JP4091382B2 - 自動搬送プラズマ洗浄装置 - Google Patents

Description

【発明の属する技術分野】
本発明は、簡易的に搬送部を脱着可能なプラズマ洗浄装置に関するものである。詳しくは、プラズマ洗浄の実験に使用した簡易的に手動でトレイに被洗浄物を搬送していた手動搬送プラズマ洗浄装置に汎用の搬送装置を付加することにより、ライン対応（量産に対応する）自動搬送プラズマ洗浄装置を構成することができるライン対応の自動搬送プラズマ洗浄装置に関するものである。
【従来の技術】
プラズマ洗浄装置は、基板のボンディングパット部などの表面をプラズマ洗浄する装置である。一般的にプラズマ洗浄装置においては、洗浄する基板を前もって、洗浄実験、プロセス開発、及び、用途開発等の検証を繰り返し行いながら装置を最良の洗浄状態に仕上げていく必要があり、この洗浄実験等を行う場合には、洗浄する基板を手で一枚づつトレイに載せ、洗浄し、検証することを繰り返すため手動搬送の安価なプラズマ洗浄装置が使用される。しかし、従来、この実験用装置は、実験用として開発された搬送、貯蔵等の周辺機能を有しない装置であるため、実験用のみに使用され、実験が終了すると使用されなくなり、設備は放置され有休設備となっていた。そして、実験用とは別に新たに量産用に対応するプラズマ洗浄装置を設備投資していた。
また、近年、電子部品の急速な進歩や多品種少量生産により、洗浄基板の品種も増え、洗浄基板に合わせて装置の変更を頻繁に行わなければならず、従来のような全てに自動化された設備を備えた大規模なプラズマ洗浄装置において、頻繁に基板の切替えを余儀なくされ、その都度、装置を改修して基板に対応しなければならず、そのため改修費用も非常に高く付き、生産性効率も悪く、装置の無駄も多かった。
以上のことから、電子部品の急速な進歩や多品種少量生産に機敏に対応することができ、実験に使用したプラズマ洗浄装置本体も無駄にならない、生産性の良いプラズマ洗浄装置が望まれていた。すなわち、洗浄実験等の検証が終われば、実験に使用した装置を量産用に使用することができ、装置本体の新たな設備投資が発生しない、無駄の少ないプラズマ洗浄装置の開発が望まれていた。
【問題が解決しようとする課題】
本発明は、このような問題点を解決するために発明されたもので、洗浄する基板の洗浄実験、プロセス開発、あるいは、用途開発などの検証を行った実験装置を、そのまま量産装置に移行することができ、安価な設備投資で、生産性効率のよいプラズマ洗浄装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
本発明は、このような問題点を解決するために発明されたもので、洗浄する基板の洗浄実験、プロセス開発、あるいは、用途開発などの検証を行った実験装置を、そのまま量産装置に移行することができ、安価な設備投資で、生産性効率のよいプラズマ洗浄装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
本発明は、被洗浄物を載置するトレイをチャンバ本体から出没し、前記チャンバ本体に収納された前記トレイに載置された前記被洗浄物を洗浄する手動搬送プラズマ洗浄装置と、前記被洗浄物を収容して前記被洗浄物を前記トレイに供給する供給マガジンと前記被洗浄物を前記トレイから排出する排出用マガジンとを有する搬送装置と、前記チャンバ本体から出された前記トレイが前記供給マガジンに収納された被洗浄物及び前記排出マガジンと対峙するように前記手動搬送プラズマ洗浄装置と前記搬送装置を着脱自在に結合する結合装置とを有したことを特徴とする。
