling fin. The ozone water generator according to claim 1 or 2, wherein
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