また、本発明の他の実施形態においては、被洗浄物を手動で載置するトレイをチャンバ本体から水平方向に出没し、前記チャンバ本体に収納された前記トレイに載置された前記被洗浄物を洗浄する手動搬送プラズマ洗浄装置と、前記被洗浄物を収容する収容部を有して前記被洗浄物を前記トレイに供給する供給マガジンと、前記被洗浄物を前記トレイから排出する排出マガジンとを設けた搬送装置と、前記チャンバ本体から出された前記トレイ上の被洗浄物と前記供給マガジン及び前記排出マガジンに設けたスロットとが水平方向に対峙するように前記プラズマ洗浄装置と前記搬送装置を着脱自在に結合する結合装置とを有し、前記プラズマ洗浄装置と前記搬送装置を結合装置で結合することによって、前記被洗浄物を前記手動搬送プラズマ洗浄装置へ自動で移載可能とすることを特徴とする。
また、前記搬送装置において、前記供給マガジンおよび前記排出マガジンを上下方向に移動するマガジン上下移動機構を有したことを特徴とする。
また、前記搬送装置において、前記供給マガジンおよび排出マガジンを左右方向に移動するマガジン左右移動機構を有したことを特徴とする。
また、前記搬送装置において、前記供給マガジンの各受け部に収納された被洗浄物を前記トレイの受け溝に押し出す押圧機構を備えたことを特徴とする。
また、前記搬送装置において、前記トレイの受け溝に収納された被洗浄物を前記排出マガジンの受け部に押し出す搬出機構を備えたことを特徴とする。
【発明の実施の形態】
以下、本発明の具体的な実施形態を図面を参照しながら説明する。
図１は、本発明の一実施形態であるライン対応自動搬送式プラズマ洗浄装置の斜視図、図２は、図１における手動搬送プラズマ洗浄装置の斜視図、図３は、図２におけるトレイおよびチャンバの斜視図、図４は、トレイおよびチャンバの断面図、図５は、図１における搬送装置の斜視図、図６は、図５におけるマガジン上下移動機構およびマガジン左右移動機構の一部分解斜視図、図７は、図６におけるマガジン上下移動機構およびマガジン左右移動機構の断面図、図８は、図５における挿圧機構の斜視図、図９は、図５における搬出機構の斜視図、図１０は、図８の挿圧機構において基板を供給マガジンからトレイに挿圧する様子を示す断面図、図１１は、図９の搬出機構において洗浄済み基板をトレイから排出マガジンへ排出する様子を示す断面図である。
図１において、本発明のライン対応自動搬送プラズマ洗浄装置１００は、手動搬送プラズマ洗浄装置２００と、基板Ｐを、前記手動搬送プラズマ洗浄装置２００に移載する搬送装置３００と、この搬送装置３００を、手動搬送プラズマ洗浄装置２００に着脱自在に結合する結合装置４００より構成されている。この結合装置４００によって搬送装置３００が解除されたときは、図２および図５に示すように、手動搬送プラズマ洗浄装置２００として、手動で基板Ｐがトレイ２０１に移載され、搬送装置３００を結合すると、自動搬送プラズマ洗浄装置１００となり、手動搬送プラズマ洗浄装置２００のトレイ２０１が水平方向にチャンバ２０２から開放すると、搬送装置３００の上部中央に設けられた収容部３０１に収納され、トレイ２０１と、搬送装置３００の供給マガジン３０２及び排出マガジン３０３の間で基板Ｐの遣り取りが可能となる。
次に、図２乃至図４において手動搬送プラズマ洗浄装置２００は、大きくは、基板Ｐを略水平状態で水平移動可能に支持して内外間を進退するトレイ２０１と、内部にプラズマを発生させて導入した基板Ｐを洗浄するチャンバ２０２と、チャンバ２０２が固定された機台２０３からなっている。
チャンバ２０２は、チャンバ本体２０４と、チャンバ本体２０４の前面に設けられたフランジ状の蓋体２０５とを有している。蓋体２０５は、チャンバ本体２０４に対して進退自在に構成され、且つチャンバ本体２０４の側面に設けた開閉シリンダ（エアシリンダ）２０６のピストンロッド２０７と蓋体２０５で連結され、また、蓋体２０５の内側には導電性材料からなるトレイ２０１が取り付けられている。このような構成のもとで、チャンバ開閉シリンダ２０６が駆動されて蓋体２０５が前進するとチャンバ本体２０４が開放されるとともにトレイ２０１が引き出され、蓋体２０５が後退すると、トレイ２０１が押し込まれるとともに、チャンバ本体２０４が閉塞される。
また、本実施形態では、トレイ２０１上で２枚の基板Ｐを前後に並べて収容支持できるように、トレイ２０１上には、相互に内向きの受け溝２０８が形成された一対の突条２０９が前後方向に２つ設けられ、このような構成のもと、トレイ２０１が引き出されると、搬送装置３００の収納部３０１に収納され、２枚の基板Ｐが搬送装置３００とトレイ２０１との間で左右水平方向に授受される。その際、各基板Ｐは、その両側部が各一対の突条２０９に形成された受け溝２０８で案内され、略水平状態で移動しつつ支持される。
次に、搬送装置３００は、図５乃至図９に示すように、洗浄処理前の基板Ｐ（以下、「未処理フィルム基板Ｐａ」と記すことがある。）を棚板状に複数枚収納した供給側マガジン３０２を備えた供給側マガジン部３０３と、洗浄処理後の基板Ｐ（以下、「処理フィルム基板Ｐｂ」と記すことがある。）を棚板状に複数枚収納する排出側マガジン３０４を備えた排出側マガジン部３０５と、供給側マガジン３０２に収納された未処理基板Ｐａの一端部を押圧し、供給側マガジン３０２からトレイ２０１に向けて未処理基板Ｐａの他端部を突出させる押圧機構３０６と、トレイ２０１に収容支持された処理基板Ｐｂの一端部を押圧し、トレイ２０１から排出側マガジン３０４に向けて処理基板Ｐｂの他端部を突出させる搬出機構３０７と、供給側マガジン部３０３及び排出側マガジン部３０５を上下移動させ、前記トレイ２０１の基板収容面の高さと各マガジン３０２、３０４の基板収容面の高さを合わせるマガジン上下移動機構３０８と、供給側マガジン部３０３及び排出側マガジン部３０５を中央側（トレイ側）に移動させ、トレイと各マガジン部３０３、３０５間の基板受渡し距離（ｘ、ｙ）を調整するマガジン左右移動機構３０９と、からなっている。（図６および７参照）
供給側マガジン部３０３は、手動搬送プラズマ洗浄装置２００の引き出されたトレイ２０１の右側に、トレイ２０１から所定間隔（ｘ）を有して、対向して配置されている。供給側マガジン部３０３は、複数個（本実施例は、トレイ２０１と同数の前後２個配置されている。）を前後方向に並べて供給側マガジン載置台３１０を有していて、この供給側マガジン載置台３１０は、マガジン上下移動機構３０８およびマガジン左右移動機構３０９により上下および左右方向へ移動が可能になっている。ここで供給側マガジン３０２は、複数段に亘って基板Ｐを棚板状に収容できるように、両側壁にそれぞれ複数段の受け部３１１が形成されており（図１０参照）、未処理フィルム基板Ｐａを収納した状態で前側開放面をトレイ側（右側）に向けて供給側マガジン載置台３１０上に載置されている。
他方、排出側マガジン部３０５は、手動搬送プラズマ洗浄装置２００の引き出されたトレイ２０１の左側に、トレイ２０１から所定間隔（ｙ）を有して、対向した配置されている。排出側マガジン部３０５は、複数個（本実施例は、トレイ２０１と同数の前後２個配置されている。）を前後方向に並べて排出側マガジン載置台３１２を有していて、この排出側マガジン載置台３１２は、マガジン上下移動機構３０８およびマガジン左右移動機構３０９により上下および左右方向へ移動可能になっている。ここで排出側マガジン３０４は、複数段に亘って基板Ｐを棚板状に収容できるように、両側壁にそれぞれ複数段の受け部３１３が形成されており（図１１参照）、全ての受け部３１４が空の状態で、前側開放面をトレイ側（左側）に向けて供給側マガジン載置台３１２上に載置されている。
ここで、本実施例においては、供給側マガジン３０２と排出側マガジン３０４は同一のもので相互に共用することができる。また、マガジン上下移動機構３０８およびマガジン左右移動機構３０９は、供給側マガジン載置部３１０と排出側マガジン載置部３１２で、同一機構のものを相互に共用することができる。
マガジン上下移動機構３０８は、図６および図７に示すように、搬送装置３００の機台３１３に固定された駆動ベース３１４と、駆動ベース３１４の上端および下部に駆動ベース３１４から水平方向に直立した軸受部３１５、３１６に軸支されたボールネジ３１７と、このボールネジ３１７に螺合し、ボールネジ３１７上を上下方向に移動するボールナット３１８と、前記駆動ベース３１４の下端に固定されたモータ３１９と、前記駆動ベース３１４の下側の軸受部３１６を貫通したボールネジ３１７の下端部と、前記モータ３１９のシャフト（不図示）を結合するジョイント３２０と、前記ボールナット３１８の前面３２１に固定されたＬ字状アングル３２２と、からなる。このＬ字状アングル３２２は、互いに直交する２つの面よりなり、水平方向に延びた平面（以下、Ａ水平面３２３と云う。）を維持し、Ａ水平面３２３から下方向に延びた平面（以下、Ａ垂直面３２４）がボールナット３１８の前面３２１に固定されている。また、このＡ水平面３２３上には、マガジン左右移動機構３０９が配設されている。
上記マガジン上下移動機構３０８は、プラズマ洗浄装置２００の制御部（不図示）の指令により、前記モータ３１９が回転すると、ジョイント３２０で連結されたボールネジ３１７が回転し、このボールネジ３１７に螺合したボールナット３１８がボールネジ３１６上を上下方向に移動する。そして、このボールナット３１８の前面３２１に固定されたＬ字状アングル３２２のＡ垂直面３２４が、上下方向に移動し、Ａ水平面３２３が水平を維持して上下方向に移動する。
マガジン左右移動機構３０９は、図６および図７に示すように、前記Ａ水平面３２３の前側に左右方向に固定されたリニアガイド３２５と、前記Ａ水平面３２３の後側に、前記リニアガイド３２５と平行に固定されたシリンダ３２６と、前記リニアガイド３２５およびシリンダ３２６上に配設されたマガジン載置台３１０、３１２と、からなっている。リニアガイド３２５は、レール３２７とテーブル３２８と、からなり、レール３２７は前記Ａ水平面３２３の前側に左右方向に固定され、レール３２７上をテーブル３２８が左右方向に摺動する。テーブル３２８上面には、前記マガジン載置台３１０、３１２が水平方向に固定されている。このリニアガイド３２５と平行に、Ａ水平面３２３の後側には、シリンダ３２６が配設されている。このシリンダ３２６は、シリンダ本体３２９の略中心部をロッド３３０が貫通し、ロッド３３０上をシリンダ本体３２９が左右方向に摺動する。このロッド３３０の両端は、前記Ａ水平面３２３上の後側左右両端に起立した軸受部３３１に軸支されている。また、シリンダ本体３２９上面には、前記マガジン載置台３１０、３１２が水平に固定されている。
そして、シリンダ本体３２９がプラズマ洗浄装置２００の制御部（不図示）の指令により、左右方向にロッド３３０上を移動すると、マガジン載置台３１０、３１２が、左右方向にリニアガイド３２５に沿って移動する。
次に、押圧機構３０６は、供給側マガジン部３０３の左側方に配置され（図５参照）、図８に示すように、左右方向に延在するロッド３３２と、機台３１３に固定されたベースプレート３３３と、このベースプレート３３３上に固定されるとともにロッド３３２の左端部に連結され、ロッド３３２を左右方向に移動させる左右方向駆動部３３４と、から構成されている。このような構成のもと、左右方向駆動部３３４の駆動によりロッド３３２が右方向に移動すると、ロッド３３２の先端が供給側マガジン３０２に収納された未処理基板Ｐａの左端に当接してそのまま押圧し、未処理基板Ｐａの右端部を供給側マガジン３０２から突出させることができる。
次に、搬出機構３０７は、供給側マガジン部３０３と排出側マガジン部３０５との間から前方にかけて配置され（図５参照）、図９に示すように、トレイ２０１に収容支持された処理基板Ｐｂの左端を押圧する押圧部３３５と、この押圧部３３５を一体的に上下移動させる上下方向駆動部３３６と、この上下方向駆動部３３６を機台３１３に固定させるとともに、左右方向に移動させる左右方向駆動部３３７と、から構成される。挿圧部３３５の下側には、トレイ２０１上に収納支持された基板Ｐｂに合わせて前後調整可能に固定された爪部３３８と、爪部３３８の右前方には、処理基板Ｐｂの左端を押圧するための突部３３９を備えている。
次に、結合装置４００は、図２に示すように、手動式プラズマ洗浄装置の機台２０３の側面中央部の前縁部にＬ字状の角部４０１を沿わせて左右に直立させて固定されたＬ字状金具４０２と、前記Ｌ字状金具４０２の機台２０３から左右に直立した平面４０３に貫通した取付孔４０４と、この取付穴４０４と同位置に、搬送装置３００の機台３０１の裏面に螺設されたネジ孔（不図示）と、前記取付孔４０４を貫通し、前記ネジ孔に螺合する締付ボルト４０５と、から構成されている。
この構成により、締付ボルトをＬ字状金具４０２の取付孔４０４を通してネジ孔（不図示）に締め付けることにより、手動搬送プラズマ洗浄装置２００と、搬送装置３００を結合することができる。
なお、手動搬送プラズマ洗浄装置２００及び搬送装置３００における各部の駆動制御は、不図示の制御装置により総括的に行われる。ここで、図１０及び図１１を参照しながら、結合装置４００により結合された、本発明のライン対応自動搬送プラズマ洗浄装置１００の一連の動作を説明する。
先ず、トレイ２０１への未処理基板Ｐａの移載について説明する。供給側マガジン３０２を載置した供給側マガジン載置台３１０を上下方向に移動させる。これにより、供給側マガジン３０２に収納されている最上段の未処理基板Ｐａと、押圧機構３０６のロッド３３２と、トレイ２０１の受け溝２０８との相互の高さを一致させる。これに続いて、押圧機構３０６のロッド３３２を右方向に移動させると、ロッド３３２の先端が未処理基板Ｐａの左端に当接してそのまま押圧すると、未処理基板Ｐａは、その両側部がトレイ２０１の受け溝２０８に案内されながら水平移動して引き込まれ、収容支持される。このようにして、供給マガジン３０２からトレイ２０１への未処理基板Ｐａの移載が完了する。その後、挿圧機構３０６は、ロッド３３２を左方向に移動させて原点位置に復帰させ、次の動作に備える。
そして、未処理基板Ｐａを収納支持したトレイ２０１がチャンバ２０２内に導入され、チャンバ２０２が洗浄工程に移行する。プラズマ洗浄工程は特に本願の要旨とは直接関係がないため説明は割愛する。
次に、洗浄処理が終了したチャンバ２０２からトレイ２０１が引き出される。
ここで、トレイ２０１上には、前後２枚の処理基板Ｐｂが、前後二対の受け溝２０８により水平状態で支持されている。
次いで、空の状態の排出側マガジン３０４を搭載した排出側マガジン載置台３１２を上下方向に移動させる。これにより、排出側マガジン３０４の両側壁に複数段設けられている受け部３１３のうちの最上段の受け部３１３と、トレイの受け溝２０８に収容支持されている処理基板Ｐｂとの相互の高さを一致させる。これに続いて、搬出機構を上下左右に移動させ、押圧機構の爪部３３８の突出部３３９を処理基板Ｐｂの左端部の側方近傍に待機させる。
次いで、図１１に示すように、搬出機構を右方向に移動させると、その突出部３３９が処理基板Ｐｂの左端に当接してそのまま押圧し、搬送機構３０７を右方向に移動させると、処理基板Ｐｂは、その両側部が排出側マガジン３０４の最上段の受け部３１３に案内されながら水平移動して押し込まれ、収容される。このようにして、トレイ２０１から排出側マガジン３０４への処理基板Ｐｂの移載が完了する。その後、排出機構３０７の爪部３３８を上下左右に移動させて原点位置に復帰させ、次の動作に備える。
なお、本発明は上記実施形態に限定されず、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で、種々の変更が可能である。例えば、本実施例において、基板のプラズマ洗浄を行ったが、フィルム基板やウエハなどに対応することも可能である。また、チャンバのトレイ上に収容支持する基板は、１枚でも３枚以上であってもよく、この場合は、枚数に合わせて供給側マガジンや排出側マガジンや挿圧機構や搬出機構を調整すれば足りる。また、本実施例においては、挿圧機構や搬送機構は、ロッドや爪部において押出す機構であったが、先端に把持部を設けて基板をつまみ出しても構わない。例えば、フィルム基板などの薄板状のものにおいては、押し出すとフィルム端面が変形したり、つぶれたりするため、把持機構でつまんで引き出す方が好ましい。
また、本発明は、多品種少量生産に対応し、生産数量が少ない基板の場合は、手動搬送プラズマ洗浄装置で生産を行い、数量が多くなれば本発明の自動搬送プラズマ洗浄装置に切り替えて量産が可能である。また、新規の基板の洗浄実験を手動搬送プラズマ洗浄装置で行い、検証が完了すれば搬送装置を結合することにより生産ラインを立ち上げることができる。
【発明の効果】
以上説明した通り本発明によれば、新規にプラズマ洗浄を行う基板の洗浄実験、プロセス開発、あるいは、用途開発などの検証を行った実験用の簡易的な手動搬送プラズマ洗浄装置に、搬送装置を固定することにより、手動搬送のまま自動搬送の生産ラインに移行することができ、実験用のプラズマ洗浄装置の設備投資が無駄にならず生産ラインに有効に生かされ、安価な、設備投資効率のよい自動搬送プラズマ洗浄装置を提供することができる。
また、多品種少量生産に対応し、生産数量に応じて手動と自動の切り替えが可能であり、多品種の洗浄基板の洗浄実験を行いながら生産ラインを構築することが可能であり、洗浄部品の機種切り替えを素早く行える等の生産性のよい自動搬送プラズマ洗浄装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 図１は、本発明の一実施形態であるライン対応自動搬送プラズマ洗浄装置の斜視図である。図２は、図１における手動搬送プラズマ洗浄装置の斜視図、図３は、図２におけるトレイおよびチャンバの斜視図、図４は、図３におけるトレイおよびチャンバの断面図、図５は、 図１における搬送装置の斜視図、図６は、図５におけるマガジン上下移動機構およびマガジン左右移動機構の一部分解斜視図、図７は、図６におけるマガジン上下移動機構およびマガジン左右移動機構の断面図、図８は、図５における挿圧機構の斜視図、図９は、図５における搬出機構の斜視図、図１０は、図８の挿圧機構において基板を供給マガジンからトレイに挿圧する様子を示す断面図、図１１は、図９の搬出機構において洗浄済み基板をトレイから排出マガジンへ排出する様子を示す断面図である。
【図２】図１における手動搬送プラズマ洗浄装置の斜視図である。
【図３】図２におけるトレイおよびチャンバの斜視図である。
【図４】図３におけるトレイおよびチャンバの断面図である。
【図５】図１における搬送装置の斜視図である。
【図６】図５におけるマガジン上下移動機構およびマガジン左右移動機構の一部分解斜視図である。
【図７】図６におけるマガジン上下移動機構およびマガジン左右移動機構の断面図である。
【図８】図５における挿圧機構の斜視図である。
【図９】図５における搬出機構の斜視図である。
【図１０】図８の挿圧機構において基板を供給マガジンからトレイに挿圧する様子を示す断面図である。
【図１１】図９の搬出機構において洗浄済み基板をトレイから排出マガジンへ排出する様子を示す断面図である。
【符号の説明】
２０２ チャンバ
２０１ トレイ
２００ 手動搬送プラズマ洗浄装置
３０２ 供給用マガジン
Ｐ 基板（被洗浄物）
３０４ 排出用マガジン
３００ 搬送装置
４００ 結合装置
１００ ライン対応自動搬送プラズマ洗浄装置
２０８ 受け溝（スロット）
３１１・３１３ 受け部（スロット）
３０６ 押圧機構
３０７ 搬出機構
３０８ マガジン上下移動機構
３０９ マガジン左右移動機構

Claims (6)

1. 被洗浄物を載置するトレイをチャンバ本体から出没し、前記チャンバ本体に収納された前記トレイに載置された前記被洗浄物を洗浄する手動搬送プラズマ洗浄装置と、前記被洗浄物を収容して前記被洗浄物を前記トレイに供給する供給マガジンと前記被洗浄物を前記トレイから排出する排出用マガジンとを有する搬送装置と、前記チャンバ本体から出された前記トレイが前記供給マガジンに収納された被洗浄物及び前記排出マガジンと対峙するように前記手動搬送プラズマ洗浄装置と前記搬送装置を着脱自在に結合する結合装置とを有したことを特徴とする自動搬送プラズマ洗浄装置。
2. 被洗浄物を手動で載置するトレイをチャンバ本体から水平方向に出没し、前記チャンバ本体に収納された前記トレイに載置された前記被洗浄物を洗浄する手動搬送プラズマ洗浄装置と、前記被洗浄物を収容する収容部を有して前記被洗浄物を前記トレイに供給する供給マガジンと、前記被洗浄物を前記トレイから排出する排出マガジンとを設けた搬送装置と、前記チャンバ本体から出された前記トレイ上の被洗浄物と前記供給マガジン及び前記排出マガジンに設けたスロットとが水平方向に対峙するように前記プラズマ洗浄装置と前記搬送装置を着脱自在に結合する結合装置とを有し、前記プラズマ洗浄装置と前記搬送装置を結合装置で結合することによって、前記被洗浄物を前記手動搬送プラズマ洗浄装置へ自動で移載可能とすることを特徴とする自動搬送プラズマ洗浄装置。
3. 前記搬送装置において、前記供給マガジンおよび前記排出マガジンを上下方向に移動するマガジン上下移動機構を有したことを特徴とする請求項１及び請求項２記載の自動搬送プラズマ洗浄装置。
4. 前記搬送装置において、前記供給マガジンおよび排出マガジンを左右方向に移動するマガジン左右移動機構を有したことを特徴とする請求項３記載の自動搬送プラズマ洗浄装置。
5. 前記搬送装置において、前記供給マガジンの各受け部に収納された被洗浄物を前記トレイの受け溝に押し出す押圧機構を備えたことを特徴とする請求項１及び請求項２記載の自動搬送プラズマ洗浄装置。
6. 前記搬送装置において、前記トレイの受け溝に収納された被洗浄物を前記排出マガジンの受け部に押し出す搬出機構を備えたことを特徴とする請求項１及び請求項２記載の自動搬送プラズマ洗浄装置。

